Вы находитесь на странице: 1из 45
Использование Атмосферной Плазмы для подготовки и модификации

Использование Атмосферной Плазмы для подготовки и модификации поверхности

и модификации поверхности (C) 2005 All rights reserved Rue Jaquet-Droz 1, CP 672,
Global Plasma Solutions производство оборудования для обработки

Global Plasma Solutions

производство оборудования для обработки поверхностей оборудования для обработки поверхностей

технология обработки поверхностей поверхностей

запатентованная технология технология

материалы: металлы , пластики , текстиль , MEMS, электроника : металлы, пластики, текстиль, MEMS, электроника

Global Plasma Solutions Что такое плазма ? Финишная очистка поверхностей

Global Plasma Solutions

Что такое плазма ? такое плазма?

Финишная очистка поверхностей очистка поверхностей

Активация поверхности поверхности

Продукция компании Global Plasma Solutions Global Plasma Solutions

Текстиль, Провода , Профили , и т . д . , Провода, Профили, и т.д.

Что такое плазма?

Что такое плазма ? Плазма – это электрически нейтральный

Плазма это электрически нейтральный ионизационный газ, который проводит электричество.

Это свойство следует из того факта, что плазма состоит из сильно возбужденных молекул, радикалов, ионов и атомов.

Обычно плазма образуется из газа проходящего через электрический разряд, который передает свою энергию молекулам этого газа.

Эти молекулы в зависимости от энергии разряда полностью или частично распадаются давая жизнь радикалам, ионам и атомам.

δδ

Как образуется плазма?

δδ Как образуется плазма ? Source of Electrons e- EM Field photons hν hν atomic io
Source of Electrons e- EM Field photons hν hν atomic io n iza tio n
Source of
Electrons
e-
EM Field
photons hν
atomic
io n iza tio n
electronic
excita tion
vib ra tio na l
excita tion
ro ta tio n a l
excita tion
Pla sm a
Boundary
la ye r
Tre a te d
Surfa ce
Активные частицы в плазме
Активные частицы в плазме

Конкурирующие техники

Конкурирующие техники   мокрая   коронный вакуумн SBIT
 

мокрая

 

коронный

вакуумн

SBIT

пламя

ая

технологи

химия

разряд

плазма

я

Скорость обработки

high

medium

low

low

high

Стоимость оборудования

high

high

medium

high

low

Стоимость обработки

medium

medium

medium

high

low

Стоимость обслуживания

high

low

medium

high

low

легкость внедрения в линию непрерывного процесса

high

high

low

very low

very high

эффективность обработки в отношении большого коэффициента пропорциональности (глубины) профилей

low

good

low

good

good

Размер оборудования

large

medium

medium

large

small

Соответствие требованиям безопасности, окружающей среды и качества

limited

limited

good

good

good

Степень адаптации к термочувствительным материалам

 

- low

good

good

good

Недостатки

 

- no

yes

yes

no

Образование отверстий в пластиковых пленках

 

- no

yes

no

no

Взаимодействие Плазмы с Поверхностью Активация поверхности

Взаимодействие Плазмы с Поверхностью

Активация поверхности

Поток

Модификация поверхности

Поток

активирующих Модифици частиц рующих частиц Оригинал
активирующих
Модифици
частиц
рующих
частиц
Оригинал Промежуточное После
состояние активирования
Состояние поверхности

Травление

Состояние поверхности Травление Осаждение (C) 2005 All rights reserved Rue

Осаждение

Global Plasma Solutions Что такое плазма ? Финишная очистка поверхностей

Global Plasma Solutions

Что такое плазма ? такое плазма?

Финишная очистка поверхностей очистка поверхностей

Активация поверхности поверхности

Продукция компании Global Plasma Solutions Global Plasma Solutions

Текстиль, Провода , Профили , и т . д . , Провода, Профили, и т.д.

Финишная очистка

Финишная очистка Финишная очистка заключается в удалении

Финишная очистка заключается в удалении включений и органических остатков

Микро технические устройства, часы

электротехника

микроэлектоника

Очистка сплава на основе Phinodal

Очистка сплава на основе Phinodal обработано Не обработано •

обработано

на основе Phinodal обработано Не обработано • электрическая
на основе Phinodal обработано Не обработано • электрическая

Не обработано

электрическая мощность

скорость перемещения поверхности 0,5 м/сек

расход газа

используемый газ

энергия поверхности

700 Ватт

25 л/мин воздух > 70 дин

700 Ватт 25 л / мин воздух > 70 дин (C) 2005 All rights reserved Rue

Очистка Алюминия

Очистка Алюминия Не обработано обработано • электрическая

Не обработано

обработано

электрическая мощность

скорость перемещения поверхности

расход газа

используемый газ

энергия поверхности

1000 Ватт 0,5 м/сек 20 л/мин воздух > 70 дин

м / сек 20 л / мин воздух > 70 дин Алюминий был обработан сразу же

Алюминий был обработан сразу же после ламинирования без предварительной мокрой очистки

Очистка меди

Очистка меди обработано Не обработано • электрическая мощность
Очистка меди обработано Не обработано • электрическая мощность
Очистка меди обработано Не обработано • электрическая мощность

обработано

Не обработано

меди обработано Не обработано • электрическая мощность 900
меди обработано Не обработано • электрическая мощность 900

электрическая мощность

900 Ватт

скорость перемещения поверхности

0,2 м/сек

расход газа

20 л/мин

используемый газ

воздух

энергия поверхности

60 дин

Очистка никеля на меди

Очистка никеля на меди обработано Не обработано • электрическая
Очистка никеля на меди обработано Не обработано • электрическая

обработано

Не обработано

электрическая мощность

900 Ватт

скорость перемещения поверхности

0,2 м/сек

расход газа

20 л/мин

используемый газ

воздух

энергия поверхности

60 дин

Очистка нержавеющей стали

После

обработки

стали После обработки До обработки • электрическая
стали После обработки До обработки • электрическая
стали После обработки До обработки • электрическая
стали После обработки До обработки • электрическая

До обработки

После обработки До обработки • электрическая мощность 1000

электрическая мощность

1000 Ватт

скорость перемещения поверхности

0,2 м/сек

расход газа

25 л/мин

используемый газ

воздух

энергия поверхности

60 дин

Металл был обработан сразу же после ламинирования без предварительной мокрой очистки

Очистка латуни До обработки После обработки • электрическая

Очистка латуни

Очистка латуни До обработки После обработки • электрическая
Очистка латуни До обработки После обработки • электрическая

До обработки

После

обработки

электрическая мощность

скорость перемещения поверхности

расход газа

используемый газ

энергия поверхности

800 Ватт 6 об/сек + 0.1 м/сек 20 л/мин воздух 72 дина

Очистка комбинированных поверхностей Нержавеющая сталь / Кварц

Очистка комбинированных поверхностей Нержавеющая сталь/Кварц

inox

inox quartz
inox quartz

quartz

До обработки

/ Кварц inox quartz До обработки После обработки •
/ Кварц inox quartz До обработки После обработки •

После

обработки

электрическая мощность

режим обработки

длительность импульса

расход газа

используемый газ

энергия поверхности

800 Ватт/импульс импульсный 0,3 – 0,5 сек 20 л/мин воздух 72 – 105 дин

Удаление остатков фоторезиста (PR) с нержавеющей стали

(PR) с нержавеющей стали PR остатки Очищенная поверхность
(PR) с нержавеющей стали PR остатки Очищенная поверхность

PR остатки

с нержавеющей стали PR остатки Очищенная поверхность •

Очищенная

стали PR остатки Очищенная поверхность • электрическая

поверхность

PR остатки Очищенная поверхность • электрическая мощность •
PR остатки Очищенная поверхность • электрическая мощность •

электрическая мощность

линейная скорость вращения

расход газа

используемый газ

800 Ватт 0.6 м/сек 20 л/мин воздух + фтор

Очистка BGA

Очистка BGA До обработки После обработки • электрическая
Очистка BGA До обработки После обработки • электрическая
Очистка BGA До обработки После обработки • электрическая

До обработки

После

обработки

электрическая мощность

800 Ватт

скорость перемещения поверхности

0.5 м/сек

расход газа

25 л/мин

используемый газ

воздух

энергия поверхности

72 дина

Global Plasma Solutions Что такое плазма ? Финишная очистка поверхностей

Global Plasma Solutions

Что такое плазма ? такое плазма?

Финишная очистка поверхностей очистка поверхностей

Активация поверхности поверхности

Продукция компании Global Plasma Solutions Global Plasma Solutions

Текстиль, Провода , Профили , и т . д . , Провода, Профили, и т.д.

Активация поверхности

Активация поверхности Стимулирование адгезии путем активации

Стимулирование адгезии путем активации поверхности (пластики, резины, текстиль, стекло, металлы, и пр.)

печать, окрашивание, нанесение покрытий

– over-molding, герметизация

склеивание

и т.д

(C) 2005 All rights reserved

Rue Jaquet-Droz 1, CP 672, CH-2002 Neuchâtel Tel:+41.32.720 51 63 Fax:+41.32.720 57 35

21

Склеиваемая поверхность Склеивание соединителей Обрабо - Не тано
Склеиваемая поверхность Склеивание соединителей Обрабо - Не тано

Склеиваемая

поверхность

Склеивание соединителей

Склеивание соединителей Обрабо - Не тано обработано •
Склеивание соединителей Обрабо - Не тано обработано •
Склеивание соединителей Обрабо - Не тано обработано •

Обрабо- Не

тано

обработано

электрическая мощность

800 Ватт

скорость вращения соединителя

0.2 м/сек

расход газа

20 л/мин

используемый газ

воздух

энергия поверхности

72 дина

время обработки

2 сек

Сила адгезии увеличилась с 1200 Н до 2500 Н (ограничение измерительной машины) без использования предварительной мокрой очистки

Подготовка к склеиванию

Подготовка к склеиванию (C) 2005 All rights reserved Rue Jaquet-Droz 1, CP 672, CH-2002 Neuchâtel
Подготовка к склеиванию (C) 2005 All rights reserved Rue Jaquet-Droz 1, CP 672, CH-2002 Neuchâtel

Приклеивание иголок

Приклеивание иголок Не обработанная После обработки •
Приклеивание иголок Не обработанная После обработки •

Не

обработанная

После

обработки

электрическая мощность

режим обработки

длительность импульса

расход газа

используемый газ

энергия поверхности

Обрабатывающее устройство

Обрабатывающее устройство 120 Ватт в импульсе импульсный

120 Ватт в импульсе импульсный 0,3 сек 10 л/мин воздух 60 дин

Приклеивание датчиков

Приклеивание датчиков PTFE ceramic (C) 2005 All rights reserved Rue Jaquet-Droz 1, CP 672, CH-2002

PTFE

Приклеивание датчиков PTFE ceramic (C) 2005 All rights reserved Rue Jaquet-Droz 1, CP 672, CH-2002
Приклеивание датчиков PTFE ceramic (C) 2005 All rights reserved Rue Jaquet-Droz 1, CP 672, CH-2002
Приклеивание датчиков PTFE ceramic (C) 2005 All rights reserved Rue Jaquet-Droz 1, CP 672, CH-2002
Приклеивание датчиков PTFE ceramic (C) 2005 All rights reserved Rue Jaquet-Droz 1, CP 672, CH-2002

ceramic

Приклеивание датчиков PTFE ceramic (C) 2005 All rights reserved Rue Jaquet-Droz 1, CP 672, CH-2002

Активация сапфира

Активация сапфира (C) 2005 All rights reserved Rue Jaquet-Droz 1, CP 672, CH-2002 Neuchâtel
Активация сапфира (C) 2005 All rights reserved Rue Jaquet-Droz 1, CP 672, CH-2002 Neuchâtel
Активация сапфира (C) 2005 All rights reserved Rue Jaquet-Droz 1, CP 672, CH-2002 Neuchâtel

Активация Оксида Индия на Сапфире

Оксида Индия на Сапфире (C) 2005 All rights reserved Rue Jaquet-Droz 1, CP 672,
Оксида Индия на Сапфире (C) 2005 All rights reserved Rue Jaquet-Droz 1, CP 672,
Оксида Индия на Сапфире (C) 2005 All rights reserved Rue Jaquet-Droz 1, CP 672,
Активация фторопластовой ( тефлоновой ) изоляции (C) 2005 All rights reserved

Активация фторопластовой (тефлоновой) изоляции

( тефлоновой ) изоляции (C) 2005 All rights reserved Rue Jaquet-Droz 1, CP 672,
( тефлоновой ) изоляции (C) 2005 All rights reserved Rue Jaquet-Droz 1, CP 672,
( тефлоновой ) изоляции (C) 2005 All rights reserved Rue Jaquet-Droz 1, CP 672,

Активация стекляной поверхности

Активация стекляной поверхности (C) 2005 All rights reserved Rue Jaquet-Droz 1, CP 672,
Активация стекляной поверхности (C) 2005 All rights reserved Rue Jaquet-Droz 1, CP 672,
Активация стекляной поверхности (C) 2005 All rights reserved Rue Jaquet-Droz 1, CP 672,
Активация стекляной поверхности (C) 2005 All rights reserved Rue Jaquet-Droz 1, CP 672,
Global Plasma Solutions Что такое плазма ? Финишная очистка поверхностей

Global Plasma Solutions

Что такое плазма ? такое плазма?

Финишная очистка поверхностей очистка поверхностей

Активация поверхности поверхности

Продукция компании Global Plasma Solutions Global Plasma Solutions

Текстиль, Провода , Профили , и т . д . , Провода, Профили, и т.д.

Оборудование для ваших нужд и приложений MonoJet : локальная

Оборудование для ваших нужд и приложений

MonoJet: локальная обработка ( размером до 30 мм ) : локальная обработка (размером до 30мм)

MonoJet-Light: локальная обработка ( размером до 15 мм ) локальная обработка (размером до 15 мм)

MultiJet-70: обработка больших поверхностей (~ 70 мм ) : обработка больших поверхностей (~ 70 мм)

MultiJet-900: обработка больших поверхностей ( в разработке ) : обработка больших поверхностей (в разработке)

PlasmaChannel: обработка металлических проводов , пластиковых и натуральных обработка металлических проводов, пластиковых и натуральных волокон, и т.д.

MonoJet™

MonoJet™ Передняя панель Задня панель (C) 2005 All rights reserved Rue Jaquet-Droz 1, CP 672,
MonoJet™ Передняя панель Задня панель (C) 2005 All rights reserved Rue Jaquet-Droz 1, CP 672,

Передняя

панель

MonoJet™ Передняя панель Задня панель (C) 2005 All rights reserved Rue Jaquet-Droz 1, CP 672,

Задня

панель

Установка плазменной обработки

Установка плазменной обработки Независимый блок управления
Установка плазменной обработки Независимый блок управления

Независимый блок управления

Генератор плазмы

управления Генератор плазмы плазма (C) 2005 All rights reserved Rue Jaquet-Droz
управления Генератор плазмы плазма (C) 2005 All rights reserved Rue Jaquet-Droz
управления Генератор плазмы плазма (C) 2005 All rights reserved Rue Jaquet-Droz

плазма

Линейная обработка плазмой

Линейная обработка плазмой (C) 2005 All rights reserved Rue Jaquet-Droz 1, CP 672, CH-2002
Линейная обработка плазмой (C) 2005 All rights reserved Rue Jaquet-Droz 1, CP 672, CH-2002

MonoJet-Light

MonoJet-Light Передняя Задняя панель панель (C) 2005 All rights reserved Rue
MonoJet-Light Передняя Задняя панель панель (C) 2005 All rights reserved Rue
MonoJet-Light Передняя Задняя панель панель (C) 2005 All rights reserved Rue

Передняя

Задняя

панель

панель

MultiJet™

MultiJet™ Характеристики – 5 плазменных сопел – настраиваемая
MultiJet™ Характеристики – 5 плазменных сопел – настраиваемая
MultiJet™ Характеристики – 5 плазменных сопел – настраиваемая

Характеристики

5 плазменных сопел

настраиваемая мощность (100 - 1000 Вт /сопло)

диапазон обработки ~ 70 mm

водяное охлаждение

используемые газы: воздух, N2, пр.

расход газа на сопло > 3 л/мин

Моноканал

Моноканал (C) 2005 All rights reserved Rue Jaquet-Droz 1, CP 672, CH-2002 Neuchâtel Tel:+41.32.720 51 63
Моноканал (C) 2005 All rights reserved Rue Jaquet-Droz 1, CP 672, CH-2002 Neuchâtel Tel:+41.32.720 51 63
Моноканал (C) 2005 All rights reserved Rue Jaquet-Droz 1, CP 672, CH-2002 Neuchâtel Tel:+41.32.720 51 63
Моноканал (C) 2005 All rights reserved Rue Jaquet-Droz 1, CP 672, CH-2002 Neuchâtel Tel:+41.32.720 51 63
Моноканал (C) 2005 All rights reserved Rue Jaquet-Droz 1, CP 672, CH-2002 Neuchâtel Tel:+41.32.720 51 63
Global Plasma Solutions Что такое плазма ? Финишная очистка поверхностей

Global Plasma Solutions

Что такое плазма ? такое плазма?

Финишная очистка поверхностей очистка поверхностей

Активация поверхности поверхности

Продукция компании Global Plasma Solutions Global Plasma Solutions

Текстиль, Провода , Профили , и т . д . , Провода, Профили, и т.д.

Настройка плазменного канала

Настройка плазменного канала (C) 2005 All rights reserved Rue Jaquet-Droz 1, CP 672, CH-2002
Настройка плазменного канала (C) 2005 All rights reserved Rue Jaquet-Droz 1, CP 672, CH-2002
Настройка плазменного канала (C) 2005 All rights reserved Rue Jaquet-Droz 1, CP 672, CH-2002
Настройка плазменного канала (C) 2005 All rights reserved Rue Jaquet-Droz 1, CP 672, CH-2002
Настройка плазменного канала (C) 2005 All rights reserved Rue Jaquet-Droz 1, CP 672, CH-2002

Подготовка полиэстеровых нитей к окраске

полиэстеровых нитей к окраске Окрашено без обработки Окрашено
полиэстеровых нитей к окраске Окрашено без обработки Окрашено

Окрашено без обработки

Окрашено после обработки плазмой

Структура поверхности из синтетических волокон Исходные

Структура поверхности из синтетических волокон

Исходные волокна
Исходные
волокна

После короткой обработки

После длительной обработки

(C) 2005 All rights reserved

Rue Jaquet-Droz 1, CP 672, CH-2002 Neuchâtel Tel:+41.32.720 51 63 Fax:+41.32.720 57 35

41

ОпаливаниеХлопковой Нити

“ Опаливание ” Хлопковой Нити Исходное состояние После
“ Опаливание ” Хлопковой Нити Исходное состояние После
“ Опаливание ” Хлопковой Нити Исходное состояние После

Исходное состояние

После плазменной обработки

ОпаливаниеДерева

“ Опаливание ” Дерева Исходное состояние После плазменной
“ Опаливание ” Дерева Исходное состояние После плазменной

Исходное

состояние

” Дерева Исходное состояние После плазменной обработки (C) 2005

После плазменной обработки

Преимущества

Преимущества Сухая химия Простота • Небольшая занимаемая

Сухая химия химия

ПростотаПреимущества Сухая химия • Небольшая занимаемая площадь • Нет

Небольшая занимаемая площадь

Нет вакуумного насосного оборудования

Простота в обслуживании, настройке и поддержке

Легкая интеграция в непрерывные линии

необходимо: 220В-50Гц и водопроводный кран

Гибкость: 220 В -50 Гц и водопроводный кран • Подходит для любых

Подходит для любых материалов

Многопараметрическая настройка (газ, расход газа, мощность)

Непрерывный процесс (не пакетный)

Локальная обработка (пятно <10 мм)

Регулируемая скорость обработки (до 10 м / сек)

Многоцелевое назначение (очистка, обезжиривание, покрытие, активация)

Надежность и качество качество

Плазма электрически нейтральна

Не повреждает поверхности

Равномерность обработки

безопасность, влияние на окружающую среду , влияние на окружающую среду

Не использует воспламеняющиеся газы

Не использует токсичные газы

Не использует растворители и VOC

Не выделяет озон

Соответствует положениям по EMC

Ценовая эффективностьСоответствует положениям по EMC • Не требуются специальные

Не требуются специальные условия

Не требуется дополнительное оборудование

Невысокая стоимость

Низкая эксплуатационная стоимость

(C) 2005 All rights reserved

Rue Jaquet-Droz 1, CP 672, CH-2002 Neuchâtel Tel:+41.32.720 51 63 Fax:+41.32.720 57 35

44

Наш бизнес помогает нашим пользователям в совершенствовании их

Наш бизнес помогает нашим пользователям в совершенствовании их производственных процессов за счет использования передовых достижений технологии атмосферой плазмы.

Свяжитесь с нами!

tel: +7–495-974-14-80 fax: +7-495-974-14-80 email: info@eltm.ru

ЗАО"ЭлекТрейд-М" 121248, Россия, Москва, Кутузовский пр. 7/4, корп. 6, оф. 50 www.eltm.ru