Отчет по лабораторной работе

Сканирующий зондовый микроскоп

Исследование поверхности твердых тел методом атомной силовой микроскопии.

Каширин Дмитрий, 305 гр.

Цель работы:
1. Изучение принципов работы прибора NanoEducator(СЗМ), основных
компонентов СЗМ и их назначения.
2. Получение топографии поверхности исследуемого образца в режиме силового
взаимодействия.
3. Обработка и анализ полученных изображений.

Принцип работы:

В основе сканирующей зондовой микроскопии лежит детектирование локального

взаимодействия, возникающего между зондом и поверхностью исследуемого образца при
их взаимном сближении до расстояния ~ λ, где λ - характерная длина затухания
взаимодействия «зонд-образец». Двумя основными методами зондовой микроскопии
являются СТМ и АСМ.
Сканер и двигатель используются для контроля перемещений зонда на сверхмалые
расстояния при СЗМ измерениях. Принцип работы основан на пьезоэлектрических
двигателях. Работа большинства их основана на обратном пьезоэлектрическом эффекте,
который заключается в изменении размеров материала под действием электрического
поля.

Рис. 1. Конструкция универсального датчика

прибора NanoEducator.

Зондовый датчик (рис.1) состоит из игольчатого зонда, закрепленного на трубчатой

консоли, которая, в свою очередь, закреплена на неподвижном основании. Одна часть
консоли используется как пьезовибратор, другая — как датчик механических колебаний. К
пьезовибратору подводится переменное напряжение с резонансной частотой системы. При
приближении же зонда к исследуемой поверхности игла начинает взаимодействовать с
образцом.

Сила взаимодействия пропорциональна R/r, где R - радиус закругления иглы

датчика, а r - расстояние до поверхности. Степень взаимодействия увеличивается, а
амплитуда колебаний уменьшается, что влечет изменение величины сигнала от датчика.
Процесс сканирования поверхности заключается в том, что зонд движется вдоль
линии сначала в прямом, а потом в обратном направлении, затем переходит на
следующую строку. Движение зонда осуществляется с помощью сканера небольшими
шагами под действием пилообразных напряжений, подаваемых с генератора
развертки.
В процессе сканирования производится поддержка постоянной величины
взаимодействия «зонд-образец». Реализуется это с помощью системы обратной связи.
При возрастании сигнала сенсора, он сравнивается с опорным напряжением, и компанатор
вырабатывает корректирующий сигнал.
В качестве датчика силового взаимодействия одна часть пьезоэлектрического
трубчатого кантилевера используется как пьезовибратор, а другая - как датчик
механических колебаний (рис.1). К пьезовибратору подводится переменное электрическое
напряжение с частотой, равной резонансной частоте электромеханической системы
«кантилевер-зонд», при этом на второй части пьезоэлемента (датчике колебаний)
возникает переменное электрическое напряжение, пропорциональное смещению зонда.
При приближении зонда к поверхности образца зонд начинает
взаимодействовать с образцом в процессе колебаний. Изменение силы взаимодействия
приводит к изменению величины сигнала, снимаемого с датчика.

Ход работы:
1. Установка образца и зондового датчика.
2. Определение резонансной частоты в автоматическом режиме.
3. Подвод зонда:
первоначальный подвод зонда под контролем видеокамеры с микроскопом, затем
подвод зонда автоматически самим прибором.
4. Сканирование. Получена топография исследуемой поверхности.
5. Обработка данных

Топография поверхности.

6. .
Характерные размеры отверстий:
 № dy, нм dx,нм
1 125,52 1215,7
2 117,91 1281,5
3 114,68
4 123,41
среднее 120,38 1248,6
dx-ширина
dy-глубина
1248, 6
tg   5,186
2 120,38
  79,13Ñ

2)
 № dy, нм dx,нм
1 95,59 511,42
2 99,64 481,33
3 98,18
97,8033
среднее 3 496,375

496,375
tg   2,538
2 97,8
  68,53Ñ

3)
 № dy,нм dx,нм
1 115,65 875,69
2 113,22 940,56
3 110,8 940,56
4 97,37
918,936
среднее 109,26 7

918,94
tg   4, 205
2 109, 26
  76, 66C

Расстояния между дорожками.

 № dx,нм dy,нм
 dx    dy  , í ì
2 2

1 757,65 14,4 757,7868

2 625,88 17,31 626,1193
3 757,65 10,68 757,7253
среднее 713,8771

Расстояние между дорожками  714 нм

№ dx,нм dy,нм
 dx    dy  , í ì
2 2

1 671,4 14,23 671,55 Расстояние между дорожками  656 нм

2 639,43 11,16 639,53 Пространственное разрешение:
среднее 655,54  X-Y: 50 нм
 Z: 2 нм
Вывод: мы изучили принцип работы сканирующего силового микроскопа, получили
топографию поверхности исследуемого образца, проанализировали полученные данные.