Centro de Enseñanza Técnica Industrial

Organismo Público Descentralizado Federal

Investigación Parcial 1

Sistemas Micro Electro-Mecanicos

(MEM’s)

Roberto Arturo Barba Velázquez 14110022

Juan Carlos Nuño Dorado 12110230
Misael López Chávez 9310198

8/Marzo/18

Grupo: 8E
Ingeniería Mecatrónica

Matias Combs Roberto

Centro de Enseñanza Técnica Industrial

Plantel: Colomos
Turno: Vespertino
 Investigación Parcial 1 (MEM´S)

Sistema Micro Electromecánico (MEM´S)

La tecnología MEMS es el resultado de la miniaturización combinada de elementos

eléctricos, mecánicos, ópticos y biológicos. El término MEMS es un acrónimo de
microsistemas electromecánicos en el idioma inglés (Micro-Electro-Mechanical
Systems) y se adoptó oficialmente en 1989 durante una reunión en Estados Unidos
del Instituto de Ingenieros Eléctricos y Electrónicos, o IEEE por sus siglas en inglés,
para referirse a los dispositivos, con dimensiones entre 1 micrómetro y 1 milímetro,
que combinan componentes eléctricos y mecánicos fabricados usando procesos
similares a los empleados en la industria de circuitos integrados, o IC’s por sus
siglas en inglés.

Historia de los MEM´s

Una primera definición general para los MEMS es que se trata de sistemas
embebidos y especializados en miniatura que involucran uno o más componentes o
estructuras micromaquinadas que actúan como sensores o actuadores para habilitar
funciones en un nivel superior dentro de la estructura de un sistema más complejo.

En los Estados Unidos esta tecnología se conoce como Sistemas Micro

electromecánicos (MEMS), en tan- to que en Europa son llamados Tecnología de
Microsistemas (MST). Para uno y otro polo de desarrollo tecnológico las diferencias
de las denominaciones implican diferencias en las definiciones. En tanto que para
los tecnólogos norteamericanos, los MEMS son principalmente dispositivos
electromecánicos, fabricados mediante técnicas desarrolladas por la industria de la
microelectrónica, cuyas dimensiones se encuentran en el orden de los µm, basados
principalmente en estructuras de silicio y que tienen un cierto grado de integración
con circuitos electrónicos desarrollados en este mismo material, para los tecnólogos
europeos se trata primordialmente de sistemas con un alto nivel de integración y
miniaturización (también en el orden de los
µm) que emplean diferentes tecnologías y materiales para fabricar componentes que
son combinados en una sola unidad funcional. Una forma de entender las
diferencias en las definiciones en este campo de investigación y desarrollo es que se

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trata en realidad de un reflejo de la diversidad de aplicaciones y tecnologías que

intervienen en el desarrollo de los MEMS y MST.

Ventaja de los MEM´s

Las principales ventajas de los microsistemas son:

• Procesos de fabricación en lotes para grandes volúmenes de componentes a bajo
coste.
•Producir dispositivos mecánicos más pequeños, livianos, en versiones más rápidas,
con mayor precisión, consumos de energía reducidos, biocompatibles.
• Producir sensores, aprovechando las propiedades electro– mecánicas del Si,
donde las características eléctricas cambian en respuesta a cambios de parámetros
particulares externos como: temperatura, presión, aceleración, humedad y radiación.

Materiales Utilizados

El tipo de estructura de un material esta· anunciado en gran medida por sus enlaces
atómicos y sus complementos. Existen tres tipos de atracciones o interacciones
atómicas: los enlaces únicos, los enlaces covalentes y los enlaces metálicos Los
enlaces únicos se presentan en los materiales cuando la atracción interatómica es
provocada por atracción electrostática entre dos iones adyacentes. Por ejemplo, un
·tomo de sodio (Na) tiene un electrón en su nivel de valencia, el cual puede liberar
fácilmente para convertirse en un iÛn de sodio cargado positivamente. Un ·tomo de
cloro (Cl) puede fácilmente aceptar un electrón para completar su nivel de valencia,
el cual puede producir un iÛn de cloro cargado negativamente. La atracción
electrostática de un enlace único puede provocar que el iÛn de cloro cargado
negativamente se rodee con iones de sodio cargados positivamente. La estructura
de un ·tomo es estable si sus niveles de valencia están completos. El nivel más
externo de valencia puede completarse si comparte electrones con otros ·tomos
adyacentes. El enlace covalente se genera cuando los ·tomos comparten sus
electrones de valencia. Este tipo de enlace es una fuerza interatómica muy fuerte

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que genera moléculas tales como las de hidrógeno (H2) o metano (CH4), las cuales
tienen temperaturas de fusión muy bajas y generan poca atracción sobre moléculas
adyacentes, o diamante, el cual es un enlace covalente de carbón cristalino con una
temperatura de fusión muy alta y gran dureza. La diferencia entre estos dos tipos de
materiales con enlaces covalentes (el metano frente al diamante) es que la
estructura del enlace covalente del metano (CH4) completa su nivel de valencia a
partir de los propios ·tomos que intervienen en la formación de una sola molécula, en
tanto que los niveles de valencia de los ·tomos de carbón en el diamante se
completan a través de la repetición de una estructura con un gran número de ·tomos
del propio elemento (estructura que recibe el nombre de cristal, malla o latica en
inglés). El tercer tipo de enlace interatómico es el enlace metálico. Este tipo de
enlace ocurre cuando solo cuando unos cuantos electrones de valencia en un ·tomo
pueden removerse fácilmente para generar un iÛn positivo (es decir, un núcleo
cargado positivamente y ningún electrón de valencia) y un electrón libre. Metales
tales como el cobre exhiben este tipo de enlace interatómico. Los materiales con
enlace metálico tienen una alta conductividad eléctrica y térmica. Por otra parte,
existe un tipo de enlaces débiles debidos a las llamadas fuerzas de van der Waals El
origen de estas fuerzas se encuentra en la asimetría de las fuerzas electrostáticas
presentes en las moléculas, tales como la polarización molecular debida a dipolos
eléctricos. Estas fuerzas son muy débiles y frecuentemente son observables cuando
los enlaces únicos, covalente o metálicos no están presentes. Por ejemplo, en los
gases nobles, los enlaces únicos, covalentes o metálicos no se presentan debido a
que sus niveles de valencia están completos y no pueden ceder o aceptar electrones
hacia o desde otros ·tomos.

Estructura de los materiales

La estructura atómica de los materiales puede ser clasificada en general como:

cristalina, poli cristalina o amorfa. Un material cristalino tiene una enorme estructura
atómica tridimensional en la cual los ·tomos ocupan locaciones especias dentro de la
estructura de la malla a latica. El silicio epitaxia o el diamante, son ejemplos de
materiales que presentan una estructura cristalina. Un material poli cristalino
consiste de una matriz de granos, los cuales son pequeños cristales de algún
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material con otro material de contacto empotrado entre cualquier par de granos
adyacentes que recibe el nombre de frontera o límite de los granos.

Tecnologías de Fabricación

Los microsistemas pueden ser construidos de partes producidas usando diferentes

tecnologías sobre diferentes substratos y unidos o conectados juntos; es decir, un
sistema híbrido. Por ejemplo, un circuito de silicio podría ser usado para realizar los
circuitos de control, mientras que los actuadores que éste controlara podrían ser
micro- moldeados en plástico o de metal galvanizado usando la técnica LIGA (un
acrónimo de las palabras Alemanas para decir litografía, galvanizado y moldeado).

La fotolitografía en el contexto de los Sistemas Micro Electromecánicos es de una

forma típica y general, la transferencia de un patrón hacia un material foto sensible a
través de la selección del material de exposición para con la fuente, que puede ser
entre otros, luz. En este proceso, si nosotros selectivamente exponemos un material
fotosensible a una radicación, el patrón de la radiación en el material es transferido
al material expuesto.

El proceso de fotolitografía es usado generalmente en la deposición de metales, en

corrosión seca o mojada.

Por otro lado la deposición y moldeado de plástico (LIGA), obtuvo sus siglas de un
acrónimo Alemán, dado para la litografía de los rayos X; y es un proceso
desarrollado a principios de 1980 por W. EhrfeldLIGA fue una de las más exitosas
técnicas que permitió la demanda de manufacturar estructuras muy delgadas y altas.

Alternativamente todos los componentes de un sistema podrían ser construidos

sobre un simple substrato usando una tecnología (un sistema monolítico).

Los sistemas híbridos tienen las ventajas que la mayoría de la tecnología apropiada
para cada componente puede ser seleccionada para optimizar el desempeño del
sistema. Esto llevará frecuentemente a un tiempo de desarrollo más corto ya que las
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técnicas de micro-fabricación para cada componente pueden ya existir, y

compromisos no tendrán que ser hechos para asegurar que cada componente
pueda ser fabricado sin daños junto con los componentes ya existentes sobre el
substrato.

Los dispositivos monolíticos típicamente serán más compactos que los dispositivos
híbridos, y más fiables (pocas interconexiones que pudieran ser erróneas, por
ejemplo). Además, una vez que el proceso de fabricación ha sido desarrollado, ellos
pueden ser fabricados más económicamente ya que menos ensamblado es
requerido.

Por otro lado, mientras que las obleas de MEMS y de semiconductores están
estampadas por fotolitografía, la fabricación específica de MEMS crea
características físicas en las obleas quitando capas que se pueden sacrificar debajo
de las estructuras mecánicas deseadas, haciendo que esta diferencia fundamental
repercuta en consecuencias para el procesamiento

Principio de Funcionamiento del Acelerómetro

Como el aire que se encuentra en el interior de la burbuja posee un gradiente de

temperatura, y, sabiendo que la densidad del aire caliente es menor que la del aire
frío, cualquier cambio del movimiento del sensor hace que el aire refrigerado fuerce
a la masa de aire caliente a desplazarse hacia el lateral de la cavidad en el sentido
de la aceleración. Este movimiento de las masas de aire crea un diferencial de
temperatura que recogen los termopares y la amplificación de esta señal produce
una salida que permite caracterizar la naturaleza del movimiento, choque o
inclinación, así como la dirección de la fuerza aplicada. La dirección puede ser
horizontal o vertical (el ángulo de inclinación/inclinación en relación con la gravedad
de la tierra) El funcionamiento del sensor se muestra en la Fig. 16 Acelerómetro en
reposo alimentado. y en Fig. 17 Efecto de Aceleración. La secuencia de
funcionamiento comienza con el sensor alimentado y en reposo, donde debido a la
acción del calentador se ha generado una masa de aire caliente en el centro de la
cavidad. Cuando el dispositivo esta en reposo y alimentado, el calentador crea un
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núcleo de aire caliente en el centro, el perfil de temperatura/distancia en la Fig. 16

muestra la temperatura máxima directamente encima del calentador sin la
aceleración o la inclinación. Esto crea una masa de aire cálido centrado en el
elemento de calentador. En los ejes situados sobre la gráfica podemos comprobar,
además, el gradiente de temperatura que se genera, de forma que la temperatura
máxima del centro de la cavidad va disminuyendo de forma simétrica hacia ambos
extremos de la misma de forma que ambos termopares tienen en la misma
temperatura, y no se generara ninguna señal diferencial dentro del sistema. Cuando
el acelerómetro esta en reposo (equilibrio) el aire calido produce un gradiente de
temperatura entre el calentador y los termopares que forman el sensor. En este
estado, la temperatura a ambos lados es igual, y por tanto la gráfica resultante es
simétrica. La masa de aire cálido esta centrada en la barra de calentador.

Cuando ocurre una aceleración , por convección, el aire frío desplaza al caliente, el
núcleo de aire caliente se desplaza en la misma dirección que la aceleración, esto
crea un diferencial de temperatura entre los termopares. La Fig. 17 ilustra el
resultado del diferencial de temperatura (°t) cuando se aplica al dispositivo una
aceleración (ó desaceleración). Sobre los ejes se muestra un perfil asimétrico de la
temperatura ocurrido por la fuerzo que el aire frío ejerce sobre el cálido, obligándolo
a desplazarse hacia la derecha, sentido de la aceleración. Esto cambia el estado de
equilibrio de la burbuja y se desarrolla un cálculo diferencial de temperaturas que
afecta las resistencias de termopar produciendo una salida que puede ser utilizada
para determinar la aceleración o la inclinación .

Los sensores utilizados para medir la aceleración se denominan acelerómetros. Un

acelerómetro como se intuye por su nombre es un instrumento para medir la
aceleración de un objeto al que va unido, lo hace midiendo respecto de una masa
inercial interna. Los acelerómetros son sensores inerciales que miden la segunda
derivada de la posición. Un acelerómetro mide la fuerza de inercia generada cuando
una masa es afectada por un cambio de velocidad. Existen varios tipos de
tecnologías (piezo-eléctrico, piezo-resistivo, galgas extensométricas, láser, térmico
…) y diseños que aunque todos tienen el mismo fin pueden ser muy distintos unos
de otros según la aplicación a la cual van destinados y las condiciones en las que
han de trabajar. Hay dos parámetros principales a la hora de escoger el medidor

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adecuado, los rangos de funcionamiento de temperatura y frecuencia. Otros

parámetros importantes pueden ser el tamaño, si tienen más funciones, la
resistencia a golpes y por supuesto el precio. Fig. 9 Diferentes tipos de acelerómetro
(marca Honeywell) Los acelerómetros han pasado de estar dedicados a un uso
industrial (medir vibraciones y oscilaciones) y de investigación a estar presentes en
muchos aparatos cotidianos, veremos algunos ejemplos de ellos (Wii, Footpod,
portátiles)

Tipos de Aceleración

Acelerómetros mecánicos
Emplean una masa inerte y resortes elásticos. Los cambios se miden con galgas
extensiométricos3 , incluyendo sistemas de amortiguación que evitan la propia
oscilación. En este tipo de acelerómetro, una (o más) galgas extensométricas hacen
de puente entre la carcasa del instrumento y la masa inercial, la aceleración produce
una deformación de la galga que se traduce en una variación en la corriente
detectada por un puente de Whetstone, la deformación es directamente proporcional
a la aceleración aplicada al acelerómetro.

Acelerómetros piezoeléctricos
Su funcionamiento se basa en el efecto piezoeléctrico. La palabra piezo de origen
griego significa “apretar”, por lo que se puede deducir su comportamiento: una
deformación física del material causa un cambio en la estructura cristalina y así
cambian las características eléctricas. Su principal inconveniente radica en su
frecuencia máxima de trabajo y en la incapacidad de mantener un nivel permanente
de salida ante una entrada común.

El funcionamiento de este tipo de acelerómetros se basa en las propiedades de los

cristales piezo-eléctricos. Estos cristales cuando son sometidos a alguna fuerza
producen una corriente eléctrica, a causa de la variación de su estructura cristalina.
Fig. 11 Diagrama de un acelerómetro piezo-eléctrico Así que poniendo un cristal de
este tipo entre la carcasa (unida al objeto cuya aceleración se quiere medir) y una
masa inercial se producirá una corriente cuando ocurra una aceleración ya que la
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masa ejercerá una fuerza sobre el cristal. Midiendo esta corriente podremos calcular
la aceleración, bien directamente si se trata de un acelerómetro de salida de
corriente (culombios/g) o bien convirtiéndola a un voltaje de baja impedancia si se
trata de un acelerómetro de salida de voltaje (ejemplo IEPE). A la hora de utilizar
este tipo de sensores para medir la aceleración podemos encontrar diversos tipos en
el mercado con distintos valores de sensibilidad, alcance de la medida, banda de
frecuencia de uso, etc., aunque la mayoría suelen ser de dos tipos, los sensores
propiamente dichos y los que incorporan un amplificador. Los sensores
piezoeléctricos pre-amplificados van siendo cada vez más habituales por la
comodidad de su uso, ya que producen un valor de tensión proporcional a la
excitación aplicada en la salida del amplificador y su comportamiento resulta
independiente del conexionado exterior puesto que carga y resistencia de entrada
del amplificador se mantienen constante siempre. Este tipo de sensores precisa
alimentación. Los sensores piezoeléctricos propiamente dichos no incorporan más
que el dispositivo sensor, careciendo de una salida tan cómoda como los anteriores.

Acelerómetros piezoresistivos
Un acelerómetro piezo-resistivo a diferencia de uno piezo-eléctrico utiliza un sustrato
en vez de un cristal piezo-eléctrico, en esta tecnología las fuerzas que ejerce la
masa sobre el sustrato varían su resistencia, que forma parte de un circuito que
mediante un puente de Whetstone mide la intensidad de la corriente. La ventaja de
esta tecnología respecto a la piezo-eléctrica es que pueden medir aceleraciones
hasta cero Hz de frecuencia.

Acelerómetros capacitivos
Modifican la posición relativa de las placas de un microcondensador cuando está
sometido a aceleración. El movimiento paralelo de una de las placas del
condensador hace variar su capacidad. Los acelerómetros capacitivos basan su
funcionamiento en la variación de la capacidad entre dos ó más conductores entre
los que se encuentra un dieléctrico, en respuesta a la variación de la aceleración.
Los sensores capacitivos en forma de circuito integrado en un chip de silicio se
emplean para la medida de la aceleración. Su integración en silicio permite reducir
los problemas derivados de la temperatura, humedad, capacidades parásitas,

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terminales, alta impedancia de entrada, etc. Cuando se observa el sensor

micromecanizado parece una "H". Los delgados y largos brazos de la "H" están fijos
al substrato. Los otros elementos están libres para moverse, lo forman una serie de
filamentos finos, con una masa central, cada uno actúa como una placa de un
condensador variable, de placas paralelo. La aceleración o desaceleración en el eje
“SENSOR”, ejerce una fuerza a la masa central. Al moverse libremente, la masa
desplaza las minúsculas placas del condensador, provocando un cambio de
capacidad. Este cambio de capacidad es detectado y procesado para obtener un
voltaje de salida.

Acelerómetros Térmicos
Se trata de un nuevo acelerómetro basado en la convección termal. Este tipo de
acelerómetro posee un diseño de tecnología MENS muy simple y práctico al mismo
tiempo; simplemente utilizando un sustrato de silicio en el cual se hace un hueco
para meter una pequeña resistencia que hace de calentador, con dos termopares4
en los extremos. Con esta estructura conseguimos que se forme una cavidad de aire
caliente, llamamos burbuja, sobre los termopares. La principal característica de
estos dispositivos es que tienen sólo un elemento móvil, la burbuja diminuta de aire
caliente, herméticamente sellado dentro de una cavidad existente en el encapsulado
del sensor. Cuando una fuerza externa como el movimiento, la inclinación, o la
vibración es aplicada, la burbuja de aire caliente se mueve de una forma análoga al
mismo. El cambio de estado dentro de la cavidad del integrado, produce un voltaje
que es función de la diferencia de temperatura y que tras ser amplificado,
condicionado, se proporciona como salida el valor de un voltaje absoluto. Para el
diseño de estos acelerómetros debemos crear una zanja en la superficie del silicio
que conforma el sustrato del sensor. Colocamos un calentador, resistencia de silicio,
suspendida en el centro de la zanja generada. Colocamos dos termopares a ambos
lados del calentador de forma que queden simétricos respecto a este, teniendo como
resultado una configuración muy similar a la que presenta el puente de Wheatstone.

Acelerómetros micromecánicos ( MEMS )

Los avances en tecnología electromecánica micro de los sistemas (MEMS) han
permitido la detección del movimiento o los sensores de inercia, conocidos como
acelerómetros, para ser puesto en ejecución en muchos usos para las varias

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industrias. Los acelerómetros están entre los primeros productos de micro sistemas
(MST/MEMS) desarrollados, surgieron en el final de la década de 1980. Sin
embargo, para alcanzar un éxito comercial necesitó el desarrollo que surgió durante
las décadas de los 70, 80, hasta la del 90 con aplicaciones principalmente en los
mercados de la automoción y aeronáutica. Los sensores micrómetro-clasificados
miden el movimiento tal como aceleración, vibración, choque, inclinación, e
inclinación. Actualmente, con la tecnología muy madura, fabricación en volúmenes
muy elevados y a un bajo costo, los acelerómetros están en la mejor posición para
moverse con éxito hacia otras aplicaciones, tales como el área médica, industrial y
de transporte. Con relación a la tecnología básica, distinguimos tres categorías
principales de acelerómetros de MEMS: el capacitivo de silicio, el piezorresistivo y,
finalmente, los acelerómetros térmicos. Hasta el momento, los acelerómetros
capacitivos de silicio dominaban ampliamente el mercado.

Aplicación de los Acelerómetros

La aceleración es una cantidad física fundamental, manifestada de muchas maneras

gravedad, vibración, actividad sísmica, estos son algunos ejemplos. La medición de
la aceleración de manera continua, exacta y a bajo coste, abre numerosas
aplicaciones para los acelerómetros.

Los acelerómetros están siendo cada vez más atraídos hacia mercados diferentes
del automotriz y de la aviación, donde pueden ser usados para medir la inercia. Ellos
también miden la inclinación, característica que es usada principalmente para
transportes, perforación, telemetría, navegación de ciegos u otras aplicaciones
médicas o choques, usado también para mediciones sísmicas, monitoreo del estado
de las máquinas. Detallamos algunos de estos ejemplos: Los fabricantes de
ordenadores portátiles buscan formas para hacer sus productos más seguros. Los
elementos con más facilidades para dañarse son los dispositivos de almacenamiento
masivo (con la consecuente pérdida de información almacenada), discos duros
particularmente. El delicado mecanismo que lee y escribe información a los discos,
flota sobre los discos; un movimiento repentino puede provocar fácilmente un
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problema, destruyéndose la información. Un acelerómetro puede detectar el "ataque

del daño potencial", contrarrestar los choques y evitar que se dañe el disco. Las
aplicaciones militares incluyen ingeniosos sistemas de detonación para mísiles y
bombas. En este caso un acelerómetro forma parte del sistema difuso, la detección
de impacto por la rápida desaceleración asociada. La continua variación de salida
del acelerómetro sería rápidamente analizado, estableciendo el instante preciso en
que la carga explosiva debe ser detonada produciendo el daño máximo sobre el
objetivo. También puede ser utilizado para monitorizar máquinas de salud, maquinas
de rotación para mostrar las características de vibración; grietas o fatigas de las
máquinas, monitorizando continuamente la vibración de una máquina, es posible
avisar de algún fallo inminente

Principio de Funcionamiento del Sensor de Presión

La presión es una fuerza que ejerce sobre un área determinada, y se mide en

unidades de fuerzas por unidades de área.

Esta fuerza se puede aplicar a un punto en una superficie o distribuirse sobre esta.
Cada vez que se ejerce se produce una deflexión, una distorsión o un cambio de
volumen o dimensión.

Las mediciones de presión pueden ser desde valores muy bajos que se consideran
un vacío, hasta miles de toneladas de por unidad de área.
Los principios que se aplican a la medición de presión se utilizan también en la
determinación de
temperaturas, flujos y niveles de líquidos. Por lo tanto, es muy importante conocer
los principios generales de operación, los tipos de instrumentos, los principios de
instalación, la forma en que se deben mantener los instrumentos, para obtener el
mejor funcionamiento posible, cómo se debe usar para controlar un sistema o una
operación y la manera como se calibran.

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Para medir la presión se utilizan sensores que están dotados de un elemento

sensible a la presión y que emiten una señal eléctrica al variar la presión o que
provocan operaciones de conmutación si esta supera un determinado valor límite.

-Tipos de Medidores de Presión

Los medidores de presión son instrumentos de precisión fabricados para medir la

presión sanguínea, la presión de líquidos y gases en tuberías o tanques de
almacenamiento y la presión atmosférica, a grandes rasgos, teniendo para cada uso
diversos equipos disponibles de acuerdo a las necesidades.
Dependiendo de las aplicaciones de los medidores de presión, son las unidades
disponibles para sus resultados, además de que algunos reciben nombres diferentes
dependiendo también del tipo de presión que van a medir.

Manómetro de tubo de bourdon

Este medidor de presión tiene una amplia variedad de aplicaciones para realizar
mediciones de presión estática; es barato, consistente y se fabrica en diámetros de 2
pulgadas (50 mm) en caratula y tienen una exactitud de hasta 0.1% de la lectura a
escala plena; con frecuencia se emplea en el laboratorio como un patrón secundario
de presión.

Un manómetro con tubo bourbon en los que la sección transversal del tubo es
elíptico o rectangular y en forma de C. Cuando se aplica presión interna al tubo, este
se reflexiona elástica y proporcionalmente a la presión y esa deformación se
transmite a la cremallera y de esta al piñón que hace girar a la aguja indicadora a
través de su eje. Las escalas, exactitudes y modelos difieren de acuerdo con el
diseño y aplicación, con lo que se busca un ajuste que de linealidad optima e
histéresis mínima.

Manómetro de tubo abierto

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Un aparato muy común para medir la presión manométrica es el manómetro de tubo

abierto. El manómetro consiste en un tubo en forma de U que contiene un líquido,
que generalmente es mercurio. Cuando ambos extremos del tubo están abiertos, el
mercurio busca su propio nivel ya que se ejerce una atmósfera de presión sobre
cada uno de ellos. Cuando uno de los extremos se conecta a una cámara
presurizada, el mercurio se eleva hasta que la presiones se igualan.

La diferencia entre los dos niveles de mercurio es una medida de presión

manométrica: la diferencia entre la presión absoluta en la cámara y la presión
atmosférica en el extremo abierto. El manómetro se usa con tanta frecuencia en
situaciones de laboratorio que la presión atmosférica y otras presiones se expresan
a menudo en centímetros de mercurio o pulgadas de mercurio.

Barómetros
La presión, por definición, es la fuerza aplicada por unidad de superficie, dando
cabida a una gran gama de acciones y eventos donde se ejerce y es necesario el
uso e medidores de presión para evaluar su magnitud.
Los medidores de presión más conocidos son los barómetros, ya que son utilizados
para medir la presión atmosférica como un indicador de los cambios climáticos en
cualquier región. Lo que realmente hacen estos barómetros es medir cual es la
presión ejercida por el peso de la atmosfera por unidad de superficie, dependiendo
del sistema de medición que se utilice. Las diferentes dimensiones utilizadas para la
presión atmosférica comprenden los kilogramos por centímetro cuadrado, libras por
pulgada cuadrada, milímetros de mercurio y atmósferas, entre otros.

Barómetro de mercurio
Un barómetro de mercurio ordinario está formado por un tubo de vidrio de unos 850
mm de altura, cerrado por el extremo superior y abierto por el inferior. Cuando el
tubo se llena de mercurio y se coloca el extremo abierto en un recipiente lleno del
mismo líquido, el nivel del tubo cae hasta una altura de unos 760 mm por encima del
nivel del recipiente y deja un vacío casi perfecto en la parte superior del tubo. Las
variaciones de la presión atmosférica hacen que el líquido del tubo suba o baje
ligeramente; al nivel del mar no suele caer por debajo de los 737 mm ni subir más de

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775 mm. Cuando el nivel de mercurio se lee con una escala graduada denominada
nonius y se efectúan las correcciones oportunas según la altitud y la latitud (debido
al cambio de la gravedad efectiva), la temperatura (debido a la dilatación o
contracción del mercurio) y el diámetro del tubo (por los efectos de capilaridad), la
lectura de un barómetro de mercurio puede tener una precisión de hasta 0,1
milímetros.
Barómetro Aneroide

Un barómetro más cómodo (y casi tan preciso) es el llamado barómetro aneroide, en

el que la presión atmosférica deforma la pared elástica de un cilindro en el que se ha
hecho un vacío parcial, lo que a su vez mueve una aguja. A menudo se emplean
como altímetros (instrumentos para medir la altitud) barómetros aneroides de
características adecuadas, ya que la presión disminuye rápidamente al aumentar la
altitud. Para predecir el tiempo es imprescindible averiguar el tamaño, forma y
movimiento de las masas de aire continentales; esto puede lograrse realizando
observaciones barométricas simultáneas en una serie de puntos distintos. El
barómetro es la base de todos los pronósticos meteorológicos.

Aplicación del MEM´s como sensor de Presión

Los sensores de presión basados en MEMS cuentan con el soporte de los chips
interfaces para sensores de altas prestaciones de la propia compañía (como el
MLX90320) para llevar a cabo el acondicionamiento de la señal de salida. Estos
sensores están especialmente indicados para diversas aplicaciones de
monitorización de la presión de los neumáticos en el automóvil, así como en
controles de procesos industriales, electrodomésticos, equipos médicos y
dispositivos electrónicos de consumo.

Tecnología de Micro maquinado

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El micro maquinado es la tecnología de grabado que permite la fabricación de micro

estructuras móviles de tres dimensiones, se basa en las tecnologías de fabricación
para CI. Esta técnica puede grabar diversos materiales como polisilicio, óxidos,
nitruros, vidrios, polímeros, materiales orgánicos, compuestos de las familias III y IV,
y metales.

El micro maquinado se puede realizar tanto con grabado húmedo como con grabado
seco

Bibliografía:

- https://www.editorialdigitaltec.com/materialadicional/ID326_CamachoyLeal_Int
roduccionalasimulacion.cap1.pdf

- http://www.ptolomeo.unam.mx:8080/xmlui/bitstream/handle/132.248.52.100/3
06/A4.pdf?sequence=4

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