Microscopio Electrnico de Barrido (SEM)

Marvyn Inga Caqui Facultad de Ciencias, Universidad Nacional de Ingeniera E-mail marvyn_16@hotmail.com

Resumen
En el siguiente informe se expone las partes que conforma un microscopio electrnico de barrido (SEM) comenzando por describir las partes principales: el can de electrones, las lentes electromagnticas, la cmara porta-muestras, el sistema de detectores entre otros. As tambin se describe las etapas ms importantes, como la formacin de imgenes, el del vaco que se debe generar dentro del microscopio para que se pueda hacer todo el proceso anterior, etc. Al final se muestra algunas imgenes obtenidas mediante un SEM, cortesa de la compaa fabricante de microscopios electrnicos FEI.

Abstract
The following report outlines the parts of a scanning electron microscope (SEM) beginning with the description of the principal parts: the electron gun, the electromagnetic lenses, the specimen chamber, the system of detectors, among others. This also describes the most important stages, such as imaging, the vacuum that must be generated within the microscope so we can do all the above process, etc. In the end it shows some images obtained by a SEM, courtesy of the FEI company.

I. Introduccin
El microscopio electrnico de barrido (SEM) es un instrumento que permite la observacin y caracterizacin superficial de materiales inorgnicos y orgnicos, entregando informacin morfolgica del material analizado. A partir de l se producen distintos tipos de seal que se generan desde la muestra y se utilizan para examinar muchas de sus caractersticas. Con l se pueden realizar estudios de los aspectos morfolgicos de zonas microscpicas de los distintos. Un SEM se compone principalmente de una columna electro-ptica, un sistema de vaco, una parte electrnica, y actualmente de un software. La columna, que es la parte que ms nos interesa, es considerablemente ms corto que el de un microscopio electrnico de transmisin (TEM) debido a que las nicas lentes necesarias son aquellas que estn por encima de la muestra, las cuales se usan con el fin de enfocar los electrones en un punto fino sobre la superficie de la muestra.

de la imagen obtenida y el tamao del rea escaneada de la muestra nos da la amplificacin o magnificacin. Una mayor amplificacin se logra reduciendo el tamao del rea escaneada de la muestra. Las imgenes en los SEM modernos son obtenidos mediante un ordenador, lo cual permite que sean almacenados a largo plazo. En el SEM, al igual que en el TEM, la formacin de la imagen se debe a la dispersin de los electrones, mientras tanto en un microscopio ptico (MO) la imagen se produce por absorcin de fotones. En otras palabras la imagen que se observa en un MO se debe a la diferente absorcin de la luz por las distintas estructuras de la muestra, mientras que en el microscopio electrnico la formacin de la imagen est en funcin de la dispersin y, por consiguiente, a una prdida de electrones. Est capacidad de dispersin va a depender de las distintas estructuras atmicas de la muestra. B. Componentes Bsicos del SEM Can de electrones: Son tres los principales tipos de fuentes de electrones usados en los microscopios electrnicos:

II. Fundamento Terico

A. Principio bsico del SEM
El can de electrones que se encuentra en la parte superior de la columna (Fig. N1) produce un haz de electrones que se concentra en una rea muy fina sobre la superficie de la muestra. Este haz es escaneado en un raster rectangular que se encuentra sobre la muestra, y las diversas seales de intensidad, propias de las interacciones entre el haz de electrones y el espcimen, se miden y se almacenan en la memoria de un ordenador o en el de una cmara. Los valores almacenados se asignan como variaciones en el brillo de la imagen. La seal de los electrones secundarios (SE), es la seal usada ms frecuentemente. Esta vara con la topografa de la superficie de la muestra al igual que una fotografa area: Los bordes son brillantes, los huecos son oscuros. La relacin entre el tamao

FIG.N1. Interaccin del haz de electrones con la muestra.

el tungsteno, el hexaboruro de lantano, y la pistola de emisin de campo (Field Emission Gun). Tal vez la fuente emisora de electrones ms utilizada es el filamento de tungsteno que se calienta por medio de una corriente elctrica a aproximadamente 2700C, -5 en un vaco del orden de 10 Torr. Una pistola de tungsteno comprende de un filamento, un cilindro Wehnelt, y un nodo. Estos tres juntos forman una pistola triodo, que es una fuente muy estable de electrones. Mediante la aplicacin de una diferencia de potencial entre el filamento y el nodo, los electrones excitados trmicamente se extraen de la nube de electrones de forma acelerada hacia el nodo. El nodo tiene un agujero por el cual el haz de electrones emerge y se dirige hacia la parte inferior de la columna. El cilindro Wehnelt, que se mantiene a una potencial variable ligeramente negativa, dirige los electrones a travs de un estrecho cruzado para mejorar la densidad de corriente. Con un diseo adecuado y un potencial convenientemente elegido, se puede lograr una zona de entrecruzamiento de dimetro menor que el dimetro de la zona emisora de electrones en el filamento. El voltaje de aceleracin de los electrones puede variar entre 0,5 y 50kV, dependiendo de las caractersticas de las muestras a observar. La -7 intensidad de la corriente del haz flucta entre 10 y -12 10 Ampere. Es posible obtener una fuente electrnica ms brillante y de mayor duracin utilizando un ctodo de hexaboruno de lantano (LaB6), pero requiere un -7 vaco de aproximadamente de 10 Torr. Otra forma de aumentar la emisin es utilizar el llamado ctodo fro. Este nuevo can electrnico est compuesto fundamentalmente por un ctodo de tungsteno de punta muy aguda, y un nodo situado muy cerca del ctodo conectado a un potencial positivo. El campo elctrico resultante, de aproximadamente 107volt/cm sobre la punta, es suficiente para arrancar electrones de la misma. En esta forma, se obtiene un brillo considerablemente mayor que el producido por una emisin termoinica. Este tipo de can electrnico requiere -10 de un vaco de aproximadamente 10 Torr. Fuentes de la FEG ofrecen un brillo de hasta 1000 veces ms que los emisores de tungsteno, pero son tambin mucho ms caro. En algunas aplicaciones de alta corriente, LaB6 o tungsteno en realidad puede funcionar mejor que la FEG. Las fuentes de tungsteno son menos costosas, pero ofrecen menor luminosidad y tienen una vida til limitada. El brillo de una fuente de tungsteno se puede aumentar, pero slo a costa de menos duracin. Debido a que el rea de emisin es grande, una fuente de tungsteno puede proporcionar un haz de corriente muy alta. Por otra parte LaB6 puede proporcionar hasta 10 veces ms que el brillo de tungsteno y tienen una vida til significativamente ms larga.

FIG.N2. Esquema del can de electrones de un

microscopio electrnico.

Pistolas de emisin de campo, en los que los electrones son extrados de una punta de tungsteno por un campo elctrico extremadamente alto, son el tipo ms costoso de fuente, pero en general proporcionan una alta calidad de imagen y mejores resultados analticos. Las lentes electromagnticas. El SEM emplea las lentes electromagnticas con el objetivo disminuir el dimetro del haz de electrones de aproximadamente de 50m en su origen, a valores comprendidos entre 25 y 10nm al incidir sobre la muestra. De esta forma se obtiene un haz de electrones extremadamente fino y, de acuerdo con el voltaje de aceleracin, penetra un poco en el espcimen, determinando un volumen de interaccin haz/objeto de una forma aproximada. Estas lentes son de naturaleza electromagnticas y actan como las lentes de un MO, es decir, desviando las trayectorias seguidas por los electrones en el vaco. En microscopa ptica las lentes pueden desviar el haz luminoso haciendo que la imagen de un objeto parezca ms grande, en microscopa electrnica este mismo efecto se consigue con campos magnticos. Los aumentos en este tipo de lentes se obtienen modificando la intensidad de la corriente que se hace pasar por las bobinas que conforman las lentes, provocando un aumento del campo de fuerza y, por tanto, un desvo mayor o menor del haz de electrones. Mientras las lentes de un MO tienen una distancia focal fija, las lentes electromagnticas del ME tienen una distancia focal variable, por lo que para incrementar los aumentos no es necesario cambiar de lente sino simplemente aumentar el campo de fuerza de la lente electromagntica. Las lentes electromagnticas producen desviaciones no proporcionales del haz de electrones que se manifiesta como una aberracin denominada astigmatismo, pero que se pueden corregir mecnicamente.

FIG.N3. Esquema de una lente electromagntica. C es un

cable elctrico enrollado y P es una delicada pieza polar. La trayectoria del haz es de arriba hacia abajo.

Sistema de Barrido Este sistema consiste en un campo de deflexin simple o doble, que puede ser electrosttico o electromagntico, y que produce el desplazamiento del haz electrnico sobre la superficie de la muestra. El haz de electrones se mueve en lneas rectas superpuestas, barriendo la superficie del espcimen en un rea rectangular. La misma seal que se aplica a las bobinas deflectoras, se utiliza para barrer en forma sincronizada el haz del tubo de rayos catdicos, producindose as una correspondencia punto a punto, entre la superficie de la muestra, que es barrida por el haz de electrones y la pantalla donde se observa la imagen. Este sistema es similar al de la televisin, pero con velocidades de barrido ms bajas. El tiempo de barrido oscila entre 0,5 y 500 segundos, indicando con estos valores el tiempo que demora el haz parar barrer verticalmente la zona de la muestra que se est observando en la pantalla. Usualmente se trabaja con un tiempo de barrido de 10 segundos, durante la observacin preliminar de la muestra. Las fotografas se toman con un tiempo de 50 segundos, con lo cual se tiene un mayor nmero de lneas de barrido, y por lo tanto, una mayor definicin.

Cmara porta-muestra La cmara porta-muestra est situada en la base de la columna del microscopio y en lnea con el haz electrnico. La pieza o platina que sostiene la muestra permite desplazamientos en las coordenadas rectangulares (ejes X e Y) en un plano a lo largo de la superficie observada de la muestra. Tambin permite el movimiento de rotacin sobre el propio plano de la muestra (en 180) y el movimiento de inclinacin en el plano horizontal entre (-5 y +45). Esto permite inclinar el espcimen, tomando como eje cualquier punto que se est observando. Tambin es posible inclinar la muestra sin necesidad de variar el enfoque, lo que es indispensable si se desea tomar un par estereoscpico de fotografas. Existen diferentes tipos de porta-muestras, segn el tamao de la muestra a observar. Es preferible usar una porta-muestra ms pequea con una distancia de trabajo menor, y obtener as mayor resolucin. Sistema de deteccin. La emisin secundaria surge cuando el haz primario tiene energa de varios de cientos de electrn volts. Si bien en un principio la corriente secundaria es proporcional a esa energa, llega un momento que nuevos incrementos energticos del haz primario saturan la superficie emisora, estabilizndose la salida de electrones, e incluso disminuyendo si la energa aumenta excesivamente. Cada material presenta un coeficiente de emisin secundaria () que es caracterstico, y que se define como la relacin entre los electrones emitidos por la superficie respecto a los primarios que la impactan. Los electrones secundarios son de menor energa que los primarios, y por esta razn, aun cuando se produzcan profundamente, slo pueden abandonar la muestra los que se generan muy superficialmente (< 50). Los electrones secundarios que se desprenden de cada punto, se detectan mediante un cristal de centello, cuya superficie se mantiene a un potencial positivo de 10 a 12kV. Este cristal est unido al extremo de un bastn de Lucita, que tiene el otro extremo descansando contra la ventana del tubo fotomultiplicador.

FIG.N4. Corte transversal y longitudinal de una Lente

electromagntica.

FIG. N5. Cmara porta-muestra de un SEM.

FIG.N6. Vista del sistema de deteccin de un SEM.

As, los electrones secundarios colectados alcanzaran un centellador, donde se origina una seal luminosa que, amplificada por un fotomultiplicador, se convierte en una cascada de fotones. Estos fotones inciden en el fotoctodo, que es parte del fotomultiplicador, y se genera finalmente una seal elctrica amplificada, capaz de modular el haz de un tubo de rayos catdicos, obtenindose de esta forma un punto correspondiente de la imagen. El alto voltaje que se aplica a la grilla del detector hace que los electrones secundarios, de baja energa, recorran una trayectoria curva al dejar la superficie de la muestra. Esto permite obtener seales an de regiones muy inclinadas con respecto al detector, adems de acelerarlas en direccin a l. Esto no sucede en el caso de electrones retro-difundidos, que viajan en lnea recta produciendo imgenes de contraste muy marcado con efectos de luz y sombra bien definidos. Tantos electrones secundarios como retro-difundidos son captados por un mismo detector. La variacin de intensidad de las seales generadas por la muestra se convierte en seales elctricas, lo que permite obtener imgenes en un microscopio de barrido. No es una imagen ptica de superficie, pero si una buena aproximacin. Sistema de vaco Para aumentar el camino libre medio de la interaccin del gas de electrones es evacuado a -4 -7 bajas presiones del orden de 10 a 10 Pa. La necesidad de esto ese en primer lugar de no crear una arco entre el ctodo y el suelo y en segundo lugar reducir la frecuencia de colisiones de electrones con los tomos de gas a niveles insignificantes. Es difcil crear un alto vaco en una sola etapa. Por lo tanto se utiliza un sistema donde se emplean diferentes tipos de bombas (bomba mecnica o rotatoria, bombas de difusin de aceite o de mercurio, bombas termoinicas, turbo-moleculares), en serie.

En una primera etapa se crea un pre-vaco de -1 -3 aproximadamente 10 a 10 Torr, que se obtiene con una bomba mecnica de rotacin, de gran capacidad pero de bajo rendimiento. En la segunda etapa, se -5 obtiene un alto vaco de aproximadamente 10 Torr, por medio de dos bombas difusoras que funcionan con vapores de Hg una, y vapores de aceite. Las bombas difusoras deben funcionar continuamente mientras el microscopio est trabajando, por las pequeas fugas de aire que puedan existir, y porque constantemente se producen gases que conviene eliminar ininterrumpidamente. Las condiciones de presin del microscopio se controlan utilizando diferentes tipos de manmetros entre ellos: tubos de descarga de gases y manmetros trmicos, como el Pirani y el Penning. Sistema de refrigeracin Este sistema permite enfriar tanto las bombas difusoras (que generan considerable cantidad de calor), como las propias lentes, que tambin se calientan cuando pasa a travs de ellas una corriente elctrica. Esto se consigue haciendo circular a su alrededor agua tratada, filtrada y refrigerada. Deber existir una unidad de refrigeracin con bombas de agua que permitan el movimiento de sta a travs del sistema.

FIG.N7. Esquema de la columna electro-ptica del SEM.

C.

Sistema de proyeccin o visualizacin de las imgenes. Las imgenes se proyectan en dos tubos de rayos catdicos de alta resolucin, que funcionan en sincronizacin con el barrido electrnico de la muestra. Uno de ellos, para observacin visual, tiene una pantalla de gran persistencia. Fijando el tiempo de barrido en 10 segundos, se obtiene una imagen de 500 lneas. La pantalla del segundo tubo es azul, para registro fotogrfico y de baja persistencia. Adosada a esta segunda pantalla va la cmara fotogrfica. Aqu se utiliza un barrido ms lento, de 1000 o ms lneas. Cuando mayor sea el nmero de lneas en la pantalla fotogrfica, mayor ser la resolucin de la imagen final. Las dos pantallas pueden tener el mismo tamao (100x100nm), siendo ste el tamao mximo de la imagen, la cual puede reducirse hasta un mnimo de 10x10mm, en cualquier parte de la pantalla fluorescente. Al modular la intensidad del tubo de rayos catdicos con la seal elctrica dada por los detectores, se obtiene en la pantalla una especie de imagen de la muestra. Es decir, en la pantalla se describe la variacin de un tipo dado de emisin producida por la superficie de la muestra barrida por efecto del haz primario.

imagen de electrones secundarios como una imagen ptica de dicha superficie. Entre los factores que influyen en el contraste de una imagen podemos mencionar: El ngulo de incidencia del haz electrnico sobre la superficie: Este es un factor determinante en la emisin de electrones secundarios, cuanto ms rasante sea el haz, ms electrones sern emitidos, ya que solamente los electrones originados en regiones muy prximas a la superficie pueden ser captados por el detector. La composicin qumica del material en estudio: En las imgenes de electrones secundarios tambin se observan variaciones de contraste, debido a diferencias en la estructura atmica, ya que aparte de los electrones que llegan al detector son en realidad electrones secundarios producidos por electrones previamente retrodifundidos. Las imgenes obtenidas con electrones secundarios son de gran utilidad para estudios topogrficos y como hemos mencionado, sus trayectorias son curvas, de modo que la imagen aparece con sombras suaves y difusas; en un segundo plano se observan las depresiones o reas escondidas.

El aumento lineal de esta imagen obtenida con un sistema de haces mellizos, es simplemente una relacin de tamao de los rastreos sincrnicos. En otras palabras, el aumento est dado por la relacin entre el ancho de la pantalla de observacin y la amplitud de la zona barrida por el haz primario. Para altos aumentos, la regin barrida del espcimen es muy pequea comparada con la regin rastreada en la pantalla fluorescente. El SEM permite un rango de aumentos que va desde 15 a 100000 veces, dependiendo de la naturaleza y la forma del material examinado. Imagen obtenida por electrones secundarios. Se ha demostrado que un cambio de inclinacin de la superficie de una muestra con respecto al haz electrnico incidente, an de pocos grados, produce una variacin apreciable en el nmero de electrones secundarios emitidos. As, un borde agudo o una protuberancia sobre la superficie generan un gran nmero de electrones secundarios. Lo mismo sucede si se trata de un escaln profundo sobre la superficie de la muestra. Las hendiduras o depresiones producen menos electrones detectables. Estos hechos deben considerarse al analizar las imgenes obtenidas. Los efectos de variacin de la emisin secundaria en funcin de las caractersticas topogrficas de una superficie, permiten que se pueda interpretar la

Imagen obtenida por electrones retrodispersados. La seal de electrones retro-dispersados est compuesta por aquellos electrones que emergen de la muestra con una energa superior a 50eV. Estos electrones proceden en su mayora del haz incidente que rebota en el material despus de diferentes interacciones. La intensidad de la seal de retro-dispersados, para una energa dada del haz, depende del nmero atmico del material (a mayor numero atmico mayor intensidad) Este hecho permite distinguir fases de un material de diferente composicin qumica. Las zonas con menor Z se vern ms oscuras que las zonas que tienen mayor nmero atmico. Esta es la aplicacin principal de la seal de retro-dispersados.

FIG.N8. Imagen de una soldadura de un objeto de

cubertera compuesta de una aleacin Ag-Cu-Ni formada a partir de los electrones secundarios.

FIG.N10. Tcnica de recubrimiento con oro de la muestra.

FIG.N9. Imagen de una soldadura de un objeto de

cubertera compuesta de una aleacin Ag-Cu-Ni formada a partir de los electrones retro-dispersados.

La FIG.N8 y la FIG.N9 corresponden a la misma zona de una soldadura de un objeto de cubertera compuesta de una aleacin Ag-Cu-Ni. En la FIG.N8 de secundarios no se aprecian con claridad las fases de la aleacin, mientras que en la FIG.N9 de retrodispersados vemos con claridad estas fases. Un anlisis de rayos X puntual de cada fase mostrara que las zonas claras estn compuestas por Plata y las oscuras por una aleacin Cobre-Nquel. D. Preparacin de la muestra para la observacin en el SEM. En el microscopio electrnico de barrido se observa la estructura superficial de la muestra, por lo tanto las muestras deben prepararse en una seccin longitudinal. Las muestras deben de estar completamente secas. Una vez que se hayan preparado las muestras, deben colocarse sobre el porta-muestras. Hay varios tipos de porta-muestras: porta-muestras para la observacin de muestras normales, para muestras voluminosas, porta-muestras con posibilidad de seleccionar la superficie deseada de la muestra, porta-muestra con microcircuito y con posibilidad de ser calentada o enfriada, etc. La distribucin de la intensidad de seales producidas en la muestra es funcin de la composicin de sta y de la energa de los electrones. La intensidad de las seales emitidas por la muestra viene determinada por la distribucin de seales producidas y por la absorcin de la propia muestra. La profundidad normal para que las seales sean emitidas es de menos de 500 para electrones secundarios. Las muestras orgnicas por no tener capacidad de reflejar los electrones, deben ser cubiertas por plata u oro. Las fibras preparadas se fijan sobre el portamuestras. Antes de introducir la muestra preparada en el microscopio es necesario aislar la cmara del sistema y luego introducir aire seco o nitrgeno antes de retirar todo el soporte del porta-muestras.

Tcnica de recubrimiento con oro. Cuando el propsito del anlisis de una muestra no incluye la obtencin de un espectro de rayos-X, un elemento que se utiliza frecuentemente para recubrir la superficie es el oro. La FIG.N10 muestra esquemticamente lo que se conoce como "sputtering". Consiste en una fuente de alimentacin en corriente continua regulable de 1 a 3kV conectada por una parte a una tarjeta de oro u oro-paladio y por otra parte al porta-muestras. El conjunto va acoplado a una bomba de vaco. La introduccin de un gas tal como el argn en la campana de vaco provoca que los tomos de argn impacten en la tarjeta de oro y se desprendan tomos de dicha tarjeta que son atrados hacia la muestra en la cual quedan depositados proporcionando un espesor de recubrimiento que depende del tiempo de exposicin. Tcnica de recubrimiento con carbono. En el caso de precisarse un anlisis elemental en una muestra no conductora es necesario recubrir la superficie de un elemento lo ms transparente posible a los rayos-X. Este elemento es el carbono. Uno de los tipos de metalizadores de carbono se muestra esquemticamente en la FIG.N11. Consiste en dos electrodos conectados a una fuente de corriente alterna de bajo voltaje y alta intensidad entre los que se intercala una barra de carbono terminada en una punta afilada. Al pasar la corriente, la punta de la barra se va evaporando, de forma que roca la muestra con una fina capa de carbono. La punta va acoplada a un muelle que la mantiene en todo momento en contacto con el otro electrodo. Todo el conjunto est encerrado en vaco con el fin de facilitar la deposicin de la pelcula de carbono sobre la muestra.

FIG.N10. Tcnica de recubrimiento con carbono de la

muestra.

III. Observaciones y discusin.

Algunos defectos comunes en microscopia electrnica son[5]: Un bajo contraste debido a una preparacin y exposicin incorrecta de la muestra, lo que se hace en estos casos es emplear reactivos para mejorar el contraste, conseguir una apertura adecuada, o tambin un revelador adecuado. Una imagen borrosa con falta de detalles, puede darse debido a la inestabilidad del instrumento o a que la columna est contaminada, para evitar esto debe prepararse la muestra correctamente. Lneas de difraccin alrededor del rea de la muestra debido a que el sistema de lentes est contaminado o con un enfoque incorrecto, lo que se puede hacer en estos casos es limpiar el sistema de lentes y ajustar el stigmator. La pantalla de observacin no est iluminada uniformemente debido a que el haz no est bien centrado o a que las lentes de los condensadores estn mal ajustadas, en estos casos tenemos que centrar y ajustar los condensadores como es debido. Una pequea rea con una elevada densidad en el centro del campo debido a un escape de la luz cuando no se est usando apertura, lo que se puede hacer es emplear una pantalla de alta intensidad. Marcas estticas o grietas en emulsin debido a una permanencia de la pelcula en vaco por mucho tiempo, para evitarse este problema no debe cargarse la pelcula si no se va a utilizar. Rayas y puntos blancos debido al polvo sobre los negativos antes de ser expuestos o marcas de dedos al cargarse, para evitar esto lo negativos debern estar limpios y debern cogerse por los extremos. Una de las principales ventajas del SEM con respecto al TEM, es que no nos impone restriccin alguna con respecto al tamao de la muestra. El SEM explora la superficie de la imagen punto por punto, al contrario que el TEM, que examina una gran parte de la muestra cada vez. Si se desea aumentar la emisin electrnica del filamento, se puede aumentar la temperatura de trabajo del emisor. Pero en la prctica este mecanismo tiene un lmite, dado por la resistencia mecnica del filamento y la duracin del mismo [4]. Otra forma de aumentar la emisin es utilizar el llamado ctodo fro. Este nuevo can electrnico est compuesto fundamentalmente por un ctodo de tungsteno

de punta muy aguda, y un nodo situado muy cerca del ctodo conectado a un potencial positivo. El campo elctrico resultante, de aproximadamente 107Volt/cm sobre la punta, es suficiente para arrancar electrones de la misma. En esta forma, se obtiene un brillo considerablemente mayor que el producido por una emisin termoinica. Este tipo de can electrnico requiere de un vaco de aproximadamente 10-10 Torr. Un instrumento que se ha desarrollado para el anlisis de muestras a travs de un microscopio electrnico es el micro-analizador de rayos X. El microanlisis de rayos X se basa en la excitacin de los electrones presentes en una muestra, para producir un espectro de rayos X caracterstico, ya que cada elemento presenta una distribucin definida de electrones en sus tomos. El micro-analizador de rayos X se anexa al (S/T)EM con el objeto de detectar dichas longitudes de onda y determinar en forma precisa la composicin de la muestra en estudio. La resolucin de la imagen de electrones secundarios se reduce al disminuir la tensin de aceleracin de los electrones incidentes. En la resolucin influyen tambin otros factores como el tipo de muestra, el tipo de electrones con que se trabaja, el tiempo de exposicin, la contaminacin, las vibraciones elctricas y mecnicas, etc. [4] Un alto vaco se considera a aproximadamente -5 10 Torr, mientras que un bajo vaco se -3 considera entre 10 a 10 Torr. Un muy buen -6 3 vaco es 10 Torr; un cm de aire a esta presin contiene aproximadamente 10x1010 molculas. Para conseguir una alta resolucin la alimentacin de corriente debe ser muy estable, del orden de 1 parte en 100 000.

Las lentes de caractersticas ms crticas disponen de un serpentn interior, por el cual circula una corriente de agua, que estabiliza su temperatura. De esta forma se evitan pequeas pero importantes dilataciones de sus elementos.[4]
La vida til del filamento se reduce significativamente por oxidacin del tungsteno, debido a esto es importante tener el filamento en vaco. Esta oxidacin tambin afecta la eficiencia de filamento para emitir electrones. Los gases residuales se condensan en el espcimen y lo contaminan, debido a esto es importante que la cmara porta-muestra este en vaco.

IV. Aplicaciones del SEM.

Junto con el desarrollo de la microscopia electrnica, el campo de aplicacin de la misma se ha ido extendiendo, a continuacin se detallan algunas aplicaciones del microscopio electrnico de barrido: A. Ciencia e Ingeniera de Materiales: Caracterizacin morfolgica y analtica de materiales. Estudio de superficies. Procesos de difusin. Segregacin. Anlisis de fallos. Control de calidad. Irregularidades de piezas fabricadas en cadena. B. Geologa: Textura de rocas y minerales. Identificacin de minerales sintticas.

ejemplo, examinar la estructura de la clula, bacteria, virus, y partculas coloidales. En conclusin, gracias a este instrumento, merecedor de un premio Nobel, se puede hacer exactamente eso, ahondar ms all de nuestros lmites visuales, es aqu donde radica la importancia de conocer el SEM, y ser conscientes de lo indispensable que es hoy en da para la ciencia.

VI. Bibliografa.
[1]. An introduction to Electron Microscopy. Mikros Scopeo. FEI Company. [2]. Microscopia Electrnica de Barrido. Seminario: Ciencias de los materiales. Facultad de Ciencias Fsicas y Matemticas. Universidad de Chile. Vctor Poblete P., Mauricio Pilleux C. [3]. Fundamentos del microscopio electrnico y su aplicacin en la investigacin textil. A. Naik. [4]. Serie Cientfica Avanzada: El Microscopio Electrnico. Centro de Extensin Biomdica Facultad de Medicina Universidad de Chile. M. L. Lpez [5]. Electron Microscopy and Photography. Kodak Publication. [6]. Introduccin a la microscopia aplicada a las ciencias biolgicas primera edicin. Gerardo Vsquez, Olga Echevarra, 2000.

sustancias

C. Metalurgia: Observacin de composicin de materiales. Fenmenos de difusin. Composicin de aleaciones. Crecimiento de granos. Estudios de corrosin de metales y aleaciones. D. Biologa: Observacin de los distintos organelos intracelulares. Diferenciacin de clulas. Estructura y ultra estructura de tejidos y rganos animales y vegetales. Inmunocitolocalizacin de macromolculas. Patologas animales y vegetales. Estudios forenses (bsqueda de partculas, tejidos, hilos, semen).

V. Conclusiones.
Imaginmonos solos en un cuarto completamente oscuro con nicamente una linterna. Nosotros podemos empezar a explorar el cuarto barriendo con la linterna sistemticamente de lado a lado y gradualmente de abajo hacia arriba, de manera que podamos construir una imagen de los objetos que se encuentran en el cuarto en nuestra memoria. Un SEM usa un rayo electrnico en reemplazo de la linterna, un detector de electrones en reemplazo de nuestros ojos, y una computadora o pelcula en cambio de nuestra memoria con el fin de construir una imagen de la superficie del espcimen en estudio. Desde los inicios de la ciencia hubo un inters en buscar ver cada vez detalles ms y ms finos del mundo que nos rodea. Los bilogos deseaban, por

VII. Algunas imgenes obtenidas con un SEM:

FIG.N11. Automotive light bulb analysis to determine

failure, imaged on an SEM.

FIG.N12. Sperm tails tangled up in a seminiferous tubule,

magnified 600x on an FEI Quanta scanning electron microscope.

FIG.N13. A segment of a butterfly wing imaged using an

SEM