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Fonctionnement d’une lentille Image

Lentille simple

Le MET fonctionne avec des lentilles magnétiques agissant sur un faisceau d’électrons.
L’analogie peut être faite avec les lentilles optiques et un faisceau lumineux.
Lentille
1. Cas d’une lentille simple Distance focale

- La source émet dans toutes les directions et les faisceaux arrivent donc à la Plan image
lentille dans des directions différentes.
- La lentille dévie les faisceaux en fonction de leurs angles d’arrivée. Point focal
- Les faisceaux se recoupent ensuite tous au niveau du point focal (Si celui-ci se
trouve sur le plan image, on obtient une image nette de la source).
-
Image : Source lumineuse Lentilles multiples
Foyer image (ou point focal) : Point vers lequel converge l’ensemble des rayons de la
source après avoir été déviés par la lentille.
Distance focale : distance entre la lentille et le foyer image
1er Point focal
2. Cas d’un système de lentilles multiples
Lorsque deux lentilles sont alignées sur le même axe optique on peut obtenir l’image d’un
objet avec la 1ère et faire une image de cette image avec la 2nde.
En effet, ce point focal va pouvoir servir de source à la seconde lentille qui fonctionnera Point focal « image »
exactement de la même façon.

3. Les lentilles magnétiques

La façon dont agit une lentille dépend de sa « force ». Dans le cas d’une lentille
magnétique, cette force peut être modifiée en jouant sur les courant électriques la
traversant et donc sur les champs magnétiques qui en résultent.

Dans le cas d’un système de lentille, si la force d’une lentille est modifiée il faudra
compenser avec l’autre afin de conserver une image nette (point focal sur le plan image)

Le grossissement dépendra lui de la différence angulaire entre le faisceau provenant de

l’objet et celui sortant du plan image.

Rôle de la force des lentilles

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LE CANON A ELECTRONS : source du faisceau

Dans le canon se trouve plusieurs éléments :

- Le Wehnelt qui contient la source des électrons : le filament
- L’anode qui va accélérer les électrons provenant de la source.
Contrôle du courant de
1. Origine du faisceau d’e- : le filament chauffe (Target)

- Le filament est traversé par un courant dis de « chauffe », les électrons de ce courant
vont rentrer en collision avec les électrons constitutifs du filament ce qui va générer une
agitation de ces derniers et donc un échauffement du filament : c’est l’effet Joule.
- L’énergie thermique va entrainer la vibration des atomes du filament jusqu’au point ou
les électrons de ces atomes vont rompre leurs liaisons électrostatiques et être libérés : c’est
l’effet thermoïonique.
BIAS
- Le filament est relié à la haute tension par une résistance qui va stabiliser le courant.
On peut jouer sur ce paramètre pour augmenter l’intensité du faisceau : c’est le BIAS. Le BIAS
va jouer sur la polarité (différence de tension) entre le filament et le Wehnelt.

2. L’ébauche du faisceau : le Wehnelt Filament

HT
- Le filament se situe dans le Wehnelt
- Le wehnelt est légèrement polarisé négativement par
rapport au filament ce qui va avoir pour effet de rediriger les
e- (forme de plume).
Anode
e-
3. L’accélération du faisceau d’électrons : l’anode

- Sous le wehnelt se trouve une anode se présentant sous la

forme d’un disque percé d’un trou.
- Les électrons sont aspirés dans ce trou et accélérés en fonction
de la tension appliquée: c’est la haute tension ou HT.

Dans TEM Center :

- Bias : joue sur la résistance se trouvant avant le filament
- Target : % du courant de chauffe à appliquer au filament
- HT : haute tension appliquée pour accélérer les électrons du faisceau.
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LE SYSTEME CONDENSEUR : détermine la façon

dont l’échantillon est éclairé par le faisceau

Il est composé :
- D’une lentille magnétique C1
- D’une lentille magnétique C2 Canon à électrons
- De deux jeux de bobine déflectrices
- D’un diaphragme « condenseur » réglable manuellement

1. Les bobines déflectrice

Gun SHIFT
- Un 1er jeu avant la lentille C1 qui permet de corriger un problème d’alignement ou
d’inclinaison du canon en jouant sur le faisceau (GUN SHIFT pour l’alignement et GUN TILT Gun TILT
pour l’inclinaison).
- Un 2e jeu après la lentille C2 qui permet notamment d’aligner le faisceau sortant du Lentille C1
système condenseur avec le reste du MET (avec l’axe optique). Il s’agit du BEAM SHIFT et de
réaliser certains réglages du système condenseur (COND STIG).
Lentille C2
2. La lentille C1
Diaphragme condenseur
- En modulant la force de la lentille on va pouvoir obtenir différentes tailles de spot. Sur
la console gauche, c’est le bouton SPOT SIZE qui contrôle la force de C1 (il joue également un Réglages condenseurs
peu sur C2). (stigmatisme, TILT, Beam
SHIFT)
Lors de l’alignement des spots ce sont principalement les déflectrices et la lentille C1 qui sont
sollicitées.

3. La lentille C2

- Elle permet de placer et étaler le faisceau d’électrons autour de l’échantillon

(BRIGHTNESS). Elle n’est utilisée en mode « focus » que lorsque l’on veut aligner le système
condenseur (lors d’un changement de filament par exemple).

4. Le diaphragme condenseur

- Il permet de limiter l’intensité du faisceau en sélectionnant les électrons les plus

proches de l’axe optique.
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LE SYSTEME OBJECTIF : la création de l’image

de l’échantillon

Il est composé :
Lentille OBJECTIF
- De 2 lentilles objectif
Diaphragme OBJECTIF
- D’un ensemble de lentilles dites de projection.
(3 lentilles intermédiaires et une lentille de projection) Correction stigmatisme OBJECTIF
- De plusieurs bobines déflectrices de réglages. Image SHIFT 1
- D’un diaphragme de contraste (objectif) et d’un diaphragme
sélecteur d’aire.
Petite Lentille OBJECTIF
Image SHIFT 2
1. La lentille objectif est la pièce maîtresse du MET
Diaphragme Sélecteur d’aire
On ne règle pas son alignement, c’est le reste du microscope qui s’aligne par
rapport à elle : le système condenseur doit envoyer le faisceau au centre de la Correction stigmatisme
lentille objectif et parallèlement à l’axe optique. lentilles intermédiaires

2. Les lentilles intermédiaires et de projection

- Le grossissement ne peut être réalisé par la lentille objectif seule car cela serait
source d’aberrations importantes. Lentilles Intermédiaires
- Elles ont donc principalement un rôle de grossissement (MAGNIFICATION)
- Elles permettent d’effectuer une rotation de l’image (IOS)
- La 1ère lentille du système de projection est la lentille dite de diffraction.

3. La déflectrice PL ALIGN
- Joue sur l’alignement de la lentille de projection, ceci a pour effet de déplacer
telle quelle l’image obtenue ce qui permet notamment de réaliser des mesures
PL Align (Projector LENS)
à l’aide du logiciel TEM measure. (PL ALIGN)

Lentille de projection
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L’ANALYSEUR EDS (Energy Dispersion Spectroscopy)

: des RX au spectre

Dissipateur de chaleur

1. Le collimateur : Limite la zone de réception des RX afin d’être certain que ces
derniers proviennent de la partie excitée de l’échantillon
Caloduc
2. Le piège à électrons : Aimant repoussant les électrons arrivant au détecteur
afin d’éviter des artefacts.

3. La fenêtre SATW (Super Atmosphere

Supported Thin Window) : composé d’un
polymère elle permet de maintenir le vide dans le
détecteur tout en laissant passer les RX 3. Fenêtre SATW
2.Piège à électrons

5.TEF
4.Détecteur SDD 1.Collimateur
4. Le détecteur SDD (Small Drift Detector) : système semi-conducteur qui
convertit Converti individuellement l’énergie de chaque RX en une charge
électrique proportionnelle par ionisation.

5. Le TEF (Transistor à effet de champs) : 1ère étape d’amplification du signal.

Directement connecté au détecteur, il transforme la charge accumulée au
niveau du détecteur en signal électrique qui sera ensuite traduit
informatiquement en spectre.

6. Le Caloduc qui refroidit le détecteur en transmettant la chaleur à un

Dissipateur. Le Dissipateur de chaleur fonctionne par effet Peltier.

Temps mort : temps pendant lequel le détecteur est saturé et ne peut plus recevoir/ traiter les données. Le temps d’analyse réel correspond au temps d’acquisition auquel on déduit
le temps mort.
Canon à électrons

Gun SHIFT
Gun TILT

Lentille C1

Système condenseur Lentille C2

Diaphragme condenseur

Réglages condenseurs
(stigmatisme, TILT, Beam SHIFT)

Echantillon

Lentille OBJECTIF
Diaphragme OBJECTIF
Correction stigmatisme OBJECTIF
Image SHIFT 1

Petite Lentille OBJECTIF

Image SHIFT 2

Diaphragme Sélecteur d’aire

Correction IL stigmatisme

Système Objectif

Lentilles Intermédiaires

PL Align (Projector LENS)

Lentille de projection
Axe optique

Ecran
LOW MAG X100
MAG X10.000

Le diaphragme sélecteur d’air

est placé sur ce schéma afin de
limiter visuellement l’impact du
grossissement et ainsi faciliter la
compréhension du dessin. Il
n’est en réalité pas nécessaire à
l’obtention de l’image.