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Культура Документы
2013
.........................................................................................4
1. ...........................................................................................6
1.1. ,
. ......................................................................................................6
1.2.
. ..........................8
1.3. .
. ....................................................................................................9
1.4. . ..............................11
1.5. . ........................................................13
1.6. .
...............................................................................................................15
1.7. ....................................................17
1.8.
...................................................................................................19
2.
...................................................................................................................22
2.1. - .
...............................................................................................................22
2.2. ..............................24
9 ...................................................................................26
10 .............................................................................27
2.3.
......................................................................................29
2.4. ...........................................32
2.5. ...........................................35
2.6. . ....37
2
3.
. . ...........................41
3.1 ..............................41
3.1.1. .............................................................41
3.1.2. . ...................................43
4.
. ..62
4.1. ...............62
4.2.
.........................................................67
4.3.
.....................................................................................................72
1 .....................................................72
2 .....................................................81
,
. ,
.
, .
. ,
;
. ,
).
220-1000
, 1.2 - 6 , ( ,
).
, , ,
, , .
.
,
, ,
.
,
.
[1-5],
,
.
1.
, .
.
1.1.
.
.
t=0
y=y1 y=y2
E z ( y ,0 ) ,
Z ,
X
B x ( y ,0 )
E z ( y ,0 )
,
c
. XZ . ,
Y
,
E z ( y ,t ) E z ( y c / t ,0 ) B x ( y ,t ) B x ( y c / t ,0 ) .
. , E(y) .
. B
B=E/c,
.
Y.
y t:
E ( y) E 0 exp[i(t ky )] .
(1)
- , k - ,
: T
2
. 0
k
( ).
k
,
. -, ,
, . -,
, .
, k
(n i )
,
c
n
.* ,
E ( y , t ) E 0 exp(
k
) exp[ i ( t
n
y )] .
c
(1),
( )
,
n
n
c
, , n .
N=n-i .
.
E
. .
.
k.
. ,
().
,
ne ( ),
, no ( ). ,
, ,
- .
3.
1.2.
. .
XY.
X Y ,
ki
XZ
(.2).
Ei(r,t)=E0iexp(i(t-kir))
, - .
,
.
.
, ki kr
( XZ).
, (p s
): E0i=epE0ip+esE0is, E0r=epE0rp+esE0rs, ep, ep es -
.
: Rp=
E0rp/E0ip,
Rs= E0rs/E0is.
,
.
,
, (),
:
ki, ( ),
na, ,
.
,
.
, .
:
tge i
Rp
Rs
(2)
(
, )
.
.
: tg
- s- ,
.
1.3. .
.
(2).
, - .
, .
p1, p2,...pN - .
, - .
(2) :
tg ei F(p1 , p 2 ,..., p N , , , n a )
(3)
pi ,
, -
.
.
. (3) -
pi1 pi2.
.
,
,
, .
,
2. ,
,
. , ,
(3). ,
. ,
- ( )
<0 ( d<0), , , .
. ,
=0,
<0. ,
. , n>100
10
, *.
.
1.4. .
,
a (ambient -
)
(),
.3.
n0 0. (
)
(=1).
.
, ,
. ,
.
,
. ,
.
, , n=1,
. n
.
11
*)
n . N N0
,
:
rs
(4)
N a cos N 02 N a2 sin 2
(4)
N a cos N 02 N a2 sin 2
:
tg ei
(5)
(5) .
N0, :
1 2
N 0 N sin 1 tg 2 (
)
1
,
(6)
, (6)
. ,
.
.
, . -,
(
)
,
r.
, R.
.
12
. -,
. ,
,
- .
, , ,
, - ( )
.
,
,
.
1.5. .
,
. -,
.
,
. -,
.
.4
. 0, 1 2
,
. na=n0, a=0.
(n0=1 0=0).
:
13
, Ei
. ,
, 2.
. n1
,
,
n12 sin 2 .
(7)
, n1
N1.
. ,
, .
.
,
(
). ,
:
R p,s
r01p ,s r12 p ,s X
(8)
1 r01p ,s r12 p ,s X
X exp(2i ) , rijp,s
p- s- , r10p,s
1 1 sin 2 / N 12 .
Rp,s (2)
*.
N1 N0. ,
three-phase model.
14
X,
.
(8) .
:
4id N 02 ( N 02 N12 )( N12 1)
cos sin 2
tge tg 0e (1
),
N12 ( N 02 1)
N 02 cos 2 sin 2
i 0
(9)
0, 0
(5). (9)
. ,
, ,
. ,
d/, 2N1d/.
N14 (500 ) d/20,
d . ,
,
.
1.6.
.
, , ,
.
.
: M .
j- Nj dj (
15
),
Rj ( p s
,
Rj+1 Rj j+1- .
R1 , - (8).
, r1
(8)
, r0.
[6]:
r10
ra 0 ra1
1 ra1ra 0
(10)
,
(10) (4).
,
. (10)
(8) :
R1
r1 (1 r1r 0 ) ( r 0 r1 ) X 1
1 r1r 0 r1 (r 0 r1 X 1 )
(11)
,
r0=R0. (11)
,
:
R j 1
rj 1 (1 rj 1 R j ) ( R j rj 1 ) X j 1
1 rj 1R j rj 1 ( R j rj 1 X j 1 )
(12)
X j 1 exp(2i j 1 ) j+1-
, rj . (12)
16
,
, ,
. .
, (12)
.
.
,
,
.
N(z), z .
M
N(z)
,
(12).
, N(z)
. , ,
.
.
,
[2].
1.7.
,
. ,
(
17
).
,
, .
, .
(
)
, ,
N.
(
effective medium approximation - EMA). , N,
N1 N2 ,
. q
1, 1-q 2.
[7]:
q
2
N 12 N
2
N 12 2 N
(1 q)
2
N 22 N
2
N 22 2 N
(13)
,
. m .
qi , i- ,
1 ,
:
m
i 1
qi
2
N i2 N
2
N i2 2 N
(14)
, Ni qi , ,
.
. ,
. 1 2
,
. ,
18
:
=q11+q22. ,
, ,
(
q1
q2
) 1 .
,
.
N, . ,
, .
(13) (14)
.
1.8.
,
. , ,
. ,
1
. .
. ,
, ,
.
.
19
. h
,
( ).
h, , .6.
.
,
,
(2), (8). ,
,
,
. ,
(.7).
, ,
Ge .
, ,
( )
n=1.
:
.
.
. ,
100 200 ,
50
. , ,
.
1.
20
1. / . .. . : , 1979. 422 .
2. ., . . .: , 1981. 583 .
3. .. . .: . ,
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21
2.
,
.
,
. , ,
.
2.1.
.
-
, .
,
.
400
3.0
2.8
2.6
2.4
2.2
1.8
2.0
350
100
60
1.6
120
300
140
80
250
200
180
160
150
1.4
20
40
100
60
80
50
100
140
120
0
0
10
20
30
40
50
, .
60
70
80
90
22
8.
. p1 p2 ,
(2). ,
, , .
p1 p2
-
p1=const p2=const.
.8 -
, .
, n1
d. n1,
( n1 ),
d (
).
, (
) ,
=0 =360 . S
Si , n1=const.
.
n1 d . 1=33.5
1=30 -
,
n11=2 n12=2.2
d1=60 d2=80 (
- ).
: n12.08, d70 . ( )
,
.
- .
, ,
. (
). ,
n1 d
23
. ,
, ,
, .
, ,
.
,
. n1=const
. ,
,
, , Si=0.023.
Ge (Ge=0.9), , n1
. ,
n1.
, .
,
,
( ). -
.
2.2. .
,
p1, p2 , (2)
, .
, (2)
. , , (
) , .
(1, 2),
, ,
24
, .
:
S ( p1 , p 2 )
( ) 2
( ) 2
(15)
, - . , 1, 2
, S(p1,p2)=0.
() ,
1.
, (2) S(p1,
P2)=0.
. (15)
S ,
(16)
=tgei. (2)
,
. ,
=0.1,
=359.9.
(15) ,
(16), , .
, - .
, , , ,
d0-d d0+d.
(
d d0 2
) ,
d
. .
25
.9 n1 d
Si-SiO2 100 .
S
n1=1.46, d=100 ,
.
.
, , n1-d,
. .
( ),
.
, .
,
.
.
26
, ,
.
.
, .
, d=35 (.10).
10
. S=const
,
. ,
, ,
.
. ,
, , -
27
.
, .
.
.
).
.
,
. 10. n1, d,
S(n1,d)1,
(17)
X exp(
4id
n 2f sin 2 ) .
: X=X(nf).
,
nf, (17),
28
X(nf)=1
(18)
.
,
. , nf
4 n sin
2
f
( arg X 2m ) ,
(19)
m ,
.
.
2.3.
.
. ,
, , ?
(2) .
. ,
-
, .
:
tg 1e i1 F ( p1 , p 2 ,..., p N ,1 , , na )
tg 2 e i2 F ( p1 , p 2 ,..., p N , 2 , , na )
(20)
(20)
,
4- : px1, px2, px3 px4. , ,
29
. , ,
. , ,
.
. 1, 2 3 ,
. (20) 1 2
3. 3 ,
(1, 2), 1-2 ,
.
(20) . .12
. , ( )
1 2.
11.
.
,
.
1 2 ABCD (
, (20) 1, 2, 3 .
30
). , ,
,
.
,
. ,
.
.
SiO2 35 .
? ,
,
.
n4, ,
,
( ). , 45 90
4 ( 10.2 14.5).
. ,
n<2. : Si n .
na
( immersion ).
,
, , .
, ,
,
.
.
31
2.4. .
.
,
. (20)
,
.
.
, , -,
, , ,
. -,
, . ,
. ,
,
, ,
, .
. ZnTe Si.
.
() ()
: =1.24/. ZnTe
2.26 ,
( )
.
. , ,
.
- SiO2-Si-SiO2 Si (
).
32
Si.
Si ( 5
).
(Si5)
dp=/4Si, 10 .
.
"" SiO2 .
, SiO2 Si
,
SiO2-Si. ,
(
SiO2 Si). ,
.
.
,
-
.
,
. .
,
.
E0
1
1
E E 0 i E E 0 i
(E) 1 A
(21)
, - (
).
: E0, A .
33
,
:
1
1
E E 0 j i j E E 0 j i j
(E) 1 A j
j
(22)
()
,
.
()
.
, 20
,
. , ,
.
: 0j
,
.
,
(22),
:
n ( ) A B
2 20
k()=0.
(23)
. A, B 0.
:
n ( ) A
k()=0
(24)
,
:
k ( ) D
(25)
34
,
.
,
,
. , ,
7 .
. ,
, .
. ,
(24) B C,
. ,
n() .
2.5.
,
.
. , ,
( ) - ,
. , ,
. ,
( ) -
. N ,
N+2 (N 2 ).
2N. ,
, ;
.
35
, - ,
. ,
-
(. 12). S
(0, 0)
. 1=(1, 1) 2=(2, 2)
d1 d2. ,
.
12
. nf, kf, d1 d2.
2 :
tg 1e i1 F ( n f , k f , d1 )
(26)
tg 1e i1 F ( n f , k f , d 2 )
(26)
n k
. , ,
.
d1 d1 ( n , k ,tg1e i1 )
(27)
36
d 2 d 2 ( n , k ,tg 2 e i2 )
(27)
,
(27) . ,
n k .
(28)
n=nf k=kf. ,
(27), .
4-
. , m
m , (28).
-
.
,
nf kf.
2.6.
.
.
, ,
.
37
, n(z)
k(z), z .
. ,
,
-
. , ,
, ,
, - .
, ,
- .
, ,
.
:
, , .
.
,
, .
,
. ,
.
, . ,
. ( )
,
. ,
.
,
,
. .
38
,
, .
:
. n(z) k(z)
.
,
. ,
(
, )
. :
( )
?
- . ,
.
{i, i} ,
(i=0,1,,m, i=0 ). , ,
.
, ,
i ,
. .2.5
,
( ) .
,
,
dN
1 .
dz N
(29)
,
z .
d0/2,
d 0 / 2 N 2 sin 2
39
,
, (29). (29)
. , ,
.
40
3.
.
.
3.1 .
,
.
,
.
.
3.1.1.
.
.13
-.
,
13
, .
.
.
, ,
( )
41
. ,
( ),
. ,
, ,
.
.
. ,
.
14
15
.14 ,
, .
.
,
.
no-ne .
, .15,
42
.
.
:
.
,
-
.
, ,
-
.
3.1.2. .
()
. ,
,
.
Y. d ,
,
Z,
.16.
,
d (
16
).
( Ex Ez)
43
2no d
2ne d
, x-z
2 ( no ne )d
(3.1)
,
/2. /4,
/4.
(
x z). no>ne, , ,
, z *.
90 , , -.
,
,
, .
,
. -,
. ,
no-ne=0.009, 0.2
, 1. .
(3.1) ,
( )
d.
0.5 ,
, 2m+/2, m .
.
"" "" ,
44
10 15
30.
. (3.1) ,
,
. ,
.
.
17
18
. .17
, .
.
(
).
,
/2.
,
. ,
.
(.18),
.
45
3.2.
. ,
.
x (.
19).
, .
19
,
.
x y: E E0 cos e it , E E0 sin e it . E0
.
, , .
,
, T T.
:
46
(3.2)
(3.2)
. , ,
- .
( )
,
f=T/T. 0 180
, =90
.
fei
(3.3)
.
, ,
1.
,
, .
|Rp| |Rs|,
, ,
. ,
,
.
. ,
.
3.3. .
.
: ,
47
. , ,
.
.20
.
CSA-
.
20
S
.
, ,
(
).
, ,
. ,
,
, ,
,
.
.
( )
.
.
48
, , .
PSCA.
.
, , (
),
(1, 1) (2, 2),
.
, ,
.
. 21
(
PSA).
-
s- , ,
21
,
.
.
,
. ,
: 1=180+ 2=180-
,
. ,
49
.
, .
,
.
,
.
3.4. .
,
.
. . 22.
22
.
S
. :
( ),
50
.
W1 W2
23
.
, ,
(s-), y
(-). ,
, ,
, (. .23). E0
.
,
p- s- :
E p E 0 cos P
E s E 0 sin P
(3.4)
,
, ,
.
:
51
E pS E 0 R p cos P
E sS E 0 Rs sin P
(3.5)
, (3.5) ()
() .
ES E0 [ R p cos P cos C Rs sin P sin C ]
E S E0 [ R p cos P sin C Rs sin P cos C ]
(3.6)
(3.6)
.
,
, , T /
:
E E0 [ R p cos P cos C Rs sin P sin C ]
E E0 [ R p cos P sin C Rs sin P cos C ]
(3.7)
,
(3.7) ( 1 2).
:
E1W E0 [ R p cos P cos C Rs sin P sin C ] cos( A C )
(3.8)
(3.9)
(3.8)
(3.9), =1.
.
:
2
(3.10)
(3.11)
52
(3.12)
(3.13)
I0, I0 ,
, 1, 2, -
. , ,
(3.23)
, I0 I0.
. :
.
, (3.10) (3.13) ,
,
(
, , ..).
, .
,
. ,
=0 90,
.
, 45 (
).
, ,
8 ,
.
=45.
53
45
45
45
45
45
45
45
45
45
45
45
45
1=2=0,
=45,
=45.
,
, e
i c
(3.23) :
cos 2 F
(3.24)
(3.25)
: F
I I4
I1 I 2
, F 3
, (3.25)
I1 I 2
I3 I4
45. (3.24)
, (3.25) :
sin
F F cos c
1 F2 sin c
(3.26)
54
,
(0, 360) sin .
,
. , A2=45,
, (3.25)
sin 2 cos F
(3.27)
( (3.27) F ,
(3.25) - 2). (3.27)
cos (3.26)
.
. ,
(3.24),
(3.27).
,
, - .
( ,
). ,
. - ,
.
,
.
. ,
( ).
,
.
. ,
. (3.25) ,
: =45 =-45.
55
cos c
F ( 45 ) F ( 45 )
2 F
(3.28)
(3.28) cosc ,
.
, 45 F0 (3.28)
0/0. , ,
45.
" ",
. ,
Rp=Rs=1, =45 =0.
=0 90. -
1=2=0 =45.
,
cosc=F(0)=-F(90).
, ,
" ".
, .
,
. ,
.
, .
3.5. ,
.
-752 (. 24).
56
24.
:
- 632.8
:
=0.003
=0.005
1
4- 30
45 70 5
57
25
,
(.25). :
.
.
. (
)
.
,
.
:
,
250 1000
20
, .:
58
0.1
0.3
,
USB ,
26.
.26
-8 . ,
,
.
,
.
,
.
,
59
. : 5-10
; ,
X Y 10 ; 150150 .
. 1010
.
.
, SENTECH Instruments, Nanofilm, Gaertner,
J.A.Woollam Co., Jobin Yvon .
.
, ,
. , SE800 SENTECH Instruments ( 350
850 )
, 250 ,
,
.
J.A.Woollam Co
M44, 44
410-750 .
.
,
40 .
VASE (Variable Angle
Spectroscopic Ellipsometer),
.
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60
250 1000
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12
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Gaertner
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87