Emisores de Ultrasonido de Pelcula Gruesa Pintados sobre Almina y Silicio

S. Gwirc, S. Tropea, F. Garca Morillo, C. Negreira* Centro de Investigacin y Desarrollo en Telecomunicaciones, Electrnica e Informtica, INTI * Laboratorio de Acstica Ultrasonora, Instituto de Fsica, Facultad de Ciencias, Universidad de la Repblica- Uruguay En este estudio se analizan las caractersticas de una pintura de pelcula gruesa formulada para obtener elementos piezoelctricos en forma de discos y medir sus propiedades electroacsticas sobre varios substratos . El inters en las capas de pelcula de PZT (Titanato Zirconato de Plomo) fue estimulada por las prometedoras propiedades electromecnicas y acsticas observadas, con las que se pueden desarrollar nuevos dispositivos microelectrnicos para aplicaciones en transductores y micromecanismos. Los elementos piezoelctricos fueron preparados con una pintura basada en PZT. Para su preparacin se dispersa el polvo de PZT en un vehculo comercial para obtener la pintura con propiedades reolgicas adecuadas y una pequea cantidad de una frita de vidrio para unir las partculas de PZT y fijarlas al substrato. Las caractersticas del vidrio deben ser tales que no inhiban las caractersticas ferroelctricas del PZT. La caracterizacin del comportamiento elctrico y vibratorio se realiz sobre discos de PZT de 100 a 200 m de espesor, impresos con sus correspondientes electrdos sobre substratos de almina y acero inoxidable. Se utiliz un modelo unidimensional para simular la variacin de la impedancia con la frecuencia entre 1 y 10 MHz y obtener parmetros de funcionamiento mediante el ajuste con las mediciones. Basados en esos parmetros se simul el funcionamiento de los transductores usando silicio como substrato. La variacin de la impedancia elctrica con la frecuencia posibilita caracterizar la respuesta elctrica del transductor y sus frecuencias de resonancia. Adems, est relacionada con varios parmetros tpicos del transductor piezoelctrico y su funcionamiento electro-mecnico. Esto nos permite utilizar un modelo del comportamiento de la impedancia para relacionarlo con esos parmetros. Para estudiar discos de PZT junto con el sustrato se utiliz el modelo multicapa unidimensional de banda ancha de Krimholt, Leedom y Matthaei (conocido como KLM), con el que se pueden calcular varios parmetros difciles de medir directamente.
180 160 140

Medido PZT+Al2O3 KLM de PZT+Al2O 3 KLM de PZT+ Si

Impedancia ( )

120 100 80 60 40 20 0 2x10 3x10 4x10 5x10 6x10 7x10 8x10

6 6 6 6 6 6 6

Frequencia (Hz)
Figura 1: Impedancia elctrica de PZT sobre Almina y Silicio

Caractersticas Comparativas
Densidad Cte. Dielctrica Mdulo de Carga d33 Acoplamiento EM kt Velocidad del Sonido Impedancia Acstica QM (10 ) kg/m /o -12 (10 ) C/N m/s 6 2 (10 ) kg/m s 3 3

7,5 1800 425 0,47 ~3800 ~30 80

6,2 340 - 400 106 0,31 2650 ~15 30 - 40

Las capas piezoelctricas de pelcula gruesa tienen una menor polarizacin remanente que la cermica normal comprimida y sinterizada, lo que se evidencia en el ciclo de histresis. La constante piezoelctrica de carga d33 , que caracteriza las propiedades de conversin electromecnica, es aproximadamente un cuarto de la cermica comercial pero su impedancia acstica es alrededor de la mitad de la misma, lo que implica una importante mejora en la transmisin de energa al medio.

Las mediciones de impedancia, que pueden observarse en la figura 1, como las de emisin - recepcin muestran dos modos de resonancia importantes, uno de la capa de PZT vibrando individualmente y la otra en que vibra con el sustrato como conjunto.

Figura 2: Dispositivo de medicin utilizando efecto Schlieren

La visualizacin del haz de ultrasonido en forma continua, emitido por el transductor de pelcula gruesa, facilita el estudio de sus caractersticas como divergencia, homogeneidad, frecuencia de resonancia en agua, etc. El campo de emisin se estudia usando el efecto Schlieren, como una aplicacin de difraccin de la luz por una onda acstica que se propaga en un medio lquido. En la figura 2 se muestra un esquema del sistema ptico utilizado, en el que para obtener las fotos del campo acstico se reemplaza la pantalla por una cmara con la que se adquiere la imagen.

Figura 3: Elemento simple a 4.6 MHz

Figura 4: Elemento simple a 7.6 MHz

El transductor se encuentra a la derecha del cuadro en las figuras 3 y 4, mostrando el mismo elemento de un arreglo bidimensional excitado a las dos frecuencias de resonancia del sistema antes mencionadas. A la frecuencia menor, en que vibra el conjunto piezoelctrico ms substrato, se ve que otros elementos del arreglo emiten sin estar excitados debido al acoplamiento a travs de la almina. Por otro lado, en la frecuencia de 7,6 MHz aparece una emisin limpia y de haz ms estrecho, ya que al vibrar el PZT slo no excita otros elementos. Este comportamiento muestra que el silicio es una alternativa de mucho inters para obtener este tipo de microtransductores con muchos elementos ya que al tener similares caractersticas acsticas, los resultados en emisin son equivalentes y al mismo tiempo las posibilidades de su tecnologa puede resolver los problemas de interaccin entre elementos. Efectivamente el micromaquinado del substrato de Si, ya sea en forma de canales o agujeros realizados mediante ataque anisotrpico, que separen los emisores piezoelctricos, posibilita el desacople de los mismos cortando el camino directo de transmisin de las vibraciones acsticas.