Международный форум по

Rusnanotech o8 нанотехнологиям, 3-5.12.08, Москва

НАНОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ
НА ОСНОВЕ УПОРЯДОЧЕННЫХ МАССИВОВ
УГЛЕРОДНЫХ НАНОТРУБОК ДЛЯ СВЧ-ТЕХНИКИ
И СЕНСОРИКИ

А.С.Басаев1, В.А.Лабунов2, В.В.Баркалин3, И.А.Таратын3, А.М.Тагаченков1

1 ГУ НПК «Технологический центр» МИЭТ, Зеленоград

2 Белорусский государственный университет информатики и

радиоэлектроники, Минск
3 Белорусский национальный технический университет, Минск

3-5 декабря 2008, Международный форум по

Москва нанотехнологиям 1

PDF created with FinePrint pdfFactory Pro trial version www.pdffactory.com

 Содержание

1. Получение и свойства вертикально ориентированных массивов

УНТ.

2. Вертикально ориентированные массивы УНТ как

многорезонансные НЭМС с управляемым спектром колебаний в
диапазоне частот от 10 МГц до по крайней мере 70 ГГц и
разнообразной формой собственных колебаний.

3. Способы возбуждений колебаний в массивах УНТ.

4. Перспективные применения массивов УНТ.

3-5 декабря 2008, Москва Международный форум по нанотехнологиям 2

PDF created with FinePrint pdfFactory Pro trial version www.pdffactory.com

 Технология массивов УНТ с
локализованным катализатором
Ni

Этап I – формирование Ni
SiO2 пленки в рабочей области
ПАВ структуры

металлизация
Этап II –
нанокластеризация Ni
пленки в процессе
термического отжига
подложка
Ar+С8Н10
массив УНТ
Этап III – формирование
массива вертикально
ориентированных УНТ
методом ХПО.

3-5 декабря 2008, Москва Международный форум по нанотехнологиям 3

PDF created with FinePrint pdfFactory Pro trial version www.pdffactory.com

 Технология массивов УНТ с
локализованным катализатором
а,b) Траб.зоны = 887о С, nFeC = 1,0
%, Vинж = 1,0 мл/мин, VAr = 100
см3/мин., длительность процесса
– 3 мин.;
с) Траб. зоны = 900о С, nFeC = 1,0
%, Vинж = 1,0 мл/мин, VAr = 100
см3/мин., длительность процесса
– 4 мин.;
d,e) Траб. зоны = 887о С, nFeC = 1,0
%, Vинж = 0,025 мл/мин, VAr =
250 см3/мин., длительность
процесса – 4 мин.

Примеры селективного роста УНТ на топологии электродной системы в условиях вариации параметров ХПО
синтеза в процессе дозированной инжекции ферроцена (Fe(C5H5)2) в р-ксилоле (С8Н10) в CVD-реактор.
3-5 декабря 2008, Москва Международный форум по нанотехнологиям 4

PDF created with FinePrint pdfFactory Pro trial version www.pdffactory.com

 Технология массивов УНТ с
«летучим» катализатором
Ar+ В процессах с "летучим" катализатором массивы
многостенных УНТ были синтезированы
С8Н10+
методом дозированной инжекции раствора
SiO2
Fe(C5H5)2 ферроцена Fe(C5H5)2 в р-ксилоле С8Н10 в реактор
ХПО при атмосферном давлении с
использованием аргона в качестве газа-
носителя.
Преимущества: возможность вариации в
Si широких пределах типа, состава и процентного
соотношения катализатора в растворе
углеводорода, доступность и нетоксичность
исходных реагентов .
Исследована управляемость процесса роста
УНТ в указанных условиях синтеза на подложках
Массив УНТ из кремния, кварца, ниобата лития, арсенида
галлия в и проведена оптимизация
технологических процессов в условиях вариации
температурного режима реакционной зоны (700о
÷ 1200о С), концентрации катализатора в
углеводородной смеси (Fe(C5H5)2- 0,1÷10,0 %),
скорости газа-носителя (Ar, 10 ÷ 1000 см3/мин.).

3-5 декабря 2008, Москва Международный форум по нанотехнологиям 5

PDF created with FinePrint pdfFactory Pro trial version www.pdffactory.com

 Технология массивов УНТ с
«летучим» катализатором
Стуктура плотноупакованного
массива УНТ, полученного в
процессе атмосферного
каталитического пиролиза о-
ксилола на подложке кремния
(РЭМ).

300 нм

Структура разреженного
массива УНТ, полученного в
процессе атмосферного
каталитического пиролиза о-
ксилола на подложке оксида 10 мкм
алюминия (РЭМ)
3-5 декабря 2008, Москва Международный форум по нанотехнологиям 6

PDF created with FinePrint pdfFactory Pro trial version www.pdffactory.com

 Характеристики массивов УНТ
p Трубки многостенные;
p Внешний диаметр трубок в массиве 40 – 70 нм;
p Длина трубок 0.1 – 100 мкм;
p Расстояние между трубками в массиве от 0.3 до
300 нм;
p Структурные дефекты;
p Содержание Fe 1-10 % (масс.) при использовании
летучего катализатора.
Механизм роста известен только предположительно

3-5 декабря 2008, Москва Международный форум по нанотехнологиям 7

PDF created with FinePrint pdfFactory Pro trial version www.pdffactory.com

 Вид взаимодействия в
Расстояние Особенности
массиве УНТ
Электростатическое
Электростатическое взаимодействие между
взаимодействие между УНТ и
объемными плотностями зарядов молекул
Промежуточные молекулами
расстояния, Обменное взаимодействие между Антисимметричность многоэлектронной волновой
межмолекулярное УНТ и молекулами функции, экспоненциальный спад
взаимодействие
Обменно-поляризационное Нельзя разделить электростатическое и обменное
достаточно слабо,
взаимодействие взаимодействия
баланс сил
притяжения и Взаимодействие молекул газа в основном и
Резонансное взаимодействие
отталкивания возбужденном состояниях в поле нанотрубки
Перенос заряда между УНТ и Взаимодействие зонной структуры УНТ с
0,2нм<R<1,5нм молекулой электронной структурой адсорбента
Взаимодействие между протоном и неподеленной
Водородная связь
электронной парой молекул
Электростатическое мультиполь- Мультипольное разложение электростатического
мультипольное взаимодействие поля
Далекие расстояния,
межмолекулярные Поляризационное индукционное Молекула индуцирует изменение электронной
взаимодействия взаимодействие плотности другой молекулы
слабы
Поляризационное дисперсионное Флуктуации электронной плотности двух молекул
1,5нм<R<200нм взаимодействие частично коррелированы
Релятивистское магнитное Если электростатическое взаимодействие спадает с
взаимодействие расстоянием быстрее магнитного

Сверхдалекие рас- Запаздывающее электромаг- R/c сравнимо со временем электронных переходов

стояния, R>200нм нитное взаимодействие ћ/I, I –потенциал ионизации

3-5 декабря 2008, Москва Международный форум по нанотехнологиям 8

PDF created with FinePrint pdfFactory Pro trial version www.pdffactory.com

 Credo:
p Наноэлектромеханические системы, включающие
массивы УНТ, следует разрабатывать на основе их
спектральных характеристик, отражающих их
целостную природу, задаваемую в технологическом
процессе в результате самоорганизации атомно-
молекулярных и энергетических потоков
p Спектры массивов УНТ имеют динамическую
природу и меняются при внешних воздействиях и
изменении технологии

3-5 декабря 2008, Москва Международный форум по нанотехнологиям 9

PDF created with FinePrint pdfFactory Pro trial version www.pdffactory.com

 Колебательные спектры УНТ
Трубка (10,10)

Частота, см-1
Трубка (9,3)

Частота, см-1

Потенциал ММ3
3-5 декабря 2008, Москва Международный форум по нанотехнологиям 10

PDF created with FinePrint pdfFactory Pro trial version www.pdffactory.com

 Замена 5% атомов в УНТ (9,3)

C S

O P

3-5 декабря 2008, Москва Международный форум по нанотехнологиям 11

PDF created with FinePrint pdfFactory Pro trial version www.pdffactory.com

 Модель эффективной среды для УНТ
Энергия
Упругая энергия
межмолекулярных
континуума
взаимодействий

Модули упругости
поперечно изотропной
Молекулярные силовые среды для цилиндра с
постоянные толщиной стенки 3 A
С33=1.25•1012 N/m2
С13=1.42•1011 N/m2
С11=0.39•1011 N/m2
С12=0.21•1011 N/m2
С44=0.90•1010 N/m2
3-5 декабря 2008, Москва Международный форум по нанотехнологиям 12

PDF created with FinePrint pdfFactory Pro trial version www.pdffactory.com

 Механические резонансы УНТ
D=2 нм, t=0,3 нм D=20 нм, t=0,3 нм D=40 нм, t=0,3 нм

х10 ГГц
D=20 нм, t=0,6 нм D=40 нм, t=0,6 нм D=40 нм, t=0,9 нм

х10 ГГц
Гистограммы числа собственных частот УНТ длиной 200 нм с закрепленным концом
в диапазоне до 0-70 ГГц с интервалом разбиения 200 МГц
3-5 декабря 2008, Москва Международный форум по нанотехнологиям 13

PDF created with FinePrint pdfFactory Pro trial version www.pdffactory.com

 Механические резонансы УНТ

55292
собственные
частоты

х10 ГГц

Гистограммы числа собственных частот УНТ длиной 100 мкм, D=40 нм, t= 0,9 нм
с закрепленным концом в диапазоне до 0-70 ГГц с интервалом разбиения 200 МГц

3-5 декабря 2008, Москва Международный форум по нанотехнологиям 14

PDF created with FinePrint pdfFactory Pro trial version www.pdffactory.com

 Формы собственных
колебаний УНТ

3-5 декабря 2008, Москва Международный форум по нанотехнологиям 15

PDF created with FinePrint pdfFactory Pro trial version www.pdffactory.com

 Лоренциан,

Эксперимент СВЧ Г=50 МГц

х10 ГГц

Резонансная
характеристика
массива, по
Радионовой В.Л.,
Институт ядерных
проблем БГУ

3-5 декабря 2008, Москва Международный форум по нанотехнологиям 16

PDF created with FinePrint pdfFactory Pro trial version www.pdffactory.com

 Спектр и гистограмма числа механических резонансов массива нанотрубок
с шагом по частоте 10 МГц в диапазоне от 200 МГц до 3000 МГц. Диаметр
трубок 14 нм, толщина стенок 3 нм, длина трубок 400 нм.

80

70

60

К ол -во час тот, шт

50

40

30

20

10

0
100
200
300
400
500
600
700
800
900
1000
1100
1200
1300
1400
1500
1600
1700
1800
1900
2000
2100
2200
2300
2400
2500
2600
2700
2800
Частота, МГц

295 MГц 310 MГц 430 MГц 540 MГц

3-5 декабря 2008, Москва Международный форум по нанотехнологиям 17

PDF created with FinePrint pdfFactory Pro trial version www.pdffactory.com

 Способы возбуждения колебаний
p Перераспределение электрических зарядов
в нанотрубках во внешнем электрическом
поле и их раскачка;
p Воздействие магнитным полем на
ферромагнитные включения в структуру
нанотрубок;
p Акустическое возбуждение колебаний
массивов частотой до 2-3 ГГц в полях ПАВ
и ОАВ

3-5 декабря 2008, Москва Международный форум по нанотехнологиям 18

PDF created with FinePrint pdfFactory Pro trial version www.pdffactory.com

 Зависимость емкости на единицу
площади конденсатора с
массивом нанотрубок и
усредненного по крышкам
нанотрубок электрического
поля от периода массива и
расстояния между вершинами
нанотрубок и верхней обкладкой

3-5 декабря 2008, Москва Международный форум по нанотехнологиям 19

PDF created with FinePrint pdfFactory Pro trial version www.pdffactory.com

 Возбуждение массива УНТ механической силой,
приложенной к подложке

F=1000 MГц

F=430 MГц

3-5 декабря 2008, Москва Международный форум по нанотехнологиям 20

PDF created with FinePrint pdfFactory Pro trial version www.pdffactory.com

 Нерезонансные эффекты в
массивах УНТ
Изменения химических концентраций
компонент газового окружения приводят к
значительному и специфическому
изменению упругих и
электромеханических свойств массивов
УНТ, регистрируемому в импедансном и
акустическом каналах сенсоров.

3-5 декабря 2008, Москва Международный форум по нанотехнологиям 21

PDF created with FinePrint pdfFactory Pro trial version www.pdffactory.com

 Изменения
температуры и Изменения внешнего
концентраций
компонент
электростатического поля 0 - 100 кГц
жидкого или Влияние внешней среды Модуляция в
газового
окружения электричес- Изменение
ком канале электрического
импеданса
ОАВ и ПАВ
Изменение
электро-
подложка Слой механических
0,1-3 ГГц Si свойств
Модуляция в массива
акустическом нанотрубок
канале вследствие
физической и
химической
адсорбции
Изменение частотных Массив химически химических
характеристик модифицированных агентов и
акустоэлектронных нанотрубок
структур биомолекул
3-5 декабря 2008, Москва Международный форум по нанотехнологиям 22

PDF created with FinePrint pdfFactory Pro trial version www.pdffactory.com

 Газовый сенсор на ПАВ

Sensors and Actuators B 65 2000 10–13

Типичное значение ΔV/ V≈10-4

3-5 декабря 2008, Москва Международный форум по нанотехнологиям 23

PDF created with FinePrint pdfFactory Pro trial version www.pdffactory.com

 3-5 декабря 2008, Москва Международный форум по нанотехнологиям 24

PDF created with FinePrint pdfFactory Pro trial version www.pdffactory.com

 Заполнение массива упорядоченной адсорбционной
фазой кислорода в зависимости от расстояниямежду
трубками.

3-5 декабря 2008, Москва Международный форум по нанотехнологиям 25

PDF created with FinePrint pdfFactory Pro trial version www.pdffactory.com

 Акустические параметры массивов SWNT в зависимости
от концентрации кислорода

№пп d, а, ρ, С11, С12, С13, С33, С55, С66,

Å -1 Å кг/м3 109 109 109 109 109 109
Н/м2 Н/м2 Н/м2 Н/м2 Н/м2 Н/м2
1 0 3,13 1353.1 0.4464 0.2528 66.804 350.05 66.862 0.0968

2 0.03 3,15 1349.9 0.4811 0.2705 66.644 349.21 66.702 0.1053

3 0.07 3,17 1346.7 0.5201 0.2903 66.486 348.37 66.463 0.1149

4 0.10 3,18 1345.0 0.5787 0.3243 66.406 347.96 66.463 0.1272

5 0.13 3,20 1341.9 0.6104 0.3398 66.247 347.13 66.305 0.1353

6 0.20 3,24 1335.5 0.6635 0.3649 65.932 345.47 65.989 0.1493

3-5 декабря 2008, Москва Международный форум по нанотехнологиям 26

PDF created with FinePrint pdfFactory Pro trial version www.pdffactory.com

 ΔV/ V≈10-2

0.1

-0.1 Дисперсионные
-0.2 зависимости ПАВ-
структур со слоем
КДЧ

-0.3

-0.4 вертикально
-0.5
ориентированных
-0.6
УНТ
-0.7
0 0.2 0.4 0.6 0.8 1 1.2 1.4 1.6 1.8 2
kh for
3-5 декабря 2008, CNT array
Москва Международный форум по нанотехнологиям 27

PDF created with FinePrint pdfFactory Pro trial version www.pdffactory.com

 Конструкции ПАВ-структур
Звукопровод Y,X SiO2
ширина электродов ВШП 3 мкм
Массив нанотрубок Высота массива 0.4 мкм
с Ni катализатором

длина ПАВ 12 мкм

10 nm Ni 0,4 µm SiO2 скорость ПАВ 3159 м/с
0,3 µm Pt
Y,X SiO2 частота синхронизма 263 МГц
коэффициент 0.00221
электромеханической связи
Массив
нанотрубок
пар электродов в ВШП 19
без
катализатора
на SiO2
погонная емкость пары 48 пФ/м
апертура ВШП 46 l
0,4 µm SiO2
сопротивление металлизации 0.23 ом/□
0,3 µm Pt
Y,X SiO2

Входной импеданс на резонансной 77 Ом

частоте,

3-5 декабря 2008, Москва Международный форум по нанотехнологиям 28

PDF created with FinePrint pdfFactory Pro trial version www.pdffactory.com

 Акустоэлектронные и импедансные
химические сенсоры
подложка
экранирующий электрод

входной ВШП нагреватель область Кремниевая подложка для

массива
УНТ газового микрохроматографа с
длиной канала 1 м и сечением
200х200 мкм2.
выходной ВШП
контактные
площадки

3-5 декабря 2008, Москва Международный форум по нанотехнологиям 29

PDF created with FinePrint pdfFactory Pro trial version www.pdffactory.com

 Проекты
p Государственная комплексная
программа научных исследований РБ
«НАНОТЕХ 2006-2010», задание 4-19
p Научно-техническая программа
Союзного государства «Триада 2006-2008»
задание ПА-2.7

p SEVENTH FRAMEWORK PROGRAMME

Research Infrastructures
INFRA-2007-1.2.3: e-Science Grid infrastructures
Project acronym: BalticGrid-II
Project full title: Baltic Grid Second Phase
Grant agreement no.: 223807
Duration: 24 months (May 2008 – April 2010)

3-5 декабря 2008, Москва Международный форум по нанотехнологиям 30

PDF created with FinePrint pdfFactory Pro trial version www.pdffactory.com

 NWChem integration with FEM packages

Claster Physical and

software chemical material
GRID properties

FEM Simulation
of constructions
Generator of
(LS-DYNA nanoelements of
OpenFOAM) the construction

USERS
Assembler of
finite element NWChem
properties from QM/MD calculation
Experimental nanoelements’ of nanoelements
studies of properties properties
constructions
3-5 декабря 2008, Москва Международный форум по нанотехнологиям 31

PDF created with FinePrint pdfFactory Pro trial version www.pdffactory.com

 Спасибо за внимание!

PDF created with FinePrint pdfFactory Pro trial version www.pdffactory.com