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Centaur

, , /, /


, 141700, , . , 7 : +7 (495) 665-00-85 +7 (495) 642-40-68 +7 (495) 642-40-67 E-mail: info@nanoscantech.ru web: www.nanoscantech.ru

2011 .

Centaur. , /, / . . , : : E-mail: web: Skype: +7 (495) 665-00-85 +7 (495) 642-40-68 +7 (495) 642-40-67 info@nanoscantech.ru www.nanoscantech.ru NanoScanTech

! . Centaur . Centaur . . . Centaur . , , , . Centaur . Centaur , .

!..........................................................3 ....................................................................................................14 1. ..............................................................................15


1.1. Centaur...................................................................15 1.2. .......................................................................17 1.2.1. ...............................................................................17 1.2.2. ( ).................18 1.2.3. - ..................................................................19 1.2.4. . Centaur I, U, I/U...............................................21 1.2.5. . Centaur I HR, U HR, I/U HR............................22 1.2.6. -............................................................................................23 1.2.7. ......................................23 1.2.8. ( )..........................................24 1.2.9. ................................................................25 1.2.10. ............................................................................26 1.2.11. . .............................27 1.2.12. . ..........28 1.2.13. ...........................29 1.2.14. ..........................................................................................29 1.2.15. EG-3000..............................................................................30 1.2.16. EG-1000..............................................................................31 1.2.17. .....................................31 1.2.18. Centaur....................................................................32 1.2.19. ...................................................32 1.3. ...................................................................................33 1.3.1. ...................................................................................33 1.3.2. ................................................34 1.3.3. ...................................................35

1.3.4. ................................................36 1.3.5. ...........................................................36 1.4. ...................................................................................37 1.4.1. ...........................................................................................37 1.4.2. ......................38 1.4.3. .......................................39 1.4.4. .............................................................................41 1.5. ......................................................42 1.5.1. .....................................................................................................42 1.5.2. .......................................................................................42

2. .............................................................43
2.1. Centaur........................................................43 2.1.1. Centaur I.....................................................................................................44 2.1.2. Centaur U....................................................................................................46 2.1.3. Centaur I HR...............................................................................................48 2.1.4. Centaur U HR.............................................................................................50 2.2. ......................................................................................................52 2.2.1. Certus..................................................................................53 2.2.2. ...........................................................................57 2.3. ...............................................................60 2.3.1. .............................................................................61 2.3.2. Vectus...........................62 2.3.3. ..............................................................................................63 2.4. - .....................................................................64 2.4.1. - ...........................................64 2.4.2. ...................................................................................66 2.4.3. .......................................................................................66 2.4.4. ..........................................................................66 2.4.5. ..................................................................67

2.4.6. .........................................................68 2.5. .................................................................................................69 2.6. ..................................................................................................................70 2.7. ........................................................................................................71 2.7.1. ..........................................................................................71 2.7.2. ( )..........71 2.7.3. -............................................................................................72 2.7.4. ...................................................................72 2.8. .............................................................................................74 2.9. ............................................................................76 2.10. ..........................................................................77 2.11. ...........................................................78 2.11.1. ..............................................................................79 2.11.2. .................................................................79

3. .............................................................................82
3.1. ...........................................................82 3.2. .................................................................................................83 3.2.1. .................................................................83 3.2.2. .........................................................................83 3.3. .................................84 3.4. ...................................84 3.5. ..........................85 3.6. ................................................................................85 3.6.1. .......85 3.6.2. ...........................................................................................................86 3.6.3. ...........................................................................................................86 3.6.4.

...........................................................................................................87 3.6.5. .......................................................................87

4. ...........................................................................88
4.1. Centaur .....................................................................................................................................88 4.2. .......................89 4.3. .......................................................................90 4.4. - .................................................92 4.5. .........................................92 4.5.1. ...............93 4.5.2. - ...94 4.5.3. ............................95 4.5.4. 4.5.5. - . 99 .............................................................................................97 4.5.6. ...............................................104 4.6. ....................................................................106 4.6.1. ...................................................................107 4.7. .................................................................108 4.7.1. ...............................................................................................................................110 4.8. ........................111 4.8.1. ...................112 4.8.2. ....................................................................114 4.8.3. ...............116 4.9. ( ).......................................................................................................................117 4.9.1. ....................................................................117 4.9.2. ...........................118

4.9.3. ........................................................121 4.10. .......................................................125 4.11. ......126 4.12. ........................127 4.13. Z- ( )..............................................................................................................128 4.14. ......................................................131 4.14.1. ...............................................................................................................................132 4.14.2. Certus Optic upright...........133 4.15. Z- ( ).............134 4.16. .........................................................................................135 4.16.1. ............................................................................136 4.17. ...........................................................139 4.18. ...................................................................140 4.19. ......................................................................140 4.20. ....................................................................143 4.20.1. ..........................................143 4.20.2. .....................................................144 4.21. .............................148 4.22. ..................................................................................149 4.23. .........................................................151 4.23.1. .....................................................151 4.23.2. .......................................................152 4.23.3. ...................................................................156 4.24. ...................................................................158 4.24.1. - .........................................158 4.24.2. ...............................................................................160 4.24.3. ..........................................................................162

4.25. ................................................................163 4.25.1. ...................163 4.25.2. ......................164 4.25.3. .......................................164 4.26. - ............................................168 4.27. .................................................................169 4.27.1. - .........................................169 4.28. .........................................................................175 4.28.1. ..............................175 4.28.2. - ................................................................................176 4.29. -..........................................................................179 4.30. ...................................................182 4.31. ............................................................................186 4.32. Certus ..............................188 4.32.1. Certus ........188 4.32.2. EG-3000...........................192

5. Centaur..........................................................193
5.1. .......................................................193 5.2. / Centaur..........................193 5.2.1. ...............................................................194 5.2.2. .........................................................195 5.2.3. - ............................................196 5.2.4. ....................................................................................197 5.2.5. ...................................................................198 5.2.6. -......................................................................201 5.2.7. ..............................................................................202 5.3. .............................202 5.4. ..........................................................203

5.5. ...........................................................204 5.6. NSpec............................................205 5.7. ...............................209 5.8. ........210 5.8.1. ...........................................................................................................210 5.8.2. ...........................................................................................................211 5.9. .....................................................................................211 5.9.1. .........................................................211 5.9.2. ..............................................................211 5.10. ..............................................................................212 5.10.1. .................................212 5.10.2. .....................................213 5.10.3. .............................................................220 5.10.4. .......................................221 5.11. ...........................................................................224 5.11.1. .....................224 5.11.2. ................................................................225 5.11.3. ..................................................................................226 5.11.4. ...............................................228 5.11.5. ...............................229 5.11.6. .............................................................231 5.11.7. ...................232 5.11.8. .......................233 5.11.9. ..............................................234 5.12. .............................................237 5.12.1. .......................................241 5.12.2. ...241 5.12.3. ..........................................................242

10

5.12.4. Z.............................................242 5.13. .....................................................................243 5.13.1. ...................................................243 5.13.2. ...........................................243 5.13.3. .............................................................................243 5.13.4. ....................................................................................244 5.13.5. ...................................................245 5.13.6. .........................................245 5.14. ..............................................................245 5.15. .............................................................246 5.16. ...........................................................................................................247 5.17. - ............250 5.17.1. - ...................................................250 5.17.2. ...............................................................................251 5.17.3. ...................................................................................252 5.17.4. ..........................................................................................252 5.17.5. .................................................................................253 5.17.6. .......................................................................................253 5.17.7. ........................................254 5.17.8. ...............................................................................255 5.18. .....................................................................256 5.18.1. ...................................256 5.18.2. ........................................................................................257 5.18.3. (CCD) ..................................263 5.18.4. (CCD) .......................................................268 5.18.5. (-)..................................269 5.18.6. .......................................271 5.18.7. ....................272 5.18.8. ........273

11

5.18.9. ...........................273 5.18.10. .......................................................................................274 5.18.11. ( )........275 5.19. .................................................276 5.19.1. ...................................................................................................277 5.19.2. .......................279 5.19.3. ............................................283 5.19.4. .......................................................285 5.19.5. ...............................................................285 5.19.6. ( )..................286 5.19.7. ........................................................................................................288 5.20. .............................289 5.20.1. .............................................290 5.20.2. ...............................................................293 5.20.3. ......................................................293 5.20.4. ...........................................................................294 5.21. ..............................................................................................294 5.22. ............................................................................................................296 5.22.1. 5.22.2. ........................................................................................................296 ...............................................................................................................298 5.23. .....................................................................................300 5.23.1. .............................................301 5.23.2. .................................................................................305 5.23.3. ...................................................................307 5.23.4. .......................................308

12

5.23.5. ......................................................309 5.23.6. ...........................................................................310 5.24. ..............................................................................................310

6. .........................................................................................312
6.1. Centaur ......312 6.1.1. .........................................................................312 6.1.2. ...................................................................313 6.1.3. .........................................................313 6.1.4. ........................................................313 6.1.5. ...............................................................................................316 6.2. ..............................................................................319 6.2.1. ........................319 6.2.2. ..............................320 6.2.3. ...........................................................321 6.2.4. .............................................................323 6.3. -.........................................................................324

7. ......................................326

13

Centaur , , /, / . Centaur , . - / , ( ), . Centaur (, ), ( - -). , , , - (- -). . , Centaur (FSI - Full Spectral Imaging, Chemical imaging), . () (- ) Centaur , , , , , , . , , (MEMS) .

14

1.
1.1. Centaur

Centaur . : ; ; ; / .

. , . , ( ) . Centaur , , , . , , , , , , , , . . Centaur : . , , () , , /

15

; . ; . , , . ; . , , , , , , , . Centaur : , ; ; ; ; - ; , ( ) . , Centaur, .

16

1.2.

1.2.1.

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 13 14 (XY, ) (Z, ) ( XY) ( XY) Z ( ) Z ( ) ( ) ( ) () () / ( 50% 10-5 / 5 ). / ( 607 -1 200 -1) <1 nm <0.1 nm 100100 m 100x100 m 15 m 25 m 50 m 50 m <0.3% ~2/3 100x100 m 60%

15

100

16

100000

17

1.2.2. ( )

1 1.1 1.1.1 1.1.2 1.1.3 1.1.4 1.1.5 1.1.6 1.2 1.2.1 1.2.2 1.3 1.3.1 1.3.2 1.3.3 2 2.1 2.1.1 2.1.2 2.1.3 2.1.4 2.1.5 2.1.6 2.2 2.2.1 3 3.1 3.2 3.3 XYZ ( XYZ) XY Z (XY, ) (Z, ) - XYZ / XYZ XY Z (XY, ) (Z, ) - ~ 5 m 5x5 mm 100x100x25 m 1 kHz 7 kHz 0.3%. <1 nm <0.1 nm 1 m 3 - 100x100x15 m 1 kHz 7 kHz <0.3% <1 nm <0.1 nm

( )

18

1.2.3. -

1 1.1 1.2 1.3 1.4 1.5 1.6 2 2.1 2.2 2.3 3 3.1 3.2 3.3 4 4.1 4.2 4.3 4.4 4.5 4.6 4.7 4.8 4.9 4.9.1 4.9.2 4.9.3 190 4000 nm < 1 nm 0 1 mm 1 m

/ (XYZ) ( / ) 0 1 mm 1 m ~2/3x / 04 256 1 mm 3 15 mm 04 256

19

5 5.1 5.2 5.2.1 5.2.2 5.2.3 6 6.1 6.2 6.3 6.4 6.5 6.6 6.7 6.8 6.9 6.10 6.11 6.12 7 8 8.1 8.2

(XYZ) 3 nm 4 5-16 0 1 mm 1 m 100 cm-1 USB 2.0 04 256

. ( ) .

20

1.2.4. . Centaur I, U, I/U Centaur I, U, I/U 266 -. .


1 1.1 1.2 1.3 2 2.1 2.2 2.3 2.4 3 4 4.1 4.1.1 4.1.2 4.1.3 4.2 4.2.1 4.2.2 4.2.3 4.2.4 5 6 / 200 / mm ( 500 nm) 600 / mm ( 600 nm) 1200 / mm ( 600 nm) 2400 / mm ( 270 nm) (2) - (1) , m (1) , , 0 1 mm 1 m USB 2.0 1 330-1300 nm / 1.45 nm 400-1200 nm / 0.45 nm 400-870 nm / 0.22 nm 180-460 nm / 0.1 nm 266 mm -

. . . 21

1.2.5. . Centaur I HR, U HR, I/U HR Centaur I HR, U HR, I/U HR 833 -. .
1 1.1 1.2 1.3 2 2.1 2.2 2.3 3 4 4.1 4.1.1 4.1.2 4.1.3 4.2 4.2.1 4.2.2 4.2.3 4.2.4 3 4 833 mm -

/ ( ) 900 / mm ( 600 nm) 1200 / mm ( 400 nm) 2400 / mm ( 225 nm) (2) - (1) , m (1) , , 0 1 mm 1 m USB 2.0 1 506-1600 nm / 0.032 nm 380-1200 nm / 0.024 nm 190-600 nm / 0.012 nm

. . .

22

1.2.6. -

1 2 3 4 5 , m

Andor iDus DV 401A-BV) Andor iDus DV 420A-BV Andor Newton 970 BV 200-1000 nm 95% (550 nm) 1024127 26 1024256 1600200 16

5.1 5.2 5.3 6 7 8 9

-60C -100C 0.1 / (-100C) FVB, Single track, Image 18 USB 2.0 0.0002 / (-100C)

1.2.7.

Hamamatsu 7421-40 1 2 3 4 5 6 7 -20C 100 / 300-1000 nm 2 ns 20 ns 2600 A/lm

23

1.2.8. ( )

Hamamatsu 7421-40 1 2 3 4 5 6 7 -20C 100 / 300-1000 nm 2 ns 20 ns 2600 A/lm

(PerkinElmer SPMC-AQR-16-FC) 1 2 3 4 5 6 7 -30C 70% 95% 400-1000 nm +5V 5W

PCI (Becker & Hickl PMS 400A) 1 2 ( 50 mW) 2 1 GHz

24

1.2.9.
() 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 ( ) , 20 Hz -20 MHz (pk-pk) , 20 Hz -20 MHz (rms) (8 ) (10-40C) 532 nm 50 mW <1 MHz (<0.01 pm) TEM00 M2 <1.1 700 m <1.2 mrad <2%, <1.5% <0.25%, <0.15% <2% (3C) <10 rad/C, 5 rad/C >100:1 <25 W, <15 W 10-40C DPSS ( )

. / . , . Centaur , .

25

1.2.10.

1 2 3 4 5 , xx 10002000200 mm (Centaur) / 12002400200 mm (Centaur HR) 6 25 mm

. . .

26

1.2.11.

Centaur U, Centaur U HR.


1 1.1 1.2 1.2.1 1.2.2 1.3 1.4 1.5 1.5.1 1.5.2 1.5.3 1.5.4 1.6 1.6.1 (upright) () #1 10x 0.2 20 mm 50x 0.55 13 mm 100x 0.95 0.1 mm 0:100 50:50 50-70 mm 50 1 m (Upright) 12 V, 100 W 10/24 mm,

1.6.1.1 1.6.1.2 N.A. 1.6.1.3 W.D. 1.6.2 #2 1.6.2.1 1.6.2.2 N.A. 1.6.2.3 W.D. 1.6.3 #3 1.6.3.1 1.6.3.2 N.A. 1.6.3.3 W.D.

27

1.2.12.

Centaur I, Centaur I HR.


1 1.1 1.2 1.2.1 1.2.2 1.3 1.4 1.5 1.5.1 1.5.2 1.5.3 1.5.4 1.6 1.6.1 () #1 10x 0.2 20 mm 50x 0.55 13 mm 100x 0.95 0.1 mm 0:100 50:50 50-70 mm 50 1 m 12 V, 100 W 10/24 mm,

1.6.1.1 1.6.1.2 N.A. 1.6.1.3 W.D. 1.6.2 #2 1.6.2.1 1.6.2.2 N.A. 1.6.2.3 W.D. 1.6.3 #3 1.6.3.1 1.6.3.2 N.A. 1.6.3.3 W.D.

28

1.2.13.

1 2 3 4 5 6 , m , kHz , nm , g ( ) 50 0.5 0.1 < 0.01 300 2

( ).
1 2 , mm , m 50 1

1.2.14.

1 2 3 4 5 6 7 , px ( ) 0.3 1/3 1280x1024 85/1050 4.50/ 0.37 mm USB 2

. . .

29

1.2.15.
1 1.1 1.1.1 1.1.2 1.1.3 1.2 1.2.1 1.2.2 1.2.3 1.2.4 1.3 1.3.1 1.3.2 1.3.3 1.4 1.4.1 1.4.2 1.4.3 1.4.4 1.4.5 1.4.6 1.4.7 1.4.8 1.4.9

EG-3000

(- ) / 4 10 V 16 2 10 V 16 2 1-100 10 V 16 0-1,2 MHz 10 Hz 3 MHz 10 mV-10 V < 5 ppm 4 24V, 3A 1/16 -10..150 V < 5 ppm. 6 18 32 bit; RISC USB 2.0 RS 232, RS485, SYNC I/O

1.4.9.1 1.4.9.2 1.4.9.3 1.4.9.4 1.4.9.5 1.4.9.6

30

1.2.16.
1 1.1 1.1.1 1.1.2 1.2 1.2.1 1.2.2 1.2.3 1.2.4 1.3 1.3.1 1.3.2 1.3.3

EG-1000

(- ) 2 24V, 3A 1/1, , , 1/16 -7..150 V < 5 ppm. 3 18 32 bit; RISC USB 2.0

1.2.17.
1 1.1 1.2 1.3 1.4 CPU RAM HDD


. 2 GHz 4096 GB 500 GB 2 20``

1 1.1 NSpec Win 7 Pro 64

31

1.2.18.

Centaur

1 2

Centaur I, U, I/U, xx () Centaur I HR, U HR, I/U HR, xx ()

100020002000 120024002000

. . 1.2.19.
min max max


. 125 16 . . 125

30 15 m 100 m 25 m 100 m . . ( ). ( )

32

1.3.

1.3.1.

Centaur , , . , . Centaur . , , , .
1 1.1 1.2 1050 223

* Centaur . , , . 2 2.1 2.2 3 4 4.1 4.2 4.3 4.4 5 5.1 5.2 5.3 6 6.1 6.2 , . . . , , , 10000 1100 0.5 35 110/220 (+10%/-15%) 50/60 10 80 % 6515 % 76030

33

6.3 6.4 7 8 8.1 8.2 9 9.1 10 10.1 10.2 10.3 10.4

12 2

, . , , , . Centaur , . Centaur, .

1.3.2. . , , . , . . .

34

1.3.3. , .. . . . . . , . . . . . , . , , .

35

1.3.4. , . . 1.3.5. , - . , ( ). . . . , . . , . , . 10-15 . , . .

36

1.4.

1.4.1.

1 1.1 1.2 1.3 1.4

/ / . / .

, ,

1.5 1.6 2 2.1

. . , . 1.3.

2.2

. 1.1 .

37

1.4.2. , , . ( 3-5 ), . . , , . . , . . . . - . . . .

38

1.4.3. 1. III - , , . 2. , , , , . 3. III , , . , . . 4. . 5. III . 6. . 7. III . 8. III , . 9. III , . 10. . 11. II . 12. , II - III ;

39

. 13. II -III . 14. III (, , .), . 15. . , . 16. . 17. , . 18. , , . 19. III , , : - 1,5 2 - ; - , , , - 1,0 . 20. , III , . 21. . , , 1 . 22. . 23. ,

40

, , . 24. , III , , . ", !" 1.4.4. 1. , , . 2. , , , , . 3. , , , , " " () " " (). 4. . 5. , , . 6. : - II - III ; - , , . 7. . 8. ,

41

. 1.5. 1.5.1. .
1 2 2210 80%

1.5.2. , , . 0 ..

42

2.
2.1. Centaur

Centaur . , . Centaur : ; ; - ; ; ; ; ; NSpec; .

.
Centaur I Centaur U Centaur I HR Centaur U HR Centaur I/U Centaur I/U HR

43

2.1.1. Centaur I Centaur I , (- ), / () , .

A B C D E F G H I J

Ratis Certus Z- Vectus (Olympus IX-71) EG-3000 - ( , ..)

2.1 Centaur I

44

A B - C D E F G H I

K L M N O P Q R S - /

J 1 2 3 4 8 9

(, 10 / ) / 11 12 13 () 14

5 6 7
. 2.2 Centaur I

45

2.1.2. Centaur U Centaur U , (- ), / () , .

A B C D E F G H I J

Ratis Certus Z- Vectus (Olympus BX-51) EG-3000 - ( , ..)

2.3 Centaur U

46

A B - C D E F G H I

K L M N O P Q R S - /

J 1 2 3 4 8 9

(, 10 / ) / 11 12 13 () 14

5 6 7
. 2.4 Centaur U

47

2.1.3. Centaur I HR Centaur I HR - , , / , .

A B C D E F G H I J

Ratis Certus Z- Vectus (Olympus IX-71) EG-3000 - ( , ..)

2.5 Centaur I HR

48

A B - C D E F G H I

K L M N O P Q R S - /

J 1 2 3 4 8 9

(, 10 / ) / 11 12 13 () 14

5 6 7
. 2.6 Centaur I HR

49

2.1.4. Centaur U HR Centaur U HR - , , / , .

A B C D E F G H I J

Ratis Certus Z- Vectus (Olympus BX-51) EG-3000 - ( c , ..)

2.7 Centaur U HR.

50

A B - C D E F G H I

K L M N O P Q R S - /

J 1 2 3 4 8 9

(, 10 / ) / 11 12 13 () 14

5 6 7
. 2.8 Centaur U HR.

51

2.2.

, - , , , .. ( Certus) XY ( Ratis). () XYZ .

A B

Certus Ratis

. 2.9 Centaur. , .

Centaur , . Certus. Ratis.

52

2.2.1. Certus Certus : ; , ( ); , ; ( ), , ..; ; . ( , ), (), .. , , . , . Certus - (). : (), , .

53

A B C D E

3- (X-Y-Z) . . ( ) XY . . .

. 2.10 Certus.

54

. (- ), , , . . 650 . , , . , . : , tuning fork . . " " Certus , , .. , , . Certus EG-3000 NSpec.

1 1.1 XYZ 1.1.1 ( ) 1.1.2 XY 1.1.3 Z 1.1.4 (XY, ) 1.1.5 (Z, ) 1.1.6 1.1.7 1.2 1.2.1 1.2.2 - 100x100x15 1 7 <1 <0.1 <0.3% 0.1

55

1 1.1 Certus - 1.1.1 - () 1.1.2 (, "") 1.1.3 ( ) 1.1.4 1.1.5 1.1.6 1.1.7 1.2 1.3 - * 1.1.1 - ()*

1.3.1 1.3.2 1.3.3 1.3.4 1.4

* 1.4.1 1.4.2 ( ) 1.4.3 - 1.4.4

1.5

1.5.1 (+ ) 1.5.2 (, ) 1.6 * 1.6.1 1.6.2 1.6.3 1.6.4 - *

56

2.2.2. Ratis, Certus.

A B C D E F

. . . Certus Certus . Certus .

. 2.11 .

Ratis. Ratis .

57

Ratis : XY XYZ ; ; ; ( , ), (), .. , , . , . -40 + 80C.

. 2.12 Ratis.

58

. (- ), , , . .
1 1.1 Ratis XYZ 1.1.1 ( ) 1.1.2 XY 1.1.3 Z 1.1.4 (XY, ) 1.1.5 (Z, ) 1.1.6 1.1.7 1.1.8 , g 1.1.9 , C 1.2 1.2.1 1.2.2 - 100x100x25 1 3 <1 <0.1 <0.3% 0.1 100 -40 + 80C

c 45 Ratis , , .. , , . Ratis EG-3000 NSpec.

59

2.3.

, () , , . . , . , . ( ) ( ). : ; ; . . / .

60

A B C D

( , ) Certus Ratis Z-

. 2.13 .

2.3.1. Centaur . Olympus. Olympus IX 71, Olympus BX 51. , .. . . / . . , .. . ,


61

. , , . . . , . . 1.2.11 1.2.12 . . 2.3.2. Vectus Vectus . , , , 3D .

. 2.14 Vectus.

62

Vectus , . , (creep) . (- ), , , , . , . 1.2.13 . 2.3.3. , , , , . , . 1.2.14 . , . Centaur .

63

2.4.

- , , . - . 2.4.1. -

A B C D E F G

/ , / , /

. 2.15 - .

64

A B C D E F G H I J

/ / 6 7

1 2 3

(, 8 / ) 9 10 ()

4 5
. 2.16 - .

65

2.4.2. . 2.4.3. . . 2.4.4.

. 2.17 .

A D, E. . H J,

66

F. , , C. , B . 2.4.5.

. 2.18 .

( ) B, , G. I. G .

67

2.4.6.

. 2.19 .

( ) B, , , . .

68

2.5.

. Centaur . .

A B

. 2.20 .

69

A B C D 1 2 3 4 5

. 2.21 .

2.6.

Centaur . DPSS 532 491 50 . , , . 3 . , . .

70

: ( ); (TEM00); <0.01 ; ; 1 . 1.2.9. 2.7.

, , , . 2.7.1. . 2.7.2. ( ) ( ) . 1.2.7.

71

2.7.3. - -. - . - . -, 1.2.6 . - . - . 2.7.4. . , , - . 1.2.8 .

72

A B C 1 2 3 4 5

. 2.22 .

73

A B C

. 2.23 .

2.8.

EG-3060/3060A . , , . .

. 2.24 EG-3000.

74

, "-". , . . - , . , , . . (, , , - ) , , . , (), 1.5 . , , 4 12 . , . USB. NSpec. EG-3000 1.2.15 .

75

2.9.

NSpec Centaur. : ; ( ; ; - ; ; ; ; ; . Windows (XP, 2003, Vista, 7). Linux, *BSD, MacOS. NSpec , . , Gwyddion. , GRAMS. NSpec / ASCII, gwy (gwyddion), spc (GRAMS).

76

2.10. Centaur . . NSpec.

77

2.11.

A B - C D E F G H I

K L M N O P Q R S - /

78

1 2 3 4

8 9

(, 10 / ) / 11 12 13 () 14

5 6 7

. 2.25 Centaur.

2.11.1.

Centaur NSpec, . . EG-3000, . E, F H. . J, - B, C, D, R S. 2.11.2.

A, E. - B A G. - B D C. C S R.

79

D D ( ). O, . ( ), . ( ) . ( ) Q. N. . N . , . . - B G - B A. A H. H I. E. E ( ). I E. E F . L. . . . . J. A, G

80

- B. - B . , . . M. (). . , . . () C. . - B C, . S (, -) R (, ).

81

3.
3.1.

. , . ( ); ( ); ( - , ); ( - , , ); ( ). . .

82

3.2.

3.2.1.

Centaur . . : XYZ ( Certus); XYZ ( Ratis). . , Z , . 3.2.2. Centaur - . . / . (, ). , . : ; ; . 2.2.1 .

83

3.3.

Centaur ( I) ( U). , , , , . Z- . . 3.4.

Centaur . / . - , . . Centaur. , , . .

84

3.5.

Centaur . / . - , , . . Centaur. , , , , . . ( -) . 3.6.

. . 3.6.1. . . . .

85

3.6.2. - , . . . . ( ) . . . . . 3.6.3. - , , . . . . ( ) .

86

, . . . . 3.6.4. . . . . 3.6.5. , Centaur . , . . . , TERS .

87

4.
4.1. Centaur Centaur , . : ; ; - ; ; ; - ( - ); ; ( ); ; - ; ; - ; ; ; ; ; ; .

88

4.2.

: ; ; () ; ; ; ; ; ; ; ; ; .

89

4.3.

. . . .

. 4.1

. Centaur. , . , .

90

A B C D E

. 4.2 .

: - ; ; ; ; .

, .. , .

91

4.4.

- . - XY A . A - .

. 4.3 - . A - .

. 4.5.

. - , .

92

A B C

- .

. 4.4 .

4.5.1. . USB. NSpec Param/laser.conf . : [port] 1=COM4

93

( Windows), USB . COM .

. 4.5 .

4.5.2. - . . - . - , . . . .

94

. 4.6 - .

4.5.3. NSpec ( NSpec). C. .

. .

95

. 4.7 .

/ . , . . , , . .

1011 . .

, , 10-11 .

96

4.5.4. - . .

A B C D E F G H I

. 4.8 - . 1 . 2 .

97

, - , . B C. 4.8 (F, H), (G, I). . . . 1 4.8. , - 2 4.8. - . D, E. : . , . ( ) . . . . , . 100 . . 50-100 . .

. , .

98

. , . , . 4.5.5. - . . .

A B

. 4.9 - .

B C.

99

A B C

. 4.10

A B C

. 4.11

100

. 4.12 - . A .

- . .

A B

. 4.13 - .

101

A B C D E F

. 4.14 - .

C.

102

. 4.15 .

C E.

. 4.16 100 .

103

4.5.6. NSpec ( NSpec). C. .

Centaur .

. - . , , , .

- USB. Drivers NSpec.

104

Exitation Monochromator Exitation Pinhole Exitation ND Filter 0 1 2 3 4

. . 0 1000 . . . . 10 . 100 . 1000 . 10000 .

. 4.17 .

, Exit ation Pinhole . Exitation Monochromator .

105

4.6.

- .

A B C D E F

. 4.18 .

Centaur , . , , . C - A.

106

4.6.1. A ( 5.2.4 ), .

A B C

. 4.19 .

. B C ( 5.19). - .

107

- . . . (. 4.18). 4.7.

C - .

Beam Expancer Diameter


. 4.20 .

. .

108

Diameter .

. . D, E F. . . .

. 4.21 .

109

4.7.1.

A B C D E F

( )

. 4.22 1 2.

110

4.8.

. - .

A B

. 4.23 - .

, . , .

111

A B

. 4.24 - .

4.8.1. A - .

112

Polarizer Position Analyzer Position


. 4.25 .

. . . .

Position .

113

4.8.2. B.

A B C

. 4.26 .

- . B C.

114

. 4.27

115

4.8.3.

A B

. 4.28 1 2.

116

4.9.

( ) . - , - . : ; 1 . - . 4.9.1. .

A B

. 4.29 - .

117

, , .

A B C D

. 4.30 - , , .

- . 4.9.2. ( ) . .

118

119

A B C D E F G H I J K

( )

. 4.31 . 1 . 2 . 3 - . 4 .

D E - . C. A, B C. . / . A B, C. / C 90. D BC CB . C B . E. . .

120

G A , B. , I B , D C. K C, , D. B E. / G A . E. . , D, E. B C. . 4.9.3. A (. 4.30). . B C ( 4.32). , . 3- .

121

A B C

. 4.32 , .

A B C

. 4.33 , .

122

- .

Edge Filter 1 2 3 4

. 4- . Glass . . . .

. 4.34 .

Edge Filter Glass ( ) C. - . . .

123

A B C

- - -

. 4.35 , .

A B C D

. 4.36 - 1 3.

124

4.10. , . .
Centaur I, I HR 1 2 3 4 5 6 7 8 9 . Z- . Centaur U, U HR . -

Ratis . Ratis . . . Z- .

EG-3000. EG-3000. . . -

10

. , , . .

125

4.11.

A B C D

. Z-. .

. 4.37 .

126

4.12.

A B C D

. . Z-. .

. 4.38 .

127

4.13. ).

Z-

Z- (Vectus). Z- .

. 4.39 (A) .

128

Z- .

A B

. .

. 4.40 .

. 4.41 .

. .

129

, .

. 4.42 Z- .

130

4.14. .

. 4.43 .

. 4.44 .

131

4.14.1.

A B

. , .

. 4.45 .

132

4.14.2. upright

Certus Optic

A B

. , .

. 4.46 .

133

4.15. Z- ( ) Z- (Vectus).

. 4.47 (A) Z- .

134

4.16. , . , - .

. 4.48 . . .

135

A B

. .

. 4.49 .

4.16.1.

A B

. .

. 4.50

136

. 4.51 A .

- .

A B

. .

. 4.52 .

, .

137

, . - .

A B

. / .

. 4.53 .

. 4.54 .

138

4.17. . .

A B C D E F G H I

. 4.55 . 1 . 2 .

G I B C. .

139

4.18.

A B C D E F

. 4.56 .

B, C, E F , . EG-3000 EG-1000 ( ). 4.19. USB . NSpec Drivers.

140

. 4.57 .

NSpec. , .

. 4.58 .

141

/.

/ CCD .

. . . .

142

4.20. 4.20.1.

. . Z EG-1000, EG-3000. EG-3000.

A B C

Z- (EG-3000 + EG-1000). Z- (EG-3000). Z-

. 4.59 Z- .

143

4.20.2.

. 4.60 EG-3000 .

144

A B

Z- (EG-3000).

. 4.61 EG-3000 EG-1000 .

145

A B

Z-. .

. 4.62 EG-3000 .

146

A B C

Z-. Z-. .

. 4.63 EG-3000 EG-1000 .

147

A B C

Motor Z-objective Stage

. 4.64 .

. 4.21. . . USB. NSpec Drivers.

148

. 4.65 .

4.22. . 4.13 . .

A B

. 4.66 .

149

. , . . , .

A B

. .

. 4.67 .

150

4.23. . : ; ; (. ); NSpec ( 4.19 ); ; ; ; .

4.23.1.

. 4.68 .

151

4.23.2.

NSpec .

A B C D

( ). . . .

. 4.69 .

NSpec .

152

. 4.70 .

. .

. 4.71 .

153

Z- Z-. Z- Z-.

( ) . .

. 4.72 .

. 4.73 .

1 1 . . . .

154

A B

. .

. 4.74 .

A (. 4.69,

), ( , A . 4.74). 1,5-2 ( ). . . . D (. 4.69), B (. 4.74). .

155

. 4.75 .

. 4.23.3.

. .

156

A B C D E F

( ). ( ). ( ). ( ). ( ). ( ).

. 4.76 .

157

4.24. : - ; ; ; . 4.24.1. -

Exitation Monochromator (. 4.77) . Exitation Pinhole 100 . Exitation ND Filter 3 4. 10-12 .

158

Exitation Monochromator Exitation Pinhole Exitation ND Filter 0 1 2 3 4

. . 0 1000 . . . . 10 . 100 . 1000 . 10000 .

. 4.77 .

/ . .

159

4.24.2.

. 4.78 .

. , 4.17 4.18 . . . . ( ) .

160

. 4.79 .

161

4.24.3.

. 4.80 .

162

4.25. . . . . . . . 4.25.1.

. ,

. - . , , , .

Exitation Exitation Monochromator .

163

4.25.2.

- EDGE FILTER 4.25.3. .

( ) .

164

. 4.81 .

165

A B C

. 4.82 .

B C .

166

. 4.83 .

167

4.26. -

A B C D E F G H I J K L M

. 4.84 - .

168

4.27. : - ; ; . 4.27.1. -

. - . , , , .

CONFOCAL .

169

Confocal PMT ND Filter 0 1 2 3 4 Confocal Lens Focus X Y Confocal PMT pinhole

. . . 10 . 100 . 1000 . 10000 . . X . Y . . 0 1000 .

. 4.85 .

170

Confocal PMT ND Filter 3-4, Confocal PMT pinhole 300 . . NSpec. NSpec. ,

. 4.86 .

, . . . B-D. ,

171

. T, . , .

. 4.87. .

01, . .

172

. 4.88 , .

04, 01 1.

. 10 V. 1 .

. 4.89 .

173

. 4.90 .

- Confocal Lens. X . .

1. . . Y Focus. .

174

4.28. . - . - 90 , . . 90 . 4.28.1.

. . .

. 4.91 .

175

- .

A B C D

- -

. 4.92 .

4.28.2.

- . USB Drivers NSpec. - .

176

Monochromator Lens

. Focus . X Y X . Y . .

. 4.93 .

177

Wavelength Grating

nm

. (Centaur) (Centaur HR).

0/0 1 2 3 Exit port Exit slit Monochromator Pinhole Monochromator Shutter

(Centaur), Centaur HR. . . . Lateral port . . 0 1000 . . 0 1000 . . . .

. 4.94 .

178

, Gratting . Wavelength . Exit port Lateral port. ( ). . - . . . 4.29. -. -. - . Exit Slit 1000 . .

179

A B

- -

. 4.95 -.

. NSpec C . . (CCD) .

. 4.96 .

180

, (CCD) .

. 4.97 , (CCD) .

. , . . .

181

4.30. . , 520 -1.

. 4.98 .

, . . . NSpec C. .

182

. 4.99 .

:
/ . . . .

. . / . /.

. 4.100 (CCD) .

(CCD) . 00 . , . 0.1 . -40.

183

00 00
. 4.100 .

, . . 20 . . , , . , .

. 4.101 .

184

- Monochromator Lens. X . .

1. . . Y Focus. .

185

4.31. . Certus .

. 4.102 Certus .

. 4.103 Certus .

186

Certus . . Certus .

A B

Certus . Certus .

. 4.104 Certus .

187

4.32. Certus 4.32.1. Certus

A B

. 4.105 Certus.

188

A B C

. . . . .

. 4.106 .

, Certus , .

. 4.107 , .

189

A B

. .

. 4.108 .

. 4.109 .

, . .

190

. 4.110 .

. 4.111 .

191

4.32.2.

EG-3000

Certus EG-3000.

A B C D

. . . .

. 4.112 Certus EG-3000.

192

Centaur

5. Centaur
Centaur NSpec. 5.1.

Centaur : ; ; ; ; ; ; / . 5.2. / Centaur

Centaur : ; NSpec; EG-3000 ( ) EG1000; . ; .


193

Centaur

- ; ; . ; - . 5.2.1. .

. 5.1 EG-3000.

194

Centaur

. 5.2 EG-1000.

EG. 5.2.2.

A B

. 5.3 EG-3000.

195

Centaur

5.2.3. - - .

. 5.4 - .

- .

- . , , , .

9 NSpec.

196

Centaur

5.2.4. NSpec. . .

. 5.5 .

. .

197

Centaur

/ . , . . , , . .

. 5.6 .

5.2.5. .

. 5.7 .

198

Centaur

Monochromator Lens

. Focus . X Y X . Y . .

. 5.8 .

199

Centaur

Wavelength Grating

nm

. (Centaur) (Centaur HR).

0/0 1 2 3 Exit slit Monochromator Pinhole Monochromator Shutter

(Centaur), Centaur HR. . . . . . 0 1000 . . 0 1000 . . . .

. 5.9 .

200

Centaur

5.2.6. - - NSpec -20C. -50C ( 60C ). . -

. 5.10 (CCD) .

(CCD) . 00 . , .

00 00
. 5.11 .

, . .

201

Centaur

20 . 5.2.7. ( ); ; ( ); ; , - , ; 10 NSpec; ; - . 5.3.

: ; ; ; ; ; ; /.

202

Centaur

5.4.

55 . , XY.

. 5.12 XY.

203

Centaur

5.5.

A B C D E F G H I J K

. . . . . . . . . .

. 5.13 .

204

Centaur

. , , Z . . . G. . H. . Centaur, . 5.6. NSpec.

, , , . ,

Nspec. .

. 5.14 .

, , .

205

Centaur

. 5.15 .

. .

. . . . .

. . Certus Light . . .

206

Centaur

. .

. 5.16 .

207

Centaur

Z- Z-. Z- Z-.

3- 3- . 1- 1- . 2- 2- . 3- 3- . . . , .

1 1 . . . . ( ) . .

. 5.17 .

208

Centaur

. 5.18

NSpec 5.3-5.4. 5.7.

. 5.19

. .

209

Centaur

A B

. .

. 5.20 .

5.8.

5.8.1.

A (. 5.13) NSpec

. G (. 5.13)

1-2 . NSpec (. 5.17) .

210

Centaur

5.8.2.

A B (. 5.20). , . 5.9. 5.9.1. . B (. 5.13) , , . NSpec

. 5.9.2. Z, m (. Z, m) . .

. 5.21 Z.

211

Centaur

5.10. 5.10.1.

. NSpec . NSpec ,

. 5.22 .

:
/. / CCD .

. . . .

212

Centaur

. 5.23 .

5.10.2.

. .

. - . , , , .

CONFOCAL

213

Centaur

Confocal PMT ND Filter 0 1 2 3 4 Confocal Lens Focus X Y Confocal PMT pinhole

. . . 10 . 100 . 1000 . 10000 . . X . Y . . 0 1000 .

. 5.24 .

214

Centaur

Confocal PMT ND Filter 3-4, Confocal PMT pinhole 300 . . NSpec. NSpec. ,

. 5.25 .

, . . . B-D. , . T,

215

Centaur

. , .

. 5.26. .

01, . .

216

Centaur

. 5.27 , .

04, 01 1.

. 10 V. 1 .

. 5.28 .

217

Centaur

. 5.29 .

. 5.30 .

218

Centaur

. .

. 5.31 .

. 5.32 .

219

Centaur

5.10.3.

( ). .
. . Z Obj.Z. . . . Z Obj.Z.

. . . . , . . , , . . .

220

Centaur

5.10.4.

. , 50 0.1 . . . . C. .

. 5.33 .

221

Centaur

: -; - ; ; ; . . - :
, . 0,001 99999 . , , . 0.1 1 . . XY . . . . . .

- : ; ; ; .

222

Centaur

:
/ . . . .

. / . . . / . . /.

, , .

223

Centaur

5.11. :
, ,

(. )

5.11.1.

NSpec . , ,

. . , , / . .

224

Centaur

. 5.34 .

. . 5.11.2.

NSpec . , ,

. , , / .

. .

225

Centaur

5.11.3.

. 5.35 .

, . .

. 5.36 -.

226

Centaur

. 5.37 .

: , ; , ; ; ; .

227

Centaur

A B

. .

. 5.38 .

NSpec, 5, . 5.11.4.

. : NSpec ( NSpec, 5); (- ); ; ; .

228

Centaur

5.11.5.

: NSpec ; . ; .

a)

. 5.39 ) ; ) .

, .

229

Centaur

a)

. 5.40 ) ; ) .

, , .

. 5.41 .

230

Centaur

. 5.42 .

5.11.6.

. .

. 5.43

231

Centaur

. a) )

. 5.44 ) ; ) .

5.11.7.

, . .

. 5.45 .

232

Centaur

, , .

. 5.46 .

5.11.8.

. , DFL LFL. .

233

Centaur

. 5.47 .

5.11.9.

. . Tapping - MAG. : MAG; 0 500 ( ); 1; 1; .

234

Centaur

. 5.48 .

. . .

. 5.49 .

235

Centaur

. 5.50 .

. 5.51 Current Frequency.

1 V . .

236

Centaur

5.12. , , . . , , DFL LFL, , . ( DInt). , . Z. Z , Z . . Z (.Z (%)). , , .

237

Centaur

. 5.52 .

238

Centaur

./.

/ .

, . . . , . , . . /. . .

/ .

. 5.53 .

, , .

. 5.54 .

239

Centaur

.
.

/ . / .

Snotra TF mode, .. .

. 5.55 .

240

Centaur

5.12.1.

. 5.56 .

DFL, LFL, . , , . Enter. . , , . Enter. , , . , , . Enter. 5.12.2. 1. . , . . . , , . . . 10:1.


241

Centaur

( ) 0. 0,1 0,3. 1. . 5.12.3.

, . , . . 50% .. . 5.12.4. Z

Z. Z0. Z , . Enter.

. 5.57 Z.

242

Centaur

5.13. : ; ; ; ; . 5.13.1.

Certus . .

. . . . 5.13.2.

5-10

. . 5.13.3.

, ,

243

Centaur

. . . : 5-10 ; . ;

, ;

. ;

. 35 . . . 5.13.4.

. /. .

. . .

244

Centaur

5.13.5.

1-5 .

. 5.13.6.

. 5.14. .

. 5.58 Certus XY.

245

Centaur

5.15. 100100 0.1 , . . , , , . 3D / .

. , .

. 5.59 .

246

Centaur

XY .

. 5.60 .

5.16. Certus , , , , , .. , . . 0-90 0 . 40 , . (WD) 12 , . .

247

Centaur

: Certus ; ; Up 5-10 ;

NSpec ; Certus ;

. 5.61 .

248

Centaur

. 5.62 .

, . , . , . . . , , . .

249

Centaur

5.17. - - NSpec 9 - .

5.17.1.

-
. .

. , / . - .

250

Centaur

5.17.2.

. - . . , . 2-3 . . 0 1000 . - (100 ). . 2-3 . 500 1000 . , . . . . . . . . 10 . . ( ) . 100 . , . .

Exitation Monochromator

Exitation Pinhole

Exitation ND Filter

251

Centaur

. . ( ) . . 1000 . . . (). . . 10000 . . . .

5.17.3.
Beam Expancer


. . . . .

Diameter

5.17.4.
Polarizer

. . . , . . . . . .

Position

Analyzer

Position

252

Centaur

5.17.5.

Edge Filter 1 2 3 4

. 4- . . . . .

5.17.6.

. . Focus . X Y X . Y . . .

Monochromator Lens

253

Centaur

5.17.7.


. . - . . , . (, ) , . (Centaur) (Centaur HR). . .. . . . , . . . . . . . . . . . . . . 0 1000 . . . . 0 1000 . . 300 . 100 .

Wavelength

nm

Grating

4 Exit slit Monochromator Pinhole

254

Centaur

300 . ( , . .) . , 100 , , . Monochromator Shutter . . . . .

5.17.8.


. . . 0 . . . 10 . . 100 . . 1000 . . 10000 . . , . . . 100 . Focus .

Confocal PMT ND Filter

1 2 3

Confocal Lens

255

Centaur

X Y

X . Y . . . 0 1000 . 100 300 . 100 .

Confocal PMT pinhole

5.18. 5.18.1.

: ; ; - ; ;

( CCD ) ( ).

. 5.63 .

; ; ; ; . ; - .

256

Centaur

5.18.2.

. 5.64 .

/ . . . .

. / . . . / . . /. X. X. spc, ASCII. .

- . - .

257

Centaur

/ .

/ . . , . , . . . . .

258

Centaur

. 5.65 .

. 5.66 .

259

Centaur

. 5.67 .

. 5.68 . . 5.67.

260

Centaur

. 5.69 .

. 5.70 .

261

Centaur

. 5.71 , .

. . , . . .

262

Centaur

5.18.3.

(CCD) .

. 5.72 (CCD) .

(CCD) .
, . 0,001 99999 . , , . . . . . . .

. . . XY . . . . XYZ. XY.

263

Centaur

. 5.73 .

. 5.74 .

. 5.75 .

. 5.76 , .

() ( ).

264

Centaur

. 5.77 , .

. . 1 99999 .

. 0 99999 . . - .

( ) .. . .. , .

265

Centaur

. 5.78 , .

. . .

: , . . , . , . . . .

266

Centaur

. 5.79 .

. .

(CCD) . 1024256 (128) . , . , .

, (CCD) . , () .

. 5.80 , (CCD) .

267

Centaur

5.18.4.

(CCD)

(CCD) .

. 5.81 .

. () (/)

(CCD) . . (CCD) . . . . . . . . , . . . , .

268

Centaur

. 5.82 .

. 5.83 - .

5.18.5.

(-)

. .

. 5.84 .

269

Centaur

. 5.85 . .

. 5.86 . .

270

Centaur

5.18.6.

.
/ / . . . . . . . .

. 5.87 .

271

Centaur

. 5.88 .

5.18.7.

. 5.89 .

, . , , . , ,

. .

272

Centaur

5.18.8.

. 5.90 .

. , . ., . , . ., . , . , . , . , ., ,

. . . . . .

5.18.9.

. 5.91 .

273

Centaur

5.18.10.

. .

. 5.92 .

. 5.93 .

274

Centaur

5.18.11. )

. .

. 5.94 .

(., , ), (, , ) .

. 5.95 .

275

Centaur

5.19. Centaur Centaur HR . : ; (. . - ). (CCD) XY .

. 5.96 .

. 5.97 .

276

Centaur

(CCD) . . 5.19.1.

. 5.98 .

. . , . . . .

. . .

. /

277

Centaur

. . . . .

, (PMT) / . , (PMT) / . . .

, Centaur Centaur HR, 4- (XY), . NSpec.

278

Centaur

5.19.2.

. 5.99 .

. 5.100 .

. 5.101 .

279

Centaur

. 5.102 .

. 5.103 .

280

Centaur

. 5.104 .

. . , .

. 5.105 . .

. , .

281

Centaur

. 5.106 .

, .

. 5.107 .

282

Centaur

5.19.3.

. 5.108 .

. . , .

. 5.109 .

, .

283

Centaur

. 5.110 .

284

Centaur

5.19.4.

. . X . Y . X . Y . X . Y . X . Y .

5.19.5.

. 5.111 .

285

Centaur

( ) Nx Ny.

. 5.112 ( ).

5.19.6.

( )

. 5.113 .

286

Centaur

/. .

/. Nx Ny X Y

. 5.114 .

287

Centaur

5.19.7.

, , .

, - .

288

Centaur

5.20. : - 6.17 ; ( ) 6.10.2 ; 6.8-6.9 ; - ; ; . , - . , , , , . NSpec. ,

289

Centaur

. 5.115 .

4 , . . . . . . 5.20.1.

, . .

290

Centaur

. 5.116 .

Nx Ny ,

X. Y. . , , ( ) .

. , , ( ) .

A B

, (FORW).

C D

, (BACKW).

. .

291

Centaur

, . , . Enter. , .

. . X . Y . X . Y . X . Y . X . Y .

. 5.117 : - ; - .

292

Centaur

5.20.2.

( ) 04. 5.20.3.

: ; ; 04; ; ; .

, . : ; 300 300 ; 1 /; 04 .

, .

293

Centaur

: ( / = ); . ; , . . . 5.20.4.

. . 5.21. . ,

1-4. .

294

Centaur

. 5.118 .

. .

. 5.119 .

295

Centaur

5.22. . 5.22.1.

6.20 . 6.21 . .

. 5.120 .

. / / . / / , ( ), . .

296

Centaur

. 5.121 / / .

. 5.122 . - /, / .

/ .

297

Centaur

5.22.2.

. .

. 5.123 .

/. .

/. Nx Ny X Y

/. /. . /. /. , ( ), .

298

Centaur

. 5.124 /. /. .

299

Centaur

5.23. : ; ; . . , , , , . NSpec. ,

. 5.125 .

4 , .

300

Centaur

5.23.1.

, . , .

. 5.126 .

301

Centaur

Nx Ny ,

X. Y. . , , ( ) .

. , , ( ) .

A B

, (FORW).

C D

, (BACKW).

. . , . , . Enter. , .

. . . . . X . Y . X .

302

Centaur

Y . X . Y . X . Y .

. 5.127 : - ; - .

. , . . . .

303

Centaur

. 5.128 .

304

Centaur

5.23.2.
DFL

. . (. 4.9). DFL= (A+B)-(C+D). , . . LFL= (B+D)-(A+C). DFL. - . DFL. DFL. DFL. - .

LFL

MAG MAG Sin MAG Cos

MAG, MAG Sin, MAG Cos, Phase 1 . (DDS), . , . 1 (PGA), 1100 . . , , , 90. , MAG Sin MAG Cos. (MAG) . DInt . , . Dint=A+B+C+D. 01, DFL 02, LFL. 03, DInt. 04.

01 02 03 04

305

Centaur

05 . X

05. . . Y . . Z . . . Y. Z. . . Y. . Z. . X. Y. Z.

. Y

. Z

Ux Uy Uz . X2

. Y2

. Z2

Ux2 Uy2 Uz2 1 2

306

Centaur

. 5.129 .

5.23.3.

. . . ., n, Z, . ( A, B, C, D) . ,

. 5.130 .

307

Centaur

5.23.4.

XY . X, . Y, () / . ,

. 5.131 .

Z Z. Z, . Enter. Z , Z .

. 5.132 Z.

Z ( Z (%, Max)). , , .

. 5.133 Z.

308

Centaur

. 5.134 . .

. 0 . /
. 5.135 .

. 5.23.5.

: ; ; ; ; ; ; . , . : ; 300 300 ; 1 /; .

309

Centaur

, . : ; . ; . 5.23.6.

Certus Standard. . 5.24. . ,

1-4. .

310

Centaur

. 5.136 .

. .

. 5.137 .

311

6.
6.1. Centaur

: ; ; -. 6.1.1. . / . .

. 6.1 .

312

6.1.2. ) . (

. . . . 6.1.3. ( ) .

. . . . 6.1.4. .

313

. 6.2 .

. . /

, .

314

H:

. . Ux Uy Uz . Cx . Cy . Cz . , 0..1 , m

. . X Y Z X Y Z

. . . .

315

6.1.5. , X . , . ,

. 6.3 .

, / ,

., Ux, , , 3 . .

316

. 6.4 .

. 6.5 .

. .

317

. 6.6 .

. 6.7

. . , . .

318

6.2.

Centaur . .. , , .. . . 6.2.1. .

. 6.8 . .

319

. . . .

. . . . . .

6.2.2. .

. 6.9

320

. . : . . X. Y. % . % . . X. Y.

X: Y: . . X. . . Y.

6.2.3. . : ;

; ;

. .

321

. 6.10 . .

. 6.11 . .

322

6.2.4. / .

. .

. 6.12 .

323

6.3.

(CCD) .

. 6.13 .

. () (/)

(CCD) . . (CCD) . . . . . . . . , .

324

. 6.14 .

. 6.15 - .

325

7.
: - 6. ; . 4.23. 3 ; . 4.24. 3 ; . 4.25. 3 ; . 4.27. 3 ; - . 4.30. 3 . .

326