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Cu ;
.
:
;
.
: , , 4 /2 .
.
.
,
.
. , . .
. .
, , , , ,
.
, .
,
Cl- ,
H2SO4.
77
9.2.
.
FeCl3, H2O2,
HcrO3, CuCl2, (NH4)2S2O6 NaCl.
FeCl3 ( 1,36 1,42 /2). ,
, , . :
2 FeCl3 + Cu CuCl2 + 2 FeCl2.
40 /, Cu 5-6 /. pH
, .
, FeCl3
, .
Cu + (NH4)2S2O8 CuSO4 + (NH4)2SO4
.
, . ,
.
,
FeCl3, , . .
Cu :
Cu + CuCl2 2CuCl2
CuCl2 + FeCl3.
78
Cu H2O2 :
Cu + H2O2 CuO + H2O
CuO + H2SO4 CuSO4+ H2O.
CuSO4 , .
(CuCl2).
Cu + H2O2 CuO + H2O
CuO + 2HCl CuCl2 + H2O.
, Au, Sn-Ni, Sn-Pb.
, , . Cu :
3Cu + 2CrO42 - + 16H+ 2Cr3 + + 3Cu2 + + 8H2O.
, , , .
9.4.
. . , . ,
,
CuSO4.
, . .
79
, .
(Sn-Pb)
, , 18 25
3 5 HCl + + .
:
t=20-60oC, V=25-35 /
FeCl3 + HCl,
(NH4)2S2O6 + H2SO4 + CuSO4, t=40-50oC, V=10-20 /
CuCl2 + HCl, t=25-40oC, pH=0,4-0,6, V=20-25 /
CuCl2 + H2O2 + H2SO4 + NH4Cl, t=25-40oC, pH=8-10, V=20-25 /.
9
1. ?
2. ?
3. ?
4. ?
5. ?
6. ?
7. ?
8. ?
9. ?
80
10
2.
5.
10.1.
10.2.
10.3.
10.4.
10.1.
, .
.
1837 . . :
Mn+ + ne- = M0
( ).
:
M0 = Mn+ + ne-.
.
81
, , , .
, .
, , . ,
.
.
- , ,
, .
10.1.
1865 . .. , - .
, ,
, . ,
.
, . ( +) , ( -) - .
.
KCl == K+ + ClBaCl2 == Ba2+ + 2 Cl-.
82
: (+) , (-) - . ,
,
.
(. 10.1).
. 10.1. .
: , ; ,
; ,
,
. - ,
,
:
Cu2+ + 2e = Cu
- , ,
. ( ), :
Zn - 2e = Zn2+
83
, Pt,
, .
.
, ,
. , - .
. 10.2.
, . () 1 .
. - , - , ,
. ,
.
. (, - ). (Zn/ZnSO4, Cu/CuSO4).
,
1, ,
. ,
84
, (, ).
.
,
, , ,
.
Na -2.71
Ca -2.50
Mg -1.55
Mn -1.0
Zn -0.70
Cr -0.60
Fe -0.43
Cd -0.40
Te -0.33
Co -0.29
Ni -0.22
Pb -0.12
Sn
H
Sb
Bi
-0.10
0.00
+0.10
+0.20
As +0.30
Cu +0.34
Ag +0.80
Au +1.50
, , - . , - -
.
, - ,
.
, ,
.
, .
.
, .
,
. , HCl + 5
, Cl-. ,
- ,
,
= Ii / I
85
, . Na, K, Rb, Cs, . , Al, Zn,Cd, . ,
, . , , , .
,
.
. .
10.3.
, , . . -,
.
, . , , .
, ,
, . , , , .
86
, - .
- .
.
, . . . .
, .
( ),
(, , ) . .
, .
, . ,
, ,
, .
.
, . -
87
= - .
. , , . ,
, , , ( IR)
= + IR + .
, , ,
, . ,
, .
, , .
. .
, , . , , . , . ,
, . , . .
, .
88
,
.
10.4.
, ( 15%).
.
, .
4 .
(0.1-0.2 ) . ( ) .
,
,
.
.
.
, , . ,
. ,
- . ,
.
( ). .
. Cu, Ni,
Co ,
Sb, Pb ,
89
. .
W .
. :
1. : Hg, Cu, Zn, Cd, Ag,Bi. Hg
, Cu, Zn, Cd, Ag, Bi ,
. - . , (Hg)
(Ag, Tl, Pb, Cd, Sn), .
,
. Bi, Cu, Zn
.
2. , Fe, . Fe Pt , Cr
Mn , . .
. (
),
. ,
- .
(), ,
.
. ().
- . , , , : KCN Ag Cu, Zn, Au KAg(CN)2, (SnCl2 ).
90
,
Zn, Cd, Fe, Ni, Cu), .
, . ( 1 3 )
: - , - .
0.01 -/, - 0.001 -/.
,
,
.
.
, , ,
.
,
. , , . -,
, .
,
, .
.
.
. , . ,
91
+ .
0.002-0.02 /2 .
. .
. . ,
.
.
,
- .
,
, .
. , . - . , 500 .
. 10:1 - 20:1.
, .
, . , , ,
, .
, , -
92
.
, .
. (
150 ) .
3-5 , .
, :
1. (
). .
2.
, . , , . 7- .
.
, 2 .
5-8 .
, .
,
, . .
. 10.3.
93
, ,
,
, .
, .
. .
, .
10.4.
-8, ,
. .
, : ; ; ;
.
-, , , ,
, , -
, . - ,
.
. . . .
.
, - .
, ,
94
.
. 50
/. ,
, .
0.6 0.8 .
. - , .
10
1. ?
2. ?
3. ?
4. ?
5. ?
6. ?
7. ?
8.
?
9. ?
95
11
2.
5.
11.1.
11.2.
11.3.
11.4.
11.5.
11.1.
- . , , . .
, , , (, , , , , .), -
, . , NiP, ,
, . ,
, .
96
,
, . (, ), , .
11.3.
( ). 1844 . . ,
1946-47 . P , .
, (Fe, Ni, Co, l, Pd).
,
(, , , W, i .), . , .
. 10% (SnCl2), Sn(OH)Cl, .
- (PdCl2 1
/) - Pd.
d, , ,
Ni.
. , 2 2% NaOH, .
10% SnCl2 HCl:H2O = 1:1 20 - 30 .
PdCl2 0,5-1 /, pH=2-3, 10-20 .
.
97
:
SnCl2 + H2O = Sn(OH)Cl + HCl
SnCl2 90-95 0,
.
PdCl2 H2PdCl4. :
Sn(OH)Cl + H2PdCl4 + HCl = Pd + H2SnCl6 + H2O
Pd2+ + 2e = Pd0+
Sn2+ 2e = Sn4+
PdCl2,
,
. .
, Fe, 1. Ni, .
(, .) , .
, , 3 :
NiCl2 + 2 NaH2PO2 +2 H2O = Ni + 2 Na2PO3 + H2 + 2 HCl
2 NaH2PO2 = 2 NaH2PO3 + P + NaOH + H2
2 NaH2PO2 + H2O = NaH2PO3 + H2
98
-
:
N12+ + 2 = N10
2+ - 2 = 2 0
. .
.
1. , .
2. . , :
:
NaH2PO2 + H2O = NaH2PO3 + 2 H(a),
, :
NICl2 + 2 = Ni + 2 HC1.
,
.
3. ' H2PO2 .
.
4. -, :
H2PO2- + H2O = 32- + 2 + + H-
99
N12- + 2 - = N10 + 2.
5. .
-, . - . , .
11.3.
, 1 2 .
0,5-0,6. : 27 / NICl2 60 / NaH2PO2.
,
.
, -. , S V. S
,
:
= (QC 0 + Qp) / Q ,
: QC 0 Qp - , 0 ; Q- , .
S/V = 0,5-1.0 2/.
100
,
.
50 .
, 98-99
0
. 102-1030
60 /.
4 5,5 8 10.
5,5 8 .
, , (H3COONa) (, , , ),
. 10-20 /
2-3 , 25 40 %. , 30 / , , 3N 30 / .
, ,
.
- , , , , , . - 10-6 /. 5060% .
,
- , - , , .
[C6H6O72- ] [Ni2+] = 1.
, . ,
(Cd, Pb, KCNS). , Fe, Ca, Mg
.
101
, , , o, Zn, Cd.
4 6,5 (, ).
6
.
30 2%- -. 3-4
.
, 22 .
, , 10-20 /, ( )
15 /, , .
7 9
, Al, Ni, Mg, ,
(Ni-Co-P, Co, W-P .). 18-20 / ( 24 ).
80 % . ,
. ,
. .
,
. . :
: (NH4)2SO - 50 /, NiS04 - 25 /, - 15 /, NaH24 25 /, - 5 /, 25% NH4OH 9-10. 99-100 ? 1-2 2/. 55-60 /.
11.4.
102
,
-, , .
, , , . , - , ,
, . , , , . : ,
, , , , .
. ,
, , . - , . . ,
( , , , .), , , .
, . -
.
, .
,
.
. (, ,
) . :
, , , . ,
(-7, -10).
150-180 / 30-50 / .
1, Zn, Pb, Sn , (Na23, K2CO3, KCN, Na3PO4) 100-150 /. , -
103
, (9-10 /).
.
. ,
. , , , , , ,
. .
HCl .
( , , ) , .
. .
,
(, .).
.
: 20-25%, 15-25%.
15 60 0 10-15 .
, , , ,
.
, .
.
-7, -10, , , , , ,
-10. , .
. .
.
104
.
- . 0,5 5
. ,
, .
5 10% HCl, 5 10% H2SO4 , 3% HNO3 2% H2SO4 , Zn, Al 3 5% NaOH.
15 20%
HCl 1-2 . .
-
, N, 23,
K2Cr2O7.
. , ,
.
H2S04 250 /, HNO3 250 /, NaNO2 212 /
20-40 0. 1-3 . , 110120 0. , (), 15-20 0 5-6 .
().
.
.
, . :
,
- .
, , , . .
105
11.5.
,
, .
:
1 ;
2 ;
3 ;
4 ;
5 ;
6 ;
7 .
, ,
, , . , . .
.
-88, 1:1, .
, .
. ( ) , 8-10 /, (. 11.1). ,
, .
4-5 2/. ( 10
).
106
. 11.1.
. , (.11.1).
( 8500 ) 1 55-65, 2 3. 5.
. 6, .
( 270 /) .
3
2
5
4
.11.2.
107
, , ,
. , ,
.
10- NaOH 3Na. Ni()2 . , , 4-5
1 70-80 0, 7080% . , Na2[Fe()(3)2] 2 H2O - ,
. .
. () ,
. - ,
.
4 +4NaOH + 32 = 2NaH2PO2 + N3 + 3 + H2O + Na3P04
: - 1000 /,
NaOH - 200 /, 1, 100 0, , 230 / 100 /
. 10 /,
3 3OONa 10 /. Ni 20-30 /, 5-5.5 .
4-
5-15 /, =2
100 0 40-60 .
(3) .
108
11.6.
, , ( ).
,
. Ag, Au, Pd,
Pt, Ir, Ro, Os,
, .
1 3-5
(). :
2 + = + 3
, 60 /;
11. , :
+ = +2
uS04 + 2 = u + 2SO4.
. , , ,
, .
, , , .
,
- (-10, -15, -15, -18
.).
( , )
PdCl2.
,
109
1/. .
, 40 . 20-30 , .
(/):
CuS04 - 20, 35, NaOH 26, NiC1 2? - 6 12,
.
CuS04 30, NaOH 42, 3 25, 140, - 167 /. - 15-20 .
10-30% , (/): uS04 - 8, NaOH 20, ZnCl2 - 4, 20,
- 80, - 20. 300
5000.
:
, NaHCO3. NaOH , N . . . .
11
1. ?
2. ?
3.
?
4. ?
5. ?
6. ?
7. ?
8. ?
9. ?
110
12
3.
6. -
12.1.
12.2.
12.3.
12.4.
12.5.
12.1.
. . .
() . .
, . . -
.
, , , , , . .
111
,
, .
,
.
12.2.
16 100 . . 0,5 5 . / 500
, , . 5 .
,
.
, .
.
.
. . ,
.
()
, , .
: , , , ,
.
, .
112
. 12.1.
(. 12.1).
, . ,
2,5 ,
.
.
, .
( ). .
.
:
. . , .
.
6000 .
113
12.3.
.
, . .
,
. ,
.
, .
,
, . : )
, ) , ) , ) , ) .
2
2,5 . .
. , .
. ,
10 , .
12.4.
, .
, .
(18 24 . /)
, .
114
5 7 , . .
.
(
1-1800 Northeastern ),
, (, .)
, ,
, - .
50 Dyna/Pert ()
500 . . . . , ,
.
(. 12.2), . , ( . ),
.
, , , . , , .
. .
0,025 .
115
. 12.2.
. .
(20 40).
. . ,
. U .
12.5.
.
(20 30 ).
, ,
.
116
, .
.
. -
.
, .
,
,
.
.
12
?
?
?
?
5. ?
6.
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7.
?
8.
?
9. , ?
10. ?
1.
2.
3.
4.
117
13
3.
6. -
13.1.
13.2.
13.3.
13.4.
13.1.
2-3 , 260 .
( 1
2) :
(
Au, Cu, , Al, Pd, Ni);
(25 100 ) (>700 2);
(, , , , )
(t = 150 300 C, t ~ 0,5 10 c, p= 108 /2);
;
(25 ).
4 :
1. :
) < 450 0
) > 450 0
2. :
118
) : (, , );
) : ( , ).
3. , :
) : (, , );
) .
4. :
) .
, . -
, ,
, . : , ,
, .
, , .
. , , . : , - , , .
, ,
,
. - .
,
.
.. . , ,
, ..
119
- , .
50 80 % - . :
;
;
;
(t, p, );
;
, ;
;
.
13.2.
, ,
, , , .
-.
.
, , c .
. .
(), .
120
. 13.1.
. 13.1.
(1) (2), (3) (4) (5), (6), (7), (8) (9).
50 / .
( 1.5 3 / ), (5 10 .
/ , ( 20 . / ).
2.249.020, , ,
-61 . 18 50 .
900 / .
, . .
.
1.139.001.
50% .
13.3.
-
121
, ,
. -
. LOCOS.
. , . ,
( ), . .
. -
. , .
.
. , . +
, -
. 1 .
,
,
.
13.4.
: , , , , , . . (. 13.2) 2
, .
122
. 13.2.
(, , ),
.
.
. ,
.
. , .
(. 13.3). , (. 13.3).
, .
123
. 13.3.
t = 80 100 ,
120 150 .
-,
.
-, .
13
1.
2.
3.
4.
5.
6.
7.
8.
?
?
?
.
.
?
?
?
9. ?
124
14
3.
6. -
14.1.
14.2.
14.3.
14.1.
. .
, . , .
:
1) .
2) .
3) .
4) .
. 230 610 .
(. 14.1):
1 ;
2 ;
125
3 ;
4 ;
5 ;
6 ;
7 ;
8 ;
9 ;
10 .
. 14.1.
(1 5 , 1000 5000 / ) .
, 50 1 2 .
43-
20 22 - - .
. ,
. .
14.2.
-
126
.
: ,
2- ; , ,
; ,
; ,
.
, . . 60 .
, ,
. Microplacer MTI ()
. Universal ().
, , .
3- . , . , , , . . (2 )
, .
,
(. 14.2, ), (. 14.2, )
(. 14.2, ).
127
. 14.2.
, . , .
. , (), -.
14.3.
.
, ,
, , . , , , . ,
:
;
- (, , );
, , , .
:
128
;
;
;
;
;
.
:
1. ,
2. , :
) ,
) ,
) ,
) .
30 100 0
. .
4 18 ,
25 60 , 50 120 .
(25 55%) (1,5 3 .), (9 10 .),
(15 .).
:
1. ,
2. ,
,
3. ,
(),
4. , , Pb Ba , .
Cu .
, , 2 -
129
700-1000 , .
Ni 1500 , Ni
100 2000 .
MXH1- 4, Cu-N,
- u.
.
-61 280 10 0C, 1-3 .
.
, .
:
) ,
) ,
) .
.
14
1.
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2. ?
3. ?
4. ?
5. ?
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8. ? ?
9. ?
10.
?
130
15
-
3.
6. -
15.1.
15.2.
15.3.
15.4.
:
1. ,
2. ,
3. ,
4. .
15.1.
, , ,
, . , , ,
.
. , ..
.
(, , , CCl4, ) -
131
, , , .
- , .
.
. ,
. .
, . . Cu 3 5 , Ag 10 15
.
, . 61,
, Ag, Au, Pb ,
. Al
. , ,
.
, , , .
2 :
1. ( , , ),
2. .
, .
5 - 6 .
4 :
1.
2.
3.
Sn, Au, Ag, Cu ,
, , Ni, Zn, ,
,Mg, Al, Fe, Mo .
132
4.
, , , -
15.2.
.
.
, , , - ..
. ,
,
.
.
.
,
,
. , .
:
(N2, Ar, He, ), ,
(H2, CO, H2+N2) , .
,
, (,
, ), - . , ,
, . ,
(Cd, Mg, Jn, Zn .),
.
-, ,
. , . ,
133
,
.
. , , . (Zn, K), ,
.
15.3.
, (. 15.1), , .
100 ,
.
, 3- :
1 ();
2 ;
3 .
. 15.1.
(15.1)
(15.1) .15.1 , , . ,
.
134
Aa Ak
.
K = Aa Ak, ( )
(15.2)
. , , . , , , . , , .
, . ,
, .
. 15.2.
, .
:
. , 0.9 1.2 .
135
. 15.3.
15.4.
( ) (. 15.4), . . . , , , ,
( 20,5 ) ( 0,4 0,3 ),
(0,2 0,1 ).
. 15.4.
136
.
, .. , :
r ; b, n ; h .
2,3 ; ; g
; - .
15
1.
2.
3.
4.
5.
?
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6. ?
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8. ?
9.
?
10. 10)
137
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14, 10)
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2015 . 7 2018 .
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190
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1971 . 0,3 .
1982 . , (), .
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1986 . .
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(n = 1,44), ,
. , n , 1,2 -
206
193 134 . , . , .
, . - - , 193
dn/dT= -10-4/, .. 20 , . ,
. 193
65-55 .
, -193
157 13,4 (
), -193.
157
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(NA >
0,8).
157 . ppm -ppm.
.
, . . 157
,
,
150 . ,
. . 248, 193 157 70 , ,
k1, 0,4, 248 ( 2),
207
193 - NA = 1,15, , 157 - NA = 0,9, . NA 1 .. 0,85 0,38 ,
157 (70 ).
, . 157 20042005 ., ,
-193, -157.
-157 - . ,
45 .
157 50-45
13,4 . , NA = 0,85 157
, k1 0,27, . NA = 0,25 (
, 6 0,7, ) k1 , 0,9.
- 50-45
. () 80- . - 10-14
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, .
. , 13,4
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, 0,7 . -
( N = 0,1 0,25). (),
0,10,2 (). , , -
208
- ( 100 ).
, .
. . , .
.
, - . , INTEL -157 70 50 . 50 . -
UV . .
,
-. -EUV LLC-, -
ASET-, - Euclides -
. ETS Sandia Labs, , , .
ASML (). -, 50 , 2007 . 0,25. , 90-65
-193.
-157 . 2004-2005 .
, , .
, , - 2007 . , , 50, 35 , , 25 .
, -157
209
. , , . . 22.3.
22.3
(ITRS 2003)
,
,
Tx.equi,
, /
p-n, ,
2012
2004
2007
2009
90
65
50
35
25
53
32
25
18
13
1,2
0,9
0,8
170
230
230
3,8
12
20,4
20
17
14
0,7
11,2
13
2015
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, 2
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. , , ,
, .
( ) ,
210
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(2)
..
(3)
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. , , ZrO2 ( Ehi= 25) Hf 2 ( Ehi= 28). , ,
Si-SiO2 (0,5 ) - Hf O2 (3 ).
, Teff 0,92 , 3,5 . ,
Si-Si2 ,
( ) .
- .
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, 20-10 . - ( ) ( )
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- , . 10
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211
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1 , . , , (), - ,
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22.3.
- . ,
, 2009 . . , , -, , ()
(.22.2).
212
.22.2. - () ().
10 . ( 100 )
. (nondepleted) -. .
(partially depleted) -.
(5-10 ) . (fiilly depleted) - , -. , ( .), p-n-.
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213
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, 5 -
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-
. ,
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2010 . 35 .
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, -10 , , , - .
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215
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. 22.3. .
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218
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, , -, ..,
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219
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. 22.5.
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. U, Cg, I , ,
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220
23
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9. LIGA-
23.1.
23.2.
23.3.
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LIGA-
LIGA
LIGA
LIGA-
23.1. LIGA-
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. LIGA .
LIGA
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. f
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LIGA -
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. 23.1
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222
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10 .
23.2.
(. 23.2) 100 ,
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. 23.2.
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, , .
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20
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,
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223
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, ,
.
. 23.2.
23.3. LIGA
500 (. 23.3). ,
( ).
224
. 23.3.
1 1000 .
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, ,
, (. 23.4).
. 23.4. ,
.
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225
. , IMM, 20 , .
, (). . .
. ,
.
(. 23.5).
. 23.5.
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- . , .
, - .
LIGA- , , (. 23.6).
226
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(. 23.7), 5 .
().
. 23.7.
23.4.
. . , -
227
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. ,
, 12 . .
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.
. 23.8.
.
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LIGA - , , ,
150 - 500 .
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228
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23.5. LIGA -
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. ,
, . 20
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,
, . , .
229
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, (. 23.9).
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. 23. 9.
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- ,
. ,
. , .
, , .
-
. . . -
230
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, .
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10 2 .
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, . . - .
, , ,
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,
, . .
.
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231
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. , .
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. ,
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232
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(AES, XPS, UPS);
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.
23
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233
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6. ?
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10. LIGA .
234
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24.1.
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. , , , . - .
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235
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-
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. , , , 50- . 1957 1960 - . - . - . 1964 - .
-
, . .
,
, .
, . ,
, .
236
24.2.
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238
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- .
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239
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, . ,
, ( ) , , -,
, -,
. , . 24.2, .
. ,
, . .
, , , , .
2800
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= 3000 , 5104 /2. 10 50 . , (,
),
(. . ) , , . (LaB6), 1 - 10 .
LaB6 2,4 , ,
, , LaB6 .
: 100 /2 = 2000 , - 106 -2
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240
.
, (10-4 ). .
.
( ,
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, , 0,1 1 ,
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, , ,
( ). .
, LaB6. , ,
(2,6 2,8 ). ,
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-1 = 1400 . , . . 210-6 .
, ,
, .
, .
24.3.
, ,
( ) .
, .
,
. ,
-
241
. , ,
, LaB6 W/Zr.
, LaB6 , . . , , , , . ,
. , , ,
. ,
25 . ,
.
.
, , s = 0,4
0,7 , .
, . 24.2; .
-
. .
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2 3 0,22 . W/Zr- 0,9 .
, .. ,
,
.
242
: . , ,
. .
. :
Jr02eU00.50.51+kTbeU02-0.25
Tb . , Br00.5U00.25, B , a r0
.
, ,
. , , ,
, , .
24.4.
, ,
(. 24.3). .
, ,
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=0*[4*m*M/(m+M)2]*Sin2(/2);
0*(4*m/M)*(2/4),
m - ; - .
243
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.
, ,
.
,
, .
/ S, ( - ):
/ S=N*e4*Z/(2**E)*ln(2*E/J),
N (N~ 1028-1029 3);
; ; J ~13,52
, ; Z .
, NZ , . , , , .
,
, . , . , U = 10 R = 0,27 , U = 100 R = 27 .
,
. 1/3 , 0.
. -
,
, , .
244
, ..
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R = E02(b1),
- ; b1 .
b1 ~(2,1-2,5) 10-6-12
-,
.
- 10 150 ,
0,2 0,6 .
.
(. 24.3). : , . .
.
, , . ,
.
20 60
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. .
.
245
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- ,
25 %, 38 %.
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6. ?
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10. ?
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3.
4.
25.2.
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-
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, - .\
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, UB/UB 1-2%, JB/JB 1%.
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247
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. ,
. . , , . , .
. , , , , - , .
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, Ga As . ,
,
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, . As2.
(10-8 .) , . 10-5- .
.
- . , , , . -
248
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GaAs Ca, Zn, Te, Si, Ge.
- 2 - 2 (N2, He,
Ar ).
.
.
25.2.
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, 0,
- .
= 0 +
, . F
0 +
F = PQ,
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(PV)
PV = PQ -
W = 0 +
F - W = P -
- F - W
PV , .
, , , .
249
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t =PV/P0.
(tw) ,
km, :
tw = km*PV/P0;
. Al V = 1700 K, t = 0,5, a tw =
0,2, km =40 %.
, P0 .
E = 0/v.
:
Av = PV/av, t = amv/am.
m .
.
, .
mv = 3,5 /.
.
250
25.3.
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, . 0,
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, ,
(
, , ). : , .
, .. , h .
h = 102Pd/ ,
: - , Pd .
.
- . , ,
. ,
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, ,
. ( ), .
, ,
L.
.
( 3 250 ),
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251
.
25.1.
25.1
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4,17
ak
/
125
e
/
16,5
+ 20% r
70
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Al
25
250
46,0
150
1200
30,5
5,4
100
500500
( 3 250 ),
PF =
108 109 /2. ,
, 10:1 50:1.
.
, , .. , (
). , . . .
25.4.
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,
.
252
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25
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2. ?
3. ? ,
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4. ?
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6. , .
7. ? .
8. .
9. ?
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253
26
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1.
2.
3.
26.1.
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,
. . , , .
, .
, , TS.
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0,2 . 50 5000 . n/n .
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254
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- .
= ( 1 + D)/ D,
: 1 , ;
D , .
, , . ,
.
, .
, , .
, . ..
.
, , .. .
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, . .
255
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. ( ) TS ( ),
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, , , ,
, , ,
.
, ,
- . . .. . .
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) , ;
) ;
) .
.
256
26.2.
, , , , , , Ar.
(. 26.1).
. 26.1.
, . (. 26.2).
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, ..
:
) ,
(. 26.3, );
) ,
(. 26.3, );
) (. 26.3, ).
257
. 26.2.
. 26.3.
26.3.
- .
,
.
. .
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) .
, , . , . ;
258
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)
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. , , , ,
, .
26
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2. ?
3. ?
4. ?
5. ?
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8. .
9.
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259
27
4. -
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27.1.
27.2.
27.3.
27.4.
,
. ,
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.
, , , . . , . (> 106 /
2) . 1 . . .
, .. . -
260
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.
27.1.
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. , . 0,1
300 . .
.
. .
:
1. ;
2. .
,
,
.
Q, / 2 S. J, / 2 S:
T = (QS.) / (JS),
J = 1 /2, S = 0,1 , t = 60 .
261
,
.. . , . .
.
.
27.2.
0,05 - 0,5 . 0,25;
0,13 0,08-. (1-10) .
,
-. , ; .
( 10 0),
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262
. 27.1.
, , - .
. Mo, Al,
Cu, - .
, . (. 27.2).
. .
- , .
. , , .
263
. 27.2.
, .
,
Be, Al, Si SiO2 Si3N4, SiC, . , Al-(V = 0,834 )
Si 10 .
, , .
(Au, Pt). ,
. .
- , .
2 Cr, Au 0.5 0.7
264
. Pt ,
, . Au Si
, Si-,
.
Si n- 250 .
.
. 1-3 , , = 1320 3 BBr3,
BN 5 = 1410 . Cr (30 ) Au (400 ), ,
.
- . SiO2.
HNO3 : HF : CH3COH. Si-
. Si3N4
= 1050
NH3. Si3N4 0,2 SiO2 1 .
Ti 0,2 , , Au, .
Si . 80 .
. .
.
, .
. 0,3
.
.
27.3.
(. 27.3).
. -
265
( ) ,
, X Y, , .
. 27.3.
-
.
, , .
= S(d/ D) , S ; D ; d- . 0,1 .
, -
266
. () () .
27.4.
. Si <100> <110> , <111>. , ,
Si SiO2 (H2SiO3) H2SiO3, .
Si . , HF : HNO3 : CH3COOH = 1 : 40 : 15
Si 0,2 / 1:3:10 '''',
130 / .
<111> V = 4,5 / . <100>
,
.
()
-
125 1. At
Si
( 100 ).
pSi - .
() - N2 - , = 373 .
- , . .
- ( <1) . -
267
t0
.
22 : NH4OH : H2O = 1 : 1: 4 6 .
27
1. , ?
2. ?
3. ?
4. ?
5.
?
6. ?
7. ?
8. Si2O Si3N4/
9. ?
10. ? .
268
28
4. -
10. -
28.1.
28.2.
28.3.
28.4.
28.5.
28.1.
( : Light Amplification by Stimulated Emission of Radiation -
) - , .
. - , : , , ,
. , . . ( , , .), (, .), ( ). ,
.
, , , , .
269
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:
E1 E0 = h,
h- , - .
, , .
, .
, , .
. , ,
( ). , , - . ,
.
- , , .
:
I = I0 exp(z),
- , z - , , ,
. () ( . kohere - ).
: ,
, , , - , .
- , ,
270
. , ,
, .
- ,
.
, - , - , - .
- , .
;
. :
1.
, ;
2.
. ,
: .
, .
28.2.
.
.
. , , , . ,
, , . ,
, ( , . ) ,
.
271
. ,
, . ,
- ;
, .
(-, ). , ,
.
,
, 10-4 10-10 ,
. , ( ),
,
(109 ), .
,
, , .
- ,
, , ,
, , . .
- , , .
; , .
28.3.
.
, .
(-; -.). -
272
. .
. , , . .
. ,
.
. () . ,
2 .
, .
MIT (), ,
30-100 . , . . .
28.4.
, .
,
. Ar- , Au .
1-10.
273
Al 3- Al.
, .
. (), . .
28.4.
NO,
- SO2 ( ), , . .
.
1. - 300 0. 2- .
2. - , , 300 / .. .
3. , . , ,
,
H2, Si
- . .
4.
.
5.
274
28
1.
2.
3.
4.
5.
6.
7.
8.
9.
, .
.
.
.
.
.
.
.
.
10. .
275
29
4. -
11.
29.1. -
29.2. () .
29.3.
29.4.
29.1. -
(19601962 ., J. Jnorg. Chem) () MOC-CVD (chemical vapor deposition) ( ) , .
, , : ; ; ; ; ; - ().
, , ( <1 m.).
. , : -, .
3 : ,
.
276
SiH4 + O2 SiO2
WCl6 W + 3Cl2
SiCl4 Si + 2Cl2
- H2,
Pd. , , .
2 , . - . , , AgCl3 +
H2,
.
SiO2.
: SiH4 +O2; Si(OR)4, SiCl4.
.
2SiCl4 + 4H2O 2SiO2 + 4HCl
- H2,
Pd. , , . ,
. . : SiBr4 +
CO2, SiH4 + H2O + Ar, SiCl4 + CO2 , SiCl4 +(CO2 + H2) + H2O. NO. SiO2, Si3N4, . SiCl4 + NO
825-925, SiBr4 + NO 950 1200.
, . , , , -
277
,
-. , , SiO2 SiN4
.
. , Si- , ,
. Si(OC2H5)4.
:
-;
;
, , , ,
, 400 .
1250 15 .
fluxgrown. , - .
.
:
,
(, ). .
;
.
. 29.1 .
278
H2
Ga
. 29.1. - GaAs
.
0,1 .
- -.
AIXTRON
. AIX 2400/ 2600 G3 . , . , , ,
. , .
- 3 .
, AsCl3 + H2 .
. Ga, . -
279
, .
GaAs Ga AsCl3. GaAs, . Ga - 820C, 750 - 765C,
AsCl3 + H2 - 300 /.
, Ga .
AsCl3 + 2 -. , , .
29.2. ()
.
() - -
(. 29.1).
:
(3)3 + 3 + 34
(25)3 + 3 + 326
. ,
-, :
.
280
29.1
()
()
()
()
()
l(CH3)3
Ga(CH3)3
Al(25)3
Ga(25)3
3
AsH3
SbH3
, 0
15
15,8
- 52,5
-82,3
-133
-117
- 88
, 0
15
55,7
207
142
- 88
-62
18
. GaAs, GaP, GaAs1-XPX (), AlAs, AlP, GaAs (). (H2S, H2Se). ()
() .
() ZnGa . AlN
GaN , HNO3 .
.
700 N2 Ar. SiO2 10 70 ,
, . 150-300 ,
700 .
(O2, Ar). - 1 ,
0,5 ,
. SiO2 Si-O, - . SiO2-
. SiO2, ,
, , .
281
29.3.
, Al
Ga, .
. GaN
.
AlN, GaN GaAs
- (). , ,
. - , - .
-
, (0,05 ) .
AlN GaN ZnO , , -. GaN ZnO
. (),
Zn-ZnOH, 450 ().
AlN GaN
(Cr-Au) 29 .
. AlN 2
, , LiNbO3.
. GaN, ,
. GaAs
. GaAs .
Si, SiC, -Al2O3, GaAs, MgAl2O4 ,
282
. , , .
GaN AlN Ga Al (-Ga, -Al) NH3.
, .
(
, SiC). ()
:
(CH3)3Al () + 2NH3 () 2(CH3)3Al . NH3 (.)
3 60 C, 160 C,
.
1200 1,75 /.
. , 30, 2 25-100 /.
,
. ,
2. 1-7 /.
.
.
, . ,
.
AlN , -
AlN AlN.
AlN GaN: , Al2OC,
- . NH3 GaCl3
,
283
.
AlCl3 150 HCl Al
1000.
, -NH3 -SiC
Al2O3, 925-975 , GaN. ~ 3 /. GaN ~ 0,1 /. 930-910 n-;
700 - , . () C-H-Ga-N,
1050 Ga.
29.4.
:
, ,
. .
. ,
, .
. , . 17 /.
.
.
, . ,
.
: , , / . (p10 ) . , .
284
(10-20 /),
( 10 ) . / ,
,
(C,D), .
. /
.
, ,
, . , , .. . , , , .
, ,
.
GaAs
Ga AsCl3. . , .
, . GaAs, . :
820; 750 705 ;
AsCl3 + H2 300 3/. AsCl3-Ga-H2 Si, HCl
. ,
. AsCl3 + H2 -. , , .
max [111] min [100] 0,06 0,8 /.
, ;
AsCl3 ; [100].
. IIIV - -
285
, V .
3, :
Ga(3) Ga+ + CH3
2CH3 CH2 + CH4
2CH3+ Ga(3)3 Ga(CH3) + 2CH2 + 2CH4
CH2, , GaAs - . . ,
V CH3 , .
- , .
Ga(C2H5)3 GaH(C2H5)2 + C2H4
-
- . -
.
- V . , As(CH3)3,
As(C2H5)3, C4H9PH2, C3H7PH2 AsH3, PH3.
AsH2(C2H5), AsH2(C4H3).
(in situ) . :
286
(reflectance anisotropy spectroscopy RAS, reflectance difference spectroscopy RDS,
spectroscopic elipsometry SE, palarised reflectance spectroscopy PRS);
(surface photoabsorbtion
SPA);
(elastic light scattering ELS).
, .. .
29
1. ?
2.
?
3. , ?
4. ?
5. SiO2, ?
6. AlN GaN .
7. ?
8. ?
9.
?
287
30
-
4. -
12. -
30.1. -
30.2. -
30.3.
30.1. - .
-
, , ,
.
- - ,
.
,
() .
- ,
.
() . . , . ,
. .
288
. , ,
() . , .. , , , .
, . .
,
(. 30.1).
30.1
( 300 )
, - , - , , , .
( )
- -
,
, - ,
.
( )
.
289
,
. ,
. ,
.
, :
Si OR + HOH Si OH +ROH
.
.
- .
, . , ( ),
, ,
, , SiO2 TiO2.
, .
30.2. -
-
, .
11000 .
290
. , -- . ,
.
.
, . (). .
. ,
. , . .
:
, ;
, , .
:
,
,
.
, .
.
( NH4OH, NaOH,
KOH). : ; ; -
291
; ; (, ).
.
:
;
;
.
(). , .
. , ,
100 150 .
400
.
, , .
(
SiO2)X. (23, 25, PbO .).
() , -,
SiO2 . , .
.
,
, ,
R
.
,
.
292
, ( ) .
l NO3
.
, .
.
.
. .
. , , ,
SiOSi
.
,
OR . ,
, , .
IIIV .
, , .
.
, .
.
Si OC.
, -
293
. :
Si(OR)4 + 4RCOOH = Si(OH)4 + 4RCOOR
[-Si-O-Si-]n
Si(OR)4 + H2O + ROH = Si(OH)4 + [-Si-O-Si-]n
, . , ,
. , , , :
;
;
.
,
( Al, Zr, Fe, Cr, Co,
Ni, Bi, Pb .).
.
- ( ) - .
, , .
,
. , .
1.5 1.8 Si-Pt-O co SnO2, .
5500
294
, .
- , , . - -
(). () , , SiOSi .
30.3.
. NH4OH.
.
Be, Al, Y, Ln HgCl2, J2, HCl, HBr
.
Ge, Ti, Zr, Nb, Ta, Sc, Y, La
.
.
MXn = ROH = M(OR)n + nHX
- , ,
.
,
, .
, . -
295
,
, , .
, , , .
( ). : ( ) ; ; .
- .
:
- . , , , , , , , Si- , .
(
) , , ,
, .
.
60% . :
+ - ;
+ - ;
() , .
.
, . .
.
296
30
1.
2.
3.
4.
5.
- .
.
.
.
,
, ?
6. - ?
7. - ?
8. - ?
9.
- ?
10. ?
297
31
4. -
13.
31.1.
31.2.
31.3.
31.4.
31.1.
(LPE Liquid Phase Epitaxy) .
, . 1836 .
. ,
.
:
1) , ;
2) ,
.
GaAs GaAs (. 31.1)
: , 800900,
298
GaAs + Ga GaAs ,
.
. 31.1.
800900 ,
, ,
.
400500 , , ,
.
(14 ) . GaAs
. ,
, .
. 14 750 800 .
. , . 31.2, .
.
.
0,01 1050 .
299
. 31.2.
Ge 50
/. Ga . 1000 1050 . 0,1 10 /.
Si Al.
. Si, Al (. 31.3),
, .
, , . , . -.
n- p-n .
. , . 35 90 . , .
,
.
300
. 31.3.
, , 200 Ga, 100 GaAs, 1 Al
n- 4 12 Ti. 25 30 . GaAs Al Ga,
,
. GaAs Al Ga , As Al
. , 10.
: 970 , 1 ,
; 960 , 1 . ; Ga , 12 ;
2 .
GaAs /Al. Si 600 Ge. 400 Ge 125 .
( 2) . . ,
.
,
, (, ). Si.
301
,
. (90 % Ga, 10 % As).
,
GaAs
As . , , : , , .
31.2.
:
1. ;
2. Ga GaAs ;
3. ;
4. ( GaAs 750 );
5. ;
6. 0,3 /;
7. ( 12 18 )
.
, Si
GaAs.
Si p-.
, .
. (210-3 .
.) n-. , ,
.
(2,6 2,9)1025 3,
, .
302
.
.
, . .
, , . ,
. (slider
.) . , ,
(. 31.4),
. ,
Al, Al2O3.
. 31.4.
(. 31.5).
10-3 10-2 /.
1 . (3 18 /) , .
( 0,01 825) (0,75 2)
1 20 .
303
. 31.5.
,
. , ,
.
.
.
. , 10 %.
(111). , ( 0,03)
. 0,5 1,5
(111)
1500 . .
( H2O2)
, .
.
,
.
, ,
304
,
.
, , . . ,
.
31.3. ,
, ,
-, , , .
( -).
, .
, ,
.
,
, , , ,
.
35 (GaAs)
, 35 (GaP, InSb).
GaAs
ZnP - .
InSb, GaSb, Ge-Si .
600- . 400
125 .
305
PbS Ge
NaOH, Pb(NO3)2 .
GaP -- ,
( - -).
Ga-Al-As .
, GaAs.
Eu2Er, Ga0,7Fe4,3O12 ,
EuEr2Ga0,2Fe4,3O13
Ga3Ga5O12 , Eu2O3, Br2O3, Ga2O3, Fe2O3
PbO B2O3 .
31.5.
AlXGa1-XAs, GaP, GaAs,
(. 31.6). .
GaAsAlGa-As.
.
,
AlXGa1-XAs, . Al/Ga,
. , Ga
. .
AlXGa1-XAs, , GaAs,
GaAs. , GaAl ,
(5), ~0,8 .
306
(6) : (Te, Zn).
(7).
, ..
t. GaAs.=9300. (2) . 10 ,
9000 0,4 /. 50 ( 9050) 9000 0,40/ .
.
. , t = 9000 ,
, Ga. ,
, . .
, ..
(~ 1 Ga 12 GaAs ).
, .. .
. GaAs
, ,
~0,25 .
HF:HWO3 :H2O (1:2:4). GaAl , Ga-AlAs .
Al2O3 (SiO2 , .. Zn ).
Al2O3 13,5 z t = 3500 ~10-7 Ar. . Al2O3
(85%). SiO2 0,1 t = 4500 2..
. 800 , Zn
7950.
307
. 31.6.
- (2) 4003/. , 1, ~2
35 -. AlXGa1-XAs
Zn . SiO2
HF ( ).
250 Au c Zn(5%),
KJ-J2. AuSn
.
.
- ( ) . .
31
1. ?
308
2. ?
3. ?
?
4. GaAs?
5. ?
6. ?
7. ?
8. ?
9. ?
10. ?
309
32
4. -
14.
31.1.
31.2.
31.3.
31.4.
31.5.
: Al () (SiO2-Si-Si-SiO2)
32.1.
, ..
(). :
1. ;
2. ;
3.
;
4. ;
5. ;
6. .
1 2,
5 2 .
, , .
310
, ,
(, ), : , , , , , .
.
, , ,
.
:
,
,
.
32.2.
:
1.
.
2. .
.
3. ,
.
4. ( ) ,
(, ). , ..,
, .
311
32.2.1.
, , ,
, .
, , . , . (
5 . ).
,
. ( )
,
. :
-
,
- .
,
:
- 100%- ;
- ;
- ;
- .
: -
, .
, .
.
, . -
312
.
,
.
32.2.2.
, . , .
. - . .
. ,
,
. , ,
.
. 10 .
100, ,
, . , 10 %
,
3%. ~ 30 %.
. 15 /.
.
.
,
. , , ,
, ,
313
.. ,
.
. (h=50-60 ) Cu c
( ). . . .
, 2- 1-
, .
. . , .
2000
~ 500. 100 %.
2- 1-
, .
, . ,
.
, .. , .
.
: Cr (0,1 ) , Al (1 ), Cu (5 ). Cr
Al Cu. 383. , . .
Al-SiO-Al , Al SiO
314
. SiO .
SiO2
100. 1,5-2,0
.
5%.
(SiO2
+ ) 14-15 . ,
,
Au, . Al Cu.
,
, .
().
,
.
1. Al 0,7
0,05 /. , , 2-3 .
32.3. : Al (SiO2-Si-Si-SiO2)
(Cu-V) . :
1. Al;
2. ;
3. SiO2 Si t=500 (0,2 );
4. Si ( ) Ar (1,2 );
5. Si;
6. Si,, SiO2;
315
7. SiO2 Si ().
Si, SiO2 Al;
8. Cu V;
9. ;
10. V Sn ;
11.
.
30-40%. , .
. 1
: (Ni-Cr) (Au-Cd)
. 1 . 2
200.
Al, .
Al Ti V 0,5-1 ,
Al Al Au .
, , -22.
Ag Pd,
- , Al2O3 .
, . -
.
. . , ,
.
.
316
( ), , , . .
, V. . , .
2.
, . , .
32
1. ?
2. ?
3.
()?
4. ?
5. ?
6. ?
7. ?
8. ?
9. ?
10.
?
317
33
4. -
14.
33.1.
33.2.
33.3.
33.4. .
33.5.
33.1.
.
. .
().
.
, , ,
.
: ,
(PbO, TiO2, Bi2O3, HfO2, GeO, Ta2O5, ZnO2, SnO2, ZrO2, CaO, Al2O3, BaO, Mg2O
.). SiO, SiO2, Al2O3, Ta2O5,
318
, .
, 500C.
,
( - ) - (CVD ).
33.2.
Si3H4, ..
, , , SiO2. , .. CVD , NH4 1000C.
.
.
, .
, .
SiO2, GeO, BrO3, P2O5, Ag2O3, Sb2O3.
TeO2, SeO2, O3, Bi2O3, Al2O3, Ga2O3, V2O5.
5 .
(~0,1 ) .
, , .
.
. :
Al2O3 10 %, ZnO 40 %, CuO 10 %, PbO 20 %, Ba2O3 20 % : 30 %, 20 %, 15 %. -
319
2-3 4000 /.
7 .
. , = 250 700 C. , , .. . T=250-700
.
, ,
, .
, , , .
, . ,
, .
. ,
: = 2,5-6,0 ( ), > 1010
/. ( ).
.
:
1. , , . t=110 .
2.
(1- ) ,
, , , . 1000-2000 , 200 .
320
.
3.
. , . , . 1600, , .
, . .
.
(>106 /).
2 , , . .
1 103,
200. n ,
.
. .
: Al2O3-SiO2, Al2O3- 1 .
33.3.
- ,
.
.
321
Al, Au, Cu, Ta, Ag, Cr-Au, Cr-Al, Ta-Al.
0,01 /.
Al-Au
Al 4 Au.
AuAl2 AuAl, . Al Ta
.
. 500 , Al Al2O3, .
33.4.
1.
2.
,
. , ,
.. . .
. Al2O3 Ta2O5 . :
) 1- (Ta, Al).
(Al2O3,Ta2O5) 1-
.
) Al,
, , .
) , ,
.
) Al2O3 SiO2
0,5 .
322
, . .
.
, .
, SiO2TiO2 . Al
Au.
33.5.
:
1. , ;
2. - ;
3. - , -
( );
4. , ..
( )
();
5.
.
Al r , SiO2
.
1. :
Al, SiO2, Al. , .. . , . 100 . , . Cr, Al
SiO2 50.
-
323
. ( ) ( -
). , .
: , , (
).
33
1. ?
2. ?
3. ?
4.
?
5. ?
6. ?
7.
?
8. ?
324
34
4. -
14.
34.1.
34.2.
34.3.
34.4.
34.5.
34.1.
-,
. , . - Al
. .
Au-Au .
(400 ) . . t- .
. ,
. , . , -
325
, . .
:
;
;
.
, , , .
:
1. ;
2. ;
3. .
,
. , . . +-25 . ,
. , , . .
.
.
-, (
) - , - , : -
326
( = 0,5 ).
, .
t - . . ,
, .
, .
300 . - . Ni, Au, Cu.
, . . t (500 - 600).
.
,
- . .
.
, .
, - . .
.
. , 225 275 . .
- - . -
327
, , .
. : ,
,
. , , , .
34.2.
.
. ,
, , . , .
: (
),
( ) , .
328
34.3.
. 34.1. .
(. 34.1):
, ( )
, ;
.
.
, . , .
( , , ) . (, ),
,
"
", .
, .. . ,
329
.. , .
34.4.
() , .
70 ,
(. 34.2). ,
: (70) (40). .
. 34.2. .
. -,
"-", .
. -, () , . .
330
,
. , .
34.5.
.
60
.
.
,
, .. (. 34.3).
. 34.3.
. ,
,
("") .
, .
,
.
, , , .
331
: , ;
; ,
; .
, .. , ..
.
34
1.
?
2. ?
3.
?
4. ?
5. ?
6. ?
7. ?
8. ?
9. ?
10. ?
332
1. , . . : / . .
. .: , 2005. 358 . . . 25.
2. , . .
: . / . . , . . , . . .; .: .
, . - .: . , 2002. 527 . . . 42.
3. , . . / . . . - .: . 1986. - 220 .
4. , . . / . . , . .
- .: , 1987.
5. , . .
/ . . , . . , .. . - .: , 1985.
6. , . . / . . . - .-: ., 1963. - 428 .
7. , . . -
/ . . , .. . - .: , 1989. - 128 .
8. : . / .: . . . .: . . -, 1987. - 360 .
9. / .: . . , .: . . , .: . .
. - .: , 1975.
10.
, . . / . . , . . , . . ; .: . . . - , , 1975.
11.
, . . / . . - .: . , 1978. - 96 .
12.
, . . /
. . , . . . - .: . , 1974. - 176 .
13.
, . . / . . , . .
, . . , . . . - .: , 1976.
.1
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