Curso de Vacío

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„ Ejercicios

„ Sistemas de evaporación
El vacío

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Definición
Se define el vacío como un espacio o volumen en el que la
presión es menor que la presión atmosférica.

„ Rangos de vacío

Rango de vacío Presión (mbar) Densidad de moléculas/cm3

Vacío grueso 1013 - 1 1019 - 1016

Vacío medio 1 - 10-3 1016 - 1013
Alto vacío 10-3 - 10-7 1013 - 109
Ultra alto vacío < 10-7 < 109
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Unidades de medida del vacío

Pa-N/m2 bar mbar Torr Micron atm Psi
mm Hg μm.Torr lbf/inch2
Pa 1 1.10-5 1.10-2 7.5 10-3 7.5 9.87 106 1.45 10-4
bar 1 10-5 1 1 103 750 7.5 105 0.987 14.5

mbar 100 1 10-3 1 0.75 750 9.87 10-4 1.45 10-2

Torr 1.33 102 1.33 10-3 1.33 1 1000 1.32 10-3 1.93 10-2

Micron 0.133 1.33 10-6 1.33 10-3 1 10-3 1 1.32 10-6 1.93 10-5

Atm 1.01 105 1013 1013 760 7.6 105 1 14.7

Psi 6.89 103 6.89 10-2 68.9 51.71 5.17 104 6.8 10-2 1
Ejercicios

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 184

Ejercicio nº 1
Calcular el tiempo de bombeo para alcanzar en una cámara de 14
litros una P= 5 x 10-2 mbar
300

1 1 Cámara de vacío 14 l
200

2 Medidor Pirani
24
3 Bomba de vacío rotativa de
70
2 10 m3/h de capacidad nominal
100

3
 185

Cálculos
1 Cálculo de la conductancia
r 4 Pm 1.24 × 0.05
C = 7750 = 7750 = 47m 3 / h
l 17
2 Cálculo de la capacidad de bombeo efectiva

C × S 47 × 10
Seff = = = 8,2m 3 / h
C + S 47 + 10
3 Cálculo del tiempo de bombeo

V P1 0.014 1000
t= Ln = Ln = 61s
Seff P2 8.2 0.05
 186

Ejercicio nº 2
Mismas condiciones que en el ejercicio 1 pero introduciendo
conducciones , válvulas y codos
2 100 750

Válvula

70

24

3
200

1 Cámara de vacío 14 l
1
2 Medidor Pirani
300

3 Bomba de vacío rotativa de

10 m3/h de capacidad nominal
 187

Cálculos
1 Cálculo de la conductancia
r 4 Pm 1.24 × 0.05
C = 7750 = 7750 = 6.9m 3 / h
l 116
2 Cálculo de la capacidad de bombeo efectiva

C × S 6.9 × 10
Seff = = = 4m 3 / h
C + S 6.9 + 10
3 Cálculo del tiempo de bombeo

V P1 0.014 1000
t= Ln = Ln = 124 s
Seff P2 4 0.05
 188

Ejercicio nº 3
El flujo de gas que desplaza una bomba turbomolecular con una
capacidad efectiva de bombeo de 70 l/s a una P=0.02 mbar
¿ Qué Presión se alcanzará en el vacío primario, trabajando con
una bomba primaria seca de membrana de 1 m3 /h ?
 189

Ejercicio nº 4
Valor de fuga máximo considerando que conectamos un detector
HLT 260 en test port 2 a la boca de una bomba Roots de 4000
m3/h (WKP 4000)

4000
SWKP 4000 = = 1.110l / s
3 .6

0.01 + 1.100
QR = QFD ×
0.01
 Ejemplo 5
Indice de fuga en mbar l/s
Una rueda de bicicleta puede tener una pérdida
máxima de presión de 1000 mbar en 175 días.
Volumen = 1.5 litros
175 días = 1.5x107 segundos

mbar * l 1000 * 15. −4

LR = = 7
= 1.0x10 mbarl / s
s . x10
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