Открыть Электронные книги
Категории
Открыть Аудиокниги
Категории
Открыть Журналы
Категории
Открыть Документы
Категории
Принцип работы:
Ход работы:
1. Установка образца и зондового датчика.
2. Определение резонансной частоты в автоматическом режиме.
3. Подвод зонда:
первоначальный подвод зонда под контролем видеокамеры с микроскопом, затем
подвод зонда автоматически самим прибором.
4. Сканирование. Получена топография исследуемой поверхности.
5. Обработка данных
Топография поверхности.
6. .
Характерные размеры отверстий:
№ dy, нм dx,нм
1 125,52 1215,7
2 117,91 1281,5
3 114,68
4 123,41
среднее 120,38 1248,6
dx-ширина
dy-глубина
1248, 6
tg 5,186
2 120,38
79,13Ñ
2)
№ dy, нм dx,нм
1 95,59 511,42
2 99,64 481,33
3 98,18
97,8033
среднее 3 496,375
496,375
tg 2,538
2 97,8
68,53Ñ
3)
№ dy,нм dx,нм
1 115,65 875,69
2 113,22 940,56
3 110,8 940,56
4 97,37
918,936
среднее 109,26 7
918,94
tg 4, 205
2 109, 26
76, 66C
№ dx,нм dy,нм
dx dy , í ì
2 2