‫تکنیک خل‬

‫مفاهیم پایه ای‬

 ‫فشار بخار‬

‫اصطلحات‪:‬‬ ‫•‬
‫تبخیر‪ :‬تبدیل مایع به گاز‬ ‫•‬
‫تصعید‪ :‬تبدیل جامد به گاز‬ ‫•‬
‫بخار‪ :‬گازی که به هنگام تبخیر مایع یا جامد تولید می شود‬ ‫•‬
‫تراکم‪ :‬هنگامی که بخار به مایع یا جامد تبدیل شود‬ ‫•‬
‫تعادل‪ :‬حالتی از سیستم که در آن حالت نیروهای مخالف با یکدیگر در تعادلند‬ ‫•‬
‫مایعاتی که به آسانی تبخیر می شوند فشار بخار بالیی دارند‬ ‫فرار‪:‬‬ ‫•‬
 ‫فشار بخار‬

‫• تبخیر هنگامی رخ می دهد که‪:‬‬

‫‪ -‬دمای ماده افزایش یابد‬ ‫•‬
‫‪ -‬فشار روی سطح ماده کاهش یابد‬ ‫•‬
‫فشار بخار‪ :‬فشاری که در آن یک مایع یا جامد در دمای داده شده بخار می شود‬ ‫•‬
‫‪ -‬هنگامی که دما کاهش می یابد برای فشار بخار چه رخ می دهد؟‬ ‫•‬

‫‪:‬‬
‫• ‪ Outgassing‬هنگامی که یک ماده در فاز متراکم شده در فشار پایین بخار می شود‬
‫‪ -‬در نهایت‪،‬مقادیر کم آب‪،‬حلل یا اثر انگشت به جامانده داخل محفظه می تواند ‪ outgas‬و زمان‬ ‫•‬
‫تخلیه پمپ را افزایش دهد‪.‬‬
 ‫فشار بخار‬

‫مایعات در یک ظرف بسته‬ ‫•‬

‫تا زمانی بخار می شوند که‪:‬‬ ‫•‬
‫فشار بخار مایع =‬

‫فشارجزئی هوای بالی مایع‬

‫فشار بخار‬
 ‫فشار بخار آب در دماهای مختلف‬

‫)‪T (O C‬‬ ‫)‪P (mbar‬‬

‫‪100‬‬ ‫جوش‬ ‫‪1013‬‬
‫‪25‬‬ ‫‪32‬‬
‫‪0‬‬ ‫انجماد‬ ‫‪6.4‬‬
‫‪-40‬‬ ‫‪0.13‬‬
‫‪-78.5‬‬ ‫یخ خشک‬ ‫‪6.6 x 10 -4‬‬
‫‪-196‬‬ ‫نیتروژن مایع‬ ‫‪10 -24‬‬
‫فشار بخار‬

‫• نمودارهای فاز‪ ،‬حالت ماده را در یک دما‬

‫و فشار معین‪،‬نشان می دهند‪.‬‬

‫به عنوان مثال برای آب‪:‬‬ ‫•‬

 ‫فشار بخار‬

‫مثال ها‪:‬‬ ‫•‬

‫‪ -‬در فشار یک تور در چه دمایی آب به جوش می آید؟‬ ‫•‬
‫‪ -‬فازهای متراکم شده‪ ،‬سمت چپ یا راست خطوط هستند؟‬ ‫•‬
‫در دمای ‪500‬درجه سانتیگراد و فشار یک میلی تور راه اندازی شود‪،‬کدام‬ ‫اگر یک سیستم‬ ‫•‬
‫فلزات برای ساختن جداره محفظه نامناسبند؟‬
‫مفهوم قضیه‪:‬‬ ‫•‬
‫فشار بخار باید هنگامی که مورد توجه قرار گیرد که می خواهیم مواردی را به سیستم خل‬ ‫•‬
‫اضافه کنیم‪.‬‬
‫این موارد شامل واشرها‪،‬روغن‪،‬دریچه‪،‬آب و ‪ .....‬است‪.‬‬ ‫•‬
 ‫چگالی گاز‬

‫چگالی گاز در فشار یک پاسکال و دمای اتاق‬

[2(/m2[/[4.1x10 -21kg-m2/s2kg-m/s( 1[ =
20
atoms per m 3
2.4x10 =
-3at 1 pa
14
cm 2.4x10 =
‫حساب سرانگشتی‬
n(T( = 3.2x1013 cm -3x (300/T (…at a pressure of 1mTorr
 ‫پویش آزاد میانگین‬
‫فاصله متوسط بین برخوردهای ملکولی در گاز ‪:‬‬
‫‪1‬‬ ‫‪kT‬‬ ‫‪5 × 10 3‬‬
‫=‪λ‬‬ ‫=‬ ‫=‬ ‫‪cm‬‬
‫‪2σn‬‬ ‫( ‪2 pσ p(Torr‬‬

‫ناحیه مؤثر ملکول‬ ‫≈‬

‫= سطح مقطع ملکولی‬ ‫‪σ‬‬
‫=‪λ (P (P mbar/0066.‬‬ ‫در دمای ‪ 20‬درجه سانتیگراد برابر است با‪:‬‬ ‫فرم دیگر معادله برای هوا‬
‫‪p‬‬ ‫‪ϕ‬‬ ‫‪λ‬‬ ‫هنگامی که بزرگتر از‬
‫کوچکترین ابعاد پویش آزاد‬
‫‪((Torr‬‬ ‫‪(molec./cm2(-s‬‬ ‫میانگین باشد‪ ،‬رژیم‪ ،‬ملکولی‬
‫‪760‬‬ ‫‪2.9x1023‬‬ ‫‪nm 67‬‬ ‫است و هنگامی که کوچکتر‬
‫از ابعاد دستگاه باشد‪ ،‬رژیم‪،‬‬
‫‪1‬‬ ‫‪3.8x1020‬‬ ‫‪51µm‬‬ ‫چسبان است‪.‬‬
‫‪1x10-3‬‬ ‫‪3.8x1017‬‬ ‫‪mm 51‬‬
‫‪1x10-6‬‬ ‫‪3.8x1014‬‬ ‫‪m 51‬‬
‫‪1x10-9‬‬ ‫‪3.8x1011‬‬ ‫‪km 51‬‬
 ‫پویش آزاد میانگین‬
‫ مسافت آزاد میانگین افزایش می یابد‬،‫با کاهش فشار‬
λ ≅ )cm) .005/P)torr) ,
at 1 atm

MFP = 0.02 microns

at 1mT ,

MFP = 5.08 cm
,)at 10-9 torr )UHV

MFP = 50 km
Mean Free Path vs. Pressure

1.00E+08
1.00E+06
1.00E+04
MFP (cm(

1.00E+02
MFP
1.00E+00
1.00E-02
1.00E-04
1.00E-06
1.00E- 1.00E- 1.00E- 1.00E- 1.00E- 1.00E+0 1.00E+0 1.00E+0
10 08 06 04 02 0 2 4

Pressure (Torr(
 ‫پویش آزاد میانگین‬

‫• چگالی ملکولی و مسافت آزاد میانگین‬

1013 mbar (atm) 1 x 10-3 mbar 1 x 10-9 mbar

# 3 x 10 19 4 x 10 13 4 x 10 7
mol/cm3 (30 million trillion) (40 trillion) (40 million)

MFP 2.5 x 10-6 in 2 inches 31 miles

6.4 x 10-5 mm 5.1 cm 50 km
 ‫برخوردها وپویش آزاد میانگین‬

‫‪n=P/KT‬چگالی گاز‬

‫سطح مقطع ‪σ = πd 2‬‬

‫‪λ = 1 / σn‬‬
‫= ‪λ √2 pd2P kT /‬‬

‫‪  2.6 1015 cm 2‬‬

‫‪Ar‬‬
‫‪λ (Ar(cm( ~ 8 / P (mTorr‬‬
 ‫ابعاد اتم و ملکول‬
‫‪A°3‬‬ ‫ابعاد اتم=‬

‫جدایی متوسط ملکول در فشار یک اتمسفر‪:‬‬

‫در یک سانتی مترمکعب گاز نیتروژن ‪ 2.5 × 1019‬ملکول وجود دارد بنابراین‪:‬‬

‫‪1 / 2 ×1019 = 4 ×10 −20 cm 3‬‬

‫‪( 4 ×10 −20 )1/ 3 = 3.4 ×10 −7 cm = 34 A0‬‬
 ‫جدایی ملکولی متوسط‬
‫ملکول‪ ،‬یک سانتی مترمکعب را اشغال می کنند‪.‬‬ ‫‪2.5 × 1019‬‬

‫= ‪=1 / 2.5 × 1019‬حجمی که در آن یک ملکول قرار می گیرد‬ ‫‪4 ×10 −20 cm3‬‬
‫‪= (4 ×10 −20 )1/ 3 = 3.4 × 10 −7 cm = 34 A0‬فاصله بین هر دو ملکول‬

‫‪3A0‬‬

‫‪34A0‬‬
 ‫در واحد سطح‬J، ‫آهنگ برخورد به سطح‬

nV
J=
4
8kT 8 RT T
V= = = 145
πm πM M
P
J=
(2πmKT )1 2 1cm 2
M = mN av
kN av = R
PN av
J=
(2πMRT )1 2
 ‫توزیع ماکسولی‬
.‫است‬V+dV‫و‬V ‫ملکول هایی که سرعتشان بین‬ •

3 mv 2
m −
N (v) = 4πN ( ) v 2e2 2 kT
2πkT
∞ ∞ 3 mv 2
m −
∫ N (v)vdv ∫ 4πN ( 2πkT
) v 2e
2 2 kT
vdv 3∞
4πN m 2 3 −λv 2 m
v= 0
= 0
= ( ) ∫ v e dv ⇒ λ =
N N N 2πkT 0 2kT
∞
1
∫v e
3 − λv 2
dv =
0 2λ 2
3
m 2 1 2kT 2 8kT
v = 4π ( ) × ( ) =
2πkT 2 m πm
 ‫توزیع ماکسولی‬

∞ 3 − mv 2
m 2 2
∫ N (v)v dv
2
∫ 4πN (
2πkT
) v e kT
v 2 dv 3∞
4πN m 2 4 −λv 2 m
v =
2 0
= = ( ) ∫ v e dv ⇒ λ =
N N N 2πkT 0 2kT

3
m 3 π
v = 4π (
2
) × 2
2πkT 8 λ5
3kT
v rms = v =2

m
 ‫توزیع ماکسولی‬

dN (v)
=0
dv
3 − mv 2
dN (v) m d 2
= 4πN ( ) (v e 2 2 kT
)=0
dv 2πkT dv
3 − mv 2 − mv 2
m 2 2mv mv 2 2
4πN ( ) (2ve kT
− v2 × e 2 kT
) = 0 ⇒ v(2 − v )=0
2πkT 2kT kT
2kT
vp =
m
‫آهنگ برخورد به سطح‬
‫توزیع ماکسولی‬

3/ 2
P (v )  m   − mv 2 
f (v ) = =  exp 
4πv 2  2πkT   2 kT 
:‫متوسط سرعت یک اتم‬
∞
_
8kT
< v > = c = ∫ v f (v)4πv 2 dv =
0
πm

:x-y ‫شار اتم ها در صفحه‬

1
Γz = n < v z >= n ∫∫∫ v z f (v)dv 3 = n<v>
vZ > 0
4
 ‫آهنگ برخورد به سطح‬
‫آهنگ برخورد هر ملکول گاز به سطح‬ ‫•‬

‫‪ p  8 kT‬‬ ‫‪p‬‬ ‫) ‪3.5 × 10 22 p)Torr‬‬ ‫‪molecules striking surface‬‬

‫‪J = nv =  ‬‬
‫‪1‬‬ ‫‪1‬‬
‫=‬ ‫=‬
‫‪4‬‬ ‫‪4‬‬
‫‪kT‬‬
‫‪ ‬‬ ‫‪π‬‬ ‫‪m‬‬ ‫‪2π mkT‬‬ ‫‪MT‬‬ ‫‪cm2‬‬ ‫‪s‬‬
‫‪=n‬چگالی ملکول های گاز‬
‫‪=v‬سرعت متویط توزیع ماکسول‪-‬بولتزمن‬
‫‪=k‬ثابت بولتزمن‬
‫‪=m‬جرم ملکول‬
‫‪=K‬دمای مطلق با واحد کلوین‬

‫فرم عددی با ضرب صورت و مخرج در عدد آووگادرو بدست می آید‪ ،‬توجه داشته باشید که ‪،NAvk = R‬‬
‫‪R‬ثابت گازهاست و ‪ ، NAvm = M‬که ‪M‬جرم ملکولی ذرات گاز است‪.‬‬
 ‫مثال‬

‫‪Torr 6-10‬است‪.‬فرض کنید این‬

‫محفظه با بخار آب پر شده است‪،‬شار آب برای لیه نشانی در این محفظه چقدر است؟‬

‫‪n = 3.2x10 13cm-3/mTorr * 10-3 mTorr = 3.2x10 10cm -3‬‬

‫‪πM)1/2‬‬ ‫>‪= 59200 cm/sv> = (8kT/‬‬
‫‪Γz = (¼)n<v> = 4.74x1014 molecules per cm2 ! per sec‬‬

‫• یعنی تقریباً یک ملکول آب در هر ثانیه در فشار پایه ‪Torr 6-10‬‬

 ‫تعادل بین یک مایع و بخارش‬

‫‪P0‬‬
‫= ‪Jc‬‬ ‫‪= JE‬‬
‫) ‪(2πmkT‬‬‫‪12‬‬

‫‪ = P0‬فشار بخار اشباع‬

‫فرکانس برخورد)‪)C.F‬‬
‫• ‪V=xt‬‬
‫• مسافت میانگین طی شده در یک ثانیه‪)V=x)1:‬‬
‫• فرکانس برخورد=‪V/l‬‬
‫• ‪=l‬مسافت آزاد میانگین‬
‫• برای گاز نیتروژن در دمای اتاق و فشار یک اتمسفر‪:‬‬
‫‪470 / 6.6 ×10 −6 = 7.1×109 per sec ond‬‬ ‫‪=C.F‬‬

‫در فشار پایین‪ ،‬فرکانس برخورد کاهش می یابد یا افزایش می یابد؟‬

‫در چه فشاری فرکانس برخورد یک ثانیه استـ‬
‫‪n,J,l‬در فشارهای مختلف برای گاز نیتروژن در دمای ‪295‬‬
‫کلوین‬
‫)‪P)mbar‬‬ ‫)‪n)m-3‬‬ ‫)‪I)M.F.P‬‬ ‫• ‪J)cm-2 m-‬‬
‫‪)1‬‬
‫‪25‬‬
‫‪6.6X10-6‬‬ ‫‪2.9X1023 atm‬‬ ‫‪2.5X10 1-10 3‬‬

‫‪2.5X10‬‬ ‫‪122‬‬ ‫‪6.6X10‬‬ ‫‪-3‬‬

‫‪2.9X1020‬‬

‫‪10‬‬ ‫‪-3‬‬
‫‪2.5X1019‬‬ ‫‪6.6 cm‬‬ ‫‪2.9X1017‬‬

‫‪10‬‬ ‫‪-6‬‬
‫‪2.5X1016‬‬ ‫‪6.6 m‬‬ ‫‪2.9X1014‬‬

‫‪10‬‬ ‫‪-10‬‬
‫‪2.5X1012‬‬ ‫‪660 km‬‬ ‫‪2.9X1010‬‬
 ‫‪Outgassing‬‬
‫رها شدن گاز از سطح داخلی محفظه خل که از طریق جدا کردن ملکول ها‬
‫از جداره جامد محفظه رخ می دهد‪.‬‬

‫‪Outgassing‬‬
‫‪vacuum‬‬

‫‪Chamber wall‬‬
‫‪molecules‬‬

‫‪Absorbed‬‬
‫‪molecules‬‬
 ‫جذب شیمیایی وجذب فیزیکی‬

‫‪q‬‬

‫جذب شیمیایی‬ ‫جذب فیزیکی‬

‫جذب شیمیایی>جذب فیزیکی‬

‫=‪q 15-32kcal/mol‬جذب شیمیایی‬ ‫‪q=2-10 kcal/mol‬جذب فیزیکی‬

 ‫متوسط زمان ماندگاری جذب فیزیکی‬

‫• ملکول هایی که به صورت فیزیکی جذب شده اند طول عمر محدودی دارند‪.‬‬
‫• ‪KT‬در دمای اتاق ‪1/40‬الکترون ولت است‪.‬‬
‫• متوسط زمان ماندگاری جذب فیزیکی برابر است با میانگین طول عمر ملکول های جذب شده‪.‬‬
‫) ‪)τ‬‬

‫(‪• τ=10 -13 exp(q/kT(=10 -13 exp(40q‬‬

‫متوسط زمان ماندگاری جذب فیزیکی‬

‫برای ‪ q‬های مختلف در دمای ‪ 295‬کلوین‬ ‫مقادیر‬

‫•‬
‫‪)q)eV‬‬ ‫‪τ‬‬

‫‪3x10 -10‬‬
‫‪0.2‬‬
‫‪1µs‬‬
‫‪0.4‬‬
‫‪20ms‬‬
‫‪0.6‬‬
‫‪400s‬‬
‫‪0.9‬‬
‫‪1.2‬‬
‫‪1.1‬‬
 ‫گازها و تخلیه‬

Adsorb molecules )2)

Drifting molecules )1) ‫ترتیب تخلیه شدن ملکول ها‬
Outgassing )3)

‫پمپ‬
 ‫جریان گاز و گذردهی‬
‫گاز در یک لوله جریان دارد‬ ‫•‬

‫‪P1‬‬ ‫جهت جریان گاز ‪A‬‬ ‫`‪A‬‬ ‫‪p2‬‬ ‫‪p2<p1‬‬

‫فشار در هر سطح مقطع یکسان است‪.‬‬

‫گذردهی به صورت زیر تعریف می شود‪:‬‬
‫‪dV‬‬
‫‪Q=P‬‬ ‫‪= PV 0‬‬ ‫‪mbar l s-1‬‬
‫‪dt‬‬

‫‪Q‬در طول لوله ثابت است‪.‬‬

 ‫‪Q‬در طول لوله ثابت است‬

‫• معمولً کذردهی ثابت نگه داشته می شود‪).‬حالت یکنواخت)‬

‫‪V2‬‬ ‫‪V3‬‬
‫‪V1‬‬ ‫‪Q‬‬ ‫‪Q‬‬ ‫‪Q‬‬
‫‪P1‬‬
‫‪P2‬‬ ‫‪P3‬‬

‫‪Q = P1V`1=P2 V`2=P3V`3‬‬

 ‫گذردهی)مثال)‬

‫• گذردهی‪ :‬مقدار گاز جا به جا شده توسط پمپ در هر ثانیه‬

‫‪(Q = p(dV/dt( = pS (Torr-liter/s‬‬

‫‪Q = P 1 S 1 = P 2S 2‬‬
‫‪P2 = 100 P1‬‬ ‫‪P1‬‬

‫‪P2‬‬

‫‪pump 1‬‬ ‫‪pump 2‬‬

‫‪500 ℓ/s‬‬ ‫‪5 ℓ/s‬‬
 ‫آهنگ جریان جرمی و گذردهی‬
‫‪PV = NkT‬‬
‫‪dN‬‬ ‫‪PV‬‬ ‫‪P dV PV 0‬‬
‫= ) () ( = ) () ‪= (d dt‬‬
‫‪dt‬‬ ‫‪kT‬‬ ‫‪kT dt‬‬ ‫‪kT‬‬
‫‪dN Q‬‬
‫=‬
‫‪dt kT‬‬
‫‪dN‬‬ ‫‪Q‬‬
‫‪m‬‬ ‫‪=m‬‬ ‫آهنگ جریان جرمی‬
‫‪dt‬‬ ‫‪kT‬‬
‫مثال‪ :‬یک پنکه هوای یک اتاق با فشار یک اتمسفر را با آهنگ ‪0.9‬مترمکعب در دقیقه جا به جا می کند‪.‬‬
‫گذردهی را بر حسب میلی بار بر لیتر به دست آورید‪.‬‬

‫‪m3=900 l‬‬ ‫‪V`=900/60=15 l s-1 0.9‬‬

‫‪Q = PV`=1000x15=15000‬‬
 ‫سرعت‬
‫• در جایی که گلز از طریق یک مجرا وارد لواه می شود و در‬
‫جایی که گاز از لوله خارج شده و به پمپ وارد می شود ‪،‬آهنگ‬
‫جریان حجمی)‪)’V‬به عنوان سرعت تعریف می شود‪.‬‬
‫• سرعت پمپ‪:‬حجم گازی که در واحد زمان از طریق پمپ تخلیه‬
‫می شود‪.‬‬

‫‪dV‬‬
‫=‪P‬‬
‫‪dt‬‬
‫‪dV‬‬
‫‪Q=P‬‬ ‫‪= PV 0 = P‬‬
‫‪dt‬‬
‫‪Q −1‬‬
‫‪S = ls‬‬
‫‪P‬‬
 *S ‫ و‬S

S*
S Q
pump

vessel

S/S*=1 Perfect system

S*>S
 ‫رسانایی‬

‫• رسانایی‪ ،‬ظرفیت یک لوله را می دهد که اجازه می دهد در هر ثانیه گاز از یک سمت لوله به‬
‫سمت دیگرحرکت کند‪.‬‬

‫(‪C=Q/(P1-P2‬‬

‫‪P1‬‬ ‫‪Q‬‬ ‫‪P2‬‬

‫‪P1>P2‬‬
‫‪P1-P2‬‬
 ‫سرعت تخلیه در لوله‬

C
S, P S*, P*
Q Q=SP •
pump
Vessel
*Q=C)P-P*)=SP=S*P •
*s=1/c +1/s/1 •
])S=S*]C/)S*+C •
The relation between S, S*, C •
 ‫سرعت تخلیه‬
‫سرعت تخلیه و رسانایی اینگونه به هم مربوط می شوند‪:‬‬ ‫•‬

‫‪1‬‬ ‫‪1‬‬ ‫‪1‬‬

‫=‬ ‫‪+‬‬ ‫‪SEFF‬‬ ‫‪CT‬‬
‫‪S EFF‬‬ ‫‪S P CT‬‬ ‫‪Sp‬‬

‫‪ Seff‬سرعت تخلیه مؤثر در محفظه است‪.‬‬

‫‪ Sp‬سرعت تخلیه(توانایی( پمپ است‪.‬‬
‫‪ Ctotal‬رسانایی کل سیستم بین محفظه و پمپ است‪.‬‬
 ‫سیستم خل و سیستم الکنریکی‬

V2 P2
V1

∆P
∆V
∆P ∆V

Battery =Pump

Q I ∆P=Q/C
C=1/Z
∆P=ZQ
C=Q/(p1-P2(
∆V=RI
 ‫رسانایی‬
‫رسانایی‪ :‬آسانی ای که ملکول های گاز در طول اجزای خل)لوله‪،‬دریچه) کشیده می شوند‬
‫‪-‬رسانایی به قطر‪،‬طول و شکل لوله یا روزنه‬ ‫•‬
‫بستگی دارد‪.‬‬
‫واحدهای رسانایی‪ :‬حجم در زمان مانند لیتر‬ ‫•‬
‫بر ثانیه‬
‫رسانایی می تواند عاملی محدود کننده در‬ ‫•‬
‫سیستم تخلیه باشد‪.‬‬
‫‪-‬مثال‪ :‬یک پمپ با رسانایی ‪ 100‬لیتر بر‬ ‫•‬
‫ثانیه و سرعت تخلیه ‪ 400‬لیتر بر ثانیه‬
‫داریم‪ .‬سرعت تخلیه مؤثر محفظه چقدر‬
‫است؟‬

‫‪?=S*=400 l/sec, C=100 l/sec S‬‬

‫‪[(S=S*[C/(S*+C‬‬
‫‪S=400[100/(400+100([= 80 l/sec‬‬
 ‫رژیم چسبان و رژیم ملکولی‬

Viscous Flow Molecular Flow

(momentum transfer (molecules move
between molecules) independently)