Bombas Turbomoleculares

Bombas
turbomoleculares
EXT
Bombas turbomoleculares EXT
Bomba turbomolecular EXT75DX
Bomba turbomolecular EXT70
Bomba molecular compuesta EXT70H
Bomba turbomolecular EXT250M
Grficos de desempeo de la bomba EXT
5-4
5-5
5-6
5-7
5-8
5-9
5-10
5-11
Controladores para bombas

turbomoleculares
Controladores EXC
Controlador de bombas turbomoleculares e
instrumentos TIC
Controlador de bombas turbomoleculares TIC
5-12
5-14
5-20
Accesorios EXT
5-26
Accesorios combinados EXPT
5-28
Compre en lnea en www.bocedwards.com
5
PGINA
1
BOMBAS TURBOMOLECULARES EXT Y

CONTROLADORES EXC
5
PGINA
2
Tecnologas de cojinetes y suspensin
Nuestra familia de bombas turbomoleculares y bombas moleculares

compuestas EXT y controladores EXC utiliza tecnologa de ltima generacin
para brindar vaco alto y ultra alto confiable y libre de hidrocarburos.
Utilizamos dos tecnologas bsicas: cojinetes magnticos y cojinetes de bola

mecnicos de cermica.
Los cojinetes de cermica, los cuales estn lubricados de por vida con grasa o
aceite, han reemplazado a los cojinetes de acero convencionales. Las bolas de
cermica de nitruro de silicio son ms livianas, ms resistentes y ms suaves
que sus equivalentes de acero, lo que les otorga una mayor vida til y
caractersticas de baja vibracin. La confiabilidad es mayor porque los
materiales de las bolas y el anillo-gua son diferentes, lo que impide la
microcavitacin.
Los cojinetes magnticos aumentan an ms la confiabilidad. Nuestras bombas
turbomoleculares EXT de hasta 540 l s-1 utilizan un conjunto hbrido de
cojinetes con un cojinete superior magntico permanente y un cojinete
inferior de cermica lubricado con aceite o grasa.
La familia EXT tambin incluye el EXT250M en el que el rotor est
enteramente sostenido por cojinetes magnticos. Esto ofrece ventajas
adicionales:
Libre de aceite Sin contaminacin por hidrocarburos proveniente de la
bomba turbomolecular
Bajo mantenimiento La falta de contacto entre los cojinetes elimina el
desgaste mecnico
Bajo nivel de vibracin Por lo general, de una magnitud inferior a los
cojinetes convencionales
Bajo nivel de enfriamiento El enfriamiento a temperatura ambiente es
suficiente para muchas aplicaciones
Cualquier orientacin La bomba puede montarse en cualquier posicin
Factores clave del desempeo
Tecnologas del rotor
Una bomba turbomolecular (TMP) es una turbina de flujo axial de etapas

mltiples en la cual paletas de alta velocidad de rotacin brindan compresin
al incrementar la probabilidad de que las molculas de gas se muevan en la
direccin de bombeo. La bomba turbomolecular est optimizada para
condiciones de flujo molecular y requiere una bomba de aleta rotativa de dos
etapas de tamao adecuado o una bomba scroll libre de aceite para evacuar a
la atmsfera.
Una bomba molecular compuesta (CMP) se basa en el concepto de combinar
etapas turbomoleculares empaletadas con etapas moleculares de arrastre en
el mismo rotor. Este diseo permite:
Presiones frontales crticas y elevadas (por lo general de hasta 10 mbar)
Opciones para utilizar bombas de refuerzo ms pequeas o bombas secas
de refuerzo de diafragma
Velocidad de bombeo (la velocidad del flujo del volumen) est
determinada por el dimetro del rotor, el tamao de la brida de entrada y la
velocidad de rotacin. La velocidad de bombeo se reduce a altas presiones de
entrada hasta un valor determinado por el tamao de la bomba de refuerzo.
A medida que se eleva la presin de entrada, la disipacin de la potencia del
motor y la temperatura de la bomba se incrementan. La presin mxima de
entrada continua establece el lmite de rendimiento mximo para un
bombeo uniforme y depende del mtodo de enfriamiento utilizado. Superada
esta presin, la velocidad de rotacin de la bomba se reduce mientras que los
sensores de temperatura limitan la potencia de la bomba. Con una bomba
enfriada por agua, el rendimiento mximo real depende del tamao de la
bomba de refuerzo.
La potencia elctrica quiescente es la energa elctrica nominal disipada
por una bomba que opera a la mxima velocidad de rotacin y con un bajo
rendimiento de gas (presin de entrada por debajo del rango de los 10-3
mbar). Durante el tiempo de arranque, o cuando opera con un alto
rendimiento de gas o por encima de la presin de refuerzo crtica, la disipacin
de la potencia de la bomba se incrementar y se aproximar a la mxima
potencia de salida para el controlador EXC utilizado. La presin de refuerzo
crtica para bombas turbomoleculares convencionales es aproximadamente
0,1 a 0,2 mbar.
La relacin de compresin est determinada por la velocidad de
rotacin, el nmero de etapas de la bomba y el peso molecular del gas
bombeado. Es mayor para los gases ms pesados, lo cual explica porqu la
supresin de la contracorriente de hidrocarburos es tan efectiva y porqu la
relacin del hidrgeno es tan importante en aplicaciones de vaco ultra alto.
La presin final medida de acuerdo con las normas Pneurop, es la presin
ms baja alcanzada en el sistema de prueba, 48 horas despus del desecado. El
sistema est respaldado solamente por una bomba de aleta rotativa de dos
etapas. Se utilizan sellos de entrada de fluoroelastmero en bombas con bridas
ISO y se utilizan sellos de metal en modelos de bombas con bridas CF.
Utilizamos dos tecnologas bsicas:

turbomolecular convencional de tipo "full stack" (por lo general de 12
etapas)
molecular compuesto (que combina etapas turbomoleculares y de
arrastre)
Adems, las bombas EXT de hasta 540 l s-1 utilizan rotores monobloque
maquinados a partir de una barra slida por fresadoras de alta velocidad
controladas por computadora. Esta tecnologa produce rotores estables y
rgidos y permiten una flexibilidad de diseo virtualmente ilimitada para un
desempeo ptimo al vaco.
Tecnologa del motor

Las bombas EXT utilizan motores de c.c. sin escobillas y estn disponibles en
variantes de 24 y 80 voltios. Para las bombas de 24 voltios, la lnea de
controladores TIC est disponible con el beneficio agregado de controladores
de instrumentos integrados. Para las bombas de 80 voltios, puede elegir de la
lnea de controladores EXC para optimizar las opciones de desempeo y el
costo de su aplicacin. (La bomba EXT250M debe utilizar un controlador
EXC300M).
Los controladores incorporan un suministro de reserva regenerativo que
proporciona energa en el caso de una falla en el suministro elctrico para
mantener la vlvula de ventilacin cerrada por varios minutos (y, en el caso del
EXC300M, para asegurar el descenso seguro del cojinete magntico de la
bomba EXT250M).
Cojinetes de bola de cermica
Aplicaciones corrosivas
Enfriamiento
Para lograr la mxima vida til y confiabilidad en las rigurosas condiciones de

proceso que se encuentran en las aplicaciones de procesamiento de plaquetas
para semiconductores, le recomendamos que utilice bombas
turbomoleculares de nuestras series BOC Edwards STP-C y STPH-C
(consulte la pgina 4-5). Estas bombas Maglev tienen cojinetes magnticos y
son ideales para estas aplicaciones de trabajos pesados.
Todas las bombas EXT (con la excepcin de la EXT70 y la EXT70H) cuentan
con orificios de purga que pueden utilizarse para purgar el motor y la cavidad
de cojinetes con un gas inerte (como el nitrgeno). Le recomendamos que
purgue la bomba cuando bombea mezclas de gases corrosivos y abrasivos o
aquellos cuyo contenido de oxgeno sea superior al 20%. Puede utilizar
nuestro Restrictor de purga PRX10 para fijar el flujo de purga de gas. Esto
agrega, por lo general, hasta 25 sccm a la carga total de gas y la bomba de
refuerzo debe tener un tamao acorde.
Para la mayora de las aplicaciones, recomendamos que utilice enfriamiento

por aire forzado con el enfriador por aire ACX apropiado conectado a su
bomba EXT. Si la temperatura ambiente es inferior a los 30 C, las bombas
EXT70, EXT70H y EXT250M pueden enfriarse por conveccin libre
(dependiendo de la carga de gas y la presin de refuerzo). Nota: una alta carga
de gas, alta presin de refuerzo y ciclos rpidos requieren ms enfriamiento.
Sin embargo, si la temperatura ambiente es superior a los 35 C (o superior a
los 40 C en el caso de la bomba EXT250M), debe enfriar la bomba EXT por
agua. Los conectores con pas en el enfriador por agua son adecuados para
mangueras con un dimetro interno de 6 mm.
El enfriamiento por agua reduce la temperatura de funcionamiento del motor
de la bomba y los cojinetes y se recomienda particularmente cuando opera la
EXT con un alto rendimiento continuo (es decir, una presin de entrada
superior a 1u10-3 mbar) o cuando calienta la bomba EXT por encima de los
70 C (medidos en la brida de entrada).
Ventilacin
Alcance del suministro
Orificio de purga
Para usuarios finales que desean controles e indicaciones en el panel frontal

cuando utilizan una bomba de 80 voltios, un sistema operativo mnimo
requiere que soliciten una bomba EXT, un controlador EXC y un cable de la
bomba al controlador. Para una bomba de 24 voltios, un sistema operativo
mnimo requiere que soliciten una bomba EXT, un controlador TIC y un
controlador EXDC. (El controlador EXDC no es necesario cuando utiliza una
bomba EXT75DX o una EXT255DX).
Cada bomba EXT cuenta con una criba de entrada, sello de entrada de
elastmero o junta de cobre (segn corresponda), vlvula de ventilacin
manual y enfriador por agua. La EXT75DX, EXT255DX y EXT555M
requieren, adems, un accesorio de enfriamiento por agua (si es necesario).
Cada controlador EXC/TIC se ofrece con un cable de suministro elctrico sin
terminacin de 2m.
Criba de entrada
Se instala una criba de entrada como equipamiento estndar a todas las
bombas EXT. La criba de entrada impide que la suciedad caiga en la entrada de
la bomba. Adems, la criba de entrada impide que haga contacto con las paletas
de la bomba mientras est desconectada de su sistema de vaco.
5
PGINA
3
BOMBAS TURBOMOLECULARES EXT
Para mantener la limpieza de su sistema de vaco, le recomendamos que ventile

una bomba turbomolecular a una velocidad de rotacin media o superior,
cuando el rotor an gira lo suficientemente rpido para eliminar cualquier
contracorriente de hidrocarburos de la lnea de refuerzo.
El orificio de ventilacin de la bomba EXT se encuentra en la mitad del tubo
del rotor para asegurar la mxima limpieza, incluso con vlvulas de ventilacin
selladas con fluoroelastmero. Cada bomba se suministra con una vlvula de
ventilacin manual. Si se utiliza esta vlvula manual, debe tener cuidado de no
abrirla demasiado rpido, especialmente si el volumen del sistema es bajo (por
lo general, menor que el volumen aproximado de la bomba turbomolecular),
porque si la velocidad del incremento en la presin es demasiado alta, la vida
til de los cojinetes de la bomba puede reducirse.
En un sistema de bajo volumen, la velocidad del incremento en la presin ser
mayor que en un volumen alto para una velocidad de flujo de ventilacin
determinada, y puede ser necesario restringir el flujo de gas de ventilacin.
Ofrecemos la familia VRX de restrictores de ventilacin, los cuales puede
instalar en su bomba EXT, (consulte la pgina 5-27).
Puesto que la velocidad del incremento de la presin no puede controlarse de
manera precisa por medio de la vlvula de ventilacin manual, le
recomendamos que, a menos que instale un restrictor VRX al orificio de
ventilacin, espere hasta que la bomba turbomolecular haya aminorado su
velocidad al 50%, como lo indica el controlador, antes de abrir la vlvula de
ventilacin manual.
La velocidad mxima del incremento en la presin varia con cada modelo de
bomba, y el manual de instrucciones suministrado con la bomba EXT le dar
ms informacin acerca de esto, y el tamao del restrictor de ventilacin
necesario para alcanzar el ms rpido incremento de presin permitido.
El control de la velocidad de ventilacin es particularmente importante con las
bombas que utilizan cojinetes totalmente magnticos, de otro modo los
cojinetes de seguridad pueden daarse.
La vlvula de ventilacin manual puede ser reemplazada por una vlvula de
solenoide TAV accionada por el controlador EXC para permitir la ventilacin
tras una demora de 2 segundos durante el apagado, o demorar la ventilacin
hasta que la velocidad de rotacin haya descendido al 50%. El controlador EXC
tambin puede controlar la vlvula de ventilacin TAV en caso de una falla de
energa o de la bomba.
Puede seleccionar una de dos opciones de vlvulas de ventilacin de solenoide;
la TAV5, que cubre la mayora de las aplicaciones de ventilacin automtica, y
la TAV6 , que tiene una mayor conductancia que la TAV5 y est diseada para
usarse en cmaras ms grandes (por lo general con un volumen superior a 10
litros), o cuando desea utilizarla con un procedimiento de ventilacin de dos
etapas para obtener los tiempos de ventilacin ms rpidos posibles.
Para ventilacin en dos etapas, se necesitan dos vlvulas TAV. Utilizando el
flujo apropiadamente restringido para la vlvula de ventilacin de la primera
etapa, es posible comenzar a ventilar cuando la bomba EXT an funciona a su
mxima velocidad de rotacin. Una vez que la velocidad de rotacin de la
bomba haya descendido a la mitad, podr introducir velocidades de flujo ms
altas desde la vlvula de ventilacin de la segunda etapa.
BOMBA TURBOMOLECULAR EXT75DX
BRIDA DE ENTRADA
Velocidad de bombeo (l s-1)3

N2
He
H2
Presin final (mbar)
Con bomba de refuerzo de aleta
rotativa41
Con bomba de refuerzo de diafragma411
Peso (Kg.)
ISO63/100
63CF
DN40NW
61
57
53
61
57
53
42
49
48
<5 10-9 <5 10-10 <5 10-9

<5 10-8 <5 10-9 <5 10-8
3,0
4,9
2,9
Una bomba de refuerzo ms grande puede ser necesaria para el mximo rendimiento. Tambin
puede utilizarse una bomba de diafragma adecuada con una presin final de <5 mbar.
2
Superada esta presin de entrada, la velocidad de rotacin desciende por debajo de la nominal.
3
Lmite de potencia fijada a 80 W.
41 Presin final 48 horas despus del desecado con una bomba de refuerzo de aleta rotativa de 2 etapas.
411 Presin final 48 horas despus del desecado con Pb <5 mbar (500 Pa)
Caractersticas y ventajas
Bombasturbomolecular
Bomba
turbomoleculares
EXT75DX
EXT
5
PGINA
4
Compatible con el controlador de bombas turbomoleculares e

instrumentos TIC
Mltiples modos de comunicacin disponibles
- El modo paralelo permite una interfaz de seal de control tradicional
- El modo serial acepta las interfaces RS-232
Numerosos parmetros configurables por el usuario por medio de la
interfaz RS-232
- Configuracin de control de la vlvula de ventilacin
- Indicacin de velocidad normal
- Velocidad de marcha en espera
- Configuracin de energa programable
- Consumo de energa
- Temperatura de la bomba
Capacidad de monitoreo mejorada incluyendo la velocidad, potencia y
temperatura de la bomba
DATOS TCNICOS
Brida de entrada
Relacin de compresin
N2
He
H2
Brida de salida
Orificio entre etapas (Variantes Hi)
Bomba de refuerzo recomendada1
Orificio de ventilacin
Orificio de purga
Presin mxima de entrada continua
(bombeo de gases livianos) 2
enfriamiento por agua (agua a 15 C, temp.
ambiente a 40 C)
enfriado por aire forzado,
temp. ambiente a 35 C
Velocidad de rotacin nominal
Velocidad de rotacin en espera
Tiempo de arranque al 90% de velocidad3
Mtodo de enfriamiento
Temperatura ambiente para enfriamiento por
aire forzado
Velocidad mnima del flujo de agua de
enfriamiento (agua a 15 C)
Rango de temperatura del agua
Temperatura mxima de la brida de entrada
Orientacin de operacin
Nivel de ruido a 1 metro
Campo magntico mximo
Controlador recomendado
Potencia quiescente
Velocidad de bombeo entre etapas
(Variantes Hi)
DN63ISO-K, DN63CF o DN40NW

>1 1011
1 x 106
5 x 104
DN16NW
DN25NW
E2M0.7
!/8 pulg. BSP
!/8 pulg. BSP
2 10-2 mbar
1 10-2 mbar
90000 rpm
Variable de 49500 a 90000 rpm
(63000 rpm por defecto)
110 s
Aire forzado / agua
5 35 C
A
B
C
D
Vlvula de ventilacin manual en el orificio de ventilacin

E Orificio de purga (suprimido)
Pdulo
F Orificio entre etapas (EXT75iDX solamente)
Conector de interfaz lgica
G Toma del conector del pdulo
Orificio de refuerzo
H Conexin a tierra
INFORMACIN SOBRE PEDIDOS

DESCRIPCIN DEL PRODUCTO
15 l h-1
10 20 C
100 C
Vertical y recta, hasta horizontal
<50 dB(A)
5 mT
Accionado por el controlador
TIC100 para bombas
turbomoleculares o para bombas
turbomoleculares e instrumentos
10 W
Bomba
EXT75DX ISO63
EXT75DX CF63
EXT75DX NW40
EXT75DX ISO100
EXT75iDX ISO63
(entre etapas)
Brida de entrada
DN63ISO
DN63CF
DN40NW
DN100ISO
DN63ISO (principal)
DN25NW (entre etapas)
ACCESORIOS
ACX75 - accesorio para enfriamiento por aire

WCX500 - accesorio para enfriamiento por agua
10
NMERO DE PEDIDO
B72241000
B72242000
B72243000
B72245000
B72238000
NMERO DE PEDIDO
B58053075
B73600121
BOMBA TURBOMOLECULAR EXT255DX
BRIDA DE ENTRADA
DN100ISO-K
DN100CF
220
230
180
220
230
180
<5 10-9
<5 10-10
<5 10-8
<5 10-9
6,25
8,6

N2
He
H2
Presin final (mbar)
Con bomba de refuerzo de aleta
rotativa41
Con bomba de refuerzo de
diafragma411
Peso (Kg.)
1
Una bomba de refuerzo ms grande puede ser necesaria para el mximo rendimiento. Tambin puede
utilizarse una bomba de diafragma adecuada con una presin final de <5 mbar.
2
Superada esta presin de entrada, la velocidad de rotacin desciende por debajo de la nominal.
3
Lmite de potencia fijada a 160 W.
41 Presin final 48 horas despus del desecado con una bomba de refuerzo de aleta rotativa de 2 etapas.
411 Presin final 48 horas despus del desecado con Pb <5 mbar (500 Pa)
Compatible con el controlador de bombas turbomoleculares e

instrumentos TIC
Mltiples modos de comunicacin disponibles
- El modo paralelo permite una interfaz de seal de control tradicional
- El modo serial acepta las interfaces RS-232
Numerosos parmetros configurables por el usuario por medio de la
interfaz RS-232
- Configuracin de control de la vlvula de ventilacin
- Indicacin de velocidad normal
- Velocidad de marcha en espera
- Configuracin de energa programable
- Consumo de energa
- Temperatura de la bomba
Capacidad de monitoreo mejorada incluyendo la velocidad, potencia y
temperatura de la bomba
5
PGINA
5
Brida de entrada
DN100ISO-K, DN100CF
N2
>1 108
He
4 x 105
H2
1,6 x 104
Brida de salida
DN25NW
DN25NW
RV3
!/8 pulg. BSP hembra
Orificio de purga
Presin mxima de entrada continua
(bombeo de gases livianos) 2
enfriamiento por agua (agua a 15 C,
temp. ambiente a 40 C)
5 10-3 mbar
enfriado por aire forzado, temp. ambiente
a 35 C
5 10-3 mbar
60000 rpm
Variable de 33000 a 60000 rpm
(42000 rpm por defecto)
Tiempo de arranque al 90% de velocidad3
80 s
Aire forzado / agua
Temperatura ambiente para enfriamiento por
aire forzado
5 35 C
Velocidad mnima del flujo de agua de
enfriamiento (agua a 15 C)
15 l h-1
10 20 C
100 C
<50 dB(A)
5 mT
Accionado por el controlador
TIC200 para bombas
turbomoleculares o para bombas
Potencia quiescente
25 W
(Variantes Hi)
10
A
B
C
Vlvula de ventilacin manual en el

orificio de ventilacin
Pdulo
Conector de interfaz lgica
D
E
F
G
Orificio de refuerzo
Toma del conector del pdulo
Espacio para el conector de cable de ngulo recto
Punto de conexin a tierra

Bomba
EXT2555DX ISO100
EXT255DX CF100
EXT2555iDX ISO100
(entre etapas)
Brida de entrada
DN100ISO-K
DN100CF
DN100ISO-K (principal)
DN25NW (entre etapas)
ACCESORIOS
ACX250H - accesorio para enfriamiento por aire

WCX500 - accesorio para enfriamiento por agua
NMERO DE PEDIDO
B75311000
B75312000
B75313000
NMERO DE PEDIDO
B58053160
B73600121
DATOS TCNICOS
BOMBA TURBOMOLECULAR EXT70
BRIDA DE
ENTRADA
DN40NW

N2
52
He
53
H2
46
Presin final
<5 10-9
(mbar)4
Peso (Kg.)
1,4
DN50NW
DN63CF
DN63ISO-K
60
56
48
65
60
50
65
60
50
<5 10-9
1,4
<5 10-10
3,4
<5 10-9
1,5
1 Una bomba de refuerzo ms grande puede ser necesaria para el mximo rendimiento.
2 Superada esta presin de entrada, la velocidad de rotacin desciende por debajo de la nominal.
3 Las velocidades de bombeo se indican sin una criba de entrada. Las cribas de entrada se suministran
instaladas y reducen la velocidad en aproximadamente un 10%.
4 Presin final 48 horas despus del desecado con una bomba rotativa de 2 etapas.
EXT70 con brindas de entrada DN63ISO-K, DN63CF, NW40 y NW50
DN63ISO-K
NW40
DN63CF
NW50
Bomba turbomolecular EXT70
92.1
DATOS TCNICOS

Rango de operacin de temperatura ambiente
con enfriamiento por conveccin libre
con enfriamiento por aire forzado
(para enfriamiento por agua)
Velocidad mnima del flujo de agua (a 15 C)
Potencia quiescente
113
164.05
75
32.6
157.05
74
108
109.55
55
D
G
-2
3 10 mbar
94
1 10-2 mbar
F=112
6 10-3 mbar
90000 rpm
63000 rpm
90 s
Conveccin libre o aire
forzado o agua
100 C
4 x M4 x 6
A
NW16
45
PGINA
6
95
>1 108
6000
500
DN16NW
E2M0.7
157.05
N2
He
H2
Brida de salida
Presin mxima de entrada continua 2
enfriamiento por agua a 15 C, temp.
ambiente a 40 C
enfriamiento por aire, temp.
ambiente a 35 C
conveccin libre a una temp.
ambiente a 30 C
Tiempo de arranque al 90% de velocidad
8 x 8.4
DN40NW, DN50NW,
DN63CF o DN63ISO-K
0.8
Brida de entrada
50
106
0 30 C
0 35 C
63
10 20 C
15 l h-1
<50 dB(A)
5 mT
EXC100 o EXC120
10 W
A
C
D
Orificio de refuerzo (brida de salida) E

Conector de suministro elctrico
F
Vlvula de ventilacin
G
Conector de agua de enfriamiento


Bomba
EXT70
EXT70
EXT70
EXT70
Brida de entrada
DN40NW
DN50NW
DN63CF
DN63ISO-K
NMERO DE PEDIDO
B72203000
B72204000
B72202000
B72201000
BOMBA MOLECULAR COMPUESTA EXT70H
1 Una bomba de refuerzo ms grande puede ser necesaria para el mximo rendimiento. Tambin puede
2 Con una presin de refuerzo de <0,1 mbar. Superada esta presin de entrada, la velocidad de rotacin
desciende por debajo de la nominal.
3 Las velocidades de bombeo se indican sin una criba de entrada. Las cribas de entrada se suministran
4 Presin final 48 horas despus del desecado con una bomba rotativa de 2 etapas.
5 Utilizando una bomba de diafragma con una presin final de <5 mbar.
DN63ISO-K
DN63CF
NW40
92.1
8 x 8.4
DATOS TCNICOS
183
81
G
A
4 x M4 x 6
F=112
PGINA
7
A
NW16
45
>1 108
4 105
3 104
33.5
94
1.5
DN40NW, DN63CF o DN63ISO-K

DN16NW
E2M0.7
33.5
9 10-1 mbar
9 10-2 mbar
9 10-3 mbar
90000 rpm
63000 rpm
90 s
Conveccin libre o aire forzado o
agua
Temperatura mxima de la brida de entrada 100 C
con enfriamiento por conveccin libre 0 30C
0 35C
10 20 C
Velocidad mnima del flujo de agua (a 15 C) 15 l h-1
<50 dB(A)
5 mT
Controlador recomendado (80 V)
EXC100 o EXC120
(24 V c.c.)
EXDC80 y TIC
Potencia quiescente
10 W
(Variantes Hi)
N2
6 l s-1
DN40NW
DN63CF
DN63ISO-K
52
53
46
65
60
50
65
60
50
<5 10-9
<5 10-8
2,8
<5 10-10
<5 10-8
4,7
<5 10-9
<5 10-8
2,8
50
106
63
A
C
D
E
Orificio de refuerzo (brida de salida)

F
G
Espacio para el conector de cable de

ngulo recto

Bomba
Brida de entrada
EXT70H
DN40NW
EXT70H
DN63CF
EXT70H
DN63ISO-K
EXT70Hi
DN63CF
EXT70Hi
DN63ISO-K
Unidades compatibles con TIC* (24 V c.c.)
EXT70H
DN63-ISOK
EXT70H
DN63CF
EXT70H
DN40NW
NMERO DE PEDIDO
B72223000
B72222000
B72221000
B72228000
B72229000
B72221991
B72222991
B72223991
* Tambin se requiere el mdulo de control EXDC-80 (P/N D39645000). Consulte el artculo acerca del
controlador de bombas turbomoleculares e instrumentos TIC al final de esta seccin para obtener ms
informacin.
Brida de entrada
Brida de salida
N2
He
H2
Presin mxima de entrada continua2
enfriamiento por agua a 15 C
enfriamiento por aire a 35 C
conveccin libre a 30 C

N2
He
H2
Presin final (mbar)
Bomba de aleta rotativa4
Bomba de diafragma5
Peso (Kg.)
76
G
A
BRIDA DE ENTRADA
D
176
127
176
EXT70H con brida de entrada DN63ISO-K
55
128.5
74
113
135.5
95
BRIDA DE ENTRADA
Presin final (mbar)

Bomba de aleta rotativa4
Bomba de diafragma5
Peso (Kg.)
1
2
3
4
5
DN100ISO-K
DN100CF
<5 10-9
<5 10-8
5,6
<5 10-10
<5 10-9
8,2
Las velocidades de bombeo se indican sin una criba de entrada. Las cribas de entrada se suministran
Una bomba de refuerzo ms grande puede ser necesaria para el mximo rendimiento. Tambin puede
Con una presin de refuerzo de <0,1 mbar. Superada esta presin de entrada, la velocidad de rotacin
desciende por debajo de la nominal.
Presin final 48 horas despus del desecado con una bomba rotativa de 2 etapas.
Utilizando una bomba de diafragma con una presin final de <5 mbar.
DN100ISO-K
DN100CF
130.2
17
16 x 8.4
EXT255H con bridas de entrada DN100ISO-K

130
131
190.8
190.8
68
28
152
45
17
B
NW10
4 x M5 x 20
86
A
NW25
14
1
58.5
PGINA
8
Brida de entrada
DN100ISO-K o DN100CF
Brida de salida
DN25NW
Orificio de purga
Velocidad de bombeo1
N2
220 l s-1
He
230 l s-1
H2
180 l s-1
N2
>1 108
He
4 105
H2
1,6 104
RV3
enfriamiento por agua a 15 C, temp.
5 10-3 mbar
ambiente a 40 C
enfriamiento por aire a temp.
5 10-3 mbar
ambiente a 35 C
conveccin libre a temp.
4 10-4 mbar
ambiente a 40 C
60000 rpm
42000 rpm
EXC100E
190 s
EXC120
130 s
EXC300
100 s
Aire forzado o agua
Temperatura mxima de la brida de entrada 100 C
0 35 C
10 20 C
Velocidad mnima del flujo de agua (a 15 C) 15 l h-1
<50 dB(A)
5 mT
Controlador recomendado (80 V)
EXC100, EXC120 o EXC300
(24 V c.c.)
EXDC80 y EXDC160
Otro controlador compatible
EXC300
Potencia quiescente
25 W
Velocidad de bombeo entre etapas (Variante Hi)
N2
10 l s-1
H2
10 l s-1
1.5
152
94
DATOS TCNICOS
91
A
B
C

Orificio de purga
(se muestra con adaptador instalado)
D
E
F
G

Bomba
Brida de entrada
EXT255H
DN100ISO-K
EXT255H
DN100CF
EXT255Hi
DN100ISO-K
Unidades compatibles con TIC* (24 V c.c.)
EXT255H
DN100ISO-K
EXT255H
DN100CF
EXT255Hi
DN100ISO-K
NMERO DE PEDIDO
B75301000
B75302000
B75303000
B75301991
B75302991
B75303991
* Tambin se requiere el mdulo de control EXDC-160 (P/N D39646000). Consulte el artculo acerca del
controlador de bombas turbomoleculares e instrumentos TIC al final de esta seccin para obtener ms
informacin.
BOMBA TURBOMOLECULAR EXT250M
DN100ISO-K
DN100CF
130.2
30
16 x 8.4
94
152
125
130
212.8
212.8
145
EXT250M con bridas de entrada DN100F y DN100ISO-K
A
B
0.8
Bomba turbomolecular EXT250M
DATOS TCNICOS
152

con enfriamiento por conveccin libre
Velocidad mnima del flujo de agua (a 15 C)
Peso de la entrada DN100ISO-K
Peso de la entrada DN100CF
Controlador
Potencia quiescente
1
2
3
4
5
DN100ISO-K o DN100CF
DN25NW
30
45
37.5
B
NW10
240 l s-1
250 l s-1
190 l s-1
A
NW25
20
>1 108
2 104
1500
<5 10-9 (ISO-K) o <5 10-10 (CF)
RV5
3 10-1 mbar
3 10-2 mbar
60000 rpm
42000 rpm
90 s
1 min.
11 min.
Conveccin libre o aire
forzado o agua
100 C
0 35 C
0 40 C
5 30 C
15 l h-1
Cualquier orientacin
8,5 Kg.
11 Kg.
<50 dB(A)
5 mT
EXC300M
15 W
11
4 x M6 x 7
91
A
B
C

Orificio de purga
(se muestra con adaptador instalado)
PGINA
9
F = 141
D
E
F
El EXT250M se suministra en un conjunto, junto con un controlador

EXC300M y un cable de la bomba al controlador.

Bomba EXT250M, controlador EXC300M y cable

DN100ISO-K - brida, cable de 1 m
DN100CF - brida, cable de 1 m
Las velocidades de bombeo se indican sin una criba de entrada. Las cribas de entrada se suministran
Presin final 48 horas despus del desecado con una bomba rotativa de 2 etapas.
Una bomba de refuerzo ms grande puede ser necesaria para el mximo rendimiento.
Superada esta presin, la velocidad de rotacin cae por debajo de la nominal.
El tiempo de frenado sin ventilacin se reducir si el controlador EXC300M brinda el suministro
elctrico para un enfriador por aire o vlvula de ventilacin.
NMERO DE PEDIDO
B73521010
B73521030
B73521050
B73522010
B73522030
B73522050
Brida de entrada
Brida de salida
Orificio de purga
Velocidad de bombeo1
N2
He
H2
N2
He
H2
Presin final (mbar)2
Bomba de refuerzo recomendada
EXC300M, enfriamiento por
agua a 15 C
enfriamiento por aire a 35 C
Tiempo de frenado
con ventilacin
sin ventilacin5
Controladores recomendados
Consumo de potencia quiescente
*
EXC250, EXC300
35 W
Medido sin criba de entrada. Las cribas de entrada se suministran instaladas y reducen la velocidad
hasta un 20%
**
Con una presin de refuerzo de < 0,3 mbar. Superada esta presin de entrada, la velocidad de
rotacin desciende.
DN160CF
DN160ISO-K
180
18
20 x 8.4
202.4
180
254.1
248.1
EXT255H con brida de entrada DN160ISO-K
DATOS TCNICOS
127.6
Brida de salida
Orificio de purga
Velocidad de bombeo de entrada*
N2
He
H2
Ar
Velocidad de bombeo entre etapas (Variantes Hi)
N2
He
H2
N2
He
H2
Ar
Presin final (variante CF)
Bomba de refuerzo recomendada
Presin mxima de entrada continua (N2, He, H2)**
enfriado por aire forzado, temp. ambiente a 30 C
enfriado por aire forzado, temp. ambiente a 35 C
enfriamiento por agua a 15 C
EXC250
EXC300
EXDC160
Temperatura ambiente para enfriamiento
por aire forzado
Velocidad del flujo de agua de enfriamiento
recomendada (agua a 15 C)
Temperatura del agua
Nivel de ruido a 1m
Campo magntico mximo (camisas estndar)
Axial
Radial
Campo magntico mximo (camisas martensticas)
Axial
Radial
29
DN160ISO-K /
DN160CF
DN25NW
DN25NW
1/8 pulg. BSP
1/8 pulg. BSP
PGINA
10
Brida de entrada principal
210
45
540 l s-1
580 l s-1
500 l s-1
510 l s-1
45
122
39
22.5
4 x M8 x 25
8 l s-1
6 l s-1
8 l s-1
>1010
108
106
>1010
<10-10 mbar
RV12
1x10-3 mbar
5x10-4 mbar
2x10-3 mbar
50000 rpm
5 min.
6,5 min.
8 min.
aire forzado / agua
0 C 35 C
15 l h-1
10 20 C
80 C
<60 dBA
< 7 mT
< 3 mT
68
A
B
C
D
Orificio de escape
Orificio entre etapas
E
F
G

Punto de purga

Bomba
EXT555H
EXT555H
EXT555Hi
Camisa martenstica
EXT555HF
EXT555HF
NMERO DE PEDIDO
Brida de entrada
DN160ISO-K
DN160CF
DN160ISO-K (exhibido)
B77701000
B77702000
B77705000
DN160ISO-K
DN160CF
B77707000
B77708000
ACCESORIOS
NMERO DE PEDIDO
Para una operacin segura y confiable, el EXT555H requiere uno de los siguientes accesorios
externos de enfriamiento.
ACX555
Accesorio para enfriamiento por aire
B58053561
WCX555
Accesorio para enfriamiento por agua
B58067003
< 50 mT
< 50 mT
GRFICOS DE DESEMPEO DE LA
BOMBA EXT
Grficos de desempeo de la bomba EXT
Rendimiento (rendimiento vs. presin de entrada)
Velocidad de bombeo (velocidad de bombeo vs. presin de entrada)

Nitrgeno
600
Helio
EXT555H
N2
10
500
ls -1
400
10
300
EXT250M/255H/255DX
EXT555H
EXT250M/255H/255DX
200
0
-6
10
10
-5
10
-4
10
-3
-2
10
10
-1
10
mbar ls -1
EXT70/70H/75DX
100
10
mbar
EXT70/70H/75DX
10
10
-4
10
-3
10
-2
10
-1
10
10
10
-1
Pa
Helio
10
-2
He
600
He
EXT555H
10
500
-3
10
-4
10
-3
10
-2
10
-1
10
mbar
ls -1
400
10
300
-2
10
-1
10
10
10
Pa
Nitrgeno
200
EXT70/70H/75DX
100
10
0
-6
10
10
10
-4
10
-5
10
-3
10
-4
10
-2
10
-3
10
-1
10
-2
10
10
-1
10
10
mbar
10
Pa
EXT555H
600
H2
EXT555H
500
10
EXT250M/255H/255DX
EXT70/70H/75DX
10
400
PGINA
11
mbar ls -1
Hidrgeno
ls -1
EXT250M/255H/255DX
-1
300
EXT250M/255H/255DX
200
100
10
-2
N2
EXT70/70H/75DX
0
-6
10
10
10
-4
10
-5
10
-3
10
-4
10
-2
10
-3
10
-1
10
-2
10
10
-1
10
10
10
mbar
-3
-4
10
Pa
10
-2
10
10
-3
10
-1
10
-2
10
10
-1
10
10
mbar
Pa
Relacin de compresin (relacin de compresin vs. presin de refuerzo)
10
CR
10
10
10
10
He
10
10
H2
4
10
10
10
N2
10
10
10
He
5
10
H2
4
N2
10
10
10
10
10
10
10
10
10
-3
-1
10
10
-2
10
10
EXT75DX
*N 2 Compression >10
-1
10
10
10
10
10
H2
10
10
10
mbar
10
Pa
10
-3
-1
10
10
-2
EXT70
12
10
10
-1
10
10
10
10
EXT70H
10
He
5
10
He
10
10
N2
He
10
N2
8
10
CR
10
10
CR
10
CR
10
10
H2
H2
10
10
10
mbar
10
Pa
10
-3
-1
10
10
-2
EXT250M
10
10
-1
10
10
10
10
EXT255H/
EXT255DX
10
He
H2
mbar
10
Pa
10
-3
-1
10
10
-2
10
10
-1
EXT555H
12
* N 2 Compression >10
10
10
10
10
mbar
Pa
CONTROLADORES EXC
Los controladores pueden accionar bombas diferentes (con excepcin del

EXC300M, el cual est dedicado a la bomba EXT250M).
Suministros elctricos de modalidad computada que se ajustan
automticamente a cualquier suministro elctrico.
Compatibilidad electromagntica que excede los requerimientos de las
normas europeas genricas de inmunidad y emisiones.
Suministro de energa regenerativo el cual brinda opciones de control
para la vlvula de ventilacin.
Tomas en el panel trasero para la vlvula de ventilacin, el enfriador por
aire y el indicador de vaco Active.
Control remoto total.
Espera y control de la banda de desecado desde el panel frontal (con
excepcin del EXC100E, EXC100L, EXC250E y EXC250L).
Configuracin de la velocidad "normal" y el intervalo de retardo
configurable por el usuario.
0 5 V c.c. de salida analgica proporcional a la velocidad de rotacin de
la bomba turbomolecular (0 10 V c.c. para el EXC100E y EXC100L).
Controladores EXC100E, EXC100L, EXC120, EXC300M y EXC300

Controladores para
EXC bombas turbomoleculares
Familia de controladores EXC
5
PGINA
12
Nuestros controladores de accionamiento electrnicos EXC brindan potencia

y control para las bombas y accesorios EXT. Existen siete controladores
EXC100E, EXC100L, EXC250E, EXC250L, EXC120, EXC300 y EXC300M.
Todos estos controladores, con excepcin del EXC300M, son compatibles
con nuestras bombas turbomoleculares EXT de 80 V c.c. con motores de c.c.
sin escobillas. El EXC300M es compatible con nuestra bomba de cojinetes
magnticos, la EXT250M.
El EXC120, con una potencia de salida mxima de 120W, cubre la mayora de
las aplicaciones de bombeo. El EXC300 es una versin de gran potencia del
EXC120 y har funcionar las bombas EXT a la mxima velocidad y mantendr
el desempeo del bombeo a mayores presiones de entrada.
Las familias de controladores EXC100 y EXC250 no tienen controles en el
panel frontal y estn diseados para usarse slo con control remoto. El
EXC100E y EXC250E tienen un conector externo para usar con los cables de
la bomba al controlador de 1M, 3M y 5M mencionados en la lista de accesorios
EXT. El EXC100L y EXC250L estn equipados con un cable integral de la
bomba al controlador de 1M.
Controles e indicadores en el panel frontal

Con la excepcin de las familias EXC100 y EXC250, todos los controladores
tienen los siguientes controles e indicadores en sus paneles frontales.
Start/Stop para encender y apagar la bomba
Standby para poner la bomba en modo de espera, al 70% de su velocidad
mxima
Heater para encender y apagar la banda de desecado
LED indicador de fallas se enciende cuando la bomba turbomolecular se
dispara debido a un exceso de temperatura o una sobrecarga
LED indicador de suministro elctrico se enciende cuando el EXC est
encendido
Grfico de barras indicador de velocidad tiene una pantalla de cuatro
segmentos para mostrar cuando la bomba turbomolecular ha alcanzado el
25%, 50% y 75% de la velocidad nominal
Conexiones en el panel trasero

Todos los controladores EXC cuentan con conectores en sus paneles
traseros para interfaz lgica (para control remoto), enfriador por aire, vlvula
de ventilacin e indicadores de vaco Active. Adems, el EXC120, EXC300 y
EXC300M tienen conectores para el suministro elctrico de la banda de
desecado y la conmutacin del suministro elctrico de la bomba rotativa.
Las caractersticas de la interfaz lgica son:
Control remoto del encendido, apagado y espera
Interruptores de enclavamiento del sistema de vaco para impedir la
operacin incorrecta de la bomba turbomolecular
Reportes de condiciones normales y de falla
0-5 V c.c. de salida analgica proporcional a la velocidad de la bomba
turbomolecular (0 10 V c.c. para las familias EXC100 y EXC250)
Los suministros elctricos del enfriador por aire y la vlvula de ventilacin
manual son salidas de 24 V c.c. las cuales son adecuadas para utilizar con los
accesorios EXT de BOC Edwards. El conector del indicador Active es
adecuado para utilizar con los cabezales indicadores de vaco Active de
BOC Edwards, lo que permite enclavar el funcionamiento del cabezal del
indicador y de la bomba turbomolecular.
CARACTERSTICA
EXC100E/L EXC250E/L
Funciones de control disponibles:

Control manual
Control remoto
Espera
Interruptor de la banda de
desecado en el panel frontal
Rel de conmutacin de la
bomba rotativa
Contador de horas
Funciones de visualizacin disponibles:
Suministro elctrico
Velocidad (grfico de barras
de 4 segmentos)
Bomba encendida
Bomba esperando
enclavamiento
Falla de la bomba
Emergencia axial de la bomba
Espera encendida
Banda de desecado encendida
(bombeo normal)
Bombas turbomoleculares compatibles:
EXT70, EXT70H
EXT255H
EXT250M
Serie EXT555H
Conexin directa posible para:
Enfriador por aire ACX
Vlvula de ventilacin TAV

Banda de desecado BX
Conmutacin de la bomba
rotativa
Indicador Active
EXC120
EXC300
EXC300M

El controlador EXC300M se suministra en conjunto con una bomba EXT250M y un cable de
la bomba al controlador: para informacin sobre pedidos, consulte la pgina 5-9.
EXC100E
EXC100L
EXC250E
EXC250L
EXC120
EXC300
Cables de suministro elctrico
Sin enchufe, 2 m
Enchufe RU, 2 m
Enchufe EE.UU., 2 m
Enchufe para Europa del Norte, 2 m
NMERO DE PEDIDO
D39620000
D39622000
D39635000
D39636000
D39616000
D39614000
D40013020
D40013025
D40013120
D40013030
DATOS TCNICOS
EXC100E/L
90 264
EXC250E/L
90 264
EXC120
90 264
EXC300M
90 132
y 180 264
47 63
Frecuencia del suministro elctrico (Hz)

Mxima potencia de entrada (VA)
Incluyendo la banda de desecado
Sin la banda de desecado
Mxima potencia de salida (W)
Rango de temperatura ambiente (C)
Capacidad de proteccin del alojamiento
Emisiones electromagnticas
Inmunidad electromagntica
Capacidad de contacto de la bomba rotativa1
Corriente mxima (A)
Tensin mxima (V c.a.)
Peso (Kg.)
Puntos de control
Rango del intervalo de retardo al <50% de velocidad (min.)
Intervalo de retardo fijado en la fbrica
(incremento de velocidad) (min.)
Valor de fbrica del intervalo de retardo en caso de
descenso de la velocidad (opcin S/N)
Rango de punto de control de velocidad normal (%)2
Velocidad normal de fbrica (%)3
Opciones de ventilacin, valores de fbrica
Ventilacin en el apagado del controlador, al
Ventilacin ante una falla del suministro elctrico, al
Ventilacin ante una falla de la bomba, al
Ventilacin ante una emergencia axial
Opciones de ventilacin, opciones alternativas seleccionables
Ventilacin en el apagado del controlador, despus de
Ventilacin ante una falla de la bomba, despus de
Ventilacin ante una emergencia axial
47 63
47 63
260
1003
0 40
IP20
EN61326 clase B
EN61326
440
250
0 40
IP20
EN61326 clase B
EN61326
410
260
110
0 40
IP20
EN61326 clase B
EN61326
700
550
290
0 40
IP20
EN61326 clase B
EN61326
700
550
290
0 40
IP20
EN61326 clase B
EN61326
0,9
2,0
15
250
2,0
15
250
4,6
15
250
4,6
1 30
8
1 30
8
1 30
8
1 30
8
1 30
8
no
no
no
no
no
65 95
80
65 95
80
65 95
80
65 95
80
65 95
80
50% de velocidad
50% de velocidad
50% de velocidad
50% de velocidad
50% de velocidad
50% de velocidad
50% de velocidad
50% de velocidad
50% de velocidad
50% de velocidad
50% de velocidad
50% de velocidad
50% de velocidad
50% de velocidad
50% de velocidad
2s
2s
2s
2s
2s
2s
2s
2s
2s
2s
2s
Sin ventilacin
Carga inductiva con factor de potencia de 0. 2
% de la velocidad de rotacin nominal de la bomba.
EXC100E/L
3 Bomba de 80 W + accesorios de 20 W
15
EXC250E/L
A
15
100
F
6.85
115
75
227.35
M3
13.4
115.5
15
15
M3
88.9
52
246.65
7.6
88.9
13
75
F
E
261
G
E
G
1.6
261.2
1.6
EXC300/EXC300M
EXC120
A
B
127
132.5
132.5
122.5
15
122.5
F
C
142
246
198.1
75
15
3.5
3.5
4.9
213
3.5
5.35
112.7
198.1
208.8
Panel frontal
Vista superior
296
75
5.35
137.7
A
B
C
D
Espacio para el doblez del cable

Disyuntor del panel
E
F
4.9
127
122.5
112.7
3.5
D
122.5
Vista lateral
Espacio para ventilacin
Placa adaptadora opcional, para instalar

el EXC100E en lugar del EXC120E
5
PGINA
13
47 63
EXC300
90 132
y 180 264
47 63
Tensin del suministro elctrico (V)
CONTROLADOR DE BOMBAS
TURBOMOLECULARES E INSTRUMENTOS TIC
Controlador de bombas turbomoleculares e instrumentos TIC
5
PGINA
14
Un controlador de bombas turbomoleculares e instrumentos compacto con

una pantalla para grficos grande y clara, una interfaz del usuario intuitiva y una
interfaz de comunicaciones serial que brindan control remoto total y
funciones de inscripcin de datos por medio de un nuevo programa de PC
basado en WindowsTM.
El controlador reconoce automticamente y soporta hasta tres indicadores de
la familia BOC Edwards (con excepcin de IGC y Barocels), y una bomba
turbomolecular de 24 V de la familia EXT. El soporte para el enfriamiento y la
vlvula de ventilacin se brinda directamente desde el controlador. Se brinda
control para bombas de refuerzo para una bomba de diafragma compacta de
24 V (en versiones de 200 W solamente), o donde se requiera mayores
velocidades de bombeo, las bombas de refuerzo de red principal (hasta
E2M28) pueden controlarse por medio de una caja de rels opcional. La caja
de rels tambin controla la banda calentadora de la red principal y la vlvula
de aislamiento de la lnea de refuerzo y puede incluir tres rels de transferencia
de 250 V c.c. y 3 A, los cuales son activados por las salidas de valor
predeterminado del indicador de apertura del colector.
Los manmetros de alta presin pueden utilizarse para iniciar bombas
turbomoleculares y manmetros de baja presin; alternativamente, los
retardos de tiempo y seales normales pueden utilizarse para controlar
eventos como el arranque de bombas turbomoleculares e instrumentos.
Existe una amplia seleccin de caractersticas de enclavamiento para mayor
proteccin y seguridad.
El controlador de bombas turbomoleculares e instrumentos TIC puede
montarse en un bastidor o banco y brinda un medio til para la operacin
flexible de una amplia variedad de configuraciones de sistemas de vaco.
Controlador universal de bombas turbomoleculares e
instrumentos
El TIC reconoce automticamente y controla hasta tres indicadores
Active y una bomba turbomolecular de 24 V de las familias DX o EXDC.
La versin de 200 W brinda suficiente potencia para asegurar el
desempeo ptimo de las bombas turbomoleculares 255 de mayor
tamao. Las bombas turbomoleculares DX tienen una comunicacin total
por puerto serial con el TIC y ambos pueden configurarse y reportar su
estado por medio del TIC.
Soporte para bombas de refuerzo
Tanto las bombas de refuerzo conectadas a la red principal como las de
24 V pueden controlarse con el TIC. La versin de 200 W soporta la
nueva bomba seca de diafragma XDD1. Para sistemas de vaco ms
grandes, tanto la versin de 100 W como la de 200 W pueden controlar
bombas de refuerzo conectadas a la red principal incluyendo la XDS10 y
hasta la RV12, por medio de una caja de rels opcional.
Opciones de rel
Tres cajas de rels opcionales estn disponibles para usar con el TIC.
Entre ellas se incluye una versin con tres rels de transferencia de 250 V
y 3 A, activados por las salidas de punto de control de apertura del
colector internas del TIC. Otra versin controla una bomba de refuerzo
conectada a la red principal, la banda de calentador de la bomba
turbomolecular y la vlvula de aislamiento de la lnea de refuerzo. La

ltima caja de rels combina estas caractersticas para brindar rels de
transferencia de 250 V, bomba de refuerzo y controles auxiliares.
Todas las cajas de rels incluyen un equipo de derivacin lgica para una
mayor integracin del sistema.
Configuracin de un sistema simple
En la mayora de las instancias, los sistemas TIC pueden configurarse de
manera sencilla y rpida mediante el uso de la gran variedad de cables
estndar en oferta, por lo tanto, no hay necesidad de que el cliente
prepare conjuntos de cables o cajas de rels e interfaces especiales.
Lectura de presin directa
TIC incluye tablas de bsqueda para una variedad de gases de proceso que
se encuentran comnmente (N2, He, Ar, CO2, Kr & Ne). La seleccin del
gas apropiado permite una lectura directa de la presin correcta sin
necesidad de aplicar factores de conversin.
Instrumento compacto
TIC se presenta en un gabinete compacto y puede montarse en un panel
o en un bastidor (bastidor 3U de 19"). Con la adicin de un marco, se
transforma en un atractivo instrumento para montar en un banco.
Interfaz grfica del usuario clara y fcil de usar
La gran pantalla LCD retroiluminada de 128 x 64 pxeles y el sistema de
mens similar al de un telfono celular simplifica la programacin y una
eleccin de pantallas de resumen asegura la excelente visibilidad de los
parmetros en pantalla.
Suministro elctrico universal
TIC operar con suministros de la red con una tensin que oscila entre
90 y 264 V c.a., y frecuencias entre 47 y 63 Hz. No se requiere la
intervencin del usuario.
Comunicaciones por puerto serial
Para permitir una integracin completa a los procedimientos controlados
por PC y PLC, todas las variantes del TIC incluyen interfaces RS232 y
RS485 como estndar.
WindowsTM Programa para PC
TIC se suministra con un nuevo programa para PC con WindowsTM que
permite una configuracin y control totales desde una PC mediante la
interfaz RS232.
Actualizaciones de software
A medida que se lanzan nuevos productos compatibles, el software del
TIC puede actualizarse de manera sencilla mediante el utilitario especial
suministrado con el programa de PC para WindowsTM.
Las actualizaciones de software del TIC estarn disponibles por medio de
correo electrnico e Internet.
DATOS TCNICOS
BOMBA TURBOMOLECULAR 24 V
VARIANTE TIC
100 W
200 W
OPCIONES DE BOMBA
TURBOMOLECULAR
EXT75DX
EXT70H y EXDC80
EXT255H y EXDC80*
EXT255H y EXDC160
EXT255DX
Rpida
Rpida
Lenta
N/D
Lenta**
La velocidad de la rampa est limitada por el uso de la bomba EXDC80
**
Cuando est configurada para un arranque a baja potencia
Interfaz lgica
Entradas de control
Arranque/parada de la bomba
turbomolecular*
Espera de la bomba
turbomolecular
Activacin de
indicadores 1, 2, 3
Arranque/parada de la
bomba de refuerzo*
Rpida
Rpida
Lenta
Rpida
Rpida
El conector de la interfaz lgica incluye las

funciones mencionadas a continuacin.
Puede utilizarse para conectarse a rels del
sistema, un sistema de control de nivel
superior o una caja de rels opcional. Al
utilizar el conector pasante de la caja de rels,
puede utilizarse una combinacin de un
sistema de control superior y una caja de rels.
Cerrado cuando la potencia es baja <0,5 V c.c.
Abierto cuando la potencia es alta: 4 a 24 V c.c
Interruptor de enclavamiento
del sistema SYSI
Salidas de control
Control de la vlvula de
ventilacin
Control de la banda
calentadora
Control de la bomba
de refuerzo
Enfriador por aire
Salidas de estado
Salida analgica
Punto de control A, B, C
Velocidad normal de la bomba
turbomolecular
Alarma
Interfaz serial

Opciones de montaje en banco o bastidor

(Sub bastidor 3 U de 1/4 19")
O/C 24 V c.c. 100 mA

O/C 24 V c.c. 50 mA
BOC
O/C 24 V c.c. 100 mA
EDW
ARD
S
O/C 24 V c.c. 200 mA

0 10 V c.c
O/C 24 V c.c. 50 mA
O/C 24 V c.c. 50 mA
O/C 24 V c.c. 50m A
TIC tiene dos protocolos de comunicaciones
incorporados, RS232 y RS485.
stos pueden utilizarse para conectarse a una
PLC o a una PC mediante el uso del paquete
de software de WindowsTM PC suministrado
para un monitoreo y control totales de un
sistema TIC.
* Los comandos arranque/parada son del tipo "edge triggered".
INSTRUMENTOS
INSTRUMENTOS
DEL CONTROLADOR DEL CONTROLADOR
DE BOMBAS
DE BOMBAS
TURBOMOLECULARES TURBOMOLECULARES
TIC 100 W RS232
TIC 200 W RS232
Perno de tierra
90 a 264 V c.a. 47 a 63 Hz
215 VA
350 VA
10,3 A a 110 V c.a.

23,0 A a 230 V c.a.
TIC cuenta con proteccin propia y no contiene
fusibles que puedan ser reemplazados por el usuario.
La unidad se recuperar cuando se elimine la
sobrecarga.
M4
Interfaces externas
Terminales auxiliares
Ventilador de enfriamiento por aire
Cables de interfaz
Dimensiones
Alojamiento del sistema electrnico
Panel frontal
Peso
Controlador de bombas
de 100 W RS232
de 200 W RS232
Temperatura de operacin
Temperatura de almacenamiento
Humedad ambiente de operacin mxima
Mxima altitud operativa
Diseo electrnico
Compatibilidad electromagntica
Capacidad del alojamiento
24 V c.c. 3 W mx, ACX70, ACX75 y

ACX250H
24 V c.c. 2 W mx, TYAV5 y TAV6
Utilice los cables que se especifican en la
"informacin sobre pedidos"
110 mm de alto x 105 mm de ancho x
245 mm de profundidad
106 mm de ancho x 128 mm de alto
2,75 kg
3,5 kg
+0 a +40 C
-30 a +70 C
90% RH sin condensacin a 40 C
3000 m
EN 61010-1
EN 61326 Ubicacin industrial,
Emisiones clase B
IP20
5
PGINA
15
Pantalla: LCD para grficos retroiluminada de 128 x 64 pxeles

Las funciones de control en el teclado del panel frontal incluyen:
Botn Desplazar hacia arriba
Botn Desplazar hacia abajo
Botn Enter/Seleccionar
Botn Men/Volver
Botn Ciclar
Entrada de la red
Suministro elctrico
Consumo de energa
(mx)
Mxima corriente de
irrupcin
Fusible
BOC
EDW
ARD
S
Los tres rels de punto de control, que son resaltados cuando se activan,
pueden estar conectados a cualquier indicador.
Entradas de los indicadores

Las variantes del TIC con soporte de instrumentos reconocen y controlan los
siguientes indicadores:
APG, APGX, ATC, ASG, AIM, WRG y AIGX*
5
PGINA
16
1
2
3
4
5
6
7
8
9
*
Entradas de los indicadores

FCC68 (RJ45)
Interfaz lgica
Toma D de 25 clavijas
Bomba de refuerzo de 24 V
Toma 'D' de 15 clavijas *
Bomba turbomolecular de 24 V
RS232/485
Toma 'D' de 9 clavijas
Perno de tierra
M4
Entrada de la red elctrica
Enchufe CEE/IEC 320
Interruptor de encendido/apagado de la red elctrica
Terminales auxiliares de la vlvula de ventilacin y el
ventilador (suministro de 24 V)
Terminal de 4 clavijas con tornillos
Disponible en versiones de 200 W solamente
(Para obtener informacin sobre el soporte de la bomba de refuerzo

conectada a la red elctrica, vea a continuacin.)
Las variantes del TIC que soportan bombas turbomoleculares de 200 W
reconocen y controlan las siguientes bombas de refuerzo de 24 V:
XDD1
Caja de rels (opcionales)

Descripcin general Una variedad de cajas de rels han sido desarrolladas
para permitir que el TIC opere tres rels de transferencia (no inductivos) de
250 V c.a. y 3 A, bombas de refuerzo conectadas a la red principal y accesorios.
Los rels de transferencia son activados por las salidas de puntos de control
del TIC. El rel de la bomba de refuerzo de la red principal controla una vlvula
de aislamiento de la lnea de refuerzo, de modo que cuando se apaga la bomba
de refuerzo, la vlvula de aislamiento se cierra.
La caja de rels se conecta al TIC por medio de un conector de interfaz lgica,
el cual se suministra con un conector de derivacin para conectarse con el
equipo OEM.
Opciones de caja de rels
Interfaz de la pantalla
Instrumentos de la caja de rels del TIC
Caja de rels del TIC y bomba de refuerzo
pequea
Instrumentos de la caja de rels del TIC y
bomba de refuerzo pequea
Bomba de refuerzo
pequea
Banda calentadora y
vlvula de aislamiento
de la lnea de
refuerzo.
3
9
* No ms de un indicador AIGX puede estar conectado al TIC por vez.
Rels de
transferencia
(3 de 250 V c.a. y 3 A)
Bombas de refuerzo de red principal y accesorios compatibles

Bombas de refuerzo pequeas: E2M0.7 & 1.5, RV3, 5, 8 & 12, XDS5C y 10C,
XDS5 & 10 y ESDP12
Banda calentadora: BX70 y BX250
Vlvula de aislamiento de la lnea de refuerzo: LCPV16EKA y LCPV25EKA
El software del TIC est estructurado en una serie de pantallas fcilmente

accesibles, similares a las de un telfono celular.
TIC reconoce automticamente qu indicadores y bombas turbomoleculares
estn conectados y muestra la informacin apropiada en la pantalla de
resumen por defecto. Mediante desplazamientos y selecciones se accede al
control y a los mens de configuracin para ese componente.
La velocidad de la bomba turbomolecular se muestra como una proporcin
de la velocidad mxima mediante un grfico de barras. "Norm" indica que la
bomba turbomolecular ha alcanzado su velocidad normal, mientras que los
galones que apuntan hacia adelante o hacia atrs indican aceleracin y
desaceleracin.
Se muestra el estado de la bomba, el cual combinado con las salidas de los
indicadores y el estado de los rels da una clara indicacin de lo que est
sucediendo en el sistema de vaco.
Existe un nmero de opciones de pantalla para obtener la mxima claridad.
Adems, pueden aplicarse dos niveles de proteccin con contrasea,
restringiendo o impidiendo de manera efectiva la intervencin no autorizada.
En caso de que ocurra un error, el TIC mostrar un cartel de WARNING
(advertencia) o uno parpadeante de ALARM (alarma). Una advertencia avisa
de una condicin que se encuentra fuera de los parmetros normales, pero
que no requiere accin, pero una alarma debe ser resuelta antes de que pueda
reanudarse el funcionamiento normal.
Las unidades de la pantalla pueden estar en mbar, Torr, Pa o Voltios
2
3
4
10
Las configuraciones del sistema TIC pueden crearse y guardarse para su uso
posterior, ahorrando de esa manera tiempo de programacin.
El software de PC incluye un utilitario de actualizacin, el cual permite que el
software del TIC pueda actualizarse por medio de la conexin al puerto serial
a partir de archivos suministrados electrnicamente.
Programam para PC de WindowsTM

TIC se suministra con un software para PC con WindowsTM totalmente
funcional, el cual replica y se agrega a los mens de control del TIC.
El software de PC permite que los sistemas TIC puedan ser configurados,

controlados y monitoreados desde una sola PC.
Tambin se incluye una til funcin de inscripcin de datos, la cual guarda
parmetros seleccionables por el usuario en un archivo (en formato .csv) para
su posterior anlisis utilizando software adecuado.
.
5
PGINA
17

Enchufe CEE/IEC 320
Vlvula de aislamiento de la lnea de refuerzo Toma DIN de 3 clavijas
Rels de transferencia de 250 V y 3 A
Enchufe positrnico de 12 clavijas *
Interfaz lgica ( del TIC)
Equipo de derivacin lgica (PC, PLC, etc.)
Perno de tierra
M4 *
Fusible de la banda calentadora
Banda calentadora
Toma CEE/IEC 320
Fusible de la bomba de refuerzo de red elctrica
Bomba de refuerzo de red elctrica
Toma CEE/IEC 320
Disponible en los instrumentos de la caja de rels del TIC y bomba de refuerzo pequea
Disponible en caja de rels del TIC

Nota: Se muestra la variante combinada de instrumentos y bomba de refuerzo pequea.
1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
*
Ejemplos de configuraciones
COMPONENTE
NMERO DE
PEDIDO
DESCRIPCIN
D39722000
D40013025
D14701000
A74601991
B72241000
B58053075
D39700836
D39700836
D40001005

instrumentos TIC 200 W RS232*
Cable de red elctrica RU, 2m
C
D
E
F
G
H
J
WRG-S-NW25
XDD1 - Bomba de diafragma de 24 V c.c.
EXT75DX ISO63
ACX75 - Enfriador por aire

XDD/DX/EXDC - cable de extensin, 2 m
XDD/DX/EXDC - cable de extensin, 2 m (opcional)
Cable de indicador Active, 0,5 m
* Al utilizarse con una bomba XDD1, la bomba turbomolecular debera estar controlada por un indicador
o estar sujeta a una demora en el arranque.
A
C
PGINA
18
COMPONENTE
NMERO DE
PEDIDO
DESCRIPCIN
D39721000

instrumentos TIC 100 W RS232
B
C
D
E
F
G
H
J
K
L
M
N
P
Q
R
S
T
*
D40013025
D39711805
D02372000
D04850000
D14701000
A65201903
B72241000
B58052060
B58066010
B58053075
D39700833
D39700831
D39700833
D39700836
D39700834
D40001020
N/D
G
H
K
Caja de rels del TIC y bomba de refuerzo pequea

L
APGX-M-NW25 STST
AIGX-S-NW25
WRG-S-NW25
M
Bomba RV3 monofsica

Q
EXT75DX ISO63
BX70 - Banda calentadora 240 V 60 W*
Tav5 - Vlvula de ventilacin
P
R

Cable para interfaz lgica del TIC, 2 m
Cable de red elctrica para el TIC IEC320 M/F, 2 m

A
Cable para interfaz RS232 del TIC, 2 m (opcional)

D
Cable de indicador Active, 2 m

PC con interfaz RS232 (opcional)
B
E
Para uso con bombas enfriadas por agua solamente.

B
F

K
H
J
G
M
L
P
N
Q
R
A
D
B
E
NMERO DE
PEDIDO
DESCRIPCIN
D39722000
D40013025
D39711805
D02371000
D04850000
D14701000
A72701903
D75301991
D39646000
B58066010
B58053160
D39700831
D39700833
D39700836
D39700834
D40001010
N/D

Cable de red elctrica UK, 2m
C
D
E
F
G
H
J
K
L
M
N
P
Q
R
S

APGX-M-NW16 AL
AIGX-S-NW25
WRG-S-NW25
XDS10
EXT255H DN100ISO-K 24 V
EXDC160 24 V
TAV 5 - Vlvula de ventilacin
ACX250H - Enfriador por aire
Cable de red elctrica para el TIC IEC320 M/F, 2 m
Cable de interfaz RS232, 2 m (opcional)
NMERO DE PEDIDO
D39721000
D39722000
D39700804
D39711805
D39721806
D40013025
D40013120
D40013030
D39700831
D39700832
D39700833
D39700834
D39700835
D39700836
D39700837
D40001005
D40001010
D40001030
D40001050
D40001100
D40001150
D40005150
D40001250
D40005300
D40001500
D40001999
D39700803
5
PGINA
19
COMPONENTE
Controladores (suministrados con manuales y software)

Cajas de rels (suministradas con un conjunto de
conectores adecuados)
Instrumentos de la caja de rels del TIC
(3 rels de transferencia de 250 V c.a. y 3 A)
Instrumentos de la caja de rels del TIC y bomba
de refuerzo pequea
Cables
Cables de red elctrica
(Suministro del TIC y la caja de rels)
Enchufe para RU, 2 m
Enchufe para EE.UU., 2 m
Cables de red elctrica
(caja de rels para bombas tipo RV y XDS)
Cable de red elctrica para el TIC IEC320 m/f, 2 m
Cables de interfaz
Cable para interfaz RS232 del TIC, 2 m
Cables de extensin para bombas de 24 V
(utilcelos con bombas tipo EXDC, DX y XDD1)
XDD/DX/EXDC -cable de extensin, 1 m
Cables de indicador Active (incluyen conexiones
FCC68 compatibles en ambos extremos)
Cable de indicador Active, 0,5 m
Cable de indicador Active de 15 m (24 AWG)
Cable de indicador Active de 30 m (24 AWG)
Otros accesorios y productos de soporte
Conjunto de marco frontal para el TIC (repuesto)
CONTROLADOR DE BOMBAS
TURBOMOLECULARES TIC
Controlador de bombas turbomoleculares TIC
5
PGINA
20
Un controlador de bombas turbomoleculares compacto con una pantalla para

grficos grande y clara, una interfaz del usuario intuitiva y una interfaz de
comunicaciones serial que brindan control remoto total y funciones de
inscripcin de datos por medio de un nuevo programa de PC basado en
WindowsTM.
El controlador reconoce automticamente y soporta una bomba
turbomolecular de 24 V de la familia EXT. El soporte para el enfriamiento y la
vlvula de ventilacin se brinda directamente desde el controlador. Se brinda
control para bombas de refuerzo para una bomba de diafragma compacta de
24 V (en versiones de 200 W solamente), o donde se requiera mayores
velocidades de bombeo, las bombas de refuerzo de la red principal (hasta
E2M28) pueden controlarse por medio de una caja de rels opcional. La caja
de rels tambin puede utilizarse para controlar una banda calentadora y una
vlvula de aislamiento de la lnea de refuerzo.
Los retardos de tiempo y seales de velocidad normal pueden utilizarse para
controlar eventos como el arranque de la bomba turbomolecular y existe una
amplia seleccin de caractersticas de enclavamiento para mayor proteccin y
seguridad.
El controlador de bombas turbomoleculares TIC puede montarse en un
bastidor o banco y brinda un medio til para la operacin flexible de una amplia
variedad de configuraciones de sistemas de vaco.
Instrumento compacto
TIC se presenta en un gabinete compacto y puede montarse en un panel
o en un bastidor (bastidor 3U de 19"). Con la adicin de un marco, se
transforma en un atractivo instrumento para montar en un banco.
Interfaz grfica del usuario clara y fcil de usar
La gran pantalla LCD retroiluminada de 128 x 64 pxeles y el sistema de
mens similar al de un telfono celular simplifica la programacin y una
eleccin de pantallas de resumen asegura la excelente visibilidad de los
parmetros en pantalla.
Suministro elctrico universal
TIC operar con suministros de la red con una tensin que oscila entre
90 y 264 V c.a., y frecuencias entre 47 y 63 Hz. No se requiere la
intervencin del usuario.
Comunicaciones por puerto serial
Para permitir una integracin completa a los procedimientos controlados
por PC y PLC, todas las variantes del TIC incluyen interfaces RS232 y
RS485 como estndar.
WindowsTM Programa para PC
TIC se suministra con un nuevo programa para PC con WindowsTM que
permite una configuracin y control totales desde una PC mediante la
interfaz RS232.
Actualizaciones de software
A medida que se lanzan nuevos productos compatibles, el software del
TIC puede actualizarse de manera sencilla mediante el utilitario especial
suministrado con el programa de PC para WindowsTM.
Las actualizaciones de software del TIC estarn disponibles por medio de
correo electrnico e Internet.
DATOS TCNICOS
BOMBA TURBOMOLECULAR 24 V
VARIANTE TIC
100 W
200 W
OPCIONES DE LA BOMBA
TURBOMOLECULAR
EXT75DX
EXT70H y EXDC80
EXT255H y EXDC80*
EXT255H y EXDC160
Rpida
Rpida
Lenta
Rpida
* La velocidad de la rampa est limitada por el uso del EXDC80.
Interfaz lgica
Controlador universal de bombas turbomoleculares e
instrumentos
El TIC reconoce automticamente y controla una bomba turbomolecular
de 24 V de las familias DX o EXDC. La versin de 200 W brinda suficiente
potencia para asegurar el desempeo ptimo de las bombas 255 de mayor
tamao. Las bombas turbomoleculares DX tienen una comunicacin total
por puerto serial con el TIC y ambos pueden configurarse y reportar su
estado por medio del TIC.
Soporte para bombas de refuerzo
Tanto las bombas de refuerzo conectadas a la red principal como las de
24 V pueden controlarse con el TIC. La versin de 200 W soporta la
nueva bomba seca de diafragma XDD1. Para sistemas de vaco ms
grandes, tanto la versin de 100 W como la de 200 W pueden controlar
bombas de refuerzo conectadas a la red principal incluyendo la XDS10 y
hasta la RV12, por medio de una caja de rels opcional.
Opciones de rel
La caja de rels externa opcional permite que las bombas de refuerzo de
la red principal puedan ser controladas y tambin brinda interfaces para
una banda calentadora de la bomba turbomolecular, una vlvula de
aislamiento para la lnea de refuerzo y un equipo de derivacin lgica.
Todas las cajas de rels incluyen un equipo de derivacin lgica para una
mayor integracin del sistema.
Configuracin de un sistema simple
En la mayora de las instancias, los sistemas TIC pueden configurarse de
manera sencilla y rpida mediante el uso de la gran variedad de cables
estndar en oferta, por lo tanto, no hay necesidad de que el cliente
prepare conjuntos de cables o cajas de rels e interfaces especiales.
Rpida
Rpida
Lenta
N/D
Entradas de control
turbomolecular*
Espera de la bomba
turbomolecular
de refuerzo*
Interruptor de enclavamiento
del sistema SYSI
Salidas de control
Control de la vlvula de
ventilacin
Control de la banda calentadora
Control de la bomba de
refuerzo
Enfriador por aire
Salidas de estado
Salida analgica
Punto de control A, B, C
Velocidad normal de la bomba
turbomolecular/alarma
Interfaz serial
El conector de la interfaz lgica incluye las

funciones mencionadas a continuacin.
Puede utilizarse para conectarse a rels del
sistema, un sistema de control de nivel
superior o una caja de rels opcional. Al utilizar
el conector pasante de la caja de rels, puede
utilizarse una combinacin de un sistema de
control superior y una caja de rels.
O/C 24 V c.c. 100 mA

O/C 24 V c.c. 50 mA
O/C 24 V c.c. 100 mA
O/C 24 V c.c. 200 mA
0 10 V c.c
O/C 24 V c.c. 50 mA
O/C 24 V c.c. 50m A
TIC tiene dos protocolos de comunicaciones
incorporados, RS232 y RS485.
Estos pueden utilizarse para conectarse a una
PLC o a una PC mediante el uso del paquete de
software de WindowsTM PC suministrado
para un monitoreo y control totales de un
sistema TIC.
Los comandos arranque/parada son del tipo "edge triggered".
INSTRUMENTOS
INSTRUMENTOS
DEL CONTROLADOR DEL CONTROLADOR
DE BOMBAS
DE BOMBAS
TURBOMOLECULARES TURBOMOLECULARES
TIC 100 W RS232
TIC 200 W RS232
Entrada de la red
Suministro elctrico
Consumo de energa
(mx)
Mxima corriente de
irrupcin
Fusible
Perno de tierra
90 a 264 V c.a. 47 a 63 Hz
215 VA
350 VA
10,3 A a 110 V c.a.

23,0 A a 230 V c.a.
TIC cuenta con proteccin propia y no contiene
fusibles que puedan ser reemplazados por el usuario.
La unidad se recuperar cuando se elimine la
sobrecarga.
M4
Interfaces externas
5
PGINA
21
Opciones de montaje en banco o bastidor

(Sub bastidor 3 U de 1/4 19")
Pantalla: LCD para grficos retroiluminada de 128 x 64 pxeles
Las funciones de control en el teclado del panel frontal incluyen:
Botn Desplazar hacia arriba
BOC
Botn Desplazar hacia abajo

EDW
ARD
Botn Enter/Seleccionar
Botn Men/Volver
Botn Ciclar
Terminales auxiliares
Ventilador de enfriamiento por aire 24 V c.c. 3 W mx, ACX70, ACX75 y
ACX250H
24 V c.c. 2 W mx, TYAV5 y TAV6
Cables de interfaz
Utilice los cables que se especifican en la
"informacin sobre pedidos"
Dimensiones
Alojamiento de electrnica
110 mm de alto x 105 mm de ancho x
245 mm de profundidad
Panel frontal
106 mm de ancho x 128 mm de alto
Peso
turbomoleculares TIC 100 W
2,75 kg
RS232
turbomoleculares TIC 200 W
3,5 kg
RS232
Temperatura de operacin
+0 a +40 C
Temperatura de almacenamiento
-30 a +70 C
Humedad ambiente de operacin
mxima
90% RH sin condensacin a 40 C
Mxima altitud operativa
3000 m
Diseo electrnico
EN 61010-1
Compatibilidad electromagntica
EN 61326 (Ubicacin industrial,
Emisiones clase B)
Capacidad del alojamiento
IP20
BOC
EDW
ARD
S
(Para obtener informacin sobre el soporte de la bomba de refuerzo
conectada a la red elctrica, vea a continuacin.)
Las variantes del TIC que soportan bombas turbomoleculares de 200 W
reconocen y controlan las siguientes bombas de refuerzo de 24 V:
XDD1
PGINA
22
Bomba turbomolecular de 24 V
Interfaz lgica
RS232/485
Perno de tierra
Interruptor de encendido/apagado de la red elctrica
Suministro auxiliar de las terminales de ventilacin (24 V)
Disponible en versiones de 200 W solamente
Descripcin general Una variedad de cajas de rel han sido desarrolladas

para permitir que el TIC opere bombas de refuerzo de red principal y
accesorios.
El rel de la bomba de refuerzo de la red principal controla una vlvula de
aislamiento de la lnea de refuerzo, de modo que cuando se apaga la bomba de
refuerzo, la vlvula de aislamiento se cierra.
La caja de rels se conecta al TIC por medio de un conector de interfaz lgica,
el cual se suministra con un conector de derivacin para conectarse con el
equipo OEM.
Opciones de caja de rels
5
Toma D de 25 clavijas
M4
Enchufe CEE/IEC 320
vlvula y ventilador
Terminal de 4 clavijas con tornillos
Interfaz de la pantalla
Caja de rels del TIC y bomba de refuerzo

pequea
Instrumentos de la caja de rels del TIC y
bomba de refuerzo pequea
Bombas de refuerzo de red elctrica compatibles y accesorios

Bombas de refuerzo pequeas: E2M0.7 & 1.5, RV3, 5, 8 & 12, XDSC5 y 10,
XDS5 y 10, ESDP12
Banda calentadora: BX70 y BX250
Vlvula de aislamiento de la lnea de refuerzo: LCPV16EKA y LCPV25EKA
1
MAINS IN
ISOLATION
VALVE
3
9
El software del TIC est estructurado en una serie de pantallas fcilmente

accesibles, similares a las de un telfono celular.
TIC reconoce automticamente qu bomba turbomolecular est conectada y
muestra la informacin apropiada en la pantalla de resumen por defecto.
Mediante desplazamientos y selecciones se accede al control y a los mens de
configuracin para ese componente.
La velocidad de la bomba turbomolecular se muestra como una proporcin
de la velocidad mxima mediante un grfico de barras. "Norm" indica que la
bomba turbomolecular ha alcanzado su velocidad normal, mientras que los
galones que apuntan hacia adelante o hacia atrs indican aceleracin y
desaceleracin.
Dos niveles de proteccin con contrasea estn disponibles, restringiendo o
impidiendo de manera efectiva la intervencin no autorizada.
Se muestra el estado de la bomba, lo que da una clara indicacin de lo que est
sucediendo en el sistema de vaco.
En caso de que ocurra un error, el TIC mostrar un cartel de WARNING
(advertencia) o uno parpadeante de ALARM (alarma). Una advertencia avisa
de una condicin que se encuentra fuera de los parmetros normales, pero
que no requiere accin, pero una alarma debe ser resuelta antes de que pueda
reanudarse la operacin normal.
Los tres rels de punto de control, que son resaltados cuando se activan,
pueden estar conectados a la velocidad de la bomba turbomolecular.
BACKING PUMP
LOGIC INTERFACE
30V MAX
1
2
3
4
5
6
7
8
*
Caja de rels (opcionales)
Bomba de refuerzo
pequea
Banda calentadora y
vlvula de aislamiento
de la lnea de
refuerzo.
Rels de
transferencia
(3 de 250 V c.a. y 3 A)
F1
7
F2
HEATER
USER
6
1
2
3
4
5
6
7
8
9

Vlvula de aislamiento de la lnea de refuerzo
Interfaz lgica (del TIC)
Equipo de derivacin lgica (a PC, PLC etc.)
Perno de tierra
Fusible de la banda calentadora
Banda calentadora
Fusible de la bomba de refuerzo de red elctrica
Bomba de refuerzo de red elctrica
TIC
4
Enchufe CEE/IEC 320
Toma DIN de 3 clavijas
M4
Toma CEE/IEC 320
Toma CEE/IEC 320
Programa para PC de WindowsTM

TIC se suministra con un software para PC con WindowsTM totalmente
funcional, el cual replica y se agrega a los mens de control incorporados del
TIC.
El software de PC permite que los sistemas TIC puedan ser configurados,

controlados y monitoreados desde una sola PC.
Tambin se incluye una til funcin de inscripcin de datos, la cual guarda
parmetros seleccionables por el usuario en un archivo (en formato .csv) para
su posterior anlisis utilizando software adecuado.
5
PGINA
23
Las configuraciones del sistema TIC pueden crearse y guardarse para su uso
posterior, ahorrando de esa manera tiempo de programacin.
El software de PC incluye un utilitario de actualizacin, el cual permite que el
software incorporado del TIC pueda actualizarse por medio de la conexin al
puerto serial a partir de archivos suministrados electrnicamente.
COMPONENTE
NMERO DE
PEDIDO
DESCRIPCIN
D39712000
D40013025
A74601991
B72241000
B58053075
D39700836
D39700836
Controlador para bombas turbomoleculares

TIC 200 W RS232*
C
D
E
F
G
XDD1 -Bomba de diafragma de 24 V c.c.

EXT75DX ISO63
ACX75 Enfriador por aire

XDD/DX/EXDC -cable de extensin, 2 m (opcional)
* Al utilizarse una bomba XDD1, la bomba turbomolecular debera estar sujeta a una corta demora.
PGINA
24
COMPONENTE
NMERO DE
PEDIDO
DESCRIPCIN
D39712000
D40013025
D39711805
A74601991
B72241000
B58052060
B58066010
B58053075
D39700833
D39700836
D39700836
D39700834
N/D

TIC 200 W RS232
C
D
E
F
G
H
J
K
L
M
N
E
G
D

XDD1 -Bomba de diafragma de 24 V c.c.
EXT75DX ISO63
BX70 -Banda calentadora 240 V 60 W*
TAV5 - Vlvula de ventilacin

Cable de interfaz RS232 para el TIC, 2 m (opcional)
* Para uso con bombas enfriadas por agua solamente.

E
G
H
D
K
J
Controladores (suministrados con manuales y software)

Controlador de bombas turbomoleculares TIC 100 W RS232
Controlador de bombas turbomoleculares TIC 200 W RS232
Cajas de rels (suministradas con un conjunto de conectores
adecuados)
Bomba de refuerzo pequea de la caja de rels del TIC
Cables
Cables de red elctrica (Suministro del TIC y la caja de rels)
Enchufe para RU, 2 m
Enchufe para EE.UU., 2 m
Cables de red elctrica (caja de rels para bombas tipo RV y XDS)
Cables de interfaz
Cable para interfaz RS232 del TIC, 2 m
Cables de extensin para bombas de 24 V (utilcelos
con bombas tipo EXDC, DX y XDD1)
Otros accesorios y productos de soporte
Conjunto de marco frontal para el TIC (repuesto)
COMPONENTE
NMERO DE
PEDIDO
DESCRIPCIN
D39711000
D40013025
D39711805
A37122919
B72221991
D39645000
B58066010
B58053075
D39700833
D39700836
D39700834
N/D

TIC 100 W RS232
C
D
E
F
G
H
J
K
L
M

Bomba E2M1.5 monofsica
EXT70H DN63ISO-K 24 V
EXDC80 24 V
TAV5 - Vlvula de ventilacin
ACX75 Enfriador por aire
Cable de interfaz RS232 para el TIC, 2 m (opcional)
D39711000
D39712000
D39711805
D40013025
D40013120
D40013030
D39700831
D39700832
D39700833
D39700834
D39700835
D39700836
D39700837
5
PGINA
25
D39700803
NMERO DE PEDIDO
ACCESORIOS EXT
ENFRIADOR POR AIRE ACX
Accesorios EXT
Ofrecemos una familia completa de accesorios y repuestos para las bombas

EXT. A continuacin encontrar una breve descripcin de cada uno de estos
componentes.
2
13
12
DESCRIPCIN DEL
PRODUCTO
PARA INSTALARSE EN LAS

BOMBAS
ACX75
ACX250
ACX250H
ACX555H
EXT70, EXT70H, EXT75DX

EXT250M
EXT255H, EXT255DX
EXT555H
NMERO DE PEDIDO
B58053075
B58053150
B58053160
B58053561
BANDA DE DESECADO BX
5
11
6
Utilice una banda de desecado BX para incrementar la velocidad de

desgasificacin del cuerpo de la bomba para lograr una evacuacin ms rpida
y una menor presin final. Las bandas de desecado slo se instalan en bombas
con bridas CF y/o diseadas para utilizarse en sistemas de vaco
ultra alto.
Las bandas de desecado estn disponibles para su uso con suministro
elctricos de 110-120 o 220-240 V c.a. y pueden ser alimentadas desde una
toma en el panel trasero en el controlador EXC/TIC o la bomba DX. Se
suministra con un cable de 3 m y un conector CE22 adecuado.
7
10
Un enfriador por aire ACX se utiliza para enfriar una bomba EXT cuando un
suministro de agua para enfriamiento adecuado no est disponible o para una
bomba EXT en un sistema de bombeo mvil. El enfriador por aire ACX es un
conjunto de ventilador elctrico encerrado y mnsula de sujecin que se
instala fcilmente en los orificios para pernos en la base de la bomba.
El enfriador por aire ACX tiene un motor de 24 V c.c. que puede ser
alimentado y controlado desde una toma en el panel trasero en el controlador
EXC/TIC o bomba DX. Se suministra con 3 m de cable elctrico.
9
8
PGINA
26

1
2
3
4
5
6
Aislador de vibracin
Banda de desecado BX
Sello de la brida de entrada
(suministrado con la bomba)
Criba de entrada
(suministrada con la bomba)
Bomba EXT
Orificio de purga
(Adaptador NW10 instalado)
7
8
9
10
11
12
Restrictor de purga PRX10

Enfriador por agua (suministrado con la bomba)
Enfriador por aire ACX (el diseo vara con la bomba)
Adaptador del orificio de ventilacin NW10
Vlvula de ventilacin TAV
(bomba suministrada con vlvula de
ventilacin manual)
13 Posicin de la banda de desecado
CABLE DE LA BOMBA AL CONTROLADOR

Un cable de la bomba al controlador debe ser solicitado por separado para las
bombas EXC100E y EXC250E y est disponible en longitudes de 1, 3 y 5 m,
para ajustarse a su instalacin, (otras longitudes estn disponibles a solicitud).

Cable de 1 m
Cable de 3 m
Cable de 5 m
NMERO DE PEDIDO
D39618010
D39618030
D39618050
DESCRIPCIN DEL
PRODUCTO
PARA INSTALARSE EN LAS

BOMBAS
BX70, 110 V, 30 W
BX70, 240 V, 30 W
BX250, 110 V, 60 W

EXT255H, EXT255DX,
EXT250M
EXT255H, EXT255DX,
EXT250M
EXT555H
EXT555H
BX250, 240 V, 60 W
BX501, 110 V, 100 W
BX501, 240 V, 100 W
NMERO DE PEDIDO
B58052040
B58052060
B58052041
B58052061
B58052044
B58052064
RESTRICTOR DE PURGA PRX10

El restrictor de purga PRX10 se utiliza para configurar la velocidad de flujo de
purga de gas a la bomba EXT. Todas las bombas EXT (excepto la EXT70 y la
EXT70H) cuentan con un orifico de fuga que le permite purgar el motor y la
cavidad de los cojinetes con nitrgeno seco u otro gas inerte. Instale un
adaptador de orificio de ventilacin a las bombas EXT255H o EXT250M para
convertirla de !/8 pulg BSP a DN10NW, antes de utilizar el PRX10.

Restrictor de purga PRX10
NMERO DE PEDIDO
B58065001
VLVULA DE VENTILACIN TAV
RESTRICTOR DE VENTILACIN VRX
Las vlvulas de ventilacin TAV son vlvulas controladas por solenoide de 24

V c.c. las cuales puede utilizar para ventilar su sistema de vaco con aire
atmosfrico o nitrgeno seco cuando apaga la bomba EXT Las vlvulas se
suministran con un filtro de entrada de bronce sinterizado, un conector de
manguera ranurado, 3 m de cable elctrico y un adaptador DN10NW. Las
vlvulas de ventilacin pueden ser alimentadas y controladas desde una toma
en el panel trasero del controlador EXC. Puede utilizar su vlvula de
ventilacin TAV para reemplazar la vlvula de ventilacin manual suministrada
con la bomba EXT, o adaptarla para instalarla en cualquier otro orificio
adecuado de la lnea ascendente del sistema de vaco de la bomba
turbomolecular. Para obtener ms informacin acerca de la eleccin de una
vlvula de ventilacin TAV, consulte la pgina 5-3.
44
Instale un restrictor de ventilacin VRX a su bomba EXT si piensa ventilar la

bomba cuando la velocidad de la misma est por encima del 50% de la
velocidad de rotacin mxima. El restrictor de ventilacin restringe la
velocidad del flujo del gas de ventilacin que ingresan a la bomba EXT.
Tambin puede utilizar el VRX para remplazar el restrictor estndar
suministrado con el restrictor de purga PRX10 para obtener una velocidad de
purga diferente. Tome en cuenta que la bomba EXT250M se suministra con
un restrictor de ventilacin VRX10 instalado en los orificios de ventilacin y
purga.
Puede instalar el restrictor de ventilacin en una vlvula de ventilacin TAV,
en el adaptador del puerto de ventilacin o directamente en el orificio de
ventilacin o de purga de las bombas EXT255H y EXT250M.

RESTRICTOR DE
VENTILACIN VRX
DIMETRO DEL ORIFICIO

(MM)
46
VRX10
VRX20
VRX30
VRX50
VRX70
NMERO DE PEDIDO
0,1
0,2
0,3
0,5
0,7
B58066021
B58066022
B58066023
B58066024
B58066025
REPUESTOS EXT
NMERO DE PEDIDO
Vlvula de ventilacin TAV5

B58066010
B58066020

NMERO DE PEDIDO
Adaptador del orificio de ventilacin
B58066011
AISLADOR DE VIBRACIN
Un aislador de vibracin puede instalarse en una brida de entrada de la bomba
EXT para reducir la transmisin de la pequea cantidad de vibracin generada
por la bomba en su sistema de vaco. El aislador de vibracin tiene dos bridas
separadas por un fuelle flexible de acero inoxidable y un collar exterior de
goma antivibracin.
El aislador de vibracin est diseado para utilizarse slo con bombas
montadas verticalmente.

PARA INSTALARSE EN LA BRIDA DE ENTRADA DE LA
BOMBA
DN63CF
DN63ISO-K
DN100ISO-K
DN160ISO-K
DN100CF
DN160CF

DESCRIPCIN DEL
PRODUCTO
Este adaptador macho BSP a DN10NW de !/8 pulg puede utilizarse para
reemplazar la vlvula de ventilacin TAV5 o la vlvula manual instalada en las
bombas EXT. Permite que el orificio de ventilacin roscado de la bomba (y el
orificio de purga roscado en la EXT255H, EXT555H y la EXT250M) pueda
convertirse en una brida DN10NW.
El adaptador del orificio de ventilacin se suministra con un restrictor de flujo
removible y un anillo "O" para sellar el adaptador a la bomba.
NMERO DE PEDIDO
B58101000
B58115000
B58120000
B58125000
B58105000
B58110000
5
PGINA
27
TIPO DE BOMBA
PARA INSTALARSE EN
ESTE TAMAO DE
BRIDA DE ENTRADA
Sellos de brida de entrada

DN40NW Co-Seal, fluoroelastmero
DN50NW Co-Seal, fluoroelastmero
ISO63 Anillo "O", fluoroelastmero
ISO100 Anillo "O", fluoroelastmero
ISO160 Co-Seal, fluoroelastmero
63CF junta de compresin de cobre (paquete de 10)
ISX criba de entrada
ISX63/4
EXT70, EXT70H
DN63ISO-K, DN63CF
ISX100/6
EXT70, EXT70H,
DN100ISO-K,
EXT255H, EXT255DX, DN100CF
EXT250M
ISDX63/4
EXT75DX
DN63ISO-K, DN63CF
ISHX160/8C EXT555H
DN160ISO-K,
DN160CF
ISHX160/8F EXT555H
DN160ISO-K,
DN160CF
WCX enfriador
por agua
WCX250M
EXT250M
WCX500
EXT70, EXT70H,
EXT255H, EXT75DX,
EXT255DX
WCX555H
EXT555H
NMERO DE PEDIDO
B27158453
B27158466
B27158170
B27158171
B27158074
C10007490
C10009290
C10011290
B58051005
B58051001
B72240860
B58051007
B58051008
B73501164
B73600121
B58067003
ADAPTADOR DEL ORIFICIO DE

VENTILACIN
Cada bomba EXT se suministra con un sello de entrada, criba de entrada y

enfriador por agua (con excepcin de las bombas DX). Estos componentes
tambin pueden solicitarse como repuestos.
ESTACIONES DE BOMBEO EXPT 1 Y 2

Accesorios combinados EXPT
Nuestra nueva familia de accesorios de bombeo EXPT brindan mayor

flexibilidad con nuestros exitosos controladores de bombas turbomoleculares
e instrumentos TIC. Una gran seleccin de bombas de refuerzo y
turbomoleculares est disponible en combinacin con los controladores TIC
y accesorios que se adecuan a una amplia variedad de aplicaciones como:
Sistemas UHV
Lneas de haces
Bloqueos de carga (loadlock)
Ciencia de superficie
Fsica de alta energa

Esta informacin se aplica a nuestras bombas turbomoleculares fabricadas en el RU. Para
bombas turbomoleculares fabricadas en los EE.UU:, comunquese con el centro nacional de
ventas al 1-800-848-9800.
Bomba turbomolecular
M
N
Y
Z
EXT70DX
EXT255DX
EXT70H
EXT255H
Tipo de brida
1 DN40NW
2 DN63ISO-K
3 DN63CF
4 DN100ISO-K
5 DN100CF
Bomba de refuerzo
1 E2M0.7
2 E2M1.5
3 RV3
4 RV5
5 RV8
6 RV12
A XDD1
B XDS5
C XDS10
Montaje
1 EXPT1
2 EXPT2
Totalmente montadas y listas para usar
Arranque/parada del sistema desde el panel de control
Control tanto de la bomba turbomolecular como de los indicadores*
desde el TIC integrado
Puerto serial de comunicaciones disponible con RS232 y RS485
Opciones de bombeo seco con XDD1, XDS5 y XDS10
EXPT1 Placa base con la

bomba turbomolecular EXT70H
y la bomba de diafragma XDD1
con controlador TIC.
5
PGINA
28
EXPT2 Placa base con la

bomba turbomolecular
EXT255H y la bomba scroll
XDS10 con contralador TIC.
Instrumentacin
Para Amrica del Norte y Brasil, vea las fotografas que aparecen a
continuacin. Comunquese con nuestro Centro nacional de ventas al
800-848-9800. Tome en cuenta que estos sistemas de carro slo estn
disponibles en Amrica del Norte y Brasil. Para todos los dems territorios,
consulte la informacin antedicha.
Control de bombas turbomoleculares

100 W solamente
e instrumentos 100 W
200 W solamente
e instrumentos 200 W
1
2
3
4
Accesorios de la bomba de refuerzo

Ninguno
Filtro de niebla EMF
Trampa frontal FL20K
Castors
1+2
1+3
2+3
1+2+3
Castors + silenciador
0
1
2
3
4
5
6
7
8
Accesorios de la bomba turbomolecular

Ninguno
Vlvula de aislamiento
de refuerzo LCPVEK
1+3
0
1
3
5
Suministro elctrico
220-240 V 50/60 Hz (Europa)
110-120 V 50/60 Hz (EE.UU.)
100 V 50/60 Hz (Japn)
220-240 V 50/60 Hz (RU)
1
2
3
4
* Los indicadores y cables pueden solicitarse por separado.

No todas las combinaciones estn permitidas. Consulte con su centro regional de BOC Edwards.
Las unidades se suministran con una enfriador por aire integrado.
Consulte las instrucciones de operacin con su centro regional de BOC Edwards para ver los gases
compatibles.

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