Efectos de la cristalizacin de las propiedades pticas de nano-ZnO

pilar pelculas delgadas por el mtodo sol-gel

K.J. Chena, F.Y. Hunga, la informacin correspondiente Contactar al Autor, SJ Changb, S.J. Youngc
y Z.S. Hud.
a Instituto de Nanotecnologa y Microsistemas Ingeniera, Centro de Micro / Nano Ciencia y
Tecnologa, Universidad Nacional Cheng Kung, en Tainan 701, Taiwan, ROC
b Instituto de Microelectrnica y Departamento de Ingeniera Elctrica, Centro de Micro / Nano
Ciencia y Tecnologa, Universidad Nacional Cheng Kung, 701 Tainan, Taiwan, ROC
c Departamento de Ingeniera Electrnica, Universidad Nacional de Formosa, 632 Yunlin, Taiwan,
ROC
d Instituto de electro-ptico de Ciencia e Ingeniera, Centro de Micro / Nano Ciencia y Tecnologa,
Universidad Nacional Cheng Kung, 701 Tainan, Taiwan, ROC

Resumen
ZnO nano-pilares se prepararon en el cristal de silicio por el mtodo sol-gel. Las pelculas se
cristalizaron a diferentes temperaturas (600 C, 650 C y 700 C) durante 1 h en una atmsfera de
oxgeno puro. Las pelculas de ZnO haba estructuras hexagonales y prefera una orientacin eje c
de (002). Debido a la recombinacin de los tomos de zinc difundido con tomos de oxgeno a
temperaturas ms altas ( 650 C), el ZnO nano-pilares creci continuamente a partir de los granos
de ZnO o los lmites de grano de ZnO. Al aumentar la temperatura de cristalizacin, la calidad de la
cristalizacin de ZnO no slo ha mejorado, pero el ZnO nano-pilares tambin creci
significativamente y su duracin fue de alrededor de 30 a 150 nm. Sobre todo, una reaccin de
descomposicin severa reduccin del volumen total de la matriz de cristalizacin (residual pelculas
delgadas de ZnO y el aumento de ZnO nano-pilares). La nano-pilar-de pelcula delgada de 650 C
no slo posee una cristalizacin mejor, pero tambin la eficacia de la nano-pilares que la mejora de
las caractersticas pticas. Adems, el 5% at. Indio dopado con ZnO fue sintetizado tambin y luego
se compara con un-ZnO dopado para aclarar la contribucin de los dopantes indio.
Destacados
Utilizamos mtodo sol-gel sin ningn tipo de catalizador para crecer ZnO nano-pilares.
Mientras tanto, el mecanismo de crecimiento de sol-gel sintetizada ZnO nano-pilares fue creada y
estudiada. A pesar de la densidad y la duracin de nano-pilar se deteriorara la fotoluminiscencia
despus de indio dopado. Sin embargo, la conductividad de la pelcula puede ser reforzada por
unos pocos dopantes de indio .
Las propiedades de cristalizacin y fsica de Al-ZnO dopado con nanopartculas
KJ Chen KJ Chen
, TH Fang , TH Colmillo
, FY Hung , El ejercicio de Hung
, LW Ji
, SJ Chang , SJ Chang

Introduccin
Las aplicaciones de ZnO han atrado mucha atencin en los ltimos aos. Con una energa de
banda prohibida directa de ancho (3,37 eV) y un mayor energa de enlace (60 meV), ZnO es
potencialmente til en diversos optoelectrnicos, tales como sensores pticos y las aplicaciones de
la luz, emisores , etc. , Etc Adems, ZnO tambin es potencialmente til en ondas acsticas de
superficie (SAW), dispositivos de deteccin de gases y dispositivos piezoelctricos. De hecho, los
dispositivos que contienen mayor ZnO, pelculas, nanocables de ZnO y nanopartculas de ZnO ha
sido demostrado . ZnO han sido preparadas por pulverizacin , qumicos , deposicin de vapor
(CVD) , epitaxia de haz molecular (MBE) , el pulso deposicin por lser y el proceso sol-gel .
Entre estos mtodos, el proceso sol-gel es especialmente atractiva por su sencillez y aceptable , sin
embargo la calidad cristalina del ZnO preparado por el . proceso sol-gel puede ser inferior a la de
otros mtodos.Cabe destacar que, los procesos sol-gel con un tratamiento de recocido estn
ntimamente afectan a la cristalizacin y las propiedades fsicas. la literatura, Kuo y colaboradores
han investigado las propiedades pticas y propiedades elctricas de sol-gel derivado pelculas
delgadas de ZnO con una baja temperatura. la temperatura de recocido. Adems, Zhou y
colaboradores han estudiado el efecto de la temperatura de recocido en la microestructura,
elctricos y las propiedades pticas de Al-dopado pelculas de ZnO. En particular, un bajo
la temperatura de recocido no se puede mejorar la cristalizacin, y el efecto de la concentracin de
dopado es digno de mayor investigacin. Adems, los informes pertinentes de ZnO dopados con
metales indican que el efecto de dopaje aumento de la ptica .y las propiedades elctricas del ZnO .
Sin embargo, la cristalizacin a altas temperaturas, todava no se ha investigado.
Adems, la concentracin de soles tambin afecta el cristalino, . propiedades pticas y elctricas de
ZnO. Schuler y Aegerter , han investigado los efectos de la concentracin de soles en la ptica,
. propiedades elctricas y estructurales de ZnO: Al revestimientos. Sin embargo,
. mayor concentracin de soles no se ha estudiado. Para entender el efecto de soles alta
concentracin de metales y el tratamiento trmico de las caractersticas estructurales y propiedades
fsicas de las nanopartculas de ZnO, este estudio dopado Al . En ZnO (2 M) nanopartculas por el
proceso sol-gel para investigar las variaciones microestructurales y el calor utilizado diferentes
condiciones de tratamiento para analizar las propiedades fsicas de AZO nanopartculas.
Experimentos
Adems de acetato de zinc, es posible fabricar sol-gel ZnO muestras utilizando nitrato de zinc .
preparado con acetato de zinc .
Cristalizacin
Un dopado con Al (0-9% at.) Nanopartculas y ZnO dopado con polvos fueron preparados por el
mtodo sol-gel.Las nanopartculas se calientan a 700-800 8C por 1 h en el aire y luego analizados
por difraccin de rayos X (DRX), . microscopa electrnica de barrido (SEM), los espectros Raman
Los resultados de un Al-dopado nanopartculas de ZnO (AZO) se compararon tambin para
investigar la estructura , caractersticas y propiedades fsicas. Los patrones de difraccin de rayos X
de polvos AZO fueron similares a los de ZnO , lo que indica que las micro-Al iones fueron
sustituidos por tomos de Zn y no hubo variaciones en la estructura de las nanopartculas de ZnO.
De los datos de difraccin de rayos X y SEM, el tamao de grano de las nanopartculas de AZO
hubo un aumento de 34,41 a 40,14 nm cuando la temperatura de recocido se increment. La
intensidad Raman aumenta cuando la temperatura de hibridacin se increment. Al aumentar el
grado de cristalino no slo redujo la tensin residual, sino que tambin mejora el bienestar fsico ,
propiedades de las nanopartculas.
Bahadur y colaboradores, encontr que ZnO preparados con nitrato de zinc muestra un rpido y
cristalizacin de azar en comparacin con el zinc preparados con
acetato. Por lo tanto, el nitrato de zinc se utiliz como material precursor en el presente estudio.
Para preparar la ZnO dopado (ZnO) nanopartculas, 0,1 M de zinc
(N hexahidrato de nitrato ,fue sintetizado con el estabilizador de glicol de etileno en agua

desionizada. Para (AZO) nanopartculas, nitrato de aluminio 9 - (Al(NO hidratado (Al (NO
O) se aadi a la solucin de servir como la fuente de aluminio. La cantidad de Al (NO O se
control con precisin y se mantuvo la concentracin de aluminio.
Tres contenidos Al atmica de 5% at., 7 de los casos.% Y el 9 en.%
Despus se agita en una solucin clara a 80 8C por 1 h. Mientras tanto, (C cido ctrico (C
) Se dej caer en estas soluciones lentamente hasta que las soluciones tenan una distribucin
uniforme y se volvi transparente.
Despus de eso, las soluciones se colocaron en un horno a 120 8C hasta que el
el disolvente se evapor y el resto se pulveriz en nanopartculas. Por ltimo, las nanopartculas se
ponen en un oxidante horno para llevar a cabo dos tratamientos de calor para entender el efecto de
temperatura (de los cuales 700 8C-1 h y 800 8C-1 h). Adems, un diferencial de calormetro de
barrido (DSC) y termo-uno se utilizaron para determinar las propiedades trmicas de los
fabricados ZnO y AZO. Las caractersticaslestructurales se analizaron mediante difraccin de rayos
X (DRX), microscopa electrnica de barrido (SEM) y el espectro Raman. Also, PL Por otra parte,
PL se utiliz para entender la relacin entre la concentracin de Al . y las propiedades pticas.
3 TGA y DSC anlisis . Para determinar las condiciones cristalinas,se llevaron a cabo diferencial de
barrido colorimetra (DSC) y TGA de nanopartculas de ZnO gel . Las muestras se calentaron
desde la temperatura ambiente a 900 C con un incremento de 10 C/min en el aire.
Para el DSC curva (C temperatura ambiente $ 400), un pico exotrmico y dos picos endotrmicos
se encuentran a 270, 147 y 317 C, respectivamente.
Estos picos se atribuyen a la evaporacin del agua y orgnicos.Un pico exotrmico grandes se
exhibe en 490 8C, debido a la cristalizacin de ZnO. Por lo tanto, la cristalizacin de ZnO
nanopartculas se produjo a temperaturas superiores a 520 8C. Por esta razn, este estudio
seleccionado 700 y 800 8C para estimar la cristalizacin de las nanopartculas de AZO.
Difraccin de rayos X y la observacin SEM muestra los patrones de difraccin de rayos X de las
nanopartculas de ZnO recocido a 700 y 800 8C durante 1 h. Tanto de las muestras de ZnO fueron
policristalino y corresponden a la estructura hexagonal. Con el aumento de la temperatura de
anillamiento, la intensidad de las principales picos de difraccin de mayor lo que indica que la
cristalizacin de nanopartculas de ZnO se ha mejorado a temperaturas ms altas. Notably, Cabe
destacar que este resultado fue similar a la de las nanopartculas de AZO. After 5 at.%-Al Despus
de 5% at. Al- el dopaje, AZO nanopartculas tambin apareci en la estructura y la ausencia de
picos de difraccin de Al u otras impurezas Sin embargo, el ancho completo a mitad de en el pico
(0 0 2) tuvo una tendencia a disminuir con el aumento de la temperatura de revenido de 700 a 800
C.En otras palabras, el grado cristalino era ms grande que ZnO cuando la temperatura se elev de
700 to 800 C. 700 a 800 C.
Adems, nuestros resultados y los informes anteriores tambin muestran que el aumento de la
temperatura del tratamiento trmico mejora la cristalizacin de las nanopartculas de ZnO. Para
entender el cristalino mecanismo de AZO, el tamao de grano de las nanopartculas AZO se
calcula a partir de la FWHM de (0 0 2) el pico de difraccin utilizando la frmula de Scherrer
donde 1.54 A, es la longitud de onda de rayos-X de 1,54 A, es la Bragg difraccin de ngulo de la
punta (0 0 2), y es el FWHM de . La DTA-TGA curva de ZnO. Los patrones de difraccin de rayos
X de las Naciones Unidas dopado con polvos de ZnO sinterizado a 700 y 800 8C. . Los patrones de
difraccin de rayos X de 5% at. AZO polvos sinterizados a 700 y800C.
El tamao de grano medio de AZO nanopartculas aument de 34,41 a 40.14 nm cuando la
temperatura de recocido se increment de 700 to 800 8C.
El tamao de grano de la AZO nanopartculas increment con el aumento de la temperatura.
Los 582 cm corresponde a resolver los picos Raman debido a resonancia multifonnica y los
procesos y estn relacionados con la deficiencia de oxgeno . Conforme a los resultados de Li y
colaboradores, , Los 537 cm , mximo es un modo de Zn-C, y los 658 cm pico fue una Zn-CH
modo, que se asocian con el material precursor en el proceso de sol-gel. Pertinentes estudios
tambin muestran que los 537 cm el modo de ser m cerca de los 540 cm modo, podra muy
probablemente ser asignados a las vibraciones de segundo orden, ya que el el modo de alrededor

de 510-520 cm. Mientras que la contribucin de primer orden- el modo es de alrededor de 560 cm .
Adems, los 658 cm est muy cerca el modo de cerca de 645 a 650 cm.
Comparando los AZO con las nanopartculas de ZnO ,los modos se desplazan hacia el lado de alta
frecuencia. Con el aumento de la concentracin de dopante Al, los modos de disminuir. The 438 Las
438 y 582 cm modos disminuy con un aumento de las concentraciones de Al, lo que contribuy a
los iones de Al en la red ZnO sustituyendo Al en la posicin de Zn. La intensidad de los 331, 385,
438 y 582 cm modos disminuy con el aumento de la concentracin de Al.
Al-dopada de ZnO en polvo en 700 y 800 8C durante 1 h en el aire.Todos los picos de intensidad
mayor claridad cuando la temperatura
se increment. La misma tendencia se observ tambin en Al-dopado. Muestras de ZnO mediante
pirlisis de pulverizacin , y demuestra que la calidad cristalina de las pelculas ha mejorado. En
particular, es diferente del mtodo sol-gel; nuestra presente mtodo sol-gel fue capaz de evitar
defectos en la superficie en el punto . las altas temperaturas de recocido. De acuerdo con un estudio
pertinente, un aumento en el pico Raman indica que la intensidad de la tensin residual se haba
reducido que lleva a mayor calidad cristalina. Adems, la reduccin de la relacin pico de
intensidad-385 cm Lla temperatura se asocia con el trastorno de red a lo largo del eje c del cristal de
ZnO .Sin embargo, la relacin de intensidad de 385 cm , aument desde 0,944 hasta 0,956, con
el aumento de la temperatura de recocido. Por otro lado, hay aumento de los modos de segundo
orden a los modos de primer orden y disminuiye al aumentar la temperatura de recocido, debido a la
mejor cristalizacin de las pelculas delgadas y esta vez compatible con el segundo orden de la
naturaleza de los 537 y 658 cm .
Propiedades pticas de los polvos de ZnO
La Fotoluminiscencia (PL) se utiliza para comprobar la calidad ptica
y los posibles efectos de Al dopaje muestra el espectro de PL el uso de nanopartculas AZO 325 nm
de luz ultravioleta de un lser de He-Cd en
a temperatura ambiente.El ZnO y AZO nanopartculas se trataron a 800 8C durante 1 h en el aire.
En este espectro, el ZnO polvos contienen una banda de emisin UV a 375 nm y 386, y un
banda de color verde intenso y de amplia emisin se produce alrededor de 533 nm .Hsieh y
colaboradores demostraron que la banda cerca de se debe a la transicin de la conduccin a banda
se debe a la transicin de la conduccin a banda de valencia. Another UV emission of 386 nm was
Otro de emisin UV de 386 nm se atribuye a la recombinacin excitn libre en ZnO. On the other
Por el otro lado, la fuerte emisin verde (533 nm) se debi principalmente a defectos intrnsecos.
Los defectos intrnsecos asociados con profundas nivel de emisiones como las vacantes.
disorder. trastorno. For Raman spectroscopy, the 438 and 582 cm De la espectroscopia Raman, los
438 y 582 cm , los modos disminuy con el aumento de la concentracin de Al, que se atribuye a
Al iones de unin con los iones de oxgeno o Al sustituir el oxgeno
deficiencia. Adems, los dos picos a 543 y 658 cm asignado como Zn-C y CH-Zn modos,
respectivamente. The PL El PLcaractersticas muestran que la calidad ptica degener poco a poco
con el aumento de la concentracin de Al. Polvos de Al-ZnO dopado
tena las mejores caractersticas y propiedades pticas de este estudio.
Acuse de recibo
The authors are grateful to the Chinese National Science Council Los autores agradecen al Consejo
Nacional de Ciencias de China por su apoyo financiero (Contrato: NSC 96-2,221-E-006-103-MY2;
NSC 972218-E-006011). NSC 97 a 2.218-E-006-011).
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