1.
1.1.
.
,
: ,
.
( = 106 104 ,
= 104 1010 , > 1010 ).
.
.1.1
(.1.1)
. ( )
= (1 + )
(1)
, ,
= 0/ = 0-/,
(2)
0,
, 1/273 (0 = 273), 0,
,
.
, ..
,
/ = (2 1)/(2 1) > 0.
(3)
. ,
.
, .
,
.
.
, .
,
.
, ,
1010 104
11, ,
, .
:
. , .
, ,
( , :
[m, n, p] ,
x [1,0,0]
y [0,1,0]
z [0,0,1]
.
m
.
x
.
.
.
.
.
.n y
.
.
.1.2
:
m, n, p,
x y z
1
m n p
hx + ky + lz = 0,
{h, k, l} .
()
.. .
()
(
).
,
.
.
.
,
(
1013 3, 1010 -3).
()
-
. ,
, ,
.
.
= 0,
(4)
0
( ), 107 /.
,
.
, .
, .
,
.
( )
. ,
, .
, .
,
.
, ,
.
,
(: , , .)
, ..
.
( ), n-
(negative).
.
-
(positive),
(
i (intrinsi)).
.
= 00 ,
( 600 ) , ,
.
,
, .
1.2.
,
, h .
, ,
.
()
.
,
,
.
,
.
= (n En-1)/h,
En n- , h = 6,621027 .
,
( ) ,
. ,
,
.
.1.3
10
( ) .1.3,
.
,
, .
.
(
)
. ,
,
() .
= 0 , (), ()
()
.1.4.
.1.4
.
,
, .
,
,
,
.
.
11
, ( ),
,
.
, ,
, ,
: .
,
, ,
(
).
.1.5,.
. ,
, .. ,
,
, , .
,
,
, () .
, .
,
.
12
.1.5
.
.
: n-
-
,
-
. n-
, - . .. ,
.
,
, . Na N ( )
N* N*.
, (.1.5, ).
(
) ,
, k, -
13
, k 1,380510-23 /0. k
(3/2 k),
.
q, - , , q , 1,61019.
- ( ,
1, 1 = 1,602101019.)
,
-,
.
k , (k = q),
T = kT/q T/11600.
(5)
, ( = 293 )
= 0,025 25 .
k ,
, ,
i q.
C V,
..
= - V
(6)
, -
.
= (0,2 1,5), > (2 3)
, ( ) < (0,1 0,05) .
14
= ,
(7)
.
1.3.
(1022 1023
3), .
.
,
.
-:
Fn () e
F
T
F - , .
.
, 0,5.
15
Fp () exp F
(), ()d d.
Fn() Fp(),
+ d.
n max
C max
P()F ()d
n
P() ~ ()0,5,
:
F
n N c exp c
(10)
Nc ()
Nc = 0,51016(mn/m)3/2T3/2,
(11)
mn , m ,
910-31.
:
F v
p N v exp
Nv
(12)
Nv
= 0,51016(m/m)3/2T3/2,
m . (
NC / NV
=2,8)
(13)
16
np ni2
, (10)
(12)
np N c N v exp (3 / T ) n i2 ,
(14)
..
, .. .
,
n ni , p ni
n i N c N v exp [3 / 2T ]
(15)
:
.
(, 1 2 = 0,2
4
= 55 ,
ni
, );
(,
/2 = 20 5% 15 0
293 0 ,
, ).
( )
n / p exp [2(E F ) / T ]
p n i2 / n
(16)
F E T ln( n / n i ),
n n i2 / p
(17)
17
F E T ln( p / n i )
(18)
,
.
, :
, (..
(
(
n p ni
n ni
p ni
);
) ;
) ;
,
,
.
(.1.5, 1-
, 2- , 3-
).
:
F const , grad ( F ) 0
Ng3
Ng1
1
).
2
n
T V
-
Na
F
p
(..
18
.1.5
1.4.
,
,
j E
(19)
,
qn n qp p
,
n , p
(20)
,
.
n N*g p N*g n i2 / n ,
(21)
N*g
n 2 N *g n n i2 0
, n,
n n ( Ng / 2) 2 n i2 Ng / 2,
p p ( Na / 2) 2 n i2 Na / 2.
(22)
19
( )
:
n n Ng
pp Na
(23)
p n n i2 / N g
n p n i2 / N a
(24)
pn , n p
( Ng = 21017 3
2103 3, .. 14 ,
).
,
,
, .. .
, , .
v E
(25)
2/()).
1 / /.
, (
3 ) , ,
.
, ( ) (L-lattice)
20
L = 0L (T0/), ( 5/2)
(26)
(I ion )
I = 0I (T/0)3/2,
(27)
0I (, 0,
).
(, n p- = 5/2).
L I . (
4 5 ).
i = qni ( n+ p)
(28)
ni,
. i(1/)
.1.6. (..
600 . +1250 5 ),
0 +200.
21
.1.6
n = qN q n ;
p = qN a p.
(29)
.1.7
Na, N ,
. .1.7
(/0) (1/) (N2 > N1).
1 i(1/).
.
,
. ,
.
22
1.5.
.
, ,
, ,
.
:
.
( , .. ).
q3 (
), ( ).
(,
, 3-
: ( );
)).
, (..
q3, , ,
, ).
()
, q3 1
, , ..
.1.8
.
, .1.8.
23
.
( 1, 3)
( 2, 4).
(1) , (3) .
(2),
- (4),
, , ..
,
.
r,
r = v,
(30)
, v
.
r .
0,
.
= 1/(r0),
(31)
= 1/(rn0),
(32)
0 (-
0
n0
).
, ..
R0:
R0 = r n0 0 = 0/ = n0/ .
(33)
, ,
.
24
n = n0 + n;
p = 0 + p
(34)
, . n, ,
.
n = ,
..
dn/dt = dp/dt.
(35)
, (n, p) , .. n(t) (t)
.
, ,
,
dn/dt = q r (np),
(36)
q ; r (np) .
q
q = q 0 +q = r (n0p0) +q,
(37)
q0 , .
r (np)
r (np) = r [ n0p0 +n(n0 + p0) + n2]
(38)
n n0 + p0, n2 n0, p0
(31), (32)
r (np) = r (n0p0) + n(1/ + 1/ n),
(39)
,
1/ = 1/ + 1/ n
(40)
25
r (np) = r (n0p0)+n/.
(41)
dn/dt = q n/.
q = 0
dn/dt = n/,
(42)
n(t) = n(0)et/,
(43)
n(0) .
(43) ,
= 2,71 .
(40) ,
n . ,
= , = n.
0,1 1 ( Au Si
10 ).
, ,
, .
s, v ,
1/ = 1/ s + 1/ v.
(44)
s < v (- ),
s. ,
v,
26
s [/],
100 . 10000 / .
,
, s
, ,
js = qsn.
(45)
.
1.6.
.
, .
,
(), U .1.9.
-- ()
.
, .
,
. ,
,
(.1.9).
, .1.9,, (/d)
, .
( , .1.9
). ,
27
, ,
, (..
,
).
+ +
d +++ +
+++
+
U+
x
.1.9
, ,
, .
d2/dx2 = /0,
(46)
; 0
( 0 = 91014 /;
.
= q (p + N*q n N*a).
(47)
n, p (47)
. ,
, , n0 0
(
),
0.
n, p, .
(17) n0 0
28
n ( F = cost).
:
E E 0 ln (n 0 / n )
0 =
(48)
.1.9), n
n n 0 exp[ / ]
(49)
:
0 exp[ / ]
(50)
(..
), n (47),
,
, .
:
(n0 = p0 = n; N*g = N*a = 0)
2qn ish ( / )
0
2qn i
(46)), :
d 2
1
2 sh
2
dx
l Di
l Di
(51)
(52)
lDi 14 ).
29
S T
, ..
0 (0) S
sh
:
( x ) S exp( x / l Di )
(53)
, ,
( x )
.1.10 , .1.9.
.
n
x
n
0
.1.10
,
, .
30
( , ).
, .
,
( .1.10,, ).
s 2
(53), , :
lD
0
l Di
qN
(54)
N ( ).
N >> ni,
lD
, . ( N = 1016
c3,
lD
0,04 ).
lD
,
( .1.10, ).
.
, .
, .1.10,.
31
2 0 s
l0
lD
l
0
qN
(55)
lD
, 0
lD
( ),
.
,
,
, .
,
. 1 2 , .. 3 4
.
0,6 1,0 .
1.7.
) ( ).
, :
J = (jn) + (jn) + (j) + (jp)
(56)
( ,
32
(57)
(jn) = qn dn/dx = qDndn/dx;
(jp) = qp dp/dx = qDpdp/dx,
(58)
Dn, Dp ,
, .
D :
Dn,p= n,p.
(59)
,
,
.
(), n(x), ().
,
. n(x, t), p(x, t)
,
:
dn/dt = g (n - n0)/ + (1/q) div(jn);
d/dt = g (-0)/ (1/q) div(j),
(60)
n n0 = n, p p0 = p ; g
();
.
div ( j / q )
1
j
q x
g ( 0), :
33
n
n n0
2n
n
E
D n 2 n E n n
;
t
x
x
x
p
p p0
2p
p
E
Dp 2 pE
p p
.
t
x
x
x
(61)
.
,
( ) .
.
() . (n
> p), ,
( ).
(
. .
- , , .
,
:
,
,
..
)
, ;
34
:
(- ), ;
); ,
,
;
:
, ,
.
.
( ).
(61) ..
= 0.
,
:
= n /N 1.
1,
.
1.8.
-
- -n
() .
() , ..
, .
, ,
35
. ( , ,
).
, n,
,
-n (- ).
-
.
1.
,
, (Ng Na).
, ..
.
2. ,
, .
(Ng = Na).
-n- .
-n- ,
dN/dx >> ni/lDi ,
(62)
, .
, .. Ng Na.
.
36
, (
) 1 2 ,
n+ - , + - n, +
( ,
-n- ).
. 1.11 -n-
(
nn0 0 , );
; ;
.
Ng
p -
pp
n -
np
pn
np
pp
Na
+
Na
p -
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Ng
pp
Na
pn
nn
nn
Ng
n -
nn
np
.1.11
n, ,
, n .
.
,
(np = n2i).
,
,
,
.
( n).
, (0 nn0)
, ..
, .
37
(
)
-n- .
-n- ,
.1.11, , ..
.
:
(
);
(-
);
,
;
.
.1.12 -n- ()
()
.
-n-
.
.
- n- .12,:
0 = n
(63)
n (17) (18),
= , n = nno,
0 = ln( nno / n2i)
(64)
38
(65)
.1.12
,
, (
). Ng = 1019 3, Na =1016 3
ni = 300 0 = 33 0,83 .
(nno, )
(n, no) ,
, :
0 = ln(nno/n);
0 = ln( o / n).
(66)
39
,
( ) ni (64), (65).
n--
... U - n-,
. ()
,
, U
, ,
...
... U -,
= (0 U) .1.13,. .
-
= (0 + U) .13,.
.
,
.
- E +
p
n + + + + + + -
+
n +
+
+
+
+
+
E
+ + + + + + + + + + + + -
.1.13
2 0 ( 0 U)
qN
(67)
, (U 0)
(U < 0). (
40
..
).
,
(np, pn) np0, pn0
np = npoexp(U/T) - n ;
pn = pnoexp(U/T) - ,
(68)
..
.
, ..
.
np
pn
npo pno,
n p n po (e U / T 1) ;
p n p no (e U / T 1) .
(69)
np/ pn = Ng/Na .
(70)
) , .. ,
,
, ( )
.
,
, , .
, ..
, (68), , .
(69) ,
npo pno
41
.
, , ,
.
, , ..
.
,
.
, (58).
, l = 0, ..
,
d(n)/dx|x=0 = np/Ln;
d(p)/dx|x=0 = pn/Lp,
(71)
Dn
n p 0 (e u / T 1),
Ln
Dp
Lp
p n 0 (e u / T 1).
(72)
jn jp, S
- () p-n-
I I 0 (e u / T 1)
(73)
42
I0 q
DS
D nS
n p0 q p pn 0
Ln
Lp
, .
I0(T)
*, .. ,
T0
T
ln 2 T0 ,
0 .
0,
I0(T) = I0(T0)2T/T*,
= 0.
p-n- .1.14,
I0
(73),
( ).
I/I0
60
50
40
30
20
-6
-4
-2
10
U/
-1
0,5
1,5
.1.14
,
.
,
, r.
, , p-n-,
43
r.
U = ln(I/I0) + I r.
,
(0,2 0,5 ). 0,
U = 0 + I r.
.
.
I U2.
(
.1.15)
.
.
(
),
. (
p-n-
).
).
44
.1.15
.
rp-n = dU/dI = T/I.
,
, U = I rp-n. , rp-n
I,
I, rp-n. ( rp-n = 25 ,
I =1 , (
5) rp-n= 50
).
. ,
, I0 (73). ,
, -
. ,
, .1.16. (
n , .
45
,
.
, .
: n-, -.
IG).
(
- )
:
IG = (qlS/)ni
.1.16
= 0,1 , l = 0,5 , S = 510-62 ( Si) IG = 1011, 4
.
:
(
n--);
;
( n-- );
46
(
n--);
(
.
,
. n--
,
);
( ,
). ,
, . ..
, ,
.1.17.
I, A
I, A
0,8-
0,15-
Si
0,6 -
Ge
+20
0,1 -
600 400
0,2 -
200
0,5 1,0
+125 +60
50 -
U, B
400
-60
+75
200
+20
+75
0,4 -
0,5 -
800
+20
+125
+20
I ,
U, B
+20
0,3
0,6
- 0,4
+50 0
0
+60
- 0,8
- 1,2
+750
I,
- 1,6
.1.17
,
. ,
47
,
. ,
.
1.9.
.
,
, ,
.
, .. . ,
( ),
< 0, .. ,
.
( )
, .
( ).
, , ,
, .
.
.
F,
.
48
, -,
d .1,9 .
.1.18 ,
() n- ().
, Fm > Fp (.1.18,)
-.
.
-,
()
. ,
.
.
.1.18
49
Fm < Fp (.1.18,),
,
.
,
. U = ms/q,
( -) ms = qU
ms = m s.
(74)
ms /( qd) (m s ) /( qd)
(75)
( )
NS 0 / q ms 0 /( q 2d)
(76)
L,
, ,
, , :
L NS / n ms 0 /( q 2 nd )
(77)
s0.
, s0 ms.
m s
.
, -.
50
.
s0 0 -n-.
, s0 ms,
L, .
+ , ,
( .1.18,). ().
.1.18,
. ,
.
,
.
.
+ (.1.18,) -
, ,
.
.1.18,
, ,
,
,
. .
1.10.
--
,
.
.
51
.1.19.
. ,
,
. ,
- .
,
F.
(.1.19,,, -
- -
;
- .)
q k
q k
n
.1.19
, .
,
, ,
.
52
) 100 150
- ,
. ,
, ,
.
, .
2.
1948
,
.
.
.
. 2.1
.
, 1, 2
.
,
.
53
()
, ,
,
()
.2.1
2.1.
, pn- -
.2.2. :
-
.2.3,,,)
( .2.3,,).
.2.2
( (
60 +60) 1 (
60 +75)); ( (
60 +85) 2 ( 60
54
+125)); - ( ( 60
+200) 3 ( 60 +800));
- .
( ) .
.
Al
p
Si - n
m
p
Au
Ge - n
.2.3
:
-1- - ,
-2- 100:
001-100 - Ge;
101-200 - Si;
201-300 Si;
301-400 Ge;
401-500 ;
501-600 ;
601-700 ;
701-750 Ge;
751-800 Si;
801-900 ;
901-950 ;
951-1000- ;
55
1001-1100-,
-3 - .
1964 :
-1 1, 2, 3, , , .
-2 :
- , , ;
;
;
;
;
;
;
;
( 101-199, 201-299)
( 301-399, 401-499, 501-599);
-3 ,
( 101 999).
.
-4 - - .
1973 :
- :
;
;
;
.
-3 ( 101 999)
, , .
56
-4 .
1981 :
-1 4 () ;
-2 0 ;
-3 3 4, 3 1 9
, .
-4 01-99
3. 4 101 999
.
-5 - , 0, 3, 4.
:
2 - .
1 6 5 -
.
- 5
- - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - -
- - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - .
( ), , (), , , ,
, , .
, ,
,
.
.1.15, - = 0; - .
; - .
(67)
57
2 0 ( k U)
qN
x 1 l1
- l1 , - l1 . r
(73) ,
I = I0(eq(U - rI) 1) ;
(78)
, ,
( -- ) -
-.
, ,
, ,
( ).
.
,
.
0 ( ).
, q =
E, , -. ,
,
p-n- .
.1.11.
, ,
,
(
.1.13,).
58
( ).
(U < 0).
.
0,3 0,5 .
. (
)
(
),
2.2.
( ) 2 ( 1) .2.4.
(--)
( ,
50 . 100 -
, .. t< ):
1.
2.
3.
p-n-,
.
( ,
) , ..
.2.5.
59
,
.
,
.
3
(10 d
),
- , d - .
d 10 .
U/ Uz
n
p
0 + U
0,8
0,4
.2.4
0
2
20
40
60
80
10
100
I/I0
.2.5
1,2
.2.6
UZ = 40n + 8p, ( n, []
).
.
.2.6.
2.
, (
U 1 B, l 1 , 10 /
. :
).
60
, ,
.2.7,.
1,0
10
20
40
60
I/ I0
.2.7
- ,
.
. , ,
, .
.
I
1
I 0 (1 U / U )
( ); I U
; U (
=
).
.2.7,,
U m,
61
n Si 86;
n Si 0,65;
p Si 23 ;
p Si 0,75 ; m
Ge 0,6;
n Ge 83;
p Ge 52.
62
U() , UZ(),
, U < UZ, , ,
UZ < U (..2.7,)
,
, , 5 .
.2.8.
, %/
0,08
0,04
0,02
2
5
U UT
0,06
10 20
-0,02
U,
50 100
-0,04
.2.8
.2.9
,
( = 0 ) UZ.
L 0L (T0 / T) c
I 0I (T / T0 ) 3 / 2
), U.
-,
. , , .2.6 2.7,
,
.
63
( ).
R. = dU/dI.
r.= (UZ/I)E.107; r. =
(U/I)(1 - U/ U). (, UZ = 3 , I = 2 , = 4 105 /, U =
10 U/ U = 0,98, R. = 60 ,
R. = 100 ).
R. .
R. 2 - 10
( ) 20 - 50 ( ). (
.)
. G ,
..
: dU/dI<0 ( .2.9
). ( )
U 3/( RtI),
Rt (
- = RtP, - ,
,
Rt
.
Rt = 0,50 / I= 1010 , Si U = 6107 .
U
.
, :
,
(,
I = 1 U 6 ).
64
65
2.3.
(
2.730-77 .2.10)
(.2.11), (
), L
. , r --, r
.
L= (1 20) , 100
(
L ).
0,3 0,5 .
r = R r, R = dU/dI
R r
q ( U )
- 200
5 6
b 4 5
(, b) k
+ -
60
r
r
.2.10
- 100
.2.11
-10
U,
0
.2.12
: = +.
,
-- ( .2.12
66
() ()
).
..
(67),
(0)(1
U n
)
(79)
(0) U = 0, - ,
n=
1 / 2 ( ),
1 / 3 () .
(..2.12)
+-,
,
l l(l n /l p N 0 / N )
. Q
Q qNSl
N ; S . (
) n+- .
, Q/U. ,
U,
( 0 U )
,
Q
(67) ( )
0
0,5 0 qN
0 U
67
,
U
Si (
12
U 2 0
0,5 0 qN
0 U
(80)
q 0 N
2U
0 310-16(N/ U )0,5.
,
l 3
9 0
( 0 U)
qN
(67)
20 ( 0 U)
qN
--
C
I ,
q
I ~ I
.
= f(U) .2.12.
, ,
,
.
68
, : ,
.
,
, -
. U<0
( ).
2.4.
. ,
, ,
(
). , ..
, --
.
, .2.13.
,
,
E1, R
R .
, --
(
) .
, ..
( )
-- .
, -
, -
69
.
( = 0).
--: U
(.2.13,), -- Up-n (.2.13,),
.
(
t2 t3).
, ,
.
V
U
t1
t2 1 t3
t4
t
2
U
U
Up-n
i
I0
I.
.2.13
( 1 2)
t3 (.2.13,),
..
. -- I.= 2/(r + R)
(
70
r .
, .
I0, R .
t3 ,
1,1I0, ()
,
.
t3
,
Ir, , ..
(.2.14).
.
, ..
.
,
R..
. ,
1,1R.
()
R = U /I .
71
U
t1
t3
t4
U p-n
U/r
U ,
t3
1,1U
t2
I r
t1
t2
i
t
.2.14
.2.15
.2.16
(.2.15)
(- )
.
t1 .
U / r
. ( ),
-- t2
,
--.
,
()
(t4 t3). ,
.
,
,
.
R, , Ri .
72
1 / 2
(.2.16)
, 30 50 .
, .
, ,
-n- .
,
-n-.
,
-n-,
. , -n-
,
.
1/2 30 50 (
) .
().
,
1 , ,
.
2.5.
73
:
50 -2; ;
;
; ,
.
,
.
( 1500 4000 ),
-n-. ,
100 400 .
GaAs 200
800 ,
( 60) +(125 175) , ( 60) + (70 85)
. , 85
- ,
,
.
,
- ,
, ..
, .
-n-
.
n-
-.
74
-Si, n-Si.
-
n-Ge.
.
-n- , .. .
.1.17.
Si
.2.17,, ,
1 ,
2 ,
3 ;
4 ( ,
);
5 ;
6 ;
7 (Al, Cu).
( )
-. ,
.
,
,
.
,
.
75
R (.2.18,).
. , I ,
U., .
R, ( )
(.2.18,).
:
4
5
2
1
4
0,5
5
6
8,9
0,9
47
4
7
1
2
3
0,5
11,2
.2.17
R
R
U (n 1)
nI 1,1 I m
nU 1,1U
(n 1)I
,
,
76
Im , ; U
, ; n
; 1,1 10%
.
.
.
.
V
R
V
.2.18
. -
0,318 U, - 0,638 U, = 1,3 U
(.2.19,, , ).
U .
,
2U (.2.19,).
77
.
.
. .
U
.
.
.
. .R .
0,318 U
t
U
0,638 U
.
.
U .
.2.19
2.5.
(. .2.11).
. 10- 100
1052).
(U 150, I 50 ), (U 80
, I 1,5 ), - (U 10 , I 30 ) .
78
()
(n-Ge).
5 7 .
(
1 )
,
--.
, (, ).
n-Ge
-.
(73),
r
.2.20,
:
r
-
(.2.21,
.2.17). n-Si,
,
--.
2,0
0,5
60
40
-50 -25
20
0,5
1
I ,
U,
1
3,8
9,4
I ,
1
2
4
79
.2.20
.2.21
(
-) ,
:
U;
I;
I U ;
(
):
I- ;
U
;
I.-
;
U. ;
- ,
. :
R;
= ( + ) .
:
I. U
;
;
;
.
80
2.6.
, ,
-n- .
,
.
-n-
( ) ( ).
.2.3, ,,,.
(
, ).
0,1 < < 0,1
< 0,1 .
.
,
, ,
-n-.
, -n-
,
( - .2.3,).
(.2.3,).
( Si)
. -n-
.
-
-n-
81
, ,
.
,
.
1/2 (..2.16) ().
( )
kT a
q N
,
; N -
.
() L;
qL p
kT
(
n-) , .
5.
:
U, I, U , I ; :
),
(
).
0,07
82
U .
(1 ).
I
( 500 )
r
, (50100 ).
2.7.
,
.
,
. ( -n-
.. 1953 ).
.
- -
,
.
,
( U ) n
83
,
.
(
),
.
,
,
f 1 / 2r
Q 1 /( C r )
1.
( U=10)
r r C
r,
.
84
U,
.
,
.
.2.22.
, --
r C 0
0
h
2
U
(qa ( 0 ) 2 h[24( U )] 1 )1 / 3
, h
, .
--
.2.23.
F,
I ,
GaAs
10000
40
Ge
1000
20
Si
U,
-20 -10
100
1
-20
-40
10
10
1,0
.2.22
10
100
U,
.2.23
2.8.
-, +--+
85
- .
.2.24 ( 2.730-73).
5 6
b 4 5
d 1,5 2
(, b, d) k
60
b
.2.24
,
.
;
.
--
.
(C)
.
.
-- .
C ( -)
,
.
:
( );
, (
,
);
(
);
( ).
86
,
U, ..
dQ 0
dU
0 S
4d
S ;d ( ).
, -- ,
.
,
()
,
.
, .. .2.25.
C
t
Uc
t
+
U
-
Cp
R
+
U
-
.2.25
.2.26
-U
.2.27
--
n p.
87
( Ge =10-3 , =16
=1,4 10-13 ) 10 .
.2.11
.2.28.
rn
SiO2
Si
r
r < r n
C < r n
r << rn
.2.28
.2.29
,
r r. ,
r , , (
) , ..
Q rn = 2fCrn,
rn,
1
1
C r 2fC r
f f .
,
,
r. , f ,
f U
2n q 1
0 2
88
- .
--
() .2.29 ,
SiO2.
p-Si .
p-Si
; , pn-.
,
1014 1015 -3 1 ,
( : =
0,1n1 , U0 = 050 , kC = 36, = 0,10,3 ).
/ = kC.
:
;
(
10)
( = f(T0), T
10)
U ;
Q (xc/r
U0=const, f=const
);
, , (
, ).
2.17,
(. ), .
89
-GaAs, n-Ge,
+--+.
2.9.
, ,
( )
.
( .2.30,)
(U)
.2.31.
-- (-) 1,
2.
-
+ +
.2.30
-U
1
U
2
I min2
I min1
U c
P1max
2max
I max2
I max1
.2.31
,
( ), --
( 5 ) -
() , --
90
.
,
.
.
, ,
, , ,
, .
.
(168)
(147) .2.32.
R ,
147
100
I=3
80
60
40
168
20
I=10
U ,
5,5
10
20
30
6,5
40
7
50
I , A
60
.2.32
, - R,
(.2.33).
91
I=I+I
.2.33
U I I
= U + R(I + I).
U c
1 R / R R / R
U U
R
R
U R ( I I ) U R
..
..
R / R 1, U E.
(..2.33)
R, Uc
.
,
( 0,1 1,0 )
, .. .
- , .
92
.
( )
. 0 - 20 . (
).
.
(..
), .
,
,
( )
.
: .
.
, ,
, . .
. U
5 400 250 50 .
. , (
Si).
I (
),
U;
93
R =
dU
dI
( );
R=U/I ; (
);
R /R
R
I U
/
R
I U
= 20 100).
TKU c
1 U c
U T
, :
U
; ,
.
U .
U (50 1000)
,
, (
818).
U 51022
3. (U = 5 6 )
.
,
, .
94
(.2.30,).
(..
),
.
.
.2.34,
, .
I
I
-U
Uc
max
I min
0
U c
.2.34
,
:
I
.
I ,
.
2.10. ()
2 : .
95
).
( - )
-, .
,
.
-
.
-i-n
.2.35
( ):
1. () (101-199);
2. ; (201-299);
3. (301-399);
4. ( 401-499);
5. (501-599);
6. (601-699);
7. (701-799) ..
,
( 1, 2, 3 .., ).
, , ,
..
96
1 , 2 ..
.
,
,
.
, ,
,
, ()
, ,
.
,
, ..
- ()
, - --.
( ) , --
.
(
30-40 )
(
),
( ) f =
(f f).
,
( ,
, , )
I I 0 [exp( qU / nkT ) 1],
97
n -- ( n = 1,03 1,05), n =
1,152,0 - .
.2.36
,
,
.
.. .2.37
rn
.2.36
.2.37
, ,
(2)0,5,
Z = rg ;
Z = [rg + (2C2)-1]0,5,
f = 1/2rg C .
L,
.
98
,
r r.
Z r [1 / r jC]1
,
.2.36
2
U
Re(1 / Z)
2
Re(1/Z)
Re(1 / Z) [1 / r (1 r / r ) 2 C 2 r2 ][(1 r / r ) 2 2 C 2 r2 ]
U,
, U,
2
U U
[(1 r / r ) 2 2 C 2 r2 ]1
U2/U2
2,
,
2
(1 r / r ) 1
, ,
, .
.2.37:
; ; ;
; ; - .
99
6,3
4,5
4
3
16
2
4
2,5
2
2
4
1
2
3,0
0,45
16,8
20,4
1
3
1,0
0,9
.2.37
,
, ..
, .
.
.
( ),
. , -
. (
. ,
U U 0 U m sin t
),
,
I( U ) I
1 2
1
b I1U 2m bI1U m sin t b 2 I1U 2m cos t
4
4
b = q/(nkT), I1 = I0 + Is. ,
rn = 1/(bI1) = nkT/[e(I0 + I1)], ,
, Um
100
I 0 b 2 I1U 2m / 4 bPn / 2
Pn U 2n / 2rn
, .
(.2.36) .
(
) 0,5
Z = rg +(1/r + jC)-1 = rg + r/(1+jCr) =
= rg + r/(1+ 2C2r2) - jCr2/(1+2C2r2),
, :
(
10 ,
); U/U .
t = /
(.. ) ( )
k0
101
0 (0 = 2900), .. t =
/k0
, ,
.
( ),
( ).
, .
50
- 1,5 ( ),
f=10 - 50 ,
f
10 .
, :
i0
=i0/,
(3-5)%
(
);
R (
5 ,
,
)
R;
R / tR R A
RA ( 1,0-1,2
1 ).
:
102
,
, ,
,
50-100 ,
L
L = 10 lgm2PR/U2, L = 10 lg(P/P), ,
; R
, R ; U
( ); m
;
F
F = kT0 t
/(kT
L-1C) = t L.
, , .
.2.38 R,
, ,
t ,
F, L, I, t .
.2.38, ,
.
--
-i-n
--
( ) --
. --
10 50
103
, ..
(.2.39,) .2.39,.
, .2.39, ..
r 1 / C
.
r p-n >> 1/C
rp-n
L
r+
r-
.2.39
V
P
V
Z0
Z0
.2.40
, .2.40,, ()
, .2.40, .
,
.2.41 , :
Z0
~
Z0
Z = Z 0
V
Z
.2.41
Z = Z 0
104
Z Z0
P
Z Z0
Z0
Z Z0
Z Z0
2Z 0
E
Z
2
Z0
1
Z0
P 0
E
8Z 0
Z
L P 0 / 1 0
2Z
E
2Z 0 Z
Z0
;
2
Z
L P 0 / 1 0
2Z
, Z 0 L .
Z = 0, Z = .
,
,
.
Z ( )
1 Z 0 / 2Z
.
( -- = (1-
105
Z 0 / 2r ) 2
) (
= (1+
Z 0 / 2R ) 2
R 1 / 2 2 r
).
1
1
1
2 2
r r
(
).
(), .
( ) (
).
-i-n. ( n-
- i-
,
.2.42.
,
,
i- ( ).
. -i-n-
,
R, 10
.
.2.43.
106
. 0,1 3 ,
0
/, = n 100
, t = 10 1 .
W
,
p+
N
1,5
Na
U, B
Ni
r,
n+
0,5
-50
-25
x
r ,
Ng
x
x
I ,
25
50
50
100
t ,
1
0,5
U, B
L,
L
30 3
20
L
10 1
.2.42
f
f0
.2.43
-n-
, ,
.
107
( ), (
,
).
Z1 U m / I1
.2.44,
- .
Z1 Z 0
Z1
( 1).
( II). ,
Z1
<< r r = r + r,
.
( III).
Z1
Z1
<< Z0
II
III
. .
Z1=Um/I1
Z1 >>Z0
.2.44
, .2.37.
:
- (U),
- ,
- ,
108
- ,
-
2f / f 1 /
- , (),
- r+ r ( R0 r).
.
,
,
.
,
,
- .
,
,
,
.
( )
. ( ) 1956.
1957 . .
-, -- ,
(1024 1026 3), .. .
( 102 ) ,
109
. .
, -
, - ( ,
,
).
(.2.45, 2.46) ,
, ..2.47.
,
- (
.2.45), , -- -.
.
, -.
, -.
.
I/Imax
InSb
GaAs
Ge
U
U
.2.45
.2.46
110
EC
EV
EF
EC
EC
EC
EV
EF
EF
EV
EV
EF
.2.47
( .2.45) -
-
(U = (F F)/q),
- -,
. ,
.
( ).
( ) ,
- -
U ( ) / 3q
), ( ),
U ( ) / q
-- .
( ),
.
, ,
.
,
, ,
111
(
).
.2.46. (
, ,
I).
( ,
, , , .).
10 100150
.
, ..
.
1013 ,
: ,
(), .
30 50 0 0
, .
.
U < U < U
(
).
I (
):
R
() 140 / I ( )
112
R
() 200 / I ( )
-- - (),
(
).
,
, , ..
r
1/ r
(1 / r ) 2 2 C 2
1
r C
r
r
1
2C r
r
r
(
r 2r
f 1 /( 4r C )
( r C) :
I /I; U /U;
f0 (
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113
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114
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115
Z
Z
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300 .
,
(
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(1958 .
Reed) , ()
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(
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1959 .
(
). 1962
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, , :
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(
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. ,
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117
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-,
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118
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e
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. ,
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120
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121
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25
30
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.2.56
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, ,
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123
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124
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+70 850
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3 : ,
, .
:
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, 1964 . 4-
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30
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201-
301-
401-499
299
501-
399
601-
599
699
125
1,5
701-799
801-
()
901-
899
999
3.1.
, 1949-1950
.
.
,
.3.1.
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--
--
.
.3.2.
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0.5A
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126
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10
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17
Ng
x
Na
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19
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127
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128
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3.2.
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130
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132
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, ,
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,
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133
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3.4.
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,
. ,
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134
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(84)
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Dp
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136
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1
D p n 0 L n
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137
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138
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.
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(83) ,
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(96)
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139
-
(
).
U , -, (
U) , -,
(
).
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.. ,
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180
180
180
120
120
60
0 0,001 0,01 0,1 1
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120
60
60
U
5
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0
50 100
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.3.9
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,
,
.
140
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3.5.
. ,
,
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(
).
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0
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.3.10
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(
.
, ,
,
.
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.
141
.3.11 (-- ).
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I f (U )
I = const.
I f (U )
I f (U )
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I= const.
,
.
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.
.
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.
, ,
.
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, .
, .
, ,
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. , ,
, U = 0. ,
142
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U 0
I I
U 0
1
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U
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1
U
I 0
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U
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, .3.11,
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,
,
. ,
,
, , ,
, , .
,
-, , ,
, . ,
,
143
, .
, U .
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,
(I = I + I).
U= 0 , ;
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I = 0. U
.
,
,
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(98)
I = I + I+U + Uh22(1+).
(99)
,
.
,
I0,
I = I0).
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, I,
(
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144
).
, ,
.
( ),
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)
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(100)
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, ,
, = 1, /(1-) , ,
.
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,
n
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), ,
.
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145
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(.. = 1).
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I 0
I < 0
I2 > I1
I1>0 U R
I =0
U
U
U
U U U
.3.12
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.
,
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U
U 0
I
0
U I
.3.13
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(
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146
,
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.
,
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3.6.
(..
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,
, .
, ,
,
.
(
)
.
.
, ,
,
.
.
, . ,
147
,
.
-
. ,
- (
- )
,
.
,
.
,
.
, ..
.
.
.3.14.
.
I1
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U2
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,
, , ..
.
148
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i1 f 2 (u1 , u 2 ); i 2 2 (u1 , u 2 ) ;
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u 2 f 4 (u1 , i 2 ); i 2 f 4 (u1 , i 2 ) ;
(101)
(102)
(103)
(104)
u1 f 5 (u 2 , i 2 ); i1 f 5 (u 2 , i 2 ) ;
(105)
u 2 f 6 (u1 , i1 ); i 2 f 6 (u1 , i1 ) .
(106)
,
,
, (101) - (106).
, U1, U2 (101)
du1
du 2
u1
u
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i1
i 2
(107)
u 2
u
di1 2 di 2
i1
i 2
(108)
U1 Z11 I1 Z12 I 2
U 2 Z 21 I1 Z 22 I 2
(109)
.
(110)
Zij
, ..
(109) (110)
149
Z11
U1
I 2 0
I1
()
Z12
U1
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I2
Z 21
U2
I 2 0
I1
Z 22
U2
I1 0
I2
(-
, .
, (102),
:
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(111)
I 2 Y21 U1 Y22 U 2
(112)
Yij .
()
, .. (111, 112)
Y11
I1
U1
U 2 0
Y12
I1
U2
U1 0
150
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I2
U1
U 2 0
Y22
I2
U1 0
U2
,
, .
,
, (103). :
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(113)
(114)
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11
U1
I1
U 2 0
12
U1
I1 0
U2
21
I2
I1
U 2 0
22
I2
U2
I1 0
151
,
.
.
.
, (109), (110) ,
I1
I2
Z Z11 Z 22 Z12 Z 21
Z 22
Z
U 1 12 U 2
Z
Z
Z 21
Z
U 1 11 U 2
Z
Z
(115)
(116)
(109), (110).
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(111, 112))
Y11
Z 22
,
Z
Y12
Z12
,
Z
Y21
Z21
,
Z
Y22
Z11
.
Z
, .
- ,
. (
) ,
152
I I I 0;
U U U 0.
(117)
.
Z
Z11
Z12
Z21
Z22
Y22/Y Y12/
H/H22
Y
H21/H2 1/H22
Y11/Y
Y21/Y
Y11
Z22/Z Z12/Z
Y
Y12
Y21
1/H11
Y22
H21/H1
Z
Z/Z22 Z12/Z22
1/Y11
1/Z22
H12/H1
1
Z21/ Z11/Z
Z21/Z
H12/H22
H/H11
Y12/Y1
11
12
21
22
Y21/Y11
Y/Y22
22
. , Y ,
, (111) (112)
(117)
U U
153
Y
Y11 ( Y11 Y12 Y21 Y22 );
Y12 (Y12 Y22 );
Y21 (Y21 Y22 );
Y22 Y22 .
,
11
11
12
21
; 12
; 21
;
1 21
1 21
1 21
22
22
; 11 22 12 21 .
1 21
3.7.
()
,
. ,
.
,
( h, y, z ,
) .3.15, , , -
.
, - .3.16.
, , (
, ).
( ) ,
154
,
.
.
I1
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U2
U2
1/Y11
H11
U1
1/Y22
I 2 Z12
I2
U1
U2
Z11
I1
I2
U1
I1
I2
1/H22
Z21 I 1
U 2 Y12
U 2 H12
U1 Y21
I 1 H21
.3.15
,
(, n, , N),
.
.
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I1
Z11- Z12
Z22 - Z12
Z12
U2
Z11- Z12
I1
I2
U1
I 1 (Z21-Z12)
Z22 - Z12
I1
I2
U1
Z12
U1
U2
-1/Y12
I2
1/(Y11-Y12)
U2
1/(Y12-Y22)
U1 /(Y21-Y12)
.3.16
, ,
.3.17, :
.
I
+
U
.3.17
I
r
I
+
U
155
11 r r (1 ); 21
12
r
;
r r
r
1
; 22 ,
r
r
.3.17 I U = 0
( U I) I = 0 U.
21 ; r 2[11
r
12
(1 21 )];
22
11
1
; r 2 12
; 11 22 12 .
22
22 1 21
1 21
:
11 r (1 )r ; 21 ; 12
r
1
; 22 * .
*
2r
r
, ,
21 ; 21 ;
r
kT
;
2qI
kT
;
qI
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kT L2
t ; r r
;
kT
qI 2
qI 2
; r
kT D
I
,
2 U D
U
L2
;
d
I
I
dU
.
.
.3.17 r r.
156
I. (-
U
, ,
, . r
. (.3.18),
U
r,
U
r'
I
2(1 )
2-
( U 0; 0; r 0)
U r I r I (1 );
U rI r I (1 ) rI (1 );
r r r(1 )
r
.
2
.
I
+
I
r " = r /2
I
+
r '
U
r "
.3.18
, . ,
, ..
157
, .
.3.19.
I I I* I I
. ,
r "
.3.19
I I I
I (I I ) I
I
I
I I I * ;
; I * I (1 );
1
1
1
1
r
r
; (1 ); r r C .
1
I
3.6.
.
.
,
, ,
.
158
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0 0
f f
,
f f
0,707
f
f
.3.20
0
1 j(f / f )
f f
1 j(f / f ) 2
0 / 2
,
H 21
H 21
I I
.3.21.
159
f1
.
f2 > f1
f3 > f2
.3.21
I I
. ,
I / I
f . f = f
=1
0 /(1 j(f / f ))
, f
1
fp
(3-4) f, f= f.
f
(.3.22).
160
.r, I , .. r ~ 1/I. , r
.
f.
f
.3.22
I
, .
f.
3.7.
,
1948 . ( .
.
,
-, .3.23, ,
.
).
: -
, - (
).
.
,
, .. >1 ( = 2 5 10 20 ).
100 ,
161
I 1 2 , r = 7 15 , r r = 500 , ..
.
.
.3.23,.
I2
I1
U1
5
4
3
2
1
mA
I ,
U2
+
n- Ge
= 120
3
2
1
0,5
I 0
- U ,
0 8 16 24 32 40
.3.23
. S
( ) .
.3.12, (.3.24,)
. , .3.24,.
, ..
( )
I = I + I
I = (I + I),
I = I + I,
I = (I + I)/1 (),
, .
.
, I >> I ( I)
U U n 1
162
r U d / dI /[ n (1 ) ( n 1) / n ]
d/dI, r
. - r .
I1 <0
I ,
30
R
20
U
+
I1>0
10
I =0
20
I = - I0
40
60
- U
U
MI
.3.24
,
.
, I >0
,
.
() ( ,
163
U ( )
.
, .
- .
4- -n--n,
4 .
.3.25,.
U
n
p
2
I 2
I1
1
U2
U1
U1
n
1
I2 = 0
I
I
IE
.3.25
, n--n
() -n- . U n--n
- I, .. (n-n) -n, -n- ,
U n--n .
I (.. n--n -n-).
, U, ..
(
-U -n-).
,
, 0
. I
U.(
n-p-n - U,,
- --
164
U ( np-n). , I .
.3.25, , .3.25,
. ,
. ,
,
.
.
I2 Si.
.
()
()
() n--n .
,
IGBT (Insulated Gate Bipolar Transistor),
.
,
, ,
.
.3.26,.
VT - , V1 , R1
R2
- V1. R
VT.
,
R1.
.3.26,,
165
IGBT ,
-n-, (.3.26,)
-n-- V2.
V1 V2
,
V2 V1,
V1 V2.
I ,
R1
. V1
U = 10
20
10
30
15
U ,
R2
I2 = I
I ,
V2
20
I2
I
. V1
I1
I1
I
15
R2
. I
10
U =5
U,
.3.26
, V1
V2
1 2
I 2 I 2 2 , I 1 I 11 I I 1 I 2 I
I I (1 1 2 )
166
I,
10
t = 10
U =15
U,
300
600
900
1200
.3.27
Ic S
U Ic=SU, IGBT
I = I =
S=S/[1-
( 1 2 )
SU
1 ( 1 2 )
SU ,
] .
1 2 1
1 2
R1 R2 . .3.26,
IGBT ,
. , , UP 402
15 /.
IGBT
R2
V1 V2, .
.3.27,.
,
,
.
167
, ..
, .
.3.27, () ()
IGBT 1200
10 . IGBT
, , ,
, 56 .
,
. ,
IGBT 0,5
1,0 .
()
-n-,
( ), ( ).
, ,
.
, ,
30 , ,
.
.
, ,
-n-.
-
.
.
Rc
.
168
, , ,
.
.
2025 50 .
.
. ,
,
, .
20 5 .
,
,
.
,
.
,
.
, ,
.
-n-,
. ,
, , .
.3.1.
.3.1
169
924
955
810
400
450
1300
16
25
7
,
-15
0
0
<5
<1,5
<3
,
.
.3.28.
,
0,10,025 .
I ,
U = 0
-2
-4
-6
-8
-10
-12
-14
2
0
U ,
20
40
60
80
.3.28
3.8.
.3.29.
U, ..
.
I ,
.
r
U. r
. U , U
170
. r U
Ir
. U
.
, r
. , 3 4 .
I
r
,
r'
r
r'
T, 0C
-100
r'
r
-50
50 100
.3.29
( Si - 60; +
1500, Ge - 60; +700).
- I Ge
80-1000, Si 180-2000.
.
0,3 , 0,3 < < 5
> 5 .
,
.
x I U I U I 2 r
I I (I = 0), U
U).
171
I U
.
.
.
, .
, --, r r
.
3.9.
.
,
(.3.30,).
-E
t1=0
.
..
/R
I >0
i
90% t
10% t1
t4
I 0
I -I 0
E U
..
I 1
t
I 1
t
t
t-
t+
I 1
t5
1
I 2
.
U
t3
t2
t
R
I
E2
50%
172
.3.30
( ) .
: (), ,
(.3.30,).
, , .
. ,
.
E
(.3.30,) .
( ) U =
(E I0R), ( ) U = U I
= (E U)/R.
U 0, I E/R;
t 0 ( ).
,
.
.3.30, t1
( 10%); t
10 90% ; t
( 90%
). t ,
(
); t
( 90 10%
173
).
,
I. ,
,
.
( ).
( )
,
t ( t t ) / 2
.
R1
S = (I/I)
U = U 0, .
. , R1 >> rv0,
I = I1 1/R1.
.
I 1 I
I / I 1 /( R I 1 )
,
i ( t ) I 1 (1 e
2f
174
U I 1R (1 e
I 1R (1 e
)0
.
t n
1
1 /( R I 1 )
1
1
; (1 ) ,
2f 2f h 21
f h 21 f (1 )
, ,
t2 ,
.
175
, I.
t ,
, U
0,1 > U > - .
100 (
) 10 ( ),
, 0,5 , R 2 , 100 100 (
150 ).
t1,
,
= + (, )
U ( t ) E 2 (1
R 1
t /
) 1
t /
U U
, . , U(t) = U0,
t1
t 1 ln
E 2 E1
E2 U0
(, = 2, R1 = 2 , U0 0, 1 = 0,2 = 3, = 4 t1
0,25 1 ).
176
.
Q ()
Q I / I
Q ()
, ,
. t 3,
,
); I
I ( 30 50 ).
( t = t3)
.
t . Q
Q ( )
t
I(1 e I n ) I 2
t p I ln
I I 2
I = E/R.
t n I
t p I ln( I 1 I 2 ) /( I I 2 )
t ), Q Q
, ,
I 2 I
I .
177
2,2 .
I 2 0,1I
t c ( I 2 I ) /( I 2 )
t c ln( 1
I
I
) ln 10 2
I 2
I
R.
I2 0,9 I t 2,2 ( = 0,5 , R = 2 , tc 2,2 c).
.
, .3.31.
2 1
.
, V2
U1 -2.
U2 -1, (U < 0),
.
- E
U
-E2
V2
V1 -E1
-E1
C
U
-U
V
R1
R2
-E2
- E
+E
.3.31
t1
t
t1
t
178
3.9.
(
)
1956-1957 ..
.
( ),
-),
( 2.730-73)
.3.32, : ,
.
. ,
.3.33, 1, 3 .
1 3 , 2 .
.3.34, .
a 5 6
b 4 5
a
b
.3.32
(.3.35),
IK02.
p
n
1
V1
1 1 1 2 1
+
p
2
1
n
3
p
K2 2 2 3 2
V2 n
179
.3.33
.3.34
2.
.
n 1 -
-- - V1.
I
3
I
I
.3.35
() .
-,
, ,
- - V2.
3,
- - V1.
( U) ,
.
,
2- (.3.34,): p-n-p ,
; n-p-n- 3 2
. 2
1I1 2I2 I , ..
180
I 1 I 1 2 I 2 I 0 [exp( U / ) 1],
I I 1 I 2
I 0 [exp( U / ) 1] I 0 ( U / 1)
;
1 ( 1 2 )
1
1 2 1.
(1 ).
.
I MI 0 /(1 M)
.3.29,
.
.
U, I.
2). , ,
1-
2- .
, ,
1- .
2-
. U = 0,8 - 1,5
I.
( 3).
, 2-
1- ( Ri
) 3 (Ri 0),
.
181
f ( I)
,
.
,
.
.
,
. ,
,
(.. << Ln).
.3.36.
n I +I
2 3
.3.36
1<<1 (.. n << Lp), 2 1, ,
2
I 1 I I (I I ) 2 ,
I 0 I
(I 0 I ) 2
1 2
182
--
.
,
, ..
.
= 1 + 2. I
, , ,
.
.3.37
---, .
.
( < U0), I = 0 (
) 1- .
I I1
b ( ),
1 , .
/R.
. ( ),
I < I ( )
,
, .
b1 2, ( )
.
183
I
/R
I
RK
I1<0
b
1
K
R
1
U =~ 1
I1>0
U
U
EK
.3.37
b 3, (
) .
,
, ,
,
(.. ).
:
; ;
; ; ;
; ; ;
).
,
,
( 2000 ) (
).
,
,
.
184
,
( ).
, .
.
.3.38.
I
+
p1 n1
n2
n3
I
I
U
I
I
p2
.3.38
,
.
- (1 2).
,
.
.
, , -,
.
:
U = 10 3000 , I = 1 10 .
U = 0,2 2 ; I = 5,0 20 .
185
U = 50 1200 ; I < 0,5 .
I =5,0 400 .
I = 0,05 2000 .
0,1 1 .
10 20 .
186
4.
4.1. - .
( n- p- .4.1).
, ..
.
-n
).
-n-
1952. .
-UC
+UC
-U3
n -
U3
.4.1
n- -, -n. -n ,
(), .
(), ().
.
, -n-.
( , ( )
, .
,
.)
(..4.2,),
187
. . ,
(
-n- ,
).
UC
U
RH
3
2
(GaAs, Si, Ge)
f = 33/L [],
(L )
IC
.4.2
-n-
, , , ,
I.
U -n-
.
, , U U,
R
I,
Ic
U
r R r
r, r ,
. , R
, n,
188
U
l
R n 1
U 0
().
.
- n-
-n- .
(.4.2)
1, 2,3 U U.
( ) U +
U. Uc , ,
U ( 3).
U > U,
. , ..
(
). Ic = f(Uc), ,
(.4.3).
, ,
, U,
.
,
, U (.. U=
U U).
.
, U > U,
U (
, ),
.
189
IC,
U 3 =-35B
U 3 =0
U 3=-10B
15
U =-20B
3
U 3 =-30B
0
CH1
20
UC,B
40
.4.3
,
vs (.
, .. j=env, n v, j = const).
U U
,
l1
L 0
U U c
qN
.
,
(
(U)).
(.4.2)
( )
( )
Ic
3/ 2
3/ 2
U 2 U ( U U c )
c
1/ 2
R
3
U 0
( )
190
2 U
1
Ic
U U (1
R 3
3 U
0
R U=0.
, ..
U U.
I = f(U) U =
const, .4.4,.
I ,A
IC ,A
30
U >27B
15
Uc=17B
Uc =10B
U,B
-24
-16
-8
.4.4
U .4.4,.
.4.5
Ic
Ic
U=0
U>0
-U
.4.5
191
.
r r,
R
r,
, . ,
r, r, -n-
. ,
,
.4.6.
r
-
I
r
SU
IC
U C
r
.4.6
,
. ,
, ,
.4.7.
192
.. .. ..
.
.
.
r'
.
.
r'
.
.
r -
SU
.
.
r'
.4.7
Y, Z
.
r, r ( 10 20 , 3 5 r,
r) -n- () :
Y11 j(C C ); Y12 jC ; Y21 S jC ; Y22
1
R
jC .
,
(Y11 ; Y12
; Y21 ;
Y22 )
,
.
,
,
.
, ,
R, r, r
r, r. , -
.
193
r,
,
.
- .
r ,
, ,
.
:
1. ( )
S
di c
( n 1 / )
du U const
2.
ri R ic
3.
dU c
di U const
(n 100 n 1)
dU
di U const
(n 1)
4.
(U >U) U = U.
5.
, (n 1).
6.
fs (
S 2
).
7.
( 2 f = 1 ).
8.
( 5 fs=500 ).
.
,
194
,
. , -
.
,
, ,
. : - ; -
, ..
; - , ..
, .
195
4.2. -
-- (
), .
:
-
.
n- p-
n+ n-
, (SiO2) n+
, . ,
. n+
, .
(
) .
, .. ,
. -
.4.8, .
I
n+
n+
p -
-U
.4.8
196
U=0,
n-.
p-
( ,
). ,
n>p
n-.
.4.9,. n-
.4.9,.
Ic
n -
p -
U
U p
.4.9
: .
, -
.
() ,
.
4.3.
.
-
R=109 - 1015 ,
. R
, ,
197
.. .
-
S
dI
U onst U onst
dU
(0.2 5 /)
,
,
S
dI
dU
U onst
U onst
(0,1 0,5 )
ri
dU c
U onst U onst
dI
(100 500)
dU c
I onst U onst
dU
S ri
.
.4.10.
..
.
.
.
.
.
SU
.
.
R
r
SU r
. .
.
.4.10
,
SU.
:
198
Ri ;
- ( )
(1-3 )
.
- ,
, - .
.
. 4.1 .
.4.1
n-
UC
IC
U
Ic
U>U
U=U
0 U p
-U C
-
+
IC
Ic
U < 0
U =0
U >0
0
Ic
-
U
UC
U =0
U >0
U < 0
U >0
U =0
IC
p-
- C
U =0
U < 0
+
-
IC
-U C
-
+
U<U
U=U
U
p
4.4.
,
- .4.11.
, -
199
( )
, - ,
.
0,15
2,0
SiO2
10
Al
n - Si
.4.11
,
,
. ,
-,
, ,
.. . , ,
.
. -
.
( - ),
.
, .
,
. ,
,
. , U1 ,
(.4.15,, ).
U2 ,
200
, (.4.12, ,
).
:
.
-U1
-U2
2
-U1
-U3
3
+ ++
+ ++
-U2
-U3
3
2
++
++
++++++++++++++++
-U2
2
-U3
3
-U1
4
++
++
n-Si
.4.12
1 3 (.4.12,) U1 U3,
, U2. 2 ,
-
. , 2
, .
,
,
, .
, U2
.
( U2).
, .. (.4.15,
).
,
, ( ) ;
.
:
201
Q = (U2 U1)C0(ZL),
0 ; Z ; L .
()
,
.
, .
.
, , ,
.
1%, 10-20 .
,
, .
. 3
U3, , . U2 2 (.4.12,). 2 3
. , 3.
, 2, 3
, 4
.
, U3, ,-
.
()
: . :
-,
(.. );
-, , ,
.
( 50 ). ,
202
.
. ,
. .
. 4.13 3- ,
-n-. 1, 2 3
1/3 (.4.13,).
U1 , U2 U3
(
Ua t4 t7).
2
+
p+
p+
+++
UA
t
U1
U2
U3
UB
U1
U2
U3
UC
t
U1
t1
t2
U2
t3
t4
t5
t6
U3
t7
t8
.4.13
t1 ,
.4.13,, +-n-
31 ( +-n-
).
203
31,
, 2.
2
U3. 31 2.
2 U2, .
1 U2 U1.
1. , U3
3, - 2 3.
. +-n
, ,
,
t1. , ,
+-n .
U2 U3 10 15 20
25. U1 2 4 .
.4.13 , = (t + t), t
- N
204
Q ; Q ;
.
i 2 3 t = 20 50
1 = (2 5)10-4,
.
t = 20 50 f = 6 15 .
( t << t) :
- .
f
t >> t,
f = 1/(t).
f f30-300 t 1 10.
.
.
- .
= (Q (U3 U2))/t (U3 U2)2ZLC0 f
(U3 U2 10, Z = 20; L = 10; 0 = 200 n/2, f
= 10 )
= 4/.
.
- .
(
() ,
).
. ()
. , ,
8-16 .
205
,
.
,
-n-, .
( - ,
).
..
.
,
.
:
;
;
.
.4.14.
1
2
SiO2
++ +
n-Si
.4.14
-, (.. 2
, ); ,
.
- :
206
,
. (.
.4.14).
, .
,
f = 20 50 .
(.4.15).
Al
-U2
-U2
+++
+++
SiO2
Up
n - Si
Al
SiO2
n-
-U2
+++
.4.15
n- -,
.
U = 0 .4.15, .
- U,
-n- U
207
, .4.15, .
,
-.
.
, ,
.
.
.
500 800 ,
106 107. -
. ,
, ,
,
.
5.
5.1
, .
.
()
.
,
: = 0,5/f = + + ,
208
, , ;
, -n , f -
.
, = R + , R = (I/U)1 ,
, = d2(2D00)1
, d , D
, 0 .
, V = (D/n)(dn/dx) 2D/d
= d2(2D)1, d , D
.
, =
const,
= d2{2D[1 + (/0)3/2]}1,
0 = 2D/d.
-n-
V
c = L/2V.
= R, R
.
f
f = 1/2 ,
(5.1)
,
= (I/I) . = 1,
()
(.. ( ).
209
- ,
, .
Si-n,
Si ,
,
-, +,
n+-.
, .
-
-n-, --.
, l.
.
.
, . ,
-
).
( )
.
,
.
.
, -
()
. ,
210
= l-1lnN/N,
(5.2)
= kT/q , l .
m = l/2 .
10. , 300 0
= 0,25 m = 2, 0,3 4
/.
m
(..
1 /, >> 1
/,
).
m , .. f = mf.
( )
,
C -n- , , f.
R
, + - .
. (
).
-
.
-n.
211
0
l/2
l/2
-
SiO 2
s
p+
n+
p
n
n+
.5.1
.5.2
,
j (j
x=0
< j
x=l/2
).
(.5.1),
(
Z ,
lz
15 , ) ..
(.5.2).
f,
.
, ,
.
l = 1, f = 40/
(l + 2t), l, t d .
150
/.
212
+ ,
.
SiO2.
( ),
L.
.
: f = [h21f/(8r)]0,5,
f = f 20,50/2,
. f
, .. .
.
h21 h21,
2 , h21 >
h21 h21i (h21 =
I/I
U=0
, h21 = I/I
U=0
) 20,5h21,/2 (.5.3).
h21
h 21
2-0,5 h21
h 21
2-0,5 h21
21
21
.5.3
, h21, , ..
h21 0 40, h21
, (.. f r, ,
).
213
15 20 . :
= 300 f = 1 ; 20 3 ; 1 10 ; 0,1 14
-.
-N-- N-
.5.4.
, - n-.
( exp(-E/kT), E -
), 1,
- () , n-
()
p p n
1
e
n n p
E / kt
.5.4.
Ec
Ev
.5.4
(5.3)
214
E ( )
E.
( )
,
Ev .5.4
GaAAs GaAs
10 T,
, .
,
.
CrSi.
1019 -3 , ..
,
.
, N 1017 -3 N 1019 -3.
n--n-
.
,
GaAGe GaAs , Ge
,
.
()
.5.5.
215
(.5.5) :
GaAAs ( ) GaAs.
, .
.
(
)
.5.5, .
GaAlAs
GaAs
GaAs
GaAlAs
.5.5
I = 2
, V = 0,5 = 8 n, f 29 , f 19 , = 1 (
).
(..
35
( ) ,
)
.
().
n--n
. , ,
( ),
216
(
).
(() d/2 = d2q/2)
(
(d) /q ).
-
.5.6
= 0,15 , d = 5105 = 5 /.
N = 1018 -3 5 .
.5.6.
5.2.
,
,
()
, .
(.5.7 , , ,
):
, -n-,
- (, ),
;
-- (,
),
;
217
().
(. 5.7 ). , , ,
n-.
(n - )
, () n .
l3
n+
n-AlGaAs
AlGaAs
GaAs
n
n
n+
2D
l1 l2
2-3
.5.7
, ,
.
, ,
t = l/V, l -
l = l1 + l2 + l3; V-
.
, l
V, ..
.
, ..
6 , (4700 2/),
2 ,
(0,9105/ 1,8105/).
218
InP, 1,5 ,
.
l 0,5 2,0 , ,
()
2 3 (..5.8),
.
f 4 l3 = 1,5 , l1, l2 = 1,0 2,0
, l =2,6 , n = 30
=2,0 .
,
.
.
6 25 50% 3
15 2 , 20 25%, 3 6 , 18
, 18
1 , 10 20%, 5 8 .
0,7 4 , 1,7 12
, 3 18 , 5
.
30
1 3 .
.5.8 .
219
. 5.8
220
5.3.
(,
(, ) (
, ).
,
.
, , ,
,
. ()
: 1)
() ; 2)
3)
; 4)
; 5) ,
.
.
1)
(), () ,
, , ,
, .
( ,
) , ,
. .5.9
.
221
0 ,3 Ga 0,7 As
nGaAs
nGaAs
n-GaAs
.5.9
V,
0,7 -
. , 50 ,
60% ,
0,3 ,
R () ( -
) R
. , ,
.
2)
(.5.10
n i p
p n
(25) , i- n- (
.5.10
, - ).
0,25
n+
n
p+
n+
0,5
p+
.5.10
,
222
, .
200 .
3) .
-
,
.
xGa1 xAs
( .5.11
: 0<x<0,3).
(.5.10).
- ,
, .5.11.
,
.
().
V
nGaAs
x Ga1 x As
0 x 0,3
i 0,3Ga0,7As
i GaAs
V
nGaAs
.5.11
,
( )
, .
,
.
223
, GaAs AlGaAs GaInAs, InAs, AlSb,
GaSb , 77,
300.
4) .
,
, . -
()
() . - ()
- .
,
.5.12. (iGaAs) ,
n+AlGaAs.
. i-GaAs,
- , ,
, .
, ,
.
- , ,
n +AlGaAs
( .5.12), .
- (i = f(U))
(). i , ,
.
224
i-GaAs
i-GaAs
+
WF
n AGaAs
.5.12
n-GaAs
, i-GaAs
i-AlxGa1-x As -
,
i-GaAs, ,
-.
.5.13.
n GaAs
n GaAs
n A x Ga1 x As
i GaAs
x = 0,1
x = 0,34
i A x Ga 1 x As
n GaAs
V
.5.13
, AlGaAs ,
n- GaAs
VA. VA U
, ic U
VA. ,
, .
225
5) .
().
, ,
,
. ,
.
) ().
p-n-,
.5.14. i-,
, .
, .
+
i- -n-.
,
() .
() +-n+ () ,
.
n+
p+
p+
n+
.5.14
) () ,
(, ,
0,1-0,5 ), i-
10 16-1017 -3 0,3
2 . .
, 600
226
0,1 ,
.
.
) .
, ()
.
, ,
( 10 ) (1,5 ) .
.5.15,
,
.
.5.15
-- (),
Si-CoSi2-Si, CoSi2 (20 ),
. Si
CoSi2 , - .
(200 ),
(800 ), , .
,
.
1 .
227
5.4. -
,
(, )
, .
( -),
, :
h
p
(5.4)
h = 6,62610-34 . (
h hc /
( , , z, t )
(5.4)
m 2 pc
).
* dV
,
*
dV,
-
2
( 2 2 0)
2 2 0; 2
8 2 m
2
2
p
W V( x , y , z)
h
h2
(5.5)
228
, m
A W V( x , y , z)
, ( W ,
V(x,y,z)- ) = 2/2m.
(5.5) :
2
8 2 m
W V( x , y, z ) 0
h2
(5.6)
. W,
(5.3)
j2 t
2
Wt
h
(5.6) . W
(
,
). , W
,
(.5.16,),
2 d 2 / dx 2
. (5.6)
V0 > W < 0 (
)
' 1e jK1x 2 e jK1x ; 1
2
2 mW
h
(5.7)
>0
" 3e K 2 x ; 2
2
2 m( V0 W)
h
(5.8)
229
W
| (x)|2
I
II
V0
W
0
.5.16
' "
= 0 (
d '
dx
x0
d "
dx
x0
) ,
2 1 j 2
;
1 1 j "2
3
2 1
.
1 1 j 2
(5.9) .
R 2
1
(5.9)
, -
W < V 0,
, <0
(.5.16,).
, , (5.8), > 0,
2
" e ~ 2 K2 x
, .
(5.6)
.
230
(.5.17)
(.5.18).
W
|(x)|2
I
II
III
V0
W
0
.5.17
.5.18
.
, III,
(5.8) .
~ e 2 K2d
(5.10)
d- .
W V0
.
.
(5.6) ,
W=W n,
, , .
(.5.19)
(5.7) (5.6)
231
, W=W n
:
Wn
h2 n2
; n 1,2,3,4,5...
8 ma 2
(5.11)
n .5.19
.
, -,
. , (5.6)
,
( ) Wn,
,
.
W
W
W
W
W
n=4
n=3
n=2
n=1
x=0
x=a
.5.19
.5.19 ,
10-8 10 .
232
, ,
.
. , ,
,
,
. ,
-
. (.5.20).
, ().
W
V0
.5.20
(.5.21,)
(
AlGaAs) ( GaAs),
() ( n+ GaAs),
WF () W 1
, W0.
233
W
WF
W0
W2
W2
W1
W1
WF
W0
.5.21
U ( )
-
(.5.21,). W F
W1 -
n+ W1 ,
n+ - .
, U,
W1 W0
n+ - . ,
, .
(.5.18) . ,
W2 = WF
.
.5.22.
I
Imax
Imin
U
.5.22
234
, .
n+ -
-,
() . .5.23, ,
.5.23,
. ,
, .
W
n+GaAs
b
GaAs
Al0,33Ga0,67As
GaAs
GaAs
n+GaAs
Imax/Imin
10
15
b ()
.5.23
.5.24
, ,
(G) , ,
Cg (-G) n +-GaAs, rs Ls
(n +) (Cg, rs Ls
, R L ).
.5.24 :
Ls
RH
U
iC
-G
Cg
i
LH
235
.5.24
, ,
,
..) :
( W1, W2
h / ( W)
, h- .
f
1
1012
=1 .
iR L
di
1
dt Cg
U iR L
i dt 0; R r
c
R ; L Ls L ;
(5.12)
di
di
; i i U( G ) i GRi GL
dt
dt
(5.13)
t (5.12)
L i :
di
d 2i
R G
1 GR
2 i 0;
; 2
2
dt
L g
LC g
dt
.
(5.14) ,
(5.14)
1 GR
LC g
1/ 2
1
R2
2
LC g L
1/ 2
(5.15)
L 2C g R 2
1
2 RC g
(5.16)
236
,
f 1 4rsC g
rsC g
200 .
( ) .
, , , .
,
.
, , .
,
,
.
.
6.
6.1.
,
(
), (
..1.5).
,
.
237
,
.
,
= d/d [/],
e 1 ()d
0
[].
, ( - ) ,
2042 . - () - ,
1 () 1 ().
() (),
: - (
25 , 1...2 ); -
; - ,
(105-106
),
(109 ); - , ,
, .
(
) .
-
200 /.
, 10 /.
238
6.2.
( .6.1,),
),
, ,
. n-, .
,
( )
,
= h/,
h , .
, ,
, (
k,
,
, ).
:
= N/N = n/N = ,
(6.1)
N - , N -
. N = n,
n -
; = n/N - ; -
.
239
(..6.1,).
: ( 2 . 6.1, ),
GaAs
, , 17
( GaAs: n 3,33,8); -
1; -
( 3); -
( 4 5).
,
, h
, h
, .
p-n-,
n- , p-
.
p- ( )
p-, .
P
3
4
.6.1
0,8 - 0,9 , ,
AlGaAs/GaAs, 1,2 - 1,7 - GaInAsP,
240
.
:
, p-n- , p-n - .
100...200 = 2...6 .
( 3 ) ,
.
P(f) = P(0) [1+(f)]-0,5,
(6.2)
- ; f - .
,
.
,
.
.
()
.
, .
, ,
.
241
,
() I .
.
1 .
0,45 <
< 0,68 ,
> 1,5
( , , , ,
, --. --).
(,
,
0,65 0,55 ).
,
,
.
,
. -
.
,
..
. , (
,
V V=103/, .. 105 )
, , ,
.
:
242
Jv ( /
, )
;
L = Iv/2 /2 I ;
U; I.; U.; U.;
.
: ; L = f(I) -
Iv=f(I)
.6.2.
I,
106,
L, .
112
L/L ( = 20o)
U,
.6.2
.6.3
, , .6.3
( ) .
.6.4.
,
10-8.
(331).
,
,
243
.
.
,
, ,
.
106-
85
25
.6.4
3%.
.6.5. ,
.
,
.
, :
U0
R
R
U
R1
244
.6.5
(317, , , , 3317, , , , )
. (
.
.
(),
. ,
. ,
245
, ..
( ).
:
;
;
- .
-n- , -
,
( ).
-n-. (
,
, ).
.6.6,
()
()
( ,
; () ( n-); ()
( -); () (
FV FC).
EC
h1
EC
EF
EF
h1
h2
EF
EV
EV
EC
h1
h1
EV
EC
EF
EV
.6.6
246
. .6.6 , ,
( , , ), ..
. () , ..
1, , < h1 < EFC-EFV,
.
, , 1 .
EFC - EFV> h > ,
.
,
-n-
().
,
, . , , ,
(..
),
.
, -
() , .
, ,
U,
(AlGaAs) ,
GaAs, U = U,
,
,
247
GaAs.
.
.
, ,
,
().
,
30%.
, ,
,
.
,
, ..
.
.
(.6.7)
p-GaAs
(n = 3,7), GaAlAs
, ,
, .
2
10
12 .
,
-.
-, p-GaAs ( ),
= (n -1)2/(n+1)2= 0,33,
248
II
1030 ,
3060.
-, - ,
h ,
p-GaAs,
.
-. 0,150,45 .
, ,
, pGaAs (). , ,
, 0,2 p-GaAs,
, ,
, (
) ,
8090% .
p GaAlAs
p GaAs
p+ GaAlAs
SiO2
p-n
n GaAlAs
n GaAl -
n GaAlAs
.6.7
,
249
10-1010-9.
45%.
,
.
,
0,8...0,9
, 1,2 1,7 .
..
, ,
.
(1010-1012 ), 108
.
()
-n- GaAS,
.
.6.8, .
I,
p
n
I < I
.6.8
0,82
0,86
.6.9
-n- GaAs
0,0017
250
, .6.9.
70-80%.
, 10 -12-10-13
.
.
(16 0)
.
10
(10 ). :
(
1010-1012 , .. 107 - 108 );
,
;
, .
.. , .. , 1964 .
. .
1.
2.
3.
4.
5.
6.
7.
8.
9.
GaAs -GaP
0,65-0,9
InAs-InP
0,9-3,2
GaAs-InAs
0,85-3,2
PbSe
8.5
PbTe
6,5
InP
0,9
GaSb
1,6
GaAs
0,85
CdS
0,5
-n-
-----
251
10
GaAs
--
0,85
, ..
h,
1 2 1 + 2 =
.
,
,
.
. GaAs
( 0,3 0,4 ) ,
( 200 ) .
.
6.4.
,
(
.6.10,
- 1,
( ) - 2.
- 3, InS InSe
252
2 ~ U
.6.10
.
.
,
(.. Cu2S . ).
108
, =106-107 /.
.
,
, ; ,
, -
.
. ,
,
.
.
253
.
,
, . ,
,
.
.
.
, : , ,
().
, .
220 400 1000 .
, .
:
L (/2 40);
() =(L-L)/L;
= (L+L)/L(, .);
U.
254
L, /
30
30
20
20
10
10
L, /
t ,
U ,
100
200
300
500
1000
1500
.6.11
, (, 3-41 f =
400 ..6.11).
: 20 /2,
0,5-25 , 4,00,7 .
6.5.
.
,
h, .
hc / E 1,2 / E.
(6.3)
.
.
255
() ,
(-0,7, 2-1, 4-3, 7-1, 9-2, -1, 3,29,20-33, 252,265 .).
(,
, , , .).
0,1
3 , ,
.
p-n-
.
(.6.12,).
..
I I IT
IT U0 / R R
, .6.12,
( ),
,
. ,
.
RH
I,
2
~ 0,5
20
U = const
U0
10
=0
I
500
,
1000
256
.6.12
: ,
.6.12,, .
,
.
: R , I ,
RT/RC, =
dI/.
p-n-, .
()
() , = 0
, . ,
- n p
p n,
. , .6.13.
p-i-n- (..6.14, ).
, , :
;
.
I
U
R =
U xx
R1 R2 > R1
=0
1
2
R = 0
257
.6.13
.
, ..
1012%.
.
,
.
, .6.13.
Ge, Si,
.
,
.
,
, .
p-i-n
p-i-n- ().
p-i-n- , ,
.6.14, n+- (i-) p+-
0,3 .
i- .
,
. ,
258
, .
, ,
(~ 10 7
/). .
+- n+-
, , 104 /c,
.
,
.
,
, ,
+- , i-
(1/ ).
0,8 10-20 ,
,
, - 120 .
(.5.9,) ,
;
p-n-
( 10 5 /),
,
, ,
.
259
, ,
.
V, V,
:
M
1
1 ( V / V ) n
; ( n 2 6)
(6.4)
V V
,
1000. ,
,
.
0,2%/oC.
, .
.6.15,, p-i-n-, 1
; 2 ( ); 3 ;
4 .
.
260
0
p+
n+
n+
p p
E
V
p+
eV
eV
h
F
.6.14.
p-n-
() .
- 20
.
h
n+
n
Si
1
ppp+
2
n
p
SiO2
p+
n+
.6.15
-()-
, ,
, - .
.6.15, n++,
261
.
, . , V = 100 150
300 .
RC-. ~ 10 7 /c,
100
, 1 .
.
,
.
12 .
+ U
IK
VD
VT1
VT2
I=I
I
+U
I=h 21 I
VD
VD
VT
I=I
I = (h21
R1
RH
VT1
VT2
R2
I
+ 1) I
R3
.6.16
, 50 ,
RC- 50100 .
,
(..6.16).
262
()
p-n p-n-.
(.6.17,) n- - ,
p-n-
.
,
.6.17, . ,
(
..6.17,).
n
p
U
n+
p
n
R3
n+
.6.17
,
. , ,
, - ,
. , , ,
263
, , . ,
, - .
.
, , ,
.
, ,
, ,
,
, ,
, ..
I K I I K 0 I K
I 0
IK I
I = I/(1 ) + I0/(1 ).
,
.
,
, 0,2 0,5 /.
, ( ), ,
).
264
, , .
.
,
( 10 5 /2),
(
10-4 10-6 ).
, ,
,
.
() : ,
(.6.17,).
,
.
p-n-,
.
, - .
- ,
I, , R
U = RI,
. ,
:
IC = SU = S RI,
S dIC/dU U = const.
265
(6.5)
Si .
(6.5) ,
SR .
.
,
,
.
.
107
.
,
.
.
.
60- ,
,
,
3040% .
, , ,
,
,
. ,
,
266
.
:
,
1014 , 10
2
, ,
;
,
;
, ;
,
, , ,
;
.
:
, . ()
() (),
,
.6.18.
, 7, 8, , 3
, , ,
(, 101).
( GaAs GaAlAs);
( ) ;
267
( , ,
..).
, .
( ). ,
(, -2, 2-10 ..).
-1, -2
()
101.... ()
3109....... (3 )
123....,
()
-8 .... 16
103....,
()
110....,
2
( )
.6.18
.
1. () ,
.
2. () ,
.
3. ,
.
4. () .
.
.
268
,
, .
1
3
3
2
5
1
3
p n
p n
.6.19
,
,
, .
.6.20.
, (Ge, Si,
Si, AIIIBV)
269
,
.
:
R = R*exp /,
R* , ;
/k,
/2k,
/2k, ,
; k .
to
.6.20
, (1, 3;
) .
.
( ), ,
.
. R =
f(T) , ,
270
,
.
, ,
(, V24, V23 = 69
1100), .
(
,
) (
, 1-21, 3-27, 3-31).
,
.
R = f(T), I =
f(U) R
= f().
.6.21,, , .
:
(
200; 250, -14, 1-18, 1-19 150 0)
;
( 700
150000)
= (lnR0/R)/(1/T01/T);
:
TKR = 1/Rdl/dT;
271
( 0,5 140 ).
(
,
,
, .. .
I ,
R,
1-21
100
10000
10
1000
100
10
0,1
1
0
100
200
U , B
, 0,01
0,001
300
0,01
1,0
0,1
10,0
R,
1-21 (100 )
1-21 (10 )
1000
3-21 (1 )
100
10
1
0
,
20
40
60
80
.6.21
,
( )
.
272
(
)
(5,
).
i3 ( ) ,
(, ) 10 8-1010
0,11
(
).
, .
, .
R
(.6.22,), ,
.
.
(6-2
)
, 1 .
. 6.22,.
273
R,
5-1
10
10
I,
6-2
120
5
90
10 4
10
10
5-1
60
30
2
6-3
,
10
290
210
370
U,
0
10
450
20
40
30
.6.22
( , ,
,
).
;
.
).
.
,
.
274
, ,
.
,
, .
(.6.23,).
( 150 0)
.
:
- = R/r = UdI/IdU, R r
,
.6.23,;
- I = AU, A = f (T );
- ,
R(U) = A1U1- ;
= - 40 +1000
R|U=const = TKI|U=const < 7 10-3 -1;
R|I=const = TKU|I=const < 1,4 10-3 1
-
1 1-1-1, 1-2-1, 1-2-2;
15 150 ;
- 2 10 ( 0; 0,05 1,25
- 15 1500 ;
- .
275
I,
12
9
6
6
-80
-40
U, B
-3
40
80
2
U,
-6
0
-9
30
60
-12
90
120
.6.23
:
- ;
- ;
- ( );
- (
. );
- ;
- .
:
1-2-1 168 1 I = 3 U = 56270
= 3,5,
= 3,5,
= 3,2;
:
1-1-1, 1-1-2
= 4,
13120 2 I = 50 U=2500
= 5.
276
.
.
, ( << , >>
) ,
m*,
( m*v2/r = qvB)
= 2/ = (q/m*)B,
:
/2 = q B/2m* = B/2<<1,
/2 = B/2 >> 1.
, .
, l = v,
r = v/, ,
l/r= ,
(r >> L),
,
,
(r << L).
.6.24,,
j qn v E
277
(..6.24 ),
F q[ vB]
( +
, ).
V E
q
E
m
,
F q2
[E B]
m
UH
A
l
-j
_
F
+
UH
UH
n -
_
F
-j
p -
.6.24
,
(
).
,
U.
, ..
.6.24, , . (
) (
) ,
278
, ,
q E qv B
U =
= V= 1/qnjB = RjB,
R ( ) R=
1/qn, R = 1/q, ..
.
,n (.6.25),
n
n n B, p p B
_
H
_
,
-j
_
H
_
,
-j
.6.25
,
,
().
.
= 1/ = /j.
279
,
,
E j / j Ej / j2
, ..
,
( )
= 2/()2 = 1/ = ,
.. .
,
( ) / / 1,5r 1 / 4 2n B2 jB / j2 A 2n B2 sin 2
= 3/2r(1 /4) ;
jB
j2 B 2 cos 2
, /,
(
).
( ),
.
,
.
, ,
280
. (
).
( InSb)
.6.26.
R/R
1
4
0,8
0,5
0,6
1
0,4
2
0,2
B ,
200
400
600
800
.6.26
,
,
.
.
,
j q n n p E
q
4 q n
p
(n p)[q E]
2
B
3r B n
: :
R = 1/q(p n);
(110
.
(dSe, HdTe), Ge, InSb, InAs
281
. IIIV (Ge-38002/
) 10000 HdTe; 30000 InAs; 60000 InSb = 104). 4
: () ().
.
, :
- ( R = l/,
l /);
- ( );
- () = / (
);
- I;
- ;
- (
);
- / = tg;
- ( 10 12
1013, );
-
2 103 102 1
).
, ..
,
.
,
:
- ;
282
- ;
- ;
-
;
- (, , ,
, , ) .
;
-
( , , ,
, , ), ,
, . .
;
- ;
- ;
- ;
- .
. .
.. . .:.- 1971.
,
(
) .
,
ik
iklm X lm
Lm
283
iklm ;
Xlm .
ik
i(i =
1,2,3,6).
Xlm.
, Xim i
ik
X i c i kU k
k 1
k 1
ik X k m ik U k
m ik il cl k
ik mik
,
.
:
11
21
61
12 16
22 26
62 66
i, xi, ui
.
, ik
3
11, 12, 41.
ik , ..
11 = 22 = 33 = 0, 12 = 23 = 31 = 0.
284
,
(Ge, Si -) .
()
.
.
k
p p 2x p 2y p 2z
m v 2
p2
h 2k 2
2
2
2m
k k 2x k 2y k 2z
k
.
( ) .
.
.
(Ge, n-Si)
,
,
. ,
,
. ,
, , ,
.
, .
Si-p
285
.
,
,
. (..6.27).
n-Si p-Si
0,1 103 ,
.
[111], [110],
[100]. ( )
R /R, %
(n0 - n)/2
(n0 - n)/2
EC2
60
EC1
EC0
30 l
0
n-Si
ky
p - [111]
n - [000]
30
kx
.6.27
-4
l / l 103
4
.6.28
:
- (
t = 20 0C)
;
- , .6.28;
- = (R/R)/(/);
- ;
- ( 10-2).
:
- ,
286
- , , ,
;
-
( ).
( . . .., -.-.:
. 1965)
5.
1. .., ... -.: ..
1987. -427.
2. .. : . . . -: .. 1980.
-383.
3. .. . : . . -.:
. 1980. -424.
4. .. .-.: ,
1984. -276.
5. .. . - .: , 1984, -80.
6. . , ,
/..,
..,
.. .; .....-2- ., . :
, 1984.
7. . : / ..,
..,
..
.;
..
...
, 1982.
8. . :
/..,
..,
..
.;
.... : , 1989.
9. : / .., .., ..,
... : , 1990. ( )
287
..,
..,
..
.,