MICROSCOPA ELECTRNICA DE BARRIDO

CURSO DE POSTGRADO NO ESTRUCTURADO

PROFESOR RESPONSABLE: Dr Alberto Riveros
COLABORADORES: Dr Jorge Trincavelli !ng Jorge "#lc$e% Lic R&b'n (&tal Dra "er)nica
Br&netti
CRED!TO *ORAR!O: +, *s (ODAL!DAD: C&rso intensivo
FEC*A: -el . -e /a0o al 12 -e /a0o -el a3o 4,15
PROGRAMA
(icrosco6io electr)nico -e barri-o7 !ntro-&cci)n a la /icrosco6#a electr)nica -e
barri-o7 !nstr&/entos 0 -i8erentes t'cnicas: SE( STE( 0 TE(7 (icrosco6io
electr)nico -e barri-o -e alto vac#o 9SE(: -e ba;o vac#o 9L"<SE(: 0 a/biental
9ESE(:7 Caracter#sticas7 =6tica electr)nica: F&ente -e electrones 9>la/ento -e
? -e LaB
2
0 -e e/isi)n -e ca/6o FEG: ca3)n Sc$ott@0 0 cAto-o 8r#o:7 Lentes
electro/agn'ticas: 6ro6ie-a-es aberraciones7 Resol&ci)n 0 6ro8&n-i-a- -e
ca/6o7 (agni>caci)n7
!nteracci)n -e electrones con la /ateria7 Dis6ersiones elAsticas e inelAsticas7
Rango -e 6enetraci)n 0 -istrib&ci)n es6acial -e los electrones -el $a% 6ri/ario7
Relaci)n entre el vol&/en -e interacci)n 0 los 6arA/etros energ#a inci-ente
nB/ero at)/ico -e la /&estra 0 geo/etr#a7 Electrones sec&n-arios
retro-i8&n-i-os 0 A&ger7 Ra0os C caracter#sticos 0 -el contin&o7 Rango 0
resol&ci)n es6acial -e las -i8erentes se3ales e/ergentes7
Detectores -e electrones7 Detector -e electrones sec&n-arios: Detector
Ever$art<T$ornle0 9ET:7 Detector -e electrones retro-is6ersa-os: Detector -e
esta-o s)li-o -e Si SDD7
For/aci)n e inter6retaci)n -e i/Agenes7 Contraste -e electrones sec&n-arios
9SE:7 -e electrones retro-i8&n-i-os 9BSE: 0 -e corriente -e es6'ci/en 9SC:7
Contraste 6or -i8racci)n -e electrones retro-i8&n-i-os 9BESD:7 !nter6retaci)n -el
contraste to6ogrA>co 6or analog#a con /&estras r&gosas il&/ina-as con l&%7
E8ectos -e 6enetraci)n -el $a% -e electrones en las i/Agenes7 Otros ti6os -e
contraste 0 s& a6licaci)n a la ciencia -e /ateriales7
Pre6araci)n -e /&estras con-&ctoras no con-&ctoras biol)gicas 6oli/'ricas
$i-rata-as7 ('to-os -e -es$i-rataci)n >;aci)n 0 c&biertas con-&ctoras7 Da3o
-e las /&estras -&rante la 6re6araci)n observaci)n o anAlisis7
AnAlisis -e ele/entos: AnAlisis c&alitativo7 S&stracci)n -e 8on-o7 !ntensi-a- -e
la l#nea caracter#stica7 AnAlisis se/ic&antitativo7 AnAlisis c&antitativo7 E8ectos -e
/atri%7 Correcci)n ZAF7 F&nci)n -istrib&ci)n -e ioni%aciones 9%:7 AnAlisis -e
/&estras eDtensas 96&li-as 0 r&gosas: -elga-as 0 6art#c&las o incl&siones7
AnAlisis sin estAn-ares7
Estrategias -e /e-ici)n7 Errores 9esta-#sticos instr&/entales 6re6araci)n -e
/&estras etc:7 (#ni/o l#/ite -e -etecci)n7 Elecci)n -e con-iciones -e
eDcitaci)n 6arA/etros instr&/entales 0 6atrones7 Estrategias -e /e-ici)n 6ara
-i8erentes ti6os -e /&estras7 *o/ogenei-a- -e la /&estra7 Conta/inaci)n 6or
carbono7 Da3os 6or ra-iaci)n7 Es6esor 0 ti6o -e /etali%a-o.
Trabajos Prcticos y cronograa !" #os isos$ Uso -e PC con so8tEare
es6ec#>co -on-e los 6artici6antes a-F&irirAn &na 8or/aci)n /#ni/a en
si/&laci)n (onte Carlo 0 &so -e &n /icrosco6io -e barri-o7 PrActica -e
6re6araci)n -e las /&estras 9l&nes 0 /artes -e la 6ri/era se/ana:7 Practicas en
el /icrosco6io FEG SE(: a-F&isici)n -e i/Agenes -e /&estras F&e traerAn los
al&/nos en -i8erentes con-iciones7 Caracteri%aci)n -e las /is/as 9GH 0 5H -#a
-e la 6ri/era se/ana:7
Uso -e PC con so8tEare es6ec#>co -on-e los 6artici6antes a-F&irirAn &na
8or/aci)n /#ni/a en si/&laci)n (onte Carlo 6ara la vis&ali%aci)n -e la 8&nci)n
-istrib&ci)n -e ioni%aciones 9.H -#a -e la 6ri/era se/ana:7
Obtenci)n -e es6ectros -e -istintas /&estras 6atrones /e-i-os en el
es6ectr)/etro -el /icrosco6io FEG SE( 91H -#a -e la seg&n-a se/ana:7
Caracteri%aci)n c&alitativa -e &na /&estra c&alF&iera 91H -#a -e la seg&n-a
se/ana:7
Procesa/iento -e estos es6ectros cAlc&lo -e e8ectos -e /atri% l#/ite -e
-etecci)n /#ni/a7 !nI&encia -e las con-iciones eD6eri/entales en el anAlisis
c&antitativo 94H -#a -e la seg&n-a se/ana:7
C&anti>caci)n con estAn-ares /e-iante el &so -e los 6rogra/as co/erciales -e
c&anti>caci)n incor6ora-os en el SE( 9GH -#a -e la seg&n-a se/ana:7
Uso -el /)-&lo STE( i/Agenes -e ca/6o claro 0 ca/6o osc&ro 95H -#a -e la
seg&n-a se/ana:7
E%a#&aci'n( Po-rAn 6resentarse a la eval&aci)n to-os los al&/nos F&e $a0an
6resenta-os el in8or/e -e los traba;os 6rActicos7 Ca-a al&/no -eberA resolver
&n eDa/en in-ivi-&al en s& casa 6ara el c&al ten-rA &na se/ana -e 6la%o 6ara
entregarlo7
Bibliogra8#a
J T$e Ato/ic N&cle&s R7 Evans (c GraE<*ill Boo@ Co/6an0 !nc7 1K..7
JScanning electron /icrosco60 an- D<ra0 /icroanal0sis7 D7 NeEb&r0 D7 Jo0 P7
Ec$lin C7 Flori J7 Glo-stein7 GH E-ici)n7 S6ringer 4,,G7
J Electron (icrosco60 J7 Ba%%ola L7 R&ssell Jones L Bartlett P&blis$ersM 4 S&b
e-ition 1KK+7
J P$0sical Princi6les o8 Electron (icrosco60: An !ntro-&ction to TE( SE( an- AE(
R7 Egerton S6ringer 4,,.7
J *an-boo@ o8 C<Ra0 S6ectro/etr0 Practical S6ectrosco60 Series "an Grie@en R7 E7
N (ar@oEic% A7A7 "ol7 15 De@@er7 1KKG7
J Electron 6robe /icroanal0sis an- scanning electron /icrosco60 in geolog07 S7
Ree-7 Ca/bri-ge Universit0 Press 1KK27
J Princi6les o8 Anal0tical Electron (icrosco607 D7 C Jo0 Jr7 A7 D7 Ro/ig7 an- J7 !7
Gol-stein Plen&/ Press7 NeE Nor@ an- Lon-on7 1K+K7
JScanning Electron (icrosco60 O P$0sics an- !/age 8or/ation an- /icroanal0sis
Rei/er L7 S6ringer Series in O6tical Sciences7 S6ringer<"erlag Berlin *ei-elber7
1K+.7
J (eas&ring s&r8ace to6ogra6$0 Eit$ scanning electron /icrosco607 !!7 Anal0sis o8
t$ree esti/ators o8 s&r8ace ro&g$ness in secon-<-i/ension an- t$ir-<-i/ension7
Bonetto RD La-aga JL an- Pon% E7 (icrosco60 an- (icroanal0sis 14 !ss&e ,4 66
1P+<1+2 4,,27
J C$aracterisation o8 TeDt&re in Scanning Electron (icrosco6e !/ages7 J7 La-aga
an- R7 Bonetto7 A-vances in !/aging an- Electron P$0sics7 Aca-e/ic Press7 E-ite-
b0 Peter ?7 *aE@es 14, 66 1G2<1+K 4,,47
J Di/ensional (eas&re/ents7 !n T$e &se o8 t$e Scanning Electron (icrosco6e7 Lane
G7S7 E-s7: *earle J7?7S7 S6arroE J7T7 L Cross P7( 667 41K<4G+7 Perga/on Press7
91KP4: