NDICE

HISTORIA..........................................................................................3
MICROSCOPIO ELECTRNICO......................................................4
TIPOS DE MICROSCOPIO ELECTRNICO....................................5
MICROSCOPIO ELECTRNICO DE TRANSMISIN (TEM). .5
MICROSPIO ELECTRNICO DE BARRIDO (SEM)..............16
BIBLIOGRAFA...............................................................................23

HISTORIA
El primer microscopio ptico fue diseado por Anton Van Leeuwenhock en el
ao 1675 y fue considerado como un juguete cientfico al que se le dio el
nombre de "vidrio de mosca" ya que primariamente se usaba para observar
insectos. Posteriormente el microscopio ptico fue recibiendo notables mejoras.
El microscopio electrnico es el resultado de diversos experimentos y
concepciones tericas. Tiene su origen en los experimentos de Sir J. J.
Thomson quien estudi los rayos catdicos en tubos con gases enrarecidos. En
el ao 1924 de Broglie propuso su teora de la naturaleza ondulatoria de las
partculas materiales. Despus de unos aos Busch demostr que un rayo de
electrones atravesando un campo magntico o elctrico converge al foco y
basndose en esto construy la primera lente magntica en 1926. Davisson y
Thomson compartieron el premio Nobel por el descubrimiento de la difraccin
del electrn. Padre e hijo J. J. Thomson y G. P. Thomson jugaron un papel
fundamental en la historia del desarrollo del microscopio electrnico. Las
propiedades de una partcula cargada con electrones fueron explotadas por
Knoll y Ruska y construyeron el primer microscopio electrnico de lente
magntica, utilizando un rayo de 60.000 voltios y obteniendo imgenes sobre
una pantalla fluorescente. Las primeras microfotografas de materiales
biolgicos fueron conseguidas por Marton en 1934. El primer microscopio
electrnico de transmisin que oper en Estados Unidos en 1939 fue
construido en la Universidad de Toronto por A. Prabus y J. Hiller bajo la
direccin de E. Burton. Este microscopio era muy similar al tipo desarrollado
por Van Borries y Ruska como instrumento comercial. En la actualidad, se
dispone de un nmero considerable de microscopios, que pueden clasificarse
fundamentalmente en dos grupos:

Microscopios pticos.
Microscopios electrnicos de transmisin y de barrido.

MICROSCOPIO ELECTRNICO
Un microscopio electrnico es un microscopio que utiliza un haz de electrones
acelerados como fuente de iluminacin. Como la longitud de onda de un
electrn puede ser de hasta 100.000 veces ms cortas que la de los fotones de
luz visible, los microscopios electrnicos tienen un poder de resolucin ms alta
que los microscopios de luz y pueden revelar la estructura de los objetos ms
pequeos. Un microscopio electrnico de transmisin puede lograr mejor que
50 pm resolucin y aumentos de hasta aproximadamente 10000000x mientras
que la mayora de los microscopios de luz estn limitados por la difraccin a
aproximadamente 200 nm y resolucin aumentos tiles siguientes 2000x.
Microscopios electrnicos de transmisin utilizan lentes electrostticas y
electromagnticas para controlar el haz de electrones y enfocarla para formar
una imagen. Estas lentes pticas de electrones son anlogas a las lentes de
vidrio de un microscopio ptico de luz.
Los microscopios electrnicos se utilizan para investigar la ultra estructura de
una

amplia

gama

de

muestras

biolgicas

inorgnicas

incluyendo

microorganismos, clulas, molculas grandes, muestras de biopsia, metales y

cristales. Industrialmente, los microscopios electrnicos se utilizan con
frecuencia para el control de calidad y anlisis de fallos. Microscopios
electrnicos modernos producen micrografas electrnicas utilizando cmaras
digitales especializados y de captura de imgenes para capturar la imagen.

TIPOS DE MICROSCOPIO ELECTRNICO

MICROSCOPIO ELECTRNICO DE TRANSMISIN (TEM)
La forma original del microscopio electrnico, el microscopio electrnico
de transmisin (TEM) utiliza un haz de electrones de alta tensin para
iluminar la muestra y crear una imagen. El haz de electrones es
producido por un can de electrones, comnmente equipada con un
ctodo de filamento de tungsteno como la fuente de electrones. El haz
de electrones es acelerado por un nodo tpicamente a 100 keV (40 a
400 keV) con respecto al ctodo, enfocado por las lentes electrostticas
y electromagnticas, y se transmite a travs de la muestra que se
encuentra en parte transparente a los electrones y, en parte, las dispersa
fuera de la viga. Cuando emerge de la muestra, el haz de electrones
lleva informacin acerca de la estructura de la muestra que se magnifica
por el sistema de lentes de objetivo del microscopio. La variacin
espacial de esta informacin (la "imagen") se puede ver mediante la
proyeccin de imagen del electrn intensificada en una pantalla de
visualizacin fluorescente recubierto con un material de fsforo o
centelleador tales como sulfuro de zinc. Alternativamente, la imagen
puede ser fotogrficamente registr mediante la exposicin de una
pelcula fotogrfica o de la placa directamente al haz de electrones, o un
fsforo de alta resolucin puede ser acoplado por medio de un sistema
ptico de la lente o una fibra ptica gua de luz para el sensor de una
cmara digital cmara. La imagen detectada por la cmara digital se
puede visualizar en un monitor u ordenador.
La resolucin de TEM est limitada principalmente por la aberracin
esfrica, pero una nueva generacin de correctores de aberracin ha
sido capaz de superar parcialmente la aberracin esfrica para
aumentar la resolucin. La correccin de la aberracin esfrica de
hardware para la microscopa electrnica de transmisin de alta
resolucin (HRTEM) ha permitido la produccin de imgenes con una
resolucin inferior a 0,5 angstroms (50 picmetros) y aumentos de ms
de 50 millones de veces. La capacidad para determinar las posiciones

de los tomos dentro de los materiales ha hecho que el HRTEM una

herramienta importante para las tecnologas de nano-investigacin y
desarrollo.
Microscopios

electrnicos

de

transmisin se utilizan a menudo

en el modo de difraccin de
electrones. Las ventajas de la
difraccin de electrones sobre la
cristalografa de rayos X son que
la muestra no tienen que ser de
un nico cristal o incluso un polvo
policristalino, y tambin que la
transformada

de

Fourier

de

reconstruccin de la estructura
ampliada del objeto se produce
fsicamente y por lo tanto evita la
necesidad

de

resolver

el

problema de la fase enfrentan los

cristalografos despus de obtener sus patrones de difraccin de rayos X
de un solo polvo cristalino o policristalino.
La principal desventaja del microscopio electrnico de transmisin es la
necesidad de secciones muy delgadas de los especmenes, tpicamente
alrededor de 100 nanmetros. Las muestras biolgicas se requieren
tpicamente para ser fijado qumicamente, se deshidrataron y se
embebieron en una resina de polmero para estabilizar ellos lo suficiente
para permitir el seccionamiento ultrafina. Secciones de especmenes
biolgicos, polmeros orgnicos y materiales similares pueden requerir
tratamiento especial con etiquetas de los tomos pesados con el fin de
lograr el contraste de la imagen requerida.

BASE TERICA
FUENTE DE FORMACIN

Desde la parte superior hacia abajo, el TEM consta de una fuente

de emisin, que puede ser un filamento de tungsteno, o una
fuente de lantano hexaboruro (LaB6). Para tungsteno, esto ser
de la forma de un filamento de estilo horquilla, o un pequeo
filamento pico con forma. Fuentes LaB6 utilizan pequeos
cristales individuales. Mediante la
conexin de esta pistola a una
fuente de tensin alta (tpicamente
~ 100-300 kV) la pistola, suficiente
corriente dado, comenzar a emitir
electro nes, ya sea por emisin de
electrones termoinica o campo en
el vaco. Esta extraccin es casi
siempre ayudada por el uso de un
cilindro

de

proporcionar

Wehnelt
enfoque

para

preliminar

mediante la consolidacin y la
direccin de los electrones en estas fases iniciales de la
formacin de los electrones emitidos en un haz. Las lentes
superiores de la TEM a continuacin se centran an ms el haz
de electrones para el tamao deseado y la ubicacin para la
interaccin subsiguiente con la muestra.
La manipulacin del haz de electrones se realiza utilizando dos
efectos fsicos. La interaccin de los electrones con un campo
magntico har que los electrones se muevan de acuerdo con la
regla de la mano izquierda, lo que permite por electroimanes para
manipular el haz de electrones. El uso de campos magnticos
permite la formacin de una lente magntica del poder de
enfoque variable, el de forma de lente se origina debido a la
distribucin

de

flujo

magntico.

Adems,

los

campos

electrostticos pueden causar que los electrones sean desviados

a travs de un ngulo constante. El acoplamiento de dos
desviaciones en direcciones opuestas con un pequeo espacio
intermedio permite la formacin de un cambio en la trayectoria del

haz, este ser utilizado en TEM para el desplazamiento del haz,

posteriormente esto es extremadamente importante tallo. A partir
de estos dos efectos, as como el uso de un sistema de imgenes
de electrones, un control suficiente sobre la trayectoria del haz es
posible para la operacin TEM [cita requerida]. La configuracin
ptica de un TEM se puede cambiar rpidamente, a diferencia de
un microscopio ptico, como lentes en la trayectoria del rayo
pueden ser habilitadas, han cambiado su fuerza, o desactivarse
por completo simplemente a travs de conmutacin elctrica
rpida, la velocidad de las cuales est limitada por efectos tales
como la histresis magntica de los lentes.

PTICA
Las lentes de un TEM permiten para la convergencia del haz, con
el ngulo de convergencia como un parmetro variable, dando a
la TEM la capacidad de cambiar de ampliacin simplemente
modificando la cantidad de corriente que fluye a travs de las
lentes de la bobina, de cuadrupolo o hexapolo. La lente
cuadrupolar es una disposicin de bobinas electromagnticas en
los vrtices del cuadrado, lo que permite la generacin de un
campo

magntico

de

lente,

la

configuracin

hexapolar

simplemente mejora la simetra de la lente mediante el uso de

seis, en lugar de cuatro bobinas.
Normalmente, un TEM se compone de tres etapas de la lente.
Las etapas son las lentes condensadoras, las lentes del objetivo y
las lentes del proyector. Las lentes de condensador son
responsables de la formacin de haz primario, mientras que las
lentes del objetivo enfocar el haz que llega a travs de la propia
muestra (en el modo de barrido STEM, tambin hay lentes del
objetivo por encima de la muestra para hacer que el incidente de
electrones convergente del haz). Las lentes del proyector se
utilizan para ampliar el haz sobre la pantalla de fsforo u otro
dispositivo de imagen, tal como una pelcula. La ampliacin de la
TEM es debido a la relacin de las distancias entre la muestra y la

lente plano de la imagen objetivo. Estigmadores adicionales

permiten la correccin de las distorsiones haz asimtrico,
conocidas

como

astigmatismo.

Se

hace

notar

que

las

configuraciones pticas TEM difieren significativamente con la

aplicacin, con los fabricantes usando configuraciones de lentes
personalizadas,

como

en

los instrumentos

de

aberracin

corregida esfrica, o TEM utilizando el filtrado de energa para

corregir la aberracin cromtica de electrones.

MONITOR
Los sistemas de imgenes en un TEM consisten en una pantalla
de fsforo, que puede estar hecho de fina (10 a 100 micras) de
sulfuro de partculas de cinc, para la observacin directa por el
operador, y, opcionalmente, un sistema de grabacin de
imgenes tal como la pantalla YAG pelcula basada o dopado
CCD acoplados. Tpicamente, estos dispositivos pueden ser
retirados o insertados en la trayectoria del haz por el operador

segn las necesidades.

COMPONENTES
Sistema de Vaco
Para aumentar el recorrido libre medio de la interaccin gas de
electrones, un TEM estndar est evacuado a bajas presiones,
tpicamente del orden de 10-4 Pa. La necesidad de esto es doble:
en primer lugar el ajuste por la diferencia de voltaje entre el
ctodo y el suelo sin generar un arco, y en segundo lugar para
reducir la frecuencia de las colisiones de electrones con tomos
de gases a insignificantes niveles-este efecto se caracteriza por la
trayectoria libre media. Componentes TEM como soportes para
muestras y cartuchos de pelcula deben ser insertados o
sustituidos que requiere un sistema con la capacidad de volver a
evacuar sobre una base regular de forma rutinaria. Como tal, los
TEM estn equipadas con mltiples sistemas de bombeo y
cmaras de aire y no estn permanentemente sellados al vaco.
El sistema de vaco para la evacuacin de un TEM a un nivel de
presin de funcionamiento consta de varias etapas. Inicialmente,

un vaco bajo o desbaste se logra ya sea con una bomba rotativa

de paletas o bombas de diafragma establecimiento de una
presin suficientemente baja para permitir el funcionamiento de
una bomba turbo molecular o difusin que se establece el nivel de
vaco alto necesario para las operaciones. Para permitir la bomba
de vaco bajo para no requerir una operacin continua, mientras
se opera continuamente las bombas turbo-molecular, el lado de
vaco de una bomba de baja presin puede estar conectado a las
cmaras que alojan los gases de escape de la bomba turbomolecular. Las secciones del TEM se pueden aislar mediante el
uso de aberturas de limitacin de presin para permitir diferentes
niveles de vaco en reas especficas tales como un vaco ms
alto de 10-4 a 10-7 Pa o mayor en el can de electrones en alta
resolucin o en el campo -emisin TEM.
TEM de alta tensin requieren ultra-altos vacos en el rango de
10-7 a 10-9 Pa para evitar la generacin de un arco elctrico, en
particular en el ctodo TEM. Como tal para TEM de mayor tensin
tercera sistema de vaco puede operar, con el arma aislado de la
cmara principal, ya sea por las vlvulas de compuerta o una
abertura de bombeo diferencial - un pequeo orificio que impide la
difusin de molculas de gas en la zona de la pistola de vaco
ms alto ms rpido de lo que puede ser bombeada. Por estas
presiones muy bajas, se utiliza ya sea una bomba de iones o un
material getter.
Platina
Diseos etapa TEM de muestras incluyen cmaras de aire para
permitir la insercin del soporte de la muestra en el vaco con un
aumento mnimo en la presin en otras zonas del microscopio.
Los soportes para muestras estn adaptados para mantener un
tamao estndar de rejilla sobre la que se coloca la muestra o un
tamao estndar de la muestra autoportantes. Standard TEM
tamaos de cuadrcula son un anillo de 3,05 mm de dimetro, con
un tamao de malla de espesor y que van desde unos pocos a
100 micras. La muestra se coloca sobre el rea de malla interior

que tiene un dimetro de aproximadamente 2,5 mm. Materiales

de rejilla habituales son cobre, molibdeno, oro o platino. Esta
rejilla se coloca en el soporte de muestra, que se empareja con la
platina. Existir, dependiendo del tipo de experimento que se lleva
a cabo una amplia variedad de diseos de etapas y de los
titulares. Adems de rejillas de 3.05 mm, 2,3 mm rejillas son a
veces, si en raras ocasiones, se utiliza. Estas rejillas se utilizan en
particular en las ciencias minerales, donde se puede requerir un
amplio grado de inclinacin y donde el material muestra puede
ser extremadamente rara. Electrones muestras transparentes
tienen un espesor de alrededor de 100 nm, pero este valor
depende del voltaje de aceleracin.
Una vez insertado en un TEM, la muestra a menudo tiene que ser
manipulado para presentar la regin de inters a la viga, como en
la difraccin de grano individual, en una orientacin especfica.
Para acomodar esto, la etapa de TEM incluye mecanismos para
la traduccin de la muestra en el plano XY de la muestra, para Z
ajuste de la altura del soporte de la muestra, y por lo general por
lo menos un grado de rotacin de libertad para la muestra. Por lo
tanto una etapa TEM puede proporcionar cuatro grados de
libertad para el movimiento de la muestra. La mayora de los TEM
modernas proporcionan la capacidad para dos ngulos de
rotacin

ortogonales

especializados

de

llamados

movimiento
soportes

de

con

diseos

muestra

de

titular
doble

inclinacin. Es de destacar, sin embargo, es que algunos diseos

de escenarios, tales como top-entrada o etapas de insercin
verticales vez comunes para los estudios de TEM de alta
resolucin, pueden simplemente slo tienen traduccin X-Y
disponible. Los criterios de diseo de las etapas de TEM son
complejos, debido a los requisitos simultneos de las limitaciones
mecnicas y de electrones-ptico y por lo tanto han generado
muchas implementaciones nicas.
Can de electrones

El can de electrones se forma a partir de varios componentes:

el filamento, un circuito de polarizacin, una tapa Wehnelt, y un
nodo de extraccin. Al conectar el filamento a la fuente de
alimentacin componente negativo, los electrones pueden ser
"bombeado" de la pistola de electrones a la placa de nodo, y la
columna TEM, completando as el circuito. La pistola est
diseada para crear un haz de electrones que salen del conjunto
en un ngulo dado, conocido como la divergencia pistola semingulo, . Mediante la construccin del cilindro de Wehnelt tal que
tiene una carga negativa ms alta que el propio filamento, los
electrones que salen del filamento de una manera divergente son,
en virtud de un funcionamiento correcto, la fuerza en un patrn
que convergen el tamao mnimo de los cuales es el dimetro de
cruce pistola.
Lente de electrones
Lentes de electrones estn diseados para actuar de una manera
que emula la de una lente ptica, centrndose electrones
paralelos a cierta distancia focal constante. Lentes de electrones
puede funcionar electrostticamente o magnticamente. La
mayora de las lentes de electrones para TEM utilizar bobinas
electromagnticas para generar una lente convexa. El campo
producido por la lente debe ser radialmente simtrico, como una
desviacin de la simetra radial de la lente magntica provoca
aberraciones tales como astigmatismo, y empeora la aberracin
esfrica y cromtica. Las lentes de electrones se fabrican a partir
de hierro, hierro-cobalto o nquel cobalto aleaciones, tales como
permalloy. Estos se seleccionan por sus propiedades magnticas,
tales como la saturacin magntica, histresis y permeabilidad.
Los componentes incluyen el yugo, la bobina magntica, los
polos, la pieza polar, y el circuito de control externo. La pieza
polar debe ser fabricada de una manera muy simtrica, ya que
esto proporciona las condiciones de contorno para el campo
magntico que se forma la lente. Las imperfecciones en la
fabricacin de la pieza polar pueden inducir distorsiones severas
en la simetra del campo magntico, que inducen distorsiones que

en ltima instancia limitar la capacidad de las lentes para

reproducir el plano del objeto. Las dimensiones exactas de la
brecha, pieza polar dimetro interno y la forma cnica, as como
el diseo global de la lente se realiza a menudo mediante anlisis
de elementos finitos del campo magntico, mientras que en vista
de las limitaciones trmicas y elctricas del diseo.
Las bobinas que producen el campo magntico se encuentran
dentro de la horquilla de la lente. Las bobinas pueden contener
una corriente variable, pero tpicamente utilizar alto voltaje, y por
lo tanto requieren aislamiento significativo con el fin de evitar un
cortocircuito en los componentes de la lente. Distribuidores de
corriente trmica se colocan para asegurar la extraccin del calor
generado por la prdida de energa a la resistencia de los
devanados de la bobina. Los devanados pueden ser refrigerados
por agua, el uso de un suministro de agua refrigerada con el fin
de facilitar la eliminacin de la alta deber trmica.
Apertura
Las aberturas son placas metlicas anulares, a travs del cual
pueden ser excluidos electrones que son ms all de una
distancia fija desde el eje ptico. Estos consisten en un pequeo
disco metlico que es lo suficientemente grueso para evitar los
electrones pasen a travs del disco, mientras que permite
electrones axiales. Este permiso de electrones centrales en un
TEM provoca dos efectos simultneamente: en primer lugar, las
aberturas disminuyen la intensidad del haz de electrones como se
filtran de la viga, que puede ser deseable en el caso de muestras
sensibles de haz. En segundo lugar, este filtrado elimina
electrones que se encuentran dispersos a ngulos altos, que
pueden ser debido a los procesos no deseados tales como la
aberracin esfrica o cromtica, o debido a la difraccin de la
interaccin dentro de la muestra.
Las aberturas son o bien una apertura fija dentro de la columna,
como en la lente condensadora, o son una abertura mvil, que
puede ser insertado o retirado de la trayectoria del haz, o se
mueve en el plano perpendicular a la trayectoria del haz.

Conjuntos de apertura son dispositivos mecnicos que permiten

la seleccin de diferentes tamaos de abertura, que pueden ser
utilizados por el operador para el comercio de intensidad y el
efecto de filtrado de la abertura. Conjuntos de abertura estn a
menudo equipados con micrmetros para mover la abertura,
requerida durante la calibracin ptica.

PREPARACIN DE MUESTRAS
Preparacin de la muestra en TEM puede ser un procedimiento
complejo. Muestras TEM estn obligadas a estar en la mayora de los
cientos de nanmetros de espesor, ya que a diferencia de neutrones o
radiacin X-Ray el haz de electrones interacta fcilmente con la
muestra, un efecto que aumenta ms o menos con el nmero atmico al
cuadrado (z2). Muestras de alta calidad tienen un espesor que es
comparable a la trayectoria libre media de los electrones que se
desplazan a travs de las muestras, que pueden ser slo unas pocas
decenas de nanmetros. Preparacin de muestras de TEM es especfica

para el material bajo anlisis y la informacin deseada para obtener de

la muestra. Como tal, muchas tcnicas genricas se han utilizado para la
preparacin de las secciones finas requeridas.
Los materiales que tienen unas dimensiones lo suficientemente
pequeas como para ser transparente electrones, tales como polvos o
nanotubos, se pueden preparar rpidamente por el depsito de una
muestra diluida que contiene la muestra en las parrillas de apoyo o
pelculas. En las ciencias biolgicas con el fin de soportar el vaco
instrumento y facilitar la manipulacin, las muestras biolgicas se
pueden fijaron utilizando un material de tincin negativa, tal como
acetato

de

uranilo

mediante

la

incorporacin

de

plstico.

Alternativamente muestras pueden mantenerse a temperaturas de

nitrgeno lquido despus de la incorporacin en el hielo vtreo. En la
ciencia de materiales y la metalurgia las muestras tienden a ser
naturalmente resistente a vaco, pero todava tienen que ser preparados
como un recubrimiento delgado o grabado de manera alguna porcin de
la muestra es lo suficientemente delgada como para el haz penetre. Las
restricciones en el espesor del material pueden estar limitadas por la
seccin eficaz de dispersin de los tomos de las que se compone el
material.

MICROSPIO ELECTRNICO DE BARRIDO (SEM)

Un microscopio electrnico de barrido (SEM) es un tipo de microscopio
electrnico que produce imgenes de una muestra mediante el escaneo
con un haz enfocado de electrones. Los electrones interactan con los
tomos de la muestra, la produccin de varias seales que contienen
informacin sobre la topografa de la superficie de la muestra y la
composicin. El haz de electrones se escanea generalmente en un
patrn de exploracin de trama, y la posicin del haz se combina con la
seal detectada para producir una imagen. SEM puede conseguir una
resolucin mejor que 1 nanmetro. Las muestras se pueden observar en

alto vaco, en bajo vaco, en condiciones de humedad (en SEM del

medio ambiente), y en una amplia gama de temperaturas criognicas o
elevadas.
El modo SEM ms comn es la deteccin de electrones secundarios
emitidos por los tomos excitados por el haz de electrones. El nmero
de electrones secundarios que pueden ser detectadas depende, entre
otras cosas, en el ngulo en el que se rene haz superficie del
espcimen, [no verificado en el cuerpo] es decir, en la topografa de la
muestra. Mediante la exploracin de la muestra y la recogida de los
electrones secundarios que son emitidos mediante un detector especial,
se crea una imagen que muestra la topografa de la superficie.
PRINCIPIOS Y CAPACIDADES
Los tipos de seales producidas por un SEM incluyen electrones
secundarios (SE), reflejados o electrones retrodispersados (BSE), los
fotones de rayos X caractersticos y la luz (ctodoluminiscencia) (CL), se
absorbe electrones actuales (segn el modelo actual) y de transmisin.
Los detectores de electrones secundarios son equipo estndar en todos
los SEM, pero es raro que una sola mquina tuviera detectores para
todas las dems seales posibles.
Las seales de resultado de interacciones del haz de electrones con
tomos de a varias profundidades dentro de la muestra. En el modo de
deteccin ms comn o estndar, de formacin de imgenes de
electrones secundarios o SEI, los electrones secundarios son emitidos
desde muy cerca de la superficie de la muestra. En consecuencia, SEM
puede producir imgenes de muy alta resolucin de una superficie de la
muestra, revelando detalles de menos de 1 nm de tamao. Electrones
retrodispersados (BSE) son electrones del haz que se reflejan de la
muestra por dispersin elstica. Surgen de localizaciones ms profundas
dentro de la muestra y por consiguiente, la resolucin de las imgenes
de la EEB es generalmente ms pobres que las imgenes SE. Sin
embargo, la EEB se utiliza a menudo en SEM de anlisis junto con los
espectros a partir de los rayos X caractersticos, porque la intensidad de
la seal de la EEB est fuertemente relacionada con el nmero atmico

(Z) de la muestra. EEB imgenes pueden proporcionar informacin

sobre la distribucin de los diferentes elementos de la muestra. Por la
misma razn, las imgenes BSE puede imagen de oro coloidal inmunoetiquetas de dimetro 5 o 10 nm, lo que de otra manera sera difcil o
imposible de detectar en imgenes de electrones secundarios en
muestras biolgicas. Los rayos X caractersticos se emiten cuando el
haz de electrones elimina un electrn cscara interior de la muestra,
causando que un electrn de alta energa para llenar la cscara y liberar
energa. Estos rayos X caractersticos se utilizan para identificar la
composicin y medir la abundancia de elementos en la muestra.
Debido al haz de electrones muy estrecha, micrografas SEM tienen una
gran profundidad de campo produciendo una apariencia tridimensional
caracterstica til para la comprensin de la estructura de la superficie de
una muestra. Esto se ejemplifica por la micrografa de polen se muestra
arriba. Una amplia gama de aumentos es posible, desde alrededor de 10
veces (aproximadamente equivalente a la de una mano poderosa lente)
a ms de 500.000 veces, aproximadamente 250 veces el lmite de
ampliacin de los mejores microscopios de luz.
PREPARACIN DE MUESTRAS
Todas las muestras deben ser de un tamao adecuado para caber en la
cmara de muestras y estn montados rgidamente en general, en un
soporte de la muestra llamada a trozo espcimen. Varios modelos de
SEM pueden examinar cualquier parte de una oblea de semiconductor 6
pulgadas (15 cm), y algunos pueden inclinar un objeto de ese tamao a
45 .
Para formacin de imgenes convencional en la SEM, las muestras
deben ser elctricamente conductor, al menos en la superficie, y
conectado elctricamente a tierra para evitar la acumulacin de carga
electrosttica en la superficie. Los objetos metlicos requieren poca
preparacin especial para SEM, excepto para la limpieza y el montaje en
un trozo de la muestra. Muestras no conductoras tienden a cobrar
cuando escaneada por el haz de electrones, y especialmente en el modo
de formacin de imgenes de electrones secundarios, esto causa
problemas de escaneo y otros artefactos de la imagen. Por lo tanto,

generalmente se revisten con un revestimiento ultrafino de material

elctricamente conductor, depositada sobre la muestra, ya sea por
revestimiento por bombardeo inico de bajo vaco o por evaporacin de
alto vaco. Los materiales conductores de uso corriente para el
recubrimiento de muestras incluyen el oro, el oro / aleacin de paladio,
platino, osmio, iridio, tungsteno, cromo, y grafito. Adems, el
revestimiento con metales pesados puede aumentar la relacin seal /
ruido para muestras de bajo nmero atmico (Z). La mejora se debe a
que la emisin de electrones secundarios para los materiales de alto Z
es mayor.
Una alternativa al recubrimiento para algunas muestras biolgicas es
aumentar la conductividad mayor parte del material por impregnacin
con osmio usando variantes del mtodo de tincin OTO (tetrxido de
osmio-O, T-tiocarbohidrazida, O-osmio).
Muestras no conductoras pueden obtenerse imgenes sin recubrir
utilizando un SEM ambiental (ESEM) o el modo de bajo voltaje de
operacin SEM. En los instrumentos ESEM la muestra se coloca en una
cmara relativamente de alta presin y la columna de electrones ptico
est bombeo diferencial para mantener vaco adecuadamente bajo en la
pistola de electrones. La regin de alta presin alrededor de la muestra
en el ESEM neutraliza forma gratuita y proporciona una amplificacin de
la seal de electrones secundarios. [Cita requerida] de baja tensin SEM
se realiza tpicamente en un FEG-SEM porque las armas de emisin de
campo (FEG) son capaces de producir alto brillo de electrones primario y
tamao de la mancha pequea incluso a potenciales bajos de
aceleracin. Para evitar la carga de las muestras no conductoras, las
condiciones de operacin deben ser ajustados de manera que la
corriente de haz de entrada es igual a la suma de outcoming electrones
secundarios y retrodispersados corrientes una condicin que ms a
menudo se cumple al tensin de aceleracin de 0,3 a 4 kV. [Cita
requerida]
Rplicas sintticas se pueden hacer para evitar el uso de muestras
originales cuando no son apropiados o disponibles para su examen SEM
debido a los obstculos metodolgicos o cuestiones legales. Esta
tcnica se logra en dos pasos: (1) un molde de la superficie original se

hace uso de un elastmero dental a base de silicona, y (2) una rplica

de la superficie original se obtiene vertiendo una resina sinttica en el
molde.
Incrustacin en una resina con ms de pulido a un acabado de espejo se
puede utilizar tanto para biolgica y materiales de especmenes cuando
la imagen en electrones retrodispersados o cuando se hace cuantitativa
microanlisis de rayos X.
Las principales tcnicas de preparacin no son necesarios en el SEM
ambiental se describe a continuacin, pero algunas muestras biolgicas
pueden beneficiarse de la fijacin.
PROCESO DE ESCANEO Y FORMACIN DE IMGENES
En un SEM tpico, un haz de electrones se emite thermionically de un
can de electrones equipado con un ctodo de filamento de tungsteno.
Tungsteno

se

utiliza

normalmente

en

caones

de

electrones

termoinicas porque tiene el punto de fusin ms alto y la presin de

vapor ms baja de todos los metales, lo que permite que sea calentado
elctricamente para la emisin de electrones, y debido a su bajo costo.
Otros tipos de emisores de electrones incluyen hexaboruro de lantano
(LAB6) ctodos, que se pueden utilizar en un filamento de tungsteno
estndar SEM si el sistema de vaco se actualiza o caones de emisin
de campo (FEG), que pueden ser del tipo de ctodo fro utilizando
emisores de un solo cristal de tungsteno o el tipo Schottky asistida
trmicamente, que utilizar emisores de xido de circonio.
El haz de electrones,
que tpicamente tiene
una energa que van
desde 0,2 keV a 40
keV, es enfocada por
una o dos lentes de
condensador

un

aproximadamente

0,4

punto
nm a 5 nm de dimet ro. El haz pasa a travs de pares de la exploracin
de bobinas o pares de placas de desviacin en la columna de
electrones, por lo general en la lente final, que desvan el haz en el ejes

X e Y de manera que escanea en una manera de trama sobre un rea

rectangular de la superficie de la muestra.
Cuando el haz primario de electrones interacta con la muestra, los
electrones pierden energa por dispersin aleatoria repetida y la
absorcin dentro de un volumen en forma de gota de la muestra
conocida como el volumen de interaccin, que se extiende desde menos
de 100 nm a aproximadamente 5 micras en la superficie. El tamao del
volumen de interaccin depende de la energa de aterrizaje del electrn,
el nmero atmico de la muestra y la densidad de la muestra. El
intercambio de energa entre el haz de electrones y los resultados de la
muestra en la reflexin de electrones de alta energa por dispersin
elstica, la emisin de electrones secundarios por la dispersin
inelstica y la emisin de radiacin electromagntica, cada uno de los
cuales puede ser detectado por detectores especializados. La corriente
del haz absorbida por la muestra tambin puede ser detectada y
utilizada para crear imgenes de la distribucin de la corriente de
muestra. Amplificadores electrnicos de diversos tipos se utilizan para
amplificar las seales, que se muestran como las variaciones en el brillo
en un monitor de computadora (o, para los modelos de poca, en un
tubo de rayos catdicos). Cada pxel de la memoria de vdeo del
ordenador se sincroniza con la posicin del haz sobre la muestra en el
microscopio, y por lo tanto la imagen resultante es un mapa de la
distribucin de la intensidad de la seal que est siendo emitida desde la
zona de escaneado de la muestra. En los microscopios ms viejos
imgenes pueden ser capturadas por la fotografa de un tubo de rayos
catdicos de alta resolucin, pero en las mquinas modernas que se
digitalizan y se guardan como imgenes digitales.

DETECCIN DE ELECTRONES SECUNDARIOS

El modo de imagen ms comn recoge de baja energa (<50 eV)
electrones secundarios que son expulsadas de la k-shell de los tomos
de muestras por las interacciones de dispersin inelstica con electrones
del haz. Debido a su bajo consumo de energa, estos electrones se
originan dentro de unos pocos nanmetros de la superficie de la
muestra. Los electrones son detectados por un detector EverhartThornley, que es un tipo de sistema de centelleador-fotomultiplicador.
Los electrones secundarios son recogidos por primera atraerlas hacia
una rejilla elctricamente sesgada a aproximadamente 400 V, y luego se
aceler ms hacia un fsforo o centelleador sesgada positivamente a
aproximadamente 2.000 V. El acelerado electrones secundarios son
ahora lo suficientemente enrgico para hacer que el centelleo de emiten
destellos

de

luz

(catodoluminiscencia),

que

se

realizan

un

fotomultiplicador fuera de la columna de la SEM a travs de un tubo de

luz y una ventana en la pared de la cmara de muestras. La salida de
seal elctrica amplificada por el fotomultiplicador se muestra como una
distribucin de intensidad de dos dimensiones que puede ser visto y
fotografiado en una pantalla de vdeo analgico, o se somete a
analgico-digital de conversin y se muestra y se guarda como una
imagen digital. Este proceso se basa en un haz primario de tramaescaneada. El brillo de la seal depende del nmero de electrones
secundarios que llegan al detector. Si el haz entra en la muestra
perpendicular a la superficie, entonces la regin activado es uniforme
alrededor del eje de la viga y un cierto nmero de electrones "de
escape" de dentro de la muestra. A medida que el ngulo de incidencia

aumenta, el volumen aumenta de interaccin y la distancia "escape" de

un lado de las disminuciones de haz, lo que resulta en ms electrones
secundarios que se emite desde la muestra. Por lo tanto las superficies
inclinadas y bordes tienden a ser ms brillante que las superficies
planas, lo que resulta en imgenes con un aspecto bien definido, en tres
dimensiones. Utilizando la seal de resolucin de la imagen secundaria
de electrones de menos de 0,5 nm es posible.

BIBLIOGRAFA
McMullan, D. (2006). "Scanning electron microscopy 19281965"
Ernst Ruska; translation by T Mulvey. The Early Development of Electron

Lenses and Electron Microscopy.

https://en.wikipedia.org/wiki/Scanning_electron_microscope
http://upcommons.upc.edu/bitstream/handle/2099/6074/Article03.pdf
https://en.wikipedia.org/wiki/Electron_microscope
https://en.wikipedia.org/wiki/Transmission_electron_microscopy
https://www.youtube.com/watch?v=9-qps2KU7WM
https://www.youtube.com/watch?v=fgnkdgHXK_Y