Вы находитесь на странице: 1из 373

6

1.
1.1.
1.2. .....
1.3.
1.3.1.
1.3.2.
1.3.3.
1.3.4.
1.4. .
1.5.
1.6. ...
2. ...
2.1.
2.2.
2.3. .
2.3.1.
2.3.2.
2.3.3. -
2.3.4.
2.4. .
2.4.1. .
2.4.2. .
2.5.
2.5.1.
2.5.2. -
2.5.3. .
2.5.4.
2.5.5.
2.5.6.
2.5.7. ..
2.5.8. ..

9
9
14
19
19
24
28
34
36
38
44
52
52
56
58
62
64
67
70
71
72
75
76
80
81
82
83
84
84
85
87

3.
3.1.
3.2.
3.2.1.
3.2.2.
3.2.3.
3.2.4.
3.3. .
3.4.1. -
3.3.2.
3.3.3. ..
3.3.4.
4.
4.1.
4.1.1.
4.1.2.
.
4.2.
4.2.1.
4.2.2. .
5. ..........
5.1. .
5.2.
5.2.1. 60
5.2.2.
5.2.3.
5.2.4.
5.2.5.
5.2.6.
5.3.
5.3.1. ..
5.3.2. .
5.3.3.
6. ..
6.1. .
6.2.
6.3. ...
4

89
90
97
97
103
104
105
107
107
110
111
114
118
118
118
123
126
126
140
142
142
144
144
148
152
156
157
158
160
160
189
192
193
193
199
204

6.2.1. .
6.2.2.
6.2.3. .
6.2.4. ..
6.5.
7. .
7.1. .
7.2.
7.3.
7.4.
7.4.1.
7.4.2. .
7.5. .........................
7.5.1. ...........................
7.5.2. ....................
7.5.3. .
7.5.4. ....................
7.6. ...
8. ...
8.1.
8.2.
8.3. .
8.4. -..
8.5. ...
9. , ...
9.1.
9.1.1.
9.1.2.
9.1.3. .
9.2. .
9.3. ..

207
209
216
218
222
228
228
237
242
246
247
257
261
262
269
275
280
292
294
295
312
329
330
336
340
341
341
351
356
361
362

364

, XX-XXI , , ,
.
XXI , .

, ,
.
,
.
, .
-, . ,
,
.
, -
.
-, , , ,
, . , ,
- .
, 6


, , .. , , , , ,
..
, , , -
, - .
, - , , , - . .

.
,
.
, , .
, , , ,
.
, , ,
, : - , .. , , ..
, , .. , - , .. , .. .
: .
1 .. ; . 2 .. , .. ; . 3 .. ,
.. ; . 4 .. ; . 5 .. , .. ; . 6
7

.. ; . 7 .. , .. ; . 8 .. ,
.. , .. ; . 9 .. . ,

, .

1.1.

, . V. E. Borisenko, S. Ossicini, What is What in the Nanoworld (Wiley-VCH, Weinheim, 2004), 335 p. , , ,
,
.
,
. , .

9
10 () : 1 (1 ) = 10-9 , . . 1 10
1 (1 = 10-10 , .. 1 10
).
, , 1 100 . ,
. ,
.
,
100 .

, , , ,
.
1.1.
( [1])

10

-3

10 = 10

-2
1 = 10

-3
1 = 10
,
-4
100 = 10
, ,
-5

10 = 10
,
-6
1 = 10
,
-7
100 = 10

-8

10 = 10

-9
1 = 10
,

. 1.1,
(),
. ,
10 , 1 (,
1 ).
, .
, . ,
.
( ).
.
, ,
.
,
, ,
.
10

, , (, , .), , .. , , . (, , ) , . , , ( ), , .
, , ,
.
. , . ,
, : (,
) (, ).
:
, , .
, .
,
, .
,
,
.
,
,
. , , ,
: .
,
.
, . ,
,
11

. ,
, .
.
:
;
,
;
;
,
, ,
.

:
; ,
, -
. , , .
.
, , , .. (, , ,
, , ).
, , , .
, , ,
, ,
, ,
. , , .. - , 12

,
, , .
, .. , , , ,
. , (, ),
(, , ).
, , . ,
, ,
.
. , ,
. .

,
, ,
, .. .
, :
1) ,
2)
,
3) ()
, .

.
13

. , , , .
, , ,
, ,
, .. , ,
- , .
, , ,
.

1.2.
,
, ,
. ,

. ,

.
,
, ,
.
, , ,
.

(. 1.1).
.

14

. 1.1.

:
, ,
, , , ,
;
( ),
().
, ( ), ;
, ( ),
,
;
15

, -
, -;
, , (, );
, - , ;
,
, .
.
. .

, , .
:
, , , ;
, ;
,
, , ;
(), .
, , ( );
, ;
, , .
.
, :
, ;
16

, ,
;
, , ;
, , .
, , , .
(), .. - ,
.

,
.
, .. , (~ 1
) . , , ,
,
.
, ,
, , . , ,
. , .
. , , .
, 17

, .

.
, , ,
.
, .

.
.

, .

. 1.2.


, , . 1.2. 18

,
() , .
,
. , , , , , .
. , .

1.3.

( ) [2].
,
, ,
- .
1.3.1.
,
, , , , .

.
, , ,
px, py, pz
1
E
( px2 p y2 pz2 ) ,
2m
19

(k x2 k y2 k z2 )
(1.1)
2m
m ( m*) ,
, m0; ( h / 2 ); kx, ky, kz .
,
, . ,
, ,
,
,
. 1.3.
0 < < . . 1.3.

[1]

.
, , ,
, . . = 0 = .
.
1,
n = 2/n,
(1.2)
n = 1,2,...


kn= 2/n = n/.
(1.3)

.
E

2 k n2 2 2 n 2
E
.
(1.4)
2m
2ma 2
n , . (1.4) , , 20

, .

2 2
,
(1.5)
2ma 2
.
- ,
, , . ,
n2.
/2
( = ),
/2.
= ()2/2m = 2/8m2, 2/4 1. ,
, .
() ,
-
, .
, .

.
, ,
. ,
, . 1.4.
(2D) ,

( z . 1.4).
.
, z,
:
E

2 2n2
2ma 2

2 k x2
2m

21

2k 2
.
2m

(1.6)

. 1.4. , E(k)
N(E) [2]

k- , , ,
. , n-
, , (1.4).
,
(3D)
22

.
.
( ) (1D) ,
. , . ,

. , 1/2
.
- (0D) , .
, , , .
.
,
, , . , , ,
-
. , . , - , ,
.
1.3.2.
.
,
, .

23

,
, , . , , .
.
: 1) , .
. ; 2)
; 3) , , , , ; 4) , ,
.
.
.

. .
,
, . , , ,
, .
,
.

, . vF = (2F/m)1/2
( F ) sc = Dd/ F2 ( D d ) le = vFsc,
.
,
. lin = vF
24

( ). , . l = (D)1/2 , ,
, , .
,

. ,
.
.
, .
, . . .

F = 2/kF, kF ,
.
, |k| < kF, > F.

, ,
, . 10 . . . ,
0,1-0,2 .
,
, (kBT). .
, . . ,
25

50-100 Si 120 GaAs. ,


30-50 .
, ,
, , .
,

.
. . 1.5,

. 1.5.
. ,
,
,
[2]
. , ,

, , .
, , 1 2, 1 > 2. 1 2 ,

I = (1 2)e(dn/d),
(1.7)
; v ; dn/d . dn/d = 1/ . (1 2) = (V1 V2), V1 V2 , ,
G = I/( V1 V2) = 2/ = 22/h.
(1.8)
26

, . .
e2/h = 38,740 . h/e2 = 25812,807 .
,
. N , , , N
,
G = N(2e2/h).
(1.9)

22/h. , ,
.
, ,
,
.
.
,
= Aexp(i). ,
[2]
W = |1 + 2|2 = |A1|2 + | A2|2 + 4|A1 A2|2cos(1 2).
(1.10)

,
(1 2).
- , , . -,
, . -,

,
. , ,
.

27

1.3.3.

, , .
- (-), ,
,
, .

, , .
. 1.6,
U > E [2].
.
. - ,
2 d 2 ( x)
U ( x)
2m dx 2

E ( x) .

(1.11)

,
U0,
U(x) =

0 x < x0

(1.12)

U0 x
x0
, 0 < E < U0,

A exp(ik1x) + B exp ( ik1x) x < x0
(x) =

C exp(ik2x) + D exp ( ik2x) x x0

28

(1.13)

1
1
2m(U 0 E ) .
2mE k 2

(x), ,
= x0 A, B, C D

c k1

A + B = C + D kl(A B) = k2(C D).


(1.14)
,
= (1/2)(1 + k1/k2)A + (1/2)(1 k1/k2)B,
D = (1/2)(1 k1/k2)A + (1/2)(1 + k1/k2)B,

(1.15)

() (R)
T

4 k1 k 2
R
( k1 k 2 ) 2

k1
k1

k2
k2

, T + R = 1.

(1.16)

.1.6. U0 [2]

Aexp(ik1x), m , U0, Bexp(ik1x).


29

. , , U0.
2

(x) , . 1.6, -

. . , , U0 /E 1, . , . ,
. .
,
- , .

, .. > U0.
.
, . ,

,
1

h /(2mE )1 / 2 ,

h /[2m( E U 0 )]1/ 2 , -

x = x0 .

. ,
,
.
(. . 1.6), ,
U0 = 2 1.
< U0 .
.
,
U(x). ,
.
30

(x1 2 . 1.6), .

, .
, .
, .

U 02
1
sinh 2 (ak 2 )
4 E (U 0 E )

(1.17)

R = 1 .
ak2 , sinh2(ak2) 1,

U 02
exp
4 R(U 0 E )

2
2m(U 0

E) .

(1.18)

. , U0 , , S = aU0
.
2mS 2
1
4 2 E

(1.19)

U(x)

x

exp

2 2
2m(U ( x) E ) dx ,
x1

x1 2 , U(x1) = U(x2) = E.

31

(1.20)

. 1.7 U0.
, , , E > U0, , . , = 1,
2

E U0

2 2
n ,
8ma 2

(1.21)

n = 1,2,3,....

. 1.7.
(/U0) [2]

, = /2, a, 2a, 4a, .



. , .

. ,
. 32

, .
, . .
, .
.
1.3.4.
, , . , , .
.


,
,


. 1.8.

,


,
[2]

. 1.8. (33

) . , .
()
(n1 n2) :
P

(1.22)

.
100%- . , . . , , .
, , ,
. , ,
. , -
,
. ,
. " " ,
,
(ls), 100 - ,

lin. ls = (linvF)1/2, vF , .
- . , .
- . , . -
34

, , ,
,
.
. .
,
, : .
[3].

1.4.

, :
- - ( 1.9).
- (top-down)
XX , , .
.
,
. - , , ,
, - - , (. 1.9, ). - XX-XXI
, .. .
, .. XX-XXI - (bottom-up), ,
, - 35

, . .
.
-
, . , , (. 1.9, ).
, -, ,
( ,
).

. 1.9. [1]
- ( ),
- ( )

-
-.
,

. ,
36

, , , , , .., , , , , ,
.., -. ,
.
, , , -, - (. 1.10).

. 1.10.

1.5.

. , . . ,
, . 37

, , , . , , ,
, . , , .
,
.
. , , - , .. ,
,
.
, ( , )
.

, , . , , -. ,
. . GaAs 105 /, ( ) 100 10-12 .
,
, ,
, . ,
,
-. ( )
38

,
. ,
, - , ,
, ..
(1012 ). , , , ,
.

. , . , , .
,
. , , , , , .
:
( )
,
, ;
, , (
), (, ..);
39

, , - ,
.
,
, .
, ,
.
, ,
, , ,
.
,
. , ,
[4]:
1 , ;
1014 1016 ,
,
.
. , , -
, ,
. . ,
, . - , .
,
1980- . , , ,
40

. ,

, 1990
.
,

. ,
, .

, .

.
. , , ,
.
, , , , , , , ,
, .. , (). , , .
,
. , , .
.
.
. ,
.
,
41

, ,
, . , . ,

, --, .
, , , , . , ,
.
,
, , .
,
, (, ,
), ,
- . ,
,
. , , ,
, ( ).
, ,
.
. , , .
.
, -

42

, ,
(, , ..).
- ,
, ,
, , ..
(Digital Micromirror Device, Texas Instrument),
500000 , , , [4].
,
,
, , .., . .
, ,
, (, ), , , .

1.4.
,
. , ,
, , , , , , , , .
, , , .
,

.
43


[1, 5].
XIX , 1856-1857- . .
, 1881 ..
, ,
5 000 000 ,
( ,
.. ).
. 1928
. 1932
, 1938
. 1939 . ,
1986 .
XX

.
1959 , . ,

- : ,

. . :
, . : .
1972 . 1981
. . , 44

IBM ,
. , 1986 ,
.
1986 . - .
1974 . . 1981
. . , , , ..
1986 .
: ,
, , .
.
,
, . 1975
.
1970- , 1993-1994 .
.. . , 2000 . 1984-1989 . 1985-1986 .
. , .
2007 .
, ( ) ,
- .
. . ,
1988 . , 45


.
. 1997 IBM 10-100 .
1987 . , Bell Communications Research (
-),
, .
. ,
. , , , .

. . 1970 . , 1973
.. .. - . 1980- ,
. 1985 . . .
. , 1996 . - , , 60 70,
60 70 . 1990 . . , . , . 1992 (
).
1991 . .

. , 46

. ,
, ,
, . ,
1992 Ti8C12.
1992 MoS2 WS2.
, ,
,
[6].

.-. 1978 . , 1973 , 1930 ,
.
,
, ().
. 1906 , , .
. , 1894
, , , . , , . 1756 , . 1778 , . .
1785-1786 , . 1823 .
. 1947 .
. 1962 -
, , . 1967 .-.
, . 1980- . .
47


. [7].
1917
.
.
, .

: 1943 ;
1944 (, , ), 1953
(, ); 1966 ; 1970
, ;
1973 - (); 1975
(, ), 1976 .
, 1990 . 1997
.

[1]. 1985
. . 1994 .. ( AT & T
Bell), , . ,
. ,
,
. 1998 . ( )
. 1999 . ( NEC) .

,
48

. [1, 4, 5].
. 2001
(),
500 .
:

,
XXI .
1996-98- , , (World Technology Evaluation Center, WTEC)
,
. 1999
, (Interagency Working Group on Nanoscience, Engineering
and Technology, IWGN), 10 .
IWGN
(PCAST), 2000
.
. :
500
, (
),
,
. , ,
.
, ,
. 2000 () - , 2001
49

. :

, , , ;
, ;
,
;
,
, ,
.
2001
420 , .
.
,
.
, , .

- , . .
,
, . , , , , , ,
.
,
.
,
; ;
50

;
;
.

51

2



, , , , . , , , . :
- .
, ,
.
,
, .

2.1.

. .

. , ,
; , , . , , ,
.

( ). ,
, .
52

. 2.1.
1
,
2
( 3
), ( )
4
( ).

5
: , 6
. 7
,
8
,
. . , 9
-, ,
-
10
,
, . 2.1.
[1]
.
1 , 2 ,
, 3 ,
4 ,
5 ,
, 6 ,
7 ,
8 ,
.
9 ,
,
10
( )
, .. .

= 0,0388/V1/2 ,
(2.1)
= eV , , e , V
, [2]. , 53

~ /d, d
. , 100 0,15 ~ 0,026 , 1,5.
, .
, . ,
100 , .. ,
,
[2].
, . , ,
, .
-
0,2 (. 2.2), ,
, , ,
,
.

. 2.2. - Mo () V8C7 () [3]

54

,
.
.
. . ,
.
,
, ,

. ,
. . , . , (, ). ,
. - , - , .
,
. ,
, , , , ,
- . 2.3. -
, ,
`- Ni2(Ti,Al)

[2]
. 55

.
. 2.3. - ` Ni2(Ti,Al) 203 ,
[100] .

.

2.2.
, - - ,

.


. 2.4.

[1]
r 50-300

. ,
, (. 2.4). R 3-10
R/r = 105-106 2 [4].

, ,

() 107 -108 /. .
56


.
, ,
. , ( ) , ,
, , .

.
, .
,
,
,
,
.
, ,
.

(, He),
, . 2.5.

[5]
1 ,
,
2 ,
(.
3 ,
2.5).
4

, ( ) .

. ( ) , . 57



:
, , .
. ,
. ,
, , , , -t- t
,
.
. 2.6
.
. 2.6. -


[7]
:
, , ,
.

2.3.
()
(. 2.7): ; ;
, , (
x y); , ; ,
V(t) VS , , Vfb; ,
z; , z(x,y).
58

- ,
~ , -. - :

. 2.7. [8]
1 , 2 , 3 x, y, z, 4
, 5 ; 6 ; 7 ;
8 , 9

() ,
() ,
()
,
() .
, ,
- (), -
() .
- .
.

- (),
(. 2.8). :
59

( ) ( ).
( . cantilever ) , , (.
2.9).
, - () .

.





. 2.8. [8]
,

.

.

, .
. 2.9.
. [8]
60

,
. , .
.
,
, .
, ,
,
, , ,
, .

. ,
.

( Pb(ZrTi)O3 ).
:
. 2.10.
[8]
() ,
( ), ( ) (. 3.10). ,
.
61

2.3.1.
() - . -
, ,
. , , . ,
, .
, , , , ..,
- , .
,
. , ,
,
. , , .
, ,
-,
, - , . , , , , . .
,

. , , .
. 2.11 .
,
I1 I1 I2 I2. , .
f1 f1 f2 f2 62

( 1 1` 1``),
. , , ,
rr.

. 2.11.
[6]
I1 I1 , I2 I2
2, . ,
. ,
1,2,3,4, 5 ,
. f1 f1 f2 f2
1 1` 1``, .

0,5 (. 2.12).
63

2.3.2
. 2.13. .
, , .

,

.

, .
, . . 2.12. -
.
3
[1]
.

. 2.13. [7]
1 , 2 , 3 x, y, z, 4 x,
y, 5 , 6 , 7 , 8 , 9 z(x,y)

,
d = 0,5 ,
, ,
64

. - .

, . , , . , , .. 0,10,3 , ,
, , .
W ,
, z V

W ~ exp(

2
z 2meV )

(2.2)

, m e .
.
, ,
- . , , .
(. 2.14). ,
, ,
. , , , xy, .
, V. V(x,y) ,
( ) .
, ,
65

, . ,
. 0,01-0,05 , 0,3 . .
,
.

scanning

tip
V

I ~ exp(

2
z 2me(U V )

. 2.14.
[9[

, :
(. 2. 15).

. , .
-
. ,
, 66

.

.
2.3.3. -


. . 2.15.
,
() ()
.
[8]
STM AFM , ,
.
,
. . --,
.
. R ,
,
R , ,
,
.
F, ,

C1
R 13

C2
R7
67

(2.3)

1, 2 [4].
(2.3) , .


(. 2.16, ),
(.
2.16, ). .

2.17.
. 2.18 ,
Cr SiO2.
. 2.16. -

[5]

, : ()
()
1 , 2 ,
(3 - ,
4 , 5 ,
212,78 ,
6 , 7
8 ).



-.
, .
2.19.


. (, ) (, ) . 2.17. -
[8]
.
68


, ,
.
, , .

, . 2.18. .
,
Cr
SiO2 [6]
, . 109 . , . (5-15
) , ,
() .
Force
(F)

repulsive force

deflection sensor
contact

cantilever
deflection

non-contact

substrate

Tip-to-surface
distance

attractive force

. 2.19. ()
() [9]

, ,
. , ,
109 /
69

107 /2. , , -
.
2.3.4

() (), , , , (. 2.20) [8].
, ,
.
,
, [8].
, .
2

1
,
, 3
.
.

. 2.20. [10]
1- ,
,
; 2 - ;
3 -


70

, - .
,
- , .
,
4
, 3

(
2

1

, ,
10 ),
. 2.21. .
[8]

1 , 2-4 ,
, , ..
, , . (. 2.21).

2.4.

, , ,
.


.
, .
, .
71

2.4.1.
,

() , .
,
. , , , , . ; . , () (), () ,
,
( , ).

:
a (cos cos0) = h,
b (cos cos0) = h,
c (cos cos0) = h,

(2.4)

a, b, c , 0, 0, 0 , , , , ,
h, k, l , .
-: , , 2d sin,
:
2d sin = m,

72

(2.5)

m , .
- d , , ( )
.
( , )
( , ), . , .
F(h,k,l)
, .
. I(h,k,l)
h,k,l :
I(h,k,l) ~ | F(h,k,l)|2.

(2.66)


. ,
- , I(h,k,l)
. ,
, .
h,k,l, ,
.
, .
,
. 73

, ,
.
,
. , , .

, ,
; .
, , ,
,
..
-. ,
(.
2.22). ,
,
-. . 3.22. ,
[11]


`
2.
, , . () -

74

. .
,
, . , .
N , . ,
N n ,
:
N = 2n/a cos .

(2.7)

. ,
. , , .

2.4.2.

.
, , , ,

. , .
.
.
( )
. 75

, () ,
. (
30-50 ) ( ).

.
, . ().
.
. d = L/r, L
, , r . . , .

. ,

.

2.5.
,
. , . , .
, .
, , 76

, .
(, ). ,

.
,
,
( )
. ,

.

; ,
; . .
, -, -
-; - .
()
() ; () ,
.
, , - ;
(, , ).

,
. , .
77


, , ().
, ()
.
.
. .
, , . ( ,
..) ( 0,5-3%).
( , ). , , , .

.
(
), - ( ) ..


. . : ( ), - ( , (), ),
,
-

- (
, ).

78


. .
, .
.
--, . , , L, I0,
I(L) = I0exp( kL),

(2.8)

k , .
k C , .
:
I(L) = I0exp(CL).

(2.9)


, . L,
.
C .
.

,
, , .

, .
79

, .
.
2.5.1.

.
, ,
; .
Z 11 ( ).
10-2-10-4%, ( ). .

,
.
.
:
() .
,
, . .
.

80

(- ),
- .
. ,
.
:
;
; ,
; ; ...

,
. , . , , , -,
( ).
2.5.2. -
-
-, , -,
, , , () .
, . -
, .
, ,
,
- ( , ).

81

-

. . ( ). . ,
, .
oe-, - ( -)
.
.
- , .
2.5.3.
,
, , (
).
, (
) =
hv (v ). ,
.

104-10 , ..
~10-2-10 .
.
, .
,
.
82

2.5.4.
, , , .
,

.
,
. ,
.
.
, , , --.

( ) , : ; ; . , .
, , ,
,
, .. -
, , , , .
.
( , , ,
),
, , , ,
.
83

2.5.5.
() ,
. ,
,
.

,
. , , , .
. , .

.

cpeo. ,
,
, , , . , ,
.
.
, ,
.
2.5.6.

.
(, ),
84

,
. , ,
.
, , ,
.
, .
() .
. 10-10 /3 . .
. .

().
.
2.5.7.
, , . , , .
, .
.
1) , ,

. 85

, , .
2)
. . , .
3) , ,
, ,
. ,
, .

. , , (), (), () () , () (). , ,
, , ,
. , , , . , , .
, ,
, (.. ).
, , ,
(..
, , H
, H).

,

86

.
.

, , ,
, , . .
2.5.8.
,
,
, (
- , ,
). ypo , .
(
, ,
).
, -. . . ,
. = 0
- , - 0, ( ). ,
-. , - = 0/.
-
, .
, -, ,
. , - .
87

. .
:

,
;
(
) ;
, -
(-, -, ).
, ,
, ,
,
(, , , ).

88

3


, , ,
,
. , , , , .
, -.

, -.

.

, , , .
.

.
.
, - . ,
, ,
100 . , , .
, .
89

3.1.
, , ,
, .
,
. . ,
.
.
. , ,
.
().
,
. , , , , .
, , ,
, (,
) .
,
- .
. , . -,
-
, .
90

, , ,
. .
, . :
, , . . , , ,
.
.
, , RSiX3 (R = CH3, C2H5, ),
(OH) ,
, , . X , , -, .
. , (RSH).
.
(, CH2-)
. , ,
.

. , (NH2)
. (,
.) ,
. . ,
91

, . .
.
, , . 3.3.
biased tip

Si
substrate

Ni
Pd

Ni

Pd

. 3.3.
[2]:
; ; ;

HF. , ,
, , , .
C18H37Cl3Si, C6H5CH2CH2(CH3O)3Si, ClCH2CH6H3(CH3)3Si, ClCH2C6H3CH2CH2(CH3O)3Si . , 1 ,
,
92

.
210 , ,
, .
,
.

. .
, .

.
1520 , .

. , .
.
- , , , . .

g = gam gcr, gcr,
gam.
. g,
, r
*

G = 4r2* 4/3r3g.

(3.1)

()
, . 3.4.

,
93

.
rcr = 2*/g.

(3.2)

G
surface contribution
~ r2
Gcr
0

rcr

bulk contribution
~ r3

. 3.4.
[2]

,
.
.
. vn , :
vn ~ exp(Gcr/kBT)exp(Ea/kBT),

(3.3)

Gcr , kB , T . exp(Ea/kBT) . Ea. Gcr


T2,
exp(-1/T3). ,
94

, ,
.
,
()
,
. . , , , ,
, .
. ,
.

, -. . 1100 . .
. .
,
. - .
- .

. Si(OR)4,
R CH3, C2H5, C3H7, ..
- . () Si(OC2H5)4, .
95

, , . -
OH-, .
OH-
OR
OH

ROSiOR + 4 H2O HOSiOH + 4 ROH.

OR
OH

(4.4)

(Si(OH)4) , , , Si-O-Si .
OH
OH
OH
OH

HOSiOH + HOSiOH HOSiOSiOH + H2O.

OH
OH
OH
OH

(4.5)


400 oC. , , - .
20 .
. .

( ), , ,
. .
96

, , .
, , , . , ,
,
.

3.2.
3.2.1.
, , ,
.
.
, ,
. ,
,
109 / 107 /2.

,

.
, ,
, .

[2]. 97

. .
. ,
. . ,
.

.
. . , ,
. 1/10 1/3
, 0,011,0 .
, . 3050
/. .
.
, ,
.


E (r ) :

p E (r ) + ,

98

(3.4)

, E(r) .

1
U (r ) E (r ) (r ) E (r ) E (r )
2

(3.5)


(. 3.5, ), ,
,
. , .

Potential energy

E(r) = 0
adsorbed atom

tip

tip

Lateral position

. 3.5. ,
,
[2]

(. 3.5, ) , . , ,
(. 3.5, ).

.
. 99

. ,
.

. 3.6. .
, . .
,
, , ,
.
tip

tip

adsorbate

substrate

. 3.6. [2]
; ; ;

,
.
,
, . , .. , .

. ,
, .
. ,
,
100

, . , ,
.

. .

, .

, . . ,
, , .
,
, , . ,
.
.
, . , .
. ,
,
.

. ,
101

, , . . ,
, ,
.
,
. .

. , , , , ( ),
.
, . , , .

, .
,

.

.

, ..
.

, . 3.7.
.
,
,
, .

102

. 3.7. , 48
Cu(111) [2]
7,13



.
. ,
,
-

.
3.2.2.

.
, . .
. 3.8.
. .
.
c: H2O H+ + OH, H+ OH. , OH
.
, .
,
, . .

103

scanning

scanning

tip

tip

DC
bias

DC
bias

SiO

+
MeO

Me
SiO

Si
substrate

Si
substrate

. 3.8. () () [2]


.
, , .
1-10 , , ,
1 10 /.
, . 1 .
3.2.3.

, , .
. ,
.

,
-.
. .
104

,

, .. .
, .
35 . 3 3/.

.
. - .
, .
, ,
.
, 10 . . . ,
. (1000
)
.
3.2.4.

. , , () () . 105

,
10 10 . 1986 Bell Labs.
,
,
(. 3.14).
, ..
(), . 3.14. [3]

,
(. 3.15).
, , , .

.
.


,
, .

,
. 3.15. [4]
.

106

3.3.
3.3.1. -

-
,
.
-
,
,
. 20100
, 1-1,5 .
, .
, , . (PMMA),
. ,
,
, .
5104 /2.

-,
. , . 4.9.
1 .
,
. 20
, PMMA.

. 3.9. [2]
107

.

(~50 ) , . 5 ,
10 .
, PMMA 6 , . , 210 .
, .
, ,
SiO2, AlF3, LiF NaCl, . 5 ,
, 0,1 /2,
.
SiO2
. 1 .
. 720-750 C. in situ , , SiO2-
.

. .
,
108

,
.
. 3.10.
scanning
electron
beam

PMMA
resist

exposed resist removed


during development

substrate

broad beam evaporation

material left after lift-off

. 3.10.
() [2]
- , ,
,

, . .
, . ,
.
, , ,
.
109

.
,
.
- . .
. , , , . , .
3.3.2.
,
.
( )
. , - .
. , , , .
5-20 .
-
.
30 6070 .
. . 110

, , .
, ,
, , , .
. , - .
3.3.3.
, ,
,
. . ,
,
. , ,
.
- , , .
. 3.11. .
, . , ,
.

(). .
,
.

111

, ,
, . , , , ,
.
, , 10 ,
, .

master (stamp)

ink

substrate

. 3.11. [2]
, , ;
,


. , ,
. . .
100 .
,

. . 3.12.

. , . . ,
, ( ),
. 112

. . .
.

master (mold)

thermoplastic polymer

substrate

a
residual polymer

. 3.12. [2]
;
, ,


PMMA, , - .
105 C, 190-200 C. 50 C. 10 .
,
. , , - .
113

.
, , .
3.3.4.
, 10-1000 , . 3.13, .

, .
50 /, 1 2/c.
.

nanoimprinting

10

100

1000

10000

. 3.13.
[2]
114


10-100 2/ .

,
, .

. G-
(436 ) I- (365 ) , : KrF
(248 ), ArF (197 ), F2 (157 ).
100 . 50
,

.
.
. 100 30 . ,
- , .
, .
,
1 ,
.
(1:1).
. 50-70 .
. ,
.
115

-
.
103-102 2/,
- . 30 5
. , . . , .
10 /2.
( ) , .
- - .
20 . . -
. 50-100 , , , .
, . ,
.
,
, .
,
, .
, . 3050 .
116


.
.
,
, 104-106.
. , .
,
10-100 , .
.

117

.
, .

, , .
.
, . . , .

.
, .
.

4.1.
4.1.1.
, , ,
, ,
. ,
, .. .
, , ,
118


.
[1], , ,
,
(. 4.1).

. 4.1. N [1]
(N = 4); (N = 5) ;
(N = 5); (N = 6), ; (N = 6); (N = 7); (N = 8) 4
; (N = 13) , 12 , 20 ,
5- .

,
, , (. 6.1, ),
, . . 6.1, , 5- .
, 1-, 2-, 3-, 4- 6- . , 5-
(. 4.1, ),
5- 13 (. 4.1, ).
119

, ,
. .
. ,
.
,

1
(10n3 15n 2 11n 3) ,
3

(4.1)

n [2]. (6.1) , , : N = 13, 55, 147, 309, 561, 923, 561, 1415, 2057,
2869 .. 13 :
12 . , , 13- ()
[Au13(PPh2CH2CH2PPh2)6](NO3)4, 55- ()
Rh55(PPh3)12Cl6, 561- ()
Pd561phen60(OAc)180 (phen ), 1415- () Pd1415 phen 60O1100 [2]. . 6.1, ,
N = 13 12- .
,
, .. (
), ,
: ,
, .

,
.
120


. ( N <
24) ( N 24) [2].
(N = 3, 7, 11, 19, 23),
N = 7, 11, 19, 23. ,
(N = 24, 28, 32, 36, 50, 60, 70, ), N = 60 70. N 24
, N.
, 60 70. , ( ). , . , ,
, , , . ,
,
,
,
.
,
, ,

.

[3, 4]. ,
, .
. 4.2. Si,


() . Si Si
(100), SiO2 [3]
-
121

(. 4.2).
,
, [4]. , - Si (111) 550
(~1010 ) 1/3 ,
(. 4.3).
:
Al, 6, .
, Al Si. , Al Si. , Al6Si3.

. 4.3. ,
Si (111) Al [4]
-, ;
: Al ( ) Si ( ).


.
Al Si,
, . .
Si (111), .
122

Al6Si3 , .
.

4.1.2.

, --
(), , --
.
.
, ,
, ().
10 , , (
) [5]. , . .
[6, 7]. : (), () - ()
, .

, ..
Vf f > m, m
, .
Vc. Vc < Vc(cr), Vc(cr)
123

, . Vc > Vc(cr)
, .
Vc = Vc(cr) ,
:
.
, ,
, . , Vc < Vc(cr)
, , . , .
Vc < Vc(cr)
.
- , , ,
. , .
,
, ..
, . ,
, , , .. , , ,
, , .. ,
.
1 [8]. ,
, , , 124

(
).
, , , . : ,
. , , ,
. , , 10 [9]. : (
), 1 .
, :
, .

, , , . ,
ZrO2 ,
[10].

,
. , ,
. , .. .
1- . 2-, 3-, 4- .. .
, ,
, , .. , ,
125

. , , (,
Ni 0,6 ) [9]. , , .

4.2.
4.2.1.
, . [1, 5,
6]:
( Fe);
(Al2O3, Cr2O3 .), ( CoO Al2O3 .), ( 2MgO
2Al2O3 5Al2O3), (AlN, TiN .), (Si3N4-Al2O3-AlN
.), (TiC, ZrC .);
(, );
(CdS, CdSe, InP .).
, , WC-Co [1].
: 1 100 . 100
, 50 10 [1, 6].
. ,
. , . .
126

[11]. , . ,
400. ( ), , .
. , , . , , ,
, .
, ,
, () , , . 1980-
. , , ,
10 150 .
, , , , , , .
, .
,
. d
V [1]

V
V

d3 /6

(d 2 ) 3 / 6
d3 /6

(4.2)

d = 10-20 = 0,5-1,5 ( 3-4 ) 50% . [6],


127


10 . 1
, ..
, . 1-10 .

, . , , () - () (. 4.4).
, , ,
(Nb, Ta, Mo, W) 5-10
,
- () [1].
(. 4.4) () (), , 12.
, .


[1]. , , Al 20 6 1,5%. 0,1% Ag Au 40 10 (. 4.5). ,
, , , .
,
p = 2 /r, ,
r; , , , ,
[1].


128

. ,
d Gd, Tb, Dy, Er, Eu Yb 8 5 , ,
; ,
,
[1]. , .

. 4.4.
[1]
,,
,

129

Tmr

Tm (1

),

(4.3)

Tmr , r,
Tm , ,
Ag
( / )10-4
[1].
-2
,
Au
-4

-6

-8
10 .

40 d,
30
10
20
10
. 4.5.

/
d Ag Au [6]
.



[12].
.

5 .
: Ag, Al, u, Bi, Cu, Ga, In, Pb, Sn
. [1, 12]. . 4.6 Tmr .

[1, 12].
,
, . .
,
,
130


, ,
.
, ,
.

, Tm, K
1200
, .. [1,
800
6]. , ,

400
5
r,
. . 4.6.
Tm r
, ,
u [6]
(1);
, - ,
u

. , . ,
, ( ), , ,
( ).

[1]. , Ni ~20 2 300-800. , Cu ~50
2
450. Ag 10
0,05-10,0 6 , > 1
Ag 3-10 . .

131

4.7 Pd
.
,
, .
,
()

h / 2m * E ,

(4.3)

m* - ,
-1 -2
/,
, E ,
h [6].

. ,
= 0,1-1,0 , ..

,
2
2
,
(Bi)
( . 4.7.
InSb) 100 , ..
Pd [6]
1, 2 3 6,6 , 3
.

.
M, , H (M = H ). 132

-, -, - , . . ,
1000 1 Se Te [1].
, H, , , . H
,
, - (
, ) - (
, ). [1],
. , H
Fe, Ni Cu 20-25, 50-70 20 .
, ,
, , , ,
10-15 [1].
, - ,
, ,
.
[1]. .

, -
.
- ,
(r, , 2,)
133

. ,
. .
-
(Al, Ag, Au, Cd, Cu, Zn) (Au-Cu, Fe-Cu), (, ),
(Se, As) [5].
. ,
, ,
.
.
, ,
. ,
-
2 ( ), CH4 ( ), N2
NH3 ( ).
.
, ( ). . 4.8. , ,
- .
, .
(Al2O3, CeO3, Fe2O3, In2O3, TiO2, ZnO, ZrO2, Y2O3), .

, . , . , : ,
.

2 . ,
134

( -), , ,
. ,
, . ,
.

. 4.8. [6]
1 -, 2 , 3 , 4
, , 6 -
, 7 , 8 -

(4000-8000 ) , , , () () . , . , - , , (. 4.9).
135

(Al2O3, MgO, Y2O3, AlN, Si3N4, TiN, BC,


SiC, TaC, WC .)

(
Si3N4+SiC, TiB2+TiN).

. ,



-,
. 4.9. -
-. [6]
1 -,
2 , 3 . ,
, 4 ,

5 , 7

, 8 ,
. 9 -

(W, Mo .). 10
100-200 .
,
. , .
, , ,
.

136


,
, , ,
.
,
. , ,
, , .

: , , , , . , .
,
, 200 5-10 .
.
4 -
.
.
Al, Mg, Ti, Zr, Zn . ,
(, 2 + N2).

. MgO, 60 , 100. , 2 .
137

,
, 0,1-1,0
.
1107 / , 104. .
50
.
,
. - , , , , , ,
, .
, , ,
470-530
100-300 .
,
.
1000 -2000 .
. ,
, . ,
. , ,
.

, ; ( ); ..
(, , , ) 500 .
, 138

, . ,

. .

. , . , , 300 2000 . , , , . ,
( 40 )

1800 .
. , , ,
,
.

,
,
. , ,
.
,
.

. . ,
. . 4.10

Al94,5Cr3Ce1Co1,5 .
139

, , , , ,
,
.
4
. 4.10.
, Al94,5Cr3Ce1Co1,5 [2]
, .
, , B, D ..
5-10 ; b, c d ,
B, C D.
, . (1-2
).
.

4.2.2.

. .
,
[6, 13, 14].
.
,
. , 0
50%.
140


,
, (. 4.11). . 4.11.
10 ,
[14]

H 10
. (), (), (), () .

1
2

. ,
. ,
. 4.12.
.
[14]

1 ,
(. 4.12).
2
,
, .

141

5

5.1.
,
,
. , , . , ,
, .
: , 36%.
,
. . , .

[1, 16, 17].
. ,

(. 5.1).

18 , 8
. 5.1.
, 6
4 , .. ,
. ( ) 0,357 .
142

. (. 5.2). ,

, . 0,34 , 0,14 .
, . , . , 20 .
. , , ,
.

. 5.2.

, 1960- ,
, . ,
.

. 1960- , ,
.
1980 . 1985 ,
1991 .

143

. , , ,
, , , . , ( ) , - , . , . , , , , - , , .
,
. , , , .

5.2.
5.2.1. 60
.
, 1954
- , 1967 .
, (287-212 .. ),
(1452-1519 ). , . (1707-1783 ) ,
, .
, ,
60, 60
, (.
5.3).

144

60 , 20 12 , , . , , ,

(. 5.4).
, . 5.3. 60 ()
() [1, 2]

. 60 0,71 .
60
5- , , 3- , , 30
2- ,
-, 30 2-
,
. , 5-, 3- 2-
.

. 5.4.
(
60 ) ( () ()
)
60. , 70 60
. 70,
60, , (. 5.5). 70 ( ,
) 0,78 . 20 145

60. 20 , .
, 100 (. 5.6). 60 70.

,

.
. 5.5. 70 ()

() [1, 2]
, ,
: 1)
, , 2)
, .

24

50

28

32

36

60

70

. 5.6. [3]

. , . 146

, , ,
(. 5.7). : 1) 2)


.

,


. 5.7. , , [1]
,
,



. ,
, (. 5.8).
( ) ,
60.
60 [3]. ,
60+
20000 /,
~80 ,
, , , . 5.8.
, [1]
, .. , . - : 60
2
147

~20 . - , , ,
. , , , ,
. 60 , , ..
.
60 [1, 4, 5].
700, 1700,
= 500. , 60
,
.
(, , ,
, .) [1, 4]. . , 60 , =
280, . : .

, , .
:
() ,
.
( ),
;
( ), .
5.2.2.
1985 , , .
, 148

.
, ,
.
- LaC60,
(. 5.9).

,
( 0,7
)
(0,1-0,4 ).

.
. 5.9.
m@n,
La@60 [3]
, m ,
n - .
,
, .
, .
, -, ,
- , , -,
,
,
. , - . , .
,
, , 149

.
km+nm-, k -
, = kv, v - .
6 , .

, , (La3+)2@C806-, (La3+)2@C726-, (Sc2+)2@C844-.
, , , , N@C60, P@C60, F@C60.
, , .
-,
, .
. . , Y@C82 0,24 ,
C82
(0,41 ). , , ..
.
, , .

, 150

, .
, , , ,
, .
.
, , , . , .
, , , ,
, , , , . , ,
,
.
:
, (), , .

. , , , .
. , , , K3C60 Rb3C60 151

.
Li@C60, Li2@C60 Li3@C60.
Li2@C60
,
, Li2
(. 5.10), Li-Li 0.299 , - , Li- ( ,
) 0.328 .

, 4
Li2@C60
.
79 , , .
. 5.10.
, Li2@60 [3]

.

, .
. .
5.2.3.
[1, 5].
-. , ,
.

152

, 6- , , , .
,
,
.
,
, 6 ,
.
- . ,
60 (1,39 )
( , 6,6- ),
, (1,45 )
( , 5,6- ),
. 5.11.
(. 5.11)
60
[3, 5].

, . 60,
, , 70. 60
( 60Fn, 60Cln, 60Brn), 60Hn 60O,
(, , ),
( n 60) [3]. , , 60FnO.
, , , 6036. , 1994 .
153

, ,
,
.

. :
1) , ( );
2) , ,
, ( );
3) ( ).
6,6 [5]. ,
60 6,6-
: , 3- , 4- , 5- 6- (. 5.12).

. 5.12. C60 6,6 [5]


, 3- , 4- , 5- ,
6-


, .. . , ,
. 3- , ( ). , . 154

4-, 5- 6- . ,
. ,
, ( 4-
), 60 , ( 5- ).

, . , [3],
60Fn
:
,

6 ..
. 5.13.

(. 5.13).
60 [3]
, S T


,

.
60
, :
1) , ;
2) ;
2) ;
4) (. 5.14).
155

4
3

. 5.15.
120O [3]

. 5.14.
[3]
1 ,
2
3
4


. ,
. , , 60O,

60,
120O (. 7.15).

5.2.4.
(). . , , , . 1991 Bell
Laboratory (). , , 60, K3C60
156

18. 60, , ,
Rb3C60. 60, 1991 , . , , , TC = 30.
5.2.5.

, ,
. 1992
Ti8C12+ [4].
Ti8C12, .
(. 5.16, ) , 12 , . (
60), ,
Ti C, 6 2 8 Ti. (. 5.16, )
, 4
Ti. 90. 2 : 6
.
Ti 3 , Ti
6 .
Ti8C12
(met-c), . Ti8C12
, 8C12, (Zr, Hf,
V, Cr, Mo, Fe) [4].
Ti8C12 , . Ti8C12 , , .
5-, 6- , Ti8C12
5- .
157

Ti8C12 20, , , . Ti8C12 Ti , . ,


Ti-C - Ti8C12 :
Ti-C ( 0,2 ) - (
0,14 ). Ti C . , Ti8C12
. Ti8C12
6,1-6,7 / ( 60, 7,4-7,6
/).

Ti

. 5.16. Ti8C12 [4]


- ,

Ti8C12
. ( ,
).
Ti8C12 ,
(
), - ,
.
5.2.6.
1992
. , , ,
[6].
158

. . 5.17
, ,
.


0,7-1 ,

60. ,
. ,
,

, . 5.17. [6]
N =
5
60n2, n = 1, 2, 3, . , 60, 240, 540, 960, 1500 .. ,
, 0,34 , .
, , 60,

. ,


. 5.18. ,

5 () 2 () [6]
,
(. 5.18).
159

, :

- . ,
.
5.19

, 1500

132

120
. 5.19.
.
,
[6]

. , ,

,
, ,
.

5.3.
5.3.1.
() ().
() , . - .
() 60. -
160

60, . 0,8
5,0 , 1 500 .
, .
,
(. 5.20-5.22):
, 90
( );
, 0
( );
, , , 0 90.
c
c

. 5.20.

, ,

, .
= na1 + ma2,
161

(5.1)

a1 a2 (.
5.23), n m, ( , n m) [6]. n = m = 1
, m = 0 . n m . n m
d [6, 7]:

. 5.21.

[1]

sin

3(n 2

nm m 2 ) , (5.2)

3m
2 n2

nm m2

(5.3)

= |a1| = |a2| = 0,246 .





0 30.

. 5.22.
: ()
() [1]; () [6]


, : 60
162

. , , , ,
, . ,
, , 60.

.
a1

a2
(. 5.24).
,
. 5.23.

(0,34 ),
0,7 (. 5.25).
.
,
, , , ,
- .
.


[6].

. 5.24.

[2]

; 6 -
(. 5.27). , ,
, .
, .
, ,

163

. 5.25. [6]

,


, ,
.. (.
5.27).
. 5.26.


, [6]
, (. 5.28). , , .
, -, , 0,32 .
,
.
.
164

600 2 -1 [6]. .

100

. 5.27.
[6]

. 5.28.

. , , , , [2]. , , (). , ,
.
, ,


.
(. 5.29).

, . 5.29.
. ,
[6]
,

165

E. , . , E = 0,21 ,
30000 (1 = 1012 ). , E =1,28-1,8 , .. 10 , [8]. , .. ,
, 45 (1 = 109 ),
2 [6]. , 20 . ,
, . ,
200 7 [6].
, ,
, ,
- ,
. :
, ,
.
,
, ,
,
.
,
.
, ,
.
,
, .
, ..
.
, (. 5.30).


(. 5.31).
,
.
166

:
, .
. , [7],
,
, ,
10 .

, 26

. 5.30. () ()
() [6]

10

. 5.31. ,

[1]




.


[8, 6]. . 5.32
,
()
(), 167

, , . . 5.33
. , . ,
, , .
,
. 5.32.
;
[6]
[10].
(. 5.34).

. 5.33.
[8, 6]

. 5.34.
[8]

, ,
, ,

[11].
. 5.35. 1 , , , 2 3 . 3 4
,
4 , .

168

. 5.35. [11]
4
.

. , ,
[10]. ,
. 5.36,
320
25-50 .
,

, . . 5.36. ,
.

,
[8]
. :
, (),
( )
().
.

. .
, , , 169

.
.

, , [10].
, , , . , , ,
100 1 ,
0,1 1,0 /.
, .
, ,
. , ,
.

.
(, ),
. 5.37. , , , ,
. ,
. 5.37.
[8]
,
,
.
,
. .


170

, .
, , , . , 2 == . . =
: = , .. , = , ,
. , , -.
( ) , , .
. 5.38 , . , A1g, , .. . , E1g,
, .. ,
, , .

A1g

E1g

. 5.38. [8]

,
, . -

171


.
, .
,
, .. ,
, .
,

- ( x . 5.39), , -
( y . 5.40). ,
, ,
CC-, . 5.39.
, , ,
(. 5.40) .
,
d, n m.
, n m =
3q, q [6].
0,4-0,7 .
, . ,
. . 5.40. :
()
()

.

172

, ,
. -

.
60 .

. ,
.
, , ,
80 , . 5.41.

.
0,3 1,0 .
, .
. 5.41.
(5,1 10-6 )
3,8 10-5
[9]
1 ; 2
, ( ) [9].
[8]. ,

, , , .
, ,
, , ,
. ,
173

.
, , , . ,
. , , 1013 /2. , , , .
, ,
, ,
p-n-
.
, , . , ,
.
, .
, , . , .
.
, -. . , , , , .
, , .

.
, , , .
174


,
, . , , , ,
, .
. 5.42

.
, . ,

.

,

,

.

. 5.42.
()
.
() [7]
(. 5.43). , .
, ,
.

175

.
, .
,
.

.
5.43. [7]
, -


. 5.44, . , , . () . .
,
.
.
, .
, , . U 6
, ,
(. 5.44, ) [7].

. 176

,
. 1 1 (. 5.45) [7].
, ,
1 .
,
. .
,
.
,
.

. 5.44. [7]
, G
U

106 ,
[3].
,
1 , 1000 . (Pt Au)
177

, 1 .

.
, .

. 5.45. [7]

,
U

G U z . T:
G(T) = G(z)p(z)dz,

(5.4)

p(z) = Aexp( U(z)/kBT ,


z [12]. U(z),
, :

U ( z) U 0

Uz
2
cos
z ,
2
z

178

(5.5)

U0 , Uz , z = lc/2, lc = 0, 224
. G(T) , . 5.46.

.
500
0,1 -2.
,
, .
,

, .
, , .

. 5.46. [11]
,

1 , 2 , 3 -


.
, , (. 5.47). ,
. .

179

, . 5.47.
. ,
,
() .
, , ,
. ,

1,5
0,5-2
[7].
, ,


, . , . 5.47.

[7]
,
, [6].

[6].
. , ,
(, ). , . , . 180

, , ,
, . ,
.
, , ,
. . ,
() ,
.
, .

. . 5.48. , , 1
7 Fe-A1-, . 2,1 5 , .

, , .

.
.

181

,
AIIIBV. , , , .




,
.
. 5.48.
[7]
,


. ,

[9].
, ..
.
.
.
, , [8]. ,
(65=) ,
. , , Ni
113 .
182

, ,
,
.
. , ,
N2, ,

N2 [8]. , N2
N2, , ,
.
,
- [6]. , (. 5.49).

. 5.49. ,
[6]

, ,
( ~ 10 ) ( ~
100 ). , (, ) 183

. (~10 ). ,

- 1 ,
10 .

.
.
()
(). , , . ,

, . ,
. , 100-150
, 500
[6]. , ( 10 ).
, 60%.
.
5.50.
,
, ,

, .
,
, .
, ,
2/2 (1:4) 750
184


2

. ,
. ,

,

. , ,
2
.
. 5.50.


[9]
.
1 ; 2 ,

;
3 ; 4
, , ,
, , ,
; 5 .
.

, ,
,
.
( 1 ). , .
. ,
.
, ,
. , (
5:1). 185

, ,
. .
. , (
) ,


. 5.51.
(
22), ,
,
.


. 5.51.
[6]
,
, ,
.


,


(. 5.52),
,
, ,
.
186

, , , ,
.
, 8

. 5.52.

[6]


. ,

2
1

5
,
7
6
Ar, He
8
. , ,
. 5.53.
[9]
.
1 ; 2
; 3 ; 4 ;

5 ; ; 7
; 8
.
. 5.53. 187

.
, LiCl. () 500 . LiCl (604 ). ,
. , .

, () .

. , . 22, (
2,5-10%) , 800 . (, Fe Ni) ,
0,5-10%. , , Fe
.
( ) ,
, .
:
() ,
;
( ),
;
( ), ;
, .
, .
188

5.3.2.
,
.
.
:
, ?
. . . , .. .
, . , ,
, ,
.
,
(Rh, Pd, Pt, Mn, Co, Fe, Ni, Sc, La, V, Ce, Gd, Zr, Y, Ti
.), (. 5.54).

. 5.54. , Sm2O3 [6]


10

189



, , .
, , , . , ,
, (. 5.55).
, , . ,
. , ,
.
, .

, , . ,
, , . 5.55.

TaC [6]
( , 10
) .
. , 190


. ,
1
,

,

,
.
,
.

,
2
3

,
, 4
. 5.56.
.

,
[8]
1 , 2

, ,
. 5.56
3 , 4

( )
.
, . Ni()2.
(+), .

,
.
. 5.57. ,
. 60 [13]

191

, , . , ,
, , .
. 5.57 ,
60. , , .
5.3.3.
, ,
B-C-N, C-N, B-N. BN (,
, , ); ( ) ( ,
). MoS2, WS2, NbSe2, WSe2, MoTe2.
NiCl2, ,
, c CuO, CuS, CdS, CdTe, ZnTe. , , SiGe-, InAs/GaAs
SiGe/Si.

192

6

, , ,
,
. , , .
,
.
. .
. ,
, , . , , .
, .
- . .
.
, , ,
.

6.1.
, -

193

, .
, .
. 6.1 , ,
, ,
- [1]. ,
]. , H2, ,
. ,
H2 , . HH
PtH .

Au

Au

84,6

. 6.1. [1]
-1,4-, Au-;
,


. ,
, ,
.
(, ..) , , 0 1, , , 1 0. , 194

, . , . ,
.
. 6.2 ,
(CPL) [2]. - ( )
()-(CPL)
, .. - (
).
(+)-CPL , .. . (LPL) . (UPL).

. 6.2.
[2]

, [8],
. 6.3. ( hv1), - .
() ( hv2) (),
.
, (. 6.4). . 195

, .

. 6.3. () () (hv1) (hv2) () [2]

. 6.4.


[2]

: ()
()


, , . ,
. 13.11, , ,
, , . 13.11, , .
, .. , ,
, , ,
, . , ,
,

,
.
. 6.5
196


2--4--4--5--1-,
. (SH-), , .
,
.


(NH2-), .


(NO2-),
. 6.5.
. ,
[2]

.
. 6.6 ,
.
1,6 ,

2,1 .

60 ,

.
, , , ,
. 6.6.
,
,
. 23.6 [2]
, .
197


, .

. . 6.7 , . . , ..
, .
(. 6.7, )
313
-
-.
-
380 ,
-
-.
.
, - . 6.7.
, . [2]

.
- ,
, ,
,
- , 365 -,
.

. , ,
. - (. 6.7, ), 365 , .
420 -, 198

. 420 365 .

6.1.
.
.-. 1973 .
, , [3, 4]. , 1978
, ,
, .
(
, --
) , ( , ), , [3].
(
clathratus, .. , )
- ,
-, -.
- ,
---. , .
( ,
).
, , , , 199

( ,
). -,
-.

, .
, () . , , .
. 1962 , -
(crown -)
() , . 6.8. - [3]
(. 6.8). , - , .
, , -,
() (). , ,
.
-
. 1968 , (. 6.9, ), , ,
(. 6.10),
-,
.
1980- . - (. 6.9, , ).
200

,
, , ,
.

, - . CH3CN, SO2 ..

. 6.9. (), () () [3]

-,
, , , . -
,
(, ,
, , ),

.
-,

-, . 6.10.
[3]

201

.
- . .
.
-
. , , , , ,
[5].
[5].
,
, , , , , , .
, . ,
, . , ,
.
.
,
(-).
. 6.11.
- [6]
, 6, 7 8 202

-, - -.
- (. 6.11),
(- -
). ,
,
. . : , , .

. 6.12. - [3]

, , ,
() [3].
, , , , (. 12). , - .
4,4'- 4,4'203

-. ,
,
. , :
, .
, .
,
, ,
. 6.13. ,

, ( )
,

.
- ,
+1.
. 6.13. -
[7]
,
,
.

6.2.
,
. , . (),
.
204

,
.
( )
.
,
. , ..
( , ). , .
.
, ,
.
, .
.
. :
;

;
;
, , ;
;
;
;
, , .

(, , ).
. 60
, C, O, H, N, Cf, Mg, P, S,
Fe, C, O, H, N 98% . , (, ) .

,
205

. , (). .

NH2. , .
R :
R CH COOH
|
NH3

,
, .
, , . () (). , .
(, ) (, , ).
, ().
,
, . . , .
. ,
, . () (), , .
, .

, . , , , (). 206

,
,
.
6.2.1.

,
. (, ), (, , , , )
. , , .
, .
- :
R1
|
CH

R2
|
CH

O
O
CH2 O
O
CH2
|
|
O P O CH2 C CH O P O CH2 C CH
|
|
OH
OH

, .
: (), (), () ().
(). 0,7 .
:
. (. 6.14).
:
. .

207

,
. : () . 3,4 , 2 .

. 6.14. [8]
, , ,

, , , . : - - , - ,
.
(), .
, ,
,
,
`.
208


. .
`,
, , :
` , , ` . ` `,
(. 6.15).

. 6.15.
, [8]
, ,

.
, , ,
.
6.2.2.
, .
. , , .
,
. , 209

.
(),
, (),
.
, ,
NH CO. , . ,
20 , . , , (R = H),
(R = H3) .., , .
OH, NH3, SH ,
, R = CH2OH, R = CH2CONH2 ..
, .
. :
, , .
,
.

:
-

. -
, (. 6.16).
0, 5 ,
1 . -
,
. 6.16. -

[8]
( - .
)
:
. - 210

, , ,
(. 6.17). - ( 0,7 ) - ( 0,5 1 , ).
() . -
( , , , ), ( ), , . - . , , , ,
(, , ).
, , , (. 6.18).
,
. , . 2,7
. ( ,
) ,
8,5 10 .
, . , .
, (, ,
), ( ) . .
.
: , (),
. (.
6.19), . 211

, .
18 000, 153 , .. 1200 ,
.

. 6.17. () () - [8]

, . , ,
212

(), .
, .
, , .
.
, , ,
, . ,
,
, ..

, . ,
.

. , (
5 ), ( 10 )
(. 6.20).
.

. 6.18.

.
[8]
.
. , , - , - .
.
, .
213

,

.

20
4 (, , ), ,
.
, ..
. 6.19.
. [8]

.

, .. . , -- , --
. . ,
.

. 6.20. [8]

,
214

. ,
, -, , - . , - . -
, .
, ()
-.
- , .. , -
, -.
-.

NH CO.
, . ,
:
H

R
|
NCH
|
C OH
||
O
R
|
NC

R
|
NCH
|
C OH
||
O

R
|
NCH
|
C OH
||
O

H
H R1
|
|
CN C
||
O

H
H R2
|
|
CN C
||
O

H
H

R3

H
|
|
CN C

C OH
||
||
O
O

, , .
215

.
,
(), , .
( ), ( )
( 10 000 -
):
+ 2 + 34 + 10 000 ,
+ 2 + 34 + 10 000 .
,
.
6.2.3.
, ,
, .
, . .
.
, , . ,
.
(
1010-1013 ), , ..
.
, .

. ,
-. - ,
,
216

. ,
-. - .
,
, . - .
.
( ) [9]. (. 6.21):
1) () ;
2) (, ) ;
3) ( ) .

. 6.21. [9]

:
,
. ,
,
217

,
. , , :
-, -
().
,
, .. . , ,
. .
H2O2, .
,
, , ,
.

, ..
, .
, , , . , , , .
6.2.4.

,
. ,
15-350 , ( ), ,
. : , ,

.

218

, ,
, ( , , 100
). . 6.22 b, . .

. 6.22. b [10]


,
, .
, ,
. , 5 20 200 . , , . ,
. .
:
( ), ( ).
219

, ,
. .
6.23.

. 6.23.
[2]

.
,
, , . ,
,
. .

, (, ).

. , ,

. . 6.24 220

. , . , ,
.

. 6.24. () () ,
X Y [11]
, , G , . (1-4)
(I-IV). .


, , , .
, .
(..
, ), . ,
,
.
221

, .. ,
()
.
,
, , .
,
, , . , , . . .

6.4.
(),
( -
-) .
, ( ) , (, ) ( ) (. 6.25).
, .

p = VT/AHLT,

(6.1)

AH , VT LT
[3].
222

(. 6.1).
< 1/3
, ,
LT

R > LT,
, .


. 1/3 < < 1/2
. 6.25.
[2]
. 1/2 < < 1 ,
(, -2-
VT 0,5 3, LT 0,9 AH 0,7 2, 0,8). p = 1
, AH ,
, . p > 1 , .
.
, , . () .
, ..
. 50100 .
.
:
.

.
.
.
223

6.1
( [2])

p < 1/3

1/3 < p < 1/2

1/2 < p < 1

p=1

p>1



, . , , , . , .
, , .
, , ( ) . ,
224

. , . ( ) , . , ..
, .
100-500 ,
5-10 . , .
, , ,
, ,

(),

,
.
, , ,

.
. 6.26.
,
[12]

(. 6.26).

: , ,
, ,
. , ,
. , , , , .

225

. R D,
. (R
> D),


,
,


. ,

(R
< D),

. 6.27.
,
[12]
( " ")
, , ( ) (. 6.27).

. 6.28. [12]
: (1), (2) (3), (4)

, .
226

, . , .. . , , , .
. 6.28 .
, .
. , , , B, , .

227


, , . , . .
. (), ,
, ,
.
, . , , , .

7.1.
, . ()
() , , . , ..
, ,
.
, .
228

1981 . ( ).

, .

,
,
. , ,
R. , , h. R
= 1 (1 + h /R)-3.
(7.1)
(7.1) , h = 1 3% R
= 100 , 25% R = 10 43% R = 5 ( (R) h = 1
. 7.1).

1,0
1,0
0,8
0,6
0,6
0,4
0,4
0,2
0,2

00

20
20

40
40

60
60

80

100
100

R,

R,

. 7.1.
R

229

, .. .
, ,

, . 100
( 5-20 ).
100 1 . 0,4-1,0 . ,
, , , .
.
, , ,
() ,
. - ,
( 20-40%) [1].

,
.


. , , ,
. 7.2.
[1]
, , ,

.
1980- . , ,

, (. 7.2).
230

,
. , ,
, .. .

,
- .
,
( )
[2, 3]. . 7.3
() .
, DE EF. ,
( . 7.3 , .. ,

).

,
( , , ,
,
,
;
. 7.3.

( ) [3]
h

). ,
231

, . ,
,
, ,
,
. , , . , , (. 7.4).

, , , , ( 104 -2, 108 -2).
nc ,
, .
. R*, :
R* ( 10-20 )
, ,
. 7.4.
R*

[3]
[4, 5].

. , 232

[1, 4, 5]. .

, ,
[1, 4,
5]. .
20
HC Bs,
, , .
Finemet
Fe, Si B Nb Cu [5]. , 20 HC Bs, .
Fe Nd B
Si, Fe Nd B Fe Sm N [5]. ,
, . ,
,
,
[4].
.
, . , .

:
. , 1-2 80-100 . 233

.
, , .
,
.
, , .. . , ,

, . , .

. ,

, . () .
,

.
, T < 0,5
m (Tm ),
. , ZrO2
40-60 1320 5
99%
85 [1].

,
. , TiN
~ 80 1470 4
98% ,
, 234

, 300 [1]. , TiN ( 8-25 ) .



, ,
. (5-10
/ ) , , ( ). (
100%) [8]. , , , .
.
, , . .

, .
,

(. 7.5).

. 7.5.
.
[5]
,

, ,
235

. ,
, 2, 4 4 , 160, 150 85 . , 90-150.
100 .

.

. ,
, ,
.


,
.
, , , , , , ..,
,
.

.
,
.
.
, Fe, Ni, Al, Zr . ,
, ..
( 106 /) .
,
. , 236

,
.
.

. ,
Al-Cr-Ce-M (M-Fe, , Ni, Cu), 92% Al, , Al 5-12 [1].
. , Al94,5r3e1Co1.5,
, ( 1340 ),
[1].

Fe-Cu-M-Si-B (M-Nb, Ta, W,
Mo, Zr), , .. .
, , , , ,
.

7.2.
,
.
[9]. , 60 1,5
60 = 60 (. 7.6). ,
. , . ,

.
60, , (70, 76, 78, 80,
237

82 ..) , .

. ,
--.
,
. ,
, ,
(1200 60), , ,
[10]. .

. 7.6. 60 = 60 [9]

,

, .. .
, .
, , ,
. , 60 , ,
238

10 -11 , 3-4 ,
[10]. .
[10], 60

1,417 .
60 1,002 , 1 3 1,441021 , , 1,72 /3. 260
60 : () (. 7.7).
,
, ,
, ,
.
1993
60
,
[10].
60
.
,
60
. 7.7.
( 60,
[10]
) 60 1:1 60 ( = ,
239

Rb, Cs).
: (2+2)
. ,
, , , .
60 , , .

60
1 ,


.

,

.
, (=)

. 7.8. (2+2)
[10]
0,4 ,






(hv), ()

(- charge transfer); (. 7.8).



.
, .. .
, ,
240

, (.
7.9).
60
0,206 0,112
.
( ).

. 7.9. () () 60 [10]

, . , .
, 60,
60. ,
60. , .
60 ,
( ) ,
. , (K, Rb, Cs).
,
. ,
13 3,5 /3,
,
[9].
241

, .

7.3.

, ,
, , . 1970-
, , .
, n : n . 1987 . , Bell Communications Research, ,
,
( 200-400 ).
,
, .. , .
(, , ),
, . , (. 7.10).
,
. .
, [11]. (. 7.11). 242

. , . .
, , , , . .

. 7.10. [11]
- ; - ; , -


. -
(a-Si2),
, . , ,
. , , [12].
. 7.11.
,
[11]
, ,

Eb - ,

Eg -

, . , NEC 243

,

, .


SiO2 .

,
, [13].
. . . .
, 1000 . . 7.12
250 , .
.
,


20-50 .


. 7.12. (
[13]
Tb 3+)
, .
-
, ,
,
244

. , .
,
.
- .
,
,
,
(. 7.13, ).

: , . 7.13.
- [14] ,
. ,

, .
, (. 7.13, ),
.
,
. (, ,
),
.

(. 7.14), , , .
. 7.14.
, , [14]
- .
-
245

, .
, , , ,
(. 11.6),
.
-
. 7.15.
, - [14] .

7.4.
() ,
, ,
, ,
.
, ,
,
.

:
( , ),
, ( ,
).
, .

,
, .
, , ,
. ,
, .
(),
() (). , ,
, ( )
246

( ). , ,
, ,
,
. , ,
.

1
,

.
-
, .. ,
3
2
1
2
(
. 7.16. ,
100 ) (. 7.16).
[15]

1 , 2 ,
,
3
,
, -.

, ,
, .
,
. .
7.4.1.
,
, ,
. ,
. , , , .
15%. , . ,
.
247

. () 10-1000
, [7]. , , , .
( ) , , .
, ,

[6, 16, 17]. , . , , (. 7.17). ,
.

. 7.17.
[6]
1-5

, .. S:
= Gmb/S,
(7.2)
Gm , b . ,
248

() D
. ,
,
, , = 3-15%, S = 100-500
D = 10-50 [3].
, , ,
, (0,7-0,8), .
, ,
, .
Al .
.
( ),
123 (. 7.1).
7.1

1 123 [12]
6-9
9,1-13
13,1-18
, %
,
300
330
400

(123, iO2, ZrO2 .).


, , , , .
, , ,
.
ThO2, Mg MgO BeO. , .
Cu, (123, BeO,
ThO2), , . , , ..
249

Ni, ThO2 HfO2,


1000. ,
.
, , , ,
(
) [15]. . u-W Ag-W ,
. . CuMo Ag-Ni, . CuFe , ,
Pb-Fe Ag-Fe . -
Mg-Fe . Mg-Ti Bi-Ti
, . Mg-Be, Mg-Zr Mg-Nb
.
,
, ,
, .
, . , .. , , , , , ,
( , ).
. , .. (),
.
, .
250


. . , .
,
, . , .
, ,
( , .. ),
( ,
, ). . . ,
, . ,
. , ,
, . ,
,
. -
.
[18].

, , ,
, .
,
, 251

.
( , ..
) = 0,01-0,05 .%. , ,
, , .

, (-
4 ) [18], ,
, (. 7.2), ,
(. 7.18).
7.2
()
() [18]
, , %
0
0,01 0,05
0,1

60
73
70
67

. 7.2, ( 0,010,05%). , . 7.12,


( 0,010,05%). 0,1 .%
,
, .

[18]. , .
252

. . ,
, ,

.
, , - .
, ,
, .
.

. 7.18.
() [18]
: 1- ; 2 -SiO2; 3 -

, -
, , ,
. .
() , . ,
253


, .
0,05 .% , .
,
.
,
. 0,1 .%.
,
.
. .
7.19 .
,
.

, . , , .
,
.
,
, [19]. ,
. ,
,
8 , , 254

, [20].

. 7.19. : ()
SiO2 (), 123 () iO2 () [18]
: 2 .%

,
, ,
- . .
. .
, ,
Tglass < T < Tmelt, Tglass , Tmelt .
550
C 700 C
[21]. 255

. AIIBVI AIBVII 110 .


,
, , , ,
Rc
. .
( ). . ,
.
M
. M
,
, Ea = KV, K
, V . ,
kT Ea, .. kT KV ( k ) [19]. 1-104 /3. , 100,
kT 10-21 ,
V < 10-21-10-17 3, R < 1-10 , .. . (), , ()
() ,
,
M . , 256

, .
, . , , ,
.
, TC, , .

,
. ,
, (- ) . ,
: , . , , . - .

7.4.2.

,
[21].
,
.
.

.

,
,
.
257

,
. ,
,
, . 7.20.
.
film material

strained film

relaxed film

substrate material

substrate

substrate

. 7.20. c [21]

,
.
,

.

. ,
,

.


,
. ,
. . 7.21

.

258

.

,
. , ,
.
SiGe, - AlGaAs, - GaInAsP.

Energy gap (eV)

AlN

ZnS

GaN

Zn0.5 Mn0.5 Se

ZnSe
AlP
InN

ZnTe

CdSe

GaP
GaAs

Cd0.5Mn0.5Te

AlSb

GaSb

Ge

InSb

InAs

HgS
0.45

0.50

CdTe

InP

Si

CdS

AlAs

0.55

0.60

HgSe

HgTe
0.65

Lattice constant (nm)

. 7.21.
.
(
)


.
,
.
a(x)

a1 a2. . a(x) = xa1 + (1 - x)a2,
x 1 2.

. , ,
AlxGa1-xAs xaAlAs + (1 x)aGaAs.
x 0,15 %.
AlAs, GaAs AlxGa1-xAs
.
,
, ,
259

0,8 ,
-
.
, ,

,
, /
. ,
GaAs . 7.22.

. 7.22.
GaAs Ga1-xAlxAs d,
di, dn, dp ni, nn, np [22]
, .
Ev, Eo ,
EF . .

Ga1-xAlxAs GaAs,
.
.

.

7.5.
260

,
.
, ,
, ,
. ,
.
,
.
. . , , ,
,
, ,
, .
,
, , , .
, .
, ,
, .
, .
, . , - .
7.5.1.
,
, 10 [23].
, / , .
.
261

, 10 , .. .
:
, , , ,
.

,
, (. 7.23, ).

,
.

. 7.23. (), (), ()


[23]
1 ( ); 2 ;
3 ( ); 4
(); 5


,
, ,
(. 7.23, ). 1 .
, , , , :
. 2 , 262

, 2 1.
3
, ,
2. ,
1 , 2
.
4
.
.
,
(. 7.23, ),
.
2 , 1 3.
, .
(
) ( ). (. 7.23, ).
.
, ( ,
, ).

(, ,
.).
,
. . . , 1
, .
263


.
, .
.

. , 1 10 , ..
, .
,
,
,
, , ,


.

,

.
. ,
, ,
, , , .
,
, , (, ).

(, ).
: , , , , , .
264

, .

( ),
, .
, . , ,
(, , ) 0,1 5
( ).
.

, , , .
,
, Al2O3, [24].
, .
. . 7.24 , .

- ,
, , .
. 7.24. [24]
.
, (
265

95-99%).
, . , , ,
. .
,
,
,
,
.
, ..

30%. , , .
,
, .
, , . ,
,
, .
, 1000 12
.
.
- , , .
-

266

. -
:
;

;
;
;
;
.

. 7.25. [26]
+
, , ,

SiO2
, . 7.25. . Si, ,
+ . , +
, . 267

.
1 . , , . .
, .

(. 7.26). 10 , ,
, , ,


.


(,
)
. 7.26.


.
[26]

7.5.2.
"" ( ) . , 1756 , ( ) , .. .
, , ,
: , 268

, , . , , , , . , , , .
()
. ,
.
.
( Na, K.... Ca, Md,
Sr, Ba...) [27]. ( ),
, 10 000 100 000
. ( ) , . . 7.27 . , , 0,26 ,
. ,
,
. ,
. , ,
10 . ., 100 14,5 100 , ( )
.

A, X Y [27-31].
A 0,4 ,
Na12[Al12Si22O48]27H2O. ()
1 ,
Na86[Al86Si106O384]264H2O. Y , . 269

. ,
Na , 0,5 , , 0,3 . , Al Si
B, Ga Ge, P, - , .

. 7.27.
[27]
,
,
, .
Si Al ( 0,039
0,057 )
( ) (
) ( 0,139 0,098
) .


, ( Al
Si) (2-3) (10928').
: ( 4, 5, 6, 8, 10, 12 -),
(. 7.28).
- .
, (. 7.29). 270

,
(0,54 0,56
) ()
(0,51 0,55 ) (.
7.30).

. 7.28.
: 0,3-0,45 [27]
, 0,55
, 0,75 ,
0,8 . VPI5 1,2 -41 1,2-1,5 . , ,
Si/Al, , , , . ,
0,3 , NaA 0,42 , CaA 0,5 .
Si/Al


. ,


(),

.
,
. 7.29. [27]
.
,
(
) , AlOAl. Si/Al 1, 1,3-1,5, Y

Na

271

1,5-2,5. X Al
, Y ,
.

.
. 7.30.

[27]
, 2 , Na12(AlO2)12(SiO2)12. X
8 ,
Nan(A102)n(Si02)192n.
Si/Al, ,
. ,
Y Si/Al = 2,25 Na59(AlO2)59(SiO2)133.
Na2OAl2O3nSiO2, n
5 1000.
. 7.31.
,
[27]
I-III ,
1-4
Si/Al,
, ,

. , , .
, . ,
(
) : I (6)
, II , , III,
,
(. 7.31). ,
272

,
,
, .

, , I ,
II.
600-800 (
).
. , I . , ,
, .
, , :
, .
Si/Al.

.
,
1 . ,
- . , ,
, . ,
.
.
.
, , , ,
. ,
, () .
, , Al
273

, Si/Al .
,

( 1-6 ),
. , ,
. 1 5 .
, ,
, , , : ; ; .
:
; ; ; ;
.
: , , , , , , , , , ,
, ,
, .
:
1 . : 15 30% .
,
.
274

,
. , 65,1 .% 46,3 .%, 72,5 57,3 . %
. .
7.5.3.
,
.
HF. , ,
. 7.32.

, .
,
SiC, SiGe, GaAs, GaP, InP,
, , .

. 7.32. ,
[19]
, HF,

.
() . ,
,
.
, ,
,
. 275

. , -
.
,
.
.
.
. 7.33.
, mixer
cathode
HF
teflon
. Pt
solution
cell
grid
( ) Si

anode
. 7.33.
[21]

.


.
, ,
.
, HF, (h+)-(e) , :
Si + 2HF + lh+ SiF2 + 2H+ + (2 l)e,
276

(7.3)

SiF2 + 2HF SiF4 + H2,

(7.4)

SiF4 + 2HF SiH2F6,

(7.5)

l ,
. HF
( ) ( ).

.
n- (
1018 -3) p-. SiH2F6 .
HF ,

.
- . , 15 %. ,
pH .
, , , ,
, . : ,
,
HF , pH , , , ,
.

.

(. 7.34).
, .
n- 277

.

,
p- . ,
( 0,05 )
10 ,
(. 7.34, a). 60 %. . , p- n-
, 2
4 (. 7.34, ). . n, , . 10 %.

. 7.34. [21]
, ;
,

n- ,
. , , , ,
.
10 200 /2. HF . , 278

. Si3N4
HF
.
1990 , .
( ) .
10-8 , , , . ( ) 0,96 1,20 , ..
, , 1,125 . . ,
1,4 (300 ) [28].
.

.
, , .
, , , , .

279

7.5.4.

, , , , , , , . :
; (1000) ;

;

.

,
. , . ,
, , , , , , , , .


()
Al+3 O-2 .

: 1)

; 2)
; 3)
.
(SO42, HSO4, PO43, C2O42, OH),
, , .
(, )
(, H2SO4 SO2 ),
, (SO42)
280

,
.
1
2Al + 3H2O Al2O3 + 6H+ + 6e(7.6)
,
1 :
1 13+ + 3-.
(7.7)
,
. 13+ ( ) .
, , -,
H2O 2H+ + O2-,

(7.8)


2 2+ + + 2-.

(7.9)

, (7.8), .

1,4 / , 5,5, . (Uf /h)
= (7
8) 106 /, , , .
(
) , , ..
. 281

1,0 /
.
, , , , , , . ,
, .
,
. .
, . ,
, .
, ,
, , .
,
. , (), ,
. , (), ..
.
, ( ) , .
.
( )
.
. , ,
, ,
282

,
.
(.. ).
,
tmin, .
2 , 3%- (pH = 5,5) tmin = 12 , (pH =
7,0) 90 .
tmin .
(Uf = const)
.
( ~ 1,0 /) ()
, ().
, .
, . .
d/1,31 h ln (d/1,31 + h)h = K(t t0),

(7.10)

d , h , t , t0
, K .
(4-7 ) , .
, ().
- ( ). /

.
(
283

) , , . ,
.

, (. 7.35).

, , .

.
. ,
,
, .

.

.
.


() . 7.35.
-
,
[21]
d , D ,
.
h ( )
,
284

, , ( ). , ,
.
,
, , (
). .
, (3%- , 15%- , 4%- , 2%- ) .
,
,
, .
, ()
, ,
, .. .
, - , , 3%- . ( ~90 ), , ., .
,
- - , , , . 7.35, ,
(~32 ) , , (. 7.35, ).
( )
. 285

8 (). - , .
- . .
, .
:
;
;
-
;
( );
- .

() . .
, .

. , , ,
, , .

.

, 0,
( ), ( ). 160 .
.
. 7.36 286

() ()
. , , ().

(). () () () . , , , , (); () ().
(),
( ). 40 100 .

(SiC Mold),
. 7.36. ()
(B). (C).
. , ( )
,
.

. . 7.37 ,
Ag, Si , .
, 287

. (, ) , ( ).

. 7.36.
()
() [21]
1 ; 2 ,
; 3 ,
; 4 ,
5 ; 6

. 7.37. - () Ag-
,
() [21]
288

. 7.38. Ta2O5
[21]
; , ; , Al2O3;

( )

. 7.38
, . 7.39
, 4 . : , , . , ,
, , ,
.
, ,
, . Pt : Ni(OSO2NH2)24H2O
(330 /), NiCO3 (0,5 /) H3BO3 (30 /) . Ni- 10 , 70 .
289

123 , , Pt. , .

. 7.39. - ,
[21]

. 160 535 .
, ,
.
. 7.40
() (F), - Pt-, : 160 0 0,3-
40 ().
,
.

290

. 7.40. (F)
- [31]
( ); ( );

(),
(), 5 .% (). .
10%- NaOH (D)

(E). (F). ,
.
10%- NaOH (D)

(E). (F). 291

,
.
, , , , , - .

7.6.
,
,
, , .. . Li2O, B2O3, MgO, l23, SiO2 TiO2, Fe3O4, Cu2O,
ZrO2. ,
.
, , . .

, .
,
.
.
SiO2.
S
r:

3
,
o ro

(7.11)

. SiO2 ( ~
2,2 /3) r0 = 2 S = 700 2/ ( S = 300... 1000
2/ ) [4]. SiO2 4 10 ,
35-120 . SiO2 1073 . 1500 4 20 , 0,14
292

1,4 /3 740 36 2/.


.

, , .
, , , ,
. . ,
SiO2 273 373
10-20 /2 ( ,
300 26 /2) [4]. - .
. ,
-
123 ,
1000 . , . , , , , , .
,
.
,
.

293

() , . ,
(, , ) , . ,
, ,
. ,
.
,
.
, . , ,
, ,
..

. - , , , .

.
() , .
, .
, .. , 294

-. , , , .

1960-
(
, ), (). ,
-, .
,
.
1990- .
. , ,
,
. , , . .
,
. , .

8.1.
[1], .
295

. , , .
,
, . , -, , . ,
,
.

.
, -, -- . (CH3) (C2H5) ( ). -, , - () . ,
.
. 8.1 , GaAs GaAlAs.
(CH3)3Ga (CH3)3Al .
, AsH3, . - , . , -

296

,
:
650 oC

(CH3)3Ga + AsH3 GaAs + 3CH4.

(8.1)

, Zn Cd, , , Si, S, Se, .


(AlN, GaN, InN)
NH3.
re
a
c
o
t
r
A
s
H
3
H
2

s
u
b
s
ra
t
e
t
s

m
a
n
o
f
i
d
l

h
e
a
e
td
h
o
d
le
r
H
2

H
2

H
2

b
u
b
e
l
rs
(C
H
)
G
a (C
H
)
A
l d
o
p
a
n
t
3
3
3
3

. 8.1. [1]


.
. . , 30-60 .

.
, AIIIBV 297

. , AIIBVI, .
,
.
,
. , , .
- . , 10-7 , 10-11 . ( )
.
- .

. , . ,
, , .. ,
.
- ,
(.. ), . . ,
.
.
-
. 8.2. .
, .

298

,
.
, ,
.



.
-
. ,
. 8.2. ( ) [2]
1 ; 2, 3

; ; 5 ;

6 ; 7
; 8 ;
. 9 ; 10
, ; 11 ; 12

- .

(. 8.3).
( )
---, ( )
- -, , .

,
299

.
,
. , ,
.
, , ,
, , , .
deposited material

substrate

Frank-van der Merwe


growth

Volmer-Weber
growth

Stranski-Krastanov
growth

. 8.3. [1]

,
. , . -. (. 8.4).
(2D 3D )
, , . , .

300

, . ,
.
, , , ,
.
. 8.5. , ,
, X. ,
A, B C.

A

.

.
. tcw
, . 8.4. -

.

- [2]

, ; ;

,
1 ; 2 ; 3


-.

E.
301

Energy

B, 2D 3D-, .. , ,

X. , , ,
2D 3D-
X
A
B
C

Ea
,
stable
2D
Y
Z
.
metastable
Stranski-Krastanow morphology
2D
2D + 3D
B

Time
.
. 8.5.

,

[1]
. , ,
, . ,
,
.

, .
.

. . 8.6.
, . , . .
, .
302

Local strain energy density


. {11n} (n = 0, 1, ~3), . {113}
{110} . ,
, .

C
.

, during island
before
formation
.
0
x

compressive
wetting layer
area
.
.
. 8.6. , , [1]
.
.
, , ,
[3].
--,

. ,
. ,

303

(001) (311) . . 8.7 .

(001)

. 8.7.
[1]
; ;
;
; ,

, . . , .
, .
, . , . ,
, .
, . , , 304

, , , .

-. 2-40 AIIIBV, AIIBVI, SiGe, Ge.
. , . ,
, - .
. , InAs, . 8.8.
STM
tip

As

Ga

In

As

InAs

GaAs

GaAs

GaAs

GaAs
GaAs

GaAs
GaAs

. 8.8. InAs/GaAs , ,
[1]


GaAs
. ,
.
610 C, GaAs.
GaAs ,
GaAs
. 305

. InAs.
.
. 8.9 . GaAs InAs


InAs, GaAs.


,
.
. 8.10
. 8.9.
InAs GaAs, ( [1]
, GaAs), 6
, . 8.11
30

, -,
[5,6]. ,

(111) .

AuSi ( ~370)
,
. 8.10.
- Si Au
(. 8.12).
[4]
( GaAs) ,
, , ,

H2 + SiCl4.
306

, Si
Au , Si,
. , Si, , , 100 .
, GaAs, InP, CdS, ZnSe.

. 8.11.
- [4]
;
;
- ; ;
; ;

-

. . 8.13
. , ( ), .
.
307

() ,
(
Si) - ( Au). Si Au.
. ,
,
,
:
.
. 8.12.
- [6]
-,
,
, . , , .
, , .. , . , Si

5 50 [6].
,
(,
) (. 8.14).

.
: , (
), ,
(~107 /) (~108 /) . (): 308

, ,
. (. 8.15), - (), (. 8.16).

. 8.13. [6]
(
)

. 8.14.
[6]

, ,
, , , ( 900) , SiO2, , . , ( 2-3 ).

5 , .
, , - (. 8.17).

309

. 8.15.

[6]

. 8.16.
[6]

, .
Si. , Si0.9Fe0.1, .
Si Fe, ,
, Si-Fe.
( ),
.
,
. ,

, FeSi2.
. 8.17.
:
Si 3 20 (
- [6]
1, 30

310

). : GaAs, GaP, InP, InAs, ZnS, ZnSe, CdS, CdSe .


. -,
[7]. ,
SiO2, .

.
() ,
. SiO2
3- (. 8.18). . 8.18.
NH2, ()
[7]
, ,
, .. , ,
.
, , . ,
, SiO2 , , .
, .

Ca2+, .
, .
,
.
, .
311

p- n [7]. CdS, ZnS,


ZnO, GaN . ,
-, , n-GaN/InGaN/p-GaN.
. , ZnO
, [7].
, , ,
CdSe (3-) [7]. - (), , .
-, . , .
.
, . , ,
, . ,
,
.

. , CdS ,
[7].

8.2.

. 312

, ,
.
, (). ,
.

[8]. ,
, . .
. 8.19.

, . , ,
, , . , ,
, .

.
, . ,
( ), . .
Fe-Cr- Co-u- .

100 .

313

. 8.19.
[8]
( );
( )


.
( ) ( ), . . . ,
.

. , ,
,
,
( ).

, .
,
, . -
.
314

,
, .
. 8.20
.
(), - , , . , .
, -
. , , .

. 8.20. -
- [8]
;

, , ,
,
, .
10 . ,
.
.
, ,
315

. .
- ,

.
, ,
. ,
, . , , , . 1% .
, .
,
, , , - , , (Ni80Fe20). ,
. ,
( ).
, , ,
() .
. ,
, ( )
.

316

104/. .

- , .
10 /, .
.
, ,
,
( ). .
. ,
, ,
. ,
, ,
. ,
, . ,

.
, .
5-10 % 800 8000 /.
-
- , .
317


(, Cu) (, Re) , (, Co, Fe, Ni). . ,
- , , -,
(), , -,
- .
. , Co, ,

. ,
.

, ,
, .
, ,
Cu/Co, , .
, . , , CoCr, CoFe , ,
123, MgO, 23.
, .
, ,
,
-. .
318

(%)

. 8.21, CoFe-123--, -, CoFe-.



, :
+ . , , , - ( ).

, /
. 8.21.
[3]

, .
, (
).

,
.
. , ( , , , , . .).
319

, ,
. . .

. , ,
.
,
.
- - , , , .
-
,
. , , ,
,

R
R

Rap

Rp

Rap

2 P1 P2
,
1 P1 P2

(8.2)

Rp Rap ; 1 2 .

. 8.22 F-l2O3--.
, 0 . .
,
. 320

(%)

, : ,
( -), . , ,
. .
, 20-23 %, 12- .

(-, , ), .

. ,
,

. 8.22. CoFe-l-
, ,
[3]
.
.

,
.
, , .
, . () (),
() ().
( ):
321

Mn+() + ne-

M.

(8.3)

, .
, .. , :
An- ne-

A.

(8.4)

, Q, , :
Q = zF,

(8.5)

, , Ar ; z ,
; F = 96485 / .
, , ,
.
Ieff , :
2+ + 2-

2 .

(8.6)

Ieff
(Ieff < 1). Ieff (16.4) d:
d

Ar
zF

Q
I eff ,
S

(8.7)

S ().
, , :
1) ;
322

2) , ,
;
3) ;
4) ;
5) .
, ,
, .
.
( ).
(10-100 /2),

105-107 /.

,
, . , , .
, , - .

.

[9]. Co, Fe Ni , Cu, Ag, Au, Pd
.
,
400 .
, , ,
. ,
323

, , .
,
( 1% ), -
.
. , , , .
.
, ,
, . 8.23. , - - . 12- - (),
, . 5 . (), 6 12 .
: 1 , 2 .
, ,
.
2
.

, ( ) -

324

- (
).

. 8.23.
[9]
1, 2,, 6 - , 7, 17
- , 0, 1, 2, 3,
, - .

. 8.24
Cu80Co20.
I, H : 1) R I H , 2) R
I H,
, 3) R I , H .
R/R = 100 [R(0) R(H)]/R(H), R(0) R(H) . Cu80Co20 , ( R
R
R , ).
, , : (1) ,
(2) () , - , () .
, - 325

-
, , .
,
,

. ,
,
.


(. 8.25).

.
. 8.24. MR
,

Cu80Co20 5 K
(.. ,
H

) .
,



[9]

. ( ) .
106, 108, 6 108, 109 1010 /2.
10 300
, , .
. , 326

,
, , .

. , .



10 . (.
8.26),

. 8.25. [9]
.

.
.
,
,

. 8.26.
, [9]

. ,
:
S = n S S,
327

(8.8)

n , S , S [9].

. . , (. 8.27).
, ,

CoAg/Ag CoNiAg/Ag, . 8.27.
AgCo,
CuCo AgCoCu.
[9]
- , , , {(CoFePx) d1 /Cu dCu /(CoFePx) d2 /Cu dCu}n {(CoFePx) d1 /Cu dCu /(CoFePx) d1 /(CoFePy) d3 /Cu dCu}n,
x = 25 .% P, y = 5 .% P, : d1 = 2 250 , d2 = 2
250 , d3 = 5 - 500 , dCu = 2 50 .

. 8.28.
[9]

. 8.29.
Ag75Co25 [9]

, ,
328

, , . 1 100 .
. 8.28 ( ),
. 8.29 Ag75Co25 10 .

8.3.
, ,
, , ,
, , , .
, ,
, - , . .

,
.



, , , ,
.
. 8.30.
L [9]
1 TiN, 2 CrN, 3 NbN, 4 ZrN

329

. , : TIN, ZrN, (Ti, Mo)N, (Ti, Zr)N .. [10]. 5 20 , ,


(. 8.30). , (
). ,
,
, .
, , Si3N4TiN. ,
, : 123 TiO2, A12O3 ZrO2, ZrO2 Y2O3, WC Co, Cr3C2
Ni [2].

8.4. -
(LB-) - , - (
) .
.
.

1917 .

. . 1935 . LB ( ) ,
, LB-. , , , . (,
).
, LB- ( ), , 330

. ,
( ), , . , LB-, : , (
).
(17352),
(1735) , () (2) .
, ,
, - -,
.. - .
LB-

. .
, .
, , (, , ), , , (, ). , 30%-
.
.
.
LB ,
Au-.
- [1]. , ,
, . 8.31.
-, ( )
( ).
, .
331

, , . ,
, . , (, 32 .), .
.
Y- ,
Y-. ,
, . ,
(, ) , .

.
X- ,
,
, -. :
-,

; -,
. 8.31. LB- [1]
; ;
; ,
;
- ,

. 332

,
, . 8.32.
,
. , -,
.
X- Y- , . , Y- .
, , , -.
, ( Z-).
Y-type

X-type

Z-type

hydrophilic head

amphiphilic
molecule

hydrophobic tail

. 8.32. Y-, X- Z- [1]

,
( ), (, NO2).
, , Y- . , , - , , , Y- .
, X- Z- ,
NLO- ( ). ,
, X-, Y-, Z-
X-, Y-, Z- .
333

. , , , . l/As, As , , Al , ( ). Y- , (
). X-
, .
.
. 8.33 LB-.
: , ; , ; -, ; , ;
; ( ); .
.

. 8.33. [1]


( ). , , , : , , , , ,
, , , . 334


.
. , ,
, . ,
,
, .
, , , , . , ,
.
,
LB- , .

(
, , ,
.
LB ,
1938 .
() .
(1, . 8.34).
. 8.34.
[1]
(2, 3,
. 8.34). ,
(4, . 8.34), , , (-).
335

- .
, - .
, .
, , , . -, . , , .
,
, ,

.
( ) , . ,
, , , ,
.
- ,
LB- . , .

8.5.
. , , . ,
336

, . , , ,
.
, ,
, : , [11]. Et
,
, ,
.
EF E EF.
E EF.= edEt,

(8.9)

d , .

EF = 2 (32n)2/3/2me,

(8.10)

n , me .
(8.10) , , 13,95 .
,
10 , 1,4 107 /.
0 l,
eVt = EF (1 + tl/0d),

(8.11)

t , 1 < t < : t 1, t .
337

(8.11) , . , l = 100 , d = 10 0 = 23 ( ), eVt < 14(1 + t /2,3) . , .


, .. : Vt > V, V
.
. 8.35 (), , , Au-.

, , . 8.35.
[7]
,

.
,
.
.

. 8.36. [7]
,

. 8.36, .
Au-, SiO2-, Si338

. Au- . ( ) , . ,
.
, .
, .

339

9
,

, ,
.

, . . 100 , .

.
- . , ,
. ,
, .
, .

,
.
, .
() , .. , (). , .
340


, .. ()
.
() ()
, ,
, . , , . ,
.
. : -. , .. .
. , , ,
.
.
, .

9.1.
9.1.1.

. ,
[1]. 341

, ,
:

,
;
() , () ;
;
, (, );
,
()
.
[1]:
; , v = u/t I = u/L, u , t , L, - ,
;
, ;

, .
, , .. , , . . , (),
. , ( ,
), ( , ..) ( ). , 342

( ), ( ), (
), ( ), ( ).
:
;

; -
.
() (, , , ) [2]. , ( ) ,
, ( -24), ( -20). 3-10 , 30-70 .
5 .%.
, ,
,
.
,
. , ,
, , , ,
. . , , .
, ,

. ,

343

,
.
, 3-10
2-3 - (.
9.1).
I10-10
1

1,2

0,8

3
0,4

4
5
6
1

5 P,

. 9.1. I
40-45 [2]
1 -24, 2 -12, 3 + 2,5 .% , 4
+ 2,5 .%, 5 + 2,5 .% , 6
+ 2,5 .%

, , , .
.
, q, R:
R

344

R
e

(9.1)

(
, ); 0 ; ; 0 [2]. , (,
, ..).

, .
-
.
, . , , , 15W40 -20, (, ( 10) ,
), 20-40 [2].
. ,
() . , , , 0,01-1,0
.% (. 9.2). (0,01-0,1%)
. , .

,
. 345


: , , .

358

92
352
90
348
88
0

0,2

0,4

0,6

0,8

1,0

, %

. 9. 2. -20 (1) 15W40 (2) [2]


, .
, ,
. . , , , , ,
.
, , ,
, ,
. , , , ,
, , ,
. , 346

; ,
;
; ,
;
. , . ,

, : .
[2]:
,
, ;

;
,
;
,
.
[2]. , , ,
, , , .
, .
, , .
,
347

, . ,
, . , ,
, , , .

.

. (. 9.3).
I10-10

0,8

0,6

4
5

0,4

0,2
7
1

P,

. 9.3. I P
45 40, [2]
: 1 -20, 2 -20 + 5 % , 3 - -20 + 2,5 %
, 4 -20 + 2,5 % , 5 20+1% , 6 -20+5% -1, 7 -20 + 1% + 5 % -1. 0,5 /. *
. .


(- ) (. 9.4). ,
( ), . 348

- , ( 0,08-0,1 -24 0,03-0,05 -24 + ).


- ,
- . , .
. 9.5 , .
1

I10-10
1,0

2
0,6

4
3
5

0,2
6

P,

. 9.4. I P
45 45, [1]
: 1 -24, 2 + 5% , 3 +
5.% , 4 + , 5 -24 + 5 .% + , 6
-24 + . 1 /

. , , . ,
. , ,
349

.
, . .
, ,
. .
, , .

. 9.5. [2]
: - ; , ;
, ; ,
.
1 () ( ) ; 2 ( );
3

- ,

, . , ,
.

350

9.1.2.
( )
- , [3].
10 ( < l).

~100 (~100 /) 1 (~80
/), .
0,1-10 , do 10
( 10 ).

h

c 0 exp(

mgh
),
kT

(9.2)

0 h = 0, m , g
, k , T . 2,7 h0 = kT/(1 2)gV0,, V0 , 1
( ), 2 (
). h0 10 ( = 293) V0 =
(/6)d03 0,510-18 3 ( d0 10 ). , ..
,
- ().
1,5-2 ,
- ,
(
).
817= (2)7+,
+ ,
2 . 351

(, , , . .)
, -,
(. 9.6, ). , , :
- (. 9.6, ).



.
d0 10

, , . 9.6. [3]


( )
(
- ); (
),

, .
(
). , m0 21016 3, V0 0,51018
3 MS 0,5103 .
- ~ mo/r ~kT , d0 10
r0 = d0 + 2.
m /d0 :

Cm

( / 3 2 )(1 2 / d 0 ) 3 .

(9.3)

, da, m 0,27 d0 = 10 = 2 . 352


. , m 0,3. ,
, m = 0,1-0,2,
.
,
, , -,
, . , ,
. .
, Fe, Ni, Co, , , .

(Fe3O4),
. 0,1-0,2
MS 30-60 , 5, a ( ) 102 1c1 .
, . .
, , .
,
, .. .
: .
v 102 /, ,
, t lV0/3d0 1010
. ~0,1 .
, 0,1 ,
,
L = (2Dt)1/2 t, D = kT/3d0 . t =
1 L 10 , . . .
,
353

~1 (d0 +
2)3/2kT 1 102 1c1.
[4].
, , , . , Tc.
- . , .
, ,
~104 .
.
. < , , , ( >
).
,
,

. , , ,
.
. ,
, . , 1 3 = 0,2 H
=3 1 1 50 , . . , 50 1 3 .
,

354

. .
, , , , .
, ,
. - .

, - , , (, , ).
H E
, ,
. - 6 , 106
.
, , . H E,
, .
( ). ,
.
, .
, , , ,
. .

355

9.1.3.
90%
,
. () ,
.
[4-6].
, :

,
.
, ,
.
, ,
. , ,
, 100200 . ,
, ,
800-1000 .

[4].
( )
,


Tk . 9.7. Pk (. 9.7).
,
[7]
356

. ( ) , , ,
. , .
,
, . .
, . ,
, ,
.
, ,
,
2 (Tk = 31,1 Pk = 72,8 ).
. 8.8
.
2

1
.

. 6
3

4

(. 9.9).


5
, . 9.8.

[8]
[5]. 1 , 2 ,

3 ,
: 4 , 5
2, 6 2
357

,
,
, . . 9.10 .

,
, . , , , , (
).

. 9.9. ,
,

. [8]
, , , .
. , . ,
()
. , . ,
.
. ,
. , , , ,

. , ,
,
358

. ,
, .


,
[6]. , ,
,
. 9.10.
.


400

( 9,5 )
.
. ,
. , ,
, .

, , .
,

, .
( ) ( , ), :
Jn = kn( ),
359

(9.4)

kn . . , < cr, cr ,

( cr = r - , r : < r).
,
* > r , , * > cr ( * = * r). ,
n, . n
, (9.4):
n = k*n ( *)*,

(9.5)

kn* * - , .

, , :
J*n = Jc k*n ( *)*,

(9.6)

Jc ( ,
), .
, cr , ..
: n. , ,
, N = J*nVt, V
, t - . ,
. , ,
.. ,
360


.
,
. , , .. .
. . .

9.2.
( ) , ,
, - .

. , ,
, . , , . , ,
.
: ,
[9, 10].
,
1 ,
, ( ) ( ). , .
10 ,
.
361

,
.

, 1
.

9.3.
,
,
.
, , , 20-30 . (
10 ), ( 100
) [9, 10].

, , .
.
. , , , .
, .
,
. ,

.
, :

. , 500 3 .
, . ,
362

. [11], Bacillus Globigii ( ) . E. coli .

363


1
1. . . . . : .
, 2005. 134 .
2. .. : . . . .1:
. .: , 2001. 48 .
3. .., .., .. : .
. . . 3.
. .: , 2004. 88 .
4. . . .. .: ,
2005. 448 .
5. .. . .: , 2003. 112
.
6. .., ... : ,
, / . -. . 2. . 1999. . 40. 5. .
300-307.
7. .. . : , 2004. 143 .
2
1. .. . .: , 1981. 137 .
2. . ., . . . . .: , 2006.
336 .
3. .. , , . .:
, 2005. 416 .
4. . . .. .: ,
2005. 448 .
5. .. : - ,
. .:, 2006. 592 .
6. . ., . . . . .: , 2006.
336 .
7. , . .
// , -, // http: // www.ntmdt.com.
364

8. .. . .: , 2003. 112
.
9. .., .. : .
. . . 2. . : , 2003. 76 .
10. . . . . : .
, 2005. 134 .
11. .. . .
. : , 1998. 138 .
3
1. . . . . : .
, 2005. 134 .
2. .., .. : .
. . . 2. . : , 2003. 76 .
3. Optical Tweezers: An Introduction / http://www.stanford.edu
4. Optical Tweezers / http://en.wikipedia.org
4
1. .. , , . .:
, 2005. 416 .
2. .., .., ...
. 1. :
, 2001. 588 .
3. Saranin A.A., Zotov A.V., Kotlyar V.G. et al. // Applied Surface Science. 2005.
V.243. P.199-203.
4. Kotlyar V.G., Zotov A.V., Saranin A.A. et al. // Physical Review B. 2002.
V.66. P.1-4.
5. .., ..
. .:
// .., ..,
.. . .: ; : , 2004. 519 .
6. : . . . .
// .. , .. . .:
, 2005. 192 .

365

7. .. // I .
. . . ., , 13-17 2004 . . 51.
8. ..
// , 2006, 4(38), .125-128.
9. C ( ). 3.
. .., ... .. . .: ,
1980. 407 .
10. .. // 2- -
2002: - , 24-25
. 2002. . .: , 2002. . 7-9.
11. .. //
, 2003, .73, 5, . 426
12. .., .. . .:
, 1984. 323 .
13. .., .. .
.: , 1975. 352 .
14. . . .: , 1987. 400 .
5
1. .., .., ...
. 1. :
, 2001. 588 .
2. .. . . .: , 2003.
112 .
3. : / .. , .. . .:
, 2005. 688 .
4. .. , , . .:
, 2005. 416 .
5. M. Prato. Fullerene chemistry for materials science applications // J. Mater.
Chem., 1997, 7 (7), 1097-1109
6. . . .
XXI . . . . .. . .:
, 2003. 336 c.
7. .. : - ,
. .:, 2006. 592 .

366

8. . ., . . . . .: ,
2006. 336 .
9. .. . . , 1997, 167, 9. . 945972
10. . . . . : .
, 2005. 134 .
11. .., ., .., .. ,
, .
.: . . . .
: , 2006. . 34-41.
12. .
/ . . .. , .. . . .
. .: , 2002. 292 .
13. Handbook of Nanotechnology. Bharat Bhushan (Ed.). 2nd edition. Springer
Science+Business Media, Inc. Le-TeX GbR, Leipzig, 2007. 1916 pp.
6
1. .., .. .
.: - . . .
.. . .: , 2005. . 59-62.
2. . ., . . . . .: ,
2006. 336 .
3. .., ... : ,
, / . . -. . 2. . 1999. . 40. 5. .
300-307.
4. .-. . / .
. . .. , .. . , , 1988. 334 .
5. ..
/ , 2004, . 73, 1. . 6-25.
6. .., ..
: ,
() // .-. .. 2004. .
38, 2. . 46-49.
7. .
/ . . .. , .. . . .
. .: , 2002. 292 .
367

8. ( ). . 2.
. .., .., .. .: , 1979.
360 .
9. .. . .: -
. . .
.. . .: , 2005. . 471-477.
10. . . .
XXI . . . . .. . .:
, 2003. 336 c.
11. : . . . .
/ .. , .. . .:
, 2005. 192 .
12. .., , .., ..
//
, 1999, 1 // http://www.medi.ru.
7
1. .., .. . .:
, 2001. 224 .
2. . . . .:
, 1978. 792 .
3. ( ). 4.
/ .. , .. , .. .
.: , 1981. 496 .
4. .., .., ...
. 1. :
, 2001. 588 .
5. . . / ..,
.. .: . , 2005. 192 .
6. . .
.., .., .. . . . .. . .:
, 1986. 384 .
7. . .., ..,
.. . .: , 1987. 800 .
8. .., .. . .:
, 1981. 432 .
368

9. .. : - ,
. .:, 2006. 592 .
10. : / .. , .. . .:
, 2005. 688 .
11. . // , 2001, 30
// htth: // www. computerra.ru
12. .., .., .., .. .
-
// , 2005, . 39, . 12. . 1423-1429.
13. .., .., ... ..
// i ,
. i.-. ., 2002, 1. . 16-20.
14. . . .. .:
, 2005. 448 .
15. . .
.., .., .., .. .
.. .: , 1989. 461 .
16. : .
.., .., .. . . ..,
.. .: , 1989. 368 .
17. . 3- . . .., ..
.2:
. . . .: , 1987. 624 .
18. /
.., .., .. . .: ;
: , 2004. 519 .
19. . ., . . . . .: ,
2006. 336 .
20. . .
XXI . . . . .. . .:
, 2003. 336 c.
21. .., .. : .
. . . 2. . : , 2003. 76 .
22. ..
// , 2000, No 1, . 5663.
23. .. : . .: , 2003. 320 .

369

24. Popat Ketul C., Mor Gopal, Grimes Craig, Desai Tejal A.. J. Poly (ethylene
glycol) grafted nanoporous alumina membranes. Membr. Sci.. 2004. 243, 12,
. 97106.
25. ( ). . 2.
. .., .., .. .: , 1979.
360 .
26. Handbook of Nanotechnology. Bharat Bhushan (Ed.). 2nd edition. Springer
Science+Business Media, Inc. Le-TeX GbR, Leipzig, 2007. 1916 pp.
27. .. .
, 1998, 7.
28. . . .: , 1976. 781 .
29. / . . , .: ,
1980. . 1. 506 .; . 2. 422 .
30. .., ..
// . 1983. . 52., 12. . 1921-1973.
31. .., .., ..
. .: , 1992. 265 .
8
1. .., .. : .
. . . 2. . : , 2003. 76 .
2. : . . . .
// .. , .. . .:
, 2005. 192 .
3. .. : . . . .1:
. .: , 2001. 48 .
4. . ., . . . . .: ,
2006. 336 .
5. ( ). 3.
. .., ... .. . .: ,
1980. 407 .
6. .. // , 2003,
11.
7. Handbook of Nanotechnology. Bharat Bhushan (Ed.). 2nd edition. Springer
Science+Business Media, Inc. Le-TeX GbR, Leipzig, 2007. 1916 pp.

370

8. .., .., .. : .
. . . 3.
. .: , 2004. 88 .
9. .. . : , 2000.
197 .
10. .. : - ,
. .: , 2006. 592 .
11. . . .. .:
, 2005. 448 .
9
1. . .
.., .., .., .. .
.. .: , 1989. 461 .
2. .., ..
. .:
/ .. , .. , ..
. .: ; : , 2004. 519 .
3. .. . .: . .
. .. .: . , 1990. . 673-675.
4. Shekunov B.Yu., York P. Crystallization processes in pharmaceutical
technology and drug delivery design. // J. Cryst. Growth, 2000. Vol. 211. P. 12248.
5. .., .., .., ..

.
//
-2004: : III
. : . .. ,
2004. . 240-241.
6. .., ... . // I .
. . . ., ,13-17 2004 ., .470.
7. .., .. .
. // ,
1999, 10. . 36-41.
8. http://www.nektar.com
9. .., .., .. . .:
- , 2003. 336 .
371

10. .. . . .: , 2003. 320 .


11. : . . . .
// .. , .. . .:
, 2005. 192 .

372