3

Interacciones del haz con la muestra

1. Ibez y 1. M. Bada
3.1. Introduccin
El estudio de los procesos fsicos involucrados en la interaccin del haz electrnico con la
muestra resulta fundamen tal para comprender el origen del contraste de las imgenes que aparecen en la pantalla de un MEB. Para ello se han desarrollado teoras que, dadas las caractersticas
del problema, alcanzan una comp lejidad matemtica considerable. No obstante, los principios
fsicos en los que se fundamenta el proceso de interaccin son sencillos, y permiten explicar en un
grado nada desdeable muchos de los efectos experimentales. En este captulo se expondrn
estos principios partiendo del caso ms simple, de la interaccin de un electrn con un tomo aislado, para pasar posteriormente a estudiar que sucede cuando los tomos se encuentran formando un slido.
La interaccin de un electrn con un tomo es bsicamente culombiana, pudindose clasificar
en elstica e inelstica, dependiendo de la cantidad de energa transferida por el electrn incidente. En teora de colisiones se denomina interaccin elstica entre dos partculas aquella en la que
se conserva el momento lineal y la energa cintica del conjunto a lo largo del proceso, aunque
cada partcula pueda sufrir modificaciones en dichas magnitudes. Por el contrario en un a colisin
inelstica la suma de las energas cinticas de ambas partculas despus del choque es inferior a la
de antes del choque, emplendose la energa que fa lta en modificar el estado interno de las partculas (como por ejemplo aumentar la temperatura) . No obstante dentro del desarrollo a seguir en
este captulo se entender como interaccin elstica aquella en la que el electrn incidente nicamente sufre sufre una desviacin respecto a su trayectoria inicial (dispersin angular), sin que su
energa cintica sea apenas modificada. Por el contrario se considerarn interacciones inelsticas
aqullas en las que el e lectrn adems de ser dispersado angularmente, tambin lo es en energa
con prdida de una cantidad apreciable de sta.
La dispersin elstica se debe principalmente a la interaccin entre el electrn y el ncleo
atmico, y su extensin al caso de muchos tomos que estn agrupados de forma desordenada,
como en un gas o en un slido amorfo, puede hacerse considerando que la dispersin del haz es
simplemente la suma a lgebraica de muchos procesos individuales de dispersin electrn-tomo.
Los electrones que a lo largo de su trayectoria son dispersados con un ngulo superior a noventa
grados se dice que son retrodispersados, contribuyendo a la seal del mismo nombre en el MEB.
Por el contrario, cuando los tomos se agrupan siguiendo unas pautas de orden determinadas formando un cristal , no se puede ignorar la naturaleza ondulatoria de los electrones apareciendo
ngulos de dispersin privilegiados por efectos de difraccin, que dan lugar a a seales no contempladas en el modelo atmico, como la de canalizacin de electrones.
En la dispersin in elstica, el electrn incidente interacciona con los electrones que rodean al
ncleo, a los que transfiere parte de su energa. Este proceso es claramente inelstico, puesto que
parte incluso toda la energa transferida al electrn atmico se emplea en el salto a otro nivel
de energa superior, modificando as el estado interno del tomo. Cuando un electrn atmico ,
normalmente externo, es excitado a niveles de energa situados por encima del vaco dar origen
a un electrn secundario. Aunque menos probable, el tomo puede quedar ionizado en un nivel
interno, situacin que al ser inestable, provocar que otro electrn situado en un nivel superior
vaya a ocupar dicho hueco interno. La energa liberada en esta transicin se emplear en la creacin de un fotn de rayos X, en la emisin de otro electrn atmico (proceso conocido como
Auger, en honor a su descubridor). Cualquiera que sea la partcula emitida, poseer una energa
caracterstica del tomo en cuestin, importante propiedad en la que se basa la tcnica de microanlisis.
Si en lugar de un tomo aislad o se considera un slido, los electrones del haz incidente pueden excitar oscilaciones colectivas del gas de electrones de valencia. Estas oscilaciones se denomi-

47

1-+-----,.--~_1

..L

r-~~~~

..

/\f1.

tt=-NCJeO
'-Area

= 1rb 2

Fig. 3.1. El ngulo de dispersin en funcin del parmetro de impacto y disminuye conforme aumenta este ltimo.

nan plasmones, y poseen una frecuencia energa cuantizada caracterstica de cada material.
Estas interacciones se reflejan en el espectro de emisin de electrones secundarios por alteraciones prximas en energa al pico elstico, y su estudio ha dado lugar a la tcnica microanaltica
denominada espectroscopa de prdidas de energa de electrones (EELS).

3.2 Concepto de seccin eficaz

Cada proceso de dispersin se caracteriza por un parmetro denominado seccin eficaz, que
se define como:
dcr(a,<p)=dn/N
[3.1]
siendo N el nmero de electrones incidentes que atraviesan la unidad de superficie transversal
del haz en la unidad de tiempo, y dn el nmero de electrones que en la unidad de tiempo son desviados un ngulo polar comprendido entre a y a+da, y azimutal comprendido entre <p y <p+d<p.
Cuando el proceso es inelstico, la seccin eficaz deber incluir adems la dependencia con la
perdida de energa. Otra magnitud importante en teora clsica de colisiones es el parmetro de
impacto b, que representa la distancia ms prxima a la que se encontraran ambas partculas si
no interaccionasen, y por tanto conservasen su trayectoria original.
Cuando las fuerzas que intervienen en el proceso son centrales, la seccin eficaz tendr simetra axial en torno a un eje que pasando por el centro dispersor (en ese caso el tomo), sea paralelo a la trayectoria del electrn incidente. Por otro lado, se supone que existe una correspondencia
biunvoca entre el parmetro de impacto y el ngulo de desviacin a (Fig. 3.1), de tal forma que
todas las partculas que inciden con parmetro de impacto comprendido entre b(a) y b(a+da) son
desviadas dentro del intervalo angular (a, a+da). Por tanto el nmero de partculas dispersadas
entre a y a+da, ser igual al producto de N por el rea de la corona comprendida entre los crculos de radios b y b+db:
dn=N21tbdb

[3.2]

dcr=21tbdb=21tb( a)ldb( a)/dalda

[3.3]

y la seccin eficaz ser:

donde se utiliza el valor absoluto de la derivada del parmetro de impacto, ya que suele ser negativa. En la formula [3.3] se observa que como el parmetro de impacto determina el rea subtendida, la seccin eficaz aumentar con l.
A veces conviene expresar la seccin eficaz en funcin del elemento de ngulo slido dQ=
21tsenada, comprendido entre los conos subtendidos por Q y Q+dQ:
dcr/dQ=b( a)ldb( a)/dalsen-1a=f( a)

[3.4]

Por otro lado la seccin eficaz total, cr t, ser la integral de la seccin eficaz diferencial, extendida a todos los ngulos de salida posible:

48

[3.5]
La seccin eficaz tiene dimensiones de superficie, y posee un claro sentido fsico al representar el rea efectiva que ofrece el centro dispersor, de forma que si el electrn se dirige a dicha
rea se producir la interaccin.
3.3. Dispersin elstica

3.3.1. Dispersin por el ncleo - Modelo de Rutherford

El modelo ms sencillo que describe la interaccin elstica de un electrn con un tomo, se
basa en la frmula que dedujo Rutherford para explicar la dispersin de partculas alfa por una
lmina delgada metlica. En este modelo (consultar cualquier libro de texto de mecnica, como
por ejemplo el de la referencia 3.1), la interaccin culombiana de una carga puntual ql y masa mI'
con otra carga puntual q2 y masa m 2, viene descrita por la siguiente seccin eficaz:
dcr =21tbdb=1t(q 1qi41tEoll v2)2cos( a/2)da/sen3(a/2)=(q 1qi41tEoll v2)2dQf4 sen 4 (a/2)
[3 .6]
e

con un parmetro de impacto

b=(q 1qi41tEoll v2)cotg( al2)

[3.7]

siendo ll=m1 m2/(m1 +m2) la masa reducida, a el ngulo de dispersin en el sistema de referencia
en el que el centro de las masas de ambas partculas se encuentra en reposo (sistema C), y v la
velocidad relativa de una partcula respecto de la otra.
Este modelo es aplicable directamente a la dispersin elstica electrn-tomo, sin ms que
considerar que las dos cargas puntuales en juego son la del electrn incidente y la contenida en el
ncleo del tomo. Por tanto se tendr que un electrn con carga -e y masa m, interacciona con un
tomo de masa M y carga nuclear Ze, siendo Z el nmero atmico. Como la diferencia de masa
entre el electrn y el tomo es muy grande, la masa reducida ser prcticamente igual a la masa
del electrn. Igualmente, debido a esta diferencia de masa, y teniendo en cuenta que la energa
que posee el haz electrnico en un MEB no es suficiente para producir desplazamientos atmicos, se puede suponer que el tomo permanece en reposo antes y despus de la interaccin, yelegir al tomo como origen del sistema de referencia C.
En estas circustancias el ngulo de dispersin a en el sistema C coincidir con el ngulo de
dispersin e en el sistema L, sistema de referencia del laboratorio ligado a la partcula que se
encuentra en reposo antes del choque, que en este caso es el tomo. Por tanto:
[3.8]

[3.9]
siendo E=mv2/2, la energa cintica del electrn incidente.
A partir de las frmulas [3.8] y [3.9] se pueden extraer las siguientes consecuencias:
1) La seccin eficaz diferencial, dcr/dQ, crece con el cuadrado del nmero atmico, y concuerda con la tendencia observada experimentalmente de que la seal de electrones retrodispersados
es mayor en los elementos pesados que en los ligeros.
2) Igualmente se deduce que el electrn sufrir grandes desviaciones cuando pase muy cerca
del tomo (b), aunque la probabilidad de que ello ocurra sea pequea. Por el contrario cuado
pase lejos del tomo (b), la trayectoria apenas se vea alterada, pero con una seccin eficaz tan
grande que tiende asintticamente a infinito cuando e se acerca a cero. Esta singularidad tiene su
origen en el largo alcance del campo culombiano, que extiende su influencia a grandes distancias
del centro dispersor, y carece de sentido fsico real, por lo que independientemente de otras consideraciones, el modelo de Rutherford no puede ser vlido en el intervalo de ngulos pequeos.

3.3.2. Dispersin por el ncleo apantallado

El modelo de Rutherford slo tiene en cuenta la carga del ncleo, Ze, y no incluye la contri49

\
\

\
\

\
\
\
\
\

1\'

\
\

\
\

Fig. 3.2. Diagrama vectorial para la dispersin elstica; k y k ' son los vectores de onda del electrn antes y
despus de la interaccin. De consideraciones geomtricas elementales se deduce que q=2ksen(8/2).

bucin de los electrones atmicos. Una mejora evidente consistir en introducir en el potencial,
el efecto de la nube electrnica que rodea al ncleo. Resulta conveniente en esta caso enfocar el
proceso de dispersin de un electrn por un tomo a travs de la mecnica cuntica, poniendo de
manifiesto la naturaleza ondulatoria del electrn. Este tratamiento se justifica en que para las
condiciones de trabajo tpicas del MEB, el producto de la energa del electrn incidente por el
tiempo de interaccin es del orden de la constante de Plank, h y en estas condiciones la medicin
de las magnitudes fsicas pierde el sentido de la precisin que posee en mecnica clsica, a causa
del principio de incertidumbre. Para una energa de 20 ke V (que corresponde a una velocidad de
"" 10 ll cm SI ), el tiempo de interaccin con un tomo cuya dimensin tpica es de "" 10.8 cm, ser del
19
orden de 1O- s, de tal manera que el producto energa x tiempo es "" 1O.27 ergs, valor comparable al
de = h/21t.
En el marco de la aproximacin de Born, es fcil demostrar (3.2) que la seccin eficaz diferencial viene dada por la expresin

con

d cr e/dQ=(m/21t)2IV(p'-p)12

[3.10]

V(p'-p)= U(r)e- i (p'-p)rd 3r

[3 .11 ]

siendo U(r) el potencial de interaccin y p'-p, el vector cambio de momento del electrn. Como
entre el momento p y el vector de onda k existe la relacin p=k, se cumplir que:
p'-p=k'-k=(k'-k)
siendo k Y k' los vectores de onda del electrn antes y despus del choque. La energa cintica del
electrn incidente, que es por definicin E=p2/2m , adoptar la forma:
E= 2 k2/2m
En toda la interaccin elstica se debe conservar la energa cintica, por lo que se ha de cumplir que (Fig.3.2):
k=k' Y por tanto q=2ksen(8J2)

[3.12]

donde se ha introducido el vector q=k'-k que describe el cambio entre el vector de onda inicial y
final.
Ahora el problema consistir en la eleccin de una expresin para el potencial de interaccin
que incorpore de alguna forma realista el efecto de los electrones atmicos. La forma ms sencilla de hacerlo, obteniendo a la vez una expresin analtica de la seccin eficaz, es tomar como
potencial de interaccin (3.3):
50

10

10

dO'

04:

(j'Q

c:

10

QJ

'QJ

10

N
O

der.

dQ

.....

w 10
c:

d O'

de

'o
u

QJ

Ul

10- 1

10- 2
10- 5

10- 4

100
9

e (rad)
Fig.3.3. Secciones eficaces elstica (ecuaciones [3.14] y [3.20]) e in elstica (ecuaciones [3.33] y [3.34]), para un
haz de 25 ke V incidiendo sobre aluminio.

[3.13]
donde R es el radio de apantallamiento, cuyo valor se puede estimar (3.3) a partir del modelo
estadstico de Thomas-Fermi como:
R=a oZ- I / 3 siendo ao=4n:co 2/me 2=O.53A. el radio de Bohr
Desarrollando en serie la expresin [3.13] para rR(que clsicamente corresponde a parmetros de impacto pequeos, y por tanto a grandes ngulos de desviacin), se observa que el trmino exponencial vale aproximadamente la unidad , y:
U(r)=Ze 2/4n:c or, para rR
que coincide con el potencial del ncleo desnudo del modelo de Rutherford. Por el contrario,
para valores grandes de r, el potencial del ncleo se atena de forma exponencial, lo que hace
disminuir el alcance del potencial, corrigiendo as el modelo de Rutherford precisamente en la
zona en que presentaba fallos. Incorporando este potencial a la expresin [3.11], con los lmites
de integracin 9=O(q=O) y 9=n: (q=2k), y llevando el resultado a la ecuacin [3.10], se obtiene la
seccin eficaz diferencial:
[3.14]
donde se ha introducido el ngulo caracterstico de apantallamiento:
90=(kRrl=1.171O-1 Z1l31E 1I2 rad (si E se expresa en keV)

[3.15]

que resulta ser muy inferior a la unidad en las condiciones de trabajo tpicas en un MEB. Por
ejemplo 90=72mrad para un haz incidente de 25keV incidiendo sobre una muestra de cobre.
En la figura 3.3 se representa la ecuacin [3.14] para una muestra de Al sobre la que incide un
haz de 25 keV, pudindose observar que la dependencia angular de la seccin eficaz es diferente
segn sea 9 mayor o menor que 90 , adaptando las siguientes expresiones en cada caso:
51

il Para la regin de pequeos ngulos, donde 8 < 80, la ecuacin [3.14] tienen un valor prcticamente constante:
[3.16]
que se obtiene despreciando e frente a ea en la ecuacin [3.14] . Cuando 8 y 80 son comparables
no se puede despreciar ninguno de los dos , pero puesto que en esta regin 81 se puede aproximar el seno por el arco en [3.14], y entonces:

[3.17]
8y:

iil Para grandes ngulos, cuando 880 el ngulo caracterstico 8 0 se puede despreciar frente a

[3.18]
Comparando esta ltima expresin con la [3.8], correspondiente al modelo de Rutherford del
ncleo desnudo , se observa que para ngulos de dispersin mayores de 80 ambos conducen a
idnticos resultados. Por el contrario para ngulos prximos a cero la divergencia es muy acusada: en el modelo del ncleo apantallado desaparece la singularidad que exista en el de
Rutherford, dando lugar a una dependencia angular ms acorde con los resultados experimentales. Estas consideraciones indican que la dispersin con gran ngulo corresponde a una interaccin electrn-ncleo, mientras que las pequeas desviaciones son producto de la interaccin del
electrn incidente con la nube electrnica que rodea la ncleo. En esta regin angular la carga
del ncleo es apantallada por la nube electrnica que lo rodea.
A pesar de la evidente mejora obtenida en la distribucin angular para ngulos pequeos por
la introduccin del apantallamiento en el modelo de Rutherford , la seccin eficaz dada por [3.14]
predice los resultados experimentales nicamente en ciertos casos. Ello se debe a que en su
deduccin se ha hecho uso de distintas aproximaciones, siendo la ms importante la de Born, que
parte del supuesto de una interaccin electrn-tomo dbil , que matemticamente se expresa
como (3.2):
IUI 2k/ma=v/a con kal

[3.19]

siendo a el radio de accin del campo U. Se observa claramente que la desigualdad [3.19] slo se
cumplir, independientemente del valor de a, cuando la energa cintica del electrn incidente
sea suficientemente grande.
Por ejemplo, y con el fin de dar una idea de los rdenes de magnitud involucrados, suponiendo que U=Ze /41tEor, con a=r en la desigualdad [3.19] , se tiene que:
Z41tEohv/e 2
y as para
E",,100keV
E",,20keV

Z100
Z 45

Por tanto la aproximacin de Born slo ser correcta para el choque de electrones rpidos
con tomos ligeros. Fenomenolgicamente este criterio se debe a que el electrn incidente ha de
tener una energa mucho mayor que la de los electrones internos del tomo con el que colisiona,
y as un electrn incidente de unos pocos keV ser rpido respecto a cualquier nivel energtico
del He, y no lo ser respecto al nivel K del Ar. Por otro lado, el que la interaccin sea dbil lleva
implcito que los ngulos en los que peor se cumplir la ecuacin [3.14] sern precisamente los
que ms modifiquen la trayectoria del electrn, es decir los grandes ngulos de desviacin. Para
obviar estas restricciones es preciso acudir a modelos ms exactos, como el desarrollado por Mott
(3.4) basado en la ecuacin de Dirac. Aunque con ste no se obtienen una expresin analtica
para la seccin eficaz diferencial, s es posible comparar grficamente el modelo de Mott y el de
Rutherford, como se muestra en la figura 3.4 (3.5). En dicha figura se puede apreciar que este
ltimo presenta fallos en la regin de grandes ngulos, sobre todo a medida que las muestras son
ms pesadas y conforme disminuye la energa.
52

2.0

E IkeVI
E IkeVI
12

1 2

~4

-10
-100

1.0

5.0

120

180

e --Al

t
~

4.0

3.0
8
10

E IkeVI

2.0

20

2
:;!.6
"=10
20
1 0'50

~60
100

1.0

O
O

60

120

180

60

120

180

e ----

e ----

E IkeVI

5.0

5.0

10
Cu

E IkeVI

4.0

3.0

4
6
10

2.0

Au

4.0

20

3.0

40
60
80
100

2.0

10
8
6
4
2
1

f2. 30

;-50
100

1.0

1.0

O
O

60

120

180

60

120

180

e ---

e ---

Fig.3.4. Cociente entre la seccin eficaz de Mott y Rutherford, r, en funcin del ngulo de dispersin 8, para
distintos elementos y energas. Para 8 =0, el valor de r es nulo debido a la singularidad que presenta la seccin
eficaz de Rutherford (ecuacin [3.8J).

A pesar de estas limitaciones, el modelo del ncleo apantallado se utiliza ampliamente, puesto que permite dar una estimacin inmediata de secciones eficaces, para electrones rpidos y tomos ligeros. Grficamente dO'e/dQ y dO'e/d8 se suelen representar en funcin del ngulo de desviacin 8, del vector de onda q. La funcin dO'e/d8 se obtienen de la expresin [3.14] sustituyendo dQ=21tsen8d8:
[3.20]
Integrando la ecuacin [3.14] entre 8=0 y 8=B, se obtiene la probabilidad de que el electrn sea dispersado bajo un ngulo inferior a B:
O'e]B=f BdO'=( 41tZ2/a2k482) {4sen2(B/2)/[86+4sen2(B/2)]}
O

[3.21]

para B=1t se obtienen la seccin eficaz elstica total

[3.22]
donde O'~se expresa en m2 , si la energa se toma en keV.

53

dO e
de

15
dO e

2,5

d~

10

1,5
5
Ag

t.

e (grados)

0,5

345

e (grados)

Fig. 3.5. Seccin eficaz elstica del carbono cobre y plata para un haz de 25 keV, y de plata para un haz de
40 keV (lnea de puntos), en el modelo del ncleo apantallado: (a) segn la ecuacin [3.14}, y (b) segn la
ecuacin [3.20j.

Cuando 131, la ecuacin [3.21] se transforma en :

a ] 13,<1 =( 4n:Z 2/a2 k4e 2) [S2/e 2 + 13 2)]
e O
O
O
O

[3.23]

Si en la ecuacin [3.23] se sustituye S por eO se cumple que:

o
at=2a
e
e]eo

Por tanto el ngulo caracterstico e o coincide con el valor del ngulo mediano de la distribucin, es decir 8 med =8 0.
Por otro lado como la funcin da/d8 mide la probabilidad de que el electrn sea dispersado
en un intervalo angular com,frendido entre 8 y 8 + de, el ngulo de salida ms probable ser
aquel que anule la funcin (d a/de 2 ). Puesto que el ngulo mas probable e pr va a ser siempre muy
inferior a la unidad , en su clculo a partir de la ecuacin [3.20] se puede aproximar el seno por el
arco, dando como resultado:

8 pr=8d-V3=6.75 10- 2 ZII3 E- 1I2 rad (con E en keV)

Por ltimo el ngulo medio de salida 8 es por definicin:

-e=flt eda/flt da "" (fSo eda + flt 8da)/a~ "" 2.2980=0.27 Z 113E" 112
O o
O
So
donde la integral que figura en el numerador se ha dividido en los dos intervalos correspondientes a las ecuaciones [3.17] y [3.18] con el fin de obtener una solucin analtica aproximada. Estos
ngulos estn sealados en la figura 3.3, y dado que caracterizan la distribucin angular del proceso de dispersin , su conocimiento permite acceder de forma rpida y sencilla a la forma que
adopta la seccin eficaz para cualquier energa y nmero atmico.
En la figura 3.5 se representa tambin la distribucin angular calculada con la ecuacin [3.14]
en muestras de carbono, cobre y plata con un haz de 25keV, y tambin de 40keV para la plata
(esta ltima en lnea de puntos). Se puede observar que la seccin eficaz elstica crece con el
54

Fig. 3.6. Diagrama vectorial para la dispersin inelstica, k y k' son los vectores de onda del electrn incidente antes y despus de la interaccin. Para pequeos cambios de momento, tanto en direccin como en mdulo,
se tiene que q/""K'(92+8/ ).

nmero atmico y disminuye al crecer la energa, y que los electrones dispersados tienden a concentrarse en ngulos cada vez ms pequeos al disminuir el nmero atmico y aumentar la energa, a la vez que la distribucin angular se hace ms estrecha en torno a Sp'
En la regin de grandes ngulos el intervalo angular ms interesante es el correspondiente a q
~ 90, puesto que en este caso los electrones pueden abandonar la muestra contribuyendo a la
seal de electrones retrodispersados. El nmero de electrones retrodispersados por electrn incidente, tras una nica interaccin, es fcil de calcular sin ms que integrar la ecuacin [3 .18] la
[3.8] en el intervalo nl2:::::q:::::n, dando como resultado:
1t

a e] 1t

/2

1t12

da

= nT/a()<
?

2 4

[3.24]

Comparando esta expresin con la

dada por la ecuacin [3.22], se observa que la fraccin
relativa de estos electrones retrodispersados es justamente S~/4, y por tanto las condiciones que
favorecen la produccin de electrones retrodispersados seran aquellas en las que un haz poco
energtico incide sobre una muestra compuesta de tomos pesados.
Por ltimo, y tal y como se mencion al principio, todos estos clculos estn basados en la interaccin
como un tomo aislado. Cuando se trate de un slido cristalino la distribucin angular de los electrones
dispersados se ver drsticamente alterada por la difraccin de Bragg, y en la suma de los procesos individuales de dispersin se deber tener en cuenta la fase correspondiente, a travs del factor de estructura
de cristal, dando lugar a una situacin en la que existirn una serie de direcciones de salida privilegiadas.

3.4. Dispersin inelstica

3.4.1 Modelo atmico
Al igual que en la dispersin elstica, se comenzar considerando la interaccin de un electrn con un tomo. En este caso, el electrn incidente interaccionar con uno de los electrones
atmicos al que transferir una cierta cantidad energa, parte de la cual se emplear en romper la
ligadura que lo une al tomo, lo que implica que no se conservar la energa cintica, y el proceso
ser inelstico. Dependiendo de las magnitudes de las energas transferidas y del nivel ocupado
por el electrn atmico, este ltimo podr saltar a otro nivel ms externo incluso al vaCo dando
lugar a la ionizacin del tomo. De esta forma los procesos inelsticos dan cuenta de dos efectos
muy importantes en un MEB, como es la creacin de electrones secundarios y de rayos X (estos
ltimos en competencia con los electrones Auger, dependiendo del mecanismo de desexcitacin).
Al tratarse de un proceso inelstico los mdulos de los vectores de onda antes y despus del
choque, k y k', no sern iguales (ver fig.3.6), y la energa transferida, L'lE, vendr dada por:
[3.25]
55

Lgicamente la magnitud de esta energa ser variable, por lo que la dispersin inelstica vendr
dada por una seccin eficaz, d'o"/dL'1EdO, que depender de la energa tranferida y del ngulo de
salida. La dependencia de la seccin eficaz con la energa es muy complicada como lo muestra
cualquier espectro experimental, razn por la que en primera aproximacin el clculo se suele
limitar a la determinacin de la funcin da/dO para una prdida de energa fija L'1E. El problema
se elegir un valor de L'1E que sea representativo del proceso de prdidas que se desee estudiar
(prdidas por plasmones, ionizacin en niveles internos y externos, etc.). Dentro del modelo atmico, donde lgicamente queda excluido cualquier efecto colectivo, la hiptesis ms simplista
consiste en suponer que existe una nica prdida de energa, denominada energa transferida
media L'1E, que engloba a todos los posibles procesos inelsticos. Esta energa transferida media
L'1E esta relacionada con el potencial medio de ionizacin J por la expresin J=2L'1E, existiendo
numerosas ecuaciones empricas que dan de forma aproximada la dependencia de J con el nmero atmico Z. La expresin ms sencilla (3.6) consiste en suponer que J es proporcional a Z con
un factor de proporcionalidad igual al potencial de ionizacin de un tomo de hidrgeno supuesta infinita su masa nuclear y que se denomina energa de Rydberg:
] "" 13.5 Z

[3.26]

Esta frmula d unos valores de J aceptables, salvo para los gases nobles en los que el valor
de J dado por [3.26] es muy inferior al real debido a que tienen completa la ltima capa electrnica.
Resumiendo en el modelo simplificado que se va a seguir se supondr que el electrn incidente pierde una energa fijada por la expresin [3.26], y por lo tanto la seccin eficaz inelstica slo
depender del ngulo de desviacin .
De esta forma y procediendo de manera parecida a la seguida en la deduccin de la seccin
eficaz elstica por el ncleo apantallado (3.3), se obtiene la siguiente expresin:
[3.27]
donde el significado de los parmetros ao y R es el mismo que en el caso elstico. Como el proceso es inelsico k:;tk' y el cambio de vector de onda, que se llamar q para distinguirlo del caso
elstico, ser (ver figura nmero 3.6):
'
q=k'-k

crl

= k2 + k,2_ 2kk'cos8 = (k_k,)2 + 4kk'sen2(8/2)

[3.28]

Si nicamente se consideran aquellos procesos inelsticos en los que el valor de la prdida de

energa es pequea (k""k'), las expresiones [3.25] y [3.28] adoptarn la forma:
L'1E"" (h 2k/m)(k-k')

[3.29]

qI"" (k_k,)2 + 4k2sen 2(8/2)

[3.30]

Despejando (k-k') de [3.29], y sutituyndolo en [3.30], se obtiene:

[3.31 ]
siendo 8E=L'1E/2E=J/4E, el ngulo caracterstico correspondiente a la prdida media de energa L'1E
dada por la expresin [3.26]. Teniendo en cuenta las definiciones de cada ngulo caracterstico
resulta que:
[3.32]
pues la dependencia con el nmero atmico es muy pequea. Una importante conclusin que se
desprende de la expresin [3.32] es que 88o, ya que 80 es siempre muy inferior a la unidad.
Sustituyendo la ecuacin [3.31] y [3.15] en la [3.27] se tendr la seccin eficaz en funcin del
ngulo de desviacin:
[3.33]

56

En la figura nmero 3.3 se muestra la dependencia angular de la seccin eficaz inelstica para
un haz de 25 ke V que incide sobre una muestra de aluminio, pudindose observar que comienza
a disminuir para el ngulo del orden de 8E, mucho menor que en el caso elstico. Partiendo de la
expresin [3.33] se pueden obtener frmulas simplificadas, vlidas para cada una de las regiones
angulares:
il En la regin de pequos ngulos donde 8<80 se pueden despreciar 8 y 8E frente a 80 , y la
ecuacin [3.33] se escribe:
[3.34]
donde se puede apreciar que la seccin eficaz inelstica disminuye con el cuadrado del ngulo, a
diferencia de la elstica que permaneca prcticamente constante en este mismo intervalo angular. No obstante para ngulos prximos a cero la expresin [3.33] tiende a un valor:
[3.35]
que es muy superior al que se alcanzaba en el caso elstico (ver ecuacin [3.16]). La conclusin
que se desprende es que la dispersin inelstica est concentrada en ngulos menores que la elstica.
iil Para ngulos 808:::;1I el segundo trmino del corchete en [3.33] se puede despreciar frente a
la unidad , y lo mismo sucede con 8 frente a 8, y por tanto la seccin eficaz se puede escribir de
E
forma aproximada:

[3.36]
A continuacin se proceder a realizar un estudio ms pormenorizado de la seccin eficaz
inelstica diferenciando las regiones angulares mayores y menores de 80, comparando los resultados con los correspondientes al caso elstico.

Regin de grandes ngulos (8)>8 )

0

La primera cuestin a destacar es que para ngulos mayores de 8 la seccin eficaz inelstica
se expresa, salvo en un factor Z , de forma idntica al caso elstico. ~ste hecho admite una fcil
interpretacin, sin ms que comparar la expresin [3.35] con la del modelo de Rutherdford [3 .6],
que aplicada al choque elstico de dos electrones libres, uno de ellos inicialmente en reposo , en el
sistema de centro de masas C adopta la forma:
[3.37]
ya que la masa reducida .t=m/2. Sustituyendo E= 2 k2/2m resulta:
[3.38]
Cuando el nmero de electrones incialmente en reposo es superior a uno , la probabilidad de
interaccin dada por la ecuacin [3.38] aumentar lgicamente en un factor igual a dicho nmero. Llamando Z a este nmero, la ecuacin [3.38] se transformar en:
[3 .39]
E identificando IX con 8 se comprueba que las ecuaciones [3.36] y [3.39] son iguales, y por
tanto debern describir el mismo proceso fsico. Este resultado no es sorprendente, pues en la
deduccin de la ecuacin [3.36] a partir de la [3 .33] se ha despreciado el trmino en 8E=J/4E, que
es justamente el que confiere carcter inelstico a la interaccin. Efectivamente despreciar 8E equivale
a suponer que la energa media de ionizacin J"'O, que no se gasta energa en romper la ligadura del electrn al tomo (es decir los electrones atmicos se comportan como libres). Al no
haber prdida de energa cintica el proceso deja de ser inelstico, y resulta lgico que la dependencia sea la misma que en la interaccin elstica electrn-electrn del modelo clsico .
Por tanto la ecuacin [3.36] que d la probabilidad de interaccin electrn-electrn, an
57

estando incluida dentro del apartado correspondiente a los procesos inelsticos, posee todos los
atributos de una colisin elstica en las condiciones impuestas por las aproximaciones realizadas
en su deduccin.
En el caso de la interaccin de partculas iguales conviene utilizar el sistema de referencia del
laboratorio, L, ligado a la partcula inicialmente en reposo.
En este sistema la ecuacin [3.35] se escribe:
2 4

dGi/dQ = (Z/4ao k )cos8fsen 8 l , para

808]~n:/2

[3.40]

Siendo 8 1 = 8/2 el ngulo de desviacin del electrn incidente con respecto a su trayectoria
inicial. En el marco de la dispesin elstica de Rutherford entre dos partculas idnticas se cumple que ambas salen con trayectorias que forman 90 entre s. Adems, y puesto que ambas partculas son indistinguibles despus de la colisin, se suele denominar electrn incidente al ms
energtico de los dos. El electrn atmico adquiere una energa cintica W, y sale con un ngulo
82=90-8 1.
A veces puede resultar til expresar la seccin eficaz [3.40] en funcin de la energa tranferida
W. En mecnica clsica, las energas cinticas de las partculas despus de un choque elstico son:
W = Esen 28 l , para el electrn atmico
E-W = Ecos 2 8 l , para el electrn incidente

[3.41]

Teniendo en cuenta estas expresiones, y que

cos8] dQ=2n:cos8 sen8] d8] =( 1t1E)dW
la seccin eficaz [3.40] en funcin de la energa tranferida ser:
[3.42]
donde la condicin de aplicabilidad es la misma que la de la ecuacin [3.40], tranformndola de
acuerdo a las definiciones de 8u y 8E . Esta condicin dice que el choque se considera elstico
cuando la energa de ionizacin J es mucho menor que las otras dos energas involucradas W y E.
Ahora bien, para una cierta energa transferida W, sern los electrones externos con menor energa de ionizacin los que mejor se ajusten a las condiciones exigidas.
Tambin podra darse el caso de que la colisin se produzca con un electrn interno, pero con
una probabilidad extremadamene baja. Por lo tanto la seccin eficaz [3.42], o su equivalente [3.40],
se circunscribe bsicamente al proceso de interaccin entre el electrn incidente y otro situado en la
capa externa del tomo, al que comunica una energa cintica muy superior a su energa de ligadura.
Resulta interesante destacar algunas consideracines finales que se derivan de este mecanismo de interacin, como son:
i) Este proceso es una importante fuente de electrones secundarios bautizados a veces en la
literatura con el nombre de electrones secundarios rpidos, ya que los electrones atmicos pueden alcanzar energas muy superiores a la del pico de los electrones secundarios, situado a unos
pocos eVo
ii) El hecho de que ambos electrones salgan con trayectorias normales entre s, hace que las
colisiones de este tipo contribuyan de forma notable al ensanchamiento del haz dentro de la
muestra.
iii) Ninguno de los dos electrones ser retrodispersado, puesto que, al menos en una sola colisin, no pueden superar los 90 de desviacin respecto de la trayectoria inicial del electrn incidente.
iv) A grandes ngulos dominan las colisiones elsticas sobre las inelsticas. En efecto el
cociente de las expresiones [3.36] y [3.18] conduce a:
(dG/dQ) I (dGe/dQ)= l/Z, para 88 0
A la vista de esta relacin se deduce la importante consecuencia de que la dispersin elstica
domina a la inelstica para ngulos grandes, fenmeno que se acenta al aumentar el nmero Z.
Regin de ngulos pequeos
La ecuacin [3.32] que gobierna el comportamiento de la seccin eficaz para ngulos inferio58

50

20
10

a1t
a et

t
05

0.2
1

10

20

50

100

zFig. 3.7. Relacin entre la dispersin in elstica y la elstica para electrones incidentes de 80 ke V, en funcin
del nmero atmico Z (3.7). La lnea continua representa la relacin [3.47) con e = 20.

res a 80' tambin se puede escribir por unidad de ngulo de desviacin:

[3.43]
dando lugar a una funcin de tipo lorenciana con anchura angular 8E y con un corte abrupto a 8o,
siendo el ngulo de salida ms probable igual a 8E (ver Fig.3.3).
Cuando se estudi la interaccin elstica se vi que el nmero de electrones dispersados en el
intervalo 80~8<1t era el mismo que en el intervalo 0~8<80 (de ah que 80 sea el ngulo mediano) .
Por el contrario, al integrar las ecuaciones [3.34] y [3.36] se obtienen que en la interaccin inelstica la probabilidad de dispersin bajo ngulos de salida menores de 80 es del orden del 90%.
Este clculo indica que la dispersin inelstica est mayoritariamente concentrada en la regin de
ngulos pequeos, dominando a la elstica en esta regin . Por tanto, se puede considerar con
pequeo margen de error, que la seccin eficaz in elstica total ser el resultado de integrar la
ecuacin [3.41] entre 8=0, y 8=8o, e ignorar as la contribucin de las grandes desviaciones.
[3.44]
que teniendo en cuenta que 8~",,28E1, queda finalmente:
a~ "" (81tZ/a5k485) In (2/8E)

[3.45]

comparando esta expresin con la [3.32] , correspondiente a la seccin eficaz elstica total, resulta:
[3.46]
A efectos prcticos la ecuacin [3.46] se puede escribir:
at/a t""ClZ
i e

[3.47]

donde el coeficiente C, al variar lentamente con Z, se considera constante. La ley expresada por
la relacin [3.47] se corresponde bastante bien con los resultados experimentales, sobre todo para
energas altas, tal y como se muestra en la figura (3.7). En dicha figura se observa que af>aJ para
los elementos ligeros, invirtindose esta desigualdad para nmeros atmicos altos. A partir de la
relacin [3.47], y del hecho de que los electrones dispersados elsticamente sufren mayores desviaciones que los dispersados de forma inelstica, se puede deducir como vara la forma del volumen de interaccin en funcin del nmero atmico. Efectivamente en los elementos pesados los
procesos elsticos, que conllevan una mayor desviacin angular, sern ms probables que los inelsticos, lo que producir un mayor ensanchamiento lateral del volumen de interaccin con res-

59

pecto al caso de los elementos ligeros, prediccin que est de acuerdo en lneas generales, con las
observaciones experimentales.
Ionizacin de niveles internos
El inters del modelo expuesto radica en que de una forma sencilla es capaz de dar una idea
global del proceso de interaccin inelstica electrn-tomo.
No obstante como trata por igual a todos los electrones atmicos, ya que slo contempla un
nico valor de energa transferida, no puede dar cuenta de un efecto tan importante en un MEB
como es la produccin de rayos-X. Para dar cuenta de este fnomeno es preciso acudir a una teora ms exacta, conocida como teora de Bethe (3.8), que trata a los electrones atmicos de forma
individualizada. En esta teora, que tambin est basada en la aproximacin de Born, el electrn
incidente puede transferir una energa variable a los electrones atmicos dando lugar a distintas
transiciones, de manera que si el tomo queda ionizado en el nivel n, la energa cedida ser al
menos igual a la correspondiente en ese nivel.
Considerando nicamente transiciones de ionizacin con estado final en el contnuo, la
dependencia de la seccin eficaz ser tambin continua y se expresa en la regin de pequeos
ngulos:
[3.48]
donde LlE Y E son las energas transferida y del electrn incidente, respectivamente 8E=LlE/2E es
el ngulo caracterstico, e LO. es la intensidad de oscilador de la transicin entre los estados inicial y final, y mide la respuesta del tomo frente a una perturbacin exterior. En la intensidad de
oscilador est incluida la probabilidad de la transicin a travs del correspondiente elemento de
matriz. Para ngulos y prdidas -de energas no muy grandes (regin di polar) el valor de LO. es
casi constante.
Es preciso sealar que la expresin [3.48] conserva la dependencia lorenciana de la seccin
eficaz [3.34] del modelo elemental. Si se integra para todos los ngulos, y para una prdida de
energa igualo superior a la de un determinado nivel atmico n, se obtendr la probabilidad de
ionizacin para dicho nivel:
[3.49]

siendo:
En la energa del nivel n
zn el nmero de electrones en el nivel n
b n y cn son constantes caractersticas del nivel excitado.
La ecuacin [3.49] se suele expresar en funcin de la variable adimensional Un=E/E n :
an= [1te4J(41tEo)2] znbnln(cnUn) (l/UnE~)

[3 .50]

debido a que si se representa (a n Un E~) en funcin de (lnU n) se obtienen una recta:

[1te 4J(41tEo)2] zn] anUnE~ = bnlnU n + bnlnc n

[3.51 ]

que facilita la comparacin entre secciones eficaces de diferentes elementos.

Esta presentacin, denominada de Fano (3.9), permite tambin obtener los parmetros b n
y c n que mejor ajusten con los resultados experimentales, as como conocer el valor mnimo de
Un para el cual es vlida la ecuacin [3.51]. A este respecto Powell (3.10) ha realizado una
revisin crtica en la que compara tanto este modelo como otros, incluidos algunos de naturaleza emprica, con los resultados experimentales mostrando los intervalos de validez de los
mismos.
Lgicamente la emisin de rayos-X ser proporcional a la probabilidad de ionizacin, y la
expresin [3.49] ser la que se emplee en el mtodo ZAF, dentro del anlisis cuantitativo de
produccin de rayos-X. Por otro lado aunque los procesos inelsticos que dan lugar a la ionizacin en un nivel interno son mucho menos probables que los correspondientes a las capas
externas (la seccin eficaz es inversamente porporcional a la energa transferida), contribuyen
de forma significativa en el frenado del haz, por tratarse de procesos que conllevan una prdida de energa alta.

60

30

eV

z10

20

30

40

so

Fig. 3.8. Energa de ionizacin mnima (crculos huecos) y energa de plasmn experimental (crculos llenos)
en funcin del nmero atmico Z. Cuando Ep>Ei el modelo atmico sobreestima la seccin efica z inelstica
(ver texto). Las cruces representan la energa de plasmn calculada m ediante el modelo de electrones libres
desarrollado en el texto.

3.4.2. Prdidas inelsticas en un slido: Plasmones

Los resultados del modelo atmico para la dispersin inelstica por excitacin de electrones
individuales, podran aplicarse en principio al caso de un slido, sin ms que considerar que la
seccin eficaz inelstica del slido es la suma de las correspondientes secciones eficaces de los
tomos individuales. No obstante en ciertos materiales este principio de aditividad puede conducir a errores considerables, debido a que en ellos existe una alta probabilidad de que se efecten
ciertos procesos de excitacin inelstica, que por su carcter colectivo no pueden tener lugar en
un tomo individual. As en un slido, el gas de electrones de la banda externa pueden oscilar de
forma colectiva respecto a los ncleos. Para que dichas oscilaciones colectivas tengan lugar es
preciso aportar una cierta cantidad de energa al slido, que puede ser suministrada por el electrn incidente. A todos los efectos estas oscilaciones pueden ser consideradas como cuasipartculas, denominadas plasmones (3.11) , dotadas de una cierta energa cuantizada cuyo valor mnimo
es fcil de calcular, si se supone que el desplazamiento que sufren los electrones externos no se ve
afectado por el resto de la carga del tomo. En estas condiciones la energa para crear un plasmn viene dada por:
[3.52]
siendo Ne el nmero de electrones por unidad de volumen (en la banda de conduccin para un
metal, o en la de valencia si se trata de un semiconductor). De la ecuacin [3.52] se infiere que la
energa para crear un plasmn es caracterstica de cada material, con una magnitud que en cualquier caso no supera los 30 eVo
De esta manera el electrn incidente puede transferir parte de su energa al conjunto de slido para dar lugar a la formacin de unos o varios plamones.
Debido a que la energa transferida es pequea, la desviacin ser tambin pequea, y de
acuerdo con Ferrell (3.12) la seccin eficaz inelstica para la creacin de plasmones en el modelo
de electrones libres es:
[3.53]
Esta ecuacin es muy similar a a [3.43], que d la seccin eficaz para la interaccin electrnelectrn en la regin de pequeos ngulos. De la ecuacin [3.53] se deduce que la dependencia de
d<Jp /d8 con 8 es una lorenciana de anchura 8p, siendo el ngulo de salida ms probable igual tambien a 8p. Como en general E l'.E se cumplir que 8 p8E , y por tanto la desviacin sufrida por
el electrn incidente cuando irlieracciona con el gas de electrones del slido creando un plasmn

61

ser menor que la prevista por el modelo atmico para la interaccin electrn-electrn. No obstante en la mayora de los materiales, tal como queda reflejado en la figura 3.8, la energa de ionizacin de los electrones externos suele ser menor que la energa para crear un plasmn. En estos
casos el efecto neto que introduce el slido a travs de los plasmones, se r el de aumentar la
energa media de interaccin inelstica con los electrones externos lo que conduce a un aumento
de dE. El resultado final conduce a una disminucin de la seccin eficaz inelstica total (en la que
se incluye tanto la interaccin electrn-plasmn como electrn-electrn) . Este efecto ser tanto
ms notable cuanto mayor sea E p respecto a la energa de ionizacin de los electrones externos, o
lo que es lo mismo cuanto mayor sea 0p y menor sea Z, ya que en este caso aumenta el peso de
los electrones externos respecto al total y por tanto el efecto de los plasmones.
E n el modelo de plasmones aqu descrito se ha considerado que E =cte, y slo ser vlido
para ngulos 8""0, cuando el cambio de momento es prcticamente nulo. No obstante este modelo
se puede exteder a ngulos mayores, a partir de la relacin de dispersin que expresa la variacin
Ep con el cambio en el vector onda qp' En este caso el cambio en el vector onda en funcin del
ngulo sera:
[3.54]

Ahora bien, los experimentos sugieren que qP' no crece indefinidamente con 8, sino que existe
un valor lmite denominado qo a partir del cual no es posible la creacin de plasmones (salvo
cuando se consideran procesos ms complejos en los que tambin interviene la red) . La razn
fenomenolgica de dicho lmite, radica en que la longitud de onda ms corta de un plasmn (que
correspondera al vector de onda mximo qc) debe ser del orden de la separacin media entre los
electrones del mar de Fermi, y que aproximadamente viene dada por el inverso del vector de
onda en los electrones situados en el nivel de Fermi C8c""kp). Por tanto el mximo ngulo de desviacin qc ser:
[3.55]

Partiendo de la validez de esta aproximacin, la seccin eficaz para la creacin de plasmones,

vendr dada por la ecuacin [3.53], aadindole un corte abrupto para 8=8c- Tambin resulta
posible calcular la seccin eficaz inelstica total para la excitacin de plasmones sin ms que integrar la expresin [3.53] entre 8=0 y 8=8c[3.56]

Por ltimo, y para concluir este apartado, baste sealar que otra interaccin colectiva con
cierto inters en un MEB es la que se produce con las oscilaciones de la red fonones, y hace que
localmente se incremente la temperatura de la muestra, pudiendo dar lugar a problemas importantes cuando el material sea mal conductor del calor.
3.5. Dispersin mltiple

3.5.1. Frenado del electrn a lo largo de su trayectoria

Cuando un electrn incidente penetra en la muestra, va perdiendo progresivamente su energa debido a las sucesivas interacciones inelsticas que sufre en su camino. Este proceso de cesin
de energa ocurre de hecho de manera discreta, cedindose una determinada cantidad de energa
en cada interaccin inelstica del electrn con la muestra.
Puesto que la cantidad de energa transferida en cada interaccin W resulta, en la mayora de
los casos, muy inferior a la energa del electrn incidente antes de la interaccin E , el nmero de
interacciones preciso para frenarlo totalmente ser elevado. Ello nos permite disear modelos
aproximados del proceso de transferencia de energa, considerando que sta se produce de forma
continua a lo largo de todo el recorrido del electrn. Esta idea desarrollada por Bethe (3 .8) permite estimar el ritmo medio de prdida de energa de los electrones a lo largo de su trayectoria,
dE/ds, a partir de la seccin eficaz del modelo atmico.
dE/ds=-NcrW

62

[3 .57]

siendo N e l nmero de to mos por unidad d~ volumen, 0i=fdoi la seccin eficaz ine lstica total
para un tomo con un nmero atmico Z y W la pe rdida media d e e nerga e n cada interaccin,
que es por definicin:

W= W(doldW)dW/f (dOldW)dW= Wdo/doi

que sustituida en [3 .57] queda:
dE/ds=N fWdO i

[3.58]

Integrando esta ecuacin, se obtiene la llam ada expres in de Be th e:

[3.59]
sie ndo E la e nerga de l e lectrn e n un instante determin ado y J e l pote nci al medi o de io nizacin ,
y un a vez sustituido e l nme ro de atomos por unidad de volumen por su valor N=NAP/A (con NA
nmero de Avogadro , P la de nsidad y A e l peso atmico). Expresando P e n g/cm 3, A e n g/mol y
E Y J en ke V , la expresi n de Bethe queda:
dE/ds(ke V/cm) =-7.8104 (Zp/ AE)ln(1.166/J)

[3.60]

E l valor de J depende de la mu estra, existiendo dive rsas expresiones pa ra su es timaci n. La

ms corrientemente utilizada es la debida a Berger y Seltzer (3.13):

J( e V)=9.76Z+58.8Z-.l 9

[3.61]

E n general , se cumple que a los elementos de mayor densidad les corresponden valores de
dE/ds m s negativos, lo que significa que en e llos los e lectro nes se frenan m s rpid ame nte.
Si la muestra no est constituida por un ele me nto puro sino que es un material co mpu esto,
puede estimarse su velocidad de prdid a de energa mediante la expresin :
[3.62]
siendo ci las concentraciones en peso de los dife rentes e leme ntos presn etes en la mues tra y Ji sus
potenciales medios de ionizacin.
E n muchas ocasiones se prefie re considerar la prdida de e nerga por unidad de masa, magni tud que se denomin a capacid ad de frenado de la muestra respecto del e lectrn in cidente, que
se defin e como:
[3.63]
s=-( l/p )(dE/ds)=-2n:(e2/4n:co)2(N AZI AE) ln( 1. 166EIJ)
Como Z /A como E /J disminu yen al aumentar Z , la capacidad de frenado disminuye a l
aume ntar e l nmero atmico de la muestra .
La expresin de Be th e para dE /ds va creciendo, en va lor absoluto, al ir disminu yendo la energa de l e lectrn, lo que significa en la prctica que los electrones m s lentos tran sfieren ms rpidamente su energa a la mu estra.
Desgraciadamente, la f rmul a de Bethe no resulta v lid a pa ra electrones con e ne rga por
debajo de un cierto valor, funcin de l Z de la muestra, ya que dicha funcin prese nta un mximo
(en valo r abso luto) , decrecie ndo a continuacin rpidamente y hacindose positiva para E<0.86J,
lo qu e fsicamente carece de sentido. Este fenmeno e ra en cierta fo rma esperable , puesto que al
estar la frmula de Bethe basada e n la aproxim aci n de Born , s lo resulta v lid a para e lectrones
incidentes con e nergas a ltas. E n la figura nmero 3.9 se representa la variaci n de la capacid ad
de fre nado S para e l oro y e l a lumini o , de acuerdo co n la expresin de Bethe. Se aprecia en
dichas curvas e l mximo de la funcin y su fuerte descenso para en ergas baj as , lo que contradice
a la rea lidad fsica, ya qu e para e nergas decrecientes la capacidad de frenado va e n la realidad
crecie ndo progresivamente. La expresin de Bethe no resulta correcta por debajo de 1 Ke V en
alumini o ni por debajo de 10 KeV en el oro (3.14 , 3.15).
Con objeto de estima r la variacin de dE/ds para energas bajas, se han desarrolado algunos
mtodos, por ejemplo la expresi n emprica de Lave y col. (3 .1 6):

[3.64]
expresa ndo p, A, E Y J e n las msm as unid ades ya indicadas pa ra la frmul a de Bethe. E n la figu63

10 6 , - - - - - - - - - - - - - - - - -- - - - - - - - - - - - - - - - - -- - - - - - ,

keY

cm

Au (Bethe)
Al (Bethe)

10

+-------------.--------------.-------------4

10- 1

keY

Fig. 3.9. Variacin del poder de frenado con la energa del electrn, segn la ecuacin de Bethe [3.63J y de
Love [3.64}.

ra 3.9 se reproducen las curvas de variacin de la capacidad de frenado del Al y Au de acuerdo

con la frmula de Love, resaltndose las diferencias respecto del comportamiento predicho por
Bethe en energas pequeas, mientras que para valores elevados ambas expresiones coinciden.
Dado que la formula de Bethe anteriormente indicada nos muestra la variacin de la energa
del electrn a lo largo de su trayectoria, integrando la misma podramos estimar el recorrido que
tendrn en el interior de la muestra un haz de electrones que incide con una energa Eo En primera aproximacin resulta muy sencillo calcular dicho recorrido, si se supone constante el trmino
logartmico que aparece en la frmula de Bethe, que vara lentamente con la energa. Entonces,
partiendo de la ecuacin [3.63]:
-(lIp)( dE/ds)""-21t( e2/41tf.o)2(N AZ/ AE)B=c/E

[3.65]

siendo B el trmino logartmico y c una constante que recoge todos los parmetros que no varan
para un elemento con Z fijo. Integrando esta ecuacin entre la energa inicial Eo Y otra E<Eo que
alcanzar al cabo de un cierto recorrido s se obtiene:

que teniendo en cuenta que E= my2/2, y llamando cT =2cp, la velocidad al cabo del recorrido s
ser:
[3.66]
A partir de esta frmula, conocida como ley de Thomson-Whiddington, resulta inmediato
estimar el recorrido mximo r, para v=O:
[3.67]
Este clculo elemental sirve de base para calcular el coeficiente de electrones retrodispersados en el modelo de Everhart.
No obstante, si no se supone constante el trmino logartmico se obtendr por integracin de
la ecuacin [3.63] el denominado recorrido de Bethe:
RB=CAl21te4NAZP)j: [E/ln(1.166/J)dE

[3.68]

expresin que no resulta integrable analticamente y que presenta una singularidad para E =O.86J.
Everhart y Hoff (3.17) integran numricamente la expresin pR B en funcin de ~= 1.166E/J,
de manera que:
64

105 - - - - - , - - - - - - . - - - - - - - ,

,pRB
K

10

Fig. 3.10. Variacin de pR K en funcin de ~ de

acuerdo con Everhart y Hoff (3. 17).

fO(~/ln~)d~

pRB=K

[3.69]

con K=PA/L166 2 2n:e4 N A Z=9.4lO,12PA/Z(gr/cm2 )

[3.70]

si expresamos J en e V y A en gr/mo!.
Para esquivar la singularidad en E=0,86J, dichos autores hacen la aproximacin:
pRB/K=

f ~O(~/ln~)d~ f ~(~/ln~)d~ f ~IO(~/ln~)d~ f ~l (~m-l ~m/ln~)d~

+

'"

[3 .71 ]

con ~l=5 Y m=0.3787. En la figura 3.10 se representa el valor de pRB/K en funcin de ~ (3.17).
Para valores de x entre 10 y 100, la curva de pRB(x), puede aproximarse por la expresin:

[3.72]
Por otro lado, si integramos la expresin emprica de Love ya comentada, se obtiene un valor
del recorrido electrnico medio:
[3.73]
expresando J Y E en keV. Esta expresin proporciona valores parecidos a los que se deducen del
grfico de la figura 3.10.

3.5.2. Forma y tamao del volumen de interaccin

Conforme los electrones del haz incidente van penetrado en la muestra, sufren sucesivas interacciones elsticas e inelsticas que dan lugar a su progresiva desaceleracin y dispersin, generando diversos procesos de resultas de los cuales una serie de seales van a emerger al exterior,
convirtindose en la fuente de informacin que nos permitir el estudio de la muestra.

65

Fig. 3.11. Perfiles de disipacin de energa en

polimetilmetacrilato bajo la accin de un haz de
20 keV con una intensidad de 2 x 10-10A (3.19).

La resolucin de la informacin obtenible depender (en mayor o menor medida segn sea el
tipo de seal considerado) de la forma y tamao de la regin de la muestra afectada por el haz
incidente, por lo que la delimitacin de dicha zona resulta muy interesante.
La visualizacin experimental del volumen de interaccin es difcil, aunque se ha conseguido
en algunos casos particulares como en el trabajo realizado por Everhart y col. (3.18) sobre una
muestra de polimetilmetacrilato mediante tcnicas de ataque qumico. En la figura 3.11 se muestran los perfiles de disipacin de energa de los electrones incidentes en el interior del material
citado, pudindose apreciar que el volumen de la interaccin en un material ligero tiene forma de
pera y un tamao de varias).1m bajo la accin de un haz electrnico de 20 keV.
Esta forma de pera de la zona de interaccin haz-muestra se desarrolla en materiales de bajo
nmero atmico. Como ya se ha comentado, la probabilidad de que los electrones que entran en
la muestra sufran interacciones elsticas (principales responsables de la dispersin angular del
haz) es proporcional a Z y varia inversamente con la energa del electrn. En los materiales con
bajo Z sometidos a la accin de un haz de energa elevada, la probabilidad de que los electrones
incidentes sufran interacciones elsticas en su recorrido inicial por el interior de la muestra resulta pequea, por lo que en las proximidades de la superficie el haz no se dispersa. Slamente cuando los electrones han recorrido una cierta distancia por el interior de la muestra, y por tanto han
cedido una significativa proporcin de su energa mediante interacciones inelsticas, aumenta la
probabilidad de sufrir colisiones elsticas, y se produce la progresiva dispersin y ensanchamiento
del haz y por tanto de la zona de interaccin. Este comportamiento es el que origina la forma de
pera ya mencionada.
Al ir aumentando el Z de la muestra, va desapareciendo esa forma de pera, porque aumenta
notablemente la posibilidad de colisiones elsticas, incluso en el recorrido inicial de los electrones, por lo que la dispersin angular del haz comienza apenas penetrado ste en el material.
Por otro lado, la profundidad que alcanzan los electrones incidentes dentro de la muestra va
disminuyendo en general al aumentar el nmero atmico, ya que tanto las interacciones elsticas
como inelsticas resultan ms probables cuanto mayor es el Z del material, tal y como predijo al
comentar la ecuacin [3.47].

3.5.3. Simulacin del comportamiento del haz

De cara a la estimacin de diversos parmetros tpicos de la interaccin entre el haz incidente
y la muestra (coeficientes de amisin de electrones secundarios y retrodispersados, tamao y
forma de la zona excitada, emisin de rayos X, distribucin de la energa disipada,etc) se han
desarrollado tcnicas de simulacin por ordenador del recorrido de los electrones por el interior
del material. Dado que para la determinacin de la secuencia de interacciones sucesivas del electrn se utiliza la generacin de nmeros aleatorios, estas tcnicas reciben el nombre de mtodos
de Monte-Carlo (3.14-3.16,3.21-3.23).
Para la simulacin de una trayectoria se supone que el electrn sufre a lo largo de un recorrido sucesivas interacciones, tanto elsticas como inelsticas, que dan lugar a una trayectoria quebrada cuyos tramos tienen un tamao del orden del recorrido libre medio correspondiente a los
diferentes tipos de interaccin. En cada colisin, se calcula el ngulo de desviacin de la trayectoria en funcin del tipo de interaccin supuesta y de la energa del electrn en ese instante.
66

a) 20 keV

b)10keV

e) 5 keV
Fig. 3.12. Variacin de la penetracin del haz en funcin de su energa, para una muestra de aluminio.

La prdida de energa del electrn por interacciones inelsticas se simula generalmente considerando una disminucin continua de la misma a lo largo de la trayectoria, de acuerdo con expresiones como la de Bethe, aunque en algunos casos se han considerado los diversos procesos inelsticos discretos, tal y como hacen R. Shimizu y col (3.23).
Para obtener valores con significacin estadstica, que puedan ser considerados como estimaciones fiables de la variable en estudio, se precisa la simulacin de una gran cantidad de trayectorias electrnicas, tpicamente entre 103 y 104 .
La figura 3.12 recoge un conjunto de trayectorias simuladas, obtenidas con un programa de
ordenador desarrollado por Humprey (3.24), suponiendo una incidencia normal del haz sobre la
muestra de aluminio para distintos voltajes de excitacin. Queda en ella claramente de manifiesto la
gran influencia de la energa del haz incidente sobre la profundidad de penetracin en la muestra.

67

a) Al

b) Fe

e) Ag
Fig.3.13. Influencia del nmero atmico en la penetracin del haz en la muestra.

Para visualizar la relacin entre el nmero atmico y el tamao de la zona excitada, se representan en la figura 3.13 los comportamientos del haz en muestras de Al, Fe y Ag para incidencia
normal de un haz de 20 ke V. Puede apreciarse claramente cmo al aumentar Z disminuye la
regin afectada.

68

(a)

"".

"" ...

.. "' ........ ,...........""

(b)
Fig. 3.14. Influencia que ejerce el ngulo de incidencia formado entre el haz y la superficie de la muestra,
sobre el recorrido electrnico en el caso del cobre bajo la accin de un haz de 25 keV; a) Incidencia normal, b)
incidencia de 70
0

Por ltimo, la figura 14 permite esquematizar la influencia de la inclinacin del haz sobre las
trayectorias electrnicas. Una incidencia oblcua hace que el recorrido de los electrones se realice
mayoritariamente a menor profundidad que en el caso de incidencia normal, lo que hace que las
seales emitidas por la muestra contengan una informacin ms representativa de la zona superficial de la misma.

3.5.4. La penetracin del haz en la muestra

Entendemos por penetracin mxima R mx la mayor distancia desde la superficie de la muestra que pueda alcanzar un electrn incidente. Este valor depender lgicamente de la composicin de la muestra y de la energa del haz.
La determinacin experimental de R mx se realiza mediante mediciones en muestras constituidas por lminas delgadas. Si la lmina tiene un espesor muy pequeo, una parte de los electrones
incidentes conseguirn atravesarla, emergiendo por la otra cara. Al aumentar el espesor, ir disminuyendo la cantidad de electrones que la atraviesan (electrones transmitidos), de manera que, a

69

Rmax .
espesor

al

bl

Fig.3.15. Variacin del coeficiente de transmisin a) en funcin del espesor para una EO dada y b) con la
energa del haz para un mismo espesor.

partir de un determinado espesor, ya no le es posible a ningn electrn pasar a traves de ella. Dicho
espesor corresponder en consecuencia al valor de Rmx' La figura 3.15a nos presenta la variacin
del coeficiente de transmisin T (definido como la relacin entre la intensidad de electrones transmitidos y la incidente) en funcin del espesor de la lmina, para una determinada energa de excitacin, sealndose el valor correspondiente a R mx para esa energa y tipo de material.
Experimentalmente resulta difcil la determinacin exacta de R mx ' por lo que en muchas
ocasiones se prefiere definir una penetracin prctica RE, obtenida por extrapolacin de la zona
lineal de la curva T(x), que nos d una idea del espesor de la muestra por debajo del cual slo llegan unos pocos electrones.
Una forma alternativa de obtener valores de la profundidad de penetracin consiste en determinar el coeficiente de transmisin de una lmina con un espesor determinado en funcin de la
energa del haz incidente. La funcin T(E o) que se obtiene en este caso viene representada
esquemticamente en la figura 15b. El valor E mn para el que la transmisin se anula corresponder a la energa de haz incidente a la que corresponde un R mx igual al espesor de la lmina utilizada en el ensayo. Extrapolando la zona aproximadamente lineal de T(Eo) obtenemos un valor
Ec respecto del cual el espesor de la lmina puede considerarse como un valor prctico Rx de la
penetracin del haz en el material considerado, para una energa Ec del haz incidente. Los valores de RE y Rx obtenidos experimentalmente no son en general coincidentes.
Diversos investigadores han comprobado que el valor de la penetracin prctica Rx puede
estimarse con aceptable precisin utilizando una expresin del tipo Rx=KEoa/p, siendo K y a
constantes empricas, Eo la energa del haz incidente y p la densidad del material. Reimer (3.25)
recopila una serie de expresiones de este tipo, aportadas por diferentes autores, en la que se
observa que el exponente a vara entre 1.34 y 1.67. Una exp,resin que se ajusta bastante a la
mayora de las frmulas recogidas por Reimer es R =0,l E 4/p, que puede utilizarse para estimar Rx en ..m si ponemos Eo en keV y p en gr/cm1 para el caso de incidencia normal del haz
sobre la muestra. Si la incidencia es oblicua la penetracin disminuye.
Una expresin de este tipo implica que la composicin de la muestra influye bsicamente en
Rx a travs de la densidad, de manera que el valor pR x resulta independiente en primera aproximacin del material examinado. Ello parece verse confirmado con mediciones experimentales, en
las que se comprueba la escasa influencia de Z sobre pR x .
Por otro lado, Kanaya y Okayama (3.26) desarrollaron una expresin para la penetracin del haz:
R=[0.0276AEs3/pZ8/9][(1 + 0.978 1O-3 Eo)S/3/(l + 1.957 1O-3 Eo )4/3]

[3.74]

que parece ser una buena estimacin de R mx en ..m, si ponemos Eo Y P en las mismas unidades
indicadas anteriormente para la determinacin de Rx.
70

El disponer de un valor, al menos aproximado, de la penetracin del haz en la muestra resulta

muy interesante de cara a conocer la profundidad de la que emergen las seales de la muestra, y
por tanto para tener una idea de la influencia del sustrato subsuperficial sobre la informacin que
se obtiene en el microscopio electrnico de barrido.

Referencias
(3.1)
(3.2)
(3.3)
(3.4)
(3.5)
(3.6)
(3.7)
(3 .8)
(3.9)
(3.10)
(3.11)
(3.12)
(3 .13)
(3.14)
(3.15)
(3.16)
(3.17)
(3.18)
(3.19)
(3.20)
(3.21)
(3.22)
(3.23)
(3.24)

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