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CARACTERIZAO DE FOTODETECTORES DE
INFRAVERMELHO A POOS QUNTICOS
Campo Montenegro
So Jos dos Campos, SP Brasil
2009
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II
REFERNCIA BIBLIOGRFICA
ALVES, Kenya Aparecida. Caracterizao de fotodetectores de infravermelho a poos
qunticos. 2009. 156 f. Tese de Mestrado Instituto Tecnolgico de Aeronutica, So Jos
dos Campos.
CESSO DE DIREITOS
NOME DO AUTOR: Kenya Aparecida Alves
TTULO DO TRABALHO: Caracterizao de fotodetectores de infravermelho a poos qunticos.
TIPO DO TRABALHO/ANO: Tese de mestrado / 2009.
___________________________
Kenya Aparecida Alves
Rua Padre Jos Dias, n 704 - Centro
33350-000 - So Jos da Lapa MG Brasil
III
Prof. Dr.
Presidente (ITA/CTA)
Prof. Dr.
Orientador (IEAv/CTA)
Prof. Dr.
Prof. Dr.
Paulo Mostisuke
ITA
IV
Dedicatria
Dedico esse trabalho a minha me Luzia (in memorian) que me ensinou a acreditar e lutar
para realizar meus sonhos, ao pai Sebastio, que em um momento de perda superou as
dificuldades e demonstrou fora para me apoiar e incentivar na busca de novas realizaes e
a minha querida e amada irm Elanza, que sempre me apoiou e se privou da minha
companhia, concedendo-me a oportunidade de me realizar ainda mais.
Simplesmente amo vocs.
Agradecimento
Primeiramente, agradeo a Jesus Cristo, o autor e salvador da minha vida, por ter me dado
este presente.
Ao meu orientador Prof. Dr. Gustavo Soares, pelos ensinamentos, pela pacincia que teve
nesses dois anos de convivncia e pela oportunidade.
Ao Instituto de Estudos Avanados (IEAv), ao Instituto Tecnolgico de Aeronutica (ITA) e
ao Instituto de Pesquisas Espaciais (INPE) pelo apoio tcnico para realizao do presente
trabalho. Em particular ao pesquisador Ruy.
Aos professores do Departamento de Fsica, em especial aos professores Jayr e Marinho.
Aos funcionrios do Departamento de Fsica, da Secretria de Ps-Graduao e da Biblioteca
do ITA.
Aos meus colegas e amigos do Departamento de Fsica do ITA e IEAv Lvia, Mrcio
Eduardo, Fabrcio, Srgio, Lencio, Renata, Marcelo, Sheyse.
Aos meus amigos: Jaziel, pelas horas dedicada a nossa amizade; Fernanda, pela confiana e
confidencias; Ronaldo, pelo exemplo de tranqilidade e f; Carlinha, pelo exemplo de fibra e
conselhos; Emmanuela, pela presena em momentos chaves, pela confiana e (des)controle;
Juliana, pelo incentivo e pacincia de me ouvir. A amizade de vocs foi primordial para que
eu conseguisse chegar a esse ponto.
Agradeo em especial, a minha querida famlia, meu pai e minha irm, que mesmo distante
sempre esteve presente e perto nestes momentos.
Em especial agradeo ao Mrcio pelo amor demonstrado, apoio, incentivo e todo o carinho e
cuidado dedicados a mim.
Aos amigos que ficaram em Minas Gerais e torceram pelo sucesso do meu trabalho durante
esses dois anos.
VI
VII
VIII
Resumo
Este trabalho apresenta a caracterizao eletro-ptica de fotodetectores para o infravermelho
operando nas janelas atmosfricas de ondas mdias e longas. Utilizou-se sensores QWIP
(Quantum Well Infrared Photodetector) baseados em estruturas semicondutoras de poos
qunticos mltiplos de GaAs/AlGaAs e InGaAs/AlInAs, utilizando transies intrabanda. As
estruturas semicondutoras foram crescidas pela tcnica de Epitaxia de Fase Vapor de
compostos Metalorgnicos (MOVPE). As amostras foram medidas na geometria de guia de
onda com incidncia da radiao a 45 pela borda do substrato. Os dispositivos foram
caracterizados quanto sua corrente de escuro e responsividade a 77K. A responsividade foi
determinada por dois mtodos: usando um simulador de corpo negro como padro de fonte
luminosa e por comparao com um detector comercial de resposta conhecida. A
responsividade de ambos os detectores foi determinada como uma funo da tenso aplicada.
O QWIP de Al0,27Ga0,73As/GaAs apresenta um pico de resposta em torno de p = 9,1 m e o
QWIP de In0,53Ga0,47As/Al0,52In0,48As um pico de resposta em torno p = 4,1 m.
IX
Abstract
This work presents electro-optical characterization of infrared photodetector operation in the
mid-wave infrared (MWIR) and in the long-wave infrared (LWIR). The detectors measured
were QWIPs (Quantum Well Infrared Photodetectors) made of AlGaAs/GaAs and
AlInAs/InGaAs. These are infrared detectors based on intersubband transitions. The
semiconductor structures were grown by Metalorganic Vapour Phase Epitaxy (MOVPE). The
samples were measured in a waveguide geometry with 450 incident radiation through the
substrate edge. The devices were characterized for their dark current and responsivity at 77K.
The responsivity was determined by two methods: using a cavity black body simulator as a
standard light source and by comparison with a detector of known responsivity. The
responsivity of both detectors were determined as function of the applied bias. The QWIP of
GaAs/Al0,27Ga0,73As obtained a peak response at p = 9,1 m and the QWIP of
In0,53Ga0,47As/Al0,52In0,48As a peak response at p = 4,1 m.
Lista de Figuras
XI
XII
XIII
XIV
XV
Lista de Tabelas
XVI
Lista de Smbolos
Eg energia do gap
h constante de Planck
c velocidade da luz
comprimento de onda
freqncia
constante reduzida de Planck
m* - massa efetiva
Lw largura do poo quntico
n nmero inteiro
T - temperatura
L(,T) radincia espectral
Le(,T) radincia espectral, parmetro da radiometria
Lq(,T) radincia espectral, parmetro da quntica
k constante de Boltzmann
M(T,) emitncia espectral em um cone de meio ngulo ()
M(,T) emitncia espectral radiante
M(T) emitncia radiante total do corpo negro
constante de Stefan-Boltzmann
Ad rea do detector
As rea da fonte
d distncia do detector a fonte de radiao
fluxo radiante
ngulo slido
d ngulo do detector com a normal a superfcie
XVII
XVIII
XIX
- resistncia do detector
d - intervalo de tempo da medida
IGR corrente de rudo de gerao-recombinao (G-R)
gn - ganho do rudo
inb rudo de corrente de fundo
ind rudo da corrente de escuro
b - potncia de radiao incidente de fundo
- fator de correo de polarizao
Ib corrente de fundo detectada
Fm - fator de transferncia do modulador mecnico
As - rea de abertura da cavidade do corpo negro
TJ - fator de transmisso da janela ptica do criostato
d - distncia entre a abertura do corpo negro e o detector
a - ngulo de abertura do corpo negro
t - ngulo de abertura da retcula do chopper
Da dimetro da abertura do corpo negro
Dc dimetro da abertura do chopper
R() responsividade espectral
XX
XXI
Sumrio
Dedicatria ...............................................................................................................................IV
Agradecimento .......................................................................................................................... V
Resumo .................................................................................................................................. VIII
Abstract.....................................................................................................................................IX
Lista de Figuras ......................................................................................................................... X
Lista de Tabelas...................................................................................................................... XV
Lista de Smbolos ..................................................................................................................XVI
Sumrio..................................................................................................................................XXI
1.Introduo.................................................................................................................. 23
2.Radiao Infravermelha e Detectores........................................................................ 27
2.1.Histrico dos detectores de infravermelho ......................................................... 27
2.2.Subdiviso do Infravermelho.............................................................................. 29
2.3.Detector de Radiao Infravermelha .................................................................. 31
2.4.Aplicaes de Detectores de Infravermelho....................................................... 39
3.Base Terica .............................................................................................................. 51
3.1.Radiao de Corpo Negro e Transferncia de Fluxo.......................................... 51
3.1.1.Leis da Radiao.......................................................................................... 51
3.1.2.Alguns conceitos fsicos .............................................................................. 59
3.1.3.Transmisso Atmosfrica ............................................................................ 65
3.1.4.Fontes artificiais de Radiao Infravermelha .............................................. 66
3.2.Fotodetectores de Infravermelho a Poos Qunticos ......................................... 68
3.2.1.Desenvolvimento Histrico dos QWIP ....................................................... 68
3.2.2.Heteroestruturas........................................................................................... 69
XXII
3.2.3.Confinamento Quntico............................................................................... 69
3.2.4.Breve Descrio das Transies Intersubbanda (ISBT) .............................. 72
3.2.5.Tipos de QWIPs .......................................................................................... 75
3.2.6.Figuras de Mrito ........................................................................................ 84
3.2.6.1.Ganho de Fotocondutividade e Fotocorrente........................................ 85
3.2.6.2.Espectro de absoro ............................................................................ 91
3.2.6.3.Responsividade..................................................................................... 91
3.2.7.Corrente de Escuro ...................................................................................... 93
3.2.8.Detectividade ............................................................................................... 95
4.Procedimento Experimental .................................................................................... 101
4.1.Descrio das Amostras.................................................................................... 101
4.2.Caracterizao do sistema QWIP ..................................................................... 105
4.2.1.Caracterizao Corrente de Escuro (IxV) .................................................. 105
4.2.2.Caracterizao da Responsividade ............................................................ 107
4.2.2.1. Responsividade Integral ..................................................................... 107
4.2.2.2. Responsividade Espectral ................................................................... 113
4.3.Resultados e Discusses ................................................................................... 121
4.3.1.Caracterizao IxV..................................................................................... 121
4.3.2.Caracterizao da Responsividade ............................................................ 125
5.Concluses e Trabalhos Futuros.............................................................................. 152
Referncia Bibliogrfica......................................................................................................... 153
23
1. Introduo
24
25
26
27
Em abril de 1800, o astrnomo ingls Sir. William Herschel (1738 1822) construiu
um monocromador utilizando um prisma para decompor a luz solar e termmetros de
mercrio com bulbos negros como detector e mediu a distribuio de energia da luz solar,
percebendo um considervel aumento de temperatura na regio escura que se estende alm do
extremo vermelho do espectro. Herschel denominou essa radiao de raios invisveis e
calor escuro; assim foi descoberta a radiao infravermelha, nomeada dessa forma dcadas
depois [1].
Em 1829, Leopoldo Nobili (1784 - 1835) desenvolveu o primeiro termopar, sensor
trmico de contato formado pela juno de dois metais distintos baseado no efeito
termoeltrico descoberto em 1821 por Thomas Johann Seebeck (1770 - 1831). E em 1833,
28
29
30
Designao
Abreviao
Near Infrared
Short-wave Infrared
Mid-Wave Infrared
Long-Wave Infrared
Very-Long Wave Infrared
Infravermelho Prximo
Infravermelho de Onda Curta
Infravermelho Mdio
Infravermelho Distante
Infravermelho muito Distante
Fonte: Byrnes, [7].
NIR
SWIR
MWIR
LWIR
VLWIR
Comprimento
de onda (m)
0,7 1,0
1,0 3,0
3,0 5,0
8,0 12,0
12,0 30,0
31
Detectores de Infravermelho
Fotodetectores
Fotovoltaico
Fotocondutivo
Termodetectores
Fotoemissivo
Bolmetro
Piroeltrico
Termopilha
32
(a)
(b)
(c)
Figura 2.3 Ilustrao de termodetectores (a) piroeltrico (b) termopilha (c) bolmetro.
Fonte: Boshetti, p. 17-18 [8].
Os fotodetectores operam pela interao direta entre os ftons da radiao incidente e
os eltrons no material do detector. O sinal eltrico observado resultado da mudana na
33
34
35
Banda de conduo
Banda de valncia
36
energia do fton incidente deve ser maior que a energia do gap (h > Eg) do material
fotossensvel, portanto a deteco de radiao infravermelha incidente com determinada
energia depende da relao entre o gap do material e a energia do fton da radiao incidente,
sendo [1], [9]
Eg
hc
(2.1)
Banda de conduo
Banda de valncia
Figura 2.8 Diagrama de banda de energia de um fotocondutor intrnseco.
Para deteco de radiao infravermelha termal (LWIR) ( 10 m) o gap do
semicondutor deve ser muito estreito (Eg 0,12 eV), no caso de um fotodetector intrnseco.
Materiais semicondutores com gap muito estreitos so mais difceis de crescer e processar do
que semicondutores de gap largo [4], [12].
Esta dificuldade motivou a busca por alternativas, dentre elas a utilizao de transies
pticas intrabanda como princpio de deteco [4], [12]. Surgiram ento os fotodetectores a
37
poos qunticos (QWIP) onde uma camada de material semicondutor crescido entre
camadas de outro material semicondutor de gap maior causando um confinamento dos
portadores de carga em uma das dimenses. A Figura 2.9 apresenta um diagrama de banda de
energia de um material semicondutor com estruturas de poos qunticos e o processo de
absoro intrabanda [4], [12].
Banda de Conduo
E2
h1
E1
Eg(AlGaAs)
Absoro
Intrabanda
Eg(GaAs)
H1
h2
H2
Banda de Valncia
38
h 2 n
En =
2m* Lw
(2.2)
( E 2 E1 ) =
3h 2 2
.
2m * L2w
(2.3)
39
E2
h
E1
E2
h
E1
Campo Eltrico
E2
E1
(a)
(b)
Figura 2.10 (a) Crescimento de uma heteroestrutura de MQW de AlGaAs/GaAs. (b)
Diagrama de energia da banda de conduo da estrutura de QWIP de MQW
AlGaAs/GaAs apresentado o processo de fotocorrente.
importante ressaltar que os poos qunticos desses detectores devem ser dopados
visto que a energia dos ftons insuficiente para gerar pares eltron-buraco (h < Eg) [4].
Em QWIPs fabricados a partir de semicondutores da famlia III-V, como
GaAs/AlxGa1-xAs, a altura das barreiras pode ser ajustada dentro de certos limites, pela
adequada escolha da composio da liga ternria, ou seja, variando o valor de x. Assim,
modificando a largura dos poos qunticos (Lw) e a altura da barreira, a energia de transio
intrabanda varia sobre uma grande faixa do infravermelho. Estes detectores podem ser feitos
sob medida para absorver radiao na faixa de 3 a 20 m [4].
Os detectores de infravermelho tem vasta aplicao, tanto civis quanto militares, o que
explica o crescente interesse e investimento de vrios pases e centros de pesquisa no
desenvolvimento de novas tecnologias que permitam a fabricao destes componentes.
Na medicina os detectores de infravermelho auxiliam os mdicos em diagnsticos de
vrios problemas de sade como, problemas vasculares, neurolgicos e outros. Alm de
auxiliar no estudo de estruturas proticas e da seqncia do DNA [14], [15].
40
41
42
Medicina
43
(a)
(b)
Figura 2.12 (a) Rosto de uma pessoa com cncer de pele no nariz, a ponta do nariz est mais
quente do que os tecidos vizinhos devido angiognese de um cncer de pele; (b) Rosto de
uma pessoa que no tem cncer de pele no nariz, normalmente o nariz e as orelhas so mais
frios em relao s outras partes da face.
Fonte: Gunapala, p.279 [16].
Essa cmera tambm foi usada por um grupo de pesquisadores da University of
Southern Califrnia em intervenes cirrgicas em crebros, deteco de cncer de pele e em
pacientes com hansenase. Na remoo de tumores cerebrais, a imagem trmica auxilia o
cirurgio a encontrar pequenos vasos capilares que crescem na direo do tumor devido
angiognese (Figura 2.13) [4], [16].
44
Figura 2.13 (a) Imagem no visvel de um tumor cerebral. (b) Imagem no infravermelho
discriminando os tecidos saudveis dos mortos.
Fonte: Gunapala, p.279 [16].
36,6oC
35,6oC
34,4oC
33,3oC
32,2oC
31,1oC
30,0oC
28,9oC
27,8oC
26,7oC
25,6oC
24,4oC
Figura 2.14 Variao de temperatura nas mos e nos cotovelos de um paciente com
hansenase detectado por uma cmera de QWIP.
Fonte: Gunapala, p 280 [16].
45
Defesa Civil
Uma cmera de QWIP ajudou uma equipe de TV de Los Angeles captar imagens de
um incndio que se propagou no Sul da Califrnia na comunidade de Malibu em outubro de
1996. Essa cmera porttil possui detectores de infravermelho que cobrem comprimentos de
ondas maiores do que os abrangidos pelas cmeras convencionais, permitindo que a cmera
visse atravs da fumaa, com isso a estao de TV localizou e transmitiu imagens com
preciso dos pontos quentes que normalmente no seriam visveis. Esses pontos quentes
foram uma fonte de preocupao para os bombeiros, visto que eles poderiam propagar novos
incndios mesmo aps o fogo aparentemente ter diminudo. A Figura 2.15 mostra a
comparao das imagens no visvel e no infravermelho da rea recm incendiada, observada
pela equipe de notcias noite. A diferena na qualidade entre as imagens ocorreu tanto nas
condies diurnas quanto noturnas. Esse evento marcou a estria da cmera de QWIP como
instrumento de observao de incndios [4], [16].
(a) Visvel
(b) QWIP
Figura 2.15 - Comparao entre duas imagens de uma rea incendiada, feitas noite, uma
com uma cmera CCD no visvel de alta sensibilidade (a) e outra feita com uma cmera
QWIP no infravermelho distante (b).
Fonte: Gunapala, p 277 [16].
46
Usou-se uma cmera QWIP similar para observar vulces, formaes de minerais,
clima e condies atmosfricas no vulco Kilauea, no Hava. A ampla faixa de comprimentos
de ondas coberta por esse tipo de cmera capacitou os vulcanologistas a obterem imagens de
caractersticas vulcnicas em temperaturas muito mais elevadas (300 1000oC) do que as
obtidas pelo sistema de imagem trmicas convencionais na faixa de 3 a 5 m ou no visvel. A
Figura 2.16 mostra a comparao entre imagens feita no visvel e no infravermelho do vulco
Kilauea. A imagem no infravermelho do vulco mostra claramente um leito subterrneo de
lava quente que no visvel a olho nu [4], [16].
(a)
(b)
Figura 2.16 - Comparao das imagens do Vulco Kilauea, no Hava, uma feita com uma
cmera CCD no visvel de alta sensibilidade (a) e outra com cmera de QWIP no
infravermelho distante (b).
Fonte: Gunapala, p.278 [16].
Militar
47
imagem do veculo de lanamento Delta-II obtida a partir da cmera de QWIP. Isto indica
claramente a vantagem do uso de cmera QWIP de comprimento de onda distante para uma
melhor identificao do veculo de lanamento e os gases quentes durante a fase inicial de
lanamento [4], [16].
Figura 2.17 - Imagem do mssil Delta II obtida por uma cmera QWIP durante o lanamento.
Fonte: Gunapala, p.280 [16].
48
Astronomia
49
30 mHz
Figura 2.19 - O espectro do rudo 1/f de uma FPA de QWIP de 256 x 256 pixels em 8 9
m.(1 ADU = 430 eltrons). O grfico mostra claramente que os QWIPs apresentam um rudo
1/f desprezvel abaixo de 30 mHz, portanto, os QWIP podem ser usados em instrumentao
onde o tempo de interao seja maior. Isso causa um aumentando na capacidade de frame.
Fonte: Gunapala, p.281 [16].
A Figura 2.20 compara uma imagem da nebulosa rion obtida em uma observao de
30 minutos com uma FPA QWIP e uma imagem da nebulosa de rion tiradas com a cmera
do planetrio do Telescpio Espacial Hubble (HST). Comparando as duas imagens nota-se
que na Figura 2.20(b) feita com a cmera QWICPIC existe uma multiplicidade de fontes de
infravermelho que so fracas ou indetectvel pelo HST Figura 2.20(b). A imagem demonstra
claramente estrelas em formao entre a densa nuvem de gs molecular e poeira fria. As
formaes desses discos so importantes para o desenvolvimento do sistema planetrio [4],
[16]. Estas imagens demonstram a vantagem das FPA QWIP de LWIR, uma vez que
apresentam estabilidade (baixo rudo 1/f) para levantamento regies obscurecidas, na busca de
objetos escondidos, que formaro jovens estrelas [4], [16].
50
51
3. Base Terica
Esta seo destina-se a apresentar uma reviso dos conceitos fundamentais da radiao
de corpo negro, partindo de uma breve discusso sobre as leis da radiao e descrio do
fenmeno de emisso de radiao pelo corpo negro.
Como descrito anteriormente, os detectores de infravermelho so usados para detectar
a radiao incidente sobre o mesmo. Para estudar as caractersticas desses detectores
necessrio entender o funcionamento e comportamento da fonte de emisso de radiao, ou
seja, o emissor.
A intensidade da radiao advinda de dado objeto depende de alguns fatores dentre
eles: a temperatura do objeto, a distncia que o objeto se encontra do detector, tamanho do
detector e emissividade da fonte.
52
Le (, T ) =
2hc2
kT
2c
hc
W
cm2srm
(3.1)
ou
Lq ( , T ) =
4 e hc kT 1
ftons
1
s cm 2 srm ,
(3.2)
onde Le(,T) o ndice e da equao (3.1) informa que um parmetro da radiometria e Lq(,T)
o ndice q indica que a equao (3.2) um parmetro da quntica; o comprimento de onda,
h a constante de Planck (6,62 x 10-34 Js), c a velocidade da luz no vcuo (2,99 x 108 m/s)e
k a constante de Boltzmann (1,38 x 10-23 J/K) [2], [17].
A radiometria a cincia de medio de energia eletromagntica radiante em todo
53
M (T , ) = L( , T ) cosd
2
M (T , ) = L( , T ) cossendd
(3.3)
0 0
M (T , ) = L( , T )sen2 .
54
M ( , T ) = L( , T )
W
cm 2 m .
(3.4)
(a)
(b)
Figura 3.2 Emitncia Espectral radiante de um corpo negro em funo do comprimento de
onda para vrias temperaturas (a) e (b) emitncia espectral radiante em escala logartmica.
Fonte: Vincent, p.211 [17].
55
dM ( , T )
=0
d
(3.5)
mxT = 2897,8 m K .
10000
-2
-1
Emitncia Espectral (W cm m )
6000K
5000K
1000
4000K
100
3000K
2000K
10
56
M (T ) = M (T , )d .
(3.6)
Resolvendo essa expresso para emitncia radiante obtm-se a seguinte expresso [17]
M (T ) =
2 5 k 4 4
T = T 4
15c 2 h3
W
cm 2 ,
(3.7)
onde M(T) a emitncia radiante total do corpo negro, T a temperatura do corpo negro; a
constante de Stefan-Boltzmann [17].
A emitncia entre dois comprimentos de onda 1 e 2 (M(T, 1,2)) dada por, [17]
M (T ) = M (T , )d
1
(3.8)
M (T ) =
2k T
h 3c 2
4
4 x1
x2
x1
x
x
W
dx = 8,8853 1011T 4 x dx 2 .
1
e 1
cm
x2
onde x = hc/(kT).
Para o imageamento trmico, existem duas janelas atmosfricas de interesse, uma est
localizada na faixa de comprimento de onda infravermelho mdio (3 a 5 m) e outra est na
faixa de infravermelho distante (8 a 12 m) [2], [17], [18].
Para um corpo a temperatura de 300 K e comprimento de onda mximo de 9,66 m, o
fluxo de radiao total (M) emitido pelo corpo negro nessa temperatura igual a 45,93 x 10-3
W/cm2. A Figura 3.4 mostra (M(T, 1,2)) em diferentes temperaturas para as duas faixas de
comprimento de onda das janelas atmosfricas de 3 a 5 m e de 8 a 10 m [2].
57
0,1
8-10m
0,01
3-5m
1E-3
200
300
400
500
600
700
Temperatura (K)
58
s
d
dd
Ad
As
Figura 3.5 Transferncia de fluxo.
d = L( , T )dAs cos s d d d
= L( , T ) cos s dAs d d d
(3.9)
Ad d
= L( , T )d cos s dAs d d
As
d d =
d =
dAd cos d
d2
Ad cos d
.
d2
(3.10)
59
= L( , T )d cos s dAs dd
As
M (T , 1 , 2 )
A cos
=
( As cos s ) d 2 d .
(3.11)
60
Reflexo
I0
Ir
I0
I0
Transmisso
Absoro
It
Figura 3.6 Corpo representado as trs interaes possveis de ocorrer: a absoro, a reflexo
e a transmisso.
Uma frao da radiao incidente pode ser absorvida, refletida pela superfcie do
corpo ou transmitida atravs do corpo quando este no opaco [19], [20].
Em geral, os corpos reais apresentam os trs tipos de interao ao mesmo tempo sendo
um pouco transmissores, absorvedores e refletores. Cada uma destas possibilidades resulta de
interaes entre a radiao e a matria, que dependem fundamentalmente das caractersticas
da oscilao eletromagntica (comprimento de onda, estado de polarizao, etc.) e das
propriedades do material (composio, estrutura cristalina, forma, etc.) [19], [20].
A razo entre a intensidade da radiao refletida Ir(), e incidente I0() chamada de
refletncia, r() [19], [20].
r ( ) =
I r ( )
I o ( )
(3.12)
A radiao ao interagir com a matria pode perder parte de sua energia, sendo esta
absorvida pelo objeto. Isto se d por diversos mecanismos fsicos como emisso de
fotoeltrons, gerao de portadores, e outros. As caractersticas do material, em especial a
61
a( ) =
I a ( )
.
I o ( )
(3.13)
A parcela de radiao que atravessa objeto sem ser absorvida chamada de radiao
transmitida. As caractersticas desta radiao dependem das interaes que ocorreram
anteriormente, por exemplo, refrao, interferncia, difrao e polarizao, alm da absoro
j citada. O feixe transmitido pode ser predominantemente formado por apenas um
comprimento de onda, ou pode estar polarizado[19], [20].
Desconsiderado perdas da radiao incidente por reflexo, a relao entre a
intensidade incidente e a transmitida dada por [19], [20]
I t ( ) = I o ( )e x ,
(3.14)
onde It() a intensidade da radiao transmitida aps passar por uma espessura x do material;
I0() a intensidade incidente; () o coeficiente de absoro ptico, que depende do
material, do comprimento de onda da radiao incidente e do tipo de interao que ocorre .
A razo entre a intensidade da radiao transmitida It()e da incidente I0() define a
62
T ( ) =
I t ( )
.
I o ( )
(3.15)
A soma dos trs coeficientes definidos pelas equaes (3.12), (3.13) e (3.15) para um
mesmo comprimento de onda , resulta na radiao incidente total I0() definida por [19], [20]
I o ( ) = I r ( ) + I a ( ) + I t ( ) .
(3.16)
r ( ) + a( ) + T ( ) = 1 .
(3.17)
ou
( ) =
M ( )
M BB ( )
(3.18)
Pode-se dizer que existem trs tipos de fontes de radiao que so caracterizadas pelo
modo como a emitncia radiante espectral varia com o comprimento de onda: o corpo negro,
63
64
pesquisas, comum assumir que os objetos se comportam como um corpo cinza para
determinadas faixas espectrais.
Tal como um corpo negro, o corpo cinza tambm tem uma emissividade independente
do comprimento de onda, porm seu valor inferior a unidade. A Figura 3.8 mostra a
emitncia espectral para corpo negro, corpo cinza e radiador seletivo e a Figura 3.9 apresenta a
emissividade espectral dos trs tipos de fontes de radiao.
Figura 3.8 - Emitncia radiante espectral dos trs tipos de fontes de radiao.
CORPO CINZA
65
Figura 3.9 Emissividade espectral em funo do comprimento de onda das trs fontes de
radiao.
Pode-se notar que as formas das curvas do corpo negro e do corpo cinza de ambos os
grficos mostrado na Figura 3.8 e 3.9 mudam drasticamente comparadas curva do radiador
seletivo.
66
regies onde existe banda de absoro atmosfrica, dependendo da preciso desejada, pode
ser necessrio purgar o caminho ptico para eliminar, por exemplo, o vapor dgua e o CO2,
para realizar a anlise quantitativa [2].
A Figura 3.10 mostra o espectro de transmisso da atmosfera terrestre na faixas do
infravermelho. O espectro corresponde a uma camada de 1830 m de ar ao nvel do mar com
40% de umidade relativa a 25oC. As regies mais afetadas pela absoro atmosfrica so 2,7
m, 4,3 m e 14,9 m; absoro por molculas de CO2. Alm da faixa de 5,5 a 7,5 m onde
h absoro por molculas de H2O [2].
Nesta seo sero abordadas algumas das fontes de radiao mais usadas em
67
68
69
3.2.2. Heteroestruturas
DB =
h
h
= ,
2p p
(3.19)
70
71
de energia permitida.
A possibilidade do crescimento de vrias heteroestruturas restrita pelo valor da
constante de rede dos materiais semicondutores. Esses valores devem ser bem prximos para
que o crescimento ocorra sem o surgimento de defeitos e relaxaes que podem vir a
prejudicar o desempenho do dispositivo, a Figura 3.12 mostra valores de gap e a constante de
rede para alguns materiais semicondutores volumtricos [21], [22].
72
A fsica de forma detalhada para as ISBT pticas em poos qunticos pode ser
encontrada em Choi et al [2], Levine et al [12], Emmanuel et al [21], Fox [22], Bastard [23],
Liu et al [24], Alves [25] e Souza [26]. Esta seo descreve as transies intersubbanda
somente para a banda de conduo, que foram analisadas nas amostras deste trabalho.
Nos dispositivos QWIP formados com materiais semicondutores de gap direto, a
incidncia de radiao normal superfcie no absorvida pelo fato de que, para ocorrer a
transio intrabanda, necessrio que o campo eltrico da onda eletromagntica incidente
tenha componente normal ao plano dos poos qunticos, isto , na direo z de crescimento.
Portanto, radiao incidente perpendicular aos QWIP, cujo campo eltrico se localiza no
mesmo plano dos poos qunticos no absorvida. Devido a essa regra de seleo de
polarizao necessrio que se crie mecanismos que acoplem a luz ao detector, tal regra,
vlida para poos qunticos onde a aproximao da massa efetiva considerada.
Por causa da regra de seleo, a geometria de incidncia normal da luz no wafer ou ao
longo da direo de crescimento no adequada. comum o uso da geometria de uma das
bordas polida 45o. Nessa geometria, metade da luz incidente perdida, porm simples e
conveniente o uso, alm de ser usada como padro de referncia para determinao da
performance do detector.
A maioria das aplicaes dos QWIPs requerem matrizes 2D onde esta geometria de
45o na face no factvel. Outras formas de acoplamento da luz so utilizadas.
Nas cmeras de QWIP usadas para imageamento, a luz deve ser acoplada
73
uniformemente s matrizes de sensores, FPA (2D), de modo que uma grade de difrao ou
alguma estrutura semelhante deve ser fabricada sobre um lado dos detectores para
redirecionar a radiao com incidncia normal para ngulos de propagao mais favorveis
absoro [12].
Figura 3.13 Esquema de acoplamento de luz para estruturas QWIP de GaAs/AlGaAs: (a) a
luz incidente normal a uma face polida com um ngulo de 45o em relao aos poos
qunticos. (b) uma grade de difrao usada para refletir a luz vinda atravs do substrato.
Fonte: NAG, p. 324 [28].
74
definida por
r
r
r
h2
2 ( r ) + V ( r ) ( r ) = E ( r ) .
*
2m
(3.20)
abaixo
r
(r ) = n ( z ) ( x, y ) .
(3.21)
Considere o modelo de um poo quntico com barreira infinita com potencial nulo
(V=0) para 0 < z < Lw e potencial infinito (V=) para z 0 ou z Lw . Neste caso, a equao
de Schoedinger independente do tempo, unidimensional, na regio do poo dada por
h2 d
n ( z ) + V (r ) n ( z ) = E n n ( z ) ,
2m * dz 2
(3.22)
sendo En > 0.
Levando-se em considerao as condies de contorno n(0)= n(Lw)=0 para o caso da
barreira de potencial infinito, baseado na equao (3.22) obtm-se as seguintes solues para
os autoestados da funo de onda e autovalores de energia [21], [24].
r
(r ) = n ( z ) ( x, y )
r
(r ) =
[ ( )]
r r
nz 1
2
sen
exp i k r
Lw
Lw A
(3.23)
75
h 2 n
En =
2m * Lw
r
2
h 2k 2
+
,
2m *
(3.24)
r
n o numero quntico e inteiro positivo, k o vetor de onda no plano x-y e m* a massa
efetiva no poo quntico [24].
Este o caso mais simples que permite a obteno dos valores dos nveis de energia
dentro do poo quntico e das funes de onda dos eltrons nesses nveis.
O problema real apresenta maior complexidade, por exemplo, os poos possuem
barreira finita, e pode ocorrer o tunelamento. Neste caso, as autofunes possuem um termo
indicando o decaimento exponencial da funo dentro da barreira, alm disso, o coeficiente de
absoro intersubbanda depender da regra de ouro de Fermi para se determinar a taxa de
transio induzida dos eltrons (banda de conduo).
76
ligada para minibanda no contnuo (BM-CM) e estado ligado para minibanda (B-M), segundo
a classificao citada por Gunapala et al [4], abaixo segue os tipos de QWIP devido s
transies apresentadas formados por MQW com dopagem tipo-n.
Neste tipo de QWIP ocorrem transies intrabanda entre dois estados ligados e foi
demonstrado por Levine et al [12], a Figura 3.14 mostra uma estrutura de MQW produzida
com apenas dois estados ligados dentro do poo quntico e o mecanismo de gerao da
fotocorrente [4]. Trata-se do primeiro QWIP demonstrado.
Figura 3.14 Diagrama de bandas de conduo para um QWIP B-B que mostra a
fotocondutividade produzida pela transio intrabanda e o tunelamento para fora do poo.
Fonte: Gunapala et al, p.202 [4].
Neste caso, aps a absoro dos ftons no infravermelho os portadores de cargas
fotoexcitadas tunelam para fora do poo. Essas cargas fotoexcitadas que escapam do poo
podem ser transportados ao longo do plano do poo no estado acima da barreira devido ao
campo eltrico aplicado, as barreiras bloqueiam o transporte de portadores no estado
77
Neste tipo de QWIP, diminui-se a largura dos poos qunticos de um QWIPs B-B, at
que se tenha um estado ligado, assim a absoro ser entre os estados ligados e estados no
contnuo acima das barreiras. A Figura 3.15 ilustra a banda de conduo de um QWIP B-C
[4].
78
polarizao requerida para coletar de forma eficiente os fotoeltrons pode ser reduzida
sensivelmente, diminuindo a corrente de escuro [4], [12].
Este um fotodetector a poos qunticos com transio entre um estado ligado dentro
do poo e um estado quase-ligado (B-Q) atravs do posicionamento do primeiro estado de
energia excitado na borda do poo. Este tipo de QWIP apresentou um melhor desempenho
que o B-C devido diminuio da corrente de escuro conforme visto na Figura 3.16 [4], onde
mostra a corrente de escuro de um QWIP tipo B-C e logo abaixo a corrente de escuro de um
QWIP tipo B-Q, que apresentou valores 10 vezes menores que o QWIP B-C. A Figura 3.16
tambm represena juntamente com o grfico da corrente de escuro o esquema da banda de
conduo e o processo de fotoexcitao do QWIP B-C e do QWIP B-Q.
79
Figura 3.16 Comparao da corrente de escuro de dois QWIPs XIR, um B-C e outro B-Q,
em funo da polarizao em T = 45K. Pode-se observar a significativa reduo da corrente
de escuro para o detector com transio para o estado quase ligado.
Fonte: Gunapala et al, p.204 [4].
Em temperaturas acima de 45 K a corrente de escuro do QWIP dominada pela
emisso terminica dos eltrons no estado fundamental, dentro do poo para o contnuo de
energia. A diminuio da corrente de escuro no QWIP B-Q ocorre ao se posicionar o primeiro
estado excitado no topo do poo quntico, assim a barreira para emisso terminica se torna
maior do que no QWIP B-C e igual barreira para fotoionizao como ilustrado na Figura
3.16. Para o QWIP B-C a barreira de energia para emisso terminica aproximadamente de
10 15 meV menor do que para a fotoionizao [4].
4) Tipo banda-larga
80
O QWIP banda larga possui uma estrutura de MQW no simtrico, que baseado em
um repetio peridica de um conjunto de poos e barreiras com parmetros ligeiramente
diferentes, tais como largura de poo e altura da barreira. O primeiro dispositivo baseado
nesse tipo de estrutura foi demonstrado por Bandara, em 1998, e continha 33 conjunto de 3
poos de GaAs, com barreiras de AlGaAs com 575 de espessura separando os conjuntos
entre si. A espessura dos trs poos foi projetada para responder em torno de 13, 14 e 15 m
respectivamente. Esses poos so separados por uma barreira de AlGaAs com 75 de
espessura. A frao de Al nas barreiras foi escolhida de tal modo que o poo de 13 m opere
no modo B-Q a Figura 3.17 mostra o diagrama da banda de conduo de um QWIP de banda
larga sob a aplicao de um campo eltrico externo e os possveis caminhos de gerao da
corrente de escuro e fotocorrente no dispositivo sob uma tenso de polarizao [4].
Figura 3.17 - Diagrama de bandas de conduo em um QWIP de banda larga sob a aplicao
de um campo eltrico externo.
Fonte: Gunapala et al, p.205 [4].
5) Tipo minibanda ligada para minibanda ligada (BM-BM)
81
processo de penetrao das funes de onda nas barreiras e poos e a formao das
minibandas de energia para os eltrons e buracos ao longo da super-rede.
Figura 3.18 (a) Superredes construdas por semicondutores A e B, (b) Penetrao das
funes de onda nas barreiras e poos, (c) Formao das minibandas de energia para eltrons
e buracos.
Se a distncia entre dois poos consecutivos suficientemente pequena, possvel que
os eltrons tunelem pela barreira e passem de um poo para outro, em virtude da penetrao
da funo de onda dos eltrons na barreira e em outros poos. Assim as funes de onda dos
poos individuais tendem a se superpor devido ao tunelamento. Os nveis de energia de um
poo para o outro so ressonantes e os eltrons tunelam pela barreira sem mudar sua energia.
As minibandas ocorrem quando a tenso de polarizao atravs de um perodo da
superrede se torna menor que a largura da minibanda [4].
Os detectores de infravermelho baseados em superrede com transio entre dois
estados ligados, cada um pertencente a uma minibanda, ou seja, duas minibandas abaixo do
topo da barreira so denominados de minibanda ligada para minibanda ligada (BM-BM) [4].
Nos detectores com minibandas a fotoexcitao ocorre entre a minibanda fundamental
e a primeira minibanda excitada e o transporte dos eltrons fotoexcitados ocorre ao longo da
minibanda excitada. A Figura 3.19 demonstra o diagrama da banda de conduo de um QWIP
82
83
84
Yu, em 1992, props uma estrutura de QWIP B-M de passo (step bound-to-miniband),
visando diminuio da corrente de escuro melhorando o desempenho do detector. Essa
estrutura consistiu de superredes de AlGaAs/GaAs e entre cada super-rede, so construdos
poos qunticos mais profundos, a Figura 3.22 demonstra a banda de conduo dessa
estrutura juntamente com a minibanda [12].
Figura 3.22 Diagrama da banda de conduo para estruturas de QWIP B-M de passo.
Fonte: Levine, p. R58 [12].
85
86
( z ) = s (1 r )e ( az )
(3.25)
G( z) =
1 d ( z )
,
Ad dz
G( z) =
Ad
s (1 r )e ( z ) .
(3.26)
(3.27)
P ( z )
=0
t
(3.28)
Portanto, a taxa de gerao deve ser igual taxa de recombinao. Isso pode ser
descrito pelo tempo mdio de recombinao dos eltrons (). A equao (3.28) pode ser
reescrita como [2], [33]
87
P ( z )
P( z )
= G( z)
= 0.
t
(3.29)
P ( z ) = G ( z ) .
(3.30)
P=
1
1
P( z )dz = G ( z )dz
L0
L0
(3.31)
P=
s
(1 r ) exp(z )dz,
LAd
0
(3.32)
P =
s
(1 r )[1 exp( L)] = s ,
LAd
LAd
(3.33)
= (1 r )[1 exp(L)].
(3.34)
88
I p = Ad P q = ( s )q ,
L
(3.35)
I p = ( s )e e
L
I p = e s g ,
(3.36)
onde g conhecido como o ganho fotocondutivo e pode ser interpretado como a razo entre o
livre caminho mdio dos eltrons (e) e a espessura do detector (L) [2], [33]
g=
e
L
(3.37)
89
I P = (1 Pc ) I P + (1 Pc )i p ,
I P Pc = (1 Pc )i p
(3.38)
i p = e w s
(3.39)
90
I p = e s g ,
(3.40)
e s gPc = (1 Pc )e w s .
(3.41)
O ganho fotocondutivo total obtido a partir da expresso (3.41) acima pode ser
expresso por:
g =
(1 Pc ) w
.
Pc
(3.42)
91
1 Pc 1
.
Pc N w
(3.43)
3.2.6.2.Espectro de absoro
constante
ND
(3.44)
3.2.6.3.Responsividade
92
valor rms da componente fundamental do sinal eltrico de sada do detector e o valor rms da
componente fundamental da potncia de radiao na entrada. A responsividade espectral de
tenso (ou corrente) dada por [1]:
R ( ) =
Vs
[V / W ]
e ( )
(3.45)
Is
R ( ) =
[ A /W ]
e ( )
R=
Ip
Ps
[A /W ]
(3.46)
R=
R=
e s g
s h
(3.47)
e
g
h
A equao 3.47 pode determinar a responsividade teoricamente, mas tambm pode ser
utilizada para determinar a responsividade a partir de dados experimentais dos valores da
93
94
Figura 3.25 - Trs mecanismos de gerao da corrente de escuro em um fotodetector QW: (1)
tunelamento do estado fundamental, (2) tunelamento assistido termicamente e (3) emisso
terminica.
O primeiro mecanismo ocorre devido a uma seqncia de tunelamento ressonante que
ocorre quando o eltron no estado fundamental deslocar-se pela barreira para poo quntico
seguinte. Esse mecanismo independe da temperatura e predomina em baixas temperaturas de
operao dos dispositivos. Para superar este efeito, barreiras mais espessas podem ser
incorporadas entre os dois poos [12].
O segundo mecanismo predomina em mdias temperaturas (40 - 70 K), o
tunelamento assistido termicamente, processo que envolve a excitao trmica dos eltrons e
posteriormente o tunelamento atravs da barreira, podendo ser facilitado por estados de
defeito que surgem na parte triangular na barreira formada sob aplicao de uma tenso de
polarizao. Para superar este efeito, tenso de polarizao (veja Figura 3.26(b)) deve ser
reduzida.
Figura 3.26 Esquema representando as estruturas de mltiplos poos qunticos sem tenso
de polarizao (a) e quando aplicada a tenso de polarizao (b).
O terceiro mecanismo ocorre pela emisso terminica, eltrons so excitados
termicamente para o estado no contnuo fora do poo e ocorre em elevadas temperaturas. Para
95
I D (V ) = en* (V ) (V ) Ad ,
(3.48)
3.2.8. Detectividade
NEP =
In
,
R
(3.49)
96
unitria. Jones (1952) verificou que o NEP diretamente proporcional raiz quadrada da rea
do detector e da largura de banda de freqncia da medida
Ad f .
D=
1
.
NEP
(3.50)
D* =
Ad f
NEP
Ad f
In
R p0 .
(3.51)
D* =
1
H
f I s
.
Ad I n
(3.52)
97
Rudo Trmico:
O rudo Johnson est associado flutuao na velocidade dos portadores causada pelo
movimento termal dos portadores no elemento resistivo. O rudo Johnson pode ser calculado
atravs da mecnica estatstica e considerando a distribuio estatstica de Poisson. A
expresso da corrente de rudo Johnson dada por [2], [26]:
Ij =
4kTf
(3.53)
98
f =
1
2 d
(3.54)
I GR = 4 g n eI d f .
(3.55)
99
Rudo 1/f
ind = 4kTf
para o rudo Johnson
(3.56)
2
= 4e 2 g 2 b f ,
inb
h
(3.57)
100
2
2
+ ind
I n2 = inb
I n2 = 4e 2 g 2 b f + 4 geI d f
h
2
I n = 4eg (I d + I b )f ,
(3.58)
onde I b = eg b a corrente de fundo detectada no QWIP.
h
A relao entre o sinal e o rudo (SNR) do fotocondutor dada pela razo entre a
fotocorrente e a corrente de rudo sendo
2
(ge s )2
S Ip
=
=
2
N I n 4eg (I d + I b )f
(3.59)
101
4. Procedimento Experimental
Neste captulo sero descritos os mtodos utilizados para caracterizao das amostras
de QWIPs desenvolvidas no projeto.
A primeira seo deste captulo detalhar a composio das amostras de QWIPs
caracterizadas. As outras sees iro detalhar o procedimento de montagem e preparao do
experimento para caracterizao das amostras, e os mtodos utilizados para anlise dos dados,
de acordo com as figuras de mritos: responsividade espectral, responsividade integral e
corrente de escuro. Por ltimo, uma seo destina-se a apresentar os resultados experimentais
obtidos e discusses desses resultados.
102
50 x
50 x
(a)
(b)
Figura 4.2 Estrutura semicondutoras crescidas no LabSem (a) AMOSTRA I de QWIP de
MQW Al0,27Ga0,73As/GaAs e (b) AMOSTRA II de QWIP de MQW
In0,53Ga0,47As/Al0,52In0,48As.
A Amostra I crescida sobre um substrato semi-isolante (substrato formado por
semicondutor intriseco com resistividade da ordem de 108cm, tornando o material quase
isolante [10]) de GaAs de espessura de 450 m orientado com o plano (100) paralelo a
superficie. A camada de contato de GaAs com espessura de 500 nm foi dopada com Si (ND =
103
104
C
C
105
106
Figura 4.7 Caixa metlica para blindagem da radiao infravermelha de fundo nas Amostras
de QWIP.
A montagem dos equipamentos de laboratrio utilizados no sistema para obteno das
curvas IxV no Laboratrio de Caracterizao de Dispositivos Semicondutores do Instituto de
Estudos Avanados (IEAv) apresentada na Figura 4.8.
107
108
DIAGRAMA DE
BLOCO DA
FONTE DE
TENSO DE
POLARIZAO
DO DETECTOR
Sinal
RESISTOR
VARIVEL
Referncia
DETECTOR
9,0 V
CONECTOR
COAXIAL
Criostato
com
Detector
Corpo Negro
TB
Chopper
Modulador
Mecnico
As 2
H (TB , ) = FmTJ 2 M (TB , )d ,
d 1
(4.1)
109
a
.
t
(4.2)
A relao expressa na equao (4.2) pode tambm ser expressa em termos do dimetro
de abertura (Dc) da lmina do chopper e nmero de aberturas (n) da mesma, de forma que [1],
[8].
nDa
,
(Dc Da )
(4.3)
110
0 (onda quadrada)
0,05
0,08
0,10
0,15
0,20
0,25
0,30
0,40
0,50 (onda triangular)
Fm (fator rms)
0,450
0,448
0,445
0,442
0,443
0,421
0,405
0,386
0,340
0,286
Fm (fator rms)
0,29
0,38
0,43
111
Figura 4.11 Laboratrio de Sensores do INPE usado para medidas de responsividade dos
fotodetectores.
Partindo da relao de responsividade dada pela equao (3.45), possvel determinar
o pico de responsividade, sendo que, neste caso, obtm-se o fluxo de radiao por
e ( ) = H (TB , ) Ad cos ,
(4.4)
onde H(TB, ) a densidade de potncia incidente no detector definida pela equao (4.1) e Ad
a rea do detector e o ngulo de incidncia.
Escrevendo a responsividade espectral (R()) em termos do espectro de resposta
relativa normalizada s() e o pico de responsividade do detector, obtm-se a seguinte
expresso
112
R( ) = R p0 s( ) .
(4.5)
AA
I s = FmTJ s 2d
d
M (T , )R s( )d
0
p
AA
I s = R p0 FmTJ s 2d
d
(4.6)
M (T , )s( )d
B
Essa relao vlida para as medidas realizadas com purga, pois nesse caso as perdas
devido absoro ou ao espalhamento do fluxo de radiao so desconsideradas.
Para medidas realizadas sem purga, a densidade de potncia emitida pelo corpo negro
atenuada ao incidir no detector devido absoro atmosfrica e espalhamento por partculas
em suspenso, sendo ambos dependentes do comprimento de onda. Definindo o coeficiente de
extino como (), teremos um fator de atenuao do sinal igual a e-()d, onde d a distncia
entre a abertura do corpo negro e o detector [1].
No sistema sem purga a densidade de potncia incidente no detector definida de
acordo com a equao (4.1) e apresenta atenuao atmosfrica. Portanto, a densidade de
potncia incidente no detector ser expressa por
As 2
H = FmTJ 2 M (TB , )e ( ) d d .
d 1
(4.7)
113
As d 2
H = FmTJ 2 e M (TB , )d .
d
1
(4.8)
114
Amplificador
Sncrono
Lock-in
Computador
Sinal
Referncia
Fonte
Globar
Criostato
com
Detector
Monocromador
Chopper
Modulador
Mecnico
115
FONTE DE
TENSO
CRIOSTATO
DETECTOR
77K
COMPUTADOR
MONOCROMADOR
CHOPPER
AMPLIFICADOR
LOCK-IN
FONTE
GLOBAR
Figura 4.13 Laboratrio de LaRaC do IEAv para medidas de responsividade espectral dos
fotodetectores.
A curva de radincia da fonte artificial usada no laboratrio, Globar Oriel M-6363, e a
curva de emissividade desta fonte a uma potncia de 100W so apresentadas na Figura 4.14.
Figura 4.14 (a) Curva Tpica do espectro de irradiao de um corpo negro a 1050K, de um
Globar Oriel M-6363 com 0,1 cm2 de rea, para uma distncia de 0,5 m e (b) emissividade de
um Globar Oriel M-6363. . (dados traduzidos do Manual) para alimentao da lmpada com
potncia mxima.
116
117
118
119
Figura 4.17 Criostato refrigerado por nitrognio lquido com janela de ZnSe.
As perdas da radiao incidente na janela ptica dos criostatos foi determinada a partir
dos espectros de transmisso j existentes na literatura.
O espectro de transmisso da janela ptica de BaF2 com espessura de 1,0 mm medido
no INPE atravs do FTIR mostrado na Figura 4.18. Observa-se neste caso, que o coeficiente
de transmisso na faixa de comprimento de onda de 2 10 m est em torno de 90%.
100
90
Transmitncia (%)
80
70
60
50
40
30
20
10
0
10
15
20
Comprimento de Onda ( m)
120
100
90
80
Transmitncia (%)
70
60
50
40
30
20
10
0
10
15
20
121
122
1E-5
1E-6
1E-7
Corrente (A)
1E-8
Corrente de Escuro A
Corrente de Escuro B
Corrente de Escuro C
1E-9
1E-10
1E-11
1E-12
1E-13
1E-14
1E-15
-6
-4
-2
0
Tenso (V)
Figura 4.20 Grfico da medida de corrente de escuro nos trs dispositivos da Amostra I em
funo da tenso de polarizao.
Na Figura 4.20 observa-se que a corrente de escuro das trs mesas da Amostra I
apresenta proximidade nos valores e no perfil das curvas demonstrando uniformidade entre os
dispositivos e tambm foi medido a resposta IxV do porta-amostra sem conexes amostra,
mostrando o rudo do sistema e a corrente de fuga.
123
0,01
Polarizao Negativa
1E-3
1E-4
Polarizao Positiva
1E-5
1E-6
Corrente de Escuro A
Corrente de Escuro B
Corrente de Escuro C
1E-7
0
3
Tenso (V)
124
Corrente (A)
1E-6
1E-7
1E-8
1E-9
1E-10
-4
-2
Tenso (V)
Figura 4.22 Grfico da medida de corrente de escuro em funo da tenso de polarizao do
dispositivo da Amostra II, In0,53Ga0,47As/Al0,52In0,48As.
125
0,01
1E-3
1E-4
1E-5
Polarizao Negativa
Polarizao Positiva
1E-6
0
Tenso (V)
Figura 4.23 - Densidade de corrente de escuro da amostra II em funo da tenso de
polarizao, demonstrando a simetria das curvas.
126
forma obtidas sob as condies descritas acima em funo do dimetro de abertura do corpo
negro para determinada distncia entre o detector e o corpo negro e os dados da tenso de
sada calculados a partir de dados fornecidos pelo fabricante, so mostrados na Figura 4.24.
35
30
Tenso (mV)
25
20
15
10
Dados Experimentais
Dados do Fabricante
Distncia (47,40,5) cm
5
0
-5
0,0
0,1
0,2
0,3
0,4
0,5
0,6
127
45
40
35
30
25
20
15
10
5
0
10
20
Tempo (min)
30
40
128
distncia (d).
2,0
1,8
Fotocorrente (nA)
1,6
1,4
1,2
1,0
0,8
0,6
0,4
0,2
25
30
35
40
45
50
55
60
65
Distncia (cm)
Figura 4.26 Fotocorrente da mesa A da Amostra I em funo da distncia (d) com purga.
I s d 2 = R p0 (FmTJ )
As Ad
M (T
BB
, )s( )d
(4.9)
I s d 2 = a = const.
129
R p0 =
(FmTJ )
As Ad
M (T , )s( )d
(4.10)
1800
1750
1700
1650
1600
1550
1500
1450
1400
1350
Equation
y = a + b*x
Adj. R-Square
1300
Value
1250
1200
25
30
35
AC
Intercept
AC
Slope
40
45
50
Standard Error
1605,48266
25,25858
--
55
60
65
Distncia (cm)
Figura 4.27 Grfico de Isd2 da mesa A da Amostra I em funo da distncia (d) com purga.
130
1,4
Fotocorrente (nA)
1,2
1,0
0,8
0,6
0,4
0,2
25
30
35
40
45
50
55
60
65
Distncia (cm)
Figura 4.28 Fotocorrente da mesa A da Amostra I em funo da distncia (d) sem purga.
Neste caso, substituindo as equaes (4.4), (4.5) e (4.8) na equao (3.45) e
multiplicando ambos os lados da igualdade por (d2), obtm-se uma expresso para a
fotocorrente dada por
I p d 2 = R p0 (FmTJ )
As Ad d 2
e M (TB , )s ( )d
d 2
1
(4.11)
AA
ln (I p d ) = ln R p0 (FmTJ ) s 2d
d
(
)
(
)
M
T
,
d .
B
1
(4.12)
131
y = a +b* x ,
(4.13)
y = ln (I p d 2 )
x = d
a = ln R 0 (F T ) As Ad
p
m J
d 2
b =
(
)
(
)
M
T
B
1
(4.14)
132
7,00
ln(Fotocorrente x Distncia )
6,95
6,90
6,85
6,80
6,75
6,70
Equation
Adj. R-Square
y = a + b*x
0,19022
6,65
Value
6,60
25
AG
Intercept
AG
Slope
30
35
40
Standard Error
6,97353
0,04373
-0,00207
0,00106
45
50
55
60
65
Distncia (cm)
Figura 4.29 - ln (Ipd2) da mesa A da Amostra I em funo da distancia (d) sem purga.
Observa-se que a curva no apresenta boa linearidade. Sendo assim, conclui-se que a
aproximao de um coeficiente de extino efetivo, independente do comprimento de onda,
no apresenta bons resultados.
O mtodo utilizado, neste trabalho para determinao do pico de responsividade das
Amostras o descrito para a montagem experimental com purga devido melhor consistncia
demonstrada e maior confiabilidade dos resultados que sero obtidos atravs deste mtodo.
Neste caso, considera-se o espectro de resposta relativa da Amostra I de
Al0,27Ga0,73As/GaAs obtido atravs do FTIR para uma tenso de polarizao de (- 6,0V e - 5,0
V) a 77K mostrado na Figura 4.30.
133
1,0
- 6,0 V
- 5,0 V
Resposta Relativa
0,8
0,6
0,4
0,2
0,0
2
10
11
12
13
14
A Figura 4.30 mostra os dois espectros de resposta, observa-se que eles apresentam
resultados prximos, o pico de resposta est em torno de 9,1 m.
Para
clculo
do
Pico
de
Responsividade
da
Amostra
II
de
134
1,0
Resposta Relativa
0,8
0,6
0,4
0,2
0,0
2
135
- 6,0V
- 5,0 V
- 4,0 V
- 3,5 V
- 3,0 V
- 2,5 V
- 2,0 V
Pico Responsividade
(mA/W)
Mesa A
(27,2 0,2)
(23,6 0,3)
(20,4 0,7)
(16,2 0,2)
(11,2 0,6)
(6,3 0,5)
(2,4 0,4)
Pico Responsividade
(mA/W)
Mesa B
(23,1 0,3)
(21,8 0,4)
(20,1 0,3)
(15,8 0,5)
(10,8 0,7)
(5,9 0,6)
(2,3 0,8)
Pico Responsividade
(mA/W)
Mesa C
(23,1 0,4)
(21,6 0,3)
(19,7 0,8)
(15,8 0,7)
(10,9 0,5)
(5,9 0,8)
(2,2 0,4)
- 6,0V
- 5,0 V
- 4,0 V
- 3,5 V
- 3,0 V
- 2,5 V
- 2,0 V
Pico Responsividade
(mA/W)
Mesa A
(25,2 0,8)
(23,1 0,5)
(19,4 0,6)
(15,4 0,6)
(11,2 0,7)
(6,3 0,4)
(2,0 0,9)
Pico Responsividade
(mA/W)
Mesa B
(24,1 0,5)
(21,8 0,4)
(20,1 0,6)
(15,8 0,5)
(10,8 0,8)
(5,9 0,3)
(2,6 0,7)
Pico Responsividade
(mA/W)
Mesa C
(23,0 0,3)
(21,6 0,6)
(19,7 0,8)
(15,8 0,4)
(10,9 0,5)
(5,9 0,8)
(2,2 0,6)
136
- 6,0V
- 5,0 V
- 4,0 V
- 3,5 V
- 3,0 V
- 2,5 V
- 2,0 V
Pico Responsividade
(mA/W)
Mesa A
(28,2 0,5)
(23,7 0,5)
(21,6 0,7)
(16,3 0,5)
(11,1 0,8)
(6,7 0,4)
(2,8 0,5)
Pico Responsividade
(mA/W)
Mesa B
(22,1 0,5)
(21,8 0,6)
(19,0 0,8)
(16,1 0,7)
(10,3 0,3)
(5,9 0,5)
(2,0 0,4)
Pico Responsividade
(mA/W)
Mesa C
(22,0 0,7)
(21,6 0,6)
(19,0 0,4)
(15,8 0,4)
(10,9 0,8)
(5,4 0,5)
(2,1 0,6)
A Figura 4.32 mostra o grfico do pico de Responsividade para cada abertura do corpo
negro e cada uma das mesas caracterizadas. Observa-se um aumento na disperso dos
resultados com o aumento da tenso. Tal efeito ser estudado em maiores detalhes
posteriormente.
137
30
25
20
15
10
5
0
-6
-5
-4
Tenso (V)
-3
-2
(a)
30
25
20
15
10
5
0
-6
-5
-4
Tenso (V)
(b)
30
-3
-2
25
20
15
10
5
0
-6
-5
-4
Tenso (V)
(c)
-3
-2
138
A Tabela 4.6 apresenta a mdia dos valores de pico de responsividade para cada mesa
caracterizada pela variao da abertura do corpo negro.
- 6,0V
- 5,0 V
- 4,0 V
- 3,5 V
- 3,0 V
- 2,5 V
- 2,0 V
Pico Responsividade
(mA/W)
Mesa A
(26,9 0,5)
(23,5 0,4)
(20,5 0,7)
(16,0 0,4)
(11,2 0,7)
(6,4 0,4)
(2,4 0,6)
Pico Responsividade
(mA/W)
Mesa B
(23,1 0,4)
(21,8 0,5)
(19,7 0,6)
(15,9 0,6)
(10,6 0,6)
(5,9 0,5)
(2,3 0,6)
Pico Responsividade
(mA/W)
Mesa C
(22,7 0,5)
(21,6 0,5)
(19,5 0,7)
(15,8 0,5)
(10,9 0,6)
(5,7 0,7)
(2,2 0,5)
139
30
Amostra I - A
Amostra I - B
Amostra I - C
25
20
15
10
5
0
-6
-5
-4
Tenso (V)
-3
-2
140
- 4,0V
- 3,5 V
- 3,0 V
- 2,5 V
- 2,0 V
- 1,5 V
- 1,0 V
1,0 V
1,5 V
2,0 V
2,5 V
3,0 V
3,5 V
4,0 V
Pico Responsividade
(mA/W)
Abertura 0,6 pol
(87 1)
(74 2)
(67,6 0,7)
(57,0 0,7)
(47,4 0,4)
(25,2 0,2)
(20,1 0,2)
(29,9 0,3)
(43,5 0,5)
(53,8 0,6)
(64,6 0,6)
(75,9 0,8)
(93 2)
(103,7 0,4)
Pico Responsividade
(mA/W)
Abertura 0,4 pol
(84 1)
(73 1)
(64,5 0,9)
(54,5 0,5)
(45,1 0,7)
(24,0 0,2)
(19,6 0,2)
(27,1 0,4)
(41,8 0,4)
(51,7 0,7)
(62 1)
(72,3 0,9)
(87 2)
(103 2)
Pico Responsividade
(mA/W)
Abertura 0,2 pol
(87,2 0,4)
(75,6 0,4)
(67,1 0,2)
(55,9 0,5)
(45,7 0,2)
(24,2 0,1)
(19,1 0,1)
(29,2 0,1)
(42,3 0,2)
(52,1 0,2)
(63,7 0,3)
(73,9 0,3)
(89,7 0,1)
(103,7 0,2)
141
100
80
60
40
Abertura 0,6 pol
Abertura 0,4 pol
Abertura 0,2 pol
20
0
-4
-3
-2
-1
0
1
Tenso (V)
142
- 4,0V
- 3,5 V
- 3,0 V
- 2,5 V
- 2,0 V
- 1,5 V
- 1,0 V
1,0 V
1,5 V
2,0 V
2,5 V
3,0 V
3,5 V
4,0 V
143
A Figura 4.35 mostra o espectro no corrigido obtido com a purga e sem purga e as setas
indicam as linhas de absoro atmosfrica. visvel a reduo da absoro com a purga e isso
fica mais evidente na Figura 4.35 atravs da indicao das setas. Como o caminho ptico no
foi totalmente purgado, um resduo das linhas de absoro permanece.
1,0
Fotocorrente Normalizada
Sem purga
Com purga
0,8
0,6
0,4
0,2
0,0
0
10
12
14
16
18
Figura 4.35 Curva de resposta do detector obtida no LaRaC IEAv com purga e sem purga.
144
100
90
80
70
60
50
40
30
20
10
0
10
12
14
16
145
-6
-2
-1
6,0x10
-6
5,0x10
-6
4,0x10
-6
3,0x10
-6
2,0x10
-6
1,0x10
0,0
Fotocorrente (u.a)
146
3,5x10
-4
3,0x10
-4
2,5x10
-4
2,0x10
-4
1,5x10
-4
1,0x10
-4
5,0x10
-5
0,0
-4,0 V
-3,5 V
-3,0 V
- 2,5 V
-2,0 V
-1,5 V
-1,0 V
Fotocorrente (u.a)
3,5x10
-4
3,0x10
-4
2,5x10
-4
2,0x10
-4
1,5x10
-4
1,0x10
-4
5,0x10
-5
0,0
4,0
3,5
3,0
2,5
2,0
1,5
1,0
V
V
V
V
V
V
V
147
Foram feitos vrios testes com diferentes janelas e polinmios, escolhendo o prprocessamento dos espectros das amostras pelo mtodo Savitzky-Golay uma janela de vinte
pontos e o polinmio de segunda ordem. Os espectros pr-processados por este mtodo,
usando estas condies so mostrados nas Figuras 4.40 e 4.41 onde est representado a
responsividade espectral para tenses de polarizao negativas e positivas respectivamente.
148
- 4,0V
-3,5V
-3,0V
-2,5V
-2,0V
-1,5V
-1,0V
Responsividade (mA/W)
80
70
60
50
40
30
20
10
0
3,0
3,5
4,0
4,5
5,0
100
4,0V
3,5V
3,0 V
2,5V
2,0V
1,5V
1,0V
Responsividade (mA/W)
90
80
70
60
50
40
30
20
10
0
3,0
3,5
4,0
4,5
5,0
149
A Tabela 4.9 apresenta os valores do pico de responsividade obtidos a partir dos dois
procedimentos experimentais, sendo que a medida de responsividade de pico atravs da
medida de responsividade integral est indicada por INPE e a medida do pico de
responsividade atravs da responsividade espectral est indicada por IEAv.
Tenso de
Polarizao (V)
- 4,0V
- 3,5 V
- 3,0 V
- 2,5 V
- 2,0 V
- 1,5 V
- 1,0 V
1,0 V
1,5 V
2,0 V
2,5 V
3,0 V
3,5 V
4,0 V
150
100
90
80
70
60
50
40
30
20
10
0
-4
-3
-2
-1
Tenso (V)
Figura 4.42 Grfico do Pico de Responsividade calculado usando dois mtodos distintos.
151
Como complementao este trabalho medidas de rudo esto sendo realizadas para
determinao da detectividade das amostras alm de medidas de capacitncia para estudos
complementares das caractersticas dos detectores e para subsidiar o projeto de pramplificadores de leitura dedicados.
152
153
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Janeiro, Rio de Janeiro, 2006.
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detectores de infravermelho. 2004. 107 f. Dissertao (Mestrado em Engenharia)
156
CLASSIFICAO/TIPO
DM
5.
2.
DATA
3.
REGISTRO N
4.
N DE PGINAS
156
TTULO E SUBTTULO:
AUTOR(ES):
INSTITUIO(ES)/RGO(S) INTERNO(S)/DIVISO(ES):
RESUMO:
12.
GRAU DE SIGILO:
(X ) OSTENSIVO
( ) RESERVADO
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