Вы находитесь на странице: 1из 7
АКУСТИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ И УСТРОЙСТВА № 6, июнь 2012

АКУСТИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ И УСТРОЙСТВА

№ 6, июнь 2012

АКУСТИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ И УСТРОЙСТВА № 6, июнь 2012

MEMS-МИКРОФОНЫ КОМПАНИИ ANALOG DEVICES

В статье рассмотрены ха-

рактеристики выпускае- мых компанией Analog Devices миниатюрных микрофонов, изготавливаемых по MEMS- технологии. Даны рекоменда- ции по уменьшению неравно- мерности АЧХ микрофонов в области верхних частот зву- кового диапазона.

В. Макаренко

кового диапазона. В. Макаренко MEMS-MICROPHONES ANALOG DEVICES COMPANY Т he article

MEMS-MICROPHONES ANALOG DEVICES COMPANY

Т he article considers the cha- racteristics produced by Ana-

log Devices miniature microphones, ma- nufactured by MEMS-technology. Re- commendations to reduce the ripplies in the field of high frequency sound range are given.

Аbstract–

V. Makarenko

Быстрый рост числа переносных (малогаба- ритных) электронных устройств, предназна- ченных для передачи, приема и воспроизведе- ния голоса, требует разработки новых миниа- тюрных высококачественных микрофонов. Однако это не единственная область, в кото- рой требуется использование миниатюрных высококачественных микрофонов. В [1] со- общается о применении микрофонов в воен- ных целях. В Лондоне разработана портатив- ная система обнаружения стрелков, которая позволяет по принятому звуковому сигналу выстрела определить направление и расстоя- ние до вражеского стрелка. В системе исполь- зуются микрофоны, выполненные по техноло- гии MEMS и имеющие хорошую повторяе- мость параметров от экземпляра к экземпля- ру.

Два или более одновременно используе- мых микрофона позволяют построить систе- му подавления шума окружающей среды и повышения качества передаваемого звука в телефонах и смартфонах. Например, в iPhone применяется два устройства с MEMS-микро- фонами для эффективного шумоподавления. Такой же подход практикуют компании HTC и Motorola. Рынок мобильных телефонов се- годня огромен и постоянно увеличивается. Для эффективного продвижения продукции многие производители вводят новые функ- ции, в том числе за счет использования устройств улучшения качества звука, вводи- мого с микрофона.

34

В 2011 г. крупнейшими компаниями, про-

изводящими мобильные устройства, было за- куплено около одного миллиарда MEMS-мик- рофонов. Компания Apple опередила южноко- рейскую корпорацию Samsung, став ведущим в мире потребителем MEMS-микрофонов – 349 миллионов штук. Тогда как доля Apple составляет 27%, ее ближайший конкурент Samsung занимает вторую строчку рейтинга (20% от общемирового объема закупок). Да- лее следуют LG и Motorola с 7 и 5% рынка со- ответственно. По прогнозам аналитиков агентства Juniper Research число MEMS-микрофонов в мобиль- ных устройствах, выпуск которых запланиро- ван на 2016 год, превысит 2 млрд. Компания Analog Devices Inc. (ADI), ис-

пользовала MEMS-технологию для создания семейства миниатюрных микрофонов с боль- шим отношением сигнал/шум и широкой по- лосой воспроизводимых частот. В микрофонах обеспечивается взвешенное значение отноше- ния сигнал/шум не менее 61 дБ (в некоторых

моделях – до 65 дБ), частотная характеристи- ка лучших моделей равномерна в диапазоне частот от 0.1 до 20 кГц [2].

В настоящее время Analog Devices выпус-

кает пять типов микрофонов с аналоговым или

с цифровым выходом, основные параметры ко- торых приведены в таблице. Для сравнения приведем основные характе- ристики MEMS-микрофона AKU340 (рис. 1), выпускаемого фирмой Akustica [1]: отноше-

www.ekis.kiev.ua

№ 6, июнь 2012

АКУСТИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ И УСТРОЙСТВА

СИСТЕМЫ И УСТРОЙСТВА Основные параметры

Основные параметры MEMS-микрофонов компании Analog Devices

 

Тип

Отноше-

Чувстви-

 

Полоса

 

Ток пот-

 

ние сиг-

тельность на частоте 1 кГц, дБ

PSRR *,

U пит , В

ребл.,

мкА

Габаритные

Тип

выходного

сигнала

нал/шум,

дБ

Дб

частот,

кГц

размеры, мм

ADMP401

Аналоговый

62

-42

70

0.1…15

1.5…3.3

250

4.72×3.76×1.0

ADMP504

Аналоговый

65

-38

70

0.1…20

1.6…3.3

180

3.4×2.6×1.0

ADMP521

Цифровой

65

-26

80

0.1…16

1.8…3.3

900

4.1×3.1×1.0

ADMP421

Цифровой

61

-26

80

0.1…15

1.8…3.3

650

4.1×3.1×1.0

ADMP441

Цифровой

61

-26

75

0.06…15

1.8…3.3

1400

4.72×3.76×1.0

* PSRR – Power Supply Rejection Ratio (коэффициент подавления шумов источника питания).

ние сигнал/шум 63 дБ, диапазон ра- бочих частот с неравномер- ностью ±3 дБ составляет 0.06…12.5 кГц, разброс чувствительности от- дельных экземпляров микрофонов не более ±2 дБ, габаритные размеры

3.35×2.5×1.0 мм. Сравнение параметров микрофонов двух различ-

ных компаний позволяет сделать вывод о том, что их характеристики во многом близки и конкуренция на этом рынке достаточно жесткая. Среди компаний, выпускающих MEMS- микрофоны, – STMicroelectronics, Knowles, Sonion, MEMSTech, Infineon, Wolfson Micro- electronics, Omron [3]. В большинстве аудиоподсистем в настоя- щее время используются электретные конден- саторные микрофоны. Принцип работы тако- го микрофона основан на свойстве некоторых диэлектрических материалов (электретов) со- хранять поверхностную неоднородность рас- пределения заряда в течение длительного вре- мени. Тонкая пленка из гомоэлектрета поме- щается в зазор конденсаторного микрофона (т.е. конденсатора, в котором одна из обкла- док, представляющая собой мембрану, имеет возможность перемещаться под действием внешнего акустического сигнала) либо нано- сится на одну из обкладок. Это приводит к по- явлению некоторого постоянного заряда кон-

денсатора. При изменении емкости вслед- ствие смещения мембраны под воздействием акустического сигнала напряжение на об- кладках конденсатора изменяется. Для согла- сования внутреннего сопротивления микро- фона с сопротивлением нагрузки в состав мик-

Рис. 1. Микрофон

AKU340,

выпускаемый фирмой Akustica

e mail: ekis@vdmais.kiev.ua

рофона включен предварительный усилитель на полевом транзисторе. Столь широкое использование электретных микрофонов объясняется их невысокой стои- мостью и большим предложением на рынке в связи с тем, что они выпускаются многими компаниями-производителями. Однако чув- ствительность, отношение сигнал/шум и ли- нейность таких микрофонов достигли своего теоретического и практического предела, а дальнейшее улучшение этих характеристик требует больших затрат. Кроме того, такие микрофоны потребляют сравнительно много энергии и не обеспечивают эффективного по- давления шумов и пульсаций источника пита- ния. Это накладывает ограничения на место размещения таких микрофонов в миниатюр- ных устройствах из-за влияния шума в цепях питания, который создается другими компо- нентами схемы, например, жидкокристалли- ческим монитором, или же требует примене- ния дополнительных стабилизаторов по цепям питания микрофонов. Еще одним недостатком электретных мик- рофонов является плохая повторяемость ха- рактеристик при их массовом производстве. Чувствительность и частотная характеристика электретных микрофонов могут значительно отличаться от экземпляра к экземпляру, изме- нение характеристик может быть различным в разных микрофонах и при изменении темпера- туры, что ограничивает возможности разра- ботчиков. Особенно это существенно при раз- работке стереофонической аппаратуры. Эти факторы и определили необходимость разработки микрофонов на основе MEMS-тех- нологий. Микрофоны MEMS в сравнении с электретными имеют ряд преимуществ: высо- кую повторяемость параметров при производ- стве; слабую зависимость параметров от темпе-

35

АКУСТИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ И УСТРОЙСТВА № 6, июнь 2012

АКУСТИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ И УСТРОЙСТВА

№ 6, июнь 2012

АКУСТИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ И УСТРОЙСТВА № 6, июнь 2012

ратуры; большое отношение сигнал/шум; хо- рошую интегрируемость с технологическими КМОП-процессами, используемыми для про- изводства ИМС обработки звука. Путем нанесения и травления полупровод- никового материала на кремниевой подложке формируется конденсатор, являющийся осно- вой микрофона. Как и обычный электретный микрофон, MEMS-микрофон состоит из гибкой диафрагмы, жесткой подложки и демпфирую- щего отверстия. Диафрагма находится в непо- средственной близости от подложки, образуя вторую обкладку конденсатора. Электриче- ская емкость между подложкой и мембраной, которая движется под воздействием звукового давления, изменяется и, как следствие, изме- няется напряжение на конденсаторе. Если не рассматривать процесс формиро- вания кремния, то основное различие между электретным и кремниевым (MEMS) микро- фонами заключается в том, как поддержива- ется заряд на подложке. В электретном мик- рофоне заряд подложки формируется в про- цессе изготовления. Если по какой-либо при- чине заряд уменьшится или исчезнет, то микрофон быстро деградирует и его чувстви- тельность резко снижается. Чаще всего де- градация вызывается перегревом. По этой причине электретные микрофоны не приме- няются при температуре выше 85 °С и их пай- ка осуществляется вручную, чтобы в процессе пайки температура не превысила допустимого значения. Кремниевый микрофон после изго- товления не имеет заряда. Заряд закачивается в конденсатор, образованный подложкой и мембраной, с помощью специальной схемы, которая поддерживает этот заряд, когда мик- рофон активирован. Первоначально микрофоны MEMS разраба- тывались для применения в слуховых аппара- тах. Однако отличные характеристики этих микрофонов позволили интегрировать их в по- пулярные устройства бытовой электроники, такие как наушники Bluetooth, сотовые теле- фоны, персональные компьютеры и видеока- меры. В микрофонах MEMS чувствительная к дав- лению диафрагма формируется непосредствен- но на кремниевом кристалле. Там же размеща- ется и предварительный усилитель, а в микро- фонах с цифровым выходом – и АЦП.

36

Микрофоны с цифровым выходом обеспечи- вают очень низкую чувствительность к ВЧ- и электромагнитным помехам, создаваемым та- кими устройствами, как антенны Wi-Fi и гене- раторы тактового сигнала ЖК-дисплеев. Эти свойства позволяют конструкторам размещать MEMS-микрофоны в удобных (с точки зрения конструктора) местах, легко строить стереофо- нические микрофоны и направленные акусти- ческие антенны для приема голоса. Функциональная схема микрофона ADMP521 с цифровым выходом приведена на рис. 2 [5].

Рис. 2. Функциональная схема микрофона
Рис. 2. Функциональная схема микрофона

ADMP521

Встроенный в ИМС малошумящий усилитель усиливает напряжение, формируемое микро- фоном, и подает его на вход сигма-дельта мо- дулятора четвертого порядка. Для работы микрофона необходимо, чтобы конденсатор, образуемый подложкой и диафрагмой, был за- ряжен. Для этого в ИМС встроена схема на- качки заряда. Схема управления выполняет несколько функций: обеспечивает элементы схемы питанием, синхронизирует работу сиг- ма-дельта модулятора и формирует признак канала (левый или правый) для использования микрофона в стереофонических системах. При соединении входа L/R Select с общим проводом микрофон работает в монофоническом режи- ме, который соответствует левому каналу в стереофонических системах. При подаче на вход L/R Select напряжения питания микро- фон работает в режиме правого канала. Частотная характеристика чувствительности микрофона в диапазоне частот 100 Гц…16 кГц (рис. 3) имеет неравномерность на краях не бо- лее -2…+6 дБ. Для сравнения на том же графи- ке приведена АЧХ аналогового микрофона ADMP401 [3]. Оба микрофона по виброустойчивости соот- ветствуют военному стандарту США MIL-STD- 883G и выдерживают удары с ускорением

www.ekis.kiev.ua

№ 6, июнь 2012

АКУСТИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ И УСТРОЙСТВА

СИСТЕМЫ И УСТРОЙСТВА Рис. 3. Амплитудно-частотные
СИСТЕМЫ И УСТРОЙСТВА Рис. 3. Амплитудно-частотные
СИСТЕМЫ И УСТРОЙСТВА Рис. 3. Амплитудно-частотные

Рис. 3. Амплитудно-частотные характеристики чувствительности микрофонов ADMP521 и ADMP401

10 000 g и максимальное звуковое давление 160 дБ. Широкий частотный диапазон и малая не- равномерность АЧХ соответствуют требованиям стандарта TIA-920 к передающей части оборудо- вания проводной широкополосной цифровой те- лефонии (Wideband Digital Wireline Telephones). Малое энергопотребление позволяет увеличить время автономной работы беспроводных порта- тивных коммуникационных устройств. Схемы подключения ADMP521 к аудиоко- деку при работе в монофоническом и стереофо-

а)
а)

ническом режимах приведены на рис. 4, а и б со- ответственно. В качестве кодеков можно исполь- зовать высококачественный кодек ADAU1361 или ADAU1761 * [5]. Все микрофоны поддерживают спящий ре- жим, в котором потребление энергии резко сокра- щается. Например, для микрофона ADMP521 ток потребления в спящем режиме не превышает

1 мкА, а время перехода в спящий режим и об-

ратно равно 1 и 10 мс соответственно. Чтобы пояснить значения предельных па- раметров микрофонов, необходимо напомнить о методике проведения их испытаний. Чув- ствительность измеряется в открытом звуко- вом поле при соосном расположении громкого- ворителя и микрофона на расстоянии 1 м друг

от друга. Напряжение, которое развивается на выходе микрофона при звуковом давлении

1 Па (или 94 дБ) при частоте сигнала, излучае- мого громкоговорителем, равной 1 кГц, назы- вается чувствительностью и измеряется в мВ/Па. Для аналоговых микрофонов чувстви- тельность в логарифмических единицах опре- деляется как [7]

S dBV = 20lg(S mV/Pa / S REF ),

где S REF – опорное значение чувствительности, численно равное 1000
где S REF – опорное значение чувствительности,
численно равное 1000 мВ/Па.
б)

Рис. 4. Схема подключения микрофона ADMP521 к цифровому кодеку в монофоническом (а) и стереофоническом (б) режимах

* ADAU1761 полностью программируемый (с помощью графического интерфейса программы SigmaStudio) кодек, который содержит 24-разрядные стереофонический АЦП и ЦАП, обеспечивающие отношение сиг- нал/шум более 98 дБ. Частота дискретизации программируется в диапазоне от 8 до 96 кГц с использова- нием встроенного в кодек синтезатора частоты на основе ФАПЧ. Мощность, потребляемая ADAU1761 в активном режиме, не превышает 7 мВт. Управление ИМС осуществляется через I 2 C- или SPI-интерфейс [6]. Кодек может работать с сигналами как аналоговых, так и цифровых MEMS-микрофонов.

e mail: ekis@vdmais.kiev.ua

37

АКУСТИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ И УСТРОЙСТВА № 6, июнь 2012

АКУСТИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ И УСТРОЙСТВА

№ 6, июнь 2012

АКУСТИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ И УСТРОЙСТВА № 6, июнь 2012

Для оценки чувствительности цифровых микрофонов используется чувствительность полной шкалы (Sensitivity Full Scale), которая измеряется совершенно иначе, чем чувствитель- ность аналоговых микрофонов. Основным пара- метром, который учитывается при измерении чувствительности цифрового микрофона, яв- ляется максимальное звуковое давление на его входе, при котором еще не происходит перепол- нения шкалы встроенного АЦП. Как правило, эта величина для большинства цифровых MEMS-микрофонов равна 120 дБ. Чувствитель- ность определяется как разность между опорным уровнем звукового давления, равным 94 дБ, и максимальным уровнем звукового давления

S dBFS = P 94dB P max ,

где S dBFS – чувствительность полной шкалы, P 94dB – опорный уровень звукового давления, равный 94 дБ, P max – максимальный уровень звукового давления. Таким образом, если максимальное звуко- вое давление равно 120 дБ, то S dBFS = 94 – 120 = = -26 дБ. Как следует из таблицы параметров микрофонов, все они рассчитаны на работу при максимальном звуковом давлении 120 дБ. Предельное звуковое давление, которое при- водится в Data Sheet, соответствует давлению,

при котором не происходит необратимых изме- нений в конструкции микрофона, т.е. после снятия такого давления работоспособность микрофона полностью восстанавливается. Графики, иллюстрирующие различие в определении чувствительности цифрового и аналогового микрофонов, приведены на рис. 5 [7]. Аналоговые микрофоны имеют более широ- кий диапазон чувствительности. Лучшие из них (а это – конденсаторные микрофоны) имеют чувствительность -70 дБ и содержат встроенный предусилитель с малым уровнем шума и высокой чувствительностью. Элек- третные и MEMS-микрофоны имеют более низ- кие значения чувствительности, которые ле-

жат в диапазоне от -36 дБ (5 мВ/Па) до -46 дБ (17.8 мВ/Па). При типовом значении шума

29 дБ такие микрофоны позволяют получить

значения отношения сигнал/шум от 65 до

75 дБ и динамический диапазон до 91 дБ.

Более подробную информацию о парамет- рах микрофонов и способах их измерения можно найти в [8]. В [9] приведены рекомендации по кон- структивному оформлению узлов, в которых располагаются MEMS-микрофоны. На рис. 6 показан один из вариантов рекомендуемой конструкции.

рекомендуемой конструкции. Рис. 5. Зависимости динамического

Рис. 5. Зависимости динамического диапазона и чувствительности аналогового (а) и цифрового (б) MEMS-микрофонов с соотношением сигнал/шум 65 дБ от максимального уровня звукового давления

38

www.ekis.kiev.ua

№ 6, июнь 2012

АКУСТИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ И УСТРОЙСТВА

СИСТЕМЫ И УСТРОЙСТВА Рис. 6. Рекомендуемая конструкция
СИСТЕМЫ И УСТРОЙСТВА Рис. 6. Рекомендуемая конструкция
СИСТЕМЫ И УСТРОЙСТВА Рис. 6. Рекомендуемая конструкция
СИСТЕМЫ И УСТРОЙСТВА Рис. 6. Рекомендуемая конструкция

Рис. 6. Рекомендуемая конструкция крепления MEMS-микрофона

Так как все MEMS-микрофоны конструк- тивно выполнены в корпусах, предназначен- ных для поверхностного монтажа, и отверстие, через которое в микрофон попадает воздух, раз- мещаются на его дне (рис. 1), в печатной плате необходимо просверлить отверстие большего диаметра, чем диаметр отверстия микрофона. Для защиты микрофона от попадания в него влаги, пыли и грязи на плату крепится мембра- на из эластичного материала. Для уменьшения неравномерности АЧХ микрофона между пла- той и мембраной следует закрепить круглую шайбу, диаметр отверстия которой больше диа- метра отверстия в плате. Формируемая при этом полость (рис. 6) образует акустическую камеру, которая и обеспечивает выравнивание частотной характеристики микрофона на верх- них частотах. На рис. 7 приведены АЧХ чув- ствительности микрофона без шайбы (сплош- ная линия) и с шайбой (пунктирная линия). Неравномерность АЧХ в области верхних частот зависит не только от наличия шайбы, но и от диаметра отверстия в ней, и от мате- риала мембраны. На рис. 8 приведены полу- ченные экспериментальным путем частотные характеристики чувствительности микрофона в зависимости от материала мембраны и диа- метра отверстия в шайбе [9]. Конечно, нерав- номерность АЧХ зависит и от толщины шай-

e mail: ekis@vdmais.kiev.ua

бы, т.е. объема акустической камеры, но в [9] информация об этом отсутствует. Из приведенных на рис. 7, 8 АЧХ следует, что в случае необходимости защиты микрофона от воздействия окружающей среды необходимо использовать защитные мембраны. Если при этом требуется малая неравномерность АЧХ в области высоких частот звукового диапазона, следует провести экспериментальные исследо- вания, изменяя материал, из которого изготов- лена мембрана, диаметр и толщину шайбы. Основные области применения MEMS-мик- рофонов – смартфоны, цифровые видеокаме- ры, домофоны, системы телеконференций и пр. Все MEMS-микрофоны, выпускаемые компа-

MEMS-микрофоны, выпускаемые компа- Рис. 7. Частотные характеристики
MEMS-микрофоны, выпускаемые компа- Рис. 7. Частотные характеристики

Рис. 7. Частотные характеристики чувствительности MEMS-микрофона при разных способах крепления мембраны

способах крепления мембраны Рис. 8. Частотные характеристики
способах крепления мембраны Рис. 8. Частотные характеристики

Рис. 8. Частотные характеристики чувствительности MEMS-микрофона при различных диаметрах отверстия в шайбе и различных используемых материалах мембраны

39

АКУСТИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ И УСТРОЙСТВА № 6, июнь 2012

АКУСТИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ И УСТРОЙСТВА

№ 6, июнь 2012

АКУСТИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ И УСТРОЙСТВА № 6, июнь 2012

нией Analog Devices, удовлетворяют требова- ниям директив RoHS/WEEE. Подробную информацию о температурном профиле пайки и других параметрах MEMS- микрофонов можно найти в Data Sheet на web- сайте компании Analog Devices: www.analog.com.

ЛИТЕРАТУРА

1. http://www.akustica.com/Files/Admin/

PDFs/DS26-0.91%20AKU340%20Prelimi-

nary%20Datasheet.pdf.

2. http://www.analog.com/static/imported-

files/data_sheets/ADMP504.pdf.

3. Сысоева С. МЭМС-микрофоны / Компо- ненты и технологии, № 7, 2010.

4. Джефри С. Микрофоны на основе техно-

логии

(http://www.chipnews.ru/html.cgi/arhiv/03_0

9/56.htm).

5. http://www.analog.com/static/imported-

files/data_sheets/ADMP521.pdf.

6. http://www.analog.com/static/imported-

files/data_sheets/ADAU1761.pdf.

7. http://www.analog.com/library/analog-

Dialogue/archives/46-05/understanding_mi-

crophone_sensitivity.pdf.

8. http://www.analog.com/static/imported-

files/application_notes/AN-1112.PDF.

9. http://www.analog.com/static/imported-

files/application_notes/AN-1124.PDF.

поверхностного монтажа

MEMS

для

files/application_notes/AN-1124.PDF. поверхностного монтажа MEMS для 40 www.ekis.kiev.ua

40

www.ekis.kiev.ua