- . ..

2010

 661.11
74.58

:
. ,
.

: - : 3 .: .2. / . .
, .. .: . .. , 2010.
124 .
, ,
- ,

, .


-

.

661.11
74.58

-
. .. , 2010


................................................................................................... 3
2
......................................................................................... 5
2.4

............................................................................................................... 5
2.4.1 .......................................................... 5
2.4.2 , ............................................. 6
2.4.2.1 .......................................... 6
2.4.2.2 ........................................ 8
2.4.3 ....................................... 11
2.4.3.1 .......................................... 11
2.4.3.2 ....................................... 14
2.4.4 AIIIBV ................................................. 15
2.4.4.1 AIIIBV .............................................................. 15
2.4.4.2 AIIIBV............................. 19
2.4.5 AIIBVI ................................................. 29
2.4.5.1 AIIBVI ................. 29
2.4.5.2 AIIBVI.............................. 32
2.5
.................................................................................. 38
..................................................................................................... 38
2.5.1 ................................................... 39
2.5.1.1 ............................. 40
2.5.1.2 . ........................................................... 54
2.5.1.3 ........................ 60
2.5.1.4 ............ 65
2.5.1.5 1.
. ............................................................ 66
2.5.1.6 2.
.......................................................................... 69
2.5.1.7 3. 71
2.5.1.8 4.
...................................................... 75
2.5.1.9 5.
- ............................................................... 78
2.5.2
......................................................................................................... 81
3


.......................................................... 82
2.5.2.2 ................................................ 90
2.5.2.3 6.
.................................................................................................... 92
2.5.2.4 7.
................................. 93
2.5.2.5 8.
......... 95
2.5.2.6 9.
..................................... 98
2.5.3 ................................................................... 99
2.5.3.1 ,
.......................................................... 99
2.5.3.2 ................ 102
2.5.3.3 10. . ....................... 116
2.5.3.4 11.
......................................................................... 119
2.5.3.5 12.
................................................................... 122
2.5.2.1

2
2.4

2.4.1
, ,
:
( ) , . .
.

.
,
. III ,

IV

.
,
: - ,
. V, VI, VII

, , , , ,
.
.
III-V, II-VI, IV-VI V-VI

,
,

, ,

.
5

, (

), :

2.4.2 ,
2.4.2.1
1886 . .

. %, .

, , . ,
,
-

.

,

, - .

1%.

-
.
.


( ,
).

6 ,
,
.

.

,
.

170-220.
:

675.
, ,
7


.
- .
- ,
.
1100
.
.
2.4.2.2

=0,532 , ,
. 5650

, 2 .

500.
,

( )

, ,
( ).
,
.
,

, .
.
-

= 0,785

4.1
. 4.1.

.
(.4.1), = 0 .
= 0 ,
.

4.1 - .

- ,
- =0,28 .
:

= 0,04m;

=0,34m.

. , :
4.2

(1.38).

[111].
.
300

=2.5

47

99,99999999%, ..
.

% (.)
3900

=1900

III V
,
0,005-0,01 .
I
(Cu, Ag, Au) .
. n 500-700, ,
(), -.
.

.

,
. ,
10

 .
,

,
-
.

2.4.3
2.4.3.1
-
, . .
. 1950- .,

.

,
(), .

()

1500-1700, -.

() .

, (

),

.

11

 (.4.2),
.

. , ,
:
800-900.


.

, .
:
1100 - 1200 50- .

4.2 -
. 1-
; 2 - ; 3 - ; 4 ; 5 - ; 6 - .
12

,

350-400 :

.
900-1100.

.
.
()
. ( )

600-700
(. 4.2).

13


,
.
2.4.3.2
, ,
. a = 0,543 ,
2320

. ,

. -
4,0 .
.

.

(

) (

) , ,

.
,
,

= 1,11 .

4.3
(.4.1) .

=1500

14

=480

, :

= 0,16m

=0,49m.

,

.
,
.
,
, .
,
,
,

.

(, , .)
- .
- .

2.4.4 AIIIBV
2.4.4.1 AIIIBV

III (, Al, Ga, In) V (N, , As, Sb)
. ,
.
, .

15

(. . 1.8).

,
.
III V
:

),

) (-)

. .

.
V

,
.

.

. ,
, :

V
, III
16

 .
, .
.
. 4.3 -X

V ,
InSb, , , ,
GaP.

.
. , ,

25 .
.
.
.
, ,
, , , , - .

, V ,
:
1.
, , .
.
2. .
3.
. , ,
.
17

3.3.

4.3 -


(1< 2< 3<4).

(. 3.9).

.
18


,
.
2.4.4.2 AIIIBV
,
.

,
(

) (. 4.4).

4.4 -

19

 ( ) ,
,
, ,
()
.

(. 4.5).

4.5 -
.
20

 4.6 -
.
:
,

(.4.6). , ,
.

.

,
21


, .

.
,
.

, 1.7.3 ( . 1.20).

,
,
, .


.


,

. , ,

. -,
- ,
, .
,
, , .

.
,
.
22

4.4

h, , - .
(4.4)
:

( )
.
.
(4.4), ,

) -

. ,

. ,

(4.4)
,
. ,

23

 . ,
(110),
ZnS, (111), .
(111)
III V ,
, .
,
, InSb, InAs GSb, (110),
(111).
.
,
, - .

. InSb, InAs,
GSb, Gs,

. ls,

,
.
,

(InP, GaAs,

AlSb) , ,
( GaSb - Ge).

IV
. ,
.
(
2, H2S, H2Se, H2Te),
.
24

, ,
.

.
:
4.5

- .

, InSb

.
.
,
.

II

(Zn,

Cd,

Hg),

,
.
VI (S,
Se, ),

, (0,05 - 0,01 )

.
25

 IV (Ge, Si, Sn) .

.

(

).

.
. ,
.
. 4.1

.
,
, ,
,
.
4.1

26


1100-1500.

- 3,26.
: = 3,11 = 4,97 .
2200 .
.
. 1200,

.
, , 3,8
.

. 1100.
- .
:
5,176

6100

= 3,186 =
.

1500 .
. 800
. GaN
NaOH.
,
.
.

3,26 .

27

 1000
. InN ,
1200 .
2,4 .

,
.

(. . 4.1),
.
.


- .

. InAs
.

. ,
, .
()
, - - (
-
).
28


.
, GaAs.

, .
-,

(. . 1.7.3).

,
GaN -

.
,

, ,

.
, ,
, .

,
- .

2.4.5 AIIBVI
2.4.5.1 AIIBVI
II VI

(Zn, Cd, Hg) (S, Se,
29

), , -
.

, ,

.
.

: (. .
1.5).
, . . ,
.

. ,

- ,

, , -

VI (

).
,

,
,
.
. ,

(100), .
-
-

.
.

30


ZnS HgTe.
,

. -X

, ,
.

,
. .
.
.

:

. ,
.. , ,

,
31

 ,
. 3.10.

,

.
2.4.5.2 AIIBVI

. 4.2.

.
4.2

,
0,01-0,3 ,
32

 III (1, In, Ga) VII (Cl, Br, I) , - I

(, Ag, Au) .
0,2-1,2 .
, , , ,
( )
III VII , - I
- .

(
,

) .

- ,

,
, . .

,
, :
4.6

, .

, ,
4.7

- ;

.
(4.6), (4.7) ,
, :
4.8

33

,
:
4.9
(4.6-4.9) :
4.10

4.10

(.1.38).
(4.6 - 4.9), ,

(. 4.7).
, ,
,
.

4.7 -

.

34

, . .

.
, - .
.
ZnS , .
.

-.
GaAs-ZnSe, ..
.
ZnS-ZnSe.
, ,
,

.
.
, ,
( .. 36%)
.
.

, , InSb, .

35

, 0,25 .

,
.

.
,

.

36

1. .., .. . - .-.: , 2004, 366.

2. . . - .: , 1979.
3. .., .. . .:
, 2000, 384.
4. . . . - .: ,
1975.
5. . . . . .
. . .: 1990,
423.
6. .. . .
, 1982, 528.
7. .. . .: . 1995,
412.

1. .. . - .: , 1971.
2.

..

. - .: ,
1980.
3. . ., . . -
. - .: , 1979.

37

2.5

,

.
,
. ,

. ,
,
, ,
,

,

.

,
,
,
.

38

,
.

2.5.1

,

.
,
:
, - ( )
, - ;

, -
(- ) . ,
, ,
( ), ,
( ).
- - ,
- .
, -
.

39

2.5.1.1
2.5.1.1.1 -



,
. :
(),

.

. ,
( ) ,

( ) .
,

:
1.1

.

:
,

. , :
()
( )
:
1.2
40

- , - .

:
1.3

.

:
.
,

.
: ,
: Si, Ge, Te, Se,
, , PbS.
(SiO). ,

, (, . .), S2 , S4, S6, P4,
.

.
:
(1.1)

, , ,

(GaAs, InP).

V ,
:
41

(1.2)

,
( ) . ,
,
.

. , ,
,
.

,
-

. .
, ,

( );

.
2.5.1.1.2
.

( ),

( ).
-

.
,
.
,
42

. ,
, , W, Mo, Ta, Nb .


, .

- . . 1

.
1.1
-

,
, ,
, , , ,
.

(,

.)

: ,
.
, ,

(),

,
,
. , . .. ,

43

1 ,
:
1.4

, - ()
- ,
, ,
1.4.

:
1.5
, - /, .
4, 5 ( ,
,
).
S
.

1.6

(G)
, :
1.7
,
, = G,
:
1.8

44

 F - , ,
,

; -

; t - .

, ,

.


:
,

1.9

1 ;

- ,

1.
1.10

- , 1,1

, -

, ; -
( = 29

/); -

().

1451

- , 6,023-

; L -

, .

,
, ,
, .
45

 , ,
6 .
,

>10.

, ,
,
, ()
, ,
, .
, ,
"" - .

( , )

( ) .

,
, ( 2000 )
.
, , , ,
,
.

.
0,1 0,8
.
.
100 400 .
-

,
- .
46

 ( )
, .
-
.


,
.
,
,
. ,
,
.

, , :
1)

, .. ,
;
2)

, ,
;
3) ;
4) ,
.

, , , .

,
47

..

,
, ..
, , , ,
.
, ,
, , ..
=1, .
, 2 3
.

, ,

.
, .

1 :
1.12


1.13
:
1.14

48

1.14

, ,
, :
1.15
- 1.3
.
2.5.1.1.3

-


,
.

,
. , ..

..

,
.

49

. ,

()

. ,

:
(1.3)

:
(1.4)
I II

(

).

. ,

.
(, ) (

50

).
.4.
,

(
) ( ) :
1.16

-- ,

(I) (II).
, (

:
1.17

1.17
.
I II ,

, . .
.

. ,
,
.
,
. ,
,
51

 ,
.
1.17.

700,
- .

: ()
(---), ..
. ,
(0,2 - 0,5 ) .

,
,
.

,
.

52

 1.1 - -
.
L1- (
);
L2-
; 1 -

;
2- .

2.1) . 1.1.

- ,
.

, ,
.
, ,

53

2.5.1.2 .
, .
, ,
.
,

. ,
(G), (S) ( ).
(d)
1.18
,

() .
,
,
.
-
. ,
10 I

( = 2200

2,2-

)
,

.

,

(.

1.2).

, I 2
54

 , ..:

( =1, 2, 3, 4....).

1.2 - ,
()
().
,
-,
, . 1.2,.
,
,
:

1.55

- ;

X - .

( =0,54 ) :
1.20

55

.

100 .

()

. ,
,
.

(,
).
0,27 ,

<

,
.

( ) ,
.
R (. 1.3),
:
1.21
x , -
.

, , .

56

 1.3 - .

1.4 - ,
.

.
,
(I) (II) (.
1.4). , ,
.

d.

, - .
, .
-

57

.1.2


.
1.2
SiO2

(<100)
(

) .
(,
-75) 632,8 .

.

(
(

):
1.22

.
-
( d )
58

( )
:
1.23

, ;

; - .
123
:
1.24

1.24

( ), , .
,
1.24
:
1. 25
:

59

 1.25,

:
1.26
:

,
- .
2.5.1.3

: ,
;
,
.
.1.5.
1 :
5,
, ( ) 3,
(

).

, (-1 )
(-2), ,
() () .

2,

60

.

() 1-4. 2 - 3
5
.
1
, 4 -

.

1.5 -
.
1 - ; 2 - ; 3-
; 4 - ; 5 - ; 1-4 ; , -
.

61

 1 . 6 -
.
1- , 2 - , 3 - , 4 - , 5 -
, 6 - .

1.7 - .
62

 1 (.1.6)
(1), (2).
(3) (4),
(5) (6) .
,
. 1.7,
, ;
, , .
.

()

(.1.8)

( , )

, .1.9.

( )
()
.
(. 1.8)
(. 1.9) .

63

 1.8 -
- .
1- ; 2- ; 3- ; 4-
; 5- ; 6- ; 7- ; 8-; 9- ; 10 ; 11- ; 12-
; 13- ; 14-

1.9 -
-
- .
1- ; 2- ( ); 3-;
4- ; 5- , ; 6; 7-; 8- ; 9-
; 10- ; 11 - .
64

2.5.1.4

,
,
. ,
220,
- 380 .
,
4, (. 1.5) 1- 3 - .
4 5 (. 1.7) ,
1, 2 ..
. .
1) ( 1 (. 1.7)
2

~15 -1).
2)
2. 1
. 30-40 .
,
3) 4.
.
4) ,
. 4.
5) .
2 3. (.1.5).
, 1.
~5 (~4.
30 ).
65

6) 3,
2 1. 10-15 .
(~ 5-7

).

.
.
7) 5 (.1.6) 4, 5
,
. ( 6-10 ).
8)
,
.

(6)

, 5
5, .
9) 1.
100 ( 10-15 ) 4,
.
.

2.5.1.5 1.
.
.

.
.

66

-4,

500.

1) -4.
2) .
3) .

,
, .

0,01 - 10
.

-. ,
,
, .

.
1)
.
-.
2)

1/1. ()
, ( ,
). .
3)

, .
4) -
() .
67

5)
( 1/8),
( ).
, . 4.
6)

,
(. . 1.3).

,
.
1.3

1.20,

. .

68

2.5.1.6 2.

.

(, , )
.
.

,
,
. ,
, 2000
.
. 3.2 ,
,
(3) .
1.4
1.3

1) -8, "", ;
2) . 5072-72
3) 1125-84 (70% )
4) 6709-72
69

5) Filtrak -390 - 15 .
6) , , 25336-82
7) -4 7865-56

8) ( -1
-1, -0).

1) ( 1.3.1).
, . 1.3.2.
2) .
3) (0,1 )
.
4) ,

, ,

.
5) , ,
1 .
1.3
.1.4. ,
1-2. .
6)
.
7)
.

, ,
(. . 1.5) :
;
;
( ,
).
70


( )
, (1.11)
, .

(2) .1.4. ,
, (1.14) (1.14).
(. .
1.5).
1.5

2.5.1.7 3.

CdS, CdSe CdTe
.

,
.

71

.

, ,
1.3,
:
X: S, Se, Te,
1.27

- .

, ,
1.28

, (1.3):
1.29
, ,

1. 3 1.27

. 1.6.
1.6
1.3
.

1) -4, 7865-56.
2) 5072-72 .
72

3) (-8) -50-1.
4) 11125-84 (70% ).
5) 6709-72.
6) , , 25336-82.
7) , .
8) , 1674-70.

1) (.1.3.1) ,
. 1.3.2.
2) .
3) (0,1 -0,5 )
.
4) ,

5) ,
.
, ,
,
. , 600
.
600-1000
7 1.
100
1-2 .
6) ,

1-2 ,

.
7)
. 1.3.2.
73

:
1) ( , ).
2) ( ).
3) ( ,
).
4)

5)

(1.15).
,

, .

6)
, ,
(1.3), (1.28), .1.6.
7) , ,
,

(14)

(14).

(. . 1.7).
8)
.

,
, :
1.30

.
74

1.75
(. . 1.7)

.
1.7

2.5.1.8 4.

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75

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11 9.

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3)

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76

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4) ,
10 .
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1 , .
7) 12 (.1.18)
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, .
8) 9
1 - 2 ,

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9)
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77

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11)
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12) 1.16
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78

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1.9
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79

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3) : , ;
4) ( )
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2)

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3) , 1.
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4)
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5) ,
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6)

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9) , 3-9

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10) ( N>100
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81


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-, .

82

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2.2
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.
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20-100 .

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83

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84

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85

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86

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.
90

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91

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92

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93

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, ,

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h, , ,
.
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3) 3. , 2.9 - 2.11
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(. ).
94

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2.2

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2.9, 2.10 2.11. , ,

95

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, .
, ,
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,
, . , ,
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[111],

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96

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2.12

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4) 4.

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5) (. .2.3.).

97

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98

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102

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103

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- ;
- .

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104

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105

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106


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107

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108

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109

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111

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114

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2,

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116

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3) .
4) -125-84
5) 10484-78 (48% - ).
6) -670-72.
7) , , , 25336-82.
8) Filtrak-390 - 15.
9) . . 20298-74.

.
1)

( ).
2)

3) (
).
4) 100

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5) ,
10 - 30 , .
6) .
7) 5, 6 ,
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8) . 3.2
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117



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118

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119

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2) ,
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120

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4) 10484-78 (48%-);
5) 18270-72;
6) 6709-72;
7) 4328-77;
8) 10929-76 (3%- );
9) .. 20298-74;
10) , , , ; 2533682;
11) Filtrak-390 - 15.
.
1)
( ).
2)
.
3)
3-15 . 30-40,
.
4)
.
5) -8 70 -200
( -2)
.
6)
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121

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2.5.3.5 12.

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122


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1) -2 -8;
2) , ,
3) ;
4) 11125-84 (70% - );
5) 10484-78(48% - );
6) 18870-72;
7) .. 20298-74;
8) 454-76;
9) Filtrak-390 - 15;
10) , , , ;
11) -0,01.


,
.

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1-5 . (111)
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4 - 15 .
123

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. ,
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.
, .
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.

124