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197101, -, ., 49

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2010


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-
2010

621.3:[621.315.5+621.315.6]+538.9
. ., . ., . ., . ., . .
. . :
, 2010. 112 .
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, :
210202 -
210200.05
, 200100 200101
.
- , 200100 200101
( 29.04.10, 3).

13.04.10 ( 9)
13.04.10 ( 7).

2009 ,
12 , . - ,
20092018 .
c -

,
, 2010
c . ., . ., . .,

. ., . ., 2010

1
1.1 . . .
1.2
1.3 . . .
1.4 . . . . . . . .

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. 7
. 11
. 17
. 24

2
2.1
2.2 . . . . . . . . . . . . . . . . .
2.3 . . . . . . . . . . . . . .
2.4 . . . . . . . . . . . . . . . .
2.5 . . . . . . . . . . . . . . . . .
2.6 . . . . . . . . . . . . . . . .
2.7 . . . . . . . . . . . . . . .
2.8 . . . . . . . . . . . . . . .
2.9 . . . . . . . . . . . . . .
2.10 . . . . .

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28
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30
31
32
33
33
34
35
35

3
3.1 . . . . . . . . . . . . . .
3.2 . . . . . . . . . .
3.2.1 . . . . . . . . . . . . . . . . .
3.2.2 . . . . . . . . . . . . . . . .
3.3 . . . .
3.3.1 AIII BV . . . . . . .
3.3.2
3.3.3 AII BVI . . . . . . .

.
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37
37
40
40
43
46
46
48
50

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3.3.4 AIV BVI . . . . .
3.3.5 . . . . . . . . . .
3.4
3.5 . . . . .
3.6 . .

.
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51
52
52
54
57

4
4.1 . . . . .
4.1.1 . . . . . .
4.1.2 ,
4.1.3 . . . . . . .
4.2 . . . . . . . . . . . . . .
4.2.1 . .
4.2.2 . . . . . . . . . .
4.2.3 . . . . . . .
4.2.4 .
4.2.5 . . . . . . . .
4.2.6 . . . . . . . . . . . . . . . . . .
4.2.7 . . . . . . . . . . . . . . . . .
4.3 . . . . . . . . . . . . .
4.3.1 . . . . . . . . . . . .
4.3.2 . . . . . . . . . . . . .
4.3.3 . . . . . . . . . . . . .
4.3.4 . . . . . . . . . . . . . . . .
4.3.5 . . . . . . . . . . .
4.3.6 . . . . . . . . . . .
4.4 . . . . . . .

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.
.
.
.

62
62
62
66
67
69
69
72
72
73
75
78
79
83
83
85
86
87
88
90
93

.
.
.
.
.

.
.
.
.
.

96

106


, 210202
, 210200.05 , 200100
200101 .

,
, , ,
. .

(, )
(, , ),
, 1 .
, ,
; ;
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; ;
;

.
1

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, , .
.
, .
, .
(
, ,
, , , , , , ,
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.
.

1.1


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.
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(1.1)

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1.
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,
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, . .
,
,
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8

1.1.
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,
.
[1].
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. , , , .
=

1 2 2
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(1.2)

,
,
, 1 2 ,
, [2].
, , ,
.
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,
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, . [1].
. , , , . , . .
9

1.
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Cl + Cl Cl Cl.
, . , ,
, , .
.
[1].
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;
. -- , , ,
. ,
, . ,
:
2

= ~ 0 6 = 6 ,
(1.3)
2

0 , () [2].
.
, .
-- ,
[1].
. ,
, 10

1.2.
, .
, ( ).

. ,
. .
, , [1].

1.2

,
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, . ( 10 ) , , . 1 .
,
( 103 10 ) , . .
, . .
,
, .

.
11

1.
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c0

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b0

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,
(. 1.1),
.
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(1.4)
0 , 0 , 0 ; ,
.
, 0 , 0 0
. , 0 , 0 , 0 , . -

P-

I-
. 1.3.

12

F-

1.2.

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b

. 1.4.


(. 1.2).
(. 1.3),
, P-.
.
, . I-,
(), F-,
().

, (. 1.4) [1].
. ,
14
, 1 (. 1.1) [2]. , . . ,
, ,
.
, .
,

. (, , ) 1 . , . . , , , () , . .
.

13

1.
z

[012]

[[002]]

[111]

[[]]
[[021]]

[021]

[101]
[[000]]

[[111]]

y
[110]

[[301]]
[[220]]

[120]

. 1.6.

. 1.5.

, ,
( = 0 , = 0 , = 0 ) [

]
[ ]

(. 1.5).

[
]
, , [1
1 3] .
, .
, : , ,
(. 1.6).


= = , = = = 90
= = , = = 90 , = 90
= = , = = = 90
= = , = = = 90
= = , = = 90 , = 120
= = , = = = 90

1.1.

14

1.2.
2p z
(001)
(111)

(010)

(010)
2n
y

n
(100) (111)

m
x

2m

. 1.7.


[ ]
. , [ ] , ,
[ ]-. , [1 1 1].
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.
(. 1.7). ,
= 0 , = 0 , = 0 , ,
1
.
,

1 1
,


,

, , ,
, ( ).
,
, . ,
1
, : : =
: 1 : 1 .
1.1.
=

1
,
2

= 2,

1
;
3

1 1 1
1
: : = 2 : : 3, = 2,

2
15

1.
:
=

= 4,

= 1,

= 6.

.
1.2. ( ) (6 4 3).
:
::=

2
3
4
1 1 1
: : =
:
:
=2:3:4
6 4 3
12 12 12

:
= 2 0 , = 3 0 , = 4 0 .
- , , . . ( ) ,
0. , , ( )
.
{ }, {1 0 0}
(1 0 0), (0 1 0), (0 0 1).

, .

-. ,
- . 74%,
12 (. 1.8, ).
, F-. ,
. (. 1.8, )
16

1.3.

. 1.8. :
, ,

(. 1.8, ), .
, O .
,

0,22 6
< 0,41,
O
,
0,41 6

6 0,73.
O

,
[1].

1.3


, .
, .

,
17

1.

. 1.9. () ()

. , , , , , , , [1].
.
(), (
) .

.
.
, . .

. .
. - , . . , ( V), (. 1.9, ).

.

.

= ( ) ,
,
, , .
1.3. = 0,75 , = 300
= 1018 3 , = 650 = 1025 3 .
18

1.3.

. 1.10.

, ,
. , ,
. . (. 1.9, ). ,
, , ,

= ( ) ,
.
.
, , . () , . [1].
. . ( ) ( ) .
. ,

,
.
. ,
, .

().
, ,
(. 1.10).
19

1.

. 1.11.



,
(. 1.11).
,
, = 12 2 ,
, . , 2 ,
= 2 , .
,

. (
)
1
2 2 > 12 + 22 ,
, . , 2 = 12 +22 ,
2 < (12 + 22 ).
109 /.
, , . 106 1013 2 ,
1013 1018 2 .

1 +
2 ) (
. , .
V . V.

20

1.3.

L
A

. 1.12.

. ,
( ). , [1].
. , :
, , .
, , , (. 1.12). ( ) ,

(110)
(110)
a0

a0

. 1.13.

21

1.

A
C
B
A

. 1.14.

. 20 . 108 103 .
, ,
. = , .
,
.
.
, .
(. 1.13).
,
. ,
.
. , A B C, (. 1.14). ,
ABCABCABC... ,
.
22

1.3.
-
; , ABCBCABC A.
; ,
ABCABCBABCABC B.
,
( ), . . A C B.
[1].
.
, .
,
, .
, . .
,
,
. ,
[1].
. , -

. 1.15. :
,

23

1.
.
, . .
( , . 1.15, ) ( , . 1.15, ).
, ,
. ,
.
.
.
, , . , .
.
, .
. : , .
- [1].

1.4

,
, . .
, ,
.
, 24

1.4.
.
, ,
.
.
, . (R) [ R ] . .
, , .
- . ().
:
;
;
.


.

. ,
.
, , .

,
. . 25

1.

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Si

. 1.16.

, , ,
.
R , , :
R
O

Si
R

R CH3 , C2 H5 . , ,
, , .
( ), . ,
, .
200 /2 .
SiO2 , B2 O3 , P2 O5 .
,
.
.
26

1.4.
,
. 1.16.
, .

, . . , ( ). . A.4 ,
IIVV ( ), IIIIIIVVVI ( ), IIIIVVVI
( ).
. . , ,
, .


, . ,
, - ,
, , [1].

27

2.1

, , .
,
.

, .
.

. , , ,
39 29,8 .
.
.

, .
, ,
( ) , , -

2.2.
.
(), ,
.

,
,
.

.
0,1 .
[3].

2.2

, , :
;
;
;
;
[3].
. . , :
5% Zn, Cd, Ag;
2540% Ni, Sn, Al;
55% Be, As, Fe, Si, P.
[3].
. , .
,
29

2.
. :
(),
,
; . ;
(), , ,
.
[3].
. :
, , ;
, , ;
, ();
();
;
,
;
[3].

2.3

,
, :
;
;
;
(1- ).
30

2.4.
Al2 O3 Na3 AlF6 [3].
. ,
. ,
, . -.
,
, .

. .
. ,
. . .,
, , .

.
.
. , , [3].

2.4

- , ,
, , , .
31

2.

( = 400 600 ,
= 35 50%).
: , , , . .

.
,
.
,
,
.
,
. .
, [3].

2.5

, ,
,
.
.
, .
- .
, . ,
. 32

2.6.
.
. , , , , .
, , ,
[3].

2.6

, . 150 ,
40%.
, - , .

,
.
,
. -
( ).
, . [3].

2.7

, ,
; (0,0150 ).

200 , 50%.
33

2.

. ,
. , , .
. .
.

, , , .
. ,
Ag2 S ,
. .
,
, . . [3].

2.8

,
. ,
. , ,
,
. , .
, 1600 C.
0,001 34

2.9.
( ) -
( ).

, .
; , , ,
, ,
[3].

2.9

- , , ;
, , .
,
45 .
. , ,
(150300 C)
0,0150,1 ,

350500 C. 850-
.
. .
:
200 , 40% [3].

2.10

1,6 , 3,5 . 35

2.

, . . ,
. .
.
,
. .
, .

. ,
[3].

36

3.1

,
.
(, ,
. .), .

[3].
. ,
. . .

. , ,
.

3.

Si

Si

Si

Si

Si

Si

Si

Si

Si

Si

Si

Si

Si

Si

Si

Si

Si

. 3.1. () ()

, .
. , , , ,
(. 3.1, ).
.
. , .
.
[3].
.
, (. 3.1, ). ,
,
.
.
, (. 3.2). 38

3.1.
E

E
c

. 3.2. - ()
- ():
, ,

, . , [3].
.
, .
, (. 3.2, ).


.
, [3].
. , .
, (. 3.2, ),
.
, - [3].
39

3.
. , , ,
.
- ,
. . 0 0 , :
0 0 = 2 ,

(3.1)

. (3.1) ,
,
[4].

3.2
3.2.1

.
:
1. ,
;
2. ;
3. ;
4.
.
. , , .
, 900 C SiO2 , 1100
1300 C , Si3 N4 .
(Al, Ga, Sn, Au, Ag),
40

3.2.
1,17
1,16

1,15
1,14
1,13
1,12
1,11
1,1
1,09
0

100

200

300

400

T,

. 3.3.

(Cr, Mo, Fe, Cu, Mg)


.
. A.2.
. 3.3. 250 , [3].
.
(1 . . . 5 ). , ,
-.
SiO2 ,
. 0,2 . . . 1,2 .
Si3 N4 . 0,1
1100 . . . 1200 C , .

. Si3 N4 ,
41

3.
900 C. 109 /, , , 7 10 [3].
. V III .
0,05 [3].
. ,

(. 3.6):
SiCl4

()

+ 2H2

()

Si() + 4 HCl() .

1200 C. ,
, .
, - HCl.
.
. 15 . . . 20 /. 2 20 .
, (PCl3 , AsH3 , . .).

[4].
.
.

,
[4].
.
, .
-
.
. , 42

3.2.
-, , , .
10 .
(
3 400 ) .
(, , ). 10
7000 .
, , , , , , .
, . (0,3 . . . 1,1 ) . .
-. 10 . . . 12%.
, ,

, .

180200 C [4].

3.2.2

. , , , .
:
1. GeCl4 ,
83 C;
43

3.
2. ;
3. :
GeCl4 + 2 H2 O GeO2 + 4 HCl;
4. :
650700 C

GeO2 + 2 H2 Ge + 2 H2 O.

. :

;
.
. , . .

. 650 C , GeO2 .
, . , .
, . ,
.
, .
. A.2. , ,
.
. 3.4 [3].
. ,
V III .
44

3.2.
0,76
0,74

0,72
0,7
0,68
0,66
0,64
0,62
0

100

200

300

400

T,

. 3.4.

0,01 .
, .

[3].
. [3].
. , ,
. .

0,3 1000 0,5 .

.
- , . SiO2
.
,
.

.
45

3.

,
( ), ,
.
60 +70 C.
[4].

3.3

.

(. . A.2):


,
=

- ,
- .
, ( --, -).

, . , . .
,
[5].

3.3.1

AIII BV

. III V (. . A.5), .
(. 3.5, ), , (. 3.5, ). III
46

3.3.

. 3.5. () ()

V . [5] [4].
. AIII BV
: , , , .
, , ,
- 1 .
1,7 . , , GaN GaP.
, , (
), ( ).


-. . 1 ,
, ,
.

47

3.
,
[4].
. AIII BV GaAs.
- , . , , , , .
. GaAs
. AlGaAs/GaAs [4].
. GaN .
,
[4].

3.3.2

,
. , .
.
(), () - () . .
.
[4].
. 48

3.3.

e2
e1

c
1

h1
h2

e2
e1

c
h

h2
h1

d
z

. 3.6. . 3.7.

, .

.
.
- .
( 1- )
(. 3.6) ,
:
+ = 1 2 .
GaAs/Al Ga1 As, GaSb/Al Ga1 Sb, InP/Ga In1 P As1 ,
GaAs/Ga In1 As, GaAs/GaP As1 , InP/Ga In1 As1 .

. , ,
,
1
.

49

3.
.
.
( 2- ) (. 3.7) , :
= 1 2 .
.
.
, ,
.
. .
GaSb/Ga In1 As Sb1 , InAs/InP As Sb1 , GaSb/InAs,
Ga In1 As/InP As1 . [4].
.
, .
,
( 106 2/()), [4].

3.3.3

AII BVI

. AII BVI , , . (. 3.5). , AIII BV (. . 3.3.1),


.
, AII BVI , ,
50

3.3.
.
, -. .
.
AII BVI
.

, [4].
.
, , ,
.
-
AII BVI , Cd Hg1 Te.
[4].

3.3.4

AIV BVI

. AIV BVI , .
. A.2.
NaCl, .
, .

,
.
( 12 , AIII BV ) [4].
51

3.
.
. , . .
. ,
[4].
. - , - .
6 32 .

[4].

3.3.5

.
, , .
, -
3 3 2 .
SiC
.
.

. ,
,
. [4].

3.4

.
.
52

3.4.

. 3.8. :
1 , ; 2 ; 3
; 4 ; 5 -

. . 3.8.

.
. .
. .

, (SiO2 ) , , , ,
, [2].
.
, .

0 =
.
0 < 1, . .
.
(. 3.9) . . , 53

3.
1

. 3.9. :
1 , 2 , 3 , 4
, 5 .

, ,
. , 0 < 1, .
(5 . . . 8) . .
. , ,
. ,
. .
,
.
, , ,
,
[2].

3.5

- . , 54

3.5.
. . .
.
(). :
; ; .
:

(P , As, Sb ), ;
, ;
,
;

;
[2].
. .

,
.
: .
, .
, , .
.
1. . , , , , . .
55

3.
,
:
.

.
2. . ,
, ;
3. - .
, . ,
;
4. . , .
, , ;
5. , . , .
, . . [2].
.
(. 3.10). .
56

3.6.
1
6

5
4
3

. 3.10. :
1 , 2 , 3 , 4
, 5 , 6

, ,
, [2].
. ,
, .
. .
3,09% 30
14 Si. 31
14 Si ( 9438 ), 31
15 P:
30
14 Si

+ 0

31
14 Si

31
15 P

+ .

[4].

3.6

, 57

3.
1

. 3.11. :
1 , 2 . -

-, . , . . . . ,
; 1 .
.
- [2].
.
2 (. 3.11) :
1. ;
2. ;
3. :
3.1. .
.
,
(, . .).
1

.
PVD- (. PVD physical vapour
deposition ).
2

58

3.6.

, ;

, ;
,
.
3.2. . ,
.
3.3. . ,
, . .
3.4. [2].
- . , .
. . 3.12.
108 .
.
.

. :
( 1 /) ;
;

;
;
[2].

59

3.
11

10
2

4
5
6
8

. 3.12. -
:
1 -, 2 , 3 , 4 ,
5 ( ), 6
, 7 , 8
, 9 , 10
, 11 (
,
)

. 1
(. 3.13), , - ( , ) -. ,
, ,
, . . ,
(SiCl4 ):
SiCl4 + 2 H2  Si + 4 HCl .

[2].
. .
1 CVD- (. CVD chemical
vapour deposition ).

60

3.6.
2

. 3.13. :
1 ; 2 ; 3 ; 4

.
,
(. 3.14). . .
, [2].
1

. 3.14. ,
:
1 ; 2 ; 3

61

4.1

> 108 .
,
3 .
, ,
,
[4].

4.1.1

.
, , . . . , (. 4.1).
,
.
, , (), -

4.1.
+
+
+
+
+
+
+
+

+ + +
+ + +
+ + +
+ + +
+ + +
+ + +
+ + +
+ + +
+ + +

. 4.1.

. .

= 0 , , 0
(. . ).

: = 0 ,
0 = 8,854 1012 / .
. , /2 : = / [3].
. :

(. 4.2). ( 1015 ). .
,
. 1013 . .
- 63

4.

+
+

. 4.2.
:
;

, (. 4.3). .
. , . ,
.
-
,
. ,
. .
-

.
, .
, , .
()
(. 4.3.1) [3].

64

4.1.

+
+

+ + +
+

+ +
+
+

+
+ +
+

. 4.3. - :
;

.
(
).
,
,
. , , ,
.
, , - . , , .
. :
* (, , , TiO2 );
* , ( , ).
( ).
(,
) [3].
65

4.

4.1.2

,
,
.
,
, .
,
,
.

.
.
, , .
.
, ( ) :
= + .

,
(, ) :

= .

. , , .
( ) ,
,
, :
=

= , .
66

4.1.
.
V S .
V :

V = ,

, ,
.
S
:

S = S ,

S ,
.
:
1
1
1
+
=
.

S
, , , ,
,
0 :
0 = = 8,85 1012 .
.
. ,
.

4.1.3

, ,
.
67

4.


.
,
90
.
, .
tg .
.
. , .

tg =

1,8 1010
,

(4.1)

, ,
.
.
, ,
. 0
:
0 1 , ,
;
0 1 , ,
;
0 1 ,
, .
.
. (4.1).
68

4.2.
:
3

. = 1 ( ) ,
1 , .
.
. ,
. .
. , , . .

4.2
4.2.1

,
, ,
. . , , . , . , .
. ,

(, CH3 , C6 H6 , C2 H5
. .).
, , , .

. ,
69

4.
, , . , , , , . (, , ), , , [3].
.
, .
, , --.

( ).
, .
- ,
.
() .
, , . , ,
-- .
, , .
, [3].
. . , . 70

4.2.

, . ,
. .
.
( ). , .
, . . 180
.

(, ).
. .
.
, , , .
,
, . () [3].

.
- , . . ,

,
.
71

4.
. ,

. [3]

4.2.2

, ,
--.
,
. , ,
, (-4).
, .
, -
- . , (

),
.
[4].

4.2.3



, ( ) ( , , , , . .). ,
.
. (72

4.2.
, , .) .
.
, -, -, -, -, , .

- .

: , , , ,
, , , ,
. , .
, .
.
, -
. .
, , .
,
. ( )
[3].

4.2.4

(, , , . .),
73

4.


.
.
:
, , , , ,
.
, , , , , ,
.
,
, , , ,
. . [3].
.

:
, , , . .
.

, . .
, .
74

4.2.
. ,
.
.

, .

, , , . ,
, ,
,
, .
.
- : ,
, .
.

. ()
[3].

4.2.5

,

.
, . .
. SiO2 , B2 O3 , GeO2 , P2 O5 . (. .
75

4.
SiO2 ) , . ,
( -).
: SiO2 , Na2 CO3 , K2 CO3 , CaCO3 , CaCO3 MgCO3 , Na2 SO4 , Na2 B4 O7 , H3 BO3 , Pb3 O4 ,
Al2 O3 6 SiO2 K2 O .

. , .
, , , , . .
,
.
,
- [3].
. :
( ).
(
). , ,
, .
.
:
;
-.
. ,
(), .
76

4.2.
(, - ). , ,
,

[3].

.
, -
, , , , , ,
. .
( )
( ) . .
. (, , .). , , , , -.
.
. : CaO
, Cr2 O3 , MnO2 , UO3 , Na2 SeO3 ,
, .
. .
Nd3+ , 6%. , , ( 1,8 70 )
77

4.
.
.
.

.

: , . ,
. . , , , .
, [3].

4.2.6

, . .

- . ,
, , .
. , .
500
700 C 9001100 C.
, . 95%, 0,051 . ,
, ,
.
78

4.2.
.
(,
, , .), , ,
.
- . . . , , .
, ,
.
TiO2 , FeS, B2 O3 , Cr2 O8 , V2 O6 ,
- . .
.

.
(, ), - .

[3].

4.2.7

, .
. :
1. .

. .
79

4.
, . .
2. .
. .
.
3. . ,
.

.
4. . 1300 . ,
.
,
.
,
, . . . ,
20%. ,
.
, , ,
( 5% ) [3].
.
. , , , , , , , .
,
.
80

4.2.
. ,
. , , .
- .
.

, .
,
, (> 80%). . , .
,
,
( 1600 ), ( 10 . . . 20 ,
). . 90 . . . 95% (Al2 O3 ). .
. , . ,
.
.
(BeO).

81

4.
.
. ,
BeO , .

(BaOAl2 O3 2 SiO2 ), BaCO3 (Al2 O3 2 SiO2 2 H2 O).


, .
.

.
(3 MgO4 SiO2 H2 O). (11,5%),
.
, , .
(2 MgOSiO2 ).
, , ,


[3].
.
. , , .
.
, ,
. (Ti2 ),
(CaTiO3 ), (SrTiO3 ).
82

4.3.
P

. 4.4.


- ( TiO2 ZrO2 ),
(LaAlO3 CaTiO3 ) (CaSnO3 CaTiO3 CaZrO3 ).
, .
.
(BaTiO3 , ).
, .

(, ) [3].

4.3
4.3.1

. ( ),
83

4.
, .
, .
,
KNaC4 H4 O6 4 2 ; . , ,
BaTiO3 PbTiO3 .
,
( ) , () ( ); , ()
( , ,
).
( ,
), ( , ). , , (104 ).
,
(
- ), [3].
.
, :
1. ;
2. ,
;
84

4.3.
3. -
;
4. -
;
5.
[3].

4.3.2


( . 4.5, ).

(. 4.5, ).

:
= ,
, , , (/)
, ,
.

0

0 =
:

= .

+++++++++

. 4.5. :
,

85

4.
,
, .
:
( 1012 /), , ( ),
, , , ;
LiTaO3 , LiNbO3 ( 1010 /),
,
(1010 );
(), ,
PbZrO3 PbTiO3 () ,

( , , , , ) ,
(, , );
, ,
(CH2 CF2 ) ( 1011 /),
, ,
, , [3].

4.3.3

, .

=
.
,
.
86

4.3.

, , , ,
. , ,
.
LiTaO3 , LiNbO3 ,
.

,
.

-
[3].

4.3.4

, , . . .
.
(. 4.6, )
(, ). .
(. 4.6, ) ,
(, ), . .
()
, (. 4.6, ).
(. 4.6, )
87

4.
+

+
+

+
+

+ +

+
+

h
+
+ + +

+ + +

+ + +

. 4.6. :
; ;
; ;

.
(. 4.6, ) .
.
, , , , , ,
, [3].

4.3.5

, ,
.
(c-Si) HF.
() . ()
. 88

4.3.
c-Si
.
, ,
(). :
= Si

-Si
,
Si

Si -Si
.
(2005 ) 5 95%.
:
.
, , 10 .
SiO2 ,
. , . ,

.
50%. ,

, .
. ( < 30%) ) .
.
,
() . GaAs, PbS,
89

4.
PbTe . .
.
,
.

(, ).
. ,
,
,

( ).
(
, ), .
. , , . > 50% . ,
,
[5].

4.3.6

() , , , , , ,
.
,
, , .
. 90

4.3.

. 4.7. :
, ,

-- -- ():

CH3



T
T

TT
TT



CH



T
T

TT
TT



C4 H9


: , . [3]
.
(. 4.7, ).
, .
. ,
. - . [3]
.
. , ,
(. 4.7, ). . [3]
. , ,
91

4.
. ()
.
(. 4.8). , ,
(530 ).
. (. 4.8, ),
(. 4.8, ),
.

( 106 ) .
, . ,
.
( 109 )
. , .

90 .
.
,
.
, .
, . , . . . .
:
;
;
92

4.4.
1

. 4.8. -: (
), (
), 1 , 2 , 3
, 4 , 5
()

;
.
, - . [3]
. , ,
.
, 300 .
, . , ,
.
,
. . [3]

4.4

.
93

4.
SiO2 , Si3 N4 (, ,
,
SiO2 Si3 N4 (. 3.6). .
SiO2 .
. SiO2 .
.
, , = 9001200 C. 510 . , . .
, , , .
(1020 ) ( 10 )
().

.

.
.
. SiO2 : 1 .

HfO2 , (high-k ). HfO2 : ( = 1425)
( = 85,7 ) [5].
94

4.4.
Si3 N4 .
.
,
, . . , .
, , . :
( );
(SiH4 ) ;
;
;
.

, , , [5].
.
( ), , .

95

. . .
. . .
.
. . .
.
. . .
. . .
.
. . .
.
.
.
. . .
. . .
. . .
. . .
. . .

Al
V
Bi
W
Ga
Fe
Au
In
Ir
Cd
Co
Mg
Cu
Mo
Na
Ni
Nb

0,404
0,303
0,474
0,316
*
0,453
0,286
0,407
0,458
0,384
0,296
0,251
0,321
0,361
0,315
0,428
0,352
0,330

= 5741

0,766

0,494
0,495
0,563
0,409
0,530

,
,
/3
2,71
6,11
9,80
19,25
5,91
7,87
19,32
7,31
22,65
8,65
8,84
1,74
8,93
10,22
1,01
8,91
8,58

, C
660
1919
271
3420
29,8
1539
1046
156,8
2447
321
1494
651
1084
2620
98
1455
2469


, /()
218
31
8,4
154
29,3
74
311
85
146
97,6
70
167
406
147
132
88,5
53,2

.
, l106, 1
21
8,3
13,4
5,5
18
11,7
14,2
33
6,5
29
13,4
26
16,6
6,0
72
13,5
7,1

2,65
22,6
1,07
5,6
40,1
9,7
2,25
8,4
5,4
7,6
4,3
4,5
1,68
5,2
4,3
6,8
15,0

,
10 8,

A.1. .
.
, 103, 1
4,1
3,6
4,2
5,0
3,9
6,6
3,9
4,9
4,1
4,0
6,0
2,6
4,3
4,3
5,5
6,7
4,0


,
4,25
4,12
4,4
4,54
3,96
4,31
4,3
3,8
4,7
4,1
4,4
3,64
4,4
4,3
2,35
4,50
3,99


-, /
1,3
+0,9
75,0
+2,0

+16,6
+1,5

+1,0
+2,1
+20,1
+4,5
+1,5
+6,3
8,7
19,3
0,7

769

1131

358

97

98

.
. . .
. . .
.
. . .
.
. . .
. . .
. . .
. . .
.
. . .
. . .
. . .
.
.

Sn
Pd
Pt
Re
Rh
Hg
Rb
Pb
Ag
Ta
Ti
Th
Cr
Cs
Zn
Zr

0,583
0,388
0,392
0,276
0,380
0,346
0,570
0,495
0,409
0,331
0,295
0,509
0,288
0,614
0,266
0,323

0,318

0,446

0,671

0,468

0,495
0,515

,
,
/3
7,29
12,02
21,47
21,03
12,42
13,5 **
1,53
11,34
10,50
16,66
4,51
11,72
7,19
1,90
7,13
6,51

, C
232
1554
1772
3190
1963
39
39,5
327
962
2996
1670
1750
1890
28,5
419,5
1885


, /()
65
76,2
76
70
152
7,9 **
35,6
35,0
453
45,2
22
35,3
89
18,4
113
29,5

.
, l106, 1
26,2
12,5
9,0
6,6
8,5
182**
90
28,5
18,8
6,6
9,2
11,3
4,4
97
39,7
5,9

,
108,
11,3
10,2
9,8
17,2
3,94
94,7 **
11,3
19
1,50
12,4
47
13
15
18,3
5,45
41

.
, 103 , 1
4,5
3,8
3,9
3,5
4,6
0,9 **
4,7
4,2
4,1
3,2
3,0
3,3
3,0
5,0
4,2
4,4


,
4,38
4,8
5,32
5,0
4,75
4,52 **
2,13
4,0
4,3
4,12
3,95
3,36
4,48
1,81
4,24
4,0


-, /
1,1
10,3
5,1
7,5
+1,6
+8,1**
8,2
1,2
+1,5
2,5
+4,5
3,0
+18
+0,2
+1,5
+5,2

38

: * = 0,452 ; ** ; ; ; ;
, ; . . . ; . . . .

A.1.

A.

10
10
6
6
10
19
28
14
23
32
23
32
41

Si
Ge
C
SiC
SiC
BN
BN
AlN
GaN
InN
AlP
GaP
InP
AlAs
GaAs
InAs

5,4307
5,6575
3,567
4,3596
3,0809
3,615
2,504
3,111
3,189
3,533
5,4636
5,4509
5,8688
5,6605
5,6532
6,0584

10,
,
/3
2,33
5,327
3,52
3,215
3,216
3,49
2,26
3,26
6,11
6,88
2,37
4,13
4,78
3,60
5,32
5,67

, C
1414
937
4300
2830
2830
3000
2700
2400
1700
1100
2000
1467
1070
1770
1238
942


, /()
150
60

500
500
500
80
200
130
80
90
110
67
8
46
26


, 1
2,6
5,8
3,2
3,28
2,48
3,5

4,8
4,4
3,5
4,2
5,9
4,6
5,2
6,4
5,3

.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.

1,12
0,67
5,47
2,39
3,02
7,5
3,85
5,88
3,40
1,6
2,45
2,27
1,351
2,168
1,424
0,360

2,84
3,9

5,8
5,5

6,0
8,3
3,5
4,7
2,8
4,0
4,0
3,5

,
d( )/dT 10 4, /
,
2/()

A.2. .

1500
3900
1800
1000
360

80
440
50
80
190
4600
280
9500
33000

480
1900
1200
60
60

14
30

30
120
150

450
460

11,9

16,0

5,7

9,72 6,52
10,0
6,70
7,1
4,5
4,15 3,25
8,5
4,8
9,0
5,35
15,0
8,4
9,9
7,6
11,1
9,1
12,4
9,5
10,1
8,16
13,1 10,4
14,6 11,8


h =
3,44
4,00
2,42
2,68
2,75
2,1
2,2
2,2
2,3
2,9
3,0
3,45
3,45
3,5
3,65
3,52

99

100

32
41
50
6
19
23
23
32
48
32
41
57
41
50
66
49
58
67

AlSb
GaSb
InSb
BeO
ZnO
ZnS
ZnS
CdS
HgS
ZnSe
CdSe
HgSe
ZnTe
CdTe
HgTe
PbS
PbSe
PbTe

NaCl
NaCl
NaCl
NaCl

6,1355
6,0959
6,4794
2,69
3,253
3,822
5,4102
4,136
5,850
5,6687
4,299
6,084
6,1033
6,4834
6,463
5,936
6,124
6,462

4,39
5,213
6,260

6,714

7,011

,
/3
4,28
5,61
5,78
3,03
5,68
4,09
4,10
4,82
7,73
5,26
5,81
8,25
5,63
5,86
8,09
7,61
8,15
8,16

.
, 1


, /()

, C
1065
56
4,2
712
35
6,2
525
18
4,9
2550 300
5,2
2300
30
5,4
1830
16
6,2
1020* 16
6,14
1750
20
5,4
1480

20
1520
19
7,14
1264
4,5
4,3
790
2,0
1,8
1295
20
8,3
1098
6,5
6,2
670
2,2
6,8
1078
144 19,4
1065
94
19,4
920
115 19,8
*

.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.

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10,


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3,5
3,7
3,0

3,8
5,2
5,0

4,5
4,6

4,1
4,1
5,0
4,2
4,0
4,3

200
4000
78000

200
140
280
300
700
600
900
20000
530
1200
25000
600
1200
1800

550
1400
750

180
100

50

28
50

30
60
200
700
1000
900
.

1,61
0,726
0,172
6,0
3,43
3,74
3,68
2,48
2,0
2,70
1,75
0,6
2,28
1,51
0,02
0,41
0,28
0,32

,
2/()

A.2.



12,0 10,2
15,7 14,4
17,7 15,7

8,75 3,75
9,6
5,4
8,3
5,4
8,8
5,3
31,0

8,1
5,4
9,7
6,2
26,0

9,67 7,28
10,2
7,1
48,0

180,0
20
227,0
24
428,0
35


h =
3,4
3,82
3,96
1,71
1,96
2,4
2,4
2,5

2,89

3,8
4,1
4,6
5,3

A.

101
3,4...3,5
3,0...3,5

1,05...1,10

2,15...2,2

1,2...1,3

1,4

()

1,9...2,2

0,92...0,93

3,0...3,2
6,6
3,6
4...6

1,17...1,22

1,76

1,18...1,19

1,13...1,16

2,5...2,6

2,0

2,2...2,4

0,92...0,97

,
/3

20...110*
40...250*
20...50
20...180*

30...150*

(2...3)104
(2...3)104
0,01...0,05
(2...20)104
(2...60)103
0,17
0,01...0,02
0,02...0,1

1014...1015
1014...1015
109 ...1013
1012...1014
1014...1015
1012
1010...1011
1011...1012

(150...200)
(150...300)

50...100

400...600

20...25

15...25

40

30...130*

(3...5)104

1012...1015

(200...300)

40...150*

(2...4)104

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, f = 1
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l 106, 1
(200...300)

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60...80C

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100C


100


400

0,01...0,5

107 ...1012

4...6

102

100...250*
40...400*
40...400*

20...85

0,01...0,02
(1...6)104
(2...3)104
(2...7)103
(1...80)103

1012...1014
1012...1014
1014...1015
106 ...1010
108 ...1012

10...20

3...500

4...6,5
6...8
3,8
6...11

5...10

1,2...1,9

2,6...2,8

2,2

2,2...3,0

2,4...2,8

20...45

0,02...0,04

108 ...1011

5,5...6

1,6...1,8

10...16

0,04...0,08

108 ...1011

6...7

1,3...1,4

15...30

5...17

20...25

30...200*

1,4...2,0

0,02...0,03

1012...1013

1,2

3...4

1,3...1,5

(0,6...2)103

, ,
, f = 1
/
1015...1016

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l 106, 1

A.3.


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500C

180...300C

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A.

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3,9

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70...80
140...150
20000

2,9...3,0

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3,8

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6...7

25...30
30...45
30...45
25...40
10...20
10...20

1014...1015
(1...2)10 4
(2...3)10 4
(6...8)10 4
(4...5)104
(3...4)104
0,05...0,3

1013...1015
1014...1015
1016
1016
1013...1015
1011...1013
109 ...1011

70...180
(70100)
(1300200)

40...80

80...100

100...120

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25...30

(1...10)104

1012...1013

80...140

25...85

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, f = 1
/
109 ...1011

,
l 106, 1

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/3

A.3.

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Ge

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Se

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52

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Sb

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104


1. . . ( ). : , 1979. 64 .
2. . ., . ., . .
. .: ,
2008. 400 .
3. . ., . . . 6-, . . .: , 2004.
368 .
4. . ., . ., . .
. .:
, 2006. . 1. , , . 448 .
5. . ., . . . .: , 2003. 480 .
6. . . . . .: , 1987. 99 .
7. . ., . ., . .
- // . 2006. 30.
.
8. . ., . , . .
105


// . . 2006. 3. . 7073.
9. . ., . . ,
KYW:Yb:Tm 1,9 // -
. 2006. 14. ,
.
10. / .
. . , . . , . . . 3-, . . .: . -, 1988.
. 3. 728 .
11. . ., . . .
.: , 2002.
12. . . . . .: .,
2000. 200 .

106

2009 , 12 ,
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- ,
20092018 .

19451966 (
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1945 . .
17 1945 .
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, , . . . ., . . ( 1951 .). -, 1956 .
( 0705).
. . , . . , . . .
19661970 ( ).
0705
- . 107

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. . .
19701988 ( ).

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. . . .
19881997 (
). , , ( 2205).
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.
2205 - .
1988 . 1992 . . . . ,
. . . .
1997 ( ).
210202 - .

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, 090104 .
, .
1996 . . . ., . . .
4364 .
108

65 .
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- .
1920 . - , 1925 . -.
1933 . .
. . .
1930 , .
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. 1935 .
. 1940 .

, , .

. , ,
, , , .
1976 . ,
109

. , .
1985
.
- 1992
.
2005 . , ,
200101
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( ). 2005 . III
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( 4
2 ) 200100 : (), - (),
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(5 ) 200101 : ,
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110


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111



-
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00408 05.11.99


100 .

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. .