Principe de fonctionnement et construction des capteurs doxygne base de dioxyde de zirconium de la srie XYA

1. RAPPEL DE PHYSIQUE
1.1 Pression partielle Dfinition: La pression partielle est la pression qui, dans un mlange de plusieurs gaz comme p. ex. lair, peut tre attribue un gaz particulier. La pression partielle correspond la pression totale que ce gaz spcifique exercerait sil remplissait tout le volume. Dans les domaines biologiques et mdicaux, ce sont surtout les pressions partielles doxygne ainsi que de dioxyde de carbone qui sont considrer. Dans ces domaines, le terme "pression partielle" est galement utilis pour exprimer la concentration de ces gaz dans une solution comme p. ex. le sang ou leau. De ce fait, la pression partielle dun gaz dissous dans un liquide est gale la pression partielle de ce gaz qui serait produite lors dune phase gazeuse en quilibre avec ltat liquide, la mme temprature. La pression partielle est toujours utilise au lieu de la concentration massique lorsqu on considre des gaz dissous. Loi de Dalton: La pression totale ptot du mlange de gaz (considrs comme idaux) est gale la somme des pressions partielles pi de chaque gaz prsent dans ce mlange: Exemple 1: Au niveau de la mer, sous les conditions standard, la pression atmosphrique est de 1013,25 hPa. A cet endroit, les principaux composants de lair sec sont les suivants: lazote (78,09 % vol.), loxygne (20,95 % vol.), largon (0,927 % vol.) et le dioxyde de carbone (0,033 % vol.). Le nombre de particules de chaque gaz est dans le rapport du pourcentage du volume, car on peut considrer chacun de ces gaz comme parfait. Les autres gaz peuvent tre considrs comme ngligeables. Lorsquon rsout lquation (2) pour dfinir la pression partielle dun gaz, il en rsulte:
pi = ni p tot n tot

(3)

Ce qui donne pour la pression partielle doxygne:

pi = 20,95 % 1013,25 hPa = 212,275 hPa 100 %

p tot = pi
i=1

(1)

Il en rsulte que le rapport du nombre de particules (quantit de substance) ni dune composante i sur le nombre total de particules ntot du mlange est gal au rapport de la pression partielle pi de cette composante i sur la pression totale ptot du mlange.
ni p = i n tot p tot

Cependant, cette valeur nest uniquement valable que pour lair sec (humidit de lair 0 %). Lorsque lair est humide, une partie de la pression totale est due la pression de la vapeur deau. Cest pourquoi, le calcul de la pression partielle doxygne est plus dtaill lorsquon ne considre pas seulement la pression dair mais galement lhumidit relative de lair et sa temprature. Dans un premier temps, la pression de la vapeur deau est calcule:
p ve = p s

(4)

(2)

pve : pression de la vapeur deau [mbar] : humidit relative de lair [%] ps : pression de vapeur saturante [mbar] Le tableau 1 montre la pression de vapeur saturante de leau (ps) une certaine temprature. La pression de vapeur saturante est galement appele point de condensation.

ni ntot pi ptot

: : : :

nombre de particules du gaz i nombre total de particules pression partielle du gaz i pression totale

F / 11154 / B

1/9

www.sensortechnics.com

Principe de fonctionnement et construction des capteurs doxygne base de dioxyde de zirconium de la srie XYA

La pression partielle doxygne dans lair humide est donc calcule comme suit:
20,95 p O 2 = (p p ve ) 100

T (C) 0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30

pS (mbar) 6,10 6,57 7,06 7,58 8,13 8,72 9,35 10,01 10,72 11,47 12,27 13,12 14,02 14,97 15,98 17,04 18,17 19,37 20,63 21,96 23,37 24,86 26,43 28,11 29,82 31,66 33,60 35,64 37,78 40,04 42,42

T (C) 31 32 33 34 35 36 37 38 39 40 42.5 45 47.5 50 52.5 55 57.5 60 62.5 65 67.5 70 75 80 85 90 95 100 110 120 130

pS (mbar) 44,92 47,54 50,30 53,19 56,23 59,42 62,76 66,27 69,93 73,77 84,19 95,85 108,86 123,38 139,50 157,42 177,25 199,17 223,36 250,01 279,31 311,48 385,21 473,30 577,69 700,73 844,98 1013,17 1433,61 1988,84 2709,58

(5)

pO2 : pression partielle doxygne [mbar] p : pression atmosphrique [mbar] pve : pression de vapeur deau [mbar] Exemple 2: A laide des donnes mtorologiques suivantes on dmontre linfluence de lhumidit de lair sur la pression partielle doxygne et ainsi sur la partie volumique respective. Temprature : Humidit relative de lair : Pression atmosphrique : 22 C 32 % 986 mbar

Le tableau 1 montre une temprature de 22C une pression de vapeur saturante pour leau de 26,43 mbar. Lquation (4) donne ensuite:
32 p ve = 26,43 = 8,458 mbar 100

La pression partielle doxygne se calcule comme suit:

20,95 p O 2 = (986 8,458 ) = 204,795 mbar 100

Tableau 1: Pression de vapeur saturante de leau (pS)

Ensuite, le volume relatif de loxygne de latmosphre globale peut tre calcul comme suit:
O 2 % Vol. = 204,8 100 = 20,77 % 986

F / 11154 / B

2/9

www.sensortechnics.com

Principe de fonctionnement et construction des capteurs doxygne base de dioxyde de zirconium de la srie XYA

2. PRINCIPE DE FONCTIONNEMENT
1.2 Tension de Nernst Deux concentrations diffrentes dions de chaque ct dune lectrolyte gnrent un potentiel lectrique connu sous le nom de Tension de Nernst. Cette tension est proportionnelle au logarithme nprien du rapport entre les deux concentrations.
c1 kBT ln c e0 2
-23

2.1 Construction du capteur Les capteurs doxygne de la srie XYA de Sensortechnics sont constitus de deux disques de dioxyde de zirconium (ZrO2) recouverts de fines couches poreuses de platine qui servent dlectrodes (voir figure 2.1). Les deux disques sont attachs un anneau de platine, formant ainsi une chambre scelle hermtique. A chaque face extrieure des disques de ZrO2 se trouve respectivement un anneau de platine supplmentaire pour assurer les contacts lectriques. Le premier disque est connect une source de courant rversible, et sur le second disque une tension (de Nernst) peut tre mesure. Deux lments extrieurs en oxyde daluminium (Al2O3) empchent tout passage lintrieur du capteur de particules prsentes dans lair ambiant. De cette manire, ces filtres empchent la pollution de la cellule et vitent ainsi des mesures instables. Cet assemblage est entour par une bobine chauffante, produisant la temprature ncessaire au fonctionnement du ZrO2 (non montr sur figure 2.1). De plus, la srie de capteurs XYA de Sensortechnics est encapsule dans un capot en acier inoxydable pour protger le capteur contre la pollution et les chocs mcaniques. Les informations relatives la sensibilit croise des capteurs XYA avec dautres gaz se trouvent au chapitre 4.

U =

(6)

kB T e0 ci

: : : :

constante de Boltzmann (kB=1,3810 J/K) temprature en K -19 charge lmentaire (e0=1,60210 C) concentration ionique en moles/kg

1.3 Dioxyde de zirconium (ZrO2) A une temprature suprieure 650 C, le dioxyde de zirconium prsente les deux comportements suivants: 1. Le ZrO2 se dissocie partiellement pour produire des ions doxygne qui peuvent tre vhiculs lintrieur du matriau lorsquune tension est applique. 2. Le ZrO2 se comporte comme un lectrolyte. Lorsque deux pressions doxygne diffrentes existent de chaque ct dun lment ZrO2, une tension (de Nernst) peut tre mesure aux bornes de cet lment (voir 1.2 tension de Nernst).

F / 11154 / B

3/9

www.sensortechnics.com

Principe de fonctionnement et construction des capteurs doxygne base de dioxyde de zirconium de la srie XYA

2.3 Disque de mesure

chambre scelle, p2 lectrode de platine anneau de platine disque en oxyde d'aluminium

disque de pompage en dioxyde de zirconium

disque de mesure en dioxyde de zirconium

Une diffrence de pression doxygne aux bornes du second disque de ZrO2 (disque de mesure) gnre une tension de Nernst (voir paragraphe 1.2 tension de Nernst) qui est proportionnelle au logarithme de la diffrence de concentration en oxygne. Cette tension est mesure et compare deux rfrences de tension V1 et V5 (voir figure 2.3). Lorsque la tension atteint une de ces valeurs de rfrence, la polarit du flux de pompage est inverse pour atteindre lautre tension de rfrence. V1 est la tension pour la pression doxygne la plus leve, V5 celle pour la plus faible (pression atteinte dans la chambre par le procd de pompage).
+i

p1

p1

courant de tension pompage de Nernst

VN

flux de pompage -i
p2 leve

Figure 2.1: Construction du capteur

2.2 Disque de pompage Le premier disque ZrO2 (disque de pompage) travaille comme une pompe oxygne, vacuant ou bien pressurisant la chambre scelle. En fonction du sens du courant (source rversible), les ions doxygne migrent dun lectrode lautre et modifient ainsi la concentration et galement la pression p2 dans la chambre. Celle-ci est alternativement vacue ou bien remplie jusqu ce que la tension de mesure VN (tension de Nernst) atteigne une certaine valeur de rfrence pr-rgle.

pression d'oxygne p2
p2 faible

v ac ua tio n

e ag ss i l p rem

V5 V4

tension de Nernst (VN)

V3 V2 V1

t1

t2 tp

t4

t5

temps

Priode proportionnelle la pression partielle de l'oxygne dans l'air ambiant (p1)

Figure 2.3: Tension de Nernst en fonction de la pression doxygne p2 dans la chambre

F / 11154 / B

4/9

www.sensortechnics.com

Principe de fonctionnement et construction des capteurs doxygne base de dioxyde de zirconium de la srie XYA

3. MESURE
La dure du cycle de pompage est fonction de la pression partielle de loxygne du mlange de gaz mesurer. Plus la pression doxygne ambiante est leve, plus long sera le temps mis par la pompe ionique pour vacuer et remplir la chambre de mesure (voir figure 3). Il en dcoule que le cycle de pompage est proportionnel la pression partielle doxygne en contact avec le capteur. La dure du cycle correspond donc la priode de la tension de Nernst tp (voir figure 2.3). lorsquon est en prsence de diffrences de pression assez importantes entre lambiance et la chambre. Cest pourquoi, les tensions de Nernst mesurer se trouvent des valeurs trs diffrentes des tensions dinversion V1 et V5 (voir V2, V3 et V4 dans la figure 2.3). De plus, la pression dans la chambre ne doit pas tre loigne de plus de 10% de la pression ambiante. Temps de rponse Etant donn que la dure du cycle de pompage est dautant plus grande que la pression partielle de loxygne dans lambiance (p1) est importante, une pression leve, les tensions de rfrence V1 et V5 vont se trouver proche lune de lautre pour permettre un temps de rponse rapide du capteur. Compensation en temprature La tension de Nernst est dpendante de la temprature (voir formule (6)). Cependant, dans des certaines conditions de fonctionnement, les effets de la temprature dans lquation de Nernst et dans lquation gnrale des gaz se compensent en partie. Les effets de la tmprature sont maximaux aux points dinversion de la pompe. Et cest pour cette raison que, par la mesure de la tension de Nernst aux points V2, V3 et V4, le coefficient de temprature TC peut presque sannuler. Lors dun fonctionnement dans ce mode TC=0, on mesure les temps mis pour que la tension de Nernst atteigne les valeurs V2, V3 et V4 (voir t1, t2, t4 et t5 dans la figure 2.3). La nouvelle dure de cycle td et ensuite calcule comme suit:
t d = (t1 t 2 ) + (t 5 t 4 )

cycle de pompage pour p1 = 200 mbar

pression d'oxygne p2 (mbar)

0 cycle de pompage pour p1 = 50 mbar

temps

Figure 3:

Cycle de pompage en fonction de la pression partielle doxygne de lair ambiant p2

3.1 Ralisation pratique En thorie, comme tensions de rfrence V1 et V5 on peut choisir des valeurs quelconques. Cependant, en pratique, les considrations suivantes doivent tre prises en compte: Double couche lectrique Une partie du flux de pompage nest pas affecte au remplissage ou lvacuation de la chambre. Par contre, ces charges sont absorbes par les doubles couches lectriques entre llectrode (platine) et llectrolyte (ZrO2). Cet effet se manifeste surtout aux points dinversion de la source de pompage et

(7)

La dure de cycle td est linaire en fonction de la pression doxygne ambiante et, contrairement tp, elle commence au point zro du diagramme dure de cycle/pression. Ainsi, la calibration (dynamique) du capteur peut tre effectue en un seul point nimporte quel endroit sur la ligne droite. Si lon mesure la priode tp, une calibration en deux points pour le rglage de la dynamique de sortie et pour la correction du dcalage du zro est ncessaire.

F / 11154 / B

5/9

www.sensortechnics.com

Principe de fonctionnement et construction des capteurs doxygne base de dioxyde de zirconium de la srie XYA

Sensibilit La sensibilit est dfinie comme la dure de la priode (td ou tp en millisecondes) divise par la pression partielle doxygne connue de latmosphre pendant la calibration (pO2 en mbar). Pour calculer td (calibration sur un point), la sensibilit est dfinie comme suit:

3.3 Calibration Le capteur doxygne XYA de Sensortechnics ne mesure pas directement la concentration doxygne (pourcentage volumtrique) mais la pression partielle de loxygne. Selon la loi de Dalton (voir formule (2)) le pourcentage volumtrique de loxygne peut tre calcul lorsque la pression totale est connue. Pour mesurer une concentration doxygne relative, les capteurs de la srie XYA doivent tre calibrs aux conditions ambiantes relles et en prsence dune concentration doxygne connue. En prenant lair sec ambiant dune humidit typique comme rfrence, on peut admettre que la concentration doxygne est de 20,7 % du volume. Lorsquon nutilise pas un autre capteur de pression pour la surveillance des variations de la pression dair baromtrique, une calibration quotidienne est recommande. Les cartes de traitement lectronique ZBXYA de Sensortechnics offrent deux gammes de mesure doxygne: 0...25 % du vol. et 0...100 % du vol. dans une pression atmosphrique typique. La calibration peut tre effectue soit automatiquement dans lair ambiant soit de manire manuelle une concentration doxygne connue. 3.4 Exemple dun procd de mesure 1. Le capteur XYA est chauff pour atteindre la temprature de fonctionnement (env. 100 secondes). 2. Hypothse: la pression dans la chambre de mesure est leve. La tension de Nernst V1 (tension de rfrence basse) est lue aux bornes du disque de mesure (voir figure 2.3). 3. Le courant de pompage est alors invers. 4. La chambre est vide. 5. La tension de Nernst augmente pour atteindre la tension de rfrence haute V5. 6. Le courant de pompage est nouveau invers. 7. La chambre est remplie jusqu atteindre V1. 8. Le cycle de pompage commence nouveau depuis le dbut. 9. A laide de la carte de traitement lectronique ZBXYA la dure du cycle de la tension de Nernst est dtermine, ce qui permettra de connatre la concentration doxygne.
6/9

sensibilit =

td p O2

(8)

Pour calculer tp (calibration sur deux points), la sensibilit est dfinie comme suit:
sensibilit = t p Offset p O2

(9)

La sensibilit est typiquement td=1.05 ms/mbar. En raison de plusieurs facteurs ayant une influence sur la sensibilit comme p. ex. le grandeur de la chambre et lpaisseur des disques ZrO2, il en rsulte une tolrance de 15% lors de la production. Cest pour cette raison quune calibration des capteurs est imprative. 3.2 Valeurs lectriques recommandes Lorsque le capteur est utilis pour la mesure de la pression partielle doxygne de 1...1000 mbar (0,1...100% la pression dair typique), les valeurs lectriques suivantes sont recommandes: td (TC = mode 0) Source de courant constant: i=40 A Tensions dinversion de la pompe: V1=40 mV, V5=90 mV Tensions de mesure: V2=45 mV, V3=64 mV, V4=85 mV tp (cycle de pompage simple) Source de courant constant: i=40 A Tensions dinversion de la pompe: V1=25 mV, V5=115 mV Lorsque le capteur doit mesurer des pressions O2 plus importantes, sur demande, dautres valeurs lectriques peuvent tre recommandes. En raison des avantages du TC = mode 0 dcrits si-dessus, celui-ci est le mode de fonctionnement recommand. Le cycle de pompage tp ne doit tre utilis que pour des applications simples ne ncessitant pas une prcision leve.
F / 11154 / B

www.sensortechnics.com

Principe de fonctionnement et construction des capteurs doxygne base de dioxyde de zirconium de la srie XYA

4. SENSIBILIT CROISEE
Les capteurs XYA mesurent la pression partielle doxygne, comme dcrit ci-dessus. Avec certains autres gaz et substances, une sensibilit croise peut se produire, ce qui a une incidence sur la mesure ainsi que sur la dure de vie des capteurs. Les capteurs sont surtout dvelopps pour surveiller des brleurs. Leur dure de vie a ainsi t teste en conditions de laboratoire sur des gaz dchappement de brleurs gaz et de brleurs pour lhuile lgre. 4.1 Gaz combustibles De petites quantits de gaz combustibles sont brles sur les surfaces chaudes des lectrodes en platine ou des disques extrieurs en oxyde daluminium du capteur. Ce brlage se comporte de manire stchiomtrique tant quil y a suffisamment doxygne. Les capteurs XYA mesurent loxygne restant. Les gaz combustibles suivants ont t analyss (brlage stchiomtrique) : hydrogne (H2) jusqu 2 % monoxyde de carbone (CO) jusqu 2 % mthane (CH4) jusqu 2,5 % ammoniaque (NH3) jusqu 1500 ppm 4.2 Mtaux lourds La vapeur des mtaux comme le zinc (Zn), le cadmium (Cd), le plomb (Pb) et le bismuth (Bi) a une influence sur les proprits catalytiques des lectrodes de platine. Le contact du capteur avec ces vapeurs doit ds lors tre vit. 4.3 Composs halogns et sulfurs De petites quantits (< 100 ppm) de composs halogns et sulfurs nont pas dinfluence sur le fonctionnement du capteur. En cas de grandes quantits, des erreurs de mesure et de la corrosion surviennent toutefois avec le temps (surtout en cas de condensation sur le capteur). Les gaz suivants ont t analyss : halognes, fluor gazeux (F2), chlore gazeux (Cl2) chlorure dhydrogne (HCL), fluorure dhydrogne (HF) dioxyde de soufre (SO2) sulfure dhydrogne (H2S) CFC, HCFC (Freon) disulfure de carbone (CS2)
F / 11154 / B

5. INDICATIONS COMPLEMENTAIRES
5.1 Scurit en matire de dysfonctionnement Un avantage essentiel du principe de mesure dynamique des capteurs doxygne XYA est la possibilit de reconnatre un dysfonctionnement rapidement et avec certitude. Le cycle de pompage continu et la modification de la tension de Nernst qui sensuit correspondent en quelque sorte aux pulsations cardiaques du capteur et peuvent, par exemple, tre facilement surveills laide dun microprocesseur externe. 5.2 Asymtrie du capteur Si la tension de Nernst produite par le capteur reprsente une symtrie comme dans la figure 2.2, ceci est un signe clair dun fonctionnement correct. Par contre une asymtrie de la tension de mesure peut avoir les causes suivantes : 1. La tension pour le filament de chauffage est trop faible. 2. Le capteur est souill et ne pompe plus correctement. 3. La chambre scelle prsente une fuite, cest--dire quil est plus difficile de lvacuer et de la remplir. 4. Llment du capteur sest charg de manire fortement capacitive. Lasymtrie peut tre calcule comme suit , en mme temps que la mesure de td ou tp:
asymtrie =

(t1 + t 2 ) (t 5 + t 4 )

(10)

Le rsultat devrait tre idalement 1, lorsque le capteur fonctionne de manire optimale. En production, lasymtrie du capteur a une tolrance de 2,5 % (de 0,975 1,025). 5.3 Utilisation un degr hygromtrique lev Si le capteur doxygne XYA est utilis dans des environnements chauds et humides, il est important que le capteur ait une temprature plus leve que le gaz mesurer, en particulier lorsque celui-ci contient des substances corrosives. En utilisation, cela ne pose aucun problme, tant donn que le filament de chauffage autour de llment du capteur atteint une temprature de typ. 700 C. la fin de lutilisation, il faut cependant veiller ce que le chauffage du capteur soit coup en dernier, sinon la condensation
7/9

www.sensortechnics.com

Principe de fonctionnement et construction des capteurs doxygne base de dioxyde de zirconium de la srie XYA

6. CONSTRUCTION DUN TRAITEMENT ELECTRONIQUE

apparatrait sur llment chauffant et sur la cellule de mesure. Lorsque lon rebranche le capteur, le liquide de condensation svaporerait alors et laisserait du sel corrosif et nocif. 5.4 Protection contre les gouttes deau 6.1 Elment de chauffage Pour des utilisations lors desquelles il est possible que des gouttes deau tombent sur le botier trs chaud du capteur, le capteur devrait par exemple, tre protg par un cache ou par un botier supplmentaire, afin dviter tout choc thermique important au niveau du filament de chauffage ou de la cellule de mesure du capteur. Si ce nest pas possible, le capteur XYA devrait au moins tre mont en le pointant vers le bas, afin que les gouttes deau soient dvies et que le capteur ne puisse se remplir deau. 5.5 Silicone (caoutchouc, plastique) Les capteurs XYA sont, comme tous les capteurs base de dioxyde de zirconium, endommags par le silicone prsent dans les gaz mesurer. Les principaux responsables sont les gaz dgags par les lments en caoutchouc ou en plastique base de caoutchouc silicone, qui sont utiliss dans de nombreuses applications. Si la vapeur de silicone atteint le capteur, les lments organiques brlent au niveau de llment chaud du capteur et laissent une fine couche de dioxyde de silicium, qui bouche le capteur. Si des composants en caoutchouc silicone sont utiliss, nous recommandons de nutiliser que des matires durcies et de qualit suprieure. 5.6 Atmosphres pauvres en oxygne Il faut tre bien attentif au fait que pour un fonctionnement correct, le capteur ncessite un minimum doxygne ambiant. Sil ny a pas assez doxygne, le capteur va tenter de dplacer les ions doxygne contenus dans le disque en dioxyde de zirconium. Cela endommagerait le disque de ZrO2. Cest pour cette raison, quen aucun cas le capteur ne devra se trouver, dune manire prolonge, dans un environnement avec une pression doxygne infrieure 1 mbar. Pour lalimentation de llment de chauffage, le capteur ncessite une tension de 4.35 VDC pour atteindre la temprature de fonctionnement ncessaire du dioxyde de zirconium. Il faut sassurer que la mesure de la tension de chauffe seffectue au plus prs possible du capteur, car vu le courant important, les rsistances parasites dans les lignes de mesure gnrent des chutes de potentiels non ngligeables. Lalimentation en tension rglable devra tre faiblement bruite et fournir un courant de 2 A minimum. 6.2 Rglage en tension du traitement lectronique Le rglage de la tension sert alimenter correctement les cartes de traitement lectronique. 6.3 Retard ncessaire au dmarrage Llment de dioxyde de zirconium nest oprationnel qu partir dune temprature > 650C. En dessous de cette temprature, la rsistance est trs leve. Si on dmarre ce moment-l la phase de pompage, la source de courant en atteignant sa valeur nominale genererait une tension prohibitive qui risquerait dendommager le capteur. Le rsultat serait identique celui dcrit sous paragraphe 3.1, dans le cas dun fonctionnement du capteur dans une ambiance sans oxygne. Pour cette raison, il est recommand de commander llment de chauffage au moins 60 secondes avant de lancer les cycles de mesure sur le capteur. 6.4 Source de courant constant Lalimentation de llment de pompage ncessite une source de courant constant de 40 A en typique. La source de courant est brancher entre les pattes PUMP et COMMON du capteur. Ce paragraphe dcrit les composants essentiels pour la construction dun traitement lectronique propre au client dans le cas o les cartes de traitement lectronique ZBXYA de Sensortechnics ne sont pas utilises.

F / 11154 / B

8/9

www.sensortechnics.com

Principe de fonctionnement et construction des capteurs doxygne base de dioxyde de zirconium de la srie XYA

6.5 Inversion de la source de courant constant Le sens du courant doit tre invers ds que la tension de rfrence haute ou basse est atteinte. Pour cela on peut utiliser des commandes analogiques. 6.6 Amplification du signal et filtrage Etant donn que la tension de Nernst reprsente des mV, il est conseill de lamplifier. La rsistance dentre de lamplificateur doit tre le plus grand possible afin dviter de charger le capteur. Le bruit du signal amplifi peut tre limin par un filtre passebas avec une frquence de coupure de 750 Hz. Il est important de ne pas filtrer directement la tension de Nernst en mV car cela pourrait galement charger le capteur. 6.7 Tension de rfrence et comparaison de tension Le signal de mesure amplifi doit tre compar avec les tensions de rfrence qui doivent elles-mmes tre amplifies avec le mme facteur que la tension de Nernst. Lorsquune des deux tensions de rfrence est atteinte, la source de courant constant inverse le sens du courant. Llment de pompage doit tre gr de manire telle que la chambre soit toujours vacue en premier. Pour cela, le raccordement PUMP du capteur doit initialement tre positif par rapport au raccordement COMMON. 6.8 Traitement du signal Un micro-contrleur est ncessaire pour surveiller la tension de Nernst amplifie (SENSE) et pour calculer continuellement td ou tp. La formation dune valeur moyenne rduit le bruit naturel du capteur alors quune valeur moyenne pondre mobile convient le mieux pour ne pas rduire le temps de rponse du capteur. Le micro-contrleur peut galement surveiller le retard au dmarrage et linversion de la source de courant constant.

6.9 Signal de sortie La dure de cycle calcule par le micro-contrleur doit ensuite tre transforme en signal de sortie souhait (p. ex. un signal de tension, de courant ou une sortie digitale). Pour cela un DAC ou un programme de sortie peut tre ncessaire. De plus, le filtrage et la rsolution du signal doivent tre pris en considration.

cellule de mesure inversion de la source de courant constant

amplification du signal et filtrage

traitement du signal

source de courant constant

tension de rfrence et comparaison

signal de sortie

retard au dmarrage

lment de chauffage

rglage en tension du traitement lectronique

alimentation en tension

rglage en tension de l'lment de chauffage

Figure 6: Schma fonctionnel dun traitement lectronique

F / 11154 / B

9/9

www.sensortechnics.com