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.. , ..

2013

.........................................................................................4
1. ...........................................................................................6
1.1. ,
. ......................................................................................................6
1.2.
. ..........................8
1.3. .
. ....................................................................................................9
1.4. . ..............................11
1.5. . ........................................................13
1.6. .
...............................................................................................................15
1.7. ....................................................17
1.8.
...................................................................................................19
2.
...................................................................................................................22
2.1. - .
...............................................................................................................22
2.2. ..............................24
9 ...................................................................................26
10 .............................................................................27
2.3.
......................................................................................29
2.4. ...........................................32
2.5. ...........................................35
2.6. . ....37
2

3.

. . ...........................41
3.1 ..............................41
3.1.1. .............................................................41
3.1.2. . ...................................43
4.
. ..62
4.1. ...............62
4.2.

.........................................................67
4.3.
.....................................................................................................72
1 .....................................................72
2 .....................................................81



,

. ,

.
, .
. ,
;
. ,

).

220-1000
, 1.2 - 6 , ( ,
).

(Paul Drude), 19-



. .
20- .
: ,
,
. ,

.

: - ,

, , ,
, , .

.
,

, ,

.

,

.
[1-5],
,
.

1.
, .
.

1.1.

.

.
t=0

y=y1 y=y2
E z ( y ,0 ) ,

Z ,
X

B x ( y ,0 )

E z ( y ,0 )
,
c

. XZ . ,
Y
,
E z ( y ,t ) E z ( y c / t ,0 ) B x ( y ,t ) B x ( y c / t ,0 ) .
. , E(y) .

. B

B=E/c,
.

Y.
y t:

E ( y) E 0 exp[i(t ky )] .

(1)

- , k - ,
: T

2
. 0
k

( ).
k

,
. -, ,
, . -,
, .
, k

(n i )
,
c

n
.* ,

E ( y , t ) E 0 exp(

k
) exp[ i ( t

n
y )] .
c

(1),

( )
,

n
n
c

, , n .
N=n-i .

.
E
. .
.

k.

. ,
().

,
ne ( ),
, no ( ). ,
, ,

- .

3.

1.2.
. .

XY.
X Y ,

ki

XZ

(.2).

Ei(r,t)=E0iexp(i(t-kir))

Er(r,t)=E0rexp(i(t-krr)) , ki , kr - , E0i, E0r -

, - .
,
.
.
, ki kr
( XZ).


, (p s
): E0i=epE0ip+esE0is, E0r=epE0rp+esE0rs, ep, ep es -

.
: Rp=
E0rp/E0ip,

Rs= E0rs/E0is.

,
.

,

, (),
:
ki, ( ),
na, ,
.
,
.

, .
:

tge i

Rp
Rs

(2)

(
, )

.

.
: tg
- s- ,
.

1.3. .
.

(2).
, - .

, .
p1, p2,...pN - .
, - .
(2) :

tg ei F(p1 , p 2 ,..., p N , , , n a )

(3)

pi ,
, -
.

.
. (3) -

pi1 pi2.
.
,
,
, .
,
2. ,
,
. , ,
(3). ,
. ,
- ( )
<0 ( d<0), , , .
. ,
=0,

<0. ,
. , n>100

10

, *.
.

1.4. .


,

a (ambient -
)

(),

.3.

n0 0. (
)
(=1).
.
, ,
. ,
.
,

. ,

.
, , n=1,

. n
.

11

*)

n . N N0
,
:

N02 cos N N02 N2 sin2


a
rp
2
N0 cos N N02 N2 sin2
a

rs

(4)

N a cos N 02 N a2 sin 2

(4)

N a cos N 02 N a2 sin 2

:
tg ei

N a sin 2 cos N 02 N a2 sin 2

(5)

N a sin 2 cos N 02 N a2 sin 2

(5) .
N0, :
1 2
N 0 N sin 1 tg 2 (
)
1
,

(6)

, (6)
. ,
.

.
, . -,
(
)
,


r.
, R.
.

12

. -,
. ,
,
- .
, , ,
, - ( )
.

,

,
.

1.5. .
,


. -,
.
,

. -,


.
.4

. 0, 1 2
,
. na=n0, a=0.
(n0=1 0=0).
:

13

, Ei
. ,
, 2.

E i 1 r12 r10 E i e 2i , r12, r10

. n1
,
,

n12 sin 2 .

(7)

, n1
N1.
. ,

, .

.
,
(
). ,
:

R p,s

r01p ,s r12 p ,s X

(8)

1 r01p ,s r12 p ,s X

X exp(2i ) , rijp,s
p- s- , r10p,s

1 1 sin 2 / N 12 .

Rp,s (2)
*.

N1 N0. ,

three-phase model.

14

X,

.

(8) .
:
4id N 02 ( N 02 N12 )( N12 1)
cos sin 2
tge tg 0e (1
),

N12 ( N 02 1)
N 02 cos 2 sin 2
i 0

(9)

0, 0
(5). (9)
. ,
, ,
. ,
d/, 2N1d/.
N14 (500 ) d/20,
d . ,
,
.

1.6.

.

, , ,
.
.
: M .
j- Nj dj (

15

),

Rj ( p s

,
Rj+1 Rj j+1- .
R1 , - (8).

, r1
(8)
, r0.
[6]:
r10

ra 0 ra1
1 ra1ra 0

(10)

,
(10) (4).
,

. (10)
(8) :

R1

r1 (1 r1r 0 ) ( r 0 r1 ) X 1
1 r1r 0 r1 (r 0 r1 X 1 )

(11)

,
r0=R0. (11)
,
:

R j 1

rj 1 (1 rj 1 R j ) ( R j rj 1 ) X j 1
1 rj 1R j rj 1 ( R j rj 1 X j 1 )

(12)

X j 1 exp(2i j 1 ) j+1-

, rj . (12)

16

,
, ,
. .
, (12)
.

.

,

,
.
N(z), z .
M

N(z)

,
(12).
, N(z)
. , ,

.
.

,

[2].

1.7.
,
. ,
(

17

).
,
, .
, .
(
)
, ,

N.
(
effective medium approximation - EMA). , N,
N1 N2 ,
. q
1, 1-q 2.

[7]:
q

2
N 12 N
2
N 12 2 N

(1 q)

2
N 22 N
2
N 22 2 N

(13)

,

. m .
qi , i- ,

1 ,

:
m

i 1

qi

2
N i2 N
2
N i2 2 N

(14)

, Ni qi , ,
.
. ,
. 1 2
,
. ,

18

:
=q11+q22. ,
, ,
(

q1

q2

) 1 .

,
.
N, . ,
, .

(13) (14)
.

1.8.


,
. , ,
. ,
1
. .
. ,
, ,
.
.

19

. h
,
( ).
h, , .6.
.
,
,
(2), (8). ,
,
,
. ,
(.7).

, ,
Ge .

, ,
( )
n=1.

:
.

.
. ,
100 200 ,
50
. , ,
.
1.

20

1. / . .. . : , 1979. 422 .
2. ., . . .: , 1981. 583 .
3. .. . .: . ,
1986. - 191 .
4. .., .., .. -
. .: , 1986. 162 .
5. Fujiwara H. Spectroscopic ellipsometry. John Wiley&Songs Ltd. The Atrium, Chichester,
West Sussex, England, 2007. 369 .
6. .., .., ..
//
/ . .. . : , ,
1983. - . 9 - 13.
7. Aspnes D.E. Optical properties of thin films // Thin Sol. Films. - 1982. - V. 89. - P. 249.

21

2.

,

.
,
. , ,
.

2.1.

.
-
, .
,
.
400

3.0

2.8

2.6

2.4

2.2

1.8

2.0

350

100

60

1.6
120

300

140
80

250
200

180

160

150

1.4

20
40

100

60

80

50

100

140

120

0
0

10

20

30

40
50
, .

60

70

80

90

22

8.
. p1 p2 ,
(2). ,
, , .
p1 p2
-
p1=const p2=const.
.8 -
, .
, n1
d. n1,
( n1 ),
d (
).

, (

) ,
=0 =360 . S
Si , n1=const.
.
n1 d . 1=33.5

1=30 -

,
n11=2 n12=2.2
d1=60 d2=80 (
- ).
: n12.08, d70 . ( )
,
.
- .
, ,
. (
). ,
n1 d

23

. ,
, ,

, .
, ,

.
,
. n1=const
. ,
,
, , Si=0.023.
Ge (Ge=0.9), , n1
. ,
n1.
, .
,
,
( ). -
.
2.2. .
,

p1, p2 , (2)
, .
, (2)
. , , (
) , .
(1, 2),
, ,

24

, .
:

S ( p1 , p 2 )

( ) 2

( ) 2

(15)

, - . , 1, 2
, S(p1,p2)=0.
() ,
1.
, (2) S(p1,
P2)=0.
. (15)

S ,

(16)

=tgei. (2)
,
. ,
=0.1,

=359.9.

(15) ,
(16), , .
, - .
, , , ,
d0-d d0+d.
(

d d0 2
) ,
d

. .

25

.9 n1 d
Si-SiO2 100 .
S
n1=1.46, d=100 ,
.
.
, , n1-d,
. .

( ),
.
, .
,
.
.

26

, ,
.
.
, .
, d=35 (.10).

10

. S=const
,
. ,
, ,
.
. ,
, , -

27

.

, .
.
.

).
.
,
. 10. n1, d,

S(n1,d)1,

: n1=1.25 2.1 d=30 65 .


. 9 . ,

.
.

d nf
, ns
ks.
(8)
(2):
r r X 1 r1s r10 s X
tgei ( 1 p 10 p )(
).
1 r1 p r10 p X r1s r10 s X

(17)

X exp(

4id

n 2f sin 2 ) .

: X=X(nf).
,
nf, (17),

28

X(nf)=1

(18)

.
,
. , nf

4 n sin
2
f

( arg X 2m ) ,

(19)

m ,
.

.

2.3.
.

. ,
, , ?
(2) .
. ,
-
, .
:

tg 1e i1 F ( p1 , p 2 ,..., p N ,1 , , na )
tg 2 e i2 F ( p1 , p 2 ,..., p N , 2 , , na )

(20)
(20)

,
4- : px1, px2, px3 px4. , ,

29

. , ,
. , ,

.
. 1, 2 3 ,
. (20) 1 2
3. 3 ,
(1, 2), 1-2 ,
.
(20) . .12
. , ( )
1 2.

11.
.
,
.
1 2 ABCD (

, (20) 1, 2, 3 .

30

). , ,
,
.
,
. ,
.
.

SiO2 35 .

? ,
,

.
n4, ,
,
( ). , 45 90
4 ( 10.2 14.5).

. ,

n<2. : Si n .

na
( immersion ).
,
, , .
, ,
,

.
.

31

2.4. .


.

,
. (20)
,
.
.
, , -,
, , ,
. -,
, . ,

. ,
,
, ,
, .
. ZnTe Si.
.
() ()
: =1.24/. ZnTe
2.26 ,
( )
.
. , ,

.
- SiO2-Si-SiO2 Si (
).

32

Si.


Si ( 5
).

(Si5)

dp=/4Si, 10 .
.
"" SiO2 .
, SiO2 Si
,
SiO2-Si. ,
(
SiO2 Si). ,
.

.

,
-
.
,
. .
,
.

E0

1
1

E E 0 i E E 0 i

(E) 1 A

(21)

, - (

).

: E0, A .

33

,
:

1
1

E E 0 j i j E E 0 j i j

(E) 1 A j
j

(22)

()
,

.

()
.
, 20
,
. , ,
.
: 0j
,
.
,
(22),
:
n ( ) A B

2 20

k()=0.

(23)

. A, B 0.
:

n ( ) A

k()=0

(24)

,
:
k ( ) D

(25)

34


,

.
,
,
. , ,
7 .
. ,
, .
. ,
(24) B C,
. ,
n() .

2.5.
,
.
. , ,

( ) - ,
. , ,
. ,
( ) -
. N ,
N+2 (N 2 ).
2N. ,
, ;
.

35

, - ,
. ,
-
(. 12). S
(0, 0)
. 1=(1, 1) 2=(2, 2)
d1 d2. ,
.

12

. nf, kf, d1 d2.
2 :

tg 1e i1 F ( n f , k f , d1 )

(26)

tg 1e i1 F ( n f , k f , d 2 )

(26)

n k
. , ,
.

d1 d1 ( n , k ,tg1e i1 )

(27)

36

d 2 d 2 ( n , k ,tg 2 e i2 )

(27)

,
(27) . ,
n k .

S (Im d1 ( n , k ))2 (Im d 2 ( n , k ))2

(28)

n=nf k=kf. ,

(27), .
4-

. , m
m , (28).
-
.
,
nf kf.

2.6.
.

.

, ,
.

37


, n(z)
k(z), z .
. ,
,
-
. , ,
, ,
, - .
, ,
- .
, ,
.
:
, , .
.

,
, .
,
. ,
.
, . ,

. ( )
,
. ,
.
,
,
. .

38

,
, .
:
. n(z) k(z)
.
,

. ,
(
, )
. :
( )
?

- . ,
.
{i, i} ,
(i=0,1,,m, i=0 ). , ,
.
, ,
i ,
. .2.5

,
( ) .
,
,

dN
1 .
dz N

(29)

,
z .

d0/2,

d 0 / 2 N 2 sin 2

39

,
, (29). (29)


. , ,


.

40

3.
.
.
3.1 .
,
.
,
.
.

3.1.1.

.
.13

-.
,

13
, .
.
.
, ,
( )

41


. ,
( ),
. ,
, ,
.
.


. ,

.

14

15

.14 ,
, .
.
,

.
no-ne .
, .15,

42

.
.
:
.
,
-
.
, ,
-
.
3.1.2. .

()

. ,

,
.

Y. d ,

,
Z,
.16.
,

d (
16

).

( Ex Ez)

43

2no d

2ne d

, x-z

2 ( no ne )d

(3.1)

,
/2. /4,

/4.
(
x z). no>ne, , ,
, z *.

90 , , -.
,
,
, .
,
. -,
. ,
no-ne=0.009, 0.2
, 1. .
(3.1) ,
( )

d.

0.5 ,
, 2m+/2, m .
.

"" "" ,

44

10 15
30.

. (3.1) ,
,

. ,
.
.

17

18

. .17
, .
.

(
).
,
/2.
,
. ,
.
(.18),
.

45

3.2.


. ,
.
x (.
19).

, .

19

,
.

x y: E E0 cos e it , E E0 sin e it . E0
.
, , .
,
, T T.
:

46

E (t ) E0 cos eitT ei c , E ( t ) E0 sin T eit

(3.2)

(3.2)
. , ,
- .
( )

,
f=T/T. 0 180
, =90
.

fei

(3.3)

.
, ,
1.
,
, .

|Rp| |Rs|,


, ,
. ,
,
.
. ,
.
3.3. .


.
: ,

47

. , ,
.

.20

.
CSA-
.

20

S
.
, ,
(
).
, ,

. ,
,
, ,

,
.

.
( )
.

.

48

, , .
PSCA.
.

, , (
),
(1, 1) (2, 2),
.

, ,
.
. 21
(

PSA).

-
s- , ,
21
,
.
.
,


. ,
: 1=180+ 2=180-
,
. ,

49

.
, .
,
.
,

.
3.4. .

,
.
. . 22.

22
.

S
. :
( ),

50

.
W1 W2

PD1 PD2 , S1, S2,


S3 S4, .
.

23

.
, ,

(s-), y
(-). ,
, ,
, (. .23). E0
.
,
p- s- :
E p E 0 cos P

E s E 0 sin P

(3.4)

,
, ,
.
:

51

E pS E 0 R p cos P

E sS E 0 Rs sin P

(3.5)

, (3.5) ()
() .
ES E0 [ R p cos P cos C Rs sin P sin C ]
E S E0 [ R p cos P sin C Rs sin P cos C ]

(3.6)

(3.6)

.
,
, , T /
:
E E0 [ R p cos P cos C Rs sin P sin C ]
E E0 [ R p cos P sin C Rs sin P cos C ]

(3.7)

,
(3.7) ( 1 2).
:
E1W E0 [ R p cos P cos C Rs sin P sin C ] cos( A C )

E0 [ R p cos P sin C Rs sin P cos C ] sin( A C )

E2W E0 [ R p cos P cos C Rs sin P sin C ] sin( A C )

E0 [ R p cos P sin C Rs sin P cos C ] cos( A C )

(3.8)

(3.9)

(3.8)
(3.9), =1.
.
:
2

I1 cos P cos A1 sin P sin A1 I 0


2

I 2 cos P sin A1 sin P cos A1 I 0

(3.10)
(3.11)

52

I 3 ( cos P cos C sin P sin C ) cos( A2 C ) c


2

( cos P sin C sin P cos C ) sin( A2 C ) I 0

(3.12)

I 4 ( cos P cos C sin P sin C ) sin( A2 C ) c


2

( cos P sin C sin P cos C ) cos( A2 C ) I 0

(3.13)

I0, I0 ,
, 1, 2, -
. , ,

(3.23)

, I0 I0.

. :
.
, (3.10) (3.13) ,
,
(
, , ..).

, .
,

. ,
=0 90,
.
, 45 (

).

, ,
8 ,
.
=45.

53

45

45

45

45

45

45

45

45

45

45

45

45

1=2=0,

=45,

=45.

,
, e

i c

(3.23) :

cos 2 F

(3.24)

sin 2 sin sin c cos 2 cos c F

(3.25)

: F

I I4
I1 I 2
, F 3
, (3.25)
I1 I 2
I3 I4

45. (3.24)
, (3.25) :

sin

F F cos c
1 F2 sin c

(3.26)

54

,
(0, 360) sin .
,
. , A2=45,
, (3.25)

sin 2 cos F

(3.27)

( (3.27) F ,
(3.25) - 2). (3.27)
cos (3.26)
.

. ,

(3.24),

(3.27).

,
, - .
( ,
). ,
. - ,
.
,
.
. ,

( ).
,
.

. ,
. (3.25) ,

: =45 =-45.

55

cos c

F ( 45 ) F ( 45 )
2 F

(3.28)

(3.28) cosc ,
.
, 45 F0 (3.28)
0/0. , ,
45.
" ",
. ,
Rp=Rs=1, =45 =0.
=0 90. -
1=2=0 =45.
,

cosc=F(0)=-F(90).

, ,
" ".


, .
,
. ,

.
, .
3.5. ,

.
-752 (. 24).

56

24.
:
- 632.8
:
=0.003
=0.005
1
4- 30
45 70 5

57

25
,

(.25). :
.
.

. (
)
.
,
.

:
,

250 1000

20

, .:

58

0.1

0.3

,
USB ,

26.
.26
-8 . ,
,
.
,
.
,
.
,

59

. : 5-10
; ,
X Y 10 ; 150150 .

. 1010
.
.

, SENTECH Instruments, Nanofilm, Gaertner,
J.A.Woollam Co., Jobin Yvon .

.

, ,
. , SE800 SENTECH Instruments ( 350
850 )
, 250 ,
,
.
J.A.Woollam Co
M44, 44
410-750 .

.

,
40 .
VASE (Variable Angle
Spectroscopic Ellipsometer),

.
:

60

250 1000

, .

12 90

, .

12

, .:

0.015

0.08

Gaertner

.
, ,

. ,
, , ,
.
,
.

61

4.


.
4.1.


, .
:

:
, .

62

120 .

.

.

.
.

.
.

63


-45, +45.

, .

50

60

70

90


,
.
.

, .

50

60

70

64



0 45
.

, ,
.
I1 I2, , I3 I4,


.

0, 45, 50, 55, 60, 65, 70 90.


, ,
( )
.
.

50

50

60

60

70

70

90

65


.

.

,
,
360.
.

.
:
-
- ( 9)
-
.

66

4.2.

.
:
:

HeNe

.
.

-45, +45.

, .

67

50

60

70

90


,
.
.

, .


0 45
.

, ,
.
I1 I2, , I3 I4,


.

45 90 .

68

1
, ,
.

2.

2
1


.


-
.
0 150 .

.

69

.

.




.
:
- ;
- ,
;
- ,
.

70

:

( 7)
,

.
.
.
,
.

.

71

4.3.

, , ,
,
. ,
. ,
,
(.. d10 ),
.



.
(,
),

. ,
,

.

:

72

1.
-, -
.
2.
,
.
3. SiO2
Si3N4 , Si-SiO2-Si3N4
.
:

, , .
.


, :
1. ;
2.
( ) ,
;
3.
;
4.
.

,
, ,

, .

73


( 1 2 ).
1. .

.
, Si, -
SiO2.
. d 0 1000
, () ().
:
1. d=0?
2. d ?
3. ?
4. () ?
5. ,
, ,
2 .
2. .
,
d=100 . .

.
.
.
d
. 100 .

.

74


,
( =1.45, =30), =0.
,
. .
,
, d.
:
1.

2.

,
d?
,
?

3.

,
, 20 ? 50 ? 100 ?

4.

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? . (
,
, n d).

3. .
.
( ):
, 2.5,
. ,

.

.
.

75

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1. .
? .
2. ?
3.
( , )
?
4. .

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D, E F).
( 1000.

d. (k1).
:
1. ?
2. ?
3. ( )
?
?
4. ,
?
5. .
Si-SiO2-Si3N4,

. ,
.
.
.

( A, B, C, D, E, F

76

d1 d2).
.
:
1. ?
?
2. ?
3.
?
4.
?
5.
?
.

1.

Si-SiO2 , .

, SiO2.
, ,
. .
, ,
.
:
1. , (
)
?
2.
( )?

?
2.

77



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).
:
1.
,

.
2. ,
?
3. .
3.
,

.
100 .
n() .
?
4.
Si-Si3N4
(
).

.
5.

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, ( SiO2,
; ,

78

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. ,
. , -
?
,
. , ,
.
, , .
( ) .

( voids) .
(.
.1.7 ).
4- , .
,

,
.
, , . ,
, ,

.
.

SiSiO2.

79

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.
,
.
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, q,
.
, q,
, .
.

, . ,
SiO2 .

.


.

. ,

,
.

80

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. ,

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. E
< Eg, ,
.
, .
E > Eg,

( ).

81

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.

1
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.

82


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k k-.
, , k.
1
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2.
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.
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dk

k-

, .

83

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(.3). ,
GaAs.
k-, .
(. 3).
, ,


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.
,
. ,
,
,
.
,
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.
.

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,

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0, ,
,
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0, , () ().

84

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, (
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,

. ,
,
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2() ),
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, , .
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1. 500 1000
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85

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3.
1 , ?
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2.
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, ,

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1.
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86

2.
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3.
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, ,
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ZnTe .
, ,
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ZnTe.
:
1.

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2.

, 2
, ZnTe
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87

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