ipen

AUTARQUIA ASSOCIADA UNIVERSIDADE DE SO PAULO

MICROFURAO COM LASER PULSADO

ROBERTO DE BRITO SANTOS

Dissertao apresentada como parte

dos requisitos para obteno d o
Grau de Mestre em Cincias na rea
de Tecnologia Nuclear- Materiais

Orientador:
Dr. Wagner de Rossi

So Paulo
2001
I N S T I T U T O de PESQUISAS E N E R G T I C A S e N U C L E A R E S
autarquia federal associada
U N I V E R S I D A D E de S O P A U L O

M I C R O F U R A O com L A S E R PULSADO
por
R O B E R T O de BRITO SANTOS

Dissertao
para obteno do
Grau Mestre em Cincias.

Orientador: Dr. Wagner de Rossi.

So Paulo - capital
2001
 "Ensina o menino o caminho que deve andar,
e at quando envelhecer no se desviar dele.'
Provrbios de Salomo c.22 v.6

aos meus orientadores primeiros

dedico este trabalho
Elizer e Palmira
in memoriam

resposta ao seu incondicional incentivo, seu inestimvel

apoio e sua compreenso ofereo querida Edna.
Agradecimentos

Em primeiro lugar e acima de tudo agradeo a Deus, pela oportunidade do apoio desta equipe, cuja eficincia
est acima da minha capacidade crtica e sem a qual o desfecho deste trabalho certamente no seria o mesmo.

Devo agradecer ao patrocnio financeiro recebido do CNPq. Tambm aos Professores da USP no Ipen, Dra.
Marlia Marques Vicini, Dr. Nilson Vieira Jr. pelo incentivo c apoio, ao Dr. Wagner de Rossi pela oricnlao
durante este trabalho, c ao Dr. Spero Penha Morato. Identicamente ao Dr. Rudiniar Riva e ao Dr. Marcelo
Geraldo Destro, ambos Professores da Diviso de Fotnica, do Instituto de Estudos Avanados, CTA - Centro
Tcnico AeroEspacial, em So Jos dos Campos.
<www. ieav.cta.br>

Ao suporte da equipe laboratorial: M.Sc. Jos Roberto Berretta, Eng. Ivan A. Almeida, Glauson A. F. Machado,
Bel. Jos Tort Vidal, Marco Antonio Andrade, MSc. Manuel Lopes Filho facilitador em informtica.
secretaria do departamento ME: Edna Isabel de Matos e Bel. Elsa Papp. Ao indispensvel servio de
documentao e biblioteca: Doralice L. Xavier, Slvia S. Santos e Waldir Ferreira. Secretaria de Ps
Graduao, e ao Departamento de Intercmbio do Instituto de Pesquisas Energticas e Nucleares. Aos servidores
e professores da Uiversidade de So Paulo na pessoa do seu Reitor, aos funcionrios e pesquisadores deste
Instituto representados na pessoa do seu Superintendente, e ao Diretor de Ensino Prof. Dr. Jos Roberto Rogero,
meus agradecimentos.

O empreendimento da CPML recebeu suporte financeiro da Finep - Financiadora de Pesquisas (contrato n

56.94.0174.00) c foi realizado integralmente no Instituto de Pesquisas Energticas e Nucleares - IPEN-
CNEN/SP. As atividades experimentais deste trabalho foram a somatria de esforos conjuntos, desenvolvidos
como parte como parte integrante dc um cenrio, que contou com a participao de vrios rgos. A
Financiadora de Estudos e Projetos FINEP, o Programa Brasileiro para o Desenvolvimento de Cincia e
Engenharia PRODENGE, o gnipo de Processos Avanados de Usinagem da Rede Cooperativa de Pesquisa
RECOPE (referncia n 3524 / 96), o Programa dc Apoio ao Desenvolvimento Cientfico e Tecnolgico PADCT
do Ministrio de Cincia c Tecnologia, atravs do Subprograma dc Fsica Aplicada e o grupo de ptica do
Centro dc Laser c Aplicaes, CL A - IPEN.
<\vww.ipen.br>

Por uma questo de foro ntimo, deixo assinalada minha indizvel gratido para com os precursores da cincia
contempornea, que nos legaram as bases do atual progresso cientifico e tecnolgico, mais particularmente
Universidade Rosacruz Internacional.

<www.amorc.org.br>

OMISSO flAQCNAL DE ENERGIA N U C L E A R / S P IPt*

 M I C R O F U R A O por LASER PULSADO
Roberto de Brito Santos

RESUMO

Foi feito um abrangente estudo sobre a influncia de diversos fatores, que contribuem e concorrem
para o aprimoramento dos processos de furaco com dimenses sub-milimtricas, realizadas por
radiao Laser dc alta potencia. Na parte experimental que se seguiu, foi desenvolvida uma seqncia
de ensaios, para investigar e demonstrar os pressupostos a respeito da afinidade entre as caractersticas
do equipamento e sua destinao. Tendo sido projetada e construda pelo grupo de ptica do IPEN,
com financiamento Finep, a CPML (central para processamento de materiais por Laser) est
atualmente em operao, podendo ser utilizada para fins de estudos e fornecimento de servios
comunidade industrial.

As investigaes foram feitas por meio de amostras irradiadas por Laser Nd:Yag pulsado. As amostras
foram feitas em chapa de ao inox AISI 304. Os mtodos investigados experimentalmente foram
Laser Single Shot, percusso e trepanao. Respectivamente, so indicados para fins nos quais maior
primor cosmtico seja desejado. Os resultados apresentaram estreita concordncia com os
pressupostos, no sentido de que cada mtodo destina-se s exigncias de cada aplicao. Tambm
foram investigados os efeitos obtidos da variao dos parmetros do feixe, com intensidades variando
2 2
entre 8,5 e 45kW.mm" , enfatizando o aprimoramento do fator qualidade do feixe M por meio de
filtro espacial. Os resultados foram avaliados por meio de medidas geomtricas de dimetros obtidos
das amostras, c a sua relao com a profundidade dos furos, conicidade, e a regio afetada por resduos
e material ressolidificado.

v
 MICRODRILLING by PULSED LASER BEAM
Roberto de Brito Santos

ABSTRACT

The present study happened by means a broadening theoretical reasearch, later concluding about

what are more efficient parameters and applied resources approachable in the academic database,

with respect the submilimetric drilling using a high power pulsed laser beam. In the experimental

chapter we address a developed trial, to investigate and to demonstrate the advantageous reliability

between the equipment characteristics and your destination. It was projected and constructed by the

optical researchers team in this Institute, with Finep financial support, the CPML (leaser Materials

Center Processing) is actually operating, being utilized to studies and providing parts at the industrial

purposes.

The investigations occur constructing irradiated specimens with pulsed neodimium laser beam. The

samples was made employing AISI 304 stainless steel plate. The investigated experimental methods

was laser single shot, percussion and trepan drilling. Respectively, they are indicated to purposes

whose higher cosmetic be spected. 'The results presents fine agreement with the targets, in the sense

lhat each method is appropriated to each application requirements. Also was investigated the obtained
2
effects variation accross the range of beam parameters, with intensity between 8,5 and 45 kW.mm ,
2
and enhanced the quality beam factor M using spatial filter. The evaluation, by means of the

geometric measurements, was obtained from these samples, and related to the hole deep, tapering,

debris and ressolidified affected region.

Sumrio PS

1. Prolegmenos 1

2. Justificativa 3

3. Objetivos 7

C a p t u l o I - F u n d a m e n t o s tericos

4. Consideraes iniciais 9

4.1. M d u l o Laser 9

4.2. Os parmetros e sua relevncia '0

4.3. Relaes de Pertinencia '2

4.4. Principais aspectos qualitativos do feixe Laser 13

4.4.1. O comprimento de onda 14

4.4.2. Lente trmica 25

5 Interao do feixe Laser com a matria 27

5.1. A b o r d a g e m quntica 29

5.2. A b o r d a g e m Trmica 32

5.2.1. Propriedades pticas 33

5.2.2. Quantificao da energia 36

5.2.3. Ciclo trmico 38

5.2.4. Ondas de choque 42

5.2.5. Ripples Laser 46

6. Discusses 52

6.1. Eficincia do processo 52

6.2. Itens quantitativos do feixe 57

6.3. Itens de controle 63

6.3.1. Formato do pulso 66

6.3.2. Spiking 67

6.3.3. Desempenho esperado 68

6.3.4. A extrao como funo da temperatura superficial 69

ix
 (continuao)
7. Mtodos dc furaco 70
7.1. Laser Single Shot 71
7.2. Percusso 71
7.3. Trepanao 72
7.4. Consideraes 72
Captulo 11 - Captulo Experimental
X Central de Processamento de Materiais por Laser 75
8.1. Param etri zao 82
8.1.1. Determinao do perfil de potncia 84
8.1.2. Filtragem intracavitna 87
8.1.3. Conformao temporal do pulso * 87
8.1.4. Energia do feixe 89
8 2. Restries 91
9 A escolha do material 91
10. Desenvolvimento experimental e anlise dos resultados 92
10.1. Capacidade de extrao por LSS 93
10.2. Percusso 96
10.2.1. Feixe com filtro espacial 106
10.2.2. Aquisio dos dados & estudo do erro 107
10.2.3. anlises no quantitativas 112
10.2.4. Refinamento do feixe 118
10.3. Trepanao 121
11. Critrios de experimentao 124
11.1. Desfirio dos mtodos 124
11.1.1. Determinao do dimetro do feixe 125
11.1.2. Medio da energia contida no feixe 125
11.1.3. Mtodos para caracterizao da qualidade do feixe , 125
11.1.4. Procedimento para amostras 127
11.2. Tratamento dos dados 132
12. Concluses 133
13. Sugestes 135
14. Notas adicionais 136
15. Referncias 137
Lista d e F i g u r a s pg

Figura 1 - D i a g r a m a relacionando os parmetros e sua influncia. 12

Figurai - Trajetria produzida pela ptica gaussiana 17

Figura 3 - Interaes ocorridas durante a furaco 28

Figura 4 - Profundidade de conduo de calor para diferentes pulsos 40

Figura 5 - C o m p o r t a m e n t o termoelastico num slido sob a o Laser 43

Figura 6 - Vista da estao de trabalho dentro do laboratrio C P M L 75

Figura 7 - E s q u e m a de um mdulo Laser genrico 79

Figura 8 - Perfil temporal pulsos de duraes temporais 200u.s. 2 ms e 5 ms 82

Figura 4 - Condies de contorno da C P M L 84

Figura 10 - I m a g e m da distribuio de potncia na n o nearfield. 85

Figura 11 - Imagem da distribuio de potncia no far field. 86

Figura 12 - M e d i o da divergncia do feixe 86

Figura 13 - T r a o mostrando spikes. num pulso Laser de 200 f.is 88

Figura 14 - C u r v a de transferncia do mdulo Laser. 89

Figura 15 - Tetraedro dos materiais para dois d o m n i o tecnolgicos 90

Figura 16 - Srie de furos cegos com LSS 1.91 Joule por pulso 94

Figura 17 - C u r v a s de eficincia aprimorada de extrao por L S S 94

Figura 18 - C u r v a s de eficincia refinada, para extrao por L S S 95

Figura 1^ - Trs furos obtidos com largura de pulso 200 u,s 97

Figura 20 - Q u a t r o furos obtidos com largura de pulso 300 U3 97

Figura 21 - Dimetros de furos por percusso para largura de pulso 200 u.s 99

Figura 22 - Clculo da conicidade na perfurao 100

Figura 23 - Grfico da conicidadc plena 100

Figura 24 - Grfico d a conicidadc na meia seo de sada 01

Figura 25 - Dimetros para percusso com larguras de pulso 300 \is 102

Figura 26 - Dimetros para percusso com larguras de pulso 6 0 0 \xs 102

Figura 27 - Dimetros para percusso com larguras de p u l s o 900 u,s 103

Figura 28 - C o m p a r a o entre os dimetros medianos 103

Figura 29 - Micrografias comparando percusso com pulsos 3 0 0 . 600 e 900 \xs 104
 (continuao)

Figura 30 - M a l h a dc furaco ensaiada com feixe filtrado 107

Figura 3 1 - Dimetros p a r a percusso com largura de pulsos 300 us 108

Figura 32 - Dimetros para percusso com largura de pulsos 600 us 109

Figura 33 - Dimetros p a r a percusso com largura de pulsos 900 us 109

Figura 34 - (Tonicidade c o m p a r a d a entre larguras de pulso 110

Figura 35 - Conicidadc na meia seo de saida. com feixe filtrado 111

Figura 36 - C o m p a r a t i v o dos dimetros medianos 111

Figura 37 - G r a d e de anlise das entradas dos furos 112

Figura 3X - Influncia d a intensidade no acabamento 113

Figura 3^ - Entradas de furos c o m dimetro 300 um feitos c o m feixe filtrado 114

Figura 4i! - Furos com excelente cosmtica na saida. sem retrabalho 114

Figura 4 1 - Micrografias de dois furos com barrclmg 115

Figura 42 - Evoluo do fenmeno barrelmg 116

Figura 43 - Dois e x e m p l o s de soluo para o barrclmg )17

Figura 44 - Entradas d e furos obtidos por feixe refinado 1 19

Figura 45 - Efeitos da c o m p e n s a o no t e m p o de exposio 120

Figura 4(S - Ilustrao d o processo de trepanao 121

Figura 47 - T r e p a n a o c o m feixe filtrado 122

Figura 4X - Entradas dos furos trepanados 122

1
Figura 4- - Arranjo p a r a leitura da energia incidente no ponto de trabalho 124

Figura 50 - E s q u e m a interno de m o n t a g e m do conjunto focal 125

Figura 5 I - Distribuio de potencia de um feixe no m o d o T E M fundamental 126

Figura 52 - G e o m e t r i a p a d r o n i z a d a das amostras 128

Figura 53 - A m o s t r a s prontas para anlise 129

Figura 54 - Jig utilizado p a r a fixao de amostras durante o desbaste 130

1. Prolegmenos
Do grego (prolegomena), prolegmenos significa
exposio preliminar dos principios de urna obra.

Este trabalho faz parte dos requisitos para obteno do ttulo de mestre em cincias, sendo
um condensado que inclui um estudo literrio, relacionado microfurao por Laser (Light
Amplification by Stimulated Emission of Radiatiori), adicionado da caracterizao do
laboratrio CPML (Central de Processamento de Materiais por Laser), e tambm dos
resultados obtidos por meio de experimentao desenvolvida numa fresadora CNC, dotada
com modulo Laser Nd:YAG do Centro de Laser e Aplicaes do Ipen.

Diversos trabalhos tm sido divulgados com discusses a respeito da produo de radiao

Laser e tambm de suas aplicaes. Entretanto as formas de explorar as configuraes e
parmetros do sistema, deixam espao para muitas abordagens complementares.

Os primeiros trabalhos nesta rea datam do incio dos anos 1970 e tiveram grande
desenvolvimento principalmente nos Estados Unidos da Amrica, Sua e Inglaterra. A
partir de 1990 verificamos uma acentuada expanso na Arbia Saudita, Turquia, ndia,
Singapura, Alemanha e Rssia. Alm disso a literatura disponvel indica que nos ltimos
vinte e cinco anos foram feitas diversas abordagens, particularmente por indstrias e
centros de pesquisa enfocando o tema de forma segmentada.

Uma busca literria nas bases de dados disponveis entre os anos de 1997 at 2000, no
localizou nenhum trabalho que apresente tais tcnicas, descritas em lingua portuguesa de
forma integrada, o que confere certa autenticidade e mrito didtico a este contedo, que
apesar de preliminar, traz sugestes para desenvolvimentos e aprimoramentos futuros.

Aprofundamos o tema sem a inteno de esgotar o assunto, e sem entrar no mrito

estrutural e analitico, ou matemtico dos modelos. Todavia demonstramos relaes de
pertinncia, trazendo argumentos e apontando utilidades. Discutimos questes que
fornecem respostas s necessidades emergentes numa anlise no necessariamente
conclusiva.

1
No primeiro captulo so discutidos os fundamentos tericos bem como os

desdobramentos mais recentes sobre o assunto. N o segundo captulo so apresentados os

mtodos, tcnicas e recursos e m p r e g a d o s para atingir os resultados esperados, e tambm

tratamos do detalhamento dos m t o d o s aplicados e da quantificao e desenvolvimento

experimental, peia furaco de chapas de ao inox AISI 304.

Pelo motivo de alguns termos no poderem ser traduzidos para o portugus sem prejuzo

da compreenso e do contedo, necessitando assim extensas explicaes adicionais que

lhe conferissem sentido, consideramos oportuno adotar diversas expresses adquiridas de

outros idiomas, que esto grafadas em itlico, e cujos conceitos so universais e esto se

tornando parte da cultura e do acervo tecnolgico mundiais.

Hoje em dia. a literatura apresenta u m a nomenclatura diversificada que contm uma

quantidade razoavelmente grande de termos e expresses, nem sempre concordantes. O

acervo da terminologia que inclui o desenvolvimento da aplicao de tecnologia Laser,

particularmente sobre os processos industriais de usinagem, possui um contedo que por si

justificaria uma publicao exclusivamente dedicada.

Durante o desenvolvimento deste projeto p u d e m o s constatar que muitos dos pressupostos

eram bem fundamentados, portanto dispensando maior detalhamento. Porm, ocorreu a

descoberta de lacunas que podem ser teis para futuras pesquisas.

No tema da microfrao por Laser, j u l g a m o s favorvel abordar o assunto de forma

abrangente e genrica do ponto de vista conceituai, independentemente de fatores ligados

ou no a p a n e experimental do trabalho. As propostas desta pesquisa foram definidas de

maneira interativa, na medida em q u e foram sendo julgadas necessrias, sendo tambm

conceituados os termos mais importantes relacionados ao processo, cujas consideraes

so citadas ao longo desta redao.

"A maioria das modernas tecnologias so baseadas em luz"

Hank Hogan

2
2. Justificativa

A tecnologia da luz marcou definitivamente a entrada numa nova era tecnolgica. A

princpio isto pode ter apenas aparncia semntica, porm o que se sabe que estamos

deixando para trs a era da informao e entrando na era do conhecimento. O

conhecimento foi desde tempos remotos associado a idia de luz, pelos resultados que

apresenta na vida das pessoas e das civilizaes. Os princpios da ao Laser foram

descritos por Townes & Schawlow em 1958 ['], para que T o w n e s pudesse inventar o

maser (micnmave ampficaion by stimulated emission of radiaion), similar ao Laser em

microondas. Nos laboratrios da Hughes Aircraft Corporation, M a i m a n foi pioneiro na

2
demonstrao de um feixe Laser visvel utilizando um cristal de rubi [ ] . O uso de Laser
3
na micro-usinagem teve origem em 1966 na Suissa para furar mancais de relgios [ ] .

Aspectos relevantes - C o m o justificativa do tema, temos a considerar o impetuoso

aprimoramento das tcnicas da qualidade e da produtividade, q u e veio alavancar o

crescimento da aplicao de tecnologia Laser nos processos de usinagem. As polticas de

comrcio internacional do petrleo, a intensificao nos transportes intercontinentais e

espaciais, sistemas de vigilncia, de prospeco, blicos e a automao industrial, que

exigiram portabilidade, reduo de massa e miniaturizao em escalas crescentes, com

aumento de confiabilidade. Apenas pelo uso de tecnologia Laser, e de nenhuma outra

forma, foi possvel fazer frente s expectativas estratgicas e industriais em t o pouco

tempo. Considerando apenas o mercado mundial de sistemas Laser utilizados em usinagem

USS 2,4 bilhes foram movimentados em ~ 1997, enquanto que as vendas em

4
microusinagem foram de U S $ 2,5 bilhes com crescimento anual acima de 20 % [ ] .

As formas de produzir peas para diversos segmentos industriais esbarraram em protocolos

de qualidade, produtividade, empregabilidade e conceituao de transferncia de

tecnologia, desenvolvimento de processos e automao. Diversas tcnicas foram

desenvolvidas para processamento com Laser. Abordagens genricas e abrangentes esto

convivendo com estudos muito especficos. Embora o desenvolvimento da parte

experimental tenha sido feita sobre chapa de ao inox, preferimos omitir no ttulo a

expresso "metais", por dois motivos principais: (1) levando em. conta a demanda

acadmica e tecnolgica, a nfase no sentido de aprimorar processos d~ furaco p o r Laser

em outros materiais assunto recente, exceo feita s aplicaes em odontologia, cujos

parmetros mais importantes esto relacionados s precaues c o m o potencial dano

3
OMISSO NfiGGIPL OE ENERGIA N U C L E A R / S P IR*
provocado ao tecido, e as novas tcnicas de furos cegos para aplicao na indstria
5 6
miocroeletrnica para telefonia celular [ ] [ ] na produo de circuitos impressos com
materiais dieltricos, com tecnologia SMD (surface mounting device) e ensaios
envolvendo compsitos e cermicas; (2) levando em considerao as peculiaridades
intrnsecas, e afinidade entre as propriedades da radiao e do material, esperado que as
discusses, os resultados e concluses dc presente trabalho possam servir como
contribuio para os demais casos.

Para chegarmos a uma definio do campo de estudo da furaco por Laser, a fim de balizar
a parte experimental deste trabalho, o desenvolvimento do mtodo emprico foi interativo
no qual foram utilizadas chapas de ao inox A.ISI 304, sendo estudados a partir de uma
reviso bibliogrfica da sua atualizao, passando pela caracterizao de itens do mdulo
Laser utilizado, dos ensaios que completam a etapa experimental com metais tendo por
finalidade de coletar, analisar, classificar e otimizar dados relacionados ao aspecto
quantitativo, principalmente sua qualidade cosmtica. Os dados utilizados so de
natureza semiqualitativa, posto que passam por anlises de valores quantitativos que so
convertidos em apreciao qualitativa.

Comparativo dos processos - Como termo de comparao temos que, os processos

concorrentes do Laser para furaco, como ECD (electra chemical drilling - eletroqumico)
ou EDM (electrical discharge machining - feixe de eltrons) so os maiores concorrentes.
As exigncias e restries com relao aos mtodos convencionais esto relacionados
principalmente geometria, velocidade e complexidade ferramental. Estes pr requisitos
so satisfeitos pelo Laser Nd:YAG que supera os concorrentes por ter baixa complexidade,
7
baixo custo, velocidade elevada [ ].

7
As principais vantagens da utilizao de Laser na usinagem [ ] de microfuros reside na
ausncia de magazine de ferramentas, na localizao imediata dos furos por translao do
CNC que proporciona grande preciso no reposicionamento, auxlio do sistema ptico de
alinhamento por Laser HeNe e tambm de cmeras digitalizadas CCD, produo de furos
com dimetro muito inferior a 100 |im e com elevada razo de aspecto, permite usinagem
de uma ampla gama de materiais duros ou macios como diamante, alumina, Hastalloy,
tungstnio e titnio, extrema rapidez de furaco e tempo de seup econmico, permite
furaco para ngulos de entrada complicados, com incidncia at 80 da normal
4
superfcie, o processo pode ser facilmente automatizado por sua flexibilidade, dispensa
furo guia bem como retrabalho reduzindo assim enormemente o custo operacional,
possibilita reduo de custo na implementao de maquinrio podendo desempenhar
mltiplas aplicaes com relativa facilidade e rapidez na reconfigurao.

Os principais inconvenientes do processo de microfurao por Laser so o elevado custo

8
de equipamento [ ] dependendo da capacidade produtiva. A conicidade um fenmeno
intrnseco ao processo, podendo ser minimizada mas no eliminada, e depende
principalmente da espessura a ser perfurada. Dificuldade em conseguir furos cegos com
profundidade e razo de aspecto precisos. Restrio na espessura a ser furada, menor que
50 mm. Produo de material ressolidificado na borda, principalmente para ciclo trmico
com nfase na extrao lquida, podendo entretanto ser facilmente removido. Atualmente
h grande demanda por equipamentos Laser de estado slido [ ], operando em free running
10
(amplificao com pulsos longos) ou em configurao hbrida de duplo estgio CPA [ ]
(chirped pulse amplification), que comprime a durao dos pulsos no tempo, gerando
assim pulsos curtos e intensificando a potncia de pico.

Planejamento da experimentao - H recomendaes no sentido de se realizar um

cuidadoso planejamento preliminar dos experimentos, para possibilitar a obteno de tanta
informao estatstica quanto possvel. Testes estatsticos ["] so proveitosos para revelar
a utilidade a um dado nvel de significncia como referncia, com a possvel eliminao
total do erro pelo emprego de curvas de operao, evitando assim que sejam tomadas
decises erradas como por exemplo qual o tamanho numrico das populaes amostrais
que deve ser adotado.

Testes especiais so destinados a grandes grupos amostrais, nos quais as regras de deciso,
12
ou testes de significncia, utilizam populaes infinitamente grandes [ ]. A distribuio de
Student, concebida por Gosset, pode ser utilizada em tabelas de distribuio normal, reco-
mendando que um grau de liberdade v = N - 1 seja no mnimo trinta. Portanto o tamanho
da populao, ou nmero de observaes N para qualquer caso deve ser tal que N > 30.

Uma importante tcnica desenvolvida por Fisher, conhecida como anlise de varincia
utiliza a distribuio F de Snedecor. Aplicada a um experimento de "um fator" gera uma
matriz com "a" grupos de amostras ou ensaios e com " b " repeties semelhantes. Cada

5
fUMlSSAO NAGiCNtt >r. tftfcHtl N U C L t A N / S P \ft
grupo produz um valor mdio acompanhado de desvio padro e varincia. Para o caso de
mais de um fator, o coeficiente de relevncia de cada um determinado truncando o
tringulo de Pascal, formado pelos coeficientes do polinmio fatorial.

Um controle estatstico de processo computadorizado on Une, que apresenta dados sobre

fadiga do material em processo com base na alterao de resistividade, e que responde em
tempo real com comandos aos erros de posicionamento planar, utilizado na fabricao de
6
circuitos impressos para telefonia celular [ ].

13
Yilbas [ ] desenvolveu um estudo estruturado, empregando o modelo matemtico de
anlise fatorial por aproximao estatstica. As tabelas de significncia produzidas
forneceram fatores que determinam a qualidade dos furos, no qual foram analisados a
largura temporal dos pulsos, o conjunto de lentes focais, a energia unitria de cada pulso e
espessura da pea. Nestas quatro variveis foram estabelecidos quatro nveis previamente
escolhidos para cada um dos parmetros, nas regies de maior interesse. Fixando trs
variveis experimentou cada um dos conjuntos de parmetros e construiu uma matriz na
qual os coeficientes de cada termo recebeu um tratamento.

Levando em considerao os ndices dos efeitos lineares, os de primeira ordem, e os de

segunda ordem, e tendo quatro nveis de valores para cada parmetro, nos quatro
parmetros temos algo como que 7.680 furos validados. Para desenvolver os clculos foi
providenciado um programa lgico dotado de algoritmo estatstico, que gerou trs tabelas
contendo 26 parmetros em 8 quesitos cada uma delas.

Evidentemente um projeto destes ambicioso, e para ser replicado prescinde de

planejamento fundamentado em conhecimento preliminar das possibilidades, dos objetivos
em mbito mercadolgico, e da constituio de uma equipe com apoio de ferramenta
estatstica computadorizada. O nosso trabalho tem como uma de suas propostas determinar
os passos iniciais de cada um dos trs mtodos de furaco, acompanhado de
parametrizao, que possa guiar futuros trabalhos mais especficos neste domnio.

Qualidade - Este um assunto inesgotvel que depende de muito boa vontade para

frutificar resultados perceptveis. Antes da segunda revoluo industrial, a General Motors

criou o conceito de que "qualidade aquilo que o cliente quer". Nos dias atuais, uma

6
empresa que faa investimentos em pesquisa e desenvolvimento para seus processos,

espera encontrar parcerias cujos parmetros de avaliao e obteno de qualidade, levam

em conta o ciclo de vida de um produto e os recursos humanos e tcnicos empregados. N a

gesto da qualidade total os processos devem ser analisados em contnuo, num sistema de

feed back (realimentaao em malha fechada), o controle da qualidade deve ser em t e m p o

H
real e segundo Myiauchi [ ] , as prticas de mercado em padres internacionais exigem que

a garantia da qualidade tenha critrios que no podem depender das avaliaes feitas em

percentuais. Pelo padro Seis Sigma da qualidade, os ndices no podem ser alcanados

por meio de inspeo, tendo confiabilidade em partes por milhar. So indispensveis

processos dotados de confiabilidade imposta por ferramenta computadorizada em t e m p o

real. integrados em sistemas de rotinas, denominados CPM (compung process

management).

3. Objetivos

Ao escrever este trabalho, procuramos somar informaes que possam ser consideradas

relevantes em trs diferentes eixos na abordagem do tema "furaco por Laser". Desta

forma foram constituindos trs objetivos centrais.

Pela ordem que se apresentam, devemos fornecer suporte a uma discusso atualizada sobre

os fenmenos ocorridos na produo de um feixe Laser, os critrios e recursos para anlise

e manipulao do m e s m o , sua aplicao sobre u m a superfcie material e as interaes da

radiao com a matria. Outro objetivo deste trabalho o de tecer consideraes

detalhadas a respeito das condies de trabalho, no que se refere ao laboratrio C P M L , seu

projeto e construo, seus recursos, caractersticas e parametrizao. Um terceiro objetivo

foi o de situar a questo dos fenmenos envolvidos durante o processo, no contexto das

possibilidades da C P M L , incluindo trs diferentes mtodos de processo, LSS, percusso e

trepanao que foram desenvolvidos, aplicados e analisados.

7
8
 Captulo I - Fundamentos tericos

4. Consideraes iniciais

Uma vez que os fundamentos conceituais so a m p l a m e n t e publicados, b e m como suas

configuraes comparativas, temos como proposta descrever sucintamente nete captulo o

mdulo Laser N d . Y A G , e principalmente pormenorizar os fenmenos decorrentes da

interao da radiao com a superfcie do material, q u e v m sendo alvo de exaustivas

pesquisas, incluindo no captulo experimental u m a caracterizao e parametrizao do

mdulo utilizado..

4.1. Mdulo Laser

Os principais c o m p o n e n t e s de um mdulo Laser de estado slido so o meio Laser ativo, o

ressonador Laser, a fonte bombeadora e o sistema de refrigerao. O elemento ativo

geralmente tem a forma de um longo basto com as pontas planas e paralelas; a energia de

bombeamento fornecida por u m a ou duas lmpadas lineares de arco por gs, que so

alimentadas p o r u m a fonte eletronicamente chaveada, e dois espelhos dieltricos que

formam o ressonador tendo o basto Laser em seu eixo central.

O elemento Laser ativo de estado slido mais utilizado atualmente o N d : Y A G , onde

Y AG denota a matriz hospedeira yitrium aluminum garnet (estrutura granada de yttrium e

8
alumnio), com frmula a Y Al5 O12 [ ]. O neodmhim
3 Nd o dopante, on c o m valncia
v
Nd elemento da famlia terra rara, incorporado rede cristalina c o m o substitucional ao

yttrium Y. O cristal de N d : Y A G crescido pelo m t o d o de Czochralski, a velocidade

9
aproximada de 1 mm . h "', sendo incorporados dopantes numa proporo de 0 , 7 2 5 % [ ] . O

cristal, que tem simetria cristalina cbica, crescido na forma de u m tarugo com eixo

maior na direo [111]. Posteriormente, o tarugo usinado na forma de um basto

cilndrico com 6 milmetros de dimetro e comprimento entre 50 e 200 mm. Ao ser

3 +
estimulado p o r luz branca, o on dopante Nd emite radiao fluorescente c o m

comprimento de onda X = 1,064 u.m e largura espectral AX ~ 4 . Esta radiao pode se

transformar em Laser se o elemento ativo apresentar ganho suficiente e estiver

adequadamente alinhado no interior de um ressonador ptico.

9
iOMlSSAO N A Q G N M OE E N E R G I A N U C L f flH/SF **#
O regime de operao da emisso Laser determinado pela fonte de bombeamento, ou
seja, pela fonte chaveada de alimentao, e pode ser contnua ou pulsada. No caso do
regime contnuo, o nico parmetro controlvel a potncia do feixe Laser; no caso de
regime pulsado, os parmetros de controle podem ser a energia por pulso, a largura
temporal de cada pulso e a taxa de repetio. Elementos colocados dentro do ressonador
Laser ainda possibilitam a obteno de outros modos temporais de operao; por meio de
chaveadores Q-switching podem ser obtidos pulsos com largura temporal da ordem de
dezenas ou centenas de nano-segundos, ou da ordem de dezenas ou centenas de pico-
segundos por mode-locking (bloqueio de modos).

O acoplamento entre a energia fornecida pela lmpada de bombeamento e o elemento

Laser feito por um invlucro que envolve os mesmos, o qual tem a funo de transferir a
maior parte possvel da luz da lmpada para o basto Laser. Este invlucro normalmente
chamado de cavidade bombeadora, e pode ser construdo de diversas maneiras. Pode ser
um refletor especular cilndrico ou elipsoidal, ou pode ser um refletor difuso, ambos com o
basto Laser e a lmpada bombeadora no seu interior. A eficincia tpica de um Laser de
estado slido, ou seja, a relao entre a energia armazenada nos capacitores da fonte de
alimentao e a energia do pulso Laser, de apenas I a 3 %. Assim, um eficiente sistema
de refrigerao deve ser utilizado para arrefecer o excesso de energia, que transformada
em calor. Este sistema, geralmente fornece gua gelada que circula pelo elemento Laser
ativo, pela lmpada e pela cavidade de bombeamento.

4.2. Parmetros e sua relevncia

O feixe Laser, daqui em diante denominado preferencialmente como 'feixe', acontece

numa intricada cadeia de eventos, alguns dos quais so intrnsecos do processo de gerao
e amplificao no ressonador, enquanto que outros, aos quais poderamos chamar de
extrnsecos, decorrem das configuraes, ajustes ou mesmo incluso de elementos no
conjunto ptico, dispostos na trajetria para tratamento do feixe.

A energia contida em cada pulso denominada aqui como 'energia unitria', a freqncia da
emisso, determinada pelo comprimento de onda que pode ser visvel, infravermelha ou
ultravioleta; o formato do pulso, o modo espacial, conhecido por "transversal
eletromagntico" TEM, a divergncia do feixe como conseqncia da difrao
caracterstica, a taxa de repetio num trem de pulsos, a largura temporal dos pulsos aqui
10
mencionada apenas c o m o 'largura de pulso' e as aberraes so alguns dos parmetros

considerados entre os mais relevantes na avaliao do processo. Fazemos aqui uma

descrio sucinta destes parmetros e os efeitos que provocam, sem contudo entrar no

equacionamento matemtico.

A energia unitaria dos pulsos, a densidade de energia que incide no ponto focal, e a energia

mdia transferida por unidade de t e m p o contida no feixe, so fatores da maior relevncia

no processamento por Laser. O formato temporal do pulso descrito aqui, apenas como

'formato do pulso'.

A taxa de repetio durante um trem de pulsos um parmetro que limita e limitada pela

largura dos pulsos. A largura de pulso um parmetro fundamental na determinao dos

resultados do processo. Para um feixe produzido em free pah (livre amplificao),

tipicamente so gerados pulsos da ordem de dezenas de micro-segundos at mili-segundos,

enquanto que por meio de chaveadores ou recursos mais sofisticados podem ser obtidos

pulsos curtos ou ultracurtos, compreendidos para duraes desde nano-segundo at femto-

segundo respectivamente. O formato do pulso, ou seja, o perfil da amplitude de energia

contida no feixe, distribuda no tempo de durao do pulso, teoricamente concebido como

sendo retangular, geralmente tem forma trapezoidal com distores que sero comentadas

na descrio e caracterizao da C P M L . N o caso de pulso retangular, admitimos para fins

prticos que a potncia de pico seja invariante para perodos longos, como para intervalos

de tempo infinitesimais. O u t r o elemento importante, o modo T E M a forma clssica de

mencionar o modo transversal eletromagntico do feixe, fenmeno que tem lugar durante a

sua amplificao, regendo o perfil da distribuio de energia e potncia na seo

transversal do feixe. O m o d o T E M pode ser nico ou mltiplo. N o caso de ser nico pode

ter ordem elevada ou reduzida. O m o d o T E M de menor ordem o modo fundamental, ou

TEM r/j. A obteno deste m o d o implica em baixa eficincia do sistema, e apresenta

distribuio de potncia com perfil gaussiano. Durante a propagao do feixe, o modo

TEM se mantm praticamente invariante, o que no acontece com seu dimetro. A

divergncia do feixe conseqncia da difrao que ocorre desde a amplificao do campo

eletromagntico como conseqncia das caractersticas de emisso ainda dentro do

ressonador Laser, e inclui efeitos pticos gerados pelas interaes durante a propagao.

Embora muito menor q u e a de outras fontes de luz, a divergncia de um feixe Laser no

11
pode ser desprezada, sendo que uma divergncia menor que 1 mili-radiano somente

obtida ao custo de um considervel esforo.

As aberraes no constituem parmetro de controle, sendo interferncias que

descaracterizam a coerncia espacial, temporal e cromtica do feixe introduzidas por

fatores que vo desde a concepo do ressonador, passando pela qualidade dos agregados

do trem ptico como lentes, espelhos e prismas, indo at os ajustes de alinhamento e

configurao do sistema. Muitos dos seus efeitos podem ser corrigidos pelo conhecimento

aprofundado, cuidados na parametrizao, insero e ajuste do sistema.

4.3. Relaes de Pertinncia

Dado que o motivo principal de ateno neste trabalho a identificao, estudo e

caracterizao dos fatores que implicam no incremento da qualidade cosmtica no

processo de furaco de metais por Laser, bem c o m o a forma pela qual estes fatores se

relacionam com o processo, consideramos o p o r t u n o absorver conceitos utilizados para

representar operaes padronizadas na melhoria da qualidade dos processos industriais,

que foi muito bem discutido e adaptado ao processo de furaco.

Material Pulso Laser

ligas

cermicas comp rim onda

fletividade superficial
taxa de repetio

Qualidade
da furaco
temperatura presso de gs por Laser

umidade - / tipo de gs

A b iente 'Gs

Figura l - Diagrama relacionando o s parmetros e sua influncia.

12
Um esboo com base no diagrama proposto por Ishikawa, inicialmente desenvolvido e

utilizado em sistemas da qualidade industrial, apresentado na figura 1. Nele foi descrita e

7
adaptada por Yeo [ ] de forma sintetizada a interdependncia entre os fatores mais

relevantes na determinao da qualidade do processo de furaco por Laser, e no qual

podemos verificar a complexidade inicialmente citada. oportuno comentar que o nmero

de implicaes mais extenso, e que os fenmenos descritos no so sequenciados mas

combinados. Constitui uma intrincada malha de relacionamentos com diversos pareceres,

concluses e dvidas que necessitam aprofundamento. H estreita sinergia entre eles,

fazendo com que uma abordagem abreviada, ou resumida, possa ser vista com restries.

Se por um lado, os mtodos de produo esto permanentemente sendo reavaliados, por

outro lado, novas aplicaes esto sendo solicitadas e desenvolvidas. O sistema produtivo

assume complexidade e importncia crescentes. Procuramos uma proposta para discutir os

itens supostamente mais relevantes, tomando como base as informaes contidas na

literatura, e procurando preencher lacunas indispensveis escolha de futuros mtodos,

tornando assim o escopo bastante diversificado.

A elevada quantidade de itens mencionadas no diagrama da figura I no traduz por inteiro

a natureza das caractersticas de cada um dos itens. Outro centro de ateno a relevncia

com que cada um destes itens influem sobre o processo de furaco por Laser, e quais so

os parmetros que devem balizar o trabalho. Por meio do diagrama de Y e o podemos

visualizar a extenso das implicaes relacionadas com o processo a que nos propusemos,

evidenciando que alguns destes itens de controle tm maior relevncia que outros,

dependendo dos objetivos previstos. Evidentemente, ao elaborar o projeto e durante o

desenvolvimento dos experimentos, alguns destes parmetros acabaram se demonstrando

mais influentes que os demais.

4.4. Principais aspectos qualitativos do feixe Laser

Este um assunto bastante delicado, que assume complexidade e importncia crescentes,

dado que a intrincada malha de parmetros vem sendo estudada, indicando que um sistema

com elevado desempenho simultaneamente para pesquisa e produo operacional, em

escala industrial multi-processos, possa significar um investimento difcil de ser

justificado. Por isto, consideramos mais proveitoso mencionar os elos de maior relevncia

do assunto.

13
F I S S O NAGCNAL P t tNfeHGIA NUCLfcAH/SP 1I*C*
Um sistema ou equipamento destinado pesquisa deve ter alto grau de compatibilidade,
confiabilidade e versatilidade, caractersticas que para produo em escala so pr
calibradas e padronizadas, dispensando a explorao dos limites operacionais. Por outro
lado, na indstria os pontos frgeis so cuidadosamente contabilizados, diludos nos custos
e repassados no preo. Uma configurao no seriada prescinde de um diversificado
ferramental, a manipulao de recursos que na indstria dispensariam calibrao rotineira,
a parametrizao automatizada e aquisio de dados em tempo real, merecendo
permanentes investimentos a fundo perdido.

Os itens de que trataremos a seguir so de complexa mensurao, at porque para cada

uma das tcnicas de furaco, existe um nmero razovel de aplicaes. Assim procuramos
descrever cada um independentemente, justificando nossa preocupao com cada qual pelo
contedo das publicaes a respeito.

4.4.1. O comprimento de onda

Alm de exercer papel de fundamental importncia na determinao do comportamento do
feixe em sua trajetria, seu tratamento, e sua focalizao, o comprimento de onda de um
feixe Laser tem destacada importncia na absoro do mesmo pelo material processado.
Trata-se do acoplamento eletromagntico que ou no favorecido pelas caractersticas
intrnsecas da composio qumica, de estrutura molecular e das propriedades fsicas da
superfcie no que se refere reflexo, conduo de calor, permeabilidade magntica,
porosidade, rugosidade, dureza, ponto de fuso entre outros. Tanto a linha de emisso
Laser como a largura espectral so geralmente constantes, sem flutuaes significantes
podendo ser desprezadas para efeito prtico..

Ocorre que o Laser de neodimio tem sido utilizado para uma maior variedade de
9
aplicaes que outros tipos de Laser [ ] e o que mais tem sido pesquisado e desenvolvido
entre os de estado slido. Fica aqui sugerido um estudo posterior mais aprofundado dos
diferentes ndices e caractersticas de absoro.

Embora 'ptico' seja um conceito associado com a viso e com

a luz, 'tico' (do grego - os) se refere a orelha ou audio.

14
ptica Gaussiana - Comparativamente, o c o m p o r t a m e n t o do feixe Laser durante a sua

propagao apresenta comportamento parecido com o da ptica geomtrica apenas em

termos gerais. Fowles ['] apresenta um estudo da natureza eletromagntica e da

propagao da luz. O feixe Laser desenvolve u m a distribuio de energia na forma de sino,

cuja funo matemtica uma gaussiana. Na ptica gaussiana, uma das caractersticas do

feixe em propagao a curvatura da superfcie que contm a frente de onda.

15
Esta curvatura uma funo [ ] da distncia da trajetria a partir da cintura do feixe ou

ponto focal. Para um ponto infinitesimalmente a p r o x i m a d o d o foco o raio desta curva

tende a infinito, ou seja a curvatura desprezvel, e para um ponto de distncia infinita do

foco o raio se aproxima da medida da prpria distncia percorrida.

A funo que define o raio R da curvatura da frente de onda c o m o funo da trajetria z do

feixe, dado por R^, na equao (1) sendo K constante, Z a distncia a partir do ponto de

menor dimetro do feixe, ou cintura. X o comprimento de onda da radiao e w 0 o raio

do feixe na cintura

V'
1 + 71(0, (1)
x-z

Por sua vez, o comportamento dimensional w ( z ) da projeo do feixe c o m o funo da

distncia z que o raio do feixe para uma distncia Z, a partir do ponto que a frente de

onda e plana, no linearmente proporcional, o b e d e c e n d o a equao (2) que determina o

raio do feixe em funo da trajetria.

' x-z ^
U
'(Z) H
= '<>
1+ (2)

Na ptica gaussiana o ponto focal situado sobre o eixo da trajetria, no qual a imagem

no tem dimenso zero, justamente pela natureza divergente, intrnseca da radiao

Laser.que ser discutida no item sobre "qualidade do feixe". Utilizando a equao (3)
16
podemos calcular o ngulo divergente [ ] de um feixe Laser no m o d o fundamental.

8 = X (%.Wo)"' [radianos] (3)

15
Sabendo o ngulo de divergncia do feixe em propagao, n u m a distncia Z muito grande,

considerada no far field, u s a m o s a aproximao assinttica da equao (4).

w = z.
(z) e (4)

Um feixe isento de aberraes, pode ser focalizado num dado ponto por meio de uma lente

com distncia focal curta, tambm chamada lente de focalizao rpida ou ainda "lente

rpida", cujo elevado ngulo de convergncia 0 pode ser determinado em funo do

dimetro S do ponto focal desejado, do comprimento focal f da lente, do comprimento de

onda X. do dimetro original D do feixe constrito por uma ris, e de u m a constante k que

depende da distribuio de intensidade do feixe sobre a lente, conforme as seguintes

1 6
igualdades de Melles [ ] .

S.D = f.X (5)

S . e = k.A. (6)

f.9 = k.I) (7)

Isolando a varivel 9 em (6) ou (7) temos que o ngulo de divergncia que pode ser

determinado respectivamente pelas equaes (8) ou (9), d e p e n d e n d o do parmetro que

desejamos impor, dimetro do disco iluminado ou distncia focal da lente. Em valores do

modo fundamental, o dimetro do feixe 2 n>o , e o ngulo de divergncia m x i m a 2X (TI

. 'o) '. sendo 4 . TC 1

o valor mnimo da constante k.

e = k.A..S-' (8)

1
9 = k./l.f" (9)

Regio de Rayleigh - n o m e dado ao parmetro confocal. Lord Rayleigh pesquisou e

escreveu em 1901 sobre o espalhamento especular de luz sobre u m a superfcie rugosa.

, 0
Levando em considerao as anlises de Kchner [ ] , e t e n d o q u e a cintura (waist) o

ponto da trajetria o n d e o feixe tem o menor raio w , no sentido da trajetria para alm
0

deste ponto o feixe c o m e a a divergir numa aproximao assinttica ao c o n e ideal. A

regio mais provvel desta cintura pode ser matematicamente determinada utilizando o

16
mtodo de mnimo de uma funo tomando a equao (1) do raio R como funo da
propagao, igualando a zero a primeira derivada em z, como indicado na equao (10).

(R)/z = zero (10)

A Z
V J

Temos ento que a distncia entre o ponto Z da trajetria no qual a frente de onda plana,
e o ponto divergente forma um quase-cilindro, ilustrado na figura 2, conhecido tambm
5
como parmetro confocal, regio em cujas extremidades temos o dimetro que 2 '
vezes maior que o dimetro na cintura, fazendo com que a rea iluminada pelo feixe seja o
dobro da rea na cintura. Esta distncia pode ser calculada conforme a equao (11), sendo
que a regio de Rayleigh tem dimenso 2 Z.

2 N
(11)
X

Por esta equao temos que, sendo constante o comprimento de onda X, a nica varivel
para se determinar esta distncia o raio da cintura >v . Um estudo detalhado sobre a forma
0

16
como um expansor pode minimizar a divergncia do feixe apresentado por Melles [ ] .

Figura 2 - Trajetria produzida pela ptica gaussiana

Ao longo do eixo de propagao, a curvatura da frente de onda R(z> varia, sendo plana
(raio tendendo ao infinito) e com dimetro do feixe aproximadamente constante nas
proximidades da cintura, regio de Rayleigh. Temos ento uma regio na qual, pela sua
divergncia, o feixe comea a se aproximar assintoticamente de um cone com vrtice na

17
"OMISSO NACiGNAL DE ENERGIA N U C L E A R / S P IH
cintura Para alm desta regio a curvatura da frente de onda uma funo linear da

distncia percorrida, conforme a e q u a o (1) e aproximada pela equao (3).

Q u a l i d a d e d o feixe - As caractersticas acima descritas so verdadeiras para um feixe

17
gaussano ideal Por esta anlise, p o d e m o s conceber o c o m p o r t a m e n t o geral do feixe [ ]
lx
[ ] . Uma curva em forma de sino, representada no domnio matemtico por uma funo
19
gaussiana simples, que apresenta um nico pico [ ] . Na seo transversal da distribuio

de intensidade de um feixe Laser, este perfil corresponde ao modo transversal

eletromagntico fundamental T E M oo- Para feixes com m o d o T E M de ordem superior, ou

20
mesmo feixes em m u l t i m o d o , um p r o g r a m a lgico microprocessado [ ] pode desenvolver

uma envoltria {envelope), com distribuio estatstica ponderada, equivalente ao modo

fundamental Para uniformizar as avaliaes de mrito qualitativo de um feixe Laser, tm

sido propostos diversos m t o d o s derivados do princpio da incerteza quntica. Foram

necessrios varios estudos, que se d e m o n s t r a m aplicveis para descrever a influncia da

propagao em um feixe arbitrrio.

A adoo de uni parmetro que possa representar a qualidade espacial ferramenta

indispensvel no aprimoramento dos processos. Em sendo possvel tomar este ndice por

meia de uma quantidade mensurvel q u e descreva a propagao, a qualidade do feixe passa

a compor o mix de variveis do sistema. At recentemente, no havia um consenso

relacionado ao conceito do fator de propagao do feixe. Pela anlise tridimensional do

feixe, ao longo de seu eixo de propagao e na sua seo transversal, se p o d e determinar as

propriedades espaciais. Estas propriedades incluem dimetro, divergncia, distribuio de

21
potncia e constante de p r o p a g a o [ ] , N a maioria dos casos, obter um disco iluminado de

tamanho reduzido produz resultados melhores que o aumento da potncia, ou energia, total

contida no feixe.

O perfil do feixe p o d e ser concebido pela intensidade - potncia por unidade da rea

normal ao eixo de propagao - que teoricamente considerada c o m o tendo distribuio

gaussiana perfeita. Na prtica isto no acontece, sendo que a cintura e a divergncia so

muito maiores. Para u m feixe c o m difrao controlada, h um valor mnimo definido pelo

produto entre o dimetro na cintura e o ngulo da divergncia. Produtos destes dois valores
2
so descritos como tendo n vezes o limite de difrao. Um n m e r o adimensional M , que

18
descreve uma constante de propagao, foi criado para representar o fator qualidade do
2
feixe, com M sendo determinado pela equao (12).

2 1
H - o . a = M . > . .TI" (12)

Onde u'n o raio do feixe medido na cintura e X o comprimento de onda. Qualquer feixe
2
real tem valor M muito maior que a unidade. A maioria dos sistemas pticos so
2
concebidos admitindo que o feixe perfeitamente gaussiano com M - 1. Num exemplo
2
prtico da influncia da divergncia, a cintura de um feixe c o m M = 3 quase trs vezes

maior utilizando a mesma lente focal, e com divergncia maior, do que um feixe

gaussiano. Para um dado feixe, o produto entre o seu raio m e d i d o na cintura iv , e o semi 0

ngulo a da divergncia, constante podendo ser determinado pela relao X.. 7t"\ Sendo

o comprimento de onda constante, esta relao tambm constante, e define um feixe com

difrao limitada.

O semi ngulo divergente a medido no jar field (campo distante), dado em radianos, como
2
funo do raio na cintura do feixe w e do seu fator qualidade VI , para um feixe Laser com
{)

2
comprimento de onda X = 1064 nm apresenta a relao >i>o. e t . M = 339 nm. Isto ilustra
2
a variao da divergncia maior para um dimetro menor na cintura, uma vez que M

permanece invariante. Um arranjo ptico pode ser idealizado para se obter um disco

iluminado menor, porm aumentando a divergncia do feixe. Depreciando a qualidade do

2
feixe o valor M aumenta, tornando maior a divergncia a para um raio constante da

cintura do feixe. Por meio de uma srie de medies do dimetro na cintura e em

diversas posies no c a m p o distante, ao longo do eixo de propagao, possvel

determinar o ngulo divergente, calculando ento a constante de propagao do feixe. As

medies no campo distante podem se tornar complicadas pelo arranjo exigido. Porm, as

instabilidades que ocorrem no near field (campo adjacente) provocam oscilaes na

difrao, prejudicando a confiabilidade das medies. Este efeito observado pelo desvio

embutido no clculo. U m a vez abordado o aspecto dimensional, analisamos agora os

mtodos de se obter tais medidas.

" T e m sido dito que medir o dimetro do feixe Laser o mesmo que

medir u m cotonete com paqumetro." R o u n d y et ali. [ j

19
Medio do feixe - Podemos citar cinco entre os mtodos para medir o dimetro do feixe
mais utilizados O mtodo 'energia de pico versus a percentagem de energia", o mtodo
borda de faca DRH, O mtodo da energia percentual, o mtodo de abertura varivel D 6 e o
X

22
mtodo do segundo momento D . [ ]
4

O mtodo da percentagem e insensvel aos erros de offset, rnas em muitos casos muito
sensvel ao erro de clculo, oriundo das oscilaes no valor de pico. Enormes discrepncias
podem ser observadas dependendo do padro de distribuio. Os demais mtodos descritos
abaixo contm pesada influncia dos erros de offset. Um erro puntiforme de insignificante
percentagem, integrado na rea total, pode propagar enorme erro na determinao do valor
do dimetro do feixe, posto que uma camera CCD de boa resoluo contm algo em torno
de um milho de clulas.

O mtodo de leitura em borda de faca definido pela percentagem da energia total contida
no feixe, que impe as bordas limite. A dimenso medida como a distncia estimada
entre os pontos nos quais o valor da energia representa 10 e 90 % do total, sendo ento
aplicado um fator de correo. O mtodo da energia percentual gera uma janela por meio
do software em torno do centroide do feixe e compara com a energia total do mesmo,
aumentado incrementalmente seu tamanho. uma aproximao varivel onde os valores
unitrios de cada clula so somados em ordem decrescente at totalizar a percentagem
preestabelecida. O dimetro ento suposto como equivalente ao dimetro circular que
contm os valores somados.

O mtodo de abertura varivel denominado D 6 um caso particular aprimorado do

8

mtodo da energia percentual onde a janela gerada pelo software tem seu tamanho
aumentado at uma percentagem predefinida de 86,47 % da energia total do feixe medido.
Este valor originado desconsiderando os ndices de intensidade que tm atenuao maior
que a exponencial (-2), ou seja 1 - exp(-2) = 1 - 0,1353 = 0,8647 produzindo, para feixes
puramente gaussianos, um dimetro equivalente ao "mtodo do segundo momento".

O mtodo do segundo momento considerado por muitos como a verdadeira definio

da medida do dimetro, mas apresenta grande dificuldade de implementao. Neste
mtodo a energia lida multiplicada pelo quadrado da distncia do centroide, e ento
20
integrado, produzindo uma medio mais isenta de erro na leitura. Contudo, o rudo na

borda do feixe contribui com erro excessivo, resultando em amplo desvio.

A hipersensibilidade ao espalhamento, a pobre concordncia entre diferentes mtodos, e a

dependncia de apenas um nico e confivel nmero para determinar o fator de

propagao M " do feixe, tem produzido prolongadas discusses a respeito do mtodo mais

adequado para medio. Em 1994 foi proposto ISO {International Standardization

23
Orgamzation). um padro internacional de medio [ ] . Este mtodo muito mais

interessante para feixes que apresentam elevada divergncia, e que degeneram rapidamente

as suas qualidades durante a propagao. O escopo do critrio proposto por Lawrence

inclui principalmente feixes produzidos em cavidades estveis e tambm contempla feixes

2
ligeiramente instveis. Um feixe Laser com muito boa qualidade pode ter M ~ 1,1

enquanto que um feixe com M > 1,5 pode ser considerado pobre. O mtodo mais preciso

do segundo momento, descrito na equao (14) na qual Ax a distncia entre o ponto

lido e o centroide do feixe.

\\l{x,y)-dxdy

Este critrio potencializa os valores de intensidade, sendo excessivamente sensvel ao

espalhamento, o que o torna inadequado aos feixes multi modo principalmente para

leituras prximas da cintura, sendo mais tolerante com as medies feitas no campo

distante. Por ser mais insensvel ao espalhamento, os mtodos borda de faca e o de abertura

varivel parecem mais apropriados para feixes instveis, particularmente em medies

prximas cintura. Entretanto os erros introduzidos na leitura de intensidade os tornam

imprecisos. Para possibilitar a utilizao de algoritmo com segundo momento, uma

combinao contendo um software de boa qualidade e com recursos avanados, pode

construir um ajuste polinomial para minimizar as aberraes, e formar uma matriz

numrica com redistribuio equivalente ao m o d o fundamental.

Na equao (15) ento proposta, do o dimetro do feixe na cintura, a o ngulo

divergente lido, e X o comprimento de onda. N e s t e passo vantajosa a determinao de

2
M pelo mtodo de abertura varivel simulada.

21
 (14)

As tcnicas de medio afetam os valores medidos. Conseqentemente, na comparao dos

valores medidos, um dado crtico que eles tenham sido medidos pela mesma tcnica.
Vrios mtodos tm sido utilizados, mas os erros podem ser constatados mesmo
comparando medies feitas pelo mesmo mtodo.

E indispensvel o emprego de um dispositivo que pode ser urna camera CCD, ou

dispositivo de varredura de fenda, ou varredura de perfil em borda de faca. Cada um destes
recursos tem suas vantagens e desvantagens. A medio por varredura em fenda no requer
atenuao, tem elevada resoluo mas pode medir feixes de dimetro elevado, geralmente
maior que 20 um e menos apropriada s anlises de estruturas finas que podem existir no
perfil de intensidade. Na medio em borda de faca os bloqueios so acionados
mecanicamente durante a leitura, e a preciso deixa a desejar. Sua resoluo de at 100
nm podendo ser usada na anlise de feixe mais delgado que 3 um mas, tambm neste caso,
as estruturas finas so negligenciadas.

Camera CCD (charge coupled device) - um transdutor que consiste numa matriz de
fotoelementos, mxima sensibilidade em torno de 800 um, com arranjo bidimensional
composto de pixels (jwticle induced by Xray emissum cells), elementos semicondutores
fotosensveis, que registram um padro tico. Uma resoluo microprocessada produz um
padro grfico de distribuio baseado nas intensidades obtidas na camera. Este padro
pode ser acessado de vrias formas e armazenado em disco flexvel. A desvantagem deste
instrumento a limitada resoluo de cada pixel que faz a cmera saturar facilmente. Esta
tcnica exige, pela sensibilidade da cmera, um arranjo ptico para medio que atenue
substancialmente o feixe antes de incidir sobre a mesma. Com a interposio de
separadores e filtros de feixe, a tcnica de atenuao geralmente causa distoro na
24
distribuio da intensidade produzindo resultados imprecisos [ ]. A equao (15) foi
19
proposta por Johnston [ ] e pode ser utlizada com uma boa aproximao para determinar o
fator de propagao do feixe, quando se conhece o ngulo de divergncia do feixe.

M 2
= 0,25 7 C . 9 . 2fVo. X'1
(15)

22
Uma ressalva que pode ser feita a este clculo o erro nas medies prximas a cintura de

um feixe instvel, com multi modo T E M . Outra forma de conhecer este fator de maneira
25
direta proposto por Sasnett [ ] efetuando medies do dimetro do feixe, ao longo da

trajetria numa ampla regio que pode ser prxima da cintura, e interpolando os valores

por meio da equao (16).

2
M X-z
W(z)=W . 0 Jl + (16)
n-w,;

2
Onde M o fator qualidade do feixe, o raio dp feixe como funo da distncia na

trajetria, wo o raio do feixe na cintura, X o comprimento de onda, Z a distncia

medida da cintura ao longo da trajetria, tambm conhecido como parmetro confocal ou

2
parmetro de Rayleigh. Pelo uso desta equao podemos determinar o valor de M ,

independentemente para coordenadas retangulares .v e y, uma vez que a divergncia no

necessariamente tem mesmo comportamento para ambas como funo de alguma

aberrao ou efeito de astigmatismo que possa estar presente.

0 desenvolvimento de aplicaes Laser depende da confiabilidade do processo, custo,

26
potncia e pulsos caracteristicos do equipamento disponvel [ ] . Um critrio, para o

dimensionamento do arranjo ptico destinado ao processamento, deve incluir distncia

focal e qualidade das lentes, para se obter a dimenso do disco iluminado no foco bem

como a divergncia esperada. O dimetro do disco iluminado decisivo no dimetro do

furo e na sua qualidade cosmtica. A divergncia implica em conicidade o que altera a

preciso e confiabilidade nos valores de dimetro e razo de aspecto.

"A reduo do disco iluminado mais importante que a potncia total."

Dones & Scott

Com limitao na transferncia de calor, o resultado na produo de furos mais limpo,

isento de material ressolidificado e diminuio da H A Z {hea affected zone - zona afetada

pelo calor). Processamento em elevadas intensidades causa efeitos no lineares que tendem

23
OMISSO NAC1GNAI DE E N t K G I A UCUAH/Sf tftt
a desfocar o feixe, limitando a penetrao e aumentando a conicidade. Obter as condies

que excedem os valores para limiar de energia e intensidade, requer utilizao de lentes

focais adequadas. Assim, p o d e ser produzido um feixe com difrao limitada no foco,

sendo que a dimenso d o disco iluminado que limita a difrao dada por (17)

1
d i N = 4FX
M . TI - (17)

onde d \ n N o dimetro mnimo do disco iluminado, F a razo entre a distncia focal e o

dimetro inicial do feixe, A. o comprimento de onda. Aplicando esta equao para um

2
suposto feixe Laser no m o d o fundamental puro (M = 1), dimetro inicial do feixe tendo

16 mm e lente focal 100 m m fica o valor F = 6,25. Sendo X = 1064 nm temos dimetro

mnimo no ponto focal d \ n N - 8 u.m. C o m o conseqncia do uso de tica focalizadora a

profundidade do foco afeta a profundidade de penetrao, e o formato do furo. A

profundidade do foco para um feixe limitado por difrao pode ser calculada em (18)

2 I
df = 2.56F X.7T (18)

Para os m e s m o s valores do exemplo anterior, a profundidade do foco d/ = 34 u.m. O

incremento no t a m a n h o do disco iluminado est restrito a m e n o s de 5 % para se obter os

resultados esperados. As e q u a e s para feixe com difrao limitada requerem um cuidado

especial para aplicao em feixe de baixa qualidade, pela maior dimenso do disco

iluminado e mais rasa a penetrao do foco obtido. Furos mais profundos que o parmetro

confocal p o d e m ser obtidos mas c o m significativa conicidade.

Aumentando a distncia focal possvel perfurar chapas com espessura maior e com

menor conicidade, mas isto produz feixe com cintura aumentada, que pode causar

degradao na qualidade q u a n d o se deseja um diminuto disco iluminado, por exemplo para

produzir trepanao com aspecto polido. As restries mencionadas podem provocar

ajustes empricos tediosos da posio focal para reduzir a conicidade.

A funo que define a o parmetro confocal Z , sendo este o comprimento da trajetria

R

5
com dimetro quase constante, em cujas extremidades o raio do feixe 2 ' vezes o raio na

24
cintura M>>, e para um suposto valor M = 12, comprimento de onda X = 1064 nm, raio do
(
2

feixe na cintura vv = 150 |im, pode ser determinado pela equao (19) tendo Z = 5,5 mm.
0

Z (l9
^T# >

O parmetro confocal Z , que determina a dimenso longitudinal da regio de Rayleigh,

pode variar amplamente como funo de w , e t a m b m c o m o funo do fator qualidade d o

0

feixe. Isto pode ser resolvido, pela troca da lente por outra c o m distncia focal diferente.

Uma diminuio na distncia focal significa aumento na divergncia do feixe. Tahmouch

:7
[ ] apresenta um estudo da influncia da distncia focal, q u e p o d e gerar uma degradao

por espalhamento, atenuao pela nuvem de plasma q u e se forma diante do ponto focal
29
[" ] As emisses cintilantes da poa estudadas por Yilbas [ ] e as mltiplas reflexes da

geometria da camada fundida que se forma na cratera constituem fatores de incerteza na

determinao d o s efeitos secundrios. As medies d o dimetro do feixe utilizado so

30 31
apresentadas no captulo experimental. [ ] [ ]

4.4.2. Lente trmica

Como conseqncia do arrefecimento e da geometria do basto, um perfil radial d e

32
temperatura induzido no interior deste, que provoca distoro no feixe [ ] . O ciclo ptico

a que se submete uma transio, durante a emisso Laser, tem parte de sua energia

dissipada na forma de energia trmica ou calor. Este calor resultado da relaxao de

estados qunticos excitados que decaem espontaneamente propagando-se pela rede

cristalina na forma de fnons acsticos.

A geometria cilndrica do basto favorece a dissipao d o calor por conduo radial n o seu

contorno, interface d o mesmo com o lquido refrigerante, ou seja na sua superfcie externa.

Como conseqncia natural do perfil radial d e acmulo d e calor, h maior aquecimento na

regio central, e portanto h propagao de calor o b e d e c e n d o a lei de difuso da maior para

a menor concentrao, ou seja, do centro para a periferia, mantendo u m a intensidade maior

de calor acumulado a partir do centro diminuindo em direo superfcie.

A rede cristalina deformada por decorrncia d o gradiente trmico, que d origem a

dilataes geomtricas desiguais, implicando n u m a deformao maior da regio central d o

25
basto. Quanto melhor for a qualidade do basto, mais reduzidas so as imperfeies
cristalinas que provocam deformaes assimtricas. O fornecimento de energia luminosa
da lmpada bombeadora, no volume do basto Laser, pode ser condirerada homognea. A
refrigerao, contudo, ocorre somente na superfcie do cilindro cristalino, gerando assim,
um gradiente radial de temperatura. No centro a temperatura consideravelmente mais alta
que nas bordas, podendo chegar prximo de 120 C, com gradiente de 25 C.mm~' que o
responsvel pelo aparecimento de uma aberrao de segunda ordem no basto. Isto ocorre
devido ao lato de que o ndice de refrao do cristal depende da temperatura, e como esta
tem uma dependncia quadrtica com a distncia ao centro do basto, temos como
resultado final, um comportamento semelhante ao de uma lente presente no interior do
mesmo, ou seja. o elemento ativo comporta-se do ponto de vista ptico, como se fosse uma
lente espessa.

33
Segundo Lancaster & Dawes [ ] , uma lente trmica surge durante o bombeamento por
lmpada, por causa da ineficincia no acoplamento de energia da lmpada para com os
ions ativos do basto. Segundo este trabalho, uma reduzida taxa de repetio dos pulsos
reduz tambm a lente trmica. Significa dizer que quanto maior a potncia mdia, maior
deve ser a lente trmica. Porm no relaciona o regime estacionrio ao gradiente dinmico
de temperatura, nem a lente trmica dinamicamente varivel, bem como a simetria
geomtrica do basto. H uma drstica reduo no rendimento, como conseqncia da
lente trmica [''], se no houver arrefecimento eficaz.

Obviamente, como o gradiente de temperatura depende da potncia fornecida lmpada,

esta lente, chamada "lente trmica induzida", ir depender da potncia com que Laser
opera. Assim, para cada potncia mdia de operao, teremos uma particular lente trmica
no interior do ressonador. Esta tem portanto, que ser considerada quando do clculo no
projeto do ressonador. Esta lente trmica considerada dinmica quando a taxa de repetio
for menor que 10 Hz, variando assim a forma espacial do feixe durante o desenvolvimento
da ao Laser, sendo entretanto estacionria se o sistema opera com uma taxa de repetio
acima desta freqncia. Por isto, conveniente procurarmos manter constante a potncia
mdia de operao mesmo nos casos em que apenas um pulso foi utilizado.

Ao mantermos constante a potncia mdia desenvolvida no interior do ressonador, no

estamos garantindo nem prestigiando a formao de um determinado modo TEM, mas sim
26
a ocorrncia de um ciclo trmico de regime estacionrio anlogo, que tem caractersticas

semelhantes para um dado arranjo dos parmetros, que por sua vez responsvel pela

manuteno da estabilidade trmica e pela similaridade na configurao cristalina do

basto, onde as caractersticas geomtricas de propagao luminosa exercem a tendencia

de produzir um modo T E M similar, por similaridade de condies termofisicas. Alm

disso, e recomendvel manter constantes as temperaturas da sala e d o arrefecimento.

5. Interao do feixe Laser c o m a matria

Dependendo da natureza do material a ser processado e das caractersticas do feixe Laser,

podemos esperar um dado desempenho do processo onde as principais caractersticas de

afinidade descritas no incio, so resumidamente a largura de pulso, o acoplamento entre a

cor do feixe e a absoro tpica, a refletividade, a difusividade trmica, o ponto de fuso, e

a energia contida em cada pulso.

O ciclo completo de furaco algo complexo e no linear. Os fenmenos envolvidos

acontecem numa trama de efeitos simultneos e seqenciais. N o momento da incidncia do

feixe sobre uma superfcie metlica o padro de rugosidade alterado bruscamente. A

oxidao inicial tambm responsvel pelo aumento da rugosidade e pela migrao de

impurezas intersticiais. O padro de rede muda com a evoluo do ciclo pela durao do

pulso Dependendo do gradiente de potncia e da intensidade d o feixe, bem como do

formato temporal do pulso, acontece uma extrao q u e inicialmente forma pequena

quantidade de vapor inibindo a incidncia do feixe sobre a superfcie, e com isto maior

quantidade de metal fundido forma u m a poa. As exploses de plasma que ocorrem no

interior da poa geram as instabilidades dinmicas que, alm de alterar o padro de

rugosidade, tambm concorrem para arremessar material fundido para fora da poa e com

isto perde energia, voltando ao estado inicial de vaporizao. C o m o formato adotado neste

captulo buscamos torn-lo o mais objetivo e conciso possvel.

Um modelo relacionando as interaes ocorridas neste intervalo apresentado no diagrama

da figura 3. Por meio de u m a representao esquemtica foi concebido este modelo por
34
Kar & Mazunder [ ] das interaes inerentes ao processo de furaco por Laser. N u m

processo priorizando a extrao por meio de vapor, os ndices de intensidade do feixe bem

como de gradiente de potncia devem ser mais intensos, os pulsos curtos ou mesmo ultra

27
OMISSO NAC40NH DE ENERGIA N U C L E A R / S P \Vt
curtos so mais adequados, principalmente no caso de metais ou ligas com elevadssimo

ponto de fuso e alto coeficiente de difusividade trmica.

Laser absoro pea

aqueci mento

fuso sublimao
\!
stress

vaporizao
1/ \l
eroso HAZ
L L j[_
plasma retrao

deformao
1
trinca
i
onda de choque
i estrutural

V
extrao

\l
dano
trmico

V
furo

Figura 3 - Interaes ocorridas durante a furaco.

Para furaco de chapas finas, imediatamente aps os primeiros pulsos a perfurao se

completa, mas quando aumenta a espessura, necessrio um trem de pulsos tanto maior

quanto menores forem a energia unitria e a taxa de repetio. Neste caso pode no haver

perfurao, caso as exploses de plasma no sejam suficientemente fortes para expulsar

material. Se isto ocorre, a quantidade de material fundido, retido dentro da poa, pode ser

28
suficiente para inibir o avano do processo, quando a formao de nuvem de vapor
metlico ofusca o brilho da radiao incidente a ponto de no haver extrao.

O metal fundido que empurrado contra as paredes do furo implica num acabamento
melhorado do processo. Por isto, quando se deseja extrao principalmente lquida os
pulsos devem ter durao temporal que permita um esfriamento gradativo. Com este perfil,
a HAZ tambm aumenta.

Modelos de interao - H dois modelos principais pelos quais podemos analisar a

interao do feixe com a superfcie material. No modelo trmico a energia do feixe excita
os eltrons, que rapidamente transferem sua energia pela emisso de fnons reequilibrando
a vibrao de rede. Por este modelo a energia absorvida convertida em calor. No modelo
plasmtico a taxa de aumento na emisso de fnons muito menor que a taxa de absoro.
Por este modelo, em sendo elevado o coeficiente de absoro, as mudanas estruturais
conferem desestabilizao das ligaes covalentes por meio da excitao eletrnica. Para
uma dada excitao elevada o suficiente dos eltrons de valncia, do estado de ligao para
o de repulso, ocorre instabilidadede seguida de transio de fase estrutural. Uma
I
abordagem aprofundada deste assunto discutida por Mazur [ ], que trata principalmente
da absoro de radiao pela amostra submetida irradiao por feixe Laser, que descreve
os efeitos qunticos da radiao sobre a superfcie.

35
5.1. Abordagem quntica [ ]
H uma relao linear entre a freqncia angular w = 2TC f e o vetor de onda gerando na
1
interao k = 2K . A.' , dando a relao w = ck . A freqncia de propagao desta onda
uma resposta do meio slido para uma determinada freqncia da radiao, e depende do
campo eletromagntico incidente, e das caractersticas fsicas como constante dieltrica,
permeabilidade magntica, condutividade eltrica. Ondas geradas de diferentes freqncias
se propagam a diferentes velocidades, determinando diferentes propriedades pticas.

Para freqncias de onda abaixo da freqncia de plasma, o valor da constante dieltrica

provoca forte atenuao do acoplamento eletromagntico. Acima da mesma, as ondas se
propagam, e para freqncias elevadas a funo dieltrica se aproxima da unidade,
otimizando o acoplamento. Os eltrons agem como filtro passa alta. Abaixo da freqncia

29
de plasma ocorre reflexo, ao passo que acima da mesma os eltrons livres so
transparentes radiao.

Nveis de energia mais baixos correspondem ao estado de ligao, enquanto que aos mais
elevados corresponde anti-ligao. Nos slidos no metlicos e compsitos, os eltrons
compartilhados nas ligaes covalentes resultam em ligaes fortssimas, tornando os
slidos densos e quebradios. Nas ligaes inicas existe troca de um ou mais eltrons
resultando em forte atrao eletrosttica e um estado de energia com reduzidssima
condutividade. Ligaes metlicas so decorrentes de sobreposio dos orbitais, resultando
em materiais dcteis e mais macios que os covalentes e os inicos.

Nos semi condutores a energia que separa as bandas de valncia e de conduo os torna
eletricamente isolantes, mas comeam a se tornar condutores quando os eltrons so
excitados da banda de valncia para a banda de conduo, se transformando em portadores
de cargas. Se o nmero de eltrons na banda mais elevada parcialmente preenchido, o
slido se comporta como condutor eltrico. Adicionalmente, portadores livres podem
tambm absorver radiao. No caso dos metais, a ausncia de um limiar para freqncia de
absoro incrementa a interao do feixe com os portadores livres. Contrariamente, a
ausncia de portadores de carga em outros materiais reduz drasticamente a absoro
fundamental, que no espectro est, deslocada para as freqncias elevadas tornando
isolantes os mesmos.

Os ons podem ser retirados das posies de equilbrio e, estes distrbios podem caminhar
pela rede na forma de fnons que, desempenham papel importante nas propriedades
pticas do slido pois interagem diretamente com as ondas eletromagnticas incidentes. No
processo de absoro pelo qual o material ganha energia do pulso Laser, o comprimento de
onda da luz X muito maior do que a constante de rede X a, e por isto o momento do
fton muito mais fraco que o momento do eltron em estado de equilbrio dependendo da
sua posio na rede, conforme a equao (20), onde q o momento do fton.

l 1
q = 2icX k = 2n.a' (20)

Desprezando a alterao no momento, na escala do vetor recproco de rede k, a absoro

de um fton pelo eltron resulta na transio vertical do mesmo, que se torna excitado. Nos

30
semi condutores ocorrem diferentes mecanismos de excitao. A formao de pares
eltron-lacuna se comportam como portadores. O aumento destes pares inibe a
probabilidade de surgimento de outras formaes, porm, feixes com intensidades muito
elevadas compensam esta perda. Pulsos Laser muito intensos causam excitao
elevadssima, que relaxada quando um portador compartilha a energia por ele absorvida
com outros portadores adjacentes.

Portadores altamente excitados podem criar portadores adicionais por impacto ionizante.
Uma dificuldade adicional em determinar a absoro total devida ao rigor matemtico
das expresses que prescindem de um valor fixo que defina a profundidade de absoro,
que por sua vez varia com a densidade dos portadores. No processo de relaxao, o
espalhamento portador-portador causa aquecimento, para pulsos Laser na faixa de 10 fs.
Causa espalhamento inelstico de portadores por meio de fnons e reduzem sua energia
aquecendo a rede, para pulsos na faixa de 100 fs. O incio da relaxao ocorre na regio de
2 ps. Na regio de 1 ns h recombinao de pares com idnticos vetores de onda, que
emitem a diferena de energia na forma de ftons. Um mecanismo importante que reduz a
densidade de portadores livres na regio excitada pelo pulso Laser, a difuso dos
mesmos. Se a rea do disco iluminado na superfcie da amostra muito maior que a
profundidade de absoro, ento a densidade de portadores varia apenas na direo normal
superfcie. Na excitao por Laser, o gradiente espacial de intensidade luminosa induz
um gradiente espacial na densidade de excitao de portadores. As mudanas observadas
na refletividade podem ser atribudas alterao na densidade de portadores, esta eleva a
freqncia de plasma, e para freqncias acima da de plasma o ndice de refrao decai.

Na regio de 100 fs desde o incio do pulso, a transmitncia decai rapidamente devido ao

espalhamento portador-portador, criando uma distribuio uniforme dos portadores. O
modelo trmico pressupe que os "eltrons quentes" se equilibram rapidamente pela
excitao da rede, com a emisso de fnons. Nesta concepo a energia Laser absorvida
pela amostra convertida instantaneamente em calor. Por outro lado, o modelo plasmtico
atribui as mudanas estruturais desestabilizao das ligaes covalentes, resultante da
excitao eletrnica. A imediata mudana, num perodo menor que 1 ps, torna difcil a
interpretao da refletividade, uma vez que no necessariamente so resultantes
diretamente das propriedades intrnsecas do material.

31
Indispensvel mencionar que devido drstica mudana das propriedades fsicas nos
metais durante a incidncia de um feixe Laser, mudanas de comportamento ainda mal
conhecidas so provocadas, no sendo adequado fazer uma discusso levando em conta
apenas as condies CNTP. Do ponto de vista cosmtico qualitativo, so ainda incipientes
os estudos sobre furaco de materiais dieltricos, utilizando pulsos ultracurtos e elevados
valores de intensidade. O processamento destes materiais tem especial relevncia na
indstria de telefonia celular principalmente pela portabilidade exigida, com reduo de
peso. Nesta modalidade de aplicao a nfase est sobre o reduzido dimetro desejado e a
5 36
reduzida quantidade de material extrado na formao de lxros cegos [ ] [ ]. O ponto de
fuso e a difusividade trmica so relevantes apenas nos processos envolvendo gerao de
37 38 2
calor e fuso por efeito Joule [ ] [ ]. Para elevadas intensidade de feixe at 10 MW.mm" ,
39 40
a remoo por lquido dominante [ ]. PJShayler [ ] introduziu um modelo de superfcie
no qual a remoo se deve principalmente vaporizao, bem adaptado a intensidades de
2
potncia moderadas at 100 kW.mm" .

4l
5.2. Abordagem Trmica [ j
Existem trs componentes fundamentais na interao do feixe com a superfcie do
material. A fuso laminar, a evaporao e a quebra de ligaes moleculares. Nos processos
utilizando Laser com comprimento de onda menor que 300 nm, ou seja no ultravioleta, o
processo de extrao se d principalmente por quebra das ligaes. Os processos utilizando
Laser infravermelho, com comprimento de onda 1064 nm, no esto isentos da ocorrncia
de fenmenos como a produo de plasma e ablao, mas neste caso a nfase se localiza na
fuso, e a extrao acontece principalmente pelas interaes que ocorrem envolvendo
calor. Um conceito a respeito do efeito Joule diz que se trata de fenmeno no qual h
converso de energia eltrica em calor. Se levarmos em considerao que a incidncia de
um feixe Laser na superfcie de uma pea de metal provoca excitao eletrnica, sendo
esta responsvel pela converso em calor, temos por aquele conceito a ocorrncia de efeito
37
Joule. O fenmeno de fotoionizao em avalanche consta de registro experimental [ ].
Para larguras de pulsos de nanosegundo fuso e evaporao so dominantes, enquanto que
42
para pico-segundos predominam a formao de plasma e ablao. Segundo Maillet [ ], na
ablao o impacto do feixe sobre a superfcie provoca sublimao, extraindo material na
forma de vapor.

32
Uma forma bastante simplificada de descrever a sucesso de eventos durante o ciclo
trmico poderia ser apresentada como uma seqncia iniciada pela absoro do feixe,
seguida pela fuso laminar ou superficial, desequilbrio nas tenses superficiais, mudana
no padro de rugosidade, surgimento da nuven de vapor, exploses de plasma, ondas de
choque que do origem ao efeito puno agindo como tensor, espalhamento do feixe,
queda no ndice de absoro, aumento da energia na poa, perda de calor por conduo,
instabilidade na quantidade de vapor presente, instabilidade na iluminao, instabilidade na
absoro, incio de extrao de material fundido, emisso cintilante, surgimento de
mltiplas reflexes, perda de energia na poa, instabilidade na extrao, eroso acentuada,
surgimento de stress, deformao no padro da rede, emisso de respingos, oxidao,
migrao de impurezas. Quando cessa a irradiao do feixe surgem ressolidificado,
recristalizao, porosidade e microtrincas.

Evidentemente cada um destes eventos no so isolados, ocorrendo simultaneamente numa

profuso bastante irregular, que no entanto pode ser controlada de forma no muito precisa
dependendo de certas caractersticas do feixe como intensidade, modo espacial, largura do
pulso, formato do pulso, alm de outras caractersticas como gs de proteo, tipo de
material, entre outros.

5.2.1. Propriedades pticas

Nos processos envolvendo calor, o aquecimento do material determinado principalmente
pela absoro, e esta est diretamente relacionada a um determinado comprimento
espectral de onda X, da radiao. A absorcividade determinada pelas propriedades
pticas, pela taxa de aquecimento, incluindo a temperatura do ambiente. Nos metais, a
absorcividade demonstra uma tendncia a aumentar quando diminui o comprimento de
onda da radiao, indo do infravermelho para o ultra violeta. Nestes casos em particular,
geralmente uma fonte de radiao no infravermenlho, comprimento de onda X = 10,6 u,m
apresenta absoro muito baixa podendo chegar a fraes de 1 %.

Entretanto outros fatores incrementam o rendimento do processo, como por exemplo o

aumento da temperatura do ambiente, que proporciona um aumento no ndice de absoro
superior a uma ordem de grandeza. Baseado na pressuposio de que a energia dos ftons
absorvida atravs dos eltrons, que depois a transmitem rede cristalina, por meio de
43
colises, Drude [ ] formulou um modelo pelo qual pode ser determinada a freqncia e o

33
WISSAO NACIONAL D E E N E R G I A N U C L E A H / S P iHtl
tempo de relaxao do eltron excitado. O aquecimento ocorre no transporte por coliso
com fnons, com eltrons e com defeitos introduzidos por impurezas.

A condutividade eltrica a definida como uma proporo entre a componente de

densidade de corrente eltrica oscilando em fase com o campo eltrico, para com a

intensidade do mesmo. Similarmente, a polarizabilidade a p obtida como sendo

proporcional componente da corrente, defasada a 90 do campo.

Levando em considerao a massa m do eltron em repouso, que nos metais de m = 9,11

31
. 10 ' kg, a densidade n e de eltrons livres, e a carga elementar do eltron e, pode-se
determinar a magnitude da freqncia de exploses de plasma co , que deformam a rede p

cristalina do material e geram a fora de arraste das partculas no processo de extrao,

causando espalhamento interferindo sobre a refletividade, que para temperatura amena (22
16
C) da ordem de o ~ 1 0 r a d . s
p dada na equao (21).

top (21)
m

Calculando a condutividade eltrica a pela relao de Lorentz-Sommerfeld, a constante

dieltrica pela equao de Boltzmann e, admitindo um intervalo mdio que o inverso da
2 2
freqncia de relaxao x = T o extremo limite que acontece para T p . Neste
caso o espalhamento RD, tambm "denominado refletividade de difuso, ou refletividade de
Drude, pode ser determinado pela equao (22).

2r
R D = 1- (22)

Dentro dos limites de aplicao da formulao de Drude, a profundidade de absoro da

radiao Laser no metal tambm conhecida como espessura da pelcula pode ser avaliada
pela expresso (23)

5 D f^z %r (23)

34
Dados pela freqncia do Laser co (onde co = 2 K c X \ x
e pela velocidade da luz Co, tempo
2 2
de relaxao x, no limite T O p pode ser determinado de maneira simplificada pela
equao (24).

(24)

Anomalias na absoro - na dcada de 1930 j estava comprovada a influncia da

temperatura na mobilidade dos eltrons. O fluxo de relaxao decai drasticamente para
temperaturas muito reduzidas. Posteriormente foi reconhecido que o comportamento da
absorcividade como funo da temperatura, denominado "efeito pelicular anmalo" no

pode ser acomodado na abordagem clssica. O comprimento de onda X, a profundidade de

penetrao z e a corrente eltrica
F no ponto de incidncia determinada no apenas pelo
valor do campo eltrico mas tambm pela mobilidade dos eltrons. Na regio de
abrangncia do campo eltrico, que na presente discusso est localizado nas imediaes
do disco iluminado pelo feixe Laser, estas grandezas tambm exercem papel determinante
na velocidade dos eltrons, provocando influncia sobre a profundidade de penetrao,
sobre a absoro e sobre a reflexo.

Uma parcela adicional introduzida por efeitos peculiares na absoro superficial, e nos
fenmenos eletromagnticos superficiais. Esta absorcividade adicional A A pode ser
calculada por uma abordagem simplificada quando a temperatura diminui, o que diminui a
2
freqncia de colises T, ficando ento estabelecida uma condio limite na qual T
2
oop dada pela equao (25) que determina pela velocidade principal do eltron <v >, a F

velocidade da luz Co, e a freqncia do Laser co .

(25)

Prokhorov constatou que as transies interbandas AIB podem representar significativa

influncia. Irradiando alumnio com Laser neodmio, verificou que a absoro pelas
transies interbandas at quatro vezes maior que a absoro descrita por Drude. A

35
influncia da rugosidade superficial pode se manifestar de duas maneiras. A absorcividade
aumenta para incidncia diferente da normal superfcie e conseqentemente nas ranhuras,
sulcos, fendas e poros, que simulam guias de onda por onde o campo eltrico modulado.
H tambm produo de ondulaes superficiais eletromagnticas, as RPS com perodo da
ordem de magnitude do comprimento de onda da radiao X, que sero abordadas com
detalhes mais adiante.

Os dados disponveis na literatura apresentam grande disperso, a maioria revelando

completa discordncia para com os modelos previamente examinados, mesmo fazendo
referncia ao mesmo material. Estes valores de absoro adicional AA, absoro de Drude
AD, e a absorcividade interbandas Am experimentalmente levantados e disponveis na
literatura no so determinados apenas pelas propriedades intrnsecas do material, portanto
no poderiam ser precisamente descritas pelas frmulas clssicas.

Absoro induzida por defeitos, impurezas e oxidao tambm foram exaustivamente

estudados pelos mtodos mais avanados, e feitos com materiais de elevado grau de
pureza. Por este argumentos se pode deduzir que teoricamente os compsitos, as resinas, e
as altas ligas como ao inox com diversos elementos (Fe, Mn, Si, Cr, Ni, Mo, P, S, C) em
sua composio apresentam um audacioso campo de investigao. Fica claro que, alm do
processo de laminao, a uniformidade e o tamanho de gro, o grau de confiabilidade e
qualidade do fornecedor de matria prima so responsveis diretos pelos ndices
v
experimentais verificados.

5.2.2. Quantificao da energia

Desprezando as perdas por irradiao de calor para o ambiente, considerando constante o
coeficiente de absoro A para uma amostra slida semi-infinita, um feixe com energia
necessria para aquecer a amostra numa temperatura prxima da fuso um valor para
intensidade tima !<*, pode ser calculado pela equao (26)

1.85JLT,
Io, S f
(26)
A- z f

Nas mesmas condies, uma profundidade da pelcula fundida Zf, sob a ao de um pulso
o t
retangular, com durao temporal tima x P pode ser estimado pela equao (27)

36
 T p o ' s U3-z -
F ( 2 7 )

Por meio da equao (28) podemos determinar a energia mnima Es unitria, contida num
pulso, mnima para fundir a superfcie do metal dadas as condies desejadas. Sendo que o
calor especfico c, a densidade p, a temperatura de fuso ou 7V, a condutividade trmica
Ar, a difusividade trmica k, desejada a espessura da pelcula fundida ZF = 100 um.

E =2M\c-p-z -T )
s F F (28)

Supondo a condutividade trmica kj - 15 mW (mm . k ) a temperatura prxima da fuso

v
7> = 1698 K (ou 7> = 1425 C), admitindo coeficiente de absoro A ~ 30 %, pela relao
2
(27) a intensidade tima pode ser calculada em ht = 1,5 kW . mm ' . A durao temporal
2 _1
tima, ou largura do pulso tima Tp , o t
sendo a difusividade trmica k = 50 (mm . s ),
pode ser estimada pela relao (27) como sendo Tp o t
= 270 us.

Utilizando os mesmos valores acima, sendo o calor especfico c = 0,12 kcal (kg . C) '' e a
3
densidade p = 7,9 g . cm ; pela relao (28) temos a densidade de energia mnima
2
requerida Es - 4,70 J . mm " (onde 1 Joule = 0,2389 cal) entregue pelo feixe, para que um
pulso nico possa fundir a pelcula de 100 [im na superfcie do material.

H, porm, que se levar em conta que a difusividade trmica deca bruscamente com o
aumento da temperatura, apresentando uma variao de at duas ordens de grandeza,
enquanto que o padro de rugosidade e a oxidao local, causam um sensvel aumento da
absoro como funo da temperatura. Neste raciocnio a intensidade do feixe tima pode
2
ser estimada numa faixa bastante ampla podendo superar os 100 kW.mm " . Os valores
constantes acima so os do ao inox AISI 304, com o qual foi realizado o desenvolvimento
experimental.

5.2.3. Ciclo trmico

Como a eficincia do processo de extrao de material est diretamente relacionada com a
cadeia de fenmenos que ocorrem durante o ciclo trmico, existem diversos trabalhos

37
publicados a este respeito, mas a obra de Prokhorov [ ], que serve de eixo para esta
discusso merece ateno e comentarios.

Um feixe Laser em propagao obedece s leis e ao equacionamento acima discutido,

considerando as propriedades da radiao, as propriedades fsicas do material, e do meio
de propagao. So necessrios elementos pticos de elevada qualidade, e com tratamento
anti reflexivo na superfcie, cujos ndices sejam previamente conhecidos. Por terem
diferentes propriedades fsicas, o meio de propagao (ar) e o material em questo,
desenvolvem no ponto de trabalho uma interface eletromagntica. Isto pode ser facilmente
deduzido pelo contraste entre as propriedades eletromagticas de ambos. Sendo a radiao
um conjugado eletromagntico, as diferenas entre as propriedades fsicas influem
diretamente sobre a permeabilidade magntica e condutividade eltrica. Submetido a
elevada intensidade e elevada energia do Laser, materiais metlicos ou no tm as suas
propriedades fsicas modificadas, apresentando contrastes idnticos pela presena de gua
adsorvida, e substncias que passam para a fase lquida durante a irradiao da amostra.

A permeabilidade magntica tem comportamento diverso entre materiais slidos e o meio,

identicamente aos elementos slidos podem apresentar comportamento diverso com
relao condutividade eltrica como funo da temperatura. Exemplo clssico a
resistividade do carbono que tem coeficiente de condutividade negativo, diversamente dos
metais. Estas consideraes de ordem ilustrativa apontam um cuidado permanente na
adoo de critrios, uma vez estando em estudo compostos ou ligas metlicas.

O ciclo trmico uma funo da absoro, e a mesma funo dos fenmenos ocorridos
durante a irradiao. Poder-se-ia supor que as propriedades materiais aqui descritas
pudessem balizar plenamente, o que no acontece visto que as mesmas so estabelecidas
para as condies ideais CNTP que visivelmente no o caso. Procuramos apresentar uma
abordagem mais ilustrativa e menos tcnica, por isto tratando de discut-la de forma sucinta
e dando nfase preferencialmente aos conceitos fenomenolgicos em vez do tratamento
matemtico e fsico.

Para se considerar tal equacionamento necessrio levar em conta que alguns dos

parmetros mencionados so empricos e foram inclusos na literatura na forma de curvas

grficas ou tabelas, aps validao por meio de ensaios. Tais requisitos experimentais so

38
muito especficos, dificultando sua reproduo em atividades tecnolgicas de escala
industrial; so funes cujo comportamento escapa a uma anlise confortvel e linearizada.

Tipicamente podemos dizer que se trata de variveis estocsticas, em lugar das variveis
determinsitcas cuja explicao bem mais confortvel. Estas so concebidas por meio de
modelos matemticos, de carter conceituai, enquanto aquelas so retiradas de resultados
empricos no necessariamente conceituveis. A onda de calor que tem origem no disco
iluminado varia com o tempo, pois a sua distribuio no interior do corpo material
descrita diferentemente para diferentes momentos. A espessura pelicular metlica
susceptvel radiao, varia a partir de algumas unidades at algumas dezenas de
nanometros, para a maioria das fontes Laser de potncia, gerado no intervalo espectral
44
0,20 <X< 10,6 um. Segundo Goldman [ ] , a mxima profundidade pode ser estimada
pela equao (29) na qual z a profundidade, I a intensidade de potncia, L o calor
latente, c o calor especfico e TV a temperatura de vaporizao do material. Contudo,
isto serve apenas como ponto de partida, pois para um clculo mais exato, h que se
considerar a temperatura ambiente, a reduo na capacidade de extrao pelo ofuscamento
do plasma e pela conduo trmica, compensados em parte pelo vapor localizado que serve
42
como fonte de calor [ ].

A distncia de propagao L ih da onda de calor durante o curto prazo de equalizao de

durao temporal x do pulso Laser incidente pode ser estimado pela expresso (30) onde k
p

2 1
o coeficiente de difuso trmica que para a maioria dos metais 0,1 < k < 1,0 cm s" .

0 5
Lth = ( * . T ) '
P (30)

41
O grfico da figura 4 foi construdo com base na tabela 1 [ ], em anexo, e apresenta a
profundidade de difuso do calor em 17 metais Al, Cr, Cu, Au, Fe, Pb, Mo, Ni, Pt, Ag, Ta,
Ti, W, U, V, Zn, Zr para larguras temporais de pulso Laser 1 ns, 100 ns, 1 (is, 100 u.s.

39
 o-v
-+-Zn
-X-Zr

IO' 2
I l i i i i i l l
2 2 3 5 9
10' 10'' 10 10' 10 10 1 0* 10 10

Pulso [ns]
Figura 4 - Profundidade de conduo de calor para diferentes pulsos.

Assim, como a maioria dos sistemas de produo Laser emitem um feixe cuja distribuio
de potncia na frente de onda pode ser considerada como aproximadamente gaussiana,
necessrio fazer uma correlao entre a eficincia do feixe com distribuio gaussiana, e
aquele com distribuio uniforme {top hat) cujo impacto trmico pode ser mais facilmente
avaliado. Um feixe Laser de raio Rs, com distribuio uniforme em toda a seo
transversal, num pulso de durao infinita, a mxima temperatura alcanada na superfcie
do disco iluminado pode ser aproximado para a equao (31)

7\o,o,co) = (31)

Para um feixe de mesmo raio Rs com distribuio gaussiana de potncia, incidindo sobre
uma amostra do mesmo metal apresenta uma elevao de temperatura na superfcie do
disco iluminado de acordo com a equao (32).

AJ .R .yf7T
0 s
T {p,o,to)-
a (32)
2k T

40
Relacionando os dois feixes Laser com intensidade idntica, com largura de pulso infinita,
tendo perfis de distribuio de potncia distintos acima descritos, numa notao T ( ,z,T ) a
r p

relao entre a elevao de temperatura entre ambos apresentada em (33)

T /T =
G =88.5% (33)
2

0 que significa que a elevao de temperatura tem pouca relao com a distribuio
espacial da intensidade do feixe.

Susceptibilidade s transies no lineares - Via de regra, a difusividade trmica dos

metais diminui com o aumento da temperatura. .Devido ao elevado gradiente de
temperatura imposto, surgem pequenas mudanas no comportamento dos parmetros
termofisicos, implicando em conseqente variao no ndice de absoro, conforme j foi
discutido anteriormente.

O gradiente de elevao da temperatura diferente para diferentes perodos de irradiao,

2
dependendo dos parmetros em questo, sendo da ordem de 1 us para I ~ 10 kW.mm " .
Aps este perodo a taxa de elevao de temperatura decai bastante.

O problema fica por conta da escolha do valor mdio mais adequado. A soluo seria
simples, bastando partir das curvas de temperatura disponveis na literatura, e observar
cuidadosamente os parmetros dos elementos disponveis para o processo que se deseja
desenvolver. Ainda assim a questo continua sendo at que ponto os parmetros
disponveis podem ser usados como aproximao das reais condies de cada caso.

Para materiais diferentes h que se observar a variao linear de temperatura caracterstica

de cada um deles. E esperado que metais diferentes tenham comportamentos ligeiramente
diferentes. Levando em considerao uma grande variedade de aos, para uma ampla faixa
de temperatura, as seguintes funes tm comportamento linear alm de poderem ser
aplicadas a outros metais em faixas especficas de temperatura. As relaes (34) e (35)
descrevem as variaes do coeficiente trmico K T (T) e da capilaridade trmica, onde k T

a condutividade trmica, C v a capilaridade trmica por unidade de volume, C v

41
capilaridade trmica inicial temperatura ambiente, c descreve o seu comportamento
dinmico.

Kr (T)=k +/3T
0
(34)

C v ( 7 ) = Cv + cT
0
(35)

Para os casos mais complexos uma estimativa da ordem de grandeza da elevao de

temperatura na regio iluminada pode ser obtida pela seguinte aproximao.

AJE,o
T (36)
p.cV

Considerando os valores sugeridos em (26), (27) e (28) podemos fazer uma aproximano
da elevao de temperatura em C utilizando a relao (36).

5.2.4. Ondas de choque

Foi comprovado que o tensor de stress a z z (0, z, t) mximo no centro do feixe, com valor
pico no eixo Oz (r = 0), indo em direo superfcie quando a durao do pulso decresce,
para qualquer ponto da regio interna ao disco definido pelo contorno da seco transversal
do feixe incidente sobre o alvo, ou disco iluminado, corresponde uma rea de compresso,
a partir da energia contida no aquecimento do material. No limiar da circunferncia do
disco a regio de transio para alm da qual o tensor de stress adquire valor negativo, ou
seja, h distenso do material.

Foi constatado que com o aumento da durao do pulso, cresce a deformao trmica na
amplitude e no raio. Com o aumento da intensidade do feixe ou da largura de pulso, o
stress induzido alcana o limiar de elasticidade a . Um dano irreversvel acontece na
m

superfcie, como trincas radiais, que so evidncia de abruptas distenses locais. A anlise
se torna mais complexa para Laser em pulsos curtos.

42
Foi constatado tambm [ ] que para a incidncia de um feixe com intensidade de energia
acima do limiar de vaporizao do material, ocorre um correspondente pulso de presso
sobre a superfcie do alvo, cuja amplitude diretamente proporcional largura do pulso
Laser, por sua forte relao com a funo temperatura superficial.

A fora de compresso exercida muito mais pela interface de vapor e muito menos pelo
metal fundido. A resultante das compresses puntuis contidas no disco iluminado pelo
pulso Laser, chamaremos puno. A extenso deste problema foi experimentalmente
verificada no corte de alumina de 1 mm de espessura, onde trincas apareciam para pulsos
Laser de longa durao, em torno de 1 ms. Diminuindo a durao temporal para a metade
46
eliminou o aparecimento destas trincas que inviabilizavam o corte deste material f ].

Ao Laser de pulso curto nico - Dependendo do tipo de material o dano pode ser
causado por deformao plstica ou fragmentao. Para que haja deformao plstica, o
valor do mdulo de stress a m no limiar de elesticidade deve ser o m = cs? onde O T o
limite de escoamento para fuso, e para que haja fragmentao deve haver a m = CJB onde
GB o mdulo de trao.

43
OMISSO NACIONAL DE ENERGA IHJfLCAtt/SP H*a
 2
Para pulsos com largura largura temporal xp 10 ' s, o limiar de intensidade de
T
escoamento para fuso I decresce linearmente com o aumento da largura do pulso Laser
6 2
ip. Por exemplo para xp = 100 ns o limiar fica acima de I - 10 W . mm " .

a n
Duas inferncias so possveis, (1) o limiar de intensidade l ? decresce com o aumento

da largura de pulso Xp e (2) o limiar de intensidade I " (a^.) como funo do tensor radial
p

no depende do raio do feixe incidente.

A primeira inferncia permite concluir de incio que pulsos curtos (u.s > xp > ns) tem
elevado limiar de intensidade comparado com pulsos mais longos (xp ~ ms), sendo que
daquela forma fica desfavorecida a ocorrncia de defeitos microestruturais detectados ou
latentes, por gradiente de stress e tenses residuais intrnsecas ao processo. Deduo
imediata que com o aumento da energia contida no pulso, pelo aumento da sua durao, a
gerao de calor modifica as caractersticas intrnsecas.

J a segunda, permite que se faa uma anlise de dinmica trmica modelando a partir de
um conceito pelo qual a energia Laser exerce seu efeito como sendo concentrada num
ponto central do feixe em propagao (r = 0), difundindo-se radialmente quando atinge a
superfcie do alvo como pode ser observado na figura 5. Sem dvida isto facilita em muito
a abordagem conceituai. Pode se deduzir ento que os efeitos pto acsticos secundrios
independem do acoplamento eletromagntico sendo determinados pela energia absorvida.

O escoamento do metal sob stress est relacionado com os deslocamentos entre as camadas
estruturais, ou escoamento laminar, tambm denominado ablao. O disparo das
deformaes plsticas que ocorrem pelas tenses, o limite de escoamento ar do metal,
determinado por vrios parmetros, entre eles o tamanho de gro (1G e o stress de frico Of
conforme (37) onde k uma constante.

(37)

Assim, a peculiar forma com que a matria prima foi processada influencia decisivamente
no resultado da interao do feixe com a superfcie da amostra ou da pea.

44
Trem de pulsos - Uma vez que as microtrincas facilitam a adsoro de impurezas por
migrao intersticial, os efeitos do primeiro pulso sobre os subseqentes diminui o limiar
para ignio de plasma, sendo responsvel pelo surgimento de porosidade em forma de
microbolhas. Os nveis quiescentes de intensidade do feixe para trens de pulso so
inferiores aos valores iniciais, pois formam uma grande concentrao de stress agindo
sobre clusters de deslocamentos, situados diante de certas descontinuidades.

Estes deslocamentos surgem e se multiplicam durante o processo cclico de carga trmica e

conseqente carga mecnica. So chamados dano por fadiga, e ocorrem devido ao acmulo
de distores inelsticas da rede cristalina, situadas para alm do valor crtico.

Fuso superficial - A primeira dificuldade em determinar a energia para o limiar de fuso,

que esta depende da energia absorvida, e a absoro funo dinmica da temperatura
local e da refletividade. J o ndice de reflexo inversamente proporcional oxidao
presente, que por sua vez provocada pela elevao de temperatura.

Isto comprovado por meio de clculos, corroborados pelos resultados experimentais

obtidos com alto ndice de preciso. Portanto, os resultados experimentais so mais frteis
em indicar mudanas de comportamento, e aps isto busca-se embasamento na teoria, num
processo de raciocnio dedutivo. Vale a pena observar que teoricamente no h
considerao formal a respeito deste parmetro, quando se calcula o valor de intensidade
necessria para atingir o ponto de fuso superficial. Sendo F G a maior intensidade de
energia que a superfcie metlica pode suportar sem derreter, dada pela equao (38)

F o .(r.-r,xp^ )X r

AT.)

Vaporizao metlica - Quando h intensa mudana nas propriedades termofisicas e

pticas do metal, para T > T m onde T a temperatura de melting (fuso), um incremento
m

muito pequeno na intensidade incidente, acima do limiar de fuso I m , pode ser o

suficiente para causar uma excurso de temperatura acima do ponto de evaporao, e
47
iniciar uma vaporizao intensa, seguida de ignio de plasma [ ].

45
A vaporizao provm da fase lquida, com a presso do pico de vaporizao agindo sobre
a camada fundida e a existncia de um gradiente de vapor agindo do centro para a periferia
do disco iluminado, induzindo uma remoo suplementar do metal no eixo do feixe, ou
centro do foco. Este efeito explica deposio de material ressolidificado na borda da
7 48
cratera. [ ] [ ].

A vaporizao , geralmente, acompanhada de ignio de plasma que facilita a

identificao visual do momento inicial da expulso, por meios da observao dos flashes
emitidos, que cintilam com comprimentos de onda conhecidos conforme estudado por
39
Yilbas [ ], o que permite estudo por meios fotogrficos.

Foi evidenciado por medies que na percusso durante um nmero JV suficientemente

grande de pulsos, a refletividade especular /?R relativa cai de duas ordens de grandeza,
comparada com o valor inicial Ro para largura de pulsos 100 ns com intensidade pico no
6 2
centro do fei xe Io = 3 x 10 W . mm . Isto porque alm de modificar o relevo da
superfcie alterando o ndice de rugosidade, modifica o ngulo de incidncia do feixe,
existe absoro e espalhamento de energia pela nuvem de plasma.

5.2.5. Ripples Laser

So estruturas peridicas ressonantes e no ressonantes, ocorrem na forma de mudanas
dinmicas no padro de rugosidade observadas por interferometria, quando uma superfcie
metlica se comporta como um'guia de ondas eletromagnticas, ao desenvolver interaes
com um feixe Laser incidente.

Estruturas peridicas ressonantes - As RPS (resonant periodic structures) tm particular

interesse para uma discusso qualitativa e quantitativa dos fenmenos eletromagnticos e
trmicos durante o desenvolvido do ciclo trmico da irradiao de materiais metlicos por
um feixe Laser.

Estas estruturas denotam a existncia de vetores de onda g se propagando pela superfcie,

podendo ser estudadas a partir da observao dos padres de difrao. Tipicamente tem
perodos determinados pela polarizao e ngulo do feixe Laser incidente. A dinmica do
seu desenvolvimento anlogo s instabilidades no lineares que ocorrem no caso de

46
espalhamento Raman. O fenmeno pode ser abordado por meio de dois estgios
interconectados que so a anlise eletrodinmica e a anlise termofsica.

Anlise eletrodinmica - A anlise eletrodinmica classifica e relaciona a formao

qualitativa dos fenmenos que descrevem a modificao dos contrastes, ou padro de
rugosidade superficial. H um particular interesse na segunda anlise, de natureza
quantitativa; neste estgio pode ser determinada a distribuio espacial de temperatura,
bem como a amplitude dos padres, alm da grandeza das tenses que causam a
modificao do perfil de rugosidade E,, para um dado vetor de onda G (E, G).

Resolvendo uma das equaes de Eo para temperatura, obtemos o elo de realimentao

causando o desenvolvimento regenerativo de RPS. Dependendo do fenmeno de interesse
como ondas acsticas, capilaridade, instabilidade interferente vaporizao, utiliza-se uma
equao apropriada para cada caso.

Relembrando, como o padro de distribuio de foras decorrentes da incidncia do Laser

sobre a superfcie tem comportamento tal que permite ser modelado como se toda a energia
estivesse contida no ponto central, no eixo de propagao do feixe, o ponto central do
disco iluminado pode ser referido como 'epicentro', a partir do qual emanam todas as
foras que do origem aos Ripples Laser.

Na formao de RPS dependente de temperatura" necessrio que as depresses, onde o

coeficiente de tenso superficial dependente de temperatura se torna menor, sejam mais
fortemente aquecidas que as salincias a fim de produzir realimentao regenerativa;
nestas condies o lquido ser evacuado das depresses acentuando o ndice de
rugosidade. Em contraste, para se obter o mesmo resultado nas RPS por expanso trmica
deve-se enfatizar distribuio de energia nos picos.

Por esta abordagem pode ser determinada a distribuio espacial de temperatura que em
seguida causa a induo de foras, modificando o perfil de rugosidade. Desta forma,
resolvendo uma das equaes relacionadas temperatura pode ser obtido um elo de
realimentao.

47
Discutindo as o n d a s acsticas superficiais, ondas de capilaridade sobre as superfcies

fundidas, ou na instabilidade interferencial d a frente de vaporizao, podem ser utilizadas

respectivamente a e q u a o do vetor de deformao elstica do meio, as equaes

hidrodinmicas, ou a e q u a o de vaporizao, conforme o caso. O desenvolvimento de

RPS persiste no disco iluminado at um certo nmero crtico iV cr de pulsos Laser

consecutivos, no intervalo N < N . cr Para N > N cr comeam a alterar sua natureza

gradualmente se transformando em estruturas peridicas no ressonantes N R P S .

Enquanto q u e o resultado observado dos padres de difrao, nas proximidades do

epicentro, cujo padro de rugosidade observado algo catico e desprovido de

periodicidade, ocorre q u e para um a u m e n t o do nmero de pulsos devido a interferncias

destrutivas mtuas entre as ondas, e particularmente sobre aquelas que se desenvolvem

radialmente c o m p r o p a g a o paralela s microtrincas, num ponto mais distante do

epicentro prevalece u m padro de ondas esfricas, numa configurao linear com perodo

da estrutura, proporcional ao comprimento de onda X. do Laser, sendo perpendicular ao

campo eltrico da o n d a de radiao.

Para se calcular o valor de ressonncia pode ser utilizada a relao (39), quando a radiao

for polarizada linearmente, o "perodo A da estrutura" dado por

\ = \.(l sin6)-' (39)

Com um feixe Laser circularmente polarizado, incidindo perpendicularmente superfcie,

as estruturas se desenvolveram com perodo A ~ X em todas as direes. J a taxa do

crescimento destas estruturas sob radiao circularmente polarizada muito menor, se

comparada radiao linearmente polarizada.

As c o m p o n e n t e s de Fourier da rugosidade em questo, interagindo com o vetor de onda g,

do origem a c o m p o n e n t e s de Fourier na forma d e dipolos, cujos momentos por unidade de

rea da superfcie da a m o s t r a formam um vetor resultante. O campo gerado por tais dipolos

pode interferir, abaixo da camada iluminada, com a poro refratada do feixe, causando

absoro desuniforme de energia. Isto proporciona u m a realimentao necessria a tais

estruturas para induzir u m rudo aleatrio dos harmnicos espaciais da rugosidade,

48
tornando algo caticos os padres de interferncia que alteram drasticamente o ndice de
absoro.

Anlise termofsica - O mecanismo termofisico induz a formao de RPS que responde

pelos ndices de expanso trmica, fuso, vaporizao, plasma; e tambm pelas condies
que do origem e realimentao aos fenmenos relacionados, assegurando a estimulao
da grade de rugosidade e principalmente, determinando o comportamento dos valores nas
vizinhanas de A, tambm determinando a fase instantnea do feixe O na forma O (A) no
instante da incidncia.

A fase com que o feixe incide sobre o alvo funo da polarizao e da distncia na
trajetria. Uma vez que o perodo A das estruturas superficiais influi no padro de
rugosidade, esta polarizao muda a fase de incidncia do feixe.

Estruturas peridicas no ressonantes - O mecanismo pelo qual as NRPS (non resonant

periodic structures) ocorrem ainda no foram completamente esclarecidos. Segundo um
modelo proposto pelo autor em 1985, quando o contraste da superfcie, ou melhor, seu
padro de rugosidade modificado como resultado de vaporizao no uniforme do metal,
tem lugar uma auto organizao do mesmo, devido s instabilidades ocorridas na interface
entre o plasma e o material.

A primeira evidncia das NRPS a falta de relao do perodo com o comprimento de

onda da luz X e conforme os autores, as observaes foram que (1) a fuso na superfcie
metlica requisito fundamental para a formao de NRPS tanto na presena quanto na
ausncia de atmosfera; (2) uma profuso de diversos padres NRPS no mesmo disco
iluminado com perodo variando entre 1 < A < 50 um, sempre com A * X ; (3) o perodo
das estruturas A depende da intensidade do feixe, do nmero de pulsos, e do material; (4)
padres NRPS no exibem um grau aceitvel de organizao; (5) pelos dados
experimentais disponveis fica evidente que a transio, partindo duma estrutura com
contraste superficial desorganizado para outro organizado, sempre acompanhado de
eroso, e da ignio do plasma em vapor; (6) a formao de NRPS acompanhada da
diminuio especular da refletividade, induzindo diminuio do limiar de ignio de
plasma.

49
Efeitos pticos em sistemas no equilibrados - Trataremos aqui dos mecanismos
determinantes da absoro. Para uma dada temperatura inferior de ativao de oxidao,
o feixe Laser limpa a superfcie. Para taxas moderadas de aquecimento, acontece adsoro
de molculas de gs, gua ou mesmo atmosfera, nos defeitos introduzidos durante o
aquecimento, mudando o contedo estequiomtrico da liga, e induzindo variao do
coeficiente de absoro do metal A(X) como funo da temperatura.

Isto determina uma alterao da absoro do feixe dentro da camada oxidada,

particularmente por meio das oscilaes interferentes, que influenciam no aumento da
concentrao de portadores mveis de cargas, simultneo ao aumento da temperatura. A
variao das propriedades pticas durante intensa combusto do metal, limita a difuso
gasosa e surgem novos compostos como nitretos.

2
Para nveis elevadssimos de intensidade do feixe, da ordem de 100 GW.mm' , ocorre a
formao de uma densa nuvem de plasma ofuscando o disco iluminado, que interfere
diretamente sobre a absoro definindo uma regio de fuso em confinamento inercial ICF
28
(inertial confinement fusin) [ ].

As instabilidades nos espalhamentos estimulados Brillouin (SBS) e Raman (SRS) tm

crucial importncia sobre a ICF, manifestados como modificao nas amplitudes das ondas
ion-acsticas IAW (ion-acoustic^wave) e das ondas eltron-plasma EPW {electron-plasma
wave) respectivamente, simultneo ignio de plasma. A mudana no processo de
interao acontece principalmente por meio do acoplamento entre as ondas de plasma
EPW. Os espalhamentos estimulados so muito bem definidos como o decaimento
ressonante da onda eletromagntica incidente, enquanto que as instabilidades no
espalhamento estimulado, por no serem homogneas, induzem perdas significativas da
energia contida no feixe incidente deteriorando assim a simetria iluminada necessria.

Como conseqncia do intenso campo eltrico formado no plasma, este processo de

ionizao induz a um nmero de fenmenos no lineares, incluindo um deslocamento do
comprimento de onda da radiao, por desfocamento refrativo devido a inomogeneidade da
densidade eletrnica do plasma. Isto , acompanhado da gerao de harmnicos
49
dependentes da taxa de ionizao do campo [ ]. Por causa da refrao provocada pelo
50
plasma, o pulso espalha num comportamento instvel, durante o seu bordo de subida, at
que a amplitude da onda espalhada se torna grande o suficiente para dar origem a plena
modulao entre a densidade de plasma e a amplitude do pulso Laser. Neste ponto a nuven
se torna transparente mediante o intenso brilho do feixe.

41
Prokhorov [ ], argumenta que pela equao a seguir podemos notar que a variao da
freqncia do plasma depende apenas da concentrao de eltrons, sendo que o nmero de
portadores de carga livres e a condutividade do xido sobem exponencialmente com a
temperatura. A elevao de temperatura provoca aumento da oxidao, que responsvel
pela diminuio do coeficiente de reflexo, aumentando a absoro, que favorece o
aumento da temperatura, dando origem a um ciclo regenerativo; algo semelhante ocorre
com relao ao plasma associado nuvem de vapor metlico. A freqncia do plasma QP
temperatura ambiente pode ser determinada com bastante preciso por meio da equao
(40) onde m e a massa efetiva do eltron, n a concentrao de eltrons, e a carga do
e

eltron.

(40)

A propagao de RPS com intensidades de energia na regio das deformaes elsticas, na

forma de ondas acsticas, tambm denominada "ondas de choque", so utilizadas para
realizar tratamento superficial de alvio de tenses residuais conhecido como shock
penning.

O ensaio com Laser pode apresentar uma distribuio arbitrria de intensidade temporal,
50
bem como um perfil arbitrrio de intensidade espacial [ ]. O controle de equaes fornece
soluo dos valores das propriedades termofisicas, constantes e variveis, por meio de
programa lgico usando um mtodo diferencial finito. Por este meio foi estudada a
eficincia do ciclo trmico para usinagem de carbeto de silcio por ablao, ou seja, quando
a nfase no processo de evaporao, sem formao significativa de lquido.

A induo de ondas de choque por Laser em ao inox e alumnio so conseqncia da

51
expanso de plasma em alta presso gerado pelo pulso [ ], onde a composio bsica,
ferrosa ou no, parece exercer efeito marginal sobre a presso de plasma e que a eficincia
do processo influi diretamente na qualidade do acoplamento eletromagntico entre o feixe

51
e o material, tendo como dependncia principal o meio fluido onde ocorre o processo,
interface ar ou gua.

52
Foi observado [ ] que falta de simetria da intensidade do feixe, ou a desuniformidade na
absoro deste pela superfcie, induz correntes eltricas sobre a superfcie de um condutor,
que isto parece ser devido a um momento dipolo do plasma, que pode ser observado por
meio de ripples na superfcie gerados por dois pulsos consecutivos.

6. Discusses
"O aquecimento do material por Laser principalmente determinado pela sua absoro
4i
caracterstica para um dado comprimento de onda". [ ] Prokhorov, et ali

Conceitualmente, os fenmenos intrnsecos da radiao Laser tem duas vertentes

principais a saber o feixe em si, e as suas interaes com o meio. Dentre os fenmenos que
caracterizam a radiao Laser comentamos brevemente os mais importantes, apenas para
respaldar a noo de conjunto, sem entrar no rigor do equacionamento fsico.

6.1. Eficincia do processo

O ndice de eficincia da energia contida no feixe Laser sobre o alvo, ou seja o ndice de
acoplamento entre a radiao e a pea, a quantidade de energia absorvida como funo
principalmente da intensidade do feixe incidente e tambm da qualidade do feixe. Com
respeito intensidade do feixe, mais importante a considerar a "densidade crtica
energia", ou o limiar de energia para o qual h extrao, tpica de cada material ou
composto. Como a distribuio de potncia maior no centro, diminuindo na borda do
7
feixe, o dimetro eficaz no processamento varia de acordo com a potncia pico [ ]
instantnea do feixe, para baixos valores dos parmetros.

Outro fator importantssimo o gradiente de energia incidente. Como o processo depende

inicialmente da energia convertida em calor e em seguida em vapor, seguida da energia
convenida em plasma, que cria a presso necessria para o incio da expulso, um
excessivo acmulo de calor na poa pode significar ineficincia do processo. Como
componententes quantitativos da intensidade temos o dimetro do feixe, a energia unitria,
a largura temporal de pulso e a potncia pico.

52
A eficincia do acoplamento entre o feixe e a superfcie material formada diretamente
pelos itens quantitativos e indiretamente pela divergncia, pelo fator qualidade do feixe
2
M , pelo modo TEM, pelo espalhamento, pelo formato do pulso e pelo comprimento de
onda. A divergncia, o modo TEM e o comprimento de onda podem ser considerados
como itens semiquantitativos uma vez que sua apreciao passa por valores matemticos
conhecidos e padronizados. O formato temporal de pulso foi estudado desde os primrdios
do desenvolvimento da tecnologia Laser e quase no h mais dvidas sobre as
caractersticas adequadas para cada processo como da sua relevncia.

A radiao, ao incidir sobre a matria, pode ter a sua energia dissipada por espalhamento,
reflexo e absoro. O espalhamento ocorre quando o tamanho particular diminuto, como
por exemplo poeira, partculas de gs, vapor ou gua, e no processamento por Laser ocorre
aps o surgimento da nuven de vapor metlico. A absoro pode resultar em transmisso e
outros efeitos secundrios como excitao e relaxamento. A transmisso comum em
meios ou corpos de baixa densidade cujas caractersticas fsicas e eletromagnticas tpicas,
so diferentes dos metais, nos quais a transmisso inexistente. Quando a superfcie a ser
processada metlica, uma parte de energia incidente absorvida e outra parte refletida.

Energia - E comumente aceito que a energia contida nos pulsos um parmetro

fundamental. A principal funo da energia aquecer, fundir e vaporizar o material, onde o
vapor cria presso para extrao, rompendo com as ligaes atmicas.

A principal forma de se estimar a eficincia do processo determinando a absoro de

53 54
energia por uma amostra [ ]. Entretanto segundo Bostanjoglo [ ], utilizando Laser
chaveado com pulsos curtos na faixa de 10 ns at 1 u.s, possvel remover a mesma
quantidade de material com menos energia. A explicao est na perda provocada por
conduo de calor na pea, para pulsos longos. Utilizando feixe de elevada intensidade em
pulsos curtos, a conduo de calor na pea durante a irradiao do pulso pode ser
desprezada, incluindo a diminuio da HAZ, minimizando stress residual, e inibindo a
propagao de microtrincas.

Convm enfatizar que, embora a extenso da regio afetada pelo calor HAZ produzida
tenha muita importncia na pesquisa avanada, nas aplicaes tecnolgicas a mesma tem
sido considerada desprezvel dependendo das dimenses a serem consideradas. Como a

53
energia absorvida do feixe um dos principais fatores determinantes na eficincia de

extrao de material, bem c o m o na gerao e propagao de calor, p o d e m o s descrever

conceitualmente u m a estimativa. Teoricamente, conforme a equao (41), a energia

unitria E a integral no t e m p o da potncia pico Pp durante a durao do pulso t p .

(41)

N o caso de um pulso retangular p o d e m o s supor a potncia de pico constante, e aproximar

para a energia total E como o produto entre a potncia pico absorvida Pp e o intervalo d e

tempo dado pela largura temporal d o pulso t p de acordo com a equao (42), equivalente

simplificada da equao (41).

E = Pp.tp (42)

A simplificao adotada no pargrafo anterior, dada pela equao (42) entretanto, deve ser

tomada apenas c o m o referncia da ordem de grandeza, sendo que consideraes mais

detalhadas sobre a energia unitria e intensidade, b e m como a produo das foras dentro

da p o a so mais minuciosamente discutidas no item sobre spiking. A natureza das

transformaes de energia que ocorrem durante a irradiao tem sido discutidas em

diversas publicaes. A distribuio de temperatura na poa lquida influenciada por

55
convec, induzida pelo gradiente d e tenses superficiais [ ] . Os modelos desenvolvidos

para fiirao Laser levam em considerao mecanismos de conduo de calor, fuso e

56
evaporao, mas no contabilizam o fluxo radial e eventual ejeo de lquido [ ] . Isto

demonstra u m a preocupao com o ciclo dinmico de absoro e dissipao de energia que

acontece na poa.

Segundo estudos relacionados com as o n d a s de choque, o ciclo trmico provocado pela

produo de plasma gera grande turbulncia na poa, como uma condio inicial d o
57
m e c a n i s m o de expulso lquida, d a d o pela superao das tenses superficiais [ ] . Estas

tenses superficiais correspondem a o limiar de presso de saturao do vapor, p o r m este

no um fenmeno esttico, havendo necessidade de u m a velocidade radial mnima.

54
Abordar o tema destas interaes de forma reduzida sem incorrer em mutilaes uma
tarefa difcil. Trazemos resumidamente alguns argumentos no item sobre o ciclo trmico,
que trata dessas implicaes na absoro e no aquecimento.

Com o avano no desenvolvimento da engenharia dos materiais, tornou-se primordial

estudar e formular tcnicas de processamento que levem a alteraes no apenas
cosmticas mas tambm estruturais. Processos Laser podem utilizar pulsos ultracurtos
entre nano-segundos e pico-segundos com emisso em diversos comprimentos de onda
indo desde o infravermelho at o ultravioleta, com reduzida produo de calor. Estes
processos so empregados na usinagem de diversos materiais condutores ou no, tais como
resinas e compsitos, com dimenses micromtricas [ ] e submicromtricas [ ]. Como na
parte experimental deste trabalho as caractersticas relacionadas ao processo envolvem a
gerao de calor, mencionamos a seguir os principais itens de controle.

Largura de pulso - Este tpico motivo de grande ateno na atualidade. Faremos agora
consideraes sobre a classificao do intervalo de tempo do pulso Laser, denominado
largura de pulso, durante o qual se desenvolve uma certa potncia de pico.

59
Chen et ali [ ] , estudaram o efeito do formato do feixe Laser Nd:YAG pulsado na furaco
de materiais avanados, como carbeto de silcio, superliga de nquel e compsito cermico
pelo que consideraram "pulsos longos" de 600 us e "pulsos curtos" de 300 ns. Paek &
Gagliano [ ] adotaram como "pulso longo" Tp ~ 1 ms para anlise trmica no processo de
60

59
furaco de alumina por Laser Nd:YAG. Mais recentemente, h referncia [ ] ao uso de
Laser Nd:YAG, pulsos com largura temporal na faixa de 500 u.s como sendo pulsos
longos. Neste caso considerou-se como curtos, os pulsos chaveados com durao temporal
trs ordens de grandeza menor, ou seja, fraes de micro-segundo.

61
Yilbas [ ] definiu este valor utilizando rotina de computador para determinar largura tima
62
para perfurar ao carbono e alumnio em 30 p.s. Rockstroh, et ali [ ] escreveram sobre a
"influncia da durao dos pulsos de Laser Nd:YAG na qualidade da furaco em superliga
63
de nquel", com larguras temporais variando entre 520 ps < T < 600 p.s. Riva et ali [ ],
P

escreveram sobre a furaco de alumnio, cobre e tungstnio utilizando'Laser de vapor de

64
cobre pulsado com largura temporal 20 ns. Grad & Mozina [ ] e Roos ["] compararam a

55
OMISSO NACIONAL E E N E R G I A N U C L E A H / S P IPtf
eficincia de microfuraes com Laser pulsado a Tp = 200 p.s, e com tempo total de

exposio 200 (is para trem de pulsos Tp = 5 u.s, tendo concludo que o resultado do trem

de pulsos muito superior ao normalmente obtido na furaco em metais.

A texturizao de superfcie requer um controle de parmetros, simulando uma sucesso de

66
furos cegos com baixa razo de aspecto. Poterasu et ali [ ] , concluram que pulsos curtos

50 < Tp < 70 ns so mais eficientes que pulsos longos (free running) para texturizar metais,
67
procesando ao inox e alumnio com feixe Laser Nd.YAG. Hobbs [ ] descreveu um
sistema CPA [chirped pulse amplification) construdo em Stanford, com mode-locking e
Q-switching, que produz expanso temporal, amplificao e compresso temporal dos
pulsos, elevando o nvel de potncia para muito prximo do limite terico possvel, 4 TW
68 69
a 10 fs. Recentemente desenvolvido, um sistema CPA [ ] [ ] fornece pulsos ultracurtos
com 50 femto-segundos de durao, sendo empregado na construo de stents de titnio.

68
Utilizando a tcnica C P A Tnshoff & Ostendorff [ ] escreveram sobre microfurao de
70
metais por Laser com pulsos ultra curtos; Kamlage & Noite [ ] , tambm Momma & Knop
70 71
[ ] sobre futuros desenvolvimentos mdicos na construo de stents, Momma & Noite [ ]
difrao em elementos ticos em regime de femto-segundos.

Um meio termo entre o LSS e a livre percusso a furaco por percusso controlada, com
rigoroso controle do nmero de pulsos, e fazendo o intervalo entre os pulsos muito maior
que a largura dos mesmos, os ciclos trmicos individuais so isolados entre si. Atualmente
busca-se uma discretizao dos ciclos trmicos, pela produo de pulsos curtos da ordem

de u.s < Tp < ns demonstrando uma necessidade irreversvel, de uma tendncia para se

trabalhar com pulsos ultracurtos com durao variando entre ps < Tp < fs. Por isto temos
motivos para classificar, neste trabalho, os pulsos com milisegundos de durao como
pulsos longos. Alm disso, pulsos longos de elevada intensidade tem seu efeito reduzido
pela intensa formao de vapor metlico, o que no ocorre com pulsos ultra curtos. Tendo
isto em mente procuramos construir uma conjunto de parmetros que leve na direo de
um ponto timo de trabalho para os fins de aprimoramento cosmtico da geometria.

56
Classificao - Na ausncia de uma nomenclatura uniforme para clasificar os pulsos Laser
propomos que sejam atribudos os conceitos de pulsos convencionais para mdulos que
geram Laser em Jree running, pulsos curtos para os gerados a partir de mdulos chaveados,
com largura temporal menor que um micro-segundo, e pulsos ultra curtos para aqueles
produzidos por outros dispositivos com largura temporal menor que nano-segundos. Existe
uma constatao que a irradiao por Laser provoca algum estrago, ou dano, nas
imediaes do disco iluminado, e que raramente as observaes experimentais e os
modelos tericos concordam. Como fato temos que com relao a estes danos, pulsos mais
72

curtos apresentam menor incerteza estatstica comparados aos pulsos longos. [ ].

6.2. Itens quantitativos do feixe

Os itens quantitativos que tm maior relevncia so a potncia desenvolvida, a intensidade
v

do feixe, a largura temporal do pulso, e a energia unitria do pulso. Estes aspectos so

particularmente relevantes para a capacidade de fuso e evaporao, eficincia de extrao,
velocidade do processo e formao de defeitos residuais.
Parametrizada a fonte de bombeamento para um dado conjunto de valores, o produto (43)
da freqncia dos pulsos pela integral da potncia de pico no tempo define a potncia
mdia de operao.

(43)

Os mdulos Laser chaveados possuem dispositivos mecnico-ativos, ptico-passivos,

opto-acsticos, que atuam no feixe em janelas temporais, tm aplicaes como
bombeamento indireto para gerao de feixe Laser Nd:YAG com pulsos curtos da ordem
de nano-segundo de alta intensidade. Pulsos ultracurtos da ordem de pico-segundos, so
obtidos atravs do bombeamento chaveado de potncia.

Como todo sistema fsico, o mdulo Laser apresenta perdas. Uma parte da potncia de
bombeamento convertida em radiao de corpo negro que, pelo efeito Joule se
transforma em calor. Outra parte perdida por emisso espontnea durante a amplificao
do feixe. O balano lquido resultante apresenta um rendimento caracterstico pouco acima
de um por cento para o Laser Nd.YAG.

57
 2 57
Intensidade - ndices de intensidade absorvida entre 0,5 at 5 MW . rnm ~ [ ], oferecem
timos resultados para a maioria dos metais. Para intensidades menores predominam a
conduo de calor pela pea acompanhada de perdas por reflexo, enquanto que para
intensidades muito elevadas ocorre perda de foco provocada pela nuvem de vapor, ou
ainda a drstica degradao da eficincia e da reprodutibilidade, pela ionizao induzida do
ar. A perda de foco se d por espalhamento induzido pelo plasma e conseqente reduo da
7
absoro alm de criar risco operacional devido emisso de brilho intenso [ ].

Para dissipar a nuvem de plasma pode ser usado gs de assistncia a presses elevadas
73
agindo como puno. Segundo Battista & Shiner [ ], para ndices elevados de intensidade
do feixe uma considervel parcela da energia incidente convertida em fuso e
vaporizao, uma vez que a relao entre a taxa de energia convertida e a energia perdida
aumenta consideravelmente. Dado que h necessidade de prvia fuso e em seguida a
presso da vapor para expulso de material fundido, no processo de furaco importante
que se veja estes dois elementos como um conjugado.

Na vaporizao o local inicia por ionizar podendo produzir plasma. A expanso de vapor e
plasma transmitem uma frao da energia por meio de ondas opto-acsticas, ou ondas de
choque. A depresso resultante induz significativa expanso da nuvem de vapor excedendo
as tenses superficiais, presses hidrostticas, e rompendo a hidrodinmica da poa
lquida. A mudana do regime tehnoelstico para o regime plasmtico, ou ablao,
denominado simplesmente 'regime', que depende principalmente das propriedades fsicas
do material exemplifica tipicamente a transio das interaes lineares para interaes no
lineares, entre o pulso Laser e o material.

O valor da intensidade aceito como sendo um dos parmetros de maior relevncia para se
determinar tanto a eficincia do processo como tambm seu resultado cosmtico. A
intensidade I do feixe dada pela densidade de potncia, razo aritmtica entre a potncia
pico P do feixe e a rea A da seo transversal do mesmo, dado na equao (44). Nesta
relao fica claro que, para um mesmo feixe, a intensidade aumenta quando o disco
iluminado diminui. Este funo dos cuidados com a determinao do foco e da lente
focal utilizada.

58
 1 2
I = P . A" [W . mm " ] (44)

A taxa de elevao da amplitude no tempo ou gradiente, bem como o acmulo de foras

induzidas por meio de um pulso de elevada potncia provocam uma deformao plstica
completamente diferente dos moldes conseguidos por meio de uma radiao com menor
gradiente ou com intensidade moderada. Sendo a magnitude do stress acumulado uma
60
funo essencial do perfil de temperatura [ ], desejvel e prefervel utilizar um feixe
com intensidade suficientemente elevada em pulsos curtos da ordem de nano-segundos
minimizando assim o efeito de stress.

Tenses so induzidas pela incidncia do feixe sobre o alvo que exercem presses que
correspondem a um efeito puno no ponto de trabalho, provocando deformaes elsticas
que so absorvidas e devolvidas pelo material em questo, e deformaes plsticas que so
responsveis pela extrao de massa. Como contrapartida das elevadas presses na regio
do disco iluminado, na rede cristalina ao redor da poa lquida se formam depresses
atuando como foras de recuo dando origem a vrtices que modificam a orientao das
tenses superficiais que, at certos nveis de intensidade de energia incidente, atuam no
sentido de devolver a conformao anterior. Esta faixa de energias pode ser entendida
como correspondente memria elstica, sendo que parte desta energia se converte em
calor aquecendo a superfcie da pea. Acima do limite de fuso, h uma ruptura das
tenses superficiais e o material fica susceptvel a expulso de uma parte da poa lquida,
quando ocorre desequilbrio dinmico entre as tenses superficiais, o que faz a poa perder
energia entrando no ciclo de recuo novamente peio arraste de uma parcela da sua energia
39 56 74
que pode ser observada na forma de cintilaes projetadas [ ] [ ] [ j que excede o limiar
crtico, ou seja, a energia mnima necessria para mudana de estado fsico. A intensidade
do feixe alcanada para furaco e corte com Laser neodimio, quer com comprimento de
2 75
onda 1064 nm ou com freqncia multiplicada, pode variar desde 100 kW . mm " [ ],
2 53 2 60 2 76 2 77
lMW.mm' [ ], 2.2 MW . mm " [ ] , 160 MW . mm " [ ] , 90 GW . mm ' f ] e acima
2 78
de 10 TW . mm " [ ] com Laser titnio-safira (Ti: AI2O3) conhecido como sapphire Laser.

Absoro - O feixe ao atingir o alvo tem parcela da sua energia absorvida, sendo que a
parcela complementar refletida. A refletividade uma funo intrnseca do acoplamento
entre o comprimento de onda da radiao Laser e a estrutura do material. Estudos a
respeito da absoro de feixe Laser sobre Au, Cu e Ag demonstraram acentuada queda nos

59
ndices de absoro, de 60 % para menos de 10 %, para comprimentos de onda 450, 550 e
6
600 nm respectivamente [ ].

O coeficiente de absoro tpico para um dado comprimento de onda da radiao

incidente, que interage com sua estrutura a uma dada profundidade de penetrao, dadas as
CNTP. A absorcividade est intimamente ligado refletividade intrnseca, mas tambm
depende de outros fatores como temperatura superficial, rugosidade, composio do gs de
proteo e assepsia.

Temos um binmio dado pela seguinte equao E + ER = 1, onde EA a energia absorvida

A

e E a energia refletida. Um estudo da eficincia da incidncia de um processamento por

R

Laser requer uma abordagem na qual um quesito fundamental o conjugado dado pelo
acoplamento entre a energia do feixe e as caractersticas do material. O coeficiente
intrnseco de absoro pode ser determinado experimentalmente por uma de duas
maneiras, mtodos calorimtricos e medio da refletividade.

Uma vez que se espera um elevado coeficiente de refletividade, a medio da mesma

algo problemtica pelo fato que uma suposta variao na reflexo de 98 % para 99 % torna
a deteco da variao quase imperceptvel em termos prticos. Por outro lado, para a
mesma situao, a absoro varia de 2 % para 1 % o que indica claramente uma variao
de 50 %. Isto particularmente verdadeiro para um feixe Laser infravermelho ou com
53 79
largura de pulso da ordem de mili-segundos [ ] [ ].

Implicaes sobre o processo de furaco - H um certo consenso a respeito dos

processos Laser envolvendo calor, atribuindo sua eficcia velocidade de propagao da
interface lquido-vapor. A extrao de material inicia por meio de instabilidades nas
tenses superficiais, que provocam fluxo radial na poa lquida, sendo seguida pela
78
vaporizao, e no final do pulso mantida principalmente pelas exploses de plasma [ ]

n n.
O fator de controle provavelmente a variao da tenso superficial. Semelhante
cavitao, o resultado da sublimao do material gera nucleao das bolhas de vapor,
produzindo a ejeo de partculas rpidas por meio de exploses no interior da poa

60
lquida; contudo o comportamento a altas temperaturas no conhecido suficientemente
bem para permitir uma explanao adequada.

Por meio das fotos, foi observado que a 10 u.s do incio do pulso, surge uma cintilao
vaporizada com certa freqncia que, a 300 u,s decai consideravelmente correspondendo a
uma pequena quantidade de vapor + liquido; nestas regies h intensa e rpida expanso na
produo de plasma.

82
Foi demonstrado [ ], por meio de Laser CO2 de alta potncia, que a ejeo de material
formando uma superfcie plasmtica teve efeito sobre a conformao do furo, que indicou
ser particularmente verdadeiro para os primeiros 10 us. Neste caso, foi sugerido que
encurtar para 5 |as melhora a furaco, pois o efeito do plasma minimizado.

Dois tipos de ejeo lquida foram constatados; um pela observao de traos cintilantes
mais lentos e ngulos rasos, produzidos na regio trmica onde h produo de vapor,
cujas partculas lentas so expelidas primeiramente devido ao fluxo radial, com baixo
gradiente de presso. O segundo tipo comea 100 pis aps, envolvendo partculas rpidas,
muito finas, que formam ngulos ngremes, prximos normal da superfcie, ejetadas
quase que continuamente, devido exploses seguidas de nucleao no interior da poa
lquida, coincidindo com o aumento do gradiente de presso, dando origem a partculas de
velocidade elevada.

A nuvem de vapor que se forma na trajetria de feixe pelo acmulo de partculas de vapor
entre o bico e a pea, ofusca a iluminao no ponto de trabalho, diminuindo a intensidade
incidente, gerando distores na distribuio de potncia, modificando o ndice de
absoro superficial, mas tambm funcionando como fonte de calor em regime
estacionrio.

Esta fonte de calor importante uma vez que as partculas expelidas carregam certa
quantidade de calor para fora da pea, empobrecendo o teor de energia na poa, e fazendo
com que haja retrocesso das foras de convexo. Estas agem no sentido de retrair a
expanso inicial gerando foras de recuo, que ao se chocarem com uma nova onda de
presso do origem a ondas de choque, tendo sido denominadas repercuso.

61
Em chapas finas, a presso repercute na lmina lquida induzindo foras de arraste
suficientes para empurrar material ao longo das paredes do furo, expelindo partculas
lquidas, ou limpando a cratera na superfcie adjacente.

O lquido residual aderido parede do furo sugado por tenses superficiais para
ressolidif\car-se em seguida, quando as altas presses so aliviadas e foras de arraste so
reduzidas, tapando o furo. Portanto num bloco, como o material fundido removido da
cratera antes que a interao seja completada, esta quantidade de massa arrasta consigo
parte da energia da cratera, ou da poa lquida, provocando assim penetrao mais lenta o
80
que inibe a velocidade do processo [ ], at mesmo inibindo seu avano.

A alta difusividade trmica e elevado ponto de fuso, influenciam na velocidade de

furaco. H que se esperar, portanto que uma comparao entre metais com ponto de fuso
idnticos apresente maior eficincia e maior velocidade de furaco para aquele que tiver o
menor coeficiente de difusividade trmica. O titnio com baixa difusividade trmica e
elevado coeficiente de absoro apresenta gradiente de temperatura bem maior que o
nquel, inox e tntalo. Consequentemente o titnio evapora mais rpido dando origem a
alta 'repercusso' na faixa trmica de evaporao, com isto aumentando a cratera e
tambm a massa removida. Curiosamente, o ao inox tendo ponto de fuso apenas
ligeiramente superior e com difusividade trmica sensivelmente mais baixa que o nquel,
fura mais lentamente.

A falta de uma definio sobre as propriedades fsicas dos materiais quando submetidos a
elevados gradientes de temperatura, sugerem que outros fatores desempenham papel
importante nos processos de interao. Por exemplo, no mecanismo de transferencia de
energia no interior da pea via plasma, ou como funo da velocidade de furaco.

O processo de ejeo lquida passa por diferentes fases, de acordo com o progresso do
pulso, no incio, ao mesmo tempo que comea o vapor, partculas muito lentas so
ejetadas, provavelmente como resultado do lquido fluindo radialmente para fora do furo,
devido a reduo de presso de evaporao na superfcie; com o progresso do pulso,
aumenta o gradiente de presso, e com isto a velocidade do liquido; isto contribui para a
extrao de maior massa com menor interferncia do vapor sobre o processo para pulsos

62
longos. Dependendo da freqncia dos pulsos na percusso, o intervalo entre o mesmos
pode ser superior ao tempo de relaxao trmica, dependendo do coeficiente de difuso e
da refletividade, para pulsos longos com elevada energia pode acontecer da absoro
caracterstica em estado lquido perder eficincia, recompondo a reflexo na poa, e dando
6
origem conicidade reversa [ ] que constatada na forma de barreling, com o alargamento
no interior do furo e estreitamento da sada, como ser analisado na parte experimental.

Difusividade trmica caracterstica do material prejudica a reteno do calor durante o

processo, e como os metais e ligas tem alto coeficiente de difusividade, o estudo do
processamento de metais por Laser um assunto da maior importncia.

Ponto de fuso desempenha um papel relevante com relao a eficincia de extrao,

posto que o material extrado passa inicialmente por fuso que modifica as tenses
superficiais favorecendo o ganho de energia no sistema. Dependendo do caso, a qualidade
pode ser fortemente influenciada quando processado um material com baixo ponto de
fuso, como no caso do alumnio, uma dada quantidade de energia suficiente, porm isto
pode tambm significar excesso de respingos se a potncia for insuficiente.

Ponto de evaporao consitui particular interesse, visto que por meio da presso
exercida pelo vapor que acontece o rompimento das tenses que levam expulso do
material previamente fundido no alvo do feixe.

Homogeneidade estrutural um fator que pode influir pois em estruturas complexas pode
haver diferentes interaes para regies de diferentes constituies; isto tem implicaes
reduzidas quando se trata de metais ou ligas, identicamente quando se trata de potncia
elevada e intensidade elevada conforme estudado a seguir, geralmente por meio de pulsos
curtos. Pode ser desconsiderada uma vez que os fornecedores asseguram parmetros
mnimos de confiabilidade.

6.3. Itens de controle

Para que o feixe percorra o espao entre o ressonador e o alvo, seria interessante que o seu
dimetro pudesse ser mantido constante, mas como j mencionamos existe um fator de
divergncia; alm disto existe um fator limitante que concorre para o stress e degradao
do coating na superficie dos espelhos, trata-se da densidade de potncia, ou ainda

63
intensidade do feixe, ou simplesmente 'intensidade'. Um feixe com intensidade
excessivamente elevada danificaria precocemente estes elementos. Como recurso
preventivo de praxe expandir o feixe no trem ptico para atenuar a intensidade e tambm
a divergncia. O feixe ento se propaga com baixa intensidade para ser ento focalizado
sobre o alvo.

Qualidade da lente de focalizao um item de grande importncia neste processo, uma

vez que pode provocar distores sobre a qualidade do feixe Laser comprometendo a
eficcia do processo.

Posio do foco ou posio focal a distncia do foco com relao superficie do alvo, e
tem desempenho fundamental em processos de grande preciso.

Distncia focal da lente uma caracterstica intrnseca da construo da lente utilizada

para focalizar o feixe sobre o alvo. A pelicula de material exposta ao feixe deve ter suas
condies monitoradas para que estejam em conformidade com as previamente
estabelecidas. A pelcula em questo compreende a rea de incidncia do feixe sobre o
alvo, confinada a uma profundidade de penetrao, resultando num disco iluminado. Entre
as grandezas fsicas que implicam em maior impacto temos as abaixo mencionadas.

Espessura da amostra, ou lmina, um parmetro importante pois num alvo de espessura

acima de 1 mm consideramos que a dissipao de calor ocorre segundo um modelo
denominado semi esfrico, ao passo que para chapas muito finas o modelamento de
propagao de calor planar, considerando que a incidncia do feixe iluminou toda a
espessura da chapa, simplificando os clculos. Isto os torna mais precisos, motivo pelo
qual so preferencialmente utilizados nos laboratrios de pesquisa fundamental.
Processamento de furos cegos em placas multicamadas com espessura em torno de 50 u,m,
na indstria de telefones celulares, indicam melhor performance e dos sistemas
6
empregando Laser UV:YAG [ ],

Temperatura do alvo - num diferencial de tempo anterior incidncia do feixe, a

temperatura superficial um fator relevante que influi principalmente na forma pela qual
ocorre a difuso, j que esta funo da temperatura local. Para prevenir flutuaes nos
resultados do processamento a temperatura ambiente da sala mantida constante.
64
Refletividade esta relacionada com o coeficiente de absoro, com o ngulo de incidncia
do feixe, com a rugosidade superficial do alvo, e em casos especficos pode-se adicionar
uma camada absorvedora de tinta ou xido para favorecer a absoro inicial do feixe.
imperioso salientar que alguns nano-segundos aps o incio de um pulso longo as
condies iniciais de refletividade mudam drasticamente, como veremos adiante ao
propormos o conceito de pulso longo.

0 ambiente necessrio ao trabalho com Laser tem caractersticas peculiares. A

temperatura estvel condio indispensvel manuteno das caractersticas do Laser,
temperatura elevada tambm influi sobre a estabilidade do ressonador, devendo ser
mantida amena. A umidade ambiente excessiva pode implicar em mudanas na
v
reflexividade do alvo e na formao de plasma. A poeira um item proibido quando se
trata de processamento por Laser, principalmente porque se deposita sobre os elementos do
caminho ptico como lentes e espelhos, comprometendo a qualidade do feixe e
principalmente diminuindo o limiar de dano destes componentes.

O gs de assistncia tem quatro funes: (a) proteger a lente e o bico contra o vapor
metlico e os respingos de metal fundido que so arremessados durante o processo;
> (b) formar uma pelcula de revestimento que recobre a superfcie do alvo assim evitando o
contato com a atmosfera; (c) expulsar a nuvem de vapor que se forma sobre o alvo
ofuscando a incidncia do feixe sobre o mesma, e (d) resfriar o alvo por conveco
forada. Esta ltima funo pode ser considerada contraproducente uma vez que a
eficincia do processo est diretamente ligada conservao de calor. Entretanto h que se
ponderar que em alguns casos um excessivo acmulo de calor na poa pode contribuir para
uma dinmica trmica local pouco favorvel aos resultados cosmticos.

Trs fatores relacionados ao gs influem no resultado do processo. (1) A presso

responsvel pela otimizao das funes acima. (2) A composio do gs um fator de
relevncia microestrutural que pode influir sobre a migrao intersticial no caso de He ou
H devido ao raio atmico reduzido, podendo reagir quimicamente com a estrutura do alvo
no caso de O2 gerando f oxidao local" pode tambm acentuar a porosidade inerente ao
processo. Acontece que o consumo de gases nobres com finalidade de proteo pode tornar
o processo oneroso dependendo do fluxo requerido, assim damos particular ateno sua

65
escolha. ( 3 ) 0 design do bico e a distncia entre o mesmo e a pea, designado por work
nozzle, influi na forma como o fluxo de proteo gasosa escoa pela regio de incidncia do
feixe, alterando a forma como acontece a expulso de material fundido. O bico no deve
estar muito prximo da superfcie a ponto de obstruir a sada do gs e do material extrado,
mas tambm se estiver muito distante a contribuio do gs pode ser anulada.

Para utilizar um conceito de engenharia reversa, os resultados so fixados e durante o

processo se procura caminhos que determinem os parmetros mais adequados. Na
engenharia reversa h que se supor os porqus para se conseguir desenvolver artifcios que
contribuem para os resultados esperados. Nosso trabalho experimental est confinado entre
as condies oferecidas pelo equipamento e as necessidades de aprimoramento do
processo, opes tais como material, tipo de processo que no caso presente a
microfurao, finalidade de uso, conjunto de propriedades fsicas, caractersticas
mecnicas ou cosmticas.

A isto se soma uma caracterstica dos ensaios em laboratrio nos quais os parmetros so
controlados por um sistema de malha aberta. A literatura no menciona a existncia de um
controle de processo Laser em malha fechada para controlar os parmetros, o que torna o
processo bastante artesanal.

6.3.1. Formato do pulso

O que vem a ser interpretado como formato retangular de pulso apenas um conceito
geomtrico idealizado. Segundo este conceito, durante o pulso de energia bombeada para a
lmpada, a potncia de pico desenvolvida pela fonte constante, tendo bordos de subida e
descida com gradientes tendendo ao infinito, o que uma abstrao matemtica que no
corresponde ao desempenho dos dispositivos fsicos. Alm disso, existem caractersticas
intrnsecas que so tpicas do ressonador e da fsica da gerao Laser, que distorcem o
formato do pulso teoricamente retangular.

Um feixe produzido em free path apresenta um perfil temporal cuja envoltria tem formato
trapezoidal, com distores no bordo de subida e de descida, que so enfatizadas na
medida em que diminui a largura de pulso. Deformaes no nvel de potncia provocadas,
como produto decorrente dos vrios fenmenos interdependentes que ocorrem durante a
fase de emisso e amplificao Laser.
66
Podemos interpretar este fenmeno luminoso instvel de forma simplificada no exata, por
analogia ao que ocorre com todo sistema fsico ao ser excitado por uma funo
descontnua, degrau ou mesmo estmulo Dirac. Dependendo do gradiente de excitao de
um dispositivo ptico ou eletrnico, h produo de harmnicos de elevada ordem, com
diversas intensidades que se sobrepem, formando um padro aparentemente catico na
sada do sistema durante um perodo transitrio, tambm denominado surto. A emisso
Laser particularmente muito mais susceptvel por causa da elevada potncia.

Assim, o formato temporal do pulso luminoso, obtido no ponto de trabalho, o resultado

das caractersticas da fonte, associadas ao processo de produo Laser na cavidade,
juntamente com eventuais recursos implantados por dispositivos de chaveamento, bloqueio
de modo TEM, ou compressor-amplificador de pulsos. Este ponto melhor exemplificado
e ilustrado no item que descreve a CPML.

6.3.2. Spiking

As diversas fases de formao do pulso Laser resultam num padro ptico temporal com
irregularidades pontiagudas, que como o prprio nome deixa supor, so semelhantes a
pregos ou cravos (spike), como resposta a uma excitao supostamente retangular, ou plana
3
no bombeamento. Steffen [ ] cita a vantagem dos spikes de 300 ns, muito agudos, na
furaco de materiais termicamente sensveis, pois os ciclos trmicos ficam isolados.

Ao analisarmos o perfil do pulso Laser por meio de osciloscpio calibrado para enfatizar
os picos de potncia, face aos distrbios gerados durante a amplificao do feixe no
interior do ressonador, podemos constatar a formao de spikes. Estes argumentos so
ilustrados no Captulo Experimental, tendo sido registrados na caracterizao da CPML.

Vem sendo desenvovida anlise acurada dos itens qualitativos do feixe com relao s
distores temporais dos pulsos e uma delas se refere aos picos um tanto aleatrios
presentes nos pulsos retangulares, cujos picos apresentam largura FWHM da ordem de 500
7
ns enquanto que o intervalo entre os mesmos maior que 1 u.s [ ]. Uma seqncia
controlada destes spikes produz furos de muito boa qualidade, enquanto von Allmen
menciona o uso de duplo estgio oscilador-controlador de spiking, para produo de Laser
Nd.YAG com pulsos planos.

67
 41
Ao ser utilizada uma tcnica para agir como ignitor de plasma [ ] foi recomendado um
formato especial de pulso para um mximo acoplamento trmico entre o feixe e a
superfcie de trabalho.

6.3.3. Desempenho esperado

Com relao velocidade de penetrao, ao posicionamento e ausncia de setup de
ferramenta, o processamento por Laser tem demonstrado viabilidade ilimitada. Conforme
80
foi publicado [ ] a investigao sobre a velocidade de usinagem na furaco por Laser
indicou forte relao entre velocidade do processo e a propagao da interface lquido -
vapor, que pode ser expressa em termos dos mecanismos de transferncia de calor que
ocorrem na interao Laser-pea..

O material extrado no incio do pulso Laser forma uma nuven de plasma que afeta o
83
formato do furo |_ ], sendo isto particularmente verdadeiro para os primeiros 10 us de
interao. Foi sugerido que encurtar os pulsos para 5 us exerce efeito positivo, pois o efeito
do plasma minimizado. A presso de vapor somada s tenses superficiais e presso do
84
gs de assistncia [ ] foram a camada lquida a escoar pela parede interna do furo. Este
85 86 87
escoamento tem sido denominado ablao [ ] [ ] [ ].

Recentemente, o termo ablao tem sido interpretado como a remoo de material por um
processo no trmico, utilizando" ftons ultravioleta, em pulsos ultracurtos com energia
suficiente para quebrar as ligaes atmicas, que vem apresentando excelentes resultados
88
cosmticos inclusive para microfurao. Schaeffer [ ] aborda o estudo deste fenmeno que
tem mais de uma conotao. Este termo indica escoamento, ou descamao, sendo
amplamente utilizado quando se trata de deslizamento das geleiras, e perda de massa na
fuselagem dos foguetes durante a reentrada na atmosfera, mas tambm tem a conotao de
remoo cirrgica. Desta maneira, a idia est presente no mbito da tecnologia Laser,
associando este termo tambm ao deslizamento laminar do material fundido.

Para estudar a razo ente evaporao e fuso, Yilbas utilizou Laser Nd.YAG, largura de
pulso 1,48 ms, energia entre 15 e 30 J, distncia focal da lente 51 mm, no qual foi montado
um conjunto ptico, que registrou imagens. A natureza do mecanismo foi examinado por

68
traos fotografados da interao do feixe Laser pulsado sobre extrao, em titnio, tntalo,
nquel e ao inox. Os modelos desenvolvidos para furaco por Laser levam em
considerao mecanismos de conduo de calor, fuso e evaporao, mas no contabilizam
56
o fluxo radial e eventual ejeo de lquido [ ].

As foras de arraste que empurram material lquido ao longo das paredes do furo, pela
tenso da lmina lquida, suficiente para limpar a superfcie adjacente dos danos internos
da cratera. O lquido residual aderido parede do furo sugado por tenses superficiais e
ressolidifica, podendo inclusive tapar o furo. Como conseqncia, a velocidade de avano
da interface lquido - vapor fica comprometida. A contribuio do ponto de fuso e da
difusividade trmica do metal comprometem a velocidade do processo por causa da
conduo de calor na pea, que influi diretamente na perda de energia.

Assim, os experimentos com tntalo apresentaram baixa velocidade de furaco, por ter alta
difusividade trmica e alto ponto de fuso. No entanto, surpreendentemente aquele
trabalho demonstrou que o inox fura lentamente, apesar da baixa difusividade, indicando
que estes parmetros interagem com outros fenmenos cuja interdependncia ainda
permanecem um tanto obscuros como a intensidade do feixe, o comportamento cclico da
nuvem de vapor metlico e a oxidao provocada pelos efeitos fsicos na incidncia da
radiao e seus efeitos trmicos.

39
6.3.4. A extrao como funo da temperatura superficial [ ]
Os efeitos resultantes da radiao foram estudados por meio de fotos durante a incidncia
de pulsos. A 10 us do incio do pulso, apareceu na superfcie uma cintilao indicando o
incio da expanso da nuvem de vapor. Logo em seguida inicia a extrao lquida
provocada pelo fluxo radial, provocado pelo desequilbrio da tenso superficial. Aos 100
us, um aumento no gradiente de presso deu origem a partculas de alta velocidade que
foram ejetadas quase continuamente, devido exploses seguidas de nucleao dentro da
poa lquida. Como resultado da nucleao das bolhas de vapor, o fator determinante no
controle provavelmente a variao da tenso superficial com o crescimento da
temperatura.

69
Aps os 300 us ocorre rpida e intensa expanso de plasma se o furo for raso e a
intensidade do feixe for elevada, decaindo consideravelmente a extrao de vapor e
lquido. O plasma age, ento, como fonte de calor melhorando o resultado. O processo de
ejeo lquida passa por diferentes fases, de acordo com o progresso do pulso. No incio o
lquido flui radialmente para fora do furo reduzindo a presso de vapor na superfcie. Em
seguida aumentam o gradiente de presso, e tambm a velocidade do lquido.

O formato dos pulsos pode ser determinante na extrao. O baixo gradiente inicial de
presso d origem ao fluxo radial, seguido da fase de nucleo do vapor com elevado
gradiente de presso, coincidindo com o aumento da temperatura. Contudo nas altas
temperaturas o comportamento no suficientemente conhecido para permitir uma
explanao ampla e adequada.

A remoo de material por vapor ou lquido, no se trata de um processo contnuo, mas

com exploses altamente luminosas na superfcie que podem ocorrer devido a absoro do
feixe Laser incidente por parte do lquido ou vapor, causando reduo temporria na
intensidade de potncia do feixe. Isto pode reduzir a quantidade de fluido ejetado do furo
que reduzindo o bloqueio do feixe produz outra cintilao em seguida. Por meio de um
40
modelo de superfcie, Shayler [ ] estimou que a remoo acontece principalmente por
5 2
vaporizao para intensidades da ordem de 10 W . mm ' , enquanto a remoo lquida
7 2
dominante para intensidades de IO W . mm " .

A atenuao do feixe pode ocorrer na superfcie do plasma que no entanto funciona como
fonte armazenadora de calor, mantendo a furaco contnua e melhorando sua cosmtica
47

[ ]. Um aumento intenso na evaporao seguido do ofuscamento do feixe na poa o que

reverte o gradiente de temperatura e de presso. Pelo sopro do gs, a nuvem dissipada e
novamente torna a subir a temperatura e presso na poa. Este ciclo dinmico parece
determinar a nfase do processo com base na durao temporal dos pulsos.

7. Mtodos de furaco
89
H trs diferentes mtodos [ ], para aplicaes com exigncias diferentes tendo resultados
diferentes. Os trs mtodos de furaco por Laser so por pulso nico ou LSS, percusso e

trepanao. Para caracterizar estes tipos podemos utilizar uma varivel com clusters ^Fde

70
fator de forma, ou razo de aspecto. A razo de aspecto a relao entre a profundidade e
o dimetro dos furos estudados. Comumente se denomina furo um orifcio que atravessa
uma chapa. Entretanto, o rigor gramatical indica outra forma de classificar pela geometria,
que pode ser furo cego para furos feitos em apenas uma das faces e perfurao para furos
que atravessam a amostra.

7.1. Laser Single Shot - L S S

L S S o processo no qual se dispara um nico pulso sobre uma amostra, mantendo o feixe

e o alvo fixos um em relao ao outro. A razo de aspecto F varia bastante, sendo difcil

estimar previamente por meio de clculos. N a forma equacionada fica que a < < J3,

onde a ~ 1 e P 1. Este processo geralmente utilizado em estudos para se avaliar a

eficincia energtica de eroso do feixe, ou perfurao onde a qualidade cosmtica tem

relevncia marginal. Para diagnosticar, o stress residual existente na regio abaixo de uma

superfcie processada por meio de calor intenso, pode ser utilizado L S S construindo

microfuros, os quais servem como janelas para posterior anlise interferomtrica. N a

microfurao de placas multicamadas, com diferentes caractersticas de condutividade

eltrica utilizado L S S para formar furos cegos. Outra aplicao do L S S o implante

inico no substrato para fabricao de circuitos integrados. Constatando que pulsos curtos

produzem estrago com menor incerteza estatstica, esto sendo realizados estudos para

aplicao em cirurgia oftalmolgica utilizando L S S com largura de pulso da ordem de

90
femto segundos, para preciso submicromtrica.[ ]. Tambm denominado cratera, o furo

obtido por L S S n assim conhecido principalmente por resultar numa geometria errtica.

Numa conceituao mais precisa, a cratera a eroso produzida por exploso decorrente,
86
de uma frente de onda opto-acstica durante sua propagao num meio inelstico [ ] .

7.2. Percusso

E o processo no qual um trem pulsos Laser, com ou sem controle no nmero dos pulsos,

disparado sobre sobre a pea num perodo tempo. um processo no qual a eroso do alvo

progressiva podendo ou no ser controlada. N a percusso, o feixe e o ponto de trabalho

tambm esto fixos um em relao ao outro. A razo de aspecto de um furo obtido por

percusso pode variar entre 1 < F < 10" onde n < 3, e geralmente utilizada em furo

cego com alto ndice de sofisticao, na produo de galerias para arrefecimento ou para

71
 92
lubrificao com geometria e profundidade preestabelecidas. [ ] A percusso utilizada
tambm para fazer o piercing, um furo guia para o incio da trepanao.

7.3. Trepanao
o processo no qual o feixe Laser se move com relao ao alvo enquanto um trem de
26
pulsos incide sobre a pea. Tambm chamado furaco helicoidal [ ], utilizado em
furaces com elevada exigncia, e geralmente aplicada em rnicrofurao com baixa razo

de aspecto tendo < 2, ou em rasgos de geometrias complexas, um meio termo para corte
de dimenses reduzidas. Este termo dado ao processo por similaridade ao serrar do
crnio para cirurgia cerebral utilizando trpano. O dimetro do furo geralmente bem
maior do que o dimetro do feixe, por isso havendo necessidade do deslocamento do feixe
sobre a superfcie. O trpano uma ferramenta circular de corte, idntica a uma serra copo.
Existem trs possibilidades de deslocamento, que pode ser por meio do movimento do
feixe mantendo a pea fixa, ou trasladar a pea mantendo fixa a posio do feixe. Uma
93 94
terceira opo a mtua translao. [ ] [ ]

7.4. Consideraes
Um desafio considervel que se faz atualmente a rnicrofurao dos circuitos impressos
para dispositivos eletrnicos de consumo como telefones celulares e pam-ops,
principalmente devido s presses de mercado no sentido da miniaturizao e reduo de
massa com aumento da qualidade e confiabilidade, cuja demanda j vem sendo
crescentemente reprimida a algum tempo sem expectativa de reverso, apontando nmeros
indicadores de performance. Estes processos podem ser executados opcionalmente por
recursos mecnicos de no mnimo 6 u.m, sendo que o custo para dimetros de 10 u.m j
95
proibitivo [ ]. Apenas no mercado mundial de aparelhos para telefonia celular, houve um
6
aumento de 43 para 60 % na utilizao de Laser pulsado em processos de rnicrofurao [ ].

No Japo 90 % dos processos de rnicrofurao para indstria eletrnica feito por Laser,
j nos EUA esto sendo realizados esforos emergenciais de upgrading em sistemas Laser
Nd.YAG, inserindo bombeamento por semicondutores, triplicadores de freqncia e Q-
switching. Na comparao do Laser Nd.YAG com o Laser CO2, este tem a preferncia por
furar dieltricos mais rapidamente. J o Laser excimer oferece maior rapidez podendo
perfurar um arranjo multicamadas em vez de uma pea de cada vez. O ultra violeta mais

72
eficiente por realizar extrao sem fuso, e por isto sistemas Laser hbridos esto sendo
desenvolvidos e utilizados.

Geralmente, como no caso da CPML, as mquinas dispem de recurso para controlar um

obturador, atravs do qual possvel isolar apenas um nico pulso Laser. A energia de um
nico pulso do feixe Laser suficiente para provocar a extrao desejada, o obturador
60
libera a passagem do feixe durante uma janela de tempo suficientemente pequena [ ].
Quando so necessrios vrios pulsos o obturador permanece aberto, para passagem de um
trem de pulsos sobre o ponto focal.

A trepanao semelhante a um corte circular de dimetro reduzido, que pode variar da

ordem de algumas dezenas de microns at alguns milmetros, utiliza feixe com pulsos de
menor energia buscando maior qualidade e menor extrao, assim isolando os ciclos
trmicos em cada pulso, e tem sido empregada em processos de acabamento primoroso,
realizando extrao de material em quantidades muito reduzidas para cada pulso, o que
resulta na diminuio na velocidade do processo.

O furo cego utilizado na desobstruo de regies danificadas, em ensaios para determinar

a eficincia de um nico pulso, e na texturizao de superfcies. A utilizao de furo cego
96
apoia estudos na determinao de parmetros como limiar de fuso e evaporao [ ]. Nos
ensaios realizados para verificar a qualidade cosmtica, um dos resultados apresentados foi
uma evidente ineficincia do feixe em perfurar. Abaixo de um determinado valor de
intensidade no h expulso do material mesmo fundido, fenmeno este que inviabiliza a
perfurao apesar do aumento de energia.

73
74
 Captulo II - Parte Experimental

Neste captulo, nosso propsito voltado a discutir os fenmenos, e detalhar a influncia e

o controle dos parmetros envolvidos no processo de microfurao. Tratamos inicialmente

de aprofundar a descrio da C P M L , em seguida sua parametrizao, logo aps discutindo

o aprimoramento das caractersticas do feixe. Foi dada ateno especial aos parmetros

cujo controle concorrem mais fortemente para aprimorar os resultados desejados.

Figura 6 - Vista da estao de trabalho dentro do laboratrio C P M L

8. Central de Processamento de Materiais por Laser - CPML

O mercado brasileiro de servios para processamento de materiais por Laser abastecido

quase que exclusivamente por equipamentos Laser CO2 de mdia e alta potncia. Algumas

empresas utilizam sistemas dedicados, tendo sido concebidos e destinados exclusivamente

s suas prprias necessidades. Uma vez que tais recursos no atendem a todas as

aplicaes, nem tampouco s necessidades "das pequenas manufaturas, uma expressiva

parcela do mercado relacionado usinagem de preciso por meios avanados permanece

desassistida em face s exigncias do mercado, pondo a perder inmeras oportunidades de

97
negcios e desenvolvimento. [ ]

OMISSO NACIONAL DF E N E R G I A NUCIEAW/SP

75
Tentando minimizar este problema, o Centro de Laser e Aplicaes do IPEN (Instituto de
Pesquisas Energticas e Nucleares) desenvolveu a CPML, que possui flexibilidade e
preciso em corte, microfurao, soldagem e tratamento trmico. Habilidade e
conhecimento so necessrios na resoluo de quetes nesta rea, e o grupo de construo
de prottipos Laser estabeleceu tais bases. Progressos foram obtidos pelo Programa
nacional brasileiro para o Desenvolvimento de cincia e Engenharia PRODENGE, no qual
a CPML est inserida.

O prottipo de um equipamento para processar materiais por Laser foi desenvolvido no

IPEN. O equipamento foi construdo sobre a estrutura de uma fresadora CNC, na qual o
eixo rvore e o porta-fresas foram substitudos por um mdulo Laser pulsado de neodimio.
O feixe Laser fornece uma potncia mdia de at 100 W, com mxima energia por pulso
de 10 J, largura temporal variando entre 0,2 ms e 2,0 ms com taxa de repetio at 500 Hz
9X
[ ] ["] O sistema adequado ao corte e furaco de cermicas e metais de espessura at
4 mm, podendo tambm ser utilizado em solda e tratamento trmico superficial de metais.
Estes processos podem ser realizados com ou sem gs de proteo. Uma camera CCD
monitora e inspeciona a rea de usinagem e permite posicionamento do feixe sobre a pea.

Diferentemente dos sistemas disponveis, que so dispendiosos, grandes e pesados,

concebidos para grandes lotes de produo, a CPML uma mquina mais flexvel,
apropriada especialmente aos projetos especiais, envolvendo pesquisa e desenvolvimento
onde a preciso no posicionamento pode furar dimenses reduzidas, cortar, e soldar no
mesmo equipamento. E dotada de acionamento CNC que controla trs eixos lineares e um
eixo acessrio rotativo, um mdulo Laser pulsado Nd:YAG com entrega de feixe na mesa.
Uma viso completa da estao de trabalho mostrada na figura 6. Dependendo da
configurao do ressonador o feixe pode ser gaussiano TEM oo ou multi modo, podendo
2
apresentar nesta faixa um fator qualidade M < 20. Esta versatilidade permite uma ampla
faixa de aplicaoes em lminas que podem variar de 100 u.m at 4,0 mm de espessura.

Mquina - foi construda sobre a estrutura de uma fresadora CNC, marca Rocco, modelo
GL700, com trs eixos ortogonais mais ufff eixo rotativo de fixao, interpolados dois a
dois. O eixo rvore e o porta-fresas foram substitudos por um mdulo Laser pulsado de
neodimio, associado a um sistema ptico para entrega de feixe na mesa. Os eixos tm
cursos de deslocamento 700 mm, 300 mm e 400 mm para X, Y e Z respectivamente. A

76
preciso de repetibilidade no posicionamento menor que 20 um e a velocidade mxima
de deslocamento 80 mm . s "'.

Controlador Numrico - CNC Heidenhein 360 Programa CAD-CAM verso 6.13 marca
registrada MasterCam, com ps processador dedicado para CNC e mdulo Laser. Um
microcomputador Pentium monitora a fonte de bombeamento para o Laser, e o CNC
controla o shutter (obturador) e a vlvula de gs. Os parmetros de bombeamento para
ajuste da fonte so inseridos por meio de um aplicativo dedicado, marca registrada Cvi.

Fonte de potncia - bombeia energia para dentro da cavidade ressonadora alimentando a

lmpada de descarga por arco, que transfere luz ao meio ativo Laser. Este processo
apresenta baixa eficincia, tipicamente 10 % da energia emitida pela lmpada absorvida
100
pelo meio ativo Laser [ ] . Esta configurao apresenta pico de potncia eltrica na
lmpada de at 288 kW, largura de pulso entre 0,2 to 2,0 ms. Taxa de repetio at 500 Hz
e potncia mxima na lmpada 12 kW. Para obter tal desempenho, o fornecimento de
energia chaveado em 100 VDC produzindo 16 kW. A converso foi montada com
transistores IGBT (insulated gate bipolar transistors), controlando a sada de tenso entre
150 e 700 volts. A energia armazenada num banco de capacitores, enquanto que um
circuito chopper controla a potncia pico na lmpada. O esquema de um mdulo Laser
tpico mostrado na figura 7. Nele so apresentados os elementos bsicos para produo
do feixe, bem como acessrios necessrios para aplicao em processos de usinagem,
feitos sobre a mesa da mquina CNC.

Mdulo Laser - composto por cavidade de bombeamento e espelhos do ressonador. A

10
cavidade de bombeamento mono elptica folheada por vaporizao com ouro [ ],
contendo um basto Laser com dimetro 6,35 mm e comprimento 150 mm, e nica
lmpada de bombeamento, que pode ser do tipo Xennio ou Kryptnio dependendo da
aplicao. A cavidade de bombeamento contm tubos de quartzo ao redor da lmpada e do
basto, para fluxo turbulento de gua que mantm um eficiente resfriamento.

77
Figura 7 - Diagrama esquemtico de um mdulo Laser Nd:Yag contendo ressonador (1), shuer (2), absorvedor de feixe (3),
expansor (4), tres cmeras, sendo uma para anlise do feixe nearfield (cn), outra nofarfield (cf) e uma terceira para inspeo
do ponto focal, ou ponto de trabalho (ct). O Laser HeNe tem a finalidade de auxiliar no alinhamento do arranjo e de
posicionamento do feixe infravermelho de alta potncia.
Entrega de feixe - feita por um conjunto ptico que guia o feixe desde o espelho de
sada do ressonador at o ponto de trabalho na mesa de trabalho. Uma frao do feixe
retirada para diagnstico. Esta amostra do feixe obtida por reflexo. Um separador de
feixe, leva uma amostra a uma cmera CCD e outra a um fotodetector. Uma cmera marca
Cohu, acoplada a um monitor dedicado para posicionamento e inspeo visual no ponto
focal, permite monitorar o padro de potnc*a no near field (campo adjacente), e um
fotodetector mostra o perfil temporal do pulso Laser. Um par de lentes formam um
expansor, que expande o dimetro do feixe antes da focalizao.

O expansor tem razo fixa de expanso em duas vezes. Para aplicaes que requerem feixe
no modo fundamental usado um expansor com razo trs de multiplicao do dimetro.
O feixe passa ento por um cabeote onde defletido verticalmente para baixo, sendo
focalizado sobre a mesa. O cabeote um modelo comercial da marca LASAG, disponvel
para diversas distncias focais, que neste caso utiliza lentes com f = 50 mm ou f = 100 mm
para focalizao do feixe. O cabeote tambm incorpora uma cmera CCD e um bico para
sopro do gs de assistncia a alta presso.

Ressonador Laser - para um alto grau de versatilidade foi necessrio construir um

ressonador com alta flexibilidade que, com a simples mudana no posicionamento dos
espelhos, permite uso eficiente em corte, microfurao, soldagem e tratamento trmico de
superfcies metlicas. Pode gerar feixes com elevado nmero de modos TEM, fator
2
qualidade M ~ 100 destinado a aplicaes em soldagem, ou feixe no modo fundamental
2
TEMoo com baixo fator qualidade M necessrio a processos como furaco com elevada
razo de aspecto. O desigti da cavidade pode incorporar um entre trs diferentes
ressonadores, pela troca relativamente simples de uma configurao para outra, obtida pelo
reposicionamento de dois espelhos no interior da cavidade.

Uma configurao de alta potncia e feixe multi modo para soldagem, um outro com fator
2
qualidade aproximado M = 12 para corte eficiente com kerf diminuto, e outro para feixe
no modo fundamental. O kerf uma fenda deixada na passagem do feixe durante o corte.

O ressonador foi concebido para compensar a lente trmica induzida no basto de cristal,
de forma que este procedimento originalmente desenvolvido para Laser em continuous
101
wave (no pulsado) e modo TEM oo [ ] , pode ser eficientemente aplicado ao Laser
80
pulsado com reduzido nmero de modos. Por isto, para freqncias de pulsos acima de 10
Hz, o basto de cristal em regime tpico de operao, tem alcanado equilbrio trmico. A
degradao normalmente associada com modo de operao transversal no basto de
elevado dimetro, a pequena faixa de utilizao na potncia de sada. Para compensar
esta perda o ressonador foi concebido com especial cuidado para zonas de estabilidade
102
[ ] . Isto permite operao com lmpada de potncia desde 4,00 at 7,50 kW mantendo
2
baixo fator de qualidade, sendo M < 20.

Arrefecimento - A refrigerao para o basto e lmpada produzida por um equipamento

chiller comercial marca Neslab, modelo HX-500. Fornece gua deionizada a temperatura
constante e fluxo direto na cavidade bombeadora. A temperatura controlada em 17 C e
o fluxo mantido a 20 litros por minuto. Tubos e mangueiras so feitos de material inerte
para evitar contaminao da gua. Em caso de funcionamento irregular, os controles de
segurana para fluxo, temperatura e presso do circuito desligam o Laser e os movimentos
da mesa.

Suprimento de gs - Um eficiente suprimento de gs foi montado e acoplado CPML.

Consiste de uma bateria com cilindros de gs comprimido, de diferentes composies,
acoplados mquina por tubos plsticos e um conjunto de vlvulas e dois estgios
reguladores que permitem selecionar o tipo de gs e a presso de acordo com a necessidade
do processo. Pode ser utilizado argnio, hlio, oxignio ou nitrognio. Operando com
nitrognio a presso disponvel at 20 bar. Como um gs inerte, o nitrognio previne
contra oxidao e a altas presses elimina a deposio de material ressolificado.

Desempenho geral - O formato temporal dos pulsos tpico retangular com atenuao
inferior a 10 % no seu bordo de descida, conforme pode ser visto na Figura 8. Este
comportamento mantido usando tanto lmpada de Xennio quanto de Kriptnio. Em tais
condies, as faixas de largura de pulso produzidas so entre 300 u.s e 2 ms no caso da
lmpada de Xennio, e entre 2 ms e aproximadamente 10 ms no caso da lmpada de
Kriptnio.

Para a durao 200 u.s os pulsos mostram suave elevao, e usando a mesma lmpada de
Xennio para pulsos com durao maior que 2 ms implica em atenuao no bordo de
descida. A figura 8 mostra os trs casos mencionados.

81
OMISSO NACIONAL DE ENERGIA N U C L E A H / S P IKtr
 (a) (b) (c)

Figura 8 - diferentes perfis temporais para diferentes larguras de pulso

Laser, usando lmpada de Xennio, (a) 200 u.s; (b) 2 ms; (c) 5 ms.

O formato de pulso influencia na boa eficincia trmica, podendo ser apropriado para
102
aplicaes isentas de porosidade e trincas [ ] , principalmente na soldagem de ligas de
103
alumnio [ ] . A formao de bolhas na camada ressolificada de material em soldagem
condio que pode ser otimizada, utilizando o formato de pulsos mostrado na figura 8.
Uma relao entre potncia de pico, formato de pulso e comprimento de onda abordada
104
por Chen, et ali [ ] .

Em termos da energia ou potncia mdia de sada, o equipamento apresenta eficincia total

2
de 1,3 % medida aps a lente focal. A faixa de energia e potncia foi obtida com M ~ 12.
2
Obviamente, para melhorar a qualidade do feixe, obtendo menor valor para M , implica na
perda de eficincia, enquanto que um incremento na eficincia energtica do mdulo,
2
corresponde a elevao do valor M piorando a qualidade. Uma seleo apropriada do
2
ressonador reflete na preciso dos resultados. Um feixe Laser Nd:YAG com M ~ 15
2
muito pior que um feixe Laser CO2 que apresenta M ~ 2 mas muito melhor que um
2
potente Laser neodmio comumente apresentando M ~ 100.

8.1. Parametrizao
Manipulando pelo programa lgico Cvi, pode-se fornecer pulsos com largura temporal xp
no intervalo 0,2 < xp < 2,0 ms com resoluo em degraus de 100 u.s. Pode tambm
fornecer pulsos isolados por meio de obturador instalado no painel, ou trem de pulsos cuja
freqncia F pode ser calibrada atravs do programa Cvi entre 1 < F < 500 Hz, com
resoluo unitria.

82
Um valor de potncia mdia PM foi previamente estipulado por dois motivos principais.
Primeiro a longevidade da lmpada, segundo a manuteno do modo transversal
eletromagntico TEM. Conforme foi descrito, sendo mantida constante a potncia mdia,
favorece o desenvolvimento de uma lente trmica constante, mantendo ento os modos
TEM idnticos. Foi estipulada uma estreita faixa de trabalho entre 5700 < PM < 5800 W.

Na caracterizao da CPML foram medidas a energia e a rea iluminada, e estimadas a

potncia mdia, a largura de pulso, e a freqncia dos pulsos por meio de parametrizao.
Como a extrao de material o resultado da energia eficaz absorvida no ponto de
trabalho, e como o calor se dissipa por conduo a uma taxa elevada nos metais, um item
crtico de controle o balano final entre energia do feixe, largura de pulso e coeficiente de
absoro, ou absorcividade.

Os parmetros controlados inicialmente foram a energia de pico e a taxa de repetio,

enquanto que os parmetros controlados com menor grau de liberdade foram a intensidade,
a energia unitria, a rea do disco iluminado, e a largura de pulso. A potncia pico
determinada pela capacidade da fonte. A taxa de repetio determina a potncia mdia do
mdulo que tambm limitada pela capacidade trmica do arrefecimento. A intensidade
do feixe I pode ser calculada pela equao (45) onde, E a energia unitria do pulso, S a
seo transversal do feixe no ponto focal, xp a largura de pulso. Esta relao

equivalente (44) na qual P = E . Tp "\

1
I = E ( t p . S)- (45)

Foram levantadas as condies de contorno da CPML para os valores de potncia pico e

intensidade do feixe, como funo da energia unitria. Esta regio compreende o grau de
liberdade, com manipulao dos demais parmetros. Foi estimada a energia unitria Ep
variando entre 0,1 < Ep < 3,0 J. Os limites crticos para intensidade mnima e mxima do
2 2
feixe esto no intervalo 5,5 < Pp < 47 kW.mm" , contida na rea iluminada de 0,071 mm ,
um disco iluminado de dimetro 300 u.m, conforme descrito na figura 9. O eixo horizontal
deste grfico tem escala logaritmica com a finalidade de tornar mais visvel a regio
prxima origem das coordenadas.

83
 50000 -,
4-J -I + -I + ~h~ + -h + +
47kW

40000
E
E /
5 30000 0,2 ms /
03
o
TO
20000 2,0 ms /
c

10000 -
5,5kW
4.0

0,1
0,11 Energia de Pulso [J] 3,75

Figura 9 - Condies de contorno da C P M L .

0 limite superior da energia unitria Ep para um suposto regime contnuo, definido pelo

limite mximo de carga trmica suportada pelo banco de capacitores, ao passo que o limite

inferior da mesma imposto pelo limiar da potncia mnima para produo de Laser.

8.1.1. Determinao d o perfil de potncia

Na analise do feixe Laser, feita por meio de u m a cmera C C D conectada a um

microcomputador, que processa o sinal pelo software Win C a m B e a m Analyzer, produzido

TM
por Merchantek

Devido a alta intensidade do feixe Laser, certos cuidados d e v e m ser tomados com respeito

sensibilidade da cmera, cujo limiar de dano segundo o fabricante fica em 300 u.W, que

corresponde a sete ordens de grandeza abaixo da potncia pico do pulso Laser, algo em

torno de 3 kW. Filtros de densidade neutra foram inseridos na trajetria do feixe, para

atenuar o sinal incidente sobre a cmera.

A figura 10 mostra u m a imagem da distribuio de potncia por meio do programa Win

Cam Beam Analyzer, para u m a t o m a d a no campo distante. P o d e m o s visualizar no canto

inferior esquerdo da tela a i m a g e m em perspectiva tridimensional equivalente. Temos na

figura 11 outra i m a g e m t o m a d a no campo adjacente, utilizando opo do programa com

84
imagem em perspectiva. No lado direito exibida uma escala de cores correspondentes s
intensidades do feixe, relativas ao valor de pico da intensidade do feixe.

Figura 10 - Imagem da distribuio de potncia no nearfield.

Nas caixas cinzas situadas abaixo e do lado esquerdo da figura principal, so apresentados
em linha sinuosa os perfis que descrevem ponto a ponto o valor da intensidade, ao longo
dos eixos x e y da mira tendo como referncia o eixo de propagao. O programa traa
uma curva gaussiana equivalente que aparece em vermelho para ambos os eixos.

Estas imagens foram tomadas com potncia mdia 5,8 kW e com feixe em multimodo
TEM, e ressonador com amplificao free path. O mtodo utilizado pelo aplicativo o do
segundo momento discutido no captulo anterior.

A caracterstica divergente do feixe fornece os parmetros para determinao do fator

2
qualidade M . Para tanto foi utilizado o programa que fornece as dimenses de dimetro do
feixe para as coordenadas x e y, por meio dos valores apresentados na tela. Segundo este
mtodo, a cmera deslocada no eixo z, ao longo da trajetria do feixe. Anotando as
distncias da trajetria no far field e tambm as dimenses em x e y o programa realizou o
clculo por meio da equao (17).

85
OMISSO NAGtONM DE ENERGIA M J C L E f l H / S P IPt
 Figura 11 - Imagem da distribuio de potncia no far feld.

O clculo indicado gerou o perfil divergente apresentado na figura 12. A linha contnua
um ajuste plotado pelo programa. O ponto da trajetria onde o feixe adquire o menor raio
denominado cintura (waist), que neste grfico est deslocado 12 mm da origem.

Deslocamento em Z [um]

Figura 12 - Medio da divergncia do feixe

86
Como termo de comparao temos que o fator qualidade do feixe unitrio no modo
fundamental ideal. No nosso experimento, pelo mtodo mencionado, o fator qualidade do
2
feixe Laser utilizado foi determinado como tendo M = 10,57 4,16.

8.1.2. Filtragem intracavitria

Pela insero de filtro espacial, uma ris interposta na cavidade do ressonador, apenas os
modos de menor ordem so amplificados gerando um feixe Laser cuja distribuio espacial
de intensidade apresentam melhor qualidade. Existe um custo quantitativo com diminuio
da energia total mas com aumento da intensidade, o que favorece os resultados cosmticos
no processo. Nos experimentos desenvolvidos pudemos constatar a inflncia da filtragem
espacial do feixe sobre a intensidade e a qualidade do mesmo. Foram realizadas filtragens
com ris de duas diferentes aberturas, uma com dimetro 4,0 mm e outra com dimetro 1,2
mm. Foram experimentadas duas sries de amostras com furos obtidos pelo fe<xe filtrado,
uma para cada filtragem diferente. Os resultados destes experimentos so apresentados
neste captulo.

8.1.3. Conformao temporal do pulso

Um fotodiodo de silcio submetido a irradiao converte a luz em sinal eltrico,
produzindo uma imagem temporal do pulso Laser. Utilizando um osciloscpio marca
Tektronix, modelo TDS 684B, acoplado sada deste fotodiodo, e fazendo incidir sobre o
mesmo, uma amostra do feixe, foi obtida a imagem apresentada na figura 13, na qual se
pode observar a formao dos spikes. A envoltria dos pulsos luminosos tm relao direta
com a amplitude e com a durao temporal dos pulsos bombeados.

O trao do formato temporal do pulso apresentado na figura 13 ilustra a medio de um

pulso Laser com largura temporal 200 (is, considerando o valor FWHM para determinao
6I 62
da durao dos pulsos [ ] [ ].

87
 St < 2 y&

St < Vs

11

o 10 20 30 40 50

tempo* [vs]

Figura 13 - Trao mostrando spikes, num pulso Laser de 200 u.s.

Por se tratar de um equipamento digitalizado de 500 MHz, resoluo de leitura em 2 ns, o

osciloscpio utilizado tem excelente resoluo para o experimento realizado. Trata-se de
um equipamento com recurso opcional para leitura de picos. Ao calibrar o aparelho para
leitura dos picos, o valor mdio RMS e a fidelidade dos valores plotados so distorcidos
no apresentando confiabilidade nos valores de amplitude. Por este motivo, deve ser
observado o gradiente de subida dos picos agindo como ignitores de plasma, dando menos
ateno variao dos valores. Fica patente que a relao existente entre estes valores so
mais importantes pela ordem de grandeza do que pelas grandezas registradas. As principais
utilidades destas leituras so de mensurar o intervalo temporal existente entre um pico e
outro, o intervalo entre o bordo de subida e descida, alm de demonstrar o comportamento
geral da intensidade do feixe com suas instabilidades.

Nos pulsos retangulares, os picos apresentam largura FWHM da ordem de 500 ns enquanto
7
que o intervalo entre os mesmos maior que 1 u.s [ ]. mencionado por von Allmen que o
uso de duplo estgio oscilador-controlador de spiking, para produo de feixe Laser
Nd:YAG produziu uma seqncia controlada de spikes, qe foram aplicados na
microfurap de muito boa qualidade.

88
J foi utilizada uma tcnica para agir como ignitor de plasma [ ], provocado pelo feixe
incidente. Os autores recomendam um formato especial de pulso para um mximo
acoplamento trmico entre o feixe e a superfcie de trabalho.

8.1.4. Energia do feixe

Um grfico pode ser levantado, cuja curva da energia do feixe (medida no ponto de
trabalho) versus a energia (eltrica parametrizada para bombeamento) na lmpada,
resultando na determinao da eficincia do Laser para uma extensa faixa de operao, que
o rendimento do sistema. Tomadas as leituras contidas na tabela 2 anexa, resultaram na
construo do grfico da figura 14.

Este grfico relaciona a energia de pulso no ponto de trabalho com a energia de pulso
bombeada pela fonte chaveada. Linearizando o grfico, o resultado indica estreita analogia
com o valor pressuposto, algo bem prximo de 1,25 % para a regio entre 0,2 < Ep < 1,0 J
sendo a eficincia de slope (rampa) 1,60 %.

1,4-1

1,2-

1,0-

0,8-
ra

ro o,6-

2
? 0,4-
a>
c
LU
0,2-

0,0-

Figura 14 - Curva de transferncia de energia do mdulo Laser.

Assim, tomamos a eficincia total de 1,3 % como referncia para todos os valores de
energia unitria utilizadas neste trabalho. Desta forma, a energia de cada pulso Laser a
energia de bombeamento multiplicada pelo fator 0,013.

89
Desenvolvimento - O tetraedro dos materiais utilizado em pesquisa e desenvolvimento de
materiais conhecido por 4P, composto pelo polinomio "princpio-propriedades-processo-
produto". Estes passos se sucedem num ciclo interativo e so integrados numa seqncia
tpica no desenvolvimento de cada mbito tecnolgico. Uma representao deste tetraedro
mostrada na figura 15 fazendo distino entre tecnologias de duas naturezas.

Nas tecnologias tradicionais o "processo" tem importncia marginal, e est subordinado

aos outros elementos. A principal nfase est nas "propriedades" fsico-qumicas do
material, que exercem papel determinante sobre o "princpio" pre-estabelecido de
abordagem, e ambos influem sobre as caractersticas do "produto" e seu "processo" de
fabricao, havendo uma tnue ligao entre o princpio pr-estabelecido e o produto final.

Figura 15 - Tetraedro dos materiais aplicado a dois domnios tecnolgicos.

A esquerda, relao tradicional; direita, relao de alta tecnologia.

No caso de tecnologia avanada, razovel afirmar que as "propriedades" podem ser

manipuladas quase completamente, sendo decorrncia dos demais elementos. O "produto"
final ganha importncia com relao ao "princpio" concebido, enquanto que o "processo"
determinante sobre todos os elementos. A nica relao que o "processo" tem para com
as "propriedades" intrnsecas so a adaptao, por meio de manipulao dos parmetros.
Uma semelhana entre os conceitos de processo e parmetros inevitvel. No presente
caso, as "propriedades" da radiao Laser so mais numerosas e mais freqentemente
manipuladas, sendo muitas vezes mais fortemente determinantes. As "propriedades" do
material processado exercem influncia marginal conforme j foi discutido. Segundo

90
Prokhorov [ ] na medida em que se vai aproximando do conjunto timo de parmetros do
Laser, as diferenas entre as propriedades materiais vo se tornando irrelevantes.

8.2. Restries
Limitaes do feixe so pertinentes sua baixa intensidade, a falta de um dispositivo
chaveador, e de polarizador. Estes rscursos poderiam aprimorar aplicaes do mdulo
Laser da CPML conforme mostram estudos referentes ao uso de feixe colimado em
54
furaco de Hastelloy e cermica, para cmara de combusto aeronutica [ ]. Tambm
utilizando feixe colimado a profundidade da furaco aumenta linearmente com o aumento
96
da energia de pulso [ ]. Metais e algumas cermicas so sensveis polarizao do feixe
105
[ ] durante a furaco. Quanto mais fortemente orientada for a polarizao, melhor pode
ser a qualidade e velocidade do processo. Por isto, seria de grande atratividade a incluso
de um elemento polarizador do feixe.

9. A escolha do material
Na atualidade tem sido constatada uma discordncia entre os interesses acadmicos e os
comerciais. A indstria o elo de ligao entre ambos, e pelo seu papel no
desenvolvimento econmico constitui a pea insubstituvel na era ps industrial. Por este
motivo este empreendimento incluiu as necessidades industriais como eixo. O interesse do
presente trabalho apontou para um conjunto composto pela escolha do material, escolha do
mtodo de construo das amostras, estudo da capacidade de extrao, estudo da influncia
dos parmetros, caracterizao cosmtica dos resultados, apresentao e discusso dos
resultados. Diversamente dos critrios acadmicos, a escolha do material e a construo
das amostras seguiram uma viso mais aproximada possvel das condies reais
encontradas no cho de fbrica, tanto para lotes piloto quanto em produo seriada.

A escolha do material levou em considerao os trabalhos j realizados por parte dos

grupos desenvolvedores da pesquisa bsica, e na rea de microfurao por Laser, que tem
acumulado informaes a respeito do processamento de metais como chumbo, cobre,
alumnio, titnio, tungstnio, com elevado grau de pureza, em chapas com espessuras
reduzidas (foils) de no mximo 200 u.m, para nveis sutis de energia, e tambm de ligas
ferrosas ou no como ao inox, ao carbono e ligas especiais, especialmente as ligas de
elevada tenacidade para fins aeroespaciais.

91
Uma vez que do nosso interesse apresentar resultados prticos que possam ser utilizados
principalmente na indstria mecnica e aeronutica, e que os argumentos encontrados so
muitos, apontando para a escolha do ao inox AISI 304. O ao inox AISI 304 uma liga
no magntica, tem boa ductilidade, excelente soldabilidade, baixo limite de escoamento,
elevados limites de resistncia tenso, trao e toro. Tem bom alongamento,
estabilidades qumica e trmica, e a nica restrio o endurecimento por tratamento
trmico. amplamente utilizado em diversos ramos industriais, e fundamental na indstria
55 1 0 6
aeronutica, frigorfica, hospitalar, odontolgica, cirrgica e farmacutica. [ ] [ ].

O ao inox AISI 304 uma liga composta basicamente de ferro, cromo de 18 a 20 %;

nquel de 8,0 a 10,5 %; mangans menos de 2,0 %; carbono residual menos de 0,08 %;
fsforo residual menos de 0,045 %; ponto de fuso aproximadamente 1425 C;
1 3
condutividade trmica 150 mW (cm . K ) ' ; densidade 7,9 g.cm" ; coeficiente de expanso
1
17,3 "C" , resistividade eltrica 72 \l. cm; mdulo de elasticidade 195 GPa; resistncia
107
tenso 550 GPa. [ ] . N o conseguimos localizar o valor exato do coeficiente de difuso
41
trmica, ou difusividade trmica k. Segundo Prokhorov [ ] , a maioria dos metais
2 l
apresenta 0,1 < k < 1,0 cm s " e com base nisto adotamos para fins ilustrativos o valor
2 _1
aproximado k = 0,5 c m s .

10. Desenvolvimento experimental

Como a parte experimental aqui descrita foi desenvolvida sobre ao inox AISI 304, todas
as consideraes seguintes sobre o material so referidas ao mesmo, salvo citao em
contrrio. No foi constatada nfase aprecivel nos registros da pesquisa e
desenvolvimento, relacionada ao aprimoramento da furaco por Laser em no metais,
levando em conta a geometria e a cosmtica final.

A escolha dos mtodos foi desenvolvida com base em pesquisa literria e mesmo na
quantidade de propostas feitas por empresas interessadas em conhecer a atratividade do
Laser diante dos processos concorrentes. O estudo da capacidade de extrao e a cosmtica
resultante foram obtidos na CPML.

92
 "O aquecimento do material por Laser prinipalmente
determinado pela sua absoro caracterstica para um dado
comprimento de onda." Prokhorov & Mihilescu

Caracterizao cosmtica dos resultados - As principais caractersticas extrnsecas do

mdulo Laser que contribuem para os resultados cosmticos do processo de furaco por
Laser pulsado, e que servem de argumento so a quantidade de respingos, a conicidade, o
dimetro esperado da furaco, a espessura do material, e um conjugado de ambos
consistindo na razo de aspecto.

10.1. Capacidade de extrao por LSS (Laser Single Shot)

Como urna das caractersticas intrnsecas do Laser Nd:YAG sua instabilidade temporal,
mesmo em regime estacionario, o resultado cosmtico pode ser bastante incerto. O LSS
apresenta uma relao til para estimar a capacidade do pulso Laser na extrao de
material durante o processo.

Os resultados das furaces foram obtidas por LSS, variando a largura de pulso para cada
configurao, visando a determinao dos ndices de eficincia de extrao e profundidade,
alm de contribuir para urna estimativa da ocorrncia de ressolidificado, respingos e ndice
provvel de repetibilidade onde a intensidade do feixe foi mantida constante, para cada
uma das sries.

A figura 16 mostra uma srie onde os furos foram realizados exatamente com os mesmo
parmetros, indicando um comportamento muito irregular da interao e eficcia do feixe
sobre a superfcie metlica. Outra evidncia o comportamento instvel de orientao na
extrao apontando em diferentes direes. possvel que a penetrao tenha ocorrido
para alm do plano de desbaste o que implica em erro na leitura de medio da
profundidade. Isto particularmente verdadeiro para pulsos de elevada energia. Este
2
resultado foi obtido com feixe 19,4 kW.mm " de intensidade, energia 1,9 J por pulso de
largura temporal 1,4 ms. O dimetro maior que 500 p.m indica grande dano por extrao
slida para um feixe de dimetro 300 um e a profundidade mdia medida 880 um.

93
Nesta imagem podemos notar que houve rechupe na raiz do furo mais profundo, o segundo
da esquerda para a direita, conseqncia de foras de recuo. Este rechupe ocasiona tanto
extensas trincas como microtrincas estruturais e, no caso de perfurao, responsvel por
obstruo do furo quando a intensidade moderada.

fiS::S:? '.
lli; .

Figura 16 - Srie de furos cegos com LSS 1,9 Joule por pulso.

Variando a largura de pulso para cada configurao, foram determinados os ndices de

eficincia na penetrao, alm de observar a ocorrncia de ressolidificado e respingos. Os
resultados obtidos por LSS foram analisados, para intensidades em quatro degraus de
2
intensidade do feixe 7,5; 10,5; 19,4 e 32 kW.mm" , sendo o dimetro iluminado constante
2
em 300 um, o que significa rea iluminada 0,0707 m m , com distncia focal 100 mm, com
pulsos em larguras temporais de 0,4; 0,7; 1,0 e 1,4 ms e so encontrados na tabela 3 anexa.

As medidas de profundidade na penetrao produziram as curvas do grfico da figura 17,

que foi plotado com as curvas obedecendo a um ajuste polinomial. Fica clara a relao da
intensidade para com a profundidade da furaco. Uma vez que a energia unitria
diretamente proporcional largura do pulso, o mesmo grfico indica tambm uma estreita
relao entre a energia contida no pulso e sua capacidade de extrao do material.

94
 Figura 17 - Curvas de eficincia aprimorada, para extrao por LSS

E possvel verificar uma disperso dos dados, pela inclinao das curvas, na regio para
pulsos de largura temporal entre 0,6 e 1,0 ms havendo um estreitamento das medies para
fora deste intervalo. Com o intuito de esclarecer esta anomalia, foi desenvolvida outra srie
de experimentos, cujos dados so apresentados a seguir. Por meio deste recurso, valores
2
muito prximos foram conseguidos utilizando desta vez intensidades 19 e 25 kW.mm " ,
com apreciao mais detalhada no intervalo entre 0,7 e 1,0 ms que pode ser verificado na
figura 18, cujos valores so apresentados em anexo na tabela 4.

1400 - 25kW.mm"

1200 -

"E 19kW.mm"'
1000 -
0)
T3
<S
|0
800

TJ

600
O
Q. 400 -

200

i 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 ri 1 1
0,0 0,2 0,4 0,6 0,8 1,0 1,2 1,4 1,6 1,8 2,0

Largura de pulso [ms]

Figura 18 - Curvas de eficincia refinada, para extrao por LSS

95
Esta constatao aponta uma importante concordncia com a literatura [ ] , pelo fato de
ocorrer uma drstica mudana no comportamento do processo de extrao na regio de
durao do pulso 1,0 ms. Nesta regio, a nfase de extrao de material passa do vapor
para o estado lquido. Quando se trata simplesmente de retirar material sem um cuidado
mais estreito com a qualidade resultante, nesta faixa que ocorre a melhor relao da curva
custo versus beneficio. Isto pode ser muito til para fazer o piercing que precede corte de
peas com elevado nmero de entradas, minimizando tempo de processo.

Neste caso de LSS, usa-se a relao entre energia por pulso, largura temporal e intensidade
para a determinao do dimetro obtido. A partir da, ajusta-se a taxa de repetio do feixe
para que a sua potncia mdia de entrada seja da ordem de 5,8 kW. A relao entre
velocidade de deslocamento e a taxa de repetio determina o espaamento entre os furos.
Um exemplo desta aplicao uma peneira de ao inox que foi desenvolvida, com chapa
de espessura 500 um tendo foros de dimetro 400 u.m. A variao dimensional dos furos
obtidos foi menor que 10 %, que foi considerada menos importante do que a elevada
produtividade do processo. Neste pea, projetada para ser utilizada como filtro em
mquina de caf expresso, foram executados 600 furos em menos de 1 minuto.

10.2. Processo de percusso

Este mtodo de furaco o mais amplamente utilizado, por meio de feixe filtrado ou no.
A natureza espacial do feixe importante pois neste caso o Laser Nd.YAG desenvolve
muitos modos TEM ao ser amplificado, ao passo que no feixe filtrado h maior coerncia
9
espacial [ ] pela reduo destes modos, fazendo com que a furaco tenha apresentado
resultados bastante diferenciados.

Pelo mesmo processo de construo que j foi descrito, as amostras foram construdas por
percusso e analisadas, tendo uma configurao dos parmetros com intervalos de
intensidade mantendo constante a largura de pulso para cada uma das amostras.

Apresentamos nas figuras 19 e 20, algumas imagens micrografadas no MEV que de incio
apresentaram um visvel avano qualitativo com relao ao obtido no processo LSS,
anteriormente descrito. No experimento com largura de pulso 200 ns foram utilizadas as
2
intensidades 8,13; 9,18; 10,52; 11,99; 13,58; 15,32; 17,19 e 19,21 kW.mm ' . Foi nesta

96
configurao que obtivemos os mais expressivos indicadores de razo de aspecto somado a
ausncia de ressolidificado na sada dos furos.

Figura 19 - Trs furos obtidos com largura de pulso 200 |_ts.

Figura 20 - Quatro furos obtidos com largura de pulso 300 u,s.

A razo de aspecto, ou o fator de forma, o primeiro grande diferencial quantitativo que se

pode observar na comparao entre LSS e percusso. A figura 19 apresenta a relao entre
a profundidade e dimetro, para furos obtidos com largura de pulso 200 |is obtidos com
2
menor intensidade 8,13; 9,18 e 10,52 kW.mm ' . A profundidade na perfurao igual
espessura da chapa de 1 mm. Uma vez que a profundidade constante, sendo
determinanda pela espessura da chapa, em contraste aos furos cegos do estudo anterior
feitos com LSS, a razo de aspecto varia na proporo inversa do dimetro, e para baixos

97
4MMSSA0 NAClON&L DE ENERGIA N U C L E A H / S P iPfc
valores de intensidade, um aumento da intensidade implica em aumento do dimetro do
feixe e do furo pelos motivos j discutidos no captulo anterior, como pode ser observado
nas figuras 23, 26, 27, 28 e 29. Nestas figuras so indicados, nas curvas, os dimetros de
entrada dE, dimetros medianos dM, e dimetros de sada dS dos furos.

O mesmo ocorre para pulsos com baixas energias. Isto resulta da interao entre dois
fenmenos: um o dimetro eficaz do feixe, aquele cuja intensidade supera o limiar de
extrao, e o outro a baixa intensidade dos pulsos, causando ineficincia em extrair
totalmente material fundido, que acaba ficando retido, aderindo parede do furo pela
foras de recuo. A partir de certo valor da intensidade este efeito torna-se irrelevante,
demostrando que nesta regio o processo atinge sua total capacidade de extrao.

Na figura 20, as razes de aspecto medida dos furos da direita para a esquerda foram 4,93;
4,22 e 3,70 respectivamente considerando o dimetro na entrada do furo, enquanto que
considerando o dimetro mediano foi 15,87; 13,89 e 11,36. Para chegar a estes valores
foram medidos respectivamente 63; 72 e 88 um os dimetros medianos e calculados em
8,0; 10,1 e 11,4 os ngulos de conicidade. Nesta figura evidente a projeo dos
respingos ao redor da entrada dos furos, provocada pela extrao na fase lquida. As
2
intensidades utilizadas nesta amostra foram 5,43; 5,85; 6,85 e 7,96 kW.mm"
respectivamente da direita para a esquerda. Como pode ser verificado o furo direita, com
menor intensidade, no chegou a perfurar.

Para o caso de percusso com pulsos de durao 200 u,s necessrio um maior nmero de
pulsos para perfurar. Assim, a extrao de menor quantidade por pulso leva a melhores
resultados. Altas intensidades tambm so necessrias para retirar material da poa quanto
maior a profundidade.

Como os valores de energia e intensidade foram menores na amostra da figura 20

comparando com os valores da figura 19, a eficincia de extrao pode ser determinada por
este argumento, mesmo havendo aumento da largura de pulso que implica em aumento da
energia. Um estudo preliminar dos efeitos da variao da intensidade sobre o dimetro dos
furos, medidos na entrada, na meia seo (aqui denominados "medianos") e na sada, foi
realizado por percusso mantendo-se fixos os demais parmetros, com pulsos 200 u,s. Os

98
valores dos dimetros para as amostras obtidas por percusso com feixe free path, constam
na tabela 5 do anexo.

500 -,

0-\ . 1 . 1 . 1 , 1 .
0 10 20 x 30 40
2
Intensidade do Feixe [kW.mm ]

Figura 21 - Dimetros obtidos por percusso, em funo da

intensidade do feixe, para Tp = 200 us.

Um grfico com os dimetros de entrada dE (curva superior), dimetros medianos dM

(curva intermediria), e dimetros de sada dS (curva inferior) para furos obtidos com
largura de pulso 200 jas apresentado na figura 21, num intervalo de densidade de potncia
2
ou intensidade variando na faixa 8 < I < 40 kW.mm " . As curvas foram traadas por ajuste
polinomial, e demonstram que os furos obtidos com maior intensidade tm uma tendncia
uniformidade num valor prximo do dmetro do feixe estimado em 300 |im.

A tabela 6 no anexo tambm contm os valores dos dimetros medidos em funo das
intensidade experimentados nas sries seguintes, enquanto que os valores de largura de
pulso escolhidas para estudo de conformao geomtrica so 300, 600 e 900 us por serem
as mais representativas, ou expressivos, no que se refere aos contrastes discutidos em
seguida. Os mesmos servem como referncia para a construo dos grficos das figuras 23,
24, 25, 26, 27 e 28. O grfico da figura 21 um modelo de construo dos demais que se
seguem, com a nomenclatura das curvas. A curva superior indica e evoluo do dimetro
medido na entrada do furo, a curva inferior indica os valores do dimetro na sada do furo,
e a curva intermediria representa o comportamento das medies medianas, feitas a meia
espessura da amostra, entre a entrada e a sada dos furos.

99
O ngulo da conicidade dado em graus, foi determinado d a forma m o s t r a d a na figura 22.

Idealizando u m cone perfeito com base nas medies do dimetros d e entrada e sada dos

furos, foi determinado o ngulo de inclinao da parede do furo, conforme descrito a

seguir. O ngulo apresentado nos grficos de conicidade a seguir dado por 2 a cujo

clculo dado na e q u a o (46) onde a o ngulo de inclinao da parede do furo, ou semi

conicidade, d a diferena entre os raios de entrada e sada d o furo, e a espessura da chapa.

a = atg (d / e) (46)

Figura 22 - Clculo da conicidade na perfurao

30-.

900 |is

10
5 10 15 20 25 30 35
2
Intensidade [kW.mm" ]

Figura 23 - grfico da conicidade plena.

100
Com auxlio do grfico da figura 23 verificamos que na medida em que a largura temporal
dos pulsos aumenta, simultaneamente aumenta o ngulo de conicidade do furo. provocado
pelo aumento do dimetro na regio de entrada do furo. Isto pode ser explicado por dois
argumentos que se somam. Com as instabilidades no posicionamento do feixe multi modo,
quanto maior for o tempo de exposio, maior ser a probabilidade de aumentar a regio
danificada. O limiar de extrao para pulsos com menor energia no chega a danificar a
borda de entrada do furo; por isto, supomos que o aumento da conicidade para maiores
intensidades seja devido a contribuio da soma de diversos modos TEM.

A entrada do furo, na face superior da amostra, recebe a maior carga de energia do feixe, e
desenvolvendo a poa inicial, produzindo assim maior regio danificada pelo calor. As
instabilidades no posicionamento do feixe, ocorridas durante a percusso, que so
insuficientes para produzirem extrao dentro da poa lquida mas que eventualmente
fundem a superfcie, aumentam o dimetro na regio de entrada. Por outro lado, as
partculas que aderem parede do furo ao serem parcialmente expelidas ficam retidas pelas
tenses de recuo e se ressolidificam internamente, diminuindo o dimetro intermedirio e o
dimetro de sada, aumentando assim a conicidade. Este fenmeno pode inibir o avano do
processo para valores reduzidos de intensidade e de energia, podendo produzir a obstruo
de um furo pela prolongada exposio ao Laser. Isto explica outra importante relao que
favorece o uso de percusso com elevada taxa de repetio, que extraindo menos material
em cada pulso com maior nmero de pulsos resulta em melhor acabamento.

2-

U-\ , 1 , 1 , , , , , , , 1 .

0 5 10 15 20 25 30

2
Intensidade [kW.mm" ]

Figura 24 - Grfico da conicidade na meia seo de sada.

101
O grfico da figura 24 leva em considerao a conicidade na meia poro de sada do furo,
sendo evidente sua minimizao, uma vez que o dimetro mediano algo prximo do
dimetro medido na sada. A abertura do furo apresenta uma regio superficial com
elevado dimetro mas a uma profundidade mnima a conicidade muda seu comportamento.
Na regio de 5 graus foi traada uma reta tracejada nos grficos das figuras 23 e 24 para
reforar a noo de patamar a ser mais detalhadamente pesquisado.

Figura 26 - Dimetros para percusso com largura de pulso 600 u.s

102
 ** * * dE

Intensidade [kW.mm"

Figura 27 - Dimetros para percusso com largura de pulso 900 u.s

350-,

300-
1[ 0,9ms
o 250-

1o 200-

1 150-

T3
100-

50-

2
Intensidade [kW.mm ]

Figura 28 - Comparao entre os dimetros medianos.

Os grficos das figuras 27, 28 29 confrontam os dimetros na entrada dE e na sada dS

com os dimetros medianos para as sries de furos feitos por percusso nas larguras de
2
pulso 300, 600 e 900 u.s para intensidades do feixe variando de 3,5 at 31,7 kW.mm ' . A
figura 30 faz comparao os comportamentos das curvas dos dimetros medianos, obtidos
entre os trs grficos anteriores. As curvas foram construdas por ajuste de regresso

103
polinomial de segunda ordem. Estes quatro grficos indicam claramente um ponto de

mximo dimetro em 300 u.m.

Pode ser facilmente deduzido que quando a intensidade aumenta, os pulsos mais estreitos
apresentam melhor resultado, com desvio menor. Por outro lado os pulsos mais longos
apresentam maior disperso na regio onde a derivada da curva positiva, declinando logo
aps o ponto de mximo. Pulsos com largura temporal maior tambm mostram uma
tendncia de estabilizao do dimetro na entrada com o aumento da intensidade; porm,
este dimetro maior quanto maior for a intensidade pelos motivos j discutidos.

Dentro desta faixa de trabalho, os pulsos com maior durao tambm mostram uma
tendncia de convergncia da medida do dimetro mediano para valores de intensidade do
feixe mais prximos de 31,7 k W . m m . , final da escala estudada. Todavia, para valores
acima de um certo limite, na regio de 29 kW.mm da figura 28, este valor tende a
diminuir novamente indicando degradao do processo, o que permite supor que haja
energia unitria excessiva. Uma ltima anlise sobre os grupos de experimentos pode ser
feita comparando os resultados obtidos por diferentes larguras de pulso, e simultneo
variao da intensidade. A srie de amostras apresentadas na figura 29 foram feitas, pela
ordem de cima para baixo, com larguras de pulso 300, 600 e 900 u.s.

lISll V
600 (tS

t-jfc 900 S

gggg
Wm

Figura 29 - Micrografias obtidas com larguras de pulsos 300, 600 e 900 p.s, para
2
intensidades 39; 37; 34; 3 1 ; 6,9; 5,9; 5,0 e 4,3 kW.mm da esquerda para a direita

104
 2
No box esquerda da figura 29, as intensidades foram maiores entre 39 e 31 kW.mm * , da
esquerda para a direita, enquanto que direita as intensidade foram menores, entre 7,0 e
2
4,0 kW.mm " . Pode ser visto o resultado baixas intensidades podem no conseguir perfurar
seja quo longo for o tempo de exposio, principalmente para pulsos mais longos. Com
relao s maiores intensidades, no box esquerda, as diferenas so minimizadas.

O quarto furo da direita para a esquerda, na amostra inferior foi feito com pulsos 900 |j,s e
2
intensidade 6,9 kW.mm " apresentando resduo ressolidificado no orifcio de sada. Ao
passo que o furo superior direito apresenta menor conicidade e menor resduo tendo sido
2
feito com largura de pulso 300 [is e intensidade 4,3 kW.mm" .

Isto evidencia que mesmo tendo maior energia unitria e intensidade similar, o resultado
qualitativo fica comprometido, e os melhores resultados so obtidos quando uma menor
quantidade de material retirada em cada pulso. Verificamos que abaixo extrema direita
2
no foi obtida perfurao. Neste caso foram utlizados intensidade menor 4,3 kW.mm ' , e
largura de pulso maior 900 |is indicando que a falta de intensidade no recomposta pelo
aumento de energia unitria. Isto est de acordo com a literatura que recomenda maiores
intensidades para aprimoramento do processo. Mostra tambm que prefervel o aumento
da intensidade pela diminuio da durao dos pulsos, no pelo aumento da energia
unitria. Os pulsos com intensidade menor, no foram capazes de produzir um furo limpo
na sua borda de sada, pois neste caso fica demonstrado que a geometria do ressonador (ou
seja, o raio de curvatura dos seus espelhos"e a distncia entre eles) vai determinar as
caractersticas espaciais do feixe. Estas caractersticas se referem distribuio espacial de
energia e de potncia na seo transversal do feixe, e a forma como esta distribuio se
comporta durante a sua propagao no far field.

Podemos observar tambm uma acentuada conicidade dos furos feitos com largura de
pulso 900 ns nas baixas intensidades. O aumento da conicidade est relacionada com os
danos na regio de entrada. Os furos feitos por percusso apresentaram alargamento no
dimetro de entrada, porm apenas na camada superficial, da ordem de algumas dezenas de
microns. A presena de respingos ressolidificados na parte externa da borda, tambm numa
espessura muito fina, reala o argumento que, a cosmtica resultante grandemente
influenciada pela pelcula fundida na regio adjacente.

105
OMISSO NACIONAL DE ENERGIA N U C L E A H / S P IMr
10.2.1. Feixe com filtro espacial
Com o intuito de melhorar a qualidade na borda de entrada dos furos, optamos por utilizar
um filtro no interior do ressonador, com orifcio circular de dimetro 4,0 mm, tendo por
finalidade diminuir o nmero de modos espaciais oscilantes, melhorando assim qualidade
espacial do feixe. Por este procedimento, o feixe focalizado tem dimetro menor, tendo
sido medido com 190 u.m no ponto focal utilizando lente focal f = 100 mm. Ao introduzir
filtro com dimetro 1,2 mm o feixe medido no ponto focal tem dimetro aproximadamente
60 unv A introduo do filtro espacial no ressonador provoca uma diminuio
proporcional na potncia de sada do feixe, mas pela reduo na divergncia caracterstica
do feixe, a intensidade resultante aumentada.

2
Foi determinada uma potncia pico Pp > 350 W com I = 5,5 kW.mm " , como o rendimento
do sistema varia, em primeira aproximao, proporcionalmente com a seo permitida de
amplificao, a perda de potncia fica proporcional ao valor da potncia total desenvolvida
no feixe com free path.

O comportamento da intensidade foi estudado pela medio do dimetro do feixe no ponto

focal seguida do clculo. Assim, foi verificado que o feixe permanece com dimetro
diminudo proporcionalmente em toda a sua trajetria. Pela medio no ponto focal ficou
comprovada a relao (47) em primeira aproximao. Proporcionalmente, relacionamos os
dimetros de amplificao no interior do ressonador, com e sem filtro, respectivamente 4,0
e 6,3 mm com os dimetros medidos no ponto de trabalho 190 e 300 um respectivamente.

6 3 3 0 0
> J 4,0-300
= da x = = 190 um (47)
4,0 x 6,3

O mesmo critrio se mostrou vlido para ris com dimetro de 1,2 mm como ser discutido
adiante na relao (48). Assim sendo, apesar da perda de potncia comparado ao feixe em
free path a intensidade similar. Esta uma constatao ainda sem respaldo, motivo pelo
qual deixamos uma proposta de que sejam feitos estudos mais detalhados no sentido de
comprovar ou no esta assertativa.

106
U m a anlise completa comparando os efeitos da variao de intensidade do feixe, a energia

unitria de pulso e a razo de aspecto determinam a dinmica de extrao de material na

formao do furo. Para cada caso preciso experimentalmente encontrar os parmetros

adequados perfurao do material.

10.2.2. Aquisio dos dados & estudo d o erro

Utilizando u m a cmera, foram t o m a d a s medies no dimetro de entrada dos furos, no

mediano e na sada. Nestas leituras foram apurados erros mdios, t o m a n d o como base 20

medies, que na entrada foi de 10,6 [im e na sada foi de 5,35 (im gerando u m a mdia

total de 7,98 u.m. Esta avalio conseqncia da definio da imagem nos contrastes. As

intensidades foram calculadas segundo o processo anteriormente descrito.

Parmetros experimentais - Foram construdas amostras, uma para cada diferentes

larguras de pulso no intervalo 200 < Tp < 900 u.s com degrau 100 (is para valores de

intensidade do feixe fixados em 8,25; 10,88; 14,01; 17,68; 2 1 , 9 5 ; 26,86; 32,45 e 38,77
2
k W . m m ~ , gerando uma malha de oito furos, indicada na figura 30, para oito intensidades

diferentes.

kW.mm
0,2 0,3 0,4 0,5 0,6 0,7 0,8 0,9ms

38,77

32,45

26,86

21,95

17,68

14,01

10,88

8,25

Figura 30 - Malha de furaco ensaiada c o m feixe filtrado

107
Medidas para determinar o dimetro gerou um valor mdio na entrada 211 um e na sada

124 um. Apresentamos abaixo os grficos levantados a partir das medies dos dimetros,

cujos valores que esto nas tabelas que constam no apndice, e so funo da intensidade.

As imagens tomadas das amostras, julgadas mais expressivas pelas medies, foram feitas
nas larguras de pulso 200, 400, 600 e 800 (as agrupadas por intensidades idnticas. A
apreciao cosmtica foi realizada por microscpio tico, marca Olympus, capacidade de
ampliao 1000 vezes na ocular. Acoplado ao mesmo um analizador de imagens com luz
polarizada marca Laika, modelo Quantinet 600HR, tem capacidade para digitalizar e
recolher os dados de imagem em memria e disco. Os erros mdios apurados nas medidas
tomadas so de 4,78 um para superfcie com boa definio e 6,55 um com definio
precria da superfcie para trinta leituras em boas condies. As micrografias foram
obtidas no MEV.

2
Intensidade [kW.mm' ]

Figura 31 - Dimetros para percusso com feixe filtrado, pulsos de 300 us.

Os grficos das figuras 31, 32 e 33 levantados a partir das medies, cujos valores esto na
tabela 7 do anexo, descrevem os dimetros de entrada dE (curva superior), mediano dM
(curva intermediria), e de sada dS (curva inferior) como funo da intensidade, para
furos obtidos com largura de pulso 300, 600 e 900 us respectivamente.

108
 450

400 H

350

E 300
j .
c/>
2 250 -
"S
E 200
55 x dM
T3 150 X X
i*dS
100

50-

0
-r- -1 r r-
| - r-

10 15 25 30 35 40
20

Intensidade [kW.mm' ]

Figura 32 - Dimetros para percusso com feixe filtrado, pulsos de 600 us.

650 H dE
600
550
500 -
E 450
</> 400 -
2
* 350 -
a>
E 300
250
73
200 r

150 -
100 -
50
0

Intensidade [kW.mm' ]

Figura 33 - Dimetros para percusso com feixe filtrado, pulsos de 900 us.

Um ajuste polinomial ameniza os desvios. Pode ser observado que os dimetros dos furos
obtidos com maior intensidade, tambm neste caso, tendem uniformidade num valor
prximo ao do dimetro do feixe adotado em 190 (im. Particularmente interessante o
grfico da figura 33 que aponta boa acomodao dos valores de dimetros medianos, e
2
com total eficincia na sada dos furos para intensidades da ordem de 35 kW.mm " , nas
quais o dimetro medido do feixe coincide como dimetro de sada, indicando grande
paralelismo nas paredes do fiiro, ou seja, reduzida conicidade.

109
Para os trs casos, a ordenada tracejada indica a tendncia de acomodao dos valores
anotados para os dimetros medianos dos fures, que segundo nosso entender indicam o
dimetro eficaz do feixe. As intensidades constantes na malha descrita na figura 30.
Acompanhando o mesmo procedimento de anlise da srie anterior, dos experimentos com
feixe com livre amplificao, apresentamos na figura 34 um grfico que diz respeito
conicidade calculada sobre os furos feitos com pulsos 300, 600 e 900 (is.

Os ngulos da conicidade dado em graus, constantes no grfico da figura 34 foram

calculados de maneira idntica ao mtodo descrito na figura 22. Os grficos das figuras 36
e 35 apresentam curvas que foram construdas pelo clculo apresentado na equao (46),
cujo critrio ilustrado na figura 22, pelo dados contidos na tabela 7 do anexo. Na figura
34 podemos notar que a conicidade uma conseqncia da exposio prolongada
radiao, durante pulsos longos. Comparando as curvas da figura 23, com as da figura 34
evidente a influncia do feixe filtrado na reduo dos ndices de conicidade.

25

20

CD
> 15
<U
TJ
(O
o
1 0
5
<5
o

0
0 5 10 15 20 25 30 35 40

Intensidade [kW.mm" ]
2

Figura 34 - Conicidade comparada entre larguras de pulso.

Aqui tambm o grfico da figura 35, tem critrio semelhante ao da figura 24, que leva em
considerao a conicidade na meia poro de sada do furo, cujo clculo leva em
considerao o dimetro mediano. Aqui tambm foram traadas nas figuras 34 e 35, retas
para efeito de realar o patamar dos 5 graus. Particularmente interessante a reduo da
conicidade para altas intensidades com pulsos 900 us no grfico da figura 35.

110
 Figura 35 - Conicidade na meia seo de sada, com feixe filtrado.

Figura 36 - Comparativo dos dimetros medianos.

Neste ltimo, as curvas parecem indicar um desempenho mais uniforme da conicidade para
furos feitos com largura 600 |is. Verificamos que prevalece a tendncia de aumentar o
ngulo de conicidade do furo na medida em que a largura temporal dos pulsos aumenta,
provocando aumento simultneo do dimetro na regio danificada na entrada do furo. A
explicao pelos dois argumentos citados anteriormente tambm vlida. O primeiro a
instabilidade do feixe em multi-modo, e o segundo o limiar de extrao que, para pulsos
com menor energia, no chega a danificar a borda do furo.

111
Comparativamente, os dimetros medianos desenvolvidos so apresentados no grfico da
figura 36, no qual podemos verificar a tendncia de acomodao dos valores em torno de
190 um, dimetro eficaz do feixe filtrado. Esta tendncia indica um valor aproximado da
2
intensidade do feixe em 28 kW.mm " . Por meio de regresso polinomial de segunda
ordem, as curvas da figura 36 evidenciam outra caracterstica que a maior disperso dos
valores medidos nas amostras para intensidades muito baixas, e tambm para aquelas
2
acima de 30 kW.mm " . Foram testados outros ajustes, que entretanto no geraram
apreciao satisfatria para efeito de concluses ou dedues.

Para baixos valores de intensidade este comportamento pode ser explicado pelo processo
dinmico de extrao do material, cujos valores de intensidade do feixe se localizam
prximo regio na qual h obstruo do furo pelo material ressolidificado. Para valores
2
de intensidade acima de 30 kW.mm " , analisando este conjunto de fatores geomtricos, a
disperso pose ser explicada pela excessiva nuvem de plasma sobre a poa, provocando
espalhamento do feixe incidente, com isto degradando a energia de extrao.

10.2.3. anlises no quantitativas

Das amostras contrudas, examinamos agora quatro extremos da malha proposta. Foram
tomadas imagens de entradas de furos e analisadas no MEV, agrupadas por duas
intensidades idnticas e em larguras de pulsos.

2
kW.mm" 0,2 0,8ms

38,77

8,25

Figura 37 - Grade de anlise das entradas dos furos

A figura 37 uma matriz para localizao, citando os valores dos parmetros de processo
que foram utilizados nos furos da figura 38.

112
 Figura 38 - Influncia da intensidade no acabamento.

Pelas imagens obtidas, podemos evidenciar o ganho qualitativo conseguido pela filtragem
espacial do feixe em comparao com a srie feita com feixe free pah. As micrografias
que deste mosaico foram obtidas das entradas de furos feitos por percusso nos seguintes
2
parmetros. Os superiores construdos com intensidade 38,8 kW.mm" e os inferiores com
intensidade 8,25 kW.mm , Os da esquerda com pulsos de 200 u.s e os da direita com
pulsos de 800 u.s.

Comparando as entradas dos dois furos feitos com menor intensidade podemos observar
que o da esquerda teve seu dimetro comprometido pela falta de energia dos pulsos. Os
dois da direita apresentam maior quantidade de respingos provocados pelos pulsos longos.
Comparando as duas entradas dos furos feitos com maior intensidade, podemos observar
que os dimetros so muito semelhantes, a despeito da largura dos pulsos. Para efeito de
medio temos que as escalas so idnticas.

Para uma verificao visual simplificada da ocorrncia de respingos depositados na borda

de entrada dos furos, a figura 39 mostra entradas de trs furos obtidos por feixe filtrado,
sendo a largura de pulsos 400 u.s para os trs casos nas intensidades de 8,3; 10,8 e 14,0
2
kW.mm respectivamente da esquerda para a direita.

113
 Figura 39 - Entradas de furos com dimetro 300 u.m feitos com feixe filtrado.

A situao tpica apresentada na figura 40 cujas micrografias mostram as sadas dos furos

feitos com feixe filtrado contendo resduos nas bordas. O furo da esquerda foi obtido com
2
feixe de intensidade 39 kW.mm " com pulsos de largura 800 ps. O furo da direita foi
2
obtido com feixe de intensidade 34 kW.mm " com pulsos 400 ps.

Figura 40 - Furos com excelente cosmtica na sada, sem retrabalho.

Comparativamente, fica demonstrado que com uma diminuio simultnea na intensidade

e na energia dos pulsos a sada do furo fica mais congestionada pelos resduos
ressolidificados, alm de comprometer a circularidade.

H certas irregularidades na conformao geomtrica do furos que so internas e podem

receber classificaes distintas. A rugosidade quase inexistente dentro da malha dos
parmetros de percusso que praticamos, principalmente pelo efeito restaurador do
material ressolidificado na parede do furo.

114
Vale salientar que na obteno destas imagens, as amostras foram limpas apenas em ultra
som com gua. Uma limpeza eletroqumica poderia ter removido parte dos respingos e
material depositado nas bordas. Este tratamento no foi proposto para este trabalho por
uma questo de simplicidade, uma vez que resultados como estes esto rigorosamente mais
prximos da simplicidade do processo, sem retrabalho.

Deve ser observado que as imagens resultantes da anlise no MEV destacam os contrastes
estruturais, onde as formaes so constitudas por materiais de caractersticas alteradas e
diferenciadas das originais. Como nas bordas de um furo feito em chapa de ao inox temos
material ressolidificado constitudo por diversas estruturas oxidadas, e respingos
bruscamente ressolidificados com diferentes parmetros de rede, incluindo fase vtrea, as
imagens ficam prejudicadas comparadas com anlise por iluminao natural.

Formao de barreling - Um fenmeno muito citado nos estudos de furaco por Laser a
conformao de "'barrica" no interior do furo. Na figura 41 podemos observar, box direita
dois furos feitos por percusso com feixe free path. cujo perfil irregular apresenta um
estreitamento no linear na sada, desta forma no constituindo simples conicidade.

Figura 41 - Micrografias de dois furos com barreling ilustrados

direita, e visveis na comparao do bloco esquerda, sendo abaixo
para pulsos mais longos, e sem barreling e esquerda acima, para
pulsos mais curtos.

115
A durao temporal dos pulsos, tem relevante papel na formao deste fenmeno conforme
apresentado na figura 41. No box esquerda duas amostras obtidas em condies
idnticas de intensidade, cujos furos foram obtidos variando, da esquerda para a direita, de
5.0 a 8.0 kW.nim "\ a superior feita com pulsos 300 us e a inferior com pulsos 600 us
demonstram que, nas baixas intensidades, um aumento da energia dos pulsos pode ser
contraproducente. No box direita duas micrografias de furos feitos por percusso com
pulsos 200 u.s de feixe free path com intensidades elevadas 31,7 kW.mm ' o da esquerda e
2
37,9 kW.mm o da direita. Esta reduo acentuada no dimetro de sada faz com que a
utilizao de Laser para fins de furaco com elevado grau de rigor cosmtico ou elevado
desempenho, como pulverizao e turbulncia, perca atratividade para os processos
concorrentes. No nosso estudo, a etapa que analisa os efeitos do feixe filtrado este
fenmeno no ocorreu, demonstrando que alm da intensidade compatvel com a durao
dos pulsos, a qualidade do feixe tambm exerce importante influncia neste resultado.

Figura 42 - Evoluo do fenmeno barreling .

A seqncia da figura 42 descreve a evoluo do fenmeno enquanto funo da

intensidade do feixe. As trs micrografias so de furos feitos com feixe free path por

percusso com largura de pulsos 500 u.s. Da esquerda para a direita, as intensidades
2
utilizadas foram respectivamente 4,15; 5,85 e 7,96 kW.mm " . Isto denota que com o

aumento da intensidade, mantendo constante a durao dos pulsos e aumentando a sua

116
energia unitria, h um aprofundamento da poa culminando com um perfil mais
regularmente prximo de um cilindro.

Figura 43 - Dois exemplos de soluo para o barreling

H pelo menos duas possibilidades de solucionar este problema. Um o resultado

restaurador do material aderido e ressolidificado na parede do furo como pode ser
observado no box da esquerda na figura 43, e o outro por meio de um feixe de grande
intensidade com pulsos de alta energia, conforme o que se apresenta na mesma figura no
box direita. As duas micrografias obedecem mesma escala. O primeiro foi obtido com
2
feixe de intensidade 15,3 kW.mm " e pulsos com 200 u.s e o outro com feixe de
2
intensidade 23,7 kW.mm " e pulsos com 900 |is. No segundo caso o custo desta soluo
fica evidente com agravamento da conicidade.

Uma vez que foi obtida melhoria dos resultados para o processo com feixe filtrado pela ris
de dimetro 4,0 mm comparado aos resultados obtidos por percusso com feixe free path,
com a finalidade de aprimorar tais resultados, foi desenvolvida outra srie experimental
utilizando feixe ainda mais fortemente filtrado.

10.2.4. Refinamento do feixe

Foi inserida no ressonador uma ris com dimetro 1,2 mm que resulta num feixe com modo
TEM oo para realizar ensaios por percusso com feixe mais prximo do modo fundamental,
que chamaremos "feixe refinado", e desenvolvemos uma srie destinada a observar o
desempenho do processo com feixe de melhor qualidade, mais fino e com menor potncia.

117
Por este meio foram estabelecidos valores aproximados das variveis de controle, ou

parmetros da fonte no bombeamento, para larguras temporais de pulsos 400 e 600 us.

Com a degradao na potncia pico do feixe e da energia do mesmo, decorrente da

filtragem espacial, os patamares de intensidades foram aumentados para possibilitar a

2
perfurao nas intensidades 12,4; 17,7; 23,6 e 38,8 kW.mm que registraram dimetros de

60. 67, 70 e 90 um. Desprezando o valor mais disperso resulta uma mdia de 65,7 um. O

valor do dimetro em primeira aproximao, dado na relao (48), toma como base o feixe

desenvolvido em freepath, pode ser encontrado no intervalo entre 57 < O < 70 um.

^ =M (48)
1.2 X

Estamos propondo que esta relao (48), a exemplo da (47), seja mais intensamente testada
para verificar sua validade. Isto possvel tomando como base o dimetro do basto, o
dimetro da ris, o dimetro medido no ponto focal com e sem ris. Recomendamos que os
valores de potncia pico para bombeamento sejam os mais elevados possveis para
compensar a degradao do feixe. Estimamos que a potncia obtida por este arranjo, bem
como a energia discreta responsvel pela propagao das ondas de calor, seja suficiente
para perfurar chapas finas com bom rendimento.

De acordo com este critrio, adotamos a utilizao de chapas com espessura mxima 200

um para obter resultado de bom nvel e de espessuras 300 um, 500 um e 1,0 mm para

comparar com os resultados anteriores. Para compensar a degradao energtica dos

pulsos, decorrente da atenuao de potncia no refinamento do feixe, tambm dilatamos o

tempo de exposio em trens de pulsos com durao de 10, 15, 20, 30 e 50 segundos para

verificar a influncia do tempo de exposio sobre a capacidade de perfurao. Os

experimentos preliminares foram realizamos com chapa de espessura 1 mm, em furos

2
utilizando intensidades de feixe 38,8; 32,5 e 26,9 kW.mm ' . As anlises demonstraram que

o emprego de chapas com espessura acima de 200 um no podem ser perfuradas com tal

configurao, e os resultados cosmticos no foram expressivos.

118
 Figura 44 - Entradas de furos obtidos por feixe refinado, com dimetro

aproximado de 65 pm. em chapa de ao inox espessura 200 um.

Para verificar a eficincia de perfurao em chapa de espessura 300 um foi experimentado

:
com feixe refinado de intensidade 38,8 kW.mm " com pulsos de 600 ps com tempo de

exposio 1. 2, 4, 6, 8 e 10 segundos.

As imagens da figura 44 so micrografias feitas dos furos obtidos com feixe refinado de
intensidade 38,8 kW.mm " para largura de pulsos 600 ps para tempo de exposio 6 e 10
segundos. Na figura 45 um painel mostra em cima as entradas de dois furos com trincas na
borda, mas com baixo ndice de material ressolidificado e ausncia de respingos. Na parte
inferior as entradas de outros dois furos nos quais possvel visualizar os danos na borda
provocados por penetrao demorada.

Neste quadro as imagens superiores esquerda e direita so de furos em chapa de espessura

2
300 um que foram obtidos com feixe refinado de intensidade 38,8 kW.mm para largura

de pulsos 600 ps com tempos de exposio 8 e 10 segundos.

119
 Figura 45 - Efeitos da compensao no tempo de exposio, para pulsos 600 u,s;

(a) 1 = 39 kW, 8 s.; (b) I = 39 kW, 10 s.; (c) I = 27 kW, 50 s.; (d) 1 = 27 kW, 20 s.

Ambas as imagens inferiores pertencem s entradas de furos obtidos com feixe refinado de
2
intensidade 26,9 kW.mm " para largura de pulsos 600 u,s sendo a esquerda com tempo de
exposio 50 segundos e a direita com com tempo de exposio 20 segundos. Fica com
isto ilustrada a influncia do tempo de exposio para compensar um feixe de menor
potncia e pulsos de menos energia pelo aumento de tempo de exposio assim
aumentando o tempo de processo e tambm o nmero de pulsos necessrios para obter
perfurao alm da degradao cosmtica.

Consideramos ser estes os mais relevantes dos fenmenos que ocorrem no processo de
furaco por Laser, porm nem todos so facilmente mensurveis do ponto de vista
quantitativo. As duas formas de avaliao no quantitativa acima descritas, respingos,
barreling e trincas aparentes na borda no encerram a discusso nem esgotam as
possibilidades de avaliao qualitativa mas foram as contribuies mais evidentes a extrair
dos experimentos realizados. Melhorias no processo so possveis principalmente podendo
ser escolhida outra modalidade, a trepanao.

120
10.3. Trepanao
Uma srie de experimentos foi feita para verificar a influncia de piercing na borda do furo
feito por trepanao. Recapitulando, a percusso o processo onde um trem de pulsos
incide sobre o mesmo ponto, perfurando o material enquanto que na trepanao o piercing
obtido por percusso e em seguida o feixe desenvolve uma excurso circular conforme
pode ser observado na figura 46.

kerf

piercing

Figura 46 - Ilustrao do processo de trepanao

Desenvolvimento experimental - Foram construdas amostras visando verificar a

influncia deste processo sobre o resultado cosmtico comparativamente percusso.
Foram construdos programas CNC de corte circular que obedeceram a duas finalidades,
uma para realizao de piercing na borda, como ilustrado na figura 46, e outra para
piercing central buscando verificar possveis influncias da mudana da posio do
piercing nos resultados finais.

Os programas CNC foram projetados para os dimetros 60 e 300 um e previstos para

realizar piercing no centro, programas para dimetros 100 e 450 um foram previstos para

realizarem piercing na borda e os programas para dimetros 120 e 570 um foram previstos

para realizarem piercing em ambas as posies, no centro e na borda.

Irradiao - O ajuste dos parmetros nesta etapa das investigaes seguiu uma malha de

valores onde os resultados esperados so de ordem mais ilustrativa e menos quantitativa.

Em chapa fina de espessura 200 um foi experimentado feixe refinado de dimetro 60 um

2
no ponto focal com a intensidade 38,8 kW.mm" , para crculos de dimetros 60, 100 e 120

um enquanto que, em chapa de espessura 1,0 mm foram experimentadas duas intensidades,

2 2
a menor com 12,4 kW.mm ' e a maior com 38,8 kW.mm" para dimetros 300, 450 e 570

um com feixe filtrado de dimetro 190 um no ponto focal. Em todos os casos a largura dos

121
pulsos foi de 400 u.s. Este critrio levou em considerao a capacidade energtica do feixe

em perfurar chapas, tendo como resultado esperado um elevado grau de aprimoramento.

l?,4kW

3 8 , 8 kW
......
1 mm
1 (
1
i WBmmSm

Figura 47 - Trepanao de diferentes dimetros, com feixe filtrado.

A amostra superior que mostra os perfis desbastados na figura 47 foi obtida com feixe de
2
intensidade 12.4 kW.mm e a inferior com intensidade 38,8 kW.mm *, ambas em chapa

de espessura 1.0 mm com feixe filtrado de dimetro 190 u.m no ponto focal. Da direita para

a esquerda foram desenvolvidos respectivamente os dimetros 300, 450, 570 e 570 u.m.

Figura 48 - Entradas de furos trepanados

Na figura 48 vemos entradas de furos trepanados em chapa espessura 200 yim, com feixe

refinado dimetro 60 u.m no ponto focal. Da esquerda para a direita os dimetros foram 60,

100 e 120 u.m respectivamente. facilmente dedutvel que ao executar esta modalidade de

furaco os resultados so muito compensadores tanto pela circularidade, pela drstica

atenuao da conicidade, pela ausncia de barreling, pela ausncia de respingos, bem

como pela ausncia de material ressolidificado. A nica ressalva que se faz no sentido de

utilizao de parmetros que sigam critrios para diminuio da largura dos pulsos,

aumento da intensidade e refinamento do feixe. Notamos que para furos com dimetros

trepanados com, no mnimo, trs vezes o dimetro do feixe, o resultado final bastante

satisfatrio.

122
11. Critrios de experimentao
Os critrios para construo dos arranjos e das amostras, bem como as leituras feitas
durante a caracterizao esto descritos aqui. Iniciando pela escolha e descrio do ao
inox. matria prima utilizada nestes experimentos que j foi analisado pela sua composio
e aplicaes.

11.1. Descrio dos mtodos

No processo de parametrizao foram utilizados, configurados e interfaceados vrios
equipamentos. Para verificar experimentalmente os ndices do feixe, que foram estudados e
descritos, o mtodo escolhido foi de leitura da energia unitria versus a energia bombeada,
para verificar o ganho do sistema. Neste percurso, foram levados em conta a leitura da
configurao da fonte na entrada e a medio por meio de calormetro na sada, que
indicou estreita concordncia com os dados literrios que so mencionados como sendo da
ordem de 1 %. A determinao do perfil do feixe foi realizada por dois mtodos. Um para
determinar o perfil espacial por cmera e programa lgico, e outro para determinar o perfil
temporal pelo uso de osciloscpio.

11.1.1. Determinao do dimetro do feixe

A medio do dimetro do feixe, mostrou uma relao direta de proporcionalidade entre o

dimetro do feixe no ponto de trabalho e o dimetro permitido durante a amplificao.
Usando lente focal de comprimento 100 mm. A medio do dimetro eficaz do feixe foi
feito com filme kapton no ponto de trabalho.

A amplificao livre tem dimetro estimado de 6,3 mm que o dimetro do basto, e

produz um dimetro iluminado de 295 u.m, que concorda com os grficos de dimetros,

dos furos feitos por percusso. Em ambos os casos a leitura convergiu para 300 \xm. Ao ser

inserida uma ris com dimetro 4,0 mm na trajetria do feixe no interior do ressonador, foi

obtido um dimetro iluminado de 190 u.m, e ao trocar a ris por outra de 1,2 mm o

dimetro iluminado foi de 60 u.m. Restringindo o feixe, a energia produzida provoca

extrao insuficiente, provocando acmulo de metal fundido que ao ressolidificar obstrui a

sada do furo. A energia mnima produzida pelo mdulo para um pulso de 200 ^s tem

aproximadamente 100 mJ, energia proporcional rea iluminada. Supondo vlida a

123
e q u a o ( 4 7 ) p o s s v e l supor a ( 4 8 ) que e s t i m a um pulso de 4 0 0 u.s contendo 8 mJ pela

insero d a ris dimetro 1,2 m m .

11.1.2. Medio da energia contida no feixe

A lente focai no apropriada para m e d i o pois concentra a radiao num ponto diminuto

a u m e n t a n d o a intensidade. Um arranjo para a t e n u a o pode ser m o n t a d o c o m retirada da

lente focal, que permite menor d e n s i d a d e no detetor sendo este c o l o c a d o fora de foco.

O feixe atenuando numa razo previamente conhecida, e interposto um e x p a n s o r ,

a u m e n t a n d o a p r e c i s o da leitura. E s t e arranjo apresentado na figura 4 9 .

expansor
retirado
laser

laser laser
absorvedor

I c
tu

lente focal
unidade
leitora

'proteo 3
o

\ /
l / T3
\ '

ponto focal

F i g u r a 4 9 - Arranjo para leitura da energia incidente no ponto de trabalho.

124
Para o uso de medidor calorimtrico de energia, marca Scientech, modelo 373, torna-se
necessrio interpolar filtros atenuadores na trajetria do feixe, para fazer uma amostragem
isenta de risco. Estes filtros atenuadores so construdos de espelhos dieltricos com
reflexo cuja ordem de grandeza conhecida, para retirar uma amostra do feixe incidente.
Uma vez mensurada, a leitura pode fornecer o valor da energia incidente na superfcie de
trabalho, bastando para isto multiplicar o valor da leitura pelo fator de atenuao.

11.1.3. Mtodos para caracterizao da qualidade do feixe

As caractersticas de emisso Laser, sua amplificao, instabilidades e aberraes influem
drasticamente na qualidade do feixe e do processo, e do perfil da distribuio de potncia
caracterstico. O modo TEM oo mais eficiente quanto qualidade cosmtica da furaco,
desde que mantida a sua potncia, sendo mais amplamente utilizado na abordagem
conceituai. Entretanto no modo fundamental a reduo do do volume amplificado implica
em reduo de potncia, o rendimento de potncia neste caso muito baixo, o que dificulta
o uso de feixe com este modo TEM em aplicaes como a microfurao.

Expansor

Ponto focal

Figura 50 - Esquema interno de montagem do conjunto focal.

125
A medio de energia incidente no ponto de trabalho foi possvel por meio de um arranjo
ptico que apresentado na figura 50. Isto foi indispensvel, pela necessidade de
atenuao do ndice de energia incidente utilizado no processo, que precisa ser muito
inferior para preservar o limite de sensibilidade ao dano, do elemento de leitura.

A figura 50, descreve o perfil espacial de intensidade do modo TEM oo- A regio tracejada
define o dimetro do feixe 2\v, que no seu bordo lateral tem intensidade 13,5 % do valor
mximo. A regio perifrica adjacente desconsiderada para efeitos prticos. Assim sendo,
o nvel crtico de intensidade do feixe para que haja eroso do material a ser processado
depende de fatores como o comprimento de onda, a coerncia do feixe, o modo TEM e o
gradiente de energia. Supondo que as flutuaes sejam sutis, podemos considerar o nvel
critico de energia e intensidade como um valor definitivo para o processo.

O dimetro eficaz do feixe depende da potncia pico, do dimetro do feixe e do valor

crtico de energia tpica para o material em questo. Considerando, para efeitos gerais, que
CVI11
a potncia pico seja mantida constante, o dimetro do feixe se mantm constante. [ ].

-1.5w - w 0 w 1.5w

raio de contorno do feixe

Figura 51 - Distribuio de potncia de um feixe no modo T E M fundamental

126
Flutuaes na intensidade do feixe, implicam em alterao no dimetro eficaz do mesmo
durante o processo. Assim, o dimetro til do feixe define o comportamento do dimetro
efetivo do processo.

11.1.4. Procedimento para amostras

Para construo de amostras seguimos um roteiro que apropriado tanto para sries
contnuas, lotes pilotos, ou tambm para ensaios eventuais quanto sua irradiao,
preparao e anlise. Uma observao inicial que devido as dimenses micromtricas
dos furos produzidos, o recorte das amostras deve ser realizado fora dos domnios do
processo. Em seguida, necessrio desbastar a lateral dos furos construdos para se
analisar sua seo transversal, que contm os dados que so alvo do estudo deste projeto.

Irradiao das amostras - Foi idealizado um modelo geomtrico padro para construo
de amostras visando a rapidez e eficincia no processamento, na preparao, na inspeo,
no seiup de desbaste, no desbaste propriamente dito, e na anlise. A geometria das
amostras foi concebida, de tal modo que o tempo de irradiao varia de acordo com a
necessidade ou no de troca dos parmetros do Laser. Foram levadas em considerao as
dimenses apropriadas aos microscpios, ao Jig de polimento, geometria do CNC.

O posicionamento pode ser feito por comandos do CNC previamente inseridos num
programa ou ainda por meio de comandos Jog, aquele que for mais conveniente.
Preferimos os comandos Jog dado a simplicidade de operao. A realizao individual de
cada furo depende de vrios fatores compreendendo a modalidade LSS, percusso ou
trepanao bem como a eficincia de um dado conjunto de parmetros.

Geometria das amostras - Os principais cuidados com relao s dimenses das amostras
ficam por conta dos itens espessura da chapa, dimenses dos furos, excedente no recorte e
construo de ferramenta. A espessura da chapa seguiu o critrio definido empiricamente
baseado na energia dos pulsos, e na necessidade de perfurar a chapa. Como os
experimentos LSS tiveram interesse em medir a profundidade, houve o cuidado
preliminarmente estabelecido de evitar a perfurao, e por isto foi utilizada chapa de
espessura 2,0 mm. No caso da percusso e trepanao o objetivo foi o oposto e portanto
utilizamos chapa de espessura mxima 1,0 mm, dependendo da intensidade do feixe. Uma

127
vez que a intensidade funo do dimetro do feixe durante sua amplificao, a filtragem
por ris restringe o mesmo fazendo cair a sua intensidade aproximadamente proporcional.

15,0 4,0

0,200

O O O
0,175 i i dimetro

17,0 entrada

6.0

Figura 52 - Geometria padronizada das amostras, cotas em mm.

As dimenses da amostra padro devem respeitar o compartimento de anlise do MEV, a

compactao do maior nmero de furos na mesma amostra de formato padronizada, a
irradiao feita em linha reta para possibilitar posterior desbaste lateral simultneo. O
desbaste foi cuidadosamente estudado para no demandar tempo em excesso, e ao mesmo
tempo preservar as propriedades conferidas pelo Laser aos furos durante a irradiao, para
anlise da parede interna.

Uma geometria descrita na figura 52 foi concebida para ser utilizada na construo

padronizada de amostras. Uma chapa do material fixada sobre a mesa da mquina no

ponto de trabalho foi irradiada a espaos A L em fila simples, produzindo at dezesseis

furos de dimetro 300 p.m em cada uma. Este dimetro relativo ao feixe utilizado na

primeira parte e serviu como base para padronizao dos intervalos A L = l mm.

Ao completar a srie, o programa grfico, previamente editado e carregado na memria

CNC serviu para recortar o contorno da amostra automaticamente aps os furos serem
realizados. Por este procedimento, amostras podem ser irradiadas num intervalo mnimo
de tempo, que incluindo a troca de amostras, decai acentuadamente medida que esta

128
mudana de parmetros menos freqente. A figura 53 mostra diversas amostras

preparadas.

Figura 53 - Amostras prontas para anlise

Identificao - Uma vez terminada a etapa de construo das amostras e sua avaliao
preliminar, as mesmas foram identificadas por trs dgitos utilizando um engraver, um
dgito alfanumrico e dois numricos, no formato aNN, onde a a srie, e NN
representam um nmero de srie. As sries A e Bo e B | foram destinadas ao LSS, sendo
que a srie A foi preliminar para estimar e espessura mais adequada de chapa, e as sries B
foram de desenvolvimento e refinamento dos resultados respectivamente. A srie C foi
precedida de uma srie C tambm para determinar a espessura mais adequada de chapa, e
0

juntamente com a srie D foram destinadas percusso, sendo que a srie D foi um
refinamento dos resultados utilizando filtro espacial. Sucederam-se diversas sries com
objetivo preliminar de desenvolver trepanao, sem no entanto apresentar resultados
satisfatrios ou relevantes, motivo pelo qual preferimos abordar apenas as que so aqui
mencionadas. As sries K e M foram destinadas trepanao, sendo que a srie K foi
realizada com feixe em freepath, ao passo que a srie M foi realizada com filtro.

Preparao das amostras & anlise cosmtica - As amostras limpas foram analisadas em
microscpio tico Olympus com ampliao 10x na ocular e 5x, 10x, 20x, 50x. 100x na
objetiva gerando uma ampliao A nas grandezas 50x < A < lOOOx, e medidas com auxlio
do analisador de imagens digitalizado Quantinet acoplado. Algumas foram separadas para
serem micrografadas no microscpio eletrnico de varredura.

129
Desbaste das amostras - As amostras foram desbastadas utilizando uma lapidadora

constituda por um disco plano horizontal giratrio construdo em ferro fundido, irrigado

com uma soluo abrasiva de ethilenoglicol como solvente, contendo alumina 2000 em

suspenso, com tamanho mdio de gro 8.55 u.m.

O Jig , um aparelho utilizado para desbaste em politriz. sobre o qual foi parafusado um
dispositivo de fixao para o posicionamento da amostra durante o desbaste. Este foi
concebido e usinado em alumnio, com formato idntico de morsa conforme pode se ver na
figura 54. A fixao das amostras tem troca rpida. Para possibilitar tal operao,
desenhamos um dispositivo de fixao rpida das amostras ao Jig. Trata-se de um
dispositivo, cuja funo garantir firmeza e preciso no alinhamento, que dispe de ajuste
para controle de carga sobre a pea em desbaste. Pela geometria padronizada adotada,
obtemos um avano no desbaste de at 20 u.m . min"' podendo desbastar uma amostra em
30 minutos.

Figura 54 - Jig utilizado para fixao de amostra durante o desbaste, esquerda;

fixao de amostra, direita.
Caractersticas da soluo abrasiva - As amostras foram desbastadas utilizando uma
lapidadora irrigada com uma soluo abrasiva de ethilenoglicol como solvente, contendo
alumina granulada em suspenso. O solvente tem formulao C H 0 ; sendo carbono a
2 6 2

38,70 %; hidrognio a 9,74 % e oxignio a 51,56 %, percentuais em peso. Estrutura

ethanediol H O C H C H OH; mol 62,07; densidade a 25 C entre 1,1126 e 1,1134 G . m l ;
2 2

130
ponto de fuso aproximado entre 193 e 205 C; viscosidade caracterstica 17,3 centipoise a

25 C. largamente utilizado em diversas aplicaes industriais principalmente por sua

estabilidade e propriedades qumicas e neutralidade. A alumina 2000 uma calcinao

higroscpica de AI2 O 3 , sendo alumnio a 51,91 % e oxignio a 47,08 % em peso;

constante dieltrica 1,2 x 1013 Q . c m "' a 300 C; mol 101,94; tendo tamanho mdio de

gro entre 7.89 e 9.21 |_im.

Limpeza - Neste processo, a limpeza foi feita deixando mergulhadas as amostras num
banho de ultra-som, utilizando gua potvel misturada com detergente domstico. A
geometria da seo do furo apropriada para se tomar suas medidas, porm parte do
resduo abrasivo permanece no interior do furo. As amostras que devem ser analisadas e
micrografadas no MEV passam ento por um banho de soluo contendo gua com
detergente imersa em ultra som, que destaca as crostas do material remanescente.

131
11.2. Tratamento dos dados
Como o espao amostrai N produzido pelos experimentos est compreendido no intervalo
2 < N < 8 leituras para cada configurao do sistema, ou conjunto de parmetros, a
disperso dos valores segue um padro denominado "exato'", ao passo que a "distribuio
aproximada" normalmente utilizada para N < 30. A verificao da consistncia no foi
estatstica, mas ocorreu por amostragem e repetio da experimentao nos casos
duvidosos, detalhando os intervalos que indicavam indefinies. Sugerimos que sejam
feitos ensaios posteriores, com populaes maiores no sentido de gerar resultados que
sejam estatisticamente referendadores ou no para o que se apurou nas concluses aqui
apresentdas, no que teramos pronunciado interesse.

132
12. Concluses
Durante o desenvolvimento da etapa experimental deste trabalho foram publicados dois
LIX CN
trabalhos com resultados parciais dos experimentos [ ] [ ].

As constataes levantadas no processo LSS levaram na direo da volumosa quantidade

de material extrado, e na capacidade de perfurao de chapas de espessura 2,0 mm com
intensidade mxima e mxima largura temporal dos pulsos. O LSS uma ferramenta
verstil quando se trata de aplicaes onde no haja rigor cosmtico, e tambm onde a
razo de aspecto seja irrelevante.

Este processo, para o caso da CPML, somente vivel quando do uso de chapas de
espessura abaixo de 1,0 mm onde o valor do dimetro e o seu posicionamento podem
variar dentro de tolerncias relaxadas. Neste caso, a nfase se d na produtividade, e o
nmero de furos obtidos por segundo igual taxa de repetio permitida pelo
equipamento.

Para percusso com feixe filtrado a degradao no rendimento foi compensada pela
melhoria na cosmtica resultante, e seu dimetro til diminuiu proporcionalmente. A
potncia pico foi atenuada implicando na reduo de eficincia na perfurao de chapas
com espessura de 1.0 mm, mesmo com a manuteno da intensidade. Para chapas com
espessura at 200 um a filtragem trouxe aprimoramento dos resultados. Para valores de
2
intensidade abaixo de 15 kW.mm " , a capacidade de perfurao ficou comprometida, o que
foi observado pelo aumento da conicidade e ocorrncia de barreling para larguras de pulso
acima de 400 u.s. Os valores de conicidade no indicaram coerncia na mudana de
parmetros uma vez que aumentando a intensidade os ngulos aumentaram quase
linearmente, indicando que para extrao preferencial na fase lquida a conicidade
apresentada fator inerente e irreversvel, pois no nosso estudo no indicou possibilidade
de atenuao. Estudos enfatizando extrao de vapor podem trazer maiores contribuies
neste sentido, pela utilizao de pulsos curtos com maior intensidade.

No processo de trepanao, no foi observada qualquer influncia da posio do piercing

incidindo no centro ou na borda do furo trepanado, pelo menos dentro dos parmetros
praticados. Nos programas de corte para trepanao foi introduzida uma correo no

133
dimetro de ferramenta, que se demonstrou irrelevante mediante a disperso dos valores
medidos. A correo de ferramenta previa o ajuste de posicionamento do feixe relacionado
ao seu dimetro, porm o desvio nas medies bem como a conicidade foram mais
expressivos. Os dimetros medianos no foram estimados no processo de trepanao, pelo
qual foram obtidos furos com aprimorado paralelismo entre as paredes, conforme pode ser
visto na figura 49, at porque a espessura da chapa foi um fator limitante no processo de
desbaste lateral, motivo pelo qual foi abortado. Este fator no representou restrio aos
resultados do nosso estudo, pois como foi mencionado, o carter da investigao do
processo de trepanao foi mais ilustrativo do que quantitativo.

Como o processo de extrao, para precusso com pulsos da ordem de dcimos de mili
segundo, acontece principalmente com material fundido, h um acmulo de respingos ou
material ressolidificado na borda de entrada dos furos quando o feixe free pah utilizado,
sendo portanto vantajoso filtrar os modos concorrentes, com isto aprimorando a cosmtica.
O material ressolidificado tanto na bordas como na paredes interna do furo podem ser ou
no vantajosos dependendo dos fins propostos, e sua ocorrncia inversamente
proporcional potncia do feixe, e no caso de intensidades insuficientes simultaneamente
proporcional energia unitria, aquela contida em cada pulso quando em regime
estacionrio. Para intensidades elevadas quase imperceptvel a variao na largura dos
pulsos bem como na energia unitria.

O processo de furaco de metais por Laser um assunto vasto e que pode e deve ser
estudado com mincias a partir de certos pressupostos, dependendo das condies
disponveis para cada situao. So muitas as possibilidades de exigncia dependendo da
aplicao final do produto. A variedade de alternativas para controle dos parmetros
ofereceram no nosso estudo, opo de escolha o que foi fundamental para expressivos
resultados preestabelecidos.

134
No que se refere geometria e s caractersticas mecnicas o ao inox muito verstil e,
mesmo no sendo adequado ao tratamento trmico, o que implica na ocorrncia de
fenmenos intrnsecos envolvendo reaes entre os diversos elementos de sua composio,
o resultado foi altamente satisfatrio. Nas condies que se apresentam, e pelos resultados
obtidos e demonstrados podemos afirmar que a CPML oferece amplo grau de liberdade
com relao a todas as exigncias que se fizeram presentes.

A extrao por LSS se demonstrou instvel na regio dos pulsos entre 700 e 1000 u,s, os
valores de intensidade mais interessantes nestas sries de ensaios experimentais, para
2
efeitos gerais, foram acima de 18 kW.mm " . A conicidade parece difcil de minimizar para
os 5 graus. A convergncia dos valores medidos dos dimetros dos furos, para com o
dimetro do feixe utilizado no caso do processo de percusso, indicou que as larguras de
pulsos 300 JUS so em geral melhores, sendo mais estveis e apresentando menor disperso
2 2
nas medidas com intensidades acima de 20 k W . m m " para feixe free path, e 30kW.mm~
para feixe filtrado, provavelmente pela degradao energtica.

13. Sugestes
Podemos citar algumas das vertentes que somariam valor ao presente trabalho. Um estudo
sobre o comportamento da absoo {A} do feixe Laser Nd:YAG pelo ao inox, a
diferentes regimes de temperatura, e a absoro {B} em diferentes larguras de pulso.

Realizao de estudos na furaco por percusso utilizando uma anlise mais minuciosa a
2
faixa de intensidade do feixe {C} acima de 25 kW.mm ~ , pois nesta regio os valores
pareceram mais em conformidade com o esperado. Este estudo poderia incluir
experimentao com feixe free path (livre amplificao) e feixe filtrado {D} por diversas
aberturas. Um estudo incluindo avaliao quantitativa {E} e geomtrica da furos obtidos
por trepanao. Estudos direcionados s cinco sugestes acima realizadas sobre outras
ligas {F} de uso industrial.

Um outro estudo sobre a variao de energia e intensidade impostas ao feixe filtrado {G}
com relao ao feixe obtido por free path. Outro estudo sobre a variao do dimetro no
feixe filtrado {H} como funo da abertura conforme suposto pelas relaes (50) e (51). A
incluso de um recurso de medio microprocessada automtica {I}, dos furos para

135
avaliao em lote. A instalao de um polarizador de feixe {J} poderia ser vantajoso em
mais de uma forma de processo. Tambm seria interessante adicionar recursos na
amplificao do feixe como multiplicador de freqncia espectral {K} na banda visvel ou
ultravioleta, e tambm dispositivo chaveador ou compressor para fornecer pulsos curtos
{L} com elevao de algumas ordens de grandeza na intensidade, seriam alguns dos
desdobramentos desejveis que poderamos mencionar.

14. Notas adicionais

Ao inox - H uma leve discordncia entre os valores contidos na literatura, com relao s
constantes termofsicas, pelo que achramos oportuno deixar aqui uma nota neste sentido.

LXI
O fabricante [ ] das chapas de ao inox 304 d uma composio assim definida; uma
liga composta basicamente de ferro,.cromo de 18 a 20 %; nquel de 8,0 a 10,5 %;
mangans menos de 2,0 %; carbono residual menos de 0,08 %; fsforo residual menos de
0.045 %.

CNM
Segundo Lide [ ] o ao inox A1SI tem calor especfico c = 0.12 kcal (kg . C ) " ' , ou 502 J

(kg . C)"' onde 1 Joule = 0,2389 cal; a temperatura de fuso 7V = 1698 K. (ou 7> = 1425
1 3
C); condutividade trmica 15 mW (mm . K ) " ; densidade 7,9 g.cm " ; coeficiente de

expanso 17,3 C " ' ; resistividade eltrica 72 u.Q . cm; mdulo de elasticidade 195 GPa;

resistncia tenso 550 GPa. No foi possvel localizar o valor do coeficiente de difuso

trmica, ou difusividade trmica k.

CX1
Segundo Steen [ "] o ao inox AISI 304 apresenta para as condies CNTP, estes valores
3
nas unidades no Sistema Internacional: densidade 8,03 g . cm " , calor latente de fuso 300

kJ . kg "'; calor latente de vaporizao 6500 kJ.kg "', calor especifico 500 J (kg . C) "',

temperatura de fuso 1450 C, (ou 1723 K); temperatura de vaporizao 3000 C (ou 3272
2
K), condutitivade trmica 4,98 m m . s "'.

136
Como podemos notar os dados so um tanto esparsos. Segundo Prokhorov [ ], para pulsos
2
Laser curtos, a maioria dos metais apresenta difusividade trmica entre 0,1 < k < 1,0 cm
s P o r m este no disponibiza o valor da difusividade trmica do ao inox AISI 304 e
2
assim adotamos para fins ilustrativos o valor aproximado k = 50 mm s "\

Caractersticas da soluo abrasiva - As amostras foram desbastadas numa lapidadora

irrigada com uma soluo abrasiva de ethilenoglicol como solvente, contendo alumina
granulada em suspenso.

O solvente tem formulao C2 H O2; sendo carbono a 38,70 %; hidrognio a 9,74 % e

oxignio a 51,56 %, percentuais em peso. Estrutura ethanediol HOCH2 CH2 OH; mol
1
62,07; densidade a 25 C entre 1,1126 e 1,1134 G.ml " ; ponto de fuso aproximado entre
193 e 205 C; viscosidade caracterstica 17,3 centipoise a 25 C. E largamente utilizado em
diversas aplicaes industriais principalmente por sua estabilidade e propriedades qumicas
e neutralidade.

Foi utilizada alumina granulada 2000, que uma calcinao higroscpica de AI2 O3, sendo
1
alumnio a 51,91 % e oxignio a 47,08 % em peso; constante dieltrica 1,2 x 1013 Q . c m "
a 300 C; mol 101,94; tendo tamanho mdio de gro 8,55 u.m, com gros variando entre
7,89 e 9,21 um.

137
15. REFERNCIAS

1 n d
Fowles, Grant. R; Introduction to Modern Optics; Dover Publications, Inc.; 2 ed., 1975

2
Melles, Jan A., et all; What's a Laser ? Melles Griot; Optics Guide 5, c.17, p.3-6, 1990

3
Steffen, J.; Lasers for Micromechanical, Electronic, and Electrical Tasks; Industrial
Applications of Lasers, p.209-227; 1984

4
Hogan, Hank: Photonics Rolls Up Its Sleeves; Photonics Spectra, v.33, n.8, p.98-104, aug
1999

5
Burgess, Larry W. & Pauri, Fabrizio; Defining the Production Role of Laser
Technology in PCB Fabrication into the Millennium; Proceedings of
European PCB Convention; Wiesbaden, Germany; p. 1-7; Sept.29 - oct 01,
1998

6
Raman, Sudhakar; Park, Keong-Yang; Sun, Bern; Heong, Hun & Nam, C.Hyun;
Successful Implementation of UV Laser Drilling Technology; Circuitree; p.78-86;
dec. 1999

7
Yeo, C.Y.; Tarn, S.C.; Jana, S. & Lau, Michael W.S.; A Technical Review of the Laser
Drilling of Aerospace Materials; Journal of Materials Processing Technology, v.42,
n.l,p.l5-49, 1994

Hecht, Jeff; The Neodimium Laser: A tutorial on the most widely used solidstate laser;
Laser & Applications, v.II, n.l 1, p.57-62, nov. 1983

9
Silfvast, William T.; Laser Fundamentals; Cambridge University Press; 1996

10 th
Kchner, Walter; Solid State Laser Engineering; Springer-Verlag, 4 ed., 1996

11
Spiegel, Murray. R.; Estatstica; Makron Books do Brasil Ed. Ltda; 3 ed., 1993
12
Kamalu, John & Jones, Dean; Statistical Analysis and Control of the Nd:Yag Laser
Percussion Drilling Process; Icaleo section C, p. 123-130, 1996

Yilbas, Bekir Sami; Parametric Study to Improve Laser Hole Drilling Process; Journal of
Materials Processing Technology, v.70, p.264-273, 1997

14
Campos, Vicente Falconi; Controle da Qualidade Total; Fund. Christiano Otoni, 1992

15
Melles, Jan A., et all; Gaussian Beam Optics; Melles Griot Optics Guide 5, c.18, p.2-7,
1990

16
Lord Rayleigh (1901), apud Dewhurst, R.J & Swift, KG; Optics and Lasers in
Engineering, v. 10, p.27-41, 1989

17
Melles, Jan A. et all; Multi-Function Beam Intensity Profilers Melles Griot Optics Guide
5;1990

Prakash, O. & Ram, R.S.; Thecnical Note - Determination of Focal Length of Large
Focal Length Convex Lenses; Optics & Laser Technology, 1996

Johnston Jr, T.F.; M concept characterizes beam quality; Laser Focus World, p. 173-
183, may 1990

Beam Profiler - Operations Manual; Merchantek, version 2-07, jun 1995

21

Dones, Richard D. & Scott, Thomas R.; Laser beam analysis pinpoints critical
parameters; Laser Focus World, v.29, n.l, p. 123-130, jan.1993

22
Roundy, Carlos B.; Slobodzian, Gregory E.; Jensen, Kurt & Ririe, Dan; Digital imaging
produces fast and accurate beam diagnosis; Laser Focus World, v.29, n. 10, p. 117-
120, oct. 1993

139
2 3
Lawrence, George N.; Proposed international standard for laser-beam quality falls short;
Laser Focus World, v.30, n.7, p. 109-114, July 1994

2 4
Melles, Jan A., et all; Measurement of beam profiles: Manufacturers of Optical,
Optomechanical, Laser & instrumentation, c.63, p.3-5,1994

2 5
Sasnett, M.W.; apud Hall. D.R. & Jackson, P.E.; The Physics and Technology of Laser
Resonators; IOP Publishing Ltd., 1989

2 6
Leong, Keng H.; Drilling with Lasers; Industrial Laser Solutions, n.9, v. 15, p.39-46,
sept. 2000

2 7
Tahmouch, G.; Meyrueis, P. & Grandjean, P.; Cutting by a High Power Laser at a Long
Distance Without an Assist Gas for Dismantling; Optics & Laser Technology, v.29,
n.6, p.307-316, 1997

2 8
Labaune, C ; Baldis, H.A.; Bauer, B.S.; Schifano, E.; Cohen, B.L; Spatial and
Temporal Coexistence of Stimulated Scattering Processes under Crossed-
Laser-Beam Irradiation; Physical Review Letters, v.82, n.18, p.3613-3616; 3
may 1999

2 9
Yilbas, B.S. & Sami, M.; Study into the Effect of Beam Waist Position on Hole
Formation in the Laser Drilling Process; Journal of Engineering Manufacture, v.210,
p.271-277, 1996

j 0
Schmidt, Richard E. (chairman & CEO); Gaussian Beam Optics Tutorial; Scientific &
Labo. Prod. Catalog; Newport Corp.; part II; c.2, p.66-67; 1994

31
Yen, W.C. & Liu, H.P.; Reduction of Beam Divergence of a Thermal Lensing
Insensitive Nd:Yag Laser; Optics & Laser Technology, 1997

3 2
Tiffany, William B.; Drilling, Marking and other Applications for Industrial Nd:Yag
Lasers; Spie-Applications of High Power Lasers, v.527, p.28-36, 1985
 Lancaster, D.G. & Dawes, J.M.; Thermal-lens measurement of a quasi steady-
state repetitively flashlamp-pumped Cr, Tm, Ho.Yag laser; Optics & Laser
Technology, v.30, p. 103-108; 1998

Kar, A. & Mazunder, J.; Two-dimensional model for material damage due to
melting and vaporization during laser irradiation; Journal Applied Physics,
v.68, n.8, p.3884-3891; 1990

Mazur, Eric; Interaction of ultrashort laser pulses with solids; de Bartolo, editors;
Plenum, NATO ASI series; p. 1-54; 1996

Burgess, Larry W. & Pauri, Fabrizio; Laser Technology defining its role in the
PCB production process; Printed Circuit Fabrication, v.22, n.l, p.22-30, 1999

Stuart, B.C; Feit, M.D; Rubenchik, A M ; Shore, B.W & Perry, M.D.; Laser-Induced
Demage in Dielectrics with Nanosecond to Subpicosecond Pulses; Physical Review
Letters; v.74; n.12; p.2248-2251; mar 1995

!
Stuart, B.C; Feit, M.D; Herman, S; Rubenchik, A.M; Shore, B.W & Perry, M.D.;
Nanosecond-to-femtosecond laser-induced breakdown in dielectrics; Physical
Review B; v.53; n.4; p.1749-1761; jan. 1996

9
Yilbas, Bekir Sami; The Study of Laser Produced Plasma Behaviour Using Streak
Photography; Japanese Journal of Applied Physics, v.24, n . l l , p. 1417-1420, nov.
1985

0
Shayler, P.J.; PhD thesis at Mechanical Engineering Dept., University of Birminghan,
80 39
1975; apud Yilbas, B.S.; 1988 [ ] ; apud Yilbas, B.S; 1985 [ ]

1
Prokhorov, A.M.; Konov, V.I.; Ursu, I ; Mihailescu, I.N.; Laser Heating of Metals; IOP
Publishing Ltd., 1990

2
Maillet, Henry; O Laser, Princpios e Tcnicas de Aplicao; Ed. Manoele, 1987

141
COMISSO NACIN A l DF ENERGA NUCLEAR/SP 'fir*
 41
Drude; apud Prokhorov et all, 1990 [ ]

Goldman, Leon; Applications of the Laser; CRC Press, 1973

5
Murray, Todd W. & Wagner. James W.; Laser ganeration of acoustic waves in

the ablative regime Journal Applied Physics, 85, n.4, p.2031-2040, 1999

6
Rossi, W. de; comunicao privada a respeito de ensaio experimental na CPML; 2001

7
Fabbro, R.; Fournier, J.; Ballard, P.; Devaux, D. & Virmont, J.; Physical study of laser-

produced plasma in confined geometry; Journal Applied Physics, v.68, n.2, p.775-
784;1990

Yilbas, Bekir Sami; Study of Affecting Parameters in Laser Hole Drilling of Sheet
Metals; Journal of Engineering Materials and Technology; v. 109, n.4, p.282-287,
oct. 1987

4 9
Antonsen Jr, Thomas M. & Bian, Zhigang; Ionization Induced Scattering of Short
Intense Laser Pulses; Physical Review Letters, v.82, n.18, p.3617-3620; may 3, 1999

M)
Modest, Michael F.; Laser .Machining of Ablating / Decomposing Materials - Through
Cutting and Drilling Models; Icaleo section C, p.58-67, 1996

31
Peyre, P.; Berthe, L.; Scherpereel, X.; Fabbro, R. & Bartnicki, E.; Experimental
study of Laser-driven shock waves in stainless steel; Journal Applied Physics,
v.84, n.ll,p.5985-5992; 1998

2
- Kabashin, A.V; Konov, V.I.; Nikitin, P.I. & Prokhorov, A.M.; Konjevic, N. &Vikor, L.;
Laser plasma generation of currents along a conductive target; Journal Applied
Physics, v.68, n.7, p.3140-3146; 1990
 Lima, M. & Wagnire, J.D; Determinao da absoro do feixe laser em ensaios de
refuso em regime contnuo; Revista de Metalurgia, c.34, p. 131-134, maio 1998

5 4
Bostanjoglo, G.; Sarady, I.; Beck, Th. & Weber, H.; Processing of Ni-based Aero Engine
Components with Repetitively Q-switched Nd:Yag Lasers; Spie, v.2789, p. 145-157,
1996

5 5
Basu, S. & DebRoy, T.; Liquid Metal Expulsion During Laser Irradiation; Journal of
Applied Physics, v.72, n.8, p.3317-3322, oct 1992

6
Yilbas, Bekir Sami; Study of liquid and vapor ejection processes during laser drilling of
metals; Journal of Laser Applications, v.7, n.3, p.147-152, 1995

5 7
von Allmen, M; Laser Drilling Velocity in Metals; Journal of Applied Physics, v.47,
n.12, p.5460-5463, dec 1976

Simon, P. & Ihlemann, J.; Machining of submicron structures on metals and

semiconductors by ultrashort UV-laser pulses; Applied Physics; v.A-63; p.505-508;
jun. 1996

59
Chen, Xiangli; Lotshaw, Willian T.; Ortiz, A.L.; Staver, P.R.; Erikson, C.E.;
McLaughlin, M.H. & Rockstroh, Todd J.; Laser Drilling of Advanced Materials:
Effects of Peak Power, Pulse Format and Wavelength; Journal of Applied Physics,
v.8, n.5, p.233-239, 1996

6 0
Paek, Un-Chul & Gagliano, Francia P.; Thermal Analysis of Laser Drilling Processes;
IEEE-Journal of Quantum Eletronics, v.8, n.2, p. 112-119, 1972

6 1
Yilbas, Bekir S. & Sahin, Ahmet Z.; Laser Pulse Optimization for Practical Laser
Drilling; Optical and Lasers in Engineering, 1994

143
6 2
Rockstroh, Todd J.; Chen, Xiangli & Lotshaw, Willian T.; Influence of Laser Pulse
Duration on Laser Drilled Hole Quality in Nickel Based Super Alloy; Icaleo section
Cp.113-122, 1996

6 3
Riva, Rudimar; Rodrigues, Nicolau A.S.; Watanuki, Jaime T.; Christ, Benedito &
Schwab, Carlos; Cutting and Drilling with a Copper HyBrlD Laser; Symposium on
Lasers and their Applications, p.90-93, 1997

6 4
Grad, Ladislav & Mozina, Janez; Laser Pulse Shape Influence on Optically Induced

Dynamic Processes; Applied Surface Science, v. 127, p.999-1004, 1998

6 5 64
Roos (1980); apud Grad, Ladislav & Mozina, Janez, 1998 [ ]

6 6
Poterasu, M; Dascalu, T.; Marian, A. & Buca, D.; Nd:Yag Laser Surface Texturing; Spie

v.3405, p.233-240, 1998

6 7
Hobbs, Jerry R.; CPA sustains 30 fs applications; Laser focus World, 1993

6 8
Tnshoff, H.K.; Ostendorf, A.; Momma, C ; Kamlage, G. & Nolte, S.; Microdrilling of
Metals with Ultrashort Laser Pulses; Proceedings Icaleo, v.Al, p. 1-10, 1999
6 9
Momma, C ; Knop, U. & Nolte^S.; Laser Cutting of Slotted Tube Coronary Stents -
State of the Art - and Future Developments; Progress in Biomedical Research, p.39-
44, feb. 1999

7 0
Kamlage, G. & Nolte, Stefan; Momma, Carsten & Ostendorf, A.; Microdrilling of
Metals with Ultrashort Laser Pulses; Journal Laser Applications; v.Al, p. 1-12, 1999

71
Momma, C; Nolte, S.; Kamlage, G; Alvensleben, F. von; Tiinnermann, A; Beam
delivery of femtosecond radiation by diffractive optical elements; Journal of Applied
Physics v.A-67, p.517-520, 1998
 Center for Ultrafast Optical Science, New Findings on Single-Shot Laser Pulse Damage,
Photonics Spectra, v.33, n.8, p.46, august 1999

Battista, Albert D. & Shiner, William H ; Production Laser Hole Drilling - Now; SME
Laser Conference, 1976

Yilbas, B.S.; Davies, R. & Yilbas, Z.; Study into the Measurement and Prediction of
Penetration Time During CO2 Laser Cutting Process; IMechE, v.204, p. 105-113,
1990

Zhang, Guozhong; Liu, Limin & Li, Changjiang; Study on laser drilling in rare earth
magnets; Spie v.2888, p.202-206, 1996

Yilbas, Bekir S.; Sahin, Ahmet Z. & Davies, R.; Laser Heating Mechanism Including
Evaporation Process Initiating Laser Drilling; International Journal of Machining
Tools Manufacturing, v.35, n.7, p.1047-1062, 1995

Tonshoff, Hans Kurt; Alvensleben, Ferdinand von; Ostendorf, Andreas; Kamlage,

Giinter & Nolte, Stefan; Micromachining of Metals with Ultrashort Laser Pulses;
International Journal of Electrical Machining, n.4, p.1-6, jan 1999

!
Luft, A.; Franz, U.; Emsermann, A. & Kaspar, J.; A study of thermal and mechanical
effects on materials induced by pulsed laser drilling; Applied Physics; v.A-63, p.93-
101, 1996

)
Yilbas, B.S.; Yilbas, Z. & Akcakoyun; Investigation into Absorption of the Incident
Laser Beam During Nd: Yag Laser Processing of Metals; Optics & Laser
Technology, v.28, n.7, p.503-511, 199.6 -

0
Yilbas, Bekir Sami; Investigation into drilling speed during laser drilling of metals;
Optics & Laser Technology, v.20, n.l, p.29-32, 1988

" M i S S a O NACIONAl DF ENERGIfl N U C L E A H / S F <f*-*

145
1
Koller, L.; Schumacher, M.; Khn, J.; Teuber, S.; Tiggesbaumker, J.; Meiwes-Broer,
K.H.; Plasmon-Enhanced Multi-Ionization of Small Metal Clusters in Strong
Femtosecond Laser Fields; Physical Review Letters, v.82, n.19, p.3783-3786; may
10, 1999

12 l3
Takeno; Massahura & Seigo, H; 1990; apud Yilbas [ ]

53 56
Takeno, S; Moriyasu & Hiramoto, 1993; apud Yilbas [ ]

M 50 29
Wei, P.S. & Ho, J.Y; 1990; apud Modest [ ]; apud Yilbas [ ]

85

Marvin; Excimer lasers target material ablation; Industrial Laser Solution; pp.27-31; nov
1999
8 6
Kostrubiec, F. & Pawlak, R.; Changes of Macrostructure of Tungsten Under the
Influence of Surface Laser Irradiation; Journal of Materials Science Letters, v.A2,
p.1295-1297, 1987

87

Bonk, Paulo Akira; Modelamento das microesploses e avaliao da mudana da

microdureza na superfcie de esmalte dentrio irradiada com Laser de Hlmio; Ipen-
Usp, dissertao de mestrado, 1999

88

Schaeffer, Ronald D.; A closer look at laser ablation; Industrial Laser Solutions, v.15,
n.9, p.21-25; sept. 2000

89

Schwb, Hans Peter; Yag Laser Machining Center; Technical Note - Lasag AG
Industrial, p.366-373, 1989

9 0
New Findings on Single Shot Laser Pulse Demage; Photonics Spectra, p.46; ago 1999

9 1
Rhode, H. & Dausinger, F.; The Forming Process of a Through Hole Drilled with a
Single Laser Pulse; Technical Note - Lasag AG Industrial, 1996
 Laser Welding, Cutting and Drilling; Technical Note - Raytheon Laser Products, 1978

Gauthier, R.C.; Optical Trapping: a Tool to Assist Optical Machining; Optics & Laser
Technology, v.29, n.7, p.389-399, 1997

Rohde, H. & Meiners, E.; Trepan drilling of fuel injection nozzles with a TEMoo
Nd:Yag slab laser; Journal of Laser Applications, v.8, p.95-101, 1996

Hand, Aaron J.; Laser Squeeze into Tighter Board Assemblies; Photonics Spectra, v.33,
n.7, p.96-101,july 1999

Olson, Radley W. & Swope, William C ; Laser Drilling with Focused Gaussian Beams;
Journal of Applied Physics, v.72, n.8, p.3686-3696, oct 1992

Rossi, W.; Vieira Jr., N.D.; Nogueira; Wetter; Berretta; Vidal Sc Morato; Development
of a Prototype of a Laser Material Processing Center at IPEN, 1994

!
Vieira Jr, N.D.; Rossi, W.; Wetter, N.U.; Nogueira, G.E.C.; Berretta, J.R.; Vidal, J.T.;
Galego, E. & Morato, S.P.; Development of a Prototype of a Laser Material
Processing Center; Ipen, p. 1-5, 1998

3
Vieira Jr, N.D.; Rossi, W.; Wetter, N.U.; Nogueira, G.E.C.; Berretta, J.R.; Monteiro,
W.A. & Neves, M.D.M.; CPML - Central de Processamento de Materiais por Laser;
Relatrio Final Ipen-Finep, 1998

0 0
TJX Technical Bulletin 2, 1983, E X Technology, 399 Java Drive, Sunnyvale,
California 94089, USA.

0 1
Cerullo G., De Silvestri S., Magni V., Svelto 0 . Optical And Quantum Electronics,
v.25, p.489-500, 1993

0 2
Bransch. H. N., Weckman. D. C , Kerr, H. W. Welding Research Supplement, p. 141-
151, june 1994

147
53
Michaud E. J., Kerr H. W., Weckman D. C ; Temporal Pulse Shaping and Solidification
th
Cracking in Laser Welded Al-Cu Alloys; 4 Intl. Conf. On Trends in Welding
Research. Gatlinburg. Tennesse, june 5-8, 1995

0 4
Chen, Xiangli; Lotshaw. Willian T.; Ortiz, A.L.; Staver, P.R.; Erikson, C.E.;
McLaughlin, M.H. & Rockstroh, Todd J.; Laser drilling of advanced materials:
effects of peak power, pulse format, and wavelength; Journal of Laser Applications
n.8, p.233-239,jun 1996

0 5
Culkin, Thomas J. & Kugler, Thomas R.; Designer's Handbook; Photonics Spectra, oct.
1987

0 6
Stecher, P.G.; Windholz, M; Leahy, D.S.; Bolton, D.M. & Eaton, L.G.; The Merck
Index; Publishing Merck & Co., Inc.; Rahway, N. Jersey, USA; 1968

07 ,h
Lide, David R.; CRC - Handbook of Chemistry and Physics 74 . Ed, 1993-94

103
Belforte, David A.; Basics of laser drilling; Industrial Laser Review, p. 19-24, oct 1998

109
Brito, Roberto: de Rossi, Wagner & Vieira, Nilson D.; Microfurao em Ao Inox por Laser
Nd:Yag; Sulmat - Congresso em Cincia de Materiais, p.619-628, Florianpolis, 2000.

" Rossi, Wagner de; Brito, Roberto de; Berretta, J.R.; Almeida & Vieira, Nilson D.; Microfurao
o
a Laser em Chapa de Ao Inox AISI 304; I COBEF - Congresso Brasileiro de Engenharia de
Fabricao, p.1-8, Curitiba, 2001

111
Retinox aos inoxidveis;

112 ,h
Lide, David R.; CRC - Handbook of Chemistry and Physics 74 . ed, 1993-94

113
Steen, William M.; Laser Material Processing; Springer, 2nd edition, p. 107, London