Вы находитесь на странице: 1из 134

Содержание

ЧАСТЬ 3. Атомно-силовая микроскопия

1. ПОДГОТОВКА К РАБОТЕ

3-3

1.1. ОСНОВНЫЕ ОПЕРАЦИИ, ВЫПОЛНЯЕМЫЕ ПРИ ПОДГОТОВКЕ ПРИБОРА К РАБОТЕ

3-3

1.2. ЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКОЕ КОНФИГУРИРОВАНИЕ

3-3

1.2.1. Сканирование образцом

3-4

1.2.2. Сканирование зондом

3-5

1.2.3. Особенности подключения при работе с эквивалентом сканера

3-6

1.2.4. Отключение осей сканирования

3-6

1.3. ВКЛЮЧЕНИЕ ПРИБОРА

3-7

1.4. ЗАГРУЗКА КАЛИБРОВОЧНЫХ ПАРАМЕТРОВ СКАНЕРА

3-8

1.5. ПОДГОТОВКА ПРИБОРА ДЛЯ КОНФИГУРАЦИИ «СКАНИРОВАНИЕ ОБРАЗЦОМ»

3-10

1.5.1. Установка зондового датчика

3-11

1.5.2. Настройка оптической системы регистрации изгибов кантилевера

3-14

1.5.2.1. Общая информация о наведении лазерного луча на кантилевер

3-14

1.5.2.2. Наведение лазерного луча на кантилевер

3-16

1.5.2.3. Точная настройка системы регистрации

3-19

1.5.3. Центрирование сканера

3-21

1.5.4. Установка образца

3-22

1.5.5. Установка измерительной головки

3-27

1.5.6. Предварительный подвод

3-28

1.5.7. Установка защитного колпака

3-28

1.6. ПОДГОТОВКА ПРИБОРА ДЛЯ КОНФИГУРАЦИИ «СКАНИРОВАНИЕ ЗОНДОМ»

3-29

1.6.1. Установка зондового датчика

3-30

1.6.2. Настройка оптической системы регистрации изгибов кантилевера

3-32

1.6.2.1. Общая информация о наведении лазерного луча на кантилевер

3-32

1.6.2.2. Наведение лазерного луча на кантилевер

3-34

1.6.2.3. Точная настройка системы регистрации

3-37

1.6.3. Установка образца

3-39

1.6.4. Установка измерительной головки

3-42

1.6.5. Предварительный подвод

3-43

1.6.6. Установка защитного колпака

3-44

2. КОНТАКТНАЯ АТОМНО-СИЛОВАЯ МИКРОСКОПИЯ 3-45

2.1. МЕТОД ПОСТОЯННОЙ СИЛЫ

3-45

2.1.1. Подготовка к измерениям

3-45

2.1.2. Выбор конфигурации

3-46

2.1.3. Установка начального уровня сигнала DFL 3-46

2.1.4. Подвод образца к зонду 3-48

2.1.5. Установка рабочего уровня коэффициента усиления цепи обратной связи

3-51

2.1.6. Установка параметров сканирования

3-52

2.1.7. Сканирование

3-56

2.1.8. Сохранение полученных данных

3-60

2.1.9. Завершение измерений 3-61

2.2. ЛАТЕРАЛЬНО-СИЛОВАЯ МИКРОСКОПИЯ

3-62

2.2.1. Краткая характеристика метода

3-62

2.2.2. Подготовка к измерениям

3-63

2.2.3. Сканирование

3-63

2.3. МЕТОД ПОСТОЯННОЙ ВЫСОТЫ

3-64

2.3.1. Краткая характеристика метода

3-64

2.3.2. Подготовка к измерениям

3-65

2.3.3. Настройка параметров 3-66

2.3.4. Сканирование

3-67

2.4. ОТОБРАЖЕНИЕ СОПРОТИВЛЕНИЯ РАСТЕКАНИЯ

3-68

2.4.1. Краткая характеристика метода

3-68

2.4.2. Подготовка к измерениям

3-68

2.4.3. Настройка параметров 3-69

3-70

2.4.4. Сканирование

2.4.5. Способы улучшения изображения 3-71

2.5. МЕТОД МОДУЛЯЦИИ СИЛЫ

3-71

Проведение измерений

2.5.1. Краткая характеристика метода

3-71

2.5.2. Подготовка к измерениям

3-72

2.5.3. Настройка параметров 3-72

2.5.4. Сканирование

3-74

2.5.5. Способы улучшения изображения

3-75

2.6. КОНТАКТНЫЙ МЕТОД РАССОГЛАСОВАНИЯ

3-76

2.6.1. Краткая характеристика метода

3-76

2.6.2. Подготовка к измерениям

3-76

2.6.3. Настройки параметров 3-77

2.6.4. Сканирование

3-78

2.7. СИЛОВАЯ МИКРОСКОПИЯ ПЬЕЗООТКЛИКА

3-78

2.7.1. Краткая характеристика метода

3-78

2.7.2. Подготовка к измерениям

3-81

2.7.3. Настройка параметров 3-81

3-83

2.7.4. Сканирование

3. ПОЛУКОНТАКТНАЯ АТОМНО-СИЛОВАЯ МИКРОСКОПИЯ 3-85

3.1. ПОЛУКОНТАКТНЫЙ МЕТОД

3-85

3.1.1. Подготовка к измерениям

3-85

3.1.2. Выбор конфигурации

3-86

3.1.3. Установка рабочей частоты пьезодрайвера

3-86

3.1.4. Установка начального уровня сигнала Mag 3-90

3.1.5. Подвод образца к зонду 3-91

3.1.6. Установка рабочего уровня коэффициента усиления цепи обратной связи 3-94

3.1.7. Установка параметров сканирования

3-96

3.1.8. Сканирование

3-100

3.1.9. Сохранение полученных данных

3-104

3.1.10. Завершение измерений

3-104

3.2. ПОЛУКОНТАКТНЫЙ МЕТОД РАССОГЛАСОВАНИЯ

3-105

3.2.1. Краткая характеристика метода

3-105

3.2.2. Подготовка к измерениям

3-105

3.2.3. Настройка параметров 3-106

3.2.4. Сканирование

3-107

3.3. МЕТОД ОТОБРАЖЕНИЯ ФАЗЫ

3-108

3.3.1. Краткая характеристика метода

3-108

3.3.2. Подготовка к измерениям

3-108

3.3.3. Настройка параметров 3-109

3.3.4. Сканирование

3-111

3.3.5. Способы улучшения изображения

3-111

4. АСМ СПЕКТРОСКОПИИ

3-112

4.1. ВВЕДЕНИЕ

3-112

4.2. СИЛОВАЯ СПЕКТРОСКОПИЯ (DFL(HEIGHT))

3-112

4.2.1. Основные операции

3-112

4.2.2. Переход на вкладку спектроскопии

3-113

4.2.3. Выбор измеряемой зависимости

3-113

4.2.4. Выбор точек спектроскопии

3-116

4.2.5. Запуск измерений

3-118

4.2.6. Просмотр данных спектроскопии

3-119

4.2.7. Вычисление силы адгезии

3-122

4.3. ТОКОВАЯ СПЕКТРОСКОПИЯ (IPR-LOW(BIAS VOLTAGE))

3-123

4.3.1. Подготовка и проведение измерений

3-124

4.3.2. Просмотр данных спектроскопии

3-126

4.4. АМПЛИТУДНАЯ СПЕКТРОСКОПИЯ (MAG(HEIGHT))

3-127

4.4.1. Подготовка и проведение измерений

3-127

4.4.2. Просмотр данных спектроскопии

3-128

4.4.3. Калибровка амплитуды колебаний кантилевера

3-130

4.5. ФАЗОВАЯ СПЕКТРОСКОПИЯ (PHASE(HEIGHT))

3-131

4.5.1. Подготовка и проведение измерений

3-131

4.5.2. Просмотр и анализ данных спектроскопии

3-133

Часть 3. Атомно-силовая микроскопия

Часть 3. Атомно-силовая микроскопия

1. Подготовка к работе

В настоящем разделе рассматривается общая подготовка прибора для проведения АСМ измерений. Общая подготовка включает операции, которые необходимо выполнить при подготовке прибора к работе с использованием любого из АСМ методов.

1.1. Основные операции, выполняемые при подготовке прибора к работе

Подготовку прибора к работе с использованием методов АСМ в общем случае можно разделить на следующие основные операции:

Шаг 1

Электромеханическое конфигурирование (см. стр. 3-3).

Шаг 2

Включение прибора (см. стр. 3-7).

Шаг 3

Если используется эквивалент сканера, то следует подготовить его к работе, как описано в Приложении (см. п. «Подготовка эквивалента сканера к работе»). В этом случае шаг 4 следует пропустить.

Шаг 4

Загрузка калибровочных параметров сканера (см. стр. 3-8).

Шаг 5

Подготовка прибора:

Подготовка прибора для конфигурации «Сканирование образцом» (см. стр. 3-10);

Подготовка прибора для конфигурации «Сканирование зондом» (см. стр. 3-29).

1.2. Электромеханическое конфигурирование

ВНИМАНИЕ! Все переключения при установке необходимой конфигурации производятся при выключенном электропитании.

При полной комплектации прибора по выбору пользователя может быть установлена одна из трех возможных типовых конфигураций прибора:

1. Конфигурация Сканирование образцом, включающая универсальную измерительную головку, базовый блок и сканер;

2. Конфигурация Сканирование зондом, включающая сканирующую измерительную головку и базовый блок с держателем образца;

3. Конфигурация Двойное сканирование, включающая сканирующую измерительную головку, базовый блок и сканер.

Проведение измерений

1.2.1. Сканирование образцом

В данном типе конфигурации:

1. Универсальная измерительная головка устанавливается на
1.
Универсальная измерительная головка устанавливается на вспомогательный
столик (Рис. 1-1). Кабель головки подключается к любому из двух разъемов
HEAD, расположенных на базовом блоке прибора.
базовый блок
сменное
основание
вспомогательный
столик
Рис. 1-1
2.
Выбранный
сканер вставляется в позиционер механизма подвода,

расположенный на сменном основании базового блока (Рис. 1-2, Рис. 1-3).

блока ( Рис . 1-2 , Рис . 1-3 ). Рис . 1-2 Рис . 1-3

Рис. 1-2

блока ( Рис . 1-2 , Рис . 1-3 ). Рис . 1-2 Рис . 1-3

Рис. 1-3

3. Если используется сканер без датчиков, то разъем сканера присоединяется либо к разъему SCANNER, либо к разъему SCAN+SENSOR, расположенным на базовом блоке. Если используется сканер с датчиками, то разъем сканера присоединяется к разъему SCAN+SENSOR.

Часть 3. Атомно-силовая микроскопия

1.2.2. Сканирование зондом

В данном типе конфигурации:

1. Сканирующая измерительная головка устанавливается на вспомогательный столик (Рис. 1-4). Кабель сканирующей измерительной головки с разъемом HEAD подключается к любому из двух разъемов HEAD, расположенных на базовом блоке прибора.

базовый блок вспомогательный столик
базовый блок
вспомогательный
столик

Рис. 1-4

сменное

основание

2. Если в сканирующей измерительной головке установлен сканер без датчиков, то кабель измерительной головки с разъемом SCANNER подключается либо к ответному разъему SCANNER либо к разъему SCAN+SENSOR расположенным на базовом блоке прибора. Если используется сканер с датчиками, то разъем сканера подключается к разъему SCAN+SENSOR.

3. В позиционер вставляется каретка с держателем образца (Рис. 1-5, Рис. 1-6).

каретка с держателем образца ( Рис . 1-5 , Рис . 1-6 ). Рис . 1-5

Рис. 1-5

каретка с держателем образца ( Рис . 1-5 , Рис . 1-6 ). Рис . 1-5

Рис. 1-6

Проведение измерений

1.2.3. Особенности подключения при работе с эквивалентом сканера

Если используется сканер без датчиков, то для улучшения качества измерений, может быть дополнительно установлен эквивалент сканера:

1. Эквивалент сканера помещается рядом с базовым блоком. Двухсторонний разъем эквивалента сканера подключается к разъему CONTROLLER 2, расположенному на базовом блоке прибора (Рис. 1-7).

блоке прибора ( Рис . 1-7 ). Рис . 1-7 2. Кабель контроллера

Рис. 1-7

2. Кабель контроллера эквивалента сканера подключается сверху к разъему эквивалента (Рис. 1-8).

разъему эквивалента ( Рис . 1-8 ). Рис . 1-8 1.2.4. Отключение осей

Рис. 1-8

1.2.4. Отключение осей сканирования

При конфигурации Двойное сканирование, сканирование может быть осуществлено в трех различных вариантах:

− с одновременным сканированием обоими сканерами по всем трём осям;

− с отключением сканирования по оси Z одного из сканеров;

− с отключением сканирования по осям X,Y одного из сканеров.

Часть 3. Атомно-силовая микроскопия

Отключение сканирования производится с помощью специальных адаптеров Z-OFF или X,Y-OFF (Рис. 1-9).

Z-OFF или X,Y-OFF ( Рис . 1-9 ). Рис . 1-9. Адаптеры для отключения

Рис. 1-9. Адаптеры для отключения сканирования по осям XY и Z

Для отключения сканирования по определенным осям подсоединение сканера производится через соответствующий адаптер.

1.3. Включение прибора

1. Включите компьютер.

2. Запустите программу управления одним из приведенных ниже способов:

при помощи ярлыка программы, расположенного на рабочем столе;

при помощи файла NOVA.exe, находящегося в каталоге программы.

На мониторе появится Главное окно программы.

3. Включите прибор тумблером на передней панели СЗМ контроллера.

ВНИМАНИЕ! Перед включением прибора необходимо зафиксировать все разъёмы. Отсоединение разъёмов во время работы прибора может привести к повреждению электронных элементов.

После включения прибора, программа управления проводит инициализацию прибора для определения его конфигурации. По завершении процесса инициализации, индикатор состояния прибора, отображаемый в левом нижнем углу Главного окна программы, может находиться в одном из трех состояний:

инициализация прошла успешно . Прибор готов к работе ; прошла успешно. Прибор готов к работе;

не включен контроллер ; включен контроллер;

не установлена интерфейсная плата , либо неисправен контроллер . установлена интерфейсная плата, либо неисправен контроллер.

ПРИМЕЧАНИЕ. Рекомендуется включать прибор за 40 минут до начала измерений, чтобы установился стационарный режим.

Проведение измерений

Теперь прибор готов к работе.

ВНИМАНИЕ! При первом запуске программы Nova после переустановки, либо при смене контроллера необходимо произвести калибровку АЦП Z относительно ЦАП Z при включенном контроллере (при этом зонд должен быть отведен от образца). Проведение калибровки необходимо для нормального функционирования двухпроходных методов и спектроскопии от Z. Для проведения калибровки выберите ToolsNova PowerScriptScriptsADCDACCalibration_1_6.

1.4. Загрузка калибровочных параметров сканера

При запуске программы по умолчанию загружается файл Default.par в котором содержатся калибровочные параметры определенного сканера. Если в комплектацию прибора входит один сканер, то в файле Default.par содержатся параметры именно этого сканера.

Если же в комплектацию входят несколько сканеров, то файл Default.par содержит параметры, соответствующие одному из них.

После смены сканера необходимо загрузить соответствующий ему файл параметров (par-файл).

Чтобы загрузить par-файл сканера, выполните следующие действия:

1. В Главном меню последовательно выберите пункты Settings Calibrations

Load Calibrations (Рис. 1-10).

 Calibrations  Load Calibrations ( Рис . 1-10 ). Рис . 1-10 В результате откроется

Рис. 1-10

В результате откроется диалоговое окно со списком par-файлов, содержащихся в папке PARFiles, например как на Рис. 1-11.

Названия par-файлов имеют следующую структуру:

SmXXXcl.par

для сканеров установленных в измерительных головках;

zXXXcl.par

для сменных сканеров;

где XXX

номер сканера;

cl означает наличие емкостных датчиков перемещения.

Часть 3. Атомно-силовая микроскопия

3. Атомно - силовая микроскопия Рис . 1-11 2. Выберите par- файл ,

Рис. 1-11

2. Выберите par-файл, соответствующий установленному сканеру.

3. Щелкните на кнопке Open чтобы загрузить par-файл. В результате будут загружены калибровочные параметры выбранного сканера.

Если загружается par-файл сканера с датчиками, то при этом:

включится обратная связь, контролирующая перемещение сканера в плоскости XY;

программная нелинейная коррекция отключится.

Если вы хотите чтобы при загрузке программы параметры данного сканера загружались по умолчанию, сохраните файл как Default.par. Для этого:

1. В Главном меню последовательно выберите пункты Settings Calibrations

Save Calibrations (Рис. 1-12).

t i o n s  Save Calibrations ( Рис . 1-12 ). Рис . 1-12

Рис. 1-12

2. Откроется диалоговое окно Save As (Рис. 1-13). Сохраните файл как Default.par.

Проведение измерений

Проведение измерений Рис . 1-13  ПРИМЕЧАНИЕ . Если на сканер с

Рис. 1-13

ПРИМЕЧАНИЕ. Если на сканер с датчиками устанавливается образец весом больше 1 г, тяжелый держатель образца, жидкостная ячейка и т.п., то перед началом работы следует проверить наличие генерации в цепи обратной связи, контролирующей перемещение сканера в плоскости XY. Кроме того, наличие генерации рекомендуется проверить, если качество АСМ-изображения при работе с использованием датчиков хуже, чем без датчиков. Процедура проверки наличия генерации описана в Приложении в пункте «Устранение генерации».

1.5. Подготовка прибора для конфигурации «Сканирование образцом»

Общая процедура подготовки и установки измерительной головки состоит из следующей последовательности основных операций и процедур:

1.

Установка зондового датчика (см. стр. 3-11).

2.

Настройка оптической системы регистрации изгибов кантилевера (см. стр. 3-14).

3.

Центрирование сканера (см. стр. 3-21).

5.

Установка образца (см. стр. 3-22).

6.

Установка измерительной головки (см. стр. 3-27).

7.

Установка защитного колпака (см. стр. 3-28).

Ниже приводится более подробное описание перечисленных выше основных операций и процедур.

Часть 3. Атомно-силовая микроскопия

1.5.1. Установка зондового датчика

Предполагается, что универсальная измерительная головка установлена на вспомогательном столике (вспомогательной платформе) и подключена к базовому блоку (Рис. 1-14).

ручка
ручка

прижима

Рис. 1-14

( Рис . 1-14 ). ручка прижима Рис . 1-14 Рис . 1-15 Если измерительный

Рис. 1-15

Если измерительный вкладыш уже установлен на универсальной измерительной головке, и необходимо только установить или заменить зондовый датчик, то снимите вкладыш с измерительной головки и поместите его, не отсоединяя разъем, рядом с измерительной головкой, как это показано на Рис. 1-15. Чтобы снять вкладыш, отведите прижим, повернув ручку прижима (Рис. 1-14) по часовой стрелке.

Если измерительный вкладыш не установлен на измерительную головку, то:

1. Выберите вкладыш, необходимый для проведения измерений.

2. Поместите вкладыш в перевернутом положении рядом с измерительной головкой (Рис. 1-15).

3. Соедините разъем кабеля выбранного вкладыша с ответной частью разъема на измерительной головке.

Проведение измерений

Для установки или замены зондового датчика выполните следующие действия:

1. Отожмите пружину держателя зондового датчика. Для этого при помощи острого пинцета поверните вниз поворотный рычажок, расположенный на внешней стороне корпуса держателя (Рис. 1-16).

корпуса держателя ( Рис . 1-16 ). Рис . 1-16 Рис . 1-17 2. Возьмите

Рис. 1-16

держателя ( Рис . 1-16 ). Рис . 1-16 Рис . 1-17 2. Возьмите зондовый

Рис. 1-17

2. Возьмите зондовый датчик из коробочки пинцетом (Рис. 1-17) с учётом того, что рабочая грань чипа с кантилеверами при установке будет обращена к Вам. Не переворачивайте чип, т. к. в коробочке зондовые датчики лежат остриями вверх.

3. Перенесите зондовый датчик на поликоровую подставку и поместите его слева от рабочего места (Рис. 1-18, Рис. 1-19), которое находится в углу столика под прижимной пружиной.

в углу столика под прижимной пружиной . Рис . 1-18 Рис . 1-19 3-12

Рис. 1-18

в углу столика под прижимной пружиной . Рис . 1-18 Рис . 1-19 3-12

Рис. 1-19

Часть 3. Атомно-силовая микроскопия

4. Передвиньте зондовый датчик на рабочее место пинцетом (Рис. 1-20), как это схематически показано на Рис. 1-19. Рабочее положение зондового датчика показано на Рис. 1-21.

датчика показано на Рис . 1-21 . Рис . 1-20 Рис . 1-21 5. После

Рис. 1-20

показано на Рис . 1-21 . Рис . 1-20 Рис . 1-21 5. После установки

Рис. 1-21

5. После установки зондового датчика на рабочее место зафиксируйте его прижимной пружиной. Для этого при помощи пинцета поверните рычажок в прижимное положение (Рис. 1-22).

прижимное положение ( Рис . 1-22 ). Рис . 1-22 6. Установите

Рис. 1-22

6. Установите измерительный вкладыш в измерительную головку (Рис. 1-23). Для этого:

a. Освободите прижим 3 (Рис. 1-23), повернув его ручку по часовой стрелке;

b. Установите измерительный вкладыш так чтобы опорные шарики (Рис. 1-24) встали на опорные площадки из поликора (Рис. 1-23); упоры винтов головки попали в отведенные для них гнезда;

c. Прижмите вкладыш к винтам головки, повернув ручку прижима против часовой стрелки.

Проведение измерений

Проведение измерений Рис . 1-23. Установка измерительного

Рис. 1-23. Установка измерительного вкладыша 1 – измерительный вкладыш; 2 – опорная площадка из поликора; 3 – ручка прижима

из поликора ; 3 – ручка прижима Рис . 1-24. Опорные шарики

Рис. 1-24. Опорные шарики вкладыша

1.5.2.

Настройка оптической системы регистрации изгибов кантилевера

1.5.2.1.

Общая информация о наведении лазерного луча на кантилевер

Задача процедуры наведения лазерного луча на кантилевер состоит в том, чтобы навести лазерное пятно на кончик кантилевера, как это схематически показано на Рис. 1-26.

Конструкция универсальной измерительной головки такова, что зондовый датчик, установленный в держатель на измерительном вкладыше, может перемещаться относительно лазерного луча при помощи винтов перемещений измерительного вкладыша 1, 2 (Рис. 1-25, Рис. 1-26). Именно в результате перемещения кантилевера относительно неподвижного луча и производится настройка лазера.

В дальнейшем для удобства мы будем говорить о «перемещении лазерного луча относительно кантилевера», о «наведении лазерного луча на кантилевер», однако при этом необходимо помнить, что реально луч неподвижен, а перемещается кантилевер.

Часть 3. Атомно-силовая микроскопия

3. Атомно - силовая микроскопия Рис . 1-25 1, 2 – винты X,Y

Рис. 1-25 1, 2 – винты X,Y перемещений измерительного вкладыша; 3, 4 – винты позиционирования фотодиода

позиционирования фотодиода Рис . 1-26 Настройка системы

Рис. 1-26

Настройка системы регистрации осуществляется при помощи программы управления.

Включение и выключение лазера производится кнопкой

лазера производится кнопкой , расположенной справа на

, расположенной справа на панели основных параметров (Рис. 1-27). При запуске программы управления лазер включается автоматически.

включается автоматически . Рис . 1-27  ВНИМАНИЕ ! Избегайте

Рис. 1-27

ВНИМАНИЕ! Избегайте попадания лазерного луча в глаза! (Класс безопасности используемого лазера предполагает, что попадание луча в глаз безвредно для зрения в течение времени, которое соответствует естественной скорости реакции человека на раздражение (около 0.25 сек.). За это время человек успевает моргнуть и отвернуться. Длительное воздействие может вызвать кратковременное расстройство зрения).

Для настройки системы регистрации предназначена вкладка Aiming (Рис. 1-28)

(открывается кнопкой

( Рис . 1-28) ( открывается кнопкой на панели основных операций ).

на панели основных операций).

Проведение измерений

Проведение измерений Рис . 1-28 Панель настройки системы

Рис. 1-28

Панель настройки системы регистрации состоит из расположенного слева индикатора положения лазерного пятна относительно секций фотодиода и таблицы, в которой отображаются текущие значения сигналов фотодиода.

Отображаемые величины соответствуют следующим сигналам:

разностному сигналу между верхней и нижней половинами фотодиода;

LF разностному сигналу между левой и правой половинами фотодиода;

Laser суммарному сигналу, поступающему со всех четырех секций фотодиода, и соответственно пропорциональному интенсивности лазерного излучения, отраженного от кантилевера.

DFL

1.5.2.2. Наведение лазерного луча на кантилевер

1. Попытайтесь определить, где находится лазерное пятно. Воспользуйтесь наблюдением изображения прошедшего лазерного луча на экране. Для этого возьмите измерительную головку и приподнимите ее примерно на 10-15 см над листом бумаги, используя его в качестве экрана (Рис. 1-29).

Часть 3. Атомно-силовая микроскопия

3. Атомно - силовая микроскопия Рис . 1-29 Возможны три случая : а .

Рис. 1-29

Возможны три случая:

а. Наблюдается неискаженное изображение лазерного пятна на экране (Рис. 1-30). Это означает, что лазерный луч не задевает ни кантилевер, ни чип зондового датчика;

b.

Наблюдается искаженное изображение пятна. Это означает, что луч частично задевает какой-нибудь элемент конструкции, либо кантилевер (Рис. 1-31). Следует заметить, что вид искажений может быть самым различным (например, как на Рис. 1-31);

с.

На экране не наблюдается изображение пятна. Это означает, что луч попадает на чип (Рис. 1-32) или на держатель зондового датчика и не выходит из измерительной головки.

На экране неискаженное пятно

. На экране неискаженное пятно Луч проходит свободно Рис . 1-30 На

Луч проходит свободно

пятно Луч проходит свободно Рис . 1-30 На экране искаженное

Рис. 1-30

На экране искаженное пятно

. 1-30 На экране искаженное пятно Луч задевает за край Рис . 1-31 На

Луч задевает за край

пятно Луч задевает за край Рис . 1-31 На экране пятно

Рис. 1-31

На экране пятно отсутствует

Луч попадает на чип или держатель

пятно отсутствует Луч попадает на чип или держатель Рис . 1-32 3-17

Рис. 1-32

Проведение измерений

Кроме того, конструкция измерительной головки позволяет визуально наблюдать кантилевер и прилегающие к нему элементы конструкции. Таким образом, можно определить, где примерно находится лазерный луч.

2. Вращением винта 2 (Рис. 1-33) добейтесь появления неискаженного лазерного пятна. В общем случае лазерное пятно окажется в положении 1 (см. Рис. 1-34).

в положении 1 ( см . Рис . 1-34 ). Рис . 1-33 1, 2 –

Рис. 1-33 1, 2 – винты X,Y перемещений измерительного вкладыша; 3, 4 – винты позиционирования фотодиода

3. Вращая винт 2, перемещайте луч перпендикулярно переднему краю чипа (12 на Рис. 1-34) до тех пор, пока лазерное пятно не исказится.

лазерное пятно не исказится . Рис . 1-34. Перемещение лазерного

Рис. 1-34. Перемещение лазерного пятна в общем случае

4. Вращая винт 1, перемещайте луч параллельно переднему краю чипа. Возможны два варианта:

а. Лазерное пятно движется по краю держателя (23): в этом случае при попадании на чип оно пропадет;

b. Лазерное пятно движется по краю чипа (45): в этом случае при попадании на кантилевер возникнет интерференционная картина (Рис. 1-35). Лазерный луч находится у основания кантилевера. Переместите его по направлению к кончику кантилевера. Лазерный луч наведен на кантилевер. Переходите к п. 1.5.2.3 «Точная настройка системы регистрации» на стр. 3-19.

Часть 3. Атомно-силовая микроскопия

5. При исчезновении пятна вращайте винт 2, перемещая лазерный луч к торцу чипа (34) до тех пор, пока не появится лазерное пятно. Теперь лазерный луч находится на краю чипа (положение 4).

6. Вращая винт 1, перемещайте луч по переднему краю чипа (45) до появления интерференционной картины (Рис. 1-35). Лазерный луч находится у основания кантилевера.

7. Переместите лазерный луч по направлению к кончику кантилевера, вращая винты 1, 2.

кантилевера , вращая винты 1, 2. а ) прямоугольный кантилевер б )

а) прямоугольный кантилевер

1, 2. а ) прямоугольный кантилевер б ) треугольный кантилевер , луч

б) треугольный кантилевер, луч попадает на одно из ребер балки

попадает на одно из ребер балки в ) треугольный кантилевер , луч

в) треугольный кантилевер, луч попадает на кончик кантилевера

Рис. 1-35. Изображение пятна при попадании лазерного луча на кантилевер

1.5.2.3. Точная настройка системы регистрации

Обычно, как только удалось навести луч лазера на кантилевер, на индикаторе фотодиода появляются некоторые отличные от нуля показания (Рис. 1-36).

При настройке необходимо так установить фотодиод, чтобы лазерный луч, отражаясь от кантилевера, попадал в центральную часть фотодиода, одинаково освещая все четыре сегмента фотодиода.

, одинаково освещая все четыре сегмента фотодиода . Рис . 1-36 3-19

Рис. 1-36

Проведение измерений

Для точной настройки системы регистрации выполните следующие действия:

1. Вращая винты позиционирования фотодиода 3 и 4 (Рис. 1-33), добейтесь чтобы световое пятно на индикаторе фотодиода оказалось в центре индикатора (Рис. 1-37). При этом значения сигналов DFL и LF должны быть близки к нулю, величина суммарного сигнала Laser должна оставаться достаточно большой.

оставаться достаточно большой . Рис . 1-37 При настройке положения

Рис. 1-37

При настройке положения фотодиода важно убедиться, что при вращении винта вертикального перемещения фотодиода пятно лазера перемещается вертикально, а при вращении горизонтального горизонтально. Если при вращении какого-либо из винтов позиционирования фотодиода пятно лазера перемещается произвольно и при этом сигнал Laser уменьшается до нуля, это означает, что лазерный луч попадает на край фотодиода. В этом случае следует вращать соответствующий винт в противоположном направлении.

2. Проверьте, что лазерный луч действительно попадает на кантилевер. Характерным признаком того, что лазерный луч попадает на кантилевер, является то, что при вращении винта 1, а также винта 2 сначала в одну сторону, затем в другую, значение сигнала Laser уменьшается.

3. Выполните более точное наведение лазерного луча на кончик кантилевера по величине суммарного сигнала фотодиода. Для этого, вращая винты позиционирования лазера 1 и 2, чуть-чуть перемещая луч относительно кантилевера, настройтесь на максимальное значение суммарного сигнала фотодиода (Laser). Значение сигнала Laser должно находиться в диапазоне 20÷50 нА.

4. После подстройки положения лазерного луча повторите подстройку положения фотодиода при помощи винтов 3, 4 (винтов перемещений фотодиода), поскольку луч может сместиться относительно фотодиода.

Часть 3. Атомно-силовая микроскопия

1.5.3. Центрирование сканера

После того, как произведена настройка положений измерительного вкладыша и фотодиода, а образец еще не установлен, рекомендуется выставить сканер относительно измерительной головки таким образом, чтобы зонд находился примерно на оси сканера. Это позволяет уменьшить паразитный наклон поверхности, который возникает при сканировании, если имеется некоторое смещение зонда относительно оси сканера.

ПРИМЕЧАНИЕ. Данная процедура не является обязательной.

Процедура центрирования сканера:

1. Вращая ручку подвода (Рис. 1-39) по часовой стрелке, переместите позиционер в крайнее нижнее положение.

2. Установите измерительную головку опорами на посадочные гнезда сменного основания (Рис. 1-38) измерительным вкладышем к оператору (Рис. 1-39).

вкладышем к оператору ( Рис . 1-39 ). Рис . 1-38. Посадочные гнезда Рис .

Рис. 1-38. Посадочные гнезда

. 1-39 ). Рис . 1-38. Посадочные гнезда Рис . 1-39. Ручка подвода 3. Глядя

Рис. 1-39. Ручка подвода

3. Глядя на головку сверху, с помощью микрометрических винтов позиционера переместите сканер так, чтобы зонд располагался на оси сканера (Рис. 1-40).

на оси сканера ( Рис . 1-40 ). Рис . 1-40. Центральное отверстие в

Рис. 1-40. Центральное отверстие в предметном столике, находящееся на оси сканера

Проведение измерений

4.

Снимите

вспомогательный столик.

измерительную головку

с базового блока и поставьте ее на

1.5.4. Установка образца

Прибор в конфигурации «Сканирование образцом» позволяет исследовать образцы, удовлетворяющие следующим параметрам:

Диаметр до 40 мм.

Высота

до 15 мм.

Вес

до 100 г.

Установка образца на сканер без датчиков

Образцы рекомендуется устанавливать на специальных подложках, изготовленных из поликристаллического сапфира, входящих в комплект прибора. Размеры подложек составляют 24х19х0.5 мм. Для закрепления образцов на подложке можно использовать двусторонний скотч, либо клей.

ПРИМЕЧАНИЕ. Можно использовать в качестве подложки любую пластину толщиной 0.5 мм. Ширина пластины должна быть достаточной, чтобы прижимные клипсы держателя образца или предметного столика надежно удерживали ее.

Для маленьких образцов (до 10÷12 мм в диаметре) рекомендуется использовать подложку SU001. Для больших образцов (более 10÷15 мм в диаметре) – подложку

SU002.

мм в диаметре ) – подложку SU002. Р и с . 1 - 4 1 .

Рис. 1-41. Подложка SU001

4 1 . П о д л о ж к а S U 0 0 1

Рис. 1-42. Подложка SU002

ПРИМЕЧАНИЕ. Для установки больших образцов, можно использовать подложку SU001 с наклеенной на нее переходной пластиной, толщиной около 2 мм. Толщина пластины должна быть достаточной, чтобы приподнять образец над прижимными клипсами предметного столика, а ширина должна быть меньше расстояния между ними. Образец закрепляется на переходную пластину.

Часть 3. Атомно-силовая микроскопия

При работе по методам, требующим электрическое соединение образца с прибором рекомендуется использовать подложку SU015 с пружинным контактом (Рис. 1-43).

пружинным контактом ( Рис . 1-43 ). Рис . 1-43. Подложка SU015 с

Рис. 1-43. Подложка SU015 с пружинным контактом

ВНИМАНИЕ! При работе с толстым образцом, в программе следует учитывать его высоту. По умолчанию высота образца равна 0.5 мм (подробнее об установке в программе высоты образца см. на стр. 3-26).

При установке подложки с образцом на предметный столик, подложка вдвигается сбоку под прижимные клипсы со стороны двух опорных шариков таким образом, чтобы клипсы прижимали подложку, а нижняя поверхность подложки опиралась на три опорных шарика (Рис. 1-44).

три опорных шарика ( Рис . 1-44 ). прижимные клипсы Рис . 1-44

прижимные

клипсы

Рис. 1-44

Установка образца на сканер с датчиками

Для установки образцов на сканеры с датчиками имеется специальная металлическая подложка (Рис. 1-45). На подложку устанавливается образец с помощью двустороннего скотча или клея.

Проведение измерений

Проведение измерений Рис . 1-45. Металлическая подложка Рис . 1-46.

Рис. 1-45. Металлическая подложка

Рис . 1-45. Металлическая подложка Рис . 1-46. Предметный столик Для

Рис. 1-46. Предметный столик

Для установки образцов также можно использовать поликоровые подложки SU001, SU002, SU0015 (см. стр. 3-22). Д