3 Chap3 PH-415 PDF

CHAPITRE 3
Capteurs de position et de
dplacement
194
Plan du chapitre 3
3.1 Notions gnrales

3.2 Capteurs potentiomtriques
3.3 Capteurs inductifs
3.4 Capteurs capacitifs
3.5 Codeurs optiques
3.6 Capteurs triangulation
3.7 Capteurs optiques
3.8 Capteurs propagation dondes
3.9 Capteurs effet Hall
3.10 Capteurs inertiels : acclromtre et gyroscopes
Pierre Lematre-Auger, Grenoble INP-Esisar
195
3.1 Notions gnrales

La position ou le dplacement dun objet est une donne souvent
indispensable dans bon nombre de situations industriels :
- robotique (automatisation de systmes)
- contrle de dimensions
- machinerie-outils
- mesures dautres grandeurs physiques, ...
Ce type de capteurs se divise en 2 catgories :
- absolus (capteurs de position)
Rfrence
L
2
- relatifs (capteurs de dplacement)
L
196
3.2 Capteurs potentiomtriques (1)

3.2.1 Principe
On sait que la rsistance lectrique dun matriau est directement
proportionnelle la longueur de celui-ci. On peut donc exploiter
ceci pour en faire un capteur de dplacement.
Cest le capteur potentiomtrique.
Lobjet est fix un curseur mobile :
Curseur mobile
Vs
R0
R(x)
V = Vs
V
x
D
o : - x : position du curseur
- D : longueur totale de la
rsistance
197

3.2.2 Potentiomtre bobin
Le premier type de potentiomtre est constitu dun long fil
conducteur enroul autour dun support. Des curseurs mobiles
se dplacent contre cet enroulement et assurent un contact
lectrique avec ceux-ci.
Rsolution : Dans ce cas de figure, la variation de R nest pas
une fonction linaire de x
Position 1 Position 2
Curseur
R(x)
x
x
x : plus petite variation de x dtectable

(Valeur typique : 10 m)
198

3.2.3 Potentiomtre piste conductrice
Une autre ralisation de ce capteur est faite avec une piste
rsistive en parallle avec une piste conductrice :
3
Piste conductrice
R est ngligeable
2
Piste rsistive
R est important
1
2
1 3
199

3.2.4 Forme circulaire et caractristiques
Les potentiomtres existent bien videmment sous une
forme circulaire :
On mesure dans ce
cas au lieu de x
ou
1 3
2
1 3
2
Principe trs simple

cot faible modr
Amplitude du signal lectrique peut tre importante
Friction
erreurs de finesse, usure (modification des performances)
Nombre maximal de manuvre : ~106
Sensible lenvironnement : poussires, humidit, ...
200

3.2.5 Potentiomtre sans contact
Pour rduire les problmes de friction et dusure, il existe des
potentiomtres sans contact !
Piste conductrice
R est ngligeable
La rsistance dun matriau
photoconducteur varie en
fonction de lclairement :
R si lumire
Bande photoconductrice
R trs grand sans lumire
R faible en prsence de lumire
: source de
lumire
Piste rsistive
R est important
2
1 3
201
3.3 Capteurs inductifs (1)

3.3.1 Principe physique (I)
Regardons linductance lectrique suivante :
Dplacement de lobjet
Entrefer
air
Matriau
ferromagntique
Lignes de champ
magntique
On montre que :
L=
N2
Rm
o :
Rm =
N : Nombre de tours du conducteur

: Longueur parcourue par une ligne de flux
Grenoble INP-Esisar
: Permabilit magntique Pierre Lematre-Auger,
S : Section
du circuit magntique
202

3.3.1 Principe physique (II)
Dans le cas prcdent, on trouve :
1 fer air
R=
+
0 ferS S
L = 0N S
2
air +
1
fer
fer
fer : Longueur moyenne du flux dans le fer

air : Longueur moyenne du flux dans lair
0 : permabilit magntique du vide
fer : permabilit relative du matriau ferromagntique (~103 104)
Cette dernire fonction dpend de lentrefer, on peut donc en
dduire le dplacement dun objet physiquement reli la partie
mobile du noyau ferromagntique !
203

3.3.2 Capteur entrefer variable (I)
Mise en oeuvre :
On dsire mesurer la variation de air. On fait alors en sorte que :
air >>
fer
0 N 2S
fer
air
Si, autour dune position moyenne 0, la partie mobile de linductance

se dplace de x, alors linductance se modifie de :
L + L =
0 N 2S
0
1
1 + 2 x 0
( air = 0 + 2x)
En dveloppant en srie, on trouve :
L =
2 0 N 2S
20
2 x
2
x
+...
x 1
+
0
0
204

3.3.2 Capteur entrefer variable (II)
On remarque que si x est petit, la relation prcdente est

quasiment linaire :
Ltendue de mesure dun tel systme est de lordre du mm
La prcision peut tre de lordre du m
Montage de type push-pull :

La rponse est :
L
L
1
4 0 N S
2 x
1
+
+
L2 L1 =
x
...
20
0
Avantages :
- Sensibilit est double
- Non-linarit est rduite au 3ime ordre
205

3.3.3 Capteur noyau plongeur (I)
Une autre configuration possible dun capteur dplacement
inductif est :
D
Matriau ferromagntique
Bobines
La modle lectrique de ce capteur est le suivant :

(noyau : air)
D-
(noyau : ferromagntique)
Linductance globale de ce capteur est donne par :
L Pierre
= LLematre-Auger,
2M
air + LGrenoble
fer +INP-Esisar
206

3.3.3 Capteur noyau plongeur (II)
o :
L fer = B (D )
Lair = A
constantes
constante
M = k Lair L fer
(M : linduction mutuelle entre Lair et Lfer)

On trouve donc la relation suivante entre L et :
L = (A B) + B D + 2k AB D 2
Cette relation nest pas linaire sauf si on ne sintresse qu des petits

dplacements autour dune position 0.
On utilise cette seconde configuration comme la premire, avec une
tendue de mesure et une
comparables.
Pierre prcision
Lematre-Auger, Grenoble
INP-Esisar
207

3.3.3 Capteur noyau plongeur (III)
Montage de type push-pull :
L1
L2
La sensibilit est encore une fois double

La non-linarit est galement diminue
Remarque : Il existe un couplage entre L1 et L2 que lon peut grandement

diminuer par un design appropri.
208
3.4 Capteurs capacitifs (1)

3.4.1 Principe physique
La capacit dun condensateur plan est donne par :
C = 0 r
0 : permittivit du vide,
Surface
Distance entre les armatures
r permittivit relative du dilectrique
Celle dun condensateur cylindrique par :
C = 2 r 0
r
ln 1 r
2
longueur du cylindre
rayon de larmature extrieure
rayon de larmature intrieure
Les capacits dpendent des dimensions gomtriques

Candidats potentiels pour capteurs de position/dplacement
209

3.4.2 Capacits surface variable (I)
On peut jouer sur la surface dune capacit :
Montage simple
Armature suprieure
0< < /2
r2
C = air 0
2d
Armature infrieure
r2
C1 = air 0
= C0
2d
r2
( max ) = C0 ( max )
C 2 = air 0
2d
Montage push-pull
max
0< < /2

Z1
C2
=
= 1
Z +Z
C + C 2 max
Pierre Lematre-Auger,1Grenoble2 INP-Esisar1
Rponse dun diviseur de

tension est linaire :
210

3.4.2 Capacits surface variable (II)
Pour des dplacements linaires :
Montage simple
C = 2 air 0
ln( r1 r2 )
Montage push-pull
C1 = 2 air 0
C 2 = 2 air 0
L+
ln( r1 r2 )
L
ln( r1 r2 )
Z1
C2
1
=
= 1 +
Z1 + Z 2 C1 + C 2 2 L
211

3.4.3 Capacits cartement variable
On peut galement jouer sur la distance entre les 2 armatures
dun condensateur plan :
D
x
D
S
1
= C0
Dx
1 x D
S
1
= C0
C2 = air 0
D+x
1+ x D
C1 = air 0
Ltendue de mesure : ~ mm
Montage potentiomtrique :
Z1
Z1 + Z2
C2
C1 + C 2
Prcision : ~ m
1
x
1
2
D
212
3.5 Codeurs optiques (1)

3.5.1 Principe
Les codeurs optiques mesurent un dplacement
angulaire (i.e. une rotation) ou une position
angulaire dfinie.
Disque cod
Photodiodes
Signaux numriques
Position relative
Position absolue
Sources lumineusesPierre Lematre-Auger, Grenoble INP-Esisar
Mouvement linaire
OBJET
Mouvement de rotation
Poulie
Codeur optique
213

3.5.2 Codeur incrmental (I)
V
Signaux obtenus
(sont en quadrature)
A:
A avance
B de 90
B:
Temps
V
A:
B avance
A de 90
B:
Temps
214

3.5.2 Codeur incrmental (II)
Codeur incrmental :
On peut donc connatre la dplacement de lobjet en comptant
le nombre dimpulsions du signal A.
On compare le signal A avec le signal B pour connatre le sens
du dplacement.
Selon lexemple prcdent :
Lors dune transition de A (0 1) :
-B=0
sens anti-trigo
-B=1
sens trigo
Exemple de disque
215

3.5.3 Codeur absolu (I)
On peut galement mesurer la position absolue avec ce type de
capteur. On utilise plusieurs couples source-dtecteur, chacun
donnant linformation dun bit du signal total.
15
14
13
12
11
4
10
5
6
9
8
Valeur
dcimale
0
1
2
...
9
...
15
7
0
0
0
0
0
0
0
0
1
0
1
0
...
1
0
...
216

3.5.3 Codeur absolu (II)
En pratique, on retrouvera un codage de type Gray plutt que le
codage binaire classique.
Code Gray :
Exemple de disque (code Gray)
1 seul bit change dtat par

changement de position
217
3.6 Capteurs triangulation (1)

3.6.1 Principe (I)
Une autre technique de mesure de dplacement est base sur le
principe de la triangulation.
On utilise pour cela une source optique infra-rouge (0,8 m) et
un dtecteur optique linaire disposs comme suit :
Dtecteur optique
linaire
d = f(x)
LED
d
218

3.6.1 Principe (II)
f
x
LED
Thals :
d=
f
x
La question qui demeure est : Comment dterminer x ?.

x
f
219

3.6.2 Utilisation - Caractristiques
Utilisations de ce type de dtecteur :
- Fonction auto-focus des appareils photo et des camras
- Mesure prcise de dplacement,
- Mesure de la hauteur dun objet,
- Mesure de l'excentricit dun objet circulaire en rotation,
- Dtection de prsence dun objet, ...
Idal pour la mesure de petits dplacement (0,1 m) avec une bonne

prcision une distance dune dizaine de cm.
Capteur linaire
1D
Capteur linaire
2D
220

Culture personnelle
3.6.2 Dtecteur optique linaire (I)

Le faisceau optique va crer des paires lectrons-trous dans
un semi-conducteur :
D
iA
B
Si p
VA
R0
VA = i A R 0
iB
lectrons et trous
Si n+
Si trs rsistif
R0 est petit
R0
VB
VB = i B R 0
221

Culture personnelle
3.6.2 Dtecteur optique linaire (II)

Schma lectrique quivalent :
A
iA
Rsistance du silicium
dop p
B
D
iB
Photodiode
I0
RSi
Rsistance du silicium non dop

222

Culture personnelle
3.6.2 Dtecteur optique linaire (III)

En ce qui concerne les trous produits par le flux lumineux, ils vont
se scinder en 2 parties selon le principe dun diviseur de courant :
iA = i0
RD Rx
RD
i B = i0
Rx
RD
o : - i0 est le courant total produit par le flux lumineux

- RD est la rsistance lectrique du Si-p entre les points A et B
- RD est la rsistance lectrique du Si-p entre le point dimpact
du flux lumineux et llectrode A
Comme on a que RD D et Rx x, alors :
iA = i0
Dx
D
i B = i0
x
D
223

Culture personnelle
3.6.2 Dtecteur optique linaire (IV)

En ce qui concerne les trous produits par le flux lumineux, ils vont
se scinder en 2 parties selon le principe dun diviseur de tension :
iA
iB
Dx
x
D
x
x=
D
+1
On trouve donc la relation voulue en fonction des paramtres du

capteur et de la mesure du rapport de 2 courants :
d=
f
D
( + 1)
Notons que cette mesure ne dpend presque pas de lintensit lumineuse reue !
224
3.7 Capteurs optiques (1)

3.7.1 Capteur optique interfromtrique (I)
Schma de principe :
Miroir fixe
Lref
Miroir mobile
Lame semi-rflchissante
LASER
Lx
Dtecteur optique
Lintensit optique mesure par le dtecteur sera donc :
I = I ref
+ I x + 2 I ref I x cos
2(L x L ref )
0INP-Esisar
Pierre Lematre-Auger, Grenoble
225

3.7.1 Capteur optique interfromtrique (II)
Principe (suite) :
Signal
lectrique
Il est par contre impossible de dterminer Lx :
L1
L2
L3
L1 L2 L3 ...
??
Lx
Ce type de capteur ne peut vous donner une information que sur un

dplacement de lobjet par rapport une rfrence inconnue.
Par rapport une position initiale L0, ce capteur vous donne une
information sur la quantit L :
L x = L0 + L
226

3.7.1 Capteur optique interfromtrique (III)
Principe (suite) :
I = I ref + I x + 2 I ref I x cos (L 0 + L L ref )

0
L + 0
I = I ref + I x + 2 I ref I x cos
0
L > 0
Conduit
L < 0
L0
Signal
lectrique
Avec la mesure dun seul signal, il est impossible de connatre le sens du

dplacement :
L0
Temps
227

3.7.1 Capteur optique interfromtrique (IV)
Principe (suite) :
Il faut ncessairement la prsence dun second signal en quadrature
avec le premier (dcal de 90) : comme dans le cas du codeur optique :
Pour mieux comprendre, regardons le cas o 0 = 0 :
=
I1 I ref
( L )
+
I 2 I ref + I x + 2 I ref I x cos
L
( )
2
0
4
=
I 2 I ref + I x 2 I ref I x sin
( L )
0
( L )
L
I2 =
I ref + I x 2 I ref I x sin
I1 = I ref
Information sur le signe de L

228

3.7.1 Capteur optique interfromtrique (V)
Ralisations concrtes :
On peut raliser ce type de capteur en optique de volume ou
en optique intgre (guides dondes fabriqus sur un seul et
mme substrat.)
Schma de principe en optique intgre :
M Ref1
Entre
M Ref2
229

3.7.1 Capteur optique interfromtrique (VI)
Principe (suite) :
Exemple de signaux obtenus lors dun changement de
direction de lobjet :
L > 0 lorsque le signal A prcde le signal B
L < 0 dans le cas contraire
Rsolution :
< 50 nm
Distance de mesure :
14m
230

3.7.2 Capteur de dplacement fibre optique (I)
Principe :
Source lumineuse
Ensemble de fibres
Dtecteur
Fibres mettrices
Fibres rceptrices
231

3.7.2 Capteur de dplacement fibre optique (II)
Caractristiques :
La rponse de ce type de capteur dpend de la rflectivit de
lobjet. En fonction de lobjet, on calibre lappareil en ajustant la
tension de sortie du maximum optique la tension nominale
donne par le fabriquant.
On travaille en mesurant de petits dplacement autour dune
position centrale dans le domaine prs ou lointain.
PRES
Sensibilit : 0,01 0,05 m/mV
Distance de travail : 30 m 120 m
Etendue : 20 m 80 m
LOINTAIN
Sensibilit : 0,12 3 m/mV
Distance de travail : 360 m 4,2 mm
Etendue : 200 m 5 mm Pierre Lematre-Auger, Grenoble INP-Esisar
232

3.7.2 Capteur de dplacement fibre optique (III)
Exemples de sondes :
233
3.8 Capteurs propagation dondes (1)

3.8.1 Principe physique
Une autre mthode pour la mesure de distance consiste mesurer
le temps de vol dune onde entre un metteur et un dtecteur.
Configuration aller simple :
Emetteur
Objet
Rcepteur
= v onde t
Configuration aller-retour :
Emetteur
Objet
Rcepteur
1
v onde t
2
234

3.8.2 Stratgie de mesure du temps de vol (I)
Grands dplacements :
HORLOGE
COMPTEUR
Dbut
Fin
(N x)
N impulsions
DETECTEUR
GENERATEUR
L = v ( NTH )
Vitesse de propagation
de londe
Nombre dimpulsions Priode de lhorloge

Pierre
Lematre-Auger, Grenoble INP-Esisar
dhorloge
235

3.8.2 Stratgie de mesure du temps de vol (II)
Petits dplacements :
f
A
Amplificateur
DETECTEUR
GENERATEUR
L
f est telle que : + A = 2 m
(m est un entier)
236

3.8.2 Stratgie de mesure du temps de vol (III)
Petits dplacements : (suite)
- est le dphasage d au systme de mesure (ligne retard);
- est le dphasage d lamplificateur et toute llectronique.
= 2 f
L
v
Le systme va osciller une frquence f0 correspondant un

m particulier, m0, et une longueur particulier, L0.
2 f 0
L0
v
+ A = 2 m0
f =
v A
m
0 L
2
L0 2
237

3.8.3 Ondes lastiques (I)
Gnration / dtection :
GENERATEUR
- Effet pizolectrique
- Magntostriction, ...
Type dondes :
VOLUME
Transversale
DETECTEUR
- Effet pizolectrique
- Effet Villari
- Mesure de la dformation
mcanique du support
- Mesure du champ lectrique, ...
SURFACE
Longitudinale
Lematre-Auger,
Grenoble
INP-Esisar
La vitesse Pierre
dpend
de la
nature
de londe !
238

3.8.3 Ondes lastiques (II)
Capteur magntostrictif (schma de principe) :
Impulsion
lectrique
Champ magntique longitudinal

B
Effet Wiedmann
(torsion locale du tube)
Onde mcanique de torsion

Tube
ferromagntique
Champ magntique
transversal circulaire
Dtection :
Effet Villari
Torsion du tube induit une
changement daimantation qui
induit une tension lectrique
239

3.8.3 Ondes lastiques (III)
Capteur magntostrictif (ralisation concrte) :
240

3.8.4 Ondes sonores
Avec un transducteur pizolectrique, on peut aisment produire
et dtecter des ondes ultrasoniques (f > 20 kHz).
Schma de principe :
Diaphragme mtallique
fr
Vibration
Elment pizolectrique
Amplitude
de vibration
On travaille prs de la rsonance
fr
Avantage :
Vson ds air 360 m/s bonne
prcision pour courte distance
Inconvnient :
Ncessite une absence totale de
vent
241

3.8.5 Ondes lectromagntiques (I)
On peut enfin travailler avec des ondes lectromagntiques dans
le domaine :
- Radiofrquence (exemple le radar !),
- Optique (tlmtre optique).
Temps de vol:
Cette technique est bien adapte la mesure de grandes distances.
Pour de courtes distances, les temps de vol sont trs courts
Electronique prcise
Exemple :
Plus petit temps mesurable : 1 ns
Rsolution spatiale : 3 108 m/s 10-9 s = 0,3 m = 30 cm !
242

3.8.5 Ondes lectromagntiques (II)
Alternative possible :
Techniques de modulation de phase
Principe:
Source
P=
( t ) P0 1 + m sin ( 2 f mt )
Cible
Dtecteur
Ps ( t ) =+
P0 1 m sin ( 2 f mt 4 f m )
z
= : temps de vol
c
P(t) : puissance mise
P0 : puissance moyenne mise ( la frquence fporteuse)

Ps(t) : puissance reue
fm : frquence modulation
m : facteur de modulation, [0,1] : fraction de P0 reue
243

3.8.5 Ondes lectromagntiques (III)
Modulation de phase (suite) :
Ps ( t ) =+
P0 1 m sin ( 2 f mt 4 f m )
: dphasage
Par une lectronique adquate, on mesure . Alors :
=
z
( + 2n )
c
4 f m
Il y a une ambigit sur la phase (le multiple de 2). La plage utile est donc limite
un dphasage compris entre 0 et 2. Cela limite la distance maximale
dutilisation.
En pratique:
On utilise 2 frquences de modulation: fbasse : dtermine la porte
fhaute : dtermine la rsolution
244

3.8.6 Synthse
Porte / Technologie optique approprie
Note : pas vu dans le
cours
Source : Vincent DELAYE, Etude et ralisation dun tlmtre laser par temps de vol, Grenoble INP, 2000.
3.9 Position par la mesure du champ 245

magntique (1)
3.9.1 Principe physique (I)
Lignes de champ
magntique
Hy
Hx
H
Aimant
permanent
H
H = Hx
Hx
Hy

magntique (2)
3.9.1 Principe physique (II)
Comme on vient de le voir, le champ magntique produit par un
aimant permanent varie en fonction de la position par rapport ce
dernier. En mesurant ce champ, on peut mesurer une position.
y
x
H
Hx
Hy
x
Hy : signal utilis

magntique (3)
3.9.1 Principe physique (III)
Pour un bon fonctionnement de ce type de capteur, il ne faut pas
que laimant se dplace suivant la direction y.
Pour des dplacement linaires uniquement.
S
y1
y2
H
y1
y2
x
y
x

magntique (4)
3.9.2 Exemple dapplication
Capteur de niveau dessence
Dplacement dune pice mtallique
1 mm

magntique (5)
Culture personnelle
3.9.3 Mesure du champ magntique (I)

Sondes Hall :
z
- - - - - - - - - - - -
VH
vx
w
Bz
+ + + + + + + + + + + +
Force de Lorentz :

F = qv B = e v x Bz j
A lquilibre F=0 :
Force lectrique rsultante :
VH
F = eE y j = e
j
w
VH
e v x Bz j = e
j
w

magntique (6)
Culture personnelle
3.9.3 Mesure du champ magntique (II)

Sondes Hall (suite) :
VH
e v x Bz j = e
j
w
J
v x =
qn
Or :
On trouve donc :
o :
VH = v x w Bz
J : densit de courant
q : charge des porteurs
n : densit des porteurs
VH = R H J w Bz
1
en h
RH =
1
en e
pour des trous

pour des lectrons
251
3.10 Capteurs inertiels (1)

3.10.1 Principe
Dans certains cas, pour dterminer en temps rel la position dun
objet, il faut mesurer les vitesses angulaires et les acclrations
subies :
t
i (t ) = i dt + 0
0
i ( t )=
ai dt + ai dt + i0
0
i = x, y ou z
Cest le cas de certains systmes embarqus comme des avions, voitures (de
luxe!), bateaux
Problme majeur : la drive temporelle. Cest systmes sont donc souvent aids
par la rception du signal GPS pour corriger les mesures (filtre de Kalman).
Les capteurs ncessaires sont des gyroscopes et des acclromtres

252

Culture personnelle
3.10.2 Gyroscopes mcaniques (I)

Conservation du moment cintique :
En labsence de force
extrieure, L est
conserv :
L = I
Ici, entrane une

modification de L (variation
de son orientation), do
lapparition dun moment de
force (couple) sur la toupie :

=L
253

Culture personnelle
3.10.2 Gyroscopes mcaniques (II)
Le moment de force entrane

lapparition dune force ce
niveau-ci de la toupie :

= rF
r
F
Ressort
Par lintermdiaire dun ressort,

on mesure cette force et ainsi :

I = r F
Puisquil ny a que des angles de 90 :
I = rF
rF
I
= KF
K : constante
254

Culture personnelle
3.10.2 Gyroscopes mcaniques (III)

Ordres de grandeurs :
Vitesse de rotation de la toupie : 104 tr/min
Etendue de mesure : 7 /s 360 /s
Prcision : 2 3 %
255

3.10.3 Gyroscopes optiques (I)
Quelques donnes :
Etat de lart (en 2000)
Bobine de fibre
Rsonateur
Laser fibre
Rsolution
1re gnration
2ime gnration
3ime gnration
100
/h
1
/h
0,01 /h
0,001 /h
10 /h
< 0,01 /h
?
<0,01/h
?
?
256

Culture personnelle
3.10.3 Gyroscopes optiques (II)
Effet Sagnac, principe : Emission de lumire au points A et B

simultanment
t=0
A
t>0
B : d AB = + = + vt 1
A : d BA = = vt 2
t1 =
t2 =
n
c
n
c
+ t
n
c
n
c
d AB = + v
d BA = v
nv
= 1 +
c
c
nv
= 1
c
c
257

Culture personnelle
3.10.3 Gyroscopes optiques (III)

Effet Sagnac, principe : (suite)
Diffrence de chemin : L = d AB d BA = 2 n
Replions maintenant le trajet :
v
c
Source dmission
de lumire
1
r
v = r
= 2n
r
c
La mesure de nous informe sur !

= 2r
258

3.10.3 Gyroscopes optiques (IV)
Comment mesurer ?
1 Interfrence 2 ondes : 2 faisceaux optiques cohrents
parcourant une diffrence de chemin vont interfrer entre eux :
I = I1 + I 2 + 2 I1I 2 cos( )
o :
4 nr
0c
Puissance
Etendue de mesure
259

3.10.3 Gyroscopes optiques (V)
Ralisation concrte : bobine de fibre optique
LASER
50:50
Dtecteur
Aviation
I1
I2
Automobile
: 1 km
r : 10 cm
260

3.10.3 Gyroscopes optiques (VI)
2 Interfrence ondes multiples : rsonateur
Cavit rsonante du
50/50
type Fabry-Prot
Dtecteur 2
LASER
50/50
x/100-x
x faible (qqs %)
50/50
: 10 m
r : 10 cm
Dtecteur 1
I = I 0 1
2
1 + M sin ( 2)
4nr
c
Etendue de mesure
261

3.10.3 Gyroscopes optiques (VII)
3 Battement optique : cavit laser
Dans une cavit circulaire, pour quil y ait rsonance, il faut quune
onde qui rencontre son point dmission soit en phase avec londe
mise ce point, alors :
sens de la
lumire
: frquence optique
Si on imagine un laser circulaire, pour que celui-ci lase, nous avons :
= 2
nr
2 nr
0
262

3.10.3 Gyroscopes optiques (VIII)
Ralisation concrte : le laser en anneau
Laser fibre
Miroir
LASER
x:100-x,
x petit
Tubes gaz
Miroir
50:50
Dtecteur
Lame
semi-rflchissante
Miroir
1
2 Dtecteur
Puissance
A cause du battement entre les deux faisceaux optiques,

le dtecteur voit un signal temporel de la forme :
Temps
263

3.10.4 Gyroscopes MEMS (I)
Une autre catgorie de gyroscope regroupe les ralisations sur
silicium : Micro-Electro-Mechanical Systems (MEMS).
Intrt : trs faible taille et bas-cot.
Moins performants que ceux utilisant les technologies optiques.
Principe physique : acclration ou force de Coriolis
r = rr
dr
dr
= vr r + r
r : vecteur unitaire radial
dt
dt
d 2r
2
(
)
a
r
v
r
rr
2
r
r
2
dt
acclration radiale
acclration centripte
acclration de Coriolis
264

3.10.4 Gyroscopes MEMS (II)
Le capteur :
Une masse sismique est soumise un mouvement vibratoire :

y
aCoriolis =
2vr ( r )
Mouvement
de la masse
Exemple de ralisation pratique :
265

3.10.5 Acclromtres : principe
Lacclration (a) est la drive seconde de la position dun mobile
par rapport au temps.
On mesure directement lacclration dun corps grce la relation :
F = ma
Stratgies de mesure :
Ainsi, une masse sismique va, sous leffet dune acclration :
- se dplacer (on mesure le dplacement ou la dformation
dun corps),
- produire une force que lon mesure directement.
266

3.10.6 Capteur dplacement de masse sismique (I)
Principe : un corps de masse connue est physiquement reli
lobjet dont on veut mesurer
lacclration.
Contraintes
Masse sismique
(a = 0)
Masse sismique
(a = 0)
Ce lien physique va transmettre une partie de la force que subit lobjet

la masse sismique sous la forme dune force de rappel. La masse
sismique va donc se dplacer par rapport sa position dquilibre. On
peut mesurer le dplacement ou les contraintes dans le lien physique.
267

3.10.6 Capteur dplacement de masse sismique (II)
Rappel : Lquation reliant le dplacement x de la masse
sismique par rapport au botier lacclration est donne
la section 1.7.2
Capteur capacitif dplacement transversal :
Capteur intgr sur Si :
C1
C2
Masse
sismique
d1
d2
Electrodes
Fonctionnement en push-pull
268

3.10.6 Capteur dplacement de masse sismique (III)
Capteur pizorsistif dplacement longitudinal :
La masse sismique se dplace paralllement sa surface,
ce qui permet de diminuer le frottement visqueux.
Version intgre
sur Si :
Jauges de contraintes
Contraintes
Dplacement de la masse
269

3.10.6 Capteur dplacement de masse sismique (III)
Ralisation concrte :
1 mm
Fabriquant :
Analog Device
(ADXL)
Masses sismiques
270

3.10.7 Capteur pizolectrique
La deuxime stratgie de mesure est de mesurer la force que va
exerce la masse sismique sur un lment pizolectrique :
On exerce une prcontrainte sur la cramique pizo-lectrique
pour effectuer la mesure dans les deux sens : Fy = m a + F0
prcontrainte
Masse
sismique
Cramique
pizolectrique
y
En circuit ouvert :
V = Ew
m
w
V=
P
0
w=
d yy w
0 A
Fy
x
(Pizo : voir section 2.11.1)
271

3.10.8 Sensibilit transversale
Une grandeur importante pour un acclromtre est la sensibilit
transversale. Idalement, un acclromtre ne doit donner une
rponse que pour une acclration selon un seul axe :
y
Grandeur perturbatrice :
x
V=0
V = V0
En pratique, un acclromtre ragit toujours un peu dans la seconde

situation. On exprime cette sensibilit non dsire par un rapport :
r = X g / g (Exemple : 0,05 g/g).
ax = 1 g
V = V0
ay

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CHAPITRE 3

3.1 Notions gnrales

3.1 Notions gnrales

- relatifs (capteurs de dplacement)

3.2 Capteurs potentiomtriques (1)

Pierre Lematre-Auger, Grenoble INP-Esisar

3.2 Capteurs potentiomtriques (2)

x : plus petite variation de x dtectable

3.2 Capteurs potentiomtriques (3)

Pierre Lematre-Auger, Grenoble INP-Esisar

3.1 Capteurs potentiomtriques (4)

Principe trs simple

3.2 Capteurs potentiomtriques (5)

Pierre Lematre-Auger, Grenoble INP-Esisar

3.3 Capteurs inductifs (1)

N : Nombre de tours du conducteur

3.3 Capteurs inductifs (2)

fer : Longueur moyenne du flux dans le fer

3.3 Capteurs inductifs (3)

Si, autour dune position moyenne 0, la partie mobile de linductance

En dveloppant en srie, on trouve :

Pierre Lematre-Auger, Grenoble INP-Esisar

3.3 Capteurs inductifs (4)

On remarque que si x est petit, la relation prcdente est

Montage de type push-pull :

3.3 Capteurs inductifs (5)

La modle lectrique de ce capteur est le suivant :

Linductance globale de ce capteur est donne par :

3.3 Capteurs inductifs (6)

(M : linduction mutuelle entre Lair et Lfer)

Cette relation nest pas linaire sauf si on ne sintresse qu des petits

3.3 Capteurs inductifs (7)

La sensibilit est encore une fois double

Remarque : Il existe un couplage entre L1 et L2 que lon peut grandement

3.4 Capteurs capacitifs (1)

Distance entre les armatures

r permittivit relative du dilectrique

Celle dun condensateur cylindrique par :

Les capacits dpendent des dimensions gomtriques

3.4 Capteurs capacitifs (2)

Rponse dun diviseur de

3.4 Capteurs capacitifs (3)

3.4 Capteurs capacitifs (4)

Pierre Lematre-Auger, Grenoble INP-Esisar

3.5 Codeurs optiques (1)

Sources lumineusesPierre Lematre-Auger, Grenoble INP-Esisar

3.5 Codeurs optiques (2)

3.5 Codeurs optiques (3)

Pierre Lematre-Auger, Grenoble INP-Esisar

3.5 Codeurs optiques (4)

3.5 Codeurs optiques (5)

1 seul bit change dtat par

3.6 Capteurs triangulation (1)

3.6 Capteurs triangulation (2)

La question qui demeure est : Comment dterminer x ?.

3.6 Capteurs triangulation (3)

Idal pour la mesure de petits dplacement (0,1 m) avec une bonne

3.6 Capteurs triangulation (4)

3.6.2 Dtecteur optique linaire (I)

Pierre Lematre-Auger, Grenoble INP-Esisar

3.6 Capteurs triangulation (5)

3.6.2 Dtecteur optique linaire (II)

Rsistance du silicium non dop