SISTEMA DE LENTES ELECTROMAGNÉTICAS

(LENTE CONDENSADORA-LENTE OBJETIVA)

Fuente: HItachi
 LENTES ELECTRÓNICAS
• El haz de electrones puede ser focalizado por el campo electrostático
o magnético.
• Pero el haz de electrones controlado por el campo magnético tiene
menor aberración, por lo que sólo el campo magnético se emplea en
el sistema SEM.
• Las bobinas de alambre, conocidas como "electroimanes", se utilizan
para producir el campo magnético, y las trayectorias de los
electrones se pueden ajustar por la corriente aplicada en estas
bobinas.
• Incluso utilizando el campo magnético para enfocar el haz de
electrones, las lentes electromagnéticas siguen funcionando mal en
comparación con las lentes de vidrio en términos de aberraciones.
• Las lentes de electrones pueden usarse para magnificar o
desmagnificar el diámetro del haz de electrones, debido a que su
resistencia es variable, lo que da como resultado una longitud focal
variable.
• El SEM utiliza siempre las lentes de electrones para demagnificar la
"imagen" de la fuente de emisión de modo que una sonda estrecha
se puede formar en la superficie de la muestra.
LENTE CONDENSADORA
• El haz de electrones diverge
después de pasar a través de la
placa de ánodo de la fuente de
emisión.
• Mediante el uso de la lente del
condensador, el haz de electrones
es convergido y colimado en una
corriente relativamente paralela.

• Una lente magnética consta generalmente de dos piezas de polo de

hierro rotacionalmente simétricas en las que hay un devanado de
cobre que proporciona un campo magnético.
• Hay un agujero en el centro de las piezas que permite que el haz
de electrones pase a través.
• Un separador de lente separa las dos piezas polares, en las que el
campo magnético afecta (enfoca) el haz de electrones.
• La posición del punto focal se puede controlar ajustando la corriente
de la lente del condensador.
• Una abertura del condensador, en general, está asociada con la lente
del condensador, y el punto focal del haz de electrones está por
encima de la abertura ( Cuando se elige el tamaño de abertura
adecuado, se excluyen muchos de los electrones no homogéneos y
dispersos.
• Para los microscopios electrónicos modernos, a menudo se utiliza
una segunda lente condensadora para proporcionar un control
adicional sobre el haz de electrones.
El MEB tiene un sistema de lentes (condensadoras y objetiva), las
cuales se encargan de:
• Reducir a un diámetro muy pequeño el haz de electrones
• Focalizar este haz de electrones sobre la muestra.
• Los electrones acelerados pasan a través de unas lentes
condensadoras cuyo propósito es la de aproximar el haz incidente
de electrones a la condición de Fraunhofer
Las lentes magnéticas con longitudes focales cortas se obtienen
concentrando El campo magnético por medio de piezas polares. La
figura muestra la Distribución de un campo magnético producido por
una bobina encerrada en un escudo de hierro,
Las lentes electromagnéticas sólo son
convergentes. Las bobinas de cobre
llevan la corriente eléctrica que
energiza la lente y crea el campo
magnético. Este campo magnético es
concentrado entre la parte superior y
la parte inferior de la pieza
magnetizada. El espacio no magnético
de cobre separa los polos norte y sur
del electroimán.
LENTE OBJETIVA

• El haz de electrones diverge por debajo de la abertura del

condensador.
• Las lentes objetivas se usan para enfocar el haz de electrones en un
punto de sonda en la superficie de la muestra y para suministrar
más demagnification.
• Una elección apropiada de la demagnification de la lente y el
tamaño de la abertura da lugar a una reducción del diámetro del haz
de electrones sobre la superficie de la muestra (tamaño del punto) y
mejora la resolución de la imagen.

En las siguientes figuras se muestran tres diseños de lentes objetivas. La

lente del agujero de alfiler asimétrica (a) es la lente de objetivo más común.
Sólo hay un pequeño agujero en la pieza polar, y esto mantiene el campo
magnético dentro de la lente y proporciona una región libre de campo por
encima de la muestra para detectar los electrones secundarios
Sin embargo, esta configuración tiene una gran aberración
de la lente. Para la lente de inmersión simétrica (b), la
muestra se coloca dentro de la lente, lo que puede reducir la
longitud focal significativamente. Esta configuración
proporciona una aberración más baja de la lente porque la
aberración de la lente escala directamente con la longitud
focal. Pero el tamaño de la muestra no puede exceder 5
mm. La lente Snorkel (c) produce un fuerte campo
magnético que se extiende hasta la muestra. Este tipo de
lente posee las ventajas de la lente del agujero de alfiler y
de la lente de inmersión, combinando la aberración baja de
la lente con el permiso de la muestra grande. Además, esta
configuración puede acomodar dos detectores de electrones
secundarios (el detector convencional y en la lente). Las
configuraciones del detector de detalle se discutirán más
adelante
Las lentes usadas electromagnéticas usadas en el microscopio
electrónico cumplen con las leyes de la óptica conocida para lentes de
vidrios

Las propiedades de enfocamiento dependen:

• del potencial de trabajo
• de la corriente en las lentes.
En el microscopio la imagen siempre aparece rotada.
el objetivo en microscopia es la de reducir el crossover inicial formado
antes del ánodo en el cañón de electrones.
La distancia objeto a la primera
lente condensadora es fija pero la
distancia imagen q si se puede
variar con el aumento de la
corriente (I) a través de la lente
ya que:

El diámetro de la fuente de
electrones (haz de electrones) do
es reducido a un haz fino de
diámetro dk por las lentes
condensadora y objetivo como se
indica en la figura
𝑏1 𝑏2
𝑀1 = , 𝑀2 =
𝑎1 𝑎2
𝑑𝑘 = 𝑑𝑜 𝑀1 𝑀2
• Aunque parece que dk podría hacerse infinitamente más pequeño al
reducir M1 y M2, no es tan simple.
• Si b1 se acorta, M1 se reduce excesivamente, los electrones
incidentes en la lente objetivo se reducirán y no se obtendrá una
corriente de sonda (corriente irradiante) requerida para la formación
de una imagen.
• En realidad la corriente de la lente del condensador se ajusta de
manera que M1 se minimice en el intervalo en el que se puede
obtener una corriente de sonda suficiente para formar imagen y
sobre todo hay que tener en cuenta que la corriente de sonda tiene
que ser suficiente para el análisis EDS.
• Otros factores que afectan dk son las distorsiones y las aberraciones
EFECTO DE LA DISTANCIA DE TRABAJO
EFECTO DE VARIAR LA POTENCIA EN LA LENTE CONDENSADORA
 Señales generadas al interaccionar el haz de electrones
con el sólido
Cuando el haz de electrones incide sobre la muestra se dan interacciones
complejas y como resultado de estas interacciones se generan diferentes
tipos de señales.

ELECTRONES SECUNDARIOS

ELECTRONES
RAYOS X RETRODISPERSADOS

CATODOLUMINISCENCIA ELECTRONES AUGER

ELECTRONES ABSORBIDOS
MUESTRA

ELECTRONES
TRANSMITIDOS
Volumen de Interacción y Rango electrónico
La forma y profundidad del volumen de
interacción limita la resolución máxima que
puede alcanzar el MEB.
Kanaya y Okayama encontraron una
expresión para el rango electrónico R

Dependiendo de:
La energía de trabajo
El número atómico y también del
Ángulo de inclinación
DEPENDENCIA DE η CON EL NUMERO ATOMICO (Z) Y LA
ENERGIA DE LOS ELECTRONES INCIDENTES

Existe una dependencia entre η y Z (si se trata de una

aleación. Esto se debe a la fuerte dependencia del
proceso elástico con Z
Se observa del grafico anterior una pobre
dependencia de η con la energía del haz primario,
que ha diferencia del volumen de interacción
crece con el aumento de este

Η sufre una variación del 10% en el intervalo de

(10-49) KeV
¿Cómo se explica esto?
 Coeficiente de electrones
Coeficiente de electrones retrodispersados vs Número
retrodispersados vs Número atómico atómico para diferentes energías
DEPENDENCIA DE η CON LA INCLINACIÓN
DE LA MUESTRA
ELECTRONES SECUNDARIOS