Вы находитесь на странице: 1из 337

-

( )

210000 ,
( )

210200.62
( , )

____
____

2007

1.
2.
3.
4.
5.
6.
7.
8.
9.
10.
11.
12.
13.
14.
15. -
16.
17.
18.
19.
20.
21.
22. -
23. LIGA
24. -
25. -
26.
27.
28.
29.
30. -
31.
32.
33.
34.

3
4
11
20
30
41
48
58
68
76
82
98
114
121
128
135
143
157
165
172
189
201
209
228
242
254
261
267
276
284
295
305
317
325
332
340


- .
, .
, ,
, , , .

, , .
.
, ,
. , , .

, . XX
,
,
,
.
. , , , , , .

( ).

1. ,

1. .


1.1.
1.2.
1.3.
1.4.

1.1. ,

- (), , , .

- .
, .
,
.

-
- , , , .
.
.
.


(. 1.1).

. 1.1.

50. .
.
. ,
, .
. -

, , , .
, .

1.2.

. . :

,
, , ;
( , , - , )
, . - (, ,
). : , , ., ,
, , . -
.
() :
;
, ;
;
;
;

..

-

, , , , .

1.3.
. 50 4
,
.

,

.
, ,
, .
, , , . , ,

. .
, ,
. .

, , . .


. , , .
(),
() . , 1212 I .


, ,
, .
.
.

- : , , ,
.
. , . 4000 2
1. . . . .

1.4.
14.004-83 : , .

. , -

, , . .
. . , . , . , ,
.

(
). . , , .
, .
, ,
.


XX , , ,
.
.
1
1.
2.
3.
4.

?
?
?

?

10

5. ?
6. ?
7. ?
8. ?
9. ?
10. ?

11

2

1. ,
2. .

2.1.
2.2.
2.3.

2.1.
()
.
:
( , ,
),
,
, , ,
.
() - , (
, , , , , ). .
,
. . , , ,
, .

12

, , , .
,
.
, , . , .
, .
, ,
.
.
,
: , - , ,
, . , , .

2.2.
. :
,
,
.
, .

:
: , , ,
.

13

,
.

. 2.1.


.
.
, , , .

.
2.3.


.
. 1000 100 . ,
, , , 1500 .
5 .

14


(. 2.2).

. 2.2.

, , . , , 20 .
.
, .

10.
, ,
.
.
, , .
(. 2.3). 1

15

5 % ,
.

. 2.3.

, (. 2.4). .
,
. . .

16

. 2.4.

.
.
. ,
- , .
, . .
.
. .
. - .
Cu + Cu(NH3)4SO4 2 Cu(NH3)2SO4
.

17

.
.
. (. 2.5).

. 2.5..

.
.
()
: , .
.
, . ,
. : , , .

.

. 2.6.

18

. 1.2.

, , , , .
, .

2
1.
2.
3.
4.
5.

?
?
?
?
?
6. ?
7. ?
8. ?
9. ?
10. ?

19

3


1. ,
3.

3.1.
3.2.
3.3.

3.1.
:
,
(, )
.
, .
. .
2,5 , .
50-70% .

.
(

20

, ) -
.
. (
, , )
- .
, -.

, , .
:
1) ,
- .
2) , , .
. - . , , , .

.

a . , .

(. 3.1), (. 3.2), .

21

. 3.1.

. 3.2.

22


, , , .
, ,
- "" .
; ; , ;
.
, .
( , , , ).

. 3.2.

,
.

23

, ,
, , , , .
, ,
, . , . MILTISEM 440 , , - ( ) ( ). TERMATEC 5 10. , , .
,
.

3.2.
:
;
;
(0,015) ;
, ;
+0,005
0,003 .
0,005
,
.
:

24

( );
( );
;
;
.
(. 3.3).

. 3.3. :
;

(.
3.4):
;
, ;
;
() CNC,
(+0,005) ;

Z ( );
.

25

. 3.4. : / ; 2 ; 3 ; 4 ; 5 ( )


, .

,
, , , ,
,
, .
, ,
, ,
50- (0 0,1...0,3 ) d/H= 1: 10 ,
. .
CNC :
;
;
.

26

. 3.5.

3.3.

, .
: 40...50
; 25 , 50 .
:
(2-);
;
, ;
; .
:
1 . ,
, -

27

.
,
.
2.

.
2-,
. , ,
. , 2- 70 ,
.
250 - 350

( 4 /2)
(
100 /2). , .
LPKF Micro Line Drill, : Nd-YAG- 355 , ; , ,
,
90 .

3
1. ?
2. ?
3.
?
4. ?

28

5. ?
6. ?
7. ?
8. CNC?
9. ?
10. 2 ?

29

4

2.
4.

4.1.
4.2.
4.3.
4.4.

4.1.
() , .
1952 . 1906 . .
,
(AG,
CO, )
.
, ,
.
1925 ., ..
, .
, , ,
.

30

(),
(), (). . .

.
.
. ,
.
, , , . . .

. 4.1.

.
- -

31

.
.
,
.

. ,
, , .
.

.

100 .

. 4.2..


, , , .
, , , -

32

. , .
, .

. 4.3.

:
, , , . , , .
, , 3 20
, .
.

4.2.

, ( 0,5). 1010 . (), ()

33

(v = 0,8 1,2 /) .
4.1

-1-35
-2-35
-1-50
-2-50
-1-35
-2-35
-1-50
-2-50
-1-2
-1

-1-20
-2-20
-1-35
-2-35

-3

35
35
50
50
35
35
50
50
35
35; 50
20
20
35
35
-


,
1,5-2,0-2,5-3,0

0,8-1,0-1,5-2,02,5-3,0

1,0-1,5

(
)

0,25-0,35

0,06-0,07-0,1

0,08-0,15-0,180,27-0,50
0,025-0,060

() , ( 3 ), , , .
, . .
40 60%.

34

0,035 0,18 (35 180 ) .


, :
, (150 300 ), - . ,
, .
,
.
: NaOH .
Na2CuO2, .
,
: 25 75 .

4.3.
:
,
, . ,

.
, , ,
, ,
.

, .

35

4.2.

-1

-2
-1

-2

560580

660610

310320

500515

690700

680690

350360

610-630

720740

750760

380390

690710

770810

800820

460480

730750

450460

720740

, .
,
20 .
650 , .
, , , .
()
.
750 10-12 .
: 8, , 100 20
21013 , 100 1010 .

36

4.4.
()
,
,

, ,
.
:
,
; , ;
, .
.
;
;


(. 4.4). ( 20) . . , -4
. .

37

. 4.4. :
1 , 2 , 3

, ,
(3-).

, (. 4.5).

. 4.5. :
; 2 ; 3 ; 4

:
( 15-); ; .
(. 4.6)
,

38

.

.
, . .

. 4.6. ,

: ;
- .
(. 4.7)

, .
,
.
.
, -

. . .

39

. 4.7. ,

: ; ( 10).
:
; ;
; .
4
1.
2.
3.
4.

?
?
?
?
5. , ?
6. ?
7. ?
8. ?
9.
?
10. .

40

5

2.
4.

5.1.
5.2.
5.3.
5.4.

5.1.
,
.
, , , .
, . . , , .
.

. (, Na3PO4 + ) (, ), . 80 100 0
10 . H2SO4 .


.

41

.
.
Al2O3, .
- ( ) ( ) - Cr6+,
Na2Cr2O7 H2SO4.
OH4 OSO3H .
, .
, , H2SO4 HF, , . KOH 10% Na2CO3. .
.
2 F4.
, , .
, , , .

. .
( ) .
.
, . , . 2050 , -

42

,
.

. :
( ) ( , ). .
(). . H2SO4 .

=-R, R-C2H5,C4H9,C6H13,C8H17. , - 1,5 - 2,0 (). ,
. ,
50 .
22 NH4OH , . (H2O2
320 , NH4OH 80 2).
, 100 .
,
, , , , :
CH3Cl 20 .
CH3Cl 70 .
22.
, (15 ).
N2 Ar 110 (15 ).
.
.
( 1,52 ) .

43


200300 . . . (, ) ( -, Al ).

5.2.
:
;
;
;
.
,
.

5.3.
12
(0,2) .
:
1. ( ) ,
, ; , , , , ; : ,
;
2. () ;
3. , ;
;

44

4. .
,
,
0,5...1,0 .
, ,
. . ,
500 600 ,
(+0,1) , 300 .
,
, ; , ,
.

5.4.
, ,
,
, ,
250...300 .
:
1. - (
4 /2)
, , .
. . ,
-,
, ;
2. (-

45

) ,
.
- ,
20 .
.
:
;
;
20 ,
100 . -, ;

-

2
50...200 / ,
, . ,
,
;


;
,
, 15 .

. , , - ,
, , -

46

, , ,
. -941 979,
2 100-120 . -918 - , .
5
1. ?
2.
?
3. .
4.
?
5. ?
6. ?
7. .
8. .
9.
?
10. .

47

6
2.
4.

6.1.
6.2.
6.3.
6.4.
6.5.


6.1.
, .
( ) , , ,

(. 6.1).
, , , .
, .
: ; -

48

; ( ).

. 6.1. :
1 ; 2 ; 3

6.2.
, ,
: , , , ,
,
1,52 .
(), (, , - )
, , , -2 -5,
. ,
, .
40...50 ; , , . (, -901).

, .

49

( 20 . ),
( 10 . ) ( 5 .).

6.3.

.

(, (610-028-029),
- ), ( .
, , , , ) [58].
-901,
- (. ).
, , (2901-0670) .
, ( 600 ), . - (615-146784), , , . (5%- -),
, 3...5 3000...3500 . .
- (40 /), 34 ( 0,2
), . , , -4. -

50


20 40 .
, , . , ,
, , , , , , ,
, . 620
650 , 1000 /.

, , - ,
-.

3...5)%- = 40...60 10...20 .

, .
()
, .
( ), .
, "" ( 20, 30, 40 , 100 ).
, , , .
.
40-45 15-20 .
-
90 1000 50-60 . 2-3 .

51

, ,
.
-
. ( -). :
, 20, 40, 60;
, 100;
, . 5000;
, , -10;
; %, 5;
, / - 500;
, , , , -, .3.12,
.3.13, .3.5, -, ;
,
, ,
.

6.4.
1, "-". , "-", , . , -1 , .
. 60 ,
(, ).
, .
.

52

, , . , .
.
. -80 , .
150-350 . 1-3,5 ( ).
, .
, (-).

. , .
.
"-2"
.
.3.5, .3.12, .3.13, .3.19.
6 60
40 .
, . . .
, ,
.

. , , - , , , , , , .

53

-941 979,
2 100-120 . -918 -
,
.
-918
15 - - 10
200-450 . ,
, , 4 . ( - ) . 15 - 25
0,25 . - -61 260 10, 5
-60 +125 ( 30
).
1 . , . . , -918, 15 135 ,
. " "
() "" ().
,
,
- 40-50 , - 15.
. ,
, , , .

54

6.5.
- . , , 30 , 20
. .3.19 , . - "Hollmuller" (), Coats () .
, . , , ,
. ,
,

.
-
. -. , , 40-45
20 , 2 ,
"-".
, .

,

.
,
, . -

55

(,
).
, , -
,
.
,
"". - ,
: ,
, , , "-" . , .



, , , .
.
6
1.
?
2. ?
3. ?
4. ?
5. .
6. .
7. - - .
8. ?
9. ?
10.
?

56

7

2.
4.


7.1.
7.2.
7.3.
7.4.

7.1.
,

.

,
, ()
().
10 30 .
. ,
, .
,
. ,
.

57

, .
:
, ;
, ;
.
,
, , .

7.2.

, .
:

60%
,
.
,
( Sn Pb Au)
-


. 7.1.

58

.7.1.


, (. 7.2),
. , .. 2
.

59

.7.2.

,
,
. . . .. . .
5 . -

60


. ,
( ), . . , .
2 . .

, . Cu ,
.

7.3.
,

.
:
, ..




,
.
,
, ,

(, , ).
( 3 4
, ) . 2 :

61

, 0,010
(pH, t, ). :
;
;
;

;
;
( ).

5
, . - , . SnCl2 PbCl2
,

Cu .
.

62

7.4.
() .
, .. .
:
;

;
;
, ,
, ,
, ,
, ;
.

63

,
( ).

. .
, ,
, . ,

, . ,

.
.
,
. ,
3- ,
.
( ). ,
.
,
.
,
. , ,
. . . .

,
. -

64

. ,
.

.

.7.3.

.

. Al2O3 BeO.
, ,
.

, ..
1 , ,
.
7
1.
?
2. , , ? ?
3. ?
4. ,
?

65

5. ?
6.
?
7. .
8. ?
9. ?
10. ?

66

2.
4.

8.1.
8.2.
8.3.
8.4.
8.5.

8.1.


, . Cr , (NH4)2Cr2O7 , K2Cr2O7.
, , ():

+(NH4)2Cr2O7 (8-10%)
() . -

67

Cr3+ . 24 .
, , .
( ), .
H2CrO4, .

500 /. . .

,
. .
KFR Kodak Photo Resist. - .

8.2.
. , .
J+hR10+ R20 ; R0+MRM0 . .

. ,
.

68

8.2.
, N=N,
. ,
, NH4OH, Na3PO4.

( )
, . .
115 120 0 1- 2 . .
350 400 /, 50 /. , , ,
.

8.4.
:




, 80%
. :

69

;
.
(30 40 0 30 ), , .
. CrO3,
.
KNO2 NaNO3 2050, ,
, ,
, .. ,
.
:
;
;
(250 ).

8.5.
. , .
.
.
,
.
.
,
,
- .
:
- -2, --1, -, - - -2, -, .
.
1989 . . ,

70

-
"" - (--), ( ), (),
(), (), (6). 8.1.
8.1


,
,
/3
,
,

--

75,100,110

5,50

60

90

80

30

10...40

60

80

150...200

100

50

100

50

100

12

20,40,60 20,40,60

20,40,60


, "" ( - ),
"" (), "" (), "-" () . , . 23 , .

.
,

71

, , ,
, , , ( --). .
, , --
, ,
. ,
--, -
, .
-- -
. -3-
,
,
, .
, ,
, II 1
1152 .
3 ,
.
, . . ,
-. , -, . , , .
, . 2 %- Na2CO3.
-- 38-40 , -

72

, . , 1,5-3 /.
, , . (
, ,
" " .)
-- - - . - 5-7 /2. 130-150/ 1-2 . - .
.
, :
1) ;
2) , ,
;
3) ;
4) , .
,
.
.
, , 50-70 . , , , - ,

73

, ,
.
8
1. ?
2. .
3. ?
4. ?
5. .
6.
7.
8.
9.
10. .

74

9

2.
4.

9.1.
9.2.
9.3.
9.4.

9.1.
.

.
:
;
, (. .
);

;
;
;
(
).
.
, -

75

. .
,
.
.
,
, . , .

, .
, ,
.
.
, , , , Cu2+ .
.
10-50 /.
, , . , , . ,
F=H/l
F 2-4.
: ,
, , Ag, Hg, Pt, Pd, Au, , (, , .), , .

76

,
, , .

9.2.
:
;
Cu ;
.
:

;
.
: , , 4 /2 .
.
.
,
.
. , . .
. .

, , , , ,
.

, .
,
Cl- ,
H2SO4.

77

9.2.
.
FeCl3, H2O2,
HcrO3, CuCl2, (NH4)2S2O6 NaCl.

FeCl3 ( 1,36 1,42 /2). ,
, , . :
2 FeCl3 + Cu CuCl2 + 2 FeCl2.
40 /, Cu 5-6 /. pH
, .
, FeCl3
, .
Cu + (NH4)2S2O8 CuSO4 + (NH4)2SO4
.
, . ,
.

,
FeCl3, , . .
Cu :
Cu + CuCl2 2CuCl2

CuCl2 + FeCl3.

78

Cu H2O2 :
Cu + H2O2 CuO + H2O
CuO + H2SO4 CuSO4+ H2O.
CuSO4 , .

(CuCl2).
Cu + H2O2 CuO + H2O
CuO + 2HCl CuCl2 + H2O.

, Au, Sn-Ni, Sn-Pb.
, , . Cu :
3Cu + 2CrO42 - + 16H+ 2Cr3 + + 3Cu2 + + 8H2O.
, , , .

9.4.

. . , . ,
,
CuSO4.
, . .

79

, .
(Sn-Pb)
, , 18 25
3 5 HCl + + .
:
t=20-60oC, V=25-35 /
FeCl3 + HCl,
(NH4)2S2O6 + H2SO4 + CuSO4, t=40-50oC, V=10-20 /
CuCl2 + HCl, t=25-40oC, pH=0,4-0,6, V=20-25 /
CuCl2 + H2O2 + H2SO4 + NH4Cl, t=25-40oC, pH=8-10, V=20-25 /.

9
1. ?
2. ?
3. ?
4. ?
5. ?
6. ?
7. ?
8. ?
9. ?

80

10

2.
5.

10.1.
10.2.
10.3.
10.4.




10.1.


, .
.
1837 . . :
Mn+ + ne- = M0

( ).

:
M0 = Mn+ + ne-.
.

81

, , , .
, .
, , . ,
.

.
- , ,
, .

10.1.
1865 . .. , - .
, ,
, . ,
.


, . ( +) , ( -) - .
.
KCl == K+ + ClBaCl2 == Ba2+ + 2 Cl-.

82


: (+) , (-) - . ,
,
.

(. 10.1).

. 10.1. .

: , ; ,
; ,

,
. - ,
,
:
Cu2+ + 2e = Cu
- , ,
. ( ), :
Zn - 2e = Zn2+

83

, Pt,
, .

.
, ,

. , - .

. 10.2.

, . () 1 .
. - , - , ,
. ,

.
. (, - ). (Zn/ZnSO4, Cu/CuSO4).
,
1, ,
. ,

84

, (, ).
.
,
, , ,
.

Na -2.71
Ca -2.50
Mg -1.55
Mn -1.0

Zn -0.70
Cr -0.60
Fe -0.43
Cd -0.40

Te -0.33
Co -0.29
Ni -0.22
Pb -0.12

Sn
H
Sb
Bi

-0.10
0.00
+0.10
+0.20

As +0.30
Cu +0.34
Ag +0.80
Au +1.50

, , - . , - -
.

, - ,
.
, ,
.
, .
.
, .
,
. , HCl + 5
, Cl-. ,

- ,
,

= Ii / I

85

, . Na, K, Rb, Cs, . , Al, Zn,Cd, . ,


, . , , , .
,
.

. .

10.3.
, , . . -,
.
, . , , .
, ,
, . , , , .

86

, - .

- .

.
, . . . .
, .
( ),
(, , ) . .
, .
, . ,
, ,
, .
.
, . -

87



= - .
. , , . ,
, , , ( IR)
= + IR + .
, , ,
, . ,
, .
, , .
. .
, , . , , . , . ,
, . , . .
, .

88

,
.

10.4.
, ( 15%).
.
, .
4 .
(0.1-0.2 ) . ( ) .
,
,
.
.
.
, , . ,
. ,
- . ,
.
( ). .
. Cu, Ni,
Co ,
Sb, Pb ,

89

. .
W .
. :
1. : Hg, Cu, Zn, Cd, Ag,Bi. Hg
, Cu, Zn, Cd, Ag, Bi ,
. - . , (Hg)
(Ag, Tl, Pb, Cd, Sn), .
,
. Bi, Cu, Zn
.
2. , Fe, . Fe Pt , Cr
Mn , . .

. (
),
. ,
- .
(), ,
.
. ().
- . , , , : KCN Ag Cu, Zn, Au KAg(CN)2, (SnCl2 ).

90


,
Zn, Cd, Fe, Ni, Cu), .
, . ( 1 3 )
: - , - .
0.01 -/, - 0.001 -/.

,
,
.
.
, , ,
.

,
. , , . -,
, .
,
, .
.
.
. , . ,

91

+ .
0.002-0.02 /2 .
. .

. . ,
.
.
,
- .
,
, .
. , . - . , 500 .
. 10:1 - 20:1.
, .
, . , , ,
, .
, , -

92

.
, .
. (
150 ) .
3-5 , .
, :
1. (
). .
2.
, . , , . 7- .
.
, 2 .
5-8 .
, .
,
, . .

. 10.3.

93

, ,
,
, .
, .
. .
, .

10.4.


-8, ,
. .
, : ; ; ;
.
-, , , ,
, , -
, . - ,
.
. . . .

.
, - .
, ,

94

.
. 50
/. ,
, .
0.6 0.8 .

. - , .
10
1. ?
2. ?
3. ?
4. ?
5. ?
6. ?
7. ?
8.
?
9. ?

95

11

2.
5.

11.1.
11.2.
11.3.
11.4.
11.5.

11.1.


- . , , . .
, , , (, , , , , .), -
, . , NiP, ,

, . ,
, .

96

,
, . (, ), , .
11.3.
( ). 1844 . . ,
1946-47 . P , .
, (Fe, Ni, Co, l, Pd).
,
(, , , W, i .), . , .

. 10% (SnCl2), Sn(OH)Cl, .
- (PdCl2 1
/) - Pd.
d, , ,
Ni.
. , 2 2% NaOH, .
10% SnCl2 HCl:H2O = 1:1 20 - 30 .
PdCl2 0,5-1 /, pH=2-3, 10-20 .
.

97


:
SnCl2 + H2O = Sn(OH)Cl + HCl
SnCl2 90-95 0,
.
PdCl2 H2PdCl4. :
Sn(OH)Cl + H2PdCl4 + HCl = Pd + H2SnCl6 + H2O
Pd2+ + 2e = Pd0+
Sn2+ 2e = Sn4+
PdCl2,
,
. .

, Fe, 1. Ni, .
(, .) , .
, , 3 :
NiCl2 + 2 NaH2PO2 +2 H2O = Ni + 2 Na2PO3 + H2 + 2 HCl
2 NaH2PO2 = 2 NaH2PO3 + P + NaOH + H2
2 NaH2PO2 + H2O = NaH2PO3 + H2

98

-
:
N12+ + 2 = N10
2+ - 2 = 2 0
. .

.
1. , .
2. . , :

:
NaH2PO2 + H2O = NaH2PO3 + 2 H(a),
, :
NICl2 + 2 = Ni + 2 HC1.
,
.
3. ' H2PO2 .
.
4. -, :
H2PO2- + H2O = 32- + 2 + + H-

99

N12- + 2 - = N10 + 2.
5. .

-, . - . , .

11.3.

, 1 2 .
0,5-0,6. : 27 / NICl2 60 / NaH2PO2.
,
.
, -. , S V. S
,
:
= (QC 0 + Qp) / Q ,
: QC 0 Qp - , 0 ; Q- , .
S/V = 0,5-1.0 2/.

100

,
.

50 .
, 98-99
0
. 102-1030
60 /.
4 5,5 8 10.
5,5 8 .
, , (H3COONa) (, , , ),
. 10-20 /
2-3 , 25 40 %. , 30 / , , 3N 30 / .
, ,
.
- , , , , , . - 10-6 /. 5060% .
,
- , - , , .
[C6H6O72- ] [Ni2+] = 1.
, . ,
(Cd, Pb, KCNS). , Fe, Ca, Mg
.

101

, , , o, Zn, Cd.
4 6,5 (, ).
6
.
30 2%- -. 3-4
.
, 22 .
, , 10-20 /, ( )
15 /, , .
7 9
, Al, Ni, Mg, ,
(Ni-Co-P, Co, W-P .). 18-20 / ( 24 ).

80 % . ,
. ,
. .
,
. . :
: (NH4)2SO - 50 /, NiS04 - 25 /, - 15 /, NaH24 25 /, - 5 /, 25% NH4OH 9-10. 99-100 ? 1-2 2/. 55-60 /.

11.4.

102

,
-, , .
, , , . , - , ,
, . , , , . : ,
, , , , .

. ,
, , . - , . . ,
( , , , .), , , .
, . -
.

, .
,
.
. (, ,
) . :
, , , . ,
(-7, -10).
150-180 / 30-50 / .
1, Zn, Pb, Sn , (Na23, K2CO3, KCN, Na3PO4) 100-150 /. , -

103

, (9-10 /).
.

. ,
. , , , , , ,
. .

HCl .
( , , ) , .
. .
,
(, .).
.
: 20-25%, 15-25%.
15 60 0 10-15 .
, , , ,
.
, .
.
-7, -10, , , , , ,
-10. , .
. .
.

104


.
- . 0,5 5
. ,
, .
5 10% HCl, 5 10% H2SO4 , 3% HNO3 2% H2SO4 , Zn, Al 3 5% NaOH.
15 20%
HCl 1-2 . .

-
, N, 23,
K2Cr2O7.
. , ,
.
H2S04 250 /, HNO3 250 /, NaNO2 212 /
20-40 0. 1-3 . , 110120 0. , (), 15-20 0 5-6 .
().
.
.
, . :
,
- .
, , , . .

105

11.5.
,
, .
:
1 ;
2 ;
3 ;
4 ;
5 ;
6 ;
7 .
, ,
, , . , . .
.
-88, 1:1, .
, .

. ( ) , 8-10 /, (. 11.1). ,
, .
4-5 2/. ( 10
).

106

. 11.1.

. , (.11.1).
( 8500 ) 1 55-65, 2 3. 5.
. 6, .
( 270 /) .

3
2

5
4

.11.2.

107


, , ,
. , ,
.

10- NaOH 3Na. Ni()2 . , , 4-5
1 70-80 0, 7080% . , Na2[Fe()(3)2] 2 H2O - ,
. .
. () ,
. - ,
.
4 +4NaOH + 32 = 2NaH2PO2 + N3 + 3 + H2O + Na3P04
: - 1000 /,
NaOH - 200 /, 1, 100 0, , 230 / 100 /
. 10 /,
3 3OONa 10 /. Ni 20-30 /, 5-5.5 .

4-
5-15 /, =2
100 0 40-60 .
(3) .

108

11.6.
, , ( ).
,
. Ag, Au, Pd,
Pt, Ir, Ro, Os,
, .
1 3-5
(). :
2 + = + 3
, 60 /;
11. , :
+ = +2
uS04 + 2 = u + 2SO4.

. , , ,
, .
, , , .
,
- (-10, -15, -15, -18
.).

( , )
PdCl2.

,

109

1/. .
, 40 . 20-30 , .

(/):
CuS04 - 20, 35, NaOH 26, NiC1 2? - 6 12,
.
CuS04 30, NaOH 42, 3 25, 140, - 167 /. - 15-20 .
10-30% , (/): uS04 - 8, NaOH 20, ZnCl2 - 4, 20,
- 80, - 20. 300
5000.
:
, NaHCO3. NaOH , N . . . .
11
1. ?
2. ?
3.
?
4. ?
5. ?
6. ?
7. ?
8. ?
9. ?

110

12

3.
6. -

12.1.
12.2.
12.3.
12.4.
12.5.

12.1.
. . .
() . .
, . . -
.
, , , , , . .

111

,
, .

,
.

12.2.

16 100 . . 0,5 5 . / 500
, , . 5 .
,
.
, .

.
.
. . ,
.
()
, , .
: , , , ,
.
, .

112

. 12.1.


(. 12.1).
, . ,
2,5 ,
.
.
, .

( ). .
.
:
. . , .
.
6000 .

113

12.3.

.
, . .
,
. ,
.
, .
,
, . : )
, ) , ) , ) , ) .
2
2,5 . .
. , .
. ,
10 , .

12.4.

, .
, .
(18 24 . /)
, .

114

5 7 , . .
.
(
1-1800 Northeastern ),
, (, .)
, ,
, - .
50 Dyna/Pert ()
500 . . . . , ,
.
(. 12.2), . , ( . ),
.

, , , . , , .
. .
0,025 .

115

. 12.2.

. .
(20 40).
. . ,
. U .

12.5.

.
(20 30 ).
, ,
.

116


, .
.
. -
.
, .
,
,
.
.
12
?
?
?

?
5. ?
6.
?
7.
?
8.
?
9. , ?
10. ?
1.
2.
3.
4.

117

13

3.
6. -

13.1.
13.2.
13.3.
13.4.

13.1.

2-3 , 260 .
( 1
2) :
(
Au, Cu, , Al, Pd, Ni);
(25 100 ) (>700 2);
(, , , , )
(t = 150 300 C, t ~ 0,5 10 c, p= 108 /2);
;
(25 ).
4 :
1. :
) < 450 0
) > 450 0
2. :

118

) : (, , );
) : ( , ).
3. , :
) : (, , );
) .
4. :
) .

, . -
, ,
, . : , ,
, .

, , .
. , , . : , - , , .
, ,
,
. - .
,
.
.. . , ,
, ..

119

- , .
50 80 % - . :
;
;
;

(t, p, );
;
, ;
;
.

13.2.
, ,
, , , .
-.
.
, , c .
. .
(), .

120


. 13.1.

. 13.1.

(1) (2), (3) (4) (5), (6), (7), (8) (9).


50 / .
( 1.5 3 / ), (5 10 .
/ , ( 20 . / ).

2.249.020, , ,
-61 . 18 50 .
900 / .
, . .
.
1.139.001.

50% .

13.3.
-

121

, ,
. -
. LOCOS.
. , . ,

( ), . .
. -
. , .
.

. , . +

, -
. 1 .
,
,
.

13.4.
: , , , , , . . (. 13.2) 2
, .

122

. 13.2.

(, , ),
.
.
. ,
.

. , .

(. 13.3). , (. 13.3).
, .

123

. 13.3.

t = 80 100 ,
120 150 .
-,
.
-, .
13
1.
2.
3.
4.
5.
6.
7.
8.

?
?
?
.
.
?
?

?
9. ?

124

14

3.
6. -

14.1.
14.2.
14.3.

14.1.

. .
, . , .
:
1) .
2) .
3) .
4) .

. 230 610 .
(. 14.1):
1 ;
2 ;

125

3 ;
4 ;
5 ;
6 ;
7 ;
8 ;
9 ;
10 .

. 14.1.

(1 5 , 1000 5000 / ) .
, 50 1 2 .
43-
20 22 - - .
. ,
. .

14.2.
-

126

.
: ,
2- ; , ,
; ,
; ,
.

, . . 60 .
, ,

. Microplacer MTI ()
. Universal ().
, , .
3- . , . , , , . . (2 )
, .
,
(. 14.2, ), (. 14.2, )
(. 14.2, ).

127

. 14.2.

, . , .
. , (), -.

14.3.
.

, ,
, , . , , , . ,
:
;
- (, , );
, , , .
:

128

;
;
;
;
;
.

:
1. ,
2. , :
) ,
) ,
) ,
) .
30 100 0
. .
4 18 ,
25 60 , 50 120 .
(25 55%) (1,5 3 .), (9 10 .),
(15 .).
:
1. ,
2. ,
,
3. ,
(),
4. , , Pb Ba , .
Cu .

, , 2 -

129

700-1000 , .
Ni 1500 , Ni
100 2000 .
MXH1- 4, Cu-N,
- u.
.
-61 280 10 0C, 1-3 .
.
, .
:
) ,
) ,
) .

.
14
1.
?
2. ?
3. ?
4. ?
5. ?
6. ?
7. ?
8. ? ?
9. ?
10.
?

130

15
-
3.
6. -

15.1.
15.2.
15.3.
15.4.

:
1. ,
2. ,
3. ,
4. .

15.1.
, , ,
, . , , ,
.
. , ..
.
(, , , CCl4, ) -

131

, , , .
- , .
.
. ,
. .
, . . Cu 3 5 , Ag 10 15
.
, . 61,
, Ag, Au, Pb ,
. Al
. , ,
.
, , , .
2 :
1. ( , , ),
2. .
, .

5 - 6 .
4 :
1.
2.
3.

Sn, Au, Ag, Cu ,


, , Ni, Zn, ,
,Mg, Al, Fe, Mo .

132

4.

, , , -

15.2.
.
.
, , , - ..
. ,
,
.
.
.
,
,
. , .
:
(N2, Ar, He, ), ,
(H2, CO, H2+N2) , .
,
, (,
, ), - . , ,
, . ,
(Cd, Mg, Jn, Zn .),
.
-, ,
. , . ,

133

,
.
. , , . (Zn, K), ,
.

15.3.
, (. 15.1), , .
100 ,
.
, 3- :
1 ();
2 ;
3 .

. 15.1.

(15.1)
(15.1) .15.1 , , . ,
.

134

Aa Ak
.
K = Aa Ak, ( )

(15.2)

. , , . , , , . , , .
, . ,
, .

. 15.2.


, .
:

. , 0.9 1.2 .

135

. 15.3.

15.4.
( ) (. 15.4), . . . , , , ,
( 20,5 ) ( 0,4 0,3 ),
(0,2 0,1 ).

. 15.4.

136


.

, .. , :

r ; b, n ; h .

2,3 ; ; g
; - .

15
1.
2.
3.
4.
5.

?
?
?
?

?
6. ?
7. ?
8. ?
9.
?
10. 10)

137

16.

3.
6. -

16.1.
16.2.
16.3.
16.4.


: , , .

16.1.
, ,
, .
- . .
:
1.
(-9,-56),
2. ,
(, , .).
,
,
.
. -

138

, 2 3,5 % (, ) ,
, .
16.1
,

,%

100

30-40
70-60

10-60
90-40
10-40
89,95-59,9
05-0,1

120

20-25
76-68
3-5
1-2

94-96
4-6

79-81
-1

16-17
1,8-4,9
0,1-0,2

.
83125C.
12292, -

139

. .
. , , ,
ZiCl2, NH2Cl, .
, ,
, , .

16.2.

, . , .
, , - . - (, = 450 C).
Sn Pb. :
Ag Sb () ,
Bi Cd . Ag ,
. Sb , .
, , .. Pb 20 Sn.
,
, -
. :
,
,
(), . , , .
16.2 , .

140

16.2
, .

,
%

-40

40
60

-61

61
39

50-18

2,5

,
,
, ,

.,
0

238

,
,

183


, , ,

,

50
32
18

142

25
25
50

94

2,5
5
92,5

,
, ,

295

, ,
, , ..
.

( 5 2,5) ,
( ) , , , . . ,
.

141

16.3.
16.3.
16.3

,
0

20

0,5-1,5


(
,
)

20

0,5
0,25

-120


(9:1)

-1-


(1:1)

70

5-10

20

1,5-2


.
. (60-800
) .

() ; - (1:1),
,
, , ,

142

. , ,
, , ,
.

16.4. -
()
,

. , , .
.
, -
,
. ,
1999 . . Blaubeuren ().
.
, ,
- , - , - , - .

. , , . ,
. -

. ( 7%) 199 . - .
. - . .16.4.
16.4

143

, Sn-In

9 c .

. ,
, -,
. 0,04 . -
. 16.5. 120 190.

144

16.5

50. I , , 15
20 , . , .
, . 1 . 38
20 .

145

10 120 10 .
250
10
.
400 20
.
,
. , .
50
16.1.

. 16.1. 1 50 , :
1 160, 2 190, 3 220

5 160 . 160
. 190
.

146

50 160
.

50. 0,5 . . .
11 , 7-8 . , ..
1 .


, .
.
, . 50
100 (. 16.2). .
() .
,
, , .

147

. 16.2. 1
50

3 (
8 ). ,
50 . 16.3
.

.16.3. 50
( 24 - ).

, 50 . -

148

, 50, 16.4.

. 16.4. 50:
) , ) 100 -60 +100

,
-60 +100 100 .
, .
. , , , .
, ,
. .

,
0,5 . 3
. 3 .
50
160-170 . ,
3 18 .

-8.

149

50 ,
.
, , .
50
.16.5.
16.5
50


1
2
3
4
5
6

,
8
7,6
9
8
8
8


,
3
4
3,6
3,6
3
2


, -,
.
, 50. 50 , , , . u - In u - Sn . ,
.
16
1.
2.
3.
4.

?
?
?
?

150

5.
6.
7.
8.

?
?
?
, ?
9. ?
10. ?

151

17

3.
6. -

17.1.
17.2.
17.3.
17.3.1.

17.3.2.

17.3.3.

17.1.
,
:
1. :
) ;
) ;
) ;
) ;
) ;
2. :
) ;
) .
3. :
) ;
) ;
) ;
) .

152

:
;
.
2 4 0,4 0,6 . .
,
(, ),
.
.
, , , .

5 70
50 200 0.5 1 .
,
5, . ,
.
. 10 .
.
, .
, .
( Ni 0,2 + 0,2 ) , .

.

153

,
.

17.2.

, :
) - ;
)
;
) , .. ,
,
.
,
.
.

.

.
(. 17.1).
3 : , ( ) .
Va .
( ) .

.

154

. 17.1.

V ,
. Vb
Vk . ,
V. ,
.
- ,
1 . .
,

, -,
.
. 70 90. , . 0,6
3 / .

.
, . .

155

- .

, .
,
. .
- Electrovert ().
-
- , .
1,2/.
99%.
, ,
.

17.3.
,
:
;
;
.
, - , . , , , , .
17.3.4.

156

, , . , , ,
. , , .
.
/
17.3.5.

. . ,
1 5 .
(1 2,5 ) , , .

(), (, , ). 0,3 0,5 / . .
, ,
.
2 :
, . - .
.
17.3.6.

. -

157

; , (10-3 10-2 ) ;
(0,03 0,25 ) 0,01 ; (
1012 / 2);
.
() , .
, = 1,06 . . , . 10 45 500,
. , (0,2 0,6 ),
Cu2Sn,
, .
2 , ( ) ,
.
, .
, - , .

.
() , . ( ) . -

158

. 50 150 .
17
1. ?
2. ?
3. ?
4. ?
5. ?
6. - ?
7. ?
8. ?
9. ?
10. ?

159

18

3.
7. -

18.1.
18.2.
18.3.
18.4.

18.1. -
4 :
1. .
2. .
3. .
4. .
1 10 100,
-- .

, .

. ,
.
, .
2
. - -

160

, . - ,
, . . , . 43 ,
.
.
. , .

,
. ,
. ,
(
- ).
, ,
. . ( ,
)
. , .
.

16.2.
- 22, 44, 66 88

161

. 43-
30 50% , .

. ,
,
.

, .
. 0,5 20 / .
. -
(. 18.1): 1 , 2 , 3 , 4 , 5 -, 6
.

. 18.1. 43-

3- , , :

, 43-

162

. , .
. - ,
.

18.3.
- , . ( ). ( ) .
.

. 250 450.

. 18.2.


.
:
(. 18.2) .
(.18.3)

- ,
.

163

. 18.3.

,
, , . , ( , ).

,
( ).
, .
. 0,5
1,5 , t0 = 300 600 , p = 80 200 . 43- 1,5 2 (15 50 ) .
() ,
. Cu, Ag, Au, Al, Ni 0,03 0,5 .
.
W
Mo 2- , 0,02 0,25
. .

164

, (0,2 1,5 ). - 0,02 0,3 ,


.
.
- , ,
Au Ni. . , .

18.4.

. ()
.
: (N ) ( 350), (N )
(T = 144 ), Ag(N ) (T = 300 ), ,
CuN (T = 215 C), CuC (T = 280 ), Ag C (T = 200 ),
Ag N (T = 155 ) .
() 2000 5500 / . , .
,
.
.
18
1. - , ?
2. ?
3. 3-, ?
4. , ?
5. ?
6. ?
7. ?

165

8. ?
9. ?

166

19

3.
7. -

19.1.
19.2.
19.3.
19.4.

19.1.
.
, , t0 , .
. :
1. (0.5; 0.8; 10; 15) 15,
20 - ( ,
t0 = 600 650 ).
2. (25, 30, 35, 40) (14, 14,
252, 35) - 200
300 .
3. (35, 40, 45) (182,
14, 10)
900 .
4. (50, 55, 60, 70, 80) - (35, 30, 125).
Mn, Si, Ni, Cr, Mo, V.

167

19.2.
, , . 400
Cu, , . . Cu
, (. 19.1).
, t
.
. ,
.
: , ,
, - , , . , .

. 19.1.

, : Ni (), , . .
:

168

1.
();
2.
;
3.
.
.
- Al, Ti
.
. . .
, .
.
( 1) .
:

, S , h - .
t
. , ,
( 5 20 ) ( 5 20 ).

,
. . , .

19.3.

, . Al

169

, 200 400 .
70- 80 % , .
90 %
. , .
,
.

, , . :
1) ;
2) - ,
;
3) .
,
. ,

.

, ,
, . , , ,
, , - . ,
, , .

170


, .
,
.
-
, , .
,
, . , , , .
.
,
, .
, . , l - Ni () 0,005 0,007
, ..
.
, .
, Al Ni, ,
.

: 1 ,
1 3 ; 2 ,
3 6 . -

171

0935,
.
. 100
.

.
.
(. 19.2, , ).
.
, (. 19.2, ), Al-Ni (2 4)*10-2 ,
(. . 19.2, ).
- ,
, .
, . .

172

. 19. 2. , , : ; ;
;


, , , , , , -2,5.
AK09IIM35
. 50 .

,
().
2-22. -

173

, -1. 0,15 1 .

- -5827 . - (), - .
19.1 .
19.1
E,
I
,

E, B
-0.35
-0.39
-0.41

,
49
45
41

I,
/2
2
7
11

Al - (Ni + P)
Al - (Ni +Jn)
Al - (Ni + B)
Al - Ni

-0.44

28

17

Al - Au

-0.32

0.5

39

, . (2 ) ,
2 4 %- ( ).
. 17 / 2, 39 / 2.
. ,
, .
.

174

Al - Ni
350 10 12 .
401.14-3 5 , AK09I IM30.
-2,5 , .
100 .

-3. Al - Ni .
. 19.3. 19.3 2*10-2 .
. .

0,3 0,3 32-200 . : 2 = 170 1 = 300 .
.
, .. , 10 , , 20 . 09135 71
24 , .

175

. 19.3.
Al - Ni: a - ; - 350
12

250 125
0,5 . .
,
.
. -8.
(.19.4),
Al - Ni 250 .
, ,
, , . ,
.
, ,
, -

176

,
.

. 19.4. l - Ni
(1) (2),

, . , .

,
.
-


. , (42). 3 5 . - 0,7 1,2 %.
300 500 15 60 .
0935 -2,5.
.

177


12-0,05/100-1 45 .
100 .
(.19.5),
Ni+l%B 300
90 .

. 19.5. () () -
, :
1 300; 2 400; 3 450; 4 500

400 , 450 500


( 15 ),
( 15 30 ), . , 450 500 30 ,
("") ,
. -

178

6 20 %.
( ,
, ) "".
- 250
300 - , 300 , 5,5 % 500 , ,
. 45 60
500 , .. , .
.
, , Ni+l%
400 60 450
500 30 . , .

19.4.

() , .
,
. 300 330
4060, 4060
, .
()
- ,
.

179

4060 ,
(200 240 ).
1482 1484 Kulicke and
Sofa.
- 4060:
,
(). aao 1
6 A. Pa, ,
. ,
,
- .
230 250 .
, ,
.
230 250 .
,
. , , (
), . ( Motorolla Gold Star
, ,
, 10 30
25 .)

, S-

180

806 (Hitachi). :

k = (d-h) / d,
d ; h .
, 4060 65 70
.

(65 70 ) . 90 95 . 1484 Kulicke and Sofa 60 65
.
() 4060, 4060

.
,
, (205 235
, 300 340 ), , ,
, . (-
32 45
.).
, ( 60 )
27 , .. .
,
.
.19.6 19.7 ,
.

181

. 19.6. , : 4060 ; 4060 ;


1484 Kulicke and Sofa

. 19.7. , :
; ;

,
, .
25 -60
+150 C. ,
: .
.
. 340 345 60 65
, .
,

182

240 , .
19
1. ?
2. ?
3. ?
4. ?
5. ?
6. ?
7. ?
8. ?
9. ?
10. ?
11. ?
12. ?
13. , ?
14. ?
15. ?

183

20

4. -
8.

20.1.
20.2. - -
20.3.

20.1.
1999 .,
-
100 . 1999-2003 . , , ( LK > 0). ITRS 2003 . - 10
2015 . 7 2018 .
5-108-109 1/2, 10-20 2 50-100 /2 10-40 .
() . , (,
) . 20.1.

13% .
,
(). 2010 . 30 2-3 .

184

, .

. 20.1.
( ): , .


, .

. ,
. ,
, , , . .
.
- .

20.2. - -

185

,
- , , ,
. , . , , . , . ,
, .
,
.
. . ,
: (),
- (), (). , ( ). - .
. ().
- , . . (), ( ). .
, , , , .
. 20.2 .

186

. 20.2. (), -
(); -
; ()
() in situ (): 1 - ; 2 - ; 3 ; 4, 5- ; 6 HS-; 7 - ZnS.

,
,
(, ),
-
,
(, . .).
, , .
,

187

, .

,
. , ,
.
12, -1. , in situ
.


NF3 H2 1200 .
-. 103 , , 10-4 . 10
473 . - . in situ ()
0,1 .
() .
- 115-200 0,15 035-0,40 . .
- . -

188

,
, , . -, . . (). 0,35 .

20.3.

, , . () , , , , , .
, , , : - , , .

,
.
,
, , , , , ,
.

.

() (), "-

189

" . .
.
.
.
,
( ), . ,
.
,
,
.
, - , , ?
- , (probe), ; ( ,
proximity probe
). ,
, ( , ). , , (), . -, . -,
, , ( )
, , , .

190

, .
- ()
(Russel EX Young), (Gerd . Binnig)
(Heinrich Rohrer).
1965 .

.
, . , Topografiher,
1971 . 0,3 .
1982 . , (), .
.
1986 . .
, ,
(.20.3,,). , .
,
. , . ,
,
--,
, , , ,
,

191

.20.3. : ; .

. - , ,
, ,
, 300
.
.
, , .
, , , , , .

-, - , .
, . .
.
, , , : , , .

192

, . , , , , , . , ,

, , . ( )
. . ,
, , , ,
.
-

, . . , 5-10 , . .
, ,
.

193

.20.4. / , .

, .

,
. . 20.5
Millipede . 3x3 1024 .
. ,
.

. 20.5. / , millipede .

194

. 20.6 .
.

, , , , . . 20.6
30-40%.

195

21
4. -
8.

21.1.
21.2.
21.3.
21.4.


. . , , , .
, , ,
. . -20,
. , ( ),
(.21.1.).
, 6 0,5 ,
()
1 , 20 , 1 240 .

196

. 21.1. :
1 - ; 2 - (); 3 - : 4 .

(-) ,
.21.2.

. 21.2. .
: 6 , 10 .

. , ,
10 .
100 . , , .
, ,

197

.
,
, , .

, 10-20 ,
1 ( ).

108 /, ,
109 /2 . , , ,
. ,
.

: ,
, .
S-
.
, , . , .9. S-
, - .

, . ,
. , , ,
.

198


.
( 0,3 )
10 . . , -
.
, .

.
.
, ,
.
. ,
. -, .
.21.3. .
Solver P-47 -. , S- . - (.21.4)
.

199

. 21.3. - "" .

. 21.4. - : 1, 3-
; 2-; 4- ; 5 .

,
, , . .

200

21.2.

.
, -,
. .
, , - .

,
, . , .
, , , 1 . ,
.
. ,
.
.21.5. , .
. 21.6. , . .
5 . .
.

201

. 21.5. ( )



50. ,
, .

. 21.6. .

202

22
8.

1.
2.
3.

22.1.
, - 5
( ), 5 0,5
, .
. ,
, - .
"" (1- )
(0- ) ,
. , , -
.
. ,
, (, , ..) .
,

2030 . (0,5-0,1 )
, ,

203

, .

.
- .22.1.

.22.1. -.

1999-2003 . 9 ,

. -, ,
. -, . ,
-
- . -,
p-n- . ( p-n-) , ..
. -

204

, .
. ,
. .

22.2.
, . (g- 436 ),
(i- - 365 ), , KrF (248 ),
ArF (193 ).
. , ,
157
( F2).
. 22.1 .
22.1
-
,

436

365

i -

248

KrF

193

ArF

157

F2

:
1)

205

k1 - , , , (
0,6); NA- .
- 1 0,6,
. k1
0,6
0,35 .
,
, .
, . ,
0,28 0,63 0,85.
10x10 22x22 . . ,
,
, 10, , 5 4.
ASML.
20.2
ASML

,
365
248
193

N
0,60-0,63
0,57-0,8
0,75-0,85

350-280
250-110
100-80

1
0,58-0,5
0,57-0,35
0,39-0,35

, . ,
, -193
. , , , , , .
(n = 1,44), ,
. , n , 1,2 -

206

193 134 . , . , .
, . - - , 193
dn/dT= -10-4/, .. 20 , . ,
. 193
65-55 .
, -193
157 13,4 (
), -193.
157
CaF2. BaF2, .
(NA >
0,8).
157 . ppm -ppm.

.
, . . 157
,
,
150 . ,
. . 248, 193 157 70 , ,
k1, 0,4, 248 ( 2),

207

193 - NA = 1,15, , 157 - NA = 0,9, . NA 1 .. 0,85 0,38 ,


157 (70 ).
, . 157 20042005 ., ,
-193, -157.
-157 - . ,
45 .
157 50-45

13,4 . , NA = 0,85 157
, k1 0,27, . NA = 0,25 (
, 6 0,7, ) k1 , 0,9.
- 50-45
. () 80- . - 10-14
90 120 .
, .
. , 13,4
Mo-Si,
, 0,7 . -
( N = 0,1 0,25). (),
0,10,2 (). , , -

208

- ( 100 ).

, .
. . , .
.
, - . , INTEL -157 70 50 . 50 . -
UV . .
,
-. -EUV LLC-, -
ASET-, - Euclides -
. ETS Sandia Labs, , , .
ASML (). -, 50 , 2007 . 0,25. , 90-65
-193.
-157 . 2004-2005 .
, , .
, , - 2007 . , , 50, 35 , , 25 .
, -157

209

. , , . . 22.3.
22.3

(ITRS 2003)


,
,
Tx.equi,

, /
p-n, ,

2012

2004

2007

2009

90

65

50

35

25

53

32

25

18

13

1,2

0,9

0,8

170

230

230

3,8

12

20,4

20

17

14

0,7

11,2

13

2015

0,6

, 2
, , .
. , , ,
, .
( ) ,

210

-. tox
ehi,
(2)
..

(3)

Ehi
. , , ZrO2 ( Ehi= 25) Hf 2 ( Ehi= 28). , ,
Si-SiO2 (0,5 ) - Hf O2 (3 ).
, Teff 0,92 , 3,5 . ,
Si-Si2 ,
( ) .
- .
. 3 p-n-,
, 20-10 . - ( ) ( )
(100 ), . (), ,
- , . 10
/2.
.
, , ()
, ,

211

, . , ,
.

1 , . , , (), - ,
(ICP) . , -
.

22.3.
- . ,
, 2009 . . , , -, , ()
(.22.2).

212

.22.2. - () ().

10 . ( 100 )
. (nondepleted) -. .
(partially depleted) -.
(5-10 ) . (fiilly depleted) - , -. , ( .), p-n-.
- , . ,


, ,
,
, .

213

-
, .
, 5 -
().
-
. ,

.
. ,

- ( 4).
, .
3 , , , .
,
2010 . 35 .
-10
, , -10 - 300
, -10 , , , - .
,
, . .
, . - , , . , . ,
.
,

214

:
- () ,
, ;
- , , ,
;
- ( ), , , .
(
). , .
, .
. .
, , , -, - .
. ,
, , , ,
, ,
. InAs GaAs Ge Si. . --
, , .

: , , , , ( -

215

), , -
-.
, - ,
. ,
1 , , ,
, , ,
. , , ( 1011 -2).
, (.22.3).

. 22.3. .

() 10 ,
.
- , ().
, ,
, ,
(). , ,
1 .

216

, , ,
, ..
, .
, : , .
, , , , , .
,
.
, , . , , , . , , , o
(), ,

( ), , , . ( ) .
(0,5-0,1
). ( ) ,
2030 .
, .

,
( , ) . , ,
( ), , .
K . () (

217

). ,
, . , ,
13l3 ()2,

( ).
, . , ,
.
,
. (.22.4), : :
,
, ,
z,
( ) , , z .
,
, .

, , . ,

.

218

. 22.4. .

, . , ,
,
() .

. , , ,
, , -, ..,
, .
(
): , , 90- .

, .

.
-

219


n, , ,
(SingleCooper-pair box), .
.22.5 .

. 22.5.
.

( , ). ,
. U, Cg, I , ,
.
.
n ( ). , , U. n=0 n=1
, .

220

23
LIGA-
4. -
9. LIGA-

23.1.
23.2.
23.3.
23.4.
23.5.

LIGA-

LIGA
LIGA
LIGA-

23.1. LIGA-
LIGA . ,
, .
. LIGA .
LIGA
. .
, : ,
, . -

221

.
- , (KfK). , .
. f
LIGA - .
.
LIGA . I , ,
.
LIGA -
. . ,
.

. 23.1

(, )
.
, .
. , .

222

20 30 . .
10 .

23.2.

(. 23.2) 100 ,
, , .

. 23.2.

.
, , .
5 .
23.2 .
20
. 0,24 .

.
( 106 / ), , .
,
.

223

(500 ),
, ,
.

. 23.2.

23.3. LIGA
500 (. 23.3). ,

( ).

224

. 23.3.

1 1000 .
( Au)
, . 0,5 , , -. .
, ,
, (. 23.4).

. 23.4. ,

.

BASF AG , 2-3 ,

225

. , IMM, 20 , .
, (). . .
. ,
.
(. 23.5).

. 23.5.

,
- . , .
, - .
LIGA- , , (. 23.6).

226

. 23.6. , LIGA-

(. 23.7), 5 .
().

. 23.7.

23.4.

. . , -

227

, , . . 23.8 0,1 0,3 .


. ,
, 12 . .
50 ,
.

. 23.8.


.
, , .
LIGA - , , ,
150 - 500 .
, ()
: , .
. , , -

228

, .
.
- . , , LIGA-,
.
.

23.5. LIGA -
, , ,
, .
.
. ,
, . 20
, LIGA
. 200 .

: , .
, , ,
,
, . , .

229

, LIGA-,
, (. 23.9).
. , , LIGA , .

. 23. 9.


.
.
- ,
. ,
. , .
, , .
-
. . . -

230

: , , .

, .
100-1000
.
130 1 . - (h = 0,2 ; l = 0,1 ), (h = 2 ; l = 2).
10 2 .
- . .
, . . - .
, , ,
.
.
,
, . .

.
.
.

231

, , .
.
. , ,
.

. ESA ,
. , .
K-
. , , . , ,
, .
. .

.
. ,
.

.

232


. .

.
.
: , ,
, (,
, .).

.
.
:
(, );
(TEM - WEDX, SEM - WEDX);
(AES, XPS, UPS);
(SIMS, SNMS).

.
. , . , (0,1-100 100 100 ),
: , , , ,
.

23

1. LIGA-?
2. ?

233

3. LIGA- ?
4. LIGA ?
5. LIGA-.
6. ?
7. .
8. ?
9. , LIGA - .
10. LIGA .

234

24
-
4. -
10. -

24.1.
24.2.
24.3.
24.4.

24.1. -
- , ,
. , , , . - .
.
-
, . , :

;
;
;
;
.

235

, .
,
- , , . 30 - - , , .
-
. 1934 , ,
. , , , 50- . 1957 1960 - . - . - . 1964 - .
-
, . .
,
, .
, . ,
, .

236

24.2.

. , . 10-2-10-4 , ~ 10-2 .
150 , 1-100
. ,
.
, . . , . , , .
-
,
. .

24.3.
- , . 24.1.
, , , .
.

, , (LaB6), .

237

. 24.1. :
, F , S ,

, (
) . 1, 2
. ,
, ,
.
,
. ,
. , .
.
,
, . (. 24.2).
-
. , ,
.
, (). , .

238

. 24.2. .
,



, . , ,
. , , .

, , ,
. -
, .
- .

, - . ;

239

. 24.1. ,
, , . ,
, . ,
, ( ) , , -,
, -,
. , . 24.2, .
. ,
, . .

, , , , .
2800
. .
4,6 , 10 /2
= 3000 , 5104 /2. 10 50 . , (,
),
(. . ) , , . (LaB6), 1 - 10 .
LaB6 2,4 , ,
, , LaB6 .
: 100 /2 = 2000 , - 106 -2
-1 10 . LaB6 - , -

240

.
, (10-4 ). .
.
( ,
).

, , 0,1 1 ,
3107 / .
102 / 2, 108 -2 -1
, , ,
( ). .
, LaB6. , ,
(2,6 2,8 ). ,
107 / 2 109 1010 -2
-1 = 1400 . , . . 210-6 .
, ,
, .
, .

24.3.
, ,
( ) .

, .
,
. ,
-

241

. , ,
, LaB6 W/Zr.
, LaB6 , . . , , , , . ,
. , , ,
. ,
25 . ,
.
.
, , s = 0,4
0,7 , .
, . 24.2; .
-
. .
1,6 3 , LaB6
2 3 0,22 . W/Zr- 0,9 .

, .. ,
,
.

242


: . , ,
. .
. :

Jr02eU00.50.51+kTbeU02-0.25
Tb . , Br00.5U00.25, B , a r0
.
, ,
. , , ,
, , .

24.4.

, ,
(. 24.3). .
, ,
0 :
=0*[4*m*M/(m+M)2]*Sin2(/2);
0*(4*m/M)*(2/4),
m - ; - .

243

, /0 10-9 10-10. .
.
, ,
.
,
, .

/ S, ( - ):
/ S=N*e4*Z/(2**E)*ln(2*E/J),
N (N~ 1028-1029 3);
; ; J ~13,52
, ; Z .
, NZ , . , , , .
,

, . , . , U = 10 R = 0,27 , U = 100 R = 27 .
,
. 1/3 , 0.
. -
,
, , .

244

, ..
. :
R = E02(b1),
- ; b1 .
b1 ~(2,1-2,5) 10-6-12
-,
.
- 10 150 ,
0,2 0,6 .

.
(. 24.3). : , . .
.
, , . ,
.
20 60
,
. .
.

245

. 24.3.

- . - 1% .
- ,
25 %, 38 %.
, .. .
24
1. ?
2. ?
3. ?
4. ?
5. ?
6. ?
7. ?
8. ?
9. ?
10. ?

246

25
-
4. -
10. -

1.
2.
3.
4.

25.2.
-
- . -
, , .

-
. , ,
, - .\
, , .
.
, UB/UB 1-2%, JB/JB 1%.
, , .

247

. 15
.
,
.
-

-.
,
.
. ,
. . , , . , .
. , , , , - , .
, GaAs
, Ga As . ,
,
.
, . As2.
(10-8 .) , . 10-5- .
.
- . , , , . -

248

, .
GaAs Ca, Zn, Te, Si, Ge.
- 2 - 2 (N2, He,
Ar ).
.
.

25.2.
:
(), ,
.
, 0,
- .
= 0 +

, . F
0 +

F = PQ,

: Q , .

W, Q
(PV)
PV = PQ -

W = 0 +

F - W = P -

- F - W

PV , .
, , , .

249


(t) PV .
t =PV/P0.
(tw) ,
km, :
tw = km*PV/P0;

. Al V = 1700 K, t = 0,5, a tw =
0,2, km =40 %.
, P0 .
E = 0/v.
:
Av = PV/av, t = amv/am.
m .
.
, .

mv = 3,5 /.
.

250

25.3.

( ),
, . 0,
PF = P0/d2, .. F , .
, ,
(
, , ). : , .
, .. , h .

h = 102Pd/ ,
: - , Pd .
.
- . , ,
. ,
dF ( ), Y. .
, ,
. ( ), .
, ,
L.

.
( 3 250 ),
PF = 108 109 /2.

251

.
25.1.
25.1

P0

Av
/
4,17

ak
/

125

e
/

16,5

+ 20% r

70

SiO2
Al

25
250

46,0

150
1200

30,5
5,4

100

500500

( 3 250 ),
PF =
108 109 /2. ,
, 10:1 50:1.
.
, , .. , (
). , . . .

25.4.
.
, UB/ UB = 1 2 %, JB/ JB = 1 %. ,
,
.

252

. 15
. ,
.
25
1. - .
2. ?
3. ? ,
.
4. ?
5. GaAs?
6. , .
7. ? .
8. .
9. ?
10. ?

253

26

4. -
10. -

1.
2.
3.

26.1.
-. , . .
,
. . , , .
, .

, , TS.
.
2000
0,2 . 50 5000 . n/n .
, , -

254

n/n. ( ) . UB
as/a = (kUB),
a .
- .
= ( 1 + D)/ D,
: 1 , ;
D , .
, , . ,

.
, .
, , .
, . ..

.
, , .. .
(),
.
, . .

255

. , , Au Zn Zn. I II .
, .
,
, ( ),
. ( ) TS ( ),
.

, , , ,
, , ,
.
, ,
- . . .. . .
0,01-10 , .
:
) , ;
) ;
) .
.

256

26.2.
, , , , , , Ar.

(. 26.1).

. 26.1.


, . (. 26.2).
dV.
, ..
:
) ,
(. 26.3, );
) ,
(. 26.3, );
) (. 26.3, ).

257

. 26.2.

. 26.3.

26.3.

- .
,
.
. .
:
) .
, , . , . ;

258

) , ,
;
)
, 100 / 2
. , .
.

. , , , ,
, .
26
1. ?
2. ?
3. ?
4. ?
5. ?
6. ?
7. ?
8. .
9.
10. ?

259

27

4. -
10. -

27.1.
27.2.
27.3.
27.4.

,
. ,
, :
;
;
.

, , , . . , . (> 106 /
2) . 1 . . .

, .. . -

260

,
. 200 >10-4
, .

.

27.1.

. , .
. , . 0,1
300 . .
.
. .
:
1. ;
2. .
,
,
.

Q, / 2 S. J, / 2 S:
T = (QS.) / (JS),
J = 1 /2, S = 0,1 , t = 60 .

261

,
.. . , . .

.
.

27.2.

0,05 - 0,5 . 0,25;
0,13 0,08-. (1-10) .
,
-. , ; .

( 10 0),
(. 27.1)

262

. 27.1.


, , - .
. Mo, Al,
Cu, - .
, . (. 27.2).
. .
- , .
. , , .

263

. 27.2.

, .
,
Be, Al, Si SiO2 Si3N4, SiC, . , Al-(V = 0,834 )
Si 10 .
, , .
(Au, Pt). ,
. .
- , .
2 Cr, Au 0.5 0.7

264

. Pt ,
, . Au Si
, Si-,
.
Si n- 250 .
.
. 1-3 , , = 1320 3 BBr3,
BN 5 = 1410 . Cr (30 ) Au (400 ), ,
.
- . SiO2.

HNO3 : HF : CH3COH. Si-
. Si3N4
= 1050
NH3. Si3N4 0,2 SiO2 1 .
Ti 0,2 , , Au, .
Si . 80 .
. .
.
, .
. 0,3
.
.

27.3.
(. 27.3).
. -

265

( ) ,
, X Y, , .

. 27.3.

-
.
, , .
= S(d/ D) , S ; D ; d- . 0,1 .
, -

266

. () () .

27.4.
. Si <100> <110> , <111>. , ,
Si SiO2 (H2SiO3) H2SiO3, .
Si . , HF : HNO3 : CH3COOH = 1 : 40 : 15
Si 0,2 / 1:3:10 '''',
130 / .
<111> V = 4,5 / . <100>
,
.
()
-
125 1. At
Si
( 100 ).
pSi - .
() - N2 - , = 373 .
- , . .
- ( <1) . -

267

t0
.

22 : NH4OH : H2O = 1 : 1: 4 6 .
27
1. , ?
2. ?
3. ?
4. ?
5.
?
6. ?
7. ?
8. Si2O Si3N4/
9. ?
10. ? .

268

28

4. -
10. -

28.1.
28.2.
28.3.
28.4.
28.5.

28.1.
( : Light Amplification by Stimulated Emission of Radiation -
) - , .
. - , : , , ,
. , . . ( , , .), (, .), ( ). ,
.
, , , , .

269

E1; - E0, .
:
E1 E0 = h,
h- , - .
, , .
, .
, , .
. , ,
( ). , , - . ,
.
- , , .
:
I = I0 exp(z),
- , z - , , ,
. () ( . kohere - ).
: ,
, , , - , .
- , ,

270

. , ,
, .
- ,
.
, - , - , - .
- , .
;
. :
1.
, ;
2.
. ,
: .
, .

28.2.
.
.
. , , , . ,
, , . ,
, ( , . ) ,
.

271

. ,
, . ,
- ;
, .
(-, ). , ,
.
,
, 10-4 10-10 ,
. , ( ),
,
(109 ), .
,
, , .
- ,
, , ,
, , . .
- , , .
; , .

28.3.
.
, .
(-; -.). -

272

. .
. , , . .
. ,
.
. () . ,
2 .
, .
MIT (), ,
30-100 . , . . .

28.4.

, .
,
. Ar- , Au .
1-10.

273

Al 3- Al.
, .

. (), . .

28.4.
NO,
- SO2 ( ), , . .
.
1. - 300 0. 2- .
2. - , , 300 / .. .
3. , . , ,
,
H2, Si
- . .
4.
.
5.

274

28
1.
2.
3.
4.
5.
6.
7.
8.
9.

, .
.
.
.
.
.
.
.
.
10. .

275

29

4. -
11.

29.1. -
29.2. () .
29.3.
29.4.

29.1. -
(19601962 ., J. Jnorg. Chem) () MOC-CVD (chemical vapor deposition) ( ) , .
, , : ; ; ; ; ; - ().
, , ( <1 m.).

. , : -, .
3 : ,
.

276

SiH4 + O2 SiO2
WCl6 W + 3Cl2
SiCl4 Si + 2Cl2
- H2,
Pd. , , .
2 , . - . , , AgCl3 +
H2,
.

SiO2.
: SiH4 +O2; Si(OR)4, SiCl4.

.
2SiCl4 + 4H2O 2SiO2 + 4HCl
- H2,
Pd. , , . ,
. . : SiBr4 +
CO2, SiH4 + H2O + Ar, SiCl4 + CO2 , SiCl4 +(CO2 + H2) + H2O. NO. SiO2, Si3N4, . SiCl4 + NO
825-925, SiBr4 + NO 950 1200.
, . , , , -

277

,
-. , , SiO2 SiN4
.
. , Si- , ,
. Si(OC2H5)4.
:
-;
;
, , , ,

, 400 .
1250 15 .

fluxgrown. , - .
.
:
,
(, ). .
;
.
. 29.1 .

278

H2

Ga

. 29.1. - GaAs


.

0,1 .
- -.
AIXTRON
. AIX 2400/ 2600 G3 . , . , , ,
. , .
- 3 .
, AsCl3 + H2 .
. Ga, . -

279

, .
GaAs Ga AsCl3. GaAs, . Ga - 820C, 750 - 765C,
AsCl3 + H2 - 300 /.
, Ga .
AsCl3 + 2 -. , , .
29.2. ()
.
() - -
(. 29.1).
:
(3)3 + 3 + 34
(25)3 + 3 + 326
. ,
-, :
.

280

29.1
()

()
()
()
()

l(CH3)3
Ga(CH3)3
Al(25)3
Ga(25)3
3
AsH3
SbH3

, 0
15
15,8
- 52,5
-82,3
-133
-117
- 88

, 0
15
55,7
207
142
- 88
-62
18

. GaAs, GaP, GaAs1-XPX (), AlAs, AlP, GaAs (). (H2S, H2Se). ()
() .
() ZnGa . AlN
GaN , HNO3 .
.
700 N2 Ar. SiO2 10 70 ,
, . 150-300 ,
700 .
(O2, Ar). - 1 ,
0,5 ,
. SiO2 Si-O, - . SiO2-
. SiO2, ,
, , .

281

29.3.
, Al
Ga, .
. GaN
.
AlN, GaN GaAs
- (). , ,
. - , - .
-
, (0,05 ) .
AlN GaN ZnO , , -. GaN ZnO
. (),
Zn-ZnOH, 450 ().
AlN GaN
(Cr-Au) 29 .
. AlN 2
, , LiNbO3.
. GaN, ,
. GaAs

. GaAs .
Si, SiC, -Al2O3, GaAs, MgAl2O4 ,

282

. , , .
GaN AlN Ga Al (-Ga, -Al) NH3.
, .
(
, SiC). ()

:
(CH3)3Al () + 2NH3 () 2(CH3)3Al . NH3 (.)

3 60 C, 160 C,
.
1200 1,75 /.
. , 30, 2 25-100 /.
,
. ,
2. 1-7 /.

.
.
, . ,
.
AlN , -
AlN AlN.
AlN GaN: , Al2OC,
- . NH3 GaCl3
,

283

.
AlCl3 150 HCl Al
1000.
, -NH3 -SiC
Al2O3, 925-975 , GaN. ~ 3 /. GaN ~ 0,1 /. 930-910 n-;
700 - , . () C-H-Ga-N,
1050 Ga.

29.4.
:
, ,
. .
. ,
, .
. , . 17 /.

.
.
, . ,
.
: , , / . (p10 ) . , .

284

(10-20 /),
( 10 ) . / ,
,
(C,D), .
. /
.
, ,
, . , , .. . , , , .
, ,
.
GaAs
Ga AsCl3. . , .
, . GaAs, . :
820; 750 705 ;
AsCl3 + H2 300 3/. AsCl3-Ga-H2 Si, HCl
. ,
. AsCl3 + H2 -. , , .
max [111] min [100] 0,06 0,8 /.
, ;
AsCl3 ; [100].
. IIIV - -

285

, V .
3, :
Ga(3) Ga+ + CH3

2CH3 CH2 + CH4
2CH3+ Ga(3)3 Ga(CH3) + 2CH2 + 2CH4
CH2, , GaAs - . . ,
V CH3 , .
- , .
Ga(C2H5)3 GaH(C2H5)2 + C2H4
-
- . -
.

- V . , As(CH3)3,
As(C2H5)3, C4H9PH2, C3H7PH2 AsH3, PH3.
AsH2(C2H5), AsH2(C4H3).
(in situ) . :

286

(reflectance anisotropy spectroscopy RAS, reflectance difference spectroscopy RDS,


spectroscopic elipsometry SE, palarised reflectance spectroscopy PRS);
(surface photoabsorbtion
SPA);
(elastic light scattering ELS).

, .. .
29
1. ?
2.
?
3. , ?
4. ?
5. SiO2, ?
6. AlN GaN .
7. ?
8. ?
9.
?

287

30
-
4. -
12. -

30.1. -
30.2. -
30.3.

30.1. - .
-
, , ,
.
- - ,
.
,
() .
- ,
.

() . . , . ,
. .

288

. , ,
() . , .. , , , .
, . .
,
(. 30.1).
30.1



( 300 )
, - , - , , , .
( )
- -
,


, - ,

.
( )
.

289

,


. ,
. ,
.


, :
Si OR + HOH Si OH +ROH

.

.
- .
, . , ( ),
, ,
, , SiO2 TiO2.
, .

30.2. -
-
, .
11000 .

290


. , -- . ,

.
.
, . (). .

. ,

. , . .
:
, ;
, , .
:
,
,
.

, .
.
( NH4OH, NaOH,
KOH). : ; ; -

291

; ; (, ).
.
:
;
;
.


(). , .
. , ,
100 150 .
400
.
, , .

(
SiO2)X. (23, 25, PbO .).
() , -,
SiO2 . , .

.
,
, ,
R
.
,
.

292

, ( ) .
l NO3
.

, .
.
.
. .
. , , ,
SiOSi
.
,
OR . ,
, , .
IIIV .
, , .
.
, .
.
Si OC.
, -

293

. :
Si(OR)4 + 4RCOOH = Si(OH)4 + 4RCOOR

[-Si-O-Si-]n
Si(OR)4 + H2O + ROH = Si(OH)4 + [-Si-O-Si-]n

, . , ,
. , , , :
;
;
.
,
( Al, Zr, Fe, Cr, Co,
Ni, Bi, Pb .).
.
- ( ) - .
, , .
,
. , .
1.5 1.8 Si-Pt-O co SnO2, .
5500

294

, .
- , , . - -

(). () , , SiOSi .

30.3.
. NH4OH.
.
Be, Al, Y, Ln HgCl2, J2, HCl, HBr
.
Ge, Ti, Zr, Nb, Ta, Sc, Y, La
.

.
MXn = ROH = M(OR)n + nHX
- , ,
.

,
, .
, . -

295

,
, , .
, , , .
( ). : ( ) ; ; .
- .
:
- . , , , , , , , Si- , .
(
) , , ,
, .

.
60% . :
+ - ;
+ - ;
() , .

.
, . .
.

296

30
1.
2.
3.
4.
5.

- .
.
.
.
,
, ?
6. - ?
7. - ?
8. - ?
9.
- ?
10. ?

297

31

4. -
13.

31.1.
31.2.
31.3.
31.4.

31.1.
(LPE Liquid Phase Epitaxy) .
, . 1836 .
. ,
.
:
1) , ;
2) ,
.
GaAs GaAs (. 31.1)
: , 800900,

298

GaAs + Ga GaAs ,
.

. 31.1.

800900 ,
, ,
.
400500 , , ,
.
(14 ) . GaAs
. ,
, .

. 14 750 800 .
. , . 31.2, .
.

.
0,01 1050 .

299

. 31.2.

Ge 50
/. Ga . 1000 1050 . 0,1 10 /.
Si Al.
. Si, Al (. 31.3),
, .
, , . , . -.
n- p-n .
. , . 35 90 . , .
,
.

300

. 31.3.

, , 200 Ga, 100 GaAs, 1 Al


n- 4 12 Ti. 25 30 . GaAs Al Ga,
,
. GaAs Al Ga , As Al
. , 10.
: 970 , 1 ,
; 960 , 1 . ; Ga , 12 ;
2 .
GaAs /Al. Si 600 Ge. 400 Ge 125 .

( 2) . . ,
.
,
, (, ). Si.

301

,
. (90 % Ga, 10 % As).
,
GaAs
As . , , : , , .

31.2.

:
1. ;
2. Ga GaAs ;
3. ;
4. ( GaAs 750 );
5. ;
6. 0,3 /;
7. ( 12 18 )
.
, Si
GaAs.
Si p-.
, .
. (210-3 .
.) n-. , ,
.
(2,6 2,9)1025 3,
, .

302

.
.

, . .
, , . ,
. (slider
.) . , ,
(. 31.4),
. ,
Al, Al2O3.

. 31.4.

(. 31.5).
10-3 10-2 /.

1 . (3 18 /) , .
( 0,01 825) (0,75 2)
1 20 .

303

. 31.5.

,
. , ,
.
.

.
. , 10 %.


(111). , ( 0,03)
. 0,5 1,5
(111)
1500 . .
( H2O2)
, .
.
,
.
, ,

304

,
.
, , . . ,
.

31.3. ,

, ,
-, , , .
( -).
, .
, ,
.
,
, , , ,
.
35 (GaAs)
, 35 (GaP, InSb).
GaAs
ZnP - .
InSb, GaSb, Ge-Si .
600- . 400
125 .

305

PbS Ge
NaOH, Pb(NO3)2 .
GaP -- ,
( - -).
Ga-Al-As .
, GaAs.
Eu2Er, Ga0,7Fe4,3O12 ,
EuEr2Ga0,2Fe4,3O13
Ga3Ga5O12 , Eu2O3, Br2O3, Ga2O3, Fe2O3
PbO B2O3 .

31.5.

AlXGa1-XAs, GaP, GaAs,
(. 31.6). .
GaAsAlGa-As.
.

,
AlXGa1-XAs, . Al/Ga,
. , Ga
. .

AlXGa1-XAs, , GaAs,
GaAs. , GaAl ,
(5), ~0,8 .

306

(6) : (Te, Zn).


(7).
, ..
t. GaAs.=9300. (2) . 10 ,
9000 0,4 /. 50 ( 9050) 9000 0,40/ .
.
. , t = 9000 ,
, Ga. ,
, . .
, ..
(~ 1 Ga 12 GaAs ).
, .. .
. GaAs
, ,
~0,25 .
HF:HWO3 :H2O (1:2:4). GaAl , Ga-AlAs .
Al2O3 (SiO2 , .. Zn ).
Al2O3 13,5 z t = 3500 ~10-7 Ar. . Al2O3
(85%). SiO2 0,1 t = 4500 2..
. 800 , Zn
7950.

307

. 31.6.

- (2) 4003/. , 1, ~2
35 -. AlXGa1-XAs
Zn . SiO2
HF ( ).
250 Au c Zn(5%),
KJ-J2. AuSn
.
.
- ( ) . .
31
1. ?

308

2. ?
3. ?
?
4. GaAs?
5. ?
6. ?
7. ?
8. ?
9. ?
10. ?

309

32

4. -
14.

31.1.
31.2.
31.3.
31.4.
31.5.





: Al () (SiO2-Si-Si-SiO2)

32.1.
, ..
(). :
1. ;
2. ;
3.
;
4. ;
5. ;
6. .
1 2,
5 2 .

, , .

310

, ,
(, ), : , , , , , .

.

, , ,
.
:
,
,
.

32.2.


:
1.
.
2. .
.
3. ,
.
4. ( ) ,
(, ). , ..,
, .

311

32.2.1.

, , ,
, .
, , . , . (
5 . ).
,
. ( )
,
. :
-
,
- .

,
:
- 100%- ;
- ;
- ;
- .

: -
, .
, .
.
, . -

312

.
,
.
32.2.2.

, . , .
. - . .
. ,
,
. , ,
.
. 10 .
100, ,
, . , 10 %
,
3%. ~ 30 %.
. 15 /.
.
.
,
. , , ,
, ,

313

.. ,
.

. (h=50-60 ) Cu c
( ). . . .
, 2- 1-
, .
. . , .
2000
~ 500. 100 %.

2- 1-
, .

, . ,
.
, .. , .

.
: Cr (0,1 ) , Al (1 ), Cu (5 ). Cr

Al Cu. 383. , . .
Al-SiO-Al , Al SiO

314

. SiO .
SiO2
100. 1,5-2,0
.
5%.
(SiO2
+ ) 14-15 . ,
,
Au, . Al Cu.
,
, .
().
,
.

1. Al 0,7
0,05 /. , , 2-3 .
32.3. : Al (SiO2-Si-Si-SiO2)
(Cu-V) . :
1. Al;
2. ;
3. SiO2 Si t=500 (0,2 );
4. Si ( ) Ar (1,2 );
5. Si;
6. Si,, SiO2;

315

7. SiO2 Si ().
Si, SiO2 Al;
8. Cu V;
9. ;
10. V Sn ;
11.
.
30-40%. , .

. 1
: (Ni-Cr) (Au-Cd)
. 1 . 2
200.

Al, .
Al Ti V 0,5-1 ,
Al Al Au .

, , -22.
Ag Pd,
- , Al2O3 .
, . -
.
. . , ,
.

.

316

( ), , , . .

, V. . , .
2.
, . , .
32
1. ?
2. ?
3.
()?
4. ?
5. ?
6. ?
7. ?
8. ?
9. ?
10.
?

317

33

4. -
14.

33.1.

33.2.
33.3.
33.4. .
33.5.
33.1.


.
. .

().
.
, , ,
.
: ,
(PbO, TiO2, Bi2O3, HfO2, GeO, Ta2O5, ZnO2, SnO2, ZrO2, CaO, Al2O3, BaO, Mg2O
.). SiO, SiO2, Al2O3, Ta2O5,

318

, .
, 500C.
,
( - ) - (CVD ).

33.2.

Si3H4, ..
, , , SiO2. , .. CVD , NH4 1000C.
.

.
, .
, .
SiO2, GeO, BrO3, P2O5, Ag2O3, Sb2O3.
TeO2, SeO2, O3, Bi2O3, Al2O3, Ga2O3, V2O5.
5 .
(~0,1 ) .
, , .
.
. :
Al2O3 10 %, ZnO 40 %, CuO 10 %, PbO 20 %, Ba2O3 20 % : 30 %, 20 %, 15 %. -

319

2-3 4000 /.
7 .

. , = 250 700 C. , , .. . T=250-700
.
, ,
, .
, , , .
, . ,
, .

. ,
: = 2,5-6,0 ( ), > 1010
/. ( ).

.
:
1. , , . t=110 .
2.
(1- ) ,
, , , . 1000-2000 , 200 .

320


.
3.
. , . , . 1600, , .
, . .

.

(>106 /).
2 , , . .

1 103,
200. n ,
.
. .
: Al2O3-SiO2, Al2O3- 1 .

33.3.
- ,
.
.

321


Al, Au, Cu, Ta, Ag, Cr-Au, Cr-Al, Ta-Al.
0,01 /.
Al-Au
Al 4 Au.
AuAl2 AuAl, . Al Ta
.
. 500 , Al Al2O3, .
33.4.
1.
2.

,
. , ,
.. . .

. Al2O3 Ta2O5 . :
) 1- (Ta, Al).
(Al2O3,Ta2O5) 1-
.
) Al,
, , .
) , ,
.
) Al2O3 SiO2
0,5 .

322

, . .

.
, .
, SiO2TiO2 . Al
Au.
33.5.
:
1. , ;
2. - ;
3. - , -
( );
4. , ..
( )
();
5.
.
Al r , SiO2
.
1. :
Al, SiO2, Al. , .. . , . 100 . , . Cr, Al
SiO2 50.
-

323

. ( ) ( -
). , .
: , , (
).
33
1. ?
2. ?
3. ?
4.
?
5. ?
6. ?
7.
?
8. ?

324

34

4. -
14.

34.1.
34.2.
34.3.
34.4.
34.5.

34.1.
-,
. , . - Al
. .
Au-Au .
(400 ) . . t- .
. ,
. , . , -

325

, . .
:
;
;
.

, , , .
:
1. ;
2. ;
3. .
,
. , . . +-25 . ,

. , , . .
.
.
-, (
) - , - , : -

326

( = 0,5 ).
, .
t - . . ,
, .
, .

300 . - . Ni, Au, Cu.
, . . t (500 - 600).

.
,
- . .
.

, .
, - . .
.

. , 225 275 . .
- - . -

327

, , .
. : ,
,
. , , , .
34.2.


.
. ,
, , . , .
: (
),
( ) , .

328

34.3.

. 34.1. .

(. 34.1):
, ( )
, ;
.
.

, . , .
( , , ) . (, ),
,
"
", .
, .. . ,

329

.. , .
34.4.

() , .
70 ,
(. 34.2). ,
: (70) (40). .

. 34.2. .

. -,
"-", .
. -, () , . .

330

,
. , .
34.5.
.
60
.
.

,
, .. (. 34.3).

. 34.3.

. ,
,
("") .
, .
,
.
, , , .

331

: , ;
; ,
; .
, .. , ..
.
34
1.
?
2. ?
3.
?
4. ?
5. ?
6. ?
7. ?
8. ?
9. ?
10. ?

332


1. , . . : / . .
. .: , 2005. 358 . . . 25.
2. , . .
: . / . . , . . , . . .; .: .
, . - .: . , 2002. 527 . . . 42.
3. , . . / . . . - .: . 1986. - 220 .
4. , . . / . . , . .
- .: , 1987.
5. , . .
/ . . , . . , .. . - .: , 1985.
6. , . . / . . . - .-: ., 1963. - 428 .
7. , . . -
/ . . , .. . - .: , 1989. - 128 .
8. : . / .: . . . .: . . -, 1987. - 360 .
9. / .: . . , .: . . , .: . .
. - .: , 1975.
10.
, . . / . . , . . , . . ; .: . . . - , , 1975.
11.
, . . / . . - .: . , 1978. - 96 .
12.
, . . /
. . , . . . - .: . , 1974. - 176 .
13.
, . . / . . , . .
, . . , . . . - .: , 1976.


.1
1. , . . :
/ . . . .: , 2005. 358 .
. . 25.
2. , . . / . . ,
. . . - .: , 1989.
3. , . .

333
/ . . , . .- .: , 1974.


.2
1. , . . :
/ . . . .: , 2005. 358 .
. . 25.
2. , . . / . . ,
. . . .: , 1965. - 334 .
3. , . . / . . , . .
. - .: , 1987. - 256 .

.3
1. , . . : / . . . .: , 2005. 358 .
. . 25.

2. , . . /
. . . - , 1968.
3. , ., . /
. , . . - .: , 1977.
4. , . .
/ . . . - .:
, 1975.
4
1. , . . :
/ . . . .: , 2005. 358 .
. . 25.
2. , . . - /
. . / - M.: , 1987. - 312 .
3. , . . / . . , . . , B. C.
. - M.: , 1990.

334
5
1. , . . :
/ . . . .: , 2005. 358 .
. . 25.
2. , . . - /
. . . - M.: , 1987. - 312 .
3. , . . / . . .
- .: , 1983. - 296 .
6
1. , . . 7 : . / . . , . . , . .
.; .: . , . - .: . , 2002. 527 . . . 42.
2. , . . / . .
, .. . - .: , 1980. - 350 .
3. , . .
/ . . . - .: , 1977.
7
1. , . . 7 : . / . . , . . , . .
.; .: . , . - .: . , 2002. 527 . . . 42.
2. , . . / . .
, .. . - .: , 1980. - 350 .
3. , . .
/ . . . - .: . , 1972.
4. , . .
/ . . , . . . - .: . , 1972.
8
1. , . . 7 : . / . . , . . , . .
.; .: . , . - .: . , 2002. 527 . . . 42.
2. , . . / . .
, .. . - .: , 1980. - 350 .
3. 15895-77.
. . - .: ,

335
1977.
9
1. , . . : / . . . - .: , 2005. - 358 . . . 25.
2. , . .
: . / . . , . .
, . . .; .: . , . - .:
. , 2002. 527 . . . 42.
3. , . .
/ . . , . . - .: . , 1974.
- 176 .
4. , . . / . .
, . . , . . , . . .
- .: , 1976.


1. , . . : /
. . . - .: , 2005. - 358 . . .
25.
2. , . . : . / . . , . . ,
. . .; .: . , . - .:
. , 2002. 527 . . . 42.
3. , . . /
. . . - .: . 1986. - 220 .
4. , . . / . . ,
. . - .: , 1987.
5. , . . / . . , . . , .. .
- .: , 1985.
6. , . .
/ . . . - .: , 1963. - 428 .
7. , . . / . . , .. . - .:
, 1989. - 128 .
8. : . / .: . .

336

. - .: . . -, 1987. - 360 .
9. / .: . . , .: . . ,
.: . . . - .: , 1975.
10. , . . / . . , . . , . . ; .:. . . - , , 1975.
11. , . . / . . - .:
. , 1978. - 96 .
12. , . . / . . , . . . - .: . , 1974. - 176 .
13. , . . / . . ,
. . , . . , . . . - .: , 1976.
14. , . . / . . ,
. . . - .: , 1989.
15. , . .
/ . . , . .- .: , 1974.
16. , . . / . . ,
. . . .: , 1965. - 334 .
17. , . . - / . . , . . .
-.: , 1987. - 256 .
18. , . . /
. . . - , 1968.
19. , ., .
/ . , . . - .: , 1977.
20. , . .
/ . . . - .: , 1975.
21. , . . - /
. . / - M.: , 1987. - 312 .
22. , . . / . . , . . ,
B. C. . - M.: , 1990.
23. , . . / . . . - .:
, 1983. - 296 .
24. , . . / . .
, .. . - .: , 1980. - 350 .
25. , . . /
. . . - .: , 1977.
26. , . . /
. . . - .: . , 1972.

337

27. , . . / . . , . . . - .: . , 1972.
28. 15895-77. . . . - .: , 1977.


1. , . . . - : . / . . ; . . . -. - : , 2005. - 171 . . . 72.
1. - . : . / .:
. . . - .: , 2005. - 589 . . . 30.
2. , . : . .: . / . , . . - .: , 2004. - 327 . . . 13.
3. , . . , , / . . . - .:
, 2005. - 411 . . . 16.
4. . :
. . / . , . , . ; .: . . , .: . .
, . . - .: , 2002. - 292 . . .
16.
5. / .: . . . - .: , 2005. 446 . . . 10.
6. . . :
2005 : / .: . . . - .: , 2006. - 149 . . . 5.
7. , . . : : . / . . ; . . . -. - :
, 2006. - 176 . . . 93.

Оценить