ABNT NBR ISO 14644-3 Salas Limpas e Ambi PDF

NTBNET – Licença de uso exclusivo para o Sistema Petrobras
NORMA ABNT NBR

BRASILEIRA ISO
14644-3
Primeira edição
01.09.2009
Válida a partir de
01.10.2009
Salas limpas e ambientes controlados

associados
Parte 3: Métodos de ensaio
Cleanrooms and associated controlled environments
Part 3: Test methods
Impresso por ANDRE CARVALHO GUGLIELMELI em 11/05/2015
ICS 13.040.35 ISBN 978-85-07-01743-1
Número de referência
ABNT NBR ISO 14644-3:2009
70 páginas
© ISO 2005 - © ABNT 2009


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Sumário Página
Prefácio Nacional.......................................................................................................................................................iv
Introdução ...................................................................................................................................................................v
1 Escopo ............................................................................................................................................................1
2 Referências normativas ................................................................................................................................1
3 Termos e definições ......................................................................................................................................1
3.1 Geral................................................................................................................................................................1
3.2 Medição de partículas em suspensão no ar ...............................................................................................2
3.3 Filtros de ar e sistemas.................................................................................................................................4
3.4 Fluxo de ar e outros estados físicos ...........................................................................................................5
3.5 Medições eletrostáticas ................................................................................................................................5
3.6 Instrumentos de medição e condições de medição ..................................................................................6
3.7 Estados de ocupação....................................................................................................................................8
4 Procedimentos de ensaio .............................................................................................................................8
4.1 Ensaios para sala limpa ................................................................................................................................8
4.2 Propósito ........................................................................................................................................................9
5 Relatórios de ensaio....................................................................................................................................11
Anexo A (informativo) Escolha de ensaios recomendados de uma instalação e a seqüência na qual realizá-
los..................................................................................................................................................................12
Anexo B (informativo) Métodos de ensaio.............................................................................................................18
Anexo C (informativo) Aparato de ensaio...............................................................................................................56
Bibliografia ................................................................................................................................................................69
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Prefácio Nacional
A Associação Brasileira de Normas Técnicas (ABNT) é o Foro Nacional de Normalização. As Normas Brasileiras,
cujo conteúdo é de responsabilidade dos Comitês Brasileiros (ABNT/CB), dos Organismos de Normalização
Setorial (ABNT/ONS) e das Comissões de Estudo Especiais (ABNT/CEE), são elaboradas por Comissões de
Estudo (CE), formadas por representantes dos setores envolvidos, delas fazendo parte: produtores, consumidores
e neutros (universidade, laboratório e outros).
Os Documentos Técnicos ABNT são elaborados conforme as regras das Diretivas ABNT, Parte 2.
A Associação Brasileira de Normas Técnicas (ABNT) chama atenção para a possibilidade de que alguns dos
elementos deste documento podem ser objeto de direito de patente. A ABNT não deve ser considerada
responsável pela identificação de quaisquer direitos de patentes.
A ABNT NBR ISO 14644-3 foi elaborada no Comitê Brasileiro de Áreas Limpas e Controladas (ABNT/CB-46),
pela Comissão de Estudo de Aspectos Gerais de Instalações (CE-46:000.01). O Projeto circulou em Consulta
Nacional conforme Edital nº 06, de 18.06.2009 a 17.07.2009, com o número de Projeto 46:000.01-001/3.
Esta Norma é uma adoção idêntica, em conteúdo técnico, estrutura e redação, à ISO 14644-3:2005 que foi
elaborada pelo Technical Committee Cleanrooms and associated controlled environments (ISO/TC 209),
conforme ISO/IEC Guide 21-1:2005.
A ABNT NBR ISO 14644, sob o título geral “Salas limpas e ambientes controlados associados”, tem previsão de
conter as seguintes partes:
Parte 1: Classificação da limpeza do ar;
Parte 2: Especificações para ensaios e monitoramento para comprovar a contínua conformidade com a
ABNT NBR ISO 14644-1;
Parte 3: Métodos de ensaio;
Parte 4: Projeto, construção e partida;

Parte 5: Operação;
Parte 6: Terminologia;
Parte 7: Dispositivos de separação (isoladores, miniambientes);
Parte 8: Classificação da contaminação molecular em suspensão.
O Escopo desta Norma Brasileira em inglês é o seguinte:
Scope
This part of ABNT NBR ISO 14644 specifies test methods for designated classification of airbrone particulate
cleanliness and for characterizing the performance of cleanrooms and clean zones. Performance tests are
specified for two types of cleanrooms and clean zones: those with unidirectional flow and those with
non-unidirectional flow, in three possible occupancy states: as-built, at-rest and operational. The test methods
recommend test apparatus and test procedures for determining performance parameters. Where the test method
is affected by the type of cleanroom or clean zone, alternative procedures are suggested. For some of the tests,
several different methods and apparatus are recommended to accommodate different end-use considerations.
Alternative methods not included ins this part of ABNT NBR ISO 14644 may be used if based on agreement
between customer and supplier. Alternative methods do not necessarily provide equivalent measurements
This part of ABNT NBR ISO 14644 is not applicable to the measurement of products or of processes in cleanrooms
or separative devices.
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Introdução
Salas limpas e ambientes controlados associados fornecem graus apropriados de controle de contaminação no ar,
de modo a atender às atividades sensíveis à contaminação. Produtos e processos que se beneficiam do controle
da contaminação do ar incluem indústrias tais como a aeroespacial, microeletrônica, farmacêutica, alimentícia,
dispositivos e equipamentos médicos e hospitalares.
Esta parte da ABNT NBR ISO 14644 estabelece métodos de ensaios que podem ser usados com o propósito de
caracterizar uma sala limpa, conforme descrito e especificado em outras partes da ABNT NBR ISO 14644.
NOTA Nesta parte da ABNT NBR ISO 14644 não estão sendo dados os procedimentos de ensaio para todos os
parâmetros de uma sala limpa. Os procedimentos e equipamentos para caracterizar outros parâmetros, relevantes em salas e
zonas limpas usadas para produtos ou processos específicos, são discutidos em outros documentos preparados pelo
ISO/TC 209 [por exemplo, procedimentos para controle e medição de materiais viáveis (ISO 14698), ensaio da funcionalidade
de uma sala limpa (ABNT NBR ISO 14644-4) e ensaio de dispositivos de separação (ABNT NBR ISO 14677-7)]. Além disso,
podem ser consideradas outras normas que possam ser aplicáveis.
Indicações contidas nesta parte da ABNT NBR ISO 14644 referem-se às normas ASTM, CEN, DIN, IEST, JACA,
JIS e SEMI.
AVISO — A utilização desta parte da ABNT NBR ISO 14644 pode envolver materiais, operações
e equipamentos perigosos. Esta parte da ABNT NBR ISO 14644 não tem a pretensão de apontar todos os
problemas de segurança associados à sua utilização. É de inteira responsabilidade do usuário desta parte
da ABNT NBR ISO 14644 estabelecer as práticas apropriadas à saúde e à segurança, além de determinar,
previamente ao seu uso, se existem limitações regulatórias.
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NORMA BRASILEIRA ABNT NBR ISO 14644-3:2009
Salas limpas e ambientes controlados associados

Parte 3: Métodos de ensaio
1 Escopo
Esta parte da ISO 14644 especifica métodos de ensaio para classes designadas de limpeza do ar para partículas
em suspensão e para caracterizar o desempenho de sala e zonas limpas. Ensaios de desempenho são
especificados para dois tipos de salas limpas: com fluxo unidirecional e com fluxo não-unidirecional, em
três possíveis estados de ocupação: como construído, em repouso e em operação. Os métodos de ensaios
recomendam os instrumentos de medição e procedimentos de ensaio para determinar os parâmetros de
desempenho. Quando o método de ensaio for afetado pelo tipo de sala ou zona limpa, são sugeridos
procedimentos alternativos. Para alguns ensaios são recomendados diferentes métodos e instrumentos, de forma
a atender às considerações específicas de cada aplicação. Métodos alternativos, não incluídos nesta parte da
ABNT NBR ISO 14644, podem ser usados se acordados entre usuário e fornecedores. Métodos alternativos não
oferecem, necessariamente, medições equivalentes.
Esta parte da ABNT NBR ISO 14644 não é aplicável às medições de produtos ou de processos em salas limpas
ou em dispositivos de separação.
2 Referências normativas
Os documentos listados a seguir são indispensáveis para a aplicação deste documento. Para referências com
data, somente a edição citada é aplicável. Para referências sem data, utiliza-se a edição mais recente (incluindo
quaisquer emendas) do documento indicado.
ABNT NBR ISO 14644-1:2005, Salas limpas e ambientes controlados associados – Parte 1: Classificação da
limpeza do ar
ABNT NBR ISO 14644-2:2006, Salas limpas e ambientes controlados associados – Parte 2: Especificações para
ensaios e monitoramento para comprovar a contínua conformidade com a NBR ISO 14644-1
ABNT NBR ISO 14644-4:2004, Salas limpas e ambientes controlados associados – Parte 4: Projeto, construção
e partida
ISO 7726:1998, Ergonomics of the thermal environment - Instruments for measuring physical quantities.
3 Termos e definições
Para os efeitos desta parte da ABNT NBR ISO 14644, aplicam-se os seguintes termos e definições.
3.1 Geral
3.1.1
sala limpa
sala na qual a concentração de partículas em suspensão no ar é controlada; é construída e utilizada de maneira
a minimizar a introdução, geração e retenção de partículas dentro da sala, na qual outros parâmetros relevantes,
como, por exemplo, temperatura, umidade e pressão, são controlados conforme necessário
[ABNT NBR ISO 14644-1:2005, 2.1.1]
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3.1.2
zona limpa
espaço exclusivo no qual a concentração de partículas em suspensão no ar é controlada; é construído e utilizado
de maneira a minimizar a introdução, geração e retenção de partículas dentro da zona, no qual outros parâmetros
relevantes, como, por exemplo, temperatura, umidade e pressão, são controlados conforme necessário
NOTA A zona limpa pode estar aberta ou fechada e pode estar, ou não, localizada dentro de uma sala limpa.
[ABNT NBR ISO 14644-1:2005, 2.1.2]
3.1.3
instalação
sala limpa ou uma ou mais zonas limpas, incluindo todas as estruturas associadas, sistemas de tratamento de ar,
serviços e utilidades
[ABNT NBR ISO 14644-1:2005, 2.1.3]
3.1.4
dispositivo de separação
equipamento que utiliza meios construtivos e dinâmicos para criar níveis seguros de separação entre o interior e o
exterior de um volume definido
NOTA Alguns exemplos de dispositivos de separação para indústrias específicas são: compartimento de ar limpo, barreira
de contenção, gloveboxes, isoladores e miniambientes.
3.2 Medição de partículas em suspensão no ar
3.2.1
gerador de aerossol
equipamento capaz de gerar material particulado com faixa de tamanho apropriado (por exemplo, de 0,05 μm
a 2 Pm) em uma concentração constante, o qual possa ser produzido térmica, hidráulica, pneumática, acústica
ou eletrostaticamente
3.2.2
partícula em suspensão no ar
porção de matéria sólida ou líquida suspensa no ar, viável ou não viável, com tamanho (para os efeitos desta parte
da ABNT NBR ISO 14644) entre 1 nm e 100 Pm
NOTA Para efeito de classificação, ver ABNT NBR ISO 14644-1:2005, 2.2.1.
3.2.3
diâmetro da partícula mediana por contagem
DMC
diâmetro da partícula mediana, baseada no número de partículas
NOTA Para a mediana da contagem, metade da quantidade de partículas é formada por partículas de tamanho menor que
o diâmetro da partícula mediana por contagem e metade por partículas maiores que o diâmetro da partícula mediana
por contagem.
3.2.4
macropartícula
partícula com um diâmetro equivalente maior que 5 Pm
[ABNT NBR ISO 14644-1:2005, 2.2.6]
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3.2.5
indicador M
concentração medida ou especificada de macropartículas, por metro cúbico de ar, expressa em termos
do diâmetro equivalente que é característico do método de medição utilizado
NOTA O indicador M pode ser visto como um limite superior para as médias nos pontos de medição (ou como limite
superior de confiança, dependendo do número de pontos de medição utilizados para caracterizar a sala limpa ou zona limpa).
Indicadores M não podem ser usados para definir classes de limpeza do ar para partículas em suspensão, mas podem ser
citados independentemente ou em conjunto com classes de limpeza para partículas em suspensão no ar.
[ABNT NBR ISO 14644-1:2005, 2.3.2]
3.2.6
diâmetro da partícula mediana por massa
DMM
diâmetro da partícula mediana, baseada na massa das partículas
NOTA Para a mediana da massa, metade da massa de todas as partículas é formada por partículas de tamanho menor
que o diâmetro da partícula mediana por massa e metade por partículas maiores que o diâmetro da partícula mediana
por massa.
3.2.7
concentração de partículas
quantidade de partículas individuais por unidade de volume de ar
[ABNT NBR ISO 14644-1:2005, 2.2.3]
3.2.8
tamanho de partícula
diâmetro de uma esfera de referência que produza uma resposta equivalente ao da partícula medida por
um instrumento que classifica tamanhos de partículas
NOTA Para contagem de partículas discretas, com instrumentos de dispersão de luz, é utilizado o diâmetro óptico
equivalente.
[ABNT NBR ISO 14644-1:2005, 2.2.2]
3.2.9
distribuição por tamanho de partícula
distribuição cumulativa da concentração de partículas em função do tamanho das partículas
[ABNT NBR ISO 14644-1:2005, 2.2.4]
3.2.10
aerossol de ensaio
suspensão gasosa de partículas sólidas e/ou líquidas, com distribuição e concentração conhecidas e de tamanhos
controlados
3.2.11
indicador U
concentração medida ou especificada, em partículas por metro cúbico de ar, incluindo as partículas ultrafinas
NOTA O indicador U pode ser visto como um limite superior para as médias nos pontos de medição (ou como um limite
superior de confiança, dependendo do número de pontos de medição utilizados para caracterizar a sala limpa ou zona limpa).
Indicadores U não podem ser usados para definir classes de limpeza do ar para partículas em suspensão, mas podem ser
citados, independentemente ou em conjunto com classes de limpeza para partículas em suspensão no ar.
[ABNT NBR ISO 14644-1:2005, 2.3.1]

3.2.12
partícula ultrafina
partícula com um diâmetro equivalente menor que 0,1 Pm
[ABNT NBR ISO 14644-1:2005, 2.2.5]
3.3 Filtros de ar e sistemas
3.3.1
desafio com aerossol
desafio de um filtro ou de um sistema de filtros instalados, por meio de um aerossol de ensaio
3.3.2
vazamento admissível designado
penetração máxima permitida através de um vazamento, detectável durante a varredura de uma instalação,
utilizando contador de partículas discretas ou fotômetro para aerossol; esta penetração é acordada entre usuário
e fornecedores
3.3.3
sistema de diluição
sistema no qual o aerossol é misturado com um ar de diluição isento de partículas, em uma razão volumétrica
conhecida, de modo a reduzir a concentração
3.3.4
sistema de filtragem
sistema composto por filtro, moldura e outro sistema de apoio ou de suporte
3.3.5*
filtro final
filtros na última posição antes do ar entrar na sala limpa
3.3.6
sistema de filtro instalado
sistema de filtragem montado no forro, na parede, em equipamentos ou dutos
3.3.7
ensaio para detecção de pontos de vazamento no sistema de filtro instalado
ensaio executado para confirmar que os filtros estejam perfeitamente instalados, verificando que não haja
vazamento do tipo bypass na instalação e que os filtros e estrutura de suporte estejam livres de defeitos
e vazamentos
3.3.8
vazamento
<do sistema de filtragem> penetração de contaminantes que exceda um valor esperado de concentração a jusante
devido à falha na integridade ou a defeitos
3.3.9
varredura
método para descobrir vazamentos nas unidades filtrantes e partes de unidades, no qual a abertura de entrada da
sonda de um fotômetro de aerossol ou de um contador de partículas discretas é movida em faixas sobrepostas
através da área de ensaio definida
* NOTA DA TRADUÇÃO: No Brasil, o filtro final instalado dentro da sala limpa é também chamado de filtro terminal.

3.3.10
penetração padrão de vazamento
penetração do vazamento detectado pelo contador de partículas discretas ou fotômetro para aerossol, com fluxo
de ar de amostra padrão, quando a sonda de amostragem fica parada sobre o vazamento
NOTA Penetração é a razão entre a concentração de partículas a jusante do filtro e a concentração a montante do filtro.
3.4 Fluxo de ar e outros estados físicos
3.4.1
taxa de troca de ar
taxa de volume de ar trocado, expresso como o número de trocas de ar por unidade de tempo, a qual é calculada
através da divisão do volume de ar fornecido na unidade de tempo pelo volume do ambiente
3.4.2
vazão média de ar
volume médio de ar dividido pela unidade de tempo, para determinar a taxa de troca de ar na sala ou zona limpa
NOTA Vazão de ar é expressa em metros cúbicos por hora (m³/h).
3.4.3
plano de medição
seção transversal para ensaio ou medição dos parâmetros de desempenho, tal como velocidade do fluxo de ar
3.4.4
fluxo de ar não-unidirecional
distribuição de ar na qual o ar insuflado na zona limpa mistura-se com o ar interno, por indução
[ABNT NBR ISO 14644-4:2004, 3.6]
3.4.5
vazão de ar insuflado
volume de ar insuflado em uma instalação, através dos filtros finais ou dutos de ar, por unidade de tempo
3.4.6
vazão de ar total
volume de ar que passa através de uma seção transversal em uma instalação, por unidade de tempo
3.4.7
fluxo de ar unidirecional
fluxo de ar controlado através de toda a seção transversal de uma zona limpa, com uma velocidade constante e
linhas de fluxo aproximadamente paralelas
NOTA Este tipo de fluxo de ar resulta no transporte direto das partículas da zona limpa para fora.
[ABNT NBR ISO 14644-4:2004, 3.11]
3.4.8
uniformidade do fluxo de ar
condição do fluxo de ar unidirecional, no qual as leituras de velocidade ponto a ponto estão dentro da média
percentual definida para velocidade média de fluxo de ar
3.5 Medições eletrostáticas
3.5.1
tempo de descarga
tempo necessário para reduzir a tensão, positiva ou negativa, para o nível ao qual uma placa de monitoramento
condutora isolada tenha sido previamente carregada

3.5.2
tensão de compensação *
tensão que será acumulada sobre uma placa condutiva isolada, sem carga inicial, quando essa placa for exposta
a um ambiente de ar ionizado
3.5.3
propriedade estático-dissipativa
capacidade de redução da carga eletrostática em superfícies de trabalho ou de produtos, resultante da condução
ou de outro mecanismo, para um valor específico ou para um nível de carga nominal zero
3.5.4
nível de tensão superficial
nível de tensão, positiva ou negativa, de carga eletrostática na superfície de trabalho ou na superfície do produto,
indicado por um instrumento adequado
3.6 Instrumentos de medição e condições de medição
3.6.1
fotômetro de aerossol
indicador de concentração de massa de partículas em suspensão no ar por espalhamento de luz, o qual usa
um compartimento óptico de espalhamento frontal de luz para efetuar a medição
3.6.2
amostragem não-isocinética
condição de amostragem na qual a velocidade média do ar entrando na sonda é significativamente diferente
da velocidade média do fluxo de ar unidirecional naquele ponto
3.6.3
impactador de cascata
dispositivo de amostra que coleta partículas de um aerossol, utilizando o princípio de impactação sobre diversos
coletores de superfície
NOTA Cada superfície coletora subseqüente é exposta a uma corrente de aerossol com velocidade maior que a anterior,
permitindo assim a coleta de partículas menores que as coletadas na superfície anterior.
3.6.4
contador de núcleo de condensação
CNC
instrumento com a capacidade de aumentar partículas ultrafinas através da condensação, para uma subseqüente
contagem através de técnicas de contagem de partículas por meio óptico
3.6.5
eficiência de contagem
razão entre a concentração medida de partículas em uma dada faixa de tamanhos e a concentração real de tais
partículas
3.6.6
analisador de mobilidade diferencial
AMD
instrumento para medição da distribuição de tamanho de partículas, baseado na mobilidade elétrica destas
partículas
* NOTA DA TRADUÇÃO: No Brasil, a tensão de compensação é também conhecida por tensão de offset.

3.6.7
elemento múltiplo de difusão
componente individual de um dispositivo separador de tamanho de partícula de múltiplos estágios, operando
com o princípio de difusão para remover partículas menores de um fluxo de aerossol
3.6.8
contador de partículas discretas
CPD
instrumento que tenha a capacidade de mostrar e armazenar a contagem e o tamanho de partículas discretas
(com uma discriminação de tamanho) para um volume específico de ar
3.6.9
contagem falsa
contagem de ruído de fundo
contagem zero
contagem apresentada por um contador de partículas discretas (CPD) devido a sinais eletrônicos indesejáveis,
internos ou externos, quando não existem partículas
3.6.10
coletor tipo coifa com medidor de vazão
dispositivo com instrumento de medição capaz de medir diretamente o volume de ar de cada filtro final ou difusor
de uma instalação, cobrindo completamente a face do filtro ou do difusor
3.6.11
amostragem isoaxial
condição de amostragem na qual a direção do fluxo de ar na entrada da sonda de amostragem é a mesma direção
que a do fluxo unidirecional da amostra
3.6.12
amostragem isocinética
condição de amostragem na qual a velocidade média do ar que entra na sonda de amostragem é a mesma que
a velocidade média do fluxo unidirecional naquele ponto de medição
3.6.13
dispositivo separador de tamanho de partícula
dispositivo capaz de remover partículas menores que aquelas de interesse e que é montado na entrada
de um CPD ou de um CNC
3.6.14
limite inferior de tamanho da partícula
menor tamanho de partícula escolhido para se medir a concentração de partículas de tamanho igual e maiores
que este tamanho escolhido
3.6.15
medida do tempo de vôo da partícula
medição do diâmetro aerodinâmico da partícula, determinado pelo tempo requerido para percorrer a distância
entre dois planos fixos
NOTA Esta medição utiliza a mudança de velocidade da partícula que é causada quando a partícula é introduzida
em um campo de fluxo com velocidade diferente.
3.6.16
impactador virtual
instrumento para separar as partículas em função do tamanho, usando a força inercial para provocar a colisão em
uma superfície hipotética (virtual)
NOTA Grandes partículas atravessam a superfície em direção a um volume estagnado e as partículas pequenas desviam,
seguindo a grande parte do fluxo de ar original.
3.6.17
placa-testemunha
material sensível à contaminação, de área superficial definida, usado em substituição à avaliação direta
uma superfície específica quando esta é inacessível ou muito sensível para ser manuseada

3.7 Estados de ocupação
3.7.1
como construído
condição na qual a instalação está completa, com todos os serviços interligados e funcionando, mas sem
a presença de equipamentos de produção, material ou pessoal
[ABNT NBR ISO 14664-1: 2005, 2.4.1]
3.7.2
em repouso
condição na qual a instalação está completa, com equipamentos de produção instalados e operando de forma
acordada entre o usuário e o fornecedor, mas sem presença de pessoal
[ABNT NBR ISO 14664-1: 2005, 2.4.2]
3.7.3
em operação
condição na qual a instalação está funcionando nas condições especificadas, com o número de pessoas
presentes conforme o especificado e trabalhando de forma acordada.
[ABNT NBR ISO 14664-1: 2005, 2.4.3]
4 Procedimentos de ensaio
4.1 Ensaios para sala limpa
4.1.1 Ensaio requerido
Um ensaio de contagem de partículas em suspensão no ar (ver a Tabela 1) deve ser realizado para classificar
uma instalação de acordo com ABNT NBR ISO 14644-1, em intervalos especificados na ABNT NBR ISO 14644-2.
Tabela 1 — Ensaio requerido para a instalação
Referência em ABNT NBR ISO 14644-3: 2009

Ensaios requeridos Referenciado em
Propósito Procedimento Instrumento
Contagem de partículas em
suspensão no ar para a ABNT NBR ISO 14644-1 e
classificação e ensaio de medição 4.2.1 B.1 C.1
de salas limpas e de dispositivos de ABNT NBR ISO 14644-2
ar limpo.
4.1.2 Ensaios opcionais
A Tabela 2 relaciona outros ensaios apropriados para uma instalação. Estes ensaios podem ser aplicados em
cada um dos três estados de ocupação designados. Para um determinado projeto de certificação,alguns destes
ensaios podem ser requeridos ou todos eles. Convém que os ensaios e os métodos de ensaio sejam selecionados
conforme acordado entre o cliente e fornecedores. Os ensaios selecionados podem também ser repetidos
periodicamente como parte da rotina do programa de monitoramento da instalação (ver ABNT NBR ISO 14644-2).
Diretrizes para a seleção dos ensaios e uma lista de verificação dos ensaios estão indicadas no Anexo A.
Os métodos de ensaio estão descritos no Anexo B.
Os métodos de ensaios no Anexo B estão descritos em uma forma genérica. Convém que métodos específicos
sejam desenvolvidos para atender às necessidades de uma aplicação específica.

Tabela 2 — Ensaios opcionais para a instalação
Referência em ABNT NBR ISO 14644-3:2009

Ensaios opcionais Referenciado em
Propósito Procedimento Instrumentos
Contagem de partículas ultrafinas em
4.2.1 B.2 C.2 ABNT NBR ISO 14644-1
suspensão no ar
Contagem de macropartículas em
4.2.1 B.3 C.3 ABNT NBR ISO 14644-1
suspensão no ar
ABNT NBR ISO 14644-1
Ensaio de fluxo de ar ª 4.2.2 B.4 C.4 e
Ensaio de medição da diferença de e
4.2.3 B.5 C.5
pressão do ar ª
Ensaio para detecção de pontos de
vazamento em sistema de filtragem 4.2.4 B.6 C.6 ABNT NBR ISO 14644-2
instalado
Ensaio de sentido e visualização do
4.2.5 B.7 C.7 ABNT NBR ISO 14644-2
fluxo de ar
Ensaio de temperatura 4.2.6 B.8 C.8 ISO 7726
Ensaio de umidade 4.2.6 B.9 C.9 ISO 7726
Ensaio eletrostático e do gerador de
4.2.7 B.10 C.10
íons
Ensaio de partículas sedimentadas 4.2.8 B.11 C.11
Ensaio de recuperação 4.2.9 B.12 C.12 ABNT NBR ISO 14644-2
Ensaio da contenção 4.2.10 B.13 C.13 e

a
Este é um ensaio requerido baseado na ABNT NBR ISO 14644-2. Os ensaios opcionais não estão apresentados em ordem
de importância. A ordem para realização dos ensaios pode ser baseada nos requisitos de um documento específico
ou previamente acordada entre usuário e fornecedores.
4.2 Propósito
4.2.1 Contagem de partículas em suspensão no ar
Este ensaio é executado para determinar a classe de limpeza do ar e pode consistir em três partes, como segue:
a) ensaio de classificação (ver B.1);
b) ensaio de partículas ultrafinas (opcional) (ver B.2);
c) ensaio de macropartículas (opcional) (ver B.3).
Os ensaios b) e c) podem ser usados com finalidades informativas ou como a base para um requisito especificado,
mas não podem ser usados para finalidades de classificação.

4.2.2 Ensaio de fluxo de ar
Este ensaio é executado para determinar a vazão de ar de insuflamento em uma sala limpa com fluxo de ar
não-unidirecional e a distribuição da velocidade do ar em uma sala limpa com fluxo de ar unidirecional.
Geralmente é executado ou o ensaio da velocidade do fluxo de ar ou o ensaio da vazão de ar, e os resultados são
requeridos em um único formato: velocidade média, vazão de ar média ou vazão de ar total. A vazão de ar total
pode ser usada para determinar a taxa de troca do ar (número de movimentações do ar por hora) para uma
instalação com fluxo de ar não-unidirecional. A velocidade do ar é determinada em salas limpas com fluxo de ar
unidirecional. Procedimentos para o ensaio de fluxo de ar estão descritos em B.4.
4.2.3 Ensaio da diferença de pressão de ar
Este ensaio tem por objetivo verificar a capacidade da instalação como um todo de manter as diferenças de
pressão especificadas entre a instalação e seus arredores. É recomendado que o ensaio da diferença de pressão
de ar seja executado após a instalação ter atendido os critérios de aceitação para a velocidade do fluxo de ar
ou o volume, a uniformidade do fluxo de ar e outros ensaios aplicáveis. Os detalhes do ensaio da diferença de
pressão de ar estão descritos em B.5.
4.2.4 Ensaio para detecção de pontos de vazamento em sistema de filtragem instalado
Este ensaio é executado para confirmar se o sistema de filtragem final com filtros de alta eficiência está instalado
corretamente através da verificação da ausência de vazamento relevante na instalação, e se os filtros estão sem
defeitos (pequenos furos e outros danos no meio filtrante e na selagem da moldura) e vazamentos (vazamentos
relevantes na moldura, vedação e estrutura de fixação do filtro). Este ensaio não verifica a eficiência do sistema.
O ensaio é executado através da introdução de um aerossol de desafio a montante dos filtros e rastreado
imediatamente a jusante dos filtros e quadro de sustentação ou através de amostragem no duto a jusante.
Duas técnicas diferentes de detecção de vazamento estão descritas em B.6.
4.2.5 Ensaio e visualização do sentido do fluxo de ar
O propósito deste ensaio é confirmar se o sentido do fluxo de ar ou sua configuração ou ambos estejão
em conformidade com o projeto e as especificações de desempenho. Se requerido, as características espaciais
do fluxo de ar na instalação podem ser confirmadas. Os procedimentos para este ensaio estão descritos em B.7.
4.2.6 Ensaios da uniformidade de temperatura e da umidade
O propósito destes ensaios é demonstrar a capacidade do sistema de tratamento de ar da instalação em manter

os níveis de temperatura e de umidade do ar (expressa como umidade relativa ou ponto de orvalho) dentro dos
limites de controle, e durante o período, ambos especificados pelo usuário para a área em ensaio.
Os procedimentos para estes ensaios estão descritos em B.8 e B.9.
4.2.7 Ensaios eletrostáticos e do íon do gerador
O propósito destes ensaios é avaliar níveis de tensão eletrostática em objetos, propriedades estático-dissipativas
de materiais e o desempenho dos geradores de íons (ionizadores) usados para o controle eletrostático nas
instalações. Ensaio eletrostático é realizado para avaliar o nível eletrostático da tensão em superfícies de trabalho
e do produto, e as propriedades estático-dissipativas de pisos, superfícies de trabalho etc. O ensaio do gerador de
íons é realizado para avaliar o desempenho do ionizador em eliminar cargas estáticas em superfícies.
Os procedimentos para estes ensaios estão descritos em B.10.
4.2.8 Ensaio de partículas sedimentadas
O propósito deste ensaio é medir a quantidade (em número ou em massa) ou os efeitos (espalhamento de luz
ou área coberta) das partículas depositadas sobre superfícies em qualquer direção. Alguns procedimentos para
este ensaio estão descritos em B.11.

4.2.9 Ensaio de recuperação
O ensaio de recuperação é realizado para determinar se a instalação é capaz de retornar a um nível especificado
de limpeza, dentro de um tempo finito, após ter sido exposta brevemente a uma geração de partículas em
suspensão no ar, como desafio. Este ensaio não é recomendado para instalações de fluxo de ar unidirecional.
O procedimento para este ensaio está descrito em B.12.
Quando um aerossol artificial é usado, convém que seja evitada a contaminação da instalação com os resíduos.
4.2.10 Ensaio da contenção
Este ensaio é realizado para determinar se há penetração, na sala ou zona limpa, de ar não filtrado vindo de fora
da área de contenção, através de juntas, passagem de portas e forros pressurizados. O procedimento para este
ensaio está descrito em B.13.
5 Relatórios de ensaio
O resultado de cada ensaio deve ser registrado em um relatório de ensaio e este deve conter as seguintes
informações:
a) nome e endereço da empresa responsável pelo ensaio e a data em que o ensaio foi executado;
b) número e ano de publicação desta parte da ABNT NBR ISO 14644, isto é, ABNT NBR ISO 14644-3: data da
publicação atual;
c) identificação clara da localização física da área limpa ou zona limpa sendo ensaiada, incluindo referência a
áreas adjacentes, se necessário, e as designações específicas de coordenadas de todos os pontos de
medição;
d) os critérios especificados de designação para a sala limpa ou zona limpa, incluindo o número da classificação
ISO (classe N), os estados de ocupação relevantes e os tamanhos de partículas considerados;
e) detalhes do método de ensaio utilizado, incluindo quaisquer condições especiais relativas ao ensaio ou
variações relativas ao método de ensaio; identificação do instrumento de ensaio e seu certificado de
calibração vigente;
f) o resultado do ensaio, incluindo os dados que foram registrados conforme exigência específica na seção
apropriada do Anexo B, e uma declaração relativa à conformidade com os critérios especificados;
g) quaisquer outros requisitos especiais que tenham sido definidos como relevantes em relação à seção do
Anexo B, para um ensaio específico.

Anexo A
(informativo)
Escolha de ensaios recomendados de uma instalação e a seqüência

na qual realizá-los
A.1 Geral
Os procedimentos de ensaio descritos nesta parte da NBR ISO 14644 podem ser usados para demonstrar
conformidade com os critérios de desempenho de uma instalação especificada pelo usuário e para realização de
ensaios de desempenho periódicos.
A escolha de ensaios pode ser baseada parcialmente em fatores como projeto da instalação, estados de
ocupação e nível requerido de certificação.
Recomenda-se que a seqüência dos ensaios seja previamente determinada entre usuário e fornecedores,
de forma a minimizar esforços desnecessários caso se tenha uma não-conformidade.
A.2 Lista de verificação de ensaios

A Tabela A.1 fornece uma lista de verificação de ensaios e aparatos. É recomendado que detalhes da seqüência
de ensaios sejam acordados entre usuário e fornecedores.
Tabela A.1 — Lista de verificação dos ensaios recomendados e sua seqüência para
uma instalação limpa
Seleção
Seleção do
Referência do do
procedimento Procedimento Referência
procedimento aparato Aparato de ensaio Comentários
e seqüência de ensaio do aparato
a de ensaio de
de ensaio
ensaiob
Contagem de B.1
partículas em
Contador de
suspensão no
partículas C.1
ar para
discretas (CPD)
classificação e
medições
Contagem de B.2 Contador de
partículas em núcleo de
C.2.1
suspensão no condensação
ar para (CNC)
partículas
ultrafinas Contador de
partículas C.2.2
discretas (CPD)
Dispositivo
separador de
C.2.3
tamanho de
partícula

Tabela A.1 (continuação)
Seleção
Seleção do
Referência do do
procedimento Procedimento Referência
e seqüência de ensaio do aparato
de ensaio de
de ensaio a
ensaiob
Contagem de
partículas em
suspensão no ar B.3 C.3
para
macropartículas
Contagem de B.3.3.2 Medição sobre
partículas em papel filtrante por
C.3.1
suspensão no ar meio de
para microscópio
macropartículas
com coleta de Impactador de
C.3.2
partículas cascata
Contagem de B.3.3.3 Contador de

partículas em macropartículas C.3.3
suspensão no ar discretas
para
Dispositivo de
macropartículas
dimensionamento
sem coleta de
de partícula C.3.4
partículas
através do tempo
de vôo
Fluxo de ar B.4 C.4
Medição de B.4.2.2 e Termoanemômetro C.4.1.1
velocidade do B.4.2.3 Anemômetro de
fluxo de ar em
ultra-som,
uma instalação C.4.1.2
tridimensional ou
de fluxo de ar
equivalente.
unidirecional
Anemômetro de pás C.4.1.3

Tubo de Pitot e
C.4.1.4
manômetro (digital)
Medição de B.4.3.3 Termoanemômetro C.4.1.1
velocidade do ar
Anemômetro de
de insuflamento
ultra-som,
em uma C.4.1.2
tridimensional ou
instalação de
equivalente.
fluxo de ar não-
unidirecional Anemômetro de
C.4.1.3
pás
Tubo de Pitot e
C.4.1.4
manômetro (digital)
Medição de B.4.3.2 Coifa com medidor
C.4.2.1
vazão total de ar de fluxo
a jusante dos
filtros instalados Placa de orifício C.4.2.2
Tubo Venturi C.4.2.3

Seleção
Seleção do
Referência do do
procedimento e Procedimento Aparato de Referência
procedimento aparato Comentários
seqüência de ensaio de ensaio ensaio do aparato
a de ensaio de
ensaiob
Vazão de ar B.4.2.5 Coifa com
C.4.2.1
em dutos medidor de fluxo
Placa de orifício C.4.2.2
Tubo Venturi C.4.2.3
Tubo de Pitot e
manômetro C.4.1.4
(digital)
Medição da B.5 Micromanômetro
C.5.1
diferença de eletrônico
pressão do ar
Manômetro de
C.5.2
coluna inclinada
Manômetro
C.5.3
mecânico
Vazamento B.6
em filtros C.6
instalados
Varredura no B.6.2 Fotômetro de
C.6.1.1
sistema de e aerossol linear
filtro instalado
B.6.3 Fotômetro de
para detecção
aerossol C.6.1.2
de vazamento
logarítmico
Contador de
partículas C.6.2
discretas (CPD)
Gerador de
C.6.3
aerossol
Substâncias
para aerossol de C.6.4
ensaio
Sistema de
C.6.5
diluição
Contador de
núcleo de
C.2.1
condensação
(CNC)
Ensaio para B.6.4 Fotômetro de
C.6.1.1
filtros aerossol linear
instalados em
Fotômetro de
dutos ou em
aerossol C.6.1.2
unidades de
logarítmico
tratamento de
ar Contador de
partículas C.6.2
discretas

Seleção
Seleção do
Referência do do
procedimento e Procedimento Referência
seqüência de ensaio de ensaio do aparato
a de ensaio de
ensaiob
Gerador de
C.6.3
aerossol
Substâncias para
C.6.4
aerossol de ensaio
Sistema de diluição C.6.5
Contador de núcleo
de condensação C.2.1
(CNC)
Sentido e B.7 Indicadores C.7.1
visualização
do fluxo de ar Termoanemômetro C.7.2
Anemômetro de
ultra-som,
C.7.3
tridimensional
dimensional
Gerador de
C.7.4
aerossol
Gerador de névoa C.7.4
Temperatura B.8 C.8
Ensaio geral B.8.2.1 Termômetro de

C.8.1
de vidro
temperatura
Termômetro C.8.2
RTD (dispositivo
ôhmico para
C.8.3
medição de
temperatura)
Termistor C.8.4
Ensaio B.8.2.2 Termômetro de C.8.1

completo de vidro
temperatura
Termômetro C.8.2
RTD (dispositivo C.8.3

ôhmico para
medição de
temperatura)
Termistor C.8.4

Seleção
Seleção do
Referência do do
a de ensaio de
ensaiob
Umidade B.9 Monitor capacitivo C.9.1
de umidade
Monitor de C.9.2
umidade de fio de
cabelo
Sensor de ponto de C.9.3
orvalho
Psicrômetro C.9.4
Eletrostático B.10 C.10
e do gerador
de íons
Ensaio B.10.2.1 Voltímetro C.10.1
eletrostático Eletrostático
Medidor de ohm C.10.2
para resistências
altas
Placa de C.10.3
monitoramento
carregada
Ensaio do B.10.2.2 Voltímetro C.10.1
gerador de eletrostático
íons Medidor de ohm C.10.2
para resistências
altas
Placa de C.10.3
monitoramento
carregada
Partículas B.11 Placa testemunha

sedimentadas Microscópio
bi-ocular
Fotômetro de C.11.1
partículas
sedimentadas
Contador de C.11.2
partículas em
superfície
Gerador de C.11.3
Partículas de LPE
(látex de
poliestireno)

Seleção
Seleção do
Referência do do
a de ensaio de
ensaiob
Recuperação B.12 Contador de C.12.1

partículas
discretas (CPD)
Gerador de C.12.2
aerossol
Sistema de C.12.3
diluição
Contenção B.13 C.13
Método CPD B.13.2.1 Contador de C.13.1

partículas
discretas (CPD)
Gerador de C.13.2
aerossol
Sistema de C.13.3
diluição
Método B.13.2.2 Fotômetro C.13.4

fotômetro
Gerador de C.13.2
aerossol
a
Nas células da coluna 1, os responsáveis pelo planejamento dos ensaios podem numerar os métodos de ensaio selecionados de
acordo com a seqüência dos ensaios.
b
Na quarta coluna, os responsáveis pelo planejamento dos ensaios podem selecionar instrumentos de acordo com os métodos de
ensaio selecionados.

Anexo B
(informativo)
Métodos de ensaio
B.1 Contagem de partículas em suspensão no ar para classificação e medições
B.1.1 Princípio
Este método de ensaio especifica a medição da concentração de partículas em suspensão no ar com distribuição
de tamanho no intervalo de 0,1 μm a 5 μm. As medições podem ser feitas em qualquer um dos três estados de
ocupação definidos: como construído, em repouso e em operação. As medições são feitas para certificar ou
verificar a classificação de limpeza do ar da instalação de acordo com a ABNT NBR ISO 14644-1 ou para
medições periódicas de acordo com a ABNT NBR ISO 14644-2. O procedimento dado em B.1 foi adaptado
da IEST-G-CC1001:1999 [11].
B.1.2 Procedimento de ensaio
B.1.2.1 Geral
É recomendado que o número de pontos de medição, a sua localização, a definição da classificação da limpeza
do ar e a quantidade de dados requeridos estejam de acordo com a ABNT NBR ISO 14644-1. Métodos de
referência para amostragem do ar em cada ponto de medição são fornecidos em B.1. Outros métodos apropriados,
que sejam equivalentes tanto na exatidão como nos dados obtidos, podem ser utilizados, se acordados entre
usuário e fornecedores. Se nenhum outro método tiver sido acordado na ocasião, ou em caso de divergências,
convém que seja utilizado o método de referência contido neste anexo.
NOTA Onde forem requeridas informações detalhadas sobre ensaio em sala limpa utilizando CPD (contador de partículas
discretas), ou quando forem requeridas maiores informações sobre normas de CPD, podem ser utilizados métodos
[2][3][4][11][23][24]
normalizados .
B.1.2.2 Procedimento para contagem de partículas em suspensão no ar
Posicionar a entrada de ar do CPD no ponto de medição especificado e ajustar a vazão de ar do CPD

selecionando os limites de tamanho da(s) partícula(s) de acordo com a ABNT NBR ISO 14644-1. É recomendado
que a sonda de amostragem seja selecionada de forma a permitir que a amostragem se aproxime da condição
isocinética em áreas com fluxo unidirecional [1]. Convém que não haja diferença maior do que 20 % entre a
velocidade na sonda de amostragem e a velocidade do ar amostrado. Se isto não for possível, posicionar a
abertura da sonda de amostragem na direção predominante do fluxo de ar; em locais onde o fluxo de ar
amostrado não é controlado ou não é previsível (por exemplo, fluxo de ar não-unidirecional), a abertura da sonda
do CPD deve ser direcionada verticalmente para cima. É recomendado que o tubo de ligação entre a sonda e o
sensor do CPD seja o mais curto possível. Para amostragem de partículas maiores ou iguais a 1 μm, convém que
o comprimento do tubo de ligação não exceda o diâmetro e o comprimento recomendados pelo fabricante.
É recomendado que erros de amostragem devidos à perda de partículas pequenas por difusão e perda de
partículas maiores por sedimentação e impacto não sejam maiores do que 5 %.
B.1.3 Instrumento para contagem de partículas em suspensão no ar
É recomendado que um CPD, como descrito em C.1, seja capaz de contar e discriminar tamanho as partículas no
ar com discriminação de tamanho de acordo com a classe de limpeza do ar da instalação sendo ensaiada.
Convém que o CPD seja capaz de apresentar ou registrar a contagem de partícula nessas faixas de tamanho
e que tenha um certificado de calibração válido como descrito em C.1.

B.1.4 Relatórios de ensaio
Conforme acordado entre usuário e fornecedores, para classificação ou ensaio da instalação é recomendado que,
além do relatório de ensaios conforme descrito na Seção 5, sejam também registrados os dados e as informações
a seguir:
a) ruído de fundo do CPD;
b) tipo de medição: classificação ou monitoramento;
c) classificação do grau de limpeza do ar da instalação;
d) faixa(s) de tamanho das partículas e contagens;
e) vazão de amostragem na entrada do CPD e vazão de ar através da câmara do sensor;
f) localização dos pontos de medição;
g) protocolo de amostragem para classificação ou plano de amostragem para monitoramento;
h) estado de ocupação;
i) outros dados relevantes para a medição.
B.2 Contagem de partículas ultrafinas em suspensão no ar
B.2.1 Princípio
B.2.1.1 Geral
Este método de ensaio especifica a medição da concentração de partículas em suspensão no ar com distribuição
de tamanhos menores que 0,1 μm; esta concentração é referida como Indicador U. O procedimento dado em B.2
foi adaptado da IEST-G-CC1002:1999 [12]. As medições podem ser feitas em sala limpa ou em zona limpa, em
qualquer um dos três estados de ocupação designados. As medições são feitas para definir a concentração de
partículas ultrafinas na instalação de acordo com a ABNT NBR ISO 14644-1:2005, Anexo E, ou para efetuar
medições periódicas de acordo com a ABNT NBR ISO 14644-2:2006.
B.2.1.2 Eficiência da contagem
É recomendado que a eficiência da contagem do sistema utilizado para medição do Indicador U fique dentro da
região sombreada da Figura B.1[12]. Esta região de desempenho aceitável baseia-se em uma eficiência de
contagem de 50 % no tamanho de partícula ultrafina definida, mostrado como tamanho “U”. Esta região inclui uma
tolerância de ± 10 % do tamanho da partícula ultrafina, mostrado como tamanho “1,1U” e “0,9U” na Figura B.1.
Para partículas acima e abaixo dos ± 10 % de tolerância, as eficiências mínima e máxima aceitáveis de contagem
são baseadas na penetração calculada de um elemento de difusão tendo pelo menos 40 % de eficiência de
penetração para partículas 10 % maiores do que o tamanho definido de partícula ultrafina e pelo menos 60 % de
eficiência de penetração para partículas 10 % menores do que o tamanho definido de partícula ultrafina.

Legenda
X diâmetro da partícula, μm
Y eficiência de contagem, %
0,5U 0,9U U 1,1U 5U

Exemplo U=0,02 0,010 0,018 0,02 0,022 0,10
Exemplo U=0,03 0,015 0,027 0,03 0,033 0,15
Exemplo U=0,05 0,025 0,045 0,05 0,055 0,25
Figura B.1 — Região de aceitação para a eficiência de contagem do instrumento selecionado
Se o CPD ou o CNC (contador de núcleo de condensação) tiver uma curva de eficiência de contagem que cai
à direita da região sombreada da Figura B.1, não convém que o CPD ou o CNC seja utilizado para medir ou
verificar o Indicador U. Se a curva cair à esquerda da região sombreada, a eficiência de contagem pode ser
diminuída, modificando-a com um dispositivo separador de tamanho de partícula como descrito em B.2.1.3.
Neste caso, a eficiência do CPD ou do CNC modificados vem a ser o produto da fração de penetração deste
dispositivo pela eficiência de contagem do CPD ou CNC não modificados.
B.2.1.3 Dispositivo separador de tamanho da partícula
Para conseguir a característica desejada de eficiência de contagem requerida para medir ou verificar um indicador
U, um dispositivo separador de tamanho de partícula pode ser acoplado na entrada de amostras do CPD ou CNC
cuja curva de eficiência de contagem se localiza à esquerda da região sombreada da Figura B.1. A curva
de eficiência de contagem do conjunto CPD ou CNC e o dispositivo separador de tamanho de partícula na entrada
de amostragem será modificada para cair dentro da região sombreada da Figura B.1.

O dispositivo separador de tamanho de partículas retira partículas menores do que um tamanho definido,
reduzindo a penetração de uma forma reproduzível e bem definida. Dispositivos de corte de tamanho de partículas
estão disponíveis em uma larga variedade de tamanhos e configurações, sendo aceitáveis desde que forneçam as
características de penetração requeridas. Como dispositivos de corte de partículas adequados, elementos de
bateria de difusão e impactadores virtuais podem ser utilizados. A penetração depende das propriedades físicas
da partícula, da configuração do dispositivo e da vazão volumétrica. É necessário tomar cuidado com todos
os dispositivos de corte de partículas para assegurar que eles sejam utilizados apenas para as vazões para as
quais foram projetados e que sejam instalados de maneira a evitar o acúmulo de cargas eletrostáticas. A
acumulação de cargas pode ser minimizada, assegurando-se de que o dispositivo separador de tamanho de
partículas esteja adequadamente aterrado.
B.2.2 Procedimento para contagem de partículas ultrafinas
Ajustar a sonda de amostragem do CPD ou CNC (com o dispositivo separador de tamanho de partículas, se
necessário). Amostrar o volume de ar necessário em cada ponto de medição e repetir as medições, se necessário,
de acordo com a ABNT NBR ISO 14644-1, Anexo B, ou ABNT NBR ISO 14644-2. A amostragem de partículas
ultrafinas realizada com uma vazão pequena e um tubo de amostragem comprido pode causar uma perda
significativa por difusão. O erro de amostragem devido à perda de partículas ultrafinas por difusão não pode ser
maior que 5 %. Calcular a concentração do Indicador U nas faixas de tamanho definidas das partículas ultrafinas,
como combinado entre usuário e fornecedores, e registrar os dados. Onde for requerida a informação sobre
a estabilidade da concentração de partículas ultrafinas, fazer três ou mais medições nos pontos selecionados
e em intervalos de tempo, como acordado entre usuário e fornecedores.
B.2.3 Instrumentos para contagem de partículas ultrafinas
São utilizados CPD, como descrito em C.3, ou CNC, como descrito em C.2. Se for utilizado um CPD, convém que
a eficiência de contagem seja de 50 % para partículas ultrafinas, como definido na ABNT NBR ISO 14644-1,
Anexo B, e ter capacidade para determinação de tamanho de partícula até 1 μm, no mínimo. É recomendado que
o limite na eficiência de contagem seja definido de acordo com a Figura B.1. Se for utilizado um CPD ou CNC com
capacidade de detectar partículas menores que o tamanho desejado, convém que seja utilizado um dispositivo
separador de tamanho, com desempenho de penetração por tamanho de partícula conhecido, como descrito em
B.2.1.
Conforme acordado entre usuário e fornecedores, é recomendado que para medições do indicador U da
instalação, além do relatório de ensaios conforme descrito na Seção 5 , sejam também registrados os dados
e as informações a seguir:
a) identificação do CPD ou CNC e, se utilizado, do dispositivo separador de tamanho de partículas, e a condição

de calibração;
b) limite do tamanho das partículas ultrafinas definido para o Indicador U;
c) ruído de fundo para o CPD, quando utilizado;
d) dados do desempenho do dispositivo separador de tamanho de partículas, como requerido;
e) tipo de medição: medição do Indicador U ou monitoramento;
f) classe de limpeza do ar da instalação;
g) sistema de amostragem de partículas ultrafinas e vazão volumétrica passando pelo sensor
h) localização dos pontos de amostragem;

i) plano de amostragem para determinação do Indicador U ou plano de amostragem para ensaio, como
especificado;
j) estados de ocupação;
k) outros dados relevantes para a medição.
B.3 Contagem de partículas em suspensão no ar para macropartículas
B.3.1 Princípio
Este método de ensaio descreve a medição de partículas em suspensão no ar para tamanhos maiores que 5 Pm
em diâmetro (macropartículas). O procedimento descrito em B.3 foi adaptado do documento IEST-G-CC1003:1999
[13]
. As medições podem ser feitas numa instalação de sala limpa ou zona limpa, em qualquer um dos três estados
ocupacionais designados. As medições são feitas para definir a concentração de macropartículas em áreas limpas
de acordo com a ABNT NBR ISO 146444-1:2005, Anexo E, ou para fazer medições periódicas de acordo com
ABNT NBR ISO 14644-2:2006. Enfatiza-se a necessidade de coleta e manuseio da amostra de forma apropriada,
de modo a minimizar perdas de macropartículas nestas operações.
B.3.2 Considerações para manuseio da amostra
Cuidados com a coleta e o manuseio da amostra são requeridos em se tratando de macropartículas. Pode ser
encontrada em outros documentos [1] [13] uma discussão completa dos requisitos para sistemas, os quais podem
ser usados para amostragem isocinética ou anisocinética e para o transporte de partículas até o ponto de medição.
B.3.3 Métodos de medição para macropartículas
B.3.3.1 Geral
Há duas categorias gerais de métodos para medição de macropartículas. Os resultados podem não ser
comparáveis quando diferentes métodos de medição forem usados. Por isto, a correlação entre diferentes
métodos pode não ser possível. As informações sobre o tamanho da partícula, geradas por vários métodos, são
sumarizadas abaixo:
a) coleta por filtragem ou efeitos inerciais, seguida por medição microscópica do número e tamanho, ou
medição da massa das partículas coletadas:
1) coleta por filtragem e medição microscópica (B.3.3.2.1) registra macropartículas utilizando o tamanho de
partícula baseado em um diâmetro acordado;
2) coleta por impactador de cascata e medição microscópica [B.3.3.2.2 a)] registra as macropartículas,
utilizando o tamanho de partícula baseado na escolha feita pelo microscopista para o diâmetro da
partícula a ser registrada;
3) coleta por impactador de cascata e medição de peso [B.3.3.2.2 b)] registra as macropartículas utilizando
tamanho da partícula baseado em um diâmetro aerodinâmico;
b) medição no local, da concentração e do tamanho das macropartículas com um contador de partícula

de tempo de vôo ou um CPD:
1) medição com CPD (B.3.3.3.2) registra macropartículas utilizando tamanho de partícula baseado num
diâmetro óptico equivalente;
2) medição do tamanho de partícula através do tempo de vôo (B.3.3.3.3) registra macropartículas

utilizando tamanho de partícula baseado em um diâmetro aerodinâmico.

B.3.3.2 Medição de macropartícula com coleta de partícula
B.3.3.2.1 Coleta por filtragem e medição microscópica
Selecionar um filtro de membrana e um suporte ou um monitor de aerossol pré-montado; é recomendado que seja
usada uma membrana com tamanho de poro de 2 Pm ou menor. Marcar o suporte do filtro para identificar a sua
localização e instalação. Conectar a saída a uma fonte de vácuo, succionando o ar na vazão requerida.
Caso o local da amostragem para determinação da concentração de macropartículas for uma área de fluxo
unidirecional, convém que a vazão seja estabelecida para permitir a amostragem isocinética na entrada do suporte
do filtro ou do monitor de aerossol e que a entrada esteja posicionada no sentido oposto ao do fluxo unidirecional.
É recomendado que a entrada do suporte do filtro ou do monitor de aerossol esteja posicionada verticalmente para
cima. Para instalações ISO Classe 6 e mais limpas (ver ABNT NBR ISO 14644-1), convém que o volume do ar
amostrado não seja menor que 0,28 m3. Para instalações de classes menos limpas que ISO Classe 6, convém
que o volume de ar amostrado não seja menor que 0,028 m3.
Remover a tampa do suporte do filtro de membrana ou do monitor de aerossol e guardá-la em um local limpo.
Amostrar o ar nos pontos de amostragem determinados, conforme acordado entre cliente e fornecedores.
Se uma bomba de vácuo portátil for usada para succionar o ar através do filtro de membrana, é recomendado que
a descarga desta bomba seja filtrada apropriadamente ou direcionada para fora da instalação limpa. Após a
finalização da coleta de amostras, recolocar a tampa no suporte do filtro ou no monitor de aerossol.
É recomendado que o suporte seja transportado de tal maneira que o filtro de membrana seja mantido na posição
horizontal o tempo todo e que não fique sujeito à vibração ou choque entre o momento em que a amostra
é coletada e quando ela é analisada. Contar as partículas na superfície do filtro [4].
B.3.3.2.2 Coleta e medição por impactador de cascata
No caso de impactadores de cascata, o fluxo de ar amostrado passa através de uma série de furos com os
tamanhos de orifícios decrescentes. As partículas maiores são depositadas diretamente abaixo dos orifícios
maiores e as partículas menores são depositadas em cada estágio sucessivo do impactador. Dois tipos de
impactadores de cascata podem ser usados para coleta de macropartículas. Em um deles, as partículas são
depositadas nas superfícies das placas removíveis, as quais são encaminhadas para subseqüente pesagem ou
exame microscópico. Vazões de amostragem de 0,00047 m3/s ou mais são normalmente usadas para este tipo de
impactador de cascata. No outro tipo, as partículas são depositadas nas microbalanças constituídas de sensores
de massa piezoelétricos (quartzo), as quais pesam as partículas coletadas em cada estágio do impactador.
Este tipo de impactador de cascata normalmente usa vazões de ar significativamente menores.
a) Para o primeiro tipo de impactador de cascata, a tara inicial de cada estágio de coleta é registrada ou o
número de partículas inicial por unidade de área de cada estágio é contado antes da realização de qualquer
medição. O impactador é operado por um período de 10 minutos ou mais. No final deste período, ele é selado
e levado para a balança ou microscópio para avaliação. Os estágios de coleta são removidos e é registrado o
peso ou o número de partículas acumulados em cada estágio capaz de coletar macropartículas.
A concentração de macropartículas no estágio de impactação pertinente é então definida como o peso ou o
número total de partículas, dividido pelo fluxo total de ar que passou através do impactador.
b) Para o segundo tipo de impactador de cascata, os dados de massa da partícula são coletados no momento da
amostragem. Como os sensores da microbalança para cada estágio podem ser programados para indicar
a variação em massa, normalmente não é necessário determinar as taras iniciais antes do início da
amostragem. Assim como o outro tipo de impactador de cascata, os estágios podem ser removidos e as
medições podem ser feitas para partículas individuais através de um microscópio óptico ou para composição
3
de partículas através de um microscópio eletrônico. A vazão de ar amostrado é ajustada para 0,00039 m /s e
a duração da amostragem é ajustada para períodos desde 10 min até algumas horas, dependendo da classe
da zona limpa. O impactador é posicionado no local do ponto de amostragem pré-selecionado e ligado.
No final do período de amostragem, o impactador pode ser levado para outros locais e medições adicionais
podem ser feitas. A concentração de macropartículas é então definida como o peso ou o número total no
estágio de impactação pertinente dividido pelo fluxo total de ar que passou através do impactador.

B.3.3.3 Medição de macropartícula sem coleta
B.3.3.3.1 Geral
Macropartículas podem ser medidas sem coletar as partículas do ar. O processo envolve medição óptica das
partículas suspensas no ar. Uma amostra de ar é captada a uma vazão específica através de um CPD, o qual
registra o diâmetro óptico equivalente ou o diâmetro aerodinâmico das partículas.
B.3.3.3.2 Medição com contador de partículas discretas (CPD)
Os procedimentos para medição de macropartícula são os mesmos que aqueles utilizados em B.1 para contagem
de partícula em suspensão no ar, com uma exceção. A exceção é que neste caso, o CPD não requer sensibilidade
para detecção de partículas menores que 1 Pm, pois os dados são requeridos somente para contagem de
macropartícula. Cuidados são necessários para assegurar que o CPD tome amostras de partículas diretamente do
ar, no local de amostragem. Não convém que sejam usados tubos de ligação maiores que 1 m entre a sonda de
amostragem e o CPD. É recomendado que o CPD seja capaz de amostrar a vazão de 0,00047 m3/s e que seja
instalado com uma sonda para amostragem isocinética em zonas de fluxo unidirecional. Nas áreas de fluxo não-
unidirecional, convém que o CPD seja colocado com a abertura da sonda de amostragem posicionada para cima.
É recomendado que o diâmetro da abertura da sonda de amostragem não seja menor que 30 mm.
A faixa de tamanhos de partículas é selecionada no CPD para que sejam detectadas somente as macropartículas.
É recomendado que sejam registrados os dados de um tamanho menor que 5 Pm (ver ABNT NBR ISO 14644-1,
Tabela 1), de modo a assegurar que a concentração detectada para partículas menores que o tamanho de
macropartículas não é suficientemente alta para causar erro de coincidência na medição efetuada pelo CPD.
Não convém que a concentração de partículas nesta faixa de tamanho menor, quando adicionada à concentração
de macropartículas, exceda 50 % da concentração máxima recomendada, especificada para o CPD utilizado.
B.3.3.3.3 Medição do tamanho de partícula através do tempo de vôo
Dimensões de macropartículas podem ser medidas com o dispositivo de tempo de vôo. Uma amostra de ar é
succionada no dispositivo, e acelerada por expansão através de um bocal até um vácuo parcial, onde está
localizada a região de medição. Qualquer partícula naquela amostra de ar é acelerada para atingir a velocidade do
ar na região de medição. A taxa de aceleração das partículas varia inversamente com a massa da partícula.
A relação entre a velocidade do ar e a velocidade da partícula no ponto de medição pode ser usada para
determinar o diâmetro aerodinâmico da partícula. Conhecendo a diferença de pressão entre o ar ambiente e a
pressão na região de medição, a velocidade do ar pode ser calculada diretamente. A velocidade da partícula
é medida através do tempo de vôo entre dois feixes de laser. É recomendado que o dispositivo de tempo de vôo
meça diâmetros aerodinâmicos de partículas até 20 Pm, com resolução de tamanho melhor do que 10 %.
Procedimentos para aquisição de amostra são os mesmos que aqueles requeridos utilizando um CPD para a
medição de macropartícula. Além disso, os mesmos procedimentos do CPD são usados com este dispositivo para
estabelecer as faixas de tamanho de partículas a serem reportadas.
B.3.4 Procedimento para contagem de macropartícula
Ajustar o sensor de entrada da amostra do dispositivo selecionado. Amostrar o volume de ar requerido para
coletar no mínimo 20 macropartículas em cada ponto de amostragem e fazer medições conforme especificado no
ABNT NBR ISO 14644-1 ou ABNT NBR ISO 14644-2. Calcular a concentração do indicador M na(s) faixa(s) de
tamanho de partícula selecionada(s), conforme acordado entre usuário e fornecedores, e registrar os dados.
Onde informação da estabilidade da concentração de macropartícula é requerida, fazer três ou mais medições nos
locais selecionados em intervalos de tempo acordados entre usuário e fornecedores.

Conforme acordado entre usuário e fornecedores, é recomendado que para classificação ou medição da
instalação, além do relatório de ensaios conforme descrito na Seção 5, sejam também registrados os dados e as
informações a seguir:
a) definição do parâmetro da partícula ao qual o dispositivo responde;
b) tipo de medição: classificação ou ensaio de determinação de indicador M ou monitoramento;
c) designação do tipo de cada dispositivo e instrumento de medição utilizado, bem como sua condição de
calibração;
d) classe de limpeza da instalação;
e) faixa(s) de tamanho de macropartícula e a contagem para cada faixa de tamanho registrada;
f) vazão da amostra na entrada do dispositivo e vazão passando pela câmara do sensor;
g) localização dos pontos de medição;
h) plano de amostragem para classificação ou protocolo de amostragem para ensaio;
i) estado(s) de ocupação;
j) estabilidade da concentração de macropartícula, se requerida;
k) outros dados relevantes para medição.
B.4 Ensaio de fluxo de ar
B.4.1 Princípio
O propósito destes ensaios é medir a velocidade e a uniformidade do fluxo de ar, e a vazão de insuflamento de ar
em salas limpas e zonas limpas. A medição da distribuição de velocidade é necessária em salas e zonas limpas
com fluxo unidirecional, e a vazão de insuflamento de ar é necessária em salas limpas com fluxo não-unidirecional.
A medição da vazão de insuflamento de ar é realizada para verificar o volume de ar insuflado por unidade de
tempo na instalação, e este valor pode também ser utilizado para determinar o número de movimentações de ar
por unidade de tempo. A vazão de insuflamento de ar é medida a jusante dos filtros terminais ou nos dutos de
insuflamento; ambos os métodos estão baseados na medição da velocidade do ar atravessando uma área
conhecida, sendo a vazão de ar o produto da velocidade pela área. É recomendado que a escolha do
procedimento seja acordada entre usuário e fornecedores. Estes ensaios são aplicáveis nos três estados de
ocupação.
B.4.2 Procedimento para o ensaio da instalação de fluxo unidirecional
B.4.2.1 Geral
A velocidade do fluxo unidirecional determina o desempenho de uma sala com fluxo unidirecional. A velocidade
pode ser medida próximo à face dos filtros terminais, ou dentro da sala. Isto e realizado definindo um plano de
medição perpendicular ao fluxo de ar e dividindo este plano em uma grade de áreas iguais [15].

B.4.2.2 Velocidade do fluxo de ar de insuflamento
É recomendada que a velocidade do fluxo de ar seja medida a uma distância aproximada de 150 mm a 300 mm
da face do filtro. Convém que o número de pontos de medição seja suficiente para determinar a vazão de ar de
insuflamento em salas e zonas limpas, e que seja a raiz quadrada de 10 vezes a área em metros quadrados,
porém não menor que 4. É recomendado que pelo menos um ponto seja medido para cada filtro ou para cada
unidade de filtro-ventilador. Uma cortina pode ser utilizada para evitar turbulências no fluxo unidirecional.
É recomendado que o tempo de medição em cada ponto seja também suficiente para assegurar a repetibilidade
da leitura. Convém que os valores dos tempos médios das velocidades medidas sejam registrados para as
múltiplas localizações.
B.4.2.3 Uniformidade da velocidade na sala limpa
É recomendada que a uniformidade da velocidade seja medida a uma distância aproximada de 150 mm a 300 mm
da face do filtro e que a subdivisão da grade seja definida conforme acordado entre usuário e fornecedores.
Quando os equipamentos de produção e as bancadas de trabalho estão instalados, é importante verificar a

ocorrência de variações significativas de fluxo de ar. Portanto, recomenda-se que a medição da uniformidade da
velocidade não seja efetuada em posições próximas a estes obstáculos.
Os dados medidos podem não refletir as características da instalação da sala ou da zona limpa. É recomendado
que sejam acordados entre usuário e fornecedores os dados a serem utilizados para determinar a uniformidade da
velocidade, ou seja, a distribuição da velocidade.
É recomendado que o tempo de medição em cada ponto seja suficiente para assegurar a repetibilidade da leitura.
B.4.2.4 Vazão de ar de insuflamento medida pela velocidade na face do filtro
Os resultados do ensaio de velocidade de fluxo, realizado de acordo com o procedimento descrito em B.4.2.2,
podem ser utilizados para calcular a vazão total de insuflamento, como segue:
Q = (Uc x Ac) (B.1)

onde
Q é a vazão total de ar;
Uc é a velocidade do ar no centro de cada célula;
AC é a área da célula, definida como a área da instalação dividida pelo número de pontos de medição;
é a somatória para todas as células.
B.4.2.5 Vazão de ar em dutos
A vazão de ar em dutos pode ser medida por medidores volumétricos de fluxo tais como: placas de orifício, tubos
Venturi e anemômetros, referenciados nas ISO 5167-1 a ISO 5167-4 [19][20][21][22].
No caso de medição por tubo de Pitot e manômetros ou por anemômetros (termoanemômetros ou de pás) em
duto retangular, é recomendado que o plano de medição no duto seja dividido em grade de células de áreas iguais
e que a velocidade do fluxo seja medida no centro de cada célula. O número de células é acordado entre usuário
e fornecedores, por exemplo, 9 ou 16. É recomendado que a vazão de ar seja calculada da mesma forma que
a descrita em B.4.2.4. Para duto circular, a vazão de ar medida por tubo de Pitot pode ser determinada pelo
procedimento descrito na EN 12599 [10].

B.4.3 Procedimento para ensaio de instalação com fluxo não-unidirecional
B.4.3.1 Geral
A vazão de ar insuflado e o número de movimentações (trocas) de ar são os parâmetros mais importantes.

Em alguns casos, é necessário medir a velocidade de insuflamento de ar em saídas individuais para determinar
a vazão de ar de cada saída [15].
B.4.3.2 Vazão de ar medida no ponto de insuflamento
Devido ao efeito da turbulência local do fluxo e das velocidades de jato numa saída de ar, é recomendada
a utilização de uma coifa que capte todo o ar saindo de cada filtro terminal ou difusor. A vazão de insuflamento
é medida utilizando uma coifa com um medidor de fluxo, ou medindo a velocidade do ar saindo da coifa
e multiplicando-a pela área efetiva. É recomendado que a abertura da coifa cubra totalmente o filtro ou difusor,
e que a face da coifa esteja apoiada sobre uma superfície plana para evitar fugas de ar e leituras inexatas.
Quando se adota a coifa com medidor de fluxo, convém que a vazão de cada filtro terminal ou difusor seja medida
diretamente no bocal de descarga da coifa.
B.4.3.3 Vazão de insuflamento calculada a partir da velocidade de face do filtro
Na ausência da coifa, a avaliação da vazão de insuflamento pode ser efetuada com um anemômetro a jusante de
cada filtro terminal. A vazão de insuflamento é determinada multiplicando a velocidade do fluxo pela área de saída.
Uma cortina pode ser utilizada para evitar turbulências no fluxo unidirecional.
Para o número de pontos de medição e o cálculo da vazão de insuflamento, referir-se ao descrito em B.4.2.3
e B.4.2.4, respectivamente.
Se for impossível dividir o plano em uma grade de áreas iguais, o cálculo acima pode ser substituído pela
velocidade media em cada célula multiplicada pela respectiva área ponderada.
B.4.3.4 Vazão de insuflamento em dutos

É recomendado que a vazão de insuflamento em dutos seja determinada do mesmo modo que o definido
em B.4.2.5.
B.4.4 Instrumentos para os ensaios de fluxo de ar
As descrições e especificações de medição dos instrumentos são encontradas em C.4. Para medições de
velocidade de fluxo, podem ser utilizados anemômetros de ultra-som, termoanemômetros, anemômetros de pás,
ou equivalentes.
Para medições de vazão de insuflamento, podem ser utilizados placas de orifício, tubos Venturi, tubo de Pitot,
tubo de Pitot para média e manômetros, ou equivalentes.
É recomendado que medições de velocidade de fluxo sejam realizadas com instrumentos que não sejam afetados
por variações pontuais de velocidade em curtas distâncias, por exemplo, um termoanemômetro pode ser utilizado
quando são selecionadas pequenas divisões de célula, e utilizados pontos adicionais de medição. Por outro lado,
um anemômetro de pás pode ser utilizado se for suficientemente sensível e suficientemente grande para medir
a “média” das velocidades do ar numa faixa de variação.
É recomendado que os instrumentos escolhidos tenham certificado de calibração válido.

B.4.5 Relatórios do ensaio
Conforme acordado entre usuário e fornecedores, é recomendado que, além do relatório de ensaios conforme
descrito na Seção 5, sejam também registrados os dados e as informações a seguir:
a) tipo de ensaios e medições, e condições de medição;
b) designação do tipo de cada dispositivo e instrumento de medição utilizado, bem como sua condição de
calibração;
c) pontos de medição e distância nominal da face do filtro;
d) estado(s) de ocupação;
e) demais dados relevantes para a medição.
B.5 Ensaio da diferença de pressão de ar
B.5.1 Princípio
Este ensaio tem por objetivo verificar a capacidade da instalação, como um todo, em manter as diferenças de
pressão especificadas entre a instalação e seus arredores e entre ambientes separados dentro da instalação [15].
Este ensaio é aplicável em cada um dos três estados de ocupacionais e pode também ser repetido regularmente
como parte de um programa de monitoramento rotineiro da instalação, como descrito em ABNT NBR ISO 14644-2.
B.5.2 Procedimento para o ensaio da diferença de pressão.
É aconselhável confirmar se as vazões de ar de insuflamento e que o balanceamento da instalação estão dentro

das especificações, antes de começar as medições de pressão diferencial entre salas ou entre salas e áreas
externas.
Com todas as portas fechadas, é recomendado que a diferença da pressão entre a sala limpa e os ambientes
circunvizinhos seja medida e registrada.
Se a instalação for subdividida em mais de uma sala limpa, é recomendado que a diferença de pressão seja
medida entre a sala mais interna e as adjacentes. Continuar as medições de diferença de pressão até que sejam
feitas as medições entre o último ambiente enclausurado e suas salas auxiliares adjacentes, em relação ao
ambiente externo.
As diferenças de pressão que estão sendo medidas são muito pequenas e técnicas incorretas de medição podem
facilmente gerar medições errôneas. Convém considerar que:
a) é recomendada a instalação de pontos permanentes para medição;
b) executar medições próximo ao centro da sala limpa e distantes de dispositivos de entrada e saída de ar que
possam influenciar a pressão local no ponto de medição.
B.5.3 Instrumentos para o ensaio da diferença de pressão
A descrição dos instrumentos e as especificações para a medição estão em C.5. Podem ser utilizados
micromanômetro eletrônico, manômetro de coluna inclinada ou manômetro mecânico.
Convém que os instrumentos tenham um certificado de calibração válido.

Conforme acordado entre usuário e fornecedores, é recomendado que, além do relatório de ensaios conforme
descrito na Seção 5 , sejam também registrados os dados e as informações a seguir:
a) tipo de ensaio e medições; condições da medição;
calibração;
c) classes de limpeza das salas consideradas;
d) localização dos pontos de medição;
e) estados ocupacionais.
B.6 Ensaio para detecção de pontos de vazamento em sistema de filtragem instalado
AVISO — O desafio por aerossol pode proporcionar uma contaminação de particulado ou molecular
inaceitável dentro de algumas instalações. Sob certas circunstâncias alguns aerossóis para ensaio podem
criar um risco para a segurança. Esta parte da ABNT NBR ISO 14644 não trata qualquer discussão de
segurança associada a estes métodos. São da responsabilidade do usuário, antes da utilização desta parte
da ABNT NBR ISO 14644, consultar e aplicar práticas apropriadas de segurança, de avaliação de risco e
qualquer requisito regulatório.
B.6.1 Princípio
B.6.1.1 Geral
Este ensaio é executado para confirmar se o sistema de filtragem está instalado corretamente e que não tenha
desenvolvido vazamentos durante o uso. Partes do método de ensaio dado em B.6 foram adaptadas do
IEST-RP-CC034.2 [18]. O ensaio verifica a ausência de vazamento relevante ao desempenho da limpeza da
instalação. O ensaio é executado através da introdução de um aerossol de desafio a montante dos filtros e
verificação deste aerossol imediatamente a jusante dos filtros e estrutura de sustentação ou através de
amostragem a jusante no duto. Trata-se de um ensaio para detecção de pontos de vazamento da instalação
completa do filtro, abrangendo meio filtrante, selante, moldura do filtro, vedação, quadros de fixação e estrutura de
sustentação. Recomenda-se que o ensaio para detecção de pontos de vazamento em sistema de filtragem
instalado não seja confundido com o ensaio de eficiência de filtro individual feito no fabricante. É recomendado
que o ensaio seja aplicado em salas limpas no estado ocupacional como construído ou em repouso e é realizado
por ocasião do comissionamento de salas limpas novas, ou quando instalações existentes requererem ensaios de
rotina, ou após os filtros finais terem sido substituídos.
Dois procedimentos para sistemas de filtragem com filtros montados em forro, parede ou equipamentos são
descritos em B.6.2 e B.6.3. Um procedimento para filtros montados em dutos é descrito em B.6.4. Os ensaios
indicados abaixo podem ser executados com um fotômetro de aerossol (método B.6.2) ou um CPD (método B.6.3).
Os resultados de ensaio obtidos com estes dois métodos não são diretamente comparáveis.
B.6.1.2 Utilizando um fotômetro de aerossol
O método do fotômetro de aerossol (B.6.2) pode ser usado para ensaiar:
a) salas limpas nas quais são previstos pontos de injeção de aerossol localizados no sistema de dutos, os quais
permitem que seja alcançada uma concentração de aerossol alta especificada para o desafio;

b) sistemas incorporando filtros com penetração integral igual ou maior que 0,003 % para o tamanho da partícula
com maior penetração (MPPS, da sigla em inglês para Most Penetrating Particle Size);
c) instalações onde o resíduo de aerossol de ensaio a base de óleo volátil, depositado nos filtros e dutos, não é
considerado prejudicial para produtos, processos ou pessoas dentro da sala limpa.
NOTA O método do fotômetro de aerossol é conhecido por criar de 100 a 1 000 vezes a concentração de aerossol num
filtro de mesmo grau, quando comparado ao método do CPD.
B.6.1.3 Utilizando um contador de partículas discretas (CPD)
O método do CPD (B.6.3) é mais sensível e o sistema de filtragem torna-se menos contaminado do que o uso do
método do fotômetro de aerossol. Ele pode ser usado para ensaiar:
a) salas limpas com todos os tipos de sistemas de tratamento de ar;
b) sistemas incorporando filtros com penetração até o mínimo de 0,000 005 % para o tamanho da partícula com
maior penetração (MPPS, da sigla em inglês para Most Penetrating Particle Size);
c) instalações onde o resíduo do aerossol de ensaio, à base de óleo volátil, depositado nos filtros e dutos,
não pode ser tolerado ou quando o uso de aerossol sólido é recomendado.
B.6.2 Procedimentos para ensaio por varredura com um fotômetro de aerossol em sistema de
filtragem instalado
B.6.2.1 Geral
Os passos preparatórios estão contidos em B.6.2.2 a B.6.2.5, o procedimento do seu ensaio em B.6.2.6, o critério
de aceitação e as ações de reparo são encontrados em B.6.2.7 e B.6.6 [14] [15] [18].
B.6.2.2 Escolha do aerossol de desafio a montante

Recomenda-se que uma geração artificial polidispersa ou um aerossol atmosférico seja introduzido a montante no
fluxo de ar, para alcançar efetivamente uma concentração homogênea de aerossol requerida para o desafio.
É recomendado que o diâmetro da partícula mediana por massa (DMM) produzida por este método seja
tipicamente entre 0,5 m e 0,7 m com um desvio-padrão geométrico de até 1,7.
NOTA Uma relação de substâncias para geração de aerossol é dada em C.6.4.
B.6.2.3 Concentração do aerossol de desafio a montante e sua verificação
É recomendado que a concentração do aerossol de desafio a montante do filtro esteja entre 10 mg/m³
e 100 mg/m³. Concentrações menores que 20 mg/m³ podem reduzir a sensibilidade de detecção de vazamento.
Concentrações maiores que 80 mg/m³ podem provocar uma excessiva impregnação no filtro em um período
extenso de ensaio [18].
São recomendadas medições apropriadas para a verificação da homogeneidade da mistura do aerossol

adicionado à vazão de ar insuflado. Na primeira vez que o sistema for ensaiado, convém que seja determinado
qual é a mistura suficiente de aerossol a ser feita. É recomendado que para tal validação todos os pontos de
injeção e amostragem sejam definidos e registrados.
Não é recomendado que medições da concentração de aerossol, feitas imediatamente à montante dos filtros,
variem mais do que r 15 % da média dos valores medidos no decorrer do ensaio. Concentrações menores que a
média reduzem a sensibilidade do ensaio para pequenos vazamentos, enquanto concentrações maiores
aumentam a sensibilidade para pequenos vazamentos. É recomendado que mais detalhes sobre o controle da
mistura ar-aerossol sejam acordados entre fornecedor e usuário. Também podem ser úteis os documentos
[18]
ASME N510-1989[1] e IEST-RP-CC034.1:1999 .

B.6.2.4 Determinação do tamanho da sonda
É recomendado que o tamanho da entrada da sonda de amostragem seja calculado a partir do exame da relação
entre a vazão de medição do instrumento e a velocidade de saída do ar do filtro, de maneira que a velocidade do
ar na entrada da sonda se aproxime da velocidade do ar na saída do filtro. É recomendado que a sonda de
amostragem tenha um formato quadrado ou retangular. Convém que a distribuição de velocidade na entrada seja
atentamente considerada [18].
Dp qVa / U x Wp (B.2)
onde
Dp é a dimensão da sonda paralela à direção da varredura, expressa em centímetros;
qVa é a vazão efetiva de amostragem do instrumento de medição, expressa em centímetros cúbicos

por segundo;
U é a velocidade de ar na saída do filtro, expressa em centímetros por segundo;
Wp é a dimensão da sonda perpendicular à direção da varredura, expressa em centímetros;
NOTA É recomendado que a velocidade do ar seja:
(U + 20 %) Us (U - 20 %)
também expressa como
1,2 U Us 0,8 U
onde
U é a velocidade do ar na saída do filtro;
Us = qVa / Dp x Wp é a velocidade do ar na entrada da sonda.

B.6.2.5 Determinação da velocidade da varredura

[18]
É recomendado que a velocidade de deslocamento Sr da sonda seja aproximadamente 15/Wp cm/s .
Por exemplo, quando usada uma sonda quadrada de 3 cm x 3 cm, Sr é igual a 5 cm/s.
B.6.2.6 Procedimento para ensaio por varredura na detecção de vazamento em sistema de filtragem
instalado
O ensaio é executado através da introdução de aerossol específico de desafio a montante do(s) filtro(s) e pela
procura de vazamentos com a sonda do fotômetro, por meio de varredura a jusante do(s) filtro(s), quadro(s) de
fixação e estrutura de sustentação, como segue:
a) é recomendado que o ensaio de velocidade do ar (B.4) para qualificação inicial seja realizado antes da
execução deste ensaio;
b) é recomendado que as medições do aerossol a montante dos filtros, em conformidade com B.6.2.3, sejam
executadas inicialmente, para verificar a concentração do aerossol e também a homogeneidade da
distribuição;
c) é recomendado que a varredura seja realizada com velocidade de deslocamento da sonda não maior que
o valor de Sr estabelecido em B.6.2.5, sobrepondo ligeiramente a área percorrida anteriormente.
É recomendado que a sonda seja mantida a uma distância de aproximadamente 3 cm da face a jusante do
filtro ou da estrutura de sustentação;

d) é recomendado que a varredura a jusante seja executada em toda a face filtrante, no perímetro de cada filtro,
na vedação entre o quadro do filtro e a estrutura de sustentação, incluindo suas junções;
e) é recomendado que medições do aerossol a montante dos filtros sejam repetidas em intervalos apropriados
de tempo entre e depois de varreduras para vazamentos, de modo a confirmar a estabilidade da concentração
de aerossol de desafio (ver B.6.2.3).
B.6.2.7 Critério de aceitação
Durante a varredura é recomendado que qualquer indicação de um vazamento igual ou maior que o limite, o qual
caracterize um vazamento admissível designado, seja motivo para reter a sonda no local do vazamento.
Convém que a localização do vazamento seja identificada pela posição onde a sonda obtenha a máxima leitura
no fotômetro.
A indicação de vazamentos é considerada real quando a leitura for maior que 10-4 (0,01 %) da concentração de
aerossol de desafio a montante. Critério de aceitação alternativo pode ser acordado entre usuário e fornecedores.
Quanto a ações a serem tomadas para correção de vazamentos detectados, ver B.6.6.
NOTA Pode ser necessário considerar diferentes critérios para vazamentos admissíveis devido à penetração de partículas
[18]
através de filtros e/ou devido a tempos de resposta de fotômetros; ver documento IEST-RP-CC034.2 .
B.6.3 Procedimento para ensaio por varredura com CPD na detecção de vazamento no sistema
de filtragem instalado
B.6.3.1 Geral
Este método de ensaio para detecção de pontos de vazamento em filtro no campo possui dois estágios e fornece
precisão e rapidez:
1) É recomendado que se faça uma varredura no lado limpo do filtro à procura de um vazamento em potencial.
Durante a varredura com um CPD, a detecção de mais partículas do que a contagem aceitável observada Ca,
no tempo de tomada da amostra Ts, indica a presença de um vazamento em potencial. Neste caso,
é recomendada a realização do segundo estágio. Se não existir indicação de vazamentos em potencial, não
são necessárias mais investigações. As determinações de Ca e Ts são descritas em B.6.3.6.
2) É recomendado retornar a sonda ao local de máxima contagem de partículas sob cada vazamento em
potencial e executar uma nova medição estacionária. Durante a nova medição estacionária com o CPD,
a detecção de mais partículas do que a contagem aceitável observada Ca no tempo de permanência Tr indica
a presença de um vazamento. As determinações de Ca e Ts são descritas em B.6.3.6.
B.6.3.2 Condições para o aerossol
Recomenda-se que um aerossol polidisperso gerado artificialmente ou atmosférico seja introduzido na vazão de ar
a montante para alcançar a concentração de desafio necessária.
NOTA Uma relação de substâncias para geração de aerossol é dada em C.6.4.
É recomendado que as seguintes condições sejam atendidas:
a) é recomendado que o diâmetro da partícula mediana por contagem (DMC) esteja entre 0,1 μm e 0,5 μm;
b) é recomendado que o limite mínimo de tamanho no CPD seja igual ou menor que o tamanho médio das
partículas do aerossol;

c) se o CPD tiver mais de um canal disponível entre o limite mínimo de tamanho e 0,5 μm, é recomendado que
seja escolhido o canal de maior leitura de partículas a jusante;
d) é recomendado que cada tamanho médio equivalente de partícula esteja próximo ao ponto médio do canal
mais apropriado do CPD.
B.6.3.3 Concentração e verificação do aerossol a montante
É recomendado que a concentração do aerossol de desafio a montante do filtro seja suficientemente alta para
alcançar, na prática, uma velocidade aceitável de varredura de acordo com B.6.3.5. Na maioria dos casos, é
recomendada uma geração de aerossol a montante, para que o aerossol de desafio alcance a concentração
suficientemente elevada. Para verificar tais concentrações, um sistema adequado de diluição pode ser requerido
para prevenir excesso da concentração tolerada pelo CPD (erro de coincidência). É recomendado que
o desempenho do sistema de diluição usado seja verificado no início e no fim de cada período de uso [16].
Quando a concentração de aerossol a montante varia ao longo do tempo, é recomendado que estas medições
sejam contínuas durante a varredura para vazamentos com o propósito de obter dados para cálculos com as
contagens seqüenciais a jusante. Concentrações menores que a média reduzem a sensibilidade para vazamentos
pequenos, enquanto concentrações elevadas aumentam a sensibilidade para pequenos vazamentos. Portanto,
o melhor é monitorar a concentração a montante. É recomendado que mais detalhes de como conduzir o ensaio
de mistura do aerossol e o ar, incluindo a freqüência e o número de pontos para tomada de amostras a montante
[4]
, sejam acordados entre usuário e fornecedores [18].
B.6.3.4 Determinação da dimensão da sonda, ver B.6.2.4
B.6.3.5 Procedimento para ensaio por varredura para detecção de vazamento em sistema de filtragem
instalado
Ver B.6.2.6, desde que B.6.2.3 e B.6.2.5 tenham sido substituídos por B.6.3.3 e B.6.3.6.4, respectivamente.
B.6.3.6 Cálculos preparatórios e avaliação

B.6.3.6.1 Símbolos e fluxograma de cálculos preparatórios e avaliação
Os símbolos desta seção são mostrados como segue:
Cc é a concentração de aerossol de desafio a montante do filtro (partículas/cm³);
Ps é a máxima penetração integral permitida para o MPPS do filtro a ser testado (MPPS da sigla em inglês
para Most Penetrating Particle Size - tamanho da partícula com maior penetração);
PL é a penetração de vazamento padrão do filtro a ser testado;
K é o fator que expressa quanto PL pode ser maior que Ps;
qVs é o valor padrão da vazão de amostragem, qVs = 472, cm³/s (= 28,3 L/min);
qVa é o valor real da vazão de amostragem do contador de partículas discretas (cm³/s);
Sr é a velocidade de varredura da sonda (cm/s);
Dp é a dimensão da sonda paralela à direção de varredura (cm);
Np é o número esperado de partículas contadas, o qual caracteriza o vazamento admissível designado

[partículas];

Npa é o número real de partículas contadas, o qual caracteriza o vazamento admissível designado
[partículas];
Ca é a contagem aceitável observada [partículas];
Ts é o tempo de coleta da amostra (s);
Tr é o tempo de permanência (s).
O fluxograma de cálculos preparatórios e avaliação é apresentado na Figura B.2.


Cálculo preparatório antes da varredura
Montante Filtro Parâmetros relativos ao CPD
Concentração a Penetração máxima Dimensão da sonda Se as contagens falsas não Tempo de

montante admissível para o paralela à direção da forem desprezíveis, é permanência
filtro a ser ensaiado varredura recomendado que a contagem
Cc Tr [s]
3 aceitável observada, Ca
[partículas/cm ] Ps Dp [cm]
[partículas], seja 1
Fator K, baseado na Tabela Número esperado de contagem de

B.1 partículas, o qual caracteriza o
vazamento admissível designado, Np
[partículas], baseado na Tabela B.2
Penetração de vazamento
padrão do filtro a ser testado
PL K x Ps
a) Por varredura b) Por nova medição estacionária

i
O número real de N [partículas] para novas medições
Velocidade de varredura da sonda [cm/s] pa
Sr d Cc x PL x qVs x (Dp/Np) estacionárias, Npa Cc x PL x qVs x Tr

Quando o valor real da vazão de amostragem, 3
Quando o valor real da vazão de amostragem, qVa [cm /s],
qVa [cm3/s], não é padrão
não é padrão Npa [Cc (PL - Ps) qVs + Cc x Ps x qVa]Tr
Sr d [Cc (PL - Ps) qVs + Cc x Ps x qVa] (Dp/Np)
Tempo de coleta da amostra Ts [s] Ca Npa - 2Npa

Contagem aceitável observada [partículas]

para Tr [s]
Ts (Dp / Sr) [s]
Procedimentos de ensaio e avaliação
a) Detecção de vazamento em potencial por varredura
Se duas ou mais contagens aumentarem em curto período de tempo (menor que Ts [s]), é recomendado que seja
executada uma nova medição estacionária, com a sonda no local do vazamento, selecionando Ca [partículas]
igual a 1. Se a contagem não aumentar, é recomendado que a área em questão seja considerada livre de
vazamento.
b) Detecção de vazamento por nova medição estacionária
Se as contagens observadas forem menores que Ca [partículas] pelo tempo de permanência, Tr [s],
é recomendado que a localização seja considerada livre de vazamento.
Se as contagens observadas continuarem a exceder Ca [partículas] durante o tempo de permanência estendido,

convém considerar que há vazamento.
Figura B.2 — Fluxograma de cálculos preparatórios e avaliação

B.6.3.6.2 Vazamento admissível designado do filtro a ser ensaiado, PL
Vazamento admissível designado, PL, é definido como vazamento detectado por um CPD com vazão de
amostragem padrão, quando a sonda está estacionada no local do vazamento. A vazão de amostragem padrão,
qVs, é definida como 472 cm3/s (28,3 L/min).
PL é escolhido por acordo entre o usuário e fornecedores, ou é baseado na Tabela B.1 e Equação B.3, em função
de K e Ps.
PL KPs (B.3)
Tabela B.1 — K em função de Ps
Penetração máxima admissível, Ps 5 × 104 5 × 105 5 × 106 5 × 107 5 × 108
Fator, K 10 10 30 100 300
É recomendado que Ps seja definida como a máxima penetração integral permitida para o tamanho da partícula
com maior penetração (MPPS, da sigla em inglês para Most Penetrating Particle Size) no filtro a ser ensaiado,
como especificado pelo fabricante. Na ausência de penetração do MPPS, é recomendado ser usada a penetração
especificada nominal para o tamanho especificada da partícula.
NOTA PL inclui penetração pelo meio filtrante normal e pelos pontos de vazamento.
Em certas áreas, a penetração local pode ser maior que a penetração total integral.
Para o procedimento de varredura manual, Ca pode ser substituída por Np. É recomendado que Np seja maior ou
igual a 2 e não é necessário considerar B.6.3.6.3.
Para correlação com o critério de aceitação com método de fotômetro (ver B.6.2), a penetração máxima permitida
pode ser adotada para 0,01 % para filtros com penetração integral entre 0,05 % e 0,005 %. Neste caso,
é recomendado que o tamanho médio das partículas do aerossol seja aproximadamente 0,8 (r 0,2) m.
B.6.3.6.3 Número esperado de partículas contadas, Np, e critério de aceitação em função de Ca
Uma contagem observada, Ca, fornece um limite superior de confiança, Np, por cálculos estatísticos. Alguns pares
de Ca e Np são dados na Tabela B.2. Valores menores de Np vão permitir uma varredura mais rápida ou permitir
menor concentração a montante.
a) Se as contagens falsas forem insignificantes, é recomendado que o par Ca = 0, Np = 3,7 seja selecionado.
b) Se as contagens falsas não forem insignificantes, é recomendado que um valor de Ca 1 seja selecionado.

[8] [17]
Tabela B.2 — Limite superior de 95 % do intervalo de confiança de uma distribuição de Poisson
Contagem Limite Contagem Limite

observada superior observada superior
Ca Np Ca Np
0 3,7 6 13,1
Quando Np for maior que 19,7:
1 5,6 7 14,4
2 7,2 8 15,8 Ca = Np – 2 Np (B.4)
3 8,8 9 17,1
4 10,2 10 18,4
5 11,7 11 19,7
B.6.3.6.4 Velocidade de varredura, Sr
É recomendado que a velocidade de varredura da sonda, Sr, seja determinada pela seguinte fórmula:
Dp Dp
Sr ื Cc × PL × qV s × = Cc × PL × 472 × (B.5)[18]
Np Np
É recomendado que Sr não seja maior que 8 cm/s.
Convém que Sr e Ca sejam selecionadas primeiro e que a concentração do aerossol de desafio Cc seja então
calculada pela Equação B.5.
B.6.3.6.5 Tempo de permanência da sonda, Tr, e Npa e Ca para Tr
a) Seleção do tempo de permanência da sonda, Tr (s)
É recomendado que qualquer contagem observada maior que Ca seja motivo para novas medições
estacionárias com tempo de permanência Tr. Se for utilizado um CPD comercial, convém que Tr seja ajustado
para uma ou algumas vezes o intervalo de tempo fixado do CPD.
b) Cálculo do número real de Npa (partículas), para Tr (s) e Ca (partículas)
O número real de partículas contadas que caracteriza um vazamento admissível designado, Npa para Tr,
pode ser obtido pela Equação (B.6). Quando o número de Npa é grande, Ca pode ser calculada pela Equação
(B.7).
Npa Cc x PL x qVs x Tr (B.6)
Ca Npa2 Npa (B.7)
B.6.3.6.6 Detecção de vazamento em potencial por varredura
a) No caso de contagens observadas menores que Ca (partículas)
Contagens observadas iguais ou menores que Ca, em tempo igual ou maior do que o tempo de coleta da
amostra Ts, confirmam a ausência de vazamentos. O tempo de coleta de amostra, Ts, é igual ou maior que
o tempo de passagem da sonda por um vazamento, como dado na Equação (B.8)[18].
Ts Dp / Sr (B.8)
b) No caso de contagens observadas maiores que Ca (partículas)

É recomendado que qualquer contagem observada maior que Ca (partículas) seja motivo para uma investigação,
com um tempo de permanência da sonda na posição do vazamento.
Quando em varredura manual, é possível a detecção de um vazamento em potencial através da indicação visual
e/ou sonora do CPD. Para conseguir diferenciar as contagens aceitáveis e as não aceitáveis, convém que
a concentração do aerossol à montante do filtro seja ajustada de modo que a contagem aceitável de partículas
não seja maior que 10 partículas.
É recomendado que o período de amostragem do CPD seja suficientemente longo para evitar o efeito de zerar
a contagem durante este período.
B.6.3.6.7 Detecção de vazamento por nova medição estacionária.
a) Contagens observadas menores que Ca (partículas)
Contagens observadas para Tr, iguais ou menores que Ca, confirmam a ausência de vazamentos.
b) Contagens observadas maiores que Ca (partículas).
Se a contagem observada exceder Ca, uma nova medição estacionária pode ser considerada. Se a contagem
observada continuar excedendo Ca, convém considerar que exista vazamento no filtro.
B.6.3.7 Revisão para vazões não padronizadas
Vazamento de penetração padronizado, PL, é definido para uma vazão da amostragem padronizada,
qVs = 472 cm3/s (28,3 L/min). Partículas contadas em vazamentos independem da vazão real de amostragem,
qVa (cm3/s), ao contrário das partículas provenientes de um meio filtrante normal. Quando utilizada uma vazão de
amostragem não padronizada, as equações podem ser revisadas como segue:
Sr [Cc (PL Ps ) qVs + Cc × Ps × qVa ] Dp / Np (B.9)

N pa =[ Cc (PL Ps ) qV s + Cc × Ps × qVa ] Tr (B.10)
B.6.3.8 Exemplo de uma aplicação com avaliação
Um exemplo de procedimento de avaliação é mostrado na Figura B.3.

Cálculo preparatório antes da varredura quando qVa=qVs=472cm3/s
Montante Filtro Parâmetros relativos ao CPD
Concentração Penetração Dimensão da Se as contagens falsas não Tempo de

a montante máxima admissível sonda paralela à forem desprezíveis, é permanência
para o filtro a ser direção da recomendado que a contagem
Cc = 30 Tr = 6 [s]
3 ensaiado varredura aceitável observada, Ca = 1
[partículas/cm ]
[partícula]
Ps = 1x10-4 Dp = 2 [cm]
Fator K baseado na Número esperado de contagem de

Tabela B.1 K = 10 partículas, o qual caracteriza o
vazamento admissível designado,
baseado na Tabela B.2 Np = 5,6
Penetração do vazamento [partículas]
padrão do filtro a ser testado
PL K x Ps = 10-3
a) Por varredura b) Por nova medição estacionária

i
Velocidade de varredura da sonda [cm/s]

O número real de Npa [partículas] para novas
Sr d Cc x PL x qVs x (Dp/Np) medições estacionárias
= 30 x 10-3 x 472 x 2/5,6 = 5,1 [cm/s] Npa Cc x PL x qVs x Tr

Tempo de coleta da amostra Ts [s] Contagem aceitável observada [partículas]

Ts (Dp / Np) = (2/5,1) = 0,4 [s]
Procedimentos de ensaio e avaliação
a) Detecção de vazamento em potencial, por varredura
Se duas ou mais contagens aumentarem em curto período de tempo (menor que 0,4 s), é recomendado que seja
executada uma nova medição estacionária, com a sonda no local do vazamento.
Se a contagem não aumentar, é recomendado que a área em questão seja considerada livre de vazamento.
b) Detecção de vazamento por nova medição estacionária
Se as contagens observadas forem menores que Ca = 67 partículas pelo tempo de permanência, Tr = 6 s,

é recomendado que a localização seja considerada livre de vazamento.
Se as contagens observadas continuarem a exceder Ca durante o tempo de permanência estendido, convém

considerar que exista vazamento.
Figura B.3 — Fluxograma de cálculos preparatórios e avaliação

B.6.4 Procedimento de ensaio para detecção de pontos de vazamento total de filtros instalados
em dutos ou em unidades de tratamento de ar (UTAs)
Este procedimento pode ser utilizado para avaliação de vazamento total em instalações com filtros montados em
dutos. Este procedimento pode também ser utilizado para determinar o vazamento total em instalações com
múltiplos estágios de filtragem, sem ensaio nos estágios individuais. Estes ensaios podem também ser utilizados
para filtros terminais, desde que eles estejam montados em instalações com regime de fluxo não-unidirecional.
Este método é muito menos sensível para localizar pontos de vazamento que os métodos descritos em B.6.2
e B.6.3[1] [6] [9].
O ensaio é executado introduzindo-se um aerossol de desafio a montante dos filtros instalados distantes da sala
limpa. A concentração de partículas do ar filtrado é medida no duto ou na unidade de tratamento de ar,
e comparada com a concentração a montante para determinar a eficiência total ou a penetração da instalação
do filtro [18].
É recomendado que o ensaio da velocidade do fluxo de ar (B.4) para qualificação inicial seja realizado antes da
execução deste ensaio.
É recomendado que medições de concentração de aerossol a montante, em conformidade com B.6.2.3 (método
do fotômetro) ou B.6.3.4 (método de CPD), sejam executadas preliminarmente para verificar a concentração
e a homogeneidade do aerossol.
Convém que medições de concentração de aerossol a jusante sejam executadas pelo menos em um ponto por
filtro, após obtenção de uma mistura uniforme a jusante do filtro. Se não ocorrer esta uniformidade,
é recomendada a utilização de um ensaio alternativo. São recomendadas medições em diversas posições
igualmente espaçadas em um plano, entre 30 cm e 100 cm a jusante do filtro, dentro do duto e a uma distância
aproximada de 3 cm da parede do duto.
É recomendado que medições das concentrações de partículas a montante dos filtros sejam repetidas em
intervalos de tempo razoáveis para confirmar a estabilidade da geração do aerossol de desafio (ver B.6.2.3).
A partir das concentrações medidas, convém que as penetrações totais sejam calculadas para cada posição
a jusante, levando em consideração cada tamanho de partícula, para o qual o instrumento de medição tenha sido
ajustado.
É recomendado que nenhuma penetração seja maior que cinco vezes a penetração nominal especificada do filtro
no tamanho da partícula com maior penetração (MPPS). No entanto para fotômetros, convém que esta penetração
-4
não seja superior a 10 (0,01 %). Qualquer outro critério de aceitação para ensaio de eficiência de filtros pode ser
acordado entre usuário e fornecedores.
Reparos ou correção dos pontos de vazamento podem ser efetuados conforme B.6.6 ou por procedimentos
acordados entre usuário e fornecedores.
NOTA Quando for requerido que filtros instalados em dutos sejam submetidos ao ensaio para detecção de pontos de
vazamento por varredura, convém utilizar os métodos descritos em B.6.2 e B.6.3.
B.6.5 Equipamentos e materiais utilizados em ensaios para detecção de pontos de vazamento

em sistemas de filtros instalados
É recomendado que os equipamentos especificados em B.6.5.1 até B.6.5.4 tenham certificados de calibração
válidos.
B.6.5.1 Fotômetro de aerossol com função logarítmica ou linear (ver C.6.1).
B.6.5.2 Contador de partículas discretas (CPD) (ver C.6.2), o qual tenha vazão de amostragem
suficientemente alta e capacidade para detectar o tamanho de partícula relevante ao ensaio para detecção de
pontos de vazamento em questão. A utilização de CPD e de fotômetros de aerossol é limitada aos casos nos
quais as concentrações ou contagens de ruído de fundo sejam menores que 10 % da concentração que
caracteriza um vazamento admissível designado.

B.6.5.3 Gerador(es) de aerossol apropriado(s), pneumático ou térmico, para fornecer uma concentração
adequada de aerossol de desafio, em uma faixa de tamanho apropriado (ver C.6.3).
B.6.5.4 Sistema apropriado de diluição de aerossol.
B.6.5.5 Substâncias adequadas à geração de aerossol (ver C.6.4).
B.6.6 Reparos e procedimentos para reparo
É recomendado que o reparo dos pontos de vazamento somente seja aceitável se acordado entre usuário
e fornecedores. Convém que o método de reparo leve em consideração as instruções dos fabricantes ou do
usuário.
Na seleção dos materiais para o reparo, convém que a liberação de gás e a deposição molecular em produtos
e processos sejam levadas em consideração.
É recomendado que sejam reparados os pontos de vazamento detectados em filtros, nos elementos de vedação
ou na estrutura de sustentação.
Reparos em filtros ou na estrutura de sustentação podem ser executados, utilizando procedimentos acordados
entre usuário e fornecedores.
Após ter sido efetuado o reparo e ter passado o tempo apropriado de cura, convém que esta posição reparada
seja novamente verificada, à procura de pontos de vazamento conforme o método definido.
Conforme acordado entre usuário e fornecedores, além do descrito na Seção 5, é recomendado que sejam
também registrados os seguintes dados e informações:
a) método de ensaio: fotômetro ou contador de partículas discretas (CPD);
b) designação do tipo de cada dispositivo e instrumento de medição utilizados, bem como sua condição de
calibração;
c) qualquer condição especial e/ou desvio em relação a este método de ensaio e qualquer procedimento
especial acordado entre o usuário e os fornecedores.
d) concentrações de aerossol medidas a montante dos filtros, com suas respectivas localizações e a duração da
medição correspondente;
e) vazão de amostragem e, para medições com CPD, a faixa de tamanhos de partículas;
f) concentração média de aerossol calculada para o ar a montante e sua distribuição;
g) critérios de aceitação calculados, aplicados às medições efetuadas a jusante;
h) resultado da medição a jusante para cada filtro claramente identificado, seção da área ou localização da
medição;
i) resultado final do ensaio para cada localização definida;
j) se não existir vazamento, o ensaio é considerado aprovado; caso contrário, se existir vazamento, relatar
a localização do vazamento, a ação de reparo e o resultado do novo ensaio do local.

B.7 Ensaio de sentido e visualização do fluxo de ar
B.7.1 Princípio
O propósito do ensaio de sentido e visualização do fluxo de ar é confirmar que o sentido de fluxo e sua
uniformidade estejam em conformidade com o projeto e as especificações de desempenho e, se requerido,
as características de espaço e tempo do fluxo de ar na instalação.
NOTA A dinâmica de fluidos computadorizada usada como uma ferramenta preditiva ou de análise não é considerada
nesta parte da ABNT NBR ISO 14644.
B.7.2 Métodos
O ensaio de sentido e visualização de fluxo de ar pode ser realizado pelos quatro métodos de ensaio seguintes:
a) método utilizando filamento indicador;
b) método utilizando injeção de partículas indicadoras;
c) método de visualização do fluxo de ar utilizando técnicas de processamento de imagem;
d) método de visualização do fluxo de ar utilizando a distribuição das velocidades medidas.
Para os métodos a) e b), o fluxo de ar na instalação é visualizado pelo traçado indicado pelo movimento
do filamento ou do material particulado. Dispositivos de gravação, tais como câmera de vídeo, películas de filme,
disquetes ou fitas magnéticas, registram este movimento. Convém que o filamento indicador ou o material
particulado injetado não seja fonte de contaminação e que acompanhe exatamente a trajetória do fluxo de ar.
Outros recursos, tais como um gerador de partículas indicadoras e uma fonte de luz de alta intensidade, podem
ser usados para estes métodos.
O método c) é utilizado para demonstrar, de forma quantitativa, a distribuição de velocidades do fluxo de ar na

instalação. A técnica é baseada no processamento de imagem da partícula indicadora, através do uso
do computador.
Recomenda-se cuidado para assegurar que os operadores não interfiram no padrão do fluxo de ar que está sendo
avaliado.
NOTA O fluxo de ar é influenciado por outros parâmetros, tais como diferença de pressão do ar, velocidade do ar
e temperatura.
B.7.3 Procedimentos para ensaio de sentido e visualização do fluxo de ar
B.7.3.1 Método utilizando filamento indicador
O ensaio é executado através da observação de tufos, por exemplo, de fios de seda, de fibras individuais de náilon,
fitas ou películas finas de filme. Estes tufos são colocados na ponta de hastes ou nos pontos de cruzamento dos
fios de telas finas, as quais são posicionadas no fluxo de ar. Os tufos fornecem uma indicação do sentido do fluxo
de ar e suas flutuações devido à turbulência. Uma iluminação eficiente ajudará na observação e registro do fluxo
de ar indicado. A deflexão do fluxo de ar é medida entre dois pontos (por exemplo, de 2 m para 0,5 m) para se
calcular o ângulo de desvio.

B.7.3.2 Método utilizando injeção de partículas indicadoras
O ensaio é executado através da observação ou do registro da imagem do comportamento das partículas

indicadoras, as quais são iluminadas por uma fonte de luz de alta intensidade, fornecendo informações sobre
o sentido e a uniformidade do fluxo de ar na instalação. As partículas indicadoras podem ser produzidas a partir de
materiais como água deionizada (DI), álcool/glicol vaporizado ou gerado quimicamente etc. Convém que estes
materiais sejam escolhidos cuidadosamente, de forma a evitar a contaminação de superfícies.
É recomendado que o tamanho desejado das gotículas seja levado em consideração, quando o método de
geração for selecionado. Convém que as gotículas sejam grandes o suficiente para serem detectadas com a
técnica de processamento de imagem disponível, mas não tão grandes que a gravidade ou outros efeitos resultem
num movimento próprio, divergente do fluxo de ar que está sendo observado.
B.7.3.3 Método de visualização do fluxo de ar utilizando técnicas de processamento de imagem
O processamento dos dados de imagem de partículas em vídeo ou filme, obtidos pelo método descrito em B.7.3.2,
fornece características quantitativas do fluxo de ar na forma bidimensional do vetor de velocidade do ar na área.
A técnica de processamento requer um computador digital com interface adequada e programa apropriado.
Para uma melhor resolução espacial, podem ser usados recursos como uma fonte de laser.
B.7.3.4 Método de visualização do fluxo de ar utilizando a distribuição das velocidades medidas
A distribuição de velocidades do fluxo de ar pode ser determinada pela utilização de instrumentos de medição
de velocidade do ar, tais como termoanemômetros ou anemômetros ultra-sônicos, em vários pontos definidos
na instalação sob investigação. O processamento dos dados da medição fornece a informação sobre a distribuição
do fluxo de ar.
B.7.4 Instrumentos utilizados no ensaio de sentido e visualização de fluxo do ar
Os instrumentos utilizados no ensaio de sentido e visualização de fluxo do ar são diferentes para cada método de
ensaio. Os instrumentos adequados para cada método de ensaio são indicados em C.7.
Conforme acordado entre usuário e fornecedores, além do descrito na Seção 5, convém também registrar os
seguintes dados e informações:
a) tipo de ensaio, método de visualização e condições de ensaio;
b) designação do tipo de cada dispositivo e instrumento de medição utilizados, bem como a situação
de calibração;
c) localização dos pontos de visualização;
d) no caso da técnica de processamento de imagem ou de distribuição das velocidades medidas, se

especificado, incluir as imagens registradas em fotos ou fitas de vídeo, ou dados originais de cada medição;
e) convém que um esquema da localização exata de todos os instrumentos acompanhe o relatório

de visualização da vazão;
f) estado(s) de ocupação.

B.8 Ensaio de temperatura
B.8.1 Princípio
O objetivo deste ensaio é demonstrar a capacidade da instalação do sistema de tratamento do ar para manter o
nível da temperatura do ar dentro dos limites de controle durante o período acordado entre usuário e fornecedor
para área ensaiada. Partes destes métodos de ensaio dados em B.8 foram adaptados do IEST-RP-CC006.3 [15].
Dois métodos de ensaios são apresentados. Primeiro, o ensaio geral descrito em B.8.2.1, o qual define
o procedimento adequado para um ensaio primário de uma instalação como construída. Segundo, um ensaio
completo e descrito em B.8.2.2, o qual é aplicado no estado em repouso ou em operação. O segundo ensaio
é aplicado para áreas com requisitos mais rigorosos para o desempenho de temperaturas.
B.8.2 Procedimento para o ensaio de temperatura
B.8.2.1 Ensaio geral de temperatura
Esse ensaio é realizado em seguida à conclusão do ensaio de uniformidade da vazão do ar e do ajuste dos
controles do sistema de ar condicionado. É recomendado que esse ensaio seja executado após o sistema de ar
condicionado ter sido colocado em operação e suas condições estarem estabilizadas.
É recomendado que a temperatura seja medida no mínimo em um ponto de medição para cada zona de
temperatura controlada.
Convém que cada sensor esteja posicionado em um ponto de medição designado, na altura de trabalho.
Após um tempo suficiente para o sensor estabilizar, é recomendado que a leitura da temperatura em cada ponto
de medição seja registrada.
É recomendado que as medições sejam executadas de forma apropriada ao objetivo da aplicação. Convém que o
tempo de medição seja de no mínimo 5 min, com um valor registrado pelo menos a cada minuto.
B.8.2.2 Ensaio completo de temperatura

Esse ensaio é recomendado para áreas com rigorosas especificações de controle do ambiente.
É recomendado que esse ensaio seja executado pelo menos 1 h após o sistema de ar-condicionado ter sido
colocado em operação e desde que as condições estejam estabilizadas.
Convém que a zona de trabalho seja dividida em uma grade de áreas iguais e que a seleção das áreas individuais
a serem ensaiadas seja acordada entre usuário e fornecedores. É recomendado que o número de pontos de
medição seja pelo menos dois.
É recomendado que o sensor de temperatura esteja posicionado na altura de trabalho e a uma distância mínima
de 300 mm do teto, parede ou piso da instalação.
Convém que a posição do sensor seja selecionada levando em consideração a presença de fontes de calor.
É recomendado que as medições sejam executadas de forma apropriada ao objetivo da aplicação. Convém que
o tempo de medição seja de no mínimo 5 min, com um valor registrado pelo menos a cada minuto.
B.8.3 Equipamentos para ensaio de temperatura
É recomendado que o ensaio de temperatura seja executado usando um sensor que tenha exatidão conforme
definida na ABNT NBR ISO 7726, por exemplo:
a) termômetros;

b) dispositivo resistivo para medição de temperatura;
c) termistores.
Para o equipamento, o requisito da resolução mínima da medição é de 1/5 da faixa de temperatura, faixa esta que
é definida entre a temperatura do ponto de ajuste e o limite de variação de temperatura permitido.
Convém que o equipamento tenha um certificado de calibração válido.
B.8.4 Relatório de ensaio
a) tipo de ensaio e medições, e condições de ensaio;
b) designação do tipo de cada instrumento de medição e dispositivo utilizado, bem como sua condição de
calibração;
c) localização dos pontos de medição;
d) estado(s) de ocupação.
B.9 Ensaio de umidade
B.9.1 Princípio
O objetivo deste ensaio é demonstrar a capacidade do sistema de tratamento de ar da instalação em manter o

nível de umidade do ar (expresso em umidade relativa ou ponto de orvalho) dentro dos limites de controle e
durante o período de tempo acordado entre o usuário e o fornecedor da área em questão. Partes do método de
ensaio dado em B.9 foram adaptados do IEST-RP-CC006.2 [15]
B.9.2 Procedimento para ensaio de umidade
O ensaio é realizado após o término dos ensaios de uniformidade de fluxo de ar e do ajuste dos controles do
sistema do ar-condicionado.
É recomendado que este ensaio seja realizado com o sistema de tratamento do ar completamente operacional
e quando condições estáveis tiverem sido alcançadas.
É recomendado que o sensor de umidade seja colocado no mínimo em um ponto de cada zona de controle de
umidade e que seja permitido um tempo suficiente para que o sensor se estabilize.
É recomendado que as medições sejam realizadas como apropriado, após o sensor ter estabilizado, e que o
tempo de medição seja de pelo menos 5 min.
É recomendado que os pontos de medição, a freqüência, os intervalos e os períodos para registro dos dados
sejam acordados entre o usuário e o fornecedor.
Convém que o ensaio de umidade seja realizado em conjunto com o ensaio de temperatura.

B.9.3 Instrumentos para ensaio de umidade
É recomendado que os ensaios de umidade sejam realizados utilizando-se um sensor que tenha exatidão
apropriada para as medições de acordo com a ISO 7726.
Sensores típicos são:
a) sensor de umidade com capacitor dielétrico de filme fino;
b) sensor de ponto de orvalho;
c) psicrômetro.
É recomendado que a resolução mínima de medição para os instrumentos seja de 1/5 da faixa de umidade
admitida para a diferença entre o ponto de ajuste e a faixa permissível de variação, admitida em relação ao ponto
de ajuste. Convém que o instrumento tenha um certificado de calibração válido.
a) tipo de ensaio e medição, e condições de medição;
b) designação do tipo de cada instrumento de medição usado e sua calibração;
c) temperatura;
e) estado(s) de ocupação.
B.10 Ensaios eletrostático e do gerador de íons

B.10.1 Princípio
Este ensaio consiste em duas partes. Uma é o ensaio eletrostático e a outra é o ensaio do gerador de íons
(ionizador). A finalidade do ensaio eletrostático é avaliar o nível de tensão eletrostática em superfícies de trabalho
e de produtos, bem como avaliar a taxa de dissipação de tensões eletrostáticas de pisos, bancadas ou outros
componentes da instalação. A propriedade estático-dissipativa é avaliada através de medições nas superfícies,
tanto da resistência superficial como da resistência ao terra. O ensaio do gerador de íons é realizado para avaliar
o desempenho de geradores, medindo-se o tempo de descarga para objetos previamente carregados e para
determinar a tensão de compensação de placas de monitoramento isoladas. Os resultados de cada medição
indicam a eficiência em eliminar (ou neutralizar) cargas estáticas, bem como o desequilíbrio entre as quantidades
geradas de íons positivos e negativos.
B.10.2 Procedimentos para ensaios eletrostático e do gerador de íons
B.10.2.1 Procedimento para ensaio eletrostático
B.10.2.1.1 Medição do nível de tensão superficial
Cargas eletrostáticas, positivas ou negativas, presentes nas superfícies de trabalho e de produtos são medidas
utilizando-se um voltímetro eletrostático ou um medidor de campo eletrostático.
Ajustar em zero a leitura do voltímetro eletrostático ou medidor de campo, aproximando o sensor defronte a uma
placa metálica aterrada. Convém que este sensor seja mantido de tal forma que o elemento sensor fique paralelo

à placa na distância determinada pelo fabricante. É recomendado que a placa metálica utilizada para o ajuste do
zero tenha uma área suficiente para o tamanho do elemento sensor requerido e para o espaçamento apropriado
entre sensor e superfície.
Para medir a tensão superficial, posicionar e manter o sensor próximo à superfície do objeto cuja carga se quer
determinar. É recomendado que o sensor seja mantido do mesmo modo como para o ajuste do zero. Para que
uma medição seja considerada válida, convém que a área superficial do objeto seja suficientemente grande
quando comparada ao tamanho da abertura do sensor e à distância do sensor à superfície.
Registrar a leitura do voltímetro eletrostático.
É recomendado que o ponto de medição, ou o objeto escolhido para medição, seja acordado entre usuário
e fornecedores.
B.10.2.1.2 Medição da propriedade estático-dissipativa
A propriedade estático-dissipativa é avaliada pela medição da resistência superficial (resistência entre diferentes
posições na superfície) e da resistência ao terra (resistência entre a superfície sob medição e o terra).
Estes valores são medidos utilizando-se um medidor de resistências altas.
A resistência superficial ou a resistência ao terra é medida usando-se eletrodos com peso e dimensões
apropriados. É recomendado que estes eletrodos sejam colocados a uma distância adequada da superfície,
durante as medições de resistência superficial.
É recomendado que detalhes específicos das condições de ensaio sejam acordados entre usuário e fornecedores.
B.10.2.2 Procedimento para ensaio do gerador de ions
B.10.2.2.1 Geral
O propósito deste ensaio é avaliar o desempenho de geradores de íons bipolares. O ensaio consiste em medições
tanto do tempo de descarga quanto da tensão de compensação. A medição do tempo de descarga é realizada
para avaliar a eficiência da eliminação de cargas estáticas usando um gerador de íons. A medição da tensão de
compensação é realizada para avaliar o desequilíbrio entre íons positivos e negativos no fluxo de ar ionizado de
geradores de íons. Um desequilíbrio de íons pode resultar numa indesejável tensão residual.
Estas medições são realizadas utilizando-se placas de monitoramento condutivas, um voltímetro eletrostático, um
cronômetro e uma fonte de alimentação. (Algumas vezes, o conjunto formado por estas partes é chamado de
analisador de cargas).
B.10.2.2.2 Medição do tempo de descarga
Esta medição é realizada usando-se placas de monitoramento (placas condutivas isoladas) com capacitância
conhecida (por exemplo, 20 pF). Inicialmente a placa de monitoramento é carregada até uma tensão conhecida,
positiva ou negativa, por meio de uma fonte de alimentação.
A alteração da carga estática na placa é medida enquanto se expõe a placa ao fluxo de ar que está sendo
ionizado pelo gerador bipolar de íons em avaliação. Convém que a alteração na tensão da placa, neste intervalo
de tempo, seja medida usando-se um voltímetro eletrostático e um cronômetro.
O tempo de descarga é definido como o tempo necessário para a tensão estática, na placa, ser reduzida para
10 % da condição de tensão inicial.
É recomendado que o tempo de descarga seja medido tanto para placas carregadas negativa como positivamente.
Para os critérios de aceitação, convém que a localização dos pontos de medição e os resultados sejam acordados
entre usuário e fornecedores.

B.10.2.2.3 Medição da tensão de compensação
A tensão de compensação é medida usando-se analisador de cargas montado sobre um material isolante.
A carga na placa isolada é monitorada por um voltímetro eletrostático.
É recomendado que a placa seja inicialmente aterrada para remover qualquer carga residual e que se confirme
que a tensão na placa é zero.
A tensão de compensação é medida expondo-se a placa ao fluxo de ar ionizado até que a leitura do voltímetro
fique estável.
A tensão de compensação aceitável para um gerador de íons depende da sensibilidade ao carregamento

eletrostático dos objetos na área de trabalho. É recomendado que a tensão aceitável de compensação seja
acordada entre usuário e fornecedores.
B.10.3 Instrumentação para ensaio eletrostático e ensaio do gerador de íons
a) Para ensaio eletrostático, usar um voltímetro eletrostático ou medidor de campo eletrostático para medição do
nível de tensão eletrostática superficial;
b) Para ensaio eletrostático, usar um medidor de ohm para resistências altas para medição de propriedades
dissipativas;
c) Para ensaio do gerador de íons, usar um voltímetro eletrostático ou um medidor de campo eletrostático
e placa de monitoramento condutiva ou um analisador de cargas.
Esta instrumentação está descrita em C.10. É recomendado que os instrumentos tenham um certificado de
calibração válido.
Conforme acordado entre usuário e fornecedores, além do descrito na Seção 5, convém também registrar
os seguintes dados e informações:
a) tipo de ensaio e medições; condições de ensaio;
calibração;
c) temperatura, umidade e outros dados ambientais, se relevantes.
e) estado(s) de ocupação;
f) demais dados relevantes para a medição.

B.11 Ensaio de partículas sedimentadas
B.11.1 Princípio
Este procedimento de ensaio descreve os instrumentos para contagem e classificação por tamanho das partículas
em suspensão no ar em uma instalação, que são ou podem ser sedimentadas na superfície do produto ou na
superfície de trabalho. As partículas sedimentadas são coletadas em placas-testemunha com características de
superfície apropriadas e similares àquelas das superfícies sob risco em estudo, e são classificadas por tamanho e
contadas usando microscópios ópticos, microscópios de elétron ou instrumento de varredura da superfície.
Um fotômetro de sedimentação de partícula pode ser utilizado para se obter dados da taxa de sedimentação de
partículas. É recomendado que os dados de partículas sedimentadas sejam relatados em termos de massa ou em
termos do número de partículas por unidade de área de superfície, por unidade de tempo.
B.11.2 Procedimentos para ensaio de sedimentação de partículas
B.11.2.1 Coleta de partículas em placas-testemunha
É recomendado que a placa-testemunha seja colocada no mesmo plano que a superfície de risco. Convém que a
placa-testemunha esteja no mesmo potencial elétrico que a superfície de ensaio. É recomendado que os
seguintes procedimentos e métodos sejam seguidos quando manipular a placa-testemunha.
a) Verificar se todos os sistemas da sala limpa estão funcionando corretamente, de acordo com os requisitos
operacionais.
b) Identificar cada placa-testemunha individualmente e limpá-la como requerido, de modo a reduzir

a concentração de partículas o máximo possível. Determinar a concentração de fundo das partículas em cada
placa-testemunha.
c) Manter 10 % das placas-testemunha para controle. Convém que estas sejam manuseadas exatamente da
mesma maneira que as placas-testemunha de ensaio sem exposição.
d) Movimentar todas as placas-testemunha para as posições de ensaio, de maneira a evitar que as partículas
em suspensão no ar contaminem suas superfícies.
e) Expor as placas-testemunha de ensaio por intervalos de tempo até 48 h, dependendo do tipo de sala limpa,
do modo de operação e do instrumento a ser utilizado para contar as partículas. É recomendado que o tempo
de exposição seja ajustado, se necessário, para obter a sedimentação suficiente da partícula sobre
a superfície
da placa-testemunha, de modo a fornecer dados estatisticamente válidos que satisfaçam os requisitos do
usuário.
f) Coletar e cobrir as placas-testemunha expostas e armazená-las em seus recipientes fechados, de modo que
sejam protegidas de contaminação adicional.
B.11.2.2 Contagem e classificação por tamanho das partículas coletadas
A contagem e classificação por tamanho das partículas coletadas em placas-testemunha são realizadas para
obtenção de dados reprodutíveis que possam ser utilizados para classificar a limpeza da área que está sendo
ensaiada.
Ao utilizar um microscópio óptico, Graticules® calibrados - lineares ou circulares - podem ser utilizados para o
dimensionamento das partículas. Com um microscópio eletrônico, pode-se utilizar a grade calibrada com
espaçamento linear conhecido para relacionar as dimensões da imagem da partícula com o tamanho real. Quando
utilizar um instrumento de varredura de superfície, pode ser utilizada a informação da calibração fornecida pelo
fabricante. Os dados das contagens sobre uma área parcial da placa-testemunha podem ser extrapolados em

relação à área da superfície da placa inteira (contagem estatística). A extrapolação pode ser feita conforme
descrito na Referência [4]:
a) Contar e classificar por tamanho as partículas em todas as placas-testemunha, incluindo as placas de controle.
Contar as partículas na área total de todas as placas-testemunha e classificá-las nas faixas apropriadas de
tamanho de partícula, baseando-se no diâmetro das partículas.
b) Determinar a concentração de partículas sedimentadas na superfície de cada placa-testemunha:
D
N t N b (B.11)
Aw
Onde
D é a concentração de partículas sedimentadas na superfície;
Nt é o número de partículas na superfície total;
Nb é o número de partículas maiores ou iguais ao tamanho mínimo definido, encontradas na superfície

da placa-testemunha após a limpeza, mas antes da exposição ao ambiente da sala limpa;
Aw é a área em centímetros quadrados da placa-testemunha.
c) alcular a média dos valores de “D” para as placas-testemunha de controle.
d) Determinar o aumento real de concentração na superfície, para cada placa-testemunha, calculando

a diferença entre os valores de concentração média das placas-testemunha de ensaio e a concentração
média das placas-testemunha de controle. Dividir a concentração real pelo tempo de exposição das
placas-testemunha do ensaio. Este cálculo indica a taxa de deposição de partículas, expressa pelo número
partículas sedimentadas por cm2, por unidade de tempo.
e) Registrar o valor médio da taxa de deposição de partículas e seu desvio-padrão.

B.11.3 Instrumentos para ensaio de partículas sedimentadas
B.11.3.1 Material da placa-testemunha
Dependendo do tamanho de partícula a ser detectado e dos meios de medição, podem ser utilizados:
a) filtros de membrana micro porosa;
b) fita adesiva dupla face;
c) placas de Petri;
d) placas de Petri contendo um polímero de cor contrastante (preto), tal como resina de poliéster;
e) filme fotográfico (folha);
f) lâminas de microscópio (simples ou revestimento com uma película de metal evaporado);
g) placas espelhadas de vidro ou metal;
h) disco de silício (wafer) virgem;
i) substrato da fotomáscara em vidro.

É recomendado que a rugosidade da superfície da placa-testemunha seja apropriada ao tamanho das partículas
que serão contadas, a fim de assegurar que estas partículas sejam facilmente visíveis. Convém que os meios de
medição empregados sejam capazes de classificar e medir o menor tamanho de partícula a ser contada.
B.11.3.2 Instrumentos adicionais
Vários instrumentos podem ser utilizados para contar e classificar as partículas que tenham sedimentado na
superfície da placa-testemunha. Estes são divididos em quatro categorias gerais, dependendo do tamanho das
partículas de interesse [25] [28]:
a) microscópios ópticos (partículas maiores ou iguais a 2 μm);
b) microscópios eletrônicos (partículas maiores ou iguais a 0,02 μm);
c) scanners de análise de superfície (partículas maiores ou iguais a 0,1 μm);
d) fotômetro de partícula sedimentada (com cobertura de até 1 % da área da superfície).
Ao escolher o instrumento de contagem e classificação de partículas, convém considerar a detecção em função da

faixa de tamanho relevante das partículas. Outros fatores a serem considerados incluem: o tempo requerido para
a coleta e análise da amostra, o tempo requerido para a caracterização do método. É recomendado que o
instrumento usado tenha um certificado de calibração válido.
B.11.4 Relatório de ensaio
dados e as informações a seguir:
a) tipo de ensaios e medições, e condições de medição;
calibração;
B.12 Ensaio de recuperação
B.12.1 Princípio
Este ensaio é executado para determinar a capacidade da instalação para remover partículas suspensas no ar.
A recuperação da classe de limpeza após um evento gerador de partículas é uma das mais importantes
características da instalação. Este ensaio só é importante e recomendado para sistemas de fluxo de ar
não-unidirecional porque o desempenho da instalação na recuperação depende do número de trocas de ar,
da geometria das aberturas de insuflamento e retorno de ar, das condições térmicas e das características
de distribuição de ar na zona limpa, enquanto que em um sistema de fluxo unidirecional o contaminante
é removido pelo fluxo de ar controlado e o tempo de recuperação depende da posição e distância. É recomendado
que este ensaio seja realizado com a instalação no estado ocupacional como construído ou em repouso.
Este ensaio não é recomendado para as salas ISO Classes 8 e 9.
Quando é utilizado um aerossol artificial, convém que a contaminação residual da instalação seja evitada.

B.12.2 Recuperação da classe de limpeza
A recuperação é estimada utilizando o tempo de recuperação 100:1 ou a razão de recuperação da classe de

limpeza. O tempo de recuperação 100:1 é definido como o tempo requerido para diminuir a concentração inicial a
um fator de 0,01 vez e a razão de recuperação da classe de limpeza é definida como a razão entre a mudança da
concentração de partículas pelo tempo. É possível estimar o tempo de recuperação e a razão de recuperação
através da mesma curva de queda de concentração de partículas.
É recomendado que as medições sejam executadas dentro de uma faixa de tempo onde a queda da concentração
de partículas é descrita por uma exponencial simples, indicada por uma linha reta em uma carta mono-logarítmica
(concentração na ordenada em escala logarítmica e os valores de tempo na abscissa, em escala linear).
Além disso, convém que a concentração do ensaio não seja tão alta que possam ocorrer erros coincidentes ou tão
baixa que possa ocorrer incerteza na contagem.
NOTA A avaliação experimental do tempo de recuperação 100:1 é o procedimento de medição preferido.
B.12.3 Procedimento para o ensaio de recuperação
B.12.3.1 Avaliação pelo tempo de recuperação 100:1
A medição direta do tempo de recuperação 100:1 pode ser executada quando é possível atingir uma concentração
inicial de partículas igual a 100 ou mais vezes que o nível da classe de limpeza.
Convém tomar cuidados para evitar erros coincidentes ou potencial contaminação da óptica do contador de
partículas discretas. Antes do ensaio, calcular a concentração requerida para atender o ensaio de tempo de
recuperação 100:1. Se a concentração exceder a capacidade máxima do contador de partículas discretas fazendo
que ocorra coincidência, mesmo utilizando o sistema de diluição, reduzir a concentração para que não ocorra
coincidência ou substitua o ensaio de tempo de recuperação 100:1 pelo ensaio da razão de recuperação
(B.12.3.2).
a) Ajustar o contador de partículas de acordo com as instruções do fabricante e o certificado de calibração do

aparato.
b) Posicionar a sonda do contador de partículas discretas no ponto de ensaio. É recomendado que

a determinação dos pontos de ensaio e o número de medições sejam previamente acordados entre usuário e
fornecedores. Recomenda-se não posicionar a sonda do contador de partículas discretas diretamente abaixo
da saída de ar.
c) Ajustar o volume da amostra unitária com o mesmo valor utilizado para determinar a classe de limpeza.
É recomendado que o retardo entre o início de cada contagem e o seu registro no contador seja ajustado para
menos de 10 s.
d) É recomendado que o tamanho de partículas usado neste ensaio seja menor do que 1 μm e que o canal de
tamanho utilizado pelo contador de partículas discretas corresponda ao número máximo de concentração do
aerossol.
e) Convém que a área limpa a ser examinada seja contaminada com um aerossol enquanto as unidades de
tratamento de ar estão em operação.
f) Aumentar a concentração de partículas inicial a 100 ou mais vezes que o alvo do nível da classe de limpeza.
g) Iniciar as amostragens em intervalos de 1 min. Anotar o tempo quando a concentração de partículas alcançar
100x o nível de concentração limite esperada (t100n).
h) Anotar o tempo quando a concentração de partículas alcançar o nível da classe de limpeza esperada (tn)
i) O tempo de recuperação 100:1 é representado por t0,01 = (tn – t100n).

B.12.3.2 Avaliação pela razão de recuperação
O desempenho de recuperação pode ser determinado pela inclinação da curva de queda de concentração de
partículas na classe de limpeza determinada (ver ABNT NBR ISO 14644-1), como segue:
a) representar graficamente os dados da redução da concentração de partículas em um gráfico de coordenadas

quadradas, com os valores de tempo na abscissa e os valores de concentração na ordenada, em escala
logarítmica;
b) a razão de recuperação da classe de limpeza é obtida através do valor da inclinação da linha.
A razão de recuperação da classe de limpeza entre duas medições sucessivas é calculada através da seguinte
equação:
1 §C ·
n 2,3 u log10 ¨¨ 1 ¸¸ (B.12)
t1 © C0 ¹
onde:
n é a razão de recuperação da classe de limpeza;
t1 é o tempo transcorrido entre a primeira e a segunda medição;
C0 é a concentração inicial;
C1 é a concentração após o tempo t1
= C0 exp(-n t1)
Calcular a média entre cinco a dez valores de razão de recuperação obtidos em uma medição.
A razão de recuperação e o tempo de recuperação 100:1 podem ser relacionados como segue:
1 § 1 · 1 1
n 2,3 u log10 ¨ ¸ 2,3 u ( 2) 4,6 u (B.13)
t 0,01 © 100 ¹ t 0,01 t 0,01
B.12.4 Equipamentos e pontos de medição para o ensaio de recuperação
É recomendado que os equipamentos listados abaixo tenham um certificado de calibração válido.
O número de pontos de medição pode ser determinado por comum acordo entre usuário e fornecedores.
B.12.4.1 Gerador de aerossol e aerossol artificialmente gerado, os quais tenham as mesmas

características que as descritas em B.6
B.12.4.2 Contador de partículas discretas (CPD), que tenha as mesmas características descritas em C.1
e C.6.
B.12.4.3 Sistema de diluição, se necessário, como descrito em C.12.3.

Conforme acordado entre usuário e fornecedores, além do descrito na Seção 5, convém também registrar
os seguintes dados e informações:
a) descrição do tipo de cada instrumento de medição e equipamento utilizado e sua condição de calibração.
b) número e localização dos pontos medidos.
c) estados ocupacionais.
B.13 Ensaio da contenção
B.13.1 Princípio
Este ensaio é executado para determinar se há penetração de ar contaminado nas áreas limpas, proveniente de
áreas adjacentes não controladas, com igual ou diferente pressão estática e verificar se há vazamento no forro
dos sistemas de ambientes pressurizados.
B.13.2 Procedimento de ensaio para detecção de pontos de vazamento do sistema de contenção
B.13.2.1 Método utilizando o contador de partículas discretas (CPD)
Medir a concentração de partículas nas áreas ao redor da sala limpa (ambiente enclausurado) a ser avaliada.
É recomendado que esta concentração seja 103 vezes maior que a concentração da sala limpa e no mínimo
3,5x106 partículas/m3, no tamanho da partícula a ser medida. Se a concentração encontrada for menor, gerar um
aerossol para aumentar esta concentração.
Para verificar vazamento através de juntas de construção, trincas ou condutos de serviço, fazer uma varredura
no interior do ambiente enclausurado, a uma distância não maior que 5 cm das juntas, selos e encaixes
de superfícies, com velocidade de varredura de aproximadamente 5 cm/s.
Para verificar possível entrada de ar por porta aberta, são recomendados os métodos de visualização de fluxo.
Registrar e documentar todas as leituras com concentração maior que 10-2 vezes da concentração de aerossol
medida ao redor da sala limpa no tamanho de partícula apropriada.
NOTA O número e a localização dos pontos para esta medição são determinados por acordo entre o usuário e os
fornecedores.
B.13.2.2 Método utilizando o fotômetro
Produzir um aerossol, fora da sala limpa ou do dispositivo, conforme B.6.2.2, com concentração suficientemente
alta, de modo que o fotômetro exceda o fundo de escala ajustado em 0,1 %.
Uma leitura maior que 0,01 % com o fotômetro ajustado em 0,1 % indica vazamento.
Para verificar vazamento através de juntas de construção, trincas ou frestas, fazer uma varredura no interior do
ambiente enclausurado, a uma distância não maior que 5 cm das juntas, ou superfície de vedação a ser ensaiada,
com velocidade de varredura de aproximadamente 5 cm/s.
Para verificar possível entrada de ar por porta aberta, medir a concentração no interior do ambiente enclausurado
a uma distancia entre 0,3 m e 1 m da porta aberta.
Registrar e emitir relatório de todas as leituras que excedam a 0,01 % da escala do fotômetro.

B.13.3 Equipamentos e instrumentos para ensaio da contenção
É recomendado que os equipamentos e instrumentos a seguir tenham certificado de calibração válido.
B.13.3.1 Fonte de geração artificial de aerossol, conforme descrito em B.6.5.
B.13.3.2 Contador de partículas discretas (CPD), conforme especificado em C.1, ou fotômetro, conforme
especificado em C.6.1, para os quais se recomenda uma capacidade de discriminação de tamanho de partículas
de 0,5 μm ou menor.
dados e as informações a seguir:
a) designação do tipo de cada dispositivo e instrumento de medição utilizados, bem como sua condição de
calibração;
b) técnica de coleta de dados;

Anexo C
(informativo)
Aparato de ensaio
Este anexo descreve o aparato de medição que se indica para utilização nos ensaios recomendados nesta parte
da ABNT NBR ISO 14644.
Neste anexo, os dados fornecidos nas Tabelas C.1 a C.29 indicam os requisitos mínimos necessários para cada
item do aparato. Os itens estão listados e numerados, correspondendo ao Anexo B; por exemplo, o instrumento
numerado C.1 é usado no procedimento de ensaio dado em B.1. É recomendado que os responsáveis pelo
planejamento de ensaios consultem o Anexo C para seleção do aparato de ensaio e consultem o Anexo A para a
verificação dos ensaios recomendados para uma instalação e a seqüência na qual convém que os ensaios sejam
realizados. É recomendado que o aparato de medição seja previamente acordado entre usuário e fornecedores.
Este anexo é informativo e não impede a utilização de aparato aprimorado quando este se tornar disponível.
Aparatos de ensaio alternativos podem ser apropriados e podem ser utilizados se acordado entre usuário
e fornecedores.
C.1 Contador de partículas em suspensão no ar

C.1.1 Contador de partículas discretas por dispersão de luz CPD, instrumento capaz de contar e discriminar
tamanho cada partícula em suspensão no ar e registrar os dados dimensionais em termos de diâmetro óptico
equivalente.
As especificações para o contador de partículas discretas por dispersão de luz são dadas na Tabela C.1.
Tabela C.1 — Especificações do contador de partículas discretas por dispersão de luz

Item Especificação
Sensibilidade / Selecionado entre 0,1 m e 5 m, com resolução 10 % do tamanho
Resoluçãoa
Incerteza da medição r 20 % de erro da concentração para o tamanho selecionado
Intervalo de calibração No máximo 12 meses ou conforme verificação especificada de desempenho
Eficiência da contagem (50 r 20) % no tamanho mínimo e (100 r 10) % para partículas 1,5 vezes o
tamanho mínimo
Faixa de menor A falsa contagem é insignificante se comparada com a contagem mínima esperada
concentração em uma medição real. É recomendado que a contagem mínima seja zero partículas
por um tempo determinado (por exemplo, nenhuma partícula por 5 min)
Faixa de maior Duas vezes maior do que o maior limite da concentração da classe de limpeza da
concentração instalação no ponto de uso, e não maior do que 75 % da concentração máxima
recomendada pelo fabricante
a
Contadores com resolução de tamanho de partículas maior do que 10 % podem produzir resultados de contagem de
partículas que podem variar em até uma ordem de grandeza.

C.2 Contador de partículas ultrafinas

C.2.1 Contador de núcleo de condensação CNC, instrumento que conta todas as gotículas formadas pela
condensação de um vapor supersaturado em volta das partículas (núcleos) amostradas. A concentração das
partículas acumuladas é dada pelas partículas cujo tamanho é maior ou igual ao limite inferior da sensibilidade
do CNC.
As especificações para o contador de partículas de núcleo de condensação são dadas na Tabela C.2.
Tabela C.2 — Especificações para o contador de núcleo de condensação

Limites e faixa de medição Concentrações até 3,5 x 10 /m3
9
Sensibilidade Aplicação específica, por exemplo 0,02 μm

Incerteza da medição ± 20 % do menor tamanho
Estabilidade Pode ser afetada pelo tipo de gás no ambiente
Intervalo de calibração Máximo 12 meses
Faixa de menor concentração A contagem falsa é insignificante em comparação à contagem mínima
realmente esperada
NOTA Para eficiência de contagem, ver Figura B.1.
C.2.2 Contador de partículas discretas (CPD), instrumento para contagem e discriminação por tamanho
de partículas em suspensão no ar, incluindo aquelas definidas como partículas ultrafinas.
As especificações para o CPD são dadas na Tabela C.3.
Tabela C.3 — Especificações para CPD
Limites e faixa de medição Concentrações de partículas até 3,5 x 107/m3

Sensibilidade / resolução Menor do que 0,1 μm com resolução de tamanho 10 %
Incerteza da medição ± 20 % do erro de concentração para o tamanho selecionado
Intervalo de Calibração Máximo 12 meses
Eficiência da contagem (50 r 20) % no tamanho mínimo e (100 r 10) % para partículas 1,5 vez o
tamanho mínimo
NOTA Para eficiência de contagem, ver Figura B.1.
C.2.3 Dispositivo separador de tamanho de partícula, um elemento destinado ao transporte de uma amostra
de ar, acoplado na entrada de ar de um contador de partículas ultrafinas. Remove as partículas menores que a do
tamanho definido. Exemplos deste dispositivo incluem o elemento múltiplo de difusão e o impactador virtual.
As especificações para o dispositivo separador de tamanho de partícula são dadas na Tabela C.4.
Tabela C.4 — Especificações do dispositivo separador de tamanho de partícula

Incerteza da medição Remoção de (50 r10) % de partículas de um tamanho definido
Intervalo de Calibração Varia de acordo com o tipo de dispositivo; geralmente 12 meses
Vazão de amostragem É recomendado que a vazão seja maior ou igual à requerida pelo dispositivo de
contagem e que seja constante, ± 10 %, durante sua passagem pelo dispositivo
separador

C.3 Contagem de macropartículas
C.3.1 Medição microscópica de partículas coletadas no papel de filtro, ver ASTM F312[4]
C.3.2 Impactador de cascata, sistema de coleta de partícula onde a amostra é passada através de uma série
de orifícios de dimensões decrescentes numa vazão constante; os orifícios são direcionados para as superfícies
de coleta. Como a velocidade do fluido aumenta a cada estágio de orifício-coletor, partículas menores são
coletadas para pesagem ou contagem após a coleta.
As especificações do impactador de cascatas são dadas na Tabela C.5.
Tabela C.5 — Especificações para impactador de cascata
Limites de medição/faixa Vazão de amostragem como especificada
Sensibilidade/resolução Partículas submicrométricas podem ser coletadas a baixa pressão
Exatidão Exatidão de “ponto de corte” do estágio é t 90 %
Linearidade Quantidade significativa de deposição de tamanhos maiores e menores
Estabilidade 50 %. Tamanho de corte depende da vazão de amostragem
Tempo de resposta De minutos a dias, dependendo do método de medição de amostra
C.3.3 Contador de macropartícula discreta, instrumento capaz de contar e discriminar tamanho

(quando requerido) cada macropartícula suspensa no ar.
As especificações do contador de macropartícula discreta são dadas na Tabela C.6.

Tabela C.6 — Especificações para contador de macropartícula discreta
Limites de medição/faixa Concentração de partícula até 1,0 x 106/m3
Sensibilidade/resolução De 5 Pm a 80 Pm com 20 % de resolução
Incerteza de medição Erro da dimensão de r 5 % de ajuste da calibração
Linearidade Pode variar com composição ou forma da partícula
Eficiência da contagem (50 r 20) % no tamanho mínimo e (100 r 10) % para partículas 1,5 vez
o tamanho mínimo

C.3.4 Dispositivo de dimensionamento de partícula através do tempo de vôo, dispositivo de contagem e

dimensionamento de partícula discreta que define o diâmetro aerodinâmico das partículas através da medição do
tempo para uma partícula se acomodar a uma mudança de velocidade do ar. Este é normalmente feito medindo
opticamente o tempo de movimentação da partícula após a mudança de velocidade de um fluido.
As especificações do dispositivo de dimensionamento de partícula através do tempo de vôo são dadas na
Tabela C.7.
Tabela C.7 — Especificações para dispositivo de dimensionamento de partícula através do tempo de vôo
Limites de medição/faixa Concentração de partícula até 1,0 x 107/m3
Sensibilidade/resolução De 0,5 Pm a 20 Pm com 10% de resolução
Incerteza de medição r 5 % de ajuste da calibração da dimensão
Eficiência de contagem (50 r 20) % no tamanho mínimo e (100 r 10) % para partículas maiores
ou iguais a 1,5 vez o tamanho mínimo
C.3.5 Impactador de balança piezoelétrica, sistema de coleta de partícula onde amostra é passada através de
uma série de orifícios de dimensões decrescentes numa vazão constante; os orifícios são direcionados para as
superfícies de coleta, nas microbalanças constituídas de sensores de massa piezoelétricos (quartzo), as quais
pesam a partícula coletada em cada estágio durante a coleta.
As especificações para impactador de balança piezoelétrica são dadas na Tabela C.8.
Tabela C.8 — Especificações para impactador de balança piezoelétrica
Sensibilidade/resolução Partículas de 5 Pm a 50 Pm coletadas a baixas pressões
Linearidade Quantidade significativa de deposição de tamanhos maiores e menores
Estabilidade Ponto de corte por estágio pode variar com a vazão

Sensibilidade mínima de coleta 10 Pg/m3 para partículas com gravidade específica 2
C.4 Ensaio de fluxo de ar
C.4.1 Medidor de velocidade do ar
C.4.1.1 Anemômetro de fio quente, mede a velocidade do ar detectando a alteração de transferência de

calor de um pequeno sensor aquecido eletricamente e exposto ao fluxo de ar.
As especificações para o anemômetro de fio quente são dadas na Tabela C.9.
Tabela C.9 — Especificações para anemômetro de fio quente

Limites e faixa de medição Usualmente 0,1 m/s a 1,0 m/s na sala e 0,5 m/s a 20 m/s no duto
Sensibilidade /resolução 0,05 m/s (ou mínimo 1 % do fundo de escala) a
Incerteza da medição ± (5 % da leitura + 0,1 m/s) a
Tempo de resposta < 1 s a 90 % do fundo de escala
a
Para a sensibilidade e a incerteza da medição, ver a ISO 7726. O instrumento necessita de correções para diferença de
temperatura de ar e para variações de pressão atmosférica.

C.4.1.2 Anemômetro de ultra-som, tridimensional ou equivalente, mede a velocidade do ar detectando

a variação de freqüência sonora (ou velocidade acústica) entre pontos separados no fluxo ensaiado.
As especificações para o anemômetro de ultra-som são dadas na Tabela C.10
Tabela C.10 — Especificações para anemômetro de ultra-som, tridimensional ou equivalente
Limites e faixa de medição 0 m/s a 1 m/s em sala
Sensibilidade /resolução 0,01 m/s
Incerteza da medição ± 5 % da leitura
Tempo de resposta <1s
C.4.1.3 Anemômetro de pás, mede a velocidade do ar contando o número de rotações das pás do
anemômetro no fluxo de ar.
As especificações para o anemômetro de pás são dadas na Tabela C.11.
Tabela C.11 — Especificações para anemômetro de pás
Limites e faixa de medição 0,2 m/s a 10 m/s
Incerteza da medição ± 0,2 m/s ou ± 5 % da leitura, o que for maior
Tempo de resposta < 10 s a 90 % do fundo de escala

Intervalo de calibração máximo 12 meses
C.4.1.4 Tubo de Pitot e manômetro (digital), medem a velocidade do ar a partir da diferença entre as
pressões total e estática em uma posição no fluxo de ar, utilizando manômetros digitais eletrônicos.
As especificações para o tubo de Pitot e manômetro são dadas na Tabela C.12.
Tabela C.12 — Especificações para tubo de Pitot e manômetro
Limites e faixa de medição > 1,5 m/s
Tempo de resposta < 10 s a 90% do fundo de escala
Intervalo de calibração máximo 12 meses

C.4.2 Medidor de fluxo de ar
C.4.2.1 Coifa com medidor de fluxo, mede a vazão de ar a partir de uma área na qual pode haver variações
de fluxo de ar, propiciando a integração do volume de ar desta área. O fluxo total de ar é coletado e concentrado
de modo que a velocidade no ponto de medição represente a velocidade média na seção transversal da área total.
As especificações para a coifa com medidor de fluxo são dadas na Tabela C.13.
Tabela C.13 — Especificações para Coifa com medidor de fluxo
Limites e faixa de medição Vazão de 50 m³/h a pelo menos 1 700 m³/h a
Tempo de resposta < 10 s a 90 %
a
Faixa típica para coifa de tamanho 600 x 600 mm. Os limites de medição e a resolução dependem do tamanho da coifa
utilizada.
C.4.2.2 Placa de orifício, ver ISO 5167-2:2003 [20].
C.4.2.3 Tubo Venturi, ver ISO 5167-4:2003 [22].
C.5 Ensaio da diferença de pressão de ar

C.5.1 Micromanômetro eletrônico, utilizado para indicar ou transmitir o valor da diferença de pressão do ar
entre um ambiente e os ambientes adjacentes, detectando a variação da capacitância eletrostática ou da
resistência eletrônica, em função do deslocamento de um diafragma.
As especificações para o micromanômetro eletrônico são dadas na Tabela C.14.
Tabela C.14 — Especificações para micromanômetro eletrônico

Limites e faixas de medição 0 Pa a 100 Pa para uma faixa pequena
0 kPa a 100 kPa para uma faixa grande
Sensibilidade/resolução 1 Pa/0,1 Pa para a faixa de 0 Pa a 100 Pa
Incerteza da medição Para a faixa de 0 Pa a 100 Pa: ± 1,5 % da leitura do fundo de escala
Para a faixa de 0 kPa to 100 kPa: ± 1 % da leitura do fundo de escala
C.5.2 Manômetro de coluna inclinada, utilizado para medir a diferença da pressão de ar entre dois pontos,
através da observação visual da altura de um líquido, tal como água ou álcool, no interior da coluna graduada
inclinada.
As especificações para o manômetro de coluna inclinada são dadas na Tabela C.15.
Tabela C.15 — Especificações para manômetro de coluna inclinada

Limites e faixa de medição 0 kPa a 0,3 kPa ou 0 kPa a 1,5kPa
Sensibilidade/resolução 1 Pa para 0 kPa a 0,3 kPa
Incerteza da medição ± 3 % para 0 kPa a 0,3 kPa
Amplitude de escala 2 (no mínimo) a 10 para 0 kPa a 0,3 kPa

C.5.3 Manômetro mecânico, utilizado para medir a diferença da pressão de ar entre dois ambientes, através da
indicação dada por um ponteiro, devido ao deslocamento de um diafragma conectado a um sistema mecânico ou
magnético.
As especificações para manômetro mecânico são dadas na Tabela C.16.
Tabela C.16 — Especificações para manômetro mecânico

Limites e faixa de medição 0 Pa a 50 Pa para faixa pequena
0 kPa a 50 kPa para faixa grande
Sensibilidade/resolução 0,5 Pa para 0 Pa a 50 Pa
Incerteza da medição Para a faixa de 0 Pa a 50 Pa: ± 5 % da leitura do fundo de escala
Para a faixa de 0 kPa a 50 kPa: ± 2,5 % da leitura do fundo de escala
C.6 Ensaio para detecção de pontos de vazamento para sistema de filtro instalado
C.6.1 Fotômetros de aerossol

C.6.1.1 Fotômetro de aerossol linear, utilizado para medir a concentração em massa de aerossol em
microgramas por litro (Pg/L). O fotômetro utiliza uma câmara óptica de espalhamento frontal de luz para fazer esta
medição. Este instrumento pode ser usado para medir diretamente a penetração do aerossol através do filtro.
As especificações para o fotômetro de aerossol linear são dadas na Tabela C.17.
Tabela C.17 — Especificações para fotômetro de aerossol linear

Limites/ faixa de medição 0,001 Pg/L a 100 Pg/L – 5 décadas lineares completas
Sensibilidade/resolução 0,001 Pg/L
Incerteza de medição r5%
Linearidade r 0,5 %
Estabilidade r 0,002 Pg/L por minuto

Tempo de resposta De 0 % a 90 %, d 30 s; de 100 Pg/L a 10 g/L, d 60 s
Intervalo de calibração 12 meses ou 400 h de operação, o que ocorrer primeiro
Comprimento do tubo da sonda de Comprimento máximo de 4 m
amostragem
Tamanho da partícula 0,1 Pm a 0,6 Pm acima da faixa de medição
Vazão de amostragem Vazão nominal r 15 %
Sonda de amostragem Ver B.6.2.4

C.6.1.2 Fotômetro de aerossol logarítmico, utilizado para medir a concentração em massa do aerossol em
microgramas por litro (Pg/L). O fotômetro utiliza uma câmara óptica de espalhamento frontal de luz para fazer esta
medição. A penetração do aerossol através do filtro não pode ser medida diretamente neste instrumento.
As especificações para o fotômetro de aerossol logarítmico são dadas na Tabela C.18.
Tabela C.18 — Especificações para fotômetro de aerossol logarítmico

Limites/faixa de medição 0,01 Pg/L a 100 Pg/L – em uma faixa
Sensibilidade/resolução 0,001 Pg/L
Incerteza de medição r5%
Estabilidade r 0,002 Pg/L por minuto
Tempo de resposta De 0% a 90%, d 60 s; de 100 Pg/L a 10 g/L, d 90 s
Intervalo de calibração 12 meses ou 400 h de operação, o que ocorrer primeiro
Comprimento do tubo da sonda de Comprimento máximo de 4 m
amostragem
Tamanho da partícula 0,1 Pm a 0,6 Pm acima da faixa de medição
Vazão de amostragem Vazão nominal r 15 %
Sonda de amostragem Ver B.6.2.4
C.6.2 Contador de partículas discretas (CPD), ver C.1.1.
C.6.3 Gerador de aerossol, capaz de gerar material particulado numa faixa apropriada de tamanho
(por exemplo, de 0,05 Pm a 2 Pm) numa concentração constante, o qual pode ser gerado através do método
térmico, hidráulico, pneumático, acústico ou eletrostático.
C.6.4 Substâncias adequadas para geração de aerossol de ensaio, típicas para aerossol de ensaio, líquido
ou sólido, gerado através da nebulização ou atomização na atmosfera:
a) óleo poli-alfa olefina (PAO)1) , 4 cSt (por exemplo, CAS Nº 68649-12-72) );
b) dioctil sebacate (DOS);
c) di-2-etil hexil sebacate (DEHS);
d) dioctil (2-etil hexil) phtalato (DOP3)) (por exemplo, CAS Nº117-81-7);
e) shell Ondina (EL), óleo mineral qualidade alimentício (por exemplo, CAS Nº 8042-47-5);
f) óleo parafina (por exemplo, CAS Nº 64742-46-7);
g) látex poliestireno (PSL)
O aerossol atmosférico pode também ser utilizado desde que a concentração requerida possa ser obtida.
1) [26] [27]
Patentes US 5 059 349 e 5 059 352 descrevem e restringem o uso de PAO para ensaio de filtros.
2) Número de Registro no Chemical Abstract Service; substâncias registradas no Chemical Abstract, publicado pela American
[7]
Chenical Society .
3) Em determinados países, o uso de DOP para ensaio de filtros é desencorajado por motivo de segurança.

C.6.5 Sistema de diluição, dispositivo no qual o aerossol é misturado com o ar limpo, segundo uma razão
volumétrica conhecida (10 a 100) para reduzir a concentração.
C.7 Ensaio e visualização do sentido do fluxo de ar

C.7.1 Instrumentos, materiais e acessórios para ensaio e visualização do sentido do fluxo de ar,
ver Tabelas C.19 e C.20.
Tabela C.19 — Materiais ou partículas utilizadas nos métodos de filamento indicador ou de injeção
de partículas indicadoras
Item Descrição
Materiais utilizados no método de Fio de seda, tecido etc.
filamento indicador
Particulado utilizado no método de Névoa de água deionizada ou de outro fluido, de 0,5 a 50 μm de
injeção de partículas indicadoras diâmetro
Bolhas de densidade neutra, no ar do ambiente em avaliação
Névoa orgânica ou inorgânica para ensaio
Equipamentos de gravação de Diversos equipamentos utilizados nos procedimentos de visualização
imagem para registrar, através de de fluxo, tais como câmeras fotográficas, câmeras de vídeo (incluindo
fotografia ou filme, as partículas as funções de alta velocidade ou estroboscópicas ou sincronizadas) e
indicadoras visualizadas dispositivos de gravação de imagem
NOTA Depois da visualização do fluxo, normalmente é requerido que se limpe a instalação.
Tabela C.20 — Fontes de luz para visualização do fluxo de ar

Item Descrição
Fontes de luz utilizadas para criar um Lâmpada de tungstênio, lâmpada fluorescente, lâmpada halógena,
contraste, possibilitando a observação lâmpada de mercúrio, fontes de laser (He-Ne, íon-argônio, YAG
ou gravação do fluxo de ar lasers etc.) com ou sem dispositivos estroboscópicos ou
sincronizados para gravação
Técnica de processamento de imagem Método do plano de raio laser, consistindo em fontes de laser de
para medição quantitativa através da alta potência (Argônio ou YAG), uma óptica incluindo lente cilíndrica
visualização do fluxo de ar e um controlador, onde são visualizados os fluxos de ar em
duas dimensões
C.7.2 Termoanemômetro, ver C.4.1.1.
C.7.3 Anemômetro ultra-sônico tridimensional, ver C.4.1.2.
C.7.4 Gerador de aerossol
Alguns exemplos de geradores de partículas e nebulizadores ultra-sônicos são dados a seguir. Os geradores de
aerossol citados em C.6.3 podem também ser utilizados com partículas indicadoras para visualização de fluxo.
C.7.4.1 Nebulizador ultra-sônico, usado na geração de aerossóis (névoa), emprega ondas sonoras
concentradas para nebulizar um líquido (por exemplo, água deionizada) em pequenas gotículas.
As especificações para Nebulizador ultra-sônico são dadas na Tabela C.21.
Tabela C.21 — Especificações para Nebulizador ultra-sônico

a
Faixa de tamanhos das gotículas Por exemplo: 6 μm a 9 μm, ou, 30 μm a 70 μm (MMD)
Concentração da suspensão 70 g/cm3 a 150 g/cm3 com uma vazão de solução de 1ml/min a 6 ml/min
a
A faixa de tamanhos depende da freqüência ultra-sônica, por exemplo 1 MHz para faixa de tamanhos de 6 a 9 μm.

C.7.4.2 Gerador de névoa, usado na geração de aerossóis (névoa), utiliza a mudança de fase de vapor para
líquido através do resfriamento do vapor da água deionizada.
As especificações para gerador de névoa são dadas na Tabela C.22.
Tabela C.22 — Especificações para gerador de névoa
Faixa dos tamanhos das
1 μm a 10 μm (MMD)
gotículas
Taxa de geração de partículas 1 g/min a 25 g/min
C.8 Ensaio de temperatura

C.8.1 Termômetro de vidro, ver ISO 7726.
C.8.2 Termômetro, ver ISO 7726.
C.8.3 Dispositivo ôhmico para medição de temperatura, ver ISO 7726.
C.8.4 Termistores, ver ISO 7726.
C.9 Ensaio de umidade

C.9.1 Monitor de umidade capacitivo, ver ISO 7726.
C.9.2 Monitor de umidade de fio de cabelo, ver ISO 7726.
C.9.3 Sensor de ponto de orvalho, ver ISO 7726.

C.9.4 Psicrômetro, ver ISO 7726.
C.10 Ensaios eletrostático e do gerador de íons

C.10.1 Voltímetro eletrostático, mede a tensão média (potencial), em uma pequena área, pela detecção da
intensidade do campo elétrico em um eletrodo dentro de uma ponta de prova, através de uma pequena abertura
nesta ponta de prova.
As especificações para um voltímetro eletrostático são dadas nas Tabelas C.23 e C.24.
Tabela C.23 — Especificações para voltímetro eletrostático de precisão
Limites de medição / Faixa - 3 kV a + 3 kV
Sensibilidade / resolução 0,8 mm de diâmetro de feixe (área), 0,3 V (rms) ou 2 V (p-p)
Incerteza de medição 0,1 %
Tempo de resposta < 4 ms (10 % a 90 %)

Tabela C.24 — Especificação do voltímetro eletrostático manual ou medidor de campo eletrostático
Limites de medição / Faixa ± 10 kV/cm
Incerteza de medição ± 5 % da leitura ou ± 0,01 kV
Tempo de resposta < 2 s para 0 kV a ± 5 kV
C.10.2 Medidor de ohm para resistências altas, mede a resistência de isolação de materiais e componentes,
detectando a corrente de fuga de um dispositivo, no qual é aplicada alta tensão.
As especificações para um medidor de ohm para resistências altas são dadas nas Tabelas C.25.
Tabela C.25 — Especificações para o medidor de ohm para resistências altas
Limite de medição / Faixa: 1 000 a 3 u 109
Incerteza de medição: ± 5 % de cada fundo de escala
Tempo de resposta: 10 ms a 390 ms
Tensão de ensaio CC 0,1 V a 1 000 V
Corrente máxima de entrada: < 10 mA
Corrente máxima de saída: 10 mA mediante aplicação de tensão < 100 V , 5 mA mediante aplicação de
tensão < 250 V, 2 mA mediante aplicação de tensão < 500 V, 1 mA mediante
aplicação de tensão < 1000 V
C.10.3 Analisador de cargas, dispositivo utilizado para medir as propriedades de neutralização de um ionizador
ou de um equipamento de ionização.
As especificações para a placa de monitoramento carregada são dadas na Tabela C.26.
Tabela C.26 — Especificação para placa de monitoramento carregada
Limites de medição / Faixa: - 5 kV a + 5 kV
Incerteza de medição: ± 5 % do fundo de escala
Tempo de resposta: 0,1 s
Intervalo de calibração: Maximo 12 meses
Isolação Auto descarga < 10 % em 5 min e < 200 ions/cm3 ; sob 40 % UR
Capacitância da placa: (20 ± 2) pF
Tamanho da placa: 150 mm u 150 mm
Carregamento Mínimo 1 kV para cada polaridade, corrente limitada

C.11 Ensaio de partículas sedimentadas

C.11.1 Fotômetro de partículas sedimentadas, mede a totalidade da espalhamento de luz das partículas
sedimentadas sobre placas de coleta de vidro escuro e registra estes dados em termos de um fator de
sedimentação, o qual é relacionado com a concentração das partículas sedimentadas que iriam se depositar sobre
as superfícies críticas.
As especificações para o fotômetro de partículas sedimentadas são dadas na Tabela C.27.
Tabela C.27 — Especificações para fotômetro de partículas sedimentadas.
Limites / faixa de medição Até 0,5% por área
Intervalo de Calibração 12 meses no máximo
Materiais de Calibração Partículas fluorescentes de 4 μm e 10 μm
C.11.2 Contador de partículas em superfície, através do espalhamento de luz, conta (e classifica por tamanho)
as partículas discretas depositadas em uma superfície.
As especificações para o contador de partículas em superfície são dadas na Tabela C.28.
Tabela C.28 — Especificações para contador de partículas em superfície.
Limites de medição De 0,1 μm a 5 μm, com resolução d10% do tamanho
C.11.3 Gerador de partículas de LPE (látex de poliestireno), é um nebulizador de ar comprimido que gera
partículas esféricas e monodispersas de LPE, por atomização de suspensões líquidas. Partículas de LPE podem
ser utilizadas para calibrar CPD e amostradores com seleção de tamanhos tais como os impactadores de cascata.
As especificações para o gerador de partículas de LPE são dadas na Tabela C.29.
Tabela C.29 — Especificações para gerador de partículas de LPE
Faixa de tamanho das partículas Tipicamente 0,1 μm a 2 μm
Concentração da suspensão Adequada até 107/cm3
Concentração de geração Aproximadamente 300 partículas/L a 30 000 partículas/L
Pressão do ar para atomização Por exemplo, 177 kPa; 120 L/h
C.12 Ensaio de recuperação

C.12.2 Gerador de aerossol, ver C.6.3.
C.12.3 Sistema de diluição, ver C.6.5.

C.13 Ensaio de contenção

C.13.2 Gerador de aerossol, ver C.6.3.
C.13.3 Sistema de diluição, ver C.6.5.
C.13.4 Fotômetro, ver C.6.1.


Bibliografia
[1] ASME N510-1989, Testing of Nuclear Air Treatment Systems. Fairfield, New Jersey, US: American Society
of Mechanical Engineers
[2] ASTM F24-00, Standard Method for Measuring and Counting Partículate Contamination on Surfaces.
Philadelphia, Pennsylvania, US: American Society for Testing and Materials
[3] ASTM F50-92 (2001) e1, Standard Practice for Continuous Sizing and Counting of Airborne Particles
in Dust-Controlled Areas and Clean Rooms Using Instrument Capable of Detecting Single Sub-micrometre
and Larger Particles. Philadelphia, Pennsylvania, US: American Society for Testing and Materials
[4] ASTM F312-97 (2003), Standard Test Methods for Microscopical Sizing and Counting Particles from
Aerospace Fluids on Membrane Filters. Philadelphia, Pennsylvania, US: American Society for Testing and
Materials
[5] ASTM F328-98 (2003), Standard Practice for Calibration of an Airborne Particle Counter Using
Monodisperse Spherical Particles. Philadelphia, Pennsylvania, US: American Society for Testing and
Materials
[6] ASTM F1471-93 (2001), Standard Test Method for Air Cleaning Performance of a High-Efficiency
Particulate Air-Filter System. Philadelphia, Pennsylvania, US: American Society for Testing and Materials
[7] Chemical Abstracts Service Registry, Columbus, Ohio, US: American Chemical Society
[8] EN 1822-2:1998, High efficiency air filters (HEPA and ULPA) – Part 2: Aerosol production, measuring
equipment, particle counting statistics
[9] EN 1822-4:2000, High efficiency air filters (HEPA and ULPA) — Part 4: Determining leakage of filter
element (scan method)
[10] EN 12599:2000, Ventilation for buildings – Test procedures and measuring methods for handing over
installed ventilation and air conditioning systems
[11] IEST-G-CC1001:1999, Counting Airborne Particles for Classification and Monitoring of Cleanrooms and
Clean Zones. Rolling Meadows, Illinois, US: Institute of Environmental Sciences and Technology
[12] IEST-G-CC1002:1999, Determination of the Concentration of Airborne Ultrafine Particles. Rolling Meadows,
Illinois, US: Institute of Environmental Sciences and Technology
[13] IEST-G-CC1003:1999, Measurements of Airborne Macroparticles. Rolling Meadows, Illinois, US: Institute
of Environmental Sciences and Technology
[14] IEST-RP-CC001.3:1993, HEPA and ULPA Filters. Rolling Meadows, Illinois, US: Institute of Environmental
Sciences and Technology
[15] IEST-RP-CC006.3:2004, Testing Cleanrooms. Rolling Meadows, Illinois, US: Institute of Environmental
[16] IEST-RP-CC007.1:1992, Testing ULPA Filters. Rolling Meadows, Illinois, US: Institute of Environmental
[17] IEST-RP-CC021.1:1993, Testing HEPA and ULPA Filter Media. Rolling Meadows, Illinois, US: Institute of
Environmental Science and Technology

[18] IEST-RP-CC034.2:1999, HEPA and ULPA Filter Media. Rolling Meadows, Illinois, US: Institute
of Environmental Sciences and Technology
[19] ISO 5167-1:2003, Measurement of fluid flow by means of pressure differential devices inserted in
circular cross-section conduits running full – Part 1: General principles and requirements
circular cross-section conduits running full – Part 2: Orifice plates
circular cross-section conduits running full – Part 3: Nozzles and Venturi nozzles
circular cross-section conduits running full – Part 4: Venturi tubes.
[23] JACA No.24:1989, Standardization and Evaluation of Clean Room Facilities. Japan Air Cleaning
Association.
[24] JIS B 9921:1997, Light scattering automatic particle counter. Japanese Industrial Standards Committee.
[25] SEMI E14-93, Measurement of particle contamination contributed to the product from the process or
support tool. San Jose, California, US: SEMI (1997)
[26] US Patent 5,059,349, Method of measuring the efficiency of gas mask filters using monodispersed aerosols
[27] US Patent 5,059,352, Method for the generation of monodispersed aerosols for filter testing
[28] VDI 2083 part 4:1996, Cleanroom technology — Surface cleanliness. Berlin: Beuth Verlag GmbH.

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NTBNET – Licença de uso exclusivo para o Sistema Petrobras

NORMA ABNT NBR

Salas limpas e ambientes controlados

ICS 13.040.35 ISBN 978-85-07-01743-1

© ISO 2005 - © ABNT 2009

ABNT NBR ISO 14644-3:2009

ii © ISO 2005 - © ABNT 2009 - Todos os direitos reservados

ABNT NBR ISO 14644-3:2009

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ABNT NBR ISO 14644-3:2009

 Parte 1: Classificação da limpeza do ar;

 Parte 3: Métodos de ensaio;

 Parte 4: Projeto, construção e partida;

 Parte 7: Dispositivos de separação (isoladores, miniambientes);

 Parte 8: Classificação da contaminação molecular em suspensão.

O Escopo desta Norma Brasileira em inglês é o seguinte:

iv © ISO 2005 - © ABNT 2009 - Todos os direitos reservados

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© ISO 2005 - © ABNT 2009 - Todos os direitos reservados v

NORMA BRASILEIRA ABNT NBR ISO 14644-3:2009

Salas limpas e ambientes controlados associados

[ABNT NBR ISO 14644-1:2005, 2.1.1]

© ISO 2005 - © ABNT 2009 - Todos os direitos reservados 1

ABNT NBR ISO 14644-3:2009

[ABNT NBR ISO 14644-1:2005, 2.1.2]

[ABNT NBR ISO 14644-1:2005, 2.1.3]

3.2 Medição de partículas em suspensão no ar

[ABNT NBR ISO 14644-1:2005, 2.2.6]

2 © ISO 2005 - © ABNT 2009 - Todos os direitos reservados

ABNT NBR ISO 14644-3:2009

[ABNT NBR ISO 14644-1:2005, 2.3.2]

[ABNT NBR ISO 14644-1:2005, 2.2.3]

[ABNT NBR ISO 14644-1:2005, 2.2.2]

[ABNT NBR ISO 14644-1:2005, 2.2.4]

[ABNT NBR ISO 14644-1:2005, 2.3.1]

© ISO 2005 - © ABNT 2009 - Todos os direitos reservados 3

ABNT NBR ISO 14644-3:2009

[ABNT NBR ISO 14644-1:2005, 2.2.5]

3.3 Filtros de ar e sistemas

sistema de filtragem montado no forro, na parede, em equipamentos ou dutos

4 © ISO 2005 - © ABNT 2009 - Todos os direitos reservados

ABNT NBR ISO 14644-3:2009

3.4 Fluxo de ar e outros estados físicos

NOTA Vazão de ar é expressa em metros cúbicos por hora (m³/h).

[ABNT NBR ISO 14644-4:2004, 3.6]

[ABNT NBR ISO 14644-4:2004, 3.11]

3.5 Medições eletrostáticas

© ISO 2005 - © ABNT 2009 - Todos os direitos reservados 5

ABNT NBR ISO 14644-3:2009

3.6 Instrumentos de medição e condições de medição

permitindo assim a coleta de partículas menores que as coletadas na superfície anterior.

6 © ISO 2005 - © ABNT 2009 - Todos os direitos reservados

ABNT NBR ISO 14644-3:2009

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3.7 Estados de ocupação

[ABNT NBR ISO 14664-1: 2005, 2.4.1]

[ABNT NBR ISO 14664-1: 2005, 2.4.2]

[ABNT NBR ISO 14664-1: 2005, 2.4.3]

4.1 Ensaios para sala limpa

4.1.1 Ensaio requerido

Tabela 1 — Ensaio requerido para a instalação

Referência em ABNT NBR ISO 14644-3: 2009

Parte 1: Classificação da limpeza do ar;

Parte 3: Métodos de ensaio;

Parte 4: Projeto, construção e partida;

Parte 7: Dispositivos de separação (isoladores, miniambientes);

Parte 8: Classificação da contaminação molecular em suspensão.