REGLA DE LA MANO DERECHA (MAGNETRON)

Collazos Sebastin.
Escuela de Ingeniera de Materiales Universidad del Valle, Cali, Colombia Marzo 12 de 2013 En la figura 1 se muestra el esquema general de un magnetrn cilndrico, donde se aprecian varias cavidades conectadas entre s por pequeas aberturas (gaps). Como consecuencia de la configuracin de campos. Los electrones emitidos desde el ctodo al nodo se mueven en trayectoria curvas. Si el campo magntico es lo suficientemente intenso los electrones no llegaran al nodo. Sino que regresaran al ctodo y por consiguiente la corriente en el nodo es nula. El voltaje se establece entre el ctodo y el nodo, y el campo magntico se aplica a lo largo del eje de simetra del cilindro. Cuando los valores del voltaje DC y la densidad de flujo magntica son los adecuadaos. Los electrones siguen trayectorias cicloides en el espacio comprendido entre el nodo y el ctodo. Tal y como se muestra en la figura 2. La posibilidad de que un electrn se aproxime al nodo y vuelva al ctodo depende de los valores relativos de y . Esta condicin es la denominada condicin de corte del magnetrn. El funcionamiento del magnetrn sputtering se basa en que los electrones sometidos a un campo elctrico y magntico superpuesto en el ctodo, describen rbitas circulares. En este sistema se emplea un dispositivo con unos imanes que combinados con el campo elctrico interior presente en los dos electrodos, provocan que los electrones realicen trayectorias helicoidales, produciendo trayectorias ms largas que no existiesen sin el campo magntico. Esta nueva distancia de los electrones provoca un aumento en los choques con los tomos del gas residual, permitiendo la posibilidad de disminuir la presin de trabajo en rangos como 10-5 torr o ms comnmente a 10-2 torr, otra consecuencia de usar magnetrn seria el incremento de la densidad del plasma provocando el aumento de la densidad de corriente en el blanco e incrementndolas proporciones de depsito Para aumentar tasas de depsito del sistema de sputtering, se buscan configuraciones con bobinas magnticas, se emplean situndolas algunas veces alrededor de la cmara para presionar el plasma durante la deposicin. Encontrando resultados significativos en la reduccin de la presin y un aumento en las tasas de depsito. Esto implico el darse cuenta de qu tan importante era el papel de que un campo magntico estuviese presente adentro del sistema concentrando el plasma.

Figura 1: diagrama de un magnetrn

Figura 2: trayectoria cicloides de los electrones

Bibliografa Ingeniera de Microondas: Tcnicas Experimentales Por Jos Miguel Miranda Pantoja http://tesis.uson.mx/digital/tesis/docs/21199/Capitulo2.pdf