МИНИСТЕРСТВО ОБРАЗОВАНИЯ И НАУКИ

РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ

ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ АВТОНОМНОЕ

ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ
«САМАРСКИЙ НАЦИОНАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ
УНИВЕРСИТЕТ ИМЕНИ АКАДЕМИКА С.П. КОРОЛЕВА»
Факультет электроники и приборостроения
Кафедра наноинженерии

Отчет по лабораторной работе «Косвенные измерения площади поверхностных

дефектов дифракционных оптических элементов»

Выполнил: Коновалов М.А.

группа 6466
Проверил: Меженин А.В.

Самара 2018
 В таблице Б.1 представлена выборка из 30 результатов измерений
размеров осей эллиптического поверхностного дефекта ДОЭ.

Таблица Б.1 – Исходная выборка результатов измерений

n a, мкм b, мкм
1 64,99 29,53
2 65,16 29,20
3 64,51 29,93
4 64,10 29,37
5 63,61 30,10
6 63,20 30,42
7 63,94 29,93
8 63,37 30,26
9 62,15 29,69
10 63,29 29,93
11 65,32 29,37
12 64,67 29,77
13 64,26 29,61
14 63,45 30,50
15 62,55 30,02
16 62,72 29,20
17 62,31 30,67
18 63,61 29,53
19 62,88 28,80
20 63,86 28,39
21 64,75 29,37
22 63,61 28,71
23 64,26 28,80
24 64,02 28,23
25 62,72 28,06
26 63,53 28,47
27 62,55 28,88
28 63,12 27,90
29 63,45 28,63
30 62,72 29,53
Площадь эллиптического дефекта на поверхности ДОЭ определяется
по формуле
𝜋𝑎𝑏
𝐾= ,
4
где 𝑎 – длина большой оси, 𝑏 – длина малой оси. Для обработки результатов
косвенных измерений воспользуемся методикой, приведенной в [7].
1. Проведем обработку результатов прямых измерений величин 𝑎 и 𝑏
согласно алгоритму, приведенному в [11].
1.1 Обработаем результаты прямых измерений 𝑎.
1.1.1 Определим истинное значение 𝑎̅, за которое принимают
среднее арифметическое значение результатов измерений, по
формуле
∑𝑛
𝑖=1 𝑎𝑖
𝑎̅ = ,
𝑛

где 𝑎𝑖 – 𝑖-й результат измерений, 𝑛 – число результатов

измерений. Получаем 𝑎̅=63,623 мкм.
1.1.2 Определим среднее квадратическое отклонение 𝑆𝑎 по
формуле
∑n ̅ )2
i=1(ai −a
Sa = √ ,
n−1

где 𝑎𝑖 – 𝑖-й результат измерения, 𝑎̅ – истинное значение 𝑎.

Получаем 𝑆𝑎 =0,9797 мкм.
1.1.3 Найдем среднее квадратическое отклонение оценки
измеряемой величины 𝑆𝑎̅ по формуле
𝑆𝑎
𝑆𝑎̅ = .
√𝑛

Имеем 𝑆𝑎̅ =0,2531 мкм.

1.1.4 Для проверки принадлежности к нормальному
распределению при числе результатов 15< 𝑛≤50 используем
составной критерий, состоящий из двух критериев. При
несоблюдении хотя бы одного критерия распределение
результатов группы измерений не соответствует нормальному.
Первая часть составного критерия (критерий I).
Вычислим отношение 𝑑̃ из формулы
𝑛
∑ |𝑎 −𝑎̅|
𝑑̃ = 𝑖=1 ∗𝑖 ,
𝑛𝑆
где 𝑆 ∗ – смещенное среднее квадратическое отклонение,
вычисляемое по формуле
2
∑n ̅)
i=1(ai −a
S∗ = √ .
n

Получаем 𝑆 ∗ =0,9466 мкм, 𝑑̃=0,8247 мкм.

Результаты измерений принадлежат нормальному
распределению, так как выполняется условие 𝑑1−𝑞/2 < 𝑑̃ ≤ 𝑑𝑞/2 ,
где 𝑑1−𝑞/2 =0,7404 мкм и 𝑑𝑞/2 =0,8625 мкм – квантили
распределения, получаемые из таблицы Б.1 в [11].
Вторая часть составного критерия (критерий II).
Результаты измерений принадлежат нормальному
распределению, так как не более 𝑚𝑟 =2 разностей (𝑎𝑖 − 𝑎̅)
превысили значение 𝑍𝑃/2 ∙ 𝑆, где 𝑆 – среднее квадратическое
отклонение; 𝑍𝑃/2 – верхний квантиль распределения
нормированной функции Лапласа, отвечающий вероятности 𝑃/2.
Значения вероятности 𝑃 определяют из таблицы Б.2 в [11]
по выбранному уровню значимости 𝑞2 , %, и числу результатов
измерений 𝑛. Зависимость 𝑍𝑃/2 от 𝑃 приведена в таблице Б.3 в
[11]. При 𝑃=0,98 – 𝑍𝑃/2 =2,33.
Так как были соблюдены все критерии, можно считать, что
распределение результатов измерений группы соответствует
нормальному.
1.1.5 Так как группа результатов измерений принадлежит
нормальному распределению, воспользуемся критерием Граббса
для исключения грубых погрешностей. Для этого вычислим
критерии 𝐺1 и 𝐺2 , предполагая, что наибольший 𝑎𝑚𝑎𝑥 или
наименьший 𝑎𝑚𝑖𝑛 результат измерений вызван грубыми
погрешностями:
|𝑎𝑚𝑎𝑥 −𝑎̅| |𝑎̅−𝑎𝑚𝑖𝑛 |
𝐺1 = , 𝐺2 = .
𝑆 𝑆
Получаем 𝐺1 =1,735 мкм, 𝐺2 =1,503 мкм.
Сравнивая 𝐺1 и 𝐺2 с теоретическими значениями 𝐺𝑇
критерия Граббса по таблице критических значений критерия
Граббса, приведенной в приложении А в [11], получаем 𝐺1 < 𝐺𝑇
и 𝐺2 < 𝐺𝑇 . Значит, 𝑎𝑚𝑎𝑥 и 𝑎𝑚𝑖𝑛 не считаем промахами и
сохраняем их в ряду результатов измерений.
1.1.6 Доверительные границы 𝜀 (без учета знака) случайной
погрешности оценки измеряемой величины вычисляем по
формуле
𝜀 = 𝑡𝑆𝑎̅ ,
где 𝑡 – коэффициент нормального распределения. Получаем
𝜀=0,496 мкм.
1.1.7 При расчете доверительных границ неисключенных
систематических погрешностей (НСП) принимаем их численно
равными погрешности средства измерения Θ=0,005 мкм.
1.1.8 Доверительные границы погрешности оценки измеряемой
величины находим путем построения композиции распределений
случайных погрешностей и НСП, определяем их по формуле
∆= 𝐾𝑐 𝑆𝛴 ,
где 𝐾𝑐 – коэффициент, зависящий от соотношения случайной
составляющей погрешности и НСП.
1.1.9 Суммарное среднее квадратическое отклонение 𝑆Σ оценки
измеряемой величины вычисляют по формуле
𝑆𝛴 = √𝑆𝛩2 + 𝑆𝑎2̅ ,
где 𝑆𝛩 – среднее квадратическое отклонение НСП, которое
оценивают в зависимости от способа вычисления НСП. В данном
случае используем формулу
𝛩
𝑆𝛩 = .
√3

Коэффициент 𝐾𝑐 определяем по формуле

 𝜀+𝛩
𝐾𝑐 = .
𝑆𝑎
̅ +𝑆𝛩

Получаем 𝑆𝛩 =0,0029 мкм, 𝑆𝛴 =0,2531 мкм, 𝐾𝑐 =1,957мкм. Тогда

∆=0,4953 мкм.
1.1.10 Запись результата 𝑎̅ ± Δ, 𝑃: 63,623±0,5218мкм, 0,95.
1.2 Обработка результатов прямых измерений 𝑏.
1.2.1 Определим истинное значение 𝑏̅, за которое принимают
среднее арифметическое значение результатов измерений, по
формуле
𝑛
∑ 𝑏
𝑏̅ = 𝑖=1 𝑖 ,
𝑛

где 𝑏𝑖 – 𝑖-й результат измерений, 𝑛 – число результатов

измерений. Получаем 𝑏̅=29.36 мкм.
1.2.2 Определим среднее квадратическое отклонение 𝑆𝑏 по
формуле
n
∑ (b −b) ̅ 2
Sb = √ i=1 i ,
n−1

где 𝑏𝑖 – 𝑖-й результат измерения, 𝑏̅ – истинное значение 𝑏.

Получаем 𝑆𝑏 =0,7233 мкм.
1.2.3 Найдем среднее квадратическое отклонение оценки
измеряемой величины 𝑆𝑏̅ по формуле
Sb
Sb̅ =
√n

Имеем 𝑆𝑏̅ =0,1893мкм.

1.2.4 Для проверки принадлежности к нормальному
распределению при числе результатов 15< 𝑛≤50 используем
составной критерий, состоящий из двух критериев. При
несоблюдении хотя бы одного критерия распределение
результатов группы измерений не соответствует нормальному.
Первая часть составного критерия (критерий I).
Вычислим отношение 𝑑̃ из формулы
 𝑛
∑ |𝑏 −𝑏̅|
𝑑̃ = 𝑖=1 ∗𝑖 ,
𝑛𝑆

где 𝑆 ∗ – смещенное среднее квадратическое отклонение,

вычисляемое по формуле
𝑛
∑ (𝑏 −𝑏 ) ̅ 2
𝑆 = √ 𝑖=1 𝑖
∗
.
𝑛

Получаем 𝑆 ∗ =0,6988мкм, 𝑑̃=0,8586мкм.

Результаты измерений принадлежат нормальному
распределению, так как выполняется условие 𝑑1−1/2 < 𝑑̃ ≤ 𝑑𝑞/2 ,
где 𝑑1−𝑞/2 =0,7404 мкм и 𝑑𝑞/2 =0,8625 мкм – квантили
распределения, получаемые из таблицы Б.1 в [11].
Вторая часть составного критерия (критерий II).
Результаты измерений принадлежат нормальному
распределению, так как не более 𝑚𝑟 =2 разностей (𝑏𝑖 − 𝑏̅)
превысили значение 𝑍𝑃/2 ∙ 𝑆, где 𝑆 – среднее квадратическое
отклонение; 𝑍𝑃/2 – верхний квантиль распределения
нормированной функции Лапласа, отвечающий вероятности 𝑃/2.
Значения вероятности 𝑃 определяют из таблицы Б.2 в [11]
по выбранному уровню значимости 𝑞2 , %, и числу результатов
измерений 𝑛. Зависимость 𝑍𝑃/2 от 𝑃 приведена в таблице Б.3 в
[11]. При 𝑃=0,98 – 𝑍𝑃/2 =2,33.
Так как были соблюдены все критерии, можно считать, что
распределение результатов измерений группы соответствует
нормальному.
1.2.5 Так как группа результатов измерений принадлежит
нормальному распределению, воспользуемся критерием Граббса
для исключения грубых погрешностей. Для этого вычислим
критерии 𝐺1 и 𝐺2 , предполагая, что наибольший 𝑏𝑚𝑎𝑥 или
наименьший 𝑏𝑚𝑖𝑛 результат измерений вызван грубыми
погрешностями:
 |𝑏𝑚𝑎𝑥 −𝑏̅| |𝑏̅−𝑏𝑚𝑖𝑛 |
𝐺1 = , 𝐺2 = .
𝑆 𝑆

Получаем G1 =1,7864 мкм, G2 =1,7728 мкм.

Сравнивая 𝐺1 и 𝐺2 с теоретическими значениями 𝐺𝑇
критерия Граббса по таблице критических значений критерия
Граббса, приведенной в приложении А в [11], получаем 𝐺1 < 𝐺𝑇
и 𝐺2 < 𝐺𝑇 . Значит, 𝑏𝑚𝑎𝑥 и 𝑏𝑚𝑖𝑛 не считаем промахами и
сохраняем их в ряду результатов измерений.
1.2.6 Доверительные границы 𝜀 (без учета знака) случайной
погрешности оценки измеряемой величины вычисляем по
формуле
𝜀 = 𝑡𝑆𝑏̅ ,
где 𝑡 – коэффициент нормального распределения. Получаем
𝜀=0,371 мкм.
1.2.7 При расчете доверительных границ неисключенных
систематических погрешностей принимаем их численно равными
погрешности средства измерения Θ=0,005 мкм.
1.2.8 Доверительные границы погрешности оценки измеряемой
величины находим путем построения композиции распределений
случайных погрешностей и НСП, определяем их по формуле
∆= 𝐾𝑐 𝑆𝛴 ,
где 𝐾𝑐 – коэффициент, зависящий от соотношения случайной
составляющей погрешности и НСП.
1.2.9 Суммарное среднее квадратическое отклонение 𝑆Σ оценки
измеряемой величины вычисляют по формуле

𝑆𝛴 = √𝑆𝛩2 + 𝑆𝑏̅2 ,

где 𝑆Θ – среднее квадратическое отклонение НСП, которое

оценивают в зависимости от способа вычисления НСП. В данном
случае используем формулу
 𝛩
𝑆𝛩 = .
√3

Коэффициент 𝐾𝑐 определяют по формуле

𝜀+𝛩
𝐾𝑐 = .
𝑆𝑏̅ +𝑆𝛩

Получаем 𝑆Θ =0,0029 мкм, 𝑆Σ =0,1893мкм, 𝐾𝑐 =1,9562 мкм. Тогда

∆= 0,3703 мкм.
1.2.10 Запись результата 𝑏̅ ± Δ, 𝑃: 29,36±0,37 мкм, 0,95.
2. Проведем оценку истинного значения измеряемой величины
̅
̅ = 𝜋𝑎̅𝑏.
𝐾
4
̅ = 1466,3575мкм2.
Получаем 𝐾
3. Определим среднюю квадратическую погрешность оценки 𝜎𝐾̅ :
2
𝜕𝐾
𝜎𝐾̅ = √∑𝑗 ( ) 𝑆𝑋2̅𝑗 , 𝑗 = ̅̅̅̅̅̅
1, 𝑚,
𝜕𝑋𝑗
0

где 𝑚=2 – число составляющих случайной погрешности, 𝑋𝑗 – 𝑎 или 𝑏, 𝑆𝑋̅𝑗 –

среднее квадратическое отклонение величин 𝑎̅ или 𝑏̅,

𝜋𝑏 2 𝜋𝑎 2
𝜎𝐾̅ = √( ) 𝑆𝑎2̅ + ( ) 𝑆𝑏̅2 .
4 4

Получаем 𝜎𝐾̅ =0,1109 мкм2.

4. Определим доверительные границы суммарной неисключенной
систематической погрешности
2
𝜕𝐾 2
∆ с (𝑃)
= √∑𝑗 ( ) [∆𝑗𝑐 (𝑃)] , 𝑗 = ̅̅̅̅̅̅
1, 𝑚,
𝜕𝑋𝑗
0

2
где 𝑚=2 – число составляющих систематической погрешности, [∆𝑗𝑐 (𝑃)] =
= Θ2 – квадрат погрешности средства измерения при работе в определенном
режиме,

𝜋𝑏 𝜋𝑎 2 2
∆с (𝑃) = Θ√( ) + ( ) .
4 4

Получаем ∆с (𝑃)=0,275 мкм2.

5. Определим доверительные границы случайной погрешности.
 𝜀(𝑃) = ±𝑡𝑝 𝜎𝐾̅ ,
где 𝑡𝑝 – коэффициент нормального распределения. Имеем 𝜀(𝑃)=299,43 мкм2.
6. Определим границы суммарной погрешности.
𝜃(𝑃) = 𝐺[∆с (𝑃) + 𝜀(𝑃)],
предварительно проведя сравнение по критерию 𝑟 = ∆с (𝑃)/𝜎𝐾̅ .
Если 𝑟<0,8, то принимают ∆с (𝑃)=0, а 𝐺=1.
Если 𝑟>8, то принимают 𝜀(𝑃)=0, а 𝐺=1.
Если 0,8≤𝑟≤8, то учитывают обе составляющие и принимают 𝐺=0,8.
Получаем, 𝑟 =0,0049, что соответствует первому условию. Тогда имеем
𝜃(𝑃)=𝜀(𝑃)=299,43 мкм2.
7. ̅ ± 𝜃(𝑃); 𝑃:
Запишем окончательный результат в форме=𝐾
1466,3575±299,43 мкм2; 0,95.