Вы находитесь на странице: 1из 48

Закрытое акционерное общество «Индустриальный Технический Вакуум»

D397-21-880
Выпуск B RUS 1

Руководство по эксплуатации
Контроллер измерительных приборов TIС

Описание Номер Изделия

TIC контроллер измерительных приборов D397-00-000

РОССИЯ 194156, Санкт-Петербург, пр. Энгельса 33/1 А офис 408


тел. +7 812 326-3896 факс +7 812 326-3895 e-mail: info@invac.ru http://www.invac.ru
Декларация Соответствия

Мы, ВОС Edwards,


Manor Royal
Crawley
West Sussex, RH10 12LW, UK

заявляем под нашу исключительную ответственность, что указанная


ниже продукция

TIC контроллер измерительных приборов D397-00-000


TIC турбо контроллер100Вт D397-11-000
TIC турбо контроллер200Вт D397-12-000
TIC контроллер турбонасосов и
измерительных приборов 100Вт D397-21-000
TIC контроллер турбонасосов и
измерительных приборов 200Вт D397-22-000

к которой относится данное соглашение, соответствует следующим стандартам и


нормативным документам

EN61010 Требования безопасности, предъявляемые к элек-


трическому оборудованию при проведении измере-
ний, контроле и лабораторном использовании. Гла-
ва 1 – общие требования.

EB61326 (производст- Электрическое оборудование для проведения


венное назначение измерений, контроля и лабораторного использова-
класс В) ния – Требования ЕМС

73/023/ЕЕС Инструкция о работе при низком напряжении

89/336/ЕЕС Инструкция по электромагнитной совместимости

Система контроля качества изготовления продукции сертифицирована по ISO9001


СОДЕРЖАНИЕ
Раздел Название Страница

1 ВВЕДЕНИЕ 1
1.1 Об этом руководстве 1
1.2 Описание прибора 2

2 ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ 3
2.1 Электрические данные 3
2.2 Условия эксплуатации и хранения 3
2.3 Механические характеристики 3
2.4 Разъемы 4
2.4.1 Разъемы для вакуумметров серии ACTIVE 4
2.4.2 Логический интерфейс 5
2.4.3 Последовательный интерфейс 6

3 ПОДГОТОВКА К РАБОТЕ 7
3.1 Распаковка и осмотр 7
3.2 Установка контроллера 7
3.3. Электрические соединения контроллера 10
3.3.1 Подключение питания 11
3.3.2 Дополнительное заземляющее соединение 11
3.3.3 Подключение вакуумметров серии ACTIVE 11
3.3.4 Подключение логического интерфейса 12
3.3.5 Подключение последовательного интерфейса 13

4 РЕЖИМЫ РАБОТЫ 15
4.1 Описание передней панели 15
4.2 Структура меню 16
4.3 Перемещение по меню 18
4.4 Вид экрана 18
4.5 Включение/выключение вакуумметров 19
4.6 Изменение списка устройств 20
4.7 Изменение числовых значений 20
4.8 Установка вакуумметра 20
4.8.1 Установка по умолчанию (для всех типов 21
вакуумметров)
4.8.2 Сообщения о состоянии вакуумметра 21
4.8.3 Вакуумметр Пирани серии ACTIVE (APG) 21
4.8.4 Линейный вакуумметр Пирани серии AC- 22
TIVE (APGХ)
4.8.5 Управление термопарным вакуумметром 24
серии ACTIVE (AТС-Е)
4.8.6 Управление деформационным вакуум- 25
метром серии ACTIVE (ASG)
4.8.7 Управление инверсно – магнетронным 26
вакуумметром серии ACTIVE (AIM)
4.8.8 Управление ионизационным вакууммет- 27
ром серии ACTIVE (AIGX-S)
1
4.8.9 Широкодиапазонный вакуумметр WRG 29
4.9 Отказы системы 31
4.10 Главное меню 31
4.11 Состояние насоса 31
4.12 Связи вакуумметров 33
4.13 Параметры/единицы измерения 33
4.14 Функции экрана 33
4.15 Выходной сигнал реле блокировки 34
4.16 Информация о сервисных услугах 34
4.17 Ошибки при подачи электропитания 34

5 ТЕХНИЧЕКОЕ ОБСЛУЖИВАНИЕ и СЕРВИС 35


5.1 Требования безопасности 35
5.2 Поиск неисправностей 35
5.3 Очистка контроллера 36
5.4 Заводские установки (по умолчанию) 36

6 ХРАНЕНИЕ И УТИЛИЗАЦИЯ 37

7 ЗАПАСНЫЕ ЧАСТИ И ПРИНАДЛЕЖНОСТИ 38

ВОЗВРАТ ОБОРУДОВАНИЯ EDWARDS 41

ИЛЛЮСТРАЦИИ

1 Контакты на разъеме FCC/RJ45 (8 – штырьковый) 4


2 Контакты на 25 – штырьковом миниатюрном разъ- 5
еме D - типа логического интерфейса
3 Контакты на 9 – штырьковом миниатюрном разъе- 6
ме D - типа последовательного интерфейса
4 Размеры при настольной установке TIC (мм) 8
5 Снятие передней панели 9
6 Установка в стандартную 19 –ти дюймовую стойку 9
7 Разъемы на задней панели контроллера 10
8 IBM PC RS232 интерфейс 9 – штырьковый 13
9 IBM PC RS232 интерфейс 25 – штырьковый 14
10 Работа контроллеров TIC в сети с помощью RS485 14
11 Передняя панель с дисплеем 15
12 Главный экран TIC 16
13 Структура менюTIC 17
14 Пдключение нового вакуумметра 19
15 Изменение числовых значений 20
16 Экран настройки вакуумметра 21
17 Экран настройки вакуумметра APGX 23
18 Экран настройки вакуумметра ASG 26
19 Экран настройки вакуумметра AIGX 28
20 Экран настройки вакуумметра WRG 30
21 Управление оборудованием 32
22 Настройка управления 32

2
ТАБЛИЦЫ
1 Оборудование, совместимое с контроллером изме- 2
рительных приборов
2 Контакты на разъеме для вакуумметра 4
3 Контакты на разъеме логического интерфейса 5
4 Контакты на разъеме последовательного интер- 6
фейса
5 Комплект поставки 7
6 Кнопки передней панели и их функции 15
7 Настройки функций, принятые по умолчанию 20
8 Сообщения о состоянии вакуумметра 21
9 Диагностические сообщения APG 22
10 Функции установки APGX 22
11 Диагностические сообщения APGХ 23-24
12 Измерительные трубки ATC – D и ATC – M 24
13 Диагностика ATC – E 25
14 Функции установки ASG 25
15 Диагностика ASG 26
16 Диагностика AIM 27
17 Функции установки AIGX 28
18 Диагностика AIGX 29
19 Функции установки WRG 30
20 Диагностика WRG 30-31
21 Поиск неисправностей 35-36
22 Заводские установки (по умолчанию) 36

3
1 ВВЕДЕНИЕ

1.1 Об этом руководстве

Данное руководство содержит основные инструкции по установке и техни-


ческому обслуживанию, а также описание режимов работы контроллера из-
мерительных приборов TIC производства BOC Edwards. Необходимо ис-
пользовать контроллер так, как описано в настоящем руководстве.

Прочтите это руководство перед установкой и началом работы с контрол-


лером TIC BOC Edwards. Важная для безопасности информация помечена
знаками ВНИМАНИЕ и МЕРЫ ПРЕДОСТОРОЖНОСТИ : необходимо строго
следовать этим указаниям. Ниже описано, в каких случаях используются эти
знаки.

ВНИМАНИЕ

Этот знак ставится в том случае, если несоблюдение ин-


струкции может привести к травмам или смерти людей.

МЕРЫ ПРЕДОСТОРОЖНОСТИ
Этот знак ставится в том случае, если несоблюдение инструкции мо-
жет привести к повреждению прибора, соединенного с ним оборудова-
ния или нарушить технологический процесс.

В руководстве действует последовательная нумерация страниц, рисунков и


таблиц.

В соответствии с рекомендациями IEC1010 следующие символы нанесены


на контроллер:

Внимание (прочтите документацию)

1
1.2 Описание прибора

ВНИМАНИЕ
Некорректное использование оборудования может по-
влечь его повреждение или привести к травмам или смер-
ти людей. Ответственность за безопасность работ и тех-
нического обслуживания оборудования несет пользова-
тель.

Контроллер обеспечен большим графическим дисплеем, удобным управле-


нием с помощью блока кнопок, имеет RS232/485 интерфейс для управления
и контроля данных или соединения с компьютером и логический интерфейс
для блокировки с помощью присоединенного к системе оборудования.

Перечень оборудования (вакуумметры и насосы), которое может работать с


контроллером TIC, приведен в таблице 1.

Версия контроллера Оборудование


TIC контроллер измери- До трех вакуумметров серии ACTIVE, включая:
тельных приборов APG, APGX, ATC, ASG, AIM, WRG, AIGX

Таблица 1. Оборудование, совместимое с контроллером измерительных


приборов TIC.

2
2 ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ

2.1 Электрические характеристики


Тип разъема СЕЕ/IEC 320
Питание 90…264 В, 47…63 Гц
Потребляемая мощность
TIC контроллер измерительных 55ВА максимум(D397-00-000)
приборов
Максимальный бросок тока 11 А при 110 В (D397-21-000)
23 А при 240 В (D397-22-000)
Плавкий предохранитель Элемент имеет самозащиту и не требу-
ет замены. Элемент восстанавливается
после удаления перегрузки.
Штифт заземления М4

2.2 Условия эксплуатации и хранения

рабочая температура окружающей


среды 0…40°С
температура хранения -30…70°С
Влажность окружающей среды до 90% (без конденсации) при 40 °С
Максимальная высота работы над 3000м
уровнем моря
Класс защиты 20IP

2.3 Механические характеристики

Вес
TIC контроллер измерительных 1,3 кг
приборов

3
2.4 Соединения

2.4.1 Разъем для вакуумметра серии ACTIVE

Тип разъема FCC/RJ45, 8 – штырьковый (см. рис.1)


Источник питания 24 В
Максимальная мощность 21 Вт (общая при подключении 3-х
вакуумметров)
Диапазон входного напряжения - 0,5 … 15 В
Ток идентификации выходного сиг- 33 мкА, 0…13 В
нала
Выходной сигнал управления Активный: < 0.8 В (2мА максимум)
Неактивный: разомкнут (внутреннее
повышение напряжения до 24 В)
Входной сигнал управления Высокий:<2,0 В (Iвыход < 160 мкА)
Низкий:> 3,5 В (внутреннее повыше-
ние напряжения до 24 В)

Рисунок 1. Контакты на разъеме FCC/RJ45 (8 – штырьковый)

Контакт Назначение
1 Питание плюс
2 Питание общее
3 Входной сигнал
4 Сигнал идентификации
5 Сигнал общий
6 Линия управления 1
7 Линия управления 2
8 Не используется

Таблица 2. Контакты на разъеме для вакуумметра

4
2.4.2 Логический интерфейс

Тип разъема 25 – штырьковый миниатюрный D – типа


(см. рис. 5)
Источник питания 24 В
Максимальная мощность 5 Вт
Выходной сигнал управления Активный: <1,1 В (Iвыход 20мА),
<0.8 В (Iвыход <2мА)
Неактивный: разомкнут (внутреннее повы-
шение напряжения до 24 В)
Входной сигнал управления Высокий:<2,0 В (Iвыход < 160 мкА)
Низкий:> 3,5…24 В (внутреннее повышение
напряжения до 24 В)
Аналоговый выходной сигнал 0…10 В (5 мА максимум), разрешение 50 мВ

Рисунок 2. Контакты на 25 – штырьковом миниатюрном разъеме D - типа

Контакт Назначение
1 Экран
2 Аналоговый выходной сигнал
3 Выходной сигнал блокировки 1
4 Выходной сигнал клапана напуска
5 Выходной сигнал управления прогреваю-
щим ободом
6 Не используется
7 Питание общее
8 Выходной сигнал управления форвакуум-
ным насосом
9 Входной сигнал включения вакуумметра 1
10 Питание общее
11 Питание плюс
12 Питание общее
13 Питание общее
14 Общий аналоговый выходной сигнал
15 Выходной сигнал блокировки 2
16 Выходной сигнал блокировки 3
17 Рабочий выходной сигнал турбонасоса
18 Выходной сигнал системы предупреждения
19 Выходной сигнал вентилятора
20 Входной сигнал включения вакуумметра 2
21 Входной сигнал включения вакуумметра 3
5
22 Входной сигнал включения форвакуумного
насоса
23 Входной сигнал управления холостым хо-
дом турбонасоса
24 Входной сигнал включения турбонасоса
25 Входной сигнал блокировки системы (SYSI)

Таблица 3. Контакты на разъеме логического интерфейса

2.4.3 Последовательный интерфейс

Тип разъема 9 – штырьковый миниатюрный D – типа


(см. рис. 3)
RS232 передача (сигнала) Уровень: <-8 В (Iвыход максимум -8 мА)
Интервал :>+8 В (Iвыход максимум -8 мА)
RS232 прием (сигнала) Уровень : <+1,0 В (Iвход максимум -2 мА)
Интервал: >+2 В (Iвход максимум +2 мА)
Максимальный входной сигнал ±12 В
RS232 протокол 9600 бод, 1 стоповый бит, 8 бит данных,
нечетный, Xon/Xoff
RS485
Выходной разделенный сигнал > 1,5 В (Iвыход максимум ± 25 мА)
Пороговый разделенный вход- > ± 0,2 В (Iвход максимум ± 1 мА)
ной сигнал
Максимальный входной сигнал -7,0…+12 В
Нагрузка на шину TIC использует нагрузку на шину RS485
стандарта 1 устройства

Рисунок 3. Контакты на 9 – штырьковом миниатюрном разъеме D - типа

Контакт Назначение
1 Не используется
2 RS232 передача
3 RS232 прием
4 Не используется
5 RS232 общий сигнал
6 Не используется
7 Не используется
8 RS485 данные А
9 RS485 данные В

Таблица 4. Контакты на разъеме последовательного интерфейса

6
3 ПОДГОТОВКА К РАБОТЕ

3.1 Распаковка и осмотр

Снимите все упаковочные материалы и защитные оболочки и осмотрите контроллер.


В случае обнаружения повреждений, следует вернуть оборудование согласно проце-
дуре возврата, приведенной в этом руководстве. Не используйте контроллер, если он
поврежден.

Проверьте целостность комплекта поставки по Таблице 1. В случае отсутствия одного


из компонентов письменно известите поставщика в течение трех дней. Если контрол-
лер не будет использоваться сразу, восстановите его упаковку. При хранении кон-
троллера соблюдайте требования, описанные в разделе 6.1.

Количество Описание Наличие


1 Контроллер Да Нет
1 Краткое руководство по установке и эксплуа- Да Нет
тации
1 Компакт- диск с компьютерными программами Да Нет
и руководством по эксплуатации
2 Задние противоскользящие опоры Да Нет
1 Заглушка логического интерфейса Да Нет

Таблица 8. Комплект поставки

3.2 Установка контроллера

ВНИМАНИЕ
Контроллер содержит электролитические конденсаторы и
при определенных неблагоприятных условиях возможен
выброс вредных испарений. Убедитесь, что контроллер
работает в хорошо вентилируемом помещении.

ВНИМАНИЕ
Если доступ к IEC разъему ограничен, то следует преду-
смотреть наличие дополнительного изолирующего уст-
ройства, которое будет легко доступно для оператора.

МЕРЫ ПРЕДОСТОРОЖНОСТИ
Должны быть установлены резиновые опоры (рис.4, поз. 1) чтобы
обеспечить необходимое свободное пространство для циркуляции
воздуха. Если Вы не выполните это требование, высокая рабочая тем-
пература может негативно влиять на характеристики контроллера.

Контроллер может быть установлен в стандартную приборную панель или использо-


ваться прибор настольного типа. На рисунке 4 приведены размеры TIC при использо-
вании его как настольного прибора.

7
Замечание: если Вы не используете блокировку, то заглушка логического интер-
фейса должна находиться в 25-штырьковом разъеме.

1. резиновые опоры

Рисунок 4. Размеры при настольной установке TIC (мм)

ВНИМАНИЕ
Убедитесь, что электрическая проводка надежно защище-
на и недоступна для людей.

Если контроллер устанавливается в приборную панель или стойку, то следуйте реко-


мендациям на рис. 5 и 6.

МЕРЫ ПРЕДОСТОРОЖНОСТИ
Оставьте 150 мм свободного пространства сверху для кабеля. Ос-
тавьте 50 мм свободного пространства сверху и снизу и 15 мм с бо-
ков для циркуляции воздуха. Не накрывайте вентиляционные отвер-
стия.

МЕРЫ ПРЕДОСТОРОЖНОСТИ
Класс защиты прибора – IP20. Пожалуйста, убедитесь, что при дан-
ной установке жидкость не попадет в контроллер.

8
1. передняя панель
2. фиксирующие винты и шайбы

Рисунок 5. Снятие передней панели

1. фиксирующие винты и шайбы


2. 19-ти дюймовая направляющая

Рисунок 6. Установка TIC в стандартную 19 –ти дюймовую стойку

9
• снимите переднюю панель (рис.8, поз.1), открутив 4 винта (рис.8, поз.2)
• вставьте контроллер в стандартную 19 –ти дюймовую стойку. Рекомендуется ис-
пользование 19-ти дюймовой направляющей (рис.9, поз.2).
• закрепите контроллер на месте с помощью предварительно снятых винтов (рис.9,
поз.1)

3.3 Электрические разъемы контроллера

ВНИМАНИЕ
Не присоединяйте емкостной манометр Barocel к контроллерам TIC. Эти
действия приведут к повреждению датчика и снимут приборы с гарантии.

1. входные разъемы вакуумметров 4. штифт заземления


2. логический интерфейс 5. разъем питания
3. последовательный порт подключе- 6. кнопка вкл/выкл питания
ния

Рисунок 7. Разъемы на задней панели контроллера

10
3.3.1 Разъемы питания

ВНИМАНИЕ
Во время работы в контроллере формируется высокое на-
пряжение. Убедитесь, что контроллер заземлен и соблю-
дены все меры предосторожности для безопасной уста-
новки и работы с электрическим оборудованием. Несо-
блюдение этих требование может привести к травмам или
смерти в результате поражения электрическим током.

Убедитесь, что переключатель электрического питания находится в положении «вы-


ключено» и затем присоедините контроллер к питанию с помощью подходящего ка-
беля питания.

3.3.2 Дополнительное заземляющее соединение

Обычно кабели питания имеют защитное заземление для обеспечения электрической


безопасности. Если оно отсутствует, или необходимо использовать дополнительное
заземляющее соединение, соедините штифт заземления на задней панели контрол-
лера (рис. 10, поз.6) с заземлением вакуумной системы.

Заземление любых клапанов и вентиляторов также следует соединить с этим штиф-


том заземления, чтобы гарантировать необходимое заземление.

Подключите подходящий кабель заземления между двумя гайками, расположенными


на штифте заземления на задней панели TIC.

Внимание: не удаляйте верхнюю гайку со штифта заземления.

3.3.3 Подключение вакуумметра серии ACTIVE

ВНИМАНИЕ
Не присоединяйте емкостной манометр Barocel к контроллерам TIC. Эти
действия приведут к повреждению датчика и снимут приборы с гарантии.

К разъему вакуумметров на задней панели контроллера может быть подключено до


трех совместимых вакуумметров серии ACTIVE. Для подключения вакуумметров ис-
пользуйте кабели вакуумметров серии ACTIVE производства ВОС Edwrads для каж-
дого из трех вакуумметров.

Замечание: одновременно к контроллеру TIC может быть подключен только один


вакуумметр AIGX.

11
3.3.4 Подключение логического интерфейса

3.3.4.1 Введение

МЕРЫ ПРЕДОСТОРОЖНОСТИ
Не заземляйте линии логического интерфейса с напряжением 0 В (контак-
ты 7, 10, 12, 13). Если Вы заземлите их, то получите обратный путь зазем-
ления для любых электрических сбоев в двигателе насоса, что может раз-
рушить контроллер или управляемое оборудование.

МЕРЫ ПРЕДОСТОРОЖНОСТИ
Не подключайте напряжение более 24 В к логическому интерфейсу.

Логический интерфейс обеспечивает подачу ряда сигналов, которые используются


для наблюдения за состоянием Вашей вакуумной системы и управления различными
аспектами ее работы. Эти сигналы можно условно разделить на три группы: входные
сигналы управления, выходные сигналы управления и выходные сигналы состояния.

3.3.4.2 Использование входных сигналов управления

Входные сигналы управления обеспечивают управление работой TIC и присоеди-


ненной вакуумной системы от внешних источников питания.

Включение вакуумметра 1, 2, 3: входной сигнал включения вакуумметра использует-


ся для управления работой вакуумметров. Если «Включение вакуумметра» разомк-
нуто, то присоединенный вакуумметр не может быть запущен, и отключится, если он
работает. Для включения вакуумметра необходимо, соедините линию включения
требуемого вакуумметра с 0 В.

Замечание: только вакуумметры с функцией включения и выключения могут от-


вечать на этот сигнал. Подробности см. в руководстве вакуумметра.

SYSI: входной сигнал блокировки сигнала может использоваться для блокировки при
неисправности системы или управления системы. Когда «SYSI» разомкнут, все насо-
сы останавливаются, клапаны напуска откроются, а вакуумметры выключатся. TIC
так же выдаст сообщение о неисправности. Чтобы снять блокировку системы, запус-
тить насосы и вакуумметры, нужно соединить «SYSI» с 0 В.

МЕРЫ ПРЕДОСТОРОЖНОСТИ
Работа «SYSI» зависит от подачи питания и поэтому не должна использо-
ваться для безопасности ответственных технологических процессов.

3.3.4.3 Использование выходных сигналов состояния

Выходные сигналы состояния обеспечивают связи внешней системы для воздейст-


вия, основанного на состоянии тока контроллера TIC.

Блокировка 1, 2, 3: выходные сигналы блокировки могут использоваться для подклю-


чения внешних логических устройств или для управления реле. Каждый выходной

12
сигнал может быть настроен с помощью программного обеспечения для срабатыва-
ния при некотором давлении или скорости насоса. Настройки этого выходного сигна-
ла приведены в разделе 4.9.

Блок реле содержит встроенные реле, которые включают внешнюю нагрузку и обес-
печивает соединение для подключения внешней системы. Дополнительная инфор-
мация по блокировке содержит в руководстве по эксплуатации блока реле.

Чтобы управлять реле без блока реле, соедините обмотки подходящего реле на 24 В
между «выходным сигналом блокировки» (минус) и «питанием плюс» (плюс).

Отказы системы: может использоваться для подключения внешних логических уст-


ройств или для управления реле. Этот выходной сигнал нормально активный и ста-
новится неактивным в случае неисправностей в системе.

Чтобы управлять реле, соедините обмотки подходящего реле на 24 В между «выход-


ным сигналом предупреждения системы» (минус) и «питанием плюс» (плюс).

3.3.5 Подключение последовательного интерфейса

TIC содержит два последовательных интерфейса, поддерживающих протоколы


RS232 и RS485. RS232 является простейшим интерфейсом и может использоваться
для подключения к персональному компьютеру для управления контроллером TIC.
RS485 позволяет подключить персональный компьютер для управления небольшой
сетью котроллеров TIC.

3.3.5.1 Подключение RS232

На задней панели TIC расположен 9 – штырьковый разъем D – типа. Интерфейс ис-


пользует две линии для передачи данных и одну дополнительную как общий сигнал.
Аппаратное согласование не требуется.

Если подключение TIC к IBM совместимому компьютеру осуществляется с помощью


9 – штырькового разъема, то потребуется 9 –жильный кабель (см. рис. 8). Подключе-
ние к IBM РС с помощью 25 – штырькового разъема должно соответствовать рис. 9.

Использование экранированного кабеля для интерфейса снижает проблемы, связан-


ные с интерференцией, и ограничивает длину кабеля для подключения RS232 до 10
метров. Для соединений большей длины или устанавливайте линейные драйверы
или используйте RS485.

TIC IBM PC

Рисунок 8. IBM PC RS232 интерфейс 9 – штырьковый

13
TIC IBM PC

Рисунок 9. IBM PC RS232 интерфейс 25 – штырьковый

3.3.5.2 Подключение RS485

RS485 обеспечивает возможность работы TIC в сети, совместно с другими контрол-


лерами TIC, и подключения к персональному компьютеру, как показано на рис. 10.

МЕРЫ ПРЕДОСТОРОЖНОСТИ
Все корпуса соединяются вместе. Если существуют различия потенциалов за-
земления, возможны повреждения электроники. В этом случае следует ис-
пользовать гальваническую разводку сети.

Использование экранированного кабеля для интерфейса снижает проблемы, связан-


ные с внешней наводкой, и увеличивает длину кабеля для подключения RS485 до
1000 метров.

Для соединений большей длины требуется дополнительный резистор 120 Ом на ка-


ждый конец связи для улучшения надежности соединений.

TIC1 TIC2 TIC3 TIC4

к компьютеру

Рисунок 10. Работа контроллеров TIC в сети с помощью RS485

14
4 РЕЖИМЫ РАБОТЫ

4.1 Описание передней панели

Рисунок 11. Передняя панель с дисплеем

Символ Название Действие


UP / ВВЕРХ Движение вверх в меню.
Увеличивает выбранную цифру на 1.
Переключение выбранного значения вверх.

DOWN / ВНИЗ Движение вниз в меню.


Уменьшает выбранную цифру на 1.
Переключение выбранного значения вниз.

SELECT /ВЫБОР Вход в выбранное под-меню.


Редактирование выбранной цифры / элемента меню.
Переход к след. цифре / элементу меню.
Вход в меню настроек выбранного датчика/насоса.

MENU / МЕНЮ Выход из под-меню.


Вызов основного меню или основного экрана.
Отмена сделанных изменений.
Переход к предыдущей цифре редактируемого числа

CYCLE / ПЕРЕ- Включение / выключение выбранного датчика / насо-


КЛЮЧИТЬ са.

Таблица 6. Кнопки передней панели и их функции

15
4.2 Структура меню

На рисунках 12 и 13 представлены вид экрана и структура меню TIC. Так же указыва-


ется, какие кнопки следует использовать для работы с меню.

Рисунок 12. Главный экран TIC

Пояснения к рисунку 12

Нажатием SELECT на пунктах входим в подменю настроек вакуумметров.

Gauge Setup – настройка датчика


Gauge – тип датчика. Определяется контроллером.
Gas type – установка состава измеряемого газа.
Filter – установка режима измерения.
• OFF – измерение 3 раза в секунду
• 1 sec - набор трех измерений и выдача результата как среднего из трех, сгла-
живание скачков измерения.
Calibrate – включение калибровки. Доступно для датчиков APGX-M
Range – установка диапазона измерения. 1000/2000. Доступно для датчиков ASG
Set zero – установка “нуля”. Для установки “нуля” снизить давление до 2*10-2 mbar для
диапазона 2000 или до 1*10-2 mbar для диапазона 1000 и выбрать пункт Set zero. Дос-
тупно для датчиков ASG.
Display – установка вида показаний.
• Float – с плавающей точкой
• Fixed – десятичная дробь. Доступно для датчиков ASG.
Degas – дегазация датчика. Доступно для датчика AIGX

Alarms - отказы системы. Мигает, если произошли отказы в работе.

16
Рисунок 13. Структура менюTIC

Пояснения к рисунку 13

Main menu – главное меню. Вызывается кнопкой MENU

Alarms - отказы системы. Мигает, если произошли отказы в работе.

Controlled item – управляемые вакуумметры


Gde1,2,3 – установка условий включения/выключения выбранного датчика.

Parameters/Units – установка параметров контроллера и едини измерения.


Setup lock – Блокировка настроек системы. После ввода 3х цифрового кода запреща-
ются любые изменения в настройках, однако навигация по меню остается возможной.
Снятие блокировки – ввод 3х цифрового кода.
Panel lock – Блокировка передней панели. После ввода 3х цифрового кода запрещают-
ся любые изменения в настройках. Пароли к этим функциям указаны на карточке в CD
диске контроллера.
0-10V O/P – установка устройства, сигнал которого будет выдаваться на аналоговый
выход.
Gge1,2,3 – показания датчика 1,2,3
Disp contrast – установка контрастности дисплея. 0-9
Protocol – установка протокола работы с компьютером. RS232 или RS485.

17
Comms address – установка адреса для работы с компьютером.

Screen options – установка вида дисплея


Show all gauges - на основном экране показывается информация по всем датчикам, нет
информации по насосам
Show One/2/3 gauge - на основном экране показывается информация по выбранному
датчику.

Relay select – выбор реле


Relay 1,2,3 – установка реле1,2,3
Relay setpoint output – установка условий включения/выключения реле. См. Control
Setup.

Service Information – вспомогательная информация


Software issue – версия программного обеспечения.
Serial number – серийный номер контроллера. Необходим при обращении в сервисную
службу.
Analogue O/P – уровень аналогового сигнала. Может быть запрошен при обращении в
сервисную службу.
Reset IC - установка настроек контроллера в исходные заводские.

Control setup - установка условий включения/выключения вакуумметров/ реле


Control object – устройство, которое будет включено/выключено при достижении задан-
ных условий.
Controlling object – устройство, с которого снимаются показания для управления.
Units – Pressure (давление) для датчиков
Off setpnt – установка уровня выключения.
On setpnt – установка уровня включения.
Setpoint – установка разрешения работы условия. ENABLED – разрешено, DISABLED –
запрещено.

4.3 Перемещение по меню

В этом разделе приводится краткое описание метода перемещения по меню TIC. Для
перемещения по меню и конфигурации задач используются 4 кнопки. Пятая кнопка
используется для включения/выключения вакуумметров. В большинстве случаев
конфигурации задач используются трехуровневые меню.

Описание кнопок на передней панели и их функций приведено в табл. 6.

4.4 Вид экрана

Вид экрана может быть различным в зависимости от выбранной функции/опции (см.


раздел 4.13). Далее описываются виды экрана, которые отображают «все» (см. рис.
14).

Состояние реле блокировок показывается в нижней строке. Включенные реле ото-


бражаются в инверсивном изображении /как негатив/.

Вакуумметры серии ACTIVE содержат резистор, который является уникальным для


каждого типа вакуумметра. Когда подключается новый вакуумметр, TIC автоматиче-
ски определяет его и показывает, что новый вакуумметр был определен, отобразив
New ID, как показано на рис. 14.

18
Рисунок 14. Подключение нового вакуумметра

В данном примере (см. рис. 14) новые вакуумметры установлены в каналы 1 и 2. На-
жимая кнопки вверх/вниз выберите канал вакуумметра и нажмите кнопку Выбор
( ). На экране отобразится тип вакуумметра а так же выходной сигнал или сооб-
щение. Для вакуумметров, которые измеряют давление вплоть до атмосферного
(датчики высокого давления), автоматически отобразится выходной сигнал.

4.5 Включение/выключение вакуумметров

Нажимая кнопку Переключить для выбранного оборудования можно включить


ли выключить оборудование.

Вакуумметры низкого давления (AIGX, AIM) выключается «Off», если давление в сис-
теме становится больше, чем верхний предел их диапазона измерений. Вакууммет-
рами низкого давления можно управлять вручную, путем прокрутки линии и нажатия
кнопки Переключить , или их можно связать и защитить с помощью подходящего
вакуумметра высокого давления (см. раздел 4.13).

Замечание: датчики низкого давления должны быть разрешены на логическом ин-


терфейсе, прежде чем TIC сможет их включить или выключить. Это
можно сделать путем замыкания соответствующих контактов на разъ-
еме логического интерфейса, или используя внешние переключатели.

Разъем логического интерфейса, поставляемый с TIC, содержит пере-


мычки для этих целей.

Если системная блокировка (SYSI) включена, нажатие кнопки Переклю-


чить не приведет к включению датчиков низкого давления. И обратно,
если SYSI отключится (разомкнется) во время вакуумного цикла, все
подключенные управляемые компоненты будут выключены.

4.6 Перемещение по списку устройств

Для перемещения по списку устройств кнопками прокрутки установите линию на тре-


буемом элементе и нажмите кнопку Выбор ( ). По списку можно перемещаться,
используя стрелки вниз и вверх .

Нажатие кнопки Выбор дает возможность доступа к настройке и возврата к списка


устройств, что позволит выбрать и настроить другое оборудование.

19
Нажатие кнопки Меню отменяет изменения настроек и дает возможность воз-
врата к списку устройств, что позволит выбрать и настроить другое оборудование.

4.7 Изменение числовых значений

Для изменения числовых значений кнопками прокрутки установите линию на требуе-


мом элементе и нажмите кнопку Выбор ( ). Первая цифра высветится и может быть
изменена с помощью стрелок вниз и вверх .

Кнопка Выбор будет перемещать подсветку на следующий элемент с каждым после-


дующим нажатием, позволяя закончить ввод номера. Нажатие кнопки Выбор на по-
следнем элементе завершает настройку и осуществляет возврат к списку устройств,
что позволит выбрать и настроить другое оборудование.

В любой момент ошибки можно скорректировать нажатием кнопки Меню, что пере-
местит подсветку на предыдущие элементы с каждым последующим нажатием, по-
зволяя корректировать совершенные действия.

Нажатие кнопки Меню на первом выбранном элементе прерывает режим настройки и


дает возможность возврата к высвечиванию ряда устройств, что позволит выбрать и
настроить другое оборудование.

Рисунок 15. Изменение числовых значений

4.8 Установка вакуумметра

При идентификации нового вакуумметра кнопкой прокрутки выберите вакуумметр и


нажмите кнопку Выбор для получения доступа к экрану «Установка Вакуумметра» (см.
табл. 7).

Функция меню Описание


Вакуумметр/ Gauge Определяет тип присоединенного вакуумметра.
Род газа/ Gas Type Позволяет пользователю выбрать род газа.
Варианты: N2, He, Ar, CO2, Ne, Kr или Вольты.
Замечание: для вакуумметров, показания которых зави-
сят от рода газа, очень важно правильно выбрать род
газа, чтобы быть уверенным в корректной индикации
давления.
Фильтр / Filter Позволяет пользователю выбрать состояние фильтра.
Выключенный фильтр (Off) дает выходной сигнал давле-
ния как передаваемый вакуумметром ( частота обновления
примерно 3 в секунду).
Фильтр «1 sec» применяет среднее значение за 1 секунду,
снижая влияние помех на стабильность показаний.

Таблица 7. Функции установки вакуумметров, принятые по умолчанию

20
4.8.1 Функции установки по умолчанию (для всех вакуумметров)

Все вакуумметры имеют следующие установки по умолчанию, отображаемые на со-


ответствующих экранах установки. Пример ниже показывает присоединенный APGM
вакуумметр.

Рисунок 16. Экран установки вакуумметра

Замечание: показания деформационного вакуумметра ASG не зависят от рода


газа. Выбор любого типа газа будет давать одинаковые выходные сиг-
налы давления.

4.8.2 Сообщения состояния вакуумметра

Стандартные сообщения о состоянии приведены в табл. 8.

Диагностическое Описание
сообщение
Нет соединения / Означает, что вакуумметр не подключен к TIC, или что не под-
Not Connected ключен кабель, вакуумметр может быть присоединен к друго-
му выводу.
NFND Означает, что подключенный вакуумметр не был распознан
TIC’ом. В этом случае, TIC продолжит отображать вакуумметр
как неопределенный, а выходной сигнал будет в вольтах.
New ID Означает, что к TIC был подключен новый вакуумметр. Ваку-
умметр был распознан контроллером, но должен быть под-
твержден пользователем, прежде чем TIC позволит вакуум-
метру работать в системе.

Таблица 8. Сообщения о состоянии вакуумметра

4.8.3 Вакуумметр Пирани серии ACTIVE (APG)

Замечание: подробные характеристики и инструкции по использованию вакуум-


метров APG и APGX приведены в соответствующих руководствах
(D021-71-885, D023-71-880, D023-93-880)

Вакуумметр Пирани (APG) является термопроводным датчиком высокого давления,


показания которого зависят от рода газа. Диапазон измерений APG – M и устойчи-
вой к коррозии версии APG – MP 100…10-3 мбар (75…7,5×10-4 Торр). Диапазон из-

21
мерений APG – L 10…10-4 мбар (7,5…7,5×10-5 Торр). Все вакуумметры измеряют
давление до 1000 мбар (750 Торр) с пониженной точностью.

Замечание: при давлении выше 600 Торр чувствительность падает, и TIC опре-
деляет давление как атмосферное.

Замечание: перед использованием APG и, соответственно, периодически следует


проводить калибровку атмосферы и вакуума согласно указаниям в руко-
водстве по эксплуатации (D021-71-885, D023-71-880, D023-93-880)

Установка APG со значениями, принятыми по умолчанию, приведена в разделе вы-


ше (4.8.1).

Дополнительных функций по установку APG не существует (см. раздел 4.8.1).

Характерные диагностические сообщения для APG приведены в табл. 9.

Диагностическое Описание
сообщение
Выход за пределы (Выходной сигнал вакуумметра >11,000 В)
диапазона Означает, что или измеренное давление газа выходит за пре-
(превышение) делы диапазона измерения вакуумметра, или что вакуумметр
Over Range неисправен.
Удалите сообщение об ошибке, понизьте рабочее давление
технологического процесса до предела диапазона, «прокрути-
те» линию на экране, и нажмите кнопку Переключить (Cycle).
Если вакуумметр не дает показаний давления, его следует
заменить.
Обычно это происходит с газами с низким молекулярным ве-
сом, таким как гелий.
Выход за пределы (Выходной сигнал вакуумметра <1,800 В)
диапазона Означает, что или есть ошибка в калибровке, или что вакуум-
(понижение) метр неисправен.
Under Range Проведите калибровку вакуумметра как описано в его руково-
дстве. Если ошибка повторится, замените вакуумметр.

Таблица 9. Диагностические сообщения APG

4.8.4 Линейный вакуумметр Пирани серии ACTIVE (APGХ)

Линейный вакуумметр Пирани (APGХ) является термопроводным датчиком высокого


давления, показания которого зависят от рода газа. Диапазон измерений APGХ – M
и устойчивой к коррозии версии APGХ – MP 100…10-3 мбар (75…7,5×10-4 Торр). Диа-
пазон измерений APGХ – L 10…10-4 мбар (7,5…7,5×10-5 Торр). Все вакуумметры из-
меряют давление до 1000 мбар (750 Торр) с пониженной точностью.

Линейный конвекционный вакуумметр (APGХ – Н) является термопроводным и кон-


векционным датчиком высокого давления, показания которого зависят от рода газа.
Диапазон измерений APGХ – Н 1333…3×10-4 мбар (1000…2,3×10-4 Торр). При давле-
нии выше 10 мбар измерения осуществляются методом конвекции, который обеспе-
чивает устойчивую чувствительность и точность на верхнем пределе диапазона из-
мерений.

22
APG(X) постоянно включены и, следовательно, выдают сигнал как только контрол-
лер распознает их.

Установка APGХ со значениями, принятыми по умолчанию, приведена в разделе


выше (4.9.1).

При подключении APGX TIC содержит функции меню (см. табл. 18) в дополнение к
приведенным выше (см. табл. 17).

Функция меню Описание


Калибровка Позволяет пользователю настроить APGX на атмосферу
Calibrate или вакуум.
Подключите APGX к TIC и позвольте ему поработать при
атмосферном давлении около 10 минут. Прокруткой уста-
новите линию на Калибровке/Calibrate и нажмите кнопку
Выбор. Команда Command Sent появится в течении 1 сек
для подтверждения выполненного действия. Понизьте
давление в системе до 1×10-4 мбар (7,5×10-5 Торр) или ни-
же для APGX-M или APGX-MP, или до 1×10-5 мбар (7,5×10-6
Торр) или ниже для APGX-L или APGX-H.
Повторите процедуру настройки как описано выше.

Таблица 10. Функции установки APGX

Рисунок 17. Экран настройки вакуумметра APGX

В вакуумметрах APGX предусмотрена возможность самодиагностики (см. табл. 11).

Диагностическое Описание
сообщение
Выход за пределы (Выходной сигнал вакуумметра =9,750В)
диапазона (превы- Означает, что вакуумметр неисправен, и его следует заме-
шение) / Over Range нить.
Выход за пределы (Выходной сигнал вакуумметра <0,300 В)
диапазона (пониже- Означает, что вакуумметр неисправен, и его следует заме-
ние) / Under Range нить.
Катод неисправен (Выходной сигнал вакуумметра =9,500В)
Filament Fail Означает, что катод вакуумметра разрушен. Вакуумметр сле-
дует заменить.

23
Ошибка калибровки (Выходной сигнал вакуумметра =9,500В)
Cal Error Означает, что вакуумметр не соответствует калибровке.
Это может произойти из-за того, что выбран другой род газа,
что нажатие кнопки настройки вакуума и атмосферы про-
изошло в середине диапазона измерений, или что вакуумметр
загрязнен.
Вакуумметр следует перенастроить (см. табл. 18).
Если ошибка повторится, замените вакуумметр.
Нет измерительной (Выходной сигнал вакуумметра =9,700В)
трубки Означает, что сменная измерительная трубка вакуумметра
No Tube отсутствует или некорректно установлена. Проверьте трубку и
убедитесь, что 2 фиксирующих винта надежно закреплены.
Замечание: только для APGX – H.

Таблица 11. Встроенная самодиагностика APGX

Замечание: в выходных сигналах вакуумметра (табл. 19) может присутствовать


отклонение +/- 50 мВ.

4.8.5 Управление термопарным вакуумметром серии ACTIVE АТС-Е

Замечание: подробные характеристики и инструкции по использованию вакуум-


метра АТС-Е приведены в руководстве D351-08-880.

Термопарный вакуумметр AТС– Е является недорогим термопроводным датчиком


высокого давления, показания которого зависят от рода газа. Электронный модуль
АТС – Е совместим с двумя типами измерительных трубок для термопарных ваку-
умметров, что дает широкий диапазон измерений (см. табл. 20).

Измерительная Номер по каталогу Диапазон измерения давления


трубка
АТС – D D355-12-000 65…6,5×10-2мбар (50…5×10-2 Торр)
АТС – М D355-13-000 1,3…1,3×10-3мбар (1…1×10-3 Торр)

Таблица 12. Измерительные трубки вакуумметров ATC – D и АТС – М

Перед подключением к TIC вакуумметр АТС – Е должен быть настроен на тип ис-
пользуемой измерительной трубки (АТС – D и АТС – М). Это делается путем выбора
цвета трубки с двухпозиционным переключателем.

Замечание: при давлении выше 600 Торр чувствительность АТС – D падает, и


TIC определяет давление как атмосферное. АТС – М не отображает
давление выше 4,2 мбар.

Замечание: для адекватных показаний давления, переключатель на АТС – Е дол-


жен быть корректно установлен.

Установка АТС – Е со значениями, принятыми по умолчанию, приведена в разделе


выше (4.8.1).

В табл. 13 приведены диагностические сообщения для вакуумметра АТС –Е.

24
Диагностическое Описание
сообщение
Выход за пределы (Выходной сигнал вакуумметра >11,000 В)
диапазона Означает, что или измеренное давление газа выходит за пре-
Превышение делы диапазона измерения вакуумметра, или что вакуумметр
Over Range неисправен.
Удалите сообщение об ошибке, понизьте рабочее давление
технологического процесса до предела диапазона, «прокрути-
те» линию на экране, и нажмите кнопку Переключить (Cycle).
Если вакуумметр не дает показаний давления, его следует
заменить.
Обычно это происходит с газами с низким молекулярным ве-
сом, таким как гелий.
Выход за пределы (Выходной сигнал вакуумметра <1,500 В)
диапазона (пониже- Означает, что вакуумметр неисправен и его необходимо за-
ние) / Under Range менить.

Таблица 13. Диагностика AТС – Е

4.8.6 Управление деформационным вакуумметром серии ACTIVE АSG

Замечание: подробные характеристики и инструкции по использованию вакуум-


метра АSG приведены в руководстве D357-25-880.

Деформационный вакуумметр ASG является диафрагменным датчиком, показания


которого не зависят от рода газа. Существуют два вакуумметра с полной шкалой
2000…1000 мбар (1500…750 Торр) соответственно. Оба вакуумметра измеряют
давление от 1 мбар (0,75 Торр), имеют линейную относительно давления характе-
ристику и выходное напряжение, прямо пропорциональное давлению. Выходной
сигнал составляет 0..10 В по диапазону измерения вакуумметра.

При подключении ASG TIC содержит функции меню (см. табл. 14 и рис. 18) в допол-
нение к приведенным выше (см. табл. 8 в разделе 4.8.1).

Функция меню Описание


Диапазон измерений Определяет диапазон измерения вакуумметра. Вы-
Range бор:1000 или 2000.
Установка нуля Позволяет пользователю установить нуль вакуумметра.
Set Zero Понизьте давление в системе до 2×10-2 мбар (1,5×10-2
Торр) или ниже для 2000 мбар (1500 Торр) ASG, или до
1×10-2 мбар (7,5×10-3 Торр) или ниже для 1000 мбар (750
Торр) ASG.
Установите линию на Set Zero и нажмите кнопку Выбор.
Команда Command Sent появится в течении 1 сек для
подтверждения выполненного действия.
Экран Определяет функции отображения давления.
Display Выбор: Float (мантисса и экспонент)
Fixed (число и 1 десятичный разряд)

Таблица 14. Функции установки ASG

25
Рисунок 18. Экран настройки вакуумметра ASG

В табл. 15 приведены диагностические сообщения для вакуумметра АSG.

Диагностическое Описание
сообщение
Выход за пределы (Выходной сигнал вакуумметра >11,000 В)
диапазона Означает, что или измеренное давление газа выходит за пре-
Превышение делы диапазона измерения вакуумметра, или что вакуумметр
Over Range неисправен.
Удалите сообщение об ошибке, понизьте рабочее давление
технологического процесса до предела диапазона, «прокрути-
те» линию на экране, и нажмите кнопку Переключить (Cycle).
Если вакуумметр не дает показаний давления, его следует
заменить.
Потеря нуля Означает, что выходной сигнал вакуумметра выходит из диа-
ASG Cant Zero пазона –100 мВ…+100 мВ.
Подобные ошибки происходят из-за попытки настроить нуль
вакуумметра при высоком давлении или из-за неисправности
вакуумметра. Попытайтесь снова произвести настройку нуля,
и если ошибки повториться, то вакуумметр необходимо заме-
нить.

Таблица 15. Диагностика ASG

4.8.7 Управление инверсно-магнетронным вакуумметром АIM

Замечание: данный раздел содержит описание для версий вакуумметров: стан-


дартного AIM – S и линейного AIM – L (различия в выходных сигналах),
включая версии с низким внешним магнитным полем (-SL или -XL) и про-
греваемую версию (тип DB40CF).

Замечание: подробные характеристики и инструкции по использованию вакуум-


метров AIM приведены в руководствах D146-41-885 и D146-61-880.

Инверсно-магнетронный вакуумметр AIM является ионизационным датчиком с хо-


лодным катодом, показания которого зависят от рода газа, и измеряющим давление
в диапазоне 1×10-2…1×10-9 мбар (7,5×10-3…7,5×10-10 Торр). Ряд версий вакууммет-
ров со стандартным (AIM – S) и линейным (AIM – L) выходным сигналом, с низким

26
внешним магнитным полем (AIM –SL или AIM –XL) используются для чувствитель-
ных научных приборов, а версия с прогреваемой измерительной трубкой подходит
для работы со сверх высоким вакуумом.

Установка AIM со значениями, принятыми по умолчанию, приведена в разделе выше


(4.8.1).

В табл. 16 приведены диагностические сообщения для вакуумметров АIM.

Диагностическое Описание
сообщение
Выход за пределы (Выходной сигнал вакуумметра >11,000 В)
диапазона Означает, что или измеренное давление газа выходит за пре-
Превышение делы диапазона измерения вакуумметра, или что вакуумметр
Over Range неисправен.
Удалите сообщение об ошибке, понизьте рабочее давление
технологического процесса до предела диапазона, «прокрути-
те» линию на экране, и нажмите кнопку Переключить (Cycle).
Если вакуумметр не дает показаний давления, его следует
заменить.
Выход за пределы (Выходной сигнал вакуумметра <0,300 В)
диапазона Означает, что вакуумметр или кабель неисправен. Замените
Понижение кабель и, если ошибка повторится, то следует заменить элек-
Under Range тронный модуль.
Зажигание Означает, что вакуумметр ждет зажигания разряда.
Striking TIC может работать в этом режиме не более 15 минут
Нет зажигания Означает, что в вакуумметре не произошло зажигание разря-
Not Struk да по истечении 15 минут.
Подобные ошибки происходят из-за загрязнения измеритель-
ной трубки вакуумметра. Трубку следует осмотреть на нали-
чие загрязнений: если катод и анод не блестят, то вакуумметр
необходимо почистить или заменить электронный блок (см.
руководство вакуумметра).

Таблица 16. Диагностика AIM

4.8.8 Управление ионизационным вакуумметром АIGX – S серии ACTIVE

Замечание: TIC не поддерживает версию AIGX – D из ряда AIGX. TIC не поддержи-


вает работу контроллера ионизационных вакуумметров IGC.

Замечание: подробные характеристики и инструкции по использованию вакуум-


метров AIGX приведены в руководствe D048-50-880.

Ионизационный вакуумметр AIGX – S является полностью интегрированным средст-


вом измерения, измеряющим давление в диапазоне 6,6×10-2…6,6×10-10 мбар (5×10-
2
…5×10-10 Торр). Вакуумметр имеет линейный выходной сигнал 1Вольт/декада в
диапазоне 0…10 В. AIGX – S поставляется с двумя катодами, выбор которых осуще-
ствляется вручную на преобразователе. Для максимального ресурса катода вакуум-
метр автоматически переключает ток эмиссии и содержит защиту от превышения
давления. Пользователь может только выбрать характеристики блокировки и режи-
ма дегазации.

27
Вакуумметр содержит также широкий диапазон диагностических выходных сигналов,
которые отображаются на TIC.

При подключении AIGX TIC содержит функции меню (см. табл. 17 и рис. 19) в до-
полнение к приведенным выше (см. табл. 8 раздел 4.8.1).

Функция меню Описание


Дегазация Позволяет пользователю произвести дегазацию вакуум-
Degas метра AIGX.
Прокруткой установите линию на Дегазации/Degas и на-
жмите кнопку Выбор. Команда Command Sent появится в
течении 1 сек для подтверждения выполненного действия.
Замечание: во время дегазации выходной сигнал давления
может быть немного выше рабочего.
Максимальная продолжительность цикла дегазации со-
ставляет 3 минуты, во время которого давление на экране
контроллера будет отображаться в виде «D».
Замечание: «D» видно в том случае, когда канал, по ко-
торому подключен вакуумметр, не выбран. Это проис-
ходит потому, что увеличенный размер текста на вы-
бранном канале сжимается до «D» на экране.
В конце цикла вакуумметр автоматически вернется в
обычный рабочий режим.
Если давление во время цикла повысится выше 1,3×10-3
мбар (1×10-4 Торр), то дегазация автоматически остановит-
ся пока давление не упадет ниже 4×10-5 мбар (3×10-5 Торр),
при котором дегазация возобновится на остаток цикла.
Замечание: нет возможности выключения дегазации
вручную в середине цикла.

Таблица 17. Функции установки AIGX

Рисунок 19. Экран настройки вакуумметра AIGX

В табл. 18 приведены диагностические сообщения для вакуумметров АIGX.

28
Диагностическое Описание
сообщение
Выход за пределы (Выходной сигнал вакуумметра >9,800 В)
диапазона (превы- Означает, что вакуумметр неисправен и следует заменить
шение) /Over Range электронный блок.
Превышение допус- (Выходной сигнал вакуумметра =9,700 В)
тимого давления Означает, что вакуумметр автоматически выключился, т.к.
Over Pressure давление поднялось выше 6,6×10-2 мбар (5×10-2 Торр).
Понизьте давление с включите вакуумметр снова.
Ошибка тока эмис- (Выходной сигнал вакуумметра =9,500 В)
сии Означает, что или сгорел катод, или что вакуумметр был
Emission Error включен при слишком высоком давлении Æ понизьте и вклю-
чите снова.
Электропитание не соответствует требованиям Æ проверьте
кабель (длина и поперечное сечение).
Выход за пределы (Выходной сигнал вакуумметра <0,025 В)
диапазона (пониже- Означает, что или сгорел внутренний плавкий предохрани-
ние)/ Under Range тель, что или вакуумметр неисправен. Замените предохрани-
тель согласно руководству вакуумметра и, если ошибка по-
вторится, то следует заменить электронный модуль.
Инициализация Означает, что вакуумметр находится в режиме стабилизации
Initialising тока эмиссии. Этот период длится обычно 5 сек.

Таблица 18. Диагностика AIGX

4.8.9 Широкодиапазонный вакуумметр WRG

Замечание: подробные характеристики и инструкции по использованию вакуум-


метра WRG приведены в руководствe D147-01-885.

Широкодиапазонный вакуумметр WRG представляет собой скомбинированный из


преобразователя Пирани и инверсно-магнетронного преобразователя компактный
прибор. WRG измеряет давление в диапазоне от атмосферного до 1×10-9 мбар
(7,5×10-10 Торр). Показания WRG зависят от рода газа. Вакуумметр имеет логариф-
мический – линейный выходной сигнал в диапазоне 2…10 В. Преобразователь Пи-
рани в WRG измеряет давление в диапазоне от атмосферного до 1×10-3 мбар
(7,5×10-10 Торр), в то время как инверсно-магнетронный преобразователь измеряет
давление в диапазоне 1×10-2 …1×10-9 мбар (7,5×10-3 …7,5×10-10 Торр). Выходной сиг-
нал от обоих преобразователей используется для определения давления в диапа-
зоне 1×10-2 …1×10-3 мбар (7,5×10-3 …7,5×10-4 Торр).

При подключении WRG TIC содержит функции меню (см. табл. 19 и рис. 20) в до-
полнение к приведенным выше (см. табл. 8 раздел 4.8.1).

29
Функция меню Описание
Калибровка Позволяет пользователю настроить WRG на атмосферу
Calibrate или вакуум.
Подключите WRG к TIC и позвольте ему поработать при
атмосферном давлении около 10 минут. Прокруткой уста-
новите линию на Калибровке/Calibrate и нажмите кнопку
Выбор. Команда Command Sent появится в течении 1 сек
для подтверждения выполненного действия.
WRG автоматически калибрует преобразователь Пирани
на вакуум каждый раз, когда давление в системе понижа-
ется ниже 1×10-4 мбар (7,5×10-5 Торр).

Таблица 19. Функции установки WRG

Рисунок 20. Экран настройки вакуумметра WRG

Замечание: если преобразователь Пирани был заменен (см. руководство WRG),


то при определении давления ниже 1×10-3 мбар (7,5×10-4 Торр) может
произойти сбой. В таком случае требуется ручная калибровка вакуума.
Откачайте систему до давления ниже1×10-5 мбар (7,5×10-6 Торр) перед
проведением калибровки как описано в руководстве вакуумметра WRG.

В табл. 20 приведены диагностические сообщения для вакуумметра WRG.

Диагностическое Описание
сообщение
Выход за пределы (Выходной сигнал вакуумметра >10,600 В)
диапазона (превы- Означает, что вакуумметр неисправен и его следует заме-
шение) /Over Range нить.
Нет зажигания (Выходной сигнал вакуумметра =1,300 В)
Not Struk Означает, что в магнетронном преобразователе не произошло
зажигание разряда.
Трубку следует осмотреть на наличие загрязнений: если катод
и анод не блестят, то вакуумметр необходимо почистить или
заменить электронный блок (см. руководство вакуумметра).
Сгорел поджигатель (Выходной сигнал вакуумметра =1,200 В)
Striker Fail Означает, что сгорел поджигающий катод. Следует заменить
блок электродов как описано в руководстве вакуумметра.

30
Сбой магнетрона (Выходной сигнал вакуумметра =1,100 В)
Mag Fail Означает, что магнетронный преобразователь закорочен. Это
может произойти из-за загрязнений. Следует почистить WRG
как описано в его руководстве. Если ошибка повторится, то
необходимо провести техническое обслуживание вакуумметра
и заменить блок электродов (см. руководство D147-01-802)
Сгорел катод (Выходной сигнал вакуумметра =1,000 В)
Filament Fail Означает сбой элемента Пирани. Вероятной причиной явля-
ется сгоревший катод. Следует провести техническое обслу-
живание вакуумметра как описано в его руководстве.
Выход за пределы (Выходной сигнал вакуумметра <0,950 В)
диапазона (пониже- Означает, что вакуумметр неисправен. Следует заменить
ние)/ Under Range электронный модуль.

Таблица 20. Диагностика WRG

4.9 Отказы системы

В ситуации, последствия которой могут привести к сбою системы, последует Преду-


преждение: в нижней половине экрана начнет мигать надпись Alarm (см. рис. 17).

Затем Вы можете выбрать Отказ, установив на нем курсор и нажав кнопку Выбор. Эти
действия дадут Вам войти в экран Отказы системы. В другом случае Вы можете вос-
пользоваться главным меню.

Надпись Alarm прекратит мигать, когда будет рассмотрена оператором, и исчезнет,


если вызвавшая ее причина исчезнет. Распознавание Предупреждения осуществля-
ется путем нажатия кнопки Выбор на мигающей надписи.

Чтобы избавиться от надписи Alarm Вам необходимо обратиться к разделу Поиск Не-
исправностей в данном руководстве: он содержит информацию об Отказах
/неисправностях и возможных решения по их устранению/.

4.10 Главное Меню

Доступ в Главное Меню осуществляется нажатием кнопки Меню на экра-


не (см. рис.14). Далее Вы можете получить доступ в следующие под – меню.

4.11 Связи вакуумметров

Если выбрана эта функция из главного меню, то на экране отобразится список управ-
ляемого оборудования (вакуумметров) вместе с оборудованием, управление которым
осуществляется. По умолчанию каждый элемент определен как «Нет связи/Not Link-
ing» - не имеет управления.

Для установки связи следует выполнить 4 шага:

1. Выберите управляемое оборудование. Прокруткой установите курсор на оборудо-


вании, управление которым следует настроить, и нажмите кнопку Выбор (см. рис.
21).

31
Рисунок 21. Управляемое оборудование

2. Выберите управляющее оборудование. Верхняя светящаяся линия используется


для выбора управляющего оборудования. Выберите управляющее оборудование
из списка возможного и нажмите кнопку Выбор для подтверждения выбора.

3. Введите требуемые блокировки. Блокировки включения и выключения можно на-


строить так, чтобы они соответствовали технологическому процессу. Если управ-
ляемым оборудованием является вакуумметр, используемым параметром для
блокировки может быть либо давление (в установленных единицах) либо напря-
жение (В). Выбор параметров для использования и последующая настройка вклю-
чения и выключения требуемой блокировки показана на рис. 22.

Рисунок 22. Установка управления

Замечание:
для вакуумметров Блокировка Выключения (Off Setpoint) ≥ Блокировка
Включения (On Setpoint)

Если последствием настройки блокировки включения или выключения яв-


ляется нарушение приведенных выше условий, то не настраиваемую бло-
кировку следует изменить так, чтобы она соответствовала устанавли-
ваемой заново.

32
Если вводиться давление, то можно изменить только знак экспоненты,
когда она не нулевая. Для установки отрицательной экспоненты, сначала
следует установить значение экспоненты для возврата к изменению зна-
ка.

4. Включите блокировку. Настроенную однажды блокировку следует включать путем


изменения курсора/линии Блокировки (Setpoint) с Выключено (Off) на Включено
(Enabled).

4.12 Параметры/единицы

Этот экран позволяет пользователю изменить отображенные параметры, а так же:

• Блокировка Установки / Setup Lock – Когда введен 3-х значный кода блокировки,
блокировка включается, и оператор не может изменить никаких установок, одна-
ко, оператор может войти в меню и запустить или остановить насос. Отключение
блокировки осуществляется вводом 3-х значного кода снова.

• Блокировка Панели / Panel Lock – Эта функция полностью блокирует переднюю


панель. Оператор может только наблюдать за экраном/состоянием. Пароль для
этой функции приведен на вкладыше компакт-диска CD.

• Аналоговый выходной сигнал 0…10 В на логическом интерфейсе может быть


настроен для вакуумметра 1, 2, 3, давления или скорости турбомолекулярного
насоса.

• Контрастность дисплея позволяет пользователю изменить контрастность.

• Протокол / Protocol показывает используемый протокол: RS232 или RS485.

• Адрес Последовательного Порта / Comms Adress – Установка адреса последо-


вательного порта TIC.

4.13 Функции экрана

Пользователь может использовать этот экран для выбора устройств и характеристик,


отображаемых на экране. Функции включают:

• Показать все вакуумметры / Show all gauges – эта функция экрана отображает
все вакуумметры крупно, но не выдает никакой информации о турбомолекуляр-
ных насосах.
• Один вакуумметр за раз / One gauge at a time – эта функция экрана позволяет
пользователю наблюдать за одним вакуумметром.

4.14 Выходные сигналы реле блокировки

Эта функция позволяет соединить выходные сигналы блокировки на логическом ин-


терфейсе с вакуумметрами или со скоростью насосов. Установка этих функций осу-
ществляется так же как Связи Вакуумметров и Насосов (см. раздел 4.12)

Когда выходные сигналы блокировки становятся активными, то сигнализаторы R1,


R2, R3 на экране изменят отображение (на негатив).

33
4.15 Информация об обслуживании

Информация об обслуживании содержит следующие сведения:

• Software issue – версия программного обеспечения. Ее можно изменить на


новую в будущем
• Serial number – серийный номер контроллера. Необходим при обращении в сер-
висную службу.
• Analogue O/P – уровень аналогового сигнала. Может быть запрошен при обра-
щении в сервисную службу.
• Reset TIC - установка настроек контроллера в исходные заводские, которые
можно быстро использовать при всех пользовательских установках.

4.16 Ошибки при подачи электропитания

Если произошел сбой в подаче питания контроллера в то время, все подключенные


вакуумметры и логический интерфейс прекратят работу на период отключения пита-
ния.

34
5 ТЕХНИЧЕСКОЕ ОБСЛУЖИВАНИЕ

5.1 Требования безопасности

ВНИМАНИЕ
Соблюдайте требования безопасности, приведенные ни-
же, и обратите внимание на соответствующие меры пре-
досторожности. Несоблюдение этих требование может
привести к травмам людей или повреждению оборудова-
ния.

В контроллере нет заменяемых или подлежащих обслуживанию компонентов. Не


вскрывайте прибор, в случае необходимости верните прибор в ближайший сервисный
центр ВОС Edwards.

Возврат оборудования ВОС Edwards производите по форме, приведенной в конце


данного руководства.

5.2 Поиск неисправностей

Диагностическое Описание
сообщение
Over Range См. соответствующий раздел в руководстве.
Under Range См. соответствующий раздел в руководстве.
New ID См. табл. 8
NFND См. табл. 8
Not Connected См. табл. 8
Вакуумметр

Not Struk См. соответствующий раздел в руководстве.


Filament Fail См. соответствующий раздел в руководстве.
Mag Fail См. табл. 20
Striker Fail См. табл. 20
Cal Error См. табл. 11
Initializing См. табл. 18
Emission error См. табл. 18
Over Pressure См. табл. 18
ASG Cant Zero См. табл. 15
SYSI Inhibit Блокировка системы была отсоединена. Проверьте
корректность подключения разъема логического ин-
терфейса или состояние блокировки системы (см.
раздел 3.3.8.2).
Ext Inhibit Блокировка насосов/вакуумметров была отсоединена.
Общее

Проверьте корректность подключения разъема логи-


ческого интерфейса или состояние блокировки систе-
мы (см. раздел 3.3.8.2).
No Reading Объект не получает новых значений от своего источ-
ника за указанное время и помечает это значение как
старое. Проверьте соединение с компонентами сис-
темы.

35
No Message Объект не получает ответа на посланное сообщение
за указанное время и помечает это значение как ста-
рое. Проверьте корректность подключения логическо-
го интерфейса TIC.

Таблица 21. Поиск неисправностей.

5.3 Очистка контроллера

При необходимости протрите корпус контроллера сухой мягкой тканью. При очистке
не пользуйтесь абразивными материалами или жидкостями.

Если требуется почистить контроллер изнутри, то мы рекомендуем Вам обратиться к


поставщику или в сервисный центр ВОС Edwards.

5.4 Заводские установки (по умолчанию)

Ниже приводится список заводских установок, которые заложены в TIC:

Функция меню Значение по умолчанию


Gauge and relay slaving / подключенные not slaved / не управляемые
вакуумметры, реле
Gas type / род газа = Nitrogen / азот
Gauge Filter / фильтр вакуумметра = Off / выключено
ASG range / диапазон вакуумметра ASG = 1000
Analogue out slaved / подключенный аналого-
вый выходной сигнал = NONE / отсутствует
Setup lock / блокировка установок системы = Off / выключено
Panel lock / блокировка передней панели = Off / выключено
Display contrast / контрастность экрана =5
Pressure units / единицы измерения давления = mbar / мбар
PC comms / последовательный порты = RS232
компьютера
Multi-drop address / многоканальный адрес =0
Default screen / экран по умолчанию = All/ все
ASG fixed/float / ASG фиксированный/с = Float / с плавающей точкой
плавающей точкой

Таблица 22. Заводские установки (по умолчанию)

36
6 ХРАНЕНИЕ И УТИЛИЗАЦИЯ

6.1 Хранение

Храните контроллер в чистом сухом месте. Соблюдайте диапазон температуры хра-


нения, указанный в разделе 2.

6.2 Утилизация

ВНИМАНИЕ
Не сжигайте контроллер. При нагревании контроллера до
высоких температур может произойти выброс опасных га-
зов или взрыв внутренних компонентов.

Утилизируйте контроллер в соответствии с национальными требованиями по защите


окружающей среды.

37
7 СЕРВИС, ЗАПАСНЫЕ ЧАСТИ И ПРИНАДЛЕЖНОСТИ

7.1 Сервис

Продукция ВОС Edwards, запчасти и принадлежности поставляются нашими предста-


вителями в России и во всем мире. В наших центрах работают инженеры прошедшие
всестороннюю подготовку в BOC Edwards.

Компания Erwards создала всемирную сеть Сервисных Центров для поддержки своей
продукции. Каждый Сервисный Центр предлагает широкий диапазон услуг, включая:
очистку оборудования, обмен оборудования, ремонт, модернизация/капремонт и тес-
тирование для промышленного назначения /в соответствии с требованиями промыш-
ленности. Оборудование, прошедшее ремонт, модернизацию или обслуживание воз-
вращается с полной гарантией.

Для получения большей информации об услугах, пожалуйста, обращайтесь.

ЗАО «ИНТЕК ВАКУУМ»


194156, Санкт-Петербург, пр. Энгельса 33/1 лит.А, оф. 408
адрес электронной почты: info@invac.ru;
интернет-сайт: www.invac.ru.
телефон: +7 (812) 326−3896
факс: +7 (812) 326−3895

7.2 Запасные части

Запчасти Номер по каталогу


Набор передней панели TIC D397-00-837

TIC не содержит частей, которые пользователь может самостоятельно заменить, по-


этому в случае неисправностей обратитесь в ближайший сервисный Центр Edwards.

7.3 Принадлежности

Принадлежности Номер по каталогу


Контроллеры TIC
TIC контроллер измерительных приборов D397-00-000
TIC Turbo турбо контроллер100Вт D397-11-000
TIC Turbo турбо контроллер200Вт D397-12-000
TIC T&C контроллер турбонасосов и измеритель-
ных приборов 100Вт D397-21-000
TIC T&C контроллер турбонасосов и измеритель-
ных приборов 200Вт D397-22-000
Вакуумметры
APG-M-NW16 AL D021-71-000
APG-M-NW16 STST D021-75-000
APG-M-NW25 STST D021-72-000
APG-M-15мм OD STST D021-76-000
APG-MP-NW16 STST D021-85-000
APG-MP-NW25 STST D021-82-000
APG-MP-15mm OD STST D021-86-000
APG-L-NW16 AL D021-73-000

38
APG-L-NW16 STST D021-77-000
APG-L-NW25 STST D021-74-000
APG-L-15mm OD STST D021-78-000

APGX-M-NW16 AL D021-71-000
APGX-M-NW16 STST D021-75-000
APGX-M-NW25 STST D021-72-000
APGX-M-15MM OD STST D021-76-000
APGX-MP-NW16 STST D021-85-000
APGX-MP-NW25 STST D021-82-000
APGX-MP-15mm OD STST D021-86-000
APGX-L-NW16 AL D021-73-000
APGX-L-NW16 STST D021-77-000
APGX-L-NW25 STST D021-74-000
APGX-L-15mm OD STST D021-78-000

APGX-H-NW16 AL D023-91-000
APGX-H-NW25 STST D023-92-000
APGX-H-NW16 STST D023-95-000
APGX-H-1/8 NPT STST D023-96-000

ATC-E электронный модуль D351-08-000


ATC-D 1/8" NPT измерительная трубка D355-12-000
ATC-M 1/8" NPT измерительная трубка D355-13-000

ASG NW16 1000 мбар D357-26-000


ASG NW16 2000 мбар D357-28-000
ASG 1/8" NPT 1000 мбар D357-25-000
ASG 1/8" NPT 2000 мбар D357-27-000
ASG адаптер кабеля 0.5м D400-03-060

AIM-S-NW25 D146-41-000
AIM-SL-NW25 D146-44-000
AIM-S-DN40CF D146-61-000
AIM-SL-DN40CF D146-64-000
AIM-X-NW25 D146-42-000
AIM-XL-NW25 D146-45-000
AIM-X-DN40CF D146-62-000
AIM-XL-DN40CF D146-65-000
Кабели вакуумметров серии ACTIVE (включая
FC68 совместимый разъем на обоих концах)
0.5 м кабель вакуумметра серии ACTIVE D400-01-005
1 м кабель вакуумметра серии ACTIVE D400-01-010
3 м кабель вакуумметра серии ACTIVE D400-01-030
5 м кабель вакуумметра серии ACTIVE D400-01-050
10 м кабель вакуумметра серии ACTIVE D400-01-100
15 м кабель вакуумметра серии ACTIVE D400-01-150
15 м кабель вакуумметра серии ACTIVE (24 AWG) D400-05-150
25 м кабель вакуумметра серии ACTIVE D400-01-250
30 м кабель вакуумметра серии ACTIVE(24 AWG) D400-05-300
50 м кабель вакуумметра серии ACTIVE D400-01-500
100 м кабель вакуумметра серии ACTIVE D400-01-999

39
Блоки реле
TIC блок реле 3 x 240В 3A D397-00-804
TIC блок реле D397-11-805
TIC комбинированный блок реле D397-21-806
Интерфейсные кабели
2 м кабель логического интерфейса D397-00-833
2 м кабель интерфейса RS232 D397-00-834
Кабели питания
Кабель питания 2 м /по стандарту сети Великобри- D400-13-025
тании/
Кабель питания 2 м /по стандарту сети США/ D400-13-120
Кабель питания 2 м /по североевропейскому стан- D400-13-120
дарту сети /
Дополнительные принадлежности
Модернизация программного обеспечения TIC Обратитесь в Edwards

40
Возврат оборудования ВОС Edwards – инструкция (Форма HS1)

Введение

Перед тем как вернуть оборудование, Вы должны оповестить об этом своего поставщика, если то, что случилось с
Вашим оборудованием, может быть опасным. Вы должны действовать в полном соответствии с законами.

Вы должны полностью заполнить Декларацию (HS2) на следующей странице и послать ее своему постав-
щику прежде, чем Вы отправите оборудование. Если Вы не выполните это требование, ваш поставщик решит,
что оборудование опасно и может отказаться принять его. Если Декларация будет неправильно заполнена, то при
работе с вашим оборудованием могут быть задержки.

Правила заполнения

Обратите внимание на следующие правила заполнения Декларации:

Ваше оборудование будет «не загрязнено», если оно не использовалось или при работе с ним не использовались
опасные вещества. Ваше оборудование будет «загрязнено», если при работе с ним использовались опасные веще-
ства.
Если при работе с данным оборудованием использовались радиоактивные вещества, то Вы должны очистить его
перед тем, как возвратите оборудование поставщику. Вы должны выслать своему поставщику независимое под-
тверждение об очистке (например сертификаты анализов) вместе с Декларацией (HS2). Вы можете обратиться к
поставщику за советом.
Мы предполагаем, что загрязненное оборудование будет транспортироваться в таком транспортном средстве, в
котором перевозчик не находится в одном помещении с оборудованием.

ПРОЦЕДУРА

Используйте следующие операции:

Свяжитесь с Вашим поставщиком и получите Номер Авторизации Возврата Вашего оборудования.


Переверните страницу, сделайте ксерокопию следующей страницы и заполните Декларацию (HS2).
Удалите следы всех опасных газов: пропустите инертный газ через оборудование и любые принадлежности, кото-
рые будут возвращены поставщику. Слейте все жидкости и смазочные материалы из оборудования и его принад-
лежностей.
Отсоедините все принадлежности от оборудования. Осторожно снимите фильтрующие элементы со всех фильтров
масляного тумана.
Запечатайте/закройте все входные и выходные отверстия (включая те, к которым присоединялись принадлежно-
сти). Вы можете закрыть входные и выходные отверстия с помощью заглушек или полихлорвиниловой ленты.
Поместите загрязненное оборудование в толстый полиэтиленовый пакет. Если у вас нет подходящих пакетов, Вы
можете завернуть его в толстую полиэтиленовую пленку.
Если оборудование имеет большие габаритные размеры, поместите оборудование и его принадлежности в дере-
вянный ящик. Желательно, чтобы размеры ящика были не более 510 мм × 915 мм (20” × 35”); свяжитесь с постав-
щиком, если вы не можете обеспечить выполнение этого требования.
Если оборудование слишком мало для подобного ящика, то упакуйте его в подходящую крепкую коробку.
Если оборудование загрязнено, то пометьте коробку (ящик) в соответствии с правилами транспортировки опасных
веществ.
Вышлете по факсу или почтой копию Декларации Вашему поставщику. Декларация должна прийти раньше, чем
оборудование.
Предоставьте копию Декларации перевозчику. Вы должны сообщить перевозчику о загрязненности оборудования.
Поместите оригинал Декларации в конверт; надежно прикрепите конверт к внутренней стороне упаковки обору-
дования. ЧЕТКО НАПИШИТЕ НОМЕР АВТОРИЗАЦИИ ВОЗВРАТА НА ВНУТРЕННЕЙ СТОРОНЕ КОН-
ВЕРТА ИЛИ НА ВНУТРЕННЕЙ СТОРОНЕ УПАКОВКИ ОБОРУДОВАНИЯ.

41
Возврат оборудования ВОС Edwards – Декларация (Форма HS2)
Номер Авторизации Возврата:

РАЗДЕЛ 1: ОБОРУДОВАНИЕ
ТОЛЬКО ДЛЯ ПРОИЗВОДСТВА ПОЛУПРОВОДНИКОВ
Модель оборудования___________________________
Серийный номер_______________________________ Номер базового инструмента_______________________
Процесс__________________________________________
Было ли оборудование использовано, тестировано? Дата появления неисправности_______________________
Серийный номер
Да О (далее в раздел 2) Нет О (далее в раздел 4) Возвращаемого оборудования________________________

РАЗДЕЛ 2: ВЕЩЕСТВА, КОНТАКТИРОВАВШИЕ С ОБОРУДОВАНИЕМ


Укажите, с какими веществами соприкасалось оборудование Ваш поставщик не примет оборудование, если
Радиоактивные О да О нет оно загрязнено радиоактивными веществами, по-
Биологически активные О да О нет ка Вы не:
Опасные для здоровья и О да О нет произведете его очистку
Безопасности человека предоставите подтверждающие это документы
Если Вы ответили “нет” на все вопросы, переходите
к разделу 4. ВЫ ДОЛЖНЫ ПОСОВЕТОВАТЬСЯ С ПО-
СТАВЩИКОМ, ПРЕЖДЕ ЧЕМ ВОЗВРАЩАТЬ
ПОДОБНОЕ ОБОРУДОВАНИЕ
РАЗДЕЛ 3: ПЕРЕЧЕНЬ ВЕЩЕСТВ, КОНТАКТИРОВАВШИХ С ОБОРУДОВАНИЕМ
Название Химический Меры предосторожности (например Действия в случае утечки или
символ использование защитных перчаток) при контакте с человеком
1
2
3
4
5
6

РАЗДЕЛ 4: ИНФОРМАЦИЯ ПО ВОЗВРАТУ

Причина возврата и описание неисправности___________________________________________________________


__________________________________________________________________________________________________

Если у вас есть гарантийное обязательство


у кого Вы покупали оборудование?________________________________________________________________
номер счет-фактуры Вашего поставшика___________________________________________________________

РАЗДЕЛ 5: ДЕКЛАРАЦИЯ

Ф.И.О.______________________________________Должность_____________________________________________
Организация_______________________________________________________________________________________
Адресс____________________________________________________________________________________________
____________________________________________________________________________________________
Телефон ____________________________ дата поставки оборудования_____________________________________
Я предоставил точную информацию при заполнении Декларации и не скрыл каких либо сведений.
Я действовал согласно Инструкции Возврата Оборудования ВОС Edwards (HS1) на предыдущей странице.

Подпись_______________________________________Дата________________________________________________

42

Оценить