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tude dun capteur interfromtrique de dplacement ou de dformation
Les capteurs interfromtriques sont utiliss dans des domaines trs varis, tels que la dtection de ux de radiation, le suivi dobjets en dplacement et leur positionnement, le contrle de la qualit de surfaces dobjets, etc.... Ce problme tudie un capteur interfromtrique de dplacement ou de dformation, bas sur la modulation dun rseau dinterfrences cr par une lame dair comprise entre deux lames de verre.

Partie I - Prsentation du dispositif

Le capteur est schmatis sur la gure 1 : Il est constitu de deux Figure 1 : principaux lments du capteur lames de verre rectangu- interfromtrique lame de plaque de verre verre delecture lecture laires ( 10 cm 12 cm ), de de L1L1 2mm dpaisseur, qui peuvent former un coin dair ou tre disposes parallde verre lement. Sa structure com- plaque de lame verre d'entre dentre L2 L2 porte les lments principaux suivants : querre E2 le bti principal qui querre E1 sert de base rigide table de translation horizontale lensemble des compobti principal sants, la table de translation horizontale. Elle assure le contrle de lpaisseur de la cavit qui peut tre ajuste entre 0mm (les deux lames sont en contact) et 66mm , une querre ( E 1 ) verticale, solidaire de la table de translation. Elle est vide en son centre pour laisser passer le faisceau laser de lecture. Elle supporte la lame de verre dite de lecture qui pourra donc tre translate. une querre ( E 2 ) verticale, xe, dont le plan est perpendiculaire laxe de translation horizontal de l querre ( E 1 ) . Elle est vide en son centre (lintrt de ce trou apparatra dans la partie II.B). Elle supporte la lame de verre dite dentre qui peut tre oriente grce un dispositif prcis et sans jeu. En clairant le capteur par un faisceau lumineux cohrent continu (laser He-Ne ), parallle ou divergent, on observe des franges dinterfrence rectilignes

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ou circulaires dont les proprits sont dnies par lpaisseur optique de la cavit forme par les deux lames. Toute dformation ou dplacement de lune ou lautre des deux lames introduit un changement dans lpaisseur de la cavit dair qui se traduit par la modication spatiale du rseau de franges dinterfrences. Celui-ci est enregistr priodiquement par une camra CCD numrique associe un systme dacquisition et de traitement dimages. Le suivi du mouvement de ces franges permet lanalyse temporelle de la rponse du capteur. Les diffrents lments qui constituent ce dispositif exprimental sont : le capteur interfromtrique qui est dispos sur une table anti-vibration, le laser continu He-Ne (laser de lecture, de longueur donde dans le vide = 632 nm et de puissance P = 6 mW ) qui illumine linterfromtre et cre le rseau de franges, loptique dadaptation, constitue de lentilles, pour clairer le plus uniformment possible, la cavit sur une surface denviron 7cm 2 , une lame semi-rchissante qui permet dobserver les interfrences, lensemble lame sparatrice optique d'adaptation de dtection conslaser He-Ne titu dune camra CCD et de son systme dacquisicamra CCD tion associ. Figure 2 : le dispositif exprimental I.A - Coefcients de rexion et de transmission On considre deux milieux dilectriques, linaires, homognes, isotropes et transparents (les indices optiques n 1 et n 2 sont donc rels) spars par une surface que lon peut confondre localement avec son plan tangent dquation z = 0 .

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Une onde lectromagntique ( E i, B i ) plane, progressive, monochromatique et polarise rectilignement se propage dans le milieu ( 1 ) dans une direction e z . Cette onde arrive linterface sparant le milieu ( 1 ) du milieu ( 2 ) et donne naissance : une onde plane rchie de mme pulsation (E r, B r) , et une onde plane transmise de mme pulsation (E tr, B tr) . jt Pour tout champ de vecteur X variant sinusodalement, on posera X = X 0 e I.A.1) Rappeler, en tenant compte de labsence de charges et de courants libres, la relation de passage sur le dioptre z = 0 vrie par les champs E . En dduire une relation entre E 0 i , E 0 r et E 0 tr . I.A.2) En procdant de mme, donner une relation entre B 0 i , B 0 r et B 0 tr . Rappeler les expressions de B i , B r et B tr en fonction de E i , E r , E tr , e z , n 1 , n 2 et c vitesse de propagation de la lumire dans le vide et en dduire une relation entre E 0 i , E 0 r , E 0 tr , n 1 et n 2 . I.A.3) Dduire des questions prcdentes les coefcients de rexion et de transmission en amplitude :
E0 r E 0 tr r 1 2 = -------- et t 1 2 = ----------. E0 i E0 i

I.B - On suppose que les lames de linterfromtre sont tailles dans du verre dindice n = 1, 5 et que lindice de lair est n 0 = 1, 0 . Dterminer les coefcients de rexion r 1 = r air verre et r 2 = r verre air ainsi que les coefcients de transmission t 1 = t air verre et t 2 = t verre air . Quelle est la consquence du signe de r1 ? Dans la suite du problme on utilisera ces coefcients de rexion et de transmission pour le signal lumineux not s .

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I.C - Rapport des amplitudes Les diffrents rayons rchis sont reprs Figure 3 : rayons rflchis sur linterfromtre de la faon suivante (gure 3) : b1 c1 0 pour le premier rayon rchi ; 0 rayon incident a1 a2 a3 a 1 , a 2 , a 3 , , a N , pour les autres rayons ne franchissant pas la premire lame de verre ( N entier strictement positif) ; b 1 , b 2 , b 3 , , b N , pour les rayons se pntrant pas dans la deuxime lame de verre ( N entier strictement positif) ; c 1 , c 2 , c 3 , , c N , pour les rayons se rchissant sur la face infrieure de la deuxime lame de verre ( N entier strictement positif) ;

b2 c2

Remarques : - il existe dautres types de rayons dont on ne tiendra pas compte dans ce problme ; - on admet que les coefcients calculs la question I.A.3 restent valables pour des rayons faiblement inclins. I.C.1) Dterminer le rapport des amplitudes s 0 s incident en fonction de r 1 . I.C.2) Dterminer lexpression de s a N s incident , en fonction de t 1 , t 2 , r 2 et (2 N 1) . I.C.3)
(2 N 1) .

Dterminer lexpression de s b N s incident , en fonction de t 1 , t 2 , r 1 et Dterminer lexpression de s c N s incident , en fonction de t 1 , t 2 , r 2 et

I.C.4)
(2 N 1) .

I.C.5) Quels rayons doit-on alors considrer dans ltude des interfrences par rexion et pourquoi (on justiera en saidant des applications numriques) ? Comment peut-on modier les lames de verre pour ne pouvoir considrer que les rayons a 1 et b 1 ? Dans la suite du problme : on admet que seuls les rayons a 1 (not 1) et b 1 (not 2) interfrent et quils ont la mme amplitude, on ne tient pas compte des changements de phase par rexion.

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Partie II - Utilisation en lame faces parallles

II.A - Interfrences produites par une lame dair II.A.1) Modlisation de linterfromtre. i rayon incident r e n=1,0 n=1,5
Figure 4 : modlisation de linterfromtre

2 n=1,5

rayon i incident e I i

1 K J

2 lame L1 n=1,0 lame L2

Dans la suite du problme on modlise linterfromtre par une lame dair situe entre deux lames inniment minces L 1 et L 2 semi-rchissantes, parallles et distantes de e (gure 4). Justier brivement cette modlisation. Dterminer en fonction de n , e et i , la diffrence de marche 2 1 que prsente, dans un plan perpendiculaire aux rayons 1 et 2 , le rayon rchi 2 par rapport au rayon rchi 1 . Dans la suite du problme on ne fera plus apparatre lindice n car n = 1, 0 . II.A.2) Cas dune source ponctuelle distance nie. Linterfromtre est clair par une e source ponctuelle monochromatique E de longueur donde , place en S sur M laxe O 1 x une distance O 1 S = d de la O1 x S P lame. On observe les interfrences, par rexion, sur un cran E plac une d O distance D de O 1 . On suppose quun D cran opaque P supprime la lumire directe de S sur E . lame L 1 lame L 2 a) Montrer que le dispositif est alors Figure 5 : lame dair et source ponctuelle quivalent deux sources ponctuelles distance finie places en S 1 et S 2 . Dterminer les longueurs S 1 O 1 et S 2 O 1 . On pose a = S 2 S 1 . Donner lexpression de a . Quelle distance D T spare lcran du milieu de [ S1 S2 ] ? b) Quobserve t-on sur lcran ? Justier sans calcul. Les interfrences obtenues par ce dispositif sont-elles localises ? c) Soit M un point de lcran situ une distance du point O . Dterminer, en fonction de a , , D T et , lexpression du dphasage 2 1() en M de londe

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issue de S 2 par rapport celle issue de S 1 . On donnera le rsultat sous la forme dun dveloppement limit dordre 2 en ( M reste au voisinage du point O ). d) Soit I 0 lintensit lumineuse du faisceau issu de la source S 1 (et donc de S 2 ). Etablir lexpression de lintensit I() dun point M de lcran en fonction de I 0 , a , , D T et . e) Donner lexpression de lordre dinterfrence p 0 au centre de la gure. On suppose que le centre de la gure correspond un maximum de luminosit. Que peut-on en conclure sur p 0 ? On numrote les franges lumineuses partir de O ime par lentier K (valeur nulle au centre). Exprimer le rayon K du K anneau lumineux en fonction de D T , K et p 0 . En dduire lexpression de K + 1 K en fonction de K . f) Application numrique : on mesure sur lcran 1 = 6, 6mm . En dduire 2 et 3 . Sachant que = 632nm , D = 80cm et d = 20cm , calculer e . Que pensez vous de la prcision de la mesure de e ? g) Quobserve t-on sur lcran si lon augmente progressivement la taille de la source S ? Proposer une explication qualitative du phnomne. II.A.3) Cas dune source tendue distance nie. Linterfromtre est clair par une source tendue monochromatique de longueur donde . a) Soit un point de la source mettant un source tendue rayon lumineux sous une incidence i . Rappeler lexpression, en fonction de i et e , de 1 2 rayon la diffrence de marche 2 1 que prsentent, incident i lame L1 dans un plan perpendiculaire aux rayons 1 I K et 2 , le rayon rchi 2 par rapport au e n=1,0 i rayon rchi 1 . J lame L2 b) La diffrence de marche prcdente ne Figure 6 : lame dair et source dpend que de lincidence i et pas du point tendue distance finie de la source. Que peut-on en conclure sur la localisation des franges dinterfrences ? La largeur de la source intervient-elle sur le contraste ? Que dtermine t-elle ? c) Donner lexpression de lintensit I(i) obtenue linni dans la direction i en fonction de e , i et I 0 lintensit lumineuse que lon aurait sur lcran si seule la lame L 1 tait prsente. II.A.4) Observation avec une camra CCD .

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Linterfromtre, CAMERA CCD modlis par une laser He-Ne zone accessible lame dair, est au capteur CCD clair par le objectif laser de lecture. optique d'adaptation Grce la lame capteur CCD F semi-rchissante et la lame sparatrice camra CCD on enregistre la f' f' gure dinterfrence. La camra est rgle, dans un premier Figure 7 : enregistrement de la figure dinterfrence temps, pour que le plan dobservation (capteur CCD ) soit confondu avec le plan focal image de lobjectif de la camra assimil une lentille convergente de focale f = 50mm . a) Soit M un point du capteur CCD . On pose = FM . Dterminer, en fonction de , e et f lexpression de la diffrence de marche 2 1 entre les rayons rchis de type 2 et 1 convergeant en M (on effectuera, en les justiant, les approximations usuelles). Faire un schma des lames ( L 1 , L 2 et semi-transparente), de lobjectif et du capteur CCD en indiquant prcisment les angles. b) Donner lexpression de lordre dinterfrence p 0 au centre de la gure. On suppose que le centre de la gure correspond un maximum de luminosit. On numrote les franges lumineuses partir de F par lentier K (valeur nulle au ime centre). Exprimer le rayon K du K anneau lumineux en fonction de f , K et p 0 . c) On assimile le capteur CCD un carr form de pixels carrs jointifs. Soit l la longueur du ct dun pixel. Les diamtres des anneaux sont dtermins en analysant le prol suivant un axe horizontal passant par le centre du systme ime de franges. Soit N K le nombre de pixels correspondant au diamtre d K du K anneau. Dterminer lexpression de lpaisseur e de la cavit en fonction de f , , K , N K , et l . d) Application numrique : f = 50mm et l = 23 m . Pour K = 1 , on mesure N 1 = 28 pixels. Calculer e . e) La dtermination prcdente de e repose donc sur la mesure de N 1 . Estimer lincertitude absolue sur N 1 et en dduire un encadrement de e . Conclure. On souhaite diminuer lincertitude relative sur la mesure de e . 1re mthode :

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f) On suppose, uniquement dans cette question, que lobjectif de la camra est interchangeable (ou possde un rglage permettant de choisir diffrentes focales). Que proposez-vous pour augmenter la prcision de la mesure de e ? 2me mthode : g) En supposant que le laser et son optique dadaptation peuvent-tre assimils une source ponctuelle, que peut-on dire sur la localisation des franges ? quelle distance D de la lame doit-on placer un cran pour observer des anneaux 4 fois plus grands que dans le plan focal de lobjectif de la camra ? h) On suppose que la distance objectif-capteur CCD peut varier entre f et 2 f . On souhaite former une image relle dun objet rel. On suppose que la distance objet-objectif peut prendre toutes les valeurs possibles. Quelle distance objectifcapteur CCD doit-on choisir pour obtenir la plus grande image possible ? Quelle doit-tre alors la distance objet-objectif ? Quel est alors le grandissement de lobjectif ? i) En dduire la distance (lame de linterfromtre) - (objectif de la camra) pour obtenir sur le capteur CCD des anneaux 4 fois plus grands que ceux observs la question II.A.4-a dans le plan focal image de lobjectif. Dans la suite du problme, le systme est rgl de faon obtenir ce grandissement de 4 . On pourra, pour simplier les raisonnements et les schmas, supposer que lobservation est ralise linni avec un objectif de distance focale f eq = 4 f . II.B - Mthode de suivi de franges circulaires. Daprs la section II.A, lobservation des franges dinterfrences renseigne sur lpaisseur optique de la cavit forme par les deux lames. La gure dinterfrence est enregistre priodiquement par une camra CCD numrique associe un systme dacquisition et de traitement dimages. La dformation de la cavit optique est obtenue par laction dun deuxime faisceau laser (longueur donde 800nm ) sur la lame de verre dentre revtue dune couche de glatine, dune paisseur de 6 m environ, qui absorbe lnergie lumineuse dexcitation dpose. Lchauffement local qui en rsulte provoque une dformation mcanique et donc une variation de lpaisseur de la cavit. La mthode propose est base sur le calcul de la variation de lpaisseur de la lame dair en fonction de la variation du rayon dune frange circulaire. II.B.1) On considre une frange brillante donne. Comment varie le rayon de cet anneau lorsque lpaisseur de la lame dair diminue ? Dterminer lexpression approche de e e (variation relative de lpaisseur de la lame) en fonction de , et f eq . On donnera le rsultat sous la forme dun dveloppement limit lordre 1 en .

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Mise en uvre exprimentale : on enregistre linterfrogramme un instant t 1 . Grce cette image, dite de rfrence, on trace un prol des niveaux de gris le long dune droite horizontale passant par le centre de la gure. On dtermine alors le rayon dune frange brillante donne linstant t 1 . Figure 8 : enregistrement du dplacement on procde de mme des franges circulaires un instant t 2 et on dtermine le nouveau rayon de la mme frange brillante. grce la relation entre e e et , on peut en dduire la variation relative de lpaisseur de la lame. II.B.2) La gure 8 rsume les rsultats obtenus laide de cette mthode. Les prols diamtraux correspondent, respectivement, limage de rfrence et la premire image aprs le dbut de lexcitation. On cherche identier le prol de limage de rfrence. a) Chaque prol devrait admettre un axe de symtrie vertical. Pourquoi ? Citer une des causes possibles de cette absence de symtrie. Malgr labsence de symtrie, comment peut-on reprer les pics correspondants au premier anneau ?

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b) On rappelle que la cavit optique est excite par laction dun deuxime faisceau laser sur la lame de verre dentre. Quelle est, selon vous, la consquence de laction du laser sur cette lame ? Comment varie alors lpaisseur de la cavit optique ? c) En dduire le prol de limage de rfrence ( A ou B ). Justier. II.B.3) Donner une estimation du rayon du premier anneau, avant et aprs excitation : r 1, avant et r 1, aprs .

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Figure 9 : variation de lpaisseur de la cavit optique en fonction du temps

Application numrique : largeur dun pixel : l = 23 m . II.B.4) En utilisant les questions II.A.4-c et II.B.1, dterminer une expression de la variation dpaisseur e de la lame en fonction de r 1, avant , r 1, aprs et . Application numrique : = 632nm ; largeur dun pixel : l = 23 m . II.B.5) En rptant cette opration pour tous les instants dchantillonnage, on peut tracer la courbe de variation de lpaisseur de la cavit optique en fonction du temps (gure 9). Dterminer la dure T de lexcitation. Grce un logiciel informatique, la rponse a t modlise par un systme linaire dordre 1 (courbe en traits pointills). Dterminer le temps caractristique associ la rponse de la lame (on prcisera la mthode utilise).

Partie III - Utilisation en coin dair

On rappelle quon ne tient pas compte des changements de phase par rexion. On se propose damliorer la mthode prcdente. Pour cela on rgle linterfromtre en coin dair.

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III.A - Interfrences produites par un coin dair III.A.1) On claire un coin dair sous incidence rayon quasi normale. Reproduire et complter la incident lame L 1 gure 10 en traant les rayons lumineux interfrant. En dduire la surface de localisation des interfrences dans le cas dune source poncn = 1, 0 tuelle, puis tendue. lame L 2 On utilise de nouveau le montage de la partie II.A.4 (gure 7). Linterfromtre forme un coin Figure 10 : interfromtre rgl en coin dair dair et le laser de lecture fournit un clairage sous incidence quasi normale. On suppose que les franges sont visibles (entre autres) sur la lame dentre. La camra est rgle pour former limage dune partie de cette lame dentre sur le capteur CCD . Le grandissement est gal 1 en valeur absolue. On adopte donc les mmes coordonnes sur la lame dentre et sur le capteur CCD . III.A.2) Soient (x, y) les coordonnes dun point M du capteur (et donc de la lame dentre). Donner lexpression de la diffrence de marche 2 1 en fonction de e(x, y) . En dduire lexpression de lintensit I ( x, y ) au point M en fonction de e(x, y) , et I 0 intensit maximale. III.A.3) Dterminer, en fonction de , I(x, y) , I 0 et dun entier m , lexpression des paisseurs e(x, y) possibles pour un point M(x, y) o lintensit est I(x, y) . III.B - Mthode de suivi des niveaux de gris Pour chaque point M(x, y) de la lame dentre, la dtermination exprimentale des variations de e(x, y) comporte deux tapes : lextraction du signal interfromtrique : on exploite les images enregistres priodiquement pour suivre lvolution du niveau de gris dun pixel de la gure dinterfrence. On obtient ainsi une courbe discrtise qui reprsente la variation de lintensit du pixel slectionn en fonction du temps. (gure 11) le traitement du signal interfromtrique : on convertit lintensit enregistre en dplacement. III.B.1) Dcrire qualitativement le mouvement de la lame avant, pendant et aprs lexcitation. Dduire de la gure 11 le mouvement des franges au point M considr (on prcisera en particulier le nombre de franges dlant dans chaque phase).

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En dduire les instants t dbut et t fin de dbut et n dexcitation de la lame. III.B.2) Pour simplier, on suppose que le point tudi correspond une intensit nulle lorsque la lame est au repos. a) Montrer que, pour t [t dbut ,400ms ] , le dplacement de la lame est donn par :

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Figure : 11 variation de lintensit du pixel slectionn en fonction du temps

1 2 I ( x, y ) 1 1 . e = -- -- arccos ------------------ 4 I0

b) Dterminer lexpression de e pour t [400ms ,500ms ] . III.B.3) Dterminer lexpression de e pour t [t dbut ,t fin ] ; on pourra introduire un entier N 1 correspondant au nombre de franges ayant dj dl depuis le dbut de lexcitation et distinguer deux cas : I est localement une fonction croissante, ou dcroissante, du temps. III.B.4) Reprendre la question prcdente pour t > t fin ; on pourra introduire deux entiers : N 1max , valeur maximum de N 1 , et N 2 correspondant au nombre de franges ayant dj dl depuis la n de lexcitation. On distinguera deux cas : I est localement une fonction croissante, ou dcroissante, du temps. III.B.5) Grce aux expressions prcdentes, on peut tracer la variation de lpaisseur de la cavit en fonction du temps. Le trac ci-contre (gure 12) donne le dplacement de la lame en fonction du temps.

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Dterminer graphiquement le dplacement maximal d max de la lame au point M considr. Quelle relation peut-on crire entre d max et e max . Valider les expressions prcdentes de e en dterminant graphiquement grce la gure 11 une deuxime valeur de d max . Cette mthode donne les variations dpaisseur pour les diffrents points de la lame diffrents instants. Il est alors possible de crer une animation de la dformation.

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Figure 12 : dplacement de la lame en fonction du temps

La gure 13 reprsente, un Figure 13 : dformation locale de la lame instant donn, laspect de la dformation locale de la lame suite une excitation ponctuelle et centre.

Partie IV - Mthode de dcalage de phase Phase Shifting

La mthode de Phase Shifting (PSI) est une mthode danalyse et de traitement dun nombre lev de donnes, en loccurrence ici, les images obtenues par le capteur de la camra CCD . Il existe plusieurs systmes de traitement, celui dcrit ici est lalgorithme de Hariharan. On reprend lexprience dcrite au III.B, le but tant dobtenir une mesure locale de la phase (x, y) dinterfrence. Au cours de lexprience cette phase varie lentement au cours du temps. La camra CCD enregistre F interfrogrammes par seconde. Entre deux acquisitions successives la phase varie donc

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de . La frquence dacquisition F tant assez leve on peut considrer que, sur un court intervalle de temps, la phase varie linairement dans le temps et donc que est constant sur une courte dure. IV.A - En supposant que la lame dentre L 2 se dplace la vitesse moyenne v , 1 dterminer lexpression de . Faire lapplication numrique avec v = 1 m s , F = 50 Hz et = 632 nm . IV.B - Si on note a lacclration de la lame, valuer lerreur relative que lon commet en considrant constant entre deux acquisitions successives, on exprimera le rsultat en fonction de a , v et F . valuer numriquement cette erreur relative dans le cas o le dplacement de la lame est rgi par un systme du premier ordre de constante de temps = 400ms . Pour mesurer la phase linstant t lalgorithme de Hariharan, prend en compte les intensits mesures aux instants t 2 T , t T , t , t + T et t + 2 T . On peut les noter :
I 1 ( x, y ) = I 0 ( x, y ) [ 1 + V ( x, y ) cos ( ( x, y ) 2 ) ] , I 2 ( x, y ) = I 0 ( x, y ) [ 1 + V ( x, y ) cos ( ( x, y ) ) ] , I 3 ( x, y ) = I 0 ( x, y ) [ 1 + V ( x, y ) cos ( ( x, y ) ) ] , I 4 ( x, y ) = I 0 ( x, y ) [ 1 + V ( x, y ) cos ( ( x, y ) + ) ] , I 5 ( x, y ) = I 0 ( x, y ) [ 1 + V ( x, y ) cos ( ( x, y ) + 2 ) ] .

IV.C - Comment interprter le fait que I 0 est une fonction des coordonnes du point de mesure ? Quelle est la signication du terme V ( x, y ) dans ces expressions ? IV.D - Exprimer, en fonction de le rapport
I 5 ( x, y ) I 1 ( x, y ) R 1 = ---------------------------------------------. I 4 ( x, y ) I 2 ( x, y )

IV.E - Exprimer, en fonction de ( x, y ) et , le rapport

I 5 ( x, y ) + I 1 ( x, y ) 2 I 3 ( x, y ) R 2 = --------------------------------------------------------------------------I 4 ( x, y ) I 2 ( x, y )

IV.F - En dduire une mthode de mesure de la phase locale ( x, y ) et donc de e ( x, y ) . IV.G - Quels sont les avantages du Phase Shifting par rapport aux mthodes de mesure du II.B et III.B ?

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titre documentaire, une application de la mthode PSI est donne ci-dessous (gure 14) :

Figure 14 : mthode PSI

FIN

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