INSTITUTO TECNOLGICO

DE SALTILLO
Microscopa Electrnica de Barrido
Caracterizacin Estructural


Valeria Reyes Vilchez
Ricardo Salvador Rodrguez Ruz
Lidia Gabriela Delgado Interial

Microscopia electronica de barrido
En el microscopio electrnico de barrido, un campo magnetico
permite enfocar los rayos catdicos (electrones) y obtener una imagen
tridimensional, por el examen de la superficie de las estructuras,
permitiendo la observacin y la caracterizacin de materiales
orgnicos e inorgnicos, proporciona aumentos de 200.000 dimetros.
Von Ardenne, en 1.938, construy el primer Microscopio
Electrnico de Barrido (MEB); posteriormente, en Inglaterra, se
construy el primer MEB Ambiental, con el cual se pueden observar
muestras hidratadas.
Descripcin
del Equipo
El MEB consta de las siguientes partes:
1. Can de electrones (e-).
2. Filamento de tungsteno o de
hexaboruro de lantano-LaB6.
3. Anodo.
4. Columna en vaco.
5. Lentes condensadores (centran y
dirigen el rayo de electrones).
6. Lentes Objetivas (controlan la cantidad
de electrones del haz).
7. Detectores para colectar y medir
electrones (produccin de imagen).
8. Bobinas de barrido (obligan al haz a
barrer la muestra).
9. Control de aumento.
10. Generador de barrido.
11. Colector de electrones (electrones se
atraen y se aceleran).
12. Escintilador (convierte la energa
cinetica de los e- en luz visible).
13. Amplificador.
14. Pantalla (imagen).
15. Bombas de vaco.
Diagrama de funcionamiento
La muestra es colocada
en un pequeo espacio, al cual
se le hace vaco despus de
cerrada la puerta. La puerta
tiene tres palancas que el
operador usa para: subir y
bajar la muestra, rotar la
muestra y acercarla o alejarla.
Un haz delgado de
electrones, es producido en la
parte superior del microscopio
por medio del calentamiento
de un filamento metlico (10-30 KV). El rayo de
electrones primarios sigue un recorrido a traves
de la columna de vaco del microscopio, esto, con
el propsito, de evitar la dispersin de los
electrones. El trayecto del haz de electrones es
enseguida modificado por un conjunto de bobinas
deflectoras que lo hacen recorrer la muestra
punto por punto y a lo largo de lneas paralelas
(barrido), y a su vez atraviesa las lentes
condensadoras o electromagneticas que le
permiten ser reenfocado o centrado hacia la
muestra. Posteriormente, el dimetro del haz de
electrones puede ser
modificado al pasar por las
lentes objetivas que controlan
la cantidad de electrones
dentro de este. Cuando los
electrones primarios golpean
la muestra, son emitidos
electrones secundarios por el
propio especimen. Estos
electrones secundarios son
atrados por un colector donde
se aceleran y se dirigen al
escintilador, donde la energa
cinetica Es convertida en
puntos de mayor o de menor
luminosidad, es decir, en luz
visible. Esta luz es dirigida a
un amplificador donde se
convierte en senal electrica, la
cual pasa a una pantalla de
observacin donde la
imagen es formada lnea por
lnea y punto por punto. Los
circuitos que dirigen las
bobinas de barrido (que
obligan al haz a barrer la
muestra), son las mismas que
dirigen la parte de coleccin
de electrones y que
producirn la imagen.
Resolucin del Equipo
El MEB tiene una resolucin de 10 nm y una profundidad de foco de 10 m, mucho menor
que el microscopio electrnico de transmisin. La ventaja del MEB es que proporciona imgenes
tridimensionales, ya que ste especficamente examina la superficie de las esructuras.
Preparacin de las
muestras
Se debe tener
en cuenta el
material a observar
y guiarse por
parmetros
especficos para
cada muestra. Los
siguientes pasos
son utilizados en
general y guan
acerca de lo necesario en cada uno.
Limpieza
Reactivo: solucin salina
Objetivo: Remocin de contaminantes de la muestra
Comentarios: En muestras como dientes y huesos es necesario
limpiar la muestra con una bomba de aire. Para epitielio
intestinal se utilizan enzimas (quimiotripsina) que degradan el
moco intestinal. En esperma de mamferos es necesario lavar
con solucin salina y posteriormente centrifugar suavemente.
Relajacin
Reactivo: Cloruro de magnesio, cloretano, hidrato de cloral y
anestsicos locales como lidocana.
Objetivo: Permitir que organismos marinos o de agua fresca, que utilizan el encogimiento y
extensin para movilizarse, no se contraigan y pueda observarse toda la superficie de ste.
Comentarios: Se aplica gradualmente hasta que cese el movimiento del organismo.
Fijacin
Reactivo: Glutaraldehdo, formaldehdo, permanganato
y acrolena.
Objetivos: Permitir que cese la actividad biolgica de la
clula y preservar la estructura celular. Mantener la
integridad de la superficie. Evitar cambios autolticos,
debido a que al haber remocin del organismo se
presnetan cambios en temperatura, pH y concentracin
de oxgeno y nutrientes.
Comentarios: Se puede utilizar vapor de osmio,
especficamente cuando se observan esporas de hongos.
Es importante tener en cuenta la concentracin del
fijador y de la muestra, debido a que diversos estudios
muestran que a una mayor concentracin de ste, se
dificulta la observacin de lamuestra.
Deshidratacin
Reactivo: Etanol o acetona.
Objetivo: Remover agua de los tejidos
Comentarios: Se utiliza ms comnmente etanol, debido a que la acetona, puede danar el secador
en el SPC.
Secado de punto crtico
Reactivo: CO2 lquido y gaseoso.
Objetivo: Remocin total del agua de la muestra
Comentarios: Este paso se basa en lo siguiente: el CO2 a temperatura baja es lquido y a
temperatura alta es gaseoso. Cuando la muestra sale deshidratada por el etanol, se coloca en el
secador de punto crtico (SPC), all, la muestra se purga con CO2 lquido hasta que el etanol haya
sido reemplazado, posteriormente se sella la cmara y se calienta hasta que la temperatura llegue
a 31C, de esta forma el CO2 lquido se evapora y la muestra queda totalmente seca. Este
procedimiento reduce de tamano la muestra.
Montaje de la muestra
Objetivo Utilizado: Porta muestra o stub
Objetivo: Colocar la muestra asegurada para permitir la
colocacin en el rociador de oro.
Comentarios: Para asegurar la muestra en el stub, se utiliza
una cinta doble faz (tejidos) o carbono cemento conductivo
CCC (dientes).
Recubrimiento con oro (sputter)
Elementos: Oro, paladio o carbono
Objetivo: Permitir que el haz de electrones primarios
choquen contra la muestra recubierta con un material
conductor para que estas sean elctricamente
conductivas.
Comentarios: Este pocedimiento se realiza con un
rociador o Sputter coater. Se coloca la muestra en la
cmara, se sella y se programa el tiempo de
recubrimientoen el cual el oro cae uniformemente, se
hace vaco y automticamente el timer se enciende y la
muestra se recubre totalmente segn el tiempo
programado, aproximadamente son 2 minutos. Cuando
el tiempo ha finalizado, lentamente empieza a ingresar
aire a la cmara y de esta forma, la muestra est lista
para colocarla en el MEB. El stub con la muestra
recubierta no se debe tocar con los dedos, por lo tanto
es necesario utilizar pinzas.
Almacenamiento
Objeto utilizado: Cmara libre de humedad
Objetivo: Mantener la muestra totalmente seca para posterior observacin.
Aplicaciones
Obtencin de imgenes 3D.
Caracterizacin estructural.
Estudio de caractersticas morfolgicas y topogrficas.
Estudio de enfermedades del tallo piloso.
Estudio de formacin de biofilms.
Interaccin de microorganismos con clulas eucariotas.

Ventajas y Desventajas
Mayor resolucin.
Mayor numero de seales, mayor informacin.
Imgen de detalles profundos de la superficie de la muestra: 3D
No da informacin acerca de viabilidad cell.
Costos
Destruccin de la muestra: fijacin y secado.
Personal especializado.

Literatura recomendada
1- Dykstra, M. 1992. Biological electron microscopy: theory, techniques and troubleshooting. Plenum Press.
2- Hayat, M. 1981. Fixation for electron microscopy, Academic Press,

Microscopio Electrnico de Barrido (SEM)
El microscopio electrnico de barrido -SEM- es el mejor mtodo adaptado al estudio de la morfologa
de las superficies. A diferencia de un microscopio ptico que utiliza fotones del espectro visible, la
imagen entregada por el SEM se genera por la interaccin de un haz de electrones que "barre" un rea
determinada sobre la superficie de la muestra.
Construccin de un Microscopio Electrnico de Barrido
La parte principal de un microscopio electrnico de barrido es la denominada columna de electrones
la cual lleva alojados en su interior los siguientes elementos:
Un can de electrones con un filamento que acta como emisor o fuente de iluminacin, por
analoga con un sistema ptico.
Un sistema de lentes electromagnticas encargado de focalizar y reducir a un dimetro muy
pequeo el haz de electrones producido por el filamento.
Un sistema de barrido que hace recorrer el haz de electrones ya focalizado por la superficie de la
muestra.
Uno o varios sistemas de deteccin que permiten captar el resultado de la interaccin del haz de
electrones con la muestra y transformarlo en una seal elctrica.
Una salida conectada a una o varias bombas que producen el vaco necesario para que el conjunto
funcione adecuadamente.

Adems, el microscopio posee diversos sistemas que permiten observar las seales elctricas
procedentes de los detectores, en forma de imgenes en un monitor de TV, fotografa, espectro de
elementos, etc.
Por ltimo, en el grfico se han dibujado dos detectores. Uno, el de electrones secundarios, que son los
electrones arrancados a la propia muestra por la accin del haz incidente. Con esta seal obtenemos en
un monitor una imagen de la muestra, muy parecida a la visin del ojo humano debido a la gran
profundidad de foco de esta seal. El otro detector, de rayos X, captura este tipo de seal, con la que
obtenemos un espectro de elementos, es decir un anlisis qumico elemental de la muestra.
La tcnica esencialmente consiste en hacer incidir en la muestra un haz de electrones. Este bombardeo
de electrones provoca la aparicin de diferentes seales que, captadas con detectores adecuados, nos
proporcionan informacin acerca de la naturaleza de la muestra
La seal de electrones secundarios proporciona una imagen de la morfologa superficial de la muestra.
La seal de retrodispersados una imagen cualitativa de zonas con distinto nmero atmico medio, y la
seal de rayos X espectros e imgenes acerca de la composicin de elementos qumicos en la muestra.
Microscopio ptico
Los microscopios pticos son una herramienta tradicional en la caracterizacin microestructural de
materiales. Permiten una observacin a magnificaciones apropiadas (hasta del orden de 1000X) para un
estudio relativamente rpido y confiable.
Principales aplicaciones
Caracterizacin de la microestructura, a bajos aumentos, de los materiales metlicos.
Medicin de tamao de grano.
Evaluacin de partculas de segunda fase (morfologa).
Microscopio Electrnico de Barrido
El microscopio electrnico de barrido (conocido como MEB SEM por sus siglas en castellano e ingls
repectivamente) es una herramienta sumamente verstil, que nos permite observar a una escala adecuada
el microespacio. Utiliza un haz de electrones altamente energizados para examinar objetos a una escala
muy fina. En las pasadas cuatro dcadas el MEB se ha vuelto una herramienta indispensable tanto en la
investigacin, bsica o aplicada, como la que se realiza en la Maestra en Metalurgia e Ingeniera de
Materiales as como en aplicaciones por parte de la industria, minero-metalrgica de la regin de SLP. EL
MEB muestra una imagen tridimensional detallada a una magnificacin mucho ms alta que la que es
posible con el microscopio ptico.
Principales aplicaciones
Las caractersticas superficiales de un objeto, es decir su topografa, por ejemplo su textura. Estudio de la
morfologa (tamao, y forma de las partculas). Microanlisis va EDX.
Microscopio Electrnico de Transmisin
El microscopio electrnico de transmisin (conocido como MTE o TEM por sus siglas en castellano e
ingls repectivamente) Jeol JEM-1230 es una herramienta sumamente importante para analizar los
slidos cristalinos.
La visualizacin de la microestructura, a un nivel muchsimo ms fino que con la microscopa ptica o la
de barrido, permite un estudio ms completo de los slidos. La observacin de los defectos reticulares
que afectan las propiedades mecnicas de los slidos- as como la medicin de las orientaciones
cristalogrficas de las muestras bajo estudio, mediante el uso de los mtodos de difraccin de electrones,
nos dan una informacin completa de la microestructura.
Principales aplicaciones
Caracterizacin de la microestructura de los materiales metlicos.
Medicin de orientaciones de los granos y de los precipitados.
Estudio de defectos reticulares (dislocaciones, fallas de apilamiento, interfaces, etc .
Microanlisis va EDX.
Adems de estos equipos brevemente descritos, la Maestra en Metalurgia e Ingeniera de Materiales tiene
acceso a otros tipo de microscopias tales como la Microscopa de Fuerza Atmica.
Microscopio de Fuerza Atmica
La informacin bsica que se obtiene con la microscopa de fuerza atmica (MFA AFM) es la
topografa superficial de la muestra, pero con tcnicas adecuadas de preparacin se pueden investigar
microestructuras, por ejemplo lmites entre una partcula precipitada y la matriz que la contiene. La
resolucin lateral de la MFA se encuentra situada entre la del MET y la del MEB, y su resolucin en la
escala vertical permite la visualizacin de superficies, escalones o an escalones atmicos.

Microscopio Electrnico de Barrido (SEM)
El microscopio electrnico de barrido -SEM- es el mejor mtodo adaptado al estudio de la morfologa
de las superficies. A diferencia de un microscopio ptico que utiliza fotones del espectro visible, la
imagen entregada por el SEM se genera por la interaccin de un haz de electrones que "barre" un rea
determinada sobre la superficie de la muestra.
Construccin de un Microscopio Electrnico de Barrido
La parte principal de un microscopio electrnico de barrido es la denominada columna de electrones
la cual lleva alojados en su interior los siguientes elementos:
Un can de electrones con un filamento que acta como emisor o fuente de iluminacin, por
analoga con un sistema ptico.
Un sistema de lentes electromagnticas encargado de focalizar y reducir a un dimetro muy
pequeo el haz de electrones producido por el filamento.
Un sistema de barrido que hace recorrer el haz de electrones ya focalizado por la superficie de la
muestra.
Uno o varios sistemas de deteccin que permiten captar el resultado de la interaccin del haz de
electrones con la muestra y transformarlo en una seal elctrica.
Una salida conectada a una o varias bombas que producen el vaco necesario para que el conjunto
funcione adecuadamente.

Adems, el microscopio posee diversos sistemas que permiten observar las seales elctricas
procedentes de los detectores, en forma de imgenes en un monitor de TV, fotografa, espectro de
elementos, etc.
Por ltimo, en el grfico se han dibujado dos detectores. Uno, el de electrones secundarios, que son los
electrones arrancados a la propia muestra por la accin del haz incidente. Con esta seal obtenemos en
un monitor una imagen de la muestra, muy parecida a la visin del ojo humano debido a la gran
profundidad de foco de esta seal. El otro detector, de rayos X, captura este tipo de seal, con la que
obtenemos un espectro de elementos, es decir un anlisis qumico elemental de la muestra.
La tcnica esencialmente consiste en hacer incidir en la muestra un haz de electrones. Este bombardeo
de electrones provoca la aparicin de diferentes seales que, captadas con detectores adecuados, nos
proporcionan informacin acerca de la naturaleza de la muestra
La seal de electrones secundarios proporciona una imagen de la morfologa superficial de la muestra.
La seal de retrodispersados una imagen cualitativa de zonas con distinto nmero atmico medio, y la
seal de rayos X espectros e imgenes acerca de la composicin de elementos qumicos en la muestra.
Electrones Secundarios
La seal de electrones secundarios es
la que se emplea normalmente para obtener
una imagen de la muestra. Es la seal que
nos proporciona una imagen ms real de la
superficie que estemos estudiando, se
considera un electrn secundario aquel que
emerge de la superficie de la muestra con
una energa inferior a 50 eV(electronvoltios),
y un electrn retrodispersado el que lo hace
con una energa mayor.
Electrones Retrodispersados
La seal de electrones retrodispersados
est compuesta por aquellos electrones que
emergen de la muestra con una energa
superior a 50 eV(electronvoltios). Estos
electrones proceden en su mayora del haz
incidente que rebota en el material despus
de diferentes interacciones
La intensidad de la seal de
retrodispersados, para una energa dada del
haz, depende del numero atmico del
material (a mayor numero atmico mayor
intensidad) Este hecho permite distinguir
fases de un material de diferente
composicin qumica. Las zonas con menor
Z se vern mas oscuras que las zonas que
tienen mayor nmero atmico. Esta es la
aplicacin principal de la seal de
retrodispersados. Imagen de electrones
secundarios
Imagen de electrones retrodispersados.
Las micrografas anteriores corresponden a
la misma zona de una soldadura de un
objeto de cubertera compuesta de una
aleacin Plata-Cobre-Niquel. En la imagen
de secundarios no se aprecian con claridad
las fases de la aleacin, mientras que en la
imagen de retrodispersados vemos con
claridad estas fases. Un anlisis de rayos X
puntual de cada fase mostrara que las
zonas claras estn compuestas por Plata y
las oscuras por una aleacin Cobre-Niquel.
Microanlisis de Rayos X por Dispersin de
Energas
La resolucin espacial de los electrones
secundarios es mucho mejor que la de los
RX. Como resultado de esto, una
caracterstica de la muestra lo
suficientemente grande para ser observada
con la seal de secundarios puede no ser
suficientemente grande como para contener
todo el volumen de interaccin del que
emanan los RX. Con frecuencia, el haz de
electrones al penetrar en la muestra causa
la emisin de RX desde regiones de la
superficie o de regiones cercanas, que
tienen diferente composicin que las del
punto de incidencia del haz.
En la figura vemos las diferentes formas
que puede tomar el volumen de interaccin
dependiendo de los valores del nmero
atmico y de la energa del haz. Existen
mtodos para calcular aproximadamente el
dimetro de este volumen, pero se puede
asegurar que en el mejor de los casos este
dimetro no es menor de una micra.
La adquisicin de un espectro de RX
consiste en recoger durante un determinado
tiempo, normalmente del orden de minutos,
los fotones de RX que proceden de la
muestra, clasificndolos segn su energa.
Como puede verse en la figura, un
espectro de dispersin de energas se
presenta usualmente como un histograma
en donde el eje horizontal son unidades de
energa, en Kiloelectronvoltios (KeV), en
este caso de 0.00 a 10.240, y el eje vertical
nmero de cuentas o intensidad, en este
caso 65536 cuentas la altura total de la
escala, que se va autoajustando a medida
que crece el nmero de cuentas de la
energa del pico ms alto.
Por ltimo, una vez adquirido el espectro,
con la ayuda de patrones o sin ellos y
mediante el software adecuado se puede
realizar de forma automtica el anlisis
cualitativo, es decir, la identificacin de
picos y el analisis cuantitativo o calculo de la
concentracin de los diferentes elementos.
La preparacin de muestras es, en general,
sencilla. Los requisitos indispensables que
deben cumplir son ausencia de lquidos, es
decir, la muestra tiene que estar seca y
adems debe ser conductora de la corriente
elctrica. Este ltimo requisito se cumple en
los metales pero no as en otro tipo de
materiales, por lo que para hacer a la
muestra conductora se la recubre de una
capa de algn material conductor tal como
el carbn o el oro. Este recubrimiento ha de
ser suficientemente grueso como para que
circule la corriente elctrica que se deposita
en la muestra y suficientemente delgado
para que no enmascare o tape las
caractersticas superficiales de inters.
Tcnica de recubrimiento con oro
Cuando el propsito del analisis de una
muestra no incluye la obtencin de un
espectro de RX, un elemento que se utiliza
frecuentemente para recubrir la superficie
es el oro.
El grfico muestra esquematicamente lo que
se conoce como "sputtering". Consiste en
una fuente de alimentacin en corriente
contnua regulable de 1 a 3 KV conectada
por una parte a una tarjeta de oro u oro-
paladio y por otra parte al portamuestras. El
conjunto va acoplado a una bomba de
vaco. La introduccin de un gas tal como el
argon en la campana de vaco provoca que
los tomos de argon impacten en la tarjeta
de oro y se desprendan tomos de dicha
tarjeta que son atraidos hacia la muestra en
la cual quedan depositados proporcionando
un espesor de recubrimiento que depende
del tiempo de exposicin
Tcnica de recubrimiento con carbono
En el caso de precisarse un anlisis
elemental en una muestra no conductora es
necesario recubrir la superficie de un
elemento lo ms transparente posible a los
RX. Este elemento es el carbono.
Uno de los tipos de metalizadores de
carbono se muestra esquemticamente en
el grfico. Consiste en dos electrodos
conectados a una fuente de corriente
alterna de bajo voltaje y alta intensidad
entre los que se intercala una barra de
carbono terminada en una punta afilada. Al
pasar la corriente, la punta de la barra se va
evaporando, de forma que roca la muestra
con una fina capa de carbono. La punta va
acoplada a un muelle que la mantiene en
todo momento en contacto con el otro
electrodo. Todo el conjunto est encerrado
en vaco con el fin de facilitar la deposicin
de la pelcula de carbono sobre la muestra.
Espectrometra Por Induccin de Plasma
(ICP)
La espectrometra por induccin de plasma
es una de las tcnicas ms verstiles para
el anlisis de muestras geolgicas y
ambientales, incluyendo rocas, minerales,
aguas, suelos, sedimentos, etc., siendo
probablemente el primer mtodo prctico
para la determinacin simultnea de un gran
nmero de elementos trazas con la
exactitud requerida para muchos estudios
petrolgicos y geoqumicos.
La Espectrometra de Masas con Plasma de
Acoplamiento Inductivo es una tcnica para
anlisis elemental con un lmite de
deteccin en el rango de partes por billn.
ICP-MS provee informacin cualitativa y
cuantitativa junto con composicin isotpica.
Sus aplicaciones incluyen anlisis de rocas,
suelo, sedimento, agua, aire, tejidos
vegetales y animales Se obtiene un plasma
de gas argn haciendo fluir una corriente de
argn hacia una antorcha con un flujo de
corriente de alta frecuencia en una bobina
de induccin con campos magnticos
oscilantes. El plasma posee una
temperatura superior a los 10.000 K.
Se introduce una muestra lquida en el sistema en forma de aerosol mediante un
nebulizador. Una vez que la muestra alcanza el plasma, los iones de la muestra son excitados
y revertidos espontneamente a un estado de energa menor emitiendo un fotn de energa.
Para propsitos cuantitativos, se asume que la energa emitida es proporcional a la
concentracin de iones.
La luz emitida por la fuente emisora de plasma es enfocada a la ranura de entrada del
sistema ptico. Despus de pasar a travs de la ranura de entrada, la luz es dispersada por
una rejilla de difraccin. Una gama estrecha den ondas dispersadas pasan por la rejilla de
salida y caen en un detector.
El detector convierte la energa lumnica en corriente elctrica, y la magnitud de la corriente
es proporcional a la intensidad de la luz. La corriente es integrada sobre un periodo de tiempo
predefinido y es medido por el circuito detector y pasa a la computadora.
La longitud de onda de la luz medida por el detector es controlada ajustando el angulo de
difraccin de la rejilla relativo al haz de luz incidente, en un escaneo, las caracteristicas de
longitud de onda de emision atomica de la muestra son medidas. Se analiza rapidamente entre
las longitudes de onda y se para de medir solo cuando son registradas las longitudes de onda
deseadas.