Вы находитесь на странице: 1из 116

..

2010

..

2010

66.01: 537.525
.. : .
/.. ; . . .-. -. , 2010.- 114 .


,

. :

,
.
.
,
,

. 11. . 85. . 2 .

- .

:
, .. ( );
, .. ( )

..

-
, 2010

3
5

I. ..
1.1. ..
1.2. ..
1.3. ..
1.4.

5
5
6
9
9

II. ...
2.1. .
2.2. .
..

11
11

III. .
.
3.1.
3.2. .
3.2.1.
3.2.2. ..
3.3.
..

14
16
16
19
19
20
23

IV.

4.1. .
4.2.

44

V. ,

5.1.
5.2. ...

55
56
57

VI. .

6.1. , .
6.2.
6.3.
6.4. ...
6.5.
.
VII.
3

32
32

60
60
62
62
63
64
64

7.1.
7.2. .
7.3. ..
7.4.
7.5.
7.6. ,
...
7.7. .
7.8.

...
7.9. ...
7.10.

.
7.11.
..
7.12.
.
.
..

65
68
74
75
76
79
83
96
102
107
108
111
114
114


, ,
.
,
.
,
, ,
,

, 5000.
,
. .
, .
( ~100).

- .
.
,
.
.
. ,
, .
I.
1.1.

,
.

,
.
.

0.
:

+ divj =0;
t

(1.1)

j .
,
,
:
j = env .
(1.2)
5


E:
m

dv
= eE .
dr

(1.3)

(1.1), (1.2) (1.3), :


2 p
ne 2
=
divE .
(1.4)
t 2
m
divE = 4 , (1.4) :
2 p
4e 2 n
=
.
t 2
m

(1.5)

4e 2 n
= 02 .
m

(1.6)

2 p
= 02 .
t 2

(1.7)

= 0 exp(i 0t ) .

(1.8)

:
(1.5) :
:

, (1.5)
0.
() .
, (1.5), (1.8),
. ,

. ,
:
1

T0

(1.9)


T0 .

,
1/ 0 :
d

(1.10)

1.2.

:

d 2V
= 4e(n+ ne ) ;
dx 2

(1.11)

n+ , ne .
.
, .
, V0 x = 0
R n0 .
V0
. ,
.

Te , (1.11),
:
=

eV
n
n
kTe
,+ = + ,e = e , 2D =
.
4e 2 n0
kTe
n0
n0

(1.12)

(1.11) :

d 2
x
d
D

= + e . .

(1.13)

,
, , ..
+ = 1 . V ,
.. ne = n0 exp( eV / kTe ),e = exp( ) . (1.13) :

d 2

d
D

= 1 exp( ) .

(1.14)

(1.15)

exp( ) 1 :

d 2

d
D

(1.15) :
x
V = V0 exp
D

(1.16)

, , ,
D , D
.

x
S
(,
)


(.1.1).

.1.1.

C = S / 4x , Q = Sene x
:
U=

Q ene Sx
=
= 4ene x 2 .
C S / 4x

, ,
, 4e 2 ne x 2 . kTe
x

kTe
,
4e 2 ne

(1.12), . ,
(1.10)
.
,

, .
,
.
,
. ().
,
,
.

.
Da . 1

. .. -
2008

1.3.
,
.
.
, ,
.

.
. ,

( kTe ).
,
,
.
E

kTe
2e

,

M / m .
eU f
kTe

1 m
ln
.
2 2 M

(1.17)

1.4.

. 1.2.

(,

),

. ,

,


1.2. .
US
,
.
. ,
.
.
.
, .
,
.
.
U S
.
.
( )
.
, U f
.
.
.
.
,
,
( Te ),
U S U f .

.

.

. :
Te =

ek
.
tg

(1.18)

n+
:
12

1 kT
j = n+ e ,
2 M

(1.19)

j
(.1.2).

.
10

(
,
)
,
.
II.
2.1.


.
,
,
,
.

.

,
. , ,
,
,
. ,
,
.
, .
,
. .
,
.
, ,
-
- .

,
,
.
,

.

,
11

.
,
,
. ,
,
N .
.
,
.
(
, ) , ,

. ,
.

, ,
.
,

, ,
,
.

, . 2
i - , .. ()
, , Da -
, -
(
).
:
(2.1)
= 2 / Da .

i1 .
,
,
( ,
, , ). :
i = Da / 2 .
(2.2)

. ..

2006

12


() :
A + e A + + 2e


dne
= k i ne N A ,
dt

k i - .
,
i = ki N A .

():
Da = Da0 / N A .

, (2.2) :
ki =

D A0

( N A )2

(2.3)

, ()
,
,
,
. ,
. ,
,
N A .
,
E / N A ,
, N A
,
.
.

13

1,4

1,2

/ 1

1,0

0,8

0,6

0,4

0,2

0,0
01

5
30

60
20

10

50

100
90

CNR

. 2.1.
CNR . C , , R -

2.2. .


. ,
.

,

.
,
(
-
), .
,
.

,
.
( ,
, ..)
,
, ,
14

,
. , , ,
,
.

.
1)
, ..
. 2) ,
(
), .
,
.

(, )
.
, ,

, .
,
,

. ,
, ,
.


= n / ne . 3

, .
,
(,
), , .
, ..
, .
, , ,
, , ,

.

, . ..

- 2008

15

III. .
( 104 )
3.1.

, , ,
.
. 3.1,

. 3.2.
.
, ,
V, E
. = 0
, . .
I, A 4

-4

10

-7

10

-10

10

B
A
0

.3.1. AB -
, BC - , CD - , DE , EF -

,
. ,

.
16

,

.
,
,
.
( )
.
, . ,
, , .
DE (. 3.1),
,
,
. E
.
.

.
.


.
, .

.
.

,
.
,
.

. ,
.
.
,
. ,
,
,
.

, , ,
.
.
( ,

17

) ,
.
, ,
.
,
.
.
:
Vc =

3B 1
ln1 + .
A

-
, ,
, ,

.

3.1.
.3.2.

:
1.

;
2. ;
3.

;
4. ;
5.

;
6. ;
7. ;
8.

3.1.
Al
Ag
Au
Ba
Bi
C
Ca
Cd

229
280
285
272
266

Ar
100
130
130
93
136
93
119

He
140
162
162
86
137
86
167

H2
170
216
247
240
240
200

Ne
120
150
158
86
160

18

N2
180
233
233
157
210
157
213

O2
311
-

CO
525
-

CO2
-

Cl2
-

3.1
Co
Cu
Fe
Hg
Ir
K
Mo
Mg
Na
Ni
Pb
Pd
Pt
Sb
Sn
Sr
Th
W
Zn

380
370
269
380
180
224
200
226
207
421
277
269
266
277

130
165
64
119
131
124
131
136
124
93
119

177
150
142
59
125
80
158
177
165
86
143

214
250
94
153
185
211
223
276
252226
305
184

220
150
68
115
94
75
140
172
152
125
125
-

208
215
226
170
188
178
197
210
216
225
216
157
216

290
310
364
354

484
484
490
480

460
460
475
410

275
-

3.2.
3.2.1.
, ,

. ,
.
,
,
. .
. ,

.
.

- .
()
. , , .
.
.

,
. ,
,
19


(.3.3).



.

.

.
.3.3.

3.2.2.
,
, (, ,
1) (
). , ,
. 3.4,
(, , ).
, ,
.

.3.4. :

; -
, 100 ,
- .
( 1000 ,
30 ) ,

.


, ,
(, )
,
20

.
,
.

,
(. 3.5
). ,
.
( ) . ,
, .
- 2.4
10 3.

.


.
. 3.5 3.5. .
3.5 .

.
99%
(
, )
. . 3.5

.3.5.
.


.
. -
.
,
. ,

.
. ,
.
.
. 3.6.

. ,
, ,
2.
21

, , ,
,
.

.3.6.
,
.
, ,
.
.

.3.7.


.
(surfatron) (. 3.7)
,
.


1 10
22

40 . 100 600
40 . . 3.7.
(surfaguide)
,

(.
3.7).

.
.
,
.
,
, . 3.7 3.7.
,
(
10 000, 1000,
1014-3).
3.3.

,

H2, N2, O2 .
. ,

.

,
,
.

. 3.8 3.9.
.
,
N / E
NR . 3.9. .
, ..
.

. I / R
.
N / E = f (lg NR )


.
23

,

() ( ne ).

, .
,
H 2 , .

.
, H2
H2.
10

16

E/N, 10 V*cm

0.52
8

1.1
1.5
2.6
3.1

2
0

10

12

14

16

18

ip, mA

.3.8.
(
... ). R=1.05

24

15

-1

N/E, 10 V cm

-2

0
32

44

65

N*R, 10

10
6

16

cm

-2

720

.3.9.
. R (): 0.6; 0.7; 1.1; 1.2
1.6. I (): 0.5 (), 1.0 (), 2.0 (), 4.0 ( ), 6.0 (), 10 (), 12 (
), 16 (), 20 ()


N 2 , N / E = f (lg NR )
(.3.10),
. E / N
.
, , ,
, ( ).
,
.

25

0,20

15

-1

N/E, 10 V cm

-2

0,15

0,10

0,05
1,0

1,5

2,0

2,5
16

3,0

3,5

4,0
10

-2

N*R, 10 cm

.3.10.
. I/R (/): 1.5 (), 3.0 (), 4.5 (), 6.0 (), 7.6
()


,

. .
NR ,
, . 3.11.

, .

( NR )
n / ne , ,

.
, , ,
.
, ( H 2 O, H 2 , O2 )

0,1 .
.
26


H 3O + (H 2 O )n , n 1 8.
2,5

15

-1

N/E, 10 V cm

-1

2,0

1,5

1,0

0,5
0
5*10

15

1
1*10

16

2
2*10

16

5*103

16

1*10 4
17

-2

N*R, cm

.3.11.
. R=1.95 . I
(10-3 ): 0,5; 1,0; 2,0; 4,0; 8,0; 16; 40; 80; 120 ( )


.
.
, ,
. (40 120
)
, NR (.3.12).
, ,
E / N .

N / E = f (lg NR ) .
,
, .


.
.
.

27

V*cm

/N, 10

-16

N *R , 1 0

16

cm

-2

.3.12.
. R=1.54 . I (10-3 ): 120 ();
100 (); 80 (); 60 (); 50 (); 40 (); 30 ()
- -

( ,
) ,

1927 . ,
, , (
) ,
,
.
- (Hoch - ),
(Tief ).
. -
.
(.3.13, .3.15).
,
,
,
.

28

60

50

E, V/cm

40

30

T
20

10
0

10

15

20

25

30

I, mA

.3.13 . . (2) =
800
- -
.
.
. -
.

. .


. 3.14-3.15.


(.3.16).

(.3.17).
,
20 . , -
.

29

1 060

5 05

E/N, Td

240

130

25

21

10

8
1 02

ne , cm

1 40

-3

10

.3.14.


7

1
1006

2
3
4

E/ N, Td

5
50

20
4

2
3
10

2
5

3
21

10

10

16

10

20
5*10

16

30

N*R, cm

40
2*10

17

-2

. 3.15.
( ) ,

30

420

380

400

360

340

1
2
3
4

320

300
0

10

12

P*R, op*c

. 3.16.

10

14

-3

, 10 *

-1

3
4

0
0

12

16

20

I, mA

. 3.17.

31


CO
O2 , CO2 . ,
CO
, .
CO .
(.3.18).

CO . ,
( 0 / 01 ).
20

E/N, 10

-16

V *cm

15

100

10

1
20

5
0

8
16

N*R, 10 cm

10

12

14

-2

.3.18.
.
10-3

IV.

4.1.

,
.

.

32

.
, .
.

.
.
.
.
7

4.1.

: 1 O2b1 +g , 2 -

-16

10

5*10

-17

2*10

-17

4
5

O2 a1 g , 3 - Cl2 B 3 , 4 - N 2 A 3 n , 5 -

H 2 Ob1 A1 , 6 - COb 3 + , 7 - H 2 O 1A2 , 3 A2 , b 3 A

Q, cm

5
-173

10

5*10

-18
2

2*10

-18
1

1
-180

10

2
5

10

4
20

E,

6
50

100

,
,
.

.
() . ,
, ,
. ,
,
.
, , ,
. ,

:
1. ;
2. ;
3. ;
4. .
33

, , .

.

, . ,
,
. ,

.

(10-8-10-6) .

, ,
.
15

10

-17

cm

N2

Q, 10

O2
5

NO
CO
H2
0
25

50

75

Ee,

100

.4.2.

1,0

Q, 10

-16

cm

1,5

0,5

CO2

N2O

0,0

10
10

E,

2
20
10

30
10

.4.3.

34


.4.1.
.4.2 .4.3.


, ..
.

k = Q(v ) f (v )vdv .
0

v - , Q(v ), f (v )
- . 4

( ),
,

. ,


. ,
,
. ,
,
,
.

, .

,
.
, , ,


.
.
,
.
. 4.4,

.. -

, 2008

35



, .

. 4.4. ,
-
-.
, ,
,
,
. ,

.
,


,
, .
, ,

.
.
,
.
, , , .
, ,

, ..~10-16 ( ~108/
~10-8).
, .. ~10-4.
. .
36

, ,
,
,
(. 4.4).
,
.. ,
. , ,
. . 4.4

( v = 0 )
v = 4 . v = 6 v = 4 .
L M .
,
5 .
-

,
.

.4.5. ,
-

-
. ,
, .
, .

37

. 4.5.

0.76 .
,
, M N.
(1 g ) . (13 u )
. ,
, , ,
, ,
, .

21 u 21 u . ,
3 g .
H 2+ 2 g .
-,

. 4.5.
, ,
, .
,
8,8 ,
.
,
2.2.
21 u 21 u .
,
,
. 11.8
3 g . ,

, .
,
,
H 2+ ,
, 15.4 . ,

, ,
,

.

38



. 4.6.
3 g .

.4.6. O2 O2+
(
-)

1 g 1 +g .
1 , . ,
, ,
1 1.62 . ,
,
. , ,
,
.
,
. 1 g 1 +g
.
.


.
39

3 u .
3 P ,
.
,
, 3 P
1 D .
, . 4.6,
,
.
-,

,
7
8 .
.
, .
,
,
,
.
. ,
8 , :
3

+
u

( ) ( )

O2 3 g + e O2 3 u O 3 P + O 1 D .

, ,

,
: O2 (1 g ), O2 (1 +g ), O( 3 P ) ,
O (1 D ) .

N 2 ( X 1 +g ) .

N ( 4 S 0 ) .
.
9.76 .
.
.
,
, ,
. , 5 +g , 7 u+ , 3 u

.
40

.
(. . 4.8). (,
) ,
,
( a )
, ( , ).

.
.
,
.

.4.7.

. 4.8.
.
41


5 +g ,c 3 u , 5 u
a 1 g , B 3 g ,c 3 u ,b1 u .
, ,
, , .
,
,
.


. 4.9 . 4.10.

. ,
. ,
,
,
.
Cl 2 + e Cl + Cl
Br2 + e Br + Br


;
.

. 4.9.

42

.4.10.

,

.

,
,
,
.
, ,
,
.
. ,
,
,
,
. , 10-3
T>6000K.
43


, ,
, ,
(, ),
.

.

,
.
, ,
,
. ,
.
4.2.





, ,
.
,
(
), .
:

H 2 11 g + e H 2 13 u + e H + H + e .

:
d [H ]
= k d ne [H 2 ] .
dt


, k d , ne -
.
,

.
( )
,
.
(
44

) . ,
. ,
, . ,

, .
.
.

.
. ,
,
, , .
, ,
,
, . ,

.
. 4.11 . 4.12 ,
.
, ,
, .

, .
4.11 4.12 ,

.


, (,
).


. ,


.
.

45

. 4.11. () ()
: R=0.6, ( , ) - 4, 6, 8, 10, 12,
14; R = 1.5, ( , ) 4, 10, 15, 25, 30

46

. 4.12. .
R = 1.5, ( , ) 2 . 6, 10, 15, 20, 30

17

, 10

-2 -1

0
0

10

20

I, mA

30

40

. 4.13. () ()

47



(. 4.14).
, .

. ,

.

.4.14.

: a ;
b
.
.


, , ,
.

,
. , ,
, .
,
.
( )
.
, ,
.
,
48

.
,
(. 4.14).
,
( ), . ,
10-4. ,
, .
. (
) - ,
,
.
, ( ,
-
),

, .

. .
,
, ,
.

.
, .
,
:
a =

1
[O]v x .
4

[O ] - (. . 4.14b), v x .
,
, ,
,
, .

1
d 1 .
2

, ,
1
1
[O]v x .
a 1 / d 1 =
2
2d

(
), , ,

, ,
.
49

.

. ,

.
=

2d
.
v x


.
, ..
O + O + O2 O2 + O2 .

d [O ]
2
dt = k p [O ] [O2 ].


(
) , .

.
,
. - , ..
[O2 ]0 ,
2 [O2 ]0 ,
(1 )[O2 ]0 .
:
2[O2 ]0

d
2
= k p {2[O2 ]0 } 2 (1 )[O2 ]0 .
dt

d
2
= k p 2 (1 ) 2[O2 ]0 .
dt


1
d
2
= 2k p 2 [O2 ]0
dt

(
)
:
d

=
.
dt

= 2k p [O2 ]02

50


, . ,

:

{2k

[O2 ]02 }

2d
.
v x

(
, ),
.

[O2 ]0

v x
.
4dk p

,
k p 2 10 33 6 1 , ,
= 10 4 ; = 0,1 d 1 10 1
... . ,

(, ).

.
, ,
,
.
.
.
,

.
,
.

(. 4.13, 4.15 4.17).
,
.

( 4.1).
( )
,
( 4.2).

51

10

17

, 10

-2 -1

0
0

10

20

I, mA

30

40

.4.15. 2 Ig
() ()
0.4 3.1

17

5*10 5

17

, 10

-2 -1

17

2*10 4

17

1*10 3
16

5*10 2
2*10 1
16

16

1*10 0

.4.16. () ()
5 , 18 , 40

52

18

10

17

, 10

-2 -1

17

2*10 4

16

5*10

16

10 0

.4.17. 2 Ig
() ()
5 , 18 , 40
4.1.

1
H2

, -3
2
3
4
5
R=0.75, I=20
~50%, .
H
. R=0.47,
3 - 42%
I=5-40, =1.5-4.5
- , 14,
~5%, .
=0.11-0.15
1013-3*1015
, 17
=0.03 0.15
.
, = (7-8)*10-2,
0.06%
14% (
W=100
. O2 )
, 3, =0.5
2% ()
20%()
- , 3, R=0.4,
90%
= 0.25-4 , W = 100
(3-7)*1015
, = 0.4-2
(5-47)%

53

4.1
N2

O2

H 2O

, R = 1.5, =
1.9-7, I = 15-70
, R=0,4,
= 0.5-10, I = 100-240
- , = 2-6.6
, 24, R = 1.5,
= 2-10
, 2.45, R = 0.9,
= 6-8.6,W=100
, = 2-10
, 2,45,
= 0.1-6
, 2.45
= 2.3-5.8
, R=0.5,
=0.5-5 , I = 4-10
, R=1.25,
=0.027-0.14 , I=60-600
, R=0.85,
=2.5 , W = 4-30
, 29, R=2.5,
=1.35, W=500
, 2.45, R=0.5
0.65, =0.1-10, W=15-150
, 2.45, R=1.1,
=0.75, W=100
, 2,45, R=0.1;
0.55; =0.4-1.3, W=10-800
,R=1.25,
= 0.1-0.3, I = 200
; 4.5, R = 0.5,
= 1-150

(0.1-1)%

(0,3-3)%

1015
=6.6
-

(0.1-0.5)%

2*1014

~0.2%

1,5*1015
3*10132.2*1015
-

~3%
(0.2-2.2)%
~0.8%

(1-4)%

(0.65-6.6)%

(1-7)%

(0.2-6.2)*1013

1.6%

1013-1016

(0.02-20)%

99%

0.9-17%

H 2 ,O2

64%

O& H , H , O

[OH ] = 1014 1015

O& H , H , O

, 20,=0.05-0.2

CO2

1014-3*1015

, R=1.65,
I=5-100, =2
, =1-2,
I=15-75
, 50, R=0.6,
=0.01-1

O, CO

0.3%

[OH ] =2*1013
[O] =8*1014
[ H ] =3*1015

(10-70)%
(3.8-70)%
1%
=0.6

54

4.2.

(
)


Al 2 O3

TiO2
MgO
NiO

Pt
Al
Ti
Ni

Au
Mo
Ag
Fe

H
N
O
OH
H
N
OH
N
O
O
H
H
N
O
N
N
O
O
H
H
N
H
O
H
H
O
H
O
N
O
O

15-5000
300-1200
15-5000
250
15-5000
-

300
15-2000
15-2000
400
100-2000
18-1200
180
280
15-5000C
380
55-4600
35-2850
30-600
280C
300C

0.75
.

0.01-0.2
4.8
0.01-1
0.01-1
-

3-13
0.1-10
0.24-1.35
1-8

0.09-1.35
0.09-1.35
-

7*10-4 2.8*10-3
8*10-4 2*10-3
3*10-5 3.2*10-4
5*10-6
2*10-6-2*10-3
1.6*10-5
10-5-4*10-3
2.9*10-5
4.1*10-5
7*10-5
(4-9)*10-2
0.22-0.33
2.2*10-3
(1.803.4)*10-3
0.18
(0.7-10.8)*10-3
(2.9-4.7)*10-3
7.1*10-3
2*10-3
0.25-1
0.011
0.01-0.1
(7-10)*10-3
0.1-0.48
0.14-0.6
(7-10)*10-3
0.1
5*10-3
0.04-0.22
0.24
(1.7-3.6)*10-2

V. ,

.

.

.
55

5.1.

1
3
N 2 + H 2 = NH 3 + 11,0 .
2
2

, ,
,
, , .

. 5.1.

,
.

6%.
98%.
,
.
-,
10 .
(. 5.1).

56

, 5.4 ,
.

,
1 /, ..
.
,
,
.

, ,
, 17 .
(15,65 ),
,
N 2+ .

.
,
N 2 H + , -,
N 2+ + H 2 = N 2 H + + H .
, , ,
.
.

,
. ,
N 2 H +
,
.
, - N 2+
.
,
. ,
, .. ,
.

,
- .
5.2.
(
)
. 30 50 /,
60-63 .
57


34.5 , ..1.5 ,
1200 /, .. 40-20
.
, ,
.
, ,

,
(
).
,

, ,
(,
) . , ,
,
, , ..
, . ,

, ,
, ,
,
(,
,
, ;
, ,
).
,
.


.

,
. , ,
,
.
,
, 2O2 = O3 + O
4,0 ,
, 4,0
. ,
, 3 u+ ,
58

4.6 (. . 4.6).
,
(
5,1 ,
12,1 ).
-
O2 3 g
O2 3 u+ 7 ,
5,1 .
,
.
3 g 3 u , ,
3 g 3 u+ , , ,
, , ,
,
3 g 3 u . , , O2 3 u
8 ,
8 .
400 /.
.
150
/ 11,9 .


: ,
. ,

.
. , ,
, ,
,
.

59

VI. .
6
6.1. ,
,
, ,
.

,
. ,

.

.
.
, :
, ,
.
(10-1-10 ).
(. 6.1)

12.
50 2
.
(.6.2)
, ,
.

. .. , ..
2008.

60

.6.1. : 1
; 2 ; 3 ; 4
; 5
; 6 ; 7 ; 8

.6.2. : 1 ;
2 ; 3 ; 4 ; 5 ; 6 ; 7
() (); 8 ; 9-() ;
10 ; 11 ; 12
61

6.2.

, ,
, CO, H 2 , N 2 .
.
, .
, ,
.
.
, ,
.

: , ,
, ,

, .
.

,
. ,
,
,
. ,
, 1-2 .

.
,
.
5 250
.
, .
.

.
6.3.
,
.
:
SiH 4
;
62


;
; SiCl 4 , NH 3 , N 2 , N 2 O
;
;
TiCl 4 CO2 .
,
.
.
.

4
11, 106 107 /, tg (6 7 ) 10 4 ,
51014 , 1,95 2,1,
- 1,4 12,2 .
,
, .

,
.
6.4.

,
, , ,
.

:
;

;
,

;

;
, , .
:
.
,
25 .
10-2 1.5 , 30-150 .
600-3000
63

.
95%.
.
6.5.


.

,

.
,
.

( )
( ).

VII.

,
.
,
,
(. ).
,
.
, , .
,

- . ,
,

.

64

.
. . 7

-
, .

() ,
.
,
, .
.
7.1.
,
, ,
.

, .

,

.

.
-,


. ,

,
. ,
,
, , .
,
.

.
,
, OH , COOH , N ( C6H4 )2
( 7.1).
7

, . .. , ..

2008.

65

7.1. Ar
N2


( CH 2 CH 2 )n

( CH 2 O )n

( CH 2 C (C6 H 5 )H )n

( C6 H 7O2 (OCOCH 3 )3 )n

4
5

( CH 2 C (CN )H )n
-6 ( (CH 2 )5 CO NH 2 )n

( O (CH 2 )2 O CO (C6 H 4 ) CO )n

( CF2 CF2 )n


Ar + , O+ , , . ,
300 500
.

.
V

N
,
Nc No

N , N c , N o - ,
.
, .
40 O2
CF4+ O2. 0.55 .

(4121/2 ) .
2 .
3510.
.
0.3 1.1 .

. ,

,
. ,

, . ,
66

;
.
. .
( )
.
,
. (
) .
.
, .
13.56
.
,

.

. 1-2
. 0.55 .

. ,
.


. ,
2 4 .
.

.

. ,
.

.
, .
2.
260.
.
,

. ,
( ), .

.
, , .

67


.
7.2.

,
( ).
( ),
.
.
,
. - , ,
.

.7.1

.7.1. . : 1
, 2 , 3 , 4
, 5 , 6 ,
7

10
,
. ,
, ,
, . ,
68

,
.
, , ,
,
,
. , ,

.

. ,

(. 7.2-7.3). ,

, ,
.

40
N2
2

G,

20

-20

-40

2
0

20

40

, c

60

.7.2.

69

He
20

- G,

15

10

Ne
Ar

5
Kr

15

30
, c

60

45

.7.3.

(h=250 )

-40

-2

G 10 ,

-20

-60

(50 )

-80

(30 )

-100

(h=50 )

150

300

450

600

750

, c

.7.4. ,
(, , ,
). . 13 ,
350

70

I=13
0

-1

G10 ,

-4

-8

-12
350
250
150

-16

50
-20
0

100

200
,c

300

.7.5.

=350, I=13, R=1.26
2

0,0

-0,4

400, 1.5

G,

-0,8

-1,2

30, 1.4
-1,6

400, 22,4

80, 4

-2,0
0

200

400

600 800 1000 1200


, c

.7.6.




.
. 7.1,
. 7.4 7.7.
, ,
, , (
71

, , ).
:
,
;


1 ,
;

,
, ;


;

(, ) (),
,
;

,
.

.
,
, (
). ,
() ,
,
. -

. ,
(.
7.8).
, .

.
. ,
, , ,

, ,
.

() .
72


0,04

G,

0,02

0,00

-0,02
360
-0,04
260
170

-0,06

h=110
h=30
20

40
, c

60

. 7.7.

-2

G 10 ,

-20

1
-40

-60

3
-80

4,5
0

100

, c

200

300

. 7.8.
. 1
; 2, 3, 4, 5 ,
, 1%, 3,8%, 5,6%, 9%

73

7.3.

.

, .
, ,
, ,
.
,
. ,
-

.
2

I=40, R=1.95, S=18.8

0,1

1
0,01
0

6
8
,

10

. 7.9.
: 1 2 (), 2 2 (), 3 2 (),
4 (), 5 (). 6 2 (), 7 2 ()
, ,

.
.
.

. ,
(. 7.9).


74

, .
,

2.
. ,
,
.
7.2.

:
:
:

2:1
1:1
1:2

1:1
2:5
2:5

1:1
2:3
2:3

1:1
1:2
1:2

1:2
1:4
1:2

7.3. (1015 -2-1)


( = 1 , R
= 1.95 , I=40 )

-
-

O2
()
27
28
31
12
9
3
9

CO2

CO

H2O

H2

10
15
18
10
13
6
3

3
2
16
3
1.5
1
5

9
8
6
6.5
9
3
3

2
2
1.2
1
1.5
2

HCl

11


7.3.
,

.
7.4.


2 . (C10H22)

75

.
- .
,
,
. ,
,
.7.10.

.
60, I/R=20 /
1
0,20

0,15
D

0,10

3
2

0,05
4
0

pR,

. 7.10.
(1, 3) (2,4)
(1,2) (3,4)
7.5.
, ,
. ,

.
,
. ,
,
,
.
76


, (. 7.11).
15

18

V, / ( )

1010

17

10

16

10 0

10

20

30

Ip,

40

50

. 7.11.
( , , , )
. : =150 , 40 3/,
R =1.4


.

. ,
100 .

, ,
300 (. 7.12).

77

20

18
18

10

-2 -1

16

14

12

17

1010

4
16

10 2

100

200

300

. 7.12.
; 1 , 2 , 3
, 4 ; 40
3/, R = 1,4 ; I = 13


, .

,
,
.

,
.
. ,

.
10 1000 2/
.
.
, .
.
,
,
78

, ( 0.020.15 ).

1 .. (. 7.12).
.

.
(. 7.13).

-2

-1

1E18

1E17

1E16
0,1

10

W0 , /

. 7.13.
(
)
7.6. ,


. ,
,
,
,
.
,
, , .
(
, , )
,
.
.
79

, ,
.
C H ,
~ CH 2 C& H CH 2 ~. C C

.

. ,
,
,
( ,
). -
, .
.
,
C H ( ) ,
, .
.
~ CH 2 CH 2 CH 2 CH 2 ~
~ CH 2 CH = CH CH 2 ~ + H 2

~ CH 2 C& H C& H CH 2 ~

H2

,
, ,


, ( ,
) .

. 7.14 7.18.

.
. ,
.
, , ,
. (
)
.

80

=233, G=300 * /
-2

1.56

-2

2.40

13

10 /

-2

-2

0.90

2
-2

0.45

60

120

, c

180

240

. 7.14.
233 300/
2

2/
5

1/2
2

0.5/
3

13

10 , /

2
2

0.2/
1

0
50

100

150

200

.7.15. ,

,

81

-1

=15, G=300

6
=112

10

13

=180

=44

=233

. 7.16.
,



. 15 ,
300 /.

-2

j,

=133 , =3

2,0

Nsp10 , /

. 7.17.

.
133 ,
3

17

1,5

1,0

0,5

j, /

82

.
7.18.

0.35 /

15

0.14 /

19

N, 10

-3

20

10

40

80
,

120


. ,
.
7.7.
, , .
,
.

:
K = K 0 exp( E a / kT ) ,
E a - .
?

. ,
,
, .
,
.
.

, .. . , ,
,
83


.
.
,
.
,
. ,
, ,
. ,
.
.
.
.
,
,
.
.
. ,

.
,
,
.
.
,
.
.
. ,

. ,
(1 ..) ,
( .
7.19 3). , ,
, , ,
. ,
.
(n0, n1, n2)
.
,
,
, . ,
( )
.

.
84

.
7.19.




. ,
,



( ).
, ,
(. 7.20-7.26).
,

.
,
.
,
.

.

85

-2

V, r

10

-1

-1

10

-3

2 ,5

. 7.20.

3 ,0

1 0 /T ,K

-3

W, -2-1
10-6

10-7

2
1

2,6

2,8

3,0

3,2

1/T, 10-3 K-1

. 7.21.
. 50 , 20 (1), 50 (2) 80 (3)

86

W , -2 -1
1 0 16

1 0 15
5
4
3
2
1

2 ,4

2 ,6

2 ,8

3 ,0

3 ,2

1 /T , 1 0 -3 K -1

. 7.22. 2 (1), 2 (2), (3), 2 (4)


2 (5) . 50 ,
80

-2 -1

W,
-6

10

-1
-2

-7

10

2,6

2,8

3,0

3,2

3,4
-3 -1

1/,10

. 7.23.
. (1) = 50 , (2) = 200 . I = 50

87

-2 -1

W,

-1
-2
-3
-4

17

10

16

10

2,7

2,8

2,9

3,0

3,1

3,2
-3

-1

1/T, 10 K
. 7.24. 2(1)
2(2), 2(3), 2(4)
. 200 , 50 .

10

-7

-2

W ,

-1

10

4
3
2
1

-8

2,4

2,6

2,8

3,0

3,2

3,4
-3

1/, 10

-1

. 7.25. Kapton
. - 50(1); 300 (2, 4); 50, 100 , 300 (3). 20(1,2); 50(3); 80
88

W, -2 -1

-1

-2

-3

-4

-5

1016

1015

1014
2,4

2,5

2,6

2,7

2,8 2,9 3,0


1/T, 10-3 K-1

. 7.26. (1)
Kapton. 50 ,
50 . CO2(2), CO(3), H2O(4), H2(5)

, ,
,
.
.

() ,

.

,
.
7.4.

89

7.4. .
a, /

, .

- , O2: CF4: Ar = 12.53


75:20:5.
37.7
- (13.56 ) , = 0.1-0.5
. .
11.7
, - (13.56 ), = 0.1 - 0.5

,
w=0.1-0.6/2,
.

Kapton

, =50
T<378K
T>378K
T<378K
T>378K
T<378K
T>378K
= 50
300
>379
379>>348
<348
- O2 + CF4
, =1.15 ,
R = 1.4 , J = 0.5-30 , = 300-430
, = 120
<338-350
>338-350
, = 120
< 338-350
>338-350
, =1.15 , R =
1.4 , J = 0.5-30 , = 300-430
,
= 0.15-1.47 , R = 1.5, J = 40-150 , =
310-530 .
- ,
= 1-3.

90

206
405
252
436
224
4210
506
223
73
20.2
0
38.88.8
0
41.913.3

0
50
12.5
42
43.3

7.4
4
5
6

, =1.15 , R =
1.4 , J = 0.5-30 , = 340-470

, =1.15 , R =
1.4 , J = 0.5-30 , = 340-500

, =1.15 , R =
1.4 , J = 0.5-30 ,
= 310-345
= 345-440
, = 70
200
T<335
T>335
<335 , (3)
=120
<338
>338
=120
<338
>338
-2,3- - , =0.55 , W=100 .
--1-

-N - , =0.55 , W=100 .

91

12.5
12.5

83.5
20
104.128.6
27.27.5
46.412.5

7.940.5
6.90.4
10425.8
27.23.4
8
13.4

7.4
- , - 13 - 27
(13.56), CF4+O2, =0.7-1.1 , =293-375 .

,
= 375 - 410

100% CF4

100% O2
113
- (13.56 ) , =0.04 , 40.5
< 353
7.1
> 353
26
, = 120
<353
7618.8
>353
4511
= 120
<353
10522.
>353
7
10
- ,

= 1
61.3

= 2
47.2
= 3
43.5
35.6
11 - , = 50
200
413
, = 50 , 80
<375
163
>375
333
3
12 - ( )
15.0

,

, .
.
, ,

. , ,
, .
,
. ,
, , , .
92


. ,
,
.

. ,
.
, ,
.

. , . 7.27
, ,
, ,
.

. , , ,
,
,
.
V,/

, ( )

300

40

120

80

1
3
2
250

200
0

50

100

150

200

.7.27.
2 . =500, 2
=950, 3 =1200
7.5

.

93

7.5.

- .


,
(/)
338
203
O2
38.80
345
O2
41.90
(.)
333-336
355
- O2
10427.2

(.)
O2
333-338
7.946.9
- O2
333
378
18.4240.6
CF4
357
16.7411.3
357
O2
7.126
353,387, 400
CF4
16.980.312
353
O2
7645
O2
378
678

(18-25)(33-50)
375
353
O2
(16-18)(33-35)
-
,

.
. 7.28,
.
, ,

.
,
,
.
. 7.29


. ,

.

94

V, /c

15
10

3
10
1

1
6

0,15

5
7
0

2,5

3,0

1/T

3,5
3

10 /T, K

. 7.28.

. 7.29.
. 1 , 2 , 3
( CF4+O2), 4 , 5
, 6 . I
, II -
95

,


,
.

( ,
). ,
, ()
.
,
( ).

, .
7.8. .
-

,
,
,
, ,
,
.
,

( ).
.


.
,
, , .
248 3
, (0,8 ).
.
. ,
,
.
. .
.
96

(. IV) ,
, .
. ,
,
, .
, .
, ,
.
.
(
) ,
,
.
,
. ,
, .
.
, ,
, ,
.

,

.

.

,
. ,

50%.

.
. 7.30.

97

. 7.30
. : 1, 2 ; 3 ; 4
; 5 ; 6 ; 7
; 8 ; 9 ; 10 ; 11
; 12 ; 13 ;
14 ; 15 ; 16
-306 ; 17 ; 18 ; 19,20,21
; 22 ; 23 ; 24


.

.

.

. :

98

r
(cT )
+ divq = q ,
t

c, , T - , , q , q -
,
,
,
.

( ). ,
( )
( ),
.

,
7.6.
7.6.

,
,
-2
PO = 120
-2-1

5
3.110-4
7.51014

10
5.510-4
1.351015

20
1.110-3
2.751015

30
1.410-3
3.351015

-2
-2-1

5.610-3
1.41016

1.010-2
2.51016

1.810-2
4.51016

,
PO2 = 110


, ,
.
(
). ,

.

-

().


,
90%.
99


.
80
()
60
0

40
()
20
0

10

15

. 7.31.
() ()
()
50

40

()

30

20
0

10

20

30

40

. 7.32.
() ()

100

120
()

80

100

60
40
()
20
0

10

20

30

40

. 7.33.
() ()
, ,
(. 7.31-7.32) ,
,
(.7.33 7.34).

. 7.34
()
(, )

350.
, ~1000.

(. 7.34 , ).
,
101


.
.
7.9.

.
. 7.35.

.
0.15 .

( 0.1 ), ,
.

.
,
.

. 7.35.
:
1 , 2 -, 3 -
, 4 - , 5
, 6 , 7

102

125

T, C

100

75

3
50
2
1
25
0

10

15

20

25

. 7.36.
: 1 5 , 2 10
, 3 20 . =120

1
9,0

G,

8,5

8,0

10

15

20

. 7.37.
1 5 , 2 10 , 3 20
. 7.36 7.37
, ..
.
.
,
, .

, .
103

.
, .
, .
,
.
, ,
OH , = CO
.


1000 (=130 )
.

.
200
1
9

G,

150

8,5

100

2
8

50
G
2

. 7.38.
(2) (1)
. 7.38 ,

.


. ,
,

.
104

.
,
C10 H 22 . ,

,
.

,
(. 7.39). ,
,

. , ,

, ,
. 7.39
(. 7.40). ,
.

, . ,

. ,
,
. ,

.

, ,
,

. ,
,

(
) .
,
.
.

105

120

G,

80

8 ,5

40

8
G
0

10

. 7.39.

0 ,6

g, dx /cm *c

0 ,4

0 ,2

0 ,0

-0 ,2

0
28

4
32

8
36

12
40

1,
2,

. 7.40.
1 () 2 (). =120
, I=20 , L=12
,
( ) ~
0.2 . ,
, 0.4-0.6 . ,
,
(30-50%).
,

, .
,
, ,
.

106

7.10.



. ,
,
( ).
, ,
.
, ,
,
1 . ,
.

(1)
(. 7.41),

(2).

. 7.41.

(3).

(4),
.

. (3) (5),
.
.
,
-306.
,
,
.

.

2 .

107

7.11.


, ,
-.
. ,
. 7.42,
, 10x10 10x50 ,
, -1
147 , .

.

. 7.42.
. : 1 , 2
, 3 , 4
, 5 , 6 , 7
, 8 , 9
, 10 , 11 , 12
, 13 , 14 , 15
, 16 , 17
108

, ,
. ,
,
25 40 150,
. 7.43.
:
1.
, ;
2.
,
,
, ;
3. (
)
.
,
.

. ,

.
,
.
.
, O2 a1 g ,
,

( )

O2 1 g + CH 2 = CH CH 2 ~ HOO CH 2 CH = CH CH 2 ~

,

,
- (,
),
(. 7.7).

109

0,5

1,0

-4

1,5

V, 10 /

1,0

-4

V, 10 /

2,0

0,5

0,0
0,0

0,5

1,0

1,5

2,0

2,5

. 7.43.
(), ()
()
7.7. ,

,
-

=, 4-5 =, ,
=
,
.
()

=, =
- (, ,
(


)
),

= ,
.

= =

110

,

,
.
=
.
, ,
,
520%.
510-5
(14)1015 -3
(14)1018 -2-1. ,


10-3.
7.12.


.

(. IV).

. 7.44.
.
,
,
.
,
.

, ,
,

.

111

.7.44.
. : 1
, 2 , 3 , 4 , 5
, 6 , 7 , 8
, , 9 , 10
, 11 , 12
, 13 , 14 , 15 , 16 , 17
,

( ,
..).
. ,
(
)

.
.
.7.8 7.9.

112

7.8.
, 10-5
4.55
6.57.8
12
3.14.5
2.0
11
7.7
2.47.0

()

7.9.
,

,10 5

4.4-4.8

5-6

10-20

20-30

50-60

113



.

.
, 1 2
.
. ,

,
.

, ()

. (
),
,
.
, ,
. .
,
,
.
( ).

(,
) ()
.
,
.
.

:
1. .., .., .. -
- . .:
, 2004. 496.
2. .., ..
: .
, 2008.
114

11.05.2010. 6084 1/16


. . 6,74. .-. . 7,48. 50 . 2098

-



153000, . , . . , 7

Оценить