Вы находитесь на странице: 1из 5

2008 Компьютерная оптика, том 32, №1

ОПТИЧЕСКИЕ ТЕХНОЛОГИИ

ВЫБОР МАТЕРИАЛОВ ДЛЯ «АХРОМАТИЗАЦИИ»


РЕЛЬЕФНО-ФАЗОВЫХ ДИФРАКЦИОННЫХ СТРУКТУР
Г. И. Грейсух, Е. Г. Ежов, С. А. Степанов
Пензенский государственный университет архитектуры и строительства
Аннотация
В работе описана методика выбора материалов двухслойной рельефно-фазовой микро-
структуры дифракционных оптических элементов с целью их так называемой «ахроматиза-
ции», т.е. снижения зависимости дифракционной эффективности от длины волны в задан-
ном спектральном диапазоне.

Введение таких как дифракционные решетки, дифракционные


линзы и фокусаторы.
Зависимость дифракционной эффективности
(ДЭ) дифракционных оптических элементов от дли-
ны волны в ряде случаев существенно ограничивает
эффективность использования таких элементов.
Преодолеть указанное ограничение позволяет пред-
ложенное в 1985 г. А.В. Лукиным, К.С. Мустафиным
и Р.А. Рафиковым решение, позволяющее выровнять
с той или иной степенью точности ДЭ в заданном
спектральном диапазоне [1]. Это решение, предпо-
лагает построение многослойных и, в частности,
двухслойных рельефно-фазовых микроструктур.
Аналогичные решения предложены и в ряде других
более поздних работ, см., например, [2, 3]. На прак- а
тике многослойные структуры для выравнивания
ДЭ впервые использованы фирмой Canon в новых
телеобъективах [4].
ДЭ работающей на просвет рельефно-фазовой
микроструктуры зависит от величины фазового
сдвига, вносимого в проходящую волну. В случае
двухслойной микроструктуры величина фазового
сдвига определяется выражением

∆ϕ(λ) = h ∆n ( λ ) , (1)
λ
где h - высота микрорельефа; λ - длина падающей б
волны; ∆n - разность показателей преломления двух Рис. 1. «Ахроматическая» двухслойная рельефно-фазовая
слоев микроструктуры на длине волны λ (рис. 1). микроструктура с бинарным (а)
Из выражения (1) видно, что фазовый сдвиг а, и пилообразным (б) профилем штриха
следовательно, и ДЭ не будут зависеть от длины В данной статье предлагается методика выбора
волны, если разность показателей преломления двух материалов двухслойной рельефно-фазовой микро-
слоев микроструктуры окажется линейной функци- структуры, обеспечивающая в заданном спектраль-
ей длины волны вида ном диапазоне с достаточно высокой точностью вы-
∆n(λ) = bλ , (2) полнение условия (2), а, следовательно, и выравни-
вание ДЭ в этом спектральном диапазоне.
где b - величина, независящая от длины волны.
Решение, направленное на подавление зависимо- Методика выбора оптических материалов
сти ДЭ от длины волны за счет построения структу- Реальный оптический материал (стекло, пластик
ры из нескольких слоев универсально в том плане, или поликристалл) заменяется моделью, у которой
что положительный эффект не зависит от закона из- показатель преломления в заданном спектральном
менения пространственной частоты структуры по диапазоне линейно зависит от длины волны исполь-
поверхности дифракционного оптического элемента. зуемого излучения
Следовательно, это решение применимо для «ахро-
матизации» элементов любого типа и, в частности, N (λ ) = N + B (λ − λ ) , (3)

43
Выбор материалов для «ахроматизации» рельефно-фазовых дифракционных структур Г.И. Грейсух, Е.Г. Ежов, С.А. Степанов

где N - показатель преломления модели на опорной При этом, поскольку, как следует из (2), с ростом
длине волны λ близкой к середине заданного спек- длины волны разность показателей преломления
трального диапазона. Отметим, что в формуле (3) и должна неуклонно возрастать, то материалы двух
ниже показатель преломления модели и коэффици- слоев должны иметь разную величину дисперсии и
енты, входящие в него, в отличие от соответствую- материал с меньшей дисперсией должен иметь
щих величин, относящихся к реальным материалам, больший показатель преломления. В случае стекол
обозначены прописными буквами. это реализуется парой, включающей крон (малая
Замена конкретного материала моделью осу- дисперсия) и флинт (большая дисперсия), причем
ществляется путем линеаризации показателя пре- показатель преломления крона должен превышать
ломления в заданном спектральном диапазоне, показатель преломления флинта.
например, методом наименьших квадратов. В этом На рис. 3 в координатах N и B представлено
случае величины N и B определяются по форму- семейство точек, соответствующих моделям 14 ре-
лам [5] ально существующих флинтов, выбранных из отече-
ственного и ряда иностранных каталогов стекла.
J J  J  J J J
Линеаризация показателей преломления этих стекол
∑λ ∑n 2
j j +  J λ − ∑ λ j  ∑ λ j n j − λ∑ λ j ∑ n j
выполнена в интервале длин волн, охватывающем
N=
j =1 j =1  j =1  j =1 j =1 j =1
2
, (4) видимый и ближний ИК диапазоны ( λ min = 0,4 мкм и
J  J 
J ∑λ j −  ∑λ j 
2
λ max = 0,9 мкм), а в качестве опорной, принята длина
j =1  j =1 
волны излучения He-Ne лазера ( λ = 0,6328 мкм).
J J J Параллельные прямые I и II на рис. 3 – зависимости
J ∑ λ jnj − ∑ λ j ∑ nj
j =1 j =1 j =1 N 2 ( B2 ) = N1 + ( B2 − B1 )λ , (7)
B= 2
, (5)
J  J  относящиеся ко второму слою, в случае если первый
J ∑ λ 2j −  ∑ λ j  слой выполняется из моделей, полученных путем
j =1  j =1  линеаризации в том же самом спектральном диапа-
где J - количество отсчетов внутри заданного спек- зоне показателей преломления кронов двух марок:
трального диапазона; n j - показатель преломления ре- BACED4 (каталог HOYA) и E65-40 (каталог
ального оптического материала на длине волны λ j . OLD_CORN). Подчеркнем, что каждая из этих пря-
мых является геометрическим местом точек, обра-
Требование (2) при линеаризации показателей зующих семейство моделей флинтов, которые в паре
преломления в соответствии с выражением (3) обу- с моделью соответствующего крона (в данном слу-
славливает связь коэффициентов N и B моделей чае с BACED4 или E65-40) обеспечат строгое по-
двух выбранных материалов, описываемую ниже- стоянство ДЭ.
следующим уравнением:
( N1 − N 2 ) + ( B2 − B1 )λ = 0 . (6)
Здесь индексы 1 и 2 относятся к материалам пер-
вого и второго слоев микроструктуры, соответ-
ственно. Одновременное же выполнение условий (3)
и (6) приводит к тому, что прямые зависимостей
N1 (λ) и N 2 (λ) должны пересекаться в точке λ = 0 ,
как показано на рис. 2.

Рис. 3. Семейства точек, удовлетворяющих


уравнению (7) (прямые I, II) и точек,
соответствующих моделям флинтов (1-14):
1- FF5 (каталог HOYA); 2- F2 (каталог SCHOTT);
3- E-FD2 (каталог HOYA); 4- ТФ8 (каталог ГОСТ);
5- FD1 (каталог HOYA); 6- FD10 (каталог OLD HOYA);
7- FF8 (каталог HOYA); 8- SFL4 (каталог SCHOTT);
9- FD14 (каталог HOYA); 10- FD110 (каталог HOYA);
11- LASF36A (каталог SCHOTT); 12- FD6 (каталог
HOYA); 13- FDS90 (каталог HOYA);
14- SF58 (каталог SCHOTT)
Прямая I проходит через точку семейства, соот-
Рис. 2. Прямые зависимостей N1 (λ ) (1) и N 2 (λ) (2), ветствующую модели флинта FF5, а к прямой II
удовлетворяющих условиям (3) и (6) максимально близка точка, соответствующая модели
флинта FD6 (оба стекла из каталога HOYA). По-

44
2008 Компьютерная оптика, том 32, №1

строив прямые N 2 ( B2 ) , соответствующие моделям многоступенчатого профиля штриха ( k ≥ 3 ) - при


всего ряда доступных для использования кронов, и ∆ϕ = 2π . Поэтому, как это следует из выражения (1),
идентифицировав ближайшие к каждой из прямой высота микрорельефа, обеспечивающая на длине
точки семейства моделей реально существующих волны λ 0 , максимальную ДЭ, равна
флинтов, найдем все «крон-флинтовые» пары, спо-
λ0
собные обеспечить с той или иной точностью по- h= , (10)
стоянство ДЭ в заданном спектральном диапазоне. p (n01 − n02 )
Сама же точность будет зависеть от двух факторов:
где p = 2 в случае бинарного и p = 1 в случае пи-
во-первых, от того, насколько точка, соответствующая
лообразного рельефа.
модели выбранного флинта, близка к прямой N 2 ( B2 )
В случае однослойной структуры, выполненной из
и, во-вторых, от достижимой точности линеаризации материала с показателем преломления n0 и располо-
в заданном спектральном диапазоне показателей
преломления выбранных крона и флинта. женной в воздухе, высота микрорельефа, обеспечива-
Формулу для вычисления ДЭ рельефно-фазовой ющая на длине волны λ 0 максимальную ДЭ, равна
микроструктуры со ступенчатым профилем штриха λ0
(рис. 4), выполненной из стекла двух выбранных h′ = . (11)
p (n0 − 1)
марок, можно получить, взяв за основу полученное в
скалярном приближении выражение, приведенное, Очевидно, что при использовании для изготовле-
например, в [6]: ния рельефно-фазовой микроструктуры любых ре-
ально существующих оптических материалов
 m 2   k ϕ 
sin 2  π  sin  π  m +  h′ < h .
 k    λ  
ηm = , (8) Из полученного описанным выше способом
π2 m2 π  kϕ  набора «крон-флинтовых» пар наилучшую (с точки
sin 2   m + 
k  λ   зрения решаемой задачи) можно выбрать, приняв
одновременно во внимание высоту микрорельефа,
где
необходимую для достижения на расчетной длине
λ 0 ( n1 − n2 ) волны максимальной ДЭ, и степень отклонения ДЭ
ϕ= , (9)
k ( n01 − n02 ) от максимального значения в заданном спектраль-
ном диапазоне. Последнюю можно оценить, в част-
m - номер порядка дифракции; k - число ступеней ности, по формуле
в профиле штриха; λ 0 - длина волны, под которую
∑ (η − ηj )
J
2
рассчитывается микрорельеф с целью достижения max
на ней максимальной ДЭ; ni и n0i ( i = 1; 2 ) - пока- ∆η =
j =1
, (12)
J −1
затели преломления i -го слоя структуры на длинах
волн λ и λ 0 , соответственно; ϕ - приращение оп- где J - количество отсчетов внутри спектрального
тического пути за счет одной ступени профиля на диапазона; ηmax - максимальная ДЭ элемента, до-
длине волны λ . стигаемая на длине волны λ 0 ; η j - ДЭ элемента на
длине волны λ j .
Здесь необходимо заметить, что, варьируя λ 0
(т.е. изменяя высоту микрорельефа) можно миними-
зировать ∆η и приблизить среднее значение ДЭ,
вычисляемое как
1 J
η = ∑ηj ,
J j =1
(13)

к максимально достижимому, т.е. к ηmax .


В таблице приведены наиболее значимые парамет-
ры рельефно-фазовой микроструктуры с бинарным
Рис. 4. Пилообразный профиль штриха микроструктуры ( k = 2 ) и десятиступенчатым ( k = 10 ) профилем
(1) и его приближение ступенчатым профилем (2) штриха, выполненной из пяти «крон-флинтовых» пар.
при числе ступеней k = 5 Показатели преломления и коэффициенты дисперсии
Напомним, что в приведенном на рис. 1а случае стекол приведены на желтой d−линии гелия
бинарной микроструктуры, т.е. при k = 2 , ДЭ в пер- ( λ d = 0,58756 мкм). При этом с ростом номера пары в
вом порядке дифракции достигает максимума при таблице показатели преломления кронов увеличивают-
∆ϕ = π , в то время как в случае пилообразного или ся. Здесь напомним, что при k = 2 максимально до-

45
Выбор материалов для «ахроматизации» рельефно-фазовых дифракционных структур Г.И. Грейсух, Е.Г. Ежов, С.А. Степанов

стижимая ДЭ в первом порядке дифракции ηmax =0,41, а при k =10 максимальное значение ДЭ ηmax =0,97.

№ п/п Пары стекол λ 0 , мкм k h , мкм η ∆η


BACED4 ( nd =1,617652; ν d =55) 2 13,58 0,40 0,02
1 0,75
FF5 ( nd =1,592703; ν d =35) 10 27,17 0,94 0,05
BAF10 ( nd =1,670030; ν d =47) 2 14,40 0,40 0,01
2 0,70
E-FD2 ( nd =1,647690; ν d =33) 10 28,80 0,94 0,03
CTK19 ( nd =1,744133; ν d =50) 2 5,67 0,38 0,03
3* 0,64
TФ8 ( nd =1,689493; ν d =31) 10 11,35 0,90 0,08
E-LASF08 ( nd =1,88230; ν d =41) 2 3,12 0,38 0,03
4 0,62
FD110 ( nd =1,784719; ν d =26) 10 6,23 0,89 0,10
E65-40 ( nd =1,865000; ν d =40) 2 5,32 0,39 0,02
5 0,67
FD6 ( nd =1,805184; ν d =25) 10 10,65 0,93 0,05
*Данная пара предложена в [1].

Анализ распределений ДЭ двухслойных рельеф- приблизить ее среднее значение к максимальному


но-фазовых микроструктур в пределах выбранного для выбранного числа ступеней в микрорельефе яв-
спектрального диапазона показал, что эти распреде- ляется значительная по сравнению с однослойной
ления для любой «крон-флинтовой» пары, получен- структурой высота рельефа. В то же время, исполь-
ные при различных k, подобны. Что же касается ха- зуя пары стекол, включающие сверхтяжелые кроны,
рактера распределения, то он индивидуален для и оптимизируя для каждой пары значение расчетной
каждой «крон-флинтовой» пары, но отличия, как длины волны λ0, можно при умеренной высоте мик-
видно из рис. 5, не очень значительны. рорельефа получить как среднее значение ДЭ, так и
ее равномерность, вполне приемлемыми для боль-
шинства применений.
Благодарность
Авторы выражают благодарность А.В. Лукину за
представленные материалы и полезные обсуждения.
Литература
1. Лукин, А.В. Голограммный оптический элемент /
А.В. Лукин, К.С. Мустафин, Р.А. Рафиков // Патент
РФ № 1271240. - Опубл. 10. 05. 1996.
2. Ebstein, S.T. Achromatic diffractive optical elements //
Рис. 5. Распределения ДЭ двухслойных десятиступенчатых Proceedings SPIE, 1995. - Vol. 2404. – P. 211-216.
рельефно-фазовых микроструктур, выполненных из двух 3. Takehiko, Nakai. Diffractive optical element and optical
«крон-флинтовых» пар: BACED4/FF5 (–––) и system having the same // Patent No. US 6,262,846 B1.
E65-40/FD6 (- - -); прямая параллельная оси абсцисс Date of Patent: Jul. 17, 2001.
соответствуют максимально достижимому значению ДЭ
для выбранного числа ступеней микроструктуры 4. Canon, Inc site [Электронный ресурс]. – Режим досту-
па: http://www.canon.com/do-info/.
Заключение 5. Зайдель А.Н. Ошибки измерений физических величин
// Спб.: Лань, 2005.
Как следует из представленной таблицы, платой 6. Бобров С. Т., Грейсух Г. И., Туркевич Ю. Г. Оптика
за стремление обеспечить равномерность ДЭ по за- дифракционных элементов и систем // Л.: Машино-
данному спектральному диапазону и одновременно строение, 1986.

46
SELECT OF MATERIALS FOR ACHROMATIZATION OF THE RELIEF-PHASE DIFFRACTION
STRUCTURES
G.I. Greisukh1, E.G. Ezhov1, S.A. Stepanov1
1
Penza State University of Architecture and Construction
Abstract
The paper describes a selecting technique for materials of a two-layer phase-relief DOE micro-
structure with the purpose of its so-called “achromatization,” i.e. with lower wavelength depend-
ence of the diffraction efficiency within the required spectral band.
Keywords: diffractive optical element, two-layer single-relief sawtooth microstructures, dif-
fraction efficiency, spectral range, optical material.
Acknowledgements: The authors are deeply indebted to A.V. Lukin both for his submittals and
for his helpful definitions.
Citation: Greisukh GI, Ezhov EG, Stepanov SA. Select of materials for “achromatization” of
the phase-relief diffractive structures [In Russian]. Computer Optics 2008; 32(1): 43-46.

References
[1] Lukin AV, Mustafin KS, Rafikov RA. The hologram [4] Canon. Inc site [Digital resource]. Access mode:
optical element. Patent No. RF 1271240. Date of Patent: http://www.canon.com/do-info/.
May 10, 1996. [5] Zaidel AN. Errors in measurements of Physical Values:
[2] Ebstein ST. Achromatic diffractive optical elements. a textbook. [In Russian]. St Petersburg: “LAN” Publish-
Proceedings SPIE 1995; 2404: 211-216. er; 2005.
[3] Takehiko Nakai. Diffractive optical element and optical [6] Bobrov ST, Greisukh GI, Turkevich YuG. Optics of dif-
system having the same. Patent No. US 6,262,846 B1. fractive elements and systems [In Russian]. Leningrad:
Date of Patent: Jul. 17, 2001. “Mashinostroenie” (Mechanical Engineering Industry)
Publisher; 1986.