FUNDAMENTO TERICO

La oxidacin trmica es una manera de producir una capa delgada de

xido (generalmente dixido de silicio ) en la superficie de una oblea . The
technique forces an oxidizing agent to diffuse into the wafer at high temperature
and react with it. La tcnica de las fuerzas de un agente oxidante que se
difunden en la oblea a alta temperatura y reaccionar con l. The rate of oxide
growth is often predicted by the . La tasa de crecimiento del xido con
frecuencia predicha por el modelo de Deal-Grove . Thermal oxidation may be
applied to different materials, but this article will only consider oxidation of
substrates to produce . La oxidacin trmica se puede aplicar a diferentes
materiales

La oxidacin trmica del silicio generalmente se realiza a una temperatura

entre 800 y 1200 C , lo que resulta en la llamada capa de xido de alta
temperatura (OTA). Se puede utilizar el vapor de agua (vapor) o molecular de
oxgeno como oxidante, en consecuencia, es llamado oxidacin en hmedo o
seco. La reaccin es uno de los siguientes:

El ambiente oxidante tambin puede contener varios puntos porcentuales de

cido clorhdrico (HCl). El cloro elimina los iones de metal que se pueden
producir en el xido.

xido trmico incorpora silicio utilizado en el sustrato y el oxgeno suministrado

por el ambiente. Por lo tanto, crece tanto hacia abajo en la oblea y hasta fuera
de ella. Por cada unidad de espesor de consumo de silicio, 2,27 la unidad
espesores de xido aparecer. Por el contrario, si una superficie de silicio
desnudo se oxida, el 46% del espesor de xido estar por debajo de la
superficie original, y el 54% por encima de ella.

Deal-Grove modelo
De acuerdo con el uso comn Deal-Grove modelo, el tiempo t necesario para
crecer un xido de espesor X o, a una temperatura constante, en una superficie
de silicio desnudo, es la siguiente:

donde las constantes A y B encapsular las propiedades de la reaccin y la capa

de xido, respectivamente.

Si una oblea que ya contiene xido se coloca en un ambiente oxidante, esta

ecuacin debe ser modificado mediante la adicin de un trmino correctivo , el
tiempo que habra sido necesario para hacer crecer el xido de pre-existentes
en las condiciones actuales. Este trmino se puede encontrar usando la
ecuacin de t por encima.

Al resolver la ecuacin cuadrtica de los rendimientos de X o:

Factores que
influyen la corrosin
Potencial elctrico de los metales: Cuando dos metales estn en contacto a
travs de un lquido se produce una corrosin galvnica o electroltica. El grado
de corrosin depende fundamentalmente de la diferencia de potencial elctrico
existente entre los dos metales en contacto.
Cuanto ms bajo (negativo) sea el potencial de un metal, ms fcilmente
resultara corrodo; del mismo modo cuando mayor sea la diferencia de
potencial entre los dos metales en contacto, tanto mayor ser la corrosin
galvnica producida entre ambos, siempre en perjuicio del de menor potencial.

Formacin de pelculas: Los productos insolubles de la corrosin pueden ser

completamente impermeables al lquido corrosivo, por eso son totalmente
protectores, o impermeables y permitir la corrosin local y general sin
obstculos. Las pelculas pueden tener tendencia a absorber la humedad o
retenerla, incrementando la corrosin resultante de la exposicin a la
atmosfrica o los vapores corrosivos.
Temperatura: La corrosin tiende a aumentar al elevar la temperatura ya que
esta posee efectos secundarios mediante su influencia en la solubilidad del
aire, que es la sustancia ms comn que influye en la corrosin.
Velocidad: Un aumento en la velocidad del movimiento relativo entre una
solucin corrosiva y una superficie metlica tiende a acelerar la corrosin,
influyendo las sustancias oxidantes (oxigeno), lleguen a la superficie que se
corroe y a la mayor rapidez con que los productos de la corrosin misma, se
retiran.
Agentes oxidantes: Los agentes oxidantes que aceleran la corrosin de
algunos materiales pueden retrasar la corrosin de otras, mediante la
formacin en sus superficies de xidos o capas de oxigeno absorbidos que los
hacen ms resistentes a los ataques qumicos.
Acidez de la solucin: La velocidad de corrosin de la gran parte de los
metales es afectada por el pH. Los metales solubles en acido, como el hierro,
el nivel de pH medio (aprox. 4 a10) la velocidad de corrosin est controlada
por la velocidad de transporte del oxidante (generalmente oxgeno disuelto) a
la superficie metlica temperaturas muy altas la velocidad de corrosin
aumenta con el incremento de la basicidad.
Los metales anfotricos como el aluminio y el cinc se disuelven rpidamente en
soluciones acidas o bsicas. La tendencia que tienen los metales a corroerse
mediante el desplazamiento de iones de hidrogeno de solucin de indica de
modo general por su posicin en la serie electromotriz. Los metales por enzima
del hidrogeno, desplazan al hidrogeno con mayor facilidad que los que se
encuentran debajo del hidrogeno; una disminucin en la concentracin del ion
hidrogeno tiende a hacer ascender el hidrogeno en reacciones con los metales,
mientras que si se aumenta el ion metlico tiende a desplazar a los metales
hacia abajo en relacin al hidrogeno.
 DESCRIPCIN DEL PROCEDIMIENTO

Se obtuvieron muestras del material en estudio.

Hacer el desbaste de las muestras con ayuda de las lijas.

Realizar el proceso de pulido de las muestras con ayuda del pulidor

mecnico.
Atacar qumicamente las muestras del material en estudio con el cido
Ntrico al 70%.
Llevar las muestras al horno durante tiempos de 30min, 60min y 90min.

Analizar su morfologa