Вы находитесь на странице: 1из 464

МАШИНОСТРОЕНИЕ

ЭНЦИКЛОПЕДИЯ

ш
МАШИНОСТРОЕНИЕ
ЭНЦИКЛОПЕДИЯ
В СОРОКА ТОМАХ

РЕДАКЦИОННЫЙ СОВЕТ

ФРОЛОВ К.В.
Председатель редакционного совета,
главный редактор

Члены совета:
Колесников К.С. (зам. Председателя редакционного
совета и главного редактора), Гусенков А.П." (зам.
Председателя редакционного совета и главного редактора),
Анфимов Н.А., Адамов E.G., Белянин П.Н.,
Березовский Б.А., Бессонов А.П., Васильев В.В.,
Глебов И.А., Глухих В.К., Долбенко Е.Т.,
И ш л и н с к и й А . Ю . , К о в а л е в с к и й М.А.,
Коптев Ю.Н., Кузнецов Н.Д., Михайлов В.Н.,
Новожилов Г.В., Образцов И.Ф., Огурцов А.П.,
Панин В . Е . , П а н и ч е в Н.А., Патон Б.Е.,
Пугин Н.А., Салтыков Б.Г., Свищев Г.П.,
Силаев И . С , Соломенко Н . С , Сосковец О.Н.,
Туполев А.А., Усков М.К., Федосов Е.А.,
Фокин А.В., Черный Г.Г., Шемякин Е.И.

МОСКВА "МАШИНОСТРОЕНИЕ" 1996


Раздел 111
ТЕХнологая
ПРОИЗВОДСТВА МАШИН

ТомШ-7.
ИЗМЕРЕНИЯ, КОНТРОЛЬ,
ИСПЫТАНИЯ И ДИАГНОСТИКА

Редактор-составитель чл.-корр. РАН,


д-р техн. наук В.В. Клюев

Ответственный редактор - чл.-корр. РАН,


П.Н.Белянин

Редакторы тома: чл.-корр. РАН, д-р техн. наук


В.В. Клюев (Испытания. Диагностика),
д-р техн. наук Ф.Р.Соснин (Контроль.Сертификация),
д-р техн. наук В.Н.Филинов (Измерения)

МОСКВА "МАШИНОСТРОЕНИЕ" 1996


ББК 34.44
М38
УДК 621.01/.03

Авторы: В.В. Клюев, Ф.Р. Соснин, В.Н. Филинов, Н.П. Валуев, Э.С. Горкунов,
И.В. Егоров, И.Н. Ермолов, В.Г. Запускалов, А.А. Кеткович, В.Н. Ковальский,
Н.А. Колтовой, В.Н. Кольцов, СВ. Клюев, А.А. Кудинов, Ю.В. Ланге,
Р.А. Макаров, B.C. Миротворскии, В.Ф. Мужицкий, Е.Г. Нахапетян, Л.А. Хватов,
Ю.А. Шачнев, В.Е. Щербинин

Рецензенты: СФ. Лазарев, О.И. Стеклов, В.Е. Шатерников

Бюро редакционного совета: К.С Колесников, Б.И. Антонов, П.Н. Белянин,


А.П. Бессонов, В.В. Васильев, А.П. Гусенков, Е.Т. Долбенко, И.Н. Жесткова,
М.К. Усков, Н.Н. Боброва

Машиностроение. Энциклопедия/Ред. совет: К.В. Фролов (пред.) и др.—М.: Машиностроение.


М 38 Измерения, контроль, испытания и диагностика. Т. П1-7 / В З - Клюев, Ф.Р. Соснин,
В.Н. Филинов и др.; Под общ. ред. В.В. Клюева. — 464 с , ил.
ISBN 5-217-01949-2
ISBN 5-217-02845-9(T.III-7)
Рассмотрены качество и технические измерения, широкий спектр параметров, подлежащих
измерению, и технологии их измерения, метрологическое обеспечение измерений, анализ
обработки измерительной информации; испытания, виды внешних воздействий, технология
механических испытаний на растяжение, сжатие, удар, вибрацию, твердость и т.д.; испытания
на акустический шум, герметичность и т.д., климатические испытания; классификация методов
контроля, дефекты металлоизделий, технологии и средства выполнения методов контроля,
основные направления и перспективы развития контроля; техническая диагностика, методы и
средства диагностирования в разных отраслях промышленности; сертификация продукции,
аккредитация испытательных лабораторий, сертификация персонала.

^^ 2702000000-026 ^ ^
М Без объявл. ББК 34.44
038(01)-96
ISBN 5-217-01949-2 © Издательство "Машиностроение", 1996

ISBN 5-217-02845-9(T.III-7) Бюро редакционного совета энциклопедии


"Машиностроение", 1996
ОГЛАВЛЕНИЕ

Глава 1.6. ИЗМЕРЕНИЕ ОПТИЧЕС­


ПРЕДИСЛОВИЕ 9 КИХ ПАРАМЕТРОВ
(А.А. Кетковин) ' 55
Раздел 1. ИЗМЕРЕНИЯ И 1.6.1. Общие сведения 55
Глава 1.1. КАЧЕСТВО И ТЕХНИ­ 1.6.2. Фотометрическая аппара­
ЧЕСКИЕ ИЗМЕРЕНИЯ . . . 11 тура 60
1.1.1. Основные термины и оп­ 1.6.3. Методы измерения 62
ределения (В,В. Клюев) . . . 11
Глава 1.7. ИЗМЕРЕНИЕ МАССЫ . . . 71
1.1.2. Погрешности измерения
(В.Н. Филинов) 15 1.7.1. Общие сведения
(В.В. Клюев) 71
Глава 1.2. ИЗМЕРЯЕМЫЕ ПАРА­
МЕТРЫ 17 1.7.2. Приборы и способы изме­
рения массы (В.Н. Фили­
Глава 1.3. ИЗМЕРЕНИЕ РАЗМЕРОВ нов) 74
(Ю.А. Шачнев) 18 Глава 1.8. ИЗМЕРЕНИЕ ВРЕМЕНИ
1.3.1. Системы отсчета отклоне­ (В.Н. Филинов) 77
ний и нормальные условия
измерения 18 1.8.1. Общие сведения 77
1.3.2. Внды и методы измерения 1.8.2. Системы хранения и пе­
размеров 19 редачи единицы времени.»• 78
1.3.3. Технология измерения от­ 1.8.3. Методы и приборы для
клонений от плоскостнос­ измерения времени 79
ти 20 Глава 1.9. ИЗМЕРЕНИЕ ТЕМПЕРА­
1.3.4. Технология измерения от­ ТУРЫ (А.А. Кетковин) . . . 84
клонений от прямолиней­ 1.9.1. Общие сведения 84
ности 25
1.9.2. Методы измерения темпе­
1.3.5. Технология измерения от­ ратуры 85
клонений от кругЛбсти
{А.Л. Кудинов) 25 Глава 1.10. ИЗМЕРЕНИЕ ДАВЛЕ­
1.3.6. Измерения на координат- НИЯ (А.А. Кетковин) 96
но-измерительных маши­ 1.10.1. Общие сведения 96
нах (B.C. Миротворский)*ш, 25
1.10.2. Приборы измерения дав­
Глава 1.4. ИЗМЕРЕНИЕ ЭЛЕКТРИ­ ления 96
ЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ
(В.Н. Филинов) 35 Глава 1.11. ИЗМЕРЕНИЕ УРОВНЯ И
РАСХОДА (В.Н Кольцов)... ЮО
1.4.1. Общие сведения 35
1.11.1. Методы и устройства из­
1.4.2. Средства измерения . . . . 36 мерения уровня 100
1.4.3. Методы измерения 36 1.11.2. Методы и устройства из­
Глава 1.5. ИЗМЕРЕНИЕ МАГНИТ­ мерения расходов 105
НЫХ ПАРАМЕТРОВ 41
Глава 1.12. ОБРАБОТКА РЕЗУЛЬ­
1.5.1. Общие сведения ТАТОВ НАБЛЮДЕНИЙ
(В.Ф. Мужицкий) 41 (Ю.А. Шачнев) 112
1.5.2. Методы измерения 1.12.1. Обработка результатов
(В.Ф. А(ужицкий) 47 наблюдений при прямых
1.5.3. Магнитные преобразова­ измерениях 112
тели (Э. С. Горкунов) 47
ОГЛАВЛЕНИЕ

1.12.2. Проверка гипотез о за­ 2.3.6. Испытания на 1фучение


коне распределения . . . . 119 (ВВ. Клюев) 160
1.12.3. Обработка результатов 2.3.7. Испытания на твердость. *. 163
набшодений при косвен­
ных измерениях 120 2.3.7.1. Общие сведения
(Е.Г. Нахапетян) 163
1.12.4. Обработка результатов
измерений процессов . . 121 2.3.7.2. Испытания на твер­
1.12.5. Обработка результатов дость по Бринеллю
измерений при восста­ (Е.Г. Нахапетян) 165
новлении динамических 2.3.7.3. Испытания на твер­
моделей 124 дость по Роквеллу
1.12.6. Обработка результатов (В.Н. Филинов) 167
измерения случайных 2.3.7.4. Испытания на твер­
процессов (АЯ. Филинов) 125 дость по Виккерсу
1.12.7. Обработка данных при (В.Н. Филинов) 171
измерении качества 126 2.3.7.5. Испытания на твер­
Глава 1.13. МЕТРОЛОГИЧЕСКОЕ дость методом ударно­
ОБЕСПЕЧЕНИЕ ИЗМЕ> го отпечатка (В.Н. Фи­
РЕНИЙ 128 линов) 172
1.13.1. Физические величины и 2.3.7.6. Другие методы испы­
анализ размерностей таний на твердость
(Ю.А. Шачиев) 128 (Е.Г. Нахапетян) 173
1.13.2. Единицы физических ве­ 2.3.8. Испытания на вибрацию. • 174
личин и их эталоны 2.3.8.1. Основные сведения
{Ю.А. Шачнев) 129 (В.В. Клюев) 174
1.13.3. Погрешности измере­
ний. Классификация 2.3.8.2. Методы вибрационных
(ЮЛ. Шачнев) 132 испытаний 175
1.13.4. Показатели точности и 2.3.8.3. Виброиспытательные
форма представления ре­ системы (В.Н. Ковальс­
зультатов измерений кий) . 179
(В.Т, Запускалов) 133 2.3.9. Испытания на трение и
1.13.5. Нормируемые метроло­ износ (Е.Г Нахапетян) . . . 187
гические характеристики 2.3.9.1. Основные сведения . . . 187
(В,Н, Филинов) 133
2.3.9.2. Методы испытаний.» . 188
1.13.6. Метрологическая атгес-
тация средстц. и методов Глава 2.4. ИСПЫТАНИЯ НА АКУС­
измерения (В.Н. Фили­ ТИЧЕСКИЙ ШУМ И
нов) 134 ГЕРМЕТИЧНОСТЬ
СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ 134 (В.Н. Филинов) 194
Р|идел 2. ИСПЫТАНИЯ 136 2.4.1. Испытания на акустичес­
кий шум 194
Глава 2.1. ОСНОВНЫЕ ТЕРМИНЫ
2.4.2. Испытания на герметич­
{В.В. Клюев) 136 ность 200
Глава 2.2. ВИДЫ ВНЕПШИХ ВОЗ-
Глава 2.5. КЛИМАТИЧЕСКИЕ ИС­
ДШСТВИЙ (В,В. Клюев) 138 ПЫТАНИЯ (А.А. Кетко-
Глава 2.3. МЕХАНИЧЕСКИЕ ИСПЫ­ вич) 202
ТАНИЯ 142
2.5.1. Основные климатические
2.3.1. Испытания на растяжение факторы 202
(В.В. Клюев) 143 2.5.2. Испытания на теплоус­
2.3.2. Испытания на сжатие тойчивость 206
(В.В. Клюев) 146
2.5.2.1. Общие сведения . . . . 206
2.3.3. Испытания на усталость 2.5.2.2. Средства измерения
(В.В. Клюев) 149 температуры воздуха в
2.3.4. Испьпания на удар камерах 209
(В.В. Клюев) 154
2.5.2.3. Методы испытаний на
2.3.5. Испытания на изгиб воздействие повышен­
(В.В. Клюев) 159 ной температуры . . . . 209
ОГЛАВЛЕНИЕ

2.5.3.
Испытания на воздей­ 3.2.2. Дефекты технологического
ствие изменения темпе­ происхождения (дефекты
ратуры 211 обработки) 267
2.5.3.1. Условия испытаний и 3.2.3. Эксплуатационные дефек­
применяемое оборудо­ ты 276
вание 211 3.2.3.1. Эксплуатационные де­
2.5.3.2. Методы испытаний . . 214 фекты в условиях воз­
действия статических
2.5.4. Испытания на холодоус­ нагрузок 276
тойчивость 216
3.2.3.2. Эксплуатационные де­
2.5.4.1. Условия испытаний и фекты в условиях воз­
применяемое оборудо­ действия переменных
вание 216 нагрузок 280
2.5.4.2. Методы испытаний . . . 218 3.2.3.3. Растрескивание под
2.5.5. Испытания на воздей­ действием термических
ствие влажности 219 напряжений 283
2.5.5.1. Условия испытаний и 3.2.3.4. Радиахщонные повреж­
применяемое оборудо­ дения 283
вание 219 Глава 3.3. КЛАССИФИКАЦИЯ МЕ­
2.5.5.2. Методы испытаний . . . 224 ТОДОВ НЕРАЗРУША-
2.5.6. Испытания на воздей­ ЮЩЕГО КОНТРОЛЯ
ствие пыли 227 (Ф.Р. Соснин) 284
2.5.6.1. Условия испытаний и Глава 3.4. РАДИОГРАФИЯ (Ф.Р. Сое-
применяемое оборудо­ нин) 288
вание 227
2.5.6.2. Методы испытаний . . . 229 3.4.1. Общие сведения 288
2.5.7. Испытания на воздей­ 3.4.2.. Схемы просвечивания . . . 290
ствие солнечного излу­ 3.4.3. Выбор энергии источни­
чения, атмосферного ков фотонного излучения 294
давления, плесневых
грибов 230 3.4.4. Рентгеновские пленки и
химико-фотографическая
2.5.7.1. Испытания на воздей­ их обработка 296
ствие солнечного излу­
чения 230 3.4.5. Выбор фокусного рассто­
2.5.7.2. Испытания на воздей­ яния 301
ствие пониженного ат­ 3.4.6. Диафрагмы, коллиматоры,
мосферного давления 235 фильтры и компенсаторы
2.5.7.3. Испытания на воздей­ ионизирующего излучения 303
ствие плесневых грибов 239
3.4.7. Режимы просвечивания
2.5.8. Испытания на воздействие ОК рентгеновским излуче­
специальных сред 241 нием 305
2.5.9. Испытания на воздействие 3.4.8. Расшифровка . радио­
электромагнитного излу­ графических снимков . . . . 308
чения и электростатичес­
кого поля (В.Н, Филинов) 244 3.4.9. Документальное оформле­
ние результатов радиогра­
2.5.10 Испытания на воздей­ фического контроля . . . . 311
ствие ионизирующих из­
лучений (В.Н. Филинов) 246 Глава 3.5. АКУСТИЧЕСКИЕ МЕТО­
ДЫ КОНТРОЛЯ 312
2.5.10.1. Общие сведения . . . . 246
2.5.10.2. Методы испытаний . . . 249 3.5.1. Общие сведения (И.Н. Ер­
молов) 312
СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ 253 3.5.2. Классификация акусти­
Ряздел 3. КОНТРОЛЬ 255 ческих методов (Ю.В. Лан-
ге) 319
Глава 3.1. ОСНОВНЫЕ ТЕРМИНЫ 3.5.3. Методики контроля ме­
(Ф.Р. Соснин) 255 таллов 325
3.2. ДЕФЕКТЫ МЕТАЛЛОИЗ­ 3.5.4. Методика контроля неме­
ДЕЛИЙ (Ф.Р. Соснин) . . . 255 таллических материалов и
3.2.1. Металлургические дефек­ многослойных конструк­
ты 257 ций (Ю.В. Ланге) 328
ОГЛАВЛЕНИЕ

Глава 3.6. МАГНИТНЫЕ МЕТОДЫ 3.9.9. Методы анализа изобра­


КОНТРОЛЯ 330 жений (Н.Л, Валуев) . . . 387
3.6.1. Основные сведения 3.9.10. Х|факгеристики методов
(В,Ф. Мужицкий) 330 средств неразрушающего
3.6.2. Мапштные теобразовл- контроля 400
тели (В.Е, Щер(Шти) 332 Глава 3.10. ОСНОВНЫЕ Н^ШРАВ-
3.6.3. Машитопорошковые де­ ЛЕНИЯ РАЗВИТИЯ
фектоскопы (В.Ф. Мужиц- КОНТРОЛЯ И ТЕХНИ­
1шй) Т!^. 336 ЧЕСКОЙ ДИАГНОСТИ­
Глава 3.7. КАПИЛЛЯРНЫЕ МЕТО­ КИ (В,В, Клюев) 400
ДЫ КОНТРОЛЯ СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ 402
(В.В, Клюев) 343
3.7.1. Основные сведения 343 Раздел 4. ТЕХНИЧЕСКАЯ ДИАГНО­
3.7.2. Дефектоскопические ма­ СТИКА (ВВ. Клюев) 404
териалы 344
3.7.2.1. Общие сведения 344 Глава 4.1. ОСНОВНЫЕ ТЕРМИНЫ
3.7.2.2. Наборы дефектоскопи­ И ОПРЕДЕЛЕНИЯ 404
ческих материалов . . . 345 Глава 4.2. ВИБРОДИАГНОСТИКА . . . 406
3.7.2.3. Люмниисцентные ма­ 4.2.1. Общие сведения 406
териалы 348 4.2.2. Методы вибродиагаостики 410
3.7.2.4. Рекомендации по кон­ 4.2.3. Акустический шум 413
тролю качества матери­ Глава 4.3. ДИАГНОСТИКА В УСЛО­
алов 349 ВИЯХ АВТОМАТИЗА­
3.7.3. Проведение капиллярно­ ЦИИ ПРОИЗВОДСТВА
го контроля 352 (Н.А. Колтовой) 414
3.7.3.1. Основные операции... 352 4.3.1. Общие сведения 414
3.7.3.2. Чувствительность и 4.3.2. Основные методы и сред­
оценка результатов ства дитностирования . . . . 419
контроля 354
Глава 3.8. ТОМОГРАФИЯ 355 Глава 4.4. МЕТОДЫ И СРЕДСТВА
3.8.1. Общие сведения ДИАГНОСТИРОВАНИЯ
(В,В. Клюев) 355 ГАЗОТУРБИННЫХ ДВИ­
3.8.2. Радиационная томография ГАТЕЛЕЙ ЛЕТАТЕЛЬ­
(В.Е. Филинов) 355 НЫХ АППАРАТОВ
3.8.2.1. Выбор алгоритма ре­ (И,В, Егоров) 424
конструкции томогра­ 4.4.1. Общие сведения 424
фического изображе­ 4.4.2. Средства и методы диа-
ния 358 гонсгировани 425
3.8.2.2. Основные системы ра­ Глава 4.5. МЕТОДЫ И СРВДСТВА
диационных томогра­ ДИАГНОСТИРОВАНИЯ
фов . . . 364 ГАЗОНЕФТЕПРОВОДОВ
3.8.2.3. Универсальные про­ (Л,А, Хватов) . 427
мышленные компью­ Глава 4.6. МЕТОДЫ И СРВДСТВА
терные томографы . . . 369 ДИГНОСТИРОВАНИЯ
3.8.3. Ультразвуковая вычистш- АВТОМОБИЛЬНОГО
тельная томография (УВТ) ТРАНСПОРТА
(В.В. Клюев) 373 (Р.А. Макаров) 430
3.8.3.1. Общие сведения 373
3.8.3.2. Трансмиссионная УВТ 373 СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ 433
3.8.3.3. (Хфажагельная УВТ . . . 375 Раздел 5. СЕРТИФИКАЦИЯ
3.8.4. СВЧ - томография
(В,К Филинов) 377 (Ф.Р. Соснин) 434
3-8.5. Томография на основе Глава 5.1. ОСНОВНЫЕ ТЕРМИНЫ . - 434
ядерного магнитного резо­
нанса (ЯМР) (ВЖ Фили­ Глава 5.2. СЕРТИФИКАЦИЯ ПРО­
нов) 379 ДУКЦИИ 436
Глава 3.9. ДРУГИЕ МЕТОДЫ КОНТ­ Глава 5.3. АККРСдаГГАЦИЯ ИСПЫ­
РОЛЯ (Ф.Р. Соснин) 381 ТАТЕЛЬНЫХ ЛАБОРА­
3.9.1. Визуально-оптический ТОРИЙ 442
метод 381 5.3.1. Требования, предъявляв
3.9.2. Течеискание 381 емые к лабораториям . . . . 442
3.9.3. Вихретоковый метод . . . . 382 5.3.2. Процесс аюфедитации . . . 444
3.9.4. Радиоволновый метод . . . 382
3.9.5. Нейтронная радиография. 383 Глава 5.4. СЕРТИФИКА1ЩЯ ПЕРСО­
3.9.6. Электрический метод . . . . 384 НАЛА (СВ. Клюев) 445
3.9.7. Тепловые методы . . . . . . 384 СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ 451
3.9.8. Химико-аналитические
методы 385 ПРЕЦ^МЕТНЫЙ УКАЗАТЕЛЬ 452
ПРЕДИСЛОВИЕ

Настоящий том энциклопедического справочника по машиностроению рас­


сматривает основополагающие вопросы современной теории и практики измере­
ний, испытаний, неразрушающего контроля, диагностики и сертификации продук­
ции (ИНКДС). Впервые основные приборостроительные направления обеспечения
качества и безопасности мапшностроения представлены в одной книге вместе, до­
полняя друг друга, но никоим образом не исключая целесообразность применения
каждого направления для решения соответствующих задач.
Хорошо известно, что одной из главных проблем предупреждения всех техни­
ческих аварий, равно как и колоссальных потерь от природных катастроф (таких,
как землетрясения, цунами, смерчи и т.п.), является отсутствие необходимого уров­
ня обеспечения методами и средствами ИНКДС. Именно этим объясняется тот
факт, что все промьппленно-развитые страны мира теряют не менее 10 % своего
национального дохода из-за недостаточного уровня качества машин и механизмов.
Именно поэтому непрерывно растут расходы на встраивание в крупные технические
объекты ИНКДС, которые достигают 30 и более процентов от затрат на сооружение
этих объектов.
Понятна аксиома, что чем больше времени работает маш[ина, тем более опас­
ной и трудоемкой становится ее эксплуатация, тем более точно и строго надо опре­
делять срок прекращения ее работы. Для этого применяется весь спектр ИНКДС,
охватывающий более 3 000 типов приборов и установок различного принципа дей­
ствия.
Как известно, для мапшностроения характерен наиболее широкий спектр па­
раметров, подлежащих измерению: размеры, масса, время, температура и т.п. Это, в
свою очередь, приводит к необходимости применения соответствующих и весьма
разнообразных методов измерений, основанных на использовании средств микро­
электроники. Вопросы измерения и анализа обработки измерительной информации
даются в первом разделе тома. Обращается внимание на метрологическое обеспече­
ние измерений.
Для рационального ведения и автоматизации технологических процессов полу­
чения исходных заготовок литьем, обработкой давлением, резанием, сваркой и т.д.,
процессов нанесения покрытий и термической обработки и т.п. необходимо осу­
ществлять испытание материалов на всех стадиях технологической цепочки. Во
втором разделе "Испытания" рассматриваются все виды внешних воздействий и
основных механических испытаний на растяжение, сжатие, усталость, удар, изгиб,
кручение, твердость, вибрацию, трение и износ; дается справочная информация по
10 ПРЕДИСЛОВИЕ

испытаниям на акустический шум и герметичность, а также по климатическим ис­


пытаниям (на теплоустойчивость, изменение температуры, холодоустойчивость,
влажность, пыль, солнечное излучение, атмосферное давление, плесневые фибы,
ионизирующие и электромагнитные излучения и поля).
Третий раздел "Контроль" содержит материал по дефектам металлоизделий и
основным методам неразрушающего контроля (радиофафический, акустический,
магнитный, капиллярный, вихревых токов, томофафия и др.). Такой контроль в
настоящее время является естественной составной частью всего технологического
процесса изготовления полуфабрикатов или изделий, а сами процессы конфоля
рационально включаются в технологические цепочки на возможно ранней стадии
изготовления изделий. В этом разделе впервые показаны экономические перспек­
тивы развития средств неразрушающего контроля.
В четвертом разделе "Техническая диагностика" представлена информация по
вибродиагностике, диагностике в условиях автоматизации производства, методам и
средствам диагностики газотурбинных двигателей летательных аппаратов, газонеф­
тепроводов, автомобильного фанспорта. Подчеркивается, что при эксплуатацион­
ном контроле агрегатов, за которыми предусмотрен технический надзор, применяют
преимущественно методы неразрушающего контроля.
Пятый раздел "Сертификация" дает представление о сертификации продукции,
персонала и аккредитации лабораторий.
Как подобает справочному изданию, для удобства читателя все разделы начи­
наются со сведеьшй об основных терминах.
Вследствие обширного объема излагаемых в этом томе сведений достаточно
фудно было дать детальное описание всех способов измерений, испытаний, кон­
троля и диагностики и возможностей их применения. Для более подробной инфор­
мации отсылаем читателя к соответствующей литературе, списки которой приведе­
ны в конце каждого раздела, а также к стандартам.
Одной из особенностей тома является большое количество блок-схем, фафи-
ков и других иллюсфаций.
Данный том будет полезен для инженерно-технических работников, ответ­
ственных за обеспечение качества и безопасность машин, для софудников служб
контроля качества, студенггов и преподавателей высших технических учебных заве­
дений, специалистов в области измерений, испытаний, контроля, диагностики и
сертификации.
РАЗДЕЛ 1

ИЗМЕРЕНИЯ

Глява 1.1 - показатели технолопсчности и эконом­


ного использования металла (припуски на
КАЧЕСТВО механическую обработку, допуски на необра­
И ТЕХНИЧЕСКИЕ ИЗМЕРЕНИЯ батываемые размеры отливки);
- показатели качества поверхности (ше­
1.1.1. ОСНОВНЫЕ ТЕРМИНЫ роховатость поверхности);
И ОПРВДЕЛЕНИЯ - экономические показатели (эконо­
мический эффект, себестоимость).
КАчество продукции - это совокупность Номенклатура показателей может быть
свойств продукции, обусловливающих ее спо­ расширена в зависимости от конкретного
собность удовлетворять определенные потреб­ применения, например в особо ответственных
ности в соответствии с ее назначением. Это отливках возможен контроль удгфной вязкости
определение является общим для различных при пониженных температурах, стабильности
видов продукции. Дополняющим к качесхъу
понятием является надежность. геометрических размеров во времени, склон­
Надежность - свойство объекта сохранять ности к трещинообразованию, герметичности
во времени в установленных пределах значе­ и т.п. В зависимости от назначения и конк­
ния всех параметров, характеризующих спо­ ретного применения номенклатура показате­
собность вьшолнять требуемые функции в лей качества может изменяться. Например,
заданных режимах в условиях применения, отливки из конструкционных нелегированных
технического обслуживания, ремонта, хране­ и легированных сталей делятся на три группы
ния и транспортирования. В понягае надеж­ - общего, ответственного и особо ответствен­
ность входит безотказность, долговечность, ного назначения. Для группы отливок общего
ремонтопригодность и сохраняемость в зави- назначения перечень контролируемых показа­
cHMOCTif от назначения изделия и условий телей включает внешний вцц, размеры, хими­
эксплуатации. Связь надежности и качества ческий состав; для группы отливок ответствен­
очевидна. Нельзя обеспечивать высокую на­ ного назначения - внешний вцд, размеры,
дежность изделия без соответствующего каче­ химический состав, механические свойства
ства. (предел текучести или временное сопротивле­
Качество продукции характеризуется ние, относительное удлинение); для хруппы
многочисленными параметрами, которые оце­ отливок особо ответственного назначения -
нивают через измерения, поэтому измеритель­ внешний внц, размеры, химический состав,
ная техника должна был» неотъемлемой со­ механические свойства (предел текучести, вре­
ставной частью любого производственного менное сопротивление, относительное удлине­
процесса. Номенклатура показателей качества ние, ударная вязкость).
устанавливается стандартами или технически­ Каждое отдельное несоответствие про­
ми условиями. В зависимости от характеризу­ дукции установленным требованиям называет­
емых свойств продукции установлено И групп ся дефектом. Имеется также понятие неисп­
показателей качества. Для коюфетной продук­ равность. Неяоцмввость - состояние изделия,
ции может быть использована часть этих при котором оно непригодно к использова­
групп. Например, повышение качества машин нию. Понятие ''неисправность" и "дефект" не­
и агрегатов требует усиления контроля отли­ идентичны.
вок, объем которых в современных машинах Дефекты разделяют на явные и скрытые.
составляет около 50 %. Для оценки качества Первые обнаруживают при внешнем осмотре
отливок общего назначения можно использо­ или при помощи инструментальных средств и
вать пять групп показателей: методик, имеющихся в нормативной докумен­
- классификационные (марка сплава,
масса отливки, класс точности, группа слож­ тации. Визуально не обнаруживаемый дефект,
ности); который безусловно обн^фужат при использо­
- показатели назначения (временное со­ вании соответствующих методик, относят к
противление, предел текучести, относительное явным. Скрытый дефект не обнаруживается
удлинение и сужение, ударная вязкость, твер­ при осмотре и не выявляется предусмспренной
дость, микроструктура); методикой и аппаратурой.
12 1.1. КАЧЕСТВО И ТЕХНИЧЕСКИЕ ИЗМЕРЕНИЯ

Дефекты также разделяют на критичес­ жены в узаконенных единицах и погрешности


кие, которые делают использование продук­ измерений известны с заданной вероятностью.
ции невозможным; значительные, которые Без единства измерений невозможно сопос­
оказывают существенное влияние на возмож­ тавление результатов измерений, выполненных
ность или долговечность использования про­ в разных местах, в разное время, с использо­
дукции; малозначительные, а также на неуст­ ванием разных методов и средств измерений.
ранимые и устранимые. Точность измерений - качество измере­
Многообразие дефектов можно проиллю­ ний, отражающее близость их результатов к
стрировать на примере возможных нарушений истинному значению измеряемой величины.
сплоишости металла, которые являются след­ Погрешность измерения - отклонение ре­
ствием несовершенства его структуры и возни­ зультата измерения от истинного Значения
кают на различных стадиях технологического измеряемой величины. Абсолютная похреш-
процесса. К дефектам тонкой структуры отно­ ность измерения
сят дислокации - зоны искажений атомной
решетки. Ми]фоскопические трещины разме­ Ах = х„ 'Ху
ром в несколько микрометров образуются при
обработке детали и резко снижают ее проч­ ще Хизм - значение, полученное при измере­
ность. Наиболее грубые макроскопические нии; X - истинное значение измеряемой вели­
дефекты различают по размерам и расположе­ чины.
нию, а также по природе и происхождению. По условиям, определяющим точность
Они Moiyr образоваться в процессе плавки и результата, измерения подразделяют на три
литья (раковины, поры, рыхлости, включения, класса: эталонные и специальные измерения
ликвационные зоны, неслитины и т.д.), обра­ максимально возможной точности; конт­
ботки давлением (внутренние и поверхностные рольно-проверочные измерения, выполняемые
трещины, расслоения, пресс-утяжины, рвани­ государственными и заводскими измеритель­
ны, :^и1каты, плейы, флокены и т.д.), термичес­ ными лабораториями; технические измерения,
кой и химико-термической обработки (зоны выполняемые в процессе производства на ма­
грубозернистой структуры, перегрева, пережо­ шиностроительных предприятиях. При техни­
га, термические трещины, несоответствие тол­ ческих измерениях погрешность результата
щины закаленного, цементованного, азотиро­ определяется характеристиками средств изме­
ванного и других слоев, несоответствие тол­ рений.
щины слоя гальванического покрытия и т.д.), Измерения осуществляют с помощь тех­
обработки резанием (шлифовочные трещины, нических средств, к которым относят меры,
прижоги), сварки, пайки, склеивания измерительные приборы, измерительные пре­
(непровар, трещины, непропай, непроклей), образователи, измерительные установки и
хранения и эксплуатащш (коррозия, усталост­ измерительные системы. Их определения даны
ные трещины, ползучесть и т.д.). в табл. 1.1.1.
Метрологвчесше термины. Метрология - Средство измерений - техническое сред­
наука об измерениях, методах и средствах ство, используемое при измерениях и имею­
обеспечения их единства и способах достиже­ щее нормированные метрологические свой­
ния требуемой точности. ства.
Измерение - нахождение физической ве­ Меры, воспроизводящие физические ве­
личины опытным путем с помощью специаль­ личины лишь одного, размера, называют одно­
ных технических средств. значными. Многозначная мера - мера, воспроиз­
Единство измерений - такое состояние водящая ряд одноименных величин различно­
измерений, при котором их результаты выра­ го размера.

1.1.1. Кл1ижифнжа1аи qicACTB измерений

Средство Определение Примеры


измерений

Мера Средство измерений, предназначенное для Плоскопараллельные кон­


воспроизведения физической величины задан­ цевые меры длины. Угло­
ного размера вые меры

Измерительный Средство измерений, предназначенное для Ми1фометр.


прибор выработки сигнала измерительной информа­ Инструментальный микро­
ции в форме, доступной для непосредственно­ скоп
го восприятия наблюдателем
ОСНОВНЫЕ ТЕРМИНЫ И ОПРЕДЕЛЕНИЯ 13

продолжение табл. 1.1.1

Измерительный Средство измерений, предназначенное для Индуктивный преобразо­


преобразователь выработки сигнала измерительной информа> ватель измеритбльного
ции в форме, удобной для передачи, дальней­ прибора
шего преобразования, обработки и (или) хра­
нения, но не поддающейся непосредственному
восприятию наблюдателем

Измерительная Совокупность функционально объединенных Установка для проверки


установка средств измерений (мер, измерительных при­ плоскопараллельных кон­
боров, измерительных преобразователей) и цевых мер длины
вспомогательных устройств, предназначенная
для выработки сигналов измерительной ин­
формации в форме, удобной для непосред­
ственного восприятия наблюдателем, и распо­
ложенная в одном месте

Измерительная Совокупность средств измерений, соединен­ Трехкоординатная измери­


система ных между собой каналами связи, предназна­ тельная машина
ченная для выработки сигналов измерительной
информации в форме, удобной для автомати­
ческой обработки, передачи и (или) использо­
вания в автоматических системах управления j

Измерительные приборы по способу от­ сравнения измеряемой велюШны с величиной,


счета значений измеряемых величин подразде­ значение которой известно.
ляют на показывающие, в том числе на анало­ Измерительные преобразователи являются
говые и цифровые, и на регистрирующие. составными частями измерительных приборов,
Аналоговый прибор - прибор, ^показания систем автоматического контроля, управления
которого являются непрерывной функцией и регулирования. Наибольшее применение
изменений измеряемой величины. Отсчетные получили преобразователи индуктивные, ме-
устройства этих приборов состоят из двух эле­ ханотропные, электроконтактные, пневмоэлек-
ментов - шкалы и указателя, причем шкала троконтактные и др. По месту, занимаемому в
связана с корпусом, а указатель - с подвижной приборе, преобразователи подразделяют на
системой прибора. первичные, передающие и промежуточные.
Цифровой прибор - прибор, автоматичес­ Метод измерений - совокупность приемов
ки вырабатывающий дискретные сигналы из­ использования принципов и средств измере­
мерительной информации, показания которо­ ний. Под принципом измерений понимают
го представлены в цифровой форме. Регистри­ физическое явление или совокупность физи­
рующий прибор - прибор с записью показаний ческих явлений, положенных в основу изме­
в форме диаграмм или с печатанием показа­ рений. По способу -получения результатов
ний в 1щфровой форме. измерения разделяют на прямые, косвенные,
По способу определения значения изме­ абсолютные и относительные (табл. 1.1.2).
ряемой величины измерительные приборы Основные методы прямых измерений
подразделяют на две группы: приборы прямо­ приведены в табл. 1.1.3.
го действия и приборы сравнения. Наиболь­ В зависимости от числа одновременно
шее распространение получили приборы пер­ выявляемых размерных параметров методы и
вой группы. средства подразделяют на дифференцированные
(кии поэлементные, т.е. расчлененные на от­
Измерительный прибор прямого действиядельные
- параметры) и комплексные. Диффе-
прибор с одним или несколькими преобразо­ ренгщрованный метод измерения характеризу­
вателями сигнала измерительной информации ется тем, что параметр каждого элемента изде­
в одном направлении, т.е. без применения лия измеряют независимо от других элемен­
обратной связи (без возвращения к входной тов.
величине). Например, перемещение измери­ Комплексным методом измерения назы­
тельного наконечника индикатора часового вают измерения, при которых определяют
типа или измерительной головки в зависимос­ влияние комп7£екса параметров (элементов),
ти от размера контролируемого изделия пре­ характеризующих изделие и точность.
образуется относительно неподвижной шкалы. Для оценки экплуатационных свойств
Измерительный прибор сравнения - при­ средств измерений используют метрологичес­
бор, предназначенный для непосредственного кие параметры (табл. 1.1.4).
14 1.1, КАЧЕСТВО И ТЕХНИЧЕСКИЕ ИЗМЕРЕНИЯ

1.1.2. Виды измерений 1.1.4. Параметры средств измерений


Измерение Определение Параметр Определение

Прямое Измерение, при котором Номинальное Значение величины, указан­


искомое значение величины значение меры ное на мере или приписан­
находят непосредственно из ное ей
1 опытных данных
1 Измерение, при котором Действитель­ Действительное значение
Косвенное искомое значение величины ное значение величины, воспроизводимой
находят на основании извес­ меры мерой (получают при ее из­
тной зависимости между этой мерении путем исключения
величиной и величинами, систематических погрешнос­
подвергаемыми прямым из­ тей}
мерениям
Измерение, основанное на Отсчет Число, отсчитанное по от­
Абсолютное прямых измерениях одной счетному устройству средства
или нескольких основных измерений либо полученное
величин и (или) использова­ счетом последовательных
нии значений физических отметок или сигналов
констант Значение величины, опреде­
Показания
Измерение отношения вели­ прибора ляемое по отсчетному уст­
Относитель­ чины к одноименной вели­ (средства ройству и выраженное в
ное чине, играющей роль едини­ мерений) принятых единицах этой
цы, или измерение величины величины
по отношению к одноимен­
ной величине, принимаемой Диапазон из­ Область значений измеряе­
за исходную мерений мой величины, для которой
нормированы допускаемые
погрешности средства изме­
1.1.3. Методы измерений нений
Метод Определение Предел изме­ Наибольшее или наимень­
рений шее значение диапазона из­
Значения измеряемой ве­ мерений
Непосред­
ственной личины получают непос­ Чувствитель­ Отношение изменения сиг­
оценки редственно по отсчетному нала на выходе измеритель­
устройству измерительного ность измери­
тельного при­ ного прибора к вызывающе­
прибора прямого действия му его изменению измеряе­
бора
П 1 ^ и м е ч а н и е . От- мой величины.
счетное устройство - часть Абсолютная чувствительность
конструкции средства из­
мерений, предназначенная S =М/ Ах,
для отсчитывания значений Относительная чувствитель­
измеряемой величины ность
Измеряемую величину
Сравнения < сравнивают с величиной, /Ах
мерой: воспроизводимой мерой
дифференци­ На измерительный прибор
альный воздействует разность из­ 1де А/ - изменение сигнала
меряемой величины и изве­ на выходе; х - измеряемая
стной величины, воспроиз- величина; Аде - изменение
водимой мерой
Измеряют разность между измеряемой величины
совпадений измеряемой величиной и Условия применения средств
Нормальные
величиной, воспроизводи­ условия при­ измерений, при которых
мой мерой, используя со­ менения сред­ влияющие величины имеют
впадения отметок шкал или нормальные значения или
периодических сигналов ства измере­
ния находятся в пределах нор­
нулевой Результирующий эффект мальной области значений.
воздействия величин на При нормальных условиях
прибор сравнения доводят определяется основная по­
до нуля грешность средств измерения
ПОГРЕШНОСТИ ИЗМЕРЕНИЯ 15

1.1.2. ПОГРЕШНОСТИ ИЗМЕРЕНИЯ Принято погрешности подразделять на


три группы: систематические, случайные
Результат измерения, как бы тщательно (табл. 1.1.5) и грубые.
оно не проводилось, содержит погрешность Грубой называется погрешность измере­
измерения. Поэтому результат измерения ния, существенно превышающая ожидаемую
всегда отличается от истинното значения из­ при данных условиях погрешность. Например,
меряемой величины. ошибочно снято показание прибора и др. Та­
Разность между результатом измерения и кие грубые погрешности обнаруживают при
истинным значением измеряемой величины повторном измерении; их не принимают во
называется погрешностью измерения. внимание и исключают из результатов измере­
Поскольку истинное значение измеряе­ ний.
мой величины неизвестно, то неизвестна и Для выявления и исключения система­
погрешность измерения. В этом случае истин­ тических погрешностей осуществляют поверку
ное значение измеряемой величины заменяют средств измерений в органах государственной
действительным значением. Под действитель­ или ведомственных метрологических служб,
ным значением физической величины пони­ применяют особые методы измерения, прово­
мают ее значение, найденное опытным путем дят повторные измерения в разных местах с
и настолько приближающееся к истинному, применением различных средств измерений.
что оно принимается вместо него. Но бывают случаи, коща и систематические
Чтобы оценить результат измерения, не­ погрешности выявить и исключить не удается.
обходимо оценить погрешности, с которыми Тоща для обработки результатов измерений и,
оно выполнено, а для этого важно знать ис­ оценки систематической погрешности с задан­
точники и причины, вызывающие погрешнос­ ной вероятностью применяют специальные
ти. методики, основанные на теории вероятности.
1.1.5. Погрешности измерений и их составляющие
Погрешность Определение Причины возникновения погрешности

Составляющие погрепшости измереиня


Систематичес­ Остающаяся постоянной или законо­ Отклонение от нормальной темпера­
кая мерно изменяющаяся при повторных туры измерения; измерение прибо­
измерениях одной и той же величины ром, у которого указатель смещен
относительно нулевой отметки

Случайная Изменяющаяся случайным образом Округление при отсчитывании пока­


при повторных измерениях одной и заний прибора; вариации показаний
той же величины прибора

Составляющие систематической погрешности измерения


Инструмен- Зависящая от погрешностей применя­ Несовершенство кинематической
ташэная емых средств измерения схемы прибора; отклонения размеров,
формы и расположения поверхностей
деталей прибора; износ прибора при
эксплуатации

Методическая Происходящая от несовершенства Невыполнение нормальных условий


метода измерений измерения, неправильная установка
прибора, применение приближенных
расчетных формул, ошибочные мето­
дики измерения

Субъективная Обусловленная индивидуальными Недостаточно точное отсчитывание


особенностями наблюдателя, произ­ показаний прибора; ошибки при
водящего измерения оценке на глаз долей деления шкалы,
соответствующих положению указате­
ля; параллакс при отсчете показаний
прибора; разная реакция органов
чувств на ситалы
16 1.1. КАЧЕСТВО И ТЕХНИЧЕСКИЕ ИЗМЕРЕНИЯ

Случайную погрешность обнаружить и ис­ Известные систематические погрешности сум­


ключить практически невозможно, так как она мируются алгебраически, а случайные - квад-
проявляется случайно. В этом случае опреде­ ратически.
ляют закон распределения случайных погреш­ Погрешности средств измерений (табл.
ностей и на основе теории вероятности нахо­ 1.1.6) при технических измерениях во многих
дят доверительный интервал, в границах кото­ случаях определяют и погрешность измерений.
рого находится истинное значение измеряемой В нормативно-технических документах (ГОСТ,
величины с заданной вероятностью. Чем уже ОСТ и др.) преимущественно указывают ос­
этот интервал, тем ближе результат измерения новную погрешность или предельно допускае­
к истинному значению измеряемой величины. мую погрешность. Эти погрешности не учиты­
Случайные погрешности уменьшаются с по­ вают погрешности, допускаемые набшодате-
вышением точности и тщательности проведе­ лем, и метода измерения. По основной по­
ния измерений. грешности, зная допуск на изготовление изде­
Таким образом, погрешность измерений лия, для измерения изделия подбирают соот­
включает в себя все составляющие как систе­ ветствующее средство измерений.
матической, так и случайной погрешности.
1.1.6. Погрешности средств измерений
Погрешность Определение

Аде абсолютная меры Разность между номинальным значением меры х^ и истинным


значением х воспроизводимой ею величины
А X = Хд - X

А х^ абсолютная измери­ Разность между показанием измерительного прибора х^ и ис­


тельного прибора тинным значением х измеряемой величины

П р и м е ч а н и е . В связи с тем, что истинное значение


величины остается неизвестным, на практике вместо него
пользуется действительным значением

5 относите;1ьная меры Отношение абсолютной погрешности меры (измерительного при­


(измерительного прибора) бора) к истинному (действительному) значению величины, вос­
производимой мерой (предпочтительнее выражать в %)

5 = ±^1(Ю

Адр приведенная измери­ Отношение погрешности измерительного прибора к нормирую­


тельного прибора щему значению х^^. За нормирующее значение х ^ условно
принимают значение верхнего предела измерений, длины шкалы
и др. Обычно Адр выражают в %:
Ах
Адр= —1(Ю

Основная средства измере­ Погрешность средства измерений, используемого в нормальных


ний условиях
Дополнительная Погрешность, вызванная отклонением от нормальных условий
измерений
Предельно допускаемая Наибольшая (без учета знака) погрешность средства измерений,
при которой оно может быть признано годным и допущено к
применению
ИЗМЕРЯЕМЫЕ ПАРАМЕТРЫ 17

Глава 1.2 Продолжение табл. 1.2.1


Плотность, удельный объем,
Механические количество вещества, отно­
ИЗМЕРЯЕМЫЕ ПАРАМЕТРЫ и молекуляр­ сительная молекулярная
ные масса, молярная масса, мо­
Для определения качества и работоспо­
лярный объем, коэффициент
собности изделия, поиска дефектов и прогно­ продольного растяжения,
зирования состояния машин необходимо из­ модуль продольной упругос­
мерять характерные параметры. Измеряемые ти, твердость, ударная вяз­
параметры выбирают из множества параметров кость, динамическая вяз­
для исследования информативности призна­ кость, текучесть, кинемати­
ков, сформированных на этих параметрах. На ческая вязкость, коэффици­
ент поверхностного натяже­
основании информативности признаков опре­ ния, концентрация вещества,
деляют окончательный ряд измеряемых пара­ коэффициент диффузии
метров, которые используют в дальнейшем для Температура, количество
диагноза неисправных состояний. Номенкла­ Тепловые теплоты, температурный
тура измеряемых параметров различных изде­ градиент, тепловой поток,
лий регламентируется стандартами. поверхностная плотность
При повышении требований к надежнос­ теплового потока, энтропия,
теплоемкость (удельная и
ти машин число измеряемых параметров, а объемная), теплота фазового
следовательно, необходимых измерительных превращения, теплота сгора­
средств увеличивается. ния топлива, коэффициент
Физические параметры разделяют на теплопроводности, коэффи­
группы, приведенные в табл. 1.2.1. циент теплопередачи, коэф­
фициент температуропро-
водности
1.2.1. Группы физических параметров Звуковое давление, объемная
Акустические скорость, звуковая энергия,
Наименование Измеряемые параметры плотность звуковой энергии,
группы интенсивность звука, удель­
ное акустическое сопротив­
ление, механическое сопро­
Кинематичес­ Время, скорость, ускорение, тивление, интенсивность
кие угловая скорость, угловое звука, высота звука, тембр
ускорение, период, частота, звука, громкость звука, акус­
тический коэффи1щент от­
фаза, градиент скорости, ражения, акустический ко­
объемный расход, плотность эффициент поглощения,
объемного расхода акустическая проницаемость
перегородки, время ревербе-
рации
Геометричес­ Длина, площадь, угол, теле­
сный угол, кривизна линии, Электрический заряд, повер­
Электрические хностная
кие плотность заряда,
кривизна поверхности, мо­ напряженность электричес­
менты плоских фигур, осе­ кого поля, электрическое
вой и полярный моменты смещение, поток электри­
инерц1{и площади плоской ческого смещения, потенхщ-
фигуры ал, электрический момент
диполя, емкость, диэлектри­
ческая проницаемость, диэ­
лектрическая восприимчи­
Статические и Масса, сила, импульс силы, вость, сила тока, плотность
динамические количество движения, давле­ тока, электрическое сопро­
ние, градиент давления, ра­ тивление, удельная проводи­
бота, энергкя, мощность, мость
коэффициент трения, коэф­ Магнитная индукция, маг­
Магнитные нитный поток, напряжен­
фициент сопротивления,
коэффициент упругости, ность магнитного поля, маг­
момент силы, момент инер­ нитный момент, магнито­
движущая сила, магнитное
ции, массовый расход, мас­ сопротивление, индуктив­
совая скорость потока, зату­ ность, взаимная индуктив­
хание, добротность ность, намагниченность,
магнитная проницаемость
18 1.3. ИЗМЕРЕНИЕ РАЗМЕРОВ

Продолжение табл. 1.2.1 1.3.1. СИСТЕМЫ ОТСЧЕТА ОТКЛОНЕНИЙ


Наименование И НОРМАЛЬНЫЕ УСЛОВИЯ ИЗМЕРЕНИЯ
Измеряемые параметры
группы При измерении линейных размеров в за­
Излучений Лучистый поток, поверхнос­ висимости от задачи измерения за начало от­
тная плотность потока излу­ счета отклонений принимают или номиналь­
чения, энергетическая осве­ ные размеры или прилегающие поверхности
щенность, энергетическая (контуры), или средние. При контроле разме­
яркость, энергия излучения, ров, отклонений формы и расположения ис­
спектральная плотность пользуют прилегающие.
энергии излучения, осве­ Прилегающие поверхности и контуры -
щенность, яркость, экспози­ это поверхности и контуры, имеющие форму
ция, сила света, коэффици­ номинальных (и заданных чертежом), каса­
ент преломления, коэффи­ тельные к реальной поверхности, лежащие вне
циент отражения, коэффи­ материала детали и имеющие наименьшее
циент поглощения, коэффи­ значение максимального отклонения от реаль­
циент пропускания ной поверхности.
Измерение размера - это или измерение
фи- Момент количества движе­ размера прилегающего замкнутого контура
Атомной (например, для цилиндрических поверхностей
зики ния, момент диполя, доза
поглощенного излучения, - диаметр прилегающего цилиндра), или изме­
экспозихщонная доза излу­ рение максимального расстояния между при­
чения, радиоактивность, легающими поверхностями (контурами).
коэффициент рекомбинации За начало отсчета опслонений приняты
номинальные размеры. Измеренное отклонение
размера - это разность между номинальным
Число используемых физических вели­ значением размера и измеренным размером.
чин ограниченно и не превышает 200. Наи­ За начало отсчета отклонений формы
больший практический интерес представляют принимают прилегающую поверхность
измеряемые физические величины, находящи­ (контур).
еся в функциональной связи с параметрами Измерение отклонений формы - это изме­
назначения и надежности объектов, например рение отклонений реальных поверхностей
обнаружение дефекта в виде трещины и опре­ (контуров) от прилегающих. Измерение откло­
деление его параметров может быть выполнено нений расположения - это измерение отклоне­
с помощью измерения магнитной проницае­ ний расположения прилегающих поверхностей
мости, коэрцитивной силы, магнитной индук­ (контуров) или их осей относительно номи­
ции ферромагнитного материала (магнитный нальных положений или отклонений взаимно­
метод), температуропроводности, теплоемкос­ го расположения.
ти, теплопроводности материала (тепловой Средние поверхности (контуры) опреде­
метод) или модуля упругости, плотности, ляют как поверхности и контуры, имеющие
удельного волнового сопротивления материала форму номинальных и пересекающие реаль­
(акустический метод). ный профиль так, что разность сумм квадратов
Измерение физических параметров, ис­ положительных и отрицательных отклонений
пользование специальных физических эффек­ минимальна.
тов положены в основу различных методов В разделе 1.12 представлены методы оп­
контроля и технической диагностики, с помо­ ределения средней линии и, в частности, ме­
щью которых анализируют и оценивают слож­ тод наименьших квадратов.
ное техническое состояние объектов. Средние линии принимают за начало от­
счета отклонений при измерении некоторых
параметров шероховатости поверхности и при
Глава 1.3 анализе отклонений формы (математические
ИЗМЕРЕНИЕ РАЗМЕРОВ методы анализа изложены в 1.12).
Нормальные условия для линейных изме­
Методическая составляющая погрешнос­ рений в пределах от 1 до 500 мм и измерений
ти измерения размеров определяется: 1) от­ углов с длиной меньшей стороны до 500 мм:
клонением от принятых условий определения - температура окружающей среды 20 ^С;
размера; 2) отклонением схемы измерения от - атмосферное давление 101324,72 Па (760 мм
такой, которая следует из определения разме­ рт. ст.);
ра. Поэтому решение задачи измерения разме­ - относительная влажность окружающего воз­
ров начинается с установления условий и схе­ духа 58 % (нормальное пархшальное давление
мы измерения. водяных паров 1333,22 Па);
- ускорение свободного падения 9,8 м/с^;
виды и МЕТОДЫ ИЗМЕРЕНИЯ РАЗМЕРОВ 19

- направление линии измерения* линейных Примеры: измерение среднего диаметра


размеров до 160 мм наружных поверхностей - резьбы; измерение толщины листа рентгено­
вертикальное, в остальных случаях - горизон­ вским толщиномером в процессе прокатки.
тальное; Координатные измерения распростране­
- положение плоскости измерения углов - ны в связи с применением ЭВМ. Более под­
горизонтальное; робные сведения о них приведены ниже.
- относительная скорость движения внешней Хараггерные особениостя • ограниченна
среды равна нулю; области применения метода непоя1сдственной
- значения внешних сил равны нулю. I. Измерение в широком диапазоне без
Нормальшш область значений влияющих перенастройки.
величин при линейных и угдовых измерениях П. Измерение в условиях гибкого произ­
- это область, для которой погрешность сред­ водства.
ства измерения может превышать допускаемую П1. Возможность использования средств
основную погрешность на 0,1 от допуска на измерения с относительно простыми элемен­
изготовление. тами базирования.
При выборе допускаемой погрешности TV. Инструментальная составляющая
измерения учитывается зависимость погреш­ погрешности измерения существенно (в отли­
ности измерения А от размера d измеряемой чие от метода сравнения) зависит от значения
физической величины. Такая зависимость измеряемой величины и обычно больше, чем
положена и в основу построения системы до­ при методе сравнения.
пускаемых погрешностей измерения. В общем V. Ограниченная возможность измерения
случае эта зависимость в параметрической размеров сложных деталей простыми по кон­
форме имеет вид струкции средствами измерения..
Хараггерные особенности
области применения метода <
du I. Малый диапазон показаний.
d = схр
J 17 "''^
П. Возможность обеспечения высокой
чувствительности.
ХП. Возможность создания малогабарит­
ных преобразоватетюй.
IV. Эффективен при контроле в массо­
вом или серийном производстве, в том числе
du при создании многомерных контрольных при­
А = ехр
J Ibu"^ +л 1 -и
+с способлений.
V. Относительно небольшая инструмен­
тальная составляющая погрешности измере­
где и - параметр; с, а, р, q - постоянные. ния.
VI. Возможность компенсации при на­
Для практически встречающихся случаев стройке влияния таких возмущающих факто­
можно выбрать а = О. Тоща ров, как темпе1>атура.
Использование кощееых мер длины для
^[•^i/.^^a-P/.)^,J настройки средства измерения при методе
сравнения сокращает затраты на изготовление
где b, с ' постоянные. и аттестацию специальных мер. Но при этом
возможно увеличение методической составля­
ющей погрешности измерения, обусловленной
1.3.2. ВИДЫ И МЕТОДЫ несоответствием конструкции меры и измеря­
ИЗМЕРЕНИЯ РАЗМЕРОВ емой детали. Плоскопараллельные концевые
меры длины - одно из основных средств изме­
Виды измерения: 1 - косвенные, 2 - рения, используемое для обеспечения единства
прямые. Область применения косвенных из­ и достоверности линейных измерений. Они
С71ужат для хранения и передачи единицы дли­
мерений линейных величин ограничена в пер­ ны от эталона к изделию в поверочной схеме,
вую очередь точностью используемой зависи­ начиная от образцовых средств измерений 1-го
мости между величинами, получаемыми пря­ разряда.
мыми измерениями, и искомыми. В то же Точность изготовления концевых мер
время сложность построения прямых измере­ длины репшментирована классами точности:
ний в ряде случаев приводит к тому, что по­ 00, 01, О, 1, 2, 3. Самый высокий 00
грешность используемой зависимости может (допускаемые отклонения размеров от 0,05 до
оказаться при прочих равных условиях меньше 0,35 мкм в зависимости от размера) и самый
погрешности прямого измерения из-за слож­ грубый 3 (допускаемые отклонения размеров
ности обеспечения: 1) требуемой инструмен­ от 0,8 до 6 мкм). После ремонта концевые
тальной составляющей, 2) нормальных усло­ меры могут бьпъ отнесены к классам точности.
вий измерения. 4 и 5.
20 1.3. ИЗМЕРЕНИЕ РАЗМЕРОВ

Особешсости контапшх методов взмсре- распределения в пределах допускаемой по-


• U размеров связаны с действием измери­ хрешности измерения пренебрежимо мало,
тельной силы на деталь, с выбором формы
измерительного наконечника для различных /I = 0,5 - 3,5395Ф[3 - (6z - Я ) / Г ] +
задач измерения и мало связаны с принципом
измерения. +4,078 Ф[3 ~ (6z - 2Н) / Г ] -
Особенностью измерения размеров явля­
ется относительно высокая доля методической -1,5393 Ф[3 - {6z - ЪН) I Т\
составляющей погрешности измерения в срав­
нении с инструментальной составляющей. mt Ф\\ - функция Лапласса; z - координата
Опыт показывает, что методическая составля­ серсдаош поля допускаемой погрешности из­
ющая может превышать инструментальную и мерения (или допуска калибра); Н - допуска­
составить более половины похрешности изме­ емая погрешность измерения (допуск калиб­
рения. ра); Т ' допуск контролируемой детали.
Для уменьшения методической состав­
ляющей погрешности измерения необходимо
соблюдать два основных принципа: принцип 1.3.3. ТЕХНОЛОГИЯ ИЗМЕРЕНИЯ
инверсии и принцип Аббе. ОТКЛОНЕНИЙ ОТ ПЛОСКОСТНОСТИ
Согласно принщшу иявсрсян необходимо
учитывать изменение назначения детали при Основные мепгоды измерения отклонений
изготовлении, измерении и эксплуатации. В от плоскостности приведены в табл. 1.3.1.
частности, из него вытекают два требования: 1) При измерении отклонений формы при­
обеспечение единства баз; 2) обеспечение меняют дискретные измерения^ поэтому при
адекватности относительных перемещений, в любом методе необходимо определение числа
частности, при измерении и эксплуатации или и расположения точек и линий измерения в
при измерении и обработке. зависимости от контура плоскости и размеров
Соблюдение прнициш Аббе при построе­ нормируемого участка. Для прямоугольного
нии схем измерения означает совпадение ли­ контура число точек П\ измерения в продоль­
нии передачи первичного измерительного ном направлении (большая длина) в зависимо­
сигнала (в частности, линии перемещения сти от длины L\ нормируемого участка опре­
измерительного наконечника) с линией изме­ деляют по табл. 1.3.2. Число точек на линии
рения. измерения в поперечном направлении
Схемы измерения высот и длин плоских
деталей, диаметров в большинстве случаев
совпадают со схемами измерения соответству­ = J^,
«2=-7'('^~0+^'
ющих отклонений формы в связи с необходи­
мостью выделять прилегающие поверхности
h
или контуры. те L2- ширина нормируемого участка.
В машино- и приборостроении основной Следовательно, общее наименьшее число
объем измерений размеров - это измерения с точек измерения
целью контроля. В зависимости от соотноше­
ний объемов изготавливаемых и контролируе­ л = Л| •Л2-
мых деталей контроль делят на 100%-ный и
статистический. Статистические методы кон­ Точки для измерения на непрямоуголь­
троля используют и при регулировании техно- ных контурах определяют вписыванием рас­
ло1нческих процессов по показателям точнос­ сматриваемого контура в прямоугольник.
ти. Бальшинство задач, возникающих при При непрерывном гЬмерении по линиям из­
статистическом контроле, можно решать, ис­ мерения число дискретных значений ординат
пользуя методы, изложенные в п 1.12. определяют так, чтобы исключить влияние
Погрешность измерения при контроле шероховатости поверхности, а именно, шаг
приводит к появлению ошибок 1-го и 2-го дис]о>етности выбирают равным или несколько
рода, то ес1Ъ к выбраковке деталей, действи­ меньшим 20 % предельной длины волны, ше­
тельные размеры которых находятся в преде­ роховатости. Бели шаг дис10)етности определен
лах допуска, или к приемке деталей, выходя­ по другим критериям, то предельную длину
щих за пределы допуска. волны шероховатости выбирают в 5 раз боль­
Обозначим п - вероятность ошибки 1-го шей шага дискретности.
рода (количество неправильно забра1^ованных Для механической фильтрации шерохо­
деталей). ватости поверхности наконечник измеритель­
Для определения вероятности непра­ ного прибора выбирают сферической формы с
вильного забраковывания деталей примем, что радиусом Г ^ 25 мм, а при электрической
отклонение от линейной зависимости кривой фильтрации Г ^ 0,25 мм.
1.3.1. Методы измерения отклонений от плоскостности

Наименование метода Погрешности


Схема измерения Область применения (составляющие погрешности измерения)

1 3
1. Измерение коор­ Наружные и внутренние поверхности Погрешности:
динатной измери­ измерительной машины;
тельной машиной от ограниченного числа и точек измере­
ния

2. Измерение прибо­ Наружные поверхности для нормирован­ Погрешности:


ром для измерения Jr ного участка Lj ^ 6000 мм. Масса изме­ прибора для измерения длин;
S
т—f ЗГ"
длин и поверочной ряемой детали не более допустимой на­ отклонения от плоскостности повероч­
плитой Х777Т7; ТТП грузки на поверочную плшу ной плиты;
от ограниченного числа и распределе­
ния точек измерения

3. Измерение пове­ Наружные поверхности мелкоразмерных Погрешности:


рочной плитой с от­ деталей с небольшой массой по сравне­ прибора для измерения длин;
верстием и прибором ШШ ^
tm4444S4At^4\^^^^ нию с поверочной плитой. Размеры дета­ обусловленные отклонением от плоско­
для измерения длин ли примерно в 2 раза меньше повероч­ стности поверочной плиты;
ной шшты. Не применим для измерения от ограниченного числа и распределе­
выпуклых поверхностей ния точек измерения

4. Измерение гидро­ Горизонтальные наружные поверхности в Погрешности:


статическими уров­ случаях отсутствия влияния вибраций гидростатических уровней;
нями ( i - здесь и далее контролируемая деталь) обусловленные длиной и диаметром
шланга;
от влияния окружающей среды;
обусловленные влиянием кривизны
Земли (для больших размеров);
от ограниченного числа и расположения
точек измерения
продолжение табл. 1.3.1
1
5. Измерение линей­ Только для горизонтальных наружных Погрешности:
кой-компаратором и поверхностей Zj < 5000 мм. Жесткость встроенных приборов для измерения
уровнем детали должна исключать влияние массы длин;
линейки-компаратора микрометрических винтов регулируемых
опор;
поверочной плиты для настройки ли­
^ 2 3 ч
нейки-компаратора;
от ограниченного числа и распределе­
ния точек измерения

6. Измерение уровнем Предпочтительно крупные горизонталь­ Погрешности:


)r?t>f}ftt>fHff. ные поверхности L^ < 1000 мм уровня;
измерительного мостика;
обусловленные влиянием ]фивизны
Земли (для больших длин);
jt'H—\—I—^1 от приведения измерительных профи­
лей к общей базовой плоскости;
от ограниченного числа и распределе­
ния точек измерения

7. Измерение прибо­ Горизонтальные поверхности L^ < 1600 Погрешности:


ром для измерения прибора для измерения длин;
д;шн, уровнем и тре­ поверочных линеек;
мя поверочными ли­ обусловленные точностью выверки по­
нейками верочных линеек;
от ограниченного числа и распределе­
ния точек измерения

8. Измерение зри­ Крупные горизонтальные поверхности Li Погрешности:


тельной трубой, до 15000 мм, а при учете влияния окру­ зрительной трубы;
уровнем и целевой жающей среды Li до 100000 мм уровня;
маркой обусловленные влиянием о]фужающей
среды на базовую плоскость измерения;
от ограниченного числа и распределе­
ния точек измерения
Продолжение табл. 1.3.1
1
9. Измерение зри­ Поверхности Погрешности:
тельной трубой, пен- деталей длиной < 30000 мм зрительной трубы;
тапризмой и целевой обусловленные поворачиванием пен-
маркой топризмы;
обусловленные влиянием окружающей
среды;
от ограниченного числа и распределе­
ния точек
10. Измерение ком­ Поверхности деталей L^ < 1000 мм. Жес­ Погрешности:
паратором плоскости ткость деталей должна быть такой, чтобы приборов для измерения длин;
с неподвижными масса компаратора не искажала форму из-за нежесткости основания, влияния
опорами поверхности массы, и настройки компаратора;
от ограниченного числа и распределе­
ния точек измерения

11. Измерение ком­ То же Погрешности:


паратором плоскости приборов для измерения длин;
с аэростатическим из-за нежесткости основания компара­
базированием тора и аэростатических опор;
настройки компаратора;
из-за массы компаратора и измеряемой
детали;
от ограниченного числа и распределе-
ния точек измерения
12. Интерференцион­ Определение относительно малых откло­ Погрешности:
ное измерение плос­ нений от плоскостности поверхностей с из-за отклонения от плоскостности
кой стеклянной плас­ хорошей отражающей способностью с стеклянной пластины;
тиной L^ <. 200 мм оценки интерфЬрационной картины

Пофешности:
13. Измерение с по­ См. методы измерения отклонений от метода измерения отклонения от пря­
мощью методов из­ прямолинейности
мерения отклонения 1^ ^ молинейности;
от прямолинейности ш ^
ш из-за перевода пространственных поло­
жений измеренных профилей в общую
базовую плоскость;
от ограниченного числа и распределе-
ния точек измерения
24 1.3. ИЗМЕРЕНИЕ РАЗМЕТОВ

1.3.2. Число точек измерения


для 11|1ямоуголы1ого контура min ^AJ^(^J9,C,/>)
Длина 1 Длина
нормируемого Л1 нормируемого П1 Отклонение от плоскостности в данном
участка участка случае
Zi, мм Zx, мм
B¥E = \hp{A,B,C,D)\ + \h^{A,B,C,D)\,
Св. 2500
До 100 5 17 ще НЛА,В,С,D\ - максимальное наимень­
до 4000
шее расстояние измеренной поверхности от
Св. 100 Св. 4000 средней плоскости над средней плоскостью;
7 19
до 160 до 6300 1\{А,В,С,D\ - максимальное наименьшее
Св. 160 Св. 6300 расстояние измеренной поверхности от сред­
21
до 250 ' до 10000 ней плоскости под средней плоскостью.
Св. 250 Св. 10000
Для того, чтобы реализовать метод изме­
9 23 рения отклонения от плоскостности с помо­
до 400 до 16000 щью методов измерения отклонений от пря­
Св. 400 Св. 16000 молинейности, целесообразно сетку точек рас­
9 25 положить, как указано в п. 13 в табл. 1.3.1. В
до 630 до 25000
этом случае траектории будут иметь общие
Св. 630 Св. 25000 точки, что позволит путем введения поправок
11 27 построить базовую плоскость и определить
до 1000 до 40000
отклонение от плоскостности. Для этого опре­
Св. 1000 Св. 40000 деляют Z для точки пересечения М и вычис­
13 29 ляют Zi для остальных точек измерения на
до 1600 до 63000
диагоналях по формуле
Св. 1600 . ^ 1 Св. 63000 31 Zi ^Z'i + v ,
до 2500 ^^ 1 до 100000
тц^ z\ - координатное значение точек Р/ на
рассматриваемой диагонали, полученное мето­
Стандарт, определяющий отклонение от дом измерения отклонений от прямолинейно­
плоскостности, рекомендует использовать сти; V - поправочное значение смещения для
прилегающую плоскость в качестве базового рассматриваемой диагонали, вычисленное из
элемента. Прилегающую плоскость принятого значения z для. точки М минус
Ах + В у+С Z+D =^д значение z для точки Af данной диагонали.
Для всех других точек измерения на ли­
вычисляют по координатам х^, у^, z^ точек Р/ ниях измерения в поперечном и продольном
измеренной поверхности, соблюдая условие направлениях принимают, что измеренные
профили присоединены к двум уже известным
1Шп(тах|л^(Л^, С,/))|), / = 1,2,..., л, точкам базовой плоскости, тоща
Zi =Z,J +Vi +Пд^
1де И{AyByCyD) - наименьшее расстояние
точки Р/ от плоскости ще Vj - поправочное значение смещения для
рассматриваемой линии измерения, вычислен­
Ax + By-^Cz+D = 0, ное из значения z минус значение z' для пер­
Отклонение от плоскостности вой точки присоединения линии измерения;
D - поправочное значение на поворот для
E F E = max h^[A\B\C\D*^ рассматриваемой линии измерения, вычислен­
ное из значения z минус значение z' для вто­
/ = 1,2,...,л. рой точки присоединения линии измерения
минус Vi; gi - относительное число для рассто­
есть максимальное значение наименьшего яния соответствующей точки измерения Р/ на
расстояния реальной поверхности от прилега­ рассматриваемой линии измерения от точки
ющей. вращения линии измерения (первой точки
При использовании в качестве базового присоединения) по отношению к расстоянию
элемента средней плоскости второй точки присоединения от точки враще­
ния.
Лх + Д у + С г + 5 > = 0 Последующая обработка результатов из­
ее определяют по координатам точек измерен­ мерений производится так, как указывалось
ной поверхности, соблюдая условие вьпие.
ИЗМЕРЕНР1Я НА КООРДИНАТНО-ИЗМЕРИТЕЛЬНЫХ МАШИНАХ 25

1.3.4. ТЕХНОЛОГИЯ ИЗМЕРЕНИЯ 1.3.6. ИЗМЕРЕНИЯ НА КООРДИНАТНО-


ОТКЛОНЕНИЙ ОТ ПРЯМОЛИНЕЙНОСТИ ИЗМЕРИТЕЛЬНЫХ МАШИНАХ
Методы и схемы измерения отклонений Как указывалось выше, для определения
от прямолинейности представлены в табл. отдельных геометрических характеристик дета­
1.3.3. В ней также указывается примерная лей при контроле деталей сложных конструк­
область применения методов, достижимые ций используются координатные измеритель­
погрешности измерения и составляющие по­ ные машины. Особенности измерений на ко-
ординатно-измеритеяьных машинах (КИМ)
грешности измерения. Как и для измерения зачастую определяются особенностями их по­
отклонений от плоскостности в качестве базо­ строения.
вой прямой рекомендуется принимать приле­ На координатно-измерительных машинах
гающую прямую. Эта рекомендация определя­ (КИМ) производят измерение координат от­
ет и набор представленных методов измерения дельных точек поверхностей объекта в приня­
и методы обработки результатов измерений. той системе координат (прямоугольной, ци­
Рекомендация связанна с системой допусков линдрической или сферической) и последую­
на отклонения формы, которая предполагает в щее определение необходимых геометрических
качестве начала отсчета отклонений прилега­ параметров (размеров, формы и взаимного
ющие поверхности линии и контуры. В тех расположения поверхностей) путем математи­
случаях, когда не ставится задача контроля, ческой обработки измеренных координат.
выбор базовой поверхности, линии или конту­ КИМ - устройство, обеспечивающее ус­
ра должен быть согласован с задачей измере­ тановку измеряемой детали, взаимное пере­
ния. мещение системы ощупывания и детали, из­
мерение этих перемещений по координатам,
1.3.5. ТЕХНОЛОГИЯ ИЗМЕРЕНИЯ обработку данных измерений и представление
ОТКЛОНЕНИЙ ОТ КРУГЛОСТИ результатов расчетов измеряемых геометричес­
ких параметров.
В табл. 1.3.4 представлены методы изме­ Блок координатных перемещений (БКП)
рения отклонений от круглости, а также ос­ имеет базовую поверхность и узлы координат­
новные составляющие погрешности измере­ ных перемещений и, таким образом, образует
ния. устройство взаимодействия (УВ) измеритель­
ной машины с деталью, например взаимное
При измерении отклонений от круглости перемещение измеряемой детали и измери­
стоит задача выбора плоскости измерения. тельной головки (ИГ), установленной на одном
Если она не задана, то измерение производят из узлов машины.
в нескольких плоскостях. Число' плоскостей Координатные перемещения отсчитыва-
для задач контроля отклонений от круглости ются посредством измерительных преобразова­
может определяться в соответствии с табл. телей (ИП) и преобразуются затем в показа­
1.3.5. При этом первое и последнее сечения ния блока цифровой индикации (БИН) коорди­
должны иметь расстояние / / 2N от края, а натных перемещений и сигналы, используе­
расстояние между сечениями принимается мые в ЭВМ для расчета и представления изме­
равным I / N. При использовании круглог- ряемых геометрических параметров деталей.
рамм для определения отклонения от круглос­ Взаимные перемещения узлов БКП и УВ
ти следует иметь в виду, что из-за различных производятся либо вручную, либо электроме­
увеличений по радиальному и тангенциально­ ханическими приводами ЭМП. В последнем
му направлениям форма профилограммы не случае управление осуществляется либо от
совпадает с формой реального профиля. блока управления электроприводами (БУП)
(автоматический режим), либо от пульта (П)
Измерение отклонений взаимного распо­ (механический режим).
ложения поверхностней предполагает, что Функции устройства преобразования
одна из ее поверхностей или ее геометричес­ (УПС) зависят от типа используемой измери­
кая ось принимается за базу измерения. Оцен­ тельной головки. При использовании головки
ка величины отклонений производится отно­ касания в момент соприкосновения измери­
сительно этой базы. Отклонения формы базо­ тельного наконечника головки с измеряемой
вых поверхностей и рассматриваемых при поверхностью детали устройством УПС пода­
оценке исключаются. Это делается заменой ется электрический сигнал на отсчет переме­
реальных поверхностей прилегающими. При­ щений по координатам от ИП и на останов и
легающие поверхности могут имитироваться реверс взаимного перемещения детали и УВ.
при измерении соответствующими элементами УПС кроме выдачи сигнала на отсчет переме­
щений по координатам воспринимает, усили­
прибора. вает и подготавливает для передачи в ЭВМ
Измерение параметров шероховатости сигналы ИП, встроенных в ИГ отклонения.
производится на специализированных прибо­ Эти сигналы пропорциональны отклонению
рах, которые реализуют соответствующие ме­ наконечника измерительной головки от неко­
тоды измерения. торого нулевого положения.
1.3.3. Методы измерений отклонений от прямолинейности

Наименование метода Составляющие


Схема измерения Область применения погрешности
измерения

1
Непрерывное измере­ Определяется средствами измерения 25 «±(0,1 + 0,3) мкм
ние специальными
приборами виД X до 100 мм;
2s «±(0,5 + 2) мкм
5 ? ^ : ^ ^ ^ ^ ^ ^ L до 500 мм,
где S - стандартное отклонение

Измерение методом Для X ^ 500 мм 25 « ± ( 1 + 5) мкм


исключения погреш­
ности прямолинейно­ НЭо-
го перемещения при­
бора для измерения SWANW
длин

Измерения на коор- (J^yi» Определяется измерительной машиной Для L до 500 мм:


динатно-измеритель- в цеховых условиях
ной машине 25 = ±(4+ 15) мкм;
в лабораторных
25 = ±(0,5 + 5) мкм

Погрешности:
Измерение от пове­ Для поверочной линейки L 11600 мм
рочной гопггы или >и<?* отклонения от прямолинейнос­
ти меры;
поверочной линейки
прибора;
прибором для изме­
графического изображения из­
рения длин (или кон­
цевыми мерами) меренного профиля и графической
оценки отклонений от прямоли­
нейности.
25 « ±(5 + 10) мкм, L = 1600 мм
продолжение табл. 1.3.3

1 3
Измерение компара­ Х < 5000 мм Погрешности:
тором с несколькими Ф Фf Ф9 от встроенных измерительных
приборами для изме­ головок и микрометрических вин­
рения длин SI
SI ^
тов регулируемых опор;
поправочных значений мер
прямолинейности;
графического изображения из­
меренного профиля и графической
оценки отклонений от прямоли­
нейности.
25 = ± ( 5 + 10) мкм
L до 5000 мм

Измерение двухопор- Ограничивается расстоянием между опорами Тоже


ным мостиком и мостика
прибором для изме­ .wv44^w4^y^yv;yww\44T:^' £ ^ 500 мм
рения длин, располо­
женным посередине

Измерение микро­ Для вертикальных плоскостей и расстояний до Погрешность измерения


скопом от натянутой 10000 мм « ±(0,02+0,04) мм
струны \ЧчЧЧЧЧЧЧ1\ЧЧчЦ\\ЧЧЧЧ^ЧЧЧЧ^^

Измерение зритель­ Расстояние до метки <^ 5000 мм Погрешность измерения


ной трубой и целевой :^\T^v4\4'|'AW\^^'vV4'vCi\^^4^Kv ±0,02 ±(0,003 + 0,01) мм
маркой
продолжение табл. 1.3.3 1 So

1
Измерение фотоэлек­ Расстояние до метки ^ 5000 мм Погрешность измерения
трическим способом iO,02 ±(0,003 + 0,01) мм
от светового луча
лазера ^vvf^W^'
x\^vwv\|^w\4|v4^4vm44VV^4V

Измерение оптичес­ Диапазон измеряемых длин 500 - 3000 мм, соот­ Погрешности измерения на кон­
кой линейкой ветствующий диапазон измеряемых отклонений цах диапазона:
0,25 - 1 мм 500 мм - 0,5 мкм
1500 мм - 1,5 мкм
3000 мм - 3 мкм т

Измерение пщроста- Ограничивается диапазоном измерения прибора Погрешности:


тическими уровнями, для измерения длин, применяемого для контроля от диаметра и длины шланга; tn
подключенными уровня жидкости измерения изменений положе­
дифференциально I I I ( «10 + 25 мм) ния уровня жидкости; 3
прибора и др.
(для // = 20 м
2s « ±0,02 мкм)

Измерение с помо­ Тоже Тоже


щью одного или не­
скольких гидростати­
ческих уровней, под­ • 7 : г \ f 4VVV\4't^4^WsV4v<\v.\\\Y.

ключенных к уравни­
тельному сосуду
продолжение табл. 1.3.3

1 1 2 1 3 [ 4
Измерение двухопор- X до 15 M Погрешности:
(л 1,......J 1 1 1 1
ным мостиком и от вида прибора для измерения
1 1 1 i i
уровнем углов;
от измерительного мостика;
от шага контролируемых точек
и длины участка;
Z/ = 10 м; 25 « ±(1 + 5) мкм

Измерение двухопор- i = (4 + 30) M Тоже


ным мостиком и ав- '^JU'"."^"^"" в зависимости от шпа автоколлиматора
токоляиматором ^;1^^ч44чччч|ччччччч|ччтч^

_ а_
Измерение двухопор- НЩ X = (30 + 50) м
ным измерительным 1-"" P^iivi-^r^^^I
мостиком и лазерным V «- — f"!
интерферометром для .v^\\\\^^(^4\4^tV/C^\Vs^\N^
измерения углов по­
ложения

Измерение лекальной Быстрая ориентировочная оценка вида профиля Погрешности:


линейкой плоских и образующей прямой цилиндрических от разрешающей способности
V\\\\4\\N\XN\4:SS\4
^V. 1 FJ^
"Ape
поверхностей: глаза и опыта контролера;
L = (250 + 300) мм, от лекальной линейки;
минимальная неровность 1,5-2 мкм от способа обработки и шеро­
ховатости поверхности и др.
1.3.4. Методы измерений отклонений от круглости

Наименование метода Составляющие


Схема измерения Область применения погрешности
измерения
1 2 1 3 4
Измерение с приме­ Валы и отверстия с отклонением от круглости от Радиальная погреш­
нением прецизионно­ Л. 0,1 до 300 мкм в зависимости от конструкции при­ ность шпинделя (от
го вращения 1
Та-И !4?^ бора, диаметры от 13 до (100 + 1000) мм, высота от 0,05 до 0,3 мкм).
1 200 до 700 мм. Погрешность:
(1 - деталь) передаточной ха­
ь-@— 1 рактеристики (от 3
до 8 % верхнего
предела диапазона
измерения);
центрирования;
вызванная откло­
нением от парал­
лельности оси дета­
ли оси шпинделя;
обработки резуль­
татов измерений

Измерение с приме­
нением образца круг­
лости ж^ Валы и отверстия с допуском на диаметр от 4 до 8
квалитетов
Погрешность:
измерительной
головки;
отклонения
1фуглости у приме­
от

няемых образцов;
остаточного зазо­
ра в случае приме­
нения нерегулируе­
мых образцов 1фуг-
лости
продолжение табл. 1.3.4

1 3
Измерение с приме­ а) измероше отверстий Ограничение определяется жесткостью опор и воз- Погрешность:
нением аэростатичес­ можностгью их использования для различных диа­ измерительного
ки центрированного Щ—gH2l метров, длин прибора;
опорного элемента расположения
-Цг:^- оси опорного эле­
мента относительно
>v
центра средней ок­
ружности в плоско-
сти измерения
Измерение прибором Крупные детали, установленные в центрах Погрешность:
для измерения ради­ } ^ (патронах или других приспособлениях). Допуск измерительного
ального биения fJ7 крутости не менее 5 мкм. Доля отклонения от
1ФУГлости в радиальном биении не менее 20 %
прибора;
базирования из­
шшшшщ меряемых деталей;
от остаточного
эксцентриситета, не
исключенного филь-
тром.
Измерение скобой с Диаметр ^ 20 мм; длина > 20 мм. Допуск круглости Погрешность:
базированием в двух не менее 5 мкм от отклонения
соосных призмах соосности призм
базирования;
прибора;
от влияния дина­
мических факторов

Измерение поточеч­ Одновременно с измерением размеров и отклоне­ Погрешность:


ным ощупыванием на ний расположения. Детали сложной конструкции. координатно-
координатно-измери- Допускаемая погрешность измерения 2 - 5 мкм в измерительной ма­
тельных машинах зависимости от машины шины;
(приборах) обусловленная
ограниченным чис­
лом точек измере­
ния
продолжение табл. 1.3.4

1
Измерение средства­ Только для отклонений формы, имеющей четное Погрешность:
ми для измерения количество неровностей измерительного
диаметра: прибора;
- непрерывное изме­ от изменения про­
рение гиба измерительной
стойки (при непре­
рывном измерении);
вызванная невы-
явленными нечетны­
ми составляющими
-измерение по от­ отклонения от круг-
дельным сечениям лости;
вызванная огра­
ниченным числом
измеренных диамет­
V///////////77Fi ров (при дискретных
измерениях)

Измерение с приме­ Валы и отверстия деталей небольшого размера, Погрешность:


нением призмы имеющие определенное число колебаний отклоне­ средства измере­
(трехточечное изме­ ний от круглости ния;
рение): от изменения
- симметричная схема прогиба измери­
тельной стойки;
вызванная невы-
явленными состав­
ляющими отклоне­
ния от крутости

несимметричная
схема
продолжение табл. 1.3.4

Измерение седлооб­ Валы диаметром более 80 мм с отклонениями от Погрешность:


разной призмой крутости определенного числа колебаний средства измере­
ний;
от невыявленных
составляющих от­
клонения от круто­
сти

Измерение призмой с Диаметры от 80 до 1200 мм для накладных прибо­ Погрешность:


самоустанавливающи­ ров и до 320 мм для стационарных средства измере­
мися опорами ния;
от невыявленных
гармонических со­
ставляющих откло­
нения от круглости

Измерение призмой Валы и отверстия небольшого размера с отклоне­ Погрешность:


комбинированным ниями от круглости, определяющимися гармо­ средства измере­
способом ническими составляющими до 15-й гармоники ния;
от изменения
прогиба измери­
тельной стойки;
от невыявленных
составляющих от­
клонения от круто­
сти
34 1.3, ИЗМЕРЕНИЕ РАЗМЕЮВ

1.3.5. Выбор числа плоскостей измерений

/, мм Св. 50 Св. 200


До 50
до 200

Hd
До1 Св. 1 Св. 3 До1 Св. 1 Св. 3 До1 Св. 1 Св. 3
до 3 до 3 до 3

N 1 2 3 2 3 4 3 4 5

Обозначения:
/ - длина измеряемой цилиндрической поверхности;
l/d - соотношение длины и диаметра измеряемой поверхности;
N - число плоскостей измерения.

1.3.6. В|фнапы построения и режимы КИМ


Метод сравнения Устройство Режим Показания, Режим взаимного
с мерой взаимодействия считывания используемые перемещения детали и
КИМ координат для определения УВ
с деталью координат точек
детали
ручной автоматический

игк Динамичный Показания И П + +


Нулевой Жесткий
м
измерительный Статичный + -
наконечник
ИГО Статичный а + +
Дифференциаль­ Показания + +
ный Статичный*
ИГО ИГО
Динамичный -"- - +
Противопоставле­ Показания - +
ния Динамичный
ИГО И П и ИГО
Статичный* а + +
*Используется редко.

Для обеспечения доступа к измеряемым нечник ИГ выводятся приблизительно в нуле­


поверхностям деталей и упрощения измерений вое положение. Координата точки поверхнос­
в полярной, цилиндрической и сферической ти детали определяется суммированием одно­
системах координат базовая часть КИМ снаб­ временно произведенных отсчетов с ИП и ИГ.
жена поворотными столами (ПС). Описанные выше варианты методов
Алгоритм обработки сигналов ИП и ИГ сравнения и используемые при этом устрой­
определяется тем, что КИМ можно рассматри­ ства взаимодействия, режимы считывания
вать как прибор сравнения координаты точки координат и взаимного перемещения детали и
измеряемой поверхности детали с координат­ УВ показаны в табл. 1.3.6.
ной шкалы ИП. Сравнение указанных величин Классификация измерительных машин
может проводиться нулевым методом, диффе­ по вспомогательным признакам отражает ос­
ренциальным методом и методом противопос­ новные характеристики наиболее ответствен­
тавления.
ных узлов, среди которых в первую очередь
При нулевом методе координаты точки
детали отсчитываются по показаниям ИП в следует вьщелить БКП, ИП, систему привода
момент касания ИГ с деталью. узлов координатных перемещений.
При дифференциальном методе корпус Подавляющее большинство КИМ (до
ИГ выводится в заданное положение по пока­ 90%) оснащено фотоэлектрическими преобра­
заниям ИП, а отклонение от этого положения зователями. Значительно реже используются
отсчитывается по показаниям ИГ. При работе индуктосины и еще реже лазерные преобразо­
по методу противопоставления корпус и нако­ ватели.
ОБЩИЕ СВЕДЕНИЯ 35

Принцип работы фотоэлектрических Глава 1.4


преобразователей с растровыми измеритель­
ными линейками основан на модуляции све­ ИЗМЕРЕНИЕ
тового потока, проходящего через два взаимно ЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ
подвижных растра, и превращении его в ква­
зисинусоидальные электрические сигналы. 1.4.1. ОБЩИЕ СВЕЦЩНИЯ
Минимальное значение погрешности измери­
тельных преобразователей составляет 1-2 Электрические методы контроля основа­
мкм. Погрешность в пределах шага равна 0,02 ны на создании в контролируемом объекте
электрического поля либо непосредственным
- 0,05 шага, который для прецизионных сис­ воздействием на него электрическим возмуще­
тем составляет 8 - 2 0 мкм. Дис1фетность от­ нием (например, полем постоянного или пе­
счета, зависящая от шага и числа интерполя­ ременного тока), либо косвенно с помощью
ции, достигает 0,1 мкм. воздействия возмущениями неэлекгрической
КИМ могут применяться для контроля природы (например, тепловым, механичес­
практически всех встречающихся в машино­ ким). В качестве информативного параметра
строении типов деталей, однако каждый тип используются электрические характеристики
деталей требует своего спехщфического про­ объекта контроля.
граммного обеспечения, измерительной ос­ Так, элекгроемкостный метод контроля
настки, изменений в конструкции КИМ, а (ЭКМ) предусматривает введение объекта кон­
также специфической технологии измерений. троля в электростатическое поле и определе­
Все эти вопросы должны учитываться при ние искомых характеристик материала по выз­
выборе КИМ. ванной им реакции на источник этого поля. В
К специфическим типам деталей можно качестве источника поля применяют электри­
отнести: корпусные детали, зубчатые колеса, ческий конденсатор, который является одно­
кулачки, лопатки турбин, ходовые винты. временно и первичным элекгрбемкостным
Современные координатно- преобразователем (ЭП).
измерительные машины требуют развитого Информативность ЭМК определяется за­
программно-математического обеспечения висимостью первичных информативных пара­
метров ЭП от характеристик объекта контроля,
(ПМО). Это требование обусловлено разнооб­ например диэлектрической проницаемости и
разием функций, различием возможностей коэффициента диэлектрических потерь. Кос­
представления результатов измерений, уров­ венным путем с помощью ЭМК можно опре­
нем автоматизации измерений, различным делять и другие физические характеристики
числом измерительных головок (1 + 5), нали­ материала: плотность, содержание компонен­
чием дополнительных функций КИМ тов в гетерогенных системах, влажность, сте­
(автоматическая замена измерительных нако­ пень полимеризации и старения и пр.
нечников, встроенность КИМ в ГАП, разно­ Электрические величины и единицы их
образием конструкций КИМ). измерения приведены в табл. 1.4.1.

1.4.1. Величины, единицы измерения в электротехнике

Величина Обозначение в Наименование Символ Равнозначные выражения


формулах единицы

Сила тока /, / Ампер А -


Мощность р Ватт Вт 1 Вт = 1 В • А = 1 Н • м/с
Работа, энергия W Джоуль Дрк 1Дж=1Втс = 1 Н м
Напряжение и, и Вольт В -
Сопротивление R Ом Ом 1 Ом = 1 В/А
Удельное сопро­
тивление Р - Ом • м 1 Ом • м = 1 В • м/А
Проводимость G Сименс См 1 См = 1/Ом = 1 А/В
Электрический
заряд Q Кулон Кл 1 Кл = 1 А с
Напряженность
электрического Е - В/м -
поля
Емкость С Фарад Ф 1 Ф = 1 Кл/В = 1 А • с/В
36 1.4. ИЗМЕРЕНИЕ ЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПАРАМЕТЮВ

1.4.2. СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЯ тям относится принципиальная возможность


измерения только электрического напряжения,
Приборы для измерения электрических причем непосредственного измерения напря­
величин классифицируют по принципу дей­ жений до 300 кВ в широком диапазоне частот
ствия. - до десятков мегагерц.
Мапштоэлектрнческнс (МЭ) iipii6opii. Иццужционные (И) приборы. Приборы
Подвижная часть приборов этой системы от­ содержат катушки, питаемые переменным
клоняется в результате взаимодействия поля током и создающие переменные магнитные
постоянного мапогта и когаура с протекаю­ поля, наводящие токи в подвижном диске,
щим по нему током. Магаитоэлектрические взаимодействующие с магнитными потоками.
приборы имеют высокую чувствительность, В результате этого взаимодействия подвижная
малую потребляемую мощность, равномерную часть приборов приходит во вращение. На
шкалу, хорошее успокоение. МЭ применяют основе индукционных измерительных меха­
как самостоятельно, так и в сочетании с раз­ низмов выполняют электрические счетчики
личными преобразователями переменного тока активной и реактивной энергии и ваттметры.
в постоянный, для измерений на переменном Термоэлектрические приборы измеряют
токе. нагрев проводника (описываемый законом
Электромапогтые (ЭМ) приборы. Под­ 2
вижная часть приборов этой системы отклоня­ AQ^Ri ) проходящим по нему током. В при­
ется в результате взаимодействия магнитного борах определяется непосредственно эффек­
поля катушки с протекающим по ней током и тивное (действующее) значение тока.
ферромагнитного сердечника. Шкалы ЭМ Предельные параметры приборов раз­
приборов неравномерны в начальной части личных систем дают представление о возмож­
(20 %) и в конце. ЭМ приборы пригодны для ностях измерительных систем (табл. 1.4.2).
работы на постоянном и переменном токе, Измерительные преобразователи (ИП)
устойчивы к перегрузкам, отличаются просто­ предназначены для линейного преобразования
той конструкции; имеют низкую стоимость. основных параметров (силы постоянного и
Недостатком является низкая чувствитель­ переменного тока, напряжения постоянного и
ность, значительная потребляемая мощность, переменного тока, частоты, угла сдвига фаз и
влияние на точность измерений частоты изме­ коэффициента мощности, активной и реак­
ряемого сигнала, внешних магнитных полей и тивной мощностей) в унифицированные сиг­
температуры окружающей среды. налы - напряжение О - 10 В и силу
Электродшииипескне (ЭД) приборы. тока 0 - 5 мА.
Принцип действия приборов основан на взаи­
модействии подвижной и неподвижной кату­ 1.4.3. МЕТОДЫ ИЗМЕРЕНИЯ
шек с протекающими по ним токами. Шкалы
ЭД приборов неравномерны, что зависит от В зависимости от объекта измерений,
формы катушек и их взаимного расположения. требуемой точности результата, диапазона
Преимущество ЭД приборов - возмож­ рабочих частот, допустимого напряжения на
ность работы в цепях постоянного и перемен­ измеряемом объекте применяют различные
ного тока с расширенным диапазоном частот. методы измерений. Наибольшее применение
Приборы этой системы имеют большую по­ при измерении параметров линейных элемен­
требляемую мощность и низкую чувствитель­ тов получили метод вольтметра-амперметра,
метод непосредственной оценки и мостовой
ность. метод.
Ферродишингаескне (ФД) приборы. При­ Метод вольтметра-амперметра является
боры являются разновцдностью ЭД приборов косвенным, так как сводится к расчету по за­
и отличаются выполнением неподвижных ка­ кону Ома параметров цепей на основании
тушек на магнитопроводе из мапштомягкогр результатов измерений.
материала. Потребляемая мощность меньше, Этот метод используется при измерении
чем у ЭД приборов, меньше влияние внешних активного и полного сопротивлений, емкости,
магнитных полей и механических воздействий. индуктивности или взаимной индуктивности.
При применении ФД приборов на постоян­ Метод непосредственной оценки реализу­
ном токе появляется погрешность от гистере­ ется в приборах прямого действия и использу­
зиса, которая проявляется в вцде различных ется для измерения сопротивления, емкости и
показаний прибора в.. зависимости от возраста­ индуктивности.
ния или убывания тока нагрузки. Мостовые методы применяют для изме­
Элежтростатяческне (ЭС) приборы. Под­ рения параметров линейных элементов. Мос­
вижная часть приборов перемещается в ре­ товые средства измерений характеризуются
зультате взаимодействия электрически заря­ высокой точностью, широким диапазоном
женных проводников. Шкалы неравномерны. измеряемых значений, высокой чувствитель­
ЭС приборы можно использовать в цепях по­ ностью, возможностью измерения различных
стоянного и переменного тока. К особеннос­ величин.
1.4.2. Предельные параметры электромеханических приборов различных систем

Система Основная величина, Род тока; Наименование Пределы измерения Наивысший


преобразуемая в угол диапазон частот приборов при непосредственном включении класс точности
отклонения
минимальный ] максимальный 1
Магнитоэлектрическая Сила тока / Постоянный Амперметры 0,1 10-^ А
Вольтметры 0,3 • 10-3 в - 0,1
Гальванометры
Омметры 1 X 10-^ Ом

Электромагнитная 2 Постоянный; Амперметры 0,005 А ЗООА 0,2


Сила тока / 600 В
переменный Вольтметры 0,75 В
(действующее зна­
чение);
40 Гц - 8 кГц

Электродинамическая Сила тока / j х / j Постоянный; Амперметры 0,001 А 10 А 0,05


переменный Вольтметры 0,045 В 600 В g
(действующее зна­ Ваттметры 0,75 Вт
чение); Варметры 75 вар
40 Г ц - 20 кГц Фазометры
1Гц
Частотомеры 3
Ферродинамическая Сила тока / j х / j Постоянный; Амперметры 0,1 А 10А 0,2
переменный Вольтметры 15 В 600 В
(действующее зна­ Ваттметры 0,3 Вт
чение); Варметры 75 вар
10 Гц - 10 кГц Фазометры
Частотомеры 4Гц

Элеиростатическая Напряжение U Постоянный; Вольтметры 10 В


переменный 300000 В 0,05
(действующее зна­
чение);
20 Гц - 30 МГц

Индукционная Сила тока / j х / j Переменный; 50, Счетчики элект- Номинальные Номинальные


60 и 400 Гц 1 рической энер- значения значения 1,0
гии, ваттметры I 57,7 В; 1 А 1 380 В; 50 А
38 1.4. ИЗМЕРЕНИЕ ЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ

% =%(^/^2)-
Если Д;^ очень мало (в пределах 1 Ом -
1 мкОм), то переходные сопротивления полу­
чаются сопоставимыми с измеряемыми и вно­
сят значительную погрешность в результат
измерения. В этом случае применяют несколь­
ко более сложный мост Томсона. В мосте
Томсона для неизвестного сопротивления
применяется четырехпроводная схема: два
токоподвода и два подвода для напряжения,
электрически расположенные за переходными
Яг сопротивлениями и предназначаемые дтш из­
мерения напряжения собственно на сопротив­
лении.
Рис. 1.4.1. Мост Унтепнш Мосты Уитстона и Томсона дают в про­
дм взмерення сопротивлений стом и удобном для использования схемном
исполнении точность измерений порядка 1 %;
Для измерения емкости, индуктивности точность лабораторных мостов прецизионного
и других параметров цепей переменного тока исполнения может достигать 10"^ и более.
используются мосты переменного тока. Осо­ Измерение полных сопротивлений. Пол­
бенностью мостов переменного тока является ные сопротивления цепи можно определять,
необходимость при уравновешивании регули­ питая цепь переменным напряжением и изме­
рования не менее двух параметров моста. ряя ток / и напряжение U по модулю и по их
Процесс уравновешивания заключается в по­ взаимному положению по фазе. Это можно
переменном регулировании этих параметров. осуществить при помощи схемы на рис. 1.4.2.
Трансформаторные мосты переменного тока
имеют ряд преимуществ по сравнению с Для схемы справедливы соотношения
обычными мостами.
Для количественного определения на­ Z=U/I; R.=F/I^;
пряженности электрического поля применяют
емкостные датчики, заряд которых в поле
пропорционален напряженности этого поля.
(oL р-- R^; igb = RJ(oL,
Чтобы можно было проводить непрерывное Этот способ измерения полных сопро­
измерение, зонд, находящийся в поле, пере­ тивлений применяют в первую очередь на
крывается и вновь открывается с быстрым энергетических объектах.
чередованием, например вращающейся зас­ Для измерения полных сопротивлений
лонкой. Ток, протекающий, • через известное можно применять также и мостовые схемы,
разрядное сопротивление, в таком случае будет сходные с мостом Уитстона. Коща нуль-инди­
пропорционален составляющей напряженнос­ катор п (рис 1.4.3) показывает U^ =0, соблю­
ти поля, перпендикулярной к зоцду (датчику). дается соотношение
Измерение ажтивных сопротивлений. В
основу измерения активного (омического) Zj = Z 2 Z 3 / Z 4 .
сопротивления положен закон Ома. Поэтому
определить сопротивление R можно, пропус­
кая известный ток /через резистор, омическое
сопротивление которого измеряется, и опреде­
ляя падение напряжения на нем. Ф—®^
Удобнее и точнее измерять сопротивле­
ние при помощи моста Уитстона (рис. 1.4.1).
Источник постоянного напряжения питает две
ветви J^x'^N ** ^1^2 схемы моста. Измеряе­
мое сопротивление R можно уравнять с извес­
тным сопротивлением Rj^ эталонного резисто­
ра, изменяя отношение R^ / 7?2 До тех пор,
пока ток в нуль-гальванометре G не станет
равным нулю. При этом справедливы равен­ Рве 1.4.2. Опрсделеиве полных сопротн1леш1Й
ства: путем взмерения токя.
МЕТОДЫ ИЗМЕРЕНИЯ 39

Потери в ицдуктивностях и емкостях


можно выразить значением того угла 5 (угла
потерь), на который сдвиг фаз между током и
о
напряжением меньше 90 . Так как этот угол
составляет всего несколько угловых градусов,
он практически равен своему тангенсу - коэф­
фициенту потерь tg5. Добротность Q опреде­
ляется как величина, обратная тангенсу угла
потерь {Q-\ltg5). Эти параметры тоже
зависят от частоты, и поэтому необходимо
указывать частоту, при которой проводилось
измерение. Кроме трех основных составляю­
щих полного сопротивления R, L м С воз­
можны любые их сочетания. Для заданной
частоты они могут быть сведены в конкретных
случаях к эквивалентным схемам R - L
Рис. 1.4.3. Обобщенная схема или R - С.
измерительного моста переменного В цифровых измерительных приборах
(ЦИП) непрерывный сигнал преобразуется в
дис]фетный выходной сигнал, представленный
в 1щфровой форме. Преимущества ЦИП перед
аналоговыми приборами обусловлены малой
погрешностью измерений, высокой чувстви­
тельностью, большим быстродействием, отсут­
ствием субъективной ошибки отсчета результа­
та измерений, возможностью автоматизахщи
процесса измерения и простой реализаюш
возможности документирования результата
измерений.
Технические характеристики ЦИП при­
водятся в табл. 1.4.3.
Значительному прогрессу цифровых
средств измерений способствует применение
ми]фопроцессоров (МП). На их основе созда­
ются новые поколения программируемых уни­
версальных многофункциональных приборов.
В ЦИП микропроцессоры могут вьшолнять
Рис. 1.4.4. Мост Внна для взмереши емкостей автокалибровку, самодиагностику, математи­
ческую обработку результатов измерений, ли-
Неизвестное сопротивление Z^ здесь иг­ неризацию характеристик измерительных пре­
рает роль Z\. Остальные полные сопротивле­ образователей, коррекцию нуля. Кроме того,
ния, входящие в схему, следует выбирать так, МП управляют временем измерения и процес­
чтобы они обеспечивали возможность вьптол- сом преобразования, осуществляют автомати­
нения вьпиеприведенного равенства по вели­ ческий выбор диапазона и выполняют функ­
чине и фазе. Кроме того, схема должна вклю­ ции интерфейса.
чать известное образцовое полное сопротивле­ Цифровые мосты с МП позволяют изме­
рять не только сопротивление, емкость и ин­
ние. Эти условия позволяют создать весьма дуктивность, но и определять а^ктивную про­
многочисленные варианты мостов переменно­ водимость, добротность и тангенс угла потерь.
го тока. На рис. 1.4.4 показан мост Вина, час­ МП вычисляет процентные отклонения изме­
то применяемый для измерения емкости кон­ ряемых величин от номинальных значений и
денсаторов. Неизвестное полное сопротивле­ контролируют заданные пределы измерения,
ние, соответствующее емкости Сх с углом по­ что позволяет сортировать элементы цепей по
терь 5jc, может быть легко определено по об­ допускам. МП обеспечивает выбор режима
разцовой емкости с минимальными потерями измерений (однократный, непрерывный или
Cjv^ по калиброванному резистору с сопротив­ усредненный), уровня сигналов на измеряе­
лением потерь ЛБ и по отношению сопротив­ мом элементе, рабочей частоты и скорости
измерений.
лений R-^jR^. При этом Возможность разработки и производства
средств измерений электрических величин
с, = c^(^2/J?i); tgs^ = 1/((оС^Л5). определяется наличием метрологического
При использовании мостов для измере­ .обеспечения, то есть методов и средств, позво­
ния полных сопротивлений необходимо сле­ ляющих производить поверку средств измере­
дить за тем, чггобы частота измерений распола­ ний и обеспечивать единство измерений. Тех­
галась в диапазоне, на который рассчитано нические характеристики средств метрологи­
соответствующее полное сопротивление. ческого обеспечения приводятся в табл. 1.4.4.
40 1.4. ИЗМЕРЕНИЕ ЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПАРАМЕТЮВ

1.4.3. Технические характеристики цифровых измерительных приборов

Средство Диапазон измерения (преобразования)


измерения на постоянном токе на переменном токе сопротивления

Вольтметры 1 • 10-9 _ 1 . 103 В 1 • 10-^ - 1 • 103 В 0,05 Гц - ЮОкГц


Омметры 10-8 . 1016 Ом
Комбиниро­ 1 . 10-9 . 1 . 103 В; 1 • 10-^ - 1 • 103 В; 0,05 Гц - 100 кГц 110-^ - МО^о Ом
ванные при­ 1 • 10-11 . 5 А 1 • 10-7 . 5 А
боры
АЦПиЦАП 1 • 10-^ - 1 • 103 В; 1 • 10-^ - 1 . 103 В; 0,05 Гц - 100 кГц 1 • 10-2 . 10? Ом
1 • 10-^ - 5 А 1 • 10-^ - 5 А

Предел допускаемой погрешности


Средство измерения, уЬ Время Потребляемая
измерения на постоянном на переменном сопротивление измерения, мощность.
токе токе с ВА

Вольтметры 0,2 - 0,0005 0,5 - 0,06 - 60 - 1 • 10-3 50


Омметры - - 0,005 - 20,0 1 . 10-3 . 5 50
Комбиниро­ 0,5 - 0,002 1,0 - 0,05 1,5 - 0,005 60 - 1 • 10-2 60
ванные при­ 0,5 - 0,01
боры
АЦПиЗДАП 1,5 - 0,5 2,5 - 0,5 2,5 - 0,5 20 15
1.4.4. Технические характеристики средств метрологического обеспечения

Измеряемая величина Параметр Значение


или средство измерения

1 2 3
Напряжение постоянного тока Диапазон измерения 5 10-7-105 В
Погрешность ± (0,0001 - 1,5) %
Меры напряжешя постоянного тока:
однозначные Диапазон измерения 1,01756 - 1,01960 В
Похрешность ± (0,0005 - 0,01) %
многозначные программируемые Диапазон измерения 10-5 . 103 в
Погрешность ± (0,003 - 0,02) %
с ручным управлением Диапазон измерения 10-9 . 10 В
Погрешность
± (0,0002 - 0,02) %
Сила постоянного тока Диапазон измерения 10-1^ - 7 • 10^ А
Погрешность ± (0,01 - 5,0) %
Меры силы постоянного тока Диапазон измерения 10-9 . 10 А
многозначные программируемые Погрешность ± (0,006 - 0,03) %
Напряжение переменного тока Диапазон измерения Ю-* - 105 в
Погрешность ±(0,01 - 0 , 5 ) %
Частотный диапазон 0 , 0 2 - 5 - Ю^кГц
Меры напряжения переменного тока Диапазон измерения 10-5 . 103 в
многозначные программируемые Погрешность ± (0,03 - 0,2) %
Частотный диапазон 0,02 - 100 кГц
Сила переменного тока Диапазон измерения 10-7 _ 104 А
Погрешность ± (0,03 - 0,5) %
Частотный диапазон 0,02 - 200 кГц
Мощность пременного тока:
однофазного Напряжение 5 • 10-1 . 6 . 102 В
Сила тока 25 • 10-3 - 6 • 102 А
Погрешность ± (0,05 - 0,5) %
1 Частотный диапазон | 0,04 - 20 кГц
ОБЩИЕ СВЕДЕНИЯ 41

Продолжение табл. 1.4.4.

1 2 3
трехфазного Напряжение 30 - 6 • 102 В
Сила тока 10-1 - 6 • 102 А
Погрешность ± (0,05 - 0,5) %
Частотный диапазон 0,045 - 1,1 кГц
Сопротивление постоянному току;
меры и магазины с ручным Диапазон измерения 10-* - 1012 Ом
управлением Погрешность ± (0,002 - 0,2) %
меры программируемые Диапазон измерения 1 - 10^ Ом
Погрешность ±(0,01-0,1)%
мосты и установки Диапазон измерения 1 10-7 - 1015 Ом
Погрешность ± (0,005 - 10,0) %
Сопротивление переменному току;
меры и магазины с ручным Диапазон измерения 10-3 - 108 Ом
управлением Погрешность ± (0,005 - 0,01) %
Частотный диапазон 0,05 - ЮОкГц
мосты и установки Диапазон измерения 10-2 . 20 • 10» Ом
Погрешность ± (0,05 - 15,0) %
Частотный диапазон 0,05 - 10 кГц
Электрическая емкость;
меры и магазины с ручным Диапазон измерения 10-15. 1д . 10-4 ф
управлением Погрешность ± (0,02 - 0,5) %
Частотный диапазон 0,04 - 100 кГц
Диапазон измерения 1 • 10-12 - 10-2 ф
меры программируемые Погрешность ±(0,1 - 10) %
Частотный диапазон 0,05 - 10 кГц
Диапазон измерения 10-1* . 20 . 10-^ Ф
мосты и установки Погрешность ± (0,02 - 15,0) %
Частотный диапазон 0,02 - 10* кГц
Индуктивность;
меры и магазины с ручным Диапазон измерения 10-8 . 1 гн
управлением Погрешность ± (0,02 - 1,0) %
Частотный диапазон 0,02 - 3 • 10* кГц
Диапазон измерения 10-^ - 2 • 103 гн
меры программируемые Погрешность ±(0,1 - 1,0) %
Частотный диапазон 0,05 - 10 кГц
Диапазон измерения 3 . 10-8 . 20 • 105 гн
мосты и установки Погрешность ± (0,05 - 15,0) %
Частотный диапазон 0,04 - 50 кГц

Глава Ь5 В технической диагностике материалов и


изделий измерения магнитных параметров
ИЗМЕРЕНИЕ используют как для атгестации магнитных
МАГНИТНЫХ ПАРАМЕТРОВ материалов, так и для определения немагнит­
ных параметров веществ, изделий и конструк­
1.5.1. ОБЩИЕ СВЕЦЩШЯ ций.
Клжссификшщя магшггных материалов.
Магнетизм - универсальное свойство ма­ Магнитные материалы являются существен­
терии. Измерение магнитных характеристик ными элементами конструкции алекгрических
веществ и готовых изделий позволяет не толь­ машин, приборов и устройств. Магнитные
ко определить их конкретные магнитные па­ материалы делятся на магнитомягкие и магни-
раметры, но косвенно по ним оценить струк­ тотвердые.
турное состояние, химический и фазовый со­ Магнитомягкие материалы (МММ) име­
ставы, прочностные характеристики детапей, в ют высокую магнитную проницаемость, низ­
ряде случаев уровень макро- и микронапряже- кое значение коэрцитивной силы, узкую пет­
нией. Измерением магнитных полей вблизи лю гистерезиса с малыми потерями на пере-
несготошностей можно оценить геометричес­ магничивание, способность намагничиваться
кие параметры дефекта, а иногда и его вид. до насыщения уже в слабых магнитных полях.
1.5.1. Некоторые характеристики промышленных магнитомягких материалов

Материал Цнач ^^тах HQ , А/м Bg в поле Щ р, Ом • м

Технически чистое же­ 250 3500 - 4500 40 - 100 2,18 Тл 10-7


лезо Я^ =5-10^ А/м
Электрохимическая 200 - 600 3000 - 8000 10-65 (6 - 2,5) 10-7
1,89 Тл
сталь
Н^ = Ъ' 10^ А/м
Пермаллои:
низконикелевые 2000 - 4000 15000 - 60000 5 - 32 (4,5 - 9) 10-7
1,3 - 1,6 Тл
(40 - 50 % Ni)
высоконикелевые 15000 - 100000 70000 - 300000 0,65 - 4 (1,6 - 8,5) 10-7
0,7 - 0,75 Тл
(79 % Ni)
Ферриты:
никельцинковые 10 - 2000* 40 - 7000 1700-8 10-8 - 10
марганеццинковые 700 - 20000* 1800 - 35000 28 - 0,25 0,2 - 0,35 Тл -
Магнитодиэлектрики 0,15 - 0,46 Тл
на основе:
альсифера 20 - 65 - - -
карбонильного же­ 5 - 15 - - -
леза
молибденового 60 - 250 i - -
пермаллоя

*При/= 100 кГц


Обозначения: |Днач, Цтах ~ соответственно начальная и максимальная магнитная проницаемость; Н^ - коэрцитивная сийа; jff, - индукция
насыщения; Н^ - напряженность магнитного поля, при которой достигается В^ р - удельное электрическое сопротивление
ОБЩИЕ СВЕДЕЬШЯ 43

Магнитотвердые материалы (МТМ) обла­ т.е. коэрцитивная сила отличается в 2 • 10^ раз.
дают большой удельной магнитной энергией, Значения основных магнитных характе­
отличаются большими значениями коэрцитив­ ристик некоторых промышленных МММ и
ной силы HQ И остаточной индукции Вг- МТМ представлены в табл. 1.5.1 и 1.5.2.
К МММ в соответствии с ГОСТ принято Данные, приведенные в таблицах, следует
относить материалы с Н^ < 4 кА/м, к МТМ - дополнить классификацией МММ по хими­
ческому составу, который в значительной сте­
с Н^ > 4 кА/м. Для промышленных МММ пени определяет технологию производства,
наименьшая свойства и области применения материала.
Технически чистое железо является де­
Н^ < 0,4 А/м, шевым магнитным материалом, хорошо под­
а для МТМ наибольшая дающимся механической обработке и имею­
щим высокие магнитные свойства в постоян­
Н^ < 800 кА/м, ных магнитных полях.

1.5.2. Некоторые хзфактернстики промышленных 11Мпп1тотве|щых матервалов

Материал В^,,Тл Я^,кА/м Ж,Дж/мЗ


ТлА/м

Магнитные ста­ 0,8 - 1,0 4,64 - 13,6 960 - 2500


ли
Альнико 0,5 - 1,33 4 0 - 87 7200 - 52800
Ферриты:
бариевые 0,18 - 0,36 112 - 232 2800 - 14000 -
кобальтовые 0,24 - 0,28 128 5600 - 7200
Плахинакс 0,3 - 0,5 208 - 240 0,016
Соединения
редкоземельных
металлов 0,85 - 0,9 600 - 700 70400 - 80000 -
Викаллой 0,9 - 0,95 2 4 - 38 4000 - 14000
Кунико, кунифе 0,34 - 0,73 21 - 57 2800 - 7400

Электротехнические стали обладают по­ Высокочастотные никель-щшковые фер­


вышенной магнитной проницаемостью, не­ риты имеют значительно меньшую магнитную
большим значением HQ, проницаемость, большую температурную ста­
Пермалои - сплавы железа с никелем или бильность и меньшие значения тангенса угла
железа с никелем и кобальтом, легированные потерь tg5.
молибденом, хромом. Имеют очень высокую Объектом магнитных измерений являют­
магнитную проницаемость уже в слабых маг­ ся также слабомагнитные материалы, стали и
нитных полях и предельно малые значения чугуны.
коэрцитивной силы. Недостатками являются
большая чувствительность к механическим К слабомагнитным материалам относятся
напряжениям, пониженные значения индук­ диа-, пара- и антиферромагнетики, в том чис­
ции насыщения. ле металлы и соединения, к которым предъяв­
Пермендюр - сплав железа с кобальтом, ляются требования отсутствия магнитных при­
имеющий повышенную магнитную индукцию месей.
насыщения. Слабоферромагнитные сплавы на основе
Перминвар - сплав железа с никелем и железа должны отвечать требованиям
кобальтом, отличающийся постоянством маг­ "немагнитности", высокой механической
нитной проницаемости в широком диапазоне прочности и антикоррозионной стойкости.
напряженности поля. Эгими свойствами обладают хромоникелевые
Низкочастотные ферриты представляют стали и некоторые другие сплавы. Относи­
собой системы оксидов NiO-ZnO-FejOs тельная магнитная проницаемость слабофер­
(никель-цинковые) или МпО-2пО-Ре20з ромагнитных сталей находится в пределах 1,01
(марганцево-1щнковые) с присадкой оксидов - 10, коэрцитивная сила 1 - 1 0 кА/м при низ­
других металлов, имеют высокую магнитную кой остаточной индукции.
проницаемость.
44 1.5. ИЗМЕРЕНИЕ МАГНИТНЫХ ПАРАМЕТЮВ

Наиболее важными и широко использу­ Величину авнач(|^ч) называют начальной


емыми в мдшиностроении металлическими восприимчивостью (проницаемостью). Намагни­
материалами являются стали и чугуны. В их чивание на этом участке осуществляется за
производство интенсивно внедряют средства и счет обратимого упругого сечения доменных
методы магнитного и электромагнитного кон­ границ.
троля. В основе этих методов лежит зависи­ На участке П (область Рэлея) намагничи­
мость магнитных свойств от изменений струк­ вание осуществляется за счет доменных гра­
туры стали и чугуна в процессе обработхи. ниц. Для этой области кривой намагничива­
Характерные диапазоны изменения основных ния справедлив закон Рэлея для намагничен­
магнитных параметров чугунов и стагхей: коэр- ности
щггавная сила 0,05 - 14 кА/м, максимальная
магнитная проницаемость 20 - 5500, намагни­ М^щ^^Н-^ЬН^, (1.5Л)
ченность насыщения 700 - 1700 кА/м.
Крнвая намагничивавия. Ферромагнетик в ще b - коэффициент Рэлея. Второй член учи-
отсутствие внешнего магнитного поля разбит тьшает необратимые процессы при намагничи­
на области (домены), разделенные границами вании.
толщиной примерно 10"^ м (для железа). В Участок III характеризуется высоким
размагниченном состоянии, несмотря на на­ значением магнитной восприимчивости
магниченность каждого домена до насыщения, (проницаемости). Намагниченность меняется
суммарный магнитный момент равен нулю. большими скачками Баркгаузена, вызванными
Под действием магнитного поля в ферромаг­ необратимым смещением доменных границ.
нетике происходит изменение величины про­ На участке IV восприимчивость посте­
екций магнитных моментов отдельных доме­ пенно уменьшается. Намагничивание осуще­
нов на направление поля, и ферромагнетик ствляется за счет вращения векторов спонтан­
приобретает суммарный магнитный момент, ной намагниченности в направлении внешнего
отличный от нуля. магнитного поля. Работа по повороту векторов
затрачивается против энергии кристаллогра­
Зависимость намагниченности М фической анизотропии. Процессы вращения
(магнитного момента единицы объема) от ве­ происходят преимущественно обратимо. Для
личины приложенного магнитного поля Н участка IV справедлив закон приближения к
носит название кривой намагниченности (рис. насыщению:
1.5.1).Зависимость не является линейной и
определяется соотношением
М = М, +*„я,
М ^юН (^=ц^Я), н н^ н'
где Ца - абсолютная магнитная проницаемость. (1.5.2.)
На практике удобнее пользоваться отно­ где Л/у - намагниченность насьпцения;
сительной величиной магнитной проницаемо­ ав„ - восприимчивость парапроцесса; А, В,
сти С ... - постоянные коэффициенты, определя­
ющие вклад различных структурных факторов,
влияющих на процесс намагничивания.
где цо = 4 • 10-'^ Гн/м. Выражение (1.5.2) справедливо для по­
В дальнейшем будем пользоваться отно­ лей, при которых ферромагнетик намагничен
сительными магнитными проницаемостями. до технического насыщения.
Кривая намагничивания зависит от ис­ На участке V процессы смещения и вра­
ходного магнитного состояния. Если исходное щения закончены. Незначительное увеличение
состояние соответствует размагниченному, то намагниченности связано с дополнительной
кривая намагничивания носит название ос­ ориентацией спиновых Магнитных моментов в
новной или первоначальной. Размагниченное направлении приложенного поля. Характер
состояние достигается нагревом выше темпера­ процессов намагничивания отражает также
туры Кюри. Состояние, близкое к естественно зависимость магнитной восприимчивости
размагни^тенному, может быть получено путем
циклического премагничивания с плавно убы­ (проницаемости) от напряженности магнитно­
вающей амплитудой магнитного поля. го поля (рис. 1.5.1, б). Магнитная проницае­
мость ВI \XQH имеет два значения ц„а, и
Кривую намагничивания можно разбить
на пять участков (рис 1.5.1, а). Цщах» часто встречающиеся при описании маг­
Участок I характеризуется постоянной нитных свойств. Значение начальной магнит­
восприимчивостью (проницаемостью), т.е. ной проницаемости
аэ„ач = М/Н = const 1 В
Мнач= Ит —.
цоЯ->оя
ОБЩИЕ СВЕДЕНИЯ 45

восходящей петле магнитного гистерезиса


(рис. 1.5.1, а). Величину проницаемости
1 ,. А^
диф
ц^ ЛЯ-•О АН
называют дифференциальной проницаемостью
убывания. Поскольку по способу определения
и численному значению она соответствует
обратной проницаемости (Цобр)» ^^ чаще
употребляют последний термин.
В слабых магнитных полях (участок I
]фивой намагничивания) все три вида магнит­
ной проницаемости имеют одинаковое значе­
ние. Дифференциальная проницаемость наи­
более сильно изменяется в полях, соответ­
ствующих участку III, причем в полях от О до
Н 1^диф ^ ^' ^ ® точке, соответствующей
полю Н , значения максимальной и диф-
"тах
ференциальной проницаемостей равны.
Петля магнитвого гистерезвса. Уменьше­
ние поля после насыщения сопровождается
снижением намагниченности (индукции). Од­
нако намагниченность (индукция) убывает не
"Мтал
по кривой намагничивания, а с некоторым
запаздыванием и при поле, равном нулю, со­
Рис. 1.5.1. Основные характервстнки i храняет определенное значение, которое назы­
а - кривая намагничивания; б - петля магнитной вают остаточной намагниченностью М^
проницаемости от напряженности магнитного поля (индукцией В^. Если приложить поле обрат­
ного направления, то остаточная намагничен­
Измерение ц„ач представляет определен­ ность начнет уменьшаться и при некотором
ную трудность, обусловленную проведением значении поля намагниченность (индукция)
измерений в очень слабых полях. При увели­
окажется равной нулю. Это значение поля
чении поля проницаемость растет и при неко­
тором его значении, называемом полем мак­ носит название коэрцитивной силы (HQ). Раз­
симальной магнитной проницаемости личают коэрцитивную силу по намагниченнос­
ти j^H^ (рис. 1.5.2, кривая I) и коэрцитив­
Iff^ I, достигает максимального значения ную силу по индукции ^fff, (см. рис. 1.5.2,
1фивая 2).
(Цп1ах)э а далее убывает (рис. 1.5.1, б). В ферромагнетиках с крутым участком
Если в ферромагнетике, имеющем неко­ ]фивой размагничивания и малой величиной
торое магнитное состояние, увеличить поле на Не различие между j^H^ и ^Н^ незначи­
величину А^, то индукция возрастает на вели­ тельное, но для материалов с большой коэрци­
чину А^. Предел отношения А^ / А ^ при тивной силой и пологим наклоном кривой
АН -> О называют дифференциальной магнит­размагничивания различие между коэрхщтив-
ной проницаемостью, ными силами по индукции и намагниченности
может достигать существенных значений.
1 ,. А^ Дальнейшее увеличение поля противополож­
^^диф = — Ь т .
ц^ ля-й) АН ного направления приводит к росту намагни­
ченности (индукции) отрицательного знака, и
В случае уменьшения напряженности в поле, равном -Н^^^^у ферромагнетик вновь
магнитного поля (А-йГ j уменьшается значение достигает своего насыщения -М^ i~^s ) * Если
уменьшить поле, а потом сменить его направ­
индукции (А^ j , но вновь получаемое маг­ ление, то намагниченность (индукция) будет
нитное состояние не соответствует основной изменяться по восходящей кривой, т.е. в ре­
1фивой индукции и будет определяться нисхо­ зультате медленного циклического перемагни-
дящей ветвью частного цикла петли гистерези­ чивания намагниченность (индукция) изменя­
са. При увеличении поля индукция приобрета­ ется по замкнутой ]фивой, носящей название
ет первоначальное значение, изменяясь по статической петли гистерезиса.
46 1.5. ИЗМЕРЕНИЕ МАГНИТНЫХ ПАРАМЕТРОВ

200 НА/см

Рис. 1.5.3. Зависимость намагвиченяости


от величины внутреннего поля

Чаще всего пользуются короткими об­


разцами, поэтому бывает важно определить
истинные параметры кривой намагничивания
и петли гистерезиса. Поскольку внутреннее
поле

Рис. 1.5.2. Ввд петли магнитного гистерезиса то, вычитая из значения внешнего действую­
Кроме петель В{Н) и М(Н)у можно щего поля величину размагничивающего поля
построить петлю магнитного гистерезиса по Щу можно найти величину истинного внут­
остаточной индукции В^(Н) или остаточной реннего поля. Это можно осуществить графи­
намагниченности М^(Н) (рис. 1.5.2). Петля чески (рис. 1.5.3), если произвести смещение
гистерезиса по остаточной индукции. (кривая кривой намап{ичивания или петли гистерезиса
3) харакгеризуется коэрцитивной силой Q^C» в каждой точке с намагниченностью М влево
соответствующей напряженности размагничи­ на величину NM. Если учесть, что
вающего поля, необходимого для проведения
ферромагнетика в статическое размагниченное
состояние. Коэрхщтивную силу по остаточной
индукции (намагниченности) иногда называют то, проводя ]фивую сдвига ON под углом ф,
полем возврата или релаксахщонной коэрхщ- можно производить смещение точек 1фивой
тивной силой HQ. намагничивания и петли гистерезиса непос­
редственно на величину отрезка Af tgф между
На рис. 1.5.2 показана частная петля гис­
терезиса, характеризуемая коэрцитивной си­ осью ординат и линией ON.
лой he, остаточной индукцией Ь,. и гистере- Величины намагниченности насыщения
зисными потерями на перемагничивание по и коэрцитивной силы для вещества и для тела
частному циклу р^. практически одинаковы. Остаточная намагни­
Намагничивание тела. Реальные ферро­ ченность М'^ значительно меньше намагни­
магнитные изделия имеют конечные размеры, ченности вещества, поскольку Н^ =0:
поэтому при их помещении в поле Н^ на тор­
цах образуются магнитные полюса, которые M'^^HJN.
вызывают появление внутри ферромагнетика
внутреннего поля, направленного против По аналогии с проницаемостью (вос­
внешнего магнитного поля и зависящего от приимчивостью) основной кривой намагничи­
намагниченности вания проницаемость ц^ (восприимчивость а^)
Яо = NM, тела \х^=В/\х^Н^ [л^=М / Н^). Маг­
где N- размагничивающий фактор, зависящий нитную проницаемость однородно намагни­
от геометрических характеристик тела. ченного эллипсоида можно связать с магнит-
МАГНИТНЫЕ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛИ 47

ной проницаемостью (восприимчивостью) ной проницаемости, начальной проницаемос­


вещества: ти, комплексного магнитного сопротивления,
коэффициента потерь и полных потерь.
7. Ваттметричеоше методы, как правило,
^^т = • применяют для измерения полных потерь на
1 + ЛГ(ц ~ 1) 1 + N» гистерезис и вихревые токи. Определяется
При N(\x - 1) » 1; авЛ^ » 1 проницаемость мощность, которая поглощается в цепи катуш­
тела слабо зависит от магнитных свойств мате­ ки, содержащей образец.
риала, из которого изготовлено изделие, а в 8. Калориметричеаше методы позволяют
большей степени от его геометрических разме­ определить полные потери на гистерезис и
вихревые токи. Определяется тепло, вьщеляе-
ров, т.е. определяется проницаемостью формы мое образцом при перемагничивании в пере­
т: менном магнитном поле.
1 9. Радиотехнические методы дают воз­
можность определять кривую индукции, се­
N мейство симметричных петель гистерезиса,
полные потери, комплексную проницаемость
при различных частотах, а также изучать фер-
1.5.2. МЕТОДЫ ИЗМЕРЕНИЯ ро-, пара- и ядерный магнитные резонансы.
При измерении магнитных свойств ве­ 10. Нейтронографический метод основан
ществ и изделий объект подвергают воздей­ на явлении магнитного рассеяния нейтронов,
ствию магнитного поля. Для создания магнит­ возникающего в результате взаимодействия
ных полей используют постоянные магниты, магнитного момента нейтрона с магнитным
электромагниты различных конструкций, со­ моментом вещества. Метод позволяет иссЛедо-
леноиды и катушки. Для создания сильных вать магнитную структуру ферромагнитных,
парамагнитных и антиферромагнитных ве­
магнитных полей применяют импульсные ществ.
электромагниты и соленоиды, а также сверх­
проводящие соленоиды. Выбор метода измерения определяется
К основным методам измерения магнит­ задачей проводимых измерений, необходимой
ных свойств можно отнести: степенью точности.
1. Баллистический метод позволяет опре­ Индукционный метод получил наиболь­
делить основную кривую индукции и намаг­ шее распространение при испытаниях в по­
ниченности, петлю гистерезиса и различные стоянных и переменных магнитных полях.
виды проницаемости. Измеряется количество Универсальность метода заключается в воз­
электричества, протекающего через индукци­ можности проводить измерения на образцах
онную катушку, охватывающей образец, когда любой формы в замкнутой и разомкнутой
магнитных цепях.
поток резко меняется.
2. Магнитометрический метод также по­
зволяет определить кривую намагничивания, 1.5.3. МАГНИТНЫЕ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛИ
петлю гистерезиса. Используется эффект маг-
нитомеханического воздействия исследуемого Основные типы магнитных преобразова­
образца на магнитную стрелку. телей представлены на рис. 1.5.4,
3. Электродинамическим методом можно Индукционный преобразователь, пред­
определить основную кривую индукции и ставляющий собой измерительную катушку
петлю гистерезиса. Измеряется угол поворота (ИК), применяется для измерения магнитного
рамки с током, находящейся в поле намагни­ потока Ф, магнитной индукции В и магнитно­
ченного образца. го момента.
4. Пондеромоторный метод дает возмож­ ИК для измерения магнитных потоков и
ность измерять намагниченность, восприим­ индукции должна удовлетворять следующим
чивость и другие магнитные характеристики требованиям. Необходимо, чтобы все витки
при помощи измерения силы, действующей на катушки сцеплялись с одним и тем же пото­
образец. ком, то есть чтобы витки располагались в од­
5. Индукционный метод позволяет опре­ ной плоскости, перпендикулярной к линиям
делять кривую индукции, намагниченности, индукции. Для измерения индукции в образце
проницаемости. Измеряется электродвижущая все витки должны плотно примыкать к по­
сила, которая возбуждается во вторичной об­ верхности образца, охватывая его.
мотке, или реактивное сопротивление катуш­ ИК для измерения напряженности маг­
ки, если в нее помещен образец. нитного поля выполняются в виде плоских
6. Мостовые методы используются для катушек с четным числом слоев обмотки так,
определения основной кривой индукции, чтобы начало и конец находились в одном
средней проницаемости, комплексной магнит­ месте и провода от них можно было скрутить,
48 1.5. ИЗМЕРЕНИЕ МАГНИТНЫХ ПАРАМЕТРОВ

Магнитные прео^разодатела

Магнатозлектрическас Пагмитопскаяическае

1^ 11 lb
lis
Рис. 1.5.4. Классяфнкшщя магнитных преобразователей

не образовывая петли. Диаметр и длина ка­ ц/ = пФ = Н^Scosa ,


тушки зависят от размеров пространства с
однородным мiaгнитным полем, величину на­ где ц - магнитная проницаемость среды; а -
пряженности которого требуется определить. угол между направлением вектора напряжен­
Для измерения напряженности магнит­ ности магнитного поля Н и нормалью к по­
ного поля непосредственно у поверхности
верхности катушки. Если И К находится в од­
испытуемого образца применяют плоские И К ,
размеры которых выбирают такими, чтобы нородном поле, при изменении Ф в цепи
магнитное поле в месте, занимаемом катуш­ контура И К индуцируется э.д.с:
кой, было однородным.
И К делают обычно очень тонкой, чгобы
е = -nS{dB/dt)cosa =-nS^{dH/ dt)cosa.
можно было считать, что практически она (1.5.3)
находится в поле, равном полю внутри образ­
ца. Катушка плотно прижимается к поверх­ В (1,5.3) входит произведение числа вит­
ности образца, ее толщина не должна превы­ ков И К на ее поперечное сечение.
шать 1,0 - 1,5 мм, число слоев намотки делают В общем случае И К может быть много­
четным. слойной, поэтому под величиной nS следует
Изменение магнитного потока в индук­ понимать параметр К;^ , называемый посто­
ционном преобразователе создается:
а) изменением самого потока; янной измерительной катушки:
б) перемещением И К с сохранением ее
ориентации относительно Н в область про­
странства с другим значением магнитного по­
^^, =1^
тока;
в) скачкообразным поворотом И К вокруг
ее оси;
г) непрерывным вращением И К ;
д) совершением И К крутильных или
прямолинейных колебаний.
Принцип действия веберметра, баллисти­
ческого гальванометра и других измеритель­
ных устройств подобного назначения состоит в
интегрировании индукционного в И К сигнала.
Чаще всего требуется измерять либо абсолют-
ныр значения Ф, Д Н, либо их конечные
изменения. В соответствии с этим уравнения
преобразования необходимо представить в
таком виде, чтобы в них входили измеряемые
величины.
Пусть катушка 1 поперечного сечения S
с обмоткой, имеющей п витков, помещена в
поле Н и с ней сцепляется поток Ф (рис.
Ф{ВН)
1.5.5). Для постоянного магнитного поля пол­
ный магнитный поток Рве. 1.5.5. Прввцяп яеЛспяя веберметра
МАГНИТНЫЕ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛИ 49

Следует различать применение ИК в по­ При вибрации ИК с частотой со и ам­


стоянном и переменном полях. В первом слу­ плитудой А вдоль оси X э.д.с.
чае при некотором конечном изменении пол­
ного потока Av|/ за промежуток времени d0 dx
е = -п dx dt '
( ' ^ - ' . ) можно записать Если X = A sin CO ^, TO
d0
^\^ = п^Ф= \edt = r[idt. e = -n —— A(o coso) / .
dx
Интегрируя это выражение за полперио­
да, получим
где / - ток; г - сопротивление измерительной
цепи прибора. Таким образом, измеряя либо d0
E^p=4fnA
импульс э.д.с. (веберметром), либо импульс dt '
силы тока (баллистический гальванометр)
можно определить изменение потока А Ф , а Если в области вибрации обмотки
также изменение индукции А ^ или напря­ d0 / dx = const ,
женности поля А Н. то разность значений магнитного потока в
Если ИК используется для измерений в двух крайних положениях ИК составляет
переменном периодическом магнитном поле, d0
то А0 = 2А^^ и
dx
¥тах =«Фтах = Е / 4 кф f = Е^р / 4 f , E^p=2fnA0. (1.5.5)
где Фщах ^ Ч^тах " амплитуды соответствен­ Аналогичный результат получим и при
угловых колебаниях ИК, заменяя координату х
но потока и полного потока; Е - действующее на угол а . Формулы (1.5.4) и (1.5.5) справед­
значение э.д.с; Е^^ - среднее значение э.д.с; ливы и для стационарных ИК при непрерывно
меняющемся магнитном потоке (вращающееся
/ - частота; АГф - коэффициент формы кри­ или переменное магнитное поле, вращающий­
вой. ся или вибрирующий намагниченный обра­
Для измерения потока в постоянном зец).
магнитном поле необходимо, чтобы полный Одной из разновидностей индукционных
поток, сцепляющийся с ИК, подвергся изме­ преобразователей является магнитный потен-
нению. Изменение потока сцепления может циалметр. Это ИК с обмоткой, равномерно
быть осуществлено либо путем самого потока, навитой по длине каркаса из изолирующего
либо путем перемещения ИК относительно материала. Обмотка навивается либо на гиб­
направления потока. В соответствии с этим кий каркас (рис 1.5.6, а) (гибкий потенциал-
применяются либо стационарные, либо по­ метр), либо на жесткое основание призмати­
движные ИК. Среди подвижных ИК различа­ ческой формы (рис. 1.5.6, б) или в виде дуги
ют линейноперемещающиеся, поворотные, (рис 1.5.6, в) (жесткие потенциалметры). Пре­
вращающиеся и вибрирующие. образователь предназначен для измерения
При вращении ИК относительно объекта разности магнитных потенциалов или м.д.с
измерения, создающего постоянный магнит­
ный поток Ф, с угловой частотой со в ней
индуцируется э.д.с.

(1.5.4) ШР'=<
Интегрируя (1.5.4) за половину периода,
получим среднее значение э.д.с,
£ер=4//2Ф.

Следовательно, зная частоту / вращения


ИК и измерив EQP вольтметром средних зна­
чений, можно определить магнитный поток. Рис. 1.5.6. Msu-HHTBbie потенциалметры
50 1.5. ИЗМЕРЕНИЕ МАГНИТНЫХ ПАРАМЕТРОВ

Основные требования к устройству по- чальную и максимальную магнитные прони­


тенциалметров - строго одинаковое число вит­ цаемости.
ков обмотки на единицу длины; постоянное Стационарные катушки используют для
сечение по длине, обмотка имеет четное число измерения намагниченности в достаточно
слоев и кончается в середине потенциалметра. больших намагничивающих полях и поэтому
Магнитный потенциалметр применяется
и для измерения в переменном магнитном близкой к намагниченности насьпцения ЛГу •
поле, жесткий преобразователь в виде дуги с При определении М^ по методу Штеблейна
фиксированной базой применяется для изме­ (рис. 1.5.7) внутри используемого для намаг­
рения напряженности однородного магаитно- ничивания электромагнита высверливается
го поля.
канал, по которому перемещается латунный
Основные параметры ферромагаитных
держатель с измеряемым (х) и стандартным
материалов - Н^, В^., М^ , основную кри­
(ст) образцами. Между полюсами электромаг­
вую намагничивания, петлю гистеризаса - нита зажаты две ИК, соединенные последова­
можно определить, используя для измерения тельно и навстречу друг другу. Катушки имеют
стационарные и подвижные ИК. одинаковое произведение числа витков на
При измерении коэрцитивной силы Н^^, сечение niSi = rijSj- При перемещении эта­
образец разомкнутой формы либо удаляется из лона и образца через такую катушку в ней
стационарной катушки, либо катушка сдерги­ индуцируется импульс тока, пропорциональ­
вается с образца, сохран51я свою ориентацию ный разности намагниченностей насыщения
относительно него. стандартного и исследуемого образцов.
Стационарные ИК, как правило, одно­ Величина намагниченности насьпцения
слойные с известным числом витков п, плотно исследуемого образца
или с некоторым зазором охватывающие од­
нородно намагниченную часть образца, позво­
ляют определять магнитную индукцию. При Qg
наличии зазора между ИК и образцом следует Msx = мSci^ Цо(«1-'^2)^с-
учитывать влияние воздушного зазора на ре­
зультат измерений. где а - показания измерительного прибора;
Стационарные или линейнопереме-
щающиеся катушки, о которых упоминалось Сб - постоянная прибора; ^^х, S^ - площа­
выше, а также потенциалметры служат для ди сечения стандартного и измеряемого образ­
измерения напряженности магнитного поля на цов.
поверхности образцов. Подбирая соответ­ При испытаниях магнитных Материалов
ствующим образом параметры катушек индук­ в постоянных магнитных полях в качестве
ции и напряженности магнитного поля, мож­ интегрирующего прибора к индукционным
но измерить всю основную кривую намагни­ преобразователям чаще всего служит баллисти­
чивания и петлю гистерезиса ферромагнитного ческий гальванометр или веберметры различ­
материала. Из кривой В (И) определяют на­ ных типов.

Рис. 1.5.7. Схемж определения М^ по методу Штеблейна


МАГНИТНЫЕ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛИ 51

5)
Рнс. 1.5.8. Схемы мшшггомстров:
1 - образец; 2 - ИК; 3 - намагничивающее и размагничивающее устройство;
4 - регистрирующий прибор

Измерение э.д.с. в катушке, вращаю­ принципу действия во многом схожи с маг­


щейся относительно объекта измерения, со­ нитными усилителями. От последних они от­
ставляет принцип работы приборов, назы- личаются тем, что не содержат управляемой
ваем1|1Х измерительными генераторами (рис. электрической цепи. В феррозондах она заме­
1.5.8, д), и используется преимущественно для нена магнитной в виде стержневых сердечни­
измерения параметров постоянных или мед­ ков из магнитомягких материалов, приобре­
ленно изменяющихся магнитных полей. Отно­ тающих намагниченность под действием изме­
сительная вибрация ИК и испытуемого образ­ ряемого поля. Поскольку напряженность маг­
ца и измерение индуцированной э.д.с. лежит в нитного поля характеризуется вектором, а
основе работы вибрационных магнитометров намагниченность сердечников зависит не
(рис. 1.5.8, б)у используемых для измерения только от их ориентации, но и от соотноше­
магнитного момента материалов в постоянных ния продольных и поперечных размеров, то,
или медленно (по отношению к частоте виб­ кроме отмеченных свойств, феррозонды обла­
рации) меняющихся полях. Метод измерений дают еще и диаграммой направленности, бла­
непрерывно изменяющихся магнитных пото­ годаря чему они могут быть использованы для
ков с помощью стационарной измерительной измерения компонент магнитного поля.
катушки и веберметра дает возможность реги­ Действие феррозонда основано на нели­
страции зависимости магнитного потока от нейности кривой перемагничивания ферро­
намагничивающего поля. магнитного материала. В простейшем внде
Устройства с использованием сверхпро­ феррозонд представляет собой стержень из
водящих ИК для измерения магнитного пото­ магнитомягкого материала (чаще всего пер­
ка являются самыми чувствительными и пер­ маллоя), на котором помещены две обмотки:
спективными. В технической диагностике по­ ©1 - для создания в сердечнике переменного
следние два метода наиболее часто использу­
ются для измерения коэрцитивной силы. магнитного потока (поля возбуждения) и
Первичные преобразователи напряжен­ со 2 - для измерений индуцированной э.д.с.
ности магнитного поля и магнитной индук­
ции, используемые в переменных магнитных Если по обмотке coi пропустить пере­
полях, аналогичны преобразователям, приме­ менный ток, то магнитное состояние сердеч­
няемым в постоянном поле. Отличие состоит в ника будет меняться по динамической петле, а
том, что в переменном поле большую роль в обмотке ©2 появится э.д.с. Если ток изме­
начинают играть собственные емкость и ин­ няется по синусоидальному закону (чаще всего
дуктивность, В практике измерения координат
динамических петель намагничивания нашли феррозонды работают при синусоидальной
распространение осциллохрафические, ферро- кривой тока возбуждения), то э.д.с. в обмотке
ме1рические и стробоскопические средства будет содержать, 1фоме основной частоты,
измерений. высшие (нечетные) гармоники. Практически в
Ферроицдукционные преобразователи
феррозонде используют сердечники длиной от
(феррозоццы). При решении многочисленных 1 - 3 сотен миллиметров, а частоту возбужде­
магнитометрических задач, например, при ния от 50 Гц до сотен килогерц.
измерении магнитного поля Земли и его ва­ При помещении зонда в постоянное
риаций, при магнитной дефектоскоспии изде­ магнитное поле, действующее одновременно с
лий и т.д. все чаще применяются феррозондо- переменным полем, форма динамической пет­
вые преобразователи (магнитно-модуля- ли перемагничивания сердечника становится
щюнные датчики ММД). С помощью ферро­ несимметричной. В направлении действия
зондов можно измерять постоянные и пере­ постоянного магнитного поля перемагничива-
менные магнитные поля от 10"^ А/см до ние может осуществляться при меньших мгно­
102. 103 д/см. венных значениях переменного тока, чем в
Феррозонды относятся к активным ин­ случае отсутствия постоянного поля, то есть
дукционным преобразователям и по своему перемагничивание в направлении действия
52 1.5. ИЗМЕРЕНИЕ МАГНИТНЫХ ПАРАМЕТРОВ

постоянного поля осуществляется за меньший 2. Искатели ферромагнитных масс при


промежуток времени (меньше полупериода). поиске полезных ископаемых, для обнаруже­
При неизменных величине и форме перемен­ ния железных предметов в неферромагнитной
ного тока в обмотке зонда, помещенного в среде, для обнаружения кораблей, мин и т.п.
постоянное поле, изменяются величина и 3. Измерение толщины стенок деталей из
форма Э.Д.С.: наряду с нечетными гармоника­ неферромагнитных и ферромагнитных мате­
ми в кривой э.д.с. появляются четные гармо­ риалов. Регистрируют колебания толщины
ники, величины которых пропорциональны стенки неферромагнитного изделия до 1 мк.
напряженности постоянного поля. Большин­ 4. В качестве чувствительных элементов в
ство феррозондовых магнитометров работают магнитометрах, коэрцитиметрах, анизометрах.
на выделении 2-й гармоники. Для измерения внутреннего поля на поверх­
Для облегчения вьщеления второй гар­ ности изделий из ферромагнитных материа­
моники феррозонды обычно выполняют в лов, в дефектоскопии для выявления наруше­
виде двух одинаковых ферроалементов, а об­ ний сплошности и поиска скрытых дефектов,
мотки возбуждения и вторичные (измеритель­ при измерении поля в пермеаметрах, а также
ные) с попарно равными числами витков сое­ для определения степени размагничивания
диняют таким образом, чтобы напряжение на изделий.
концах вторичных обмоток в отсутствие по­ Гальваномагнитные преобразователи.
стоянного поля было равно нулю. Датчики Холла. Эффект Холла заключается в
Работа на удвоенной частоте типична для появлении э.д.с. между противоположными
феррозондов. Однако дифференциальный сторонами пластины, если через пластину
феррозонд может работать и на основной час­ пропустить ток и поместить ее при этом в
тоте. магнитное поле. Направление тока, векторы
В магнитных измерениях применяются напряженности поля и э.д.с. Холла взаимно
измерительные феррозонды (рис. 1.5.9). перпендикулярны. Эффект Холла может на­
Сердечник / набирают из 20 - 50 плас­ блюдаться в металлах и полупроводниках,
тин пермаллоя толщиной 0,2 - 0,35 мм. На две однако в полупроводниках он значительно
длинные стороны сердечника наматывают вьпие.
одинаковые катушки, включаемые последова­ Эффект Холла объясняется действием
тельно. Если поверх сердечника поместить силы Лоренца (действием магнитного поля на
индикаторную обмотку J, то при пропускании движущийся заряд), которая направлена пер­
по обмоткам 2 переменного тока э.д.с. в об­ пендикулярно векторам скорости движения
мотке 3 будет равна нулю. Если такое устрой­ заряда и напряженности магнитного поля.
ство поместить в постоянное поле, направлен­ Благодаря действию силы Лоренца в пластине
ное вдоль длинной стороны сердечника, на­ появляется разность потенциалов - э.д.с. Хол­
рушится равенство потоков, сцепленных с ла
катушками 2. В индикаторной катушке по­
явится э.д.с, пропорциональная величине
постоянного магнитного поля. Такие зонды, в
частности, нашли широкое применение в ши­
роко распространенных коэрцитиметрах серии где R^ - постоянная Холла, Ом • CMVA; / - ток
КИФМ в качестве нуль-индикатора. в датчике (пластине), А; d - толщина пласти­
К основным областям применения фер­ ны, см; Н - напряженность магнитного поля,
розондов можно отнести: А/см. Постоянная Холла определяется экспе­
1. Для геофизических исследований - из­ риментально.
учение магнитного поля Земли, исследование
магнитных полей атмосферы и полей других Основными достоинствами датчиков
планет. Холла является пропорциональность э.д.с.
Холла напряженности магнитного поля, их
малый размер (порядка миллиметра), а также
отсутствие подвижных частей в измерительном
механизме. Они позволяют измерять напря­
женности магнитного поля в диапазоне от 0,1
до 10^ А/см. Большим преимуществом являет­
ся возможность использования переменных
магнитных полей в широком диапазоне частот
(примерно до 10^2 Гц).
При измерениях чаще стремятся полу­
чить э.д.с. Холла переменной, т.к. усилитель
переменного тока более стабилен и можно
существенно повысить чувствительность и
Рис. 1.5.9. Измерительный феррозоцц точность метода.
МАГНИТНЫЕ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛИ 53

Датчики Холла во многих случа51Х ис­ Таким образом, измерение напряжен­


пользуют для тех же целей, что и ферроиндук- ности поля сводится к фиксации резонанса и
тивные преобразователи. последующему измерению частоты этого резо­
Магниторезисторы. Электрическое сопро­ нанса. Сам факт наступления резонанса может
тивление некоторых металлов и сплавов зави­ быть обнаружен, например, по уменьшению
сит от напряженности магнитного поля, в амплитуды высокочастотных колебаний, обус­
котором они помещены. Особо сильная зави­ ловленному поглощением энергии ядрами
симость электрического сопротивления от вещества преобразователя; в этом случае метод^
напряженности магнитного поля наблюдается называют ядерным резонансным поглощением.
у висмута. Поэтому висмутовую спираль или Или используется метод ядерной индукции,
отрезок висмутовой проволоки иногда приме­ когда в измерительной катушке, ось которой
няют для измерения напряженности сильных перпендикулярна векторам напряженности
магнитных полей. постоянного и переменного поля, индуктиру­
С ее помощью можно измерять напря­ ется э.д.с. резонансной частоты. Гиромагнит­
женность поля в узких щелях электромагнитов ное отношение для ряда веществ определено с
и систем с постоянными магнитами. Измере­ высокой точностью (Ю'З %), поэтому погреш­
ние напряженности поля заключается в сле­ ность измерения напряженности поля зависит
дующем. в основном от используемого измерителя час­
Спираль помещают в магнитное поле, и тоты и может быть доведена до 0,01 - 0,005 %
на месте или потенциометре постоянного тока при неоднородности измеряемого поля не
измеряют ее электрическое сопротивление. более 0,2 % на сантиметр.
Недостатком ЯМР является невозмож­
При 18**С имеет место следующая зависи­ ность измерений неоднородных полей, так как
мость между напряженностью магнитного в неоднородном поле наблюдается расширение
поля и отношением электрического сопротив­ резонансной линии.
ления спирали в поле Н к электрическому Метод свободной ядерной индукции дает
сопротивлению спирали в отсутствие поля: возможность определять гиромагнитное отно­
шение, константы квадрупольной связи; на
Я, А/см . . . О 1600 3200 8000 16000 эппом принципе созданы аэро- и переносные
магнитометры для измерения индукции маг­
Л„/Ло . . . 1 1'0^^ I'l'* I'^^S 2,09 нитного поля Земли.
В отличие от ЯМР преобразователи
Кваитовые преобразователи. Для измере­ электронного парамагнитного резонанса (ЭПР)
ния напряженности (индукции) постоянных основаны на использовании резонанса элек­
магнитных полей применяют преобразователи, тронов в веществах, атомы которых имеют
в которых используются ядерные, электронные неспаренные электроны, благодаря чему элек­
и атомные явления. тронная оболочка обладает магнитным ди-
Сущность метода ядерного магнитного польным моментом. Методика и аппаратура
резонанса (ЯМР) заключается в следующем. для обнаружения ЭПР подобна методике и
Если парамагнитное вещество поместить в аппаратуре ЯМР. Сигнал ЭПР на несколько
постоянное однородное магнитное поле, то порядков больше сигнала ЯМР, что позволяет
ядра вещества, обладающие магнитным мо­ применять преобразователи малого объема и
ментом и моментом количества движения, измерять индукции в том Диапазоне (от 10'^
будут прецессировать вокруг направления до 5 • 10"^ Т), в котором-трудно пользоваться
приложенного поля с частотой, определяемой ядерным преобразователем.
соотношением При использовании квантовых преобра­
зователей в слабых магнитных полях для уве­
©=уЯ , личения резонансного сигнала производится
ориентация магнитных моментов ядер с "по­
где со - частота прецессии; у - гиромагнит­ мощью постоянного магнитного поля (метод
ное отношение, то есть отношение магнитного свободной ядерной индукции) или методом
момента к моменту количества движения; Н - оптической ориентации атомов некоторых
напряженность постоянного магнитного поля. веществ, находящихся в газообразном или
Если теперь перпендикулярно полю при­ парообразном состоянии. На методе опти­
ложить переменное магнитное поле, то при ческой ориентации основаны атомные кванто­
совпадении частоты прецессии с частотой вые преобразователи с оптической накачкой и
вспомогательного переменного поля будет оптическим методом обнаружения резонанс­
наблюдаться ЯМР - амплитуда прецессии воз­ ного сигнала. Приборы с атомными преобра­
растает и достигает максимального значения. зователями обеспечивают непрерывность из­
Увеличение амплитуды прецессии сопровож­ мерений, обладают высокой чувствитель­
дается поглощением ядрами вещества энергии ностью, их недостаток - относительно боль­
высокочастотного вспомогательного поля. шой объем преобразователя (десятки кубиче-
54 1.5. ИЗМЕРЕНИЕ МАГНИТНЫХ ПАРАМЕТРОВ

ских сантиметров). В атомных преобразовате­ положение преобразователя и объекта измере­


лях используется резонанс атомов рубидия, ния должно быть таким, чтобы поле, созда­
цезия, гелия. ваемое измеряемым объектом, воздействовало
Магнитомеханические преобразователи в основном на нижний магнит.
основаны на механических перемещениях Существуют магнитометры, астатическая
проводника с током или ферромагнитных тел система которых состоит из двух катушек,
под действием магнитного поля. которые помещаются в намагничивающий
Измерение силы взаимодействия намаг­ соленоид. Принципиальная схема такого маг­
ниченного образца и подвижной магнитной нитометра показана на рис. 1.5.10. Астати­
стрелки положено в основу магнитометриче­ ческую систему выполняют из алюминиевой
ского метода. Образец и магнитная стрелка рамки, к которой прикрепляют две катушки
должны быть расположены определенным АК. Ток к катушкам подводят через медные
образом относительно друг друга. Рассматри­ ленты и тонкие спирали от батареи Б. Сила
вая взаимодействие магнитных полей образца тока, пропускаемого через обмотки, варьиру­
и стрелки, можно получить формулу для рас­ ется в зависимости от величины магнитного
чета намагниченности образца: момента исследуемого образца.
При измерении можно использовать об­
М = Са, разец О в виде эллипсоида вращения или ци­
где а - угол отклонения магнитной стрелки в линдрической формы. Исследуемый образец
помещают в намагничивающий соленоид НС
поле намагниченного образца; С - коэффици­ Образец ориентируется параллельно относи­
ент пропорциональности. тельно нити подвеса системы, при этом концы
Основной частью такого неастатического образца находятся на одном уровне с катуш­
преобразователя является магнитная стрелка, ками АК. Результаты измерения на таком маг­
т.е. подвижный магнит, имеющий форму ци­ нитометре можно сравнить с баллистическими
линдра. Магнитную стрелку подвешивают на измерениями.
нити из вольфрама, серебра или кварца, на Магнитомеханические преобразователи
которой крепится зеркальце для отсчета угла используют главным образом для измерения
поворота стрелки. Чувствительность магнито­ магнитного момента прямолинейных образцов
метра будет тем больше, чем тоньше и длиннее горных пород и магнитов, а в отдельных слу­
нить подвеса. чаях - для определения магнитных свойств
С помощью магнитометра можно опре­ образцов материалов. До недавнего времени
делить кривую намагничивания. Намагничи­ они широко применялись в геофизических
вающая катушка располагается горизонтально, исследованиях при измерении параметров
и ее ось проходит через центр стрелки магни­ магнитного поля Земли и его вариаций. В
тометра. С противоположной стороны стрелки настоящее время их практически вытеснили
на таком же расстоянии устанавливают другую ферроиндукционные и квантовые преобразо­
катушку точно таких же размеров, как и на­ ватели как более точные и обладающие боль­
магничивающая. Обе катушки соединяют по­ шими возможностями. В настоящее время они
следовательно для компенсации. В этом случае еще находят применение в толщиномерах от­
на магнит будет действовать только магнитное рывного типа.
поле, создаваемое самим образцом. Однако на
магнит такого неастатического преобразователя
действуют также горизонтальная составляющая
напряженности магнитного поля Земли и
различные посторонние поля, из-за чего маг­
нитометр такого типа не нашел широкого
применения.
Для уменьшения влияния посторонних
магнитных полей прибегают к устройству аста­
тической системы, состоящей из двух магни­
тов, которые имеют одинаковые магнитные
моменты и расположены один над другим так,
что их магнитные оси находятся в одной
плоскости и параллельны, а полярности маг­
нитов противоположны друг другу. Иначе
говоря, результирующий магнитный момент
такой системы должен быть равен нулю. При
работе с этим преобразователем взаимное рас­ Рнс. 1.5.10. Магшггомехжнический преобразователь
ОБЩИЕ СВЕДЕНИЯ 55

Глава 1.6 Физические основы взаимодействия излу­


чения и вещества. Эффекты взаимодействия
ИЗМЕРЕНИЕ ОПТИЧЕСКИХ света и вещества с гомогенной изотропной
ПАРАМЕТРОВ средой могут быть описаны единым пара­
метром - комплексным показателем преломления
1.6.1. ОБЩИЕ СВЕДЕНИЯ N (КПП) с учетом его зависимости от часто­
ты, температуры, напряжений и др. факторов:
Оптические свойства материалов и изде­
лий весьма многочисленны. Основные из них N = n-iK,
- это спектральные и интегральные показатели
преломления и поглощения, излучательная где действительная часть п определяет ско­
способность, коэффициенты отражения, по­ рость света в среде, а показатель поглощения
глощения, пропускания, рассеяния. К - затухание ОИ. Для немагнитных веществ
Термин свет или оптическое иалучение (магнитная проницаемость Ц = 1)
(ОИ) означает совокупность электромагнитных
волн или фотонов различной частоты, распро­ п = у/г ,
страняющихся в пространстве и взаимодей­
ствующих с веществом в различном агрегатном где 8 - диэлектрическая постоянная.
состоянии. Для металлов связь их оптических посто­
Это взаимодействие проявляется в раз­ янных с электрическими характеристиками
личных физических и физико-химических задается уравнениями:
эффектах - поглощении и нахреве, преломле­
нии и т.п., сопровождающихся преобразова­
нием пространственных, спектральных, интен- п^{^\-К^\ =е и л 2 ^ = 21са/со,
сивностных, поляризационных, «ременных
характеристик и степени когерентности ОИ. где а - удельная проводимость; со - круговая
Взаимодействие ОИ с веществом, как частота излучения.
правило, носит линейный характер. Однако в Вещества можно разделить на следую­
мощном лазерном излучении наблюдаются щие:
нелинейно-оптические эффекты (самофокуси­ однородные, ОС которых сводится к
ровка, просветление среды, Лреобразование свойствам гладкой поверхности;
частоты света и т.д.). Энергия ОИ измеряется однородные, для описания ОС которых
в джоулях. используется модель плоского слоя (или си­
Мерой интенсивности воздействия ОИ стемы слоев);
является лучистый поток или его мощность, вещества с шероховатой границей раздела
т.е. количество энергии, переносимой излуче­ сред в приповерхностной области;
нием за единицу времени через произвольную неоднородные вещества с объемной си­
поверхность. Единица измерения потока в стемой неоднородностей, описываемые моде­
С И - 1 Вт = 1 Дж-с-1. лью типа совокупности рассеивающих слоев.
Лучистые потоки принято классифици­ По численным значениям КПП можно
ровать следующим образом: по спектральному выделить:
составу излучения - на монохроматические и сильнопоглощающие вещества с j ^ > 10
полихроматические; по оптико-геометрическим
характеристикам - на сходящиеся, расходя­ (металлы и т.п.) и высокой отражательной
щиеся и параллельные; по временным призна­ способностью, оптические свойства которых
кам - на стационарные и нестационарные, в определяются характеристикой поверхности;
т.ч. импульсные; по степени поляризации - на слабо поглощающие вещества с ^Г<0,01
потоки неполяризованного, частично поляри­ (вода, газы, некоторые стекла и т.п.) с низкой
зованного и полностью поляризованного све­ отражательной способностью, определяемой
та, которые, в свою очередь, подразделяются практически полностью величиной п;
по виду поляризации (линейной, круговой вещества с 0,01 < А" < 0,1 (полупровод­
или эллиптической) и характеру ориентации ники), отражательная и излучательная способ­
ортогональных компонент вектора поляриза­ ность которых существенно зависят от толщи­
ции в плоскости падения лучей (параллельно ны слоя материала;
или нормально к ней). По степени когерент­
ности потоки делятся на некогерентные, час­ вещества с 0 , 1 < А ' < 1 0 (тонкослойные
тично когерентные и когерентные. покрытия и т.п.), отражение которых зависит
Все виды потоков могут быть изотроп­ и от толщины слоя и от величины К.
ными или анизотропными в зависимости от Спектральные характеристики оптиче­
характера распределения плотности соответ­ ских свойств определяются совокупностью
ствующего параметра во времени или про­ значений КПП для различных частот излуче­
странстве в пределах области распространения ния. Как правило, спектр КПП находят экс­
излучения. периментально .
56 1.6. ИЗМЕРЕНИЕ ОПТИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ

Взаимосвязь основных оптических кон­ Величины


стант вещества - показателя преломления и
показателя поглощения определяется инте­ ^х = F^^/ Fox ; Рх = Fpx/ Fox ;
гральным уравнением Крамерса-Кронинга,
позволяющим вычислить одну из констант на ^Х =^тх/ ^ОХ и '^Х =^хх/ ^ОХ
фиксированной частоте по известным для
всего спектра значениям другой. называются соответственно спектральными
По спектральным свойствам материалы коэффициентами поглощения, отражения,
обычно разделяют на металлы, полупроводни­ рассеяния и пропускания. Они показывают,
ки и диэлектрики. Металлы характеризуются какую долю от падающего потока составляют
высокой отражательной способностью, осо­ поглощенный, отраженный, рассеянный и
бенно в ИК-области спектра, наличием точки прошедший через среду лучистые потоки.
температурной инверсии, увеличением иалуча- При взаимодействии вещества с поли­
тельной способности в УФ-диапазоне. Их хроматическими лучистыми потоками вводят
оптические свойства определяются в основном понятие интегральных коэффициентов погло­
проводимостью. щения, рассеяния, отражения и пропускания:
Для полупроводников характерно нали­
чие поглощения в УФ- и ИК-областях спек­
тра, а также сильная зависимость оптических
свойств от температуры.
Для диэлектриков характерно наличие p= Fp/Fo=JFoxPx^/l^OX^^
зон прозрачности в широком диапазоне спек­
тра с резкой границей поглощения. m = F^I Fo=^FoxmxdKl ^Foxdk,
Оптические свойства многокомпонент­
ных рассеивающих сред (лаки, краски, окислы
металлов и пр.) описывают с помощью раз­ x= FJFo=JFox4^/j^ox^-
личных моделей теории светорассеивающих
(мутных) сред, например с помощью двухпо-
токового приближения. Оптические свойства
веществ в монолите и в дисперсной среде мо­ 1.6.1.1. ОТРАЖЕНИЕ СВЕТА
гут резко различаться, например металлы хо­ Отражением света (ОС) называется эф­
рошо отражают свет в монолитном состоянии, фект возвращения световой волны при ее па­
но в состоянии мелкодисперсной фазы обла­ дении на границу раздела двух сред обратно в
дают низкой отражательной способностью и первую среду.
используются в качестве поглощаюпЦсх покры­ Различают зеркальное, диффузное и
тий (платиновая чернь и т.д.). Диэлектрики в смешанное ОС. Зеркальное ОС имеет место,
дисперсной фазе хорошо отражают свет в если неровности поверхности малы по сравне­
спектральных областях, соответствующих по­ нию с длиной волны света. При этом свет
лосам поглощения монолитного материала. отражается по законам геометрической опти­
Важнейшая особенность ОС газов - се­ ки, т»е. угол падения равен углу отражения, а
лективность поглощения излучения. Форма и падающий и отраженный лучи лежат в одной
положение линий испускания (поглощения) плоскости с нормалью к поверхности в точке
газов сильно зависят от их концентрации и падения света.
температуры. Диффузное ОС сопровождается равно­
При взаимодействии ОИ с веществом мерным распределением отраженного света в
имеет место его поглощение, рассеяние, отра­ пределах полусферы. Оно. характерно для по­
жение и преломление. верхности с неровностями порядка длины
волны света, расположенными беспорядочно.
Обозначим через /QX падающий на ве­ Смешанное ОС наблюдается при отра­
жении от поверхностей с неровностями,
щество монохроматический поток ОИ; /«я. - большими длины волны света. Для него харак­
поглощенный средой поток; Fp^ - отражен­ терно преимущественное отражение в направ­
лении зеркального ОС в сочетании с менее
ный поток; Fffix - рассеянный поток; F^^ - интенсивной диффузионной компонентой.
вьпиедший из среды поток. Регулярные неоднородности поверхности при­
На основании закона сохранения энер­ водят к появлению пространственного распре­
деления отраженного света, характерного для
гии явления дифракции.
ОС обьино носит селективный характер,
hx =^аЯ, +^рХ. +РтХ + ^х X • что и определяет цветность различных тел.
ОБЩИЕ СВЕДЕНИЯ 57

ОС от гладкой поверхности диэлектрика вращении молекул и приводящее к появлению


в сильной степени зависит от поляризации полос резонансного поглощения.
падающего света и угла падения. При падении Газы обладают в основном избиратель­
неполяризованного света на гладкую поверх­ ным поглощением.
ность под углом Брюстера Ослабление монохроматического света в
гомогенной изотропной среде за счет погло­
/ = arctg{l/Ai), щения описывается законом Бугера
где п - показатель преломления среды, отра­
женное излучение становится полностью по­
ляризованным в плоскости, параллельной где X - длина пути света в среде; FQ^ - па­
плоскости падения. При падении света на
гладкую поверхность двух сред из среды с дающий поток; Fxx - поток, поглощенный
большим показателем преломления наблю­
дается полное внутреннее отражение при углах средой; а^ - спектральный показатель погло­
больших щения среды, мм'1;

I > arcsin [nj/m]- их =4пК /X,

При этом расчет коэффициента отраже­ где К - главный показатель поглощения среды;
ния от гладкой поверхности ведется по фор­ X - длины волны света.
мулам Френеля, связывающей его значение с Ослабление полихроматического излуче­
углами падения, показателями преломления ния определяют и1ггегрированием соответ­
сред и состоянием поляризации падающего ствующих потоков по длинам волн.
света; расчет коэффициента отражения от
гладкой поверхности поглощающих сред
(металлы, полупроводники) ведется с исполь­ 1.6.1.3. РАССЕЯНИЕ СВЕТА
зованием комплексного показателя преломле­ Рассеяние света (PC) - преобразование
ния с учетом поглощения в веществе. света веществом, сопровождающееся измене­
Распределение отраженного света в про­ нием направления его распространения, поля­
странстве, особенно при смешанном ОС, опи­ ризации и (в общем случае) частоты.
сывается с помощью индикатриссы коэффи­ PC обусловлено его дифракцией на оп­
циента отражения. Иногда для характеристики тических неоднородностях среды, зависит от
их размеров, концентрации и комплексного
рассеивателей используют понятие коэффици­ показателя преломления.
ента яркости (Р ), т.е. отношение яркости (L\ Существует большое число разновидно­
конкретного объекта в заданном направлении стей эффекта PC. Рассеяние Рэлея происходит
к яркости ^^LQ^ идеального рассеивателя. без изменения частоты света, наблюдается при
ОС, особенно при смешанном отраже­ прохождении света через скопление частиц с
нии, существенно зависит от геометрии осве­ размерами, меньшими длины его волны.
щения образца и регистрации рассеянного Рассеяние света может происходить на
излучения, что необходимо оговаривать при электронах среды (явление Комптона), моле­
измерениях наряду с другими факторами кулах вещества (комбинационное рассеяние),
(спектр излучения источника, поляризация флуктуации плотности среды (рассеяние Ман­
света, тип фотоприемника и пр.) дельштама-Бриллюена). Рассеяние Тиндаля
характерно для мутных сред с размерами час­
тиц порядка долей длины волны света, а рас­
1.6.1.2. ПОГЛОЩЕНИЕ СВЕТА сеяние Ми - для сред с частицами, размеры
которых составляют несколько длин волн све­
Поглощение света (ПС) - уменьшение та.
энергии световой волны в веществе вследствие В мощном лазерном излучении наблю­
преобразования ее во внутреннюю энергию даются нелинейные эффекты - вынужденное
вещества или в энергию вторичного излучения рассеяние Мандельштама-Бриллюена (ВРМБ)
(люминесценция), имеющего иной спектраль­ и др. Для каждого вида рассеяния характерна
ный состав и иные направления распростране­ своя индикатрисса рассеяния. Например, при
ния. рассеянии Рэлея, Тиндаля индикатрисса имеет
Для твердых веществ характерно соб­ симметричный характер, а при рассеянии
ственное поглощение, обусловленное взаимо­ Ми - резко выраженную асимметрию. Для
действием света с кристаллической решеткой, слабомутных сред (вода, чистый воздух, стфс-
и характеристическое (селективное) поглоще­ ло) характерно малоугловое рассеяние, т.е.
ние, возникающее вследствие колебаний и яркость пучка в направлении падающего на
58 1.6. ИЗМЕРЕНИЕ ОПТИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ

среду света значительно больше его яркости в В соответствии с законом Бугера


иных направлениях.
Для сильно рассеивающихся сред хя, = е х р ( - а я , / ) .
(молочное стекло и т.п.) характерно изотроп­
ное рассеяние. Для удобства расчетов вводят величину
В первом приближении ослабление СИ оптической плотности
за счет рассеяния может быть описано зависи­
мостью, аналогичной закону Бугера, Z) = l n ( l / x )

i> = l g ( l / x ) ,
где Г;^ - коэффициент ослабления излучения
измеряемую в Беллах (Б). При этом х = 10" .
за счет рассеяния. Коэффициент пропускания двух пластин оп-
Рассеяние во многих случаях носит се­
лективный характер, поэтому при измерениях ределяется Xj 2 =XiX2 =10 ^ ' и т.д.
оговаривают геометрию опыта, тип источника
излучения, спектральный диапазон фотопри­ Для распространенного случая измерения
емника и др. т^ слоя плоского прозрачного диэлектрика
Например, непрозрачные в видимом све­ (стекло, полимер) с известным показателем
те (сильно рассеивающие) слои некоторых преломления л при нормальном падении света
красителей становятся оптически прозрачными
в ИК-диапазоне спектра, что используется в на образец получим с учетом формул Френеля

ш
ИК- интроскопии.
В мощном лазерном излучении наблю­
дается нелинейно-оптические эффекты рас­ '^Х = ' ^ Х 1
сеяния света (вынужденное рассеяние Ман­
дельштама-Бриллюена и др.).
Суммарное ослабление света веществом При оценке пропускания рассеивающей
за счет рассеяния и поглощения определяется среды следует учесть дополнительное ослабле­
коэффициентом экстинкции ние света за счет его рассеяния. При этом
выражение закона Бугера имеет вид

вводимым в формулу закона Бугера. = ехр[-(ая+/Яя,)/],

где т^ - коэффициент рассеяния; / - длина


1.6.1.4. ПРОПУСКАНИЕ СВЕТА
пути лучей в среде.
Пропускание света, как и отражение, бы­ При измерениях пропускания прозрач­
вает направленным, диффузионным и сме­ ных люминесцирующих сред в спектральном
шанным. При направленном пропускании, диапазоне, соответствующем области возбуж­
характерном для оптических стекол, структура дения люминесценции, необходимо тщательно
пучка падающего света не изменяется. Коэф­ отфильтровывать ее излучение, например, с
фициент пропускания учитывает при этом как помощью узкополосного светофильтра или
френелевские потери на границах среды, так и дополнительного спектрофотометра.
поглощение в ней. Иногда вводят понятие
коэффициента внутреннего пропускания х'^ ,
1.6.1.5. ПРЕЛОМЛЕНИЕ СВЕТА
характеризующего потери в среде без учета
потерь на отражение. Для плоской прозрачной При падении пучка лучей света на гра­
ницу раздела однородных гладких прозрачных
пластины между Х;^ и Xj^ имеет место соот­
сред часть его отражается под углом a j , рав­
ношение
ным углу падения, и другая же часть проходит
во вторую среду под углом а 2 , определяемым
= x5,(l-p').
законом преломления
Спектр пропускания среды, характеризу­
sin a j / s i n a 2 =^21 •
ется соответствующей зависимостью х (X) ,
представляемой таблицей или графиком зна­ Константа п есть относительный показа­
чений Xi . тель преломления второй среды по отноше-
ОБЩИЕ СВЕДЕНИЯ 59

нию к первой и определяется отношением Дисперсия - это зависимость показателя


скоростей света в этих средах. Абсолютный преломления от длины волны света. Обычно
показатель преломления Лд есть отношение при увеличении частоты показатель преломле­
ния увеличивается (нормальная дисперсия),
скорости света в вакууме к его скорости в сре­ однако в окрестности полос поглощения среды
де. Очевидно, что наблюдается аномальная дисперсная. Диспер­
^^21 = f^la I ^\а ' сию оценивают разностью показателей пре­
ломления каких-либо длин волн Пу^ ~^Х2
Чаще всего в технике определяют показа­ (частная дисперсия) или коэффициентом дис­
тель преломления среды к воздуху персии.
Зависимость показателя преломления от
температуры и давления характеризуется с
При нормальном атмосферном давлении помощью термооптических, пьезооптических
и комнатной температуре п^^^г^ц^ = 1у00027.(эластооптических) коэффициентов.
Зависимость величины двулучепреломле-
При условиях измерений, отличных от нор­ ния среды от интенсивности внешнего элек­
мальных, вводят поправку для реальных зна­ трического поля описывается электрическими
чений температуры, давления и влажности постоянными Керра и Поккельса.
воздуха. В области сильных световых полей пока­
Показатель преломления определяется затель преломления среды может зависеть от
природой вещества и зависит от внешних мощности пучков света (нелинейно-оптичес­
условий, особенно от температуры, и длины кие эффекты).
волны света. Принято указывать индексами
значения температуры и длины волны света,
1.6.1.6. ТБРМОРЛЦИАЦИОННЫЕ '
при которых измерен показатель преломления. ХАРАКТЕРИСТИКИ ВЕЩЕСТВА
Различают изотропные и анизотропные
материалы. У первых (стекла, жидкости, газы) Все нагретые тела излучают в широком
показатель преломления не зависит от направ­ спектре ОИ. Для абсолютно черного тела
ления света при измерениях. Анизотропные (АЧТ) существует однозначная связь между его
материалы (кристаллы и др.) характеризуются температурой и параметрами его излучения
двойным лучепреломлением, т.е. расщеплени­ (спектр и мощность).
ем луча на два, распространяющихся с разны­ Реальщле тела (при равных с АЧТ темпе­
ми скоростями. Скорость одного из них ратурах) излучают меньшие мощности. Кроме
("необыкновенного") зависит от направления. того, спектральное распределение теплового
Анизотропия наблюдается и у изотропньрс в излучения многих реальных объектов может
обычных условиях веществ при сжатии и существенно отличаться от спектра излучения
других воздействиях. АЧТ.
Лучи, отраженные от поверхности разде­ Для неселективных (серых) излучателей
ла, тоже несут информацию о показателях основной терморадиационной характеристи­
преломления сред. Их соотношение влияет на кой (ТРХ) служит коэффициент излучения г ,
амплитуду, фазу и поляризацию отраженного равный отношению излучательных способно­
луча, причем эти параметры зависят также от стей серого тела и АЧТ.
поляризации и направления падающего луча. Отметим, что для серых тел сохраняется
Преломление и отражение света от силь- не только спектральное, но и угловое распре­
нопоглощающих сред (полупроводники, ме- деление излучения АЧТ, которое в свою оче­
TafUtti) описываются теми же соотношениями, редь является диффузным или ламбертовским
что и для прозрачных, но с введением ком­ излучателем.
плексного показателя преломления Для неселективных излучателей отличие
спектра их излучения от АЧТ особенно сильно
N = n-iK. вне полос резонансного поглощения, в преде­
лах которых имеет место "черное излучение**.
Показатель преломления зависит от Количественно тепловое излучение опре­
плотности вещества. Функция показателя пре­ деляется энергетической светимостью М и
ломления f(n) обычно прямо пропорцио- спектральной плотностью энергетической све­
нагана плотности: тимости т^.
f(n) = rd, В соответствии с законами Стефана-
Больцмана и Планка
где г - постоянная, характерная для кон1фет-
ного вещества, называется удельной рефракцией;
d - плотность.
1.6. ИЗМЕРЕНИЕ ОПТИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ

пульсные источники света и малоинерционные


фотоприемники (ФЭУ, фотодиоды и др.).
Для измерения в мощном и сверхмощ­
ном лазерном излучении используют фотомет­
ще Ci, С2 - константы; Т- температура. ры, содержащие устойчивые к такому воздей­
ствию оптические элементы и приемники
Величины Б и ех (интегральный и излучения (охлаждаемые зеркала, фокусаторы,
спектральные коэффициенты излучательной линзы из оптических керамик, калориметри­
способности) являются важнейшими оптиче­ ческие приемники излучения и т.д.).
скими характеристиками тел. Их численные Измерение оптических характеристик в
значения зависят от многих факторов (мате­ области сверхмалых мощностей (биолюминес­
риал, шероховатость поверхности и т.д.) и ценция, оптическая световая связь, интеграль­
меняются в пределах O ^ e ^ l H 0^8;^ ^ 1 . ная оптика и пр.) производят с помощью вы­
Коэффициенты излучения измеряются сокочувствительных фотометров на базе ФЭУ,
обычно для двух режимов. В первом случае усилителей яркости света, чувствительных
оценивают излучение тел в пределах полусфе­ фотоматериалов и т.п.
рического телесного угла 2 ic, во втором - Измерение интегральных (по длинам
волн) оптических характеристик производят
измерения проводят в узком телесном угле, фотометрами с приемниками излучения,
обычно в направлении нормали к поверхности имеющими соответствующую спектральную
(этот коэффициент излучения отмечают ин­ характеристику.
дексом 8 ). Для изотропных поверхностей и Несмотря на разнообразие типов и схе­
неселекгавных (серых) излучателей: мотехнических решений фотометров, все они
для диэлектриков содержат такие блоки, как источник и прием­
ник излучения, оптические элементы различ­
ного назначения (линзы, призмы, зеркала,
поляроиды, аттенюаторы, световоды, свето­
для металлов фильтры, светоделители, дифракционные ре­
шетки и т.п.), а также электронные схемы
8 / 8 ^ «1+13. обработки сигналов.
Коэффициенты излучения определяют, Современные фотометры делятся на два
как правило, экспериментально. типа: 1) прямого отсчета; 2) метода сравнения.
В первых используется световая характе­
ристика приемника, то есть зависимость сиг­
1.6.2. ФОТОМЕТРИЧ1Х;КАЯ АППАРАТУРА нал-свет. Эти приборы обычно имеют один
Фотометрическая аппаратура весьма раз­ приемник; шкала в них градуирована непо­
нообразна. Для спектральных измерений при­ средственно в световых единицах.
меняют спектрофотометры различных кон­ В фотометрах, работающих по методу
струкций, монохроматоры, другие спектраль­ сравнения, приемник используется в качестве
ные приборы, а также наборы стеклянных, индикатора, сравнивающего исследуемый по­
интерференционных или других фильтров, ток с заданным (эталонным).
вьзделяющих нужную область cneKipa. * Фотометры сравнения (ФС) делятся на
Поляриметрические измерения проводят три группы:
с помощью фотометров, оснащенных пленоч­ с одновременным* сравнением потоков с
ными или кристаллическими поляризаторами помощью двух фотодетекторов;
и анализаторами, компенсаторами и т.п. при­ с последовательным сравнением потоков
способлениями. при одном фотодетектор^;
Измерения пространственного распреде­ с компенсацией эталонного излучения
ления оптических характеристик обьектов (метод замещения).
(индикатрисе) производят с помощью гонио- Для высокоточных измерений применя­
фотометров, снабженных многоэлементными ют обычно двухлучевые фотометры, позво­
матричными фотоприемниками или приспо­
соблениями для проведения испытаний при ляющие устранять влияние на результаты ис­
различных углах падения света на образец и пытаний нестабильности хгфакгернстик источ­
приема излучения; угловое разрешение луч­ ников света, приемника излучения. Наивыс­
ших гониофотометров. составляет 10 угл. сек. шей точностью обладают фотометры с опти­
Оптические характеристики в диффузном ческой компенсацией, реализующие способ
излучении определяют обычно с помощью замещения. При этом выходной сигнал фото­
шаровых фотометров, снабженных оттщчески- метра, в рабочем канале оптической схемы
ми интеграторами типа сферы Ульбрихта. которого установлен образец, компенсируется
Измерения оптических характеристик до исходного (например, нулевого при ба­
при импульсном освещении объекта реализуют лансных схемах измерения) значения введени­
с помощью фотометров, содержащих им­ ем в опорный канал оптического клина или
ФОТОМЕТРИЧЕСКАЯ АППАРАТУРА 61

компенсатора, для которого величина его ний в УФ-, ВИ- и ближней ИК-областях
компенсирующего перемещения (воздействия) спектра (0,2 - 2,0 мкм), световоды из специ­
однозначно связана с измеряемым пара­ альных халькогенндных стекал и 1фисталлов
метром. Их погрешность составляет 0,1 - применяют для работы в дальнем ИК-диапа-
0,5 %. оне (2 + 20 мкм и более). Диаметры светбво-
Возможности конструктивно более про­ дов от 0,5 мм для одножильных до 10 мм и
стых одноканальных фотометров прямого из­ более для многожильных (в том числе peiy-
мерения в видимой и ближней ИК-области лярных, передающих изображение с разреше­
спектра существенно расширились за счет нием до 40 мм"1). Число каналов в оптических
разработки метода самокалибровки кремние­ диссекторах (ответвителях) достигает 50 - 100
вых фотодиодов. Сущность его заключается в и более. Существенно, что световоды имеют
точном определении абсолютной чувствитель­ стабильные оптические характеристики (при
ности фотодиодов специальной конструкции отсутствии изгибов, ударов и т.п. воздействий,
для волны излучения фиксированной длины. а также мощных потоков рентгеновского излу­
Погрешность измерения мощности в диапазо­ чения, взывающего потемнение стекол).
не 1 - 10 мВт лазерного излучения при длине Принципиально новым направлением
волны 0,63 мкм составляет 0,05 %. фотометрии стала видеоэллипсометрия, осно­
Одной из определяющих тенденций раз­ ванная на телевизионной визуализации рас­
вития фотометрической аппаратуры является пределения степени поляризахщи по поверх­
переход к использованию многоканальных ности образцов в реальном времени.
систем измерения, реализуемых либо с по­ В качестве источников света в современ­
мощью систем бегущего луча (сканирующие ной фотометрической аппаратуре применяют­
лазерные ми1фоскопы и подобные уст­ ся как традиционные излучатели (светоизме­
ройства), либо на основе матричных фотопре­ рительные лампы накаливания, в т.ч. галоген­
образователей. Последние особенно перспек­ ные со стандартными спектрами излучения -
тивны в связи с жесткой геометрией светочув­ источники типа "А", "С", "Д" и т.д.), так и
ствительной структуры. Это ПЗС новые источники света - импульсные ксеноно-
[фотодиодные (ФД) линейки и матри1щ], вые лампы, светодиоды, лазеры различных
электронно-оптические микроканальные типов. Применение лазеров позволяет реали­
умножители и т.п. устройства. зовать принципиально новые методы коге­
Например, ФД-линейки, сопряженные рентной фотометрии с повьппенной точ­
оптически с усилителями яркости изображе­ ностью.
ния на базе микроканальных усилителей, Контроль энергии или мощности лазеров
обеспечивают регистрацию оптических сигна­ производят с помощью стандартных тепловых
лов в области длин волн 0,2 - 1,3 мкм при или фотоэлектрических измерителей. Особен­
динамическом диапазоне до 100 дБ и мини­ но широко применяют тепловые измерители
мальной мощности на входе порядка 10'^ Вт. на основе болометров, пироэлектриков, тер­
Пространственное разрешение 1 200 элементов моэлементов. Для измерения мощного
и более по длине ФД-линейки при абсолют­ ( Р > 1В т ) излучения, особенно длинновол­
ной величине одного элемента (пикселя) до нового, обычно измеряют с помощью этих
.10x10 мкм (зазор между ними 2 - 3 мкм). приемников температуру твердого или жидко­
Точность растра ПЗС и ФД-линеек порядка го поглотителя в калориметрической ячейке.
0,01 % при высокой его стабильности во вре­ При этом на измеритель направляется часть
мени. Временное разрешение подобных си­ пучка лазера, отводимая с помощью полупро­
стем до 10"^ с. зрачной пластины, дифракционной решетки,
Высокая метрологическая надежность зеркального обтюратора и т.п. устройств.
матричных фотопреобразователей в достаточно Встречаются датчики проходного типа, выпод-
широком диапазоне внешних условий, а также ненные в виде герметичной ячейки с погло­
простота их соединения с ПЭВМ за счет дис­ щающим излучение газом, располагаемой в
кретного характера сигнала определяют пер­ пучке лазера. Поглощая излучение, газ нагре­
спективность их применения в фотометричес­ вается и изменяется давление в ячейке, кото­
кой аппаратуре самого различного назначения.
Возможности фотометра любого типа рое измеряется пьезоэлементом или др. датчи­
существенно расширяются при сочетании их с ками давления.
волоконно-оптическими системами сбора ин­ В ряде случаев необходимо контролиро­
формации. Использование световодов позво­ вать распределение интенсивности по сечению
ляет проводить измерение объектов сложной пучка, в том числе в реальном времени.
формы, в различных полостях, в условиях Для этого применяют специальные ска­
сильных электромагнитных помех, при радиа­ нирующие измерители мощности с приемной
ционном воздействии, в газовой или жидкой аппаратурой в виде точечной диафрагмы или
средах. Длина световодов до 100 м и более. узкой щели (или полоски), перемещаемых по
Световоды из кварца используют для измере­ сечению пучка.
62 1.6. ИЗМЕРЕНИЕ ОПТИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ

Распределение мощности по сечению для Отношение сигналов равно КЗО


потоков Р ^ ОД Вт можно оценивать с по­
мощью пироэлектрических телевизионных p3cp=«l/«2'
камер, фотодиодных матричных преобразова­
телей, тепловизоров. Этот метод применяют с Измерения выполняют при различных
использованием ответвителей пучка с допол­ углах падения. В случае необходимости меня­
нительными ослабляющими устройствами ют и другие параметры эксперимента - спек­
(поглощающие фильтры). Применяют также тральный состав излучения, диаметр пучка
мишени из металла для визуализации поля света, степень поляризации и т.п. Данный
излучения импульсных лазеров косвенным метод требует прецизионного устройства угло­
методом по температурному полю мишени. вого перемещения приемника (или излучате­
ля) и тщательной юстировки установки в це­
лом.
1.6.3. МЕТОДЫ ИЗМЕРЕНИЯ Влияние рассеянного света в помещении
лаборатории устраняется модуляцией излуча­
1.6.3.1. МЕТОДЫ ИЗМЕРЕНИЯ теля. Для компенсации нестабильностей излу­
КОЭФФИЦИЕНТА ОТРАЖЕНИЯ
чателя и приемника часть излучения направ­
Наиболее общим образом коэффициент ляют с помощью оптического коммутатора
отражения (КО) определяется как отношение непосредственно на приемник, реализуя двух-
отраженной части светового потока к па­ канальную схему измерения.
дающей. Абсолютное измерение КЗО возможно
По условиям падения (отражения) раз­ также методом Тэйлора с помощью интегри­
личают полусферическое, коническое, направ­ рующей сферы.
ленное направления потока. Измерение КЗО особенно сложно для
Согласно принхщпу обратимости Гельм- высокоотражающих зеркал лазеров и т.п. си­
гольца при определении направленного КО стем, так как сигналы приемника при его
получается одно и то же значение, если источ­ освещении непосредственно от излучателя и
ник и приемник излучения поменять местами. отраженным пучком от образца очень близки.
В подавляющем большинстве случаев, В силовой лазерной оптике коэффициент
особенно в ИК-области спектра, измеряется отражения мощного излучения иноща опреде­
монохроматический или квазимонохроматиче­ ляют как
ский КО в связи со сложностью реализации
широкополосных (неселективных) источников Рзер=1-а,
и приемников излучения.
Потребности современной техники сти­ ще а - коэффициент поглощения.
мулировали также в последнее время развитие В свою очередь, а определяют косвен­
методики измерения интегральных КО для но, фиксируя нагрев зеркала.
полихроматических источников, в связи с При массовых измерениях, поверке ре­
большим значением этого параметра для теп­ флектометров удобнее применять относитель­
лообмена объекта со средой. ный метод измерения, основанный на сравне­
Для имитации источников заданного
спектрального состава применяют сложные нии сигналов, получаемых в одинаковых усло­
оптические установки с ксеноновыми лампа­ виях эксперимента при отражении света от
ми, угольной дугой, трубчатыми кварцевыми образца и эталона с известным КЗО.
лампами и др. современными источниками Иноща требуется оценить КЗО при
света. диффузном освещении образца. Подобные
Эти установки позволяют, в частности, задачи возникают, например, в гелиотехнике.
измерять КО в условиях, имитирующих кос­ В этом случае образец освещают с по­
мические. мощью молочного стекла, равномерно осве­
Схемы измерения КО существенно раз­ щенного снаружи множеством ламп, или ис­
личны для зеркальных и диффузных объектов. пользуют полую диффузно окрашенную из­
Измерения коэффициоггов зеркального нутри сферу, свет в которую вводят через за-
"хггражения (КЗО). В абсолютном методе изме­ ]фепленный в ее стенке рассеиватель. Отра­
рения КЗО на приемник излучения направля­ женный образцом поток измеряют через одно
ют лучистый поток, обычно параллельный, и из отверстий сферы. КЗО вычисляют, напри­
мер, используя принцип обратимости Гельм-
регистрируют соответствующий сигнал а\ . гольца.
Затем в пучок света вводят образец, а прием­ Измерение КЗО поверхностей произ­
ник перемещают в плоскости падения луча и вольной формы проводят, используя не парал­
нормали к зеркалу до положения, при кото­ лельные, а сходящиеся пучки света, сфокуси­
ром на него полностью попадает отраженный рованные на образец линзой на площадку
от зеркала поток и снова фиксируют сигнал возможно меньшего размера, в пределах кото­
приемника «2 • рой ее можно считать плоской. Отраженный
МЕТОДЫ ИЗМЕРЕНИЯ 63

пучок при этом сохраняет структуру падающе­


го пучка и с помощью дополнительной линзы
направляется на фотоприемник. Иногда при­
меняют автоколлимационный вариант метода
со светоделителем. Возможны как абсолютные,
Tajc и относительные измерения.
С помощью микрофотометрических уст­
ройств измерения КЗО можно проводить с
высоким пространственным разрешением
(вплоть до 0,01 мм и менее), что необходимо
при исследовании подложек ми]фосхем, рас­
пределения КЗО по торцу световодов и т.п.
Схемы измерения диффузного отражения.
В принципе измерение лучистого потока, от­
ражаемого диффузной поверхностью, не пред­ Ряс. 1.6.1. Схемй рефржктомстрт
ставляет особой трудности - достаточно изме­
рить яркость отраженного изттучения в одном 7, 2 - сферическое зеркало; 3 - образец;
направлении и проинтегрировать ее на осно­ 4 - фотодетекгор; 5 - источник света; 6 - экран
вании закона Ламберта по полусфере.
Особенно удобно измерение ОС при по­
мощи вспомогательного идеального диффузно­
го рассеивателя.
На поверхность контролируемого объекта
направляют излучение источника и определя­
ют яркость поверхности L^, Затем заменяют
образец эталоном и измеряют его яркость
Х^э- Зная р;^э эталона, находят р^, объекта
по формуле
Lx
Рх = Рхэ
-Хэ

в качестве эгалона обычно применяют


свежую окись магния или матированное мо­ Рас. 1.6.2. Схема рсфршггометра
лочное стекло типа МС-13. с HirTerpHiiyroaiei сфероЁ:
Упомянутая выше методика, однако, не 1 - источник света; 2 - экран; 3 - образец;
пригодна для объектов со смешанным 4 - фотоприемник; 5 - сфера
(зеркально-диффузным) характером отраже­
ния. При этом отраженное излучение неодно­ От указанных недостатков свободна уста­
родно распределено по полусфере, и для новка, показанная на рис. 1.6.1.
определения отраженного потока недостаточно Осесимметричная пространственная ин-
измерения в одном направлении. Приемником дикатрисса отражения создается за счет осве­
следует измерить угловую плотность (или яр­ щения образца полым конусом света. Это не
кость) отраженного излучения в каждой точке изменяет значения ОС по сравнению с обыч­
-полусферы либо собрать излучение из полу­ ным способом освещения при заданных углах
сферы на приемник. Излучение обычно на­ Ла и Аф, так как эффект темнопольного
правляется по нормали к образцу. Индикат- освещения сводится к увеличению числа ана­
рисса отраженного излучения имеет, как пра­ логично расположенных относительно поверх­
вило, осесимметричный характер, поэтому ности освещенных пучков, т.е. эквивалентно
измерение достаточно провести в одной плос­ увеличению интенсивности падающего пучка
кости, содержащей нормаль к образцу. Метод (при изотропности отражательных свойств
этот, однако, пригоден только для контроля объекта). Для измерения падающего патока
ОС объектов, близких к диффузным, так как вместо образца ставится приемник излучения.
при значительной зеркальной составляющей Вместо собирания излучения из полу­
появляется ошибка из-за невозможности из­ сферы при падении луча на образец для изме­
мерить ОС при направлениях, близких к нор­ рения ОС объектов со смешанным характером
мали. При падении излучения на объект под отражения можно использовать полусфериче­
углом, отличным от нормального, индикатрис- ское освещение (например, с помощью шара
са становится неосесимметричной и приходит­ Ульбрихта) и измерение отражения в заданном
ся измерять ОС для всех точек полусферы.
направлении (рис. 1.6.2).
1,6. ИЗМЕРЕНИЕ ОПТИЧЕСКИХ ПАРАМЕТТОВ

Внутренняя поверхность сферы по]фыга


диффузно отражающей краской. Возможность
измерения направленной ОС в данном случае
следует из принципа Гельмгольца. Для этого
достаточно измерить яркость образца и стенки
сферы и взять их бтношение. Проблемой в
этом методе является равномерность окраски
сферы.
Для измерения ОС при высоких темпе­
ратурах эффективен метод относительной ре-
флектометрии. Он основан на измерении от­
ношения двунаправленных ОС при двух дли­
нах волн Xj и ^2 . Метод, однако, пригоден
только для веществ, у которых индикатриссы
одинаковы для Xj и ^ 2 , что редко имеет
место.
Для собирания отраженного от объекта
излучения часто применяют зеркальные полу­
сферы (рис. 1.6.3). Объект и приемник устано­
влены вблизи от центра полусферы в оптиче­
ски сопряженных точках. Для измерения па­
дающего потока приемник ставится на место
офазца. ОС определяется по формуле

*"отр Рве. 1.6.4. Схема рефраггометра


Рх = Рхс
^пад с эллнпсоядшш зеркалом:
1 - источник света; 2 - эллипсоид;
ще ря,с - ОС сферы; CQ И Сп
3 - образец; 4 - фотолриемник

ния индикатора при соответствующих поло­ Наиболее эффективны и поэтому сво­


жениях приемника. бодные от этих недостатков схемы с эллипсо­
Вместо сферы можно применить парабо­ идными зеркалами (рис. 1.6.4). Здесь снижено
лы, однако им свойственны такие недостатки, влияние аберрации, отраженный поток падает
как уход части отраженного излучения через на приемник под малым углом, образец и
отверстие сферы, влияние аберраций оптики и приемник существенно отдалены друг от дру­
угловой чувствительности приемника. га, что облегчает, например, нагрев объекта,
возможно определение потерь отраженной
энергии через входное отверстие при смешан­
ном отражении образца.

%
W
• Ч/ < N>
1.6.3.2. ИЗМЕРЕНИЕ
КОЭФФИЦИЕНТА ПОГЛОЩЕНИЯ (КП)

"J^JHJ Экспериментально коэффициент погло­


щения обычно определяется путем измерения
ослабления параллельного светового потока
при прохождении однородной плоскопарал­
/// лельной пластины. При этом необходимо учи­
/ф/ тывать коэффициент отражения от обеих по­
верхностей. Если известен показатель прелом­
ления пластины, его вычисляют по формуле
1—J 21
c-^l^ Е^ ^ Френеля. Если показатель преломления неиз­
вестен, его отдельно измеряют, например,
рефрактометром. Влияние отражения можно
исключить, воспользовавшись пластинами из
Рис. 1.6.3. Cxem рефражтойктра одного материала, но с различными толщина­
с зеркальвой полусферой:
1 - источник света; 2 - зеркало; 3 - полусфера; ми /j и /2- Уравнение для вычисления а;^
4 - образец; 5 - фотодетектор имеет в этом случае вид
МЕТОДЫ ИЗМЕРЕНИЯ 65

ax=[l/(/l-/2)] \&(ФХ1,/ФХ1,)> ^ = 1-р,

ще Фх Фг соответственно потоки ще р = Рд + Рз» Рд и Рз - соответственно


после прохождения первой и второй пластин коэффи]хиенты диффузного и зеркального
или пропорциональные им сигналы фотопри­ отражения, определяемые по сигналам прием­
емника. Перед фотоприемником рекомендует­ ников J, 4 и 8. Калибровка прибора произво­
ся ставить оптический интегратор типа молоч­ дится по стандартным фотометрическим эта­
ного стекла. лонам. Объект может в процессе эксперимента
В случае одной пластины КП определяют нагреваться (охлаждаться) от дополнительного
по формуле (внешнего) источника питания. Измерения
проводят на образцах различной шерохова­
ai,=(l//)[21g(l-p^)-lgT^], тости без по]фытия и с различными погло­
щающими пленками.
щс т^ к рх - соответственно коэффициенты
пропускания и отражения образца. 1.6.3.3. ИЗМЕРЕНИЕ
Измерения в белом (полихроматическом) КОЭФФИЦИЕНТА РАССЕЯНИЯ СВЕТА
свете проводят, используя широкополосные
излучатели и приемники со светофильтрами. Измерения коэффициента рассеяния све­
Интегральный КП может быть также та (КРС) для слабо рассеивающих веществ
подсчитан по результатам его спекгрофотомет- (оптические стекла, некоторые полимеры)
рического определения по формуле проводят аналогично измерению коэффи1шен-
та пропускания света (КПС). Образец в виде
КПу=^ ^JF^aj^S^dk/JF^S^dk, плоской пластины с полированными гранями
устанавливается нормально к параллельному
пучку света, диаметр которого должен быть
ще F-X и S^ - спектральные плотности излу­ менее габарита образца. Предварительно изме­
чения света и чувствительности фотоприемни­ ряется сигнал, пропорциональный интенсив­
ка. Пределы интегрирования выбираются ис­ ности прямо прошедшего света у^ .
ходя из задачи. Затем фотоприемную часть прибора, со­
Схема рефрактометрического метода из­ стоящую из объектива и жестко скрепленного
мерения КП показана на рис. 1.6.5. Излучение с ним приемника лучистой энергии, повора­
непрерывного или импульсного лазера 1 лин­
зой 5 фокусируется на объект 7. Диффузно чивают во1фуг оси, проходящей через середи­
отраженное излучение сферическим зеркалом ну образца, на угол, при котором "прямой"
6 фокусируется на приемник излучения 8. поток излучения не попадает на приемник. В
Зеркально отраженное излучение полупро­ этом случае сигнал прибора у пропорционален
зрачной пластиной 2 направляется на прием­ только рассеянному световому потоку.
ник 4. Пластинка 2 направляет также часть КРС вычисляют по формуле
излучения лазера на контрольный приемник 3.
КП определяется по формуле Щ=У/УО'

Ряс. 1.6.5. Схема лазерного рефражтометра


1.6. ИЗМЕРЕНИЕ ОПТИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ

Сложность измерений заключается в том, 1.6.3.4. ИЗМЕРЕНИЕ


КОЭФФИЦИЕНТОВ ПРОПУСКАНИЯ
что интенсивность рассеянного света в высо­
копрозрачных оптических материалах может Для оптически прозрачных изотропных
быть значительно (в сотни и более раз) мень­ нерассеивающих сред (полированные стекла,
ше интенсивности "прямого" света. Поэтому в кюветы с жидкостью и т.п.) применяют метод
качестве источника света предпочтительны взмереши в параллельных пучжах при ортого­
лазеры с высокой интенсивностью излучения. нальном падении лучей света на образец. С
В этом случае абсолютная величина рассеянно­ помощью фотометра (или спектрофотометра)
го потока позволяет достичь хорошего отно­ интегральные (или спектральные) коэффици­
шения сигнал/шум, особенно при модуляции енты пропускания определяют как отношение
излучения и его дополнительной спектральной интенсивностей прошедшего через объект и
фильтрации на входе фотоприемника с по­ падающего на него излучения. Измерения
мощью интерференционного светофильтра. проводят в естественном или поляризованном
Измерения проводят в области малых уг­ свете. Возможен относительный метод изме­
лов. Особенность подобных измерений состо­ рения (сравнение коэффициентов пропуска­
ит в необходимости применения точного го­ ния образца и эталона в равных условиях).
ниометра, поскольку интенсивность рассеян­ Для оптически активных, двулучепре-
ного света возрастает по мере приближения к ломляющих сред при измерениях оговаривают
направление плоскости поляризации лучей,
оси пучка. Обычно проводят измерения зна­ падающих на объект.
чений т^ для ряда углов а и затем экстра­ Часто используется денсятометрическнй
полируют полученную зависимость (спектроденситометрический) метод измере­
Шх = тпх (а) до значения т^ (0) при а -> 0. ния, при котором с помощью логарифмиче­
Измерения КРС имеют особое значение ского фотодетектора непосредственно измеря­
в новых областях техники - производстве ма­ ется оптическая плотность образца. Соответ­
териалов для волоконно-оптических линий ствующие приборы - денситометры обычно
связи и оптических элементов сверхмощных имеют спектральную характеристику, близкую
лазеров, где рассеяние света во многом опре­ к спектру чувствительности зрения, реализуе­
деляет качество изделий. мую с помощью светофильтров.
Измерения КРС для сильно рассеи­ Измерение пропускания (или оптической
вающих материалов (бумага, матовые стекла, плотности) рассеивающих материалов произ­
ряд полимеров, растворы и пр.) производят с водят обычно с помощью оптических интегра­
помощью гониофотометров. В лазерном го- торов типа шара Ульбрихта, устанавливаемых
ниофотометре (ЛГФ) образец (пластина из непосредственно за образцом. Объекг осве­
исследуемого материала, кювета с раствором и щается либо коллимированным (например,
пр.) освещается лазером. Излучение, рассеян­ лазерным) пучком лучей, либо диффузным,
ное в полусферу, анализируется с помощью реализуемым с помощью дополнительного
световодов, расположенных под различными рассеивателя (молочное стекло, диффузор в
углами к образцу и направляющих свет на виде полой сферы и т.д.).
фотоприемники. Измерения могут выполняться, как и в
Возможна схема с механическим скани­ случае определения всех других оптических
рованием излучения с помощью единичного характеристик, в широком спектральном диа­
световода, перемещаемого по дуге окружности пазоне или в монохроматическом излучении,
с центром в середине образца. В ряде случаев, естественном или поляризованном свете, при
для оценки КРС образцов с неровной поверх­ различной интенсивности (в экспериментах по
ностью (кристаллы и т.п.) они могут поме­ нелинейной, силовой оптике) и геометрии
щаться в иммерсионную жидкость для устра­ падения (приема) лучей.
нения бликов отраженного света.
Индикатриссы рассеяния света регистри­
Описанные выше гониофотометры уни­
версальны, но сложны и требуют тщательной руют с помощью гиниофотометров. Точность
юстировки. измерения достигает 1 + 2 % и менее при тща­
В промьппленности часто применяют тельной подготовке аппаратуры, угловое раз­
фотометры с фиксированным углом приема решение от 10" до 2**.
излучения, обычно 45** или 90** к оси па­ Метрологическое обеспечение измерения
дающего пучка. Эти приборы, называемые коэффициентов пропускания или оптической
нефелометрами (измерители мутности), при­ плотности основано на использовании высо­
меняют для концентрахщонного колориметри­ костабильных нейтральных или цветных све­
ческого анализа, так как КРС в ряде случаев тофильтров, эталонах оптической плотности
функционально связан с количественным со­ (с диапазоном ослабления до 5 + 6 порядков,
держанием химического элемента. т.е. с плотностью до 5 + 6 Белл).
МЕТОДЫ ИЗМЕРЕНИЯ 67

1.6.3.5. МЕТОДЫ ИЗМЕРЕНИЯ Погрешность измерения оптико-геомет­


ПОКАЗАТЕЛЯ ПРЕЛОМЛЕНИЯ
рическими методами обычно 10~ п при ис­
В зависимости от используемого физиче­ пользовании гониометров, определяющих
ского принципа их можно разделить на опти­
ко-геометрические, интерференционные, ре- углы с точностью 1 - 5". Размер призм 20 -
флектометрические и иммерсионные. 40 мм, угол а = 60**.
Оптико-геометрические методы основаны Для измерения малых разностей показа­
на использовании законов преломления света. телей преломления используют дифференци­
Например, если образец имеет форму призмы альные рефрактометры (рис. 1.6.6, г). При
с углом при вершине ао (рис. 1.6.6, а), то равенстве показателей преломления /ii =/i2
показатель его преломления связан с экспери­ луч выходит из блока призм без отклонения.
ментально определяемым с помощью гонио­ При наличии разности
метра углом а , соответствующим ходу луча в
призме параллельно ее основанию, соотноше­
Ал = /il - /l2
нием
луч отклоняется. Это отклонение А х связано
/I = Sin [ > ^ ( 5 . a ) ] / [ s i n ( a / / ) ] .
с расстоянием от призмы / до анализатора
изображения соотношением
Автоколлимационный вариант метода
(рис. 1.6.6, б) базируется на измерении угла
а , при котором совпадают направления па­ A/i = A x / ( / - t g a ) .
дающего и отраженного лучей. Выходная
грань призмы обычно алюминируется. Погрешность составляет ± 10"^ при / = 10^ мм.
В способе скользящего падения лучей При использовании полых призм воз­
(рис. 1.6.6, в) углу падения придается макси­ можно измерение показателей преломления
мальное значение ( а = 90** ), источник распо­ жидкостей и газов.
лагается в плоскости входной грани призмы. Для измерения спектральных показате­
Пучок лучей от источника конечных размеров лей преломления, в том числе в УФ- и
всеща дивергирован, т.е. содержит лучи, рас­ ИК-областях спектра, используют соответ­
пространяющиеся в пределах некоторого те­ ствующие приемники и источники излучения
в сочетании со спектрофотометрами или све­
лесного угла. При этом за счет эффекта полно­
тофильтрами.
го внутреннего отражения (ПВО) наблюдатель Метод призмы реализован в ряде кон­
видит резкую границу светлого и темного по­ струкций специальных приборов (Ченса,
лей. Положение ее соответствует условию Джелли и т.д.), из которых наиболее распро­
ПВО для лучей, падающих из призмы на гра­ странены рефрактометры Пульфриха и Аббе,
ницу среда - воздух. основанные на методе предельного угла.

Рнс. 1.6.6. Схемы рефршпгомстрнчесак методов:


а - преломляющей призмы; б - авгоколлимационной призмы;
в - скользящего падения лучей; г - дифференциальный; д - Пульфриха; е - Аббе
68 1.6. ИЗМЕРЕНИЕ ОПТИЧЕСКИХ ПАРАМЕТЮВ

В рефрактометре Пульфриха (рис. В первом случае измеряют коэффициен­


1.6.6, д) образец с помощью иммерсионной ты отражения Rp и R^ для света, поляризо­
жидкости устанавливается на измерительной ванного параллельно и перпендикулярно
призме с известным показателем преломления плоскости падения, а также для естественного
N, Измерением угла р , характеризующего
положение границы раздела, определяют пока­ света.
затели преломления образца по формуле В эллипсометрическом варианте измеря­
ют скачки фаз 5^ и 5 j , их разность
/i = /y^-sin27.
Образец может быть помещен в термо­
статированную кювету. а также отношение амплитуд Гр и Гу отра­
Погрешность порядка 10" п . женного света для р- и s- поляризации, т.е.
В рефрактометре Аббе (рис. 1.6.6, ё) вве­
дена дополнительная (осветительная) призма, \|/ = arctg^r^,/rj .
чго позволяет, в частности, измерять показате­
ли преломления жидких и твердых сред в бе­ Энергетические и поляризационные ха­
лом свете с помощью спехщального компенса­
тора хроматизма (призмы Амичи). рактеристики отраженного света зависят от
Этот компенсатор позволяет измерять и состояния поляризации падающей световой
дисперсию образцов, в том числе термостати­ волны, ута падения лучей / на поверхность и
рованных. показателя преломления сред. Обычно разли­
Существуют также рефрактометры пре­ чают внешнее (свет падает на среду из воздуха,
дельного угла с неподвижными оптическими /121 > 1) и внутреннее отражение (/i2i < 1).
элементами, так называемые погружные, при­
меняемые для экспресс-анализа жидкостей. Зависимость Rp у R^ и Д , от угла па­
Интерференционные методы рефрактомет­ дения света для внешнего и внутреннего отра­
рии основаны на измерении малых разностей жения показана на рис. 1,6.7. Значения харак­
показателей преломления, вызывающих соот­
ветствующее изменение оптической длины терных углов Брюстера /'Б (полной поляриза­
хода лучей, проходящих через эталонный и ции) и предельного /^ определяются выраже­
рабочий образцы. Используются стандартные ниями
схемы интерферометров Релея, Жамена, Май-
кельсона, Тваймена. Разработаны голографи- /Б = arctg/i2i и /'с = arcsin/i2i.
ческие интерферометры, а также близкие к
ним по принципу действия оптические томо­ Видно, что ]футизна зависимости
графы. Последние позволяют, в частности, R = R (i) для ПВО существенно выше, чго
восстанавливать профиль показателя прелом­ определяет большую точность этого метода.
ления в объекте по результатам его зондирова­ Таким образом, зная показатель прелом­
ния лазерным лучом с разных направлений. ления одной из сред и измерив один из пара­
Так измер5пот профиль показателя преломле­ метров, описанных выше, можно определить
ния в оптических волокнах, газовых стгруях и показатель преломления второй среды.
т.п. объекгах.
Интерферешщонные рефрактометры Для пошощающих сред коэффициенты
применяют в основном для анализа показате­ поглощения К ^0 (К"= 10"* + 1 для диэлек­
лей преломления жидкостей и газов - в аэро­ триков, А' = 1 + 10 для металлов).
динамике, в газоанализе и т.д. Чувствитель­ Отношение комплексных коэффициентов
ность достигает 10'^ для газов и 10"^ для жид­ отражения имеет вид '
костей при условии хорошего термостатирова-
ния кювет и достаточной их длины (5 - 3 м). Р = Рр / Ps = t g \ | / - e x p ( / A ) .
Рефлектометричесжне методы рефражто-
метрии. Исследование интенсивности и поля­ Комплексный показатель преломления
ризации света^ отраженного от грани1щ разде­ среды N вычисляют по известному значению
ла сред, позволяет измерять показатели пре­ показателя преломления п и величине К
ломления неоднородных анизотропных и При анализе анизотропных сред следует
сильнопоглощающих еред, тонких пленок и фиксировать ориентацию оптической оси кри­
поверхностных слоев. Метод не требует специ­ сталла.
альной подготовки образца, причем локаль­ Погрешность определения п и К состав­
ность контроля составляет до 0,01 ,мм. ляет 10"3, если параметры л, \|/ и / измерены
Существуют фотометрический и эллип-
сометрический варианты данного метода. с точностью ± 0,01**.
МЕТОДЫ ИЗМЕРЕНИЯ 69

5j
Рис. 1.6.7. Зжкономерностя отражеши света:
а - падение света из воздуха;
б - свет падает на поверхность раздела из среды с большим показателем преломления:
1 - свет поляризован ортогонально плоскости падения;
2 - свет поляризован в плоскости падения; 3 - свет не поляризован

а) ^Л У'У~

5)

S)
Рис. 1.6.8'. Схемы фотометрнчеспп рефрактометров ПВО:
а - призменный; б - световодный; в - с плоско - параллельной пластиной

На рис. 1.6.8 показаны типовые схемы Rp или R^ при двух углах падения (/);
измерения показателя преломления фотомет­
рическим методом внутреннего отражения Яр IR^ при двух / и т.п.
(наиболее точным) с помощью призмы ПВО, При известной спектральной зависимое-;
световода и приставки с много1фатным отра­
жением (МПВО). ти R{X), П2 и К2 могут быть вычислены с
При анализе поглощающих сред необхо­ помощью соотношения Крамерса-Кронинга.
димо измерение по ]файней мере двух незави­ При определении R при внешнем отра­
симых параметров отраженного света: Е^ и жении используются стандартные фотометри-
70 1.6. ИЗМЕРЕНИЕ ОПТИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ

Рис. 1.6.9. Схема эллнпсометра:


1 - лазер; 2^ 4 - компенсаторы; 3 - поляризатор;
5 - анализатор; 6 - фотоприемник; 7 - образец
ческие устройства и приемы (приставки зер­
кального отражения типа ПЗО-1 к спектрофо-
тометрии и др.).
Схема эллипсометра для измерения п
показана на рис. 1.6.9.
Вращая, например, поляризатор 3 и ана­ Рнс. 1.6.10. Схема {ицщшщоняого метода шзмеренвя
лизатор 5 при фиксированном компенсаторе •злучвтслыюЁ способносш:
4^ добиваются минимального сигнала фото­ 1 - эталон; 2 - образец; 3 - зеркало; 4 - пирометр
приемника и отсчитывают соответствующие
значения эллипсометрических параметров А Радиационный метод (рис. 1.6.10) осно­
и у . ван на сравнении энергетической светимости
Современные фотоэлектрические эллип- объекта и эталона с известным г , находя­
сометры работают с лазерами на гелий-неоне щихся при одной температуре. Если использу­
ется приемник излучения с линейной характе­
(X = 0,063 мкм), на С02 (X = 10,6 мкм), обес­
ристикой,
печивают точность измерения показателя пре­
ломления до 1 0 / 1 . 8 = 8о ф / фО ,
Для непрерывного измерения показателя
преломления в промышленности чаще всего вде 8о - коэффициент излучения этадона;
используется дифференциальный гониометри­
ческий метод, метод ПВО или фотометриче­ ф и фо - сигналы приемника при визирова­
ский. нии образца и эталона соответственно.
Иммерсиошпый метод. В этом методе по­
казатель преломления исследуемого вещества Часто в качестве эталона используют
находится сравнением со средой с известным АЧТ (8о = 1). Для уменьшения погрешности
показателем преломления.
Особенно удобен этот метод при анализе измерений целесообразно использовать этало­
мелких образцов (порошки, зерна ми]фО]фи- ны с 8о -> 8.
сталлов и т.п.). Проба помещается в жидкость, В качестве эталонов с большим коэффи­
показатель преломления которой плавно из­ циентом излучения можно использовать, кро­
меняется (нагревом, разбавлением и т.п.) до ме АЧТ, материалы, по1фьпые сажей, специ­
момента равенства с показателем преломления альными эмалями и красками и т.п.
образца. Критерием является появление харак­
терной полоски Бекке на границе объекта, его Для эталонов с малым 8о используют
"исчезновение" (метод нулевого контраста), полированные металлы и другие материалы с
появление характерной окраски при освеще­ высоким коэффициентом отражения (малым
нии белым светом (эффект Христиансена), коэффициентом поглощения).
появление дифракционных картин (метод Погрешность измерений складывается из
Обреимова) и т.п.
_3 погрешностей значения 8о, нестабильности
Погрешность метода порядка 10 л . аппаратуры и т.п. и составляет для радиацион­
Основная область применения - контроль ного метода в среднем 5 - 10 %.
стекол, кристаллов, минералогия, ]фиминали- При измерениях 8 обычно используют
стика, биология.
тепловые приемники излучения, отли­
чающиеся неселективностью спектральных
1.6.3.6. МЕТОДЫ ИЗМЕРЕНИЯ характеристик в широком диапазоне длин
КОЭФФИЦИЕНТА ИЗЛУЧЕНИЯ
волн (о!бычно 0,5 - 20 мкм), например боло­
Интегральный коэффициент излучения метры,термоэлементы,пироэлекгрики.
измеряют радиахщонным, калориметрическим Калориметрический метод измерения 8
и рефлектометрическим методами. основан на определении количества теплоты.
ОБЩИЕ СВЕДЕНИЯ 71

выделяемой нагретым телом в виде лучистой Измерение диффузного коэффициента


энергии, и последующим вычислением коэф­ отражения наряду с использованием оптиче­
фициента излучения по соответствующему ских интеграторов (шар Ульбрихта и т.п.) воз­
уравнению теплового баланса. можно на основе метода частичных коэффи­
В стационарном варианте метода рас­ циентов отражения. Метод основан на изме­
сматривают установившийся теплообмен меж­ рении спекгральной плотности энергетической
ду образцом и внутренней поверхностью теп­ светимости пучков лучей, отраженных от эта­
лоизолированной камеры, с зачерненными лона и объекта под равными углами, вычисле­
стенками, в которую он помещается. нии соответствующих коэффициентов отраже­
Преимущество метода - отсутствие об­ ния и их пространственной сумчации. Изме­
разцов сравнения. рения проводят обычно на гониофотометриче-
При отсутствии теплообмена из-за кон­ ских установках, оптически сопряженных с
венции и теплопроводности (камера обычно монохроматорами.
вакуумируется и охлаждается, а образец под­ Погрешность измерения 8^ составляет
вешивается на подвесках, обеспечивающих его
теплоизоляцию) количество теплоты, передан­ обычно 5 + 10 %.
ное образцом в о]фужающее пространство. Измерение практически важного коэф­
фициента а^ (коэффициент поглощения сол­
нечной радиации) производят рефлекгометри-
Q^ZQF (т'-т,'У ческим и калориметрическим методом при
использовании в качестве источника облуче­
где F - площадь поверхности образца; Т и ния образца либо непосредственно Солнца (в
Т\ - температура образца и стенок камеры; гелиоустановках, различных бортовых системах
а - постоянная. Зная F, Т ж Т\ космической техники), либо искусственные
(измеряемые обычно прегщзионными термо­ источники, например ксеноновые лампы вы­
резисторами), а также энергию, необходимую сокого давления, яркость и особенно спектр
для поддержания температуры Т образца в излучения которых наиболее близки к соответ­
условиях эксперимента, вычисляют е . ствующим характеристикам солнечной радиа­
В нестационарном варианте метода фик­ ции.
сируют динамику остывания образца после Для определения а^ непосредственно на
выключения источника нагрева (лазер, элек­ объектах используют портативные накладные
тронагреватель и т.п.). £сли образец площадью фотометры (ФМ - 89 и др.), обычно с им­
S выполнен в виде тонкой пластинки, то пульсными источниками света.

8= т ci^TIaS{T^ -T^\t.x Глава 1.7

ще т - масса образца; с - теплоемкость его ИЗМЕРЕНИЕ МАССЫ


материала; Т - начальная температура образца; 1.7.1. ОБЩИЕ СВЕЦЩНИЯ
Tj - температура камеры; А Г - изменение
Масса и вес (сила тяжести) тела принци­
температуры образца за время А х . пиально различны. Масса тела т не зависит от
Рефлектометрический метод применяется места нахождения тела и связана С силой тя­
в основном для непрозрачных материалов и жести соотношением
основан на вычислении 8 по соотношению

ще g - ускорение свободного падения.


Поскольку g зависит от места, традун-
При этом рх определяется одним из ровка прибора измерения массы правильна
описанных выше способов с учетом требова­ для места ее проведения и для других мест с
ний к оптико-геометрическим условиям про­ идентичными условиями.
ведения испытаний (значение угла падения и Единицей массы является международ­
апертуры освещающего луча, телесный угол ный прототип килограмма, хранящийся в
приема излучения и т.п.). Для уменьшения Международном бюро мер и весов в Париже.
влияния фоновых засветок источник света Прототип представляет собой цилиццр из
обычно модулируют. При использовании от­ сплава ирндия с платиной, масса которого
носительного метода измерений в качестве неизменна в течение 1 000 лет с точностью до
образцов сравнения используют объекты, 0,01 мг. Масса утвержденных для сравнения с
имеющие оптические характеристики, близкие национальными прототипами рабочих этало­
к аналогичным характеристикам объекта. нов может быть определена с точностью
72 1.7. ИЗМЕРЕНИЕ МАССЫ

(1+3)10"^. По национальному прототипу массы грешность гирь низшего класса равна трех­
создаются сначала вторичные эталоны, а затем кратной погрешности гирь следующего за ним
эталоны-копии и рабочие эталоны, исполь­ класса большей точности. В табл. 1.7.2 приве­
зуемые органами метрологической службы и дены допустимые диапазоны погрешностей
госповерителями для поверок находящихся в гирь отдельных классов. Класс р2 соответ­
обращении, подлежащих обязательной поверке
гирь и весов. Взаимоподчиненность эталонов ствует требованиям, предъявляемым к гирям
приведена в табл. 1.7.1. прецизионных весов, а класс Е2 - к гирям
лабораторных весов (аналитические гири).
1.7.1. Взаимоподчиненноспъ ЭТАЛОНОВ Для применяемых при торговых опера­
циях гирь общего назначения допускаются
Мера Место хранения Сроки сличения более широкие диапазоны погрешностей, при­
по эталону сле­ чем в соответствии с международными согла­
дующего, более
высокого класса шениями эти гири должны изготовляться
только с плюсовыми отклонениями масс, так
как при практическом применении гири из­
Международ­ Международ­ нашиваются (табл. 1.7.3). На рис. 1.7.1, д, б
ный прото­ ное бюро мер показаны принятые в ЕЭС конструкции гирь,
тип калибровка которых признается всеми партне­
Государствен* Государствен­ По рами.
ный эталон ный (нацио­ потребности При равновесии на оттфытом воздухе
нальный) ин­ (плотностью 1,2 кг/м^ при 20 *С) гири и
ститут сравнительного эталона из материала плот­
Рабочий Государствен­ То же ностью 8000 кг/м^ гире присваивается услов­
ная расчетная масса< численно равная массе
эталон ный институт
эталона.
Сравнитель­ Отделение 10 лет
ный эталон государствен­ Условная масса т^ гири массы т из ма­
ного института
или повероч­ териала плотностью р (кг/м^) при 20** С
ные ведомства р-1,2
Контрольный Отделение го­ 5 лет щ^т 0,999850 р
эталон сударственного
института или Материал для изготовления гирь следует
поверочные выбирать исходя из условия, чтобы при изме­
ведомства нении плотности воздуха на 10 % от 1,2 кг/м^
максимальная ошибка взвешивания не превы­
Образцовые Станхщи по­ 1 год шала 0,25 допустимой ошибки калибровки.
гири верки и пове­
рители -1
£ Й ; - r-.=~jr-.r
^
Ш^
W
Рабдчие эталоны не должны отклоняться
от номинального значения более чем на 0,4
предельно допустимой погрешности калибров­ -1
ки поверяемых ими гирь.
Допустимая погрешность контрольных .-._
эталонов равна 0,25 допустимой погрешности 1 i
10 КГ

рабочих эталонов. Значение погрешности эта­ ^)


лона-копии должно быть известно и учиты-
^ться при его применении. Соответственно с
этим в ЕЭС введена система, предусматри­
вающая пять классов точности для гирь, при­
чем каждый высший класс является эталоном
для последующего низшего. Допустимая по­ Рнс. 1.7.1. Торговые гарн,
ОБЩИЕ СВЕДЕНИЯ 73

1.7.2. Допустимые пределы погрешностей гирь высшей точности СОГЛАСНО стяццарту БЭС и
предпиошням Международной органнзшщи законодательной метрологии (МОЗМ)
Номинальное Погрешности (± мг) по классам
значение
массы Ml*
Ех Ег F^ Fi мГ
50 кг 25 75 250 750 2 500 25 000
20 кг 10 1 30 100 300 1000 10 000
10 кг 5 15 50 150 500 5 000
5 кг 2,5 7,5 25 75 250 2 500
2 кг 1,0 3,0 10 30 200 1000
1 кг 0,5 1,5 5 15 50 500

500 г 0,25 0,75 2,5 7,5 25 250


200 г 0,10 0,3 1,0 3,0 10 100
100 г 0,05 0,15 0,5 1,5 5,0 50
50 г 0,03 0,1 0,3 1,0 3,0 30
20 г 0,025 0,080 0,25 0,8 2,5 25
Юг 0,020 0,060 0,20 0,6 2,0 20
5г 0,015 0,050 0,15 0,5 1,5 15
2г 0,012 0,040 0,12 0,4 1,2 12
1г 0,010 0,030 0,10 0,3 1,0 10

500 мг 0,008 0,026 0,08 0,25 0,8 _


100 мг 0,005 0,015 0,05 0,20 0,6 -
50 мг 0,004 0,012 0,04 0,12 0,4 -
20 мг 0,003 0,010 0,03 0,10 0,3 -
10 мг 0,002 0,008 0,025 0,08 0,25 -
5 мг 0,002 0,006 0,020 0,06 0,20 -
2 мг 0,002 0,006 0,030 0,06 0,20 -
1 мг 0,002 0,006 0,020 0,06 0,20 -
1* Мелкие гири. 2* Образцовые гири, з* Торговые гири.

1.7.3. Характеристики торговых гирь, принятых в БЭС


Номинальные значения Пределы погрешностей, мг Материал

при первичной при последующих


калибровке поверках

1 2 3 4
1г +5 ±5 Любой материал, обла­
-0 дающий плотностью 7 -
9,5 г/см^ и твердостью не
2г меньше твердости латунно­
+5 ±5 го литья при прочности на
-0 истирание и коррозионной
5г стойкости, как у серого
+ 10 ±10 чугуна, и состоянии по­
-0 верхности, сопоставимом с
Юг точным чугунным литьем.
+ 20 ±20 Серый чугун не доггускает-
-0 ся для изготовления гирь,
20 г масса которых менее 100 г
+ 20 ±20
-0
74 1.7. ИЗМЕРЕНИЕ МАССЫ

Продолжение табл, 1.7.3

1 2 3 4
50 г + 30 ±30
-0
100 г + 30 ±30
-0
200 г + 50 ±50
-0
1 кг + 200 ±200
-0
2 кг + 400 ±400
-0
5 кг + 800 ±800 Серый чугун
-0
10 кг + 1600 ±1600
-0
20 кг + 3 200 ± 3 200
-0
50 кг + 8 000 ± 8 000
-0

Определение зависящей от допустимой ние" или "сортировка"), взвешивание непре­


ошибки калибровки е плотности материала рывно протекающего материального потока.
гири р производится по приближенным рас­ Измерение массы основано на использо­
вании закона всемирного тяготения, согласно
четным формулам: которому гравитационное поле Земли притя­
1. При | 8 | < 6 10Г.-5 гивает массу с силой, пропорциональной этой
массе. Силу притяжения сравнивают с извест­
1 ной по величине силой, создаваемой различ­
8 000 < р < 8 000- ными способами:
1) для уравновешивания используется
1+ 10" 10"
груз известной массы;
2) уравновешивающее усилие возникает
2. При 181 > 6 .10^ при деформации упругого элемента;
3) уравновешивающее усилие создается
пневматическим устройством;
8 000 ^ р. 4) уравновешивающее усилие создается
гидравлическим устройством;
1+ 10" 5) уравновешивающее усилие создается
элекгродинамически при помощи соленоид­
ной обмотки, находящейся в постоянном маг­
1.7.2. ПРИБОРЫ И нитном поле;
СПОСОБЫ ИЗМЕРЕНИЯ МАССЫ 6) уравновешивающее усилие создается
при погружении тела в жидкость.
Приборы для измерения массы называют Первый способ является классическим.
весами. При каждом взвешивании выполняют Мерой во втором способе является величина
хотя бы одну из четырех основных операций - деформации; в третьем - давление воздуха; в
определение неизвестной массы тела ("взве­ четвертом - давление жидкости; в пятом - ток,
шивание"), отмеривание определенного коли­ протекающий по обмотке; в шестом - глубина
чества массы ("отвешивание"), определение погружения и подъемная сила.
класса, к которому относится подлежащее Наиболее распространенным является
взвешиванию тело ("тарировочное взвешива­ первый способ.
ПРИБОРЫ И СПОСОБЫ ИЗМЕРЕНИЯ МАССЫ 75

цию упругого элемента с помощью тензоре-


зисторных, индуктивных, емкостных и пьезо­
электрических преобразователей. Радиоизо­
топные преобразователи основаны на измере­
нии интенсивности ионизирующего излуче­
ния, прошедшего через измеряемую массу. У
преобразователя абсорбционного типа интен­
сивность излучения уменьшается с увеличени­
ем толщины материала, а у преобразователя
рассеянного излучения интенсивность воспри­
нимаемого рассеянного излучения растет с
увеличением толщины материала.
Основные технические характеристики
механических рычажных весов представлены в
табл. 1.7.4, а радиоизотопных и электромеха­
нических - в табл. 1.7.5.
Преимуществом коромысловых равно­
плечих и гирных весов являются их высокая
точность и независимость показаний от места
измерения. Коромысловые весы с передвиж­
ными гирями и квадратные весы отличаются
удобством эксплуатации. Дозаторы позволяют
автоматизировать и повысить производитель­
ность процессов взвешивания. Отличием ра­
диоизотопных весов являются малые измеряе­
мые усилия, универсальность и нечувствитель­
Рис. 1.7.2. КлассяфшЕшри весов ность к высоким температурам, а электроме­
ханических весов с тензометрическими преоб­
Классификация весов приведена на рис. разователями - дешевизна и высокая точность
1.7.2. Механические весы основаны на прин­ измерения. Электромеханические весы с ин­
ципе сравнения масс при помощи рычагов, дуктивными преобразователями Moiyr работать
пружин, поршней и чашек весов. В электро­ без усилителя, а с пьезометрическими преоб­
механических весах усилие, развиваемое взве­ разователями имеют широкий диапазон изме­
шиваемой массой, измеряется через деформа­ рений и температурный диапазон.

1.7.4. Мехшппесше

Коромысловые Гирные Коромысловые с Квадратные Весовые


равноплечие передвижными дозаогоры
гирями

Параметр

Пределы из­ 10-6 . 103 10-6 . 103 10-4 _ 1о6 10-3 . 104 10 - 103
мерений, кг
Погрешность ±0,1 ±0,1 ±0,5 ±0,5 ±0,5
измерения, %
76 1.7. ИЗМЕРЕНИЕ МАССЫ

1.7.5. Рядиоизотопные и электромеханические весы


Абсорбционные Рассеянного С тензорезистор- СшздуктиБными С пьезоэлектри­
излучения ными преобразо­ преобразова­ ческими преоб­
вателями телями разователями

Параметр Щ
Wi
rJX
В'
~ж-
ъ
Предел изме­ 102 кг/м2 102 кг/м2 10^] 108: 10^]
рений, не бо­
лее
Погрешность ±1,0 ±1,0 ±(0,1 + 1,0) ± (0,5 + 1,0) ±1,0
измерения, %

По назначению весоизмерительные и ве- щие непрерывный учет массы транспортируе­


содозирующие устройства разделяют на сле­ мого материала. Конвейерные весы отличают­
дующие шесть групп: ся от ленточных непрерывного действия тем,
1) весы дискретного действия; что их выполняют в виде отдельного весового
2) весы непрерывного действия; устройства, устанавливаемого на определенном
3) дозаторы дискретного действия; участке ленточного конвейера. Ленточные весы
4) дозаторы непрерывного действия; представляют собой самостоятельные ленточ­
5) образцовые весы, гири, передвижные ные конвейеры небольшой длины, оснащен­
весоповерочные средства; ные весоизмерительным устройством.
6) устройства для специальных измере­ К третьей группе относят дозаторы для
ний. суммарного учета (порционные весы) и доза­
К первой группе относят лабораторные торы для фасовки сыпучих материалов, ис­
весы различных типов, представляющие от­ пользуемых в технологических процессах раз­
дельную группу весов с особыми условиями и личных отраслей народного хозяйства.
методами взвешивания, требующих высокой К четвертой группе относят дозаторы не­
точности показаний; весы настольные с наи­ прерывного действия, используемые в различ­
большим пределом взвешивания (НПВ) до ных технологических процессах, ще требуется
100 кг, весы платформенные передвижные и непрерывная подача материала с заданной
врезные с НПВ до 15 т; весы платформенные производительностью.
стационарные, автомобильные, вагонеточные, Принципиально дозаторы непрерывного
вагонные (в том «шсле и для взвешивания на действия выполняют с регулированием подачи
ходу); весы для металлургической промыш­ материала на конвейер или с регулированием
ленности (к ним относятся системы ШИХТХ)ПО- скорости ленты.
дачи для питания доменных печей, электрова­ Пятая группа включает метрологические
гон-весы, углезагрузочные весы для коксовых весы для проведения поверочных работ, а так­
батарей, весовые тележки, весы для жидкого же гири и передвижные средства поверки.
металла, весы для блюмов, слитков, проката и Шестая группа включает различные вы­
т.д.). сокоизмерительные устройства, служащие для
Весы первой группы изготовляют с ко­ определения не массы, а других параметров
ромыслами шкального типа, 1щферблатными (например, подсчета равновесных деталей или
квадратными указателями и цифропоказы- изделий, определения крутящего момента
вающими и печатающими указательными при­ двигателей, процентного содержания ]фахмала
борами и пультами. Для автоматизации взве­ в картофеле и т.д.).
шивания применяют печатающие аппараты
автоматической записи результатов взвешива­
ния, суммирования итогов нескольких взве­ 1.7.2.1. ВАЖНЕЙШИЕ МЕТРОЛОГИЧЕСКИЕ
шивавший и аппараты, обеспечивающие ди­ ХАРАКТЕРИСТИКИ ВЕСОВ
станционную передачу показаний весов. Пределом взвешивания (диапазоном измере­
Ко второй группе относят конвейерные и ния) называется часть шкалы указателя, в пре­
ленточные весы непрерывного действия, веду­ делах которой должны быть обеспечены до-
ОБЩИЕ СВЕДЕНИЯ 77

пустимые значения погрешностей весов и в чие ребра всех призм параллельны между со­
которой весы допускаются в обращение с обя­ бой и перпендикулярны плоскости вращения
зательной их поверкой. рычагов. При невыполнении этих условий в
Верхняя граница предела взвешивания, результате смещения точки приложения силы
называемая наибольшим пределом взвешива­ вдоль ребра опоры может возникнуть погреш­
ния, определяет наибольшую массу, изме­ ность и измениться подвижность механизма
ряемую при одноразовом взвешивании. Ниж­ весов.
няя граница предела взвешивания определяет­ Трение в шарнирах. При отсутствии за­
ся минимальным грузом, при одноразовом грязнений в условиях эксплуатации трение в
взвешивании которого относительная погреш­ шарнирах, обычно выполненных в виде опор­
ность взвешивания не должна превьпиать до­ ной подушки и призмы, незначительно. При
пустимого значения. загрязнении трение может увеличиться на­
столько, что уменьшится подвижность, а сле­
Чувствительность. В н е с а м о у с т а - довательно, возрастет вариация показаний.
н а в л и в а ю щ и х с я в е с а х , а также в Износ рабочих ребер призм. При затупле­
весах с аналоговой шкалой чувствительностью нии призм длины рычагов неточно выдержи­
Е называется отношение отклонения указателя ваются и зависят от угла поворота призмы.
AZ/ к вызвавшему его изменению нагрузки Это влечет за собой увеличение вариации по­
А/и: казаний.
Предельными погрешностями называют
Е = М/Ат; указываемые изготовителем (гарантируемые)
или приводимые в инструкциях по калибровке
измеряется в единицах длины, отнесенных к предельно допустимые значения погрешностей
единицам массы. (калибровочные погрешности). Эти погреш­
ности представляют собой отклонение в верх­
В в е с а х с ц и ф р о в о й и н д и ­ нюю или нижнюю сторону от истинного зна­
к а ц и е й (дискретно-цифровых весах) чув­ чения веса гири или от истинного показания
ствительностью Е называется отношение чис­ весов. Их превьпиение недопустимо.
ла цифровых шагов z к вызвавшему их изме­
нению нагрузки т:
Глава 1.8
Е = z/m;
ИЗМЕРЕНИЕ ВРЕМЕНИ
измеряется числом цифровых шагов, отнесен­
ным к единице массы. 1.8.1. ОБЩИЕ СВЩЁНИЯ
Повышение чувствительности ограниче­
но допустимым значением вариации показа­ Время как физическая величина, изме­
ний весов: для аналитических весов, предназ­ряемая в процессе контроля или диагностиро­
наченных для взвешивания ми1фОколичеств, - вания, выступает либо в виде фиксируемого
появлением флуктуации, вызываемой броунов­ момента, соответствующего некоторому собы­
ским движением молекул; для рычажных весов тию, либо в виде интервала времени между
- увеличением времени успокоения, повьпие- событиями. Количественной оценкой в первом
нием стоимости калибровки; для алектромеха- случае является дата момента времени, а во
н^сческих весов - повышением затрат, необхо­втором - длительность интервала.
димых для увеличения разрешения. Нижний Основной единицей измерения времени
предел чувствительности весов, подлежащий во всех употребляемых системах единиц яв­
обязательной поверке, определяется инструк­ ляется секунда. В основу измерения времени
цией по калибровке. В общем случае чувстви­ было положено вращение Земли, и долгое
тельность определяется минимальным измене­ время единицей измерения времени - секун­
нием нагрузки (с учетом допустимых погреш­ дой - служила 1/86400 среднесолнечных суток.
ностей), обеспечивающим четкое, устойчивое Поскольку период вращения Земли вокруг оси
отклонение весов. изменяется, в связи с требованиями равномер­
ности астрономической системы сличения
1.7.2.2. ПРИЧИНЫ,
времени, было введено значение секунды как
ВЫЗЫВАЮЩИЕ ПОГРЕШНОСТИ ВЗВЕШИВАНИЯ 1/31556925,9747 тропического года. Погреш­
ность секуцдьг в таком определении меньше,
Упругая деформация рычагов. Это явлениетак как она привязана к году, величине более
может вызвать удлинение или укорочение стабильной, чем сутки. Однако при практи­
эффективной длины рычагов. При этом пере­ ческой реализации и в этом случае погреш­
даточные отношения становятся зависимыми ности были значительны.
от величины нагрузки и появляется погреш­ Учитывая, что молекулы и атомы неко­
ность нелинейности. торых веществ в переменном электрическом
Непараллельность призменных опор. Приполе возбуждаются и изменяют свое электри­
идеальном положении призменных опор рабо­ ческое состояние на резонансной частоте.
78 1.8. ИЗМЕРЕНИЕ ВРЕМЕНИ

свойственной только молекулам и атомам дан­ и шкал атомного времени с помощью вторич­
ного вещества, в 1967 г. на Международной ных эталонов и образцовых мер измерений
конференции по мерам и весам была принята времени и частоты.
новая единица - атомная секунда - интервал В состав Государственного эталона вхо­
времени, в течение которого совершается дят квантовые меры, которые делятся на репе­
9 192 631 770 колебаний атома цезия - 133, ры и хранители. Реперы (опорные) генерируют
соответствующих переходу между двумя сверх­ базовую частоту, создавая эталонный размер
тонкими уровнями. За секунду также прини­ единицы измерения - секуцды. Хранители
мается интервал времени, в течение которого (часы), установив размер секунды с репером,
совершается 1 420 405 751,8 колебаний атома ведут непрерывный счет времени.
водорода. Функциональная схема Государственного
Таким образом, параллельно существуют эталона времени и частоты (ГЭВЧ) показана
астрономическая система измерения времени на рис. 1.8.1. Его основу составляют под­
и атомная система, дополняющие друг друга. системы воспроизведения и хранения разме­
По стандарту час (ч, Л) и минута (мин, ров единиц и шкал времени AT и ИТС. С
min) относятся к внесистемным единицам. помощью цезиевых реперов частоты 1 перио­
Стандаргные интервалы времени: 1 год, 6 мес, дически определяются и контролируются дей­
3 мес, 1 мес, 1 сут., 1 ч, 100 с, 1 с и любой ствительные значения частот водородных ре­
интервал, равный 10"" , ще п - целое положи­ перов частоты 2. Цезиевый репер воспроизво­
тельное число. дит размер секунды, водородный - хранит
С понятием "время" связано понятие воспроизведенную цезиевым репером единицу
"интервал времени" и "момент времени". Ин­ времени и частоты. По сравнению с цезиевым
тервал времени можно измерить, а для момен­ репером водородный репер имеет более высо­
та времени можно ввести понятие нуля или кую стабильность, в связи с чем погрешность
начального момента событий. Непрерывная хранения и размера секуцды снизилась на
последовательность интервалов времени опре­ порядок. Шкала времени воспроизводится с
деленной длительности, отсчитываемая от высокой точностью и в соответствии с опреде­
начального момента, составляет шкалу времени. лением секунды в системе СИ.
Шкалу времени можно воспроизвести, наблю­ Вторичными этапонами являются водо­
дая за периодически (хронометрическим) про­ родные хранители времени 3.
цессом, протекающим непрерывно. Устано­
вление числовых значений моментов времени
называют определением или исчислением вре­
1 1 гп
мени.
В соответствии с тремя известными еди­
ницами измерения времени (секундой все­
[2\ Г
J—1 1 r-
L
мирного времени, эфемеридной секундой и
секундой атомного времени) различают три Л Г21 г2]
независимые шкалы времени - всемирную
(ИТ), эфемеридную (ЕТ) и атомную (AT).
Для удобства потребителей введена шкала iJ \А\
X
Гз] X
Гз] X X
M иП
координированного всемирного времени (ИТС), в
которой в настоящее время ведется большин­ 1 \т— Y» т»
\ 1 1 \^
ство практических измерений. Она сохраняет [—i
преимущества атомной шкалы, так как в осно­ Н 5 h—' 1 6~
ве ее лежит атомная секунда. Один раз в год
производят коррекцию так, чтобы разность —J 1 \ \ \ ^
значений времени в шкалах ИТС и ИТ не
превышала 1 с. Для потребителей, которым
необходимо знать более точное значение раз­
ности ИТС и ИТ радиостанции службы време­
i/ln:
Y
Z\ 7
—1

tl/i
/•—"^

F>
ни передают регулярные сигналы, уточняющие j

тг тг "—' 13
:ту разность до 0,02 с.
TT
1.8.2. СИСТЕМЫ ХРАНЕНИЯ И t *• •
ПЕРЕДАЧИ ЕДИНИЦЫ ВРЕМЕНИ •Rnnapamijpa
обеспечения
Государственный первичный эталон вре­
мени предназначен для воспроизведения и
хранения размеров единиц времени и частоты Рнс. 1.8.1. Ф^шпоналыия схема ГЭВЧ
МЕТОДЫ И ПРИБОРЫ ДЛЯ ИЗМЕРЕНРШ ВРЕМЕНИ 79

Погрешность воспроизведения частоты сличения шкал времени через фазовые сличе­


цезиевых реперов составляет 0,8 • 10"^^. По­ ния радионавигационных станций РНС-Е. В
грешность в воспроизведении частоты одним зоне до 1 500 км он обеспечивает сличение
водородным репером за год составляет эталонов с погрешностью (0,2 + 0,5) 10"^ с.
(4 - 8) IQ-^^y а всей группы реперов - менее Комплекс 12 включает два комплекта цезиевых
5 • 10-^^. Использование водородных реперов часов, перевозимых на самолетах, автомаши­
позволяет проводить длительные эксперимен­ нах или в составе измерительной время-
тальные исследования цезиевых реперов часто­ частотной лаборатории на базе автобуса. По­
ты без ухудшения метрологических характери­ грешность сличений (0,003 + 0,1) 10"^ с при
стик эталона в целом. времени транспортирования до пяти суток.
В систему хранения шкалы времени вхо­ Погрешность передачи шкалы ИТС вторич­
дят четыре водородных 3 и два цезиевых 4 ным эталонам в Европейской части страны
хранителя времени. Водородные хранители, не (0,1 + 0,5) 10"^ с, в Сибири и на Дальнем Во­
отличаясь конструктивно от водородных репе­ стоке (0,3 + 1,0) 10"^ с.
ров, используются в режиме непрерывного По результатам исследований эталона, а
хранения шкалы времени. Нестабильность также сличения с национальными эталонами
частоты водородных хранителей составляет Германии, США, Международного бюро вре­
величину 2 • 10" ^^ за месяц. Цезиевые храните­ мен можно заключить, что Государственный
ли используются только для повышения на­ первичный эталон времени и частоты имеет
дежности хранения шкалы времени. неисключенную систематическую погрешность
Система формирования рабочей шкалы 2 • 10"^^, среднеквадратическое отклонение
времени 5 обеспечивает автоматический выбор результатов измерений 5 • 10"^^, нестабильность
лучшего из трех водородных хранителей и частоты за время до месяца 2 • 10"^^.
переключение на резервный в случае пропа­ Размер единицы и шкала времени пере­
дания сигнала частоты ведущего хранителя или даются потребителям через радиометеорные
ухудшения его метрологических характери­ каналы связи, по ТВ и оптическим каналам в
стик. Рабочая шкала времени ИТСр, фор­ зоне прямой видимости. Используют также
мируемая таким образом, является приб­ метод сличения эталонов при помощи перево­
лиженной, ее отклонение не превышает зимых квантовых (водородных) часов.
± 20 • 10"^ с. Это позволяет использовать шкалу
ИТСр в оперативной работе ГЭВЧ без введе­
ния дополнительных поправок. По шкале
и г е ведутся все передачи сигналов точного 1.8.3. МЕТОДЫ И ПРИБОРЫ
времени и образцовых частот через спехщаль- ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ВРЕМЕНИ
ные радиостанции, центральное телевидение и
другие каналы связи. Типичные временные величины - период
Система внутренних сличений состоит из вращения или продолжительность оборота,
аппаратуры управления и предварительного длительность периода или длительность коле­
анализа результатов измерений, аппаратуры бания, период полураспада (радиоактивного
измерения интервалов времени 8 и аппаратуры вещества), длительность импульса, постоянная
измерения разности частот 9. Разрешающая времени, время успокоения, время нарастания
способность измерения интервалов времени (фронт импульса), время включения, время
10"^ и разности частот 1 • 10"^^ за 1 000 с и накопления, время выключения. В импульс­
2 • 10"1^ за сутки. Измерительный комплекс 6 ной технике используют понятие - длитель­
позволяет проводить абсолютные измерения ность переднего фронта импульса, время спада
частот до 10^3 Гц с погрешностью, меньшей импульса, время разрешения, собственное
1 • 10"^2^ и до 0,8 • 101^ Гц с погрешностью (мертвое) время счетчика.
меньше 1,5 • Ю'^^. Метены измерения времени - совокупность
Система внешних сличений обеспечивает приемов использования принципов хрономет­
передачу размеров единиц и шкалы времени рии, мер времени и других хронометрических
ТЭВЧ вторичным и рабочим эталонами внутри средств.
страны и позволяет сравнивать шкалу времени Мера времени - это средство измерения
ИТС со шкалами времени нахщональных эта­ времени, предназначенное для воспроизведе­
лонов других стран. В состав этой подсистемы ния интервалов времени заданной длитель­
входят: приемно-регистрирующий комплекс 9 ности или заданных моментов времени. Дли­
для сличения частот, передаваемых по назем­ тельность интервала или дата момента, вос­
ным каналам телевидения с погрешностью производимого мерой времени, называется
(0,2 + 1) 10"^ с на 1 000 км длины линии пере­ значением меры времени. Меры времени могут
дачи, комплекс аппаратуры 10 для сличения быть однозначными и многозначными, то-есть
шкал времени через метеорные следы. По­ воспроизводящими ряд интервалов времени
грешность сличения составляет 50 • 10"^ с. различной длительности или моментов време­
Комплекс аппаратуры 11 предназначен для ни различных дат.
80 1,8. ИЗМЕРЕНИЕ ВРЕМЕНИ

При контроле или диагностике исполь­ вающихся интервалов, а в первом требуются,


зуются одно1фатные или многократные мо­ кроме этого, многоканальные средства изме­
менты времени. Первые соответствуют непо­ рения их продолжительности.
вторяющимся событиям, вторые - потоку со­ Приборы и устройства времени по функ­
бытий. Соответственно первые характеризуют­ циональным свойствам разделяются на сле­
ся одной датой этого момента на принятой дующие группы:
шкале времени, вторые - набором дат момен­ 1) измерители текущего времени, пока­
тов или датой одного из моментов и набором зывающие текущее время в часах, минутах и
длительностей интервалов между ними. Мно- секундах;
го1фатные моменты могут быть периодиче­ 2) измерители интервалов времени - се­
скими, то-есть следовать через равные интер­ кундомеры, реле времени и т.д.;
валы времени, или апериодическими. В по­ 3) измерители физических характеристик
следнем случае описание набора моментов (временных величин) - тахометры, счетчики
должно быть статистическим. оборотов и др.;
При использовании измерения интерва­ 4) программно-временные задатчики ин­
лов времени последние также могут быть од­ тервалов времени (таймеры);
нократными и много1фатными. В первом слу­ 5) датчики равномерной скорости
чае для описания используются длительность (стабилизаторы частоты вращения двигателей,
интервала и дата некоторого его характерного часовые механизмы самопишущих приборов и
момента. При измерениях много]фатных ин­
тервалов времени они могут быть перекры­ Др.).
вающимися или неперекрывающимися. Во Классификация приборов для измерения
втором случае должны определяться статисти­ времени по принципу действия показана на
ческие характеристики потока неперекры­ рис. 1.8.2.

Приборы

Механические Электрические
I

С собственной С собственной С автономной


мерой времени мерой времени мерой времени

Маятни­ Часы с С механичес­ С электричес­ С атомной С электрической


ковые подводом кой мерой кой мерой мерой мерой
часы I
Электричес­ Кварцевые Атомные Часы с синхрон­
кие часы часы часы ным двигателем

Рис 1.8.2. Клжсснфнкшци приборов для измерения


Меры времени
X
С колебательной Без колебательной
системой системы
П I X
Механические Электрические Атомные Механические Электрические! Атомные
т X X X
"Иаятниковая Колебательный, [Молекулярная Преобразова- Преобр;)азова- д:
Рреобразова-
колебательная контур [колебательная тели массы тели заряда тели излу­
система система чения
т
вращающаяся
X
Генератор ре­
I
Атомная
колебательная лаксационных колебательная
колебаний
i
Камертонная Кварцевый
колебательная осциллятор

Рис. 1.8J. Класснфякащи мер времени


Механические Электрические Атомные

Маятниковая Вращающая Камертонная Колебательный Генератор Кварцевый Молекулярная Атомная


колебательная колебательная колебательная контур релаксащюнного осщшлягор колебательная колебательная
система система система колебания система (аммоний) система

h г

•ф" W

G' лампа Q - кварцевый Н - атом водо­ W- энергия;


А - ось маят­ 1 - вращающееся С - камертон; тлеющего осциллятор рода; / - участок пере­
ника; кольцо; Л - соленоид; разряда; JVj - первое хода
5 - центр 2 - спиральная 6^ - релаксаци­ положение
пружина; К - храповое
тяжести; кольцо онное на­ атома азота;
3 - винт для пряжение N2 - второе
Ф - угол от­ уравновеши­ положение
клонения вания; атома азота
4 - ось
подшипника

Рис. 1.8.4. Меры времеяи с колебательной сшстемой


82 1,8. ИЗМЕРЕНИЕ ВРЕМЕНИ

Классификация мер времени представле­ его собственных колебаний с частотой поля.


на на рис. 1.8.3. Как правило, в мерах исполь­ Амплитуда собственных колебаний зависит от
зуются два основных принципа измерения структуры 1фисталла, его размеров и темпера­
времени - принцип периодической хронометриитуры.
и принцип апериодической хронометрии. Наи­ В схеме кварцевого генератора резонанс­
более распространенные периодические про­ ный LC - контур используется в качестве сла­
цессы, используемые для измерения времени бо демпфированного вибратора. Кварцевый
и построения мер времени - механическое генератор Q является высокоустойчивым резо­
вращательное движение или колебательные нансным контуром, напряжение которого уси­
процессы в механических, электромеханиче­ ливается и используется для возбуждения ре­
ских или квантовых системах. зонансного LC - контура. Частота возбужден­
Принцип апериодической хронометрии ных колебаний понижается, декодируется и
заключается в использовании в качестве зна­ используется для формирования показаний
чений меры времени длительности интервалов, цифрового поля.
разделяющих определенные маркерные со­ В атомных колебательных системах при
стояния апериодического монотонного про­ переходе от возбужденного к нормальному
цесса. Частным случаем является равномерный состоянию атом излучает с характеристической
процесс, например равномерное механическое высокостабильной частотой. Молекулярная
движение или линейно изменяющееся элек­ колебательная система содержит, например,
трическое напряжение. молекулы аммиака NH3, имеющие пирами­
Механические колебания в приборах дальную структуру. Атом азота колеблется
времени реализуются с помощью систем с между двумя состояниями с высокостабильной
накопителями энергии (маятник, пружина), частотой (23 870 Гц).
имеющими положение равновесия, при от­ Апериодические меры времени, не со­
клонении от которого возникают силы, воз­ держащие колебательной системы, Moiyr ис­
вращающие их в это положение. пользовать расход массы (объема). Расход вы­
В приборах времени с камертонной ко­ текающей или высыпающейся массы зависит
лебательной системой (рис. 1.8.4) движение от диаметра выходного отверстия и давления у
камертона 3 индукгивно воспринимается со­ выхода. При использовании в качестве время-
леноидом Ау сигнал которого усиливается и
задающего фактора процесса горения длитель­
накладывается на запирающий LC - контур,
катушка которого снова возбуждает синфазные ность его зависит от химического состава сго­
механические колебания камертона, которые раемого вещества, строения горелки, подвода
механически преобразовываются с помощью кислорода.
собачки в дис1фетное вращение храпового Электрические апериодические меры
колеса К. времени используют экспоненциальный заряд
(разряд) конденсатора, атомные апериодиче­
Электрические колебательные системы ские меры времени используют радиоактивные
этих приборов используют колебательный процессы распада. Например, изотоп углерода
LC - контур, в котором возбуждаются элек­ Ci4 имеет период полураспада 5 760 лет.
трические колебания. Приборы измерения времени можно
В кварцевых генераторах при механи­ свести к схеме рис. 1.8.5. Основные элемен­
ческой деформации кристаллов кварца или ты - источник энергии, колебательная система
турмалина возникают электрические заряды и, (осциллятор), счетчик, выходное устройство
наоборот, под действием электрического поля (иногда с предварительным кодированием).
происходит их механическая деформация. Имеются еще органы управления подачей пи­
Если прикладываемое элекгрическое поле тания и передачей колебаний от осциллятора и
периодическое, 1фисталл колеблется с частотой счетчика.
возбуждау)щего поля при совпадении частоты

Источник Ключ Осциллятор ; ЬСлюч Счетчик Декодировщик


энергии

тг
' i
^
1 t
Пуск Стоп Нуль Выдача
Пуск Стоп
показаний

Рис. 1.8.5. Блок-схемж прибора язмерення кременн


МЕТОДЫ И ПРИБОРЫ ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ВРЕМЕНИ S3

Таким образом, как правило, процедура 0,1 с, пуск может производиться вручную; при
измерения времени сводится к счету строго более высокой разрешающей способности - с
периодической последовательности импульсов, помощью магнитных пускателей. В электрон­
формируемых с помощью колебаний осцилля­ ных приборах измерения времени использует­
тора. При этом возможно управление колеба­ ся высокоточный кварцевый осциллятор с
ний подачей энергии; в устройствах же, назы­ частотой 10 МГц и электронные вентильные
ваемых хронографами, осциллятор колеблется схемы управления. Эти приборы параду с из­
все время, а подключаются к работе только мерением промежутков времени позволяют
счетчик и выходное устройство. В приборах, осуществлять измерение частоты, периода и
разрешающая способность которых не вьппе других производственных величин.

ХС

ПО в и д у ВЫПОЛНЯЕМЫХ ФУНКЦИЙ

ИНФОРМАЦИОННО- ИНФОРМАЦИОННО- КОМПЛЕКСНЫЕ


РАСПРЕДЕЛИТЕЛЬНЫЕ ИЗМЕРИТЕЛЬНЫЕ

ПО УРОВНЮ АВТОМАТИЗАЦИИ

НЕАВТОМАТИЗИ­ АВТОМАТИЗИРО­ АВТОМАТИ­ АДАПТИРУЮ­


РОВАННЫЕ ВАННЫЕ ЧЕСКОЕ ЩИЕСЯ

ПО ИНФОРМАЦИОННОЙ ЕМКОСТИ
JC
1 МАЛЫЕ СРЕДНИЕ БОЛЬШИЕ

ПО РАНГУ ОБСЛУЖИВАЕМЫХ СИСТЕМ


1
ОТДЕЛЬНЫХ ОТРАСЛЕВЫЕ ГОСУДАРСТВЕН­ МЕЖДУНАРОДНЫЕ
ОБЪЕКТОВ (ВЕДОМСТВЕН-1 НЫЕ
НЫЕ)

ПО ТИПУ ОБСЛУЖИВАЕМЫХ ОБЪЕКТОВ


JL: 3-
ЛИНЕЙНЫЕ ПЛОСКОСТНЫЕ ПРОСТРАНСТВЕННЫЕ

ПО УРОВНЮ ОРГАНИЗАЦИИ СТРУКТУРЫ


X 3-
л
ДЕЦЕНТРАЛИ­ МОНОЦЕНТРАЛЬ­ ПОЛИЦЕНТ­ ЦЕНТРАЛЬНЫЕ
ЗОВАННЫЕ НЫЕ РАЛЬНЫЕ

ПО ВИДУ СРЕДСТВ ПЕРЕДАЧИ ИНФОРМАЦИИ


д: л:
С ТРАНСПОРТИРОВА­ с КАНАЛАМИ с КОМБИНИРОВАННОЙ
НИЕМ ИНФОРМАЦИИ СВЯЗИ ПЕРЕДАЧЕЙ

Рис. 1.8.6. Кляссифнкшщя хрономегрпеспх свстсм (ХС)


84 1.9. ИЗМЕРЕНИЕ ТЕМПЕРАТУРЫ

Широко используемая группа приборов ние комплексных ХС определяется ИИ ХС, а


времени .- программно-временные задатчики, единство измерений обеспечивается ИР ХС.
то есть приборы на базе часов, воспроизводя­ Точность приборов измерения времени
щие требуемую временную программу управ­ характеризуется тремя параметрами:
ления. Программно-временные задатчики 1) установка - отклонение фактической
включают хронизаторы (тактовые генераторы, индикации от времени ИТС;
синхронизаторы, задатчики меток времени и 2) ход - постоянное во времени отклоне­
т.д.), временные приводы (задатчики равно­ ние частоты колебаний осциллятора от номи­
мерного движения, часового угла и т.д.), реле нального значения (единица измерения -
времени (таймеры, устройства задержки и др.), с/сут);
программные реле времени (программаторы, 3) вариация хода - изменение частоты
программные часы и др.), временные коман- собственных колебаний осциллятора во време­
доаппараты (задатчики аналоговых программ, ни под влиянием факторов окружающей среды
программно-временные контроллеры и др.). (положение в пространстве, температура, виб­
Их применяют для управления типовыми тех­ рации и пр.) или внутренних изменений
нологическими процессами, промышленным (износ, разрядка источников питания, питание
оборудованием, научными приборами, навига­ пьезоалемента и пр.) (Единица измерения -
ционной аппаратурой и т.д. с/сут^).
Автоматическая система временного Для различных типов приборов вариации
программного управления состоит из объекта хода приведены в табл. 1.8.1.
управления и системы, управляющей объектом
по требуемой временной программе. Эта сис­ 1.8.1. Вариации хода
тема содержит задатчик временной программы
управления в виде программного сигнала для Тип осциллятора Величина погрешности,
обеспечения требуемой программы поведения с/суг2
объекта управления, например обеспечения
требуемого закона изменения обобщенных Камертон 10-5
координат объекта управления.
Наиболее сложные и мощные по функ­ Кварцевый 10-5 _ 10-10
циональным возможностям комплексные пьезоэлемент
средства измерения времени - хронометричес­ Цезий, рубидий 10-10 - 10-11
кие системы (ХС). ХС - совокупность мер
времени, хронометрических приборов и пре­ Водород, аммиак 10-12
образователей и вспомогательных устройств,
соединенных между собой каналами связи. ХС
предназначены для вьфаботки хронометричес­ Глава 1.9
кой информации, удобной для автоматической
обработки, передачи и использования в авто­ ИЗМЕРЕНИЕ ТЕМПЕРАТУРЫ
матических системах управления. Хрономет­
рическая информация - многообразие сведе­ 1.9.1. ОБЩИЕ СВЕДЕНИЯ
ний о количественных характеристиках мо­
ментов и интервалов времени. Классификация Температура - физическая величина, оп­
хронометрических систем представлена на рис. ределяемая как параметр состояния термоди­
1.8.6. намического равновесия макроскопических
систем. В соответствии со вторым началом
По характеру выполняемых функций термодинамики температура определяется как
различают информационно-распределительное производная от энергии гела по его энтропии.
(ИР) и информационно-измерительные (ИИ) Термодинамическая/ температура всегда поло­
ХС. ИР ХС - системы распределения хроно­ жительна и измеряется с помощью термоди­
метрической информации с целью обеспече­ намической шкалы (ТШ), единицей которой
ния ее единства и унификации на обслужива­ служит Кельвин (К).
емых объектах. Наиболее распространенный С общепринятой шкалой Цельсия ТШ
тип ИР ХС - системы единого времени. связана соотношением
ИИ ХС - системы получения, сбора и / = Г-273,15 К,
обработки хронометрической информации с
целью нахождения количественных временных где Т - термодинамическая температура. Еди­
характеристик объектов измерения. Информа­ ница температурного интервала - Кельвин с
ция систематизируется, анализируется и пред­ высокой точностью совпадает с градусом
ставляется на табло и других средствах в виде Цельсия (О С).
таблиц, графиков и т.д. Температура - величина экстенсивная, то
Комплексные системы представляют со­ есть измеряемая косвенным образом за счет
бой комбинацию ИР ХС и ИИ ХС. Назначе­ преобразования ее в какую-либо интенсивную
МЕТОДЫ ИЗМЕРЕНИЯ ТЕМПЕРАТУРЫ 85

(непосредственно измеряемую) величину, на­ их излучений, эквивалентной мощностью аб­


пример электрический ток, давление газа, солютно черного тела (АЧТ) или идеального
тепловое расширение тел и т. д. на основе излучателя при соответствующей температуре.
использования соответствующих термометри­
ческих свойств тел.
При построении практических темпера­ 1.9.2. МЕТОДЫ
ИЗМЕРЕНИЯ ТЕМПЕРАТУРЫ
турных шкал, то есть конкретных зависимос­
тей между температурой и реальньш[ термо­ Методы принято делить на две большие
метрическим свойством, приписывают значе­ группы - контактные и бесконтактные, кото­
ния температур /j и /2 двум фиксированным рые, в свою очередь, подразделяются по физи­
ческим эффектам, положенным в основу
точкам Х\ и JC2, соответствующим основному принципа их действия.
интервалу шкалы. Если принять /j = О, то
уравнение шкалы, при линейной зависимости 1.9.2.1. КОНТАКТНЫЕ МЕТОДЫ
X — x(t) имеет вид Термометры расширения. К этой группе
приборов относятся широко распространенные
t = t2(x- xi) I {Х2 - л<)), жидкостные (ртутные, спиртовые и др.) тер­
мометры, а также биметаллические и дилато­
где t, X - текущие значения температуры и метрические термометры.
термометрического свойства. Действие жидкостных термометров осно­
Таким образом построенные шкалы, в вано на измерении объема жидкости при
отличие от термодинамической, зависят от нагреве и охлаждении. Они состоят из напол­
термометрических свойств тел, но легче реали­ ненного термометрической жидкостью стек­
зуются на практике. лянного резервуара, соединенного с капилляр­
ной трубкой, свободный конец которой запа­
Международная практическая темпера­ ян. Резервуар, капилляр и скрепленная с ними
турная шкала (МПТШ), совпадает с термоди­ шкала заключены в корпус (обычно стеклян­
намической в нескольких реперных точках ный). Диапазон измерение от -80^С до +21^С
(точки фазовых переходов чистых веществ, спиртовых и от -35^С до +760^С для
например, плавления золота, тройной точки ртутных термометров. Верхний предел ог­
воды и т. д.), а в других точках лриближается раничен температурой размягчения стекла,
к ней в пределах точности измерений, воспро­ равной 780^С. Постоянная времени составляет
изводимости приборов и методов вьршсления 1 ч- 10 с.
градуировочной кривой. Единица измерения в Изготовляют также "палочные" жидко­
МПТШ - Кельвин. стные термометры с толстостенными капилля­
рами, на внешней поверхности которых не­
В свою очередь термодинамическая шка­ посредственно нанесена шкала. Длина термо­
ла реализуется с помощью газовых термомет­ метра до 600 мм. Форма корпуса прямая или
ров, основанных на законах идеального газа, изогнутая. Цена деления шкалы обычно 0,1^С,
законах теплового излучения, термошумовых и основная погрешность ±0,2^С (в диапазоне до
магнитных термометров (последние применя­ + \т^С) и до ±5^С (в области до ТЗО^С). Шка­
ют в криогенной области). ла жидкостных ТР - линейная. Для уменьше­
Единство температурных измерений обе­ ния погрешностей капилляры изготовляют из
спечивается Государственным эталоном темпе­ стекол с малым коэффициентом объемного
ратуры (Кельвин) в диапазоне 1,5 - 2800 К. термического расширения.
Путем сравнения с эталоном значения темпе­ Жидкостные термометры расширения
ратур передаются образцовым приборам. По применяют для измерения температур в не­
образцовым приборам калибруются рабочие посредственной близости от объекта. 'Область
их применения - термометрия газов и жидко­
термометры. стей, расплавов и т. п., медицина. Выпускают­
Для сверхвысоких температур в качестве ся жидкостные ТР различных конструкций, в
образцовых иногда используют плазменные том числе с запоминанием минимальной и
источники (например, капилляры из диэлект­ максимальной температур, контактные для
рика в СВЧ-полях), реализующие температуру регулирования технических процессов и т. д.
до 105 к. Градуировка и проверка термометров
Для Т > 10^ К (ядерные реакции, лазер­ расширения всех типов производится с помо­
щью термостатов.
ное излучение) образцовые источники нахо­
Дилатометрические термометры (ДЛТ)
дятся в стадии разработки. основаны на относительном удлинении при
Температуру разреженных газов (и ваку­ нагреве (охлаждении) двух тел (обычно метал­
ума) оценивают мощностью пронизывающих лических) с различными температурными ко-
86 1.9. ИЗМЕРЕНИЕ ТЕМПЕРАТУРЫ

эффициентами линейного расширения зон +600 ч- 2000^С (в зависимости от типа


(ТКЛР). ДЛТ бывают стержневого и пластин­ материала), чувствительность порядка 1 ^ З^С.
чатого типов. Стержневые ДЛТ представляют Манометрическая термометрия. Принцип
собой металлическую трубку с закрытым дном, действия манометрических термометров (МТ)
в которую вставлен стержень из материала с основан на зависимости давления жидкости,
малым КЛР (кварц, фарфор). КЛР стержня газа или пара с жидкостью в замкнутой систе­
значительно меньше КЛР трубки, поэтому при ме постоянного объема от температуры. Эти
ее нагреве стержень перемещается и приводит приборы могут быть показывающими или
в движение измерительный орган прибора регистрирующими. МТ состоят из термобал­
(стрелка и т.п. указатель). лона, трубчатой пружины и соединительной
ДЛТ для пластинчатого типа состоит из капиллярной трубки, вьшолняемой обычно из
двух изогнутых и спаяннык между собой по металла и имеющей длину до 60 м.
краям металлических полосок с различными Эти приборы особенно эффективны при
КЛР. Изменение степени изгиба пластинки контроле температуры в сложных условиях, в
при нагреве (охлаждении) передается (обычно агрессивных средах, взрывоопасных помеще­
механически) указателю прибора. ниях. При повышении давления в термочув­
Зависимость длины металлических тел в ствительном элементе трубчатая пружина при­
ДЛТ от температуры имеет вид водит во вращение связанный с ней указатель.
Жидкостные МТ на основе ксилола, рту­
/, = /о (1 + РО, ти, спирта имеют диапазон измерения от -60
где /о - длина тела при / = О^С, Р - ТКЛР, т.е. до +300^С, их шкала - равномерная, класс
шкала ДЛТ линейки. точности 1 -5- 1,5. Газовые МТ (азотные, гелие­
Основная область применения ДЛТ - вые) работают в диапазоне -100 -ь +600^С. Их
шкала также равномерная, так как изменение
датчики в системах автоматического регулиро­ давления в термосистеме пропорционально
вания, сигнализации и т.д. Диапазон рабочих изменению температур и описывается уравне­
температур от -30 до +1000®С. Погрешность нием
порядка 1 ч- 3 %. ДЛТ особенно часто приме­
няют для контроля температур газов и жидко­
стей, особенно в тяжелых условиях (в стволах Р\- Р2 = ^P\{h - h),
скважин и т.д.). где />1, />2, /i и /2 - начальные и конечные
В деформационных термометрах (ДТ) чув­ давления и температуры газа; а - температур­
ствительным элементом служит биметалличес­ ный коэффициент объемного расширения
кая пластинка, выполненная, например, из газа, а . = 0,00366 К"! = 1/273 К'К
инвара и стали. Если один конец пластинки В конденсационных (парогазовых) МТ
закрепить, то перемещение Ajc свободного термодатчик частично заполнен низкокипящей
конца при нагреве на величину А/ будет жидкостью (ацетон, фреон, хлористый метил).
Ах =^AAt, Пары жидкости, давление которых изменяется
с температурой, вызывают перемещение инди­
где А - коэффициент пропорциональности. катора прибора. Область измеряемых темпера­
Таким образом, шкала этих приборов - тур от -180^С до +300^С. Их отличительная
равномерная. особенность - неравномерная шкала.
Биметаллические термометры использу­ Инерционность МТ порядка 5 - 15 с.
ются в термографах для записи временного Разновидностью МТ являются адсорбци­
хода температуры, ряде других приборов для онные датчики, основанные на способности
автоматической регистрации температуры, некоторых веществ концентрировать на своей
регулирования производственных процессов и поверхности другие вещества, например жид­
т.д. Диапазон измерения обычно от -35^С до кости или газы. Интенсивность этого процесса
+45^С для пары инвар - сталь. Отличительная зависит от температуры, что и позволяет ис­
особенность ДТ - стабильность показаний. пользовать его в термометрии.
Погрешность измерений порядка 0,5^С. Термометрия на основе датчиков темпера­
Пироскопы (конусы Зеггера) - разновид­ туры с твердым наполнителем. Принцип дей­
ность термометров расширения, принцип дей­ ствия этих датчиков, представляющих собой
ствия которых основан на изменении формы капсулы, заполненные твердым кристалличес­
конусов из специальных материалов (обьино ким веществом, основан на изменении объема
керамики) при достижении температуры раз­ наполнителя при изменении агрегатного со­
мягчения (плавления). Применяется в сте­ стояния (плавлении, кристаллизации) при
кольной, керамической, некоторых других нагреве или охлаждении. Используя смесь
областях индустрии в качестве термочувстви­ различных веществ, можно добиться опреде­
тельных индикаторов. Температурный диапа­ ленного диапазона температур плавления, то
МЕТОДЫ ИЗМЕРЕНИЯ ТЕМПЕРАТУРЫ 87

есть реализовать датчики как релейного, так и благородных металлов и сплавов. Наибольшее
измерительного типов. распространение получили термопары из пла­
В качестве термоактивных веществ перс­ тины, платинородия, хромеля, алюмеля, копе-
пективны такие легкоплавкие кристаллические ля, а также железа, меди и константана.
вещества, как дифенил, бромоформ, смесь Серийно вьшускаются термопары плати-
воска с порошком меди, синтетические цери- нородиевые платиновые (ТПП), платинороди-
зины, а также некоторые сорта резин. Основ­ евые (ТПР), хромель-копелевые (ТХК), хро-
ная область применения подобных датчиков - мель-алюмелевые (ТХА), вольфрам-рениевые
системы регулирования теплового режима (ТВР).
охлаждающих жидкостей и масла в двигателях Широкое применение термопар (ТП)
внутреннего сгорания (ДВС), а также системы обусловило разнообразие их конструкций. По
отопления, устройства тепло- и холодоснабже- способу контакта со средой, различают погру­
ния и т.п. жаемые и поверхностные ТП; по условиям
Конструктивно датчики выполняют двух эксплуатации - стационарные, переносные,
типов - мембранные и поршневые. В первых разовые и многократного применения; в за­
изменение объема наполнителя приводит к щищенных от коррозии и агрессивных сред
перемещению штока, обусловленного дефор­ корпусах и т.п.
мацией мембраны капсулы. В поршневых дат­ Инерционность термопар составляет от
чиках шток при плавлении наполнителя вы­ 10 до 60 с, диапазон измеряемых температур
давливается непосредственно из упругого раз­ от -2000С до +2500^С. Погрешность 1 ч- 2 %.
делителя типа резиновой втулки с глухим Статическая характеристика термопар
дном. практически линейна, а их параметры норми­
Температурный диапазон достаточно рованы для ряда стандартных материалов. Ди­
узок - обычно от +20^0 до +80<>С ч- ЮО^С. аметр зондов термопар от 0,5 мм до 12 мм и
Инерционность порядка 30 с. Зона пропорхщ- более (в защитном чехле). Длина соединитель­
ональности порядка 10 ч- 15^С, чувствитель­ ных проводов до 50 м и более. Вьшускаются
ность порядка 1®С. системы многоточечного контроля на 100 и
К достоинствам данных датчиков можно более термопар. Для работы в условиях атом­
отнести значительные усилия перемещения (до ных электростанций применят термопары из
2 кН), большая амплитуда перемещений (до радиационно-стойких материалов. Для темпе­
25 мм) при малом количестве наполнителя, ратур свьппе +2500^С применяют термопары
повьпиенная устойчивость к ударам, вибрации, из карбидов металлов (гафния, ниобия, тита­
тряске, коррозии, простота конструкции, ма­ на, циркония), на основе углеродистых и гра­
лые габариты и масса, устойчивость к влия­ фитовых волокон.
нию среды, долговременная стабильность (до Термопары являются датчиками активно­
70 • 10^ циклов срабатывания). го типа (генераторами тока).
Методы электротермометрии. Эти методы Для регистрации сигналов термопар ис­
подразделяют на термоэлектрические, термо- пользуют милливольтметры магнитоэлектри­
резистивные, термотранзисторные, термошу­ ческой системы, автоматические электронные
мовые, частотные. потенциометры, цифровые измерительные
Действие термоэлектрических термоиар- устройства, в том числе с микропроцессорной
ных датчиков основано на эффекте Зеебека, обработкой сигналов.
заключающегося в том, что в замкнутой цепи, Градуировку термопар, их поверку про­
составленной из разнородных проводников изводят с помощью водяных и масляных тер­
(или полупроводников), возникает электри­ мостатов (при / <, +300^С), образцовых плати­
ческий ток, если температура мест соединения новых термопреобразователей.
их различна. Величина соответствующей термо
ЭДС зависит от типа металла, является линей­ Действие терморезистивных преобразова­
ной функцией температуры спаев и определя­ телей (ТР) основано на свойстве металлов из­
ется выражением менять электрическое сопротивление при из­
менении температуры. ТР применяют в комп­
Е = a(ti - Г2), лекте со вторичными электроизмерительными
приборами (логометры, мостовые схемы). В
где а - коэффициент пропорциональности, металлических ТР зависимость сопротивления
индивидуальный для каждой пары металла; /^ от температуры близка к линейной и может
и ^2 - температуры спаев. бьпъ описана формулой
Температуру одного из спаев (свобод­
ного) поддерживают постоянной (обычно при Rt = Ro(l-h at),
О^С) для получения однозначности и стабиль­
ности работы термометра. где Rf и BQ - сопротивления при текущей и
По материалу термоэлектродов термопа­ начальной температурах; / - температура; а -
ры делят на две группы - из неблагородных и температурный коэффициент сопротивления
88 1.9. ИЗМЕРЕНИЕ ТЕМПЕРАТУРЫ

резистора (а « 10" ^ град'^ для чистых металлов основе транзисторов, термометрической харак­
и а « 0,03 град"^ для полупроводниковых ТР). теристикой которых служит обычно напряже­
Лучшим материалом для ТР является ние эмитгер - база. ТТЛ применяют в диапа­
платина (BQ f^ 10 ^ 1000 Ом при О^С). Порог зоне от -70 до +200^С. Для 1111 характерна
чувствительности миниатюрных ТР, изготов­ стабильность и линейность характеристик пре­
ленных методом вжигания тонких пленок пла­ образования, высокая чувствительность, малые
тины на керамическое основание толщиной габариты и масса, экономичность. Приборы с
ТТЛ содержат мостовую измерительную схему,
1 - 2 мм при ширине пленки 0,1 мм, дгшне 5 одним из плеч которой является переход
мм и сопротивлении 300 Ом, составляет 10"^ эмиттер - база транзистора, на коллектор ко­
К/Ом. торого подается запирающее напряжение.
Статические характеристики металличес­ Дискретность отсчета для 1111 составляет от
ких ТР линейны в широком диапазоне темпе­ 0,05^С до 1^С, погрешность порядка 0,1^С.
ратур, а для полупроводников описываются Частотные методы электротермометрии
формулой основаны на зависимости резонансной частоты
R=A схр(а/Т), колебаний электрического или механического
колебательного контура от температуры.
где А и а - постоянные данного полупровод­ Метод автогенератора. В качестве тер­
никового ТР (называемого обычно термисто- модатчика (ТД) используется при этом термо­
рами). резистор, сопротивление которого изменяется
Обычно для термисторов а < О, но суще­ при нагреве по линейному закону,
ствуют и ТР (позисторы) со статической ха­
рактеристикой, которая имеет две ветви с
а> О и а < 0. где RQ - сопротивление при начальной (на­
Линеаризация характеристик термисто­ пример, нулевой) температуре; Т - текущая
ров и позисторов осуществляется аналоговыми температура; а - температурный коэффициент
или цифровыми средствами. сопротивления.
Шумовая термометрия. Тепловое хаоти­ ТД включают в схему генератора в каче­
ческое движение носителей зарядов в провод­ стве задающего частоту звена, причем подбо­
никах приводит к тому, что на концах про­ ром корректирующих элементов. Можно обес­
водника возникают случайные напряжения. печить зависимость частоты от температуры.
Амплитуды этих напряжений подчиняются Диапазон измеряемых температур и быстро­
закону распределения Гаусса (нормальный действие определяется типом терморезистора.
закон), математическое ожидание которого Кварцевые термометры. (КТ). Темпера­
равно нулю, а дисперсия зависит от темпера­ турные зависимости собственной резонансной
туры проводника. Среднеквадратичное значе­ частоты кварцевых пьезоэлементов в сильной
ние напряжения шума определяегся формулой степени зависит от ориентации пластинки
Найквиста: кварца относительно ее кристаллографических
U^ = 4KRTAf, осей. Для термометра применяют элемент с
такими срезами, чтобы температурный коэф-
где К - постоянная Больцмана; R - электри­ фихщент частоты (ТКЧ) был максимален. Та­
ческое сопротивление проводника; Т - термо­ кие датчики можно включить в схему высоко­
динамическая температура; А / - диапазон частотного (или релаксационного) генератора,
частоту которого можно измерить непосред­
частот, в котором производятся измерения. ственно частотомером. Лучшие результаты дает
Среднеквадратичное значение напряже­ схема, в которой частота датчика сравнивается
ния теплового шума проводника линейно свя­ с частотой опорного пьезоэлемента, вырезан­
зано с его термодинамической температурой. ного из кварца с ориентацией среза, при кото­
Таким образом, измерив среднеквадратичное рой ТКЧ минимален. Разностнйя частота явля­
значение шума, можно определить температу­ ется линейной функцией температуры.
ру проводника, то есть использовать его в
качестве термометра. С помощью термомет­ Типичные характеристики КТ: рабо­
ров, построенных по этому принципу, можно чая частота 5 - 3 0 МГц, чувствительность до
измерять температуру в широком диапазоне со (10'^ ) *^С, крутизна преобразования порядка
средним квадратическим отклонением до со­ 1000 кГц/^С, постоянная времени 5 - 10 с,
тых долей Кельвина. достижимый диапазон температур -100 -
Метод нашел применение в основном в +500^С, воспроизводимость шкалы не хуже
атомной энергетике и при точных физических 0,0 P C после циклических измерений темпера­
измерениях, в частности для реализации туры, нелинейность преобразования не пре­
МПТШ-бВ в области криогенных температур. вышает 0,1 % в рабочем диапазоне температур.
Термотрянзисторными термопреобразова­ Пьезоэлемент обычно подвешивается на
телями (1111) принято называть датчики на тонких проволоках в колбе с гелием, разме-
МЕТОДЫ ИЗМЕРЕНИЯ ТЕМПЕРАТУРЫ 89

щеннои в корпусе из стали, или размещает­ редачи сигнала - волоконный оптический све­
ся в медном цилиндрическом корпусе, так­ товод диаметром 0,4 - 1,0 мм.
же располагаемом в стальной трубке диамет­ В ряде случаев используются термоопти­
ром 5 - 1 0 мм. ческие эффекты в самих волноводах (изме­
Некоторым недостатком КТ является не­ нение плоскости поляризации, вращения мо-
обходимость очень точной ориентации плас­ довой структуры, модуляции затухания), одна­
тинки (порядка 5') относительно оптимальной ко такие датчики обладают невысокой локаль­
конфигурации, что технологически очень ностью измерения.
сложно. Однако, учитывая высокие метроло­ Для измерения температуры жидких ме­
гические характеристики, они очень перспек­ таллов при помощи световода, погруженного
тивны. непосредственно в расплав и выводящего его
Световодные термодатчики применяют, тепловое излучение в безопасную зону, при­
когда требуется полная изоляхщя от электри­ меняют иммерсионные пирометры. Для этого
ческих и магнитных полей и повышенная по­ применяют световоды без оболочки, изготов­
мехоустойчивость. ляемые из плавленного кварца или сапфира
Датчик в этих приборах расположен на (окиси алюминия). Температура расплава мо­
конце волоконного световода, с помощью жет достигать 2000^С.
которого информация о температуре передает­ Использование инфракрасных световодов
ся на оптоэлектронное устройство с цифровым из халькогенидных и фторидных стекол, про­
дисплеем или выходом на самописец. зрачных в области 2 - 1 4 мкм, позволяет осу­
Многим видам материалов при измене­ ществлять волоконно-оптические пирометры
нии температуры свойственно изменение ко­ для измерения температур слабонагретых
личества отраженного или пропущенного све­ объектов. (20 - 200^С). Для них характерны
та, эмиссионной способности (люминес­ высокая светосила (апертура 0,6 - 0,9), хоро­
ценции) и поляризация. шее светопропускание, термостойкость до
Среди используемых материалов ~ жид­ + 1200С.
кие холестерические кристаллы, которым Термоивдикаторы. Действие термоинди­
свойственно изменение отражательной спо­ каторов основано на изменении состояния,
собности определенной длине волны. яркости и цвета свечения некоторых веществ
Другим видом оптических материалов при нагреве. С его помощью можно быстро и
являются кристаллы двойного лучепреломле­ экономично получить информацию о тепло­
ния, имеющие различные показатели прелом­ вом режиме объекта.
ления для ортогонально-поляризованных Преимуществом термоиндикаторов явля­
волн, а показатель преломления, как известно, ется запоминание распределения температур в
зависит от температуры. У некоторых веществ, процессе испытаний, простота и наглядность,
например у танталата лития, изменение темпе­ экономичность.
ратуры вызывает значительное изменение ве­ К недостаткам термоиндикаторов следует
личины показателя преломления. Измеряемая отнести инерционность, сравнительно невысо­
температура 18 ... 49^С, чувствительность кую точность, необходимость нанесения на
О, PC, диаметр датчика 0,5 - 1,0 мм. изделие специальных покрытий, сложность
Действие абсорбционных оптических изучения динамических температурных ре­
датчиков основано на функциональной зави­ жимов. Включение их в системы терморегули­
симости поглощенного пучка света от темпе­ рования представляет значительные трудности.
ратуры. Это свойственно полупроводниковьп^ Существуют обратимые, многократно
материалам, в частности арсениду галлия. Дат­ меняющие цвет при нагреве, и необратимые
чик на основе арсенида галлия имеет форму термоиндикаторы.
призмы небольших размеров. На входе и вы­ Термоиндикаторы обоих типов исполь­
ходе датчика расположено по одному или по зуют для контроля температурных полей, оп­
два оптических световода, обеспечивающих ределения горячих точек на обшивке самоле­
минимальные потери в диапазоне длин волн, тов при их испытаниях, в аэродинамических
соответствующем спектру поглощения крис­ трубах и т.п.
талла. Разрешающая способность такого дат­ К обратимым термоиндикаторам отно­
чика 0,2^С в диапазоне температур 33 - 47^С. сятся холестерические жидкие кристаллы. При
Люминофоры с присадками европия изменении их температуры отраженный свет
имеют сильную зависимость яркости люми­ резко изменяет свой спектр.
несценции от температуры. Эти датчики дают Жидкие кристаллы могут наноситься не­
возможность измерять температуру до 320^С посредственно на объект контроля. Однако
(линии спектра - зеленые и красные). Люми- если это позволяет геометрия объекта, удобнее
нофорный датчик на основе эрбия, иттрия использовать капсулированные жидкие крис­
имеет диапазон измерений 9 - 250^С. В каче­ таллы в виде тонких (толщиной 0,01 - 0,05
стве источника излучения может быть исполь­ мм) полимерных пленок, в которых герметич­
зована вольфрамогалогенная лампа, а для пе­ но расположено активное вещество. При этом
90 1.9. ИЗМЕРЕНИЕ ТЕМПЕРАТУРЫ

важно обеспечить хорошее прилегание пленки Поэтому при освещении кюветы с раствором
к объекту. Зазор даже в 0,1 мм может сильно полихроматическим источником ее цвет в
исказить результаты измерения. Устранить проходящем излучении будет изменяться в
влияние воздушного зазора можно, используя зависимости от температуры. Если одну из
специальные нетоксичные, легко удаляемые стенок кюветы вьшолнить зеркальной, эффект
смазки, например, на основе кремниевых со­ наблюдается в отраженном свете.
единений, обладающих высокой теплопровод­ Подбором марок каучуков и стекол до­
ностью, сравнимой с теплопроводностью ме­ биваются создания ИТП, работающих в опре­
ди. Смазки наносятся на объект равномерным деленном диапазоне температур, что повышает
слоем толщиной 0,2 - 0,5 мм, а к ней прикла­ их чувствительность. ИТП могут быть получе­
дывается пленка с жидким кристаллом (ЖК). ны в виде тонких пластин, гибких пленок,
Максимальный размер пленок ЖК порядка паст, замазок.
0,5 X 0,5 м2. Разработаны изооптические термографы
Пленки ЖК обладают анизотропией теп­ с визуализацией изотерм на изображении теп­
лопроводности. Поперечная (в плоскости лового поля ИТП, находящегося в контакте с
пленки) теплопроводность значительно ниже, объектом.
чем продольная (поперек слоя), что обеспечи­ Для автоматизации измерений темпера­
вает возможность длительного наблюдения туры объекта ИТП сопрягаются с телевизион­
тепловых изображений. ными или другими колориметрическими сис­
Жидкие кристаллы могут работать в диа­ темами объективного анализа цвета.
пазоне от +200С до +2000С.
Для достижения максимальной темпера­ 1.9.2.2. МЕТОДЫ ПИРОМЕТРИИ ИЗЛУЧЕНИЯ
турной чувствительности применяют жидкие Законы излучения абсолютно черного те­
кристаллы, работающие в узком температур­ ла (АЧТ) могут применяться с известной по­
ном диапазоне (2 - З^С). Например, жидко­ правкой для большинства реальных тел.
кристаллический термоиндикатор, работаю­
щий в диапазоне 41 - 43^С, имеет чувстви­ Для реальных тел законы излучения АЧТ
тельность 0,5®С. применимы только в первом приближении.
Их излучение может отличаться от излучения
Действие люминофорных термоиндикато­АЧТ при той же температуре как спектраль-
ров основано на температурной зависимости пым составом, так и интенсивностью. Тела,
цвета или интенсивности люминесценции излучение которых имеет тот же спектр, что и
некоторых веществ, например сульфидов цин­ излучение АЧТ при данной температуре, и
ка и кадмия. отличается от него только интенсивностью,
Недостатком люминофорных индикато­ называются серыми.
ров является необходимость точной стабилиза­ Для оценки излучательной способности
ции возбуждающего люминесценцию излуче­
ния (обьмно ультрафиолетового). реальных (серых) тел вводят понятие коэффи­
Люминоформы применяют при исследо­ циента излучения s(A,, 7) < 1,0. Очевидно, что
вании микрообъектов в радиоэлектронике, для АЧТ и серых тел
например при обнаружении дефектов в тран­
зисторах. 8(Х, 7) = а(Х, 7).
Изооптические термографические преоб­ Это выражение может быть получено из
разователи. Действие изооптических термо­ закона Кирхгофа и означает, что коэффициент
графических преобразователей (ИТП) основа­ излучения равен коэффициенту поглощения
но на эффекте Христиансена, то есть спект­ реального тела [а(Х, 7)].
ральном смещении полосы пропускания опти­
чески неоднородной структуры, компоненты Значения 8(Х, 7) и 8(7) зависят от тем­
которой имеют различный характер изменения пературы объекта, его материала и состояния
показателя преломления от температуры. его поверхности.
ИТП представляют собой структуры Источники излучения, спектр которых от­
типа твердого раствора, например мелкодис­ личается от спектра АЧТ при данной темпера­
персный порошок стекла (размер частичек 5 ^ туре, называются селективными.
40 мкм) в кремнийорганическом каучуке. Однозначная связь между мощностью и
Температурная зависимость дисперсионных спектром излучения и температурой тела су­
рефракционных параметров каучука близка к ществует только для АЧТ. Для реальных
линейной в области температур от минус 20 до объектов введены понятия эквивалентных тем­
плюс 1500С. ператур.
Для стекол же характерна слабая зависи­ 1. Радиационной или энергетической
мость показателя преломления от температу­ температурой 7() серого излучателя с истинной
ры. При нагреве раствора длина волны, соот­ температурой 7^, называется такая температура
ветствующая равенству показателей преломле­ АЧТ, при которой его яркость равна яркости
ния среды и наполнителя, плавно изменяется. данного излучателя.
МЕТОДЫ ИЗМЕРЕНИЯ ТЕМПЕРАТУРЫ 91

2. Яркостной температурой серого излу­ Потенциометром меняют яркость лампы


чателя Гд с истинной температурой 7^ назы­ до исчезновения ее изображения на фоне
вают такую температуру АЧТ, при которой его объекта, затем определяют соответствующий
спектральная яркость для некоторой длины этому моменту ток лампы и по градуировоч-
волны X равна спектральной яркости данного ной шкале прибора температуру объекта.
излучателя при той же длине волны. Применяя ]фасный фильтр 7, можно вес­
ти измерения в узком спектральном интервале.
3. Цветовой температурой Тц серого из­ При высоких яркостях объекта вводят
лучателя с истинной температурой 7^ называ­ фильтр 4.
ют такую температуру АЧТ, при которой Недостатком метода является субъектив­
"цвета" их излучений совпадают. ность измерения, преимуществом - простота и
При определении температуры изделий, удобство в работе.
находящихся в непосредственной близости от Яркостные пирометры с электронно-
высоконагретых тел, необходимо учитывать оптическими преобразователями (ЭОП) и спе­
излучение фона, отраженное от объекта конт­ циально передающими телевизионными труб­
роля, поскольку детекторы ИК-излучения, как ками (видиконами) чувствительны в ИК-
правило, регистрируют именно суммарное области спектра и позволяют измерять более
излучение. низкие температуры (200 - бОО^С).
Необходимо учитывать также эффекты
ослабления ИК-излучения в атмосфере или
среде, отделяющих изделие от детектора.
Спектр пропускания ИК-лучей атмосферой
имеет два характерных "окна" прозрачности
(2 - 5 и 8 - 14 мкм).
K<iG3-9---
Закон Бугера описывает поглощение в
среде:
Ф = Фо схр(-к1),
- > • - " -

и
где Ф - поток, прошедший среду толщиной /;
Фо - исходное значение потока; к - натураль­
ный показатель ослабления, учитывающий
поглощение и рассеяние излучения.
Рис. 1.9.2. Схема яркостного пирометра с ЭОП (л) н
телевизионной системой (0):
/ - объект; 2 - объектив; 3 - нить лампы;
4 - оптика переноса изображения; 5 - ЭОП;
6 - окуляр; 7 - ИК-видикон; 8 - телевизор
Действие яркостного пирометра с ЭОП
(рис. 1.9.2) основано на преобразовании ис­
пускаемых объектом и эталонной лампой ИК-
лучей в видимое излучение с помощью ЭОП
или видикона. Яркости визуализированных
изображений объекта и спирали пирометри­
Рис. 1.9л. Схема яркостного пирометра: ческой лампы уравнивают обычным способом.
а, б, в - поле зрения прибора для различных режимов Принцип действия фотоэлектрических
накала нити лампы яркостных пирометров основан на примене­
нии фотопреобразователей для измерения
Яркостные визуальные пирометры (рис. монохроматической яркости объекта или ее
1.9.1) применяют для измерения яркостных сравнения с яркостью эталона. Эти приборы
температур вьппе бОО^С. Принцип их действия позволяют автоматизировать и ускорить про­
основан на зависимости спектральной яркости цесс измерения и исключить субъективные
нагретых тел от температуры, описываемой ошибки измерения. Нижний температурный
законами Планка и Вина. предел пирометров определяется спектральной
Объектив 2 проектирует объект 1 через чувствительностью приемника излучения.
диафрагму 3 и нейтральный фильтр 4 на плос­ Своеобразной модификацией яркостных
кость 5. В этой плоскости находится нить пирометров являются фотографические пиро­
спектральной пирометрической лампы, кото­ метры, фиксирующие изображение объекта и
рая рассматривается через красный фильтр 7 с эталона яркости на фотопленке и осуществля­
помощью окуляра 6. Наблюдатель видит одно­ ющие их фотометрическое сравнение визуаль­
временно изображение лампы и объекта. ным методом или с помощью денситометров.
92 1.9. ИЗМЕРЕНИЕ ТЕМПЕРАТУРЫ

Преимущество этих приборов - возмож­ Для измерения температуры слабонагре­


ность рещстрации температурных полей тых тел применяют объективы из материалов,
объектов большого размера с высокой про­ прозрачных в соответствующей спектральной
странственной и временной разрешающей области. Стекло используют для измерения
способностью. температур от 900®С. Кварц применяют для
Действие цветовых пирометров основано регистрации температур более 400^С. Объекти­
на сравнении интенсивности излучения объек­ вы из фтористого лития или фтористого бария
та в двух спектральных диапазонах. Логарифм позволяют фиксировать температуры в диапа­
их отношения обратно пропорционален цвето­ зоне 20 - 500^С. Часто используют также зер­
вой температуре объекта. Оптическая схема кальную оптику.
цветового пирометра обычно содержит два Существенное влияние на показания ра­
цветных фильтра, через которые с помощью диационного пирометра оказывает состояние
модулятора поток излучения от объекта попе­ поверхности контролируемого объекта, по­
ременно направляется на фотоприемник. скольку оно связано с его йзлучательной спо­
Функциональная схема цветового пирометра собностью.
показана на рис. 1.9.3. Для определения распределения темпера­
туры по поверхности объекта вдоль заданной
линии развертки применяют радиационные
пирометры с оптико-механической системой
линейного сканирования (термопрофили).
Для визуализации тепловых полей при­
меняют тепловизоры.

Ряс. 1.9.3. Схемж цветового пярометра:


1 - объект^ 2 - объектив; 3 - модулятор;
4, 5 - селективные светофильтры; 6 - приемник
излучения; 7- электронная схема; 8 - регистратор

Диапазон измеряемых температур


1000 + 25000с.
Метод цветовой пирометрии может быть
распространен на инфракрасную область спек­
тра при соответствующем подборе приемника
Рис. 1.9.5. Структурная схема тепловизора
излучения и материалов проекционной оптики
и светофильтров. Структурная схема тепловизора (рис.
Нижний предел температурного диа­ 1.9.5) с оптико-механическим сканированием
пазона может быть расширен при этом до включает приемную оптическую систему 7,
20 - 500с. детектор ИК-лучей 2, сканирующую систему
J, обеспечивающую последовательный про­
смотр объекта по заданному закону, усилитель
4, систему развертки и синхронизации 5 и
кинескоп 6.
Принцип дейстЬия тепловизора заключа­
ется в просмотре по заданному закону движе­
ния поверхности объекта узким оптическим
лучом с угловым размером 5, сформирован­
Рис. 1.9.4. Схема радиационного пирометра: ным системой объектив - приемник. Обзор
/ - объект; 2 - объектив; 3 - пр(иемник; 4 - юздикатор происходит в пределах угла поля зрения (углы
Действие радиационных пирометров (рис. а и Р) за время Т, которое принято называть
1.9.4) основано на использовании закона Сте- временем кадра. Угол 5 носит название мгно­
фана-Больцмана, выражающего зависимость венного угла поля зрения.
излучаемой телом энергии от его температуры. Тепловизор позволяет вьщелять на теп­
Приборы этого типа широко ис­ ловом изображении объекта области одинако­
пользуют для измерения низких температур вых температур с помощью изотерм, высвечи­
(-20 -5- ЮО^С). Приемниками излучения служат вающихся на кинескопе. В нижней части кад­
термо15ары или болометры. Часто применяют ра обычно формируется серая шкала, которая
термобатареи (последовательно соединенные используется для измерения температуры. При
термопары). Находят применение пироэлект­ этом яркость отдельных участков изображения
рические детекторы. объекта сравнивают с яркостью элементов
МЕТОДЫ ИЗМЕРЕНИЯ ТЕМПЕРАТУРЫ 93

шкалы, для которой при калибровке прибора пропорционален распределению интенсивнос­


определяют температурный перепад, соответ­ ти падающего на мишень излучения.
ствующий переходу от белого до черного. Преобразование лучистой энергии в
Характеристики тепловизоров электрический заряд пироэлектрической ми­
Чувствительность по температу­ шени не имеет принципиальных ограничений
ре, ^С, не ниже 0,1 - 0,3 по длине волны. Это является большим пре-
Мгновенное поле зрения, мин, ИАсуществом пирокона. Поскольку пироэлект­
не более 1-3 рический эффект зависит от измерения темпе­
Поле обзора 5 - 60^ ратуры в каждой точке мишени, пирокон не
Диапазон измеряемых темпера­ воспроизводит теплового изображения стацио­
тур, «С О - 1000 нарного объекта, а передает только динамику
Частота кадров, кадр/с 25 - 50 тепловой картины. Поэтому ИК-излучение,
Число строк в кадре до 512 вызывающее изменение температуры пиро­
Число элементов в кадре до 512x712 электрической мишени, должно быть пере­
менным. Для этого существуют два наиболее
Приемник ИК-излучения обычно охлаж­ приемлемьк способа модуляции лучистого
дают жидким азотом или термоэлектрическим потока во времени: 1) обтюрация стационар­
микрохолодильником. ного потока с помощью колеблющегося или
Применение в тепловизорах узкополос­ вращающегося затвора перед входным окном;
ных фильтров, прозрачных на длине волны 2) медленное перемещение камеры, чтобы
3,39 мкм, где имеется окно прозрачности газа сигнал, получаемый любым элементом мише­
С02, позволяет фиксировать ИК-излучение ни, не оставался постоянным.
через пламя. Наличие линзовой оптики позво­ Достоинством тепловизионных приборов
ляет легко изменять увеличение системы сме­ с пироконом является возможность создания
ной объективов. компактных малогабаритных приборов.
Тепловизоры обычно имеют черно-белые Матричные тепловизоры. В отличие от
или цветные видеомониторы и устройства тепловизионных систем с одноэлементным
обработки термограмм (выделение изотерм, фотоприемником и последовательным скани­
обращение контраста, представление в псевдо­ рованием в тепловизоре с матричным прием­
цветах, термопрофильное квазиобъемное пред­ ником каждый приемный элемент длительное
ставление теплового поля и т. п.). время "смотрит" на объект. Это время, опре­
Термограммы peгиcтpиpyюt с помощью деляемое периодом кадровой развертки тепло­
фотокамер, видеомагнитофонов, систем циф­ визора, гораздо больше длительности визиро­
ровой памяти, работающими в комплексе с вания одного элемента объекта в тепловизоре с
мини-ЭВМ. одноэлементнь»! фотоприемником (при одной
Перспектива развития телевизионных си­ и той же частоте кадров).
стем заключается в создании спектральных Матричное ФПУ может обеспечить более
цифровых камер, в том числе стереоскопичес­ высокую температурную чувствительность
ких, а также разработке радиотепловизионных тепловизора, чем одноэлементный фотопри­
приборов для диапазона длин 0,1 - 1 мм, в емник.
котором многие диэлектрики прозрачны, и
представляется возможность измерять их внут­ 1.9.2.3. МЕТОДЫ
реннюю температуру. АКТИВНОЙ ОПТИЧЕСКОЙ ТЕРМОМЕТРИИ (ЛОТ)
Тепловизионные микроскопы предназна­ Эти методы основаны на использовании
чены в основном для обследования и измере­ в качестве термометрического свойства изме­
ния тепловых полей изделий микроэлектрони­ нения характеристик оптического излучения
ки, при этом достигается линейное разреше­ (амплитуда, частота, фаза, поляризация) после
ние 60 - 20 мкм, температурное разрешение его взаимодействия с объектом контроля. Ме­
0,5 - З^С. тоды особенно эффективны для измерения
Трубки с пироэлектрической мишенью - температуры газообразных и жидких сред в
пироконы. Конструкция • пирокона подобна объектах новой техники (исследование процес­
конструкции стандартного видикона. Основ­ сов горения в реактивных двигателях, топках
ные отличия - использование окна, прозрач­ мощных тепловых станций, диагностика плаз­
ного для ИК-излучения, и пироэлектрическо­ мы, анализ активных элементов мощных лазе­
го материала мишени. Тепловое излучение ров, изучение взрывных процессов, дистанци­
объекта фокусируется объективом на мишень. онное зондирование атмосферы и т. д.).
В результате поглощения излучения на повер­ Методы АОТ можно разделить на интег­
хности мишени формируется потенциальный ральные и локальные. В первом случае получают
рельеф мишени, соответствующий распределе­ информацию о среднем по ходу просвечива­
нию температур. Сигнал, возникающий при ющего луча значении температуры среды
считывании сфокусированным электронным (методы теневые, интерференционные, спект­
пучком распределения потенциала (заряда). рального поглощения и т.д.). Методы локаль-
94 1.9. ИЗМЕРЕНИЕ ТЕМПЕРАТУРЫ

ной термометрии основаны на фокусировке Для этой разновидности резонансного


излучения в любую точку среды и измерении КРС (РКРС) используют лазеры с перестрой­
соответствующих характеристик рассеянного кой частоты излучения (например, на кра­
излучения (методы упругого и комбинацион­ сителях). Типовая схема термометра на
ного рассеяния, активная спектроскопия коге­ основе РКРС для исследования процесса
рентного рассеяния (АСКР) и др.). горения состоит из лазера мощностью порядка
Теневые и интерференционные методы 1 - 10 Вт, перестраиваемого по частоте (в диа­
обладают такими достоинствами, как бескон­ пазоне длин волн 0,4 - 0,8 мкм), фокусирую­
тактность, информативность (многоканальная щей оптики и фотоумножителя с набором
регистрация, высокая локальность и чувстви­ интерференционных фильтров. Выбор частот
тельность), наглядностью (при визуализации обусловлен использованием в качестве
полей температур), безынерционность, что "информахщонных" молекул азота, число ко­
делает их незаменимыми для использования торых в пламени обычно велико, а спектр
быстропротекающих нестационарных процес­ поглощения не зависит от температуры. Ха­
сов в прозрачных жидкостях и газах. рактерно, что используется односторонний
Измерение температурных полей в твер­ доступ к объекту (регистрируется излучение,
дых телах в общих чертах аналогично описан­ рассеянное назад).
ной выше схеме, однако в ряде случаев допол­ Особенно перспективен метод когерент­
нительно необходимо учитывать фотоупругие ного антистоксова рассеяния света (КАРС). Он
эффекты (двулучепреломление, оптическая основан на использовании двух синхронно
анизотропия), возникающие в жестко закреп­ перестраиваемых по частоте лазеров, фокуси­
ленных стержнях. Однако и в этом случае те­ руемых в одну точку объекта. В момент совпа­
невые и интерференционные методы являются дения разности частот лазеров с резонансной
единственньв* средством измерения и анализа частотой молекул газа освещенной объем газа
динамики разогрева этих и подобных им начинает излучать когерентное и узко направ­
объектов.
Расшифровка интерферограмм и тенег- ленное излучение, интенсивность которого
рамм облегчается, если с помощью какого- существенно превышает сигналы КРС. В ана­
либо традиционного датчика (пирометр, тер­ лизируемый объем можно дополнительно на­
мопара и т.п.) можно определить температуру править излучение третьего лазера, тогда в
в какой-либо точке поля измерений. спектре рассеянного сигнала появится анти­
стоксова компонента, интенсивность которой
1.9.2.4. МЕТОДЫ превышает сигнал КРС в 10^ раз.
ЛАЗЕРНОЙ ТЕРМОМЕТРИИ (МЛТ)
Лазеры могут применяться в описанных 1.9.2.5. ЛАЗЕРНО-АКУСТИЧЕСКАЯ
выше теневых и интерференционных (в т.ч. ТЕРМОМЕТРИЯ (ЛАТ)
голографических) методах, где их применение Основана на визуализации акустических
позволило существенно улучшить характерис­ волн с помощью стробоскопического освеще­
тики процесса термометрии в реальном време­ ния лазером среды. Длина волны лазера может
ни.- быть любой (например, зеленой X— 0,51 мкм)
Однако уникальные свойства лазерного и выбирается из условия минимизации опти­
излучения (яркость, монохроматичность, коге­ ческих фоновых помех.
рентность, направленность) позволили реали­
зовать и принципиально новые методы термо­ Акустические колебания вдоль лазера
метрии. фотографируют (или визуализируют телевизи­
Метод термометрии на основе комбина­ онным или другим способом) и измеряют
ционного (рамановского) рассеяния света непосредственно длину волн давления, кото­
(КРС), то есть неупругого столкновения фото­ рая связана с температурой через соотношение
нов с молекулами вещества и соответствующе­
го смещения спектра рассеянного излучения F, = Ко+а(Г-Го),
относительно частоты излучения лазера. Тем­ где Р^ И Ро - скорости звука при температурах
пература (вращательная или колебательная)
каждой двухатомной или многоатомной фрак­ Т'и То; V —Xf\ Х- длина волны, м м ; / - час­
ции в газовой смеси определяется по интен­ тота, Гц.
сивности каждой компоненты рассеянного Для температур 1000 - 2000 К длина вол­
света. Рабочий диапазон температур, измеряе­ ны звука меняется в интервале 0,5 - 1 м, что
мой с помощью КРС от 100 К (вращательные не вызывает технических трудностей при из­
спектры КРС) до 6000 К и более мерении ее численного значения.
(колебательные спектры КРС). Однако интен­ Погрешность метода порядка 5 %.
сивность спектра КРС очень низка, что требу­ Перспективны для визуализации темпе­
ет применения мощных лазеров. ратурных полей и такие современные способы,
Резкого усиления сигналов КРС добива­ как томографический, голографический, нели­
ются, используя лазер с частотой излучения, нейно-оптический и некоторые другие, нахо­
соответствующей полосе поглощения вещества. дящиеся в стадии исследований.
МЕТОДЫ ИЗМЕРЕНИЯ ТЕМПЕРАТУРЫ 95

1.9.2.6. АКУСТИЧЕСКИЕ ТЕРМОМЕТРЫ Область измеряемых температур от


Метод акустической термометрии осно­ -20^С до +200^С, чувствительность порядка
ван на зависимости скорости звука от темпера­ 0,1 - 0,5^С, инерционность порядка 1 с.
туры. Для идеального газа фазовая скорость 1.9.2.7. МЕТРОЛОГИЧЕСКОЕ ОБЕСПЕЧЕНИЕ
распространения звука не зависит от амплиту­ ТЕМПЕРАТУРНЫХ ИЗМЕРЕНИЙ
ды и частоты колебаний. Для точных измере­
ний важен учет влажности воздуха. Для обеспечения единства измерений
Наибольшие возможности для термомет­ разработаны поверочные схемы, в которых
рии дают ультразвуковые (УЗ) колебания. Ско­ указаны методы градуировки и поверки при­
рость УЗ измеряется стандартным методом. боров, а также их предельные значения и до­
Температурная зависимость скорости УЗ опре­ пустимые погрешности.
деляется выражением В качестве эталонных интерполяционных
ck/dT= -Z/2c7; приборов используют платиновый термометр
сопротивления (-180^С ... +630^С) и платино-
где L ' расстояние, проходимое УЗ; с - ско­ родий-платиновые термопары (630 ... 106З^С).
рость; т - время распространения. Эталонными приборами в области тем­
При изменении температуры на 1 К т ператур более ЮбЗ^С (точка затвердевания
изменяется на 1 - 10 мкс, что вполне измери­ золота) служат температурные лампы, градуи­
мо. В импульсных УЗ-термометрах излучатель рованные по эталонному АЧТ (Т= ЮбЗ^С) на
и приемник обычно совмещены. Возможна яркостные температуры с помощью спектро-
реализация и фазовых УЗ-термометров (УЗ) на пирометрических установок.
непрерывном УЗ-измерении. Достоинство Датчики пирометрических приборов
УЗТ - практическая безынерционность и от­ (стеклянные жидкостные термометры, термо­
сутствие термометрического тела, непосред­ пары, яркостные, цветовые и радиационные
ственно воспринимающего изменение темпе­ пирометры и др.) проверяют с помощью уст­
ратуры и, как следствие, вносящего погрешно­ ройств воспроизведения температуры. При
сти в измерения. этом используют два метода поверки по по­
УЗТ широко применяется в метеороло­ стоянным точкам плавления и кипения хими­
гии, при измерении газовых сред, термомет­ чески чистых веществ и по показаниям образ­
рии слитков и т.п.
цовых приборов.
Ультразвуковые частотные термометры
основаны на использовании поверхностных Показывающие и самопишущие прибо­
акустических волн (ПАВ), т.е. упругие волны ры, входящие в состав термометрической ап­
распространяются вдоль свободной границы паратуры (логометры, электронные потенцио­
поверхности тела или вдоль его границы с метры), проверяют отдельно методом сравне­
другими средами (жидкими, твердыми). ПАВ, ния с показаниями электроизмерительных
поперечные по отношению к распростране­ приборов.
нию, могут быть поляризованы перпендику­ Преобразователи температуры проверяют
лярно к поверхности (вдлны Рэлея) и парал­ методом сравнения с показаниями образцовых
лельно (волны Лева). Датчики на ПАВ пред­ приборов с помощью специальных устройств
ставляют собой пьезокристалл, на который для получения заданной температуры
методом фотолитографии наносятся (так назы­ (термостатов, 1фиостатов, электропечей, тем­
ваемые встречно-ипыревые антенны) металли­ пературных ламп).
ческие электроды периодической структуры, Для калибровки и испытания тепловизи-
геометрия которой выбирается в зависимости онной и радиометрической аппаратуры широ­
от длины волны и структуры ПАВ. Электроды ко применяют излучатели АЧТ ("абсолютно
служат антеннами, преобразующими электро­ черное тело") различных типов.
магнитный сигнал в акустический или наобо­
рот. Наиболее распространены излучатели
Основным термометрическим свойством АЧТ со сферической, цилиндрической и ко­
датчика ПАВ является скорость распростране­ нической формой излучающих полостей.
ния акустической волны. Такой датчик может Рядом фирм выпускаются излучатели
одновременно измерять температуру и давле­ АЧТ с плоской черненой излучающей поверх­
ние (или влажность) среды, то есть реализо­ ностью больших размеров (до 400x400 мм^).
вать многопараметровые, комплексные изме­ Для изменения коэффициента черноты
рения. Для этого достаточно, например, вы­ слабонагретых тел можно использовать термо­
полнить его в виде тонкой мембраны из пье- радиометр, позволяющий определять его зна­
зоэлектрика, на обеих сторонах которых нано­ чения в пределах 0,02 - 1,0 и в спектральном
сятся антенны, выходы которых разделены. интервале (4 - 40 мкм).
1.10. ИЗМЕРЕНИЕ ДАВЛЕНИЯ

Глава 1.10 Давление может быть определено непос­


редственно измерением силы, действующей на
ИЗМЕРЕНИЕ ДАВЛЕНИЯ данную поверхность. На этом методе основа­
ны, например, грузопоршневые манометры, в
1.10.1. ОБЩИЕ СВЕДЕНИЯ которых сила, действующая на поршень с из­
вестной площадью, уравновешивается гирями
Давление - физическая величина, харак­ (или действием сжатой пружины). Аналогичны
теризующая интенсивность нормальных по принципу действия жидкостные маномет­
(перпендикулярных) к поверхности сил, с ры, в которых измеряемое давление определя­
которыми одно тело действует на другое. При ется по высоте и удельной массе столба жид­
равномерном распределении сил вдоль повер­ кости.
хности давление равно При измерениях высоких давлений в ка­
p= F/s, честве образцовых мер могут иcпoJП>зoвaтьcя
где F - сумма приложенных перпендикулярно точки затвердевания (или фазового перехода)
к ней сил. различных веществ.
При неравномерном распределении сил Помимо упомянутых вьпие прямых ме­
это равенство определяет среднее давление на тодов измерения давления, существует много
данную площадку. Если 5" —> О, то говорят о косвенных. Так, механические методы основа­
давлении в точке. ны на определении упругого прогиба чувстви­
Давление измеряют манометрами, ба­ тельных элементов специальной формы под
рометрами, вакуумметрами, различными дат­ действием контролируемого давления (анеро­
чиками. Единица давления в международ­ иды, сильфонные манометры, трубка Бурдона
ной системе единиц (СИ) - 1 Па (Паскаль); и др.).
1 Па = Н/м2. В области сверхвысоких взрывных давле­
Существуют внесистемные единицы - ний мерой их максимального значения может
физическая атмосфера, техническая атмосфера, быть пластическая деформация чувствительно­
бар, миллиметры водяного и ртутного столбов го элемента. Для одределения сверхвысоких
(торр): давлений используют эффекты изменения
1 бар = 105 н/м2; параметров кристаллической решетки (опреде­
1 мм рт. сг.= 1,00000014 торр= 132,3224 Н/м^; ляемые рентгеноструктурным анализом), уве­
1 ат = 1 кгс/см^; личения плотности ряда материалов (стекла и
1 атм = 1,033227 ат = 760 торр; др.), сдвига частоты люминесценции рубина и
1 мм води. ст. = 0,00011 кгс/см^. т.д.
В США применяется еще единица
1 psi = 1 фунт / дюйм^ = 0,0703066*2 кгс /см2, 1.10.2. ПРИБОРЫ
в основном для измерения избыточного (по ИЗМЕРЕНИЯ ДАВЛЕНИЯ
отношению к атмосферному) давления.
В любой точке покоящейся жидкости Жидкостные манометры и барометры
или газа давление по всем направлениям оди­ применяются в основном для измерения низ­
наково. Это справедливо и для идеальных, ких давлений (близкого к нормальному ат­
лишенных трения потоков жидкости или газа. мосферному) или для контроля небольших
Для вязкой жидкости давление в точке есть разностей высоких статических давлений. Ос­
среднее давление по трем взаимно перпенди­ новной их элемент - стеклянная трубка
кулярным направлениям. Давление в газах (обьгшо V-образной формы, расположенная
связано с передачей импульса при столкнове­ вертикально), заполненная (частично) рабочей
нии находящихся в тепловом движении моле­ жидкостью. Изменение давления в одном из
кул друг с другом или с поверхностью сосуда, плеч трубки вызывает пропорциональное из­
в котором заключен газ. Давление в газе про­ менение уровня жидкости в другом, оценива­
порционально его температуре (то есть кине­ емое с помощью оптических или иных отсчет-
тической энергии его частиц). ных устройств. В качестве рабочих (запорных)
Диапазон давлений, встречающихся в жидкостей применяют спирт, воду, ртуть, си­
технике, чрезвычайно широк, от 10"^ до ликоновые (кремнийорганические) соедине­
10^^ Н/м^. Обычно различают области глубоко­ ния.
го вакуума (10"^ - 10'^ Н/м^), глубокого техни­ Преимущества этих традиционных сис­
ческого вакуума (Ю'* - Ю^ Н/м^), вакуума тем - простота, хорошая помехозащищенность,
(10-1 _ IQ4 н/м2), разрежения (10^ - 10^ Н/м^), искробезопасность. Недостаток - отсутствие
давления умеренного (10^ - 10^ Н/м^), средне­ электрического сигнала на выходе.
го (10^ - 10^ Н/м2), высокого (107 . 109 н/м2) Грузовые и поршневые манометры изме­
и сверхвысокого (10^ - 10^^ Н/м^). ряют усилие на поршне, перемещающемся в
Нормальное давление 760 мм рт. ст. = полом цилиндре. Уравновешивается это уси­
= 100565 Н/м2 = 1005,65 ГПа = 0,1 МПа лие гирями (грузовые манометры), пружиной,
(1 МПа = 10^ ГПа). электромагнитной силой. Основная область
ПРИБОРЫ ИЗМЕРЕНИЯ ДАВЛЕНИЯ 97

применения - средние давления. Разновид­ компенсация, виброчастотный) используются


ность приборов данного класса - микромано­ реже.
метры колокольного типа. В них чувствитель­ Метод силовой компенсации заключается
ный элемент (ЧЭ) выполнен в виде опущенно­ в компенсации усилия, развиваемого на чув­
го в воду колокола. При изменении давления ствительном элементе измерительного преоб­
ЧЭ перемещается, пока не достигается равно­ разователя под действием измеряемого пара­
весие сил, действующих на него (собственная метра элементом обратной связи. Энергия на
масса, архимедова сила и измеряемое давле­ элемент обратной связи поступает от внешнего
ние). источника питания через выходной усилитель
Пружинные манометры - наиболее рас­ пропорционально измеряемому параметру.
пространенные средства измерения давления. Компенсация усилия на чувствительном эле­
Мера давления - упругое перемещение мано­ менте позволяет уменьшить его деформацию и
метрической пружины, передаваемое на стре­ тем самым существенно повысить его метроло­
лочный отсчетный механизм. В анероидных и гические характеристики.
пластинчатых манометрах в качестве упругого Все большее широкое распространение
ЧЭ применяют профилированные мембраны, получают тензорезисторные измерительные
представляющие герметичную коробку. При­ преобразователи, обладающие высокими мет­
меняют также трубчатые пружины, открытый рологическими и эксплуатационными характе­
конец которых укреплен в штуцере, а второй ристиками.
(запаянный) конец свободно перемещается Непосредственное преобразование де­
под действием давления контролируемой сре­ формации упругого чувствительного элемента
ды. в электрический сигнал, осуществляемое тен-
Плоские мембраны и трубчатые пружины зочувствительными элементами, дает возмож­
изготовляют из латуни, спецсталей, медно- ность значительно уменьшить габаритные раз­
бериллиевых сплавов, иногда из особых марок меры приборов, повысить их точность, надеж­
сталей, устойчивых к агрессивным средам. ность, долговечность, быстродействие, стой­
Пружинные манометры, как это следует кость к внешним дестабилизирующим воздей­
из принципа их действия, измеряют разность ствиям. Принцип действия этих приборов
между контролируемым и атмосферным дав­ основан на преобразовании деформации упру­
лениями. гих элементов в изменение сопротивления
Для измерения абсолютного давления ЧЭ тензорезисторов. Тензорезистор воспринимает
надо поместить в вакуум. деформацию либо от манометрического упру­
Другая проблема - температурная ком­ гого элемента, либо от консольной балки,
пенсация погрешностей из-за изменений мо­ работающей на изгиб, либо от стержня, рабо­
дуля упругости материала трубок, например, с тающего на сжатие под действием усилия,
помощью биметаллических конструкций. возникающего в чувствительном элементе при
Пружинные манометры на базе сильфо- воздействии измеряемого параметра. Полупро­
нов (из стали, медно-бериллиевой бронзы с водниковые тензорезисторы в отличие от ме­
покрытиями и т.п.) отличаются большим ди­ таллических проволочных и фольговых тензо­
намическим диапазоном измерения, стабиль­ резисторов обладают на два порядка большей
ностью показаний, большим развиваемым чувствительностью. Для повышения стабиль­
усилием. ности датчиков применяют диффузионные и
Термокоцдуктометрические вакуумметры эпитаксиальные тензорезисторы.
основаны на зависимости теплопроводности В кремниевую монокристаллическую
газов от давления при низких его уровнях, подложку р- или А1-типа проводимости, за­
когда длина свободного пробега молекул ста­ щищенную маской моноксида кремния, про­
новится соизмеримой с элементами ЧЭ мано­ водят диффузию примесей соответственно п-
метра. Изменение давления газа (и его тепло­ или /?-типа проводимости и получают резистор
проводности) вызывает, например, изменение требуемых форм и геометрии в виде диффузи­
температуры ЧЭ из нагреваемой током прово­ онного слоя. В том месте подложки, где кон­
локи, которое измеряется с помощью мосто­ центрация диффундирующих примесей равна
вой схемы. концентрации примесей подложки, образуется
Давление является широко распростра­ р - п -переход, который изолирует резистор от
ненным параметром диагностирования машин. подложки. Если же затем в соответствующих
Для измерения разности давлений и преобра­ местах резистора нанести металлические кон­
зования абсолютного давления в стандартный такты, между которыми параллельно плоско­
электрический сигнал наибольшее распростра­ сти р - п -перехода пропускать ток, то соб­
нение получили измерительные преобразова­ ственное сопротивление резистора будет зави­
тели, основанные на методе силовой компен­ сеть от величины и вида деформации подлож­
сации, тензометрическом и емкостном мето­ ки. Такой тензорезистор называют планарным
дах. Другие методы измерения (магнитная диффузионным. Если на кремниевой монокрис-
98 1.10. ИЗМЕРЕНИЕ ДАВЛЕНИЯ

таллическои подложке одного типа проводи­ Зависимость величины емкости от давле­


мости нарастить эпитаксиальный слой ния в емкостных преобразователях носит не­
(напылить тонкую пленку другого типа прово­ линейный характер. Уменьшение нелинейнос­
димости), в которой травлением образовать ти достигается благодаря введению в зазор
резистор требуемых форм и геометрии с ме­ конденсатора специального диэлектрика, что
таллическими контактами, то получают мезас- повышает чувствительность преобразователя и
трукгурный эпитаксиальный тензорезистор. позволяет работать при меньшем ходе мемб­
Диффузионные и эпитаксиальные тензоре-раны, а также с помощью электронной схемы
зисторы в отличие от наклеиваемых полупро­ с таким коэффициентом преобразования, что
водниковых тензорезисторов позволяют созда­ суммарный коэффициент преобразования всей
вать монокристаллический упругий элемент с системы получается достаточно линейным.
высокими метрологическими характеристика­ К преимуществам емкостных преобразо­
ми (например, кремний деформируется упруго вателей следует отнести высокую чувствитель­
без гистерезиса и ползучести вплоть до темпе­ ность и хорошие динамические свойства, вы­
ратуры бОО^С, причем максимальное значение сокую прочность (порядка 0,25 %) и сравни­
упругой деформации достигнет 2,6 %). Между тельно малые габаритные размеры и массу.
рабочим телом тензорезистора и подложкой Специфической областью применения
отсутствует клеевой слой, что: емкостных преобразователей является измере­
1) снижает число преобразований в из­ ние низких давлений, а также давления в быс­
мерительной цепи деформация - электричес­ троменяющихся процессах.
кий выходной сигнал и тем самым повышает Метод магнитной компенсации заключает­
точность измерений; ся в преобразовании перемещения постоянно­
го магнита, жестко связанного с чувствитель­
2) позволяет полностью передавать рабо­ ным элементом, в изменение магнитного по­
чему телу тензорезистора возникающие в под­ тока в сердечнике магнитомодуляционного
ложке деформации, поскольку связь между преобразователя. Появляющийся при этом
рабочим телом тензорезистора и подложкой сигнал рассогласования управляет выходным
атомарная и идеально упругая; усилителем, который, в свою очередь, выдает
3) полностью исчезают гистерезис и пол­ выходной сигнал постоянного тока в линию
зучесть, присущие клеевому слою. дистанционной передачи и параллельно в об­
Диффузионные и эпитаксиальные тензо- мотку обратной связи. Последняя создает маг­
резисторы дают возможность получить преоб­ нитный поток обратной связи для компенса­
разователи с весьма малой базой - до сотен ции входного управляющего воздействия. Из­
микрометров. В качестве материалов их под­ мерительные преобразователи, основанные на
ложки используют кремний и сапфир. компенсации магнитных потоков, отличаются
Их достоинствами являются: искробезо- малой чувствительностью к вибрации и высо­
пасное исполнение с повышенным уровнем кой надежностью работы в экстремальных
взрывозащиты, коррозионная стойкость в раз­ условиях.
личных агрессивных средах, виброустойчи­ Виброчастотный метод измерения основан
вость, пыле- и водозащищенность, высокие на принципе возникновения колебательных
метрологические, динамические характеристи­ процессов в динамических системах, содержа­
ки и надежность, малые габаритные размеры и щих инерционный элемент, способный накап­
масса; стандартный выходной сигнал в виде ливать энергию (индуктивность, массу), и
силы постоянного электрического тока. По­ элемент, накапливающий потенциальную
добные приборы могут работать в различных энергию (емкость, пружину). В данных преоб­
климатических условиях. разователях упругий чувствительный элемент,
Принцип действия емкостных преобразо­ например тонкостенная труба или натянутая
вателей основан на изменении емкости кон­ струна, включается в резонансный контур.
денсатора, образованного проводящей поверх­ Колебания упругого элемента на резонансной
ностью изолированного электрода и поверхно­ частоте определяют частоту колебаний конту­
стью чувствительного элемента при воздей­ ра. Изменение резонансной частоты упругого
ствии на последний измеряемого давления. элемента, а следовательно, и контура под вли­
Изменение емкости с помощью электронной янием изменения давления есть мера измеря­
схемы преобразуется в унифицированный емого давления.
электрический сигнал. Емкостные преобразо­ Для контроля и автоматизации техноло­
ватели выполняют в виде плоского или сфери­ гических процессов в металлической, нефтя­
ческого конденсатора. Чувствительным эле­ ной, нефтехимической, химической и других
ментом, воспринимающим давление, чаще отраслях промышленности наряду с электри­
всего является мембрана, которая либо сама ческими и электронными датчиками широкое
является частью конденсатора, либо непосред­ распространение находят пневматические из­
ственно соединена с обкладкой конденсатора, мерительные преобразователи абсолютного
например штоком. давления и перепада давления.
ПРИБОРЫ ИЗМЕРЕНИЯ ДАВЛЕНИЯ 99

Наиболее широкое применение пневма­ узлов и высокой степенью конструктивной


тические измерительные преобразователи на­ унификации.
шли во взрыво- и пожароопасных производ­ Пневматические измерительные преобра­
ствах, где применение электрических прибо­ зователи, использующие преобразование пе­
ров в обычном исполнении по требованиям ремещения чувствительного элемента, основа­
техники безопасности недопустимо. Исполь­ ны на принципе, когда измеряемый перепад
зуют пневматические датчики, основанные на давления, воздействуя на чувствительный эле­
принципе силовой или частичной силовой мент измерительного блока, вызывает переме­
компенсации, а также перемещения чувстви­ щение связанного с ним управляющего органа
тельного элемента. Пневматические измери­ (заслонки) относительно сопла. Это приводит
тельные преобразователи выпускают с единым к изменению давления в линии сопла, а сле­
диапазоном выходного сигнала 20 - 100 кПа довательно, и на выходе усилителя, управляе­
при давлении питания 140 кПа. мого этим давлением. Изменение давления на
Пределы измерения пневматических выходе усилителя вызывает перемещение эле­
измерительных преобразователей перепада мента обратной связи и связанного с ним со­
давления находятся в диапазоне от О - 2,1-10^ пла до тех пор, пока не наступит положение
до О - Ю'^ кПа, абсолютного давления от равновесия. В качестве чувствительного эле­
О - 1,2-10"^ до О - 710^ кПа. Точность измере­ мента используют сильфонный элемент, обес­
ния до ±0,25 %. печивающий высокую точность преобразова­
Измерительные преобразователи, осно­ ния разности давлений в перемещение.
ванные на принципе силовой компенсации, Световодные датчики давления. С их по­
состоят в основном из трех блоков: измери­ мощью можно создать ЧЭ, отличающиеся
тельного узла, силового преобразователя и одновременно высокой чувствительностью,
усилителя. минимальными размерами, малой инерцион­
Принцип силовой компенсации заключа­ ностью, большим динамическим диапазоном,
ется в том, что измеряемый параметр, воздей­ отсутствием гальванической связи с объектом,
ствуя на чувствительный элемент измеритель­ устойчивостью к агрессивным средам, воз­
ного блока, преобразуется в пропорциональ­ можностью эффективного преобразования
ное ему усилие, которое через рьпажную сис­ пропорционального давления оптического
тему силового преобразователя уравновешива­ сигнала в электрический с помощью совре­
ется усилием элемента обратной связи. При менных оптоэлектронных преобразователей.
изменении измеряемого параметра происходит В существующих манометрах эти требо­
незначительное перемещение рьпажной сис­ вания удовлетворяются не полностью. Так,
темы и связанного с ней управляющего органа жидкостные манометры имеют высокую чув­
индикатора рассогласования. Последний пре­ ствительность (до 0,02 Па), но пригодны лишь
образует перемещение в управляющий сигнал, для оценки статических давлений, сравнитель­
которьЕЙ поступает на вход усилителя. Выход­ но громоздки. Мембранные тензопреобразова-
ной сигнал усилителя подается в линию дис­ тели имеют токоподводы, значительные харак­
танционной передачи и одновременно в эле­ терные размеры (6+10 мм).
мент обратной связи, где преобразуется в про­ Миниатюрные пьезопреобразователи
порциональное усилие. Мерой измеряемого ( 0 1 мм) имеют невысокую чувствительность,
давления является величина выходного сигнала работают в основном в области средних давле­
датчика, которая необходима для создания ний (<10^ Па), не пригодны для работы на
уравновешивающего усилия обратной связи. частотах ниже 5 Гц, отличаются сильной тем­
Принцип частичной силовой компенса­ пературной погрешностью.
ции отличается тем, что перемещающийся Емкостные преобразователи с ЧЭ в виде
чувствительный элемент создает на дополни­ тонкой металлической мембраны, используе­
тельном упругом элементе усилие, которое мой в качестве одной из обкладок динамичес­
преобразуется в пневматический выходной кого конденсатора ( 0 5 -ь 6 мм), имеют высо­
сигнал с помощью преобразователя, работаю­ кую чувствительность и хорошие динамичес­
щего по принципу силовой компенсации. кие характеристики, однако требуют частотной
Таким образом, усилием обратной связи урав­ модуляхщи сигнала, сложных схем обработки
новешивается лишь часть усилия, развиваемо­ сигнала. Понятно, что нужна и гальваническая
го чувствительным элементом под действием связь с объектом.
измеряемого параметра. В манометрических датчиках на основе
Датчики с силовой компенсацией имеют световодов ЧЭ выполняется обьгшо в виде
высокую точность измерения за счет глубокой миниатюрной ( 0 1 мм) гибкой мембраны.
отрицательной обратной связи, охватывающей Датчик имеет два (или более) световодов.
всю схему измерения, включая чувствительный Один из них транспортирует свет от внешнего
элемент. Они обладают повышенной чувстви­ источника к мембране. После отражения от
тельностью, возможностью охвата нескольких нее свет поступает в другой световод и направ­
пределов измерения без замены деталей и ляется к фотодиоду. Количество отражен-
100 1.11. ИЗМЕРЕНИЕ УРОВНЯ И РАСХОДА

ного в световод фотоприемного канала света ются поплавки. Физический принцип основан
пропор1щонально расстоянию между ним и на уравновешивании силы тяжести и выталки­
мембраной и меняется в соответствии с ее вающей силы, действующих на поплавок в
прогибом под действием внешнего давления. противоположных направлениях.
Подобные датчики применяются в современ­ В качестве поплавков применяют пре­
ной промьпиленности, в том числе для изме­ имущественно полые шаровидные или цилин­
рения быстрых пульсаций давления. дрические тела, полость которых меньше
В световодных датчиках для контроля плотности жидкости. Изменение плотности
сравнительно больших давлений обычно ис­ жидкости или условий трения в системе пере­
пользуется эффект возникновения двойного дачи показаний приводит к дополнительной
лучепреломления в фотоупругих материалах погрешности.
под действием давления. В них ЧЭ располага­ В простейшем случае поплавох крепят к
ется между двумя световодами, на которых тросику или цепочке, перекинутым через ро­
установлены скрещенные поляроиды. При лик или зубчатое колесо. Измеренная величи­
вращении плоскости поляризации в ЧЭ на передается механическим способом. Для
(кристалл кварца и т.п,) изменяется световой обеспечения непрерывного функционирования
поток через него', измеряемый оптоэлектрон- к другому концу тросика или цепочки крепят
ным датчиком на внешних торцах световодов. противовес. При данном еттособе угол поворо­
Подобные датчики применяют, например, для та ролика соответствует изменению уровня
измерения давления в скважинах при геофи­ жидкости.
зических исследованиях и других экстремаль­ В большинстве случаев применяют сис­
ных условиях. темы электрической передачи данных. Для
Для измерения в области очень низких преобразования перемещения поплавка в
давлений до 10^^ мм рт. ст. распространение электрическую величину используют потенци­
получили ионизационные манометры (ИМ), В ометры, например спиральный многооборот­
них разрядный ток служит мерой давления. ный потенциометр. Полученное напряжение,
Различные модификации ИМ в основном со­ соответствующее уровню жидкости, передается
стоят из накаленного катода, спирального или на индикатор.
сетчатого анода и коллектора в качестве ион­ Вместо потенциометра применяют сель­
ной ловушки. Показания такого ИМ зависят син с редуктором. Электромеханическая пере­
от рода газа. Обычно непосредственно измеря­ дача представляет собой "электрический вал",
ется давление воздуха или азота, для других так как вторичный прибор состоит из сельси­
газов вводятся поправки. Для повьпыения точ­ на, соединенного со счетным механизмом.
ности измерений иноща (для устранения де­ При вращении ротора сельсина вращается
сорбции ионов) устанавливают диафрагму барабан счетного механизма и на индикаторе
между коллектором и источником ионов. появляются цифры, указывающие уровень
жидкости.
Другим методом преобразования пере­
Глава 1.11 мещения поплавка в электрический сигнал
является метод шаговых переключений. Обяза­
ИЗМЕРЕНИЕ УРОВНЯ И РАСХОДА тельным условием для применения данного
метода является относительно медленное из­
Уровень заполнения и расход входят в менение уровня жидкости. Диапазон измене­
число параметров, характеризующих состояние ния уровня делится.на некоторое число ступе­
среды. При выборе устройства для измерения ней. Тросик (или цепочка), на котором зак­
уровня или расхода необходимо учитывать реплен поплавок, перекинут при этом через
такие физические и химические свойства ма­ шестерню. Спусково^с переключатель при из­
териала, как температура, абразивные свой­ менении уровня на одну ступень осуществляет
ства, вязкость, электрическая проводимость, кратковременное замыкание импульсивных
радиоактивность, химическая агрессивность и контактов, причем повышению и понижению
т.д. Кроме того, следует принимать во внима­ соответствуют отдельные контакты. Реверсив­
ние рабочие условия в резервуаре или трубо­ ный счетчик, суммируя импульсы с учетом их
проводе и* около него : давление, температуру, знака, дает показание уровня жидкости. При
способ заполнения, наличие перемешивающих "кодовом" методе каждому положению по­
устройств, огнеопасность и взрывоопасность. плавка соответствует определенное сочетание
положений переключателей, каждый из кото­
1.11.1. МЕТОДЫ И УСТРОЙСТВА рых имеет свою цену деления. Затем получен­
ИЗМЕРЕНИЯ УРОВНЯ ная кодовая посылка преобразуется в сигнал
напряжения или тока.
Наиболее распространенными измерите­ Способ преобразования перемещения
лями уровня являются устройства, в которых в поплавка в электрический сигнал с использо­
качестве чувствительных элементов использу­ ванием магнитной связи основан на том, что в
МЕТОДЫ И УСТРОЙСТВА ИЗМЕРЕНИЯ УРОВНЯ 101

поплавке находится кольцевой магнит, кото­ ти применения в различных условиях эксплуа­


рый взаимодействует со стержневым магнитом тации, в том числе в резервуарах высокого
(рис. 1.11.1). Поплавок 7.с кольцевым магни­ давления. Температура или состав жидкости не
том 4 скользит вдоль направляющей трубки 2, имеют значения. Большинство электромехани­
а стержневой магнит 3 перемещается вместе с ческих уровнемеров не требует вспомогатель­
ним внутри трубки. Перемещение внутреннего ных источников энергии, что повьппает на­
магнита передается наружу и преобразуется в дежность. Несмотря на наличие движущихся
электрический сигнал. частей, нуждающихся в постоянном техничес­
ком обслуживании, эти уровнемеры пока еще
широко применяют вследствие их простоты.
Обычные механические уровнемеры не
позволяют производить непрерывные измере­
ния, если объектом измерения являются вяз­
кие, зернистые или порошкообразные матери­
алы. Емкостный метод дает такую возмож­
ность. В этом методе конденсатор образован
стенкой резервуара и щупом, погруженным в
его содержимое. Емкость конденсатора нахо­
дится в диапазоне пикофарад, обусловливается
выбором частоты.
Измерение емкости осуществляют при
помощи резонансных схем или мостов пере­
менного тока с самоуравновешиванием. Верх­
Рис. 1Л1Л. Схемж поплавкового уровнемерж няя часть конденсатора заполнена воздухом,
с магнитной связью нижняя - сьшучим материалом или жидко­
стью. Емкость изменяется в зависимости от
Широко распространены буйковые уров­ повьпыения или понижения уровня заполне­
немеры, которые известны также под названи­ ния.
ем "глазок Вейса". Трубчатый поплавок, а в Точность измерения зависит от конст­
емкостях высокого давления - сдлошной алю­ рукции, изоляции и правильного размещения
миниевый стержень, свободно подвешен на емкостного зонда. Зонд в зависимости от тре­
пружине. В зависимости от уровня жидкости буемой длины вьшолняют из проволо»шого
на стержень действует подъемная сила, вслед­ тросика, металлического стержня или трубки.
ствие чего пружина сжимается и укорачивает­ Если материал, заполняющий резервуар, обла­
ся. Поплавок соединен с плунжером солено­ дает электропроводностью или подвержен
идного дифференциально трансформаторного коррозии, измерительный зонд покрывают
датчика. Плунжер перемещается в герметич­ слоем эбонита, стекла или другого материала.
ной гильзе из отпущенной легированной стали Применение емкостного метода измерения
с 0,2 % ванадия. Гильза расположена в систе­ уровня связано со сравнительно высокими
ме, имеющей первичную и вторичную обмот­ расходами, так как приходится использовать
ки. В цепь вторичной обмотки включен галь- источник тока высокой частоты. Погрешность
вайометр, ток через который определяется измерения 2 - 3 %. Для компенсации измене­
уровнем в резервуаре. ний емкости вследствие изменения электри­
Электромеханический метод измерения ческих свойств жидкости применяют системы
уровня с применением отвеса используют для измерения, содержащие два зонда. Второй
измерения уровня заполнения сьшучим мате­ зонд служит в качестве компенсационного, и
риалом. Метод основан на использовании его устанавливают так, чтобы он всегда был
отвеса, опускающегося на тросике до тех пор, полностью покрыт жидкостью.
пока не изменится натяжение тросика в мо­ Кондуктометрический метод измерения
мент его касания с поверхностью измеряемого уровня основан на изменении силы тока. В
материала. Необходимо учитывать влияние пустом резервуаре сопротивление между двумя
растяжения тросика вследствие воздействия элекгрвдами бесконечно велико; при погруже­
массы отвеса и массы смотанного с барабана нии электродов в проводящую среду сопро­
тросика. Недостаток метода в том, что необхо­ тивление уменьшается соответственно величи­
димо при каждом измерении поднимать и не проводимости. Область применения метода
опускать отвес. ограничена исключительно изменением уров­
Таким образом, электромеханические ня заполнения токопроводящими жидкостями.
уровнемеры предназначены для измерения Кондуктометрические индикаторы уров­
уровня жидкости, отвесы - для измерения ня выполняют в виде указателей предельных
уровня сыпучих материалов. Преимущество значений или уровнемеров, осуществляющих
электромеханических уровнемеров заключается внепрерывное измерение. Особое значение они
их относительной надежности и в возможнос­ приобретают как дистанционные измерители
102 1.11. ИЗМЕРЕНИЕ УРОВНЯ И РАСХОДА

уровня воды в паровых котлах. На предприя­ например азот. Пневматическое давление,


тиях химической промышленности их приме­ устанавливающееся в погруженной трубке за
няют лишь в качестве указателей предельных дросселем, соответствует гидростатическому
значений. давлению над концом трубки и является тем
Кондуктометрический метод требует самым мерой уровня заполнения резервуара.
меньших затрат, чем емкостный. Недостаток Преимущество гидростатического и
метода в том, что он ограничен измерением пневматического способов заключается в том,
уровня токопроводящих жидкостей. что они обладают весьма высокой эксплуата­
Гидростатический и пневматический ме­ ционной надежностью. Гидростатический ме­
тоды пригодны для измерения уровня любых тод можно использовать для измерения уровня
жидкостей. в резервуарах высокою давления. Преимуще­
Измерение уровня гидростатическим ме­ ство пневматического метода в том, что изме­
тодом основано на измерении давления жид­ рительный механизм не находится в контакте
кости на дно резервуара, которое измеряется в с измеряемым материалом. Поэтому его удоб­
открытых сосудах обычным или дифференци- но применять ддя измерения уровня агрессив­
гльпъш. манометрами. В резервуарах, находя­ ных, сильно загрязненных, вязких и склонных
щихся под давлением, уровень жидкости мож­ к кристаллизации жидкостей.
но измерить только посредством дифференци­ Ультразвук можно использовать для из­
ального манометра. При использовании диф­ мерения уровня как жидкостей, так и сыпучих
ференциальных манометров место установки материалов. Способ непригоден для измере­
измерительного прибора не влияет на пра­ ния уровня жидкости, содержащей твердые
вильность индикации, если оно находится частицы. Такие химические и физические
ниже уровня днища резервуара, а измерение свойства жидкости, как агрессивность, плот­
давления осуществляется относительно давле­ ность и вязкость, играют при этом второсте­
ния постоянного уровня жидкости. пенную роль. Ультразвуковой метод позволяет
Высоту уровня жидкости измеряют осуществлять сигнализацию уровня сыпучих
пневматическим методом с помощью барботи- материалов, а также легких хлопьевидных и
рования газа. В жидкость, уровень которой содержащих воздух материалов, например
надлежит измерить, погружают трубку, в кото­ стиропора, целлюлозы, мелкозернистых или
рую через небольшой дроссель непрерывно порошкообразных синтетических материалов.
нагнетают сжатый воздух или защитный газ.

^)
Рис. 1Л1.2. Схемы ультразвуковых уровнемеров:
сигнализатор предельного уровня; б - с измерением через контролируемую среду;
в - с измерением через воздушнопаровую среду; / - излучатель; 2 - приемник
Мерой уровня служат степень затухания жидкости излучатель и приемник располагают
ультразвука или время его распространения. В либо на днище резервуара (рис. 1.11.2, ,6),
первом случае излучатель и приемник распо­ либо на его крышке (рис. 1.11.2, в). Измере­
лагают внутри резервуара друг против друга ния осуществляют по методу эхолота - опре­
(рис. 1.11.2, а). При заполнении пространства деляют время распространения ультразвука до
между излучателем и приемником жидкостью поверхности жидкости и обратно.
или сьшучим материалом изменяются условия Метод удобен в труднодоступных усло­
распространения ультразвука, что проявляется виях, когда по конструктивным причинам
в изменении амплитуды принимаемого сигна­ невозможно воспользоваться другим способом
ла. Однако такое устройство обеспечивает измерения. Однако метод требует больших
лишь сигнализацию достижения предельного расходов, связанных с необходимостью при­
уровня. Для непрерывного измерения уровня менения электронного оборудования.
МЕТОДЫ И УСТРОЙСТВА ИЗМЕРЕНИЯ УРОВНЯ 103

Измерение уровня радиоактивными изото­ществ с повышенной адгезионной способнос­


пами целесообразно прежде всего там, гДе тью, в резервуарах с высокой температурой
вследствие высокого давления, разреженности, среды, в резервуарах со встроенными мешал­
агрессивности среды нельзя использовать ками, в бункерах с крупнокусковыми материа­
обычные приборы. Наиболее целесообразно лами (уголь, руда), в шахтных печах, на метал­
применять радиоактивные изотопы для изме­ лургических заводах.
рения уровня агрессивных материалов, ве­

z#

л—

Рис. 1.11.3. Схемы расположения рядиоштивных излучателей и приемников


В основе измерения радиоактивными метод измерения со следящим управлением
изотопами лежит поглощение радиоактивного (рис. 1.11.3, д).
излучения соответствующим материалом, на­ Преимущество метода радиоактивных
ходящимся в резервуаре. Известны различные изотопов в том, что этот метод является бес­
схемы расположения излучателей. В варианте контактным. Этим методом можно измерять
на рис. 1.11.3, а использован один изотоп, уровень заполнения резервуара даже в исклю­
испускающий два пучка лучей. Счетчики ра­ чительно сложных условиях. Обеспечивается
диоактивного излучения соединены парал­ эксплуатационная надежность установки, ее
лельно. Как видно из графика, превышение износ и ремонтные работы невелики, что при­
пределов Л^ах и Лдип вызывает резкое изме­ водит к снижению расходов. Погрешность
нение частоты повторения импульсов п. Почти измерения около 2 %.
непрерывная индикация уровня достигается При реализации термического метода
путем размещения друг над другом нескольких используют термопары, проволочные и полу­
излучателей, как показано на рис. 1.11.3, в. проводниковые терморезисторы. Метод не
позволяет измерять уровень химически агрес­
В этом случае индикация носит псевдо­ сивных жидкостей, он также непригоден для
непрерывный характер. Бесступенчатой харак­ измерения уровня заполнения сыпучими ма­
теристики можно достичь, если применить териалами. Дистанционный уровнемер в виде
стержневидный препарат профессора Бертоль- стальной водомерной трубки устанавливают
да. Ввиду того, что мощность препарата на снаружи резервуара и соединяют с ним по
концах стержня усилена, превьпиение мини­ принципу сообщающихся сосудов. На наруж­
мального и максимального уровня заполнения ной стенке стальной трубки размещены на
(рис. 1.11.3, г) выявляется особенно четко. различной высоте параллельно включенные
Таким методом можно производить измерение термоэлементы. Из-за постоянной конденса­
высоты до 3 м. Вариант непрерывного изме­ ции заполненная паром полость трубки нагре­
рения показан на рис. 1.11.3, б. Здесь счетчи­ вается сильнее, чем часть трубки, заполненная
ки радиоактивного излучения устанавливают водой. Изменение уровня воды вызывает более
вертикально. Благодаря расположению в ряд сильное нагревание большего или меньшего
параллельно включенных счетчиков диапазон количества термоэлементов, при этом снимае­
измерения можно увеличить приблизительно мое с них напряжение при прочих равных
до 1,2 м. Другим решением, также пригодным условиях представляет собой меру высоты
для измерения высоких уровней, является заполнения резервуара.
104 1.11. ИЗМЕРЕНИЕ УРОВНЯ И РАСХОДА

Термический метод можно использовать содержит движущихся деталей. Погрешность


также и в случае, когда жидкость, заполняю­ измерения электрического динамометра 0,25
щая резервуар, имеет температуру ниже тем­ %.
пературы 01фужающей среды. В этом случае в Метод измерения уровня с помощью мик­
резервуаре монтируют стержень с электричес­ роволн по принципу радара основан на бескон­
ким подогревом, часть которого, расположен­ тактном измерении расстояния от крышки
ная в жидкой среде, подвергается сильному резервуара до поверхности среды. Обычный
охлаждению. Для резервуаров со сжиженными диапазон измерения от 0,5 до 25 м при по­
газами данный метод непригоден. Из-за тер­ грешности измерения 2,5 мм. Метод чаще
мической инерционности системы метод мож­ всего используют для измерения уровня вяз­
но применять только в резервуарах, уровень ких, загрязненных, взрывоопасных и агрес­
заполнения которых изменяется достаточно сивных жидкостей. Недостаток метода - необ­
медленно. ходимость значительных затрат на электронное
Термический метод можно применять оборудование.
только для измерения уровня жидкостей. Хотя Изменение уровня заполнения резервуа­
термопары позволяют получать лишь относи­ ров можно определять с помощью интерферо-
тельные величины, их преимущество в том, метрического метода измерения расстояния.
что они не нуждаются в источниках вспомога­ Измеряют расстояние до поплавка или до по­
тельной энергии. Терморезисторы требуют верхности жидкости, отражающей лазерные
подвода энергии и их техническое обслужива­ лучи. В качестве измерительного сигнала при­
ние обходится дороже. нимают разность фазовых углов между на­
Применение динамометров для измере­ правленным и отраженным лазерными лучами.
ния уровня заполнения резервуаров любого Измерить смещение рефлектора можно также
типа предпочтительно в случаях заполнения с помощью лазерного интерферометра со счет­
резервуара агрессивным материалом или при чиком. Этим способом можно определять из­
размещении встроенного уровнемера. Метод менение уровня заполнения жидкостью с точ­
удобен также там, где подвешивание резервуа­ ностью до нескольких микрометров.
ра к динамометру или его установка на дина­ В качестве сигнализаторов могут быть
мометр не связаны с конструктивными труд­ использованы вибрационные концевые выключа­
ностями. Он пригоден прежде всего для гру­ тели. В частности, для сыпучих материалов
бых сыпучих материалов. В принципе проис­ применяют вибрирующие подобно камертону
ходит взвешивание содержимого резервуара, в устройства, в которых пьезоэлектрическим
результате которого можно сделать вывод о способом возбуждаются механические колеба­
высоте его заполнения. ния в диапазоне резонансной частоты. Гаше­
Измерение уровня одним динамометром ние этого колебания, возникающее при пере­
возможно лишь в том случае, ес1ли резервуар крытии зонда измеряемым материалом, вызы­
содержит жидкость. При использовании двух вает резкое уменьшение амплитуды колебаний.
динамометров образование суммарной вели­ Это уменьшение фиксируется индикатором.
чины можно осуществить при помощи одного Метод вытеснения. Если тело погрузить в
манометра со сдвоенным измерительным ме­ жидкость, оно становится легче на величину,
ханизмом, причем один механизм воздейству­ пропорциональную массе вытесненной им
ет на стрелку, а другой механизм вращает в жидкости. Путем подбора соответствующей
противоположном направлении циферблат длины тела погружения, определяющего диа­
манометра. При использовании трех динамо­ пазон измерения, можно измерить уменьше­
метров образование суммы величин следует ние его силы тяжести, пропорциональное мас­
производить электрическим путем. В этом се вытесненной жидкости, и преобразовать
случае возможно таким образом полностью полученную величину в пневматический или
исключить силу тяжести резервуара и трубо­ электрический сигнал.
проводов, служащих для заполнения и опо­ Установка смотрового стекла в стенку ре­
рожнения резервуара. зервуара позволяет визуально определять вы­
Преимущество уровнемеров с динамо­ соту уровня. Однако если смотровые стекла
метрами в том, что в самом резервуаре нет ни повреждены или загрязнены изнутри, дефект
одного элемента, необходимого для осуществ­ можно устранить лишь после прекращения
ления измерения. Поэтому целесообразно эксплуатации установки. Поэтому в производ­
применять метод для измерения уровня агрес­ стве прийято осуществлять измерение уровня
сивных материалов. Недостаток метода - при при помощи водомерных стекол. В основе спо­
небольшой высоте уровня точность измерения соба лежит принцип сообщающихся сосудов.
снижается; необходимо также устранять сило­ Водомерные стекла монтируют так, чтобы их
вое воздействие подводящих трубопроводов. можно было отключить посредством запорных
В отличне от гидравлического электри­ клапанов. При работе с вязкими или сильно
ческий динамометр работает очень надежно и загрязненными жидкостями их применять не
не нуждается в техническом уходе, так как не рекомендуется.
МЕТОДЫ И УСТРОЙСТВА ИЗМЕРЕНИЯ РАСХОДА 105

1.11.2. МЕТОДЫ И УСТРОЙСТБА ницу времени, и массовый расход, измеряемый


ИЗМЕРЕНИЯ РАСХОДА в единицах массы в единицу времени.
Классификация методов, применяемых
Расходом называют количество вещества, для измерений объемных расходов, приведена
протекающее через данное сечение трубопро­ в табл. 1.11.1. В зависимости от принципа
вода в единицу времени. Различают объемный действия объемные счетчики подразделяют на
расходу измеряемый в единицах объема в еди­ две большие группы.

1.11.1. Классификация методов для измерений объемных расходов


Метод измерения Тип счетчика Чувствительный Модель Контролиру­
элемент емая среда

Прямое измере­ Объемные счет­ Неподвижные Камера с автомати­ Жидкость


ние объемов (объ­ чики с непод­ камеры ческим переключени­
емные счетчики вижными стен­ ем
непосредственно­ ками измери­
го действия) тельных камер Опрокидываю­ Опрокидывающиеся
(опорожняющие щаяся камера счетчики
счетчики)
Вращающиеся Барабанные счетчики
камеры

Объемные счет­ Поршень Счетчики: Газ


чики с переме­ Вращающийся однопоршневые, мно­
щающимися поршень гопоршневые, кольце­
стенками камер Запорная жид­ вые, с овальными ше­
(вытесняющие кость стернями, сухие газо­
счетчики) Упругий чув­ вые, мокрые газовые,
ствительный дисковые
элемент

Косвенное изме­ Объемные счет­ Аксиальная Лопастные счетчики: Жидкость,


рение объемов чики, лопастные турбинка Вольтмана, роторные. жидкость +
(счетчики без (турбинные) Тангенциаль­ шнековые газ
измерительных ная турбинка
камер)

1. Объемные счетчики непосредственного заполнение измерительных камер обеспечива­


действия, в которых последовательно отмеря­ ется подачей контролируемой среды под не­
ются определяемые размером и формой изме­ большим давлением, а их опорожнение - оп­
рительных камер объемы контролируемой рокидыванием или автоматическим открытием
среды и с помощью счетного механизма под- вьшускного клапана.
считывается число прошедших через счетчик Барабанный счетчик (рис. 1.11.4) являет­
порций. Счетчики этого типа разделяют на ся типичным примером опрокидывающегося
опорожняющиеся и вытесняющие. Опорож­ счетчика. Измерительная камера 2 почти це­
няющиеся счетчики имеют жесткие камеры, из ликом заполнена средой. После окончательно­
которых контролируемая среда свободно выте­ го ее заполнения контролируемая среда через
кает. Счетчики этого типа непригодны для щель начинает поступать в камеры J, в резуль­
измерения расхода как жидкостей, так и газов. тате чего центр тяжести системы смещается
2. Бескамерные счетчики, в которых влево и барабан поворачивается по направле­
объем определяется различными косвенными нию стрелки. При этом измерительная кромка.
методами, например путем измерения пере­ 4 выходит из контролируемой среды; при
дагп>нейшем вращении среда из камеры 2 вы­
мещения или скорости потока, интегрирова­ ливается через выпускное отверстие 5. Одно­
нием расхода по времени. При этом необхо­ временно камера 3 снова начинает наполнять­
димо учитывать плотность контролируемой ся. Для удаления воздуха из измерительной
среды. камеры при ее заполнении предусмотрена
Принцип действия объемных счетчиков. В трубка 1. Погрешность лучших моделей таких
объемных счетчиках опорожняющегося типа счетчиков не превышает 0,1 %.
106 1.11. ИЗМЕРЕНИЕ УРОВНЯ И РАСХОДА

потока

Рис. 1.11.5. Принцип действия счетчика с овальными


шестернями
Рис. 1Л1.4 Схема барабанного счетчика Счетчики с овальными шестернями от­
носятся к измерителям объемного расхода
В вытесняющих счетчиках контролируе­ жидкостей с перемещающимися разделитель­
мая среда приводит в движение подвижные ными элементами. Прибор состоит из измери­
стенки измерительных камер. Погрешность тельной камеры, в которой находятся две
измерения вызывается главньв* образом утеч­ сцепленные между собой овальные шестерни,
ками между неподвижными и перемещающи­ обкатывающие друг друга во встречных на­
мися стенками измерительных камер. Суще­ правлениях. На рис. 1.11.5 показана схема
ственную роль играет вязкость контролируе­ вращения шестерен.
мой среды. Счетчики этого типа применяют
во всех случаях, когда точность расходомеров с Под действием поступающего под давле­
дросселирующим (сужающим) устройством нием в измерительную камеру потока жидко­
недостаточна. Значительным преимуществом сти разделительная стенка, образованная за­
вытесняющих счетчиков является повьпиенная цеплением шестерен, перемещается при об­
точность при измерении пульсирующих пото­ катке и порции жидкости, объем которых за­
ков. Вследствие наличия утечек эти счетчики висит от геометрических размеров четырех
неприменимы для измерения малых расходов. серповидных частей камеры между шестерня­
ми и участками ее стенок, вытесняются через
Известны также расходомеры, в которых выходной патрубок.
вьггесняющие счетчики приводятся в движение При каждом полном обороте шестерен
не за счет энергии потока контролируемой выдаются одинаковые объемы жидкости, по
среды, а сервомотором. В процессе измерения числу оборотов счетчика определяют суммар­
число оборотов сервомотора изменяется таким ный объемный расход. Благодаря высокой
образом, что разность давлений на входе и
выходе расходомера равна нулю. В диапазоне точности измерения ш широком диапазоне
расходов 0,15 - 150 л/ч достижима погреш­ расходов, независимости показаний от вязкос­
ность 0,25 %. ти контролируемой среды, малым потерям
давления и значительному вращающему мо­
Счетчик с кольцевым поршнем (кольцевойменту даже при пуске, а также благодаря дли­
счетчик) состоит из двух полых концентрично тельной работоспособности счетчики нашли
установленных и соединенных между собой широкое применение в качестве измерителей
перегородкой цилиндров. В образованную расходов жидкостей и газов, а также в качестве
таким образом измерительную камеру поме­ измерительных преобразователей (датчиков) и
щают кольцевой поршень с радиальной проре­ сигнализаторов в системах управления и регу­
зью. При своем движении кольцевой поршень лирования.
перемещается радиально вдоль разделяющей ОсновньЕми элементами роторного газо­
перегородки измерительной камеры; одновре­ вого счетчика являются установленные в
менно ось поршня скользит по внутренней подшипниках гладкие роторы, обкатываю­
стенке внутреннего цилиндра. Таким образом, щие друг друга в камере, выполненной в виде
поршень перемещается по внутренней и на­ неподвижных цилиндров неполного кругово­
ружной стенкам измерительной камеры. Для го сечения. Роторы соединены с шестеренча­
входа и выхода контролируемой среды пре­ тым редуктором, залитым маслом. Так как
дусмотрены на одном или на разных торцах зазор между поверхностями роторов равен
измерительной камеры входное и выходное 0,05 - 0,1 мм, то при вращении, вызываемом
отверстия. Кольцевые счетчики применяют в контролируемым потоком газа, роторы не
основном в качестве бьгговых счетчиков расхо­ соприкасаются.
да воды. Счетчики этого типа особенно подхо­ Роторные счетчики применяют в основ­
дят цдя точного измерения малых расходов. ном для установки на газопроводах дальнего
МЕТОДЫ И УСТРОЙСТВА ИЗМЕРЕНИЯ РАСХОДА 107

газоснабжения и при измерении расхода доро­ образование скорости вращения турбинки в


гостоящих газов. Их применение неизбежно электрический сигнал измерителя скорости
при низком давлении газа и требованиям по- снижает энергетические потери. В первона­
вьпиенной точности измерения, несмотря на чальной конструкции прибора такого типа
высокую стоимость. Высокая точность изме­ {расходомер Поттера) постоянный магнит
рения может быть обеспечена только при учете встроен в одну из лопастей или в ступицу тур­
реальных параметров контролируемого газа бинки, помещенной в корпус из аустенитной
(давления, температуры, влажности) и непре­ стали или пластмассы. При вращении турбин­
рывной корректировке показаний. ки магнит индуцирует в расположенной на
С помощью запорной жидкости в мокрых наружной части корпуса обмотке импульсы
газовых счетчиках отделяется часть объема. напряжения, частота которых пропорциональ­
Измерительная камера, включающая эту часть на числу оборотов турбинки. Принцип дей­
объема, поворачивается вокруг оси под дакде- ствия расходомера Поттера аналогичен прин­
нием контролируемой среды, поступающей ципу действия счетчика Вольтмана с аксиаль­
через входное отверстие. По мере вращения ной турбинкой.
измерительная камера заполняется, затем от­ В другом конструктивном варианте
секается дальнейшее поступление среды и (расходомер Rotoquanf) пару или несколько пар
происходит ее вытеснение из измерительной лопастей и ступицу турбинки изготавливают из
камеры, заполненной жидкостью. Малогаба­ ферромагнитного материала, а на наружной
ритные счетчики подобного типа широко части корпуса располагают по окружности или
применяют в лабораториях, при калибровке параллельно оси один или несколько постоян­
расходомеров других типов, а также в качестве ных магнитов с индукционными катушками.
контрольных счетчиков в промышленных ус­ При вращении турбинки под действием конт­
ловиях. ролируемого потока жидкости изменяется
В рассмотренных объемных счетчиках воздушный зазор магнитного корпуса, а следо­
каждому перемещению или повороту чувстви­ вательно, и магнитный поток. Изменение по­
тельного элемента соответствовал точно огра­ тока возбуждает в обмотках переменное на­
ниченный объем жидкости. В рассматривае­ пряжение пропорциональной частоты.
мых далее счетчиках, обеспечивающих косвен­ Применение счетчиков Потгера ограни­
ное определение расхода, в качестве чувстви­ чивается высокими затратами, вследствие чего
тельного элемента применена турбина с лопас­ эти приборы используют в качестве измерите­
тями, вращаемая контролируемым потоком. лей расхода горючего в самолетах, а также для
При использовании такого прибора в качестве дистанционного измерения на нефтепроводах.
объемного счетчика число оборотов турбинки Компактность конструкции приборов Ro-
должно быть пропорционально объему проте­ toquant позволяет применять их при высоких
кающей жидкости. давлениях.
Одним из наиболее распространенных Одноструйные тангенциальные счетчики
счетчиков подобного типа являются счетчики характеризуются наличием прямого гладкого
Вольтмана. Их вьшолняют двух видов: канала, по которому протекает контролируе­
1) со шнековой турбинкой, ось которой мая среда. Поток жидкости тангенциально
совпадает с направлением контро.лируемого подводится к турбинке и приводит ее во вра­
потока и соединена передачей со счетчиком щение. В многоструйных счетчиках имеется
оборотов - так называемые счетчики с акси­ специальный корпус, направляющее устрой­
альной турбинкой; ство которого распределяет струи жидкости по
2) с турбинкой, ось которой перпендику­ всему периметру турбинки. Тангенциальные
лярна направлению потока и несет на себе счетчики позволяют точнее контролировать
счетчик оборотов - так называемый счетчик с расходы, чем счетчики Вольтмана. Однако при
вертикальной турбинкой. одинаковом условном проходе допустимая
Принцип действия приборов обоих ти­ продолжительность работы тангенциальных
пов основан на измерении скорости вращения счетчиков в случае сохранения допустимых
турбинки контролируемым потоком жидкости. потерь давления меньше, чем счетчиков Воль­
В химической промьпиленности счетчики тмана.
Вольтмана с вертикальной турбинкой приме­ Методы измерения расхода по перепаду
няют главным образом для измерения расхода давления основаны на использовании энерге­
горячей и холодной воды. Преимущественно тических закономерностей, определяющих
их устанавливают на турбопроводах с диамет­ зависимость кинетической энергии потока, а
ром условного прохода более 50 мм. следовательно, его скорости от физического
При измерении мальгк расходов турбин­ состояния среды. При дросселировании пото­
ными счетчиками с механической передачей ка установленным в турбопроводе сужающим
энергетические потери в системе передачи от устройством скорость его увеличивается и
турбинки к счетчику числа оборотов вызывают согласно уравнению Бернулли потенциальная
значительные погрешности. Индуктивное пре­ энергия давления превращается в кинетичес,-
108 1.11. ИЗМЕРЕНИЕ УРОВНЯ И РАСХОДА

кую. По возникающему перепаду давления на точках поперечного сечения трубопровода,


сужающем устройстве может быть определен лежащих на одном диаметре, а путем усредне­
расход. В качестве сужающих устройств ис­ ния результатов этих замеров определяется
пользуют дифрагмы, сопла, трубки Вентури. суммарный динамический напор, являющийся
Подобно методам измерения расхода при мерой расхода; необходимый поправочный
помощи устанавливаемых в контролируемом коэффициент, зависящий от диаметра трубо­
потоке сужающих устройств, метод динами­ провода и числа Рейнольдса, находится эмпи­
ческого напора относится к группе методов рически.
определения расхода по переменному перепа­ Разновидностью напорного расходомера
ду давления. является устройство с напорной шайбой. В тру­
бопровод помещают цилиндрическое тело
(шайбу). Возникающее на шайбе под действи­
ем динамического напора контролируемого
Wi. W2 - О <=^^ потока динамическое усилие преобразуется
методом силовой компенсации в пневматичес­
кий выходной сигнал.
Метод измерения расхода по потере давле­
ния на прямом участке трубопровода основан
на использовании сопротивления* трения для

и
получения измерительной информации о рас­
ходе. Изменения скорости потока и его кине­
тической энергии на измерительном участке
являются помехам и должны быть исключены
или скорректированы.
Реализацией метода определения расхода
Рис. 1Л1.6. Метод определения расходж путем измерения усилия, развиваемого пото­
Pst динамического
п^гем измерения W Ро няпоря: ком, набегающим на помещенное в него тело,
1 - напорное устройство; p^t - статическое давление; является поплавковый расходомер (ротаметр).
PG- суммарное давление Принхщп его работы основан на измерении
Для измерения в контролируемый поток усилия, развиваемого контролируемым пото­
ком, обтекающим помещенный в него попла­
помещают небольшое напорное устройство вок. Ротаметры могут быть изготовлены из
(рис. 1.11.6) и определяют распределение ско­ коррозионно-стойких материалов для измере­
ростей потока по сечению трубопровода. Рас­ ния расходов практически любых сред. Уста­
ход определяют путем интегрирования полу­ новка ротаметра в трубопровод не требует
ченного распределения скоростей по площади наличия перед ним прямого участка. Это по­
сечения. зволяет устанавливать приборы такого типа
По сравнению с другими устройствами, непосредственно до и после изгибов трубопро­
предназначенными для измерения скоростей водов и вентилей. Потеря давления на рота­
потоков, напорные трубки обладают универ­ метрах мала и при выборе прибора соответ­
сальностью и простотой конструкции. Суще­ ствующего размера может быть доведена до
ственным их недостатком являетрд малая ве­ минимума. Приборы просты по конструкции
личина характеризующего расход динамичес­ и состоят из малого числа деталей. Погреш­
кого давления, измерение которого с доста­ ность измерения не превышает 2 %, а при
точной степенью точности лишь, в редких слу­ особо точной калибровке может быть умень­
чаях может производиться обычными дифма- шена до 1 %.
нометрами. Принцип действия пружинно-дискового
Стоимость расходомеров с большим ди­ расходомера аналогичен принципу действия
аметром условного прохода и затраты на их ротаметра. В ротаметрах вес поплавка уравно­
установку в трубопроводы большого диаметра вешивается суммой усилий потока и подъем­
увеличиваются непропорционально увеличе­ ной силой, в пружинно-дисковом расходомере
нию размеров трубопровода. Это обусловило уравновешивающее усилие развивается изме­
необходимость разработки ряда методов изме­ рительной пружиной. Возможности установки
рения расходов, основанных на измерении пружинно-дискового расходомера аналогичны
местных скоростей потока в одной или не­ таковым для ротаметров. В приборе легко за­
скольких точках поперечного сечения трубо­ менять Измерительную пружину и шкалы при
провода и последующем определении средней изменении диапазона измерения. Существен­
скорости потока в данном сечении, по кото­ ным преимуществом по сравнению с ротамет­
рой определяется расход. К числу подобных рами является независимость показаний при­
расходомеров относятся погружные турбинные бора от влияния силы тяжести, что позволяет
счетчики, напорные трубки и тепловые зонды. устанавливать его в любом положении и изме­
В расходомере Аннубсера напорными трубками рять, например, расходы в потоках, направ­
измеряются динамические напоры в четырех ленных сверху вниз.
МЕТОДЫ И УСТРОЙСТВА ИЗМЕРЕНИЯ РАСХОДА 109

В расходомерах с поворотной лопастью Корреляционные методы измерения расхода


непосредственно измеряется усилие, развивае­ основаны на использовании вызываемых тур­
мое контролируемым потоком на поворотной булентностью потока или особыми течениями
лопасти, уравновешенной ее собственным многофазных смесей случайных возмущений,
весом, реже - усилием пружины. Проходное например местных и нерегулярных колебаний
сечение расходомера при нулевом расходе давления, температуры, электропроводности,
полностью перекрывается лопастью. При уве­ перемещений электрических зарядов, скорос­
личении расхода под действием развиваемого ти, оптической проницаемости потока. Метод
усилия лопасть поворачивается и угол поворо­ предусматривает регистрацию изменяющи:хся
та служит мерой расхода. Приборы этого типа сигналов двух последовательно установленных
предназначены прежде всего для измерений в потоке датчиков; вычисление коррелятором
больших расходов и расходов сильно загряз­ по этим сигналам времени пробега потоком
ненных сред. измерительного участка известной длины
Методы определения расхода по разно­ (расстояние между датчиками) и определение
сти уровней основаны на преобразовании по­ по найденному времени пробега и геометрии
тенциальной энергии положения уровня конт­ измерительного участка искомого расхода.
ролируемой среды в кинетическую энергию Несмотря на то, что корреляционные ме­
потока при постоянстве потенциальных энер­ тоды измерения расхода давно известны, они
гий давления, обеспечиваемых наличием сво­ применялись ранее только для решения узко­
бодной, открытой в атмосферу поверхности. специальных задач, так как были связаны со
Метод применим для измерения расходов
жидкостей, протекающих по открытым лоткам значительными затратами. Стремительное
и каналам. развитие производства быстродействующих и
Существует несколько разновидностей недорогих элементов микроэлементной техни­
подобных устройств. В расходомерах Вентури ки обеспечивает возможность выпуска корре­
боковые сужения канала или соответствующая ляционных расходомеров, конкурентоспособ­
профилировка дна приводят к увеличению ных по своей стоимости.
скорости потока и соответственно к пониже­ Тепловыми называются методы, основа-
нию уровня. В водосливных каналах подпор ные на измерении зависящего от расхода теп­
создается перегородкой с острой кромкой. лового параметра (температуры, разности тем­
Расход определяется по высоте уровня жидко­ ператур или производных от этих величин
сти относительно высоты перегородки. параметров) контролируемого потока или кон­
Измерение расхода меточными^ методами тактирующего с ним тела.
предусматривает введение в контролируемый Так, термоанемометрический метод пре­
поток небольшого количества легко выявляе­ дусматривает определение расхода по измене­
мого вещества и определение времени про­ нию температуры нагреваемой электрическим
хождения им определенного участка пути или током проволоки, помещенной в контролиру­
измерение изменений его концентрации в емый поток газа. Известны два варианта этого
потоке. метода - метод постоянного тока и метод по­
Так, метод солевых растворов по Аллену стоянной температуры. В первом случае ток,
предусматривает импульсивное введение в протекающий по проволоке, поддерживается
контролируемый поток порции солевого ра­ постоянным и контролируется сопротивление
створа. С помощью установленной в непос­ проволоки, во втором - сопротивление прово­
редственной бтшзости от места ввода меточно­ локи поддерживается постоянным путем регу­
го раствора первой пары электродов и нахо­ лирования приложенного к ней напряжения.
дящейся на некотором расстоянии от нее вто­ Методы обладают рядом преимуществ - высо­
рой пары электродов фиксируют изменения кая чувствительность, что обеспечивает воз­
электрической проводимости, обусловленные можность измерения малых и средних скорос­
перемещением метки по контролируемому тей потоков; малая инерционность; простота
участку. Расход определяют по времени пере­ средств обработки информации. К числу недо­
мещения метки между парами электродов. статков методов относятся уменьшение чув­
Дифференциальный метод солевых раство­ствительности с возрастанием скорости пото­
ров предусматривает определение расхода по ка; обусловленная неоднородностью материала
изменению известной концентрации раствора проволоки необходимость индивидуальной
натрийбихромата, вводимого дозирующим калибровки первичных преобразователей.
насосом в течение определенного интервала Благодаря малой инерционности проволочные
времени с постоянным расходом в контроли­ термоанемометры применимы при исследова­
руемый поток. Мерой концентрации является ниях турбулентных потоков.
оптическая плотность, определяемая с помо­
щью высокочувствительного колориметра. Применяемые для измерения скорости
Для создания меток используют радиоак­ потока термозонды состоят из обладающих
тивные материалы. Расход определяют также высоким температурным коэффициентом по­
по времени перемещения метки между двумя лупроводниковых терморезисторов с отрица­
приемниками-счетчиками. тельным или положительным температурным
no 1.11. ИЗМЕРЕНИЕ УРОВНЯ И РАСХОДА

коэффициентом. Тепловое равновесие поме­ да, уголь - вода, песок - вода), жидких метал­
щенного в контролируемый поток электричес­ лов (натрия, ртути, висмута) в системах охлаж­
ки нагреваемого измерительного преобразова­ дения ядерных реакторов.
теля устанавливается в зависимости от условий
его охлаждения. Сопротивление преобразова­ :>//>Ч > •

теля, зависящее от температуры в состоянии


равновесия, измеряется при помощи электри­ L ^^^
ческой схемы. Термозонды используют пре­
имущественно для измерения скоростей пото­
ков жидкостей. Вследствие значительной
инерционности достаточная точность обеспе­ \v^ У
чивается лишь при измерениях скоростей от­ ti
носительно стационарных потоков.
При охлаждении источника тепла Рис. 1.11.7. Схема ультразвукового
(проволоки) потоком воздуха мерой скорости частотно-импульсного расходомера
этого потока может служить температура ис­
точника или потребляемая им мощность в Принцип действия ультразву1^овых расхо­
зависимости от того, какой из этих параметров домеров основан на зависимости скорости рас­
стабилизируется в процессе измерения. В ре­ пространения ультразвуковых колебаний в
жиме стабилизации температуры позистор движущейся жидкости от скорости перемеще­
(терморезистор с положительным температур­ ния самой жидкости. Так, в частотно-
ным коэффициентом) нагревается до темпера­ импульсном устройстве (рис. 1.11.7) излуча­
туры, при которой устанавливается баланс тель S\ непрерывно посылает ультразвуковой
между потребляемой электрической мощнос­ сигнал до момента его появления на приемни­
тью и отдаваемой тепловой мощностью. При ке Е\, после чего S\ выключается и излучение
охлаждении позистора вследствие увеличения прерывается на все время поступления сигнала
скорости потока, сопротивление его снижает­ на приемник Е\\ далее цикл периодически
ся, что увеличивает потребляемую мощность, повторяется. Аналогично работает система
предотвращая дальнейшее снижение темпера­ канала Si - ^2» причем вьщаваемые генерато­
туры. ром импульсы в обоих каналах совпадают по
Согласно закону электромагнитной ин­ фазе. Возникающие две последовательности
дукции, в электрическом проводнике, пере­ импульсов следует через определенные проме­
мешающемся в магнитном поле, возникает жутки времени, которые являются мерой рас­
электрический ток. Этот эффект используется хода.
в индукционном расходомере. Протекающая Возможно непосредственное измерение
жидкость отождествляется с проводником, то разности времен прохождения ультразвуковых
есть должна обладать определенной мини­ колебаний по этим каналам, однако результат
мальной проводимостью. Контролируемый
поток протекает по арМ1фованной изолятором измерения при этом зависит от скорости рас­
трубе, в стенках которой перпендикулярно пространения ультразвука в среде, что являет­
направлению магнитного поля и потока среды ся существенным недостатком метода.
установлены два диаметрально расположенных Дифференциально-фазовый метод предус­
электрода, с которых снимается напряжение, матривает непрерывную посылку синусои­
пропорциональное средней скорости потока. дальных колебаний на два ультразвуковых
Магнитно-индукционные расходомеры от­ датчика попеременно или одновременно (при
личаются видом прикладываемого магнитного двухканальной схеме). Поступающие ультра­
поля - переменное синусоидальное, перемен­ звуковые колебания сдвинуты по фазе относи­
ное с треугольной формой возбуждающего тельно друг друга, так как волны, перемеща­
элекгрического тока, периодически включаю­ ющиеся по направлению потока, движутся
щееся, постоянное. быстрее. Частоту посылки импульсов подби­
Магнитно-индукционный метод обладает рают таким образом, чтобы разность фаз при
следующими достоинствами: по точности пре­ максимальной скорости не превышала длины
восходит другие методы; отсутствие непосред­ волны X. Тогда
ственного контакта с контролируемым пото­ А ф / 3 6 0 = А / / T = fM,
ком; результаты измерения не зависят от тем­
пературы, вязкости, концентрации давления и
направления движения контролируемой сре­ где А/ - разность времени прохождения ульт­
ды; способ применим для измерения расхода развуковых колебаний; Т - период колебаний;
химически агрессивных и коррозионно- / - частота колебаний.
акгивных жидкостей, ламинарных и турбулен­ При изучении ультразвуковых колебаний
тных потоков. Метод применяют для контроля постоянной частоты/i в жидкость часть ульт­
агрессивных кислот, пульп (смесей руда - во­ развуковой энергии рассеивается находящими-
МЕТОДЫ И УСТРОЙСТВА ИЗМЕРЕНИЯ РАСХОДА

ся в среде частицами, плотность которых от­


личается от плотности основной среды. При
этом в соответствии с законом Допплера, из­
меняется частота отраженного сигнала. Раз­
ность частот определяется уравнением

/ 1 - / 2 =2/1 V,

Рис. 1.11.8. Измеритель расхода


где f2 - частота отраженного сигнала; UQ - ско­ с качающимся чувствительным элементом
рость звука; v - скорость потока среды; Р -
угол между направлением потока и направле­ Качание тела при движении среды воз­
нием распространения ультразвуковых волн. никает вследствие того, что случайные возму­
щения выводят язычок, находящийся в сред­
При постоянных значениях / i , cosp и нем положении, из состояния покоя. Возму­
UQ разность щающие усилия возникают вследствие турбу­
лентности потока, которая практически всегда
образуется в нем. После возникновения коле­
Таким образом, сдвиг частот прямо пропорци­ баний язычка их частота при постоянной
онален скорости потока v и может быть ис­ плотности среды пропорциональна расходу.
пользован для измерения расхода без потери Гироскопический расходомер состоит из
давления. V-образной измерительной трубки, совер­
Ряд измерителей расхода основан на оп­ шающей крутильные колебания с частотой
ределении частоты вихрей, возникающих в 50 - 60 Гц относительно оси вращения. Кори-
потоке при помещении в него специальных олисова сила, воздействующая на тело, дви­
устройств. Эти завихрения называются вихре­ жущееся с нелинейным ускорением, скручива­
вой дорожкой Кармана. При числах Рейнольд- ет трубку пропорционально произведению
са, превышающих 70, для бесконечно длинно­ массы на скорость. Угол скручивания определя­
го цилиндра диаметром d связь между часто­ ется оптоэлекгронным датчиком, по сигналу
которого вьшисляется массовый расход. Свой­
той вихрей/и скоростью потока v определяет­ ства, протекающей через прибор среды
ся числом Струхаля: (температура, плотность или вязкость), не
C=/flr/v. влияют на его показания, поэтому гироскопи­
ческие расходомеры применимы для измере­
Число Струхаля остается неизменным в ний двухфазных потоков (например, воды и
широком диапазоне чисел Рейнольдса, поэто­ водяного пара) и успешно используются для
му скорость потока может быть определена измерений массового расхода угольной пыли.
измерением частоты вихрей. Лазерный метод измерения скорости пото­
Иногда в контролируемом потоке созда­ ка основан на измерении времени перемеще­
ются вращательные завихрения, перемещаю­ ния пылевых частиц на отрезке пути, ограни­
щиеся в направлении его движения и воспри­ ченном двумя лазерными лучами. Подобный
нимаемые преобразователем, конструкция лазерный прибор используется, например, для
которого вьшолнена без каких-либо подвиж­ измерения расхода в аэродинамических тру­
ных частей. Вращающийся поток создается бах; при этом контролируется скорость всегда
установленными на входе расходомера направ­ присутствующих в воздухе пылевых частиц.
ляющими пластинками, вытянутыми по кон­ Достоинством метода является возможность
туру в направлении движения потока. Встро­ непосредственного измерения скорости без
енный в стенку расходомера терморезистор установки в трубопроводе дополнительных
вьщает импульсы, частота которых пропорци­ устройств и без каких-либо воздействий на
ональна скорости потока, которые поступают поток. Аналогично можно измерять скорость
затем в электронный блок. На выходе расхо­ потоков жидкостей.
домера установлен механический струевьшря- При перемещении частиц относительно
митель, устраняющий вращение потока. неподвижной точки, из которой ведется на­
Измеритель расхода с качающимся телом блюдение, частота рассеиваемого пылью света
пригоден цдя газов и жидкостей. Прибор по­ изменяется пропорционально скорости частиц
казан на рис. 1.11.8. Через штуцер 1 контро­ согласно закону Допплера. В типовом устрой­
лируемая среда поступает в корпус, протекает стве допплеровский эффект для красного из-
через два прямоугольных канала 2 и, выходя о
из них в сечении J, воздействует в точке 4 на лучения гелий-неонового лазера (6328А) со­
качающееся призмообразное тело. Через шту­ ставляет около 1 МГц при скорости потока 1
цер 5 среда удаляется из прибора. м/с. Метод позволяет бесконтактно контроли-
112 1.12. ОБРАБОТКА РЕЗУЛЬТАТОВ НАБЛЮДЕНИЙ

ровать скорость потоков жидкостей и газов в характеристик процессов привело к постанов­


диапазоне от 0,01 мм/с до 1 000 м/с. Метод ке ряда типовых задач, непосредственно осно­
применим при достаточной прозрачности сре­ ванных на обработке результатов измерений.
ды и незначительном содержании в ней час­
тиц, отражающих излучение. 1.12.1. ОБРАБОТКА РЕЗУЛЬТАТОВ
НАБЛЮДЕНИЙ ПРИ ПРЯМЫХ
ИЗМЕРЕНИЯХ
Глава 1.12
Предположим, что произведено п наблю­
ОБРАБОТКА дений Xi, Х2, ... , ^л и точность получения Х/
РЕЗУЛЬТ