NJTS-GMAT 1

Ciencia y Tecnologa del

Vaco
Jaime Torres
NJTS-GMAT 2
CONTENIDO
1.Introduccin
2.Aplicaciones
3.Conceptos Bsicos
4.Conduccin en sistemas de vaco
5.Bombas de vaco
1.Rotatorias
2.Difusoras
3.Turbomoleculares
Componentes
NJTS-GMAT 3
NJTS-GMAT 4
Reduccin de la Presin
Bajo pre-vacio 10
3
-1 mbar
Vaco Medio 1-10
-3
mbar
Alto vaco 10
-3
10
-7
mbar
Ultar alto vaco vaco extremo <10
-7
-<10
-10
mbar
NJTS-GMAT 5
Aplicaciones
Tcnicas de deposito de materiales
Caracterizacin de materiales. Anlisis de
superficies
Conservacin de alimentos
Procesamiento y conservacin de
medicamentos
Empaques
Fabricacin de bombillos
Fabricacin de vidrios
Fabricacin de integrados
NJTS-GMAT 6
Aplicaciones
Pre vaco tecnologa qumica
(Secado, desgasificacin, filtracin)
Medio Industria qumica, CVD,
Sputtering
Alto Depsito Fsico de Vapor
UHV Anlisis de superficies AES,
XPS, EELS, Investigacin en fusin,
Radiacin de sincrotron.
NJTS-GMAT 7
Presin
nKT
N
nRT
v
N
nM
P
A A
= = =
2
3
1
NA = 6.02x10
23
molculas tomos
K = cte. de Boltzman=1.31x10
-23
JK
-1
R = 8.31 J mol
-1
K
-1
(cte. de gases)
n = No. de molculas por unidad de volumen
NJTS-GMAT 8
Unidades
1 atm=1.013 x 10
6
dynes/cm
2
=1.013
x10
5
N/m
2
= 1.013 x 10
5
Pa
1 torr= 1 mm Hg=1.333 x 10
3
dynes/cm
2
=133.3 N/m
2
=133.3 Pa
1 bar=0.987 atm = 750 torr.
(SI) 1 Pascal Pa = 1 N/m
2
(MKS) N/m
2
(CGS) dinas/cm
2
NJTS-GMAT 9
Condiciones Normales de un Gas
T
n
=0
o
c=273.15 K
p
n
=101325 Pa=1013.25 mbar
NJTS-GMAT 10
Gas Ideal
PV=nRT
P Presin
V Volumen
n Cantidad de sustancia del gas
T Temperatura absoluta
R Constante de gases Ideales
NJTS-GMAT 11
n
Una mol de sustancia contiene tantos
tomos o molculas como 12 g de
12
C; es
la constante de Avogadro
N
A
=6.022136x10
23
mol
-1
=6.022136x10
26
Kmol
-1
Si la masa de la sustancia es m y la masa
Molar de las sustancia es M
( )
) (mol
mol
g
M
g m
n
|
.
|

\
|
=
NJTS-GMAT 12
Constante Molar de los gases
R=8.3145472 Jmol
-1
K
-1
=8.3145472KJKmol
-1
K
-1
R=83.14 mbar L mol
-1
K
-1
= 8.31x10
4
mbar L Kmol
-1
K
-1
NJTS-GMAT 13
Volumen Molar de un gas ideal a
condiciones normales
L
mbar
K K mbarLmol
P
RT
V
m
m
m
414 . 22
25 . 1013
15 . 273 15 . 83
1 1
=

= =

Constante de Boltzman (k) es R/N
A
1 23
10 38065 . 1

= JK K
NJTS-GMAT 14
Densidad de Partculas
nKT p
NKT RT
N
N
PV
A
=
= =
3 25
1 23
2
10 6867 . 2
15 . 273 10 38 . 1
101325

=

= = m
K JK
Nm
KT
p
n
n
n
N=Nmero de partculas en el gas
A 293 K y p
n
1 22 3 25
293
10 51 . 2 10 51 . 2

= = L m n
K
NJTS-GMAT 15
En 1 L y a un mbar hay 2.478x10
19
partculas.
En 1 L y a 10
-6
mbar hay 2.478x10
13
Partculas
En 1 L y a 10
-9
mbar hay 2.478x10
9
partculas
2.6867x10
25
partculas ocupan 1 m
3
a p
n
y
T
n
NJTS-GMAT 16
Una mol de partculas (6.02x10
23
) ocupan
22.4 L a p
n
y T
n
NJTS-GMAT 17
Presiones Parciales
Si n mol de gas n
A
se inyectan en un
volumen V, la presin del gas A p
A
es
|
.
|

\
|
=
V
RT
n P
A A
Si se colocan n moles del gas B n
B
en el volumen V
entonces la presin del gas p
B
es
|
.
|

\
|
=
V
RT
n p
B B
NJTS-GMAT 18
Si B se inyecta en V que contiene
el gas A
|
.
|

\
|
+ = + =
V
RT
n n p p p
B A B A
) (
De acuerdo a la ley de presiones parciales de Dalton
Para varios componentes
... + + + + =
D C B A
p p p p p
NJTS-GMAT 19
... ; + + + + = =
=
D C B A
A
A
total
componente
n n n n n
n
n
x
n
n
x
En trminos de la fraccin molar x
La presin parcial de la componente i en n mol
de mezcla de gas con presin total p
p x
V
RT
n x
V
RT
n p
i i i i
=
|
.
|

\
|
=
|
.
|

\
|
=
NJTS-GMAT 20
Ejemplo
Un recipiente contiene 2 mol de H
2
y 1 mol de N
2
aT
n
. Cual
es la fraccin molar y las presiones parciales de los
componentes en el recipiente.
Nmero total de mol=3
L
K K mbarLmol mol
p
L
K K mbarLmol mol
p
n
n
H
H
N
H
414 . 22
15 . 273 14 . 83 2
414 . 22
15 . 273 14 . 83 2
3
1
3
2
1 1
1 1
2
2
2
2

=

=
=
=


NJTS-GMAT 21
Ejemplo
Si 4 L de metano tienen una presin de 500 mbar a 20
o
C. Cual
es la masa del gas?
g
K K mol L mbar
gmol L mbar
m
RT
M
m
pV
31 . 1
. . 293 1 . 83
. . 16 4 500
1 1
1
=


=
=

NJTS-GMAT 22
Ejemplo
Un recipiente de 500 cm
3
contiene una mezcla de gases H
2
/N
2
a
500 mbar y T
n
. Si la presin parcial del H
2
es de 200 mbar cual
es la fraccin molar del H
2
y del N
2
6 . 0
4 . 0
10 02 . 11
10 61 . 6
15 . 273 14 . 83
5 . 0 300
10 41 . 4
15 . 273 14 . 83
5 . 0 200
2
2
2
2
3
3
1 1
3
1 1
=
=
=
=

=
=

=
=

N
H
total
H
H
x
x
mol n
mol
K K Jmol
mbarL
n
mol
K K Jmol
mbarL
n
nRT pV
NJTS-GMAT 23
Ejemplo
El aire seco a presin atmosfrica y nivel del mar esta
compuesto aproximadamente por (% de volumen): N
2
78.1; O
2
20.9; Ar 0.9; CO
2
0.03; el resto 0.07. Cual es la presin Parcial
de cada uno a p
n
y t
n
. Calcule la masa media molar del aire
De acuerdo a lo anterior 100 L de aire contiene: N2 78.1 L; O
2 L
20.9 L; Ar 0.9 L; CO
2
0.03 L; el resto 0.07 L.
A pn y Tn el volumen molar de un gas ideal es de 22.4
L
De acuerdo a lo anterior 100 L de aire contiene: N2 78.1 L; O
2 L
20.9 L; Ar 0.9 L; CO
2
0.03 L; el resto 0.07 L.
A pn y Tn el volumen molar de un gas ideal es de 22.4 L
NJTS-GMAT 24
NJTS-GMAT 25
mol Totalmoles
mol
Lmol
L
otros
mol
Lmol
L
CO
mol
Lmol
L
A
mol
Lmol
L
O
mol
Lmol
L
N
r
4615 . 4
00312 . 0
414 . 22
07 . 0
00134 . 0
414 . 22
03 . 0
040 . 0
414 . 22
9 . 0
933 . 0
414 . 22
9 . 20
484 . 3
414 . 22
1 . 78
1
1
2
1
1
2
1
2
=
= =
= =
= =
= =
= =

NJTS-GMAT 26
; 10 3 ; 10 97 . 8 ; 209 . 0 ; 781 . 0
4 3
2 2 2

= = = =
CO Ar O N
x x x x
Las presiones parciales correspondientes son:
Total
CO Ar O N
CO
Ar
O
N
m
m m m m
M
mbar p
mbar p
mbar p
mbar p
2 2 2
2
2
2
3 . 0 25 . 1013 10 3
09 . 9 25 . 1013 97 . 8
8 . 211 25 . 1013 209 . 0
4 . 791 25 . 1013 781 . 0
4
+ + +
=
= =
= =
= =
= =

NJTS-GMAT 27
mol g mol g
mol
g
M
g gmol mol m
g gmol mol m
g gmol mol m
g gmol mol m
CO
Ar
O
N
/ 29 / 6 . 28
4615 . 4
78 . 127
0132 . 0 44 10 3
359 . 0 40 10 97 . 8
86 . 29 32 933 . 0
55 . 97 28 484 . 3
1 4
1 3
1
1
2
2
2
~ = =
= =
= =
= =
= =

NJTS-GMAT 28
Teora Cintica de los Gases
Relacin de Maxwell - Boltzmann
( )
|
|
.
|

\
|
= =
RT
Mv
v
RT
M
dv
dn
n
v f
2
exp
2
4 1
2
2
2
3
t
n Cantidad de partculas por unidad de
volumen que poseen velocidades entre v y
v+dv.
M peso molecular
T Temperatura absoluta
R= 8.31 Jmol
-1
K
-1
NJTS-GMAT 29
NJTS-GMAT 30
En cada Componente de la
velocidad
( )
|
|
.
|

\
|
= =
RT
Mv
RT
M
dv
dn
n
v f
x
x
x
x
2
exp
2
1
2 2
1
t
Igual para las componentes en y y z
NJTS-GMAT 31
Consecuencias
( )
( )
( )
( )
( )
M
RT
v
M
RT
dv v f
dv v f v
v
M
RT
dv v f
dv v vf
v
M
RT
v
m
3
;
3
,
8
,
2
2
1
2
0
0
2
2
0
0
= = =
= =
=
}
}
}
}

t
Valor mas probable
Promedio
Cuadrtico medio
NJTS-GMAT 32
Las velocidades dependen nicamente del
peso molecular y la temperatura
Aire a 300 K la velocidad molecular
promedio es de 4.6X10
4
cm/s.
La energa cintica de un gas depende
nicamente de la temperatura.
Para una mol de gas
(1/2)Mv
2
=(3/2)RT=(1/2)RT, particionada en
cada direccin coordinada.
NJTS-GMAT 33
Camino libre medio
P
clm
3
10 5

=
v
t
clm

=
Para aire a temperatura ambiente

clm
=500 A, d=5 A
en m. y P en Pa.
Distancia media que viaja un tomo o molcula entre sucesivas
Colisiones. Depende de la presin
Tiempo entre colisin y colisin
10
10
Colisiones/s
NJTS-GMAT 34
Gas que llega a superficies
Concepto importante en tecnologa de
vaco y deposito de materiales
Es una medida de la frecuencia con la que
molculas golpean una superficie
En unidades de par/cm2s
NJTS-GMAT 35
( )
) / ( 10 513 . 3
) / (
2
4
1
2 2
exp
2
2 22
2
0
2
0
2
1
2
1
s cm moleculas
MT
P
s cm moles
MRT
P
N
v n
M
RT
n dv
RT
Mv
v
RT
M n
dn v
A
x
x
x
x
=
=
=
=
|
|
.
|

\
|
=
=
}
}

|
t
|
|
t
t
|
|
P en torr.
El nmero de molculas que golpea una superficie por unidad
de tiempo por unidad de rea
n densidad de partculas
Gas Escapando por un agujero
de rea A
NJTS-GMAT 36
NJTS-GMAT 37
Gas escapando por un tubo
El rea de la seccin transversal del tubo es
A. El gas pasa a una regin de concentracin
de gas cero.
La rata a la cual las molculas abandonan es
A |
|
|
.
|

\
|
|
.
|

\
|
=
-
s
cm
A
M
T
V
s cm
n
A
3
3
3
2
1
10 64 . 3
) / (
|
NJTS-GMAT 38
Notas
Para aire a 298 K corresponde a 11.7 A
L/s.
Se ha calculado la conductancia de una
apertura circular.
NJTS-GMAT 39
Cubrimiento de superficie
El tiempo caracterstico de contaminacin es el
inverso del flujo incidente. El tiempo en que se
cubre una superficie con 10
15
atomos/cm
2
es
( ) ( )
P
MT
P
MT
c
2
1
2
1
8
22
15
10 85 . 2
10 513 . 3
10

=

= t
1 cm
2
se cubre con una monocapa en
3.49x10
-8
s aire aT ambiente presin atmosfrica
A 10
-10
torr dura limpia 7.3 horas.
NJTS-GMAT 40
NJTS-GMAT 41
NJTS-GMAT 42
Transporte de gases y bombeo
un anlisis incompleto conduce a
sistemas de bombeo deficientes y por lo
tanto se incrementan los costos.
Se distinguen tres regmenes de flujo:
Flujo molecular libre: Ocurre a bajas
densidades de gas
Cmaras de evaporacin en alto vaco
Equipos analticos
NJTS-GMAT 43
El camino libre medio de las molculas es
largo comparado con las dimensiones de
la cmara, se utiliza la teora cintica de
los gases para analizar el sistema.
A alta presin el camino libre medio se
reduce y predominan las colisiones
intermoleculares con relacin a las
colisiones con la cmara. Este rgimen se
llama flujo viscoso.
NJTS-GMAT 44
NJTS-GMAT 45
En este rgimen funcionan los reactores de la
tcnica Chemical Vapor Deposition. A bajas
velocidades del gas el flujo es laminar
Nmero Knudsen
clm
n
n
D
K

=
Flujo Molecular K
n
< 1
Flujo intermedio 1< K
n
<110
Flujo Viscoso K
n
> 110
D
n
Dimetro del tubo
NJTS-GMAT 46
En el caso de aire
D
p
P < 5x10
-3
cm-torr Flujo molecular
D
p
P > 5x10
-1
cm-torr flujo viscoso
NJTS-GMAT 47
NJTS-GMAT 48
Conductancia
) (
2 1
P P C Q =
Flujo de gas a travs de un orificio que conecta dos
cmaras mantenidas a bajas presiones p1 y p2
[Q]= torr-L/s
C=conductancia en L/s
NJTS-GMAT 49
Flujo de gas
Cantidad Ecuacin Unidades Tpicas
Flujo de Masa
t
n
n q
t
V
V q
t
V
p
V p q
t
m
q
n
V
pV
m
A
A
=
=
A
A
=
=
A
A
=
=
A
A
=

Flujo pV
Flujo de volumen
Flujo Molar
Kg s
-1
Mbar L s
-1
, Pa m
3
s
-1
Ls
-1
, m
3
h
-1
Mol s
-1
NJTS-GMAT 50
NJTS-GMAT 51
...
1 1 1 1
3 2 1
+ + + =
C C C C
sist
...
3 2 1
+ + + = C C C C
sist
Conductancias en serie
Conductancias en paralelo
NJTS-GMAT 52
Ejemplo: Calcular la conductancia
del sistema.
NJTS-GMAT 53
C
1
= conductancia de la apertura de 10 cm de dimetro
= 11.7 A =11.7 pi(5)
2
= 919 L/s
C
2
=Conductancia del tubo de 3 cm de long.
=12.2 D
3
/L= 12.2 (10)
3
/3 = 4065 L/s
C
3
= Conductancia de la apertura anular
= 11.7 A
an
=11.7(0.25)pi(10
2
-8
2
)=331 L/s
C
4
=Conductancia del tubo anular
=12.2(D
2
-D
1
)
2
(D
1
+D
2
)/L=12.2(10-8)
2
(10+8)/15=58.6
L/s
C
5
=C
2
= 4065 L/s
C
6
= Conductancia de la apertura en el final del
tubo/bomba difusora
=11.7 AA
o
/(A-A
o
)= 11.7 pi (2.5)
2
pi5
2
/(pi(5
2
-(2.5)
2
))=
=303 L/s
NJTS-GMAT 54

=
=
6
1
1 1
i
i Total
C C
C
Total
=40 L/S
Es deseable tener la
conductancia lo mas grande
posible
NJTS-GMAT 55
Sistema de Bombeo
NJTS-GMAT 56
Velocidad de Bombeo
Bombeo es la accin de remover
molculas de gas del sistema a travs de la
accin de las bombas
La velocidad de bombeo S se define como el volumen
de gas que pasa a travs de la entrada de la bomba
por unidad de tiempo cuando la presin en ella es P
P
Q
S =
Q se puede medir en cualquier plano del sistema P y S
se refieren a la entrada de la bomba
NJTS-GMAT 57
) (
p
P P C Q =
Q salida de gas en unidades de torr-L/s
C Conductancia L/s
NJTS-GMAT 58
p
p
p
p
P
Q
S
C
S
S
S
=
+
=
1
Sp La velocidad intrnseca
de la bomba medida en su
entrada
S es la velocidad efectiva en la
entrada de la cmara
P
Q
S =
NJTS-GMAT 59
Las bombas reales insertan gas en el sistema
) 1 (
0
) 1 (
P
P
S
P
Q
S
P S Q
Q
P S
Q
P S Q P S Q
o
p
o p p
p
p
p p p
= =
=
=
= =
Se alcanza la ltima presin Po
S Cae a cero cuando se alcanza la ltima presin
NJTS-GMAT 60
Tiempo para alcanzar una
presin
p p
Q P S
dt
t dP
V
dt
dP
V
dt
VP d
Q
=
|
.
|

\
|
= =
) (
) (
Po la ltima presin
alcanzada por la bomba
) exp(
) (
0
V
t S
P P
P t P
p
o i
=

NJTS-GMAT 61
Bombas de Vaco
Clasificacin:
Bombas de transferencia de gas. Remueve moleculas de gas
del volumen bombeado y las deposita en el ambiente a travs
de uno o dos procesos de compresin.
Desplazamiento positivo
Cinticas
NJTS-GMAT 62
Rotatoria de Pistn
NJTS-GMAT 63
Roots
NJTS-GMAT 64
Bomba Difusora
NJTS-GMAT 65
Bomba Turbomolecular
NJTS-GMAT 66
Bomba Criognica
NJTS-GMAT 67
Sputter-Ion Pump (Inica)
NJTS-GMAT 68
Sistema de Vaco
NJTS-GMAT 69
Deposito Fsico de Vapor
Evaporacin
Pulverizacin Catdica (Sputtering)
Objetivo: Transferencia controlada
de tomos desde una fuente a un
substrato donde sucede un
proceso atomstico de formacin
de una pelcula delgada.
Sustrato: Material de baja calidad
y con estructura cristalina
determinada
I
Sustratos
Crisol-Evaporador
NJTS-GMAT 70
Rata de Evaporacin
Proporcional a la diferencia entre la presin de
vapor a una temperatura dada y y la presin
hidrosttica actuando sobre el evaporante
( )
MRT
P P N
h e A e
e
t
o
|
2

=
Atomos (o molculas) por unidad de Area por
unidad de tiempo.
o
e
es el coeficiente de evaporacin entre 0 y 1
NJTS-GMAT 71
MT
P
e
e
22
10 513 . 3 = | Molculas/cm
2
s
Y presin en Torr.
Presin de vapor: Cuando un lquido (o
slido) se encuentra en equilibrio con su
vapor en un sistema aislado