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-

( )

. .

2014

621.382(075)
32.85273
61

:
, . .
, . .

, . .
61 : . / . . . . : , 2014. 100 .
ISBN 978-5-7417-0535-3

.
-, ,
, , , .
-
- .

621.382(075)
32.85273

ISBN 978-5-7417-0535-3

.., 2014



-
( ), 2014


......................................................................................................4
.........................................................................................................5
1. ........................6
1.1. .......6
1.2. ....................................................13
1.3. ...................................................................16
2. -............................20
2.1. - .............................................................20
2.2. .........................................................22
2.3. - .......................................................28
2.4. - ...............................................31
2.5. ................................................................................35
3. .........................................39
3.1. ............................................................................39
3.2. ....................42
3.3. ........................................................47
3.4. .......................................................57
3.5. .....................................................................63
3.6. .................................................................68
4.
...............................................................70
4.1. ................................70
4.2. ... 74
4.3. .......................................76
4.4. .........................................................................................79
5. ............................................................81
5.1. - .....................................81
5.2. .........................................................83
5.3. ..................................................87
5.4.
(-) ...............................................................................91
5.5. - ..................................92
5.6. - ......................95
......................................................................................................99


,
() . 1978 . . .
(22.02.192804.09.2000)
.
, . ,
.
,
, , ,
,
, , .
. . . ,
, . , .
.
- . . .
.
. . , .
,

. . .



. :
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, .

, ,
.

, ,
,
,
.
,
,
,
.

, . , .
,
, , ,
. ,
, .

.
-, , , , ,
.

1.

, . 20- .


. 1958
.
60-
(-). .
.
.

.
1.1.

.
-
.
, .
,
, , . .

, .
. .
6

,
.
, , , . .

,
, . ,
,
. , , , "", .. ; .

. 1.1. :
) , )

,
,
, .

g
(. 1.1).
, .. .
. g =
.
7

g . 1 g : , .
300 K .
1

0K
300 K

g
Ge
Si
GaAs
0,89
1,16
1,52
0,7
1,1
1,4

, , . 1
. .
,
( g 6 ).
, ,
, .
, .
.
.
.
.
.
:
Vn n E ,

(1.1)

n , ,
[2/] (
[2/]).
: V p p E , . < n.

j enVn epV p (en n ep p ) E (n p ) E E ,
8

(1.2)

e , n ,
, n p (
n = enn, p = epp), . , , n p
, (1.2) .
. . n p
. . , , . , , .
2
300 K, [2/].

n
p

n
a
p
a

Ge
3800
1,6
1820
2,3

Si
1300
2,6
500
2,3

2
GaAs
8500
1,0
400
2,1

, .
:
T
0
T0

(1.3)

0 = 0 = 300 K ( 2).
.


. , ni = pi.

9

ni2 AT 3e

g kT

(1.4)

g , T .
k = 8,62 105 /K .
(1.4) ,
(. 1.1)
.
,
(, + d),
dn N F d ,

(1.5)

N() ,
F() , .
[1]:
N

3
* 2
2mn

1
n 2

(1.6)

3
19 2
1, 60 10

,
h3
h , mn* . (33/2)1, N( n) (3 ).
, , :

1 e F

kT

(1.7)

. 2. = 0 K , , F,
, . > F = 0 K .

. 1.2.
10

1
2

F d .

, ,
F kT .
(1.7) :

F e F

kT

(1.8)

kT

(1.9)



n N e F
3
2

19 2

N 2
1.60 10
h

.
.

2mn* kT
2

N B 2 ,

4
3

3
* 2
2m p

3
19 2
1.60 10

, m*p .

h
,
, 1 F().


F > F >> kT, 1 F e F

kT

1
2

B 1 F d


p N B e F B

N B 2
h

2m*p kT
2

kT

1
2


B e F

kT

d ,

(1.10)

3
2

3
19 2
1.60 10

11

. , ,
, ni = pi.
(1.9) (1.10),
B kT N B kT mn*
ln
ln
F

NB
2
2
2
2 m*p

B
,
2

2
.

(1.11)

(1.12)

..
, ,
. , n .
(1.9) (1.10)

n p ni2 pi2 n p N N B e B

kT

N NBe

n p ni2 AT 3e

g kT

g kT

(1.4)

, .
,
, k .

.
, (1.4) .
(1.4) ,
.
.
.
= 300 K ,
g = 0,7 , , (1.4), ni = 2,41013 3. NGe
4,4 1022 /3. ,
ni. , Ge

12

, N 0,1
ni,
N
N Ge

0,1ni 0,1 2, 4 1013

5,5 1011 .
22
N Ge
4, 4 10

Ge = 300 K -
2109 . (1.2) 2
= 47 .
, g = 1,1 , = 300 K
ni = 1,41010 1/c3 NSi = 51022 /3.
:
N
NSi

0,1ni 0,1 1, 4 1010

2,8 1014.
22
NSi
5 10

= 230 000 . -


104 .
1.2.

.
Ge Si (P, As,
Sb) , , , .
,

.
, , : n 0,01
Ge n 0,05 Si.
,
n (. 1.3).
n , (300 K)
"" ,
.

13


, ..
. .

. 1.3. (n-)
(-)

(, Al, Ga, In),


.
,
. 0,01
0,05 . , . - . (. 1.3). .
. -
, . -
.
, ,
(1.4), .
-, N
, , ,
= N + , . ni2
(1.4) p
. N >> ni , n >> p
n
14

. - nn (
-), p ( ).
-
nn N , pn

ni2

.
N

(1.13)

-, NA, ,
p np
p p N A n p , n p

N A ni p p N A , n p

ni2

.
p p

(1.14)

ni2
.

NA

(1.15)

, = 300 K (ni2 = 1,9 1020 6) N = 1015 1/3 n


:
pn

ni2 1,9 1020

1,9 105
15
N
10

1
3


;
5 .
, (1.4) (1.13) (1.15).
, .. , = .

g
. Ti .

Ti / C

Ge
100

Si
200

15

GaAs
400

1.3.
(1.4) .
hf g . -

, : n n n , p p p n = p . n , p = n = ni. :
n n n e t

, p p p e

t p

(1.16)

n p . ,
n = p.
, , - n nn ,
p pn nn pn .
:
n nn p pn . . (1.16) ,
, .
, . .
,
, ,
.
. .
L
.
-
pn x pn p e
16

x Lp

(1.17)

-, Lp -.
,
:
nn x nn n e

x Lp

nn >> n = (1.17).

, .
.
ds
Cdx
(ds-), dx
dx
. CdxRdx
Rdx
ds
:
M

(1.18)


1
1
4 9 109 (),

8,8 1014 .

(1.19)

, Ge N = 1015 3 =1,5 , = 16 = 2,21012 .



. ,

.
, .. . :
jn e n nE eDn

dn
,
dx

j p e p nE eD p

dp
.
dx

(1.20)

(1.20) D.

17

:
Dp

Dn kT

uT ,
e
n

(1.21)

kT
T
8, 62 105 T
B
e
11 600

(1.22)

uT

.
= 300 K uT = 0,026 = 26 . p n ( 2), D D , (1.21).

,
.
n 1
div jn 0 ,
t e
g n n:
n 1
n
div jn g ,
t e
n

(1.23)

jn en n E eD r n.
= 0 (1.23) . g no n (no ).
(1.20), :
nE
n no
n
2n
.

Dn 2 n
t
n
x
x

(1.24)

(1.20):
pE
p po
p
2 p
.

Dp 2 p
t
p
x
x

(1.25)


0 x

( = 0) -
18

dpn
p pno
.
n
dt
p

(1.26)

= (0) t = 0
pn pno pn 0 pno e

t p

(1.27)

(1.16).
p


0 = 0 t

-
d 2 pn
dx 2

pn pno
Dp p

(1.28)


pn pno pn 0 pno e

x Lp

(1.29)

(0) = X = 0, L p D p p ,
,
= 2,72 . Lp ,
.

.
.

19

2. -
2.1. -

, -, .
= 300 K .
- -, p-.
- ,
- .

,
. , , . , , .
. 2.1 .
u0 .

dp
kT
eD p
e p pE , (1.21) ut
dx
e
dp
du
du Edx
.

p
uT
0 - 0 , u u0. , p
u
ln n 0 0 , u0:
p p0
uT
u0 uT ln

p p0

(2.1)

pn 0

:
p p 0 pn 0 eu0

20

uT

(2.2)


N D pn 0 nn 0

N A

n p0 p p0

( x )

dE
dx

1
( x)dx

u Edx

u0
x

. 2.1. pn-

(2.1) , p p 0 N A pn 0 ni2 N D
(c. (1.13), (1.15)),

u0

kT N A N D
.
ln
e
ni2

- =
( ni2 1,9 1026 6) u0 ND = NA = 1015 3
u0 0, 026 ln

(2.3)
300 K

1030
0,58 B.
1,9 1020

-
5, 6 1026 6) u0 = 0,19 , 0,4 B ,
.
0,4 , , (Ge Si) -
(. ).
( ni2

21

2.2.
- u
u = u0 u .
.
(2.2)

p p pn eu

uT

pn eu0 u

uT

(2.4)


, pp = pp0 = (0), X
. (2.4)
(2.2)
pn 0 pn 0 eu uT .

(2.5)

n p 0 n p 0 eu uT .

(2.6)

(2.5) (2.6) , u.
-
. 2.2.
( pn() np(x)). c (1.28)
(1.29):
pn x pn 0 e

x Lp

n p x n p 0 e

x Ln

pn 0 ,

n p0 ,

(2.7)

pn 0 pn 0 pn 0 , n p 0 n p 0 n p 0 ,
.. .

. 2.2. pn-

22


,
(
- - ). , -
i i pn 0 inp 0 ,

(2.8)

X = 0
i pn 0 SeD p
inp 0 SeDn

dpn x
dx

SeD p

Lp

x 0

dn p x
dx

pn 0

SeDn

n p 0

x 0

Ln

(2.9)
.

(0) (0) (2.5) (2.6) u

1 .

pn 0 pn 0 pn 0 pn 0 eu uT 1 ,
n p 0 n pn 0 n p 0 n p 0

u uT

(2.10)

, -

i I 0 eu uT 1 ,

I 0

SeD p pn 0
Lp

SeDn n p 0
Ln

(2.11)

(2.12)

(2.11)
-. (2.12)
(i = I0 u < 0, |u| >> uT). I0 ( . 2.2).
.
I0 . (2.12)
pn 0 ni2 N D , n p 0 ni2 N A
Dp
Dn 2
I 0 Se

n ,
L p N D Ln N A i

23

(2.13)

ni2 (1.4). , D ,
I0

g
2 2 kT
A1T e

(2.14)

1 .
. , .
ni.
,
(2.13) . ,
I0 (I0 ~ ni):
I 0 A2

3
T 2

e 2 kT .

(2.15)


g
dI 0 1 d ln I 0 m


.
dT I 0
dT
T kT 2

(2.16)

m = 2, = 1, m = 3/2,
= 2. = 300 K (2.16) 0,08 ()1
0,11 () 1 .
, , .
:

dI 0 1
1
,
0, 07

dT I 0

(2.17)

.. 10 (1,0710 2).

I 0 I 0 20 C

t o 20
10

(2.18)

- (2.11)
. 2.3.
- (2.11).

24

(2.11) c
:

i I 0 eu T 1 ,

(2.19)

kT
1 < 2. 1.
e

. 2.3. u > u. u = 0,2 (
1 1
u = ln1000 = 0,026 2,3 3 = 0,18 ).
T , uT

0,2 0,1

u
0

u
0 0,2 0,4 0,6 0,8

0,1 0,2

I0

Ge

Si

. 2.3. -
() ()

u 0,4 B
u 0,6 . 0,4 . , ( ,
).
(2.11), (2.12). i >> I0
i2 I 01eu1

i1 = i2, I 01 I 02 e

: I 01 ni2
u u
, e 2 1

uT

u2 u1 uT

uT

, i2 I 02 eu2

g1 kT

g 2 g1

u2 u1

I 02 ni2

,
kT

g 2 kT

g 2 g1
e
25

uT

(2.20)

,
, -. g1 = 0,7 (Ge) g2 = 1,1 (Si), 2 1 = 0,4 .
,

e

g 2 g1

kT

e0.4 0.026 e15.4 5 106

, . 103-104 .
, [. (2.15)]. 0,4 , uT 1,5
(2.19).

(2.19). -,
,
(2.11) = 0 nn = nn0; -,

.
. :
.
, .
M

1 u u

(2.21)

m (
) :
- = 0,1 = 4,7, = 2
= 6; - 3.
.
u 1

104 103 ()1.

T u

, .. .

26

(.
). u > 6
. , , .
( ) ,
( =
= (23)105 /). (10161018 3).
(u < 4 ) 104 103 1 .

,
. 4 < u <
< 6 ,
. ,
u .
, ..
. (
) .
- :

di x0 eu T
,
g

T
du

(2.19). i >> I0, g

(2.22)

i
T

T
.
i

(2.23)

= 300 K T uT 0, 026 B
r

26
.
i

(2.24)

1 ( i = 1 r = 26 ). , (2.24).
27

2.3. -
- . ,
.
- ,
.
u = 0 . 2.1
u 0 . 2.4.
/e = ND(x) NA(x)

dQ

= p +

. 2.4.

:
x e N D x N A x .

(2.25)

,

n

x dx 0 .

(2.26)

, . :
i

dQ dQ du
du

C u
.
dt
du dt
dt

(2.27)

(u) , u.
. :
dE x

.
dx

(2.28)

E p E n 0 . ,

28

1
E x x dx,

(2.29)

E x dx

dx

dx x

dx
p

x
p

dx.

(2.26) . ,

1 n
u x x dx.

(2.30)

(2.26) (2.30) -.
(2.26) (2.30) :
du n

d n p

p,

dQ S p d p S n d n ,

dQ S

C u u = u0 u
du

C u

S
,

(2.31)

p n (2.30)
(). .

x e N D N A (. 2.5).

. 2.5. () ()

29

2
eN D n2 eN A p
1 n
u x x dx

,

2
2
p

Q SeN A p SeN D n .

n N A
.
p ND

( NA >> ND >> ). u =
p + n
u

eN A N D
2 ,
N A ND

(2.32)

c u:
2u

1
2

1
1

.
N A N D

(2.33)

(2.31) (2.33). u = u0 u u = 0 0 = (u0),


:
C

u0

S
S

u u0 u

u 2
C0 0 .
u0 u

(2.34)

(u < 0) .
(. 2.5) (x) = ax
2

a 3
1
1
2
u
x
x
dx
ax
dx

2
2
12

(2.35)

3 u
1
3

u
C0 0 .
u0 u

30

(2.36)

( )

( ).
( ) ,
, .
.
u0 0,8 B, C0 = 50500 45 .
i-,
, .. i-
(. 2.6).
p

n
eND

eNA

S
i

Emax

u
i

. 2.6. in

i- ,
,
. , .
2.4. -
-
. ,
(. 2.2, (2.9)). ,

,
. , ,
.

- -:
Q Q p Qn .
31

(2,37)

. (. (2.7) . 2.2)

Q p Sepn 0 e

x Lp

dx SeL p pn 0 .

(2.38)

(0)

pn 0 pn 0 eu uT 1 .

(2.10)

, , , .
:
Cd Cdp Cdn

dQ p
du

dQn dQ
.

du
du

(2.39)

(2.38) (2.10)
dQ p
p pn 0 dQ p
SeL p n 0

,
Cdp
du
uT
uT

Cdp

SeL p pn 0

eu uT Cdp 0 eu uT .

uT

(2.40)


, .
. (2.9)
(2.38)
i p SeD p

pn 0
Lp

Dp

L2p

Qp

1
Qp .
p

(2.41)


,
Qp i p p .

(2.42)

, (2.10) (2.41)
Cdp

dQ p
du

di A i p p

.
du
uT

(2.43)

, (: ).

32

(2.39):
Cd

ip p
uT

p n

in n
,
uT
Cd

(2.44)
i
.
uT

(2.45)

i = 1 , = 2,6 , = 300 K (u = 0,026 ), 0 = 2,6109


2,6102 = 107 = 0,1 .
-, ,
.

r uT i , , r- :
rd = .
(2.46)
du
ir u r .
iCd Cd
dt
, , .
, ,

; ,
:
i

Q
.

(2.47)

Q = Q(t). ,
dQ
dQ
Q
Q i,
i ,
dt
dt

(2.48)

dQ


0 (2.47).
dt

(2.47) (2.46) -. Q .
.
33

- . ,
. . 2.7 .
E1
i1 E1 ud 0 R . , ,
ud0 (. . 2.7).
Ql = i1.
E2 . i2, i1 E2 ud 0 R . i
(2.48) :
t t
Q t i1 i2 e 1 i2 .

u1

)
u1

E1

E2
ud0

ud

(i1+i2)(Rn+Rp)

E
ud0

u1
E1

t2
(E1ud0)/R

I0

(E2+ud0)/R

. 2.7. (), ()
()

,
i2 tp = t2 t1 t2 (Q(t2) = 0):
t p ln

i1 i2
.
i2

i1 = i2tp 0,7. .
34

,
( ud . 2.7).
,
R Rp
:

ud Rn R p

i1 i2 .

, .

. .
GaAs -
0,1 .
2.5.
-
. - 10141015 3
( 108),
.
10181019 3, 1 N (. (2.33)), .. 100 . 8

T n 10 n 100 A , = 110
. , ,
. , ,
. ,
, .. .
-
1958 .

. 2.8.
. I (U 0,05
Ga U 0,15 GAs-)
35

. (U 0,3 GAs U 0,6 GAs-)



-. U ( U 0,5
GAs U 1,1 GAs-)
I. :
I/I 4. I/I = 1020.
.
i/I
1,0

Ge

GaAs

0,5
u

I/I
0

u
1,0

0,5

. 2.8.

- (. 2.9).
a)

u=0

F = |eu0|

u>0

F = |e(u0 u)|
F

T
. 2.9.


0 g
, -, - -,
.
. .
36

U = 0
.
U > 0
(. 2.9). - - . U < 0
. (. 2.8). u = U

, .
u > u .

, .. ,
- .
u > u ,
u < u .
. ,
. . I u 10% 50 150 . I, u, u
,
.
.

GaSb. - .
i
Ge

GaAs

u [B]

In
0

0,5

1,0

. 2.10.

37

. , ,

. ,
(. 2.10).

, .
.
.
,
.
,
,
. -, .

38

3.
3.1.


,
- -
(. 3.1). ,
.

n p

n p

. 3.1. ()



.
, , :
.
. 3.2 -
(. 3.2),
(. 3.2) .
- .
(. (2.3)).
. , (u0 > u0).

: u > 0, : u < 0.
,
.
39

,
b0 b.
)

)
(x)=e[ND(x)NA(x)]
)

1
x dx

b0
b

eNA

u Edx
)
u

u0

u0

. 3.2. -


, , .
-
. 3.3. .

(0)

. 3.3.
pnp-

40

3.3 .
, () . b
,
(b << Lp). .
:
i i pn 0 inp 0 i p in .

(3.1)

,
, ,
(ip < ip). ,

i i p in i p I 0 ,

(3.2)

ip - n-. [in] I0 .

i i i in i p i p I 0 ;

(3.3)

[ in] ,
[ (ip ip)] , .
( ) () ip. :

i p
i p in

i p
i p

i p
i

(3.4)

(3.5)

()
T

i p
i p

i I 0
i

(3.6)

.
41

(3.7)


, ( ).
(3.6) i i I 0 .
.

.
, .
3.2.
(3.1). , [. (2.9) (2.11)], ..
inp 0 SeDn

dn p x
dx

SeDn

n 0
L

x 0

(3.8)

, , , L.
n 0 n0 eu

uT

n0

(3.9)

inp 0 in

SeDn n0 u
e
L

uT

1 .

(3.10)

. .
(1.28) .
d 2 pn pn pn 0

dx 2
L2p
pn pn 0 c1e

x Lp

c2 e

x Lp

(3.11)

(X = 0):
pn 0 pn 0 eu

uT

(3.12)

pn 0 pn 0 eu

uT

(3.13)

( = b):

42

, , :
b << Lb = Lp,

(3.14)

(3.11) .

pn x pn 0 C3 C4 x .

(3.15)

3 4 (3.12) (3.13):

3 pn 0 pn 0 pn 0 eu
4

1
pn 0 eu
b

uT

uT

1 eu

1 ,

uT

1 .


i pn SeD p

dpn
SeD p C4 ,
dx

i pn

SeD p pn 0
b

eu

uT

1 eu

uT

1 .

(3.16)

(3.15)
X . , = 1.
< 1.
(3.16) (3.10),
(3.1).
. , n0 L, ,
, n0, L u u (3.10):
inp b in

SeDn n0 u
e
L

uT

1 .

(3.17)

(3.16) .
, :

i a11 eu
i 21

uT

u uT


1 e

1 a12 eu
22

43

uT

u uT

1 ,

1 ,

(3.18)

D p pn 0 Dn n0
D p pn 0 Dn n0
a11 Se

Se

,
22

,
b
L
b
L

SeD p pn 0
12 21
.
b
(3.18) . (u > 0, u < 0) , u:

i i I 0 eu

uT

1 ,

(3.19)

21

, I 0 21 12 22 .
11
11
. = 1, (3.7)
= . ,

a
b Dn n0
21 1
a11 L D p pn 0

(3.20)

: D = uT ,
(. (1.13), (1.15))
(1.2) , :
Dn n0

D p pn 0

ni2
e n
NA
ni2
e p
ND

e n N D e n nn

n
e p N A e p p p p

b
1
.
L

(3.21)

,
.
.
(3.11)
, ,

:
44

1 b
T 1 .
2 L

(3.22)

, .

:
2

b 1 b
T 1
.
L 2 L

(3.23)

,
. ,
( ). . . ( ),
(3.23) .
, . , (3.23) , . ,
,
. ,
.
i 0 0,9 , . = 0,9 0,999.

I, , c -
-, ( ). I

. (3.18) u = 0
(3.20) (3.21)
1

a
b
I I 12 1
.
a22 L

(3.24)

I.
(3.22), I,
I = ITI.
45

:
, ,
. .
, .
IT < T .
,
(I < ).
(3.18) , u
i i (3.19):

i i I 0 eu

i I i I 0 e

uT

u uT

1 ,

(3.25)

1 .

(3.25)
-, (. 3.4).
i

I I 0 e u

I0 = I0

uT

. 3.4.

, I, I0, I0, (3.18)



i

I 0
e u
1 I

I 0
i
e u
1 I

uT

uT

I I 0 u
e
1 I

I0
1
eu
1 I

uT

uT

1 ,

(3.26)

1 .

(3.18) (3.26)
. ,
(3.18) ,
(3.26) . ,
(3.26).
46

, (3.26)
. (3.26)
, I I0, I0.
.
.
3.3.
(3.18)
. ,
.
u = 0 -:

i I 0 eu

uT

1 ,

(3.27)

D p pn 0 Dn n0
I 0 a11 Se

b
L

I0
(3.27), u < 0, |u | >> u i I0 (. 3.5).

pn0

n0
b

. 3.5. u = 0, u < 0

, ..
u = 0. ,
.. u < 0, |u | >> u . ,

pn b pn 0 eu
pn 0 pn 0 e

uT
u 0

pn 0 ,

u uT
u 0, u uT

47

0.

(3.28)

,
, ,

n
, 0 0 .
L
b
,
i i pn 0 inp 0 SeD p

pn 0
n
SeDn 0
b
L

p
n
Se D p n 0 Dn 0 a11.
b
L

(3.29)

u = 0 ,
.
, (3.27),
. 3.6.
(u < 0, |u| >> uT), p
(.. ) SeD p n 0 . b
n
u << 0 : I 0 SeDn 0 L
.
i
u < 0
u = 0
I 0

u0

u [B]
0 0,05

0,1

I0
. 3.6.

pn 0
12 . u 0
b
, . 3.5
.
u = 0 : i

48

SeD p

(3.25) (3.26) I0 (i = 0) , . 3.7.


dn
dx

dp
dx

0
x 0

n0

n0
0

. 3.7. i = 0, i = I0


,
, ..

dn
dx

dp
dx

(3.30)

x 0

(3.30) u0 (. . 3.6)
. , SeDn n0 L
(
). .
(). , I0
n
n
I 0 SeDn 0 0 .
L
L

(3.31)

,
. (3.31), I0
, .
(. 3.6)
.
49


. 3.8. 0,150,2
0,6 .
, ,
:
di
r
du

= 300 K r

uT
,
i

(3.32)

26
.
i A

(3.33)

:
du
105 103 ,

du i const

(3.34)

.
i

Ge

Si

u < 0
u = 0
u
0,2 0,4 0,6

u [B]

. 3.8.

i f u , i
, (3.25),
. 3.9.
,
, (. 3.10).
.

50

di
r
du

(3.35)
i const

(r = 0,53,0 ).
r, , r

u r i u

1
.
i i u
r

(3.36)

, .
(3.36) , . 3.11.
ii1 ii

i 6
i 5
i4
i3

i 2

i1=0
0

I0

. 3.9.

dp
dx

x 0

const i

dp
dx

x b

dp
dx

x b

b b

. 3.10.
i = const

h-:
u1 h11i1 h12 u2
.
i2 h21i1 h22 u2
51

(3.37)

(3.37) (3.36).
(. . 3.11.)
)

)
i2

i1

u
(h12u2)

(1/h22)

-i
(h21i1)

u1

u2

. 3.11.
(), ()


(. 3.12).
.
.
)

E
R

i
u

0,1

0,1
u0

. 3.12. ()
()

( < 0, < 0, || >> T;


-) i = i + I0
i + i + i = 0
i

i 0 i I 0 ,
1
1

(3.38)

. 1
= 20100.
=

52

. 3.12.
= 0 . < 0
. >> T i = I0. ,
u 0,1 .
i = 0 ( )
0. I0 (. (3.38)) . ,
, . 3.13.

i p

in

dn
dx

dp
dx

x 0

i p

dp
dx

x b

in

dn
dx

x b

b b+

. 3.13. i = 0

, (. (3.4),
(3.5)),
i 1 i 1 T i I 0 ,

(3.39)

. 3.13

ip
ip

x 0

x 0

in

dp
dx
, T
dp
dx

x b

(3.40)

x 0

I0

dn
dx

.
x b

(3.39) , , .
u0 I0, , = 1 < 1. i = 0, , ..

53

in SeDn

dn
dx

in SeDn

dn
dx

SeDn
x

SeDn
x b

n 0 u uT
e
1 ,
L
n0
I 0 ;
L

u u0 , i in in 0

n0 u 0
e
L

uT

M 0
.
L

L L ,
n
u0 uT ln 1 0 , u0 u0 .
n0

I0 dp
dp
. 1

.
dx x 0 dx x b
i = 0 .
, in in I 0 (3.40)
i p i p

in
I 0 .
1
1

I 0 i p in

I 0 I 0 0 ,
1
1

(3.41)

I0 (3.38) = .

. I0 , I0:
I 0 I 0

20 C
0

t 20

10.

(3.42)


. 3.14.
(. 3.8)
( + 1) . :
54

di
r
du

1 r r ,

(3.43)

r (3.32),
r .
i

u = 0
u < 0
Ge

Si

0,2 0,4 0,6

u[B]

. 3.14.

. 3.15. i
u .

: u u u .
/R

i i

i 1

i5
i4
i3
i2
i1=0
I0=(+1)I0 u
i

. 3.15.

, ,
:
di
r
du

55

r
.
1

(3.44)

. 3.12 ,
, i

E
R

. u , . . 3.16.
|i2| > |i1|

i2

dp
dx

i1
0

x b

E
R

. 3.16.

dp
dx

x 0

dp
dx

, x b

E

R
.
, ( ). ,
,
.

u u u i r u u

E
r' ,
R

(3.45)

r' . u u
. u , , (3.45).

. (. 26), -
. (u < 4 )

56

. (u > 8 ) .
. :
M

1 u u

(3.46)

*
I 0 M . = 38, i = 0 I 0
. *
I 0 I 0
, , .
.

1
n

u .

(3.47)

1
, = 6 = 50 u u .
2
, ,
-
. .

3.4.

.

. (
) .
.
, ,

. , , (. 3.11)
.
57

(
).

ir
u

(0ir) i

u'
u

. 3.17.

i r,

, . u U e jt .

1
jC
Ir r I
.
1
r
jC
r

:
Ir

I
I
,

1 jr C 1 j

(3.48)

1
.
r C

0ir (0 ,
(. (3.23))). I ,

58

. 0 Ir I
(3.48)

0
1 j

(3.49)

0
1

(3.50)

, ,
, f ,
2 , (3.49) . 3.17,
C

1
.
2f r

(3.51)

(3.49) .

0
e jm ,
1 j

(3.52)

m
(m = 0,21), 0,2 ,
1 , .
.
, u > 0 u < 0,
|u| >> uT, .
(. . 3.3).
Q

1
eS Pn 0 b ,
2

S .

59

(3.53)

,
i pn SeD p

dPn x
dx

SeDP

Pn
,
b

(3.54)

:
Q

b
i pn .
2Dp

(3.55)

Sen 0 e

x Ln

dx SeLn n 0 .

(3.56)

,
i SeDn

dn x
dx

SeDn

n 0

x 0

Ln

(3.57)

:
L2n
Q
i .
Dn

(3.58)

Q = Q + Q.
dQ

, ..
du
C

dQ
b 2 di pn L2n dinp
,

du 2 D p du' Dn du

(3.59)

i i pn inp (3.32)
C

b 2 i pn L2n inp
.

2 D p u Dn u

(3.60)

Q Q i i .
: (. (3.4))
i pn
i pn

.
inp i pn
i
,
:
60

b2
i
L2n

1 .
Dn
2 D p
uT

(3.61)

(inp << ipn) :


b 2 i
b2 1
.
(3.62)
C

2 D p uT 2 D p r
(3.61) . = I, .
(3.62) .
. , b = 10 , i = 1 A,

D p 47 104 /
uT = 26 c (3.62) = 400 .
:
(3.63)
.

.
,
3.17:
b2
r C
2Dp

(3.64)

(3.48) :

2Dp
1
2 ,
rC
b

(3.65)

D p
2 . , b = 5 (Dp = 47 c2/)
2 b
f = 60 . , f
.


:
b2
Q
i .
(3.66)
2Dp

61

i i (3.66) :
b2
Q
i .
2Dp

(3.67)

Q i , :

Q
b2
.

2Dp
i

(3.68)

, , Q, .
, :

1
.

(3.69)

, :
dQ
Q
i .
P
dt

(3.70)

dQ

0
dt

Q i p .

(3.71)

(3.68)
Q i n .

(3.72)

i p i n

i
.

(3.73)


.
. (3.49)
62

0

1 0
0

.

1 1 j
1 j
1 0

(3.74)

0
, 1 0 .
1 0

0 0 . 0 0 ,

() (). ,
.

() , ().
,
, fT , : (fT) = 1.
. 3.17
fT f

1
.
2 n

, (,
),
fT

1
,
2

(3.75)

. .

3.5.
. . ,
,
.
, ,
. , -
63

pn-
, ,
. .
.
, , . , , . , .
.
.
. i- in-,
(,
) (. 3.18).

+
[3]
1021
1019
1017
1015

NAND

. 3.18. +nip+

i-, , (. i-
. 2.6).
1015 3,
1017 3 (10151014) 3.

r'. r'
.
64


. .

. -
jn en n Ei eDn

dn
0.
dx

,
Ei

Dn dn
.
n n dx

(3.76)

Dn
uT n N D ,
n

Ei uT

1 dN D
.
N D dx

(3.77)

. N D x N D 0 e Ei auT const.
, . 3.18,
1017 3 1015 3 b = 2 , i = 150
/.
-
j p ep p Ei eD p

dp
,
dx

(3.78)

, (3.77):
p dN D dp

.
j p eD p
dx
N D dx

(3.79)

(jp = const) = 0 = b:
p

jp

eD p N D x x

N D x dx.

(3.80)

= 0
p 0

jp

eD p N D 0 0

N D x dx.

,
65

(3.81)

p 0 pn 0 0 eu

uT

(3.82)

0 (0) = 0.
ni2
2
. n 0 p 0 ni , n 0 N D 0 , p 0 pn 0 0 , pn 0 0
N D 0
(3.81) (3.82),
i p Sj p

eSD p ni2
b

eu

uT

N D x dx

I1eu

uT

(3.83)


i I1e

u uT

I 0 .

(3.84)

, .
fT, c :
fT

1
,
2

(3.85)

.

= + + i + .

(3.86)

(3.86).

= r( + + ),
r

(3.87)

uT
,
i

( ).

(3.68):
b2

, 1 2,
1 D p

1 :
66

(3.88)

E 32
1 2 1 i .
E0

(3.89)

Ei (3.77), 0 = 2u /b, Ei = 0 1 = 4.
, i-c,
:
i

2
,
Vd max

(3.90)

Vdmax = 107 / , 104 /.


. , = 1 ,
= 10 , = 10/106 = 107 / = 105 /.

r'; = r'.
.

.
-
(. (3.77) (3.88)). (3.86)
. ,
. , i- .
. ,
i-
. ,
.
c 0,1 . 1 ,
(1 = 109 ).
- . ,
, .
GaAs Si.
.
: ,

67

, . .
fT
(
4 K).
(g = 1,4 ) .

3.6.


. . 3.19 .

n+
n+
n

SiO2
+

n+

n+

SiO2

n+ +

. 3.19.


. . - n-.
-.

SiO2.
. - - . 3.20.
SiO2 , (. 3.20).
.
, ().
, .
(. 3.20), .
(, ) (10001300 ).
.
.
68

. 3.20 -, +-,
(. 3.20). SiO2 . SiO2 . , -.
. ( ).

SiO2

. 3.20.

- n+-. .
"" .
.

.
-. . ,
.

69

4.


1874 , 1904 .
1920-
. 1930- .
.
,
, ,
.
.
.

4.1.

. , -. . 4.1
, ( ).

xS S

)
F

n
F
B

0
i

xS

SxS
F

eui

n
0

. 4.1. ,

0 , S
, xS = S (n F ) , .
xS < 0 .
70


(. 4.1). , , 0 S . 0
, . 4.1.
,
.

0 xS .

(4.1)


eui n S xS 0 S .

(4.2)

. 0 S ND .
- ,
ND << NA (2.32)
u0 u

eN D 2
,
2 ES

(4.3)

S (S / 0 = 16
G , 12 Si GS). (4.3) ui u0,
( ):
1
2

2 u u
S i
,
eN
D

(4.4)

u . u = 0 = 0.
0 > xS , ..
, . ( -) . = 0 xS.
, 0 < S, ,
.. , .
. 4.2.
71

a)

xS
n
F

g
)

n
F

xS 0

. 4.2.
0 < x

. , , , - .
,
. , , .
.
-, 0 < xS (. 4.3).
a)

xS
g

n
F

= (xS +g)0

. 4.3.
p- 0 < xS

0 < xS
.
( 0). . . , .
72

( -) .
0 > xS, - . ,
.

, .

, , .
. ,
.
4.1 , , 4.2
.
4.1

0 ,

Al
4,2

xS ,

Au
4,7

Ge
4,13

Cu
4,5

Pt
5,4

GaAs
4,07

4.2
CdS
4,50

Si
4,01

, , 4.3. c
(4.1) 4.1 4.2.

Ge

Si

GaAs
,

Al

0,48

0,50,77

Au

0,45

0,81

0,90

Cu
Pt

0,48

0,690,8
0,90

0,82
0,86

73

0,80

4.3
CdS
.
0,7
0,360,50
0,851,1

(4.1). Al ( ) , CdS).
,
.
.
- 4.4.
4.4
.

Al
Au
Cu
Pt

,
0,77
0,81
0,79
0,79

0,5
0,81
0,69
0,56

, . (
). ,
, .

4.2.


. .
,
.

. 4.4.
.
,
-
js m A * T 2 e n

kT

eeu kT .

(4.5)

, .
74

A*

4em * k 2
h

(4.6)

m* (k
, h ). * =
= = 120 /2k2 .
,
, ,
:
j s m A * T 2 e n

kT

(4.7)

jn js m jm s j0 eeu kT 1 ,

(4.8)

kT
uT ,
e

j0 A * T 2 e n

kT

jn j0 eu uT 1 ,

(4.9)

(4.10)

.
(4.9) (4.10) , Ge, Si,
GaAs (1014 1017 3).
a)

eui

u=0
F

e(uiu)

u>0
F

eu

u<0

e(uiu)
|eu|

. 4.4.

75

, ( ) , - (. (2.11)).
,
.
, , ( ).
(4.3),
:
u u

eN d 2
x .
2 S

(4.11)

du eN D

x.
dx
S

(4.12)

x (4.11),
1

2eN D ui u 2
E
.

(4.13)

1
2

eE

, , ,
4 S

j0 j0 e

kT

(4.14)

(4.13) ln j0 ui u 4 .
, ,
.
, , .

4.3.
. 4.5
.
.
76

Al

Al

SiO2

2 n

0,4

PtSi

n
n+

n+

SiO2
p

. 4.5. : (),
()

(. 4.5) . Si-+ 2 . ,
, .
. ,
.
(. 4.5)

i S d j I 0 eu uT 1 .

(4.15)

Sd = 105 2 I0 = 200 =
= 0,2 ; = 1,01 I0 1 .
s 0,7 .
60% - .
.
.
:
- (. 4.5). -
, . .

, - . +-
. (. 4.6) +-,
, .
77

Si()
+

Si()

Si()

. 4.6. ()
()

, . Si(p), , Si(n)
(. 4.6). -
Si(p), . .

,
. , Rd Cd (
), . 4.7.
Ld

Rd
i
Cd

u/u

i =I0(e

T 1)

. 4.7.

Rd , Cd .
Rd = 1 , Cd = 1
f

1
1,5 1011 150 .
2Rd Cd


10

78

(ND = 10161017 3).


(f 300 ) .

4.4.
.
,
- ,
.
- .
, , . , , , , . .
. 4.8 : -,
.
i
1

0,2

2 1

0,4

0,6

u [B]

. 4.8. (1),
- (2) (3)

- ,
. , .
.
. . (4.15)
(u ~ lni).

79

.
. , .
.
,

. . . , , , .
. .
, ,

, .
, , . ,
. , - -.
, (. 4.9). . 4.9 .
Au
n+
n

n
)

c. 4.9.

,
.
, , .
.

80

5.
.
.
.
.
.
,

.

-.
, , , .
-.
1960- ,
SiO2. ( 1015 1011 2).
(; MS).

. .

5.1. -

- (. 5.1). .
, , -
. ,
81

: u = u 0.
.
,
-. (u = u0)
, . uc > 0, ic = 0.

+
u

. 5.1. n-
,

,
- up0, . 5.1.
0 > u > up0 (up0 < 0).
uc = u > 0 - u = u u, u > 0.
u ic = f (uc). uc = up0, uc = uc0 = u up0,
. uc > uc0
. . 5.2.

u = 0
u = 0,2upo
u = 0,5upo
uc |upo|

0,5

1,0

1,5

2,0

. 5.2.
n-

82


(u < 0, uc > 0)
-. .

5.2.
-, , . 5.3.
(x)

l
b

ND

2a
)

a)

0 n x

NA

. 5.3. ()
()

, - ,
- ( 2.3).
-
, . 5.3
(. . 2.5).
1
u
S

x x dx (2.30) , -

x e N D N A ,
u u u0 (u = u + u0):
n
0

e
e
u u0
N A 2p N D n2 .
xN A dx xN D dx

2 S
S
0
p

(5.1)

x x dx,

83

(2.2)


p N A n N D ,

(5.2)

u u0

N
e
N D 1 D n2 .
NA
2 S

(5.3)

(5.3)
u n.
u = u = 0, , , a (
. 5.3 ). ,
u p0

N
e
N D 1 D a 2 u0 .
NA
2 S

(5.4)

(5.3) (5.4)
u u0
2n

.
u p 0 u0 a 2

(5.5)


.
l S = 2(a n)b (. 5.3):
ic

2 n ab n
1
l
a

uc ,

(5.6)

n e n D . n a (5.5),

2 ab u u0
ic gc0 uc n 1
l u p 0 u0

uc .

1
2

(5.7)

uc ,
. rc0 1 g c0 u = 0 u0 u p 0 rc0 l 2 n ab

84

( -

). u u p 0 gc0 0 .
,
-
u(y). y = 0 u (0) = u = u, = l u(l) = u u = u.
(5.5) .

n y

1
2

u y

.
u
u

p 0 0

(5.8)

:
jc n E y n

du y
dy

(5.9)

:
y du y
,
ic S y jc 2ab 1 n
n
a
dy

(5.10)

S() = 2 [ n (y)]b
(. (5.8)).
(5.10) l u u(0) = u + u0
u(l) = u u + u0 = u + u0,
ic

2 n ab
l

u y 2
du y .
1
u
u

p 0 0

u u0

u u0

(5.11)

uc u0
u u0
i I c0 3

u p 0 u 0 u p 0 u0

u u0
2 c

u p 0 u0

u u0


,
u p 0 u0

3
2

3
2

(5.12)

I c0

2 ab n u p 0
.
l
3

(5.13)

Ic0 u + u0 = 0 u = up0,
. (5.12)
85

, ..
(u u u0). , , .
, ,
, (5.12) u = u0:
I cH

u u0

u u0
I c0 1 3
2
u p 0 u0
u p 0 u0

3
2

(5.14)


uc > u up0.
.
, (5.12) (5.14), . 5.4.
(5.12) ,
. , , .
. 5.5
.
ic Ic0
1,0

u = 0

0,8
0,6

u up0= 0,1
0,2

0,4
0,2
0,2

0,4

0,6

0,8

0,4
0,6
0,8
1,0 uc up0

. 5.4.
n-

105 / 107 / .
.
(. 5.5) .

86

V [ ]

107

106

[ ]

103

104

105

106

. 5.5.

. n V E
.
,
(. 5.6).
uc ,
, l .
: l = l l, i
u ( . 5.4).

l
. 5.6.

, .

5.3.
, .
:
S

ic
u

.
uc const

87

(5.15)

(5.12)

u u0
S S0 c

u p 0 u0

u u0


,
u p 0 u0

(5.16)

2ab n
l

(5.17)

1
2

1
2

S0

S, u + u0
= 0 u = up0. , S0 2bl.
,
(5.16) u = up0:

u u0
S S0 1

u p 0 u0

1
2

(5.18)

i
gc c
uc

u const

u u
S0 1 c 0

u p 0 u0

u u u
g c S0 1 c 0 .

u p 0 u0

1
2

1
2

(5.19)

,
, S0.

(uc = 0):
g c0 S .
(5.20)
.
88

: S' = 0,110 /, rc' = 0,11,0 ( ). ,


S' 0,1 /.
(. 5.7).

Su

rc

. 5.7.


, . 5.3. . 5.8 , n-
p- .
. ( ) ,
. ,
.

n+

p+

+
+p
n
n

n+

p
2

. 5.8.

.
(, , ). .
.
89


. . - ,
.
, , .
. . 5.9.
5.7 R' Rcc'.
= 115 , C= 110 . , ,
.

S
V
1 j

= 2 R

R'

. 5.9.


, .
S
ki

I
SU

SZ ,
I U Z


U I Z
ku

SZ

U
I Z

90

k p ki ku S 2 Z Z .

(5.21)


.
Z Z

1
.
jC

2
k p S 2 2C
. = k = 1

S
.
2C

(5.22)

, S = 2 A/ = 1 , f = 300 . 200 .

5.4.
(-)
,
,
,
. 1960- . . 5.10.
- (. 5.10) . ( 1 ) -
. , , .
, -. .
() (. 5.10)

- +-
. ,

. ,
u = 0
SiO2
91

a)

SiO2

2 ()

SiO2

2 ()

. 5.10. - ()
()

-, .
- - c -, .. . .

5.5. -
- . . 5.11
u = 0 (
SiO2 ).

(. 4.1) .

S ,
, .

SO. u = 0 ,

uO0 S e S F ,

(5.23)

uO0 .

MS M S F ,

92

(5.24)


uO0

MS
S .
e
p

SiO2

eu00
M

(5.25)

eS

(x)

. 5.11. -

F
(5.24) :
F

g
2

kT ln

NA
,
ni

(5.26)

NA -,
ni
(. (1.4)).
MS, (5.24) (5.26)
, - S = 3,25 , = 3,2
(Al), = 4,1 (u), 5.1.
5.1

N(3)
1014
1016

MS (), T = 300 K
AlSiO2 Al-SiO2 Au-SiO2
-Si(n)
-Si(p)
-Si(n)
0,36
0,82
0,54
0,24
0,94
0,66

93

Au-SiO2 -Si(p)
0,08
0,04

, MS .
. 5.11 ().
,
.

u S 0 , (() = 0) e
(. 5.12).

u S , e
. - (. 5.10), .
S

M
)

n
F

(x)

eu = MS
eu < MS

(x)

. 5.12. -

,
,
, .
, ..
. , , . 5.13.
- - u
xd.
94

n
F

eu

u > 0

QS

(x)

( )

()

. 5.13. -

, SiO2 ,
(Si+),
. . 5.13
. ,
.
(u = 0).

(. 5.10).
, SiO2
- -.
- - u = 0
.

5.6. -
- -: .

(. 5.14). . -
u0 < 0 (u0 ); . 5.14 u0 = 4 .
(. 5.15) - -.
95

-
.
,
u = 0 .
u = 0 ( . 5.15).
.

u > 0

u = 0
0

u 0
uc

up 2up

u4 = 8

u3 = 7
u2 = 6
u1 = 5

10

ui = u0+ui
u = 1 B
u0 = 4 B
uc

. 5.14. - n- ()
- ()

ic

u0

n-

. 5.15. -

-
- u0.
,
. ,
96


(
. 5.15).

- . . ,
.

, ,
qS. , , , () ,
.
-. . 5.16.

dy
+

ic

. 5.16.

X0
C0 0 X 0 . ic
u() . bdy
dq qS bdy C0bdy u u y ,

(5.27)

[u u(y)] , .
, qS C0 u0 , (5.27)
dq C0 u u0 u y bdy .

ic

dq
dq dy

dt
dy dt

(5.28)
(5.29)

97


ic

du y
dq du y
n
n C0 b u u0 u y
,
dy
dy
dy

(5.28)
E

du y
dy

(5.30)

dy
vn n E
dt

u(0) = 0, u(l) = uc ,
,
ic

n bC0
l

uc2
u u0 uc .
2

(5.31)

(5.31) (0 uc u
u0). uc = u u0.
ic

n bC0
u u0 2 .
2l

(5.32)

:
k
2
ic u u0 S k u u0 . k , 2
(. 5.16) (5.32), : k S 2 2ic .
- - (. 5.9).
.
, . ,
. 0 = 0,1
50 5106 /, . - , ( , ).
.

98


1. - . ., . . . . :
, 1977.
2. . . . . : , 1973.
3. . . . . : .
, 1971.
4. . . . . : ,
1974.

99

. . . . .
. .
16.09.2014. 60 84 1/16 . . . 6,25.
.-. . 5,8. 300 . 280.


- ( )
141700, ., . , ., 9
E-mail: rio@mail.mipt.ru
_______________________________________________________
-
141700. ., . , ., 9
E-mail: polygraph@mipt.ru

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