Ubersicht

Prinzip des AFM

Anwendungen
Aufnahmen

AFM
Atomic Force Microscopy
Rasterkraftmikroskopie

Roman Schmitz

14.06.2005

Roman Schmitz AFM Atomic Force Microscopy Rasterkraftmikroskopie


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Prinzip des AFM
Anwendungen
Aufnahmen

Prinzip des AFM

Aufbau
Wechselwirkung Spitze-Probe
Verschiedene Betriebsmodi

Anwendungen
Dynamische Kraftspektroskopie
Messung schwacher Magnetfelder
AFM in der Lithographie
Datenspeicher

Aufnahmen
Rasterkraftmikroskop
Magnetisches Kraftmikroskop
Nanolithographie

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Verschiedene Betriebsmodi
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Das Rasterkraftmikroskop

1985: Binnig, Quate (Nobelpreis 1986 f ur RTM), Gerber:

Abtasten der Oberflache mit (moglichst) atomarer Spitze ahnlich
RTM, verschiedene Wechselwirkungen moglich.

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Verschiedene Betriebsmodi
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Das Rasterkraftmikroskop - Aufbau

I Hebelarm (cantilever) mit Spitze tastet Oberflache ab

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Wechselwirkung Spitze-Probe
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Verschiedene Betriebsmodi
Aufnahmen

Das Rasterkraftmikroskop - Aufbau

I Hebelarm (cantilever) mit Spitze tastet Oberflache ab

I Positionierung mit Piezo-Elementen im A-Bereich

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Wechselwirkung Spitze-Probe
Anwendungen
Verschiedene Betriebsmodi
Aufnahmen

Das Rasterkraftmikroskop - Aufbau

I Hebelarm (cantilever) mit Spitze tastet Oberflache ab

I Positionierung mit Piezo-Elementen im A-Bereich
I Messung Auslenkung (sub- A): STM, optisch oder
piezoresistiver Cantilever
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Wechselwirkung Spitze-Probe
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Wechselwirkung Spitze-Probe

Abbildung: Lennard-Jones-Potential: V (r ) r 12 r6

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Contact-Mode

I Cantilever mit hoher Federkonstante

I Anziehende Krafte um 108 106 N

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Verschiedene Betriebsmodi
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Contact-Mode

I Cantilever mit hoher Federkonstante

I Anziehende Krafte um 108 106 N
I Constant Height: nur bei ebenen Flachen moglich, sonst
Zerstorung der Spitze, direkte Aussage u
ber Topographie,
schnell
I Constant Force: auch bei groeren Stufen moglich, langsam,
durch Verzogerung des Regelkreises begrenzt, haufigste
Anwendung

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Wechselwirkung Spitze-Probe
Anwendungen
Verschiedene Betriebsmodi
Aufnahmen

Contact-Mode

I Cantilever mit hoher Federkonstante

I Anziehende Krafte um 108 106 N
I Constant Height: nur bei ebenen Flachen moglich, sonst
Zerstorung der Spitze, direkte Aussage u
ber Topographie,
schnell
I Constant Force: auch bei groeren Stufen moglich, langsam,
durch Verzogerung des Regelkreises begrenzt, haufigste
Anwendung
I Veranderung oder gar Zerstorung der Oberflache moglich,
Kapillarkrafte durch Fl
ussigkeitsfilme treten auf, keine
atomare Auflosung

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Verschiedene Betriebsmodi
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Non-Contact-Mode

I Cantilever mit geringerer Federkonstante

I Abstoende Krafte um 1012 N

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Verschiedene Betriebsmodi
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Non-Contact-Mode

I Cantilever mit geringerer Federkonstante

I Abstoende Krafte um 1012 N
I mit Eigenfrequenz schwingender Cantilever misst
Veranderungen der Amplitude oder Frequenz

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Wechselwirkung Spitze-Probe
Anwendungen
Verschiedene Betriebsmodi
Aufnahmen

Non-Contact-Mode

I Cantilever mit geringerer Federkonstante

I Abstoende Krafte um 1012 N
I mit Eigenfrequenz schwingender Cantilever misst
Veranderungen der Amplitude oder Frequenz
I Keine Veranderung der Oberflache, aber mogliche
Verfalschung durch Fl
ussigkeitsfilme/-Tropfen
I Empfindlicher Verstarker notwendig, Rauschen
I Bevorzugt gegen
uber contact-mode

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Wechselwirkung Spitze-Probe
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Verschiedene Betriebsmodi
Aufnahmen

Semi-Contact-Mode

I Mit Eigenfrequenz schwingender Cantilever wie im

non-contact-mode
I Operation im Potential-Tal, d.h. kurzes Antippen der
Oberflache

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Aufnahmen

Semi-Contact-Mode

I Mit Eigenfrequenz schwingender Cantilever wie im

non-contact-mode
I Operation im Potential-Tal, d.h. kurzes Antippen der
Oberflache
I Beschadigung der Probe weniger wahrscheinlich

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Aufnahmen

Semi-Contact-Mode

I Mit Eigenfrequenz schwingender Cantilever wie im

non-contact-mode
I Operation im Potential-Tal, d.h. kurzes Antippen der
Oberflache
I Beschadigung der Probe weniger wahrscheinlich
I groere Hohenunterschiede auflosbar, groere Scan-Bereiche
moglich
I keine Lateralkrafte durch Reibung

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Verschiedene Betriebsmodi
Aufnahmen

Zusammenfassung

Methode Geschwindigkeit Einfluss auf Probe Fl

ussigkeit
contact (c.h) schnell sehr stark nein
contact (c.f) langsam stark nein
non-contact langsam nein ja
semi-contact langsam minimal nein
semi-contact: Vorteile beider Verfahren

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Ubersicht Dynamische Kraftspektroskopie
Prinzip des AFM Messung schwacher Magnetfelder
Anwendungen AFM in der Lithographie
Aufnahmen Datenspeicher

Dynamische Kraftspektroskopie

Abbildung: Kraft-Abstand durch Variation des Probe-Spitze-Abstandes

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Ubersicht Dynamische Kraftspektroskopie
Prinzip des AFM Messung schwacher Magnetfelder
Anwendungen AFM in der Lithographie
Aufnahmen Datenspeicher

MFM - Magnetic Force Microscopy

Ferromagnetisch beschichtete Spitzen im non-contact-modus.

Aufl
osung: Elektronenspins von einigen Atomen.

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Prinzip des AFM Messung schwacher Magnetfelder
Anwendungen AFM in der Lithographie
Aufnahmen Datenspeicher

Nanolithographie mit dem AFM

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Prinzip des AFM Messung schwacher Magnetfelder
Anwendungen AFM in der Lithographie
Aufnahmen Datenspeicher

Nanolithographie mit dem AFM

I Im contact-mode Krafte im mN-Bereich (Nanogravur)

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Ubersicht Dynamische Kraftspektroskopie
Prinzip des AFM Messung schwacher Magnetfelder
Anwendungen AFM in der Lithographie
Aufnahmen Datenspeicher

Nanolithographie mit dem AFM

I Im contact-mode Krafte im mN-Bereich (Nanogravur)

I neg. U an leitfahiger Spitze lat Sauerstoff in Probe
diffundieren (lokale Oxidation)

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Prinzip des AFM Messung schwacher Magnetfelder
Anwendungen AFM in der Lithographie
Aufnahmen Datenspeicher

Das Millipede-Projekt von IBM

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Rasterkraftmikroskop
Prinzip des AFM
Magnetisches Kraftmikroskop
Anwendungen
Nanolithographie
Aufnahmen

Aufnahmen von einem AFM

(g) Dijodmethan-Tropfen unter Wasser (h) NiO mit Fremdatom

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Rasterkraftmikroskop
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Magnetisches Kraftmikroskop
Anwendungen
Nanolithographie
Aufnahmen

Aufnahmen von einem AFM

(i) Oberfl
ache einer CD (j) Oberfl
ache einer DVD

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Magnetisches Kraftmikroskop
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Nanolithographie
Aufnahmen

Aufnahmen von einem MFM

(k) 40GB-Festplatte (l) Magneto-Optische Disk

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Magnetisches Kraftmikroskop
Anwendungen
Nanolithographie
Aufnahmen

Aufnahmen von einem MFM

Abbildung: Topographie und Magnetisierung eines Videobandes

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Magnetisches Kraftmikroskop
Anwendungen
Nanolithographie
Aufnahmen

Moglichkeiten der Nanolithographie

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