Вы находитесь на странице: 1из 4

Известия Томского политехнического университета. 2006. Т. 309.

№ 1

УДК 537.521

СВОЙСТВА МАГНЕТРОННОГО РАЗРЯДА НА ПОСТОЯННОМ ТОКЕ.


Ч. 2. ОСОБЕННОСТИ ПЕРЕНОСА ЗАРЯДА
В.В. Жуков, В.П. Кривобоков, В.В. Пацевич, С.Н. Янин
ФГНУ «Научноисследовательский институт ядерной физики», г. Томск
Email: krivobokov@npi.tpu.ru
На основании зондовых измерений электрического потенциала в прикатодной области плазмы изучена структура магнетронно
го разряда на постоянном токе. Обнаружено, что при достаточно низком напряжении (≤250 В) разряд по своему строению на
поминает тлеющий, а при более высоком важную роль в его формировании начинает играть процесс самораспыления мишени,
являющийся неотъемлемым признаком магнетронного разряда. Построена двумерная модель растекания электронного тока из
зоны разряда при заданных конфигурациях электродов распылительной системы. Показано, что положение анода относитель
но магнетрона сильно влияет на распределение холловского тока в разрядной зоне, а магнитное поле способствует разделению
разряда на несколько зон с различными плотностями тока.

Структура магнетронного разряда 350


Uz , ȼ
Известно, что зону разряда по механизму пере 300
носа электрического тока можно условно разде 250
лить на два участка, на втором из которых падает
примерно 25 В независимо от напряжения, прило 200
женного к магнетрону (для нашей геометрии) 150 8 ɦɦ
Uc=Ud–Ue, где Ud – приложенное напряжение, Uc –
100 4 ɦɦ
напряжение области разряда с ионным и электрон
ным переносом тока, а Ue – области с электронным 50
Jd , A
переносом. 0
Для анализа размера зоны интенсивной иони 0 0,2 0,4 0,6 0,8 1 1,2
зации воспользуемся уравнением ЧайлдаЛенгмю Рис. 1. Зависимость потенциала зонда от тока разряда на
ра [1] для катодного слоя различных расстояниях от поверхности мишени
4 2e0,5U 1,5
Ji = ε 0 , На рис. 2 они представлены как функции на
9 M 0,5 d 2 пряжения разряда для случая, когда зонд находил
где e – заряд электрона, ε0 – диэлектрическая про ся на расстоянии 4 мм от поверхности мишени.
ницаемость вакуума, Ji – ионный ток, M – атомная При напряжении разряда менее 250 В ширина этой
масса иона, d – толщина области основного паде зоны составляет несколько мм, а затем, с его ро
ния напряжения, U – напряжение, падающее на стом, уменьшается в несколько раз.
расстоянии d от мишени. С высокой степенью точ Этот факт свидетельствует о скачкообразном
ности можно принять, что U=Uc. изменении процессов, протекающих в разряде. Для
В магнетронном разряде на постоянном токе того, чтобы понять суть эффекта, посмотрим к ка
основная доля тока через темное катодное про ким явлениям приводит процесс увеличения на
странство переносится ионами [2]. В работе [3] по пряжения в разряде.
казано, что эта доля для алюминиевой и медной 2 d, ɦɦ
мишеней составляет, соответственно, 0,925 и 0,975.
Для оценочных расчетов мы примем ее равной
0,95, то есть Ji=0,95Jd, где Jd – общий ток разряда. 1,5
Если в классическом газовом разряде, для кото
рого получено уравнение ЧайлдаЛенгмюра, основ
ное падение потенциала приходится на зону темно 1
го катодного пространства, то в нашем случае, как
следует из рис. 2–4 из [4], в качестве d следует при Ud , ȼ
нимать расстояние от мишени до внешней границы 0,5
зоны интенсивной ионизации (порядка 0,8 мм). 230 250 270 290 310 330 350
Таким образом, для аргона Рис. 2. Зависимость размера зоны самостоятельного разря
да от напряжения на магнетроне
U 1,5
J d = 9,16 ⋅10 −9 c2 . (1)
d Анализируя представленные кривые, можно
Используя зависимости потенциала на зонде от сделать следующее заключение о механизме магне
тока разряда (Ud=Ue+Uz), рис. 1, и полагая Uс=Uz, тронного разряда. Когда напряжение, приложен
получим из ур. (1) характерные размеры зоны ин ное к диоду, ниже определенной величины (для
тенсивной ионизации. случая нашего давления и распределения магнит

56
Технические науки

ного поля оно лежит между 195 и 225 В), разряд по энергии, равная 4MAlMAr/(MAl+MAr)2=0,96. Для тяже
своим свойствам ближе к тлеющему, с той лишь лых металлов это более существенно. Например, для
разницей, что магнитное поле вызывает холлов золота коэффициент передачи энергии равен 0,56.
ский ток (относительно небольшой по величине). В силу того, что потенциал ионизации собствен
Этот ток, циркулируя вблизи мишени, не позволя ных атомов ниже, они могут ионизироваться на
ет сформироваться в классическом виде первому большем расстоянии от поверхности мишени и
катодному свечению и темному пространству ускоряться в более высоком электрическом потен
Астона [5]. Вместо четырех областей – темного циале, приобретая более высокую энергию. В слу
пространства Астона, первого катодного свечения, чае двукратной ионизации энергия будет еще выше.
темного катодного пространства и второго катод
По мере увеличения мощности растет концен
ного свечения формируются две зоны – темное ка
трация избыточного положительного заряда. Его
тодное пространство и катодное свечение.
граница изза увеличения доли собственных ионов
Электроны холловского тока имеют энергию, в разряде сдвигается влево. Напряженность элек
достаточную для ионизации аргона, только в обла трического поля на границе темного катодного
сти порядка 1 мм от поверхности мишени. Они ге пространства, обусловленная избыточным поло
нерируют носители заряда в соответствии с распре жительным зарядом, возрастает.
делением, представленным на рис. 7 из [4]. Элек
Разделение носителей заряда в электрическом
трическое поле растягивает их в разные стороны
поле приводит к увеличению напряженности вбли
друг от друга, в результате чего образуются области
зи поверхности, что в свою очередь «прижимает» к
с избыточным положительным и отрицательным
ней холловский ток.
зарядами (кривая 2 на рис. 5 из [4]).
При определенных условиях этот процесс про
Хотя электроны, в отличие от ионов, являются
ходит точку равновесия, и разряд превращается в
замагниченными, подвижность их все равно оста
собственно магнетронный разряд, когда зона само
ется более высокой в силу большой разницы в мас
стоятельного разряда «прижата» к поверхности ми
сах. Поэтому, даже перемещаясь из области рожде
шени. Этот переход хорошо видно на рис. 2, где он
ния к аноду в более слабом, чем ионы, электриче
наблюдается при напряжении порядка 250 В.
ском поле, они создают меньшую концентрацию
избыточного заряда (кривая 2 рис. 4 из [4]). Подобные явления часто наблюдаются визуаль
но, когда при увеличении разрядного напряжения
Двигаясь далее к аноду в постепенно спадаю
объем светящейся зоны резко уменьшается, а ин
щем магнитном поле, они снова достигают энер
тенсивность свечения возрастает.
гии, необходимой для ионизации, на расстоянии
порядка 5 мм от катода, в результате чего формиру После этого перехода начинается активное
ется небольшой избыточный положительный за травление мишени, так как возрастает ускоряющее
ряд. Здесь существенную роль может играть про напряжение и, соответственно, энергия ионов,
цесс ионизации возбужденных атомов, а также ато бомбардирующих мишень.
мов, распыленных с мишени. Что касается отсутствия избыточного отрица
Далее электроны двигаются в сторону анода в тельного заряда на кривой 2 рис. 4 из [4], оно может
более слабом электрическом поле, не позволяю быть связано с нейтрализацией в этой области соб
щем им достигнуть энергии, необходимой для ио ственных ионов мишени.
низации. Таким образом, распыленные атомы должны
По мере увеличения разрядного напряжения играть весьма существенную роль в механизме маг
возрастает эмиссия электронов с поверхности ми нетронного разряда.
шени. Следовательно, увеличивается холловский
ток в приповерхностной области, усиливается ио Зона электронного переноса тока
низация рабочего газа, возрастает интенсивность Электроны являются замагниченными вплоть
распыления атомов мишени. до расстояний порядка нескольких см от поверхно
Распыленные атомы мишени, в отличие от ато сти мишени. Поэтому зону разряда они могут по
мов инертного газа, имеют более низкий потенциал кинуть только в диффузионном режиме, замедлив
ионизации. Например, для алюминия он составля шись до тепловых энергий в результате столкнове
ет 5,98 эВ. В этой связи область ионизации для ато ний с атомами аргона.
мов мишени будет существенно шире, чем для ато Так как интенсивность процессов ионизации в
мов аргона, которая показана на рис. 7 из [4]. рассматриваемой зоне невелика, можно считать,
Преимущество распыления мишени собствен что переносчиками заряда в ней являются только
ными атомами может быть весьма существенно в инжектированные электроны, ток →
которых→
описы
силу различия атомных масс. Так, например, если вается следующим образом [6]: J =–μneE .
при лобовом упругом столкновении двух атомов Холловский ток в нашей геометрии направлен
алюминия (когда один из них покоится) последнему перпендикулярно разрядному, и, может быть пред
передается вся кинетическая энергия, то в случае ставлен в виде: Jx=Jω/fen, где fen=σenvene – частота
распыления аргоном алюминию передается доля столкновений электронов с нейтралами, ve – ско

57
Известия Томского политехнического университета. 2006. Т. 309. № 1

рость электронов, σen – сечение столкновения,


μ=efen/me(ω2+fen2) – подвижность электронов,
ω=eB/me – плазменная частота, B – индукция маг
нитного поля, me и ne – масса электрона и их кон
центрация.
В связи с тем, что в нашем случае магнитное по
ле спадает весьма слабо (кривая 2 на рис. 3 из [4]),
все электроны являются замагниченными.
Значительное превышение длины свободного
пробега электрона над длиной циклоиды позволя
ет оценить его среднюю скорость как – v =vmax/2, где
vmax=at – скорость на вершине циклоиды, a=eE/me
– ускорение
⎯⎯ электрона в электрическом поле, а
t=√2hc/a – время движения от основания до вер
шины циклоиды высотой h.
Отсюда получаем – v =E/B.
Вычисления средней скорости по этому просто : 1) анода: 1) магнетрон;
Рис. 4. Растекание тока при наличии
му оценочному соотношению хорошо согласуются 2) анод; 3) область избыточного положительного за
с численными расчетами методом молекулярной ряда; 4) силовые линии электрического поля; 5) ли
динамики. нии тока электронов
Рассмотрим двумерную модель зоны разряда,
рис. 3.

Рис.: 3.
1) Зона разряда:
; 2)1) магнетрон; 2) область избыточного
положительного заряда; 3) силовые линии электри
ческого поля; 4) силовые линии магнитного поля

Концентрация избыточного положительного Рис. 5. Растекание тока в случае, когда анодом служит стен
заряда в области 2 задавалась в соответствии с ка вакуумной камеры: 1) магнетрон; 2) стенка ваку
рис. 4 из [4]. Магнитное поле измерялось экспери умной камеры; 3) область избыточного положитель
ного заряда; 4) силовые линии электрического поля;
ментально. Толщина зоны избыточного положи 5) линии тока электронов
тельного заряда принималась равной 0,6 мм в обла
сти центра канавки травления магнетронной ми Ионизационные процессы в ней не существен
шени и спадала до нуля на расстоянии 20 мм от нее. ны и протекают, главным образом, с участием
Характеристики электрического поля определя предварительно возбужденных атомов, а также
лись путем численного интегрирования уравнения распыленных атомов мишени, энергия ионизации
Пуассона. Они хорошо согласуются с кривыми которых ниже, чем аргона.
рис. 2–4 из [4]. Анализ распределения холловского тока в рас
Траектории растекания электронного тока из сматриваемой зоне показал, что оно сильно зави
зоны магнетронного разряда показаны при нали сит от положения анода относительно магнетрона.
чии специального анода (рис. 4) и для ситуации, В частности, расчеты свидетельствуют, что распо
когда анодом служит стенка вакуумной камеры ложение анода сбоку от магнетрона хотя и удобно с
(рис. 5). В обоих случаях наблюдается разделение технологической точки зрения, но значительно
разряда на зоны с существенно различающимися снижает холловский ток над зоной распыления.
плотностями тока, чему способствует наличие маг Это может отрицательно сказаться на качестве на
нитного поля. носимого покрытия, так как снижает долю ионов в
Так как энергия электронов зоны электронного потоке распыленных атомов. Зону разряда может
переноса тока не превышает энергию ионизации, покинуть только ион, образовавшийся из распы
холловский ток вызывает, в основном, только воз ленного атома в области, где напряженность элек
буждение распыленных атомов и атомов рабочего трического поля невелика и позволяет ему долететь
газа, создавая светящееся облако вблизи мишени. до подложки.

58
Технические науки

Заключение столько, что существенную роль в эрозии мишени


начинает играть процесс самораспыления.
По внутренней структуре магнетронный разряд
при низком напряжении (≤250 В) напоминает Для того, чтобы правильно отображать физиче
тлеющий. По мере роста напряжения и тока проис ские явления, модель должна включать в себя рас
ходит скачкообразный переход к разряду, который пыление мишени не только ионами рабочего газа,
принято называть магнетронным. В этом процессе но и собственными атомами. В частности, в расче
важную роль играют распыленные атомы в силу тах характеристик плазмы необходимо учитывать
своего более низкого, по сравнению с аргоном, по присутствие собственных атомов и ионов.
тенциала ионизации. Важный вклад в понимание механизма магне
Структура разряда кардинально меняется, когда тронного разряда может дать изучение процессов,
концентрация распыленных атомов возрастает на протекающих в плазме магнетрона, работающего в
режиме самораспыления.

СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ 4. Жуков В.В., Кривобоков В.П., Пацевич В.В., Янин С.Н. Свой
1. Сырчин В.К. Моделирование магнетронного ионного источ ства магнетронного разряда на постоянном токе. Ч. 1. Меха
ника для создания микроструктур // Технология и конструиро низм распыления мишени // Известия Томского политехниче
вание в электронной аппаратуре. – 1997. – № 1. – С. 32–37. ского университета. – 2005. – Т. 308. – № 6. – С. 69–74.
2. Данилин Б.С., Сырчин В.К. Магнетронные распылительные 5. Ховатсон А.М. Введение в теорию газового разряда. – М.: Ато
системы. – М.: Радио и связь, 1982. – 72 c. миздат, 1980. – 182 с.
3. Гвоздев В.В., Курзанов М.А., Марахтанов А.М. Ионный токо 6. Miura T., Asamaki T. A. A theory on planar magnetron discharge //
перенос в магнетронных распылительных системах // Физика Thin Solid Films. – 1996. – V. 281–282. – № 1. – P. 190–193.
плазмы. – 1999. – Т. 25. – № 5. – С. 488–492.

УДК 621.372.4:537.52

АЛГОРИТМ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ПАРАМЕТРОВ ЭЛЕКТРОТЕХНИЧЕСКОЙ СХЕМЫ ЗАМЕЩЕНИЯ


ОЗОНАТОРА ПРИ ВОЗДЕЙСТВИИ ИМПУЛЬСНОГО НАПРЯЖЕНИЯ
Ю.Н. Исаев, В.А. Колчанова, О.П. Шпильная, Е.О. Кулешова
Томский политехнический университет
Email: Isaev_Yusup@mail.ru
Описывается алгоритм расчёта параметров электротехнической схемы замещения озонатора на основе расчёта электростатиче
ского поля. На основе решения интегрального уравнения Фредгольма первого рода представлен расчёт электростатического по
ля электродной системы неканонической формы в кусочнооднородной водовоздушной среде. При наличии капель воды ра
спределение диэлектрической проницаемости становится неконтролируемым, поэтому расчёт параметров эквивалентной элек
тротехнической модели озонатора предлагается производить с использованием зашумлённых осциллограмм тока и напряже
ния на основе интеграла Дюамеля – некорректного интегрального уравнения Фредгольма.

В системах газо и водоочистки большой инте метров, что в свою очередь обеспечит необходимые
рес представляет использование импульсного эксплуатационные свойства системы. Таким обра
барьерного разряда. Эффективность очистки опре зом, на основе исследования электрофизических
деляется электрофизическими параметрами систе процессов можно осуществить оптимизацию элек
мы и особенностями протекания физических про трической системы, снизить энергозатраты, улуч
цессов в разряде, которые зависят от формы дей шить технологию очистки воды.
ствующего напряжения в цепи. Поэтому важным При феноменологическом описании электри
является исследование систем очистки как элек ческих разрядов широко используется их описание
трофизического устройства, определение макси как объектов электрической цепи [1–4]. В основе
мальных напряжённостей электрического поля таких подходов лежит замена электрофизических
при фиксированной конфигурации электродов, явлений, происходящих в разряде, явлениями,
электроёмкостей и сопротивлений системы. протекающими в электрической цепи, состоящей
Количественное определение указанных харак из известных электротехнических элементов.
теристик позволит расширить представление о ха При исследовании физики разрядов наиболее
рактере и последовательности физических процес доступными для измерения являются напряжение
сов в разрядном промежутке и осуществить пра u(t) и ток i(t) в одноконтурной цепи с разрядным
вильный выбор оптимальных электрических пара промежутком. С помощью измеренных значений

59

Оценить