Вы находитесь на странице: 1из 167

Датчики в автомобиле

Под редакцией Конрада Райфа


издательство

Зарулем

Датчики в автомобиле
Под редакцией Конрада Райфа

Перевод с немецкого

Sensoren im Kraftfahrzeug
Herausgeber Konrad Reif
OK 005-93, т. 2; 953750
УДК 629.113.004.58
ББК 39.35
Д19

Scan & OCR by: http://nnm-club.me

Датчики в автомобиле. Под редакцией Конрада Райфа. Перевод с нем.


Д19 ЧМП РИА «GMM-пресс». - М.: ООО «Издательство «За рулем», 2013. - 168 с.: ил.

ISBN 978-5-903813-37-7

В книге описаны классификация и принципы работы современных автомо­


бильных датчиков. Подробно рассмотрены разные модели датчиков: числа
оборотов, педали акселератора, температуры, расхода воздуха и др. Данная
книга предназначена для специалистов по ремонту и обслуживанию автомо­
билей и учащихся профильных учебных заведений.

Редакция и/или издатель не несут ответственности за несчастные случаи, травматизм и повреждения


техники, произошедшие в результате использования данного издания, а также за изменения, внесен­
ные в конструкцию заводами-изготовителями.
Воспроизведение в любой форме настоящего издания или любой его части запрещается без предвари­
тельного разрешения обладателя авторских прав.

УДК 629.113.004.58
ББК 39.35

© Springer Vieweg I Springer Fachmedien Wiesbaden GmbH 2012


(ранее Vieweg+Teubner Verlag) Springer Fachmedien является
частью Springer Science+Business Media. Все права защищены.

ISBN 978-5-903813-37-7 © ООО «Издательство «За рулем», перевод на русский язык, 2013
Предисловие

Техническое оснащение автомобиля на протяжении последних десятилетий постоянно


совершенствовалось. Специалисты, профессионально занимающиеся этой темой,
должны прикладывать все больше и больше усилий, чтобы идти в ногу со временем.
Между тем, большое значение имеют новые направления в научном и техническом
оснащении автомобиля. Эти темы освещаются в различных публикациях или в Интер­
нете, т.е. теоретически доступны каждому; однако для того, кто хочет заняться данной
темой, объем литературы часто невозможно охватить и прочесть за реальное время.
Сегодня это так же важно, как и раньше: если кто-то хочет принимать участие в разра­
ботке, он должен хорошо разбираться в фундаментальных темах. Эта обязанность лежит
не только на ВУЗах, предлагающих учебные программы, и работодателях, предлагающих
программы повышения квалификации. Быстрое развитие технологий вынуждает прово­
дить самообучение в течение всей жизни.
И в этом будет полезной серия книг «Специализированная информация компании
«Bosch» об автомобилях». Она дает объемное и единое представление важных тем
в области автомобильной техники в компактной, понятной и практически ориенти­
рованной форме. Этого удалось достичь благодаря тому, что тексты были написаны
специалистами, работающими в отделах компании «Bosch», занимающихся разработ­
ками конкретно по данным темам. Серия книг представлена таким образом, что в них
легко ориентироваться даже читателю, который впервые знакомится с данной темой.
Главу можно прочесть за время, которое есть даже у очень занятого сотрудника.
Основу серии составляют пять хорошо зарекомендовавших себя и связанных друг
с другом книг. С их помощью читатель получит широкое представление о соответствую­
щих темах. Практические графические изображения, наглядные и технологично состав­
ленные иллюстрации помогают вникнуть в суть вопроса. При необходимости получения
информации по узкоспециализированной теме, оптимальным выбором будет серия из
восьми брошюр. Объем ее значительно уменьшен, однако, графические изображения
настолько же детальны, а фундаментальные понятия по конкретным вопросам профес­
сионально объяснены.

Friedrichshafen, август 2012 г. Конрад Райф


Список авторов

Dr.-Ing. Erich Zabler, Dipl.-Ing. Christian Gerhardt,


Dr. rer. nat. Stefan Fingbeiner, Dipl.-Ing. Klaus Miekley,
Dr. rer. nat. Wolfgang Welsch, Dipl.-Ing. Roger Frehoff,
Dr. rer. nat. Hartmut Kittel, Dipl.-Ing. Martin Mast,
Dr. rer. nat. Christian Bauer, Dipl.-Ing. (FH) Bernhard Bauer,
Dipl.-Ing. Gunter Noetzel, Dr. Michael Harder,
Dr.-Ing. Harald Emmerich, Dr.-Ing. Klaus Kasten,
Dipl.-Ing. (FH) Gerald Hopf, Dipl.-Ing. Peter Brenner (ZF Lenksysteme
Dr.-Ing. Uwe Konzelmann, GmbH, Schwabisch Gmund),
Dr. rer. nat. Thomas Wahl, Dipl.-Ing. Frank Wolf,
Dr.-Ing. Reinhard Neul, Dr.-Ing. Johann Riegel,
Dr.-Ing. Wolfgang-Michael Mulier, Dr. Michael Arndt,
Dr.-Ing. Claus Bischoff, Dr. rer. nat. Ulrich Schaefer,
Dr. Christian Pfahler, Prof. Dr.-Ing. Klemens Gintner
Dipl.-Ing. Peter Weiberle, (Hochschule Karlsruhe).
Dipl.-Ing. (FH) Ulrich Papert,

Если нет других данных, то речь идет о сотрудниках компании Robert Bosch GmbH,
Штуттгарт.
Содержание

Датчики в автомобиле
Основы и обзор...................................................................................................................................................... 10
Использование в автомобиле............................................................................................................................. 13
Данные о рынке датчиков..................................................................................................................................... 16
Особенности автомобильных датчиков............................................................................................................ 17
Классификация датчиков................................................................................................................................ .... 18
Типы ошибок и требования к допускам............................................................................................................ 20
Надежность.............................................................................................................................................................. 21
Основные требования, тенденции.................................................................................................................... 24
Перечень физических эффектов, имеющих отношение к датчикам............................................................ 31
Обзор и выбор технологий работы датчиков.................................................................................................. 33

Принципы измерения, используемые в датчиках


Датчики положения............................................................................................................................................... 34
Датчики числа оборотов и скорости.................................................................................................................. 63
Акселерометры...................................................................................................................................................... 75
Датчики давления.................................................................................................................................................. 80
Датчики усилия и датчики крутящего момента............................................................................................... 83
Расходомер............................................................................................................................................................ 92
Датчик опасной концентрации вредных веществ в воздухе........................................................................ 98
Датчики измерения температуры...................................................................................................................... 102
Оптоэлектронные датчики................................................................................................................................. 112

Модели датчиков
Датчики частоты вращения двигателя............................................................................................................. 120
Датчики положения распределительного вала (датчики фазы) Холла..................................................... 122
Датчики скорости вращения для управления приводом (коробки передач)........................................... 123
Датчики частоты вращения колеса................................................................................................................... 126
Микромеханические датчики скорости вращения......................................................................................... 130
Пьезоэлектрический камертонный датчик...................................................................................................... 133
Микромеханические датчики давления........................................................................................................... 134
Датчики высокого давления............................................................................................................................... 136
Температурные датчики...................................................................................................................................... 137
Датчики педали акселератора............................................................................................................................ 138
Датчик угла поворота рулевого колеса............................................................................................................ 140
Датчик положения для коробки передач......................................................................................................... 142
Осевые датчики.................................................................................................................................................... 145
Термоанемометрические пленочные расходомеры воздуха...................................................................... 146
Пьезоэлектрические датчики детонации........................................................................................................ 149
ПММ-датчики ускорения...................................................................................................................................... 150
Датчики в автомобиле | Содержание | 9

Микромеханические кремниевые датчики ускорения................................................................................ 152


Пьезоэлектрические датчики ускорения....................................................................................................... 153
Датчики определения наличия пассажира на посадочном месте............................................................ 154
Датчик крутящего момента............................................................................................................................... 156
Ультразвуковой датчик..................................................................................................................................... 157
Датчик дождя / света.......................................................................................................................................... 158
Датчик грязи......................................................................................................................................................... 159
Двухступенчатые кислородные датчики....................................................................................................... 160
Конструкция........................................................................................................................................................ 161
Широкополосный лямбда-зонд LSU4............................................................................................................ 163
Датчик «климат-контроль»............................................................................................................................... 166
Датчики в автомобиле

Термин «датчик» вошел в обиход, когда Основы и обзор


в далеких 20-40-х годах измерительные
зонды (датчики) нашли бытовое приме­ Термин/определение датчик
нение (например, стали использоваться В качестве электрических величин ис­
в автомобильной и бытовой технике). пользуют не только ток и напряжение,
Датчики — синонимичными понятиями но и амплитуды тока и напряжения,
являются (измерительные) зонды частоту, период, фазу или длительность
и (измерительные) чувствительные импульса электрического колебания,
элементы — преобразуют физические а также электрические величины — со­
или химические (в большинстве своем противление, ёмкость и индуктивность.
неэлектрические) величины в элек­ Датчик можно охарактеризовать с по­
трическую величину Е; зачастую это мощью следующих уравнений:
происходит посредством других не-
электрических промежуточных пре­ (1) Е = f(Ф,Y1,Y2...)
вращений. Выходной сигнал датчика
(2) Ф = g(E,Y1,Y2...)
В таблице 1 сгруппированы и сопостав­ Искомый показатель
лены различные сферы применения
датчиков. Рисунок 1 дает представление Если функции f или g известны, то они
о многообразии уже существующих представляют собой модель датчика,
в автомобилях электронных систем, с помощью которой рассчитывается ис­
число которых, несомненно, возрастет комый показатель по величинам выход­
в будущем. ного сигнала Е и параметров влияния Y
Многообразие автомобильных систем с датчиками
Датчики в автомобиле | Основы и обзор | 11

Области применения датчиков

Точность 10-11...10-7 2...5-10-4 2...5-10_3 2...5х10-2

100 тысяч евро... Несколько


Расходы Несколько 100 евро 1...10 евро
1 миллион евро тысяч евро

10 k...10
Кол-во штук отдельные Около 10 100...1 к
миллионов

- Комплект приборов - Автомобильная


Применение -Исследования, - Калибровка
для осуществления электроника,
- Проверка вторич­
работы, - Бытовая тех­
ных эталонов
- Готовая измери­ ника (Domotik)
тельная техника
Таблица 1
практически безошибочно математичес­ дуального экземпляра датчика. При
ким способом («умные» датчики, англ: цифровом сигнале датчика параметры
intelligent или smart sensors). калибровки модели чаще всего сохраняют
в программируемом, энергонезависимом
Регулировка (подгонки) устройстве памяти (PROM).
Модель датчика на практике имеет не­ В отличие от обычной аналоговой компен­
которые свободные параметры, с по­ сации влияющих величин здесь можно
мощью которых можно осуществить успешно корректировать не только ли­
калибровку (рисунок 4а) модели к фак­ нейные воздействия, но и интенсивные
тическим характеристикам индиви­ нелинейные процессы. Большим пре­
Символ датчика
имуществом также является тот факт, что
при таком способе калибровки, которые
осуществляется исключительно посред­
ством электрического соединения, каж­
дый датчик можно откалибровать в про­
цессе его эксплуатации.
Термин «умный» датчик

В достаточно обобщенной формулировке


термин «умные датчики» (Smartsensor)
можно определить следующим образом-,
умные, в некоторых случаях встроенные
датчики, или датчики с индивидуальной
Особой электроникой, которые в месте
использования называются просто датчи­
Основная функция датчика
ками, позволяют максимально использо­
вать скрытую в датчике (статистическую
и динамическую) точность с помощью
средств микроэлектроники, в чем и со­
стоит их отличие от обычных датчиков.
При этом информация, полученная дат­
чиком, особенно сложная информация
структур, состоящих из нескольких датчи­
ков, может сжиматься путем дополнитель­
ной обработки, т. е. отображаться уже на
более высоком уровне (чем позволяет
простой датчик), без необходимости
использования большого числа внеш­
них устройств.
12 | Датчики в автомобиле j Основы и обзор

Не существует четкого правила относи­ Сохранение корректировочных параметров


тельно того, должны ли в датчиках быть На основании ранее полученных данных
интегрированы устройства для обработки центральная ЭВМ рассчитывает характер­
сигнала; однако, рекомендуется, не де­ ные для данного экземпляра модельные
лать различий, например, между элемен­ параметры, например, для линейного ото­
тарным датчиком, сенсорным элементом бражения графических характеристик,
и встроенным датчиком. и сохраняет их в PROM «умного» датчика.
В ходе контрольной обработки эти данные
Процесс коррекции можно сначала эмулировать в RAM цент­
Программирование или калибровка ральной ЭВМ, прежде чем они оконча­
«умного» датчика осуществляется — как тельно будут «встроены в память» «умного»
и корректировка обычных аналоговых датчика. Если графические характери­
датчиков — зачастую с помощью внеш­ стики будут приведены в соответствие
ней ЭВМ (Host) в три этапа (рисунок 4). с полиномами более высокой степени, то,
во избежание затяжных процессов рас­
Воспроизведение фактического значения чета, в «умном» датчике сохраняют также
Центральная ЭВМ систематически ва­ трехмерные графические характеристики
рьирует как показатель хе, так и пара­ (Look-up tables). Хорошо зарекомендовало
метр (-ы) влияния и настраивает при себя сохранение характеристик с круп­
этом определенное количество реле­ ными ячейками в сочетании с простой ли­
вантных и репрезентативных рабочих нейной интерполяцией между опорными
точек. При этом «умный» датчик ото­ точками (пример на рисунке 5).
бражает еще не откорректированные
«чистые сигналы» х/. Посредством суще­ Рабочая фаза
ственно более точных референтных дат­ Теперь «умный» датчик отсоединяют
чиков центральная ЭВМ одновременно от центральной ЭВМ, и он может прак­
получает и «правдивые» величины хе и у. тически без ошибок производить рас­
На основе сопоставления обеих величин четы с помощью сохраненных модель­
центральная ЭВМ рассчитывает необ­ ных данных измеряемой величины хе.
ходимый корректировочный параметр Он передает ее на подключенный блок
и интерполирует его на весь диапазон управления, например, в цифровой
измерений. форме, последовательным двоичным
Регулировка / калибровка «умного» датчика
Датчики в автомобиле i Использование в автомобиле | 13

кодом или в аналоговой форме (напри­ Использование


мер, с помощью импульсной модуляции). в автомобиле
Посредством интерфейса шины измеря­
емая величина может передаваться циф­ С ростом требований, предъявляемых
ровым способом на следующие блоки ко всем функциям автомобиля, за по­
управления. следние 40 лет последовательные, пона­
Этот процесс корректировки можно чалу механически реализованные функ­
повторять, если используется стираемый ции регулировки и управления были
PROM. Уже на этапе разработки датчи­ заменены электронными блоками (ECU,
ков это является преимуществом. electronically controlled unit). Результа­
Интерполирование показателя на трехмерную
том этого явилась высокая потребность
графическую поверхность опорных точек в датчиках и исполнительных элементах
управления, с помощью которых эти
электронные блоки управления с одной
стороны могли бы измерять состояние
транспортного средства, а с другой сто­
роны могли бы влиять на них. Автомобиль­
ная промышленность стала за эти годы
двигателем разработки и производства
огромного числа различных датчиков.
Если вначале они были в основном элек­
тромеханическими или имели макроме-
ханическую форму, то тенденция конца
восьмидесятых годов однозначно стала
Пример: Двухкоординатная графическая
поверхность опорных точек s (Tn, Θm) развиваться в сторону миниатюрных
«умного датчика» для измерения Этапы развития автомобильных датчиков
отрезка S:
Для высокоточной обработки датчика, Кислородные зонды
который действует как переменная ин­
Электромеханический датчик давления
дуктивность, его естественная графи­
ческая характеристика и ее темпера­ Пьезоэлектрический датчик
детонационного сгорания
турный режим приближены полиномам
5-ой степени. Он представляет собой Первый встроенный датчик Холла
элемент, выдающий частоту совершенно Тензорезисторные датчики ускорения
простой генераторной схемы как не­ для подушки безопасности
скорректированный выходной сигнал Первый датчик давления на основе кремния
периода Т. В качестве модели датчика
Термоанемометрический
для отрезка s вместо 36 коэффициен­ проволочный расходомер воздуха
тов полинома и длительной обработки
Толстопленочный расходомер воздуха
полинома учитывается (записывается
в файл) только общая графическая по­ Встроенный датчик давления
верхность, включающая 32 х 64 = 2048 Микромеханический датчик ускорения
характерных параметра sn,m (в PROM) для подушки безопасности
и простой интерполяционный алгоритм Пьезоэлектрический датчик угловой скорости
(в ROM). Если сигнал Т появляется меж­ рыскания автомобиля для ESP
ду опорными точками Тп и Tn+1, а темпе­ Микромеханический расходомер объема воздуха
ратура Θ между опорными точками Θm
Микромеханический датчик угловой скорости
und Θm+1 , то, как показано на рисунке, рыскания автомобиля
интерполирование осуществляется двух­
мерно между «безошибочно» сохранен­ Датчик угловой скорости рыскания автомобиля
для определения параметров обгона
ными нормативными параметрами s1,...s4,
и искомый параметр s (T, Θ) опреде­
ляется как результат интерполяции.
14 | Датчики в автомобиле | Использование в автомобиле

датчиков, изготавливаемых с исполь­ ления, однако он в отличие от кремния


зованием полупроводниковых методов обладает лучшими пьезоэлектрическими
(Batch Processing). свойствами. III-V-полу проводники, такие
Временно несущественную роль в толсто­ как арсенид галлия (GaAs), обладают го­
пленочной технологии играли датчики, раздо более широким диапазоном рабо­
которые брали свое начало из гибридных чей температуры, чем кремний, что могло
технологий. Они и сегодня иногда встре­ бы дать значительные преимущества при
чаются, например, в пластинчатых кисло­ использовании на различных участках
родных зондах и датчиках высокой тем­ в автомобиле. Тонкие механические слои
пературы для измерения в зоне выхлопа. очень хорошо подходят для изготовления
Если температурные датчики и датчики точных резисторов растяжения, точных
магнитного поля сначала создавались температурных датчиков резисторов, за­
как структуры, подобные переключа­ висимых от магнитного поля.
телям, и изготавливались отдельными С помощью кремния удалось интегриро­
партиями, то эта тенденция укрепилась, вать в датчик монолитным способом еще
когда удалось структурировать кремний и электронику. Эта технология—несмотря
различными способами, а также микро­ на немногие исключения (например,
механически в двух и трех измерениях Hall-IC) — утратила свое значение из-за
(координатных осях), и с помощью большого числа и многообразия этапов
очень эффективных методов прочно обработки и связанной с этим негибкос­
и функционально соединить в различ­ ти. Гибридные технологии интеграции
ных положениях. в очень узкое пространство по всем пра­
Поскольку технологии электронного вилам требуют значительно более эко­
полупроводникового переключения ос­ номичных, функциональных и равно­
нованы практически только на кремнии значных решений (рисунки 7).
как основном рабочем материале, во Если разработка датчиков вначале фоку­
всех датчиках все остальные материалы сировалась практически исключительно
и технологии играют незначительную на внутриавтомобильных системах транс­
роль. Так, например, кварц тоже можно миссии, ходовой и кузова, а также безо­
микромеханически сформировать с по­ пасности движения, то направление по­
мощью анизотропной технологии трав­ следних разработок все больше и больше
Гибридная интеграция датчика и электроники: поверхностный микромеханический датчик ускорения
на микрогибридном переключающем контуре
Датчики в автомобиле | Использование в автомобиле |

ориентировано на внешние ближнее Датчики в многоуровневом процессе автомобиля Рисунок 8


и дальнее окружение транспортного 1 Устройство
средства: считывания
измерительного
► ультразвуковые датчики определяют
параметра
препятствия во время парковки и в обо­ 2 Согласующий
зримом будущем позволят, (в сочетании переключатель
3 Формирователь
с другими датчиками) автоматически
4 Исполнительные
парковать автомобиль; элементы
► радар ближнего действия определяет АК Исполнительный
элемент
объекты в зоне вокруг автомобиля, ко­
AZ Индикатор
торые с большой вероятностью могут SA Управляющий
стать причиной ДТП, чтобы выиграть выключатель
SE Датчики
время и настроить системы безопасно­
SG Блок управления
сти до столкновения (Precrash-датчики); Ф Физическая
► датчики изображения могут определить величина
Е Электрическая
не только дорожные знаки, но и пере­
величина
дать их на дисплей водителя, а также Y1 Возмущающее
распознавать контуры дороги, пред­ действие

упреждать водителя об опасности в необходимой стандартизированной


отклонения от дороги и при необхо­ форме (измерительная цепочка, система
димости длительное время позволять учета измерений).
ехать в автоматическом режиме;
в сочетании с инфракрасными лучами Эти согласующие переключающие
и экраном в поле зрения водителя ИК- устройства, скоординированные со
чувствительные датчики изображения специальными датчиками, имеются в на­
позволяют осуществлять наблюдение личии в большом количестве в интегри­
за дорогой ночью и даже в тумане (ноч­ рованной форме. Они представляют со­
ное видение); бой существенное и ценное дополнение
► датчики-радары дальнего действия осу­ к представленным здесь датчикам, без
ществляют наблюдение за дорогой на которого использование датчиков было
расстоянии 150 м перед автомобилем, бы невозможным, а качество измерений
позволяя приспособиться к скорости можно оценить только в сочетании с ним.
автомобилей, движущихся впереди, В изображенном многоэтапном про­
а также длительное время поддер­ цессе «автомобиль» данные датчиков
живать движение в автоматическом других рабочих элементов (элементов
режиме. управления), равно как и водитель,
пользующийся простым управляющим
Датчики и исполнительные элементы выключателем, также могут оказывать
управления образуют в качестве пери­ влияние. Индикаторы сообщают води­
ферии интерфейсы (согласующие устрой­ телю информацию о состоянии и выпол­
ства) между автомобилем с его сложными нении всего процесса.
приводными, тормозными, ходовыми
и кузовными функциями, а также веду­
щими и навигационными функциями
и цифровым электронным блоком управ­
ления в качестве устройства для обра­
ботки данных (рисунок 8). Как правило,
согласующий переключатель выдает
сенсорные сигналы для блока управления
16 | Датчики в автомобиле | Данные о рынке датчиков

Данные о рынке датчиков специальных этапов работ. Они обслу­


живают весь рынок датчиков, вклю­
Доля добавленной стоимости электрики чая автомобильную промышленность,
и электроники в автомобиле составляет и обладают хорошо функционирую­
на сегодняшний день ок. 26 %. Между щей системой продаж. Микромехани­
тем, практически каждый второй датчик ческие процессы по производству дат­
встраивают в автомобиль при ежегод­ чиков постоянно совершенствуются
ном приросте, который определяется в сочетании с полупроводниковыми
все еще двузначным числом. С конца де­ процессами. Однако у этих компаний
вяностых годов все большую долю состав­ нет специфического «ноу-хау» в об­
ляют микромеханические и микросистем- ласти исключительно автомобильного
ные датчики, в 2005 году они составили назначения, технологий контроля
уже треть всего объема. и монтажа.
В отличие от общего рынка датчиков, ► Специализированные, зачастую
в секторе для легковых автомобилей среднемасштабные производители
Европа с долей рынка 41% и компания датчиков, которые не производят по­
«Bosch» как ведущий мировой производи­ лупроводниковые переключающие
тель в настоящее время значительно опе­ устройства, а выбрали в качестве
режают Америку с показателем лишь узкого направления всего несколько
в 34 %. В целом рынок датчиков, исполь­ типов датчиков, чтобы поставлять их
зуемых в автомобилестроении, возрос для всего рынка или даже для отдель­
с 8,88 миллиардов US-$ в 2005 году до ных направлений, таких как, напри­
ок. 11,35 миллиардов U.S-$ в 2010, т.е. на мер, автомобильный рынок.
28 % в целом (рисунок 9). ► Крупные поставщики для автомо­
бильной промышленности и произ­
Существуют три типичные группы фирм, водители систем (например, «Bosch»)
которые производят датчики для авто­ или крупные дочерние предприятия
мобилей. автомобильных производителей,
► Полупроводниковая промышлен­ которые специализируются на по­
ность: здесь появились датчики из требностях и поставках своих дочер­
производства полупроводников бла­ них концернов. Предприятия этого
годаря использованию некоторых сегмента также производят полупро-
вод-никовые и гибридные переклю­
Рынок датчиков для использования
в автомобилестроении чающие схемы с момента введения
электроники в автомобиль, в тесном
сотрудничестве с производителями
полупроводников (разработка про­
цесса, получение лицензии). Здесь
разработано большое количество изо­
бретений (ноу-хау) в области оснаще­
ния автомобиля, технологий контроля
и монтажа, основывающихся на си­
стемных знаниях.

Рисунок 9
Источник: «Bosch»
Датчики в автомобиле | Особенности автомобильных датчиков | 17

Особенности
в наличии нет конкретной технологии,
автомобильных датчиков то постепенно все большее и большее
количество экспертов в области разра­
В то время как датчики в целом разра­ ботки датчиков и технологий включаются
батываются для максимально широкого в процесс предварительной разработки
числа потребителей и в дифференциро­ и исследований. Здесь могут с помощью
ванных областях измерений, когда про­ известных технологий и часто с помощью
изводитель часто и не подозревает об их приглашенных специалистов изготавли­
применении, автомобильные датчики как ваться первые лабораторные образцы,
правило предназначены и оптимизиро­ которые передаются в производствен­
ваны для узкоспециального использова­ ный отдел для первых испытаний.
ния. Они являются частью системы и час­ Если заявленным требованиям не соот­
то не поступают в свободную продажу. ветствуют известные принципы работы
Их разработка осуществляется дольше, датчиков, то проводятся исследования
чем обычных датчиков в большинстве в целях поиска нового процесса и мето­
случаев не только из-за завышенных дов для измерения желаемых величин.
требований. Она в большей степени за­ На этом этапе подключаются специали­
висит от разработки общей системы и за­ сты-теоретики, которые в итоге выдают
нимает по времени столько же, сколько новые технологические образцы. Этот
требуется для разработки всей системы, процесс может повторяться до тех пор,
поскольку на момент завершения созда­ пока не будет найдено перспективное
ния системы спецификация датчиков решение, которое можно будет вопло­
может претерпеть изменения. тить на производстве. Нередко прихо­
дится полностью повторять весь комплекс
Высокое стремление к инновациям авто­ работ по разработке или искать новый
мобильной отрасли очень часто вынуж­ набор измерительных величин.
дает разрабатывать новые технологии
Этапы развития функционального датчика
датчиков или значительно расширять их кампании «Bosch»

существующую спецификацию. Рисунок


10 отображает типичные этапы развития,
которые автомобильные датчики прошли
у производителей автомобильных ком­
плектующих.
Процесс разработки начинается,
естественно, с системной идеи произво­
дителя автомобиля или производителя
комплектующих. Здесь необходимо —еще
независимо от возможности реализации -
выполнить определенное количество
измерений. На этой стадии моделируется
функциональность датчиков также в рам­
ках системного моделирования, обычного
для системных технологий, и составляется
первая спецификация. Если уже существу­
ющая системная технология достаточна,
то новые разработки датчиков передаются
непосредственно специалистам, занимаю­
щимся производственными разработками,
или на производственный участок. Если
18 | Датчики в автомобиле | Классификация датчиков

При разработке совершенно нового Классификация датчиков


датчика выделяют, как при разработке
любого другого электрического изделия, Датчики можно классифицировать по
пять этапов (таблица 2). В то время как трем очень различным друг от друга
прототипы и образцы А получают еще аспектам. С точки зрения использова­
на этапе предварительной разработки, ния в автомобиле их можно разделить
образцы В и С создаются уже в производ­ на следующие категории.
ственной фазе разработки. Если в труд­
ных случая разработки есть потребность Задачи и применение
в рекурсии, легко могут получиться ► функциональные датчики (давле­
несколько фаз создания образцов В или ние, воздушные потоки), преимуще­
С (Bl, В2, Cl, С2). ственно для задач управления и регу­
лировки.
Фазы создания образцов датчиков В до начала
► Датчики для безопасности (защита
серийного производства пассажира: подушка безопасности,
ESP) и защита (защита от угона).
► Датчики контроля за состоянием авто­
мобиля (бортовая диагностика, расход­
ные показатели и параметры износа)
и для информирования водителя и пас­
сажиров.

Тип характеристики
► Постоянные линейные характери­
стики (рисунок 11а) используются
для выполнения задач управления
широким диапазоном измерений.
Линейные характеристики имеют
преимущество в связи с легкостью их
проверки и корректировки.
► Постоянные нелинейные характери­
Таблица 2 стики (рисунок 11b ) часто служат для
Типы характеристик
регулировки измерительной величины
в очень узком диапазоне (например,
регулировка выхлопа по λ = 1, регу­
лировка уровня упругого прогиба).
Интенсивные нелинейные характери­
стики специальной формы (например,
Рисунок 11
логарифмические) обладают преиму­
S Выходной сигнал ществами, если, например, в общем
X Измеряемая диапазоне измерений требуется по­
величина
стоянное допустимое отклонение от
а Постоянная, параметра измерений (например, из­
линейная мерение объема воздуха HFM).
b Постоянная,
нелинейная
► Непостоянные двухуровневые харак­
с Непостоянная, теристики (возможно с гистерезисом,
многоуровневая рисунок11d ) служат для наблюдения
d Непостоянная,
двухуровневая
за предельными параметрами, при
(с гистерезисом) достижении которых их можно легко
Датчики в автомобиле | Классификация датчиков | 19

устранить. Если устранить сложно, ческом обзоре детерминированных,


то можно заранее получить преду­ т.е. не случайных, (стохастических)
преждение за счет многоуровневости сигналов — имеется ли сигнал на вы­
(рисунок 11с). ходе датчика постоянно в наличии
(постоянный) или только в дискрет­
Тип выходного сигнала ные моменты (непостоянный). Если
Различают датчики также по типу их сигнал цифровой и выдается серийно
выходного сигнала (рисунок 13): в форме битов, то он вынужденно
является непостоянным.
Аналоговые сигналы Формы сигнала
► Ток/напряжение, или соответствую­
щая амплитуда.
► Частота/длительность периода.
► Длительность импульса/соотношение
импульсов.

Рисунок 13
Дискретный выходной сигнал
а Выходной
► Двухуровневый (бинарный кодиро­ сигнал U,
ванный). информационные
параметры:
► Многоуровневый неравномерно сту­
частота f
пенчатый (аналоговый кодированный). b Выходной
► Многоуровневый эквивалентный (ана­ сигнал U,
информационные
логовый или цифровой кодированный).
параметры:
► Следует различать далее — как изо­ длительность
бражено на рисунке 12, в системати­ импульса Т р

Ввод детерминированных сигналов по информационным параметрам (ИП) с примерами


20 | Датчики в автомобиле | Типы ошибок и требования к допускам

Типы ошибок Ywahr, она становится относительной


и требования к допускам ошибкой (% от измерительной характе­
ристики, англ.: of reading), относительно
Отклонение (погрешность) фактической конечного параметра измерительного
характеристики от заданной характерис­ диапазона, она становится процентной
тики датчика обозначается как ошибка ошибкой от конечного параметра (% от
F (англ.: error е). Она вынужденно при­ конечного параметра, англ.: of range).
вязывается и указывается во входном Если исходить из желаемой линейной
диапазоне 31 (измерительная величина), характеристики, то абсолютную погреш­
а не в выходном диапазоне х (выходной ность Fabs можно разделить на три кате­
сигнал): гории (рисунок 15).
(3) F = yanz - ywahr ► Смешение нулевой точки (Offset-
yanz - показатель измерительной ошибки) Fnu.
характеристики (отображаемый). ► Погрешность усиления (Gain-ошибка) Fst.
ywahr - «правильный» / идеальный ► Погрешность линейности Flin.
параметр, заданное значение изме­ Причины этих ошибок, прежде всего,
рительной характеристики (опреде­ кроются в:
ляется с помощью чувствительного ► разбросе параметров при создании
элемента, точность которого как графической характеристики,
минимум на 1 класс выше точности Разделение ошибки на сегменты
проверяемого датчика).

Сумма погрешности отображает, как по­


казано на рисунке 14, абсолютную ошибку
Fabs (единицы измерения как у измери­
тельной характеристики). Относительно
(правильного) измерительного параметра
Графические характеристики
и кривая ошибок датчика

Рисунок 14
а Фактическая и за­
данная характери­
стическая кривая
b Кривая ошибки

у Измерительный
параметр
х Выходной сигнал

Δх Измерительный
диапазон
F Ошибка
(Погрешность)
Рисунок 15
а Смещение нуля
b Погрешность шага
с Отклонение от
линейности

у Измерительная
Величина
х Выходной сигнал
Δх Диапазон
измерений
F Ошибка
Датчики в автомобиле | Надежность j 21

► температурном показателе графичес­ Надежность


кой характеристики и разбросе пара­
метров при создании температурной Частота отказов
характеристики. Надежность датчика является чисто ста­
тистической величиной, в каждом случае
При названных отклонениях речь идет характеризуется его частотой отказов λ,
исключительно о системных и детер­ которая рассчитывается в 1/ч, %/ч или
минированных ошибках, которые, в от­ об./ч. При этом X рассчитывается с по­
личие от случайных (стохастических) мощью большого числа частей. Если нет
ошибок, полностью определяемы, желания рассчитывать частоту отказов
предсказуемы и в принципе, подлежат с помощью слишком большого числа N
корректировке, а также в большей или (< 40) датчиков, то ведутся наблюдения
меньшей степени точно исправляются. за отказами данной выборочной партии
К неисправляемым, стохастическим в рабочих условиях до тех пор, пока — по
ошибкам относятся, например: истечении конечного времени — все части
► дрейф (низко- и высокочастотный шум), не выйдут из строя. Наблюдение начинают
► эффекты старения. в момент времени t0 и отмечают показа­
ния до последующего момента времени ti,
В спецификации датчика в техническом еще присутствующий исправный остаток
задании прописывается общая ошибка в качестве В (t), таким образом, для частоты
в нулевом состоянии и после старения отказов λ получают хорошее приближение
с помощью схемы допусков (рисунок 16). в качестве квоты отказов q для:
Однако частично дополнительно специ­
фицируют допустимые доли отдельных Квота отказов
ошибок, таких как погрешность напря­
жения смещения, наклона т линейности.

Согласно строгой науке измерительных tl являются теми моментами времени,


технологий считается, что при системных в которые выходят из строя отдельные
ошибках в качестве общей ошибки сле­ или некоторые детали (рисунок 17). Со­
дует принимать сумму значений отдель­ отношение моментного или начального
ных ошибок (можно суммировать в «worst состояния рассчитывается как относи­
case». При наличии стохастических оши­ тельное состояние BR:
бок статистическое суммирование позво­
ляет рассчитать общую ошибку как корень
из суммы квадратов отдельных ошибок.
Поскольку статистическое сложение дает Схема допусков датчика
в результате меньшую общую ошибку, оно
прежде всего применяется к системати­
ческим ошибкам в менее строгом расчете:

Суммирование
систематических
ошибок
Рисунок 16
Суммирование Схема допусков

стохаистических отображена
на примере
ошибок (статисти­ температурного
ческое сложение) датчика сопротивления
22 | Датчики в автомобиле | Надежность

Этому соответствует при очень большом (включенное состояние) и срок службы


числе частей (N→∞) вероятность сохране­ в контексте чистого времени хранения. Без
ния работоспособного состояния R(t)—для этих дополнительных данных любой пока­
постоянно изменяемого — момента вре­ затель частоты отказов обесценивается!
мени t. Частота отказов рассчитывается Показатели частоты отказов опреде­
при этом для большого числа (на практике ляются чаще всего с помощью метода
N = 2000) датчиков в качестве процент­ замедленной фотосъемки. При этом ко­
ного изменения вероятности сохранения эффициенты убыстрения получают бла­
рабочего состояния R на единицу вре­ годаря тому, что датчики подвергаются
мени dt для: более жестким условиям эксплуатации.
Для использования способа замедленной
Частота отказов фотосъемки, ориентированного на фак­
(англ.: failure rate) тические условия, необходим значитель­
ный опыт.
Под надежностью понимают обратное
значение частоты отказов: Для обозначения надежности датчика
используется термин среднего срока
надежность службы ТМ. Он рассчитывается в случае
(англ.: reliability) выборочной пробы в хорошем при­
ближении из суммы отдельных сроков
Для определения частоты отказов λ не­ службы Тi:
обходим критерий отказа.
► Полный отказ. ИЛИ
► Частичный отказ.
► Внезапный отказ (внезапные
изменения характеристик). Для очень
► Постепенный отказ (постепенное большого коли­
изменение характеристик). чества частей.

В дальнейшем следует обязательно Частота отказов продукта свидетельствует


определить, при каких условиях работы о времени типичного процесса, отображен­
следует понимать определяемую таким ного кривой на рис 18. Вначале частота до­
образом частоту отказов. При этом сле­ статочно высока из-за преждевременных
дует различать, например, в отношении отказов, затем следует длинный, относи­
электрических частей, таких как датчики, тельно невысокий горизонтальный участок
фактическое, активное рабочее время кривой с низкой частотой, и затем в конце
Наличие и относительное состояние Распределение частоты отказов λ(t)
выборочной пробы в течение времени

Рисунок 17
Для выборочной
пробы рассмотрено
N = 20 датчиков;
Средний срок
службы Тм = 4965 ч
Датчики в автомобиле | Надежность | 23

срок службы снова резко возрастают от­ щей среды необходимо заранее преду­
казы (эффекты старения и износа). В дат­ смотреть мощные меры защиты (монтаж,
чиках, которые должны иметь повышен­ пассивирование). Более затратно гаран­
ную надежность, пытаются с самого начала тировать надежность только за счет ис­
максимально снизить высокую интенсив­ пытаний, т.е. путем преждевременного
ность отказов, за счет преждевременного состаривания выявлять случаи прежде­
состаривания — например, в результате временного выхода из строя.
хранения при повышенной температуре В сложных установках целесообразно
(«burn in») — отсортировываются датчики, предусматривать для датчиков наличие
преждевременно выходящие из строя. контрольных и диагностических проце­
Преждевременный выход из строя — это дур (например, проверка уровня сигнала
не что иное, как не распознанный произ­ (Signal range check)), чтобы можно было
водственный дефект. заблаговременно выявлять случаи отка­
В таблице 3 приведены некоторые при­ зов в работе. При необходимости функ­
меры допустимой частоты отказов в авто­ цию датчика здесь можно временно
мобиле λ. Указанные параметры об/мин заменить другими измерительными ве­
касаются промежутка времени, равного личинами или целесообразными посто­
10 годам, либо пробегу в 150 ООО км, если янными величинами (режим аварийной
он достигнут за меньший отрезок времени. работы, back up). Можно предусмотреть
Если здесь указаны датчики с обобщен­ наличие аварийного режима работы без
ным параметром < 10 об/мин, то это озна­ датчиков, чисто механическое. Если, на­
чает, что за 10 лет из 1 миллиона датчиков пример, в дизельном автомобиле выхо­
могут выйти из строя менее 10 штук. Для дит из строя педаль газа, то автомобиль
датчиков систем защиты пассажиров этот можно медленно вести до СТО только
параметр должен быть еще ниже. с помощью частоты вращения при холо­
стом ходе (limp home).
Меры для повышения надежности Если надежность можно гарантировать
Лучший способ для обеспечения высокого почти стопроцентно (например, для дат­
качества —конструирование и концеп­ чиков электронной тормозной и рулевой
туальное формирование надежности. систем), то обычно предусматриваются
Это означает, что еще в момент проекти­ дублирующие средства, т.е. наличие не­
рования датчика следует выбирать мате­ скольких дублирующих единиц. При
риалы, зарекомендовавшие себя как на­ этом двойное дублирование одного и того
дежные и износостойкие, а в отношении же датчика обеспечивает только вы­
ожидаемых механических, химических явление выхода из строя при наличии
и электрический воздействий окружаю­ различных индикаторов, в то время как
Требования к надежности в автомобильных системах
тройное дублирование уже благодаря
2 из 3 определенных значений выдает
еще одну правильную измеряемую ве­
личину. Однако тут нужно следить за
тем, чтобы было предусмотрено не только
дублирование датчика, но и дублирование
других важных элементов, таких как элек­
троснабжение, оценка сигнала и средства
передачи, поскольку в противном случае
увеличивается вероятность одновремен­
ного выхода из строя. Часто имеет смысл
изготавливать дублирующие датчики, ис­
пользуя другую технологию. Таблица 3
24 | Датчики в автомобиле | Основные требования, тенденции

Основные требования, каждом этапе одновременно произво­


тенденции дится все большее число датчиков. В ка­
честве примера возьмем изготовление
Датчики для автомобильных систем, полупроводниковых датчиков в режиме
предназначенные специально для ис­ пакетной обработки, при котором одно­
пользования в электронных системах — временно изготавливается, как правило,
в отличие от обычных универсальных 100...1000 датчиков на одной кремниевой
датчиков — должны отвечать пяти чет­ пластине. Такие автоматы оправдывают
ким требованиям (рисунок 19), которые себя только при производстве больших
выполняются при правильной разра­ объемов, которые превышают потреб­
ботке и обусловлены важнейшими тен­ ности одного отдельного поставщика
денциями в процессах разработки. и стандартно составляют ок. 1...10 мил­
лионов штук в год. Высокий спрос авто­
Низкая себестоимость изготовления мобильной промышленности сыграл
Электронные системы в современных в данном случае беспрецедентную роль
автомобилях включают в себя 150 дат­ и установил новые рамки.
чиков. Такое количество вынуждает
к радикальному снижению затрат в срав­ Высокая надежность
нении с другими областями применения. В соответствии с вашими задачами ав­
Целевые затраты здесь составляют стан­ томобильные датчики можно распреде­
дартно от 1...30 €, чаще меньше сотой лить на три класса надежности:
части обычных датчиков такой же мощ­ ► механизм управления, тормоза,
ности. Естественно, затраты уже при вве­ безопасность пассажиров;
дении новой технологии — часто начиная ► двигатель/трансмиссия, ходовая/
с более высокого уровня — движутся по шины;
нисходящей кривой. ► комфорт, диагностика, информация,
защита от угона.
Тенденция развития
Все больше и больше в обиход входят Требования высшего класса соответ­
автоматизированные процессы изготов­ ствуют при этом высоким параметрам
ления (рисунок 20), которые работают надежности, известным нам из само­
с высокой отдачей. Это означает, что на лето- и ракетостроения. Они требуют
Основные требования, предъявляемые Взаимосвязь затрат, рынков,
к автомобильным датчикам технологий
Датчики в автомобиле | Основные требования, тенденции | 25

применения отчасти таких же мер, напри­ Сложные условия эксплуатации


мер, использования лучших материалов, Автомобильные датчики, в связи с их
дублирования деталей, самоконтроля, местом установки, подвергаются экстре­
кратковременной резервной подачи мальным нагрузкам как никакое другое
электроснабжения, многократного про­ устройство и вынуждены выдерживать
граммирования критических решающих разнообразные воздействия:
алгоритмов. ► механические (вибрация, толчки);
► климатические (температура,
Тенденции развития влажность);
Надежность обеспечивается также кон­ ► химические (например, вода, солевой
струкционно, т.е. за счет использования туман, топливо, моторное мало,
надежных компонентов и материалов, кислота из батареи;
а также надежной и проверенной техно­ ► электромагнитные (облучение,
логией. Кроме того, следует стремиться импульсы помех, избыточное
к последовательной интеграции систем напряжение, неправильная
во избежание наличия соединений, полярность).
способных быстро выйти из строя. Это
можно воплотить, например, в датчиках, Тенденция устанавливать датчики непо­
запрашивающих радиосигнал, на основе средственно на заводе в местах измерений
соединенных с антенной SAW-элементов привела к значительному ужесточению
(Surface Acoustic Wave, поверхностные требований. Рисунок 21 отображает эту
волны), которые могут обходиться во­ проблему на примере датчика, который
обще без кабеля. При необходимости мог бы быть датчиком для измерения, на­
можно использовать дублирующие пример, температуры, числа оборотов,
системы датчиков. расхода или концентрации. Не всегда
датчик должен быть заключен в герме­
тический корпус. Хотя для измерения
температуры, расхода и концентрации
этот корпус может быть грубой защитой,
однако он должен обеспечивать контакт
датчика с наиболее агрессивными изме­
рительными средами (исключениями
являются инерционные датчики). Иногда
Технологии изготовления датчиков
допускается использование тонких, но
очень прочных пассивировочных покры­
Внешний параметр тий датчика. Рисунок 21
Форма вставляемого датчика должна 1 Датчик
2 Защитный
обеспечивать длительное плотное кре­
колпачок (корпус)
пление держателя в соответствующих 3 Уплотнение
стенках (внутренний монтаж, наружный 4 Держатель
5 Уплотнение,
монтаж). Соединение с электронным
крепление
блоком управления можно выполнять 6 Опора
посредством жесткого штекера или — 7 Уплотнение,
уменьшение
как изображено — с помощью штекера,
растягивающего
прикрепленного к гибкому концу кабеля усилия
(например, датчик числа оборотов ABS). 8 Изоляция (гибкая)
9 Замыкание
Здесь также существуют критические
контактов
электрические места соединений, кото­ 10 Корпус штекера
рые должны обязательно иметь защиту 11 Контакт штекера
26 [ Датчики в автомобиле | Основные требования, тенденции

от попадания влаги и коррозии: внутрен­ измерительные величины, считаются наи­


нее подключение чувствительного эле­ более устойчивыми к электромагнитным
мента, соединение конца кабеля и, нако­ помехам. Это правило действует до того
нец, соединение экранированного кабеля момента, пока оптические сигналы опять
с наружным креплением датчика. При не будут преобразованы в электричес­
наличии недостаточного уплотнения тот кие. Если эти датчики в будущем войдут
факт, что вызывающая коррозию влага в обиход, то в разработках по созданию
снаружи штекера проникнет во внутрен­ экономичных измерительных элементов
нюю часть соединения датчика, останется и сопроводительного технического обес­
лишь вопросом времени. печения должен быть сделан следующий
Кабельное соединение само по себе шаг. В этой связи существуют очень ин­
также должно быть настолько герметич­ тересные разработки в области измере­
ным, чтобы на выходе датчика не обра­ ния силы, например, в целях реализации
зовывались никакие ответвления. Кабель защиты от травм в электрических стекло­
должен сохранять свою гибкость и герме­ подъемниках и раздвижных крышах
тичность при длительной эксплуатации (рисунок 22). Датчики этого типа с боль­
в различных условиях. шим успехом прошли испытания как
Разъемные штекерные соединения рано срабатывающие датчики, имею­
в автомобиле до сих пор являются наибо­ щие распределенное воздействие, уста­
лее частой причиной поломок. Беспровод­ навливаемые в дверях и фронтальной
ные сигнальные соединения (например, зоне автомобиля и используемые для
инфракрасный свет или радиосигнал) приведения в действие систем защиты
могли бы устранить эту проблему, если пассажиров и пешеходов.
бы датчики теоретически могли бы иметь
Эффект микроизгиба
беспроводное энергоснабжение (автокра­
тические датчики). Эффект микроизгиба
Затраты на это сопутствующее датчи­ F=О F> О
кам техническое обеспечение часто пре­ Амортизация ≈ О Амортизация > О
вышают собственную стоимость чувстви­
тельного элемента датчика в несколько
раз.

Тенденция развития: Дверная рама


Меры защиты от названных нагрузок Датчик
и повреждений требуют большого числа
Уплотнительная
«ноу-хау» в технологии монтажа датчиков: резина
► технология пассивации и соединения;
► технология герметизации и стыковки;
► методы защиты электромагнитной Пример разработки волоконно-оптиче­
совместимости; ского устройства защиты от травм две­
► монтаж с минимизацией колебаний; рями в стеклоподъемниках на основе
► методы тестирования срока службы эффекта микроизгиба: за счет волно­
и моделирования; образного изгиба при применении силы
F поперечно волокну пропорционально
► использование резистентных материа­
ослабляется протекающий поток света
лов и пр.
(большой измерительный эффект), не­
зависимо от того, где прилагается сила
Волоконно-оптические датчики, в кото­ и воздействует ли она точечно или рас­
рых свет, проводимый по оптическим пределена (распределенные датчики).
волокнам (стекло, пластик), влияет на
Датчики в автомобиле | Основные требования, тенденции j 27

Маленькие конструкции пользовании методов микромеханики


Постоянно растущее число электрон­ (рис. 24). Здесь стоит упомянуть только са­
ных систем в автомобиле с одной стороны мый известный и важный метод, а именно,
и все более компактная форма автомобиля анизотропное травление кремния. Он
с другой стороны при одновременном со­ является самым важным, поскольку крем­
хранении комфорта в салоне для пассажи­ ний можно превосходно производить
ров вынуждают создавать исключительно в больших количествах и без высоких
маленькие конструкции. затрат, кроме того, он является наиболее
исследованным и известным материалом.
Тенденция развития Кроме того, существует возможность
► Пленочные и гибридные технологии монолитной интеграции датчика и изме­
(сопротивление, зависимое от рас­ рительной электроники. В зависимости
тяжения, температуры, магнитного от оси кристалла используют весьма раз­
поля); нанотехнология. личные скорости протравливания (1:100),
► Полупроводниковые технологии (зву­ при которых используют подходящие
ковые и температурные датчики). жидкости для травления, например КОН
► Поверхностная и объемно-канальная (рис. 25); таким образом, некоторые по­
микромеханика (датчики давления, уско­ верхности кристаллов остаются прак­
рения и числа оборотов из кремния). тически неповрежденными, тогда как
► Микросистемная технология (комби­ другие глубоко протравливаются.
нация двух и более микротехнологий, В сочетании с процессом поперемен­
например, микроэлектроники микро­ ного протравливания (легирование, пре­
механики, рисунок 23). дохранительный слой) можно создать
почти трехмерные изображения наимень­
Микромеханический способ изготовле­ ших размеров с высочайшей точностью
ния означает с одной стороны размеры (рис. 26, 27). Проблему одновременной
в диапазоне мкм и допуски в диапазоне интеграции включения можно рассмат­
долей мкм, которые недостижимы при ривать как практически решенную,
использовании обычных методов обра­ если в настоящее время на основании
ботки. С другой стороны, такие датчики получения лучшего выхода и более
относятся к микромеханическим, если высокой гибкости для большинства
их размеры находятся в миллиметровом датчиков соответствующая схема еще
диапазоне, но они изготовлены при ис­ будет представлена отдельно.
Микросистемная технология Микромеханика и механические структуры
28 | Датчики в автомобиле | Основные требования, тенденции

В отличие от объемной микромеханики


Структура теста для определения скорости травления
в экспонировании отдельного кристалла кремния анизотропное, часто глубокое полупро­
водниковое травление не играет никакой
роли в поверхностной микромеханике
(ОММ). Структуры датчиков поверхност­
ной микромеханики зачастую форми­
руются дополнительно на поверхности
кремниевого субстрата (рисунки 28 и 29).
Если размеры объемных кремниевых
датчиков находятся в миллиметровом
диапазоне, то размеры структур поверх­
ностной микромеханики как правило
значительно меньше (обычно 100 мкм).

Детали, от которых невозможно отка­


Анизотропное травление (100) кремния
заться из механических соображений,
одновременно используются в разных
вариантах для установки в корпус или
охлаждения соответствующих датчиков,
либо для электроники (например, микро-
гибридный прибор управления в качестве
дополнительного элемента управления,
устанавливаемого на дизельном распреде­
лительном насосе VP44). Это совмещение
механических и электронных компо­
нентов, обозначенное как мехатроника,
все чаще используется в целях эконо­
мии затрат и места, так что в обозримом
будущем она станет практически неза­
Рисунок 26
менимой.
а Вид сверху
b Поперечное Другой пример мехатронной системы —
сечение при АА' датчики числа оборотов на звуковой
Испытания трехмерной формы кремния

Рисунок 27
ИСТОЧНИК:
Проф. Хойбергер,
FhG Берлин
Датчики в автомобиле | Основные требования, тенденции | 29

основе (по принципу Холла), встроенные Высокая точность


в колесный подшипник. Здесь обязатель­ Требования к точности более скромные,
ное радиальное уплотнение подшипника чем у чувствительных элементов (ресиве­
за счет добавления магнитного порошка ров), за редкими исключениями (напри­
даже берет на себя функцию ротора или мер, датчик объема воздуха). Допустимые
индуктора. Датчик выигрывает за счет погрешности составляют в общем >1%
прекрасной защиты и установки в кап­ конечного значения измерительной обла­
сулу, а также благодаря высокой точности сти — особенно, если принимать во внима­
подшипника качения и уже не нуждается ние неизбежные воздействия старения.
в зажимных магнитах. Кроме того зву­ Этого можно добиться с помощью тех­
ковая технология (технология Холла) по­ нологии регулировки датчиков при уста­
зволяет осуществлять установку в очень новке и эффективных мер компенсации
узкие пространства подшипника. воздействия помех. Все более претенци­
озные и сложные системы способствуют
возникновению более высоких запросов
в этой области, а именно, после того, как
выше перечисленные требования в основ­
Поверхностно микромеханический датчик
ном будут выполнены.
давления с пьезорезистивным отводом

Тенденция развития
Сначала в этой связи в большой степени
поможет уменьшение допусков при изго­
товлении, а также усовершенствование
технологий регулировки и компенсации.
Существенный шаг вперед осуществля­
ется за счет гибридной и монолитной
интеграции сенсорной и сигнальной тех­
нологии в точке проведения измерений,
вплоть до создания сложных цифровых
Рисунок 28
схем, таких как AD-преобразователи
Источник: Проф. Гакл,
и микрокомпьютеры (рис. 30). Университет Мичигана
Такие системы, обозначенные как в Мэдисоне, США

«умные датчики», полностью используют


Поверхностно микромеханический датчик
ускорения с емкостным отводом точность, заложенную в датчике, и пре­
доставляют следующие возможности:
► снятие нагрузки (компенсация) блока
управления;
► единый, гибкий и подключаемый
к шине интерфейс;
► многократное использование датчиков;
► использование меньших измери­
тельных эффектов, а также высоко­
частотных измерительных эффектов
(усиление и демодуляция по месту
использования);
► корректировка погрешностей дат­
чика в точке проведения измерений,
а также общая регулировка и ком­
пенсация датчика и электроники,
30 | Датчики в автомобиле | Основные требования, тенденции

упрощенная и усовершенствованная намические характеристики датчиков


за счет сохранения индивидуальных (обработка дифференциального урав­
корректировочных данных в PROM. нения, описывающего динамический
процесс).
При одновременном определении значе­
ния и оцифровке величин помех умные Электроника нуждается также в струк­
датчики могут практически без оши­ турах, состоящих из набора датчиков,
бок рассчитывать искомую величину, в состав которых могут входить как не­
используя математическую модель сколько одинаковых, так и различных
датчика (рис. 31). Для этой цели в ходе датчиков, это используется для обработки
предварительной регулировки опре­ различных состояний. В этой связи в пер­
деляются индивидуальные параметры вую очередь следует упомянуть форми­
конкретной модели, которые сохраня­ рователи видеосигналов, которые в буду­
ются в PROM, интегрированном в датчик. щем будут играть большую роль в анализе
Таким же способом можно значительно ситуации внутри и за пределами транс­
улучшить не только статические, но и ди­ портного средства.
Уровни интеграции датчика

Датчик(и) Передаваемый параметр Блок управления

Без электроники

Рисунок 30
SE Датчики 1. Уровень интеграции
SA Подготовка
сигнала
А/D Преобразователь
2. Уровень интеграции
сигнала из
аналогового
в цифровой
SG Блок управления 3. Уровень интеграции
МС Микроконтроллер
BS Магистральный
интерфейс

Модель корректировки умного датчика


Датчики в автомобиле | Перечень физических эффектов, имеющих отношение к датчикам | 31

Благодаря большому числу встроенных


Перечень физических
датчиков давления в очень узком простран­ эффектов, имеющих
стве, можно не только повысить надеж­ отношение к датчикам
ность полученного результата измерения,
но и снизить нерегулируемое отклонение Систематика датчиков должна состав­
старения за счет создания среднего зна­ ляться не в зависимости от измерительных
чения. Отдельные случаи выхода из строя эффектов, а в зависимости от измеритель­
(выпадающие значения) можно определить ных показателей. Поэтому следует воспро­
и элиминировать. Такие датчики называют изводить только важнейшие физические
также «Soft-датчики». Если различные из­ эффекты, используемые в измерительных
мерительные ячейки — при одновремен­ целях, или принципы выполнения из­
ной высокой способности выдерживать мерений, обзор которых приведен здесь
перегрузки (например, обусловленные в общем виде, но не полностью. Невоз­
производственными мощностями)—рас­ можно избежать пересечения различных
считаны на использование в различных категорий. В основном названы только
измерительных диапазонах, то с помощью собственно электрические эффекты,
такого датчика диапазон высокоточных сюда не включены механические или
измерений будет значительно шире. жидкостные входные каскады, например,
Структуры датчиков такого типа разра­ пружины растяжения (сила), мембраны
ботаны и протестированы уже много лет (давление), системы рессоры-масса (уско­
назад, но не используются как массовый рение), колебательные системы (камер­
рыночный продукт. тоны) или также стационарные и враща­
ющиеся турбинные лопатки (расход).
Физические эффекты для датчиков

Физический эффект Пример Состояние:


серия1/
разработка2
Резистивные эффекты (зависимость
электрического сопротивления):
Зависимость температуры от металлических NTC- и тонкослойные сопротивления для S
и полупроводниковых материалов измерения температуры двигателя
Пропорциональность длин или углов Датчик педали газа и дроссельного клапана, S
в зависимости от сопротивления (потенциометры) уровень топлива

(в панели) зависимость от растяжения и давления Датчики высокого давления (например, S


(пьезорезистивная): сопротивление растяжению Common-Rail, ABS): металлическая мембрана
Вертикальная зависимость от давления (вне панели) Датчик низкого давления (Si-мембрана), S
Зависимость от магнитного поля Топливный датчик Е
(магниторезистивный): Полупроводник Измерение числа оборотов или угла подачи S/E
(магниторезистор), AMR3) тонкие металлические в дизельных распределительных насосах Таблица 4
слои (например, NiFe), GMR4 -датчики (нанослои) 1 Серийно, у RB
или конкурентов,
Зависимость от света: полупроводниковые Датчик дождя, датчик загрязнения для S
фотосопроти влен ия очищения фар, автоматическое включение возможно уже
света фар, автоматический ближний свет сняты с произ­

Индуктивные эффекты (эффекты индукционного закона) водства


2 Ведется
Датчики индукционного напряжения Число оборотов колеса, кулачкового вала, числа S
разработка, либо
Движение в магнитном поле оборотов двигателя, высота подъема иглы
уже завершена,
(форсунка)
либо производство
Эффект Виганд Число оборотов Е
для склада
Вариации индуктивности за счет изменения Датчик с втяжным якорем Е
3 AMR =
положения ферромагнитного сердечника катушки
Анизотропные
Вариация индуктивности благодаря индукторам, Полудифференциальный короткозамкнутый коль­ S Магнитно
ограничивающий магнитное поле (вихревой ток) цевой датчик (датчик нагрузки дизельных насосов)
Резистивные
Вариация трансформаторной степени соедине­ Короткозамкнутый кольцевой датчик с полным Е 4 GMR = Мощные
ния (благодаря электрическим или магнитным дифференциалом Магнитно-
индукторам) Резистивные
32 | Датчики в автомобиле | Основные требования, тенденции

Физический эффект Пример Состояние:


серия1/
разработка2
Вариация индуктивности или вариация транс­ Болт, несущий нагрузку (Hitchtronik), S
форматорной степени соединения с помощью Тормозная сила Е
магнитоэластичного проводника
Стержневые зонды насыщения (например, Компасный датчик S
зонды Фоерстера).
Емкостный эффект (электростатическая индукция)

Изменение емкости за счет изменения рас­ Микромеханические датчики ускорения, на­ S


стояния между пластинами и коэффициента пример для Airbag, ESP, S
перекрытия Датчик числа оборотов ММ2, Е
Датчик давления
Изменение емкости за счет изменения относи­ Качество масла, S
тельных диэлектрических постоянных датчик влажности S
Изменение емкости за счет изменения степени Уровень топливного бака Е
наполнения с диэлектрической средой

Эффекты, вырабатывающие заряд

Пьезоэлектрический эффект (кварц, пьезоке­ Датчик детонационного сгорания, датчик подушки S


рамика) безопасности, Датчик числа оборотов DRS1 s ]

Пироэлектрический эффект ИК-датчик (динамический) Е

Фотоэлектрическая выработка заряда CCD-и CMOS-датчик изображения Е


(также И К -диапазон)
Эффекты, создающие напряжение, гальванические эффекты

Эффект Холла (Out-of-plane-чувствительность, Датчик Холла (зажигание), число оборотов ко­ S


полупроводниковый материал) леса и двигателя, датчик ускорения (ABS, 2g),
определение веса пассажира на переднем сиде­
нии (iBolt™), ARS1,2 (педаль газа и пр.)
Псевдоэффект Холла (»п-р1апе-чувствительность, Датчики угла поворота рулевого колеса LWS2 S
металл-тонкий слой) и LSW4

Электролитические диффузионные зонды (леги­ Лямбда-зонды S


рованная оксидная керамика)
Термоэлемент, термобатарея ИК-датчик (Болометр) Е

Фотоэлектрические и волоконно-оптические эффекты

Фотоячейки, фотодиоды, фототранзисторы Датчик дождя, датчик загрязнения для очи­ S


(также в ИК-диапазоне) щения фар, автоматическое включение света
фар, автоматический ближний свет
Степень абсорбции, зависящая от среды Частички сажи, влажность Е

Приместные и бесприместные волоконно-оп- Защита от травм дверями (окна, раздвижная Е


тические эффекты: воздействие на интенсив- крыша),
ность, интерференция (Phasenbeeinflussung), Педаль газа,
воздействие на поляризацию; например эффект Столкновение
Mikrobending
Тепловые эффекты (термические эффекты) j
Охлаждение сопротивления в зависимости от Датчики объема воздуха HFM, S
скорости потока, от среды, от плотности или на­ анализ,
полненности среды концентрация,
уровень заполнения (топливный бак) Е

Эффекты распространения волны


Звуковые волны: эффект времени пробега (эхо- Помощь при парковке, S
лот). Суперпозиция со скоростью среды, эф- Объемный расход, Е
фект репродуктора (перемещаемые источники скорость по грунтовой дороге S
/приемники)
1 Серийно, у RB Световые волны: полная рефлексия на приле­ Датчик дождя, S
или конкурентов, гающих поверхностях, оптические резонаторы Волокноно-оптическая защита от травм дверями, Е
возможно уже (анализ цвета), Уровень заполнения (аналоговый, граничный Е
сняты с произ­ параметр), Е
водства Е

2 Ведется разра­ Эффект Саньяка Скорость вращения: волокнистый, лазерный

ботка, либо уже Ресурс гироскоп,


Шаг (световолновой радар)
завершена, либо
производство для Электромагнитное излучение: репродуктор, ACC-датчик расстояния 7
FMCW-, запаздывающий радар
склада
Датчики в автомобиле | Обзор и выбор технологий работы датчиков | 33

Обзор и выбор технологий ► Полупроводниковая технология


работы датчиков (моно- или поликристаллические ре­
зисторы, предохранительные слои,
Различные технологии датчиков, ис­ зарядонакопительные ячейки и пр.),
пользующие описанные измерительные электроника для подготовки сиг­
эффекты, очень тесно связаны с прин­ нала: Si (биполярный, CMOS, BICMOS,
ципами выполнения измерений. Сна­ EEPROM), GaAs.
чала следует составить общий обзор. ► Микромеханика (кремний и прочие
► Индукционные катушки, изготов­ материалы, например, кварц, металл
ленные путем обмотки или фото­ (LIGA-технология) и пр.).
литографии (с электрическими или ► Пьезокерамика.
магнитными индукторами), датчики ► Пьезопленка.
вихревого тока и короткозамкнутые ► Изолирующая керамика как материал
кольцевые датчики. пружинного механизма (например,
► Flux-Gate-зонды (Metglas и пр.) для из­ мембрана датчика давления).
мерения магнитного поля. ► Керамический твердый электролит
► Датчики скачка импульса (Wiegand). (например, как кислородный зонд).
► Проволочные (безиндуктивные) резис­ ► Кварц и прочие пьезоэлектрические
торы. кристаллы.
► Пленочные резисторы (шихтованные ► Оптические световолокна или пла­
на пластиковом носителе). стины из стекла или пластика.
► Металлокерамические резисторы.
► Тонкослойная и толстослойная тех­ Матрица, изображенная на рисунке 32,
нология (особенно сопротивления показывает, к каким технологиям датчи­
и емкости). ков нужно обращаться для реализации
различных задач. Если, например, есть
Выбор технологии датчика
потребность в реализации небольшого
размера, высокой надежности и высокой
точности, следует обратиться к тонкослой­
ной технологии, если она соответствует
необходимому диапазону измерений.
Принципы измерения,
используемые в датчиках
В автомобиле работает множество Датчики положения
датчиков. В качестве чувствительного
органа автомобиля они преобразуют Характеристики
различные входные величины в электри­ Датчики положения определяют одно­
ческие сигналы. Приборы управления мерные или многомерные положения
различных систем (двигателя, безопас­ движения и угловые положения (линей­
ности и комфорта) используют эти сиг­ ные и угловые величины) различного
налы для выполнения функций управ­ вида и в различных диапазонах. К тако­
ления и регулировки. В зависимости вым относятся расстояния, дистанции,
от поставленной задачи используются смещения (англ.: displacement), уровень
различные принципы измерения. заполнения и даже минимальные рас­
Положения движения и поворота как тяжения—т.е. все величины, которые
непосредственные измерительные величины можно измерить в метрах и градусах.
Диапазон
Измерительная величина
измерений
В этой сфере уже давно существует
Положение дроссельной заслонки 90° стремление к переходу на использование
в бензиновом двигателе бесконтактных датчиков, которые не под­
Положение педали газа/тормоза 30° вержены износу и поэтому более долго­
Положение сидения, фар и зеркал вечны и надежны. Однако вопрос затрат
Ход рейки ТНВД и ее положение в 21 мм
все-таки вынуждает использовать старые
дизельном рядном ТНВД принципы работы датчиков, поскольку
Угловое положение исполнитель­ 60° для большинства измерений они вполне
ного механизма в дизельном рас­
пределительном ТНВД справляются со своими задачами.
Уровень заполнения топливного Величины положений относятся к «экс­
20...50 см
бака тенсивным измерительным величинам»,
Ход соединительного исполнитель­
ного механизма
50 мм при измерении которых измерительная
Расстояние между автомобилями 150 м величина или диапазон измерений в зна­
или автомобилем и препятствием чительной степени определяют величину
±2-360°
Угол поворота рулевого колеса
(±2 оборотов)
датчика (для сравнения: «интенсивные
измерительные величины» — например,
Угол уклона 15°
например давление и температура). По­
Угол направления движения 360°
этому датчики для измерения экстен­
360° географи
сивных величин среднего и большого
чес кая ширина
GPS (Global Positioning System) диапазона (например, датчики расхода
360° географи
ческая длина и усилия) менее приспособлены к ми­
Географичес­
ниатюризации и, соответственно, эко­
кая высота
Расстояние до ближайшего пред­ номичному массовому производству.
1,5 м
Таблица 1 мета (US-парктроник) Поскольку данное правило в меньшей
Положения движения и поворота как непрямые степени распространяется на датчики
измеоительные величины поворота (угла), чем на датчики скорости
Диапазон
Измерительная величина (движения) (величина угла не зависит от
измерений
Величина хода подвески (регули­ 25 см радиуса или длины колена), первые чаще
ровка фар, положение кузова) используются в автомобиле.
Угол закручивания (крутящий В случае с экстенсивными величинами
1...40
момент)
в большом диапазоне измерений часто
Отклонение клапанного затвора
30...90° сначала все-таки преобразуются в ин­
(расход)
Отклонение схемы колебательной 1...500 мкм тенсивные величины, которые можно
системы (ускорение) измерить с помощью микродатчиков.
Отклонение мембраны датчика 1...20 мкм Таким образом, при измерении расхода
давления
Таблица 2 осуществляется переход на измерение
Принципы измерения, используемые в датчиках | Датчики положения | 35

плотности расхода (потока) (измерение только частично. В таких системах из­


парциальной плотности потока, напри­ мерения угла абсолютное положение
мер 1:100), при этом трубопровод потока при отключении рабочего напряжения
становится существенной составляющей утрачивается. Здесь не поможет также
датчика, без которой датчик не может энергонезависимое сохранение конеч­
быть протестирован и калиброван. ного состояния, поскольку большинство
В датчиках скорости и расстояния боль­ угловых положений может механически
шого диапазона измерений (ок. 0,1...50 м) изменяться в отключенном состоянии (на­
измерительная величина преобразуется пример, угол поворота рулевого колеса).
с помощью датчиков распространения Хотя угол коленчатого вала измеряется
волн (звуковые и электромагнитные с приращением, это измерение после
волны) в задержку по импульсу или фазе, каждого поворота заново юстируется
которые можно легко измерить электрон­ опорным сигналом, определяемым датчи­
ным способом с помощью сравнительно ком, если ожидается появление помехи
маленьких излучающих / приемных (неполадки). Здесь приходится также счи­
устройств. В случае со звуковыми волнами таться с тем, что при запуске двигателя не­
важным компонентом измерительного известно, в каком положении находится
устройства является среда распростране­ коленчатый вал; он должен с помощью
ния сигнала (например, воздух), а также стартера сделать только один полный обо­
необходимый эталон времени (например, рот, чтобы сгенерировался хотя бы один
пьезоэлетрический резонатор). опорный сигнал. Движение коленчатого
вала очень монотонное, т.е. оно почти
Обзор измерительных величин всегда достаточно однообразное (без скач­
Существует большое количество сфер ков) только в одном направлении (прак­
применения, в которых положения яв­ тически всегда вперед, никогда назад).
ляются истинными непосредственными Поэтому можно с уверенностью сказать,
измерительными величинами. Это ото­ что практически любой оборот покажет
бражено в таблице 1 в перечне. В дру­ правильный результат.
гих случаях измеренное положение При мгновенном старте двигателя без
пути/угла представляет другую измери­ стартера нельзя допускать появления де­
тельную величину (таблица 2). фектов приращенного измерения угла —
На практике часто «инкрементальные также как и при угле поворота рулевого
системы датчиков» обозначают как угло­ колеса. Здесь требуется датчик абсолют­
вые датчики, так как они, прежде всего, ного угла для диапазона в 360°.
используются для измерения числа обо­
ротов. Они не являются угловыми дат­ Потенциометрические датчики
чиками в истинном понимании. Однако Шлейфовый потенциометр — чаще кон­
для измерения угла поворота прираще­ струируемый как угловой датчик (рису­
ния (суммы, на которые увеличивается нок 1) — использует соответствие между
величина), измеряемые с помощью этих длиной провода—или пленочным резисто­
датчиков, должны рассчитываться со зна­ ром (из «Cermet» или «Conductive Plastic»)
ком плюс, т.е. суммироваться. Такие для своего электрического параметра со­
системы измерения углов применяются противления в измерительных целях.
в ограниченном количестве, поскольку В настоящее время самым бюджетным
показание счетчика может постоянно вариантом является датчик скорости/угла
фальсифицироваться из-за импульсных поворота. Благодаря очерчиванию (прида­
помех. Жесткие, определяемые (устанав­ нию формы) ширины измеряемой дорож­
ливаемые) опорные сигналы в данном ки (также возможно выполнение частями)
вынужденном положении могут помочь можно влиять на форму графической
36 | Принципы измерения, используемые в датчиках | Датчики положения

характеристики. Подключение скользя­ ► хорошее противостояние напряжению


щего контакта осуществляется зачастую помех;
с помощью второй контактной дорожки ► широкий диапазон рабочих темпера­
с такой же поверхностью, под которой, тур (< 250 °С);
однако, проложен проводниковый мате­ ► высокая точность (на 1% лучше ко­
риал с низким электрическим сопротив­ нечного параметра измерительного
лением. Для защиты от перегрузки в боль­ диапазона);
шинстве случаев напряжение питания ► широкий диапазон измерений (воз­
подается на измерительную дорожку можно почти на 360°);
через меньшие предварительные со­ ► беспроблемный ввод дублеров;
противления RV (также для обнуления ► корректируемость (лазерная
и коррекции уклона). абляция и пр.);
Износ и искажение измерительных ► гибкая графическая характеристика
характеристик можно уменьшить за (изменяемая ширина дорожки);
счет минимально нагруженного отвода ► гибкий монтаж (ровная или искрив­
(IA < 1 мА) и заключения в пыле- и водо­ ленная поверхность);
непроницаемую капсулу. Условием ► большое количество производителей;
меньшего износа является также подбор ► быстрый отбор образцов.
скользящего контакта и дорожки, обе­
спечивающий оптимальное трение; при Недостатки
этом скользящие контакты могут иметь потенциометрических датчиков
форму «ложки» или «скребка», быть оди­ ► Механический износ из-за истирания;
нарными или сложносоставными, и даже ► погрешности в измерениях из-за следов
иметь форму «веника». истирания;
Однако целому ряду значительных пре­ ► проблемы при работе в жидкостях;
имуществ, противопоставлено большое Потенциометрический датчик
Рисунок 2
1 Электрические количество серьезных недостатков. уровня заполнения топливного бака

подключения
2 Поля контактов
Преимущества
скольжения
3 Контактная заклепка потенциометрических датчиков
4 Плата ► Низкие затраты;
сопротивления
► простая, наглядная конструкция;
5 Штифт подшипника
6 Двойной контакт ► большая измерительная эффективность
7 Рычаг поплавка (измерительный прогон = напряжение
8 Поплавок
питания);
9 Дно топливного бака
► нет необходимости в электронике;
Рисунок 1
Принцип шлейфового потенциометра
1 Скользящий
контакт
2 Резистивная
дорожка
3 Путь перемещения
контакта
IА Ток скользящего
контакта
U0 Напряжение
питания
UA Измеряемое
напряжение
R Сопротивление
φmax Максимальный
угол поворота
φ Угол измерения
Принципы измерения, используемые в датчиках | Датчики положения | 37

Датчик дроссельной заслонки (конструкция)


► переходное сопротивление, изменяю­
щееся от скользящего контакта к изме­
рительной дорожке; Рисунок 3
► отсоединение скользящего контакта 1 Вал дроссельной
заслонки
при сильном ускорении или вибрации;
2 дорожка сопро­
► сложные испытания; тивления 1
► ограниченные возможности выполне­ 3 дорожка сопро­
тивления 2
ния в миниатюрной форме;
4 Цапфа скользя­
► помехи (шум). щего контакта
со скользящими
контактами
Применение
5 Электро­
Примеры потенциометрических датчиков: подключение
► датчик педали газа или модуль педали
Рисунок 4
газа для определения желаемого мо­
А Внутренний огра­
мента поворота для управления двига­ ничитель хода
телем; 1 Графическая ха­
рактеристика для
Датчик дроссельной заслонки с двумя ► датчик уровня заполнения топливного
высокого разре­
графическими характеристиками
бака (рис. 2); шения в угловом
► потенциометр порога гидродинами­ диапазоне 0°...23°
2 Графическая
ческой муфты (КЕ- и L-Jetronic) для
характеристика
определения объема воздуха, который в угловом диапа­
всосал двигатель; зоне 15°...88°
UA Измеряемое
► датчик угла дроссельной заслонки для
напряжение
определения ее положения в бензино­ UV Рабочее
вых двигателях (рисунки 3...5). напряжение

αW Полезный угол
Магнитно-индуктивные датчики измерения
Из всех датчиков, которые выполняют Рисунок 5
1 Дроссельный
измерение положения бесконтактно,
клапан
магнитные датчики являются самыми 2 Датчик дроссельной
чувствительными к помехам и прочными. заслонки
UA Измеряемые
Это касается в первую очередь датчиков,
напряжения
Датчик дроссельной заслонки (переключение)
работающих на основе переменного тока, UV Рабочее
т.е. магнитной индукции. Необходимые напряжение
R1 R2 Дорожки сопро­
для этого способы расположения катушек
тивления 1 и 2
нуждаются в наличии большего места R3, R4 Выранивающее
в сравнении с микромеханическими сопротивление
R5, R6 Защитные ре-
датчиками, т.е. возможность установки
зиторы
Принцип демпфирования и вихревого тока HF
Рисунок 6
1 Диск амортизатора
2 Вихревые токи
3 Воздушная катушка
4 Автогенератор
различной
амортизации
5 Демодулятор
s Измеряемый путь
A(s) Напряжение
генератора
UA(s) Выходное
напряжение
38 | Принципы измерения, используемые в датчиках | Датчики положения

дублирующих датчиков (осуществляющих к задаче по выполнению измерений. Он


измерения параллельно) отсутствует. хорошо подходит как для определения
Кроме того, необходимый контакт с ка­ больших отрезков или углов (уже суще­
тушкой является фактором, отрицательно ствовала почти серийная разработка, на­
влияющим на затраты и надежность. пример, для дроссельной заслонки и пе­
Из большого числа известных устройств дали газа), так и очень маленьких величин
такого типа в автомобиле в основном ис­ (например, датчики крутящего момента).
пользуются два из них, которые имеют Поскольку датчики вихревого тока прин­
очень похожий принцип действия. Однако ципиально можно производить как
в настоящее время они не применяются микромеханические, с точки зрения их
в макромеханическом исполнении в сфере преимуществ нельзя исключить их приме­
производства автомобильных датчиков нение в будущем. Широкое использование
в новых разработках компании «Bosch». находит принцип датчика в измеритель­
ной технике, используемой в производстве
Датчики вихревого тока и контроле качества, как для точного опре­
Если электропроводящая, ровная или деления малых отрезков/расстояний, так
искривленная мембрана (пластина) (на­ и для толщины слоев в диапазоне мкм.
пример, из алюминия или меди) прибли­
жается к катушке, запитанной высоко­ Кольцевые датчики
частотным вихревым током (обычно не с короткозамкнутой обмоткой
содержащей железа) (рис. 6), это влияет В отличие от датчика вихревого тока
как на ее активное сопротивление, так катушка кольцевого датчика с коротко-
и на ее индуктивность. Причиной этого замкнутой обмоткой всегда имеет магни­
становятся вихревые токи, возникающие томягкий, луженый сердечник прямой
в демпферной пластине (спойлере) из-за или изогнутой U-образной или Е-образ-
возрастающего магнитного взаимодей­ ной формы (рис. 7). Подвижный спойлер
ствия. Положение этой демпферной плас­ сконструирован как короткозамкнутое
тины отражает отрезок измерений s. кольцо из материала, являющегося хоро-
В целом высокая рабочая частота (диа­ Принцип измерения короткозамкнутого
пазон MHz, низкочастотное питание по­ кольцевого датчика

глощало бы слишком много электротока


из-за низкой индуктивности катушки)
требует прямого подчинения электро­
ники датчику или экранированного
соединения — часто даже переносного.
Для преобразования измерительного
эффекта в электрическое выходное на­
пряжение может использоваться также
Рисунок 7
Изображение двух раз­
эффект демпфирования (эффективное
личных измеряемых сопротивление) и эффект замещения
отрезков поля (индуктивность). В первом случае
1 Короткозамкнутое
кольцо
подходит, например, осциллятор изме­
2 Магнитомягкий няемой амплитудой колебаний, в другом
сердечник
случае, осциллятор изменяемой частоты
3 Катушка
I Ток
или индуктивный делитель напряжения,
I w Вихревой ток получающий питания путем постоянной
L(s) индуктивность и
частоты (различное расположение).
Ф(s) магнитный поток
при измеряемом
Принцип вихревого тока позволяет раз­
отрезке s личными способами приспосабливаться
Принципы измерения, используемые в датчиках | Датчики положения | 39

шим проводником, например, меди или в широком диапазоне явятся положи­


алюминия, который подвижно располо­ тельно линейной. Для измерения можно
жен на одной или всех цапфах сердечника. использовать почти всю длину датчика.
Благодаря железному сердечнику такие При этом не требуется механической узкой
датчики обладают большей индуктивно­ направляющей короткозамкнутого кольца.
стью, чем датчики вихревого тока и более Масса короткозамкнутого кольца, ко­
высокой эффективностью измерений торое следует передвигать, очень мала.
из-за очень концентрированной проводи­ Создание очертаний (придание формы)
мости магнитного потока железным сер­ расстояния между цапфами влияет на
дечником. Таким образом, они могут рабо­ форму графической характеристики:
тать при низких частотах и не обязательно сужение расстояния от цапфы до конца
нуждаются в сигнальной электронике измерительного диапазона улучшает за­
в месте расположения на датчике. Желез­ данную хорошую линейность. В зависи­
ный сердечник защищает измерительное мости от материала и конструкции чаще
пространство между цапфами сердечника всего эксплуатация осуществляется
от внешних полей помех. в диапазоне 5...50 кГц. Датчик использу­
В переменное поле, которое создает ток ется также в самых жестких условиях
Рисунок 8
катушки в железном сердечнике и во­ эксплуатации, например, в дизельных Конструкция датчика
круг него, невозможно проникнуть через топливных насосах (рисунок 8, 9). хода рейки ТНВД для
серийных дизельных
короткозамкнутое кольцо, поскольку Из-за режима работы в переменном
топливных насосов
вихревые токи компенсируются в ко­ токе сердечники луженые (например, 1 Магнитомягкий
роткозамкнутом кольце практически до NiFe-лужение, 0,2 мм толщина). Для сердечник
2 Эталонная
нуля. Вихревые токи в короткозамкнутом получения нужной механической ста­
катушка (L 2)
кольце выступают таким образом — как бильности, которая удерживает щитки 3 Эталонное ко­
«магнитный изолятор» — распростране­ в устойчивом к ускорению состоянии, роткозамкнутое
кольцо
ние магнитного потока Ф пространством они не только склеиваются обычным
4 Рейка ТНВД
между катушкой и короткозамкнутым способом, но и дополнительно «перфо­ 5 Измерительная
кольцом (отсюда англ: shading ring) и де­ рируются». Для этой цели на щитках катушка ( L 1 )
6 Измерительное
лают его зависимым от положения х ко­ в определенных местах делаются утолще­
короткозамкнутое
роткозамкнутого кольца, Ф = Ф(х). ния, с помощью которых они еще до мяг­ кольцо
Индуктивность определяется как: кого отжига соединяются изнутри (как S Ход рейки ТНВД

(1) L = Ф/I в конструкторе ЛЕГО), не разрушая при


Рисунок 9
этом электроизоляцию между щитками. Конструкция углового
Поэтому положение х короткозамкну­ Полудифференциальный кольцевой датчика в исполнитель­
ном механизме дизель­
того кольца оказывает непосредственное датчик с короткозамкнутой обмоткой
ных распределительных
влияние на индуктивность L катушки об­ с подвижным измерительным и эталон­ ТНВД
мотки возбуждения. Взаимосвязь L = L(x) ным жестким короткозамкнутым кольцом 1 Измерительная
катушка
Полудифференциальный датчик Полудифференциоальный короткозамкнутый 2 Измерительное
короткозамкнутого кольца кольцевой угловой датчик
короткозамкнутое
кольцо
3 Магнитомягкий
сердечник
4 Вал регулирующей
заслонки
5 Эталонная катушка
6 Эталонное коротко-
замкнутое кольцо
φ Угол измерения
φmax Область угла опе-
режения зажигания
вала регулирующей
заслонки
40 j Принципы измерения, используемые в датчиках [ Датчики положения

является очень точным; он выполняет ана­ ных катушек, чаще всего стационарных,
лиз данных как индуктивный делитель на­ имеющих одинаковую фазовую проводку,
пряжения (анализ данных индуктивности за счет движения измеряемой системы —
L1/L2, или (L1-L2)/(L1+L2) или как член будь то роторная или трансляционная
генераторной схемы, определяющий система. При этом во время движения
частоту, в целях создания частотно-ана­ амплитуды поступающих сигналов из­
логового сигнала (прекрасно защищен меняются по синусоиде. Если приемные
от помех, легко оцифровывается). катушки перемещаются на определенную
Рисунок 9 отображает конструкцию часть проводки Т относительно друг друга
полудифференциального кольцевого (например, Т/4 или Т/3), то синусоида
датчика с короткозамкнутой обмоткой смещается по фазе на соответствующий
(КДКО) для дизельных распределительных угол (например, на 90° или 120°). Таким об­
ТНВД. На каждой цапфе сердечника кре­ разом создаются напряжения, например:
пятся одна измерительная катушка и одна (1) u1=U∙sinφ∙sinωt
эталонная катушка. Если по катушкам (2) u2=U∙sin(φ - 90°)∙sinωt=
проходит электрический переменный = U∙cosφ∙sinωt
ток, исходящий от прибора управления, или также:
образуются переменные поля. Эталонное (3) u1=U∙sinφ
короткозамкнутое кольцо неподвижно, (4) u1=U∙sin(φ-120°)∙sinωt
в то время как измерительное коротко- (5) u1=U∙sin(φ-240°)∙sinωt
замкнутое кольцо закреплено на вале ре­
гулирующей заслонки (угол опережения После выпрямления на основании этих на­
зажигания (φ). При смещении измеритель­ пряжений можно очень точно рассчитать
ного короткозамкнутого кольца изменя­ угол поворота α. Так работают датчики,
ется магнитный поток, а вместе с ним и на­ описанные в классической измерительной
пряжение на катушке, поскольку прибор технологии как датчики, использующие
управления поддерживает постоянный методы синхронизации, резольвера и ин-
ток (подводимый ток). Переключатель, дуктосина и преимущественно являю­
обрабатывающий сигналы, формирует щиеся угломерными датчиками.
соотношение выходного напряжения UA При простом биполярном располо­
на измерительной индуктивности L1 к эта­ жении механическому углу поворота а
лонному напряжению URef на эталонной соответствует также непосредственно
индуктивности L2. Оно пропорционально электрический фазовый угол. При ис­
отклонению измерительного коротко- пользовании п объединенных пар меха­
замкнутого кольца и может анализиро­ нический полный угол φ=2π преобра­
ваться прибором управления. зуется в смещение фаз α = n∙ 2π, так что
смещение фазы а соответствует углу
Датчики с вращающимися поворота только φ/n, что значительно
переменными полями увеличивает разрешение измеритель­
Используя катушки, питание которых ной системы. Если диапазон измерений
осуществляется за счет переменного тока больше, однозначность измерительного
с угловой частотой со или устройства по­ сигнала обеспечивается за счет допол­
добные катушкам (подобные извилистым нительных средств, например, с помо­
токопроводящим структурам) можно раз­ щью простого угломера.
мещать двух- и многополюсные струк­
туры переменного тока как контурно, Датчик фирмы «Hella»
так и линейно. Эти полюсные структуры Угловой датчик, разработанный фирмой
с постоянной фазовой проводкой можно «Hella», не относится ни к одной из пере­
смещать относительно комплекта прием­ численных технологий, но больше всего
Принципы измерения, используемые в датчиках | Датчики положения | 41

похож на индуктосинный датчик. На была бы только одна равная круглая токо­


рисунке 10 изображен датчик, например, проводящая дорожка, сравнимая со спира­
с 6-значной полюсной структурой (n = 6), лью статора, то она бы просто полностью
который с электрической точки зрения гасила первичное поле. Однако за счет
преобразует угол поворота φ = 60° в сме­ меандровой структуры в результате воз­
щение фазы амплитуды светового сигна­ никает многополюсное поле, которое
лизатора а = 360°. Все необходимые струк­ позволяет осуществлять вращение вместе
туры токопроводящих дорожек нанесены с ротором, и весь его поток магнитной
на многослойный материал токопроводя­ индукции почти равен нулю.
щей пластины в стационарном статоре. Это многополюсное переменное поле
Роторная часть может быть также вы­ считывается концентрическими прием­
полнена в форме штампованной детали, ными катушками или меандрами, находя­
свободнонесущей или закрепленной на щимися на статоре. Они смещаются в ходе
пластиковом носителе (путем горячей полюсного шага (например, 60°) на, соот­
штамповки). ветственно, 1/3, т.е. электрически в их сиг­
На статоре находится круглая спираль нальной амплитуде на 120° за шаг (рис. 10b).
с токопроводящими дорожками, которая Приемные катушки распространяются
наводит вихревой ток в зависимости от через все п полюсных пар (серийное под­
угла поворота в меандровую спираль, за­ ключение) и используют сумму всех по­
мыкающуюся в себе, имеющую такой же люсных полей.
наружный диаметр и рабочую частоту Согласно рисунку 10с приемные ка­
20 МГц. Такой вихревой ток, естественно, тушки соединены в звезду. Их сигналы
вырабатывает, так же как и спираль воз­ для определения электрического фазо­
буждения, вторичное магнитное поле, вого угла а или механического угла по­
которое накладывается на поле возбужде­ ворота φ подводятся ASIC, который осу­
ния в таком виде, что пытается погасить ществляет необходимое (правильное)
выпрямление, отбор и формирование
соотношения. Версия ASIC 1 получает
необходимые для этого цифровые сигналы
управления от микроконтроллера, распо­
ложенного в непосредственной близости.
Другая версия ASIC 2 имеет возможность
полностью независимо (stand-alone) ис­
пользовать датчик. ASICS позволяют со­
вершать в ходе изготовления конечную
корректировку механических и элек­
трических допусков. Для использования
при повышенных требованиях к мерам
безопасности существует возможность
создания дублирующей системы с двумя
гальванически разделенными цепочками
сигналов и двумя ASIC. Принцип действия
датчика можно описать в «разрезе» как
принцип датчика скорости.
Наряду с незначительными затратами
на производство основными преимуще­ Рисунок 10
а Схематическая
ствами этого датчика являются:
конструкция
► контакт и не вызывающий износа прин­ b Монтаж (проводка)
цип осуществления измерений; с Выходные сигналы
42 I Принципы измерения, используемые в датчиках | Датчики положения

► полная независимость от температуры магнитостатических датчиков состоит


(до 150 °С); в том, что стационарную деталь можно
► высокая точность (при диапазоне из­ хорошо защитить от вращающегося про­
мерений от 360° до ±0,09°); водника с помощью капсулы — обычно
► гибкость (согласуется со всеми угло­ постоянного магнита или магнитомягкого
выми диапазонами до 360°); проводника — а также от воздействий
► возможность создания дублирующей окружающей среды. В первую очередь ис­
конструкции; пользуются гальваномагнитные эффекты
► высокая ЭМС-безопасность; (эффект Холла и Гаусса) а также магнито­
► исключительное использование стан­ резистивные эффекты (AMR и GMR).
дартных материалов без необходимости
применения ферромагнитных деталей; Гальваномагнитные эффекты
► плоская конструкция. Эффект Холла определяется прежде всего
с помощью полупроводниковых пластин.
По этим причинам датчик можно исполь­ Если через такую пластинку, по которой
зовать в автомобиле в большом количестве проходит ток, вертикально пропустить
мест. магнитную индукцию В, то носители за­
ряда будут отклоняться от прямого пути
Магнитостатические датчики за счет силы Лоренца вертикально по
Магнитостатические датчики измеряют отношению к полю и к току I на угол φ
магнитное поле постоянного тока. В от­ (рис. 11). Таким образом перпендику­
личие от магнитных индуктивных (кату­ лярно направлению тока между двумя
шечных) датчиков они лучше подходят крайними противоположными точками
для миниатюризации и экономично пластинки пропорциональное напря­
производятся с помощью средств микро- жение U H будет сниматься напряжение,
системной технологии. Поскольку поля пропорциональное полю В и току I (эф­
постоянного тока легко проникают через фект Холла):
стенки корпуса из пластика, а не из фер­ (2) U H = R H ∙I ∙B / d
ромагнитного металла, преимущество mit R H = коэффициент Холла,
d = толщина пластинки
Гальваномагнитные эффекты

Одновременно продольное сопротивле­


ние пластинки увеличивается независимо
от направления поля по параболе (эффект
Гаусса, магниторезистор).
Коэффициент R H , являющийся опре­
Рисунок 11 деляющим для измерительной чувстви­
а Схема
тельности пластинки, при использовании
b Процесс
создания напряже­ кремния сравнительно мал. Поскольку
ния Холла UH толщину пластинки d можно уменьшить
с Рост сопротивле­
с помощью диффузионной технологии,
ния пластинки R
(эффект Гауса) напряжение Холла опять достигнет
В Магнитная индукция величины, технически пригодной для
I Ток пластинки
использования. Применяя кремний в ка­
IН Ток Холла
IV Питающий ток честве основного материала, одновре­
UR Продольное напря­ менно на пластинку можно интегрировать
жение
переключатель для подготовки сигнала,
α Отклонение благодаря чему производство таких
электронов за счет датчиков может стать очень выгодным.
магнитного поля
Принципы измерения, используемые в датчиках j Датчики положения | 43

В отношении измерительной чувствитель­ выходной сигнал. Если магнитная индук­


ности и температурного режима кремний ция В, существующая на датчике, нахо­
является далеко не самым подходящим дится ниже определенного нижнего поро­
полупроводниковым материалом для гового параметра, то выходное значение
производства датчиков Холла. Лучшими соответствует, например, логическому
характеристиками обладают, например, «О» («release»-состояние); если оно выше
полупроводники III-V, такие как арсенид определенного верхнего порогового пара­
галлия или антимонид индия. метра, то выходной сигнал соответствует
логической «1» («operate»-состояние). По­
Переключатель Холла скольку такой процесс гарантирован для
В самом простом случае напряжение всего диапазона рабочей температуры
Холла подается на пороговую электро­ и для всех экземпляров одного типа, оба
нику, интегрированную в датчик (Schmitt - пороговых значения относительно далеки
Trigger), которая производит цифровой друг от друга (ок. 50 ΔΒ). Поэтому для вклю­
чения переключателя Холла требуется зна­
Заграждения Холла
чительный индукционный ход АВ.
Такие датчики, производимые еще по
биполярной технологии, использовались,
например, в заграждениях Холла (рис. 12),
которые были встроены в корпус рас­
пределителя зажигания, приводящегося
в движение распределительным валом.
Это заграждение Холла кроме датчика
имеет еще постоянные магниты и магни­
томягкие проводники. Магнитный контур
имеет U-образную или вилкообразную
форму, так что благодаря открытому
концу можно использовать замыкатель
из мягкомагнитного материала, который
Датчик Холла, работающий
попеременно экранирует или разбло­ Рисунок 12
по принципу «Spinning-Current» кирует магниты, благодаря чему датчик а Беспрепятственный
Магнитный поток
Холла выполняет переключения между
b короткозамкнутый
состояниями operate и release. Следую­ Магнитный поток
щий способ применения — в цифровом 1 Заглушка
шириной b
датчике угла поворота рулевого колеса
2 Магнитомягкие
LWS1 (см. «Угловые датчики до 360°»). проводники
Датчики Холла такого типа достаточно 3 Холл-IC
4 Воздушный зазор
недорогие, однако хороши только для пере­
U0 Питающее
ключающего режима работы и слишком напряжение
неточны для анализа аналоговых величин. US Напряжение
датчика

Датчики Холла, работающие по принципу Рисунок 13


«Spinning Current» а Фаза поворота φ1
b Фаза поворота
Недостатком в простом кремниевом дат­
φ2 = φ1 + 45°
чике Холла является одновременная 1 Полупроводниковая
чувствительность к механическим на­ пластинка
2 Активный Электрод
пряжениям (пьезоэффект), которые не­
3 Пассивный Электрод
избежны при сборке и приводят к неже­ I Ток питания
лательным температурным смещениям UH Напряжение Холла
44 I Принципы измерения, используемые в датчиках | Датчики положения

характеристик. Используя принцип малых отрезков, в ходе которого они


«Spinning Current» (рис. 13), в сочетании считывают изменяющиеся показания на­
с переходом к технологии CMOS, этот пряженности поля аппроксимирующего
недостаток удалось преодолеть. Хотя постоянного магнита (например, датчик
пьезоэффект и появляется, он компенси­ усилия iBolt, он считывает показания веса
руется временным усреднением сигнала, пассажира на переднем сидении для оп­
поскольку появляется при быстрой, регу­ тимального срабатывания подушки без­
лируемой электронным способом смене опасности). Подобные хорошие резуль­
электродов (ротации) с различными зна­ таты до сих пор были получены только
ками. Если есть необходимость в эконо­ благодаря использованию отдельных
мии трудозатрат на изготовление сложной элементов Холла, например, сочетания
электроники для переключения электро­ соединений III-V с гибридным последо­
дов, можно интегрировать несколько вательно включенным усилителем (на­
датчиков Холла (два, четыре или восемь) пример, датчики ускорения Холла).
с соответственно разными направлениями
тока, расположив их близко друг к другу, Дифференциальные датчики Холла
а их сигналы суммировать в контексте со­ В двойном датчике Холла (дифферен­
общения. Принцип Hall-ICs очень хорошо циальный датчик Холла, рис. 14) на опре­
подходит для использования в аналоговых деленном расстоянии на чипе располо­
датчиках. Температурные воздействия, жены две полноценные системы Холла.
оказывающие частично отрицательное Электроника определяет разницу обоих
влияние на измерительную чувствитель­ напряжений Холла. Эти датчики обладают
ность не уменьшаются за счет этого. преимуществом, которое состоит в том,
Такие интегрированные Hall-ICs под­ что их выходной сигнал не зависит от
ходят преимущественно для измерения абсолютного значения магнитной напря­
Дифференциальный датчик Холла
женности поля, и они определяют только
пространственные изменения магнитной
индукции как дифференциальный дат­
чик, т.е. градиенты поля (поэтому они
также часто называются градиентными
зондами).
Такие датчики в большинстве случаев
используются для измерения числа обо­
ротов, поскольку полярность их выход­
ного сигнала не зависит от воздушного за­
зора между ротором и датчиком. Если для
сканирования зубчатого колеса исполь­
Рисунок 14
зуется только один простой датчик Холла,
а Конструкция
b Движение поля он не может распознать, изменяется ли
(1,5-кратное инкре­ магнитный поток за счет продолжения
ментное расстоя­
вращения зубчатого колеса или за счет
ние)
с Движение сигнала изменения расстояния (например, вибра­
для ширина воз­ ций, монтажных допусков). Это приво­
душного зазора L
дит к серьезным ошибкам сканирования,
1 Зубчатый венец
2 Дифференциаль­ поскольку сигнал должен подводиться
ный IC Холла к детектору порогового значения. У диф­
3 Гомогенизирующая
ференциальных датчиков принцип работы
пластина (мягкое
железо) Угол поворота φ -
другой. Они оценивают только разницу
4 Постоянный магнит сигналов двух расположенных на нужном
Принципы измерения, используемые в датчиках | Датчики положения | 45

расстоянии друг от друга датчиков Холла. ARS1 с измерительным диапазоном 90°


Если разница сигналов, например, поло­ (рис. 16). Магнитный поток постоянно на­
жительная, расстояние между зубчатым магниченного диска полукруглой формы
колесом и датчиком можно изменять как отводится к магниту через полюсный
угодно; разница будет оставаться поло­ башмак, два проводника с прямой про­
жительной, если даже в сумме она станет водимостью и ферромагнитную ось. При
меньше. Знак может измениться только этом в зависимости от положения угла
в случае продолжения вращения ротора. поток проводится в большей или мень­
Последовательно подключенный детек­ шей степени через оба проводника с пря­
тор порогового значения также не имеет мой проводимостью, в магнитном пути
проблем с определением изменения рас­ которых также находится датчик Холла.
стояния и вращением. Аналоговый угловой датчик Холла
Для достижения максимального выход­ (мобильный магнит)

ного сигнала выбирают расстояние между


двумя—зачастую установленных по краям
(продольно) чипа—датчиков Холла, состав­
ляющее около половины инкрементного Рисунок 15
Линейная графическая
расстояния (расстояние между зубьями).
характеристика угла
Этот максимум сигнала очень широкий, до 180°
т.е. он покрывает широкий диапазон а Положение а
b Положение b
вибрации инкрементного расстояния.
с Выходной сигнал
Большие отклонения от инкрементного 1 Обратное замыка­
расстояния требуют более сложного из­ ние железа (мягкая
сталь)
менения конструкции датчика.
2 Статор (мягкая
В качестве градиентного зонда датчик сталь)
нельзя устанавливать в произвольном по­ 3 Ротор (перманент­
ный магнит)
ложении, он должен максимально точно
4 Воздушный зазор
устанавливаться в направлении вращения 5 Датчик Холла
инкрементного ротора. φ Угол поворота

Угловой датчик Холла ASR 1 (мобильный магнит)


Угловые датчики Холла в диапазоне до180°
С помощью вращающегося магнитного
кольца («Movable Magnet»), а также не­
скольких стационарных магнитомягких
проводников можно получить прямой
линейный выходной сигнал для углов Рисунок 16
большего диапазона (рис. 15). При этом Линейная графическая
характеристика для
двухфазное поле магнитного кольца прово­
угла до 90°
дится через датчик Холла, расположенный а Конструкция
между полукруглыми проводниками b Графическая
характеристика
с прямой проводимостью. Эффективный
в рабочем
магнитный поток, проходящий через дат­ диапазоне А
чик Холла, зависит от угла поворота φ. 1 Роторный диск (по­
стоянно магнитный)
Этот принцип применяется в датчиках
2 полюсный башмак
педали газа. 3 Проводник с пря­
мой проводимостью
4 Воздушный зазор
Производную форму основного прин­
5 Датчик Холла
ципа «подвижного магнита» представ­ 6 Ось (магнито­
ляет собой угловой датчик Холла типа мягкий)
46 I Принципы измерения, используемые в датчиках | Датчики положения

Таким образом магнитный диапазон близко друг к другу в части того же на­
позволяет достичь линейной характерис­ правления постоянного магнитного поля
тики. При упрощенном расположении рассеяния, которое отображает положе­
в модели типа ARS2 отсутствуют магни­ ние угла φ постоянного магнита. Они на­
томягкие проводники (рис. 17). Здесь маг­ правлены под прямым углом относительно
нит движется по дуге окружности вокруг друг друга и параллельно оси вращения
датчика Холла. Образующийся при этом постоянного магнита, таким образом
синусоидальный ход графической харак­ считывают показания компонентов
теристики только на относительно корот­ х- и у- вектора напряженности поля В,
ком отрезке имеет хорошую линейность. вращающегося над ними:
Если датчик Холла расположен немного (3) UH1=Ux=B∙sinφ
за пределами середины круга, характе­ (4) UH2=Uy=B∙cosφ
ристика значительно отклоняется от си­ На основании этих двух сигналов можно
нусоидальной формы. рассчитать угол φ по тригонометриче­
Она демонстрирует только короткий скому соотношению φ = arctg (UH1/UH2)
измерительный диапазон 90° и длинный в чипе для обработки данных, который
отрезок с хорошей линейностью чуть бо­ можно приобрести в продаже и с помо­
лее 180°. Недостатком является незначи­ щью которого оцифровывается сигнал.
тельное экранирование от посторонних
полей, остающаяся зависимость от геомет­ Такое расположение датчика Холла по­
рических допусков магнитного контура зволяет осуществлять интеграцию с вер­
и колебания интенсивности магнитного тикальными устройствами Холла (Vertical
потока в постоянных магнитах в зависи­ Hall Devices) в таком виде, как изобра-
мости от температуры и старения. Аналоговый датчик Холла для угла 360°
Рисунок 17
Линейный график для
Угловые датчики в диапазоне до 360°
угла более 180°
а Принцип Аналоговый угловой датчик с диапазоном
b Графическая измерений до 360° (рис. 18) означает, что
характеристика
постоянный магнит вращается, как изо­
1 IC Холла,
расположен в бражено, над ортогональным располо­
центре круговой жением двух датчиков Холла. Чтобы не
направляющей
слишком зависеть от допуска положения
2 IC Холла, смещен
от центра
магнита, магнит должен быть достаточно
(линеаризация) большим. При этом оба датчика Холла
3 Магнит должны быть расположены максимально
Рисунок 18 Угловой датчик Холла ASR2 (мобильный магнит)
а Конструкция дис­
кретного 1C Холла
b Конструкция из пла­
нарного интегриро­
ванного 1C Холла
1 Сигнальная
электроника
2 Распределительный
вал
3 Управляющий
магнит
В Индукция
I Ток
U Spannung
UA Напряжение
φ Выходное 270°
напряжение
Принципы измерения, используемые в датчиках | Датчики положения j 47

жено на рисунке, так, чтобы площадь сен­ в плоскости вращения. При методе, ис­
сорного чипа располагалась вертикально пользуемом компанией Melexis-Sentron
по отношению к оси вращения, а датчик, (например, тип 2SA-10) для измерения
в отличие от обычного, планарного дат­ компонентов поля, появляющиеся в пло­
чика Холла, обладал чувствительностью скости вращения Вх и Ву на одинаковом
в плоскости вращения (рис. 19). Моно­ чипе вместе с четырьмя датчиками Холла,
литная интеграция гарантирует высокую смещенными по отношению друг к другу
точность необходимого расположения под на 90°, располагаются на узкой окруж­
прямым углом, а также желаемую ком­ ности. При этом каждый датчик состоит
пактную конструкцию обеих систем Холла. по указанным выше причинам из пары
Компания «Sentron» («Melexis»), Швейцария элементов Холла, повернутых на 90°. По­
работает над созданием таких датчиков сле завершения изготовления чипа на его
и в будущем представит их на рынке. поверхность устанавливается круглый
Угловые датчики такого типа рассма­ диск из магнитомягкого материала с диа­
тривались, например, для реализации метром ок. 200 мкм, как показано на ри­
пусковых систем мгновенного старта, сунке 20 таким образом, чтобы датчики
в которых абсолютного положение вра­ Холла четко попали под край диска.
щения распределительного вала должно На основании их высокой относитель­
измеряться в диапазоне 360°. ной магнитной проницательности этот
В принципе, существует еще один диск действует как концентратор потока
способ, с помощью которого обычному (IMC, встроенный магнитный концен­
планарному датчику Холла (дополни­ тратор) и вынуждает все линии поля
тельно) можно придать чувствительность вертикально входить в его поверхность.
Вертикальное устройство Холла
За счет этого линии поля, проходящие Рисунок 19
в поперечном разрезе горизонтально без концентратора пото­ Потоки I, направленные
внутрь чипа, откло­
ка (в плоскости вращения) в месте рас­
няются за счет сил
положения датчиков Холла, вынужденно Лоренца по причине
направляются в вертикальном направле­ магнитной индукции В,
направленной парал­
нии (вне плоскости вращения) и поэтому
лельно поверхности
могут модулировать элементы Холла. чипа, таким образом,
Поскольку элементы, расположенные что между поверхност­
ными электродами А и А'
диагонально друг к другу, «видят» проти­
снимается напряжение
Комплект 4x2 планарных датчиков Холла с IMC
воположные направления поля, то для Холла UH
считывания одного компонента поля бу­
Рисунок 20
дет определяться разница обеих проти­
IMC - интегрирован­
воположных одинаковых напряжений ный магнитный кон­
Холла. Одновременно за счет этого суще­ центратор
Элементы Холла рас­
ствующие вертикальные компоненты Bz
положены на чипе
взаимно устраняют свой эффект. попарно под углом 90°
За счет дополнительного анализа друг к другу прямо
под краем маленькой
суммарных сигналов элементов, распо­
ферромагнитной
ложенных по диагонали друг к другу, шайбы. Благодаря их
можно определить также параметры присутствию магнитная

вертикальных компонентов поля Bz; по­ индукция В║ параллель­


ная поверхности чипа
скольку на них ферромагнитный диск преобразуется в маг­
не оказывает воздействия, и элементы нитную индукцию В┴,

из-за их расположения не утрачивают перпендикулярную его


поверхности, для того,
свою обычную чувствительность вне чтобы быть распознан­
плоскости вращения. Таким образом, ной датчиками Холла
48 I Принципы измерения, используемые в датчиках | Датчики положения

благодаря такому расположению индук­ уменьшить при калибровке датчика


ционный вектор В, действующий в месте пользователем. В этом случае точность
расположения датчика, считывается во цифрового выхода составит 10 бит при
всех трех компонентах. Электронные разрешающей способности 12 бит. На ос­
переключающие средства, необходимые новании времени обработки сигнала про­
для анализа сиг-нала, включая цифровой цессором кратчайшая частота дискрети­
сигнальный процессор, который исполь­ зации для частоты такта 20 МГц составляет
зуется для расчета функции арктангенса, 200 мкс. Выход сигнала, модулированный
базирующийся на базе микроконтроллера частотой пульсации, можно использовать
(DSP), и средства, необходимые для конеч­ при максимум 1 кГц. Для инициализации
ной корректировки датчика (EEPROM), датчику требуется 15 мс. Стандартный
могут быть интегрированы вместе с датчи­ параметр силы электромагнитного поля
ком на тот же чип без особых затрат. составляет ок. 40 mT. При плотности по­
тока выше 0,7 Т пластинка концентратора
Для измерения углов до 360° достаточно, переходит в состояние насыщения.
чтобы над чипом датчика с интегриро­ Датчик преимущественно можно про­
ванным анализатором сигнала вращался граммировать также для любого диапа­
постоянный магнит, преимущественно зона измерений < 360°, при этом создается
круглой формы (рис. 21), намагниченный дополнительная эксплуатационная надеж­
параллельно чипу. Поскольку угол пово­ ность за счет контроля выхода за пределы
рота образуется с помощью функции диапазона (использование, например, в ка­
арктангенса из соотношения обоих воз­ честве углового датчика в режиме работы
никающих синусоидальных и косинусои­ педали газа FPM2.3).
дальных сигналов датчика, интенсивность
магнитного поля, а стало быть, и старение Углы до 360° можно определять также
магнита, его температурная зависимость с помощью самых простых устройств 1C
и расстояние до поверхности датчика не Холла (переключателей Холла), которые
играют никакой роли. Датчик определяет также используются для измерения числа
только положение вращения своего воз­ оборотов (применение в датчиках угла
буждения. поворота рулевого колеса типа LWS1).
Максимальная собственная погреш­ Для этого датчики Холла n располагаются
ность датчика указана производителем однолинейно и равномерно на окруж­
в диапазоне 360° в размере + 2°. Ее можно ности для считывания n бит (рис. 22).
Измерение угла больше 360° с помощью Магнитомягкий кодовый диск блоки­
четверного датчика Холла
рует поле отдельных расположенных
над ним постоянных магнитов или раз­
блокирует его так, чтобы датчики Холла
в случае продолжение вращения диска
Рисунок 21
последовательно выдавали различные
Измерение угла в конце кодовые слова (серийный код). Во избе­
вала вращения с помо­
жание серьезных ошибок в показаниях
щью четверного датчика
Холла фирмы Melexis,
в моменты перехода целенаправленно
в состав которого вхо­ используется код Грея. Код Грея разра­
дит интегрированный ботан таким образом, что кодовые слова
концентратор потока
(IMC) для переключе­
для двух соседних позиций — в отличие
ния поля. от двоичного кода — различаются только
а Измерительное на 1 бит, чтобы возможный ошибочный
устройство
b Первичные выход­
показатель при переходе от одной пози­
ные сигналы ции к следующей не превышал шаг угла.
Принципы измерения, используемые в датчиках | Датчики положения | 49

Для создания датчика угла поворота из никель-антимония с высокой прово­


рулевого колеса кодовый диск, напри­ димостью в полупроводниковый кристалл,
мер, соединяется с валом рулевого управ­ располагая их поперечно к направлению
ления, а оставшаяся часть датчика с шасси. движения тока, и за счет дополнительного
Сложность этого датчика состоит в том, изгиба полупроводникового сопротивле­
что магнитомягкий кодовый диск должен ния (рисунки 23 и 24).
монтироваться на подшипниках в плава­ Зависимость сопротивления от магнит­
ющем состоянии, что приводит к выпол­ ной индукции В до индукционных показа­
нению сложного и объемного крепления телей в размере 0,3 Т квадратичная, а при
с помощью гибких пластиковых манжет. превышении этих показателей — возрас­
Кодовый диск из соображений допусков тающая линейная. Диапазон регулирова­
по воздушному зазору между верхним ния по направлению вверх неограничен,
и нижним дисками должен проходить временное поведение в технических усло­
впритирку. Соответствующее оптоэ­ виях применения—также как и в датчиках
лектронное решение с использованием Холла—следует рассматривать как практи­
фотоячеек не является полностью удов­ чески безынерционное.
летворительным, поскольку в связи с чув­
ствительностью элементов датчика к за­
грязнению нет возможности обеспечить
их качественную защиту.
Многократное число оборотов можно
считывать с помощью дополнительного
простого 3-битного устройства, кодовый
диск которого движется над понижающим Рисунок 22
Измерение угла до 360°
редуктором. Разрешающая способность при равноудаленном
таких устройств зачастую не выше 2,5°. расположении простых
переключателей Холла
по окружности
Магниторезисторные датчики 1 Корпус с постоян­
Наряду с поперечно направленным эф­ ными магнитами
2 Кодовый диск
фектом Холла на полупроводниковых
3 Проводниковая
пластинках наблюдается и продольный пластина с пере­
эффект сопротивления, который также ключателями Холла

называют эффектом Гаусса. Элементы,


Магниторезисторный дифференциальный датчик
которые используют этот эффект, из­ Рисунок 23
Магнитное управление
вестны как „магниторезисторы» (тор­
магниторезисторного
говое название фирмы «Siemens») и из­ дифференциального
готавливаются из III-V-полупроводника, датчика для сканирова­
ния зубчатого колеса
кристаллического антимонида индия
(инкрементальное из­
(InSb). В отличие от датчиков Холла мерение угла, опреде­
оптимальная пластинка для магниторе­ ление числа оборотов)
1 Магниторезистор­
зисторов должна быть скорее короткой
ное сопротивление
и негибкой, т.е. сначала создавать очень R1 R2
низкое электрическое сопротивление. 2 Магнитомягкий
субстрат
Чтобы добиться технически полезных
3 Постоянный магнит
показателей в зоне кОм, большое число 4 Зубчатое колесо
таких пластинок должны последовательно U0 Напряжение
питания
подключаться друг за другом. Элегант­
UA Выходное напряже­
ность конструкции можно обеспечить ние при угле пово­
путем установки микроскопических игл рота φ
50 I Принципы измерения, используемые в датчиках | Датчики положения

Поскольку параметр сопротивления Преимуществом магниторезисторов


магниторезисторов отображает силь­ является их высокий уровень сигнала, ко­
ные температурные изменения (ок. 50 % торый даже без усиления находится в зоне
уменьшения через 100 К), большей частью вольт и, таким образом, бережет электро­
они поставляются лишь как двойная ком­ нику и уменьшает количество мер защиты.
поновка в схеме делителя напряжения Кроме того, как пассивные, резистивные
(дифференциальные магниторезисторы). компоненты они очень нечувствительны
В этом случае оба сопротивления дели­ к электромагнитным помехам, а из-за
теля должны модулироваться магнитным высокого поля предварительного напря­
способом встречно (с обратной последо­ жения—почти устойчивы к посторонним
вательностью). Переключение сопротив­ магнитным полям. Из-за сильных темпе­
ления делителя гарантирует, несмотря ратурных изменений магниторезистор
на слишком высокий температурный почти всегда применяется в инкремент­
коэффициент отдельных сопротивлений, ных угломерах и датчиках числа оборотов
действительно хорошую стабильность или двойных датчиках предельного значе­
точки симметрии (рабочая точка), в кото­ ния (с характеристикой переключения).
рой оба сопротивления делителя имеют
одинаковое значение. Анизотропные магниторезистивные
Чтобы добиться хорошей чувстви­ датчики (АМР)
тельности измерительного устройства, Тонкие, толщиной всего 30...50 нм NiFe-
магниторезисторы принудительно экс­ покрытия отображают электромагнитный
плуатируют в магнитной рабочей точке анизотропный процесс. Это означает, их
0,1...0,3 Т. Необходимое магнитное на­ электрическое сопротивление изменяется
пряжение смещения дает маленький под воздействием магнитного поля. По­
постоянный магнит, действие которого этому структуры сопротивлений такого
можно усилить с помощью маленькой типа называют анизотропными магнито­
пластины для замыкания магнитного резистивными элементами или датчиками
потока. (сокращенно АМР). Используемый метал­
Микроскопическая фотосъемка
лический сплав известен также под назва­
магниторезистора нием Permalloy.
а
Технология и модели
На удлиненной резистивной полоске,
показанной на рис. 25а, создается неболь­
шое спонтанное намагничивание (воз­
буждение) MS в продольном направлении
токопроводящей дорожки без внешнего
управляющего поля (анизотропия формы).
Для того чтобы задавать ему однозначное
единое направление—оно может быть тео­
ретически и противоположным—датчики
АМР, как отображено, часто снабжают
слабым магнитом входного тока. В таком
состоянии продольное сопротивление
Рисунок 24
а Микроскопическая
имеет свой максимальный показатель R║.
фотосъемка Если вектор намагничивания под воз­
(фрагмент)
действием дополнительного внешнего
b На ферритном
субстрате на 8-мм
поля Ну поворачивается на угол υ, про­
суперпленке дольное сопротивление постепенно
Принципы измерения, используемые в датчиках | Датчики положения | 51

снижается до достижения своего мини- пряженности поля Н у = 0 она находится


мального значения R ┴ , при υ=0. При этом в точке максимальной измерительной
сопротивление зависит только от угла υ, чувствительности (точка поворота).
который создается намагничиванием MS Прокладывание противоположных по­
и током I , в зависимости от υ его дина­ лос двух сопротивлений обеспечивает
мику отражает косинусоида: изменение ими своего сопротивления
(5) R=R0∙(1+β∙cos2υ) на противоположное под воздействием
mit R║= R0∙(1 + β) ; R ┴ = R 0 этого же поля. Это означает, что если одно
увеличивается, то другое одновременно
При этом коэффициент β характеризует уменьшается.
максимальное возможное колебание В качестве тонкослойных датчиков,
сопротивления. Он составляет ок. 3 %. они имеют еще одно преимущество, со­
Если внешнее поле гораздо больше, чем стоящее в том, что, например, их можно
спонтанное намагничивание (что всегда корректировать до заданного параметра
наблюдается в случае с управляющими с помощью лазерной балансировки (на­
постоянными магнитами), направление пример, обнулять). В качестве материала
внешнего поля также практически всегда носителя используются окисленные крем­
определяет действующий угол υ. Сумма ниевые диски, в которые принципиально
напряженностей поля не имеет значе­ может интегрироваться электроника для
ния, т.е. датчик работает, так сказать, подготовки сигнала. В настоящее время
в «в насыщении». в целях экономии все еще предпочитают
Короткозамкнутые полоски, обладаю­ отдельно производить чип электроники
щие высокой проводимостью, (например, и датчика и устанавливать их, например,
из золота) над слоем АМР вынуждают ток на общей рамке. Управляющее магнитное
без внешнего поля течь под углом 45° по поле В создается чаще всего благодаря
отношению к спонтанному намагничи­ магниту, который движется над датчиком
ванию (продольное направление). Благо­ поступательно или вращательно.
даря этой «фишке» — именуемой «датчик
с косыми полосами на индикаторе со­ Наряду с простыми двухполюсными
стояния» — графическая характеристика элементами АМР существуют также псев­
датчика смещается относительно гра­ додатчики Холла в почти квадратных тон­
фической характеристики простого кослойных структурах NiFe, которые, как
сопротивления на 45°. При наружной на­ и обычные датчики Холла, имеют четыре
Основной принцип работы АМР (анизотропных магниторезистивных датчиков),
структура «косых полос на индикаторе состояния»
52 I Принципы измерения, используемые в датчиках | Датчики положения

подключения. Два для токопроводящей (рис. 26b). За счет этой модификации


дорожки и два поперечных для съема датчик псевдо-Холла в том числе и по
(псевдо-) напряжения Холла (рис. 26). своей геометрической форме транс­
В отличие от обычных датчиков Холла формируется в полный мост из четырех
псевдодатчик Холла обладает чувствитель­ AMP-сопротивлений (рис. 26с). Даже
ностью к магнитным полям в плоскости дополнительное изгибание сопротивле­
слоя, а не вертикально к ней. Он отобра­ ний моста не слишком искажает сину­
жает не пропорциональную графичес­ соидальную форму сигнала, если только
кую характеристику, а очень точную определенная ширина дорожки меандра
синусоиду, которая ни в коем случае не будет меньше заданной.
не зависит от силы управляющего поля
и температуры. Для поля, параллельного Простой угломер АМР для диапазона < 30°
токопроводящей дорожке, выходное на­ Магниторезистивные угломеры в версии
пряжение исчезает, чтобы затем при по­ с ограниченной точностью и диапазоном
вороте до угла φ = 90° описать полупериод измерений (макс. ±15°) используют рас­
синуса. Полученное таким образом си­ согласование магниторезистивного де­
нусоидальное напряжение получается лителя напряжения (дифференциальный
с амплитудой: датчик), состоящего из продольных (тео­
(6) UH = uH∙sin2φ ретически даже меандровых) сопротив­
лений из пермаллоя с высококачествен­
Рисунок 27 Если внешнее управляющее поле одно­ ными поперечными золотыми полосами
Диапазон кратно поворачивается на φ = 360°, то (рис. 27). В таких датчиках нулевая точка
измерений до ±15°
выходное напряжение также повторяет не зависит от расстояния от магнита до
а Измерительный
принцип два полных синусоидальных периода. датчика и не влияет на рост графической
а Измерительный Амплитуда uH сильно зависит от темпера­ характеристики, которая все еще зави­
принцип
туры и размера воздушного зазора между сит от температуры (ТК почти -3∙10-3/К).
b Графическая
характеристика датчиком и управляющим магнитом; Магниторезистивный угломер
1 Сопротивления она уменьшается при росте температуры (косые полосы на индикаторе состояния)
пермаллоя
и увеличении воздушного зазора.
2 Поворотный по­
стоянный магнит Измерительную чувствительность
с управляющей псевдоэлементов Холла можно значи­
индукцией В
тельно увеличить (не слишком искажая
3 Низкая рабочая
температура синусоидальную форму), если изначально
4 Более высокая ра­ полногранные элементы сделать полыми,
бочая температура
чтобы от них осталась только рамка
а Линейный диапа­
зон измерений Псевдодатчик Холла
b Используемый диа­
пазон измерений
UA Выходное
напряжение
Uo Напряжение
питания (5В)
φ Угол поворота

Рисунок 26
а Полногранная
основная форма
b Измененная
форма с полой
поверхностью
с Электрическая
эквивалентная
схема для формы b
Принципы измерения, используемые в датчиках | Датчики положения | 53

Такой датчик рассматривался как эко­ и температуры. Его использование в ав­


номичная альтернатива для измерения томобиле часто рассматривалось (на­
положения педали. пример, измерение хода амортизатора),
поскольку он обладает прекрасными
Простой датчик скорости АМР характеристиками, а именно, исключи­
для миллиметрового диапазона тельной точностью. Он уже изображался
Точно также с помощью отдельных диффе­ в форме окружности как угломер для
ренциальных косых полос на индикаторе определения низкочастотно настроен­
состояния можно создать простейшие ного гравитационного колебания, с по­
датчики скорости с диапазоном измерений, мощью которого можно определить поло­
равным обычно нескольким миллиметрам жение автомобиля (датчик наклона).
(рис. 28). Для достижения хорошей точ­
ности требуются только постоянное рас­ Угломер для180°
стояние (воздушный зазор) между датчи­ Магниторезистивные угломеры в версии
ком и движущимся магнитом, который псевдодатчиков Холла используют высо­
воплощает измеряемое положение s. коточную синусоидальную форму сиг­
Изменение температуры, отображаемое нала, который считывается на выходных
ростом графической характеристики, клеммах четырехфазной, полногранной
очень просто и хорошо компенсируется структуре датчика. При этом два полных
с помощью дополнительного металличес­ периода электрического выходного
кого тонкослойного датчика на одина­ сигнала соответствуют механическому
ковой подложке, который имеет почти повороту магнита на 360°. С помощью
такой же ТК, но обратным знаком (напри­ второго элемента, повернутого на 45°,
мер, Pt, Ti, Ni). дополнительно вырабатывается косину­
соидальный сигнал (рис. 30). По соотно­
Высокоточный мультидатчик (POMUX) шению обеих напряжений сигнала можно
для отрезков > 10 мм определить угол измерений (например,
Существует «умный» мультидатчик с ко­ при использовании функции арктангенса)
сыми полосами на индикаторе состояния с высокой точностью в диапазоне 180°, не­
для измерения отрезка пути, известный зависимо от изменений температуры и ко­
под торговой маркой POMUX (позицион­ лебаний интенсивности магнитного поля
ный мультиплекс). Он использует тот (расстояние, старение) (например, с помо­
факт, что точка симметрии и нулевая щью микроконтроллера или ASIC).
точка графической характеристики абсо­ Следующим условием для получения
лютно не зависит от воздушного зазора высокой точности этого датчика является
Измерение отрезка с помощью одной дифференциальной косой полосы на индикаторе состояния
54 I Принципы измерения, используемые в датчиках 1 Датчики положения

то, что на обоих мостах поле должно Угломер для 360°


иметь как минимум одинаковое направле­ Огромным недостатком угломеров АМР
ние (начиная от определенного значения является их естественное ограничение
силы (мощности), сумма не имеет значе­ по однозначно определяемому диапа­
ния), что может гарантироваться только зону измерений угла 0°...180°. Это огра­
в том случае, если оба моста расположены ничение можно преодолеть посредством
друг над другом. Удалось найти решение, модуляции направления магнитного поля
при котором оба моста, смещенные на 45°, с помощью переменного магнитного
так переплетены друг с другом, что они вспомогательного поля (рис. 31). Тогда,
могут рассматриваться как одна точка в отличие от сигналов датчика с перио­
и, в принципе, располагаются друг над дичностью 180 °COS и SIN, эти угломеры
другом (рис. 29). имеют модуляционные сигналы с перио­
Мосты АМР, уложенные друг в друга
дичностью 360°.
Таким образом удается добиться рас­
познавания диапазонов только за счет
определения знака модуляционных сиг­
налов, и, вместе с тем, удвоения диапазона
Угломер АМР 360° с модуляцией направления
движения поля
Рисунок 29
Уложенные друг
в друга мосты АМР,
повернутые на 45°

Рисунок 30
Диапазон
измерений до 180°
а Измерительный
принцип
b Выходные сигналы Магниторезистивный угломер (псевдодатчик Холла)
1 Тонкий слой NtFe
(датчик АМР)
2 Вращающийся по­
стоянный магнит
с управляющей
индукцией В
Iv Ток питания
UH1,UH2 Измеряемое
напряжение
φ Угол поворота

Рисунок 31
а Переключение
моста
b Выходные сигналы
мостиков Уитстона
с Влияние на сиг­
налы вспомога­
тельного поля
d Выходной сигнал
переключателя
обработки данных
Вн Управляющая
индукция
Питающее
UDD, USS
напряжение
USIN, UCOS Измеряемые
напряжения
φ Угол поворота
Принципы измерения, используемые в датчиках | Датчики положения | 55

однозначности на 0°...360°. Благодаря тому, постоянных магнита вращают с помощью


что вспомогательное поле на обоих мостах мультиплицируемой коробки передач
датчика направлено в разные стороны, оба (рис. 33). Поскольку два малых отраба­
модуляционных сигнала смещаются по тывающих зубчатых колеса, на которых
фазе. Для распознавания диапазона доста­ расположены постоянные магниты, отли­
точно лишь определить знак более силь­ чаются по количеству зубцов на один (ко­
ного по сумме модуляционного сигнала. личество зубцов m и m+1), их противо­
Благодаря этому распознавание диапазона положное расположение фаз (разница
станет некритичным и возможным даже угла поворота: Ψ - Θ) является однознач­
при сильных модуляционных сигналах. ной величиной для абсолютного положе­
Магнитное вспомогательное поле выра­ ния угла φ вала рулевого управления.
батывается благодаря планарной катушке, Система рассчитана так, что подобная
интегрированной в чип АМР датчика разница фаз при общем числе оборотов
(рис. 32). В соответствии с проводкой вспо­ вала рулевого управления, равном че­
могательное поле при полном мостике COS тырем, не превышает 360°, и таким об­
и SIN показывает направления, отличаю­ разом гарантируется однозначность
щееся на 45°. измерений. Каждый отдельный датчик,
кроме того, выдает неоднозначное точное
Датчик можно устанавливать только разрешение угла поворота. Благодаря
в конце вращающегося вала, т.е., напри­ такому расположению можно получить
мер, на конце вала рулевого управления разрешение, например, для всего диа­
для измерения угла поворота рулевого пазона угла поворота рулевого колеса,
колеса в системах, которые обходятся точнее 1° (использование этого принципа
без определения многократных оборотов в датчике угла поворота рулевого колеса
вала рулевого колеса (например, датчик LWS3).
угла поворота рулевого колеса LWS4).
Сверхточные магниторезистивные
Угломер в диапазоне выше 360° датчики (датчики сверхбольшого
(многократные обороты) магнитного сопротивления) (СМР)
Многократные повороты вращающейся Технология измерений СМР была раз­
детали, например, вала рулевого управ­ работана несколько лет назад и теперь
ления, можно измерить с помощью двой­ начинает применяться при определении
ного расположения «псевдоугломера углов и числа оборотов в автомобиль­
Холла» (по 180°). Оба соответствующих ной промышленности. Существенные
Схема угломера АМР 360° Расположение для измерения угла больше 360°

Рисунок 33
1 Управляемый мост
2 Зубчатый венец
3 Зубчатое колесо
с m зубцами
4 Зубчатое колесо
с m + 1 зубцами
5 магнит
6 АМР-измерительные
ячейки
φ Угол поворота вала
рулевого управле­
ния
Ψ, θ Угол поворота
маленьких зубчатых
колес
56 I Принципы измерения, используемые в датчиках | Датчики положения

преимущества технологии СМР по Мультислои СМР


сравнению с технологией датчиков АМР Относительное изменение сопротивления
(анизотропных магниторезистивных) со­ (эффект СМР) составляет в мультислоях
стоят в естественном однозначном диапа­ СМР 20...30 % и, соответственно, на ко­
зоне 360° при определении угла и высокой эффициент 10 превышает эффект АМР
чувствительности магнита при определе­ (анизотропный магниторезистивный дат­
нии числа оборотов. чик). Чтобы расположить рабочую точку
В отличие от анизотропных магнито­ в чувствительном диапазоне графической
резистивных датчиков, датчики СМР характеристики, к многослойному пакету
состоят не только из магнитного функцио­ СМР добавляют один твердомагнитный
нального слоя, а, большей частью, из слож­ слой, который дает подходящее подмаг-
ной системы слоев. В основном различают ничивающее поле. Чувствительность
две системы: первая — мультислои СМР такой сенсорной структуры составляет
обычно с 20 последовательностями из че­ примерно 0,8 %/ мТ, что выше, чем у ани­
редующихся магнитомягких и немагнит­ зотропных магниторезистивных струк­
ных отдельных слоев (Рис. 34а). Вторая — тур с косыми полосами на индикаторе
спиновые вентили СМР, состоящие из состояния.
антиферромагнитных, ферромагнитных
и немагнитных функциональных слоев. CMP-спиновые вентили
Толщина отдельных слоев в обеих систе­ Спиновые вентили СМР (рис. 35) также
мах составляет 1...5 нм, т.е. охватывает подходят для определения угла. Эталон­
только несколько атомных слоев. ное намагничивание, необходимое для
Электрическое сопротивление набора определения угла, вырабатывается в них
слоев СМР зависит от угла между намаг­ таким образом, что направление намаг­
ниченностями соседних ферромагнитных ничивания одного из ферромагнитных
отдельных слоев. Оно является максималь­ слоев (FM1) фиксируется за счет взаимо­
ным при их антипаралелльном расположе­ действия с соседним антиферромагнит -
нии и минимальным — при параллельном ным слоем (АФМ). Поэтому их называют
(рис. 34b). «соединенными слоями». Напротив,
Рисунок 34
а Модель Многослойный пакет СМР с графической Пакет слоев спинового вентиля СМР
b Изменение характеристикой с графической характеристикой
сопротивления
в зависимости
от магнитного поля

FM Магнитомягкий
отдельный слой
NM Немагнитный
отдельный слой

Рисунок 35
а Конструкция
b Изменение
сопротивления
в зависимости
от угла намагничи­
вания

FM1 Антиферромаг-
нитный отдельный
слой
FM2 ферромагнитный
отдельный слой
NM немагнитный
отдельный слой
Принципы измерения, используемые в датчиках | Датчики положения | 57

намагничивание второго ферромагнит­ Кроме того, процесс отражается также


ного слоя (FM2), магнитно расцепленного как и в сенсорных структурах АМР за счет
через немагнитный промежуточный слой, анизотропии формы и кристаллов отдель­
может свободно вращаться с помощью ных магнитных слоев.
внешнего магнитного поля. Поэтому такие
слои называют «свободными слоями». Угломер СМР, как и угломер АМР, состоит
Сопротивление изменяется в косину­ из двух мостиков (целых перемычек), из
сообразной зависимости от угла φ между которых одна производит косинус-сиг-
внешним направлением поля и эталонным нал, а другая синус-сигнал в зависимости
направлением. Решающим фактором для от направления внешнего поля (рис. 37).
точности измерения угла является ста­ Необходимые для этого различные маг­
бильность эталонной магнетизации в срав­ нитные эталонные направления МР выра­
нении с воздействием внешнего поля. Эта батываются за счет локального нагревания
стабильность значительно повышается отдельных сопротивлений измерительных
за счет использования дополнительного мостов и охлаждения на прилегающем
искусственного антиферромагнита (SAF) магнитном поле соответствующего ориен­
(рис. 36). В данном случае речь идет о двух тирования. За счет арктангенциального
ферромагнитных слоях, которые соеди­ соединения обоих сигналов мостов направ­
нены через очень тонкий немагнитный ление поля можно однозначно определить
промежуточный слой антиферромагнит- во всем угловом диапазоне 0°...360°.
ным способом и за счет своего суммарно
исчезающего магнитного нетто-момента Датчики распространения волн
не предоставляют внешнему полю кон­ В течение последних лет разработки со­
тактной поверхности. Намагничивание средоточены большей частью на датчиках,
одного из этих обоих слоев фиксируется которые определяют ближнее и дальнее
соседними естественными антиферро­ Угломер СМР с двумя мостиками
магнитами (АФМ). Определяющим для (целыми перемычками)

магнитного процесса в многослойной


системе является как взаимодействие
соединенных слоев с естественными
антиферромагнитами (АФМ), так и взаимо­
действие ферромагнитных слоев друг
с другом (PL, RL, FL).
Спиновые вентили СМР с искусственным
антиферромагнитом

Рисунок 37
а Схема
b Подключение
Mr Магнитное эталон­
ное намагничивание

Рисунок 36
FL Свободный слой
NML Промежуточный
слой
RL Эталонный слой
PL Соединенный слой
AF Антиферромагнит
58 I Принципы измерения, используемые в датчиках | Датчики положения

окружение, т. е расстояние до других окружающего пространства. Геометри­


автомобилей или участников движения ческое расстояние а от препятствия до
и препятствий. Круговой обзор автомо­ фронтальной части автомобиля опреде­
биля (рис. 38) позволяет использовать си­ ляется с помощью триангуляционного ме­
стемы, повышающие безопасность и по­ тода на основании результатов измерений
могающие вести автомобиль (системы (расстояние b и с) вторых ультразвуковых
сопровождения водителя). датчиков, расположенных относительно
друг друга на расстоянии d (рис. 40). При
Ультразвуковая технология приближении к препятствию водитель
Для измерения расстояния между авто­ получает оптический и/или акустический
мобилем и препятствием в зоне распозна­ сигнал.
вания до 2,5 м используются ультразву­
ковые датчики. С их помощью можно Определяемая характеристика отобра­
осуществлять контроль за окружением жена ассиметрично (рис. 41). Определя­
автомобиля во время парковки и манев­ емый угол по вертикали меньше по срав­
рирования (парктроник). нению с углом по горизонтали, с целью
По аналогии с принципом эхолота предотвращения того, чтобы, неровности
ультразвуковые датчики посылают дороги расценивались как препятствия.
ультразвуковые импульсы с частотой
Метод эхолота
ок. 43,5 кГц и определяют временной
интервал между отправкой импульса
и возвращением эхоимпульса, отражен­
ного от препятствия (рис. 39). Расстоя­
ние l между датчиком и ближайшим
препятствием рассчитывается по вре­
мени распространения te отраженного
Рисунок 39 эхоимпульса и скорости звука с в воз­
Принцип измерения духе (ок. 340 м/с):
расстояния с помощью
l = 0,5∙te ∙с
ультразвука
а Конструкция
b Движение сигнала Во фронтальной и задней зоне автомо­
биля установлено по 6 датчиков в каждой.
Рисунок 38
1 77 ГГц дальняя Таким образом создается большой угол
зона < 200 м — го­ для получения данных для анализа
ризонтальный угол
раскрытия ± 8° Круговой обзор автомобиля: зоны определения датчиков
2 Инфракрасная
зона ночного ви­
дения <150 м -- го­
ризонтальный угол
раскрытия ± 10°
3 Видео — средняя
зона < 80 м — го­
ризонтальный угол
раскрытия ± 22°
4 Ультразвук —
ультраблизкая
зона < 3 м — гори­
зонтальный угол
раскрытия ± 60°
5 Видео — задняя
зона — горизон­
тальный угол рас­
крытия ± 60°
Принципы измерения, используемые в датчиках | Датчики положения ] 59

Радарная технология и относительную скорость до отражаю­


Для определения окружающего про­ щего сигнал объекта.
странства на расстоянии 200 м использу­ Эта технология используется в авто­
ется радар (Radio Detection and Ranging). мобилестроении в системе ACC (Adaptive
Радары посылают электромагнитные Cruise Control, адаптивная регулировка
волны, которые отражаются от металли­ скорости). АСС позволяет выполнять
ческих поверхностей и принимаются при­ регулировку скорости, в ходе которой
емным устройством радара. На основании скорость уменьшается, когда автомобиль
сопоставления принятого сигнала с от­ медленно движется вперед, и таким обра­
правленным, с позиции времени и/или зом выдерживает заданное расстояние.
частоты, можно определить расстояние
Измерение времени прохождения
Расчет расстояния (триангуляция)
сигнала
Во всех принципах работы радара измере­
ние расстояния основывается на прямом
и непрямом измерении времени прохож­
дения сигнала в течение времени между
передачей сигнала радара и приемом отра­
женного сигнала. При прямом измерении
времени прохождения сигнала измеряется
время т. Оно рассчитывается при прямом
отражении по отношению двойного рас­
Рисунок 40
стояния d до отражателя и скорости
а Расстояние
света с по формуле: от бампера
до препятствия
τ = 2 d/c
b Расстояние
от датчика 1
При расстоянии d = 150 м до препятствия
и с ≈ 300 000 км/с время прохождения с Расстояние
от датчика 2
сигнала составляет:
до препятствия

τ≈ 1 мкс d Расстояние от дат­


чика 1 до датчика 2
1, 2 Передающий
Модуляция частоты
и принимающий
Прямое измерение времени прохождения датчик
сигнала является сложной процедурой. Бо­ 3 Препятствие

Диаграмма излучений антенны


лее простым является непрямое измерение
ультразвукового датчика времени прохождения сигнала. Данный
способ известен как FMCW (Frequency
Modulated Continuous Wave) (частотно-мо­
делированное непрерывное колебание).
Вместо сопоставления времени передан­
ного сигнала и отраженного сигнала, в ра­
дарах FMCW сравнивается частота пере­
данного и отраженного сигналов.
Условием рационального измерения
является изменяемая с течением времени
несущая частота передатчика.
При использовании метода FMCW
Рисунок 41
волны радара, линейно модулируемые 1 Горизонтальный
в частоте, посылаются в течение обычно 2 Вертикальный
60 I Принципы измерения, используемые в датчиках | Датчики положения

нескольких миллисекунд и имеют девиа- Дублирующий эффект


цию в несколько сотен МГц (fs, кривая на Несмотря на то, что по последовательно
рис. 42, отображенная сплошной линией). выполненным измерениям расстояния
Сигнал, отражающийся от автомобиля, можно определить относительную ско­
едущего впереди, запаздывает согласно рость измеряемого объекта, эта измери­
времени прохождения сигнала (fe, пун­ тельная величина быстрее, надежнее
ктирная линия на рис. 42). В возрастающей и точнее измеряется благодаря исполь­
области сигнал низкой частоты, в нисхо­ зованию дублирующего эффекта.
дящей области — высокой частоты про­ Для объекта, движущегося относительно
порционально. Разница частот Δf является в направлении радарного датчика (относи­
дискретной величиной для расстояния. тельная скорость υгеl) отраженный сигнал
Если дополнительно между автомоби­ по отношению к излученному сигналу
лями существует относительная скорость, определяет смещение частоты fD. При от­
частота принимаемого сигналаfе увели­ носительных разностных скоростях она
чивается из-за дублирующего эффекта составляет здесь:
как в возрастающей, так и в ниспадающей fD= -2fC · υгеl/c
зоне на определенное значение Δfd (fe', ли­
ния, обозначенная точками, на рис. 42). При этом /с является несущей частотой
За счет этого получаются две разности сигнала. При обычных для АСС радарных
частот Δf1 и Δf2. Их сложение дает в ре­ частотах fC = 76,5 ГГц получается смеще­
зультате расстояние, их вычитание — от­ ние частоты fD ≈510 · υгеl/м, т.е. 510 Гц
носительную скорость автомобилей по при — 1 м/с относительной скорости (при­
отношению друг к другу. Обработка сиг­ близительно).
нала в частотном диапазоне дает для каж­
дого объекта частоту, которая является Измерение угла
линейной комбинацией каждого члена В качестве третьей базовой величины
для расстояния и относительной скорости. необходимо найти боковое положение
По измеренным частотам двух зон с раз­ объекта радарного исследования. Его
личным подъемом можно определить можно определить только в том случае,
расстояние и относительную скорость для когда луч радара направляется в разных
одного объекта. Для ситуаций, в которых направлениях и по сигналам определяется
участвуют несколько целей, требуется не­ направление с наиболее сильным отра­
сколько зон с различными подъемами. жением сигнала. Для этого потребуется
Технология FMCW (частотно-моделированное либо быстрое панорамирование («скани­
непрерывное колебание) рование») луча или многолучевое распо­
ложение антенн.

Высокочастотный
элемент датчика АСС
Мощность высокой частоты вырабатывает
генератор, управляемый напряжением
Рисунок 42 (VCO, Voltage-Controlled Oscillator), со­
fs Передаваемый стоящий из диода Ганна в механическом
сигнал
резонаторе, между 76 и 77 ГГц (рис. 43).
fе Поступающий
сигнал при равной Управляющая электроника (PLL-ASIC,
скорости PLL = Phase Locked Loop) посредством
fe' Поступающий
задающего генератора управляет VCO
сигнал при наличии
относительной ско­ и обеспечивает стабилизацию и модуля­
рости цию частоты.
Принципы измерения, используемые в датчиках | Датчики положения | 61

Мощность высокой частоты распределя­ (21 работающий, 3 запасных) на высоте


ется через делитель Уилкинсона на четыре 20183 км система является полностью
передающих/принимающих канала. Через функциональной с 1993 года. Между тем,
«продувной» смеситель эта мощность, с од­ используются даже более чем 24 спутника.
ной стороны, подается на антенну, с дру­ Они с периодом обращения в 12 часов
гой стороны, принимаемый сигнал «под­ распределены на шести орбитах так, что
мешивается» в первичную полосу частот. в каждой точке Земли было постоянно
Система антенн состоит из четырех ком­ видно не менее четырех (часто до восьми).
бинированных излучателей, работающих Они непрерывно передают (цифровые)
на прием/передачу, на высокочастотной сигналы на частоте 1,57542 ГГц. Сигналы
подложке, четырех полистироловых содержат, упрощенно говоря, следующие
стержневых антенн (пластиковый конус) данные:
для предварительной фокусировки и плас­ ► идентификационный код спутника,
тиковой линзы для фокусировки луча. ► положение спутника,
Линза используется и как элемент кор­ ► точку передачи данных (включая дату).
пуса, и как радарное оптическое окно
и экранирование. Радарные волны одно­ Для высокоточного определения време­
временно излучаются четырьмя излуча­ ни передачи сигнала на борту спутника
телями антенн когерентно, в результате имеются по двое часов из цезия и рубидия, Рисунок 44
Изображение в пло­
создавая волну передатчика. Само по себе погрешность которых составляет менее скости (двухмерной):
разделение на четыре отдельных луча 20...30 нc. Оцениваемое время передачи при известном поло­

сначала осуществляется на приемной сто­ жении спутников при


Определение положения с помощью GPS измеренных показате­
роне. Здесь используют четыре отдельно лях времени распро­
надстроенных принимающих канала. странения сигнала f1
и ί2 возможные места
приема расположены
Измерение положения в виде двух окружно­
и пути с помощью GPS стей вокруг спутников,

GPS является глобальной системой опреде­ которые пересекаются


в точках А и В. Точка
ления местоположения (Global Positioning А, расположенная на
System) на базе спутников, которую аме­ поверхности Земли,

риканцы вначале использовали в военных является искомым


местом нахожде­
целях, а затем постепенно ввели в граждан­ ния принимающего
ское применение. С помощью 24 спутников устройства

Блок-схема четырехканального радара FCMW


62 | Принципы измерения, используемые в датчиках | Датчики положения

сигнала обычно находится в пределах Такая точность тем более удивительна,


70 мс. Спутники идентифицируют себя если подумать, каким разнообразным
с помощью случайного псевдокода (PRN- помехам подвергается это очень сложное
номер), который состоит из 1023 бит измерение. Здесь хотелось бы обратить
и повторяется непрерывно через каждую внимание на то, что при высокой скорос­
1 мс. Он передается носителю как фазо­ ти ок. 12000 км/ч, с которой движутся спут­
вая модуляция. ники, релятивистские эффекты уже не
С помощью приемника GPS, состоящего имеют особого значения. При высоких
из GPS-антенны, приемной части сигнала, скоростях время идет медленнее, чем
точных часов и микропроцессора, пользо­ на Земле. При более слабой гравитации,
ватель может, благодаря этой информации, которые существуют на орбитах, время
определить собственное географическое идет быстрее. Высокая скорость становится
положение в трехмерном отображении. причиной замедления времени в размере
Теоретически для этого достаточно трех 7,2 мкс в день, меньшая гравитация оказы­
спутников. Поскольку менее сложные вает в шесть раз большее противоположное
часы мобильных приемников (кварцевые воздействие.
резонаторы) все-таки немного отличаются Если данные о местоположении сохра­
от часов спутника, приходится привлекать няются в мобильном приемнике GSP, на­
четвертый спутник, с помощью которого пример, в автомобиле, в большом объеме
элиминируется неточность часов прием­ и часто, то по ним легко можно построить
ника. Из измеренных показателей време­ кривую траектории движения и вычилить
ни прохождения сигнала делается вывод скорость движения автомобиля. Если дан­
о расстоянии до «видимых» спутников. ные отправляются через радиопередаю­
Определение положения осуществля­ щий модуль на стационарно установлен­
ется следующим образом — как показано ную центральную станцию, на ней также
на рисунке 44 только в двух плоскостях можно в любой момент узнать о местопо­
пространства — затем с помощью трила- ложении автомобиля.
терации, в соответствии с которой суще­
ствует только одна точка в пространстве,
которая выполняет три условия расстоя­
ния. Дополнительно также получают ин­
формацию о том, что автомобиль — в от­
личие от самолета — должен находиться
на поверхности Земли.
Измерение будет тем точнее, чем больше
сигналов спутников будет принято, и тем
лучше, чем равномернее спутники распре­
делены по небосводу. С момента полного
перехода на обслуживание гражданских
целей (май 2000) точность определения
в плоскости достигла 3...5 м, при опреде­
лении высоты—10...20 м. С модернизацией
GPS в DGPS (дифференциальные GPS, мо­
бильные станции имеют длинноволновые
сигналы, контактирующие со стационар­
ной справочной станцией) эта погрешность
может сократиться еще больше. Так, на
сегодняшний день возможны разреше­
ния до менее 1 м.
Принципы измерения, используемые в датчиках | Датчики числа оборотов и скорости | 63

Датчики числа оборотов например, оптические и емкостные при­


и скорости емники меньше подходят для жестких
условий эксплуатации в автомобиле. Прак­
Измерительные величины тически без исключений предпочтение
Датчики числа оборотов и скорости из­ отдается датчикам, использующим маг­
меряют угол или путь, пройденный за нитный принцип.
единицу времени. В обоих случаях, когда
речь идет об автомобиле, имеются в виду Относительное измерение числа
измерительные величины, которые оборотов и скорости
определяются между двумя участниками Примерами относительной угловой
движения или между дорогой или дру­ скорости являются:
гим автомобилем. Однако следует также ► число оборотов коленчатого
измерять абсолютную угловую скорость и распределительного вала;
в пространстве или вокруг осей автомо­ ► число оборотов колеса (для ABS/ASR/
биля (угловая скорость рыскания авто­ ESP) и
мобиля). Так, например, для регулирова­ ► число оборотов дизельного
ния динамики движения определяется топливного насоса.
угловая скорость рыскания автомобиля
вокруг вертикальной оси или нормаль­ Измерение осуществляется в основном
ной оси (англ.: yaw rate). с помощью инкрементальной приемной
системы, состоящей из зубчатого колеса
Принципы измерения и датчика числа оборотов.
Обычные датчики для измерения числа При определении относительной угло­
оборотов работают по принципу больших вой скорости различают число и величину
измерительных эффектов (например, считываемых окружных отметок ротора
индуктивный). Поэтому они в основном между следующими датчиками (рис 1):
электрически пассивны, т.е. в любом слу­ ► инкрементальный датчик с небольшим
чае не оснащены электроникой по месту шагом, который до определенного гра­
использования. Последние поколения дат­ дуса угла позволяет выполнять считыва­
чиков работают в основном по принципу ние показателей мгновенной скорости,
очень маленьких измерительных эффек­ изменяемой по окружности, или очень
тов (например, датчики Холла) и, поэтому незначительного углового перемещения.
нуждаются в интегрированной электро­ ► Датчик вращения, который различает
нике для подготовки сигнала. В широком небольшое число элементов окружно­
понимании они относятся уже к «умным» сти (например, число цилиндров двига­
(или как это называется здесь «активным») теля) и
датчикам. ► простой датчик частоты вращения, кото­
Приемники абсолютных скоростей рый считывает данные о средней угло­
(угловой скорости рыскания) нуждаются вой скорости с помощью только един­
уже в очень сложной электронике, уста­ ственной маркировки каждого оборота.
навливаемой непосредственно на датчике, Считывание угловой скорости
поскольку используемые им измеритель­
ные эффекты не только очень маленькие,
но и нуждаются в сложной подготовке
Рисунок 1
сигнала. а Инкрементальный
Для инкрементального измерения датчик вращения
b Сегментный
числа оборотов могут использоваться
датчик вращения
совершенно различные (иногда совсем с Датчик числа
недорогие) физические эффекты. Однако, оборотов
64 I Принципы измерения, используемые в датчиках | Датчики числа оборотов и скорости

Формы датчиков не зависимую от числа оборотов, и по­


Используются следующие различные этому не подходят для низкого числа обо­
формы датчиков (рис. 2): ротов. При их использовании возможен
► форма стержневого датчика; только сравнительно небольшой допуск
► вилочковая или барьерная форма; воздушного зазора, и они в большей сте­
► (внутренняя и наружная) кольцевая пени не в состоянии различать колебания
форма. воздушного зазора (вибрации) импульсов
числа оборотов. Наконечник датчика сле­
Самой простой и предпочтительной фор­ дует защищать от воздействия горячих
мой датчика (с точки зрения монтажа) яв­ компонентов (например, тормоза) и высо­
ляется стержневая форма, при которой ких температур.
зубцы ротора приближаются к датчику. Соответственно, в новых датчиках стре­
Иногда используется и вилочковая или мятся к наличию следующих дополни­
комплектная форма, которая во время тельных характеристик:
монтажа требует определенной направ­ ► статистический сбор и обработка дан­
ленности относительно ротора. От приме­ ных (т.е. нулевое число оборотов или
нения формы, которая кольцом охватывает очень низкая пусковая частота враще­
роторный блок, уже почти отказались. ния или частота вращения колеса),
Только на концах вала все еще использу­ ► больший воздушный зазор (неотре­
ется внутренняя кольцевая форма, кото­ гулированный монтаж с воздушным
рая вставляется вовнутрь на конце полого зазором > 0),
и инкрементно структурированного вала. ► маленький размер,
К сожалению, наиболее часто исполь­ ► независимость от колебаний воздуш­
зуемая форма стержневого датчика де­ ного зазора,
монстрирует наименьшую измеритель­ ► независимость от температуры (< 200 °С),
ную чувствительность и ее применение ► определение направления вращения
проблематично при слишком больших (опционно для навигации) и
воздушных зазорах. Гораздо более нечув­ ► определение опорного сигнала (зажи­
ствительной к аксиальному и радиальному гание).
люфту является вилочковая форма. Са­
мые трудоемкие кольцевые формы соче­ Для выполнения первого условия пре­
тают в себе наибольший измерительный красно подходят, например, магнитостати­
сигнал с высокой нечувствительностью ческие датчики (Холла, магниторезистор,
к геометрическим допускам. AMR). Они стопроцентно удовлетворяют
и второму и третьему условию.
Традиционно индуктивные датчики явля­
ются неудовлетворительными с некото­ На рисунке 3 изображены принципиально
рых точек зрения. Они имеют амплитуду, возможные стержневые формы, которые
в целом не зависят от колебаний воздуш­
Формы датчиков
ного зазора. При этом различают датчики,
которые работают в радиальном направ­
Рисунок 2
лении, и датчики, сориентированные
а Вилочковая форма тангенциально. Таким образом, магнито­
(комплектный или статические измерительные зонды могут
створчатый
принцип)
различать северный и южный полюс со­
b Стержневая вершенно независимо от магнитно-актив­
форма (принцип ного явнополюсного ротора.
приближения)
dL Ширина воздуш­
В магнитно-пассивных роторах знак вы­
ного зазора ходного сигнала не зависит от воздушного
Принципы измерения, используемые в датчиках | Датчики числа оборотов и скорости | 65

зазора, если они выполняют считывание Собственный магнетизм индукторов


тангенциальной силы поля (недостатком (магнитно-активные роторы) позволяет
здесь является воздушный зазор, который при равной ширине инкремента и оди­
часто создает сам датчик). наковом выходном сигнале иметь значи­
Часто применяются также датчики тельно больший воздушный зазор.
дифференциального поля и градиентные Пассивные роторы существуют, пре­
зонды, выполняющие измерения ради­ жде всего, в форме зубчатых колес, ко­
ально. Они определяют в принципе только торые либо уже существуют (зубчатый
градиенты радиальных компонентов поля, венец стартера), либо целенаправленно
знак которых изменяется не в зависимо­ используются для выработки сигнала
сти от воздушного зазора, а только в зави­ (ABS). В последних используются также
симости от угла поворота. формы с планарно нарезанными зубцами
и аксиально считывающие формы.
Роторы При считывании числа оборотов или
Ротор играет важнейшую роль в процессе положения коленчатого вала (например,
измерения числа оборотов. Зачастую его на зубчатом венце стартера) для каждого
предоставляет производитель автомо­ оборота может использоваться и опре­
биля, в то время как чувствительный эле­ деляться опорный сигнал. Этот опорный
мент поставляет субподрядчик. Раньше сигнал должен позволять осуществлять
почти повсеместно использовались маг- оптимальную и свободную от неполадок
нитно-пассивные роторы, изготовленные синхронизацию зажигания и впрыска.
из магнитомягкого материала (зачастую В качестве опорного сигнала годится,
железа). Они более экономичны, чем например, полностью или частично уда­
магнитотвердые явнополюсные роторы. ленный зубец. Этот отсутствующий зубец
Кроме того, они просты в использовании, может распознаваться из-за его большего
поскольку не магнетизированы и не пред­ временного периода, поскольку установ­
ставляют опасности в связи размагничи­ лено, что число оборотов двигателя мо­
ванием (при хранении). В принципе, они жет изменяться только постепенно, а не
являются —непосредственно в сочетании толчками.
со стержневыми датчиками — самой тя- Наряду с зубчатыми колесами в каче­
желоизнашивающейся формой ротора. стве экономичных роторов до сих пор ис­
Датчики, не чувствительные к колебаниям пользуются штампованные диски с отвер­
воздушного зазора
стиями или гофрированные кольца (ABS).

Только начало использования датчиков


ABS, интегрированных в подшипник сту­
пицы колеса, привело к применению
явнополюсных роторов, которые частично
выполняли функцию в том числе уплотни­
тельного кольца радиального уплотнения)
(соединенный с помощью пластика маг­
нитный порошок). «Датчики спидометра»
также в миниатюрном исполнении или
Рисунок 3
в капсуле, соединенные с одним из колес
а Зонд радиального
автомобиля с помощью гибкого вала по поля с ротором
кратчайшему пути, содержат роторы с ма­ b Тангенциальный
зонд
лым числом полюсов для вырабатывания
с Дифференциальный
сигнала скорости. Они зачастую считы­ зонд с зубчатым
ваются встроенными датчиками Холла. колесом
66 I Принципы измерения, используемые в датчиках | Датчики числа оборотов и скорости

Индуктивные датчики чить от настоящих сигналов частоты вра­


Индуктивные датчики уже находили при­ щения. Такие ошибочные импульсы мо­
менение как катушечные датчики для гут иметь большую амплитуду, поскольку
измерения числа оборотов, когда еще не поток изменяется экспоненциально в со­
существовало моделей, выполненных по ответствии с воздушным зазором, а коле­
микростурктурной технологии (например, бательный процесс (например, вибрация
Холла). Они используют закон индукции тормозов) часто имеет высокочастотную
для измерения скорости вращения (угло­ природу.
вой скорости), т.е. создают на своем двух­ Поэтому индуктивные датчики всегда
полюсном выходе напряжение которое являются и динамическими датчиками.
пропорционально временному изменению В принципе, они не предназначены для
магнитного потока Ф (w число витков): считывания слишком медленных скорос­
тей (квазистатические или статические),
UA = Uind = w∙dΦ/dt поскольку их выходной сигнал стремится
в этом случае к нулю. Исключением явля­
Поток Ф является также функцией по­ ются только катушечные датчики, на ко­
ложения (вращения) х и воздушного торые подается только несущая частота,
зазора dL: работающие по принципу демпфирова­
При ния или вихревого тока, практически не
Ф = Ф(х, dL) und dL = const использующиеся в автомобильной про­
действует: мышленности.
UA = Uind = w ∙ ∂Φ/∂х ∙ dх/dt
Индуктивные датчики частоты враще­
причем dx/dt является измеряемой ско­ ния в принципе состоят из трех важных
ростью вращения (угловой скоростью). магнитных компонентов (рис. 4):
► жестко закрепленной катушки;
Уравнение наглядно отображает слабость ► детали из технического железа и
индуктивных датчиков: если воздушный ► постоянно-магнитной детали.
зазор dL невозможно под держивать неиз­
менным (например, при наличии вибра­ Смена потока, необходимая для создания
ции или механическом люфте), он также выходного напряжения, производится за
создает временное изменение потока, как счет движения или вращения магнитно­
и скорость измерения. Этот эффект может мягкой или твердой детали. Индуктивные
вызвать импульсы напряжения, которые датчики преимущественно состоят из
невозможно отличить или трудно отли­ стержневого магнита (1) с магнито-мяг-
ким полюсным штифтом (2), который
Индуктивный датчик частоты вращения
держит индукционную катушку (3) с по­
мощью двух соединительных элементов.
Рисунок 4
1 Стержневой магнит
Если перед этим приемником вращается
2 Магнитомягкий ферромагнитное зубчатое колесо (5) или
полюсный штифт ротор с подобной структурой, то катушка
3 Индукционная
катушка
за счет временного изменения магнитного
4 Воздушный зазор dL потока индуцирует пропорциональное (си­
5 Ферромагнитное нусоидальное) напряжение.
зубчатое колесо
(ротор или импульс­
Для считывания очень мелких зубчатых
ное колесо) структур полюсный штифт заостряют
6 Опорный сигнал или спереди в направлении концентратора
объемный сигнал
потока, т.е. образуют «полюсный клинок»,
λ Расстояние между
зубцами который проходит в основном через ме-
Принципы измерения, используемые в датчиках | Датчики числа оборотов и скорости | 67

таллический или пластиковый корпус вертикальное прохождение через ноль


и приспосабливается по форме и направ­ внутри максимального показателя по­
лению к инкрементальной структуре. тока. На основании закона магнитной
На роторе дополнительно можно разме­ индукции амплитуда сигнала является
стить один или несколько опорных сигна­ пропорциональной числу оборотов во
лов (6). Рис. 5 демонстрирует прохождение всех фазах.
потока и индуцированное напряжение
в случае с отдельным опорным сигналом Для достаточно надежного определения
(паз, кулачок, полюсный штифт). (без помех) в приборе управления рас­
Обычно для электронного считывания стояние между пиками двойного им­
такого опорного сигнала используют пульса (либо периодического импульса
Прохождение тока и напряжения по индуктивному датчику

Рисунок 5
а Отдельное магнит­
ное маркирование
на один оборот
b Периодическая
инкрементальная
структура (на­
пример, зубчатое
колесо, полюсное
колесо)
с Определяемое
переключение
1 Кулачок
2 Паз
3 Волны
переключения
4 Определение рез­
кого прохождения
через ноль
5 Подготовительный
фронт
6 Фронт
переключения
7 Момент
переключения
8 Полюсные штифты
9 Датчик
γ/2 Смещение фаз
L Индуктивность
U Напряжение
Ф Магнитный поток
68 | Принципы измерения, используемые в датчиках | Датчики числа оборотов и скорости

напряжения) USS должно составлять не половине или трети расстояния между


менее 30 мВ. Недостатком индуктивного зубцами
датчика является то, что его выходное
напряжение при высокой скорости/вы­ dL ≤λ/(2...3)
соком числе оборотов может привести
к слишком высоким показателям, зна­ Благодаря обычным зубчатым колесам
чительно выше 100 В, которые гораздо кулачкового вала и ABS перекрываются
сложнее обработать электронным спо­ воздушные зазоры размером до 0,8 или
собом. 1,5 мм. Метка, необходимая для зажига­
Если высокие скачки напряжения сре­ ния и впрыска, выполняется благодаря
заются с помощью полупроводниковых пропуску одного или двух зубцов или за­
стабилитронов, в связи с возникающими крытию места, где зубец отсутствует. Она
в этой связи изменениями полного на­ определяется по широкому расстоянию
грузочного сопротивления датчика возни­ прохождения через ноль и вызывает (соот­
кают серьезные угловые погрешности. Это ветственно кажущемуся большим зубцу)
может быть очень нежелательно для зажи­ значительно более высокое напряжение
гания в случае использования угломеров сигнала, которое отрицательно влияет
коленчатого вала и распределительного на предшествующее или последующее
вала. При таком применении необходимо инкрементное напряжение, при опреде­
обеспечивать достоверность угловых соот­ ленных обстоятельствах являющееся не­
ношений ок. 0,2°. допустимым.
При отдельных магнетически пассив­
ных или активных объемных метках пред­ Преимущества
варительный импульс, вырабатываемый ► Не требует больших затрат на изго­
полем обратного замыкания, который со­ товление.
вершенно неважен для низких оборотов, ► Высокая надежность защиты от помех
на высоких оборотах может переходить (электромагнитных): низкое статичес­
в область значений, в которой он пре­ кое внутреннее сопротивление (дина­
высит порог дискриминатора порогового мически более высокое).
значения и даже станет причиной возник­ ► Отсутствие электроники по месту
новения большей погрешности (рис. 5а). использования (электрически-пас-
По этой причине пороговые значения вход­ сивный), которой понадобилась бы
ной цепи, находящейся в приборе управле­ защита.
ния, динамически согласованы с соответ­ ► Отсутствие проблем с дрейфом напря­
ствующим числом оборотов. жения постоянного тока (динамичес­
Равномерной структуре зубцов соот­ кий принцип измерений).
ветствует (при не слишком узком воздуш­ ► Широкий температурный диапазон
ном зазоре) синусоидальное движение (первично ограничивает за счет свойств
напряжения (рис. 5b). Число оборотов заливки).
рассчитывается по расстоянию прохожде­
ния этого напряжения через ноль, но его Недостатки
амплитудаявляется пропорциональной ► Пределы уменьшения размера при
числу оборотов. использовании обычной технологии
Амплитуда сигнала очень сильно зави­ производства катушек.
сит (экспотенциально) от воздушного ► Зависимость числа оборотов выход­
зазора и размера зубца. Зубцы могут — ного сигнала, не подходит для квази-
как при всех магнитных инкрементных статических движений.
процессах —до размера воздушного ► Чувствительность относительно коле­
зазора dL прекрасно определяться по баний воздушного зазора.
Принципы измерения, используемые в датчиках | Датчики числа оборотов и скорости | 69

Примеры использования Створчатое включение эффекта Холла


► Индуктивный датчик числа оборотов Если есть необходимость использовать
двигателя (датчик частоты вращения кремниевые датчики Холла для инкремен­
кулачкового вала). тального измерения частоты вращения, то
► Индуктивный датчик числа оборотов для надежного и однозначного процесса
колеса. переключения должен быть обеспечен
► Индукционный датчик положения достаточно высокий индукционный такт
распределительного вала (транзистор­ обычно 40...50 mТ. Этого можно добиться
ная система зажигания с помощью с помощью обычных датчиков Холла для
индукционного датчика ΤΖ-Ι). выдерживаемых диапазонов воздушного
► Датчик хода иглы (впрыск дизельного зазора только тогда, когда они включаются
топлива). пластинчатым экраном (например, как
датчик момента искрообразования в ста­
Магнитостатические датчики рых электронных системах зажигания).
Квазистатическое определение числа обо­ Датчик и относящиеся к нему электрон­
ротов преимущественно реализуется с по­ ные схемы обработки сигнала интегриро­
мощью магнитостатических датчиков. Их ваны прямо на IC Холла.
выходной сигнал, зависящий не от числа Это IC Холла (изготовленная по биполяр­
оборотов, а только от силы поля, даже при ной технологии, разработана для темпе­
высоком числе оборотов имеет преиму­ ратуры до 150 °С и прямого бортового под­
щество более легкого электронного ис­ ключения) находится в почти замкнутой
пользования напряжения сигналов, огра­ магнитной цепи, состоящей из постоянного
ниченных по сумме. Кроме того они дают магнита и полюсов (рис. 6). Магнитомягкое
преимущество уменьшения практически триггерное колесо (например, приво­
до любого размера и интегрированного дящееся в действие кулачковым валом)
увеличения сигнала или предварительной движется в зазоре между ними. Пластина
обработки сигнала по месту использова­ триггерного колеса экранирует магнитное
ния. По причине меленького размера с их поле, в то время как прорезь позволяет
помощью можно реализовывать сложно­ ему беспрепятственно воздействовать на
составные системы, например, дифферен­ датчик. При этом обеспечивается надежное
циальное расположение или расположе­ функционирование датчика даже тогда,
ние с интегрированным определителем когда пластина погружается на различную
направления. Пластинчатое управление эффектом Холла
Серьезным недостатком таких актив­
ных датчиков является в первую очередь
то, что диапазон их рабочей температуры
определяется в основном входящей в ком­
Рисунок 6
плект распознающей электроникой на
а Открытый
основе кремния, которая, как правило, магнитный поток
не выдерживает таких высоких темпе­ b Замкнутый
магнитный поток
ратур, какие выдерживают элементы
1 Замыкатель
датчика. (заглушка) с шири­
С некоторых пор активные датчики ной b
2 Магнитомягкий
укомплектовываются также выходами
проводник поля
(двухполюсными), чтобы в будущем не­ 3 IC Холла
дорогой вид подключения с помощью 4 Воздушный зазор
U0 Напряжение
двух проводов не рассматривался как
питания
специфическое преимущество индуктив­ US Напряжение
ных катушечных датчиков. датчика
70 I Принципы измерения, используемые в датчиках | Датчики числа оборотов и скорости

глубину или изменяет свое положение воз­ подходят для статического или квазиста-
душного зазора в радиальном направлении, тического сканирования магнитно-пас-
т.е. вертикально относительно направлениясивного ротора (рис. 7а, зубчатое колесо),
вращения. поскольку намагничивание рабочей точки
Датчики Холла с пластинчатым управ­ (в отличие от датчиков с пластинчатым
лением используются преимущественно управление включения эффекта Холла)
как датчики вращения. При слишком уз­ слишком сильно зависит от ширины воз­
ких зазорах замыкателя магнитное поле душного зазора, а индукционный ход,
практически не проходит и нужного ин­ которого можно добиться в таком рас­
дукционного хода невозможно добиться. положении, слишком мал для надежного
переключения. Пороги переключения
Простые датчики Холла в форме стержня подключенного последовательно ком­
Простые датчики Холла, имеющие один паратора порогового значения (триггер
магнит рабочей точки, в форме стержня Шмитта) должны постоянно настраи­
ваться на изменяющуюся (плавающую)
Стержневые датчики Холла
рабочую точку. Использование в таком
виде возможно, только если отказаться
от применения гальванической связи
и статической оценки сигнала. Развязы­
вающие конденсаторы, необходимые
для таких расположений —обозначен­
ных как датчики ΔΦ — все-таки связаны
с дополнительными трудозатратами
и утратой эксплуатационной надеж­
ности.
Простые датчики Холла подходят для
Рисунок 7 сканирования магнитно-активного ротора
а Пассивный ротор (рис. 7b, индуктор). В этом поле можно
b Активный ротор
1 Инкрементный
отказаться от магнитов рабочей точки,
ротор датчик будет управляться ротором только
2 (Простой) IC Холла вокруг нулевой точки с переменной по­
3 Постоянный магнит
4 Индуктор
лярностью. При увеличении воздушного
5 Корпус зазора магнитный диапазон регулиро­
Градиентный датчик для сканирования
вания уменьшается; положение рабочей
зубчатого колеса точки (В = 0) больше не изменяется. По­
скольку нулевая точка в новых датчиках
Рисунок 8 Холла в принципе устойчива к изменениям
1 Магниторезистор­ температуры, пороги переключений
ные сопротив­
ления R 1 , R 2 или
последовательно подключенного ком­
элементы Холла паратора порогового значения можно
H1, Н2 устанавливать достаточно узко. Это по­
2 Ферромагнитная
пластинка (маг­
зволяет получать относительно большую
нитомягкая под­ ширину воздушного зазора. Колебания
ложка) воздушного зазора в таком расположе­
3 Постоянный магнит
4 Зубчатое колесо
нии не могут вызывать неотработанные
UO Питающее импульсы, поскольку они не приводят
напряжение к смене полюсов. Смена полюса харак­
UA(φ)Измерительное
напряжение при
теризует только поступательное измери­
угле поворота φ тельное движение (вращение).
Принципы измерения, используемые в датчиках | Датчики числа оборотов и скорости | 71

Градиентные датчики Касательно градиентного зонда на ос­


Градиентные датчики (Рис. 8), которые нове Холла токопроводящие дорожки мо­
можно создать, например, на основе гут последовательно соединяться: обоих
дифференциальных датчиков Холла или элементов Холла — параллельно, а их вы­
дифференциальных магниторезисторов, ходных напряжений — встречно, чтобы
гораздо лучше подходят для сканирова­ можно было бы снять непосредственно
ния магнитно пассивных роторов, чем разницу их напряжений и подать на по­
простые датчики Холла. Они оснащены по­ следовательно подключенные уровни
стоянным магнитом, рабочие поверхности усиления и обработки.
которого, восприимчивые к движениям
зубчатого колеса, гомогенизируются Тангенциальные датчики
тонкой ферро магнитной пластинкой В отличие от градиентных датчиков, тан­
(поз. 2). На ней расположены два галь- генциальные датчики реагируют на знак
ваномагнитных элемента (обобщающее и интенсивность компонентов магнит­
значение для датчиков Холла и магнито­ ного поля, тангенциальных относительно
резисторов) почти на половине расстоя­ длины окружности ротора. Они могут
ния до верхушки датчика. быть исполнены по тонкослойной ани­
Таким образом, один элемент находится зотропной магниторезистивной (AMR)
точно напротив впадины между зубцами, технологии в виде полюсов «шлагбаума»,
в то время как другой — напротив зубца. либо как простые сопротивления из
Датчик измеряет разницу силы полей сплава пермаллой в схеме полного моста
в двух точках, тесно соседствующих по или полумоста (рис. 9). В отличие от гра­
вписанному направлению. Выходной сиг­ диентных датчиков их невозможно со­
нал соответствует отклонению силы поля гласовать с шагом зубцов, они могут быть
по вписанному углу и его знак не зависит выполнены точечно. Им требуется усиле­
от воздушного зазора. Изменения воздуш­ ние по месту использования, если их из­
ного зазора не вызывают неотработанных мерительный эффект превышает эффект
импульсов, поскольку они не изменяют кремниевых датчиков на 1-2 порядка.
знак градиентного сигнала. Если речь идет об интегрированном
Для определения сигнала оба магни­ в подшипник датчике скорости вращения
торезисторных сопротивления можно кулачкового вала (модуль радиального
подключить к одному потенциометру, Датчик скорости вращения АМР в качестве зонда
который запитан от постоянного напря­ тангенциального поля

жения и выходной сигнал которого считы­ Рисунок 9


1 Зубчатое
вается без нагрузки прибора управления.
колесо (Fe)
Этот сигнал при комнатной температуре 2 Постоянный магнит
и обычных воздушных зазорах находится 3 Датчик
В Сила управляю­
в диапазоне вольт, но даже при высоких
щего поля с тан­
температурах не настолько велик, чтобы генциальными
его можно было передать на прибор компонентами Bt
и радиальными
управления без использования предвари­
компонентами ВГ
тельного усилителя. (В' состояние
Если вместо напряжения холостого хода покоя, Bt = 0),
R1, R2 тонкослой­
считывается его выходной ток, который
ные сопротивления
течет под нагрузкой, то при определенных из пермаллой (AMR)
конструкционных условиях экстремаль­ φ Угол поворота

ная температурная характеристика ком­ U0 Напряжение


питания
пенсируется чувствительностью измери­ UA Измерительное
тельного устройства. напряжение
72 I Принципы измерения, используемые в датчиках | Датчики числа оборотов и скорости

уплотнения), тонкослойный датчик АМР когда намагничивание одного магнито­


монтируется вместе с интегральной ми­ мягкого слоя фиксируется антиферромаг­
кросхемой на общей рамке с внешними нитом, намагничивание второго магнито­
выводами. мягкого слоя может идеально следовать за
В целях экономии места и защиты от внешним полем (free layer). Сопротивление
воздействия температуры интегральную минимально тогда, когда намагничивание
микросхему выгибают на 90° и устанавли­ обоих слоев направлено параллельно,
вают подальше от наконечника датчика. и повышено на 5 %, когда намагничивание
направлено антипараллельно. С помощью
Ультравысокие искусственного антиферромагнита (SAF),
магниторезистивные элементы (GMR-) состоящего из ферромагнитных слоев,
Эффект «Ультравысокого магнитного со­ соединенных друг с другом антиферромаг-
противления» («Giant Magneto Resistance») нитно с помощью тонкого немагнитного
(эффект GMR) вначале был определен на промежуточного слоя, можно дополни­
мультислоях, которые состояли из тон­ тельно минимизировать взаимодействие
ких магнитомягких и немагнитных слоев эталонного намагничивания внешним
попеременно (толщина несколько нано­ полем (рис. 10). За счет этого значительно
метров). Антипараллельное направление повысится устойчивость к воздействию
намагничивания соседних ферромагнит­ полей помех.
ных слоев приводит к максимальному элек­ Графическая характеристика спин-клапана
трическому сопротивлению, в то время как
параллельное направление демонстрирует
значительно меньшее сопротивление.
Относительное изменение сопротив­
ления для применяемых структур слоев
находится в диапазоне 20...30 %. В срав­
нении с анизотропным магниторезистив­
ным эффектом это означает увеличение
примерно в 10 раз.
Простейшая система слоев, демонстри­
рующая эффект GMR,—это спин-клапан
(см. раздел «Датчики положения»). Он
состоит из двух магнитомягких слоев, раз­
деленных немагнитным слоем. В то время
Слои спин-клапана GMR Схема мостов, датчик GMR

Рисунок 10
1
2
Свободный слой
Промежуточный
У/
слой
3 Эталонный слой
~
4 Фиксированный
слой
5 Атиферромагнит
SAF Искусственный
антиферромагнит

Рисунок 12
а Электросхема
b Эскиз градиомет-
рического датчика
Принципы измерения, используемые в датчиках | Датчики числа оборотов и скорости | 73

Типичная графическая характеристика


Измерение числа оборотов с помощью датчика GMR
спин-клапана изображена на рис. 11. Четко
различают два характерных состояния
для обоих противоположных направле­
ний внешнего магнитного поля. В области Рисунок 13
Линии полей во внеш­
перехода высокого напряжения в низкое
нем пространстве мно­
спин-клапан чувствителен к изменениям гополюсного кольца
силы поля. Оба квадрата симво­
лизируют оба моста.
Для определения числа оборотов под­
Стрелки указывают
ходит схема мостов, состоящая из четы­ направление линий
рех GMR-элементов сопротивлений, вы­ полей в этих точках

полненных в виде градиометра (рис. 12).


При этом сопротивления подключены Абсолютное измерение
таким образом, что сигнал генерируется скорости вращения
только разницей магнитных полей на Принцип измерения
обоих мостах. колебательного гирометра
Благодаря этому можно подавить Основания
эффекты однородных полей помех. По­ Механические гироскопы (англ.: Gyros­
скольку эталонное направление для всех cope или Gyro) используют силы инерции,
сопротивлений равное, нет необходимо­ чтобы независимо от систем координат
сти в локальном нагреве в магнитном поле, выполнять очень точные измерения в об­
как это было необходимо для вписывания ласти угловых движений. Как вращающи­
различных эталонных направлений намаг­ еся гироскопы, так и оптические датчики
ничивания при одном угломере. на основе интерферометрически дей­
Максимальная амплитуда сигнала гра- ствующего эффекта Саньяка (лазерные
диометрического датчика создается тогда, и волокнистые гироскопы) из-за высокой
когда направление поля на обоих мостах стоимости не рассматриваются как подхо­
смещено по фазам точно на 180°. В случае дящие для применения в автомобильных
с многополюсным индуктором это проис­ системах, несмотря на ярко выраженный
ходит тогда, когда, расстояние элементов измерительный эффект.
сопротивлений соответствует расстоянию Менее точные измерения по сравнению
между полюсами многополюсного кольца с вышеуказанными датчиками для авто­
(рис. 13). мобильной техники способны выполнять
гироскопы, изготовленные микромеха-
Примеры применения ническим способом, которые вместо ро­
► Датчик Холла (транзисторное зажига­ тационного движения используют только
ние ΤΖ-Η). эквивалентное эластичное колебательное
► Датчик Холла положения распредели­ движение для создания измерительного
тельного вала (кулачковый вал). эффекта. Эти датчики по принципу дей­
► Датчик Холла для привода (RS50, RS51). ствия подобны механическим гироскопам.
► Активный датчик Холла частоты вра­ При этом они используют для измерения
щения. ускорения Кориолиса, возникающего при
► Активный датчик частоты вращения вращательных движениях в сочетании
АМР. с колебательным движением (скорость v)
► Магниторезисторный датчик (для ди­ (рис. 14). Эти датчики, называемые коле­
зельного распределительного ТНВД и на­ бательными гироскопами (англ.: vibrating
соса радиально-поршневого двигателя). gyros), применяются в электронной ста­
► Активный датчик частоты вращения билизирующей программе (ESP) для рас­
GMR. познавания отказа в работе автомобиля,
74 [ Принципы измерения, используемые в датчиках | Датчики числа оборотов и скорости

Связи при вращательном движении


до угловой оси уменьшается — при более
Рисунок 14 высокой тангенциальной скорости — масса
Связь между угловой должна замедляться, поскольку за оборот
скоростью рыскания,
будет пройдено меньшее расстояние. Не­
колебательным дви­
жением и ускорением обходимое тормозное ускорение также
Кориолиса в точечной измеряется по изгибу подвески.
массе т
В колебательных гирометрах расстояние
ΩZ Угловая скорость
рыскания от одной (или нескольких) массы (масс)
vy Скорость колеба­ до угловой оси вращения периодически
тельного движения
увеличивается и снова уменьшается за
αCoriolis Ускорение
Кориолиса
счет колебательного возбуждения (рис. 14,
т Точечная масса движение в y-направлении). За счет этого
в навигационных системах для определе­ масса должна ускоряться с таким же так­
ния направления движения и в камерах том и снова затормаживаться (движение
для стабилизации картинки, чтобы она не х-направлении). Необходимые для этого
смазывалась. силы зависят от амплитуды колебатель­
Они отвечают всем требованиям авто­ ного возбуждения и фактической угловой
мобильной промышленности, таким как, скорости рыскания. Если колебательное
например, отсутствие профилактики, возбуждение поддерживается постоян­
длительный срок службы, постоянное ным, по скорости ускорения можно опре­
время включения и пр., включая расчеты делить угловую скорость рыскания Ω.
по стоимости. Сила Кориолиса согласно известному
Колебательные гирометры измеряют векторному закону действует вертикально
угловую скорость рыскания вокруг своей относительно вращательного движения
«чувствительной оси». В электронной ста­ и скорости движущейся массы (рис. 14).
билизирующей программе (ESP) и в нави­ Отсюда следует ускорение Кориолиса:
гационных системах они измеряют угло­ (1) αCoriolis= αх = 2∙vy ∙χ ∙ Ωz
вую скорость рыскания ΩZ вокруг оси
автомобиля (угловой оси). Системы для Скорость vy изменяется при этом синусо­
приведения в действие защиты от опро­ идально соответственно скорости коле­
кидывания требуют определения угловых баний:
скоростей Ωχ и Ωy вокруг оси крена и по­ (2) vy = vy∙sinωt
перечной оси автомобиля.
При этом при постоянной угловой ско­
Измерение ускорения Кориолиса рости рыскания Ωz измеряется также
Колебательные гирометры измеряют синусоидальное ускорение Кориолиса
ускорение Кориолиса следующим обра­ αCoriolis такой же частоты. Значение ампли­
зом: если увеличить расстояние массы от­ туды получается:
носительно оси вращения, то она должна (3) αCorioiis=2∙ vy∙ Ωz
за время одного оборота пройти большее
расстояние из-за большего радиуса. Воздействующее на массу т ускорение ау
Окружность увеличивается с увеличением в направлении колебаний по значению
радиуса. Таким образом, масса должна обычно выше на несколько десятичных
приобрести более высокую тангенциаль­ порядков, чем полезное ускорение Ко­
ную скорость и для этого ускориться. Для риолиса:
измерения этого ускорения (ускорение (4) ау = dvy/dt= ω∙vy∙sinωt
Кориолиса) масса амортизационно подве­
шивается и осуществляется измерение из­ Поскольку ускорение Кориолиса имеет
гиба подвески. Если расстояние от массы такую же частоту, что и функция возбуж-
Принципы измерения, используемые в датчиках | Акселерометры | 75

дения, полезный сигнал (угловая скорость Акселерометры


рыскания) может быть получен путем ум­
ножения сигнала возбуждения и сигнала Параметры измерений
Кориолиса на конечное усредненное зна­ Акселерометры используются для:
чение (выпрямление в соответствии с фа­ ► регулирования момента зажигания в за­
зами). Сигналы помех других частот при висимости от возникновения детонации
этом отфильтровываются (принцип син­ в работе двигателя;
хронизируемого усилителя). Формирова­ ► регулирования системы натяжения рем­
ние усредненного значения (с помощью ней безопасности (например, подушки
фильтра нижних частот) освобождает вы­ безопасности и натяжителя ремня без­
ходной сигнал от возбуждающей частоты. опасности);
Создается выходное напряжение, которое ► фиксирования ускорения транспорт­
является пропорциональным угловой ско­ ных средств для антиблокировочной
рости рыскания: системы (ABS) или системы стабилиза­
(5) UA = const∙αCoriolis= const‘∙Ω ции движения (ESP);
► оценки ускорения системы управления
шасси автотранспортного средства.
Примеры применения
► Пьезоэлектрические датчики угловой Измеряемым параметром является уско­
скорости рыскания. рение а, которое часто приводится в виде
► Микромеханические датчики угловой кратности ускорения свободного паде­
скорости рыскания. ния gn (1 g ≈ 9,81 м/с2) (стандартное зна­
Таблица 1
чение для автотранспортного средства
g Ускорение свобод­
см. в Таблице 1). ного падения,
1 g ≈ 9,81 м/с2
ННС Система удержа­
Принципы измерения
I Диапазон измерения акселерометров ния автомобиля
Акселерометры используются для из­ в начале движения
мерения действующей силы F, которая при спуске или
подъеме на склон
измеряется посредством умножения зна­
ABS Антиблокировоч-
чения ускорения а на инертную массу т: ная система
(1) F = m ∙a ESP Система стабили­
зации движения

При этом, измеряют перемещения инерт­ Рисунок 1


ной массы. Схема:
а Измерено по от­
клонению стрелки
Системы измерения перемещения на приборе
В системах измерения перемещения b с позиционным
автоматическим
(рис. 1) масса т — сейсмическая масса —
регулированием
Датчики измерения ускорения а Измерение
ускорения
х Отклонение
подвижной части
измерительного
механизма
FM Измерительная
сила (сила инер­
ции массы т)
FK Компенсирующая
сила
IА Выходной ток
UA Выходное
напряжение
76 I Принципы измерения, используемые в датчиках I Акселерометры

имеет упругое соединение с корпусом, (5) ω0=√(c⁄m)


ускорение а которого необходимо из­
мерить. Таким образом, в соответствии с уравне­
нием (3) чувствительность измерений S
Постоянное ускорение связана с частотой резонанса ω0 следую­
В случае постоянного ускорения сила щим образом:
ускорения сбалансирована с усилием воз­ (6) ω02∙S = 1
врата направленной на х пружины с коэф­
фициентом жесткости пружины с: Это значит, что необходимо получить
(2) F = m∙a = c∙x частоту резонанса, которая будет в два
раза выше, но чувствительность при этом
Чувствительность измерений S системы должна быть снижена на 1/4. Такая система
сводится к следующей формуле: пружина-масса отчетливо показывает до­
(3) S = x/a = m/c статочную постоянную пропорциональ­
ность между измеренным показателем
Соответственно, результатом большой и соответствующим отклонением лишь
массы и невысокой жесткости пружины ниже частоты резонанса.
является высокая чувствительность из­ Получившееся отклонение преобра­
мерений. зовывается в электрический сигнал по
соответствующему методу измерения
Переменное ускорение (сравните таб. 2).
В случае динамического ускорения по­
мимо силы натяжения пружины необ­ Регулирование по положению
ходимо также учитывать силу затухания Системы измерения перемещения позво­
и силу инерции. Важная сила затухания ляют применять принцип компенсации,
пропорциональна скорости х и характери­ при котором отклонение системы, обу­
зуется при помощи коэффициента зату­ словленное ускорением, регулируется при
хания р. Сила инерции пропорциональна помощи эквивалентного усилия возврата
ускорению х. Таким образом, данное урав­ (рис. 1b). Сенсорный элемент теперь явля­
нение (4) характеризует колебательные ется элементом замкнутой системы регули­
(резонансные) системы: рования. Единицей ускорения служит уси­
(4) F = m ∙a = c ∙x + p ∙x ' + m ∙x " лие возврата, в частности—образующие его
величины (например, ток или напряжение).
При пренебрежении значением затуха­ Благодаря управлению система работает
ния ( р = 0) получаем следующее значе­ очень близко к нулевой точке отклонения
ние частоты резонанса: и достигает высокой линейности.
Принципы измерения

Таблица 2
Принципы измерения, используемые в датчиках ! Акселерометры | 77

Регулирование по положению затра­ Данные безразмерные величины позво­


гивает значительную область измерений, ляют произвести простое описание и срав­
которая ограничивается только усилием нение различных систем, склонных к ко­
возврата, а также более высокой гранич­ лебаниям. Переходные характеристики
ной частотой, как и аналогичная система, и резонансное завышение определяются
которая не регулируется по положению далее данным коэффициентом затухания.
(Рис. 1а). На практике предпочтительным является
значение D = 0,5...0,7 (рисунок 2).
Затухание В системах, которые регулируются по
Для того чтобы избежать резонансного за­ положению, затухание реализуется и уста­
вышения, в чистых системах отклонения навливается в системе регулирования.
необходимо наличие определенного не за­
висящего от температуры затухания. Если Физическая реализация
коэффициент затухания рассчитывается Большинство акселерометров, которые
в отношении остальных параметров урав­ применяются сегодня в транспортных
нения (4), в результате получаем следую­ средствах, выполняются из кремния (ми­
щий коэффициент затухания по Леру D: кромеханика поверхности). При помощи
емкостного анализа оценки на основании
(7) D = -f- геометрии и стабильных параметров ма­
териалов определяется сигнал измерения,
который в некоторой мере зависит от
Резонансные кривые передаточной функции G
определяющих величин, например — от
температуры. Маленькие измерительные
конденсаторы данных датчиков распо­
ложены в непосредственной близости от
электронных схем анализа, которыми они
обслуживаются.
Преимуществом микромеханики по­
Рисунок 2
верхности является возможность регули­
а Резонансная
ровать положение системы и направлять кривая амплитуд
ее благодаря подаче электростатической b Кривая фазового
резонанса слож­
силы (на измерительные электроды или
ной передаточной
на дополнительно установленную часть функции G(i∙Ω) =
электрода). Последний метод является [x(i∙Ω)] / [α(i∙Ω)]

Формы пьезоэлектрического эффекта x(i∙Ω)


Амплитуда
отклонения
α(i∙Ω)
Амплитуда импуль­
сов ускорения
Ω=ω/ω0
Номинальная
круговая частота
D Затухание

Рисунок 3
а Продольный
эффект
b Поперечный
эффект
с Эффект тяги
F Сила
Q Заряд
78 | Принципы измерения, используемые в датчиках | Акселерометры

настоящей электромеханической самопро­ нижней частоты среза пьезаэлектричес-


веркой исправности средства, которое про- кого акселерометра 1-2 Гц.
веряет общий путь прохождения сигнала.
Принцип действия: поперечный
Механические и эффект тяги
системы измерения растяжения Помимо продольного пьезоэлектрического
Применение эффекта (рис. За) существует также по­
Пьезоэлектрические датчики устанавли­ перечный эффект и эффект тяги (рис. Зb
ваются исключительно на транспортных и 3с). На практике эти эффекты встречают­
средствах с акселерометрами и датчиками ся совместно. Взаимозависимость между
угловой скорости рыскания. полученным зарядом и воздействующим
механическим напряжением формули­
Принцип действия продольного эффекта руется в виде тензорного уравнения.
Пьезоэлектрические материалы произ­ Поперечный эффект, например, ис­
водят под воздействием силы F заряд Q, пользуется для измерения напряжения
который отправляется через электроды на изгиб биморфного пьезоэлемента, ко­
на поверхность (рис. 3). Такой заряд явля­ торый состоит из двух противоположно
ется пропорциональным механическому поляризованных пьезокерамических
напряжению, формирующемуся при по­ элементов (рис. 4). При изгибе двухслой­
мощи силы F. Материалы, использованные ного составного керамического элемента
для производства пьезоэлектрических одна половина растягивается (ε > 0),
элементов, грубо разделяют на монокрис­ а вторая — сжимается (ε < 0). Из-за проти-
таллы кварца и керамика.
Пьезоэлектрические активные керами­
Рисунок 4 ческие элементы производятся методом
а В состоянии покоя спекания из измельченных ферроэлек­
b При изгибе, рас­
триков. Таким образом, данные керами­
тяжении вверху
(ε > 0)
ческие элементы состоят из множества
и сжатии внизу мельчайших кристаллов, ориентирован­
(ε < 0)
ных в пространстве в произвольном на­
1 Направление
поляризации правлении. В процессе производства эти
F Измерительная сила кристаллы поляризуются при приложе­
U Суммарное
нии высокого напряжения. В результате
напряжение
U1, U2 Частичное
этого упорядочивается беспорядочная
напряжение поляризация микрокристаллов.
Деполяризация и, следовательно, потеря
пьезоэлектрических свойств пьезокерами­
ческих элементов может произойти при
Рисунок 5 температурном воздействии выше точки
а Электрометричес­ Кюри, при интенсивных механических
кий усилитель
нагрузках или при поляризации с прило­
b Зарядовый
усилитель
жением высокой напряженности электри­
1 Подвод ческого поля.
2 Пьезоэлектричес­
Полученные заряды перетекают во
кий элемент
с емкостью СР
внешнее сопротивление измерительной
См Измерительный электрической цепи, в частности — также
конденсатор
во внешнее сопротивление пьезодатчика.
F Измерительная сила
Q Заряд
Такие датчики не могут измерять стати­
U Напряжение ческое ускорение. Стандартные значения
Принципы измерения, используемые в датчиках | Акселерометры | 79

воположной поляризации керамических функции, которое располагается парал­


элементов частичное напряжение U1 и U2 лельно сенсорному элементу.
добавляется к итоговому общему напря­
жению U. Термические акселерометры
Термические акселерометры формируют
Анализ электрического сигнала «пузырь нагретого газа» над нагреватель­
Пьезоэлектрические сенсорные элементы ным элементом. Узкая нагретая область
могут быть смоделированы как источники газа обладает достаточной плотностью по
напряжения с емкостным внутренним со­ сравнению с окружающим охлажденным
противлением. Для идеального элемента газом.
внутреннее сопротивление является бес­ При возникновении продольного уско­
конечно высоким. Соответственно, обра­ рения газовая область достаточной плот­
ботка сигнала является надежной. ности смещается внутри окружающего
охлажденного газа. Возникающая в ре­
Для согласования полного сопротивле­ зультате асимметрия фиксируется термо­
ния в следующих системах существует элементами или сопротивлением в виде
две возможности: мостовой схемы. Напряжение мостовой
► электрометрический усилитель (рис. 5а): схемы создает сигнал ускорения.
здесь напряжение, которое прилагается
к электродам, учитывается и усиливается Конструктивное оформление
с крайне высокоомным входом. Пара­ Конструктивное оформление (англ.:
зитные емкости, тем не менее, входят Packaging), выполненное соответствующим
в передаточные функции; целесообразным образом, играет решаю­
► зарядовый усилитель (рис. 5b): здесь за­ щую роль для качества датчиков. Датчики
ряд промежуточно накапливается в каж­ ускорения охватывают параметры без
дом втором конденсаторе. Паразитные подвижного в отношении окружения сое­
емкости не имеют никакого влияния. динения, а потому они могут быть просто
герметично сконструированы. Должна
В обоих случаях необходимо принимать быть обеспечена жесткая механическая
во внимание сопротивления передаточной стыковка с измерительным элементом,
Принцип термических акселерометров
чтобы отсутствовали существенные ис­
кажения дополнительных эластичных или
свободных промежуточных элементов из­
мерения. Такая жесткая стыковка, однако,
может не привести к тому, что, например,
исходящее тепловое расширение изме­
рительного элемента будет перенесено
на датчик, что повлияет на измеряемую
величину.

Рисунок 6
Примеры применения:
а Ускорение а = 0
► пьезоэлектрические датчики ускорения b Ускорение а > 0
(биморфные элементы изгиба, продоль­ 1 Подогретая
газовая область
ные элементы — такие как датчик дето­
2 Нагревательный
национного сгорания); элемент
► микромеханические датчики ускоре­ 3 Датчик
температуры
ния, выполненные в микромеханике
4 Слой носителя
корпуса и микромеханике поверх­ 5 Смещенная зона
ности). тепловой нагрузки
80 I Принципы измерения, используемые в датчиках | Датчики давления

Датчики давления ► давления в камере сгорания (динами­


ческое, 100 бар) для распознания про­
Параметры пуска зажигания;
Измерение давления выполняется непо­ ► давление элемента дизельного топливо­
средственно после деформации мембраны подкачивающего насоса (динамическое,
или при помощи датчика усилия для 1000 бар) в электронных системах регу­
следующего применения в транспортных лирования подачи топлива дизельного
средствах (примеры): двигателя;
► впускной коллектор или давление ► давление топлива в системе прямого
наддува (1...5 бар) в системах впрыска впрыска дизельного топлива с топли­
бензина; вораспределительной трубкой
► тормозное давление (10 бар) в электроп- (до 2000 бар), а также
невматических системах торможения; ► давление топлива в системе непо­
► давление пневматической рессоры средственного впрыскивания бензина
(16 бар) в автомобилях с пневматичес­ (до 200 бар).
кой подвеской;
► давление в шинах (абсолютное, 5 бар) Принципы измерения
в системах контроля давления в шинах; Такой параметр как давление представ­
► гидравлическое давление в ресиверах ляет собой динамическое всестороннее
(около 200 бар) в ABS и рулевых меха­ ненаправленное воздействие, встречаю­
низмах с усилителем; щееся в газах и жидкостях. Оно образовы­
► давление амортизатора (около 200 вается в жидкостях, но довольно хорошо
бар) в системах управления шасси; также в желеобразных субстанциях и мяг­
► давление хладагента (35 бар) в системах ких массах для заливки. Для измерения та­
кондиционирования воздуха; кого давления применяется динамический
► модуляционное давление (35 бар) в авто­ и статический чувствительный датчик.
матических передачах; К датчикам давления динамического
► тормозное давление в главном и ко­ действия относятся, например, также все
лесном цилиндрах (200 бар), а также микрофоны, которые являются невос­
автоматическая компенсация момента приимчивыми к статическому давлению
рыскания в тормозах с электронным и используются исключительно для из­
управлением; мерения колебаний давления в газообраз­
► повышенное и пониженное давление ных или жидких средах. Поскольку до сих
атмосферы в цистернах (0,5 бар); пор, хоть это и обосновывалось практич­
ностью, речь шла о статических датчиках
Измерение давления
давления, то о них и будет предоставлена
Рисунок 1
более детальная информация.
а Непосредственное
измерение с сопро­ Непосредственное измерение давления
тивлением, завися­
Прежде всего, для измерения очень высо­
щим от давления (3)
b Измерение при кого давления (> 104 бар) было бы доста­
помощи датчика точным просто добавить электрическое
усилия (1)
сопротивление зависящее от гидравли­
с Измерение после
деформации мем­ ческого давления жидкости (рис. 1а), так
браны при помощи как все известные сопротивления по­
тензорезистора (2)
казывают более или менее выраженную
d Емкостное изме­
рение после де­ зависимость от давления (объемный эф­
формации капсулы фект). При этом, однако, обычно тяжело
мембраны (4)
обеспечить подавление одновременной
Принципы измерения, используемые в датчиках | Датчики давления | 81

зависимости от температуры и герметич­ среды, но также возможна в условиях


ность уплотнения ее подключений из отсутствия среды (в «сухом» состоянии).
среды давления. Чистое отделение среды измерения до
сих пор было возможно со значительными
Мембранные датчики техническими издержками.
В наиболее распространенных (в транс­
портных средствах) методах определе­ Тензорезисторный отвод
ния давления по датчикам для получения Деформации мембраны, возникающие
сигнала применяется тонкая мембрана при прогибе мембранного датчика, реги­
в качестве механической промежуточ­ стрируются при помощи тензорезисто­
ной ступени, которая соприкасается на ров (избыточное напряжение или сопро­
одной стороне с измеряемым давлением тивление). Сопротивление деформациям
и в той или иной степени прогибается переносится на мембрану (например,
под его воздействием. рассеиванием или напылением). Под воз­
Ее можно регулировать в широком диа­ действием механического напряжения
пазоне по плотности и диаметру текущей изменяется электрическое сопротивле­
области давления. Нижняя область из­ ние. Сопротивление подключено к мосту
мерения давления требует сравнительно Уитстона. Напряжение представляет со­
больших мембран с прогибами, которые бой меру давления.
могут располагаться в диапазоне 1...0,1 мм. В таблице 1 приведен систематический
Высокое давление, однако, требует нали­ обзор проверенных тензорезисторов, ко­
чия более плотных мембран достаточного торые в основном широко используются
диаметра, которые обычно прогибаются в транспортных средствах, в соответствии
всего на несколько мкм. с классификацией по типу материала мем­
Если при более низком давлении окон­ браны и применяемой технологией тензо-
чательно учитывать дальномерные от­ датчика. Отмечены комбинации, которые
воды (например, емкостные), то в обла­ описаны как актуальные примеры в главе
сти среднего и высокого давления будут «Типы датчиков по исполнению» (х) или
доминировать тензометрические методы производство или выпуск которых были
и здесь будет целесообразным примене­ выполнены в ближайшем рассмотрении
ние тензорезисторов. (поля, отмеченные голубым цветом).
Перечисленные здесь методы пока­
Емкостный отвод зывают довольно разнообразные ха­
Однако в противоположность своему рактеристики с точки зрения размера
применению в инерционных датчиках и характера измерительного эффекта.
(см. датчики ускорения и датчики мгно­ Коэффициент К (коэффициент размера)
венной угловой скорости рыскания ав­ Отвод из фольги и материал мембраны
томобиля), емкостные датчики давления
получили не такое широкое распростра­
нение, так как они предлагают подобные
преимущества (в частности, в отношении
точности). Существенное отличие от дру­
гих названных датчиков состоит в следую­
щем: датчики давления требуют непосред­ Таблица 1
1) Достаточная пригод­
ственного контакта со средой измерения.
ность для массового
Данные диэлектрические характеристики
серийного выпуска,
практически всегда влияют на калибровку (х) актуальные при­
таких емкостных датчиков, которая, таким меры
образом, не только зависит от текущей ■ Учесть пригодность
82 I Принципы измерения, используемые в датчиках | Датчики давления

характеризует размер измерительного мости, ν характеризует поперечное сече­


эффекта при сопротивлении деформа­ ние материала при растяжении и в идеале
ции. Это дает относительное изменение составляет постоянный статический объем
сопротивления деформации R в отноше­ ν = 0,5 (фактическое ν= 0,3...0,4).
нии относительного изменения длины l В случае с сопротивлением металлов
(уравнение 1). уровень проводимости в уравнении 1
не играет практически никакой роли,
(1) но в случае сопротивления кремния он
является доминирующим.
Для обозначения отношения между Δl/l
часто используется символ ε (деформа­ О продольном коэффициенте К говорят
ция), который представляет собой крат­ в случае направленности сопротивления
ность 10 -6 (частиц на миллион), обозна­ в направлении потока, а о поперечном
ченную как «микрон» или «относительная коэффициенте К — в случае деформации
деформация». сопротивления поперек направленности
ν представляет собой коэффициент попе­ тока (рис. 2). В таблице 2 приведен обзор
речного сжатия материала, р используется стандартных значений ключевых коэф­
для обозначения электрической проводи­ фициентов К.
Коэффициент К , физические величины
Явление «расползания», которого часто
опасаются (незначительные механические
отказы при длительной, однонаправлен­
ной, непрерывной нагрузке), происходит,
если вообще происходит, исключительно
в крайних случаях в датчиках с самоклею­
щейся фольгой. Во всех иных тензорезис-
торах, в которых не используется клей,
данного явления не наблюдается.
Говоря точнее, отклонения мембраны
зависят от разницы давления, прило-
Коэффициенты К для различных материалов

Материал Коэффициент К
продольный поперечный
Рисунок 2
а Продольное Фольговый 1,6...2,0 ≈0
b Поперечное тензорезистор
F Сила Толстая пленка 12...15 12...15
I Ток
Тонкая металлическая 1,4...2,0 -0,5...0
R Сопротивление
пленка
l Длина
w Ширина Тонкая кремниевая 25...40 -25...-40
ε Растяжение пленка
К Коэффициент
Монокристаллический 100...150 -100...-150
тензочувстви-
кремний
тельности

Основные типы датчиков измерения давления

Давление на нижней стороне мембраны, р0


Измерительное Внешнее Вакуум
давление лавление

Измерительное давление Дифференциальное Контрольное давление Абсолютное давление


давление

Таблица 2 Внешнее давление Контрольное давление Барометрическое давление

Вакуум Абсолютное давление Барометрическое давление


Таблица 3
Принципы измерения, используемые в датчиках | Датчики давления | 83

женного к верхней и нижней сторонам, Датчики усилия и датчики


соответственно. Существует четыре основ­ крутящего момента
ных типа датчиков давления (таблица 3),
а именно: Параметры
► датчики абсолютного давления; Возможности использования датчиков
► датчики контрольного давления; усилия и датчиков крутящего момента
► датчики барометрического давления, в транспортных средствах чрезвычайно
а также разнообразны и широки, о чем свидетель­
► датчики дифференциального давления. ствует приведенный ниже перечень:
► система регулирования усилия сцепле­
Возврат датчиков усилия ния в грузовых автомобилях между авто­
В некоторых датчиках используются мем­ мобилем-тягачом и прицепом, а точнее—
браны, но не с целью непосредственного полуприцепом для управляемого бес-
преобразования сигнала — поглощаемое силового торможения (без тяги и упора
мембранами усилие передается датчику дышла прицепа при торможении);
усилия, диапазон измерения которого ► усиление демпфера для электронного
может быть практически одинаковым, управления транспортным средством;
в таком случае корректировка диапазона ► осевое усилие в грузовых автомобилях
измерения давления принимается выше для распределения тормозного усилия
значения механической мембраны. с электронным управлением;
С этой целью, прежде всего, необходимо ► усилие на педали в тормозных системах
контролировать исправность крепления с электронным управлением;
датчика усилия (например, на поршне) ► тормозное усилие в тормозных системах
на измерительной мембране. с электронным приводом и электронным
управлением;
Примеры применения ► приводной момент и тормозной момент;
► Толстопленочные датчики давления; ► момент сопротивления повороту и сер­
► микромеханические датчики давления; вомомент сопротивления повороту;
► кремниевые датчики давления камеры ► защита при заклинивании электростек­
сгорания; лоподъемников и люков/сдвижных
► датчики высокого давления с метал­ крыш;
лической мембраной. ► нагрузка на колесо;
► масса пассажиров (в системах укладки
и натяжения ремней безопасности для
пассажиров).

Ранее применяемые подходы к разработке


оказались нецелесообразными, поскольку
при одновременном удовлетворении тре­
бований к точности в целом, они не оправ­
дали ожиданий в отношении затрат для
применения в предусмотренных системах
в частности. Вопреки общим ожиданиям,
хорошие датчики крутящего момента
не могут производиться по более низкой
стоимости, чем, например, датчики давле­
ния и датчики ускорения. Дело обстоит как
раз наоборот. Особенно сложная ситуа­
ция наблюдается с датчиками крутящего
84 | Принципы измерения, используемые в датчиках | Датчики усилия и датчики крутящего момента

момента, которые часто должны пере- быть решена в тесном сотрудничестве


давать параметры измерения на шасси без производителей датчиков и (как правило,
контакта с вращающимся валом (напри­ различных) поставщиков врезных де­
мер, приводным, рулевым и т.д.). Контакт­ талей, в частности — производителей
ные кольца для транспортного средства транспортных средств. Данная проблема
не приемлемы. также имеется в отношении других дат­
Датчики усилия и крутящего момента чиков, которые ранее не имели аналогич­
должны быть включены непосредственно ной точности или диапазона измерений.
в силовой поток (т.е. проводить общие па­ Даже если силовой поток не сегменти­
раметры измерения), поскольку каждый рован, а редко используется в качестве
тип измерения компонента силы в шун- «пружины измерительного прибора»
товом соединении является довольно вместо механических встроенных деталей
сложным и его легко исказить. Датчики и должен быть модифицирован исклю­
измерения силы являются датчиками чительно для закрепления элементов дат­
расширенного типа, это значит, что их чика, он требует очень точной настройки.
размер непосредственно зависит от диа­ Хотя в настоящее время датчики усилия
пазона измерения. и перемещения «Bosch» для автомобилей
Однако, согласно требованиям автомо­ серийного производства не изготовляются,
бильной промышленности, используются необходимо привести краткий обзор наи­
и компактные датчики. Но такие датчики более важных измерительных принципов
могут давать точные результаты только и применения разработок в узком диапа­
тогда, когда отображаются усилия, четко зоне использования.
определенные датчиком, что обычно в луч­
шем случае достижимо только в лаборатор­ Принципы измерения
ных условиях. Отклонения и погрешности Как правило, в датчиках усилия и датчи­
значений, неизбежные на практике, тре­ ках крутящего момента следует различать
буют промежуточного включения более статические и динамические принципы
длинных механических выравнивающих измерения, а также принципы измерения
элементов, в результате чего габариты дат­ расстояния и напряжения. Ранее требо­
чиков опять увеличиваются до недопусти­ вались в основном статические датчики,
мых размеров. а в случае датчиков усилия обычно пре­
Если бы основные детали усилия и кру­ обладали негибкие принципы измерения
тящего момента были врезными, что спо­ напряжения. К сожалению, в датчиках
собствовало бы возможности встраивания крутящего момента, в том числе в данном
датчиков, возникла бы общая проблема случае, принимался исключительно мо­
сопряжения. Данная проблема должна мент сопротивления повороту, что также
касается «мягких» гибких систем датчи­
Магнитоупругий анизотропный эффект
ков, которые можно было выполнить со
Рисунок 1
считыванием параметров угла. В част­
а Магнитоупругий ности, такая возможность представилась
измерительный благодаря доказательству допустимости
элемент
b Эффект в резуль­
данного свойства еще в предыдущих ги­
тате измерения дравлических системах, которые не были
F Сила оснащены датчиками. До сих пор в обеих
μr Относительная
областях датчики усилия и датчики кру­
магнитная прони­
цаемость тящего момента доминировали - в том
μrq против направле­ числе в промышленном применении —
ния действия силы
только при использовании действующих
μri по направлению
действия силы электромагнитных систем.
Принципы измерения, используемые в датчиках 1 Датчики усилия и датчики крутящего момента | 85

Для возможности применения микро- Изменение проницаемости в направ­


структурированных элементов серийного лении силы отображает показатель силы.
производства необходимо вновь приме­ Хотя практически все ферромагнитные
нить магнитостатические датчики измере­ материалы обладают данным эффектом,
ния расстояния (датчики Холла) (например,он оптимизируется исключительно в опре­
для измерения веса пассажира). Помимо деленных составах сплавов. К сожалению,
этого — несмотря на существующие про­ материалы, которым свойственны низкий
блемы загрязнения и, чаще всего, высо­ гистерезис, хорошая линейность и низкий
кие затраты на установку — необходимо диапазон температур, не являются мате­
принять во внимание оптоэлектронные риалами с большим эффектом в резуль­
системы считывания (например, для элект­ тате измерения. Максимальный зафикси­
ронных систем рулевого управления с уси­ рованный эффект составляет около 30%
лителем), которые позволяют одновре­ (при расчете в отношении изотропной
менно измерять крутящий момент и угол основной величины) и достигается и без
поворота с высоким разрешением. электроники, таким образом, эффект
метрологических оптимизированных
Датчики усилия материалов находится в пределах более
для измерения напряжения низкого процентного значения и требует
Магнитоупругий принцип электронного усиления.
Ферромагнитные материалы изменяются Преимуществом магнитоупругого эф­
под воздействием магнитного поля по фекта является широкий диапазон тем­
всей длине (эффект магнитострикции). ператур, сфера технического примене­
При этом в зависимости от материала ния при температуре до 300 °С. С другой
в условиях одинакового направления стороны данный эффект обладает вы­
поля длина может либо увеличиваться раженным объемным эффектом, т.е. для
(положительная магнитострикция), обнаружения соответствующих катушек
либо уменьшаться (отрицательная маг­ используется не только локальная про­
нитострикция). При обратном действии ницаемость, изменяемая приложением
данного эффекта и изменении магнитных силы (как, например, в тензорезисторах),
свойств, при взаимодействии напряже­ но также воздействие, более или менее
ния растяжения с напряжением сжатия интегрированное над поперечным сече­
можно говорить о магнитоупругом нием катушки. Таким образом, датчик
эффекте. Такой эффект проявляется менее чувствителен к возможному асим­
в анизотропном (не зависящем от направ­ метричному приложению силы.
ления) поведении относительной магнит­ Поскольку зависящие от силы изменения
ной проницаемости μr (отношение между проницаемости почти всегда регистри­
магнитной индукцией В и напряженно­ руются с помощью переменного элект­
стью магнитного поля H). Если бы при от­ рического поля, следует также обратить
сутствии усилий значения (изотропные) внимание на зависящую глубину проник­
были одинаковыми во всех направлениях, новения переменного поля, которая в зна­
они бы повлияли на приложенную силу F чительной степени зависит частоты.
в направлении силы, несколько изменив Эффекту измерения могут способство­
значение (μri) (в зависимости от мате­ вать только механические напряжения,
риала — в большую или меньшую сторону) которые также находятся в диапазоне
по сравнению с противоположным на­ проникновения поля измерения. Для мак­
правлением (μri) (рис. 1). Эффект наблю­ симальной возможности использования
дается не только в кристаллических или эффекта измерения необходимо свести
поликристаллических материалах, но к минимуму эффективный магнитный
и в аморфных веществах. зазор. Таким образом можно закрыть
86 I Принципы измерения, используемые в датчиках | Датчики усилия и датчики крутящего момента

магнитно-активныи цикл измерения при при увеличении приложенной силы их


помощи ферромагнитных материалов, направления различаются все больше. Это
даже если он не входит в поток энергии. может быть особенно выгодно для измене­
На рисунке 2 изображены два основных ния магнитной связи, использованной для
способа оценки магнитоупругого эффекта: двух измерений катушек, расположенных
расположение одной катушки на измери­ крестообразно по отношению друг к другу
тельном элементе, при котором направле­ под углом 90° (рис. 3).
ние поля совпадает с направлением силы,
позволяет использовать определяемые Тензометрический
таким образом изменения индуктив­ (пьезорезистивный) метод
ности L. Стимулированная напряжен­ Применение тензометрических датчиков
ность поля Н и индукция В не зависят от (DMS, пленочных датчиков) для измерения
действия силы, которая всегда является силы является наиболее распространен­
однонаправленной (рис. 2а). ным и, вероятно, максимально надежным
В том случае, если напряженность поля Н и точным методом измерения силы и кру­
одной питающей катушки не является тящего момента (рис. 4). Это обосновано
параллельным оси в направлении прило­ пропорциональной зависимостью между
женной силы, изменяется не только зна­ механическим напряжением σ в элементе
чение магнитной индукции В, но и (из-за растяжения, вызванным применением
анизотропии проницаемости) ее направле­ силы, и растяжением ε в области Гука ма­
ние (рис. 2b). Если при отсутствии усилия териалов элемента растяжения. По закону
направления Н и В расположены стандарт­ Гука в данном случае применяется сле­
ным образом по отношению друг к другу, дующая формула:
Действие магнитоупругого эффекта
(1) ε = Δl/l = σ/Ε

При этом постоянная пропорции Е из­


вестна как модуль упругости. Тензоме­
Рисунок 2
а В направлении
трический метод по указанной причине
силы, параллельном называют косвенным методом измере­
полю ния, поскольку в нем отсутствуют напря­
b В противополож­
ном направлении
жения, обусловленные силой, а также —
напряжения поля локально — растяжения, возникающие
H и силы F в результате. Если взять, к примеру, мо­
В Индукция
дуль упругости, обычный для металлов,
α Угол между двумя
направлениями который на 3 % превышает 100 К, тензо­
Магнитоупругий датчик сжатия
метрический датчик покажет значение
и растяжения для измерения момента силы, которое будет на 3 % выше при более
торможения (разрабатываемый образец)
высокой температуре.
В противоположность клееным тензо-
резисторам сопротивление растяжению —
как пленочное сопротивление — плотно
связано с поверхностью выбранного эле­
мента расширения таким образом, что по­
верхностное растяжение является подлин­
ным и происходит без явления ползучести.
Изменения сопротивления, происходящие
в результате расширения сопротивления,
определяются соответствующим коэффи-
Принципы измерения, используемые в датчиках | Датчики усилия и датчики крутящего момента | 87

циентом сопротивления К (см. «датчики Он в основном понижает повышающуюся


давления»): температуру, поэтому может быть компен­
сирован, если это принесет преимущества,
(2) Δ R/R = Κ·ε например, при помощи роста сигнала, вы­
званного модулем упругости. В противном
Коэффициент К в основном не превы­ случае потеря сигнала, обусловленная
шает значение 2 сопротивления метал­ коэффициентом К, обычно компенси­
лопленочного резистора, а практически руется за счет соответствующего увели­
является даже более низким. Датчики чения напряжения питания моста U0.
изготавливаются таким образом, что они
в сочетании с определенным материалом Помимо описанного выше продольного
растяжения (несущим материалом) и его коэффициента Кi существует также попе­
тепловым расширением не имеют воз­ речный коэффициент Kt, который необхо­
можного отдельного температурного коэф­ димо установить тогда, когда направление
фициента (TKR=0). Оставшиеся значения растяжения будет направлено поперек
диапазона температур снижаются в ре­ магнитного потока, создаваемого током.
зультате этого и должны распределяться по Данный коэффициент имеет противопо­
элементу растяжения в виде полумостовой ложный знак (отрицательный) и его вели­
или мостовой схемы. Воздействие темпера­ чина составляет не более 0,5.
туры (в противоположность расширению
измерения) действует на датчик в том же Недостатки/ограничения
направлении и не приводит к появлению Несмотря на высокую точность и надеж­
сигнала на выходе. ность, тензометрические датчики предла­
Соответствующее сопротивление мосто­ гают низкий выходной сигнал (мВ), таким
вого дополнения может (но не обязательно образом, растяжение и, следовательно,
будет) находиться в области растяжения изменение сопротивления (по крайней
измерительного элемента, оно также мо­ мере, в металлопленочных резисторах)
жет выполнять исключительно пассивные находятся преимущественно в пределах
функции компенсации сопротивления тысячных долей. Как правило, такие дат­
(Рис. 4с). Необходимо обратить внимание чики требуют фиксации на месте. Еще
на то, что коэффициент К часто сам имеет одним недостатком тензометрических
температурные характеристики (TКK). датчиков небольшого размера является
Тензорезистивные датчики силы

Рисунок 4
а Стержневая форма
b Кольцевая форма
с Электронная
обработка
F Сила
Я..д Сопротивление
м еталло пле н о ч н о го
резистора продоль­
ное, поперечное
R Сопротивление
расширения моста
и0 Напряжение пита­
ния моста
иА Напряжение
на выходе
88 I Принципы измерения, используемые в датчиках | Датчики усилия и датчики крутящего момента

измерение ими механических напряже- Сопротивление


ний (причем исключительно механичес­ при перпендикулярном прижиме
ких), которые преобладают в месте уста­ Почти все электрические пленочные со­
новки. Усреднение по большому элементу противления изменяют свое значение
растяжения не происходит (оно случается не только под воздействием латераль­
в результате поверхностной разделенной ного напряжения при растяжении, кото­
структуры тензорезистивного датчика). рое действует на уровне слоя, но также
Это требует очень точного и воспроизво­ при перпендикулярном (ортогональном)
димого приложения силы, при котором прижимании к уровню слоя. Максималь­
следует избегать погрешностей измерений ная чувствительность здесь указывает
ввиду неравномерного приложения силы. на необходимость применения такого
известного материала как проводящий
Применение пластик, который применяется в потен­
Для измерения силы, как правило, необ­ циометрах. Кермет (металлокерамичес­
ходимо использовать сопротивление рас­ кий материал) также дает хороший эффект
тяжению минимального размера на наи­ (рис. 5). При использовании указанных
больших деталях, проводящих силу, или материалов сопротивление с увеличением
элементах растяжения. Традиционная об­ силы прижима увеличивается до опре­
щая технология приклеивания пленочного деленного предела. Значения, которые
носителя (применяется в бытовой тех­ мы получаем без оставшихся изменений
нике: например, в точных весах и т.д.) сопротивления, аналогичны значениям,
используется для бюджетного произ­ которые наблюдаются при растяжении.
водства больших серий ввиду экономи­ Ограничение вытекает из прочности ос­
ческой выгоды. И наоборот, существуют нования, а не из материалов сопротив­
подходы с использованием небольших ления. Датчики такого типа являются по
металлических пластин или дисков, при своей сути упругими исключительно на
использовании которых производство сжатие, но не на растяжение.
датчиков является экономически выгод­
ным и применяется в пленочных техно­ Датчики силы, измеряющие расстояние
логиях, когда измерительный элемент Что касается пассажирских сидений, ко­
прижимается или приваривается. торые и без того подпружинены, обладает
Пьезорезистивные характеристики
ли встроенный датчик, измеряющий рас­
различных материалов сопротивления стояние, дополнительной упругостью.
при перпендикулярном прижиме
Этот принцип применяется в датчике
силы iBolt™ (см. модели датчиков). Че­
тыре таких датчика встроены в каркас
пассажирского сиденья и измеряют вес
пассажира. Таким образом, существует
возможность влияния на работу подушки
безопасности пассажира.

Рисунок 5
Примеры применения датчиков силы
1 84,5 Ag 15,5 Μn ► Магнитоупругие нагрузочные
2 Манганин болты (пахотные тракторы
3 Сu
с регулированием усилия плуга);
4 Аu
5 Ag ► датчик силы iBolt™ для измерения
6 Угольный пласт веса пассажира.
7 Кермет
8 Проводящий
пластик
Принципы измерения, используемые в датчиках I Датчики усилия и датчики крутящего момента | 89

Датчики крутящего момента тока (например, «аналог-частота») с ана­


При измерении крутящего момента раз­ логичной трансформаторной связью.
личают в основном метод измерения угла Для большего количества элементов
и метод измерения напряжения. В отличие можно интегрировать необходимую
от метода измерения напряжения (тен- электронику на вал в виде одного чипа. Со­
зорезистивные датчики, магнитоупругие противления растяжению могут быть уста­
датчики) методы измерения угла (напри­ новлены с меньшими затратами в сборных
мер, вихретоковые датчики) требуют стальных заготовках (например, при ис­
определенной длины/торсиона, которую пользовании тонкослойных технологий),
можно закручивать (около 0,4...4°). Меха­ а затем приварены к валу. Два кольцевых
ническое напряжение, пропорциональное трансформатора, необходимых для
крутящему моменту, направлено под Основной принцип измерения крутящего момента
углом 45° к оси вала (рис. 6).
Все описанные ниже принципы явля­
ются подходящими для бесконтактной
передачи измеренных значений вращаю­
щихся валов без контакта. В случае изме­
рения момента сопротивления появляется
дальнейшее желание одновременного ис­
пользования соответствующего метода из­
мерения (в контексте модульной интегра­
ции) с незначительным увеличением угла Рисунок 6
поворота (на более чем один полный обо­ 1 Торсион
Ф Угол
рот на 360°) с более высокой точностью.
при скручивании
σ Напряжение
Датчики измерения напряжения при скручивании

Хотя и известны магнитоупругие датчики, М Крутящий момент


r Радиус
которые охватывают валы, они, однако, l Длина электронного
они требуют очень больших затрат. По­ стержня

скольку материал валов нельзя оптимизи­ Тензометрический датчик крутящего момента


ровать с точки зрения магнитоупругости, с бесконтактным, трансформаторным съемом

исследовались различные пути, которые


позволили бы покрыть поверхность изме­
рительного вала магнитоупругим слоем,
обеспечивающим хорошее качество из­
мерений, но решения пока не найдено.
Поэтому в данном случае использовался
исключительно тензометрический ме­
тод (рис. 7): фиксация механического
напряжения мостом тензодатчика. Мост
питается от трансформатора (от выпрям­
ляющего, регулирующего и управляю­ Рисунок 7
щего прибора, расположенного на валу, 1 Индикатор крутя­

независимо от воздушного зазора). щего момента


σ Напряжение при
Дальнейшие электронные компоненты, скручивании
установленные на валу, предоставляют М Крутящий момент

возможность усиления измерительного U0 Напряжение


питания
сигнала и его преобразование в инва­ R1...R4 Тензометричес-
рианту воздушного зазора переменного кое сопротивление
90 I Принципы измерения, используемые в датчиках | Датчики усилия и датчики крутящего момента

передачи питания и сигнала, могут быть ниях φ2—φ1 представляет собой размеры
изготовлены из магнитомягкой пресс- торсионного угла:
массы с крайне низкими затратами. При
таком расположении, несмотря на низ­ (3) М= const•L•(φ2—φ1)
кие производственные затраты, можно где L = длина торсионного
достигнуть высокой точности. момента

Датчики измерения угла (скручивания) Этот метод до сих пор считался слишком
Датчики измерения угловой разности: сложным, поскольку для достижения до­
позволяют относительно просто и легко статочной точности требовалось сверхточ­
определить угол скручивания, установлен­ ное позиционирование, а также разделение
ные в обоих концах торсионных элементов соответствующего точного приращения
(длина L ≈ 5...10 см) вала два независимых или угла по всей окружности. Решения
инкрементных датчика числа оборотов или данной проблемы ищут по сей день (маг­
аналоговые или цифровые (бесконтактные) нитные, оптические датчики), поскольку ее
съемы угла (рис. 8). Расхождение в показа­ решение позволяет нам получить два важ­
Дифференциальное измерение угла для ных преимущества:
определения крутящего момента ► возможность одновременного измере­
ния угла скручивания с помощью той же
системы;
► возможность совмещения торсионного
вала с минимальным возможным из­
менением и реализации датчика в виде
встроенного датчика, а также удобный
интерфейс для дополнения комплек­
тующими деталями.
Рисунок 8
1, 2 Датчики угла/ Высокоточное измерение угла может быть
числа оборотов выполнено, например, с использованием
3 Маркировка углов
l Торсионные
принципа нониуса. Для этой цели окруж­
моменты ность вала маркируется синусоидальной
M Для измеряемого дорожкой, от которой на окружность выхо­
крутящего
момента
дит целое число периодов N. В противопо­
φ ложность к чисто инкрементной дорожке,
φ1,2 Угловой сигнал
Оптоэлектронный датчик измерения угловой которая при аналогичном количестве
разности и момента сопротивления повороту периодов предусматривает единственное
Рисунок 9 разрешение N окружности, данный сигнал
Оптический съем
синусоидальной структуры теоретически
следа маркировки угла
1 Рулевой вал предусматривает возможность получения
с торсионом произвольного разрешения благодаря при­
2 Кодировочные
менению функции арксинуса в пределах
диски со штрих­
кодом каждого синусного периода. Такое высокое
3 Корпус рулевого разрешение используется только тогда,
механизма
если вам в каждом конкретном случае из­
4 Линза
5 Элемент схемы вестно, в каком из аналогичных периодов N
освещения вы находитесь.
6 Opto-ASIC
Вследствие этого можно легко достичь
7 Светодиод
8 Сенсорный модуль однозначности, так как на окружность на­
9 Печатная плата носится вторая дорожка с немного более
Принципы измерения, используемые в датчиках j Датчики усилия и датчики крутящего момента j 91

низкой пространственной частотой, при Sensor), представленные на рисунке 9, не­


которой по окружности проходят только обходимы для измерения двух углов φ1 и φ2
синусные периоды Ν-l. Хотя оба сигнала в целом восьми дорожек, показания кото­
не формируют четких сигналов для из­ рых считываются в оптоэлектронном виде.
мерения угла поворота, из разности Точность угла свыше 360° составляет 1°,
фаз Δφ между двумя сигналами можно угловое разрешение—0,0055°, разрешение
сделать вывод касательно того, в каком угла рассогласования — 0,0044° с диапазо­
синусном периоде вы находитесь в дан­ ном измерения +9°.
ный момент. Затем разность хода обоих
сигналов меняется по всей окружности Вихретоковые датчики
приблизительно на 360°. На Рисунке 10 На достаточно длинном участке измери­
приведен пример с N=10. Если разность тельного вала на каждом конце прикре­
фаз между двумя сигналами, например, плены гильзы, устанавливаемые в пазы,
находится в диапазоне между 36° и 72°, выполненные из электропроводного алю­
вы находитесь ровно во втором синусном миния высокой проводимости (рис. 11). На
периоде. Если разность находится в про­ них размещены два ряда шлицев таким
межутке между 216° и 252°, вы находитесь Измерение угла по принципу нониуса
в 6-м синусном периоде. Затем образуется
точный угол измерения <р, поскольку к из­
меренному, но не отчетливому сигналу φ
в первом случае добавляется угол 360°,
а во втором случае — угол 216°.
Для точного разрешения отдельных
синусных периодов функция арксинуса
на практике не применяется ввиду не­
обходимости обеспечения постоянной
и нормированной амплитуды сигнала.
Более того, наряду с синусоидальной
маркировкой применяется также вторая,
косинусоидальная маркировка, которая,
в отличие от первой, смещена по фазе Вихретоковый датчик
ровно на 90°. Из соображений близости
можно предположить, что обе маркировки
распознаются датчиками с одинаковой ам­
плитудой и, вследствие этого, угол φ в пре­
делах синусоидального периода можно
рассчитать через функцию арктангенса по
двум отдельным сигналам u1 и u2 незави­
симо от u, для:

(4) φ = arctan (u1/u2)


с u1= u•sin φ и
ιι2 = u•cos φ

Таким образом, для определения точного Рисунок 11


и однозначного угла поворота φ важны 1 Шлицевый фланец

все четыре дорожки. Датчик крутящего 2 зазор


3 Высокочастотные
момента и датчик угла поворота рулевого катушки
колеса TAS (от английского Torque Angle М Крутящий момент
92 | Принципы измерения, используемые в датчиках j Расходомер

образом, что под концом вала в одном


Расходомер
ряду выступает удлиненный просвет,
а во втором ряду такой просвет блоки­ Параметры
руется. Две высокочастотных катушки Задача измерения расхода в автомобилях
(около 1 МГц), прочно закрепленных заключается в учете расхода всасывае­
в каждом ряду, меняют свои значения мого воздуха. Чтобы образовать опре­
индуктивности в результате демпфиро­ деленную воздушно-топливную смесь
вания с усилением и ослаблением. До­ в системе управления двигателем — как
стичь высокой точности возможно лишь дизельном, так и бензиновом — должен
в условиях предварительной подготовки быть известен точный расход воздуха.
и установки шлицевых фланцев. Соот­ Данную величину позволяет определить
ветствующая электроника по назначению расходомер. Датчики, измеряющие рас­
близка к используемым катушкам. ход воздуха или общий расход газа, назы­
Этот принцип работы датчиков был вают также анемометрами.
разработан компанией «Bosch» для ис­ Однако часто используемый термин
пользования в автомобилях, но нашел «расход воздуха» не дает понимания того,
применение только в сфере производства идет ли речь об объеме или о массе. По­
электрических инструментов (датчики скольку в химическом процессе сгорания
крутящего момента для промышленных топлива речь идет об определенном отно­
винтов). Лицензиат, который находится шении масс, цель измерения заключается
в Японии, разработал данный — безус­ в измерении массы всасываемого воздуха.
ловно, низкозатратный — принцип для Расход воздуха в бензиновых двигателях
применения в ряде изделий автомобиль­ является важнейшей величиной нагрузки.
ной промышленности. В дизельных двигателях скорость рецир­
куляции отработанных газов регулируется
Примеры применения при помощи расхода воздуха.
датчиков крутящего момента Максимальное значение измеряемого
► Тензорезистивный датчик момента со­ расхода воздуха находится (во времен­
противления повороту для измерения ном отношении) в среднем в зависимости
напряжения (разработан образец А для от мощности двигателя в пределах
электрического рулевого механизма 400...1200 кг/ч. Из-за низкого расхода на
с усилителем); холостом ходе современных бензиновых
► вихретоковый датчик крутящего мо­ двигателей соотношение между минималь­
мента для измерения угла (электроин­ ным и максимальным расходом составляет
струмент, изделия сторонних произво­ 1:50...1:100. В дизельных двигателях из-за
дителей, Япония); высокого расхода на холостом ходе соотно­
► оптоэлектронный датчик момента со­ шение доходит до 1:20...1:40. Ввиду строгих
противления повороту для измерения требований к отработанным газам и рас­
угла (электрический рулевой механизм ходу топлива необходимо достичь точности
с усилителем). в пределах 2...3 % измеряемого значения.
Исходя из указанного диапазона, это может
свидетельствовать о довольно высокой
(необычно высокой для автомобилей)
точности в пределах 2 10 -4.
Двигатель поглощает воздух, но не в виде
непрерывного потока, а только во время
периодического открытия впускных кла­
панов. Бывает так, что поток воздушной
массы (особенно при широко открытой
Принципы измерения, используемые в датчиках | Расходомер | 93

дроссельной заслонке бензиновых двига­ ваться в электронном виде, прежде чем


телей), в точке измерения, которая всегда будет произведена их оценка. Усреднение
находится во всасывающем тракте между до линеаризации может привести к зна­
воздушным фильтром и дроссельной за­ чительным динамическим погрешностям
слонкой или между воздушным фильтром (погрешность среднего значения).
и загрузочным устройством, по-прежнему Поэтому такой датчик расхода воздуха
приводит к образованию сильных пуль­ должен иметь возможность достаточно
саций (рис. 1). Из-за резонансов всасы­ быстро следовать за импульсациями, кото­
вающей трубы пульсации во впускном рые охватывают существенную часть гар­
коллекторе иногда бывают настолько монических колебаний ввиду их обычно
сильными, что иногда приводят к обра­ сильно отличающейся синусоидальной
зованию кратковременных обратных формы. Это требует ширины полосы
потоков. Это в первую очередь касается частот около 1000 Гц. Помимо большой
4-цилиндровых двигателей, в которых ширины полосы частот датчик расхода
фазы всасывания не перекрываются. Точ­ воздушной массы должен иметь короткие
ный расходомер должен определить такие постоянные времени включения с целью
обратные потоки с учетом знака. обеспечения выполнения правильного
Пульсации в 4-цилиндровых двигателях измерения уже в фазе запуска двигателя.
происходят с удвоенной частотой враще­ Как и все остальные датчики, уста­
ния коленчатого вала, при этом их частота новленные в двигателе транспортного
составляет 50...100 Гц. Для расходомера средства, расходомеры калибруются для
с линейной графической характеристи­ потока в трубе с симметричным профи­
кой фактически будет достаточно, если лем потока. Это говорит о том, что поток,
он при меньшем диапазоне частот будет вектор скорости ν которого проходит
следовать среднему значению этих быстро практически через все точки поперечного
колеблющихся потоков. Среднее значение сечения потока плоскости А от радиуса до
в каждом конкретном случае всегда яв­ средней оси, зависит не только от вписан­
ляется положительным и, следовательно, ного угла. Профиль потока (ламинарный
не обязательно нуждается в восприимчи­ или турбулентный, рисунок 2) связан с ве­
вости знака. личиной критерия Рейнольдса Re:
Практически все применяемые рас­
ходомеры воздуха характеризуются Re = vD/η
крайне криволинейными графическими где:
характеристиками. Таким образом, из­ D - стандартное измерение сечения,
меряемые сигналы должны линеаризо­ а также
Пульсирующий массовый расход воздуха
η — кинематическая вязкость среды.
во всасывающем тракте

Представленный в качестве примера


профиль потока настраивается сначала
в более длинных равномерно сформиро­
ванных притоках. В автомобилях с лами­
нарным потоком, обусловленным корот­
ким притоком, устанавливается профиль, Рисунок 1
При полной нагрузке
который находится между представлен­
с числом оборотов
ным ламинарным и турбулентным про­ п = 3000 мин-1,
филем. Ламинарность или турбулентность давление во впуск­
ном коллекторе
профиля потока зависит от того, каким
ps = 0,96 бар, средняя
является значение Re — выше или ниже пропускная способность
приблизительного значения 1200. QLMm - 157,3 кг/ч
94 | Принципы измерения, используемые в датчиках | Расходомер

Профили потока

Рисунок 2
1 Пластинчатый
профиль потока
2 Турбулентный
профиль потока
А Поверхность
сечения трубы
Q Расход
R Радиус трубы
r Расстояние от
центра трубы
v[r) Профиль потока

Еще одним важным параметром воз- Принципы измерения


действия является степень турбулентности Из практически бесчисленного множества
потока, которая определяется аэродина­ известных расходомеров для измерения
мическими параметрами притока в рас­ расхода воздуха в автомобилях в соот­
ходомере. Если ламинарно-турбулентный ветствии с принципом динамического
переход находится в пределах области давления сначала использовались только те
измерения, в данный момент необходимо расходомеры, которые содержали механи­
рассчитать нерегулярность кривой. В авто­ ческие подвижные части и принципиально
мобиле при минимальной массе воздуха нуждались в коррекции для компенсации
(холостой ход бензиновых двигателей) разницы плотности.
нельзя рассчитать чистый турбулентный В настоящее время применяются стой­
поток (прямоугольный профиль: v = constr). кие расходомеры с термическими тех­
Необходимой в таком случае является нологиями (термонить или анемометры
также тщательная конфигурация притока с пленочным элементом), которые могут
для того, чтобы добиться прямоугольного измерять быстрые изменения потока без
профиля в ламинарном потоке. механических движущихся частей.
При предполагаемой однородной плот­
ности р и при условии принятия прямо­ Переменные диафрагмы
угольного профиля расход рассчитывается (анемометрические заслонки)
по простым формулам: Падение давления на жестко закреплен­
ной диафрагме рассчитывается на осно­
QV= v∙A объемный расход вании двух законов:
QM = ρ∙v∙A массовый расход Уравнение неразрывности:

Поскольку в измерительной технике для ρ·1·ΙΙ1·Λι = p'2'V2'A2 = const


обеспечения симметричного угла профиля
должны использоваться более длинные Уравнение Бернулли:
прямые расстояния постоянного сечения
в продольной плоскости между верти­
калью, проходящей через центр колеса,
и точкой пересечения оси шкворня с опор­ Данные законы применяются в отноше­
ной поверхностью, такое условие невоз­ нии двух сечений замеров A1 и А2 (рис. 3).
можно выполнить при ограниченных При условии постоянной плотности
монтажных размерах отсека двигателя. ρ0= ρ1 = ρ2 происходит падение давления:
При высокой асимметрии расходомеры
необходимо откалибровать с учетом усло­
вий установки.
Принципы измерения, используемые в датчиках | Расходомер | 95

Такое падение давления можно измерить возникновение закона пути потока/угла


непосредственно при помощи датчика желаемого линейного (K-Jetronic) или
дифференциального давления или как нелинейного (L-Jetronic) процесса. По­
силу, которая воздействует на диафрагму. ложение анемометрической заслонки
Следует отметить, что такие расходомеры (рисунок 4) демонстрирует размер по­
измеряют расход, соответствующий не тока, который зависит от определенного
объему или массе, а среднему геометри­ динамического давления.
ческому обеих указанных величин: Предельная частота таких датчиков,
как правило, составляет около 10 Гц. При
встречающейся высокой частоте импуль­
сов такие клапаны не могут следовать за
Из-за квадратичной связи с потоком ста- измеряемой величиной, они отображают
ционарные диафрагмы допускают только импульсы зафиксированной диафрагмы
вариацию измеряемых величин в соот­ с квадратичной характеристикой. Таким
ношении 1:10, поскольку в противном образом, при определенных величинах на­
случае точность датчика дифференциаль­ грузки могут наблюдаться значительные
ного давления будет уже недостаточной, погрешности среднего значения, которые
и последуют большие потери давления, можно компенсировать при помощи соот­
которые приведут к потере мощности ветствующего программного обеспечения.
двигателя. Для больших диапазонов необ­ При изменении плотности всосанного
ходимо установить большее количество воздуха р в связи с перепадами темпера­
диафрагм или такие диафрагмы, которые туры или высоты измерительный сигнал
будут автоматически адаптироваться также изменяется только на основании √ρ.
к области измерения, в то время как под Для определения изменения плотности
воздействием динамического давления необходимо использовать дополнительно
они будут высвобождать большее свобод­ датчик температуры воздуха и барометри­
ное сечения потока A2. ческий датчик давления. Рисунок 3
Используя такие изменяемые подвиж­ а Кольцевая
диафрагма
ные диафрагмы можно обслужить область Анемометр с термонитью/
b Дисковый обтюра­
колебаний в соотношении 1:100. При этом пленочным элементом тор (анемометри­
анемометрический диск находится под Тонкая нить с электрическим сопротив­ ческий диск)

давлением восходящей скорости потока лением R нагревается при прохождении 1 Обтюратор


As Поперечное сече­
по сравнению с постоянным противо­ тока Iн. При одновременном прохожде­ ние диска
действием в открытом контуре, располо­ нии среды плотностью р со скоростью v А1,2 Сечение для выпол­
нения измерений
женном таким образом, это предполагает устанавливается равновесие между
p1,2 Измеряемое
Расходомер скоростного напора и расхода Расходомер скоростного напора и расхода воздуха давление
Δp Падение давления
QLM Поток воздушной
массы

Рисунок 4
1 Клапанный затвор
2 Датчик температуры
воздуха
3 к прибору
управления
4 Потенциометр
5 Объем
демпфирования
6 Компенсационный
клапан
QL Поток впускаемого
воздуха
96 I Принципы измерения, используемые в датчиках | Расходомер

электрической мощностью Реl и пневма­ Преимуществом такой схемы регули­


тической мощностью (потока) PV: рования является то, что электрический
нагревательный резисторный элемент
всегда имеет одинаковую температуру,
следовательно, его теплоемкость не должна
При этом мощность потока пропорцио­ изменяться при периодической передаче
нальна установленной разности температур тепла. Благодаря применению платиновой
и коэффициенту теплопроводности λ. проволоки толщиной 70 мкм, например,
Для расчета в данном случае применяется можно рассчитать постоянные времени для
приблизительное уравнение: изменений потока в диапазоне от 1 мс, в то
время как в нерегулируемом случае значе­
ния превысят указанные в 40...100 раз.
Если бы возникла необходимость выпол­
Хотя изначально λ является функцией нить регулирование постоянной темпера­
расхода QLM, в спокойной среде (v=0) туры нагревателя за счет того, чтобы его со­
устанавливается также определенная противление (зависимого от температуры)
потеря тепла (конвекция), которая пред­ было бы постоянным, при постоянном рас­
ставлена дополнительной постоянной с2. ходе, но более высокой температуре среды,
Очевидно, между током нагрева и расхо­ снизился бы ток и, следовательно, появи­
дом появляется известное соотношение: лась бы ошибка. На практике такая ошибка
устраняется при помощи мостовой схемы,
которая содержит второе высокоомное
ненакаливаемое компенсационное сопро­
При подаче постоянной мощности накала тивление RK того же типа (например, из
IН2 •R можно было бы установить обратное платины). Сопротивление накала при этом
убывающее повышение температуры регулируется относительно среды с помо­
полученное как корень из расхода щью схемы управления и в соответствии
воздуха QLM. Тем не менее, так как ток с неизменной избыточной температурой
нагрева IН регулируется таким образом, (рисунок 5). При внезапном повышении
Рисунок 5
QLM Поток воздушной что сохраняется постоянное повышение температуры среды датчик реагирует по­
массы температуры (например, 100К) даже средством более длительной временной
Um Напряжение изме­
при увеличении потока, то получается воз­ постоянной, так как фактически в данном
рения
Rн Сопротивление растающий ток накала только с четвертым случае должна быть изменена теплоем­
нити накала корнем из потока как величина для изме­ кость нагреваемой нити. Ток накала свиде­
RK Компенсационное тельствует о прецизионном сопротивлении
рения расхода.
сопротивление
RM Измерительное Расходомер массы воздуха Расходомер массы воздуха
сопротивление с нитью накала (электросхема) с нитью накала (составляющие)
R1,2 Выравнивающее
сопротивление

Рисунок 6
1 Сопротивление
температурной
компенсации RK
2 Зубчатый диск
датчика с нитью
накала Rн
3 Прецизионное
сопротивление
(измерительное
сопротивление RM)
QM Поток воздушной
массы
Принципы измерения, используемые в датчиках | Расходомер | 97

(измерительном сопротивлении RM) сиг­ применяемой в данном случае, превыше­


нала напряжения U M , пропорционального ние максимальной допустимой постоянной
расходу воздуха. времени включения оказалось непростой
В первом анемометре, используемом задачей. Также появилась необходимость
для измерения потока в транспортном снижать нежелательный теплообмен
средстве (расходомер с нагревательной между нагревательным и компенсацион­
нитью HLM), нагревательный элемент ным сопротивлением с помощью сложного
был фактически выполнен в виде тонкой распила. Для этого уже в данной версии
платиновой проволоки. Такая проволока можно было бы отказаться от процесса
имела трапециевидную форму и была на­ самоочищения от окалины, поскольку
тянута над поперечным сечением потока, специальные условия, созданные для по­
что позволяло усреднить возможную тока, уже не обусловливали образование
асимметрию профиля потока (рисунок 6). окалины.
Однако добиться достаточно длительного В отличие от двух предшествующих ти­
срока службы получилось только при ста­ пов расширенная микромеханическая вер­
билизации платиновой проволоки с при­ сия на кремниевой основе (расходомеры
менением сплавов, когда сопротивление с пленочным элементом HFM5 и HFM6)
не изменялось при появлении трещин отвечала практически всем ожиданиям. Ее
и отложений на его поверхности. Для отличительная черта —возможность про­
этой цели нить накала после каждой фазы водить измерения в обоих направлениях
работы при более высоких температурах движения потока с учетом знака (рису­
автоматически самоочищалась от нагара нок 7) таким образом, что возникающие
(1000 °С). при импульсах кратковременные обратные
потоки перестали обусловливать погреш­
Несмотря на значительные функциональ­ ности в измерениях (рисунок 8).
ные преимущества, с точки зрения долго­ Для этой цели в дополнение к преды­
срочной перспективы данная концепция дущему контуру накала (по аналогии
производства датчиков рассматривается с известным из литературы алгоритмом
как слишком дорогостоящая. В версии Томаса) с обеих сторон резистора в цепи
с толстослойными технологиями (рас­ накала по направлению потока и против
ходомер с пленочным элементом HFM2) него устанавливается по одному датчику
удалось объединить в одном слое все температуры. Оба датчика в случае от­
сопротивления, необходимые для из­ сутствия потока (QML = 0) показывают
мерения. Ввиду незначительного уровня одинаковую температуру. При появле­
теплоемкости керамической подложки, нии потока возрастает также разность
Микромеханический термоанемометрический Считывание
пленочный расходомер с определением расхода пульсирующего потока воздуха
воздуха с соответствующим знаком в 4-цилиндровом двигателе

Рисунок 7
QR Обратный поток

Рисунок 8
При полной нагрузке
и числе оборотов
п = 900 min-1
1 Измерительный
прибор с нитью
накала
2 Термоанемометри-
ческий пленочный
расходомер
98 I Принципы измерения, используемые в датчиках | Датчик опасной концентрации вредных веществ в воздухе

температур обоих резисторов, поскольку Датчик опасной концентрации


датчик вверху потока охлаждается средой. вредных веществ в воздухе
Выходной сигнал, рассчитываемый на
основании разности температур, характе­ Параметры
ризуется той же кривой, что и в прежних Концентрация вещества указывает на мас­
анемометрах, а его знак теперь одно­ су или объемную долю содержания опре­
значно представляет направление потока. деленного вещества в другом веществе или
смеси с другими веществами. Датчик опас­
Из-за небольших размеров микромехани- ной концентрации вредных веществ в воз­
ческий расходомер является лишь датчи­ духе (также часто называемый зондом для
ком парциального тока, т.е. он даже при­ измерения концентрации) воспринимает
близительно не может установить любые определенную измеряемую среду в идеале)
возможные неоднородности скорости полностью «игнорирует» другие возмож­
потока, превышающие сечение потока. ные вещества. В действительности, однако,
Он, скорее, рассчитан на отображение каждый зонд характеризуется также по­
доли небольшого парциального тока во перечной чувствительностью к другим
всем диапазоне измерений общего по­ веществам даже при сохранении постоян­
тока. Данные требования можно удовлет­ ных параметров температуры и давления
ворить, интегрировав выпрямитель тока (что наблюдается довольно часто).
(например, решетку) в измерительную В автомобилях измеряются следующие
трубу. параметры:
► содержание кислорода в выхлопных
Примеры применения газах (регулирование сгорания, кон­
► Расходомеры с пленочным элементом троль работы катализаторов);
HFM5 и HFM6 для применения в бен­ ► содержание окиси углерода и оксида
зиновых и дизельных двигателях. азота, а также влажность воздуха в са­
лоне (качество воздуха, запотевание
окон автомобиля);
► влажность воздуха в системе пневмати­
ческого тормозного привода (контроль
влагоотделителя);
► влажность наружного воздуха (пре­
дупреждение о наличии гололеда);
► концентрация сажи в выхлопных газах
дизельных двигателей - проблема, ко­
торая осталась неразрешенной до сих
пор. В отличие от упомянутых выше
концентраций газа речь идет о кон­
центрации частиц. Задача выполнения
измерения дополнительно усложняется

Физические методы Физико-химические методы Химические методы


Теплопроводность Тепловой эффект Селективное поглощение
Магнитный метод Теплота абсорбции Селективное поглощение с предва­
рительной химической реакцией
Поглощение излучения Характеристическая реакция
окрашивания
Газовая хроматография Электролитическая проводимость X
Радиоактивный метод Электрохимический метод X
Таблица 1
Принципы измерения, используемые в датчиках | Датчик опасной концентрации вредных веществ в воздухе | 99

тем, что неисправность датчика может с инородными элементами), существует


быть вызвана засорением частицами. риск необратимого повреждения. Такое
повреждение также называют отравле­
Вследствие использования топливных нием зонда. Таким образом, например,
элементов в системе пуска автомобильного содержащийся в топливе или выхлопных
двигателя появилась необходимость раз­ газах свинец может привести к неисправ­
работать дополнительные датчики опасной ности датчиков концентрации кислорода
концентрации вредных газообразных ве­ (лямбда-зондов).
ществ в забортном воздухе, например, дат­
чики для определения наличия водорода. Измерение уровня влажности
Помимо первостепенной важности кис­
Принципы измерения лородных датчиков (лямбда-зондов) для
Поскольку измеряемая среда встречается выхлопных газов особое значение имеет
в газообразном, жидком и твердом состоя­ также измерение параметров влажности.
нии, с течением времени было разрабо­ Влажность в более широком смысле под­
тано огромное количество измерительных разумевает содержание влаги в газообраз­
методов. Что касается автомобильной ных, жидких и твердых веществах. В более
сферы, до сих пор интерес представляла узком смысле в данном случае речь идет
лишь область газового анализа с использо­ о содержании газообразной воды (водяного
ванием специфической подобласти изме­ пара) в газообразных веществах—преиму­
рения влажности газообразных веществ. щественно в воздухе.
В таблице 1 приводится обзор общих мето­
дов, применяемых при измерениях: При изобарном охлаждении влажного газа
при определенной температуре (также
Общая газометрия называемой точкой росы т) достигается
Что касается датчиков опасной концен­ состояние насыщения.
трации вредных газообразных веществ Сначала приведем несколько важных для
в воздухе, которые во всех случаях под­ измерения уровня влажности определений
вержены непосредственному влиянию и взаимозависимых величин (см. также
анализируемой среды (например, в случае рисунок 1):
Диаграмма температуры/влажности воздуха
100 I Принципы измерения, используемые в датчиках | Датчик опасной концентрации вредных веществ в воздухе

2 Методы измерения влажности (X) Технически значимые

Метод № п/п Измерительный прибор Метод измерения


Метод насыщения 1 X Конденсационный гигрометр Прямой метод
2 X Конденсационный гигрометр LICI (измерение абсолютной
Метод испарения 3 X Психрометр влажности)

Метод поглощения 4 Объемный гигрометр


5 X Электролизный гигрометр
6 Гигрометр обьема конденсата
Энергетический метод 7 X Инфракрасный гигрометр
8 Микроволновой гигрометр
9 Разрядный гигрометр
10 Диффузионный гигрометр
Гигроскопичный метод 11 X Гигрометр с проводящей пленкой Непрямой метод
12 X Конденсационный гигрометр (измерение относительной
13 X Волосяной гигрометр влажности)
14 Двухполосный гигрометр
15 Цветной гигрометр
16 Кварцевый гигрометр
Таблица 2 17 Гравиметрический гигрометр

масса воды; промышленности) практически всегда


масса воды в состоянии насыщения; рассматриваются резистивные и емкост­
масса сухого газа; ные датчики. Они имеют в своем составе
молярная масса воды; гигроскопические слои, которые могут
средняя молярная масса сухого газа; реверсивно сохранять воду в зависимости
общее давление газовой смеси; от относительной влажности и, таким
частичное давление водяного пара; образом, вызывать радикальные измене­
давление насыщения (давление пара ния сопротивления или планарно выпол­
воды при температуре смеси). ненной емкости.
Абсолютная влажность: В гигроскопичных емкостных датчиках
влажности используется гигроскопичный
изолирующий слой (например, А1203 или
полимерный пластик), который в случае
необходимости одновременно может
(относительно объема) использоваться в качестве несущей плас­
тины как диэлектрик конденсатора.

Один из электродов проницаем для


водяного пара. Электроды имеют гребен­
Для экономичного применения в сфере чатую структуру (рисунок 2). С увеличе­
потребления (например, в автомобильной нием относительной влажности среды
Емкостная панель датчика Резистивный и емкостный датчик влаги
с гребенчатыми электродами (стандартная характеристическая кривая)

Рисунок 2
1 Пластмассовая
панель
2 Г ребенчатые
тисненые электроды
из золотой
фольги
Принципы измерения, используемые в датчиках | Датчик опасной концентрации вредных веществ в воздухе | 101

диэлектрики впитывают воду, в результате тельной степени зависит от температуры,


чего резко повышается емкость датчика при этом, как правило, нельзя отказаться
(относительная диэлектрическая прони­ от соответствующей компенсации. С по­
цаемость воды εrW≈81, рисунок 3). мощью дополнительного измерения
В резистивном датчике между парой температуры воздуха можно определить
электродов находится изолирующая под­ точку росы, а с ее помощью — и абсолют­
ложка, которая распределяется на гигро­ ную влажность. Постоянная времени
скопичной соли (LiCl) в связующем ком­ таких датчиков, как правило, составляет
поненте (пасте). Проводимость слоя резко около 30 с. В таблице 2 содержится обзор
меняется в зависимости от влажности многочисленных методов измерения
воздуха (рисунок 3). К сожалению, такое влажности воздуха, которые были раз­
изменение сопротивления также в значи­ работаны.

Пьезоэлектрический эффект

Пьер Кюри и его брат Жак в 1880 году обна­ Изменение длины Δχ получаем из прило­
ружили явление, которое, хотя было малоиз­ женного напряжения U: [U/δ = Δχ (пример
вестным, являлось обыденным для миллионов с кварцем: деформация около 10-9 см при
людей: речь идет о пьезоэлектрическом эф­ U = 10 V]
фекте. Такой эффект, например, поддержи­
вает такт стрелок кварцевых часов. Пьезоэлектрический эффект используется
Определенные кристаллы (например, кварц не только в кварцевых часах и промежуточ­
и турмалин) являются пьезоэлектрическими: ных пьезоэлектрических инжекторах, но и —
в результате сжатия или растяжении вдоль в виде прямого или обратного пьезоэлектри­
определенных осей кристаллов на поверхности ческого эффекта — в ряде иных технических
кристалла индуцируются электрические заряды.приспособлений.
Такая электрическая поляризация возникает Пьезоэлектрические датчики применяются,
в результате перемещения положительных например, для контроля детонации бензино­
и отрицательных ионов в кристалле по отно­ вых двигателей, в которых они обнаруживают
шению друг к другу под воздействием силы высокочастотные вибрации двигателя как
(см. рисунок, позиция Ь). Смещенные центры признак детонационного сгорания. Преобразо­
тяжести заряда выравниваются внутри крис­ вания механических колебаний электрического
талла, однако в середине передней поверхностинапряжения используются также в пьезоэлект­
кристалла образуется электрическое поле. рическом адаптере электропроигрывателя или
Сжатие и расширение кристалла обозна­ пьезоэлектрических микрофонах. В пьезопод­
чают обратные направления поля. жиге (например, в зажигалках) механическое
При приложении электрического напряжения давление образует напряжение, необходимое
с другой стороны к торцам кристалла про­ для получения искры.
исходит обратный эффект (обратный пьезо­ Если с другой стороны к пьезоэлектри­
электрический эффект): положительные ионы ческому кристаллу приложить напряжение
в электрическом поле движутся в направле­ переменного тока, он будет механически Принцип пьезоэлект­
нии отрицательного электрода, а отрицатель­ пульсировать с частотой переменного напря­
ные ионы - в направлении положительного жения. Такие кварцевые генераторы исполь­ рического эффекта
электрода. В результате происходит сжатие зуются, например, в качестве стабилизаторов (изображено на при­
или растяжение кристалла в зависимости от в электрических резонансных контурах или мере единой ячейки)
направления электрического поля в качестве пьезоэлектрических звуковых ис­ а кварцевый
(см. рисунок, позиция с). точников для генерации ультразвука. кристалл Si02
При использовании кварца в часах квар­ b пьезоэлектричес­
Для определения пьезоэлектрической напря­ цевый генератор возбуждается переменным кий эффект: при сжатии
женности поля Ер применяются следующие напряжением, частота которого соответствует
собственной частоте кварца. Таким образом, кристалла отрицательные
формулы:
EР = δ Δχ/χ возникает временное предельное постоянное ионы О-2 смещаются
Δχ/χ: относительное сжатие или растяжение, резонансное колебание, отклонение которого вверх, а положитель­
δ: пьезоэлектрический коэффициент,чис­ для откалиброванного кварца составляет при­ ные ионы Si4+ - ВНИЗ:
9 11
ловое значение от 10 V/см до 10 V/cm мерно 1/1000 секунд в год. на поверхности кри­
сталла индуцируются
электрические заряды,
с обратный пьезоэ­
лектрический эффект:
в результате приложе­
ния электрического
напряжения ионы О-3
смещаются вверх,
а ионы Si4+ - вниз:
происходит сжатие
кристалла
102 I Принципы измерения, используемые в датчиках | Датчики измерения температуры

Датчики измерения печить хорошую термоизоляцию датчика


температуры по отношению к креплению. Собственная
теплоемкость большинства датчиков, вы­
Параметры рабатываемая ими в активном состоянии,
Температура является ненаправленной должна под держиваться на минимальном
величиной, которая характеризует энер­ уровне (например, <1 мВт), поскольку она
гетическое состояние среды и может за­ также искажает результаты измерений.
висеть от места и времени: Динамическое поведение датчика тем­
пературы обеспечивается постоянной
Т = Т (х, у, z, t) (1) времени Т. Она указывает на время, не­
обходимое датчику при скачкообразном
где: х, у, z — пространственные коорди­ изменении температуры, чтобы достичь,
наты, t — время, Т — температура, изме­ например, своего конечного показания
ряемая по шкале Цельсия или Кельвина. в объеме 63 %, 90 % или 99 %. Время зави­
сит не только от теплоемкости датчика,
Что касается контроля газообразных но и в значительной степени от коэффи­
и жидких сред, измерения можно легко циента теплоотдачи относительно изме­
произвести практически в любой точке. ряемой среды. Чем больше коэффициент,
Что касается твердых тел, измерение тем быстрее датчик покажет конечное
обычно ограничивается поверхностью. значение. Такое значение, естественно,
В наиболее часто используемых датчиках является гораздо более высоким для
температуры требуется непосредствен­ жидких сред, нежели для газообразных.
ный внутренний контакт датчика с изме­ Также необходимо учитывать, что коэф­
ряемой средой (контактные термометры), фициент теплоотдачи в значительной сте­
что дает возможность точно воспринять пени зависит от существующей скорости
температуру среды. Однако в особых потока среды v. Его значение составляет
случаях применяются также бескон­ приблизительно Таким образом, по-
тактные датчики температуры, которые стоянную времени датчика температуры
определяют температуру тела или среды необходимо всегда указывать относи­
на основании выдаваемого ими (инфра­ тельно определенной скорости потока
красного) теплового излучения(радиаци­ конкретной среды.
онный термометр = пирометр, для особых
случаев—тепловизионная камера).
Точки измерения температуры в автомобиле
В целом, датчик температуры должен как
можно более точно отражать локальное
Всасываемый/нагнетаемый воздух -40...170
распределение температуры, а также ее
Окружающая среда -40...60
изменение во времени.
Салон -20.. .80
Воздух на выходе/нагревание -20...60
Данное требование — отчасти по функ­
Испаритель (кондиционер) -10...50
циональным причинам — может быть не
таким жестким. Для хорошего простран­ Охлаждающая жидкость -40...130
ственного размещения датчика, а также Масло в двигателе -40... .170
улучшения его реакции, он должен быть Батарея -40... 100
небольшим и иметь низкую теплоемкость. Топливо -40... 120
Чтобы под держивать температуру дат­ Воздух в шине -40...120
чика независимой от температуры его Выхлопные газы 100...1000
держателя, в основном отличающейся от Суппорт дискового колесного -40...2000
температуры датчика, необходимо обес­ тормозного механизма
Таблица 1
Принципы измерения, используемые в датчиках | Датчики измерения температуры 1 103

При измерении температуры в автомо­ теристики. Кроме того, измерительные эле­


билях практически всегда используется менты пригодны для экономичного массо­
температурная зависимость электрических вого производства, при этом они являются
материалов сопротивления с положи­ в достаточной мере воспроизводимыми
тельным (ПТК) или отрицательным (ОТК) и устойчивыми к старению. С учетом таких
температурным коэффициентом в виде аспектов сформировались следующие дат­
контактных термометров. Преобразование чики, которые нашли применение в авто­
изменений сопротивления в аналоговое мобильной промышленности:
напряжение в основном обеспечивается
добавлением нейтрального температур­ Датчики сопротивления
ного или противоположно зависимого Электрические резисторы, зависимые
сопротивления к делителю напряжения от температуры, являются биполярными
(в том числе линеаризирующий эффект). элементами, особенно пригодными для
В последнее время в целях защиты води­ измерения температуры, независимо от
теля и пассажиров (контроль положения того, являются ли они проволочными,
пассажиров для срабатывания подушек металлокерамическими, пленочными,
безопасности), а также в целях обеспече­ тонкослойными/толстослойными или
ния комфорта (контроль климата в соот­ монокристаллическими датчиками. Как
ветствии с измерением температуры кожи, правило, они подключаются к делителю
предотвращение запотевания) во внимание напряжения или питаются подводимым
принимаются также бесконтактные (пиро­ током для преобразования сигнала в ана­
метрические) датчики температуры, кото­ логовый сигнал напряжения с постоян­
рые нашли свое применение только за счет ным сопротивлением Rv (рисунок 1). Во
бюджетных микросистемных технологий. время прохождения по схеме деления
В таблице 1 показано, какая температура напряжения исходная характеристика
измеряется в автомобилях. датчика R(T) преобразовывается в не­
сколько иную характеристику U(T):
Существование различных форм дат­
чиков обусловлено не только разными (2)
диапазонами измерения, которые тре­
буют огромного количества концепций При фиксации питающего тока 10 точно
и технологий производства датчиков, но воспроизводится характеристика сопро­
и требованиями к точности и динамике, тивления:
не упомянутыми здесь. Во многих случаях
температура измеряется как вспомога­ (3)
тельная величина с целью компенсации
погрешностей или нежелательного пара­ Хотя схема делителя напряжения в боль­
метра воздействия. шей или меньшей степени снижается
Методы формирования сопротивления/напряжения Рисунок 1
Принципы измерения I0 Электропитание
U0 Напряжение
для бесконтактных датчиков
питания
Поскольку практически все физические RV Дополнительное
процессы являются зависимыми от темпе­ сопротивление,
не зависящее от
ратуры, существует множество способов
температуры
измерения температуры. Предпочтитель­ R(T) Измерительное
ными являются те методы, в которых тем­ сопротивление,
зависящее от
пературное воздействие является весьма
температуры
выраженным и доминирующим, а также UA(T) Выходное
следует за возможностью линейной харак­ напряжение
104 I Принципы измерения, используемые в датчиках | Датчики измерения температуры

в зависимости от схемы чувствительно­ (температурный коэффициент) и изме­


сти измерения, она, тем не менее, харак­ няется характеристика.
теризуется слегка изогнутыми прогрес­
сивными кривыми сопротивления (как Металлокерамические резисторы с ОТК
правило, весьма желательного) линеари­ Из-за очень высокого измерительного
зирующего эффекта. эффекта и не высокой стоимости про­
Часто дополнительное сопротивление изводства более широко используются
измеряется таким образом, что его зна­ полупроводниковые резисторы, выпол­
чение соответствует измерительному ненные из оксидов тяжелых металлов
сопротивлению при определенной тем­ и окисленных смешанных кристаллов.
пературе Т0 (например, 20 °С): Они спекаются в форму гранулы или
диска (рисунок 3) и имеют поликристал-
Rv = R (Т0) (4) лическую структуру: из-за резко пада­
ющих температурных характеристик
Если точность изготовления является их также называют терморезисторами
неудовлетворительной, датчик сопро­ или термисторами. Их характеристики
тивления можно довести до заданной можно описать более детально с исполь
величины, используя компенсирующее зованием следующего экспоненциаль­
параллельное сопротивление RP и после­ ного закона:
довательное сопротивление RS—как в от­
ношении значения сопротивления (при
(5)
нормальной температуре), так и в отно­
шении температурного коэффициента
(ТК) (рисунок 2). Само собой разумеется, где R0 = R(T0),
что за счет подключения стационарного В —параметр,
сопротивления несколько снижается ТК Т— абсолютная температура.
Регулирование сопротивления Термосопротивление с отрицательным
по расчетному значению температурным коэффициентом (примеры)

Рисунок 2
а Датчик сопротивле­
ния
b Характеристики
1 Вспомогательные
контакты
2 Мост
RNi Сопротивление
никелевого слоя
Rges(T) Общее со­
противление,
зависящее от
температуры Т
RP Компенсационное
параллельное
сопротивление
RS Компенсационное
последовательное
сопротивление

Рисунок 3
а Форма гранулы
b Дисковая форма
с Характеристичес­
кая кривая с грани­
цами рассеивания
Принципы измерения, используемые в датчиках [ Датчики измерения температуры | 105

Покатость графика (ТК) или процент­ низкой зависимостью от температуры,


ное изменение сопротивления с темпе­ но более благоприятными характеристи­
ратурой зависят во многом от рабочей ками линейности и воспроизводимости.
точки: Полученные данные датчика можно опи­
сать следующим уравнением:
ТК = -В/T2 (6)
R(T) = R0(1 + α ·Δ T + β · ΔT2 + ..) (7)
Покатость характеристической кривой
резко уменьшается при росте темпера­ где Δ Т = Т - Т0 и
туры. Значение сопротивления меняется Т0= 20 °С (эталонная температура).
в пределах 4...5 порядков, например,
стандартно — от 100 кП до нескольких Коэффициент β в основном обычно очень
десятков Ω. Сильная зависимость от тем­ низок для металлов, но при этом не со­
пературы позволяет выбрать диапазон всем незначителен. Таким образом, чув­
в пределах от -40 до 850 °С. Ограничен­ ствительность измерения таких датчиков
ная погрешность не достигается ни при характеризуется, как правило, средним
отборе экземпляров, ни в процессе шли­ ТК — « Т К 100». ТК 100 соответствует
фовки, что, естественно, отражается на среднему наклону характеристической
цене. Устойчивость таких датчиков к ста­ кривой в диапазоне 0 °С-100 °С (таблица 2
рению была значительно увеличена по и рисунок 4).
сравнению с более ранними моделями,
таким образом, указанные погрешности При этом ТК 100 = (8)
сохраняются на протяжении срока экс­
плуатации датчиков. Платиновые (Pt) резисторы характери­
зуются наиболее низким ТК, но при этом
Металлические тонкослойные/ рассматриваются как максимально точные
толстослойные резисторы с ПТК и устойчивые к старению резистивные
Тонкопленочные металлические рези­
Коэффициент температуры ТК 100
сторы демонстрируют крайне высокую
Материал ТК 100 Характерно- Диапазон
точность в сочетании с двумя дополни­ датчика тическая измерения
тельными температурно-нейтральными 10-з/К кривая

компенсирующими резисторами, инте­ Никель 5,1 Слегка про- -60...320


(N1) грессивная
грированными в общую подложку чипа.
Медь 4.1 Слегка про- -50...200
С точки зрения характеристической (Си) грессивная
кривой такие резисторы можно произ­ Платина 3,5 Слегка де- -220...850
(Pt) грессивная
водить с узким диапазоном погрешности Таблица 2

и долгим сроком эксплуатации, а также Определение среднего коэффициента


с дополнительной «настройкой» благо­ температуры ТК 100 = α 100

даря лазерному разрезу. Применяемая


методика нарезки позволяет выбирать
материал-носитель (керамика, стекло,
пластиковая пленке) и покровный слой
(пластиковая заливка, лакокрасочное по­
крытие, листовое сваривание, стеклянное
и керамическое покрытие) для защиты
от окружающей среды. По сравнению
с минералокерамическими полупро­
водниковыми датчиками датчики с ме­
таллическими слоями характеризуются
106 I Принципы измерения, используемые в датчиках | Датчики измерения температуры

датчики температуры. Они известны под Монокристаллические кремниевые


обозначением «РТ 100» или «РТ-1000» (но­ полупроводниковые резисторы (с ПТК)
минальное сопротивление 100Ω или 1000Ω На сенсорный чип датчиков темпера­
при нормальной температуре 20 °С) и пред­ туры, изготовленных из монокристалли-
ставлены на рынке в различных классах ческих полупроводниковых материалов,
погрешности (до 0,1°С) (рисунок 5). Для таких как кремний (Si), можно изна­
применения при температуре до 1000°С чально интегрировать дополнительные
во всех случаях подходят платиновые активные и пассивные элементы схемы
толстослойные датчики, платиновый слой (возможна первичная обработка сигнала
в которых стабилизируется при помощи в точке измерения). Их производство
специальных добавок. из-за ограниченного допуска происходит
по принципу сопротивления растеканию
Толстослойные резисторы (с ПТК/ОТК) (рисунок 6). Ток протекает через изме­
Толстослойная паста с более высоким рительный резистор с контактной точки
удельным сопротивлением (более низкая поверхности в объемный полупровод­
полезная площадь), а также положитель­ никовый материал Si, где расширяется
ными и отрицательными коэффициен­ к нижней части сенсорного чипа, пере­
тами температуры используются в основ­ крывающей противоположный электрод.
ном в качестве датчиков температуры Высокая плотность тока за точкой кон­
в компенсационных целях. Они имеют такта (высокая точность при фотолито­
нелинейные характеристики (однако, не графическом производстве) определяет
настолько искривленные, как характери­ наряду с хорошо воспроизводимой
стики изогнутых резисторов с ОТК) и мо­ Принцип сопротивления растекания
гут быть настроены, например, лазерным (модель со двойной перфорацией)

лучом. Для улучшения измерительного


эффекта можно создавать схемы делителя
напряжения из материалов с ОТК и ПТК.
Точечное сопротивление (схема допусков)

Рисунок 6
а Структура
b Характеристичес­
кая кривая
1 Контакты
2 Пассивация
(нитрид, оксид)
3 Слой Si
4 Противоположный
электрод без
питания
R(T) Сопротивление,
зависящее
от температуры
Принципы измерения, используемые в датчиках | Датчики измерения температуры i 107

постоянной материала параметр сопро­ Термопары


тивления датчика. Чтобы добиться хоро­ Термопары в основном используются для
шей зависимости от полярности, датчики, диапазона измерения > 1000°С. Они рабо­
как правило, дублируются в противопо­ тают на основе эффекта Зеебека, согласно
ложном положении при последователь­ которому между концами металлического
ном подключении (модели с двойной пер­ проводника возникает электрическое
форацией, рисунок 6). Нижний электрод напряжение при наличии разницы тем­
может быть выполнен в виде металличес­ ператур T1 и Т 2 . Такое «тепловое напря­
кого температурного контакта (без элек­ жение» Uth зависит исключительно от
трической функции). разности температур ΔТ на концах про­
Чувствительность измерения практичес­ водника (Рисунок 8). Применяется следую­
ки в два раза превышает чувствительность щая формула:
платиновых резисторов (ТК = 7,73·10-3/K).
Характеристическая кривая температуры Uth = c (Т2 - Τ 1 ) = c Δ Т , (9)
сильнее изогнута в прогрессивном направ­
лении, нежели кривая металлических дат­ где коэффициент пропорциональности
чиков. Собственная проводимость ма­ является специфическим для материала
териала обусловливает верхний предел и называется коэффициентом Зеебека.
диапазона измерения значением 150°С Поскольку проводник для измерения
(рисунок 6б). Специальные модели (ри­ такого напряжения должен контакти­
сунок 7) применяются при температуре ровать с двумя соединительными кабе­
до 300°С. лями (например, медными), на которые,
Датчик сопротивления растеканию (униполярное Термоэлектрический эффект Зеебека
выполнение для температур до 300 °С)
Рисунок 8
1 Тепловой источник
2 Металлический
проводник
+ Высокая
термическая
скорость
электронов
- Низкая
термическая
скорость
электронов
Т2 Высокая
температура
Т1 Низкая
температура
Uth Термическое
напряжение

Термическое напряжение Uth некоторых металлов j

Рисунок 7
1 Металлическая
проволока
2 Стекло
3 Кристалл Si

Таблица 3
108 I Принципы измерения, используемые в датчиках | Датчики измерения температуры

в свою очередь, воздействует аналогич­ из аналогичных материалов. Важно то,


ная разность температур, к сожалению, что оба свободных конца расположения
определяется лишь разница измеритель­ термопары находятся под воздействием
ного материала по отношению к матери- одинаковой (эталонной) температуры,
алу соединительных кабелей. Термичес­ в противном случае параллельно можно
кие напряжения, таким образом, всегда измерить преобладающую разность тем­
заносятся в таблицу (таблица 3) по от­ ператур. Термопары измеряют только
ношению к платине как к эталонному разность температур до точки отсчета.
материалу. Если вы хотите узнать абсолютную тем­
Для достижения максимальных возмож­ пературу точки измерения, вам необхо­
ных значений напряжения употребляются димо с помощью других средств (напри­
оптимальные сочетания материалов (рису­ мер, посредством резистивного датчика)
нок 9, например: железо/константан и др.). определить абсолютную температуру
Важно то, что оба стержня термопары точки измерения.
каждого из таких сочетаний на конце Зависимость термических напряжений
имеют электропроводящее соединение от температуры, как правило, не является
(витое, сварное, паянное и др.), на кото­ столь линейным, как показано в урав­
рое подается измеряемая температура нении (9). Для усиления большинства
(рисунок 10). малых сигналов и их линеаризации в рас­
Рисунок 9
Термопары, как правило, бывают только поряжении имеются интегрированные
1 Медь/константан
2 Железо/константан короткими. Удлинители до места считы­ схемы переключения. Для увеличения из­
3 Хром-никель/никель вания сигнала могут изготавливаться меряемого напряжения последовательно
4 Платина-родий/
только из «компенсационных проводов» соединяются несколько одинаковых тер-
платина

Распространенная термопара (кривые) Последовательно подключенные термоэлементы


Рисунок 10
А/В сочетание матери­
алов (термоэлектрод)
1 Место замера
(электрическое соеди­
нение)
2 Присоединитель­
ная головка
3 Линия уравнивания
4 Эталонное место
5 Соединительный
кабель (Сu)
ТM Измеряемая
температура
TR Эталонная
температура
Uth Термическое
напряжение

Рисунок 11 Расположение термоэлемента


а Принцип термоэлек­
трического столбика
b Примеры
применения
1 Чувствительные
поверхности
2 «Горячее» соеди­
нение при измеряемой
температуре ТM
3 «Холодное» соеди­
нение при эталонной
температуре ТR
4 Термостолбик
Принципы измерения, используемые в датчиках | Датчики измерения температуры | 109

мопар, которые выходят на температуру напряжение для каждого запирающего


измерения через «горячие» клеммы и на слоя довольно сильно рассеивается в раз­
эталонную температуру через «холодные» ных экземплярах — и при определенных
клеммы (рисунок 11, термоэлемент или обстоятельствах для точного измерения
термостолбик). все еще требуются дополнительные кор­
Термопары являются довольно надеж­ ректирующие элементы. Отрицательный
ными (например, высокий уровень без­ ТК, прежде всего, зависит от тока насы­
опасности ЭМС ввиду низкого внутреннего щения, который в свою очередь зависит
сопротивления), но не слишком точными от температуры и быстро возрастает при
измерительными приборами. Погрешность ее увеличении. Собственная проводи­
может составлять от 5 до 15 °С. Термопары мость кремния также ограничивает при­
также не обладают хорошей устойчивость менение таких датчиков при температуре
к старению, таким образом, индивидуаль­ выше 150°С.
ная калибровка не улучшает их точности. В отдельных случаях для измерения
Естественно, термопары могут также температуры применяются парные тран­
производиться с применением тонкослой­ зисторы. Отношение коллекторных токов
ных или толстослойных технологий: нало­ транзисторов пропорционально темпе­
женные друг на друга металлические слои ратуре. Комбинация транзисторов по­
образуют очень хороший тепловой кон­ зволяет получить разность напряжений
такт. При помощи микросистемных тех­ на выходе, которая пропорциональна
нологий можно производить термопары абсолютной температуре.
очень маленького размера. Прежде всего,
они подходят для создания термостолби­ Диоды Зенера также являются довольно
ков, например, из 50...100 компонентов, часто используемыми датчиками темпе­
и могут применяются в бесконтактных ратуры, работающими в запирающем на­
пирометрах. правлении; изменение напряжения таких
датчиков во многом зависит от напряже­
Полупроводниковые запирающие слои ния самого диода Зенера. Здесь можно
Прямое напряжение полупроводнико­ выбрать между снижением напряжения
вых запирающих слоев (рисунок 12), как различных величин диода Зенера до
и в диодах, так и базисных эмиттерных уровня <4,7В и повышением напряжения
диодах транзисторов, при постоянном диода Зенера до уровня >4,7В.
токе характеризуется довольно хоро­ Такие датчики часто используются
шей линейной зависимостью от темпе­ с целью изменения внутренней темпе­
ратуры: ратурной компенсации.
Полупроводниковые запирающие слои
(10)

где:
Isat = Isat (Т) и IF = const,
q = 1,6·1019 С (элементарный заряд),
Рисунок 12
k = 1,88·10-23 JK-1 (постоянная Больцмана), а Диод
T—абсолютная температура. b Транзистор
В База
С Коллектор
Преимущество здесь состоит в том, что Е Эмиттер
датчик создает зависимое от температуры IF Прямой ток

постоянное напряжение. Напряжение U F Прямое напряжение


U B E Напряжение между
для каждого датчика уменьшается почти основанием и эмитте­
на 2 мВ/°С, в то время как абсолютное ром
110 I Принципы измерения, используемые в датчиках | Датчики измерения температуры

Принципы бесконтактного ная разница температуры объекта часто


измерения температуры составляет всего 1/1000 разницы в точке
Для бесконтактного измерения темпе­ измерения. Тем не менее, температуру
ратуры нагретого тела (пирометрии) из­ объекта можно определить с точностью
меряется исходящее от него излучение, до 0,5 °С.
в инфракрасной (ИК) области (длина
волны: 5...20 микрон). Точнее говоря, из­ Болометр
меряется произведение мощности излу­ Высокочувствительный датчик, осно­
чения и коэффициента эмиссии, который ванный на изменении электрического
колеблется в диапазоне от 0,02 до 0,99. сопротивления термочувствительного
Для абсолютно черных тел он обычно элемента, в результате поглощения им
около 1. Для отражающих или инфра- энергии измеряемого излучения назы­
красно-проницаемых материалов (напри­ вается болометром (рисунок 13).
мер, воздуха) значение составляет «1. Для работы датчика в широком диа­
Место измерения отражается на чув­ пазоне рабочих температур требуется
ствительный к излучению элемент, кото­ его термостабилизация. Поэтому корпус
рый немного нагревается по сравнению датчика обычно является термостатом,
с внешней средой (обычно 0,01...0,001°С). вследствие этого датчик всегда работает
Его температура является мерой темпера­ при постоянной температуре.
туры для объекта измерения. Определен­
Прототип болометрической сенсорной матрицы
Датчик с термическим столбиком
для применения в автомобилях Небольшую разницу температур, вы­
званную излучением объекта измерения,
Рисунок 13
1 Корпус линзы
можно практически измерить в широком
с линзой диапазоне рабочих температур при по­
2 Соединение мощи термоэлементов. Для улучшения
3 Корпус детектора
инфракрасного
измерительного эффекта многие термо­
излучения элементы соединены последовательно
4 Окно инфракрас­ (термические столбики). Такие датчики
ного излучения
5 Детектор
с термическими столбиками (рисунок 14)
могут быть изготовлены микромехани-
Рисунок 14 ческим способом с низкими затратами.
а Принцип измери­
тельного элемента
Все «горячие» точки лежат на термически
1 Чип из кремния (Si) изолированной тонкой мембране, все
2 Термоэлементы
с последовательным Пирометрический датчик, изготовленный микромеханическим способом, с отводом для термостолбика
подключением (на­
пример, Al/Poly-Si)
3 Мембрана SiN
4 Соединение терми­
ческих столбиков
5 Поглощающий слой

b Модель датчика
1 Термоэлемент
2 «Холодный» контакт
3 Мембрана
4 Поглотитель
5 Тепловое излучение
6 Подключение
к электросети
7 Слой Si3N4
8 Слой Si02
9 Сток тепла
Принципы измерения, используемые в датчиках | Датчики измерения температуры I 111

«холодные» точки — на толстом краю Чтобы термически изобразить ситу­


чипа (теплоприемнике). Время реакции ацию на матрице датчика, требуется
датчика составляет обычно около 20 мс. инфракрасная проекционная оптика.
С помощью такого «однопиксельного В основном используется недорогое изо­
датчика» в автомобиле можно, например, гнутое зеркало. Стеклянные линзы не
определить температуру поверхности пропускают инфракрасное излучение,
лобового стекла для того, чтобы избежать а пластиковые линзы подходят только
появления конденсата при достижении для рабочих температур до 85 °С. И на­
точки росы. оборот — кремниевые линзы очень хо­
рошо подходят для теплового излучения
Одноточечные датчики, и производятся микромеханическим пу­
датчики изображения тем как дифракционные (ступенчатые)
Если несколько пикселей на одном чипе или преломляющие линзы диаметром
образуют матрицу (например, 4x4), то до 4 мм. Линзы вставляются в крышку
с ее помощью уже можно получить изо­ корпуса Т05 и одновременно защищают
бражение (рисунок 16). Между пикселями датчик от прямого повреждения (рису­
не должно быть большой нечувствитель­ нок 15). Заполнение корпуса защитным
ной площади, а пиксели должны быть газом представляет некоторые взаим­
термически хорошо изолированы друг ные помехи между пикселями, но, с дру­
от друга. Поскольку все пиксели реаги­ гой стороны, снижает время отклика.
руют на электрический контакт, чип Микромеханическая матрица термостолбика
имеет большое количество разъемов.
В корпусе Т05, например, специализи­
рованная интегральная схема для преду-
силения и сериализации сигнала должна
размещаться непосредственно под датчи­
ком. В датчиках с термическим столбиком,
такая специализированная интегральная
Рисунок 16
схема должна быть также оснащена
1 Чип из кремния
датчиком эталонной температуры для 2 Пиксель
определения абсолютной температуры 3,4 Согласование
пикселей
пикселей. Благодаря такому датчику
можно определить температуру объекта Рисунок 15
с точностью до ±0,5К. а Инфракрасный
датчик изображения
Термическое получение изображения 1 Инфракрасная
линза Si
2 Корпус Т05
3 Вывод
4 Чип датчика
5 Значение специали­
зированной инте­
гральной схемы
φ Угол обзора

b Простая инфра­
красная камера
1 Электроника
2 Объектив
3 Поле обзора
камеры
4 Инфракрасная
линза Si
5 Решетка датчика
112 I Принципы измерения, используемые в датчиках | Оптоэлектронные датчики

Оптоэлектронные датчики бинируются через короткий промежуток


времени. Возникающий при этом поток
Внутренний (излучение) у кремния находится в неви­
фотоэлектрический эффект димом диапазоне.
Основой оптоэлектронных сенсорных В сильнолегированных полупроводни­
элементов является внутренний фото­ ках возникает вместе с ранее названным
электрический эффект. Свет можно рас­ внутренним фотоэффектом еще и фото­
сматривать как поток отдельных фотонов эффект дефектов. Поскольку в таких внеш­
света. Энергия ЕPh фотона зависит только них датчиках энергетическая щель, кото­
от его частоты (обозначается также как ν) рую предстоит преодолеть, значительно
или его длины волны λ: меньше, они подходят также для излучения
волн больших длин (ИК-диапазон).
(1) EPh =h∙f= h∙c/λ Для энергий ЕPh < Eg высвобождение
h - постоянная Планка уже не происходит. В соответствии с Урав­
с - скорость света нением (1) этот показатель для кремния
соответствует предельной длине волны
Если фотоны встречаются с атомами, то λg = 1,1 мкм (ближние ИК-волны). Свет
при достаточном количестве энергии они с большей длиной волн или более низкой
могут высвободиться из своей электрон­ частотой не абсорбируется, в этом случае
ной оболочки. Энергия, необходимая для кремний станет прозрачным.
высвобождения, равна разнице между
уровнем энергии ЕV валентной зоны атома Светочувствительные элементы датчика
и уровнем ЕL зоны проводимости, т.е. энер­ Фоторезисторы
гетической щели Eg. За счет попадания света в датчике, из­
готовленном как элемент сопротивления
(2) Eg= ЕL - ЕV (резистор) (LDR, Light Dependent Resistor)
формируются электронно-дырочные пары,
Для высвобождения электрона энергия повышающие проводимость G. Практи­
фотона EPh должна быть больше его энер­ чески сразу они опять рекомбинируются
гетической щели Eg. В чистом полупровод­ через короткий промежуток времени
нике за счет абсорбции световых фотонов (мс-диапазон); но все-таки в стационарном
формируются электронно-дырочные пары равновесии концентрация носителей за­
(электроны и дырки). Энергетическая ряда возрастает с интенсивностью осве­
щель, которую предстоит преодолеть, со­ щения Е, а именно, согласно следующему
ставляет, например, у кремния при комнат­ закону:
ной температуре Eg= 1,12 эВ. Без принятия
специальных мер сформировавшиеся (3) G = const∙Ε γ = 0,7...1
электронно-дырочные пары опять реком­
Разделение сформировавшихся В качестве светочувствительного мате­
электронно-дырочных пар риала чаще всего используют сульфид
в планарной полупроводниковой детали
кадмия CdS (Eg =1,8 эВ; λg= 0,7 мкм) и се-
ленид кадмия CdSe (Eg=1,5 эВ; λg= 0,8 мкм)
Рисунок 1 на керамических носителях.
1 Оптическое
просветление
2 Контакт
Полупроводниковые -р-п-переходы
3 Si02 Между фотоэлементом, фотодиодом
4 Контакт с метал­ и фототранзистором не существует
лом
принципиальной разницы. Они исполь­
5 Область объемного
заряда зуют в качестве измерительного эффекта
Принципы измерения, используемые в датчиках | Оптоэлектронные датчики | 113

фототок или напряжение холостого хода сыщения IS и по фотоэлектронному току


в освещаемых р-п-полупроводниковых Iph, также проходящему в запирающем
контактах. Названные элементы разли­ направлении, в качестве особых случаев:
чаются, однако, по принципу действия. (4) I = IS∙ exp(e∙U/k T ) - IS- Iph при
Носители заряда, формирующиеся за е - элементарный заряд,
свет внутреннего фотоэффекта в запи­ k - постоянная Больцманна,
рающем слое р-п-полупроводникового Т - абсолютная температура.
контакта (рис. 1), непосредственно с по­
мощью электрического поля, существу­ Особые случаи:
ющего в той области объемного заряда (5) U = 0 (короткое замыкание)
с небольшой концентрацией носителей →I = IК= -Iph
заряда, определяют в этом слое ускорение,
благодаря которому носители заряда раз­ (6) I = 0 (холостой ход)
деляются сразу после их формирования
(дрейфовый ток). Таким образом, их ре­
комбинация практически исключается Фотоэлементы часто рассчитаны на очень
и значительно повышается фоточувстви­ большую площадь, воспринимающую осве­
тельность. щение, и вырабатывают также достаточно
высокие фотоэлектрические токи (напри­
Фотоэлементы мер, Iph = 250 мкА при Е = 1000 люкс).
Фотоэлементы используются без внеш­ Их временная постоянная относительно
него предварительного напряжения и мо­ высока и составляет обычно ок. 20 мс.
гут работать как при холостом ходе (фото­
электрический эффект), так и в коротком Фотодиоды, фототранзисторы
замыкании. Кроме того, они обладают Фотодиоды работают при постоянном
низким уровнем собственного шума и вы­ напряжении смещения US в запирающем
сокой чувствительностью обнаружения. направлении, при этом протекающий
Графические характеристики, действи­ фотоэлектрический ток в качестве запи­
тельные для данных режимов работы рающего тока линейно зависит от интен­
(рис. 2), легко определить по диоду, по­ сивности освещения Е (рис. 3). Благодаря
ляризованному с помощью напряжения U подаче напряжения область объемного
в пропускном направлении, с термически заряда увеличивается. За счет этого сни­
обусловленным блокирующим током на­ жается барьерная емкость р-п-перехода,
Графические характеристики фотоэлемента Графические характеристики фотодиода
в зависимости от интенсивности освещения £ν для постоянной интенсивности освещения Е

Рисунок 2
а Ток короткого
замыкания IK
b Напряжение
холостого хода UL
114 I Принципы измерения, используемые в датчиках | Оптоэлектронные датчики

так что предельная частота такого фото­ Датчики изображения


диода стандартно равна нескольким МГц. В то время как выходные сигналы ранее
описанных конструкций датчиков соот­
На фототранзистор, изображенный на ветствуют мгновенному значению свето­
рис. 4а, (тип п-р-п), оказывает действие вого потока или интенсивности освеще­
диод коллектор-база, поляризованный ния, обе следующие конструкции имеют
в запирающем направлении, в качестве интегрированный характер. Их сигнал
фотодиода. Таким образом, коллектор, соответствует общему числу фотонов,
как в любом транзисторе, вырабатывает которые в период освещения бомбарди­
фотоэлектрический ток, больший на ко­ руют датчик. Такие датчики необходимы
эффициент усиления тока В ≈ (100...500) в первую очередь для изготовления ли­
(соответствует базовому току). Более нейных и плоскостных массивов датчи­
высокая чувствительность приобретает­ ков по принципу CCD.
ся за счет худшей частотной динамики
и небольшого ухудшения температур­ Интегрируемые фотодиоды
ного режима. В таких ρ-η-фотодиодах только неболь­
шая часть р-п-перехода воспринимает
Использование излучения из-за напыленного экрана. За­
Несмотря на то, что оптоэлектрические ряды, производимые фотоэлектрическим
датчики очень дешевы, из-за своих про­ током, все-таки распределяются на всю
блем, связанных с загрязнением и вызы­ область объемного заряда и сохраняются
ваемых этим поломок в автомобиле, они там (MOS-конденсатор). За cчет замыкания
стали применяться достаточно поздно. MOSFET-переключателя они могут стекать
В датчиках дождя и грязи система, в кото­ на сигнальный провод общего пользования
рую они интегрированы, самостоятельно (видеовыход). Переключатель управляется
заботится о регулярной очистке оптически генератором тактовых импульсов (рис. 5).
чувствительных поверхностей. Заряды, протекающие серийно через ви­
Схема переключений и графические
деопровод, являются мерой дозы излу­
характеристики фототранзистора чения управляемого фотодиода (пиксель).

MOS-конденсаторы
Если на металлический электрод MOS-
элемента (рис. 6) подается положительное
напряжение, под изолированным оксид-
Расположение ячеек фотодиодов
с последовательной выходной линией

Рисунок 4
а Эквивалентная
схема
b Фототранзистор
в схеме с общим
эмиттером
с Графические
характеристики
для постоянной
интенсивности
освещения
Принципы измерения, используемые в датчиках | Оптоэлектронные датчики | 115

ным слоем возникает область объемного Этот метод смещения заряда, который
заряда из неподвижных положительных можно рассматривать как один из видов
зарядов. При проникновении света через аналогового сдвигового регистра, по­
прозрачный изолированный электрод зволяет создать простую конструкцию из
(экранирование спереди) или через длинных ячейкообразных многочленных
субстрат (экранирование сзади) в этой структур, а также из матричных структур,
области скапливаются электроны, произ­ которые обозначаются как датчики изо­
веденные фотоэлектрическим током, без бражения (англ.: Imager). Отдельный эле­
рекомбинации или стекания. мент такой структуры обозначает также
Чтобы иметь возможность сместить как пиксель (англ.: picture element; нем.:
экспонирование измерительного заряда Bildpunkt). На сегодняшний день макси­
в горизонтальном направлении, рядом мально возможное число пикселей одно­
с экспонируемой зоной или скоплением строчных фото-ПЗС составляет ок. 6000,
электродов направляют другие электроды, для матричных датчиков —ок. 2000 χ 2000,
как показано на рис. 7, которые в ходе т.е. ок. 4 миллионов. Для выполнения
интеграционной фазы имеют нулевой по­ сложных технических задач автомобиле­
тенциал. Если затем увеличить потенциал строения датчики изображения предпочти­
поперечного (трансферного) электрода, тельно должны иметь количество пиксе­
одновременно снизив потенциал скопле­ лей, превышающее названные цифры
ния электродов до положительного значе­ в 4 раза, т.е. разрешение 4000 χ 4000 пик­
ния, то заряд можно сместить в соседний селя.
MOS-элемент, который экранирован от Размер пикселей, которые получают свет
попадания света с помощью экрана. из обычной оптики, составляет сегодня
Этот принцип перемещения заряда в среднем 5...20 мкм длины кромки. Пло­
является основой устройства прибора щадь чипа датчика находится в диапазоне
Charge-Coupled Devices (CCD). По такому ок. 1 см2. Если для увеличения разрешения
принципу можно смещать и перемещать или снижения затрат на изготовление чипа
аналоговые заряды через несколько стан­ производители захотят уменьшить раз­
ций без значительных потерь до тех пор, мер отдельного пикселя еще больше, то им
пока в конце транспортной цепочки, на­ следует подумать о том, что одновременно
пример, с помощью усилителя заряда, они уменьшится и число фотонов на пиксель.
не будут преобразованы в сигнал напря­ Разумное уменьшение размера все-таки
жения, который можно будет передать на регламентируется неизбежными грани­
быстрый AD-транформатор. цами шумов. Увеличенное пиксельное
Емкость MOS, которая действует MOS-емкость с экспонирование сзади
как интегрированный фотодатчик и трансферными электродами для смещения заряда
Рисунок 6
1 Электрод
2 Область
объемного заряда
3 Si02
4 р-кремний

Рисунок 7
а Скопление
носителей заряда
из-за попадания
света
b Смещение
носителей заряда

1 Область
объемного заряда
2 Si02
116 I Принципы измерения, используемые в датчиках | Оптоэлектронные датчики

разрешение будет сведено на нет из-за воз­ Принцип CCD


растания уровня шума.
Заряд, принимаемый отдельными, ин­
тегрировано действующими ячейками,
ограничен. Если нарушить установленные
границы, то заряд «перепрыгнет» в сосед­
ние ячейки. Это явление также называют
«эффектом Блуминга». Оно принципиально
ограничивает динамику светотени техно­
логии CCD. С помощью дополнительных
защитных мер, направленных на преодо­
ление эффекта Блуминга, эту динамику
можно повысить без использования таких
вспомогательных средств, как варьируе­
мый экран и время экранирования, до зна­
чения не выше чем на ок. 50 дБ.

CCD-датчики изображения
На рис. 9 схематически изображено, как
свет, проходящий через прозрачный
(не изображенный на рисунке) электрод,
вырабатывает фотоэлектрические заряды.
Рисунок 9
Они сначала смещаются из экранируемой
1 Фотодиоды зоны в поперечную щелевую структуру
2 Свет с помощью трансферных электродов
3 Накопительный
заряд
и управляющих сигналов, синхронизиро­
4 Вентиль сдвига ванных по времени.
5 Трансферный Как показано на рис. 8, заряды всех
электрод
6 Оптическое
щелей смещаются по одному и тому же
покрытие принципу синфазно (вниз), где они
Структура датчиков изображения CCD

Рисунок 8
1 Щелевой такт А1/А2
2 Фотодатчики
3 CCD-массив
4 Такт строки Βι/Β2
5 Выходной регистр
6 Видеовыход
Принципы измерения, используемые в датчиках | Оптоэлектронные датчики | 117

построчно входят в горизонтальный действия динамику светотени можно


сдвиговый регистр. Оттуда они после- расширить на более чем шесть декад
дователыю отбираются и подвергаются (десятичных разрядов) без исполь­
дальнейшей обработке. зования дополнительных мер (при
CCD-датчики изображения являются на преобразовании в линейные дуально
сегодняшний день представителями все соответствует примерно 20 битам).
еще самой распространенной технологии
датчиков изображения на полупроводни­ CMOS-датчики изображения не реализо­
ковой основе. Их ограниченная динамика ваны широко в стандартной технологии
светотени, достаточно высокая потре­ CMOS. Используется не более одного
бляемая мощность в сравнении с другими фотоэлектрического элемента, усовер­
технологиями и ограниченный темпера­ шенствованного по CMOS-технологии,
турный диапазон являлись препятствием который из-за гораздо более меньшей
их более широкому использованию в авто­ потребляемой мощности по сравнению
мобилестроении. с датчиками CCD позволяет осуществить
интеграцию на чип датчика изображения
CMOS-датчики изображения другой управляющей и анализирующей
CMOS-датчики изображения по срав­ электроники. Поскольку время обраще­
нению с датчиками CCD считаются на ния к отдельным пикселям находится
сегодняшний день более современным в диапазоне нескольких 10 не, с помо­
вариантом, который в будущем будет ис­ щью датчиков CMOS можно получить
пользоваться в различных сферах. При картинку с более высокой частотой считы­
этом обозначение CMOS-датчик может вания, особенно тогда, когда используется
ввести в заблуждение, поскольку техно­ возможность считывания части изображе­
логией CMOS обозначают специальную ния (subframing), что невозможно в датчи­
полупроводниковую технологию, а не ках CCD.
CCD-технологию (она также содержит На рис. 10 схематично изображена кон­
MOS-структуры). Серьезным отличием струкция HDRC-пикселя (High Dynamic
от CCD-датчиков является собственно Range CMOS-технология). В качестве све­
не технология изготовления, а совокуп­ точувствительного элемента этой модели
ность признаков:
Схематичное поперечное сечение HDRC-пикселя
► пиксели вызываются не последова­
тельно, а по отдельности управляе­
мыми — как в накопительной строке
в RAM — einzeln ansteuerbar. Для этого
к каждому пикселю интегрируется ак­
тивная электроника (APS, Active Pixel
Sensor);
► интегрированные фотоэлектрические
сенсорные структуры (фотодиоды)
не используются, применяются струк­
туры, не зависимые от времени экспо­
зиции;
► параметры яркости преобразовы­
ваются в электрические сигналы не
пропорционально, а логарифмиро­
вано по их считыванию. Поэтому они
имеют характеристику, подобную че­
ловеческому глазу. Уже за счет этого
118 I Принципы измерения, используемые в датчиках | Оптоэлектронные датчики

CMOS-датчика служит поляризованный зоваться в этой области для наблюдения


фотодиод (PD), который расположен по­ за внутренним пространством, но прежде
следовательно по отношению к PMOS- всего они также направлены наружу для
транзистору Ml, работающему в диапа­ наблюдения за окружающей средой.
зоне ниже его напряжения отпирания. С помощью датчиков изображения
Ток диода, пропорциональный освещен­ осуществляется попытка воспроизвести
ности, должен течь через заблокирован­ оценивающую способность человечес­
ный транзистор Ml. Его напряжение Gate- кого глаза и связанную с ней ментальную
Source UGS в очень широком диапазоне оценку (пока что в очень скромном объе­
почти идеально логарифмически зависит ме). Они уже давно широко используются
от протекающего тока стока (= фототока). в промышленной измерительной техно­
Оба других транзистора М2 и М3 служат логии—особенно в автоматических ма­
для вывода сигнала, который подается нипуляторах (роботах). Затраты на изго­
через умножитель на быстрый 10-битный товление датчиков изображения и мощных
AD-преобразователь. процессоров, используемых для интер­
претации изображения (DSP) уже вошли
Применение в диапазон, который позволил бы их
Оптоэлектронные датчики изображения использование в автомобильной про­
предназначены для того, чтобы под держи­ мышленности.
вать схождение в области видимого или Широко использующиеся датчики изо­
инфракрасного света. Они могут исполь­ бражения в отличие от человеческого
CMOS-датчики изображения
глаза воспринимают также и близкий
с произвольным доступом к пикселям ИК-диапазон (длина волны ок. 1 мкм).
Благодаря соответствующему невидимому
ИК-освещению можно реализовать все
возможные задачи в ночном режиме
эксплуатации. Для применения в зоне ви­
димого света датчики изображения под­
ключатся чаще всего через ИК-фильтр,
чтобы избежать искажения цвета и пло­
хой резкости.
Датчики изображения могли бы разно­
образно применяться для наблюдения
за обстановкой внутри автомобильного
салона (положение сидений, смещение
вперед при аварии, наличие и рост пасса­
жиров и пр.) и вокруг автомобиля (про­
дольная устойчивость, избежание ава­
рийных ситуаций, помощь при парковке
Рисунок 11
и движение заднем ходом, распознавание
Пиксельные процес­
соры в каждой точке
дорожных знаков и пр.). Уже в серийном
изображения активной масштабе оснащение включает в себя
пиксельной матрицы прибор ночного видения (Night Vision),
обеспечивают логариф­ который воспроизводит на дисплее ситуа­
мическую компрессию
цию на дороге, освещаемую ИК-фарами
сигналов. Считывание
и записываемую ИК-камерой. Благодаря
произвольно и не раз­
этому обеспечивается дополнительная
рушает сигнал, пере­
дача выполняется без безопасность движения в плохих условиях
потерь видимости (темнота, туман и пр.).
Принципы измерения, используемые в датчиках | Оптоэлектронные датчики | 119

Микромеханика позволяет датчикам выпол­ В 1994 году датчик давления на всасывании


нять измерительные функции в минимальном для регистрации нагрузки в автомобиле вошел
пространстве. Стандартные механические в серийное производство как первый продукт
размеры находятся в диапазоне микрометров. с микромеханической измерительной ячейкой
Именно кремний благодаря своим особым фирмы «Bosch». Последними примерами ми­
свойствам является подходящим материалом ниатюризации являются микромеханические
для изготовления очень маленьких филигран­ датчики ускорения и скорости вращения
ных механических структур. Его эластичность в системах безопасности движения для за­
в сочетании с его электрическими свойствами щиты пассажиров и регулирования динамики
почти идеально подходят для производства движения. Приведенные ниже изображения
датчиков. Благодаря изменяющимся процес­ наглядно демонстрируют минимальные соот­
сам полупроводниковой технологии можно ношения размеров.
интегрировать механические и электронные
функции на одном чипе или другим способом.
Микромеханический датчик ускорения

Жесткие электроды

I Микромеханические датчики скорости вращения


Модели датчиков

Датчики частоты вращения рассеяния, исходящий от магнита. Через


двигателя катушку происходит усиление сетевого
потока. Впадина, наоборот, ослабляет маг­
Применения нитный поток. Эти изменения магнитного
Датчики частоты вращения двигателя потока при вращении зубчатого колеса
используются в системах управления индуцируют в катушке синусоидальное
двигателем для выходное напряжение, пропорциональное
► измерения числа оборотов двигателя и скорости изменения и числу оборотов
► определения положения коленчатого двигателя (рис. 2). Амплитуда перемен­
вала (положение поршня двигателя). ного напряжения интенсивно возрастает
с увеличением числа оборотов (несколь­
Число оборотов рассчитывается по интер­ ко мВ... > 100 В). Достаточная амплитуда
валу между сигналами датчика скорости присутствует, начиная с минимального
вращения. числа оборотов от 30 в минуту.

Индуктивные датчики скорости


вращения Активные датчики скорости вращения
Конструкция и принцип действия Активные датчики скорости вращения
Датчик монтируется прямо напротив фер­ работают по магнитостатическому прин­
ромагнитного зубчатого колеса (рис. 1, ципу. Амплитуда выходного сигнала не за­
поз. 7) с определенным воздушным зазо­ висит от числа оборотов. Благодаря этому
ром. Он имеет сердечник из магнитомяг­ можно измерять скорость вращения и при
кой стали (полюсный контактный штифт, очень низком числе оборотов (квазистати-
поз. 4) с обмоткой (5). Полюсный контакт­ ческое определение числа оборотов).
ный штифт соединен с постоянным магни­
том (1). Магнитное поле распространяется Дифференциальный датчик Холла
через полюсный контактный штифт, про­ На проводящей ток пластинке, по кото­
ходя в зубчатое колесо. Магнитный поток, рой вертикально проходит магнитная
проходящий через катушку, зависит от индукция В, поперечно к направлению
того, попадает ли расположение датчика тока можно снимать напряжение UH
напротив впадины или зуба колеса. Зу­ (напряжение Холла), пропорциональное
бец соединяет в пучок магнитный поток направлению тока. В дифференциальном
Индуктивный датчик скорости вращения Сигнал индуктивного датчика
(конструкция) скорости вращения двигателя

Рисунок 1
1 Постоянный
магнит
2 Корпус датчика
3 Корпус двигателя
4 Полюсный
контактный штифт
5 Обмотка
6 Воздушный зазор
7 Зубчатое колесо
с точкой отсчета

Рисунок 2
1 Зуб
2 Впадина
3 Опорный сигнал
Модели датчиков j Датчики частоты вращения двигателя | 121

датчике Холла магнитное поле выраба­ зотропным. Это означает, что оно зависит
тывается постоянным магнитом (рис. 3, от направления магнитного поля, которое
поз. 1). Между магнитом и импульсным на него воздействует. Это свойство исполь­
кольцом (4) находятся два сенсорных зуется в АМР -датчике. Датчик находится
элемента Холла (2 и 3). Магнитный поток, между магнитом и импульсным кольцом.
который проходит сквозь них, зависит Линии поля изменяют свое направление,
от того, находится ли датчик скорости когда вращается импульсное (активное)
вращения напротив зубца или паза. Бла­ колесо (рис. 4). В результате формируется
годаря созданию разности сигналов от синусоидальное напряжение, которое
обоих датчиков достигается снижение усиливается в схеме обработки данных
магнитных сигналов возмущения и улуч­ и преобразуется в сигнал прямоугольной
шенное соотношение сигнала/шума. Бо­ формы.
ковые поверхности сигнала датчика мо­
гут обрабатываться без оцифровывания GMR -датчики
непосредственно в блоке управления. Усовершенствование активных датчиков
Вместо ферромагнитного зубчатого ко­ скорости вращения отражено в исполь­
леса используются также многополюсные зовании технологии GMR (ГМР) (Giant
колеса. Здесь на немагнитном металличес­ Magneto-Resistance). По причине высокой
ком носителе установлен намагничиваю­ чувствительности по сравнению с дат­
щийся пластик, который попеременно чиками АМР здесь возможны большие
намагничивается. Эти северные и южные воздушные зазоры, за счет чего предпола­
полюсы принимают на себя функцию зуб­ гаются использования в трудных сферах
цов колеса. применения. Более высокая чувствитель­
ность производит меньше шумов фронта
AMR -датчики сигнала.
Электрическое сопротивление магнито­ В ГМР -датчиках возможны также все
Рисунок 3
резистивного материала (АМР, анизотроп­ двухпроводные порты, используемые ра­ а Расположение
ный магниторезистивный) является ани- нее в датчиках скорости вращения Холла. датчика
b Сигнал
Принцип работы Принцип определения числа оборотов датчика Холла
дифференциального датчика Холла с помощью датчика АМР
- большая амплитуда
при маленьком
воздушном зазоре
- маленькая амплитуда
при большом
воздушном зазоре
с Выходной сигнал

1 Магнит
2 Датчик Холла 1
3 Датчик Холла 2
4 Зубчатое колесо

Рисунок 4
а Размещение
в различные
моменты времени
b Сигнал
датчика АМР
с Выходной сигнал

1 Импульсное
(активное) колесо
2 Сенсорный
элемент
3 Магнит
122 I Модели датчиков Датчики положения распределительного вала (датчики фазы) Холла

Датчики положения фазовым датчиком) передает эту инфор­


распределительного вала мацию на блок управления. Она необхо­
(датчики фазы) Холла дима, например, для систем зажигания
с одноискровыми катушками и для по­
Применение следовательного впрыска топлива (SEFI).
Распределительный вал редуцирован по
сравнению с коленчатым валом на 1:2. Конструкция и принцип действия
Их положение отображает, находится ли Стержневые датчики Холла
поршень двигателя, движущийся к верх­ Стержневые датчики Холла (рис. 1а) ис­
ней мертвой точке, в такте сжатия или пользуют эффект Холла: вместе с рас­
такте выпуска. Датчик фазы на распре­ пределительным валом вращается ротор
делительном вале (также называемый (поз. 7, импульсное (активное) колесо
Рисунок 1
Стержневой датчик Холла
с зубцами или сегментами или перфо­
а Позиционирование
рированной диафрагмой) из ферромаг­
датчика и привод­
ного импульсного нитного материала. Интегральная схема
(активного) колеса Холла (1C) (6) находится между ротором
b Прохождение вы­
и постоянным магнитом (5), который фор­
ходного сигнала UA
мирует магнитное поле перпендикулярно
1 Электрический элементу Холла.
разъем (штекер)
Если зубец (Z) попадает на сенсорный
2 Корпус датчика
3 Корпус двигателя элемент, пропускающий ток, (полупро­
4 Уплотнительное водниковую пластинку) стержневого
кольцо
датчика, напряженность магнитного поля
5 Постоянный магнит
6 Интегральная изменяется перпендикулярно элементу
схема Холла Холла. За счет этого создается сигнал
(1C Холла)
по напряжению (напряжение Холла),
7 Импульсное
(активное) колесо который не зависит от относительной
с зубчатым скорости между датчиком и импульсным
сегментом (Z)
(активным) колесом. Интегрированная
и просветом (L)
а Воздушный зазор электроника, обрабатывающая данные
φ Угол поворота в микросхеме Холла (1C) подготавливает
сигнал и выдает его как сигнал прямо­
угольной формы (рис. lb).
Поколения датчиков распределительного вала

Рисунок 2
TIM = twist intensive
mounting (это озна­
чает, что датчик может
вращаться вокруг
любой оси, без ущерба
для точности).
TPO = true power on
(это означает, что дат­
чик распознает непо­
средственно в момент
включения, находится
ли он напротив зубца
или просвета. Это
важно для короткого
времени синхрониза­
ции между сигналом
коленчатого и распре­
делительного вала)
Модели датчиков | Датчики скорости вращения для управления приводом (коробки передач) | 123

Датчики скорости вращения меры датчиков. Так, для каждой коробки


для управления приводом передач требуются специальные модели
(коробки передач) датчиков, которые различаются по длине,
направлению снятия показаний и мон­
Применение тажному фланцу в интегрированных мо­
Датчики управления приводом снимают дульных типах (рис. 1). В автономных дат­
показания числа оборотов вала в АТ-, чиках еще одной переменной является
ASG-, DSG- и CVT-приводах. Это показа­ положение монтажной втулки и модель
ния числа оборотов турбин и приводов штекера.
в приводах АТ с гидродинамическим пре­ Для реализации всего спектра функцио­
образователем крутящего момента, числа нальных требований используются ASIC
оборотов первичного и вторичного шкива Холла (Application Specific Integrated
в CVT-приводах и числа оборотов обоих Circuit — специализированные интеграль­
валов и приводного вала в DSG-приводах. ные микросхемы) различной степени
При наличии высоких требований к дина­ сложности алгоритмов обработки дан­
мике регулирования разгона снимаются ных (рис. 2).
показания числа оборотов двигателя, ожи­ Если для считывания числа оборотов
даемые на элементе разгона. используется ферромагнитное триггер­
Для оптимизации управления сцепле­ ное колесо или триггерная зона (с зуб­
нием и предотвращения отката автомо­ цами, с насечками или выштамповками)
биля назад может потребоваться датчик на вращающихся компонентах привода
для определения направления вращения. (коробки передач), то магнитное поле,
Используются как автономные датчики, необходимое для работы датчика Холла,
так и модели, интегрированные в элект­ создается магнитом с напряжением от­
ронные модули, которые устанавливаются рицательного смещения. Он расположен
как внутри привода, так и снаружи. в датчике сразу за специализированной
интегральной микросхемой.
Требования Компактные модели коробок передач
Датчики числа оборотов привода подвер­ все больше нуждаются в возможности
гаются высоким нагрузкам вследствие считывать показания числа оборотов
► экстремальных температур от -40 до на больших расстояниях (магнитные
+ 150°С; Модели датчиков
► агрессивной среды, обусловленной
применением трансмиссионного масла;
► высоких механических нагрузок
с ускорениями до 30g, а также
► образование металлических частиц
вследствие износа деталей в коробке
передач.

Рисунок 1
Эти нагрузки обусловливают высокие
а Нижнее считывание
требования к электроники, используемой показаний
в датчиках. С помощью современной b Боковое
считывание
корпусов, не поддающихся воздействию
показаний
масла, срок службы в трансмиссионном с Наклонное считы-
масле может достигать более 15 лет. вание показаний

Из-за очень компактного исполнения


1 Направление
коробок передач обычно невозможно считывания
стандартизировать геометрические раз­ показаний
124 I Модели датчиков | Датчики скорости вращения для управления приводом (коробки передач)

воздушные зазоры) через вращающиеся Принцип действия


немагнитные компоненты или стенку Дифференциальные датчики Холла раз­
корпуса. Для таких условий эксплуатации работаны специально для измерения угло­
используются мультиполюсные кольца вой скорости вращения. Датчик содержит
(магнитные кольца), в датчике не исполь­ два интегрированных элемента Холла,
зуется магнит с напряжением отрицатель­ разнесенных на небольшое расстояние.
ного смещения. Сигналы от двух элементов Холла алгебра­
ически вычитаются в встроенном диффе­
Конструкция ренциальном усилителе. Одновременно
Специальные интегральные микросхемы компенсируется большая часть помех.
Холла, применяющиеся в датчиках ско­ Разностный сигнал дополнительно уси­
рости вращения привода, в зависимости ливается в некоторых типах интеграль­
от магнитного интерфейса фиксируются ных схем и только затем преобразуется
в держателе в присутствии магнита с на­ в цифровой.
пряжением отрицательного смещения
или без него, электрический контакт соз­
Датчик Холла с двухпроводным интерфейсом
дается посредством сварки, затем микро­
схемы устанавливаются в корпус, залива­
ются эпоксидной смолой или — в моделях,
которые устанавливаются снаружи
привода (коробки передач) —устанавли­
ваются в оболочку, не пропускающую
масло, посредством покрытия бесшовной
оболочкой на экструдере (рис. 3). Датчик
имеет двухпроводной интерфейс, сочетаю­
щий в себе оптимальные диагностические
способности с минимальным числом
электрических соединений. Два разъема
служат как для питания интегральных
микросхем Холла, так и для передачи
сигнала.
Сложность требований
Модели датчиков | Датчики скорости вращения для управления приводом (коробки передач) | 125

При этом формируется сигнал с двумя В некоторых коробках передач реализо­


уровнями тока (стандартно 7 мА при низ­ ваны функции, для которых необходимо
ком уровне и 14 мА при высоком уровне), определение положения «стоп». Для такого
частота которого соответствует частоте использования датчик должен иметь
смены зубцов зубчатого колеса и таким максимально возможную невосприимчи­
образом рассчитывается число оборо­ вость к изменениям воздушного зазора,
тов. Обработка сигнала осуществляется обусловленным вибрациями, и враща­
в блоке с помощью измерительного резис­ тельным колебаниям триггерного кольца.
тора RM, который преобразует ток дат­ Свойство датчика — обозначенное как
чика IS в напряжение сигнала URM. невосприимчивость к вибрациям — при
В целом принцип действия разностной использовании дифференциальных дат­
интегральной микросхемы Холла зависит чиков, содержащих два интегрированных
от того, установлен ли датчик на стальном элемента Холла можно реализовать только
триггерном колесе или мультиполюсном очень ограниченно. Благодаря использо­
кольце (рис. 4а и 4b). ванию трех датчиков Холла получаем два
Принцип действия
сдвинутых по фазе разностных сигнала.
датчика скорости вращения привода С их помощью можно определить на­
правление вращения (рис. 4c..f) и повы­
сить невосприимчивости к вибрациям.

Стандартные параметры датчиков «Value»


(обычные датчики) и «High feature» (улуч­
шенные датчики) отличаются величиной
Рисунок 4
воздушного зазора (максимальное рас­ а Расположение
стояние от датчика до зубчатого колеса), триггерного кольца
b Расположение
диапазоном частоты сигнала (оборотов
мультиполюсного
колеса) и встроенными дополнительными кольца
функциями (таблица 1). с Разностный сигнал
между датчиками
Холла R и С
Сложность конфигурации привода, ограни­ d Разностный сигнал
чения монтажного пространства, включая между датчиками
Холла С и L
все конструкционные краевые условия
е Выходной сигнал
и функциональные требования, вынуж­ для направления
дают к использованию нестандартных вращения вправо
f Выходной сигнал
вариантов решений. Для них характерны
для направления
комбинации интегральных микросхем, ва­ вращения влево
рианта корпуса, механических и магнит­
1 Триггерное кольцо
ных интерфейсов датчика, разработанных
2 Датчики Холла L
под конкретные системные требования. и R (С опционно
для определения
направления вра­
щения)

Максимальный воз­ 3 Постоянный магнит


душный зазор на 2,5 mm 3,5 mm (back-bias)
триггерном кольце 4 Мультиполюсное
На индукторе 5 mm 7 mm кольцо
Частота сигнала 0...8 kHz 0...12 kHz 5 Смещение фаз
в зависимости
Определение на­ нет да
от направления
правления вращения
вращения
Вибрация триггер­ - ± 1,5°
ного кольца Таблица 1
126 I Модели датчиков | Датчики частоты вращения колеса

Датчики частоты вращения датчик имеет такую же скорость враще-


колеса ния, что и колесо, и проходит бесконтакт­
но чувствительную зону головки датчика.
Применение Датчик «считывает» без прямого контакта
Датчики частоты вращения колеса служат через воздушный зазор величиной до 2 мм
для определения скорости вращения ко­ (рис. 2).
лес автомобиля (числа оборотов колеса). Воздушный зазор (с небольшими допу­
Сигналы частоты вращения передаются сками) служит для того, чтобы обеспечить
по кабелю в блок управления ABS, ASR или процесс получения сигнала без помех.
ESP автомобиля, который индивидуально Возможные помехи, такие как колеба­
управляет силой торможения каждого ко­ ния, вибрации, температура, влажность,
леса. Этот контур регулирования предот­ условия установки на колесе и пр. исклю­
вращает блокирование (при наличии ABS) чаются.
или прокручивание колес (при наличии
ASR или ESP) и гарантирует устойчивость С 1998 г. вместо пассивных (индуктивных)
и управляемость автомобиля. датчиков частоты вращения в новейших
Системы навигации также нуждаются разработках используются практически
в сигналах частоты вращения колеса, исключительно активные датчики частоты
чтобы рассчитывать пройденный путь вращения колеса. Пассивные (индуктив­
(например, в туннелях или при отсут­ ные) датчики частоты вращения состоят
ствии сигналов спутника). из постоянного магнита (рис. 2, поз. 1)
и соединенного с ним магнитомягкого по­
Конструкция и принцип действия люсного контактного штифта (3), который
Сигналы для датчика частоты враще­ вставлен в катушку (2). Таким образом,
ния колеса формируются с помощью создается постоянное магнитное поле.
стального импульсного датчика, жестко Полюсный контактный штифт нахо­
соединенного со ступицей колеса (для дится прямо над импульсным колесом (4),
пассивных датчиков), или мультиполюс- зубчатым колесом, жестко соединенным
ного магнитно-импульсного датчика (для со ступицей. Во время вращения импульс­
активных датчиков). Этот импульсный ного колеса существующее постоянное
Пассивные (индуктивные) датчики
магнитное поле «нарушается» из-за по­
частоты вращения стоянной смены зубца и впадины. За счет
этого изменяется магнитный поток, про­
ходящий через полюсный контактный
штифт, а вместе с ним и магнитный поток,
проходящий через витки катушки. Смена
магнитных полей индуцирует в обмотке
переменное напряжение, которое снима­
ется на концах обмотки.
Как частота, так и амплитуда перемен­
ного напряжения пропорциональны числу
оборотов колеса (скорости вращения)
Рисунок 1 (рис. 3). Когда колесо не движется, инду­
а Резцовый цируемое напряжение также равно нулю.
контактный штифт
Форма зубцов, воздушный зазор,
(плоский индуктор)
крутизна скачка напряжения и входная
b Ромбовидный
контактный штифт
чувствительность прибора управления
(крестовидный определяют минимальную измеряемую
индуктор) скорость автомобиля, а также минимально
Модели датчиков | Датчики частоты вращения колеса | 127

Рисунок 2
1 Постоянный магнит
2 Магнитная катушка
3 Полюсный
контактный штифт
4 Импульсное
колесо из стали
5 Магнитные
линии поля

возможную для использования ABS чув­ Активный датчик скорости вращения


ствительность срабатывания и скорость Сенсорные элементы
переключения. В современных тормозных системах ис­
пользуются практически исключительно
Поскольку условия монтажа на колесе не активные датчики скорости вращения
везде одинаковые, существуют различные (рис. 4). Обычно они состоят из герме­
формы полюсных контактных штифтов тично залитой пластиком кремниевой
и различные варианты монтажа. Наибо­ интегральной микросхемы, распложен­
лее распространены резцовый полюсный ной в головке датчика.
контактный штифт (рис. 1а, также назы­ Наряду с магниторезистивными инте­
ваемый плоским индуктором) и ромбо­ гральными микросхемами (изменение
видный контактный штифт (рис. lb, также электрического сопротивления при из­
называемый крестовидным индуктором). менении магнитного поля) фирма «Bosch»
Оба полюсных контактных штифта при все еще использует в больших объемах
монтаже должны быть точно направлены сенсорные элементы Холла, которые реа­
к импульсному кольцу. гируют на малейшие изменения магнит­
Выходное напряжение сигнала пассивного
ного поля и поэтому могут использоваться
датчика скорости вращения при воздушных зазорах большего размера
по сравнению с пассивными датчиками
скорости вращения.

Активное (импульсное) кольцо


В качестве импульсного кольца активного
датчика скорости вращения используется
Активный датчик скорости вращения
Рисунок 3
а Пассивный датчик
скорости вращения
с импульсным
кольцом
b Сигнал датчика
при постоянной
скорости вращения
колеса
с Сигнал датчика
при возрастающей
скорости вращения
колеса
128 I Модели датчиков | Датчики частоты вращения колеса

мультиполюснное колесо. Речь идет о по­ гральную микросхему Холла устанавлива­


очередно расположенных постоянных ется магнит, вырабатывающий постоянное
магнитах, расположенных в форме кольца магнитное поле (рис. 7b). Во время враще­
на немагнитном металлическом носителе ния импульсного кольца существующее
(рис. 6 и рис. 7а). Северный и южный по­ постоянное магнитное поле подвергается
люса этих магнитов выполняют функцию воздействию «помех» из-за постоянной
зубцов импульсного кольца. На интеграль­ смены зубца-выемки. В остальном прин­
ную микросхему датчика воздействует цип измерения, обработки сигнала и инте­
постоянно изменяющееся магнитное поле. гральная микросхема идентичны таковым
Поэтому магнитный поток, проходящий в датчике без магнита.
через интегральную микросхему, также
изменяется при вращении мультиполюс- Характеристики
ного кольца. Типичное явление для активного датчика
скорости вращения — интеграция измери­
В качестве альтернативы мультиполюс- тельного элемента Холла, усилителя сиг­
ному кольцу можно использовать стальное нала и подготовки сигнала в интегральной
зубчатое колесо. В этом случае на инте­ микросхеме (рис. 8). Данные о скорости
Экспозиционный чертеж с мультиполюсным
вращения передаются в виде подводимого
импульсным датчиком тока в форме прямоугольных импульсов
(рис. 9). Частота импульсов тока пропор­
циональна числу оборотов колеса, а счи­
тывание показаний возможно почти до
остановки колеса (0,1 км/ч).
Рисунок 5 Питающее напряжение находится в диа­
1 Ступица колеса пазоне между 4,5 и 20 Вольт. Уровень пря­
2 Шарикоподшипник
моугольного выходного сигнала состав­
3 Мультиполюсное
кольцо ляет 7 мА (низкий) и 14 мА (высокий).
4 Датчик скорости
Чертеж принципа работы при определении
вращения колеса скорости вращения

Рисунок 6
1 Сенсорный
элемент
2 Мультиполюсное
кольцо со сменным
намагничиванием
север-юг

Рисунок 7
а Интегральная
Активный датчик скорости вращения в разрезе
микросхема Холла
с мультиполюсным
импульсным
датчиком
b Интегральная
микросхема Холла
со стальным
импульсным
кольцом и магни­
том в датчике
1 Сенсорный элемент
2 Мультиполюсное
кольцо
3 Магнит
4 Стальное
импульсное колесо
Модели датчиков | Датчики частоты вращения колеса | 129

При такой форме передачи цифровых нике колеса или в нем (рис. 10). Для этого
сигналов, например, индуктивное напря­ подходят различные стандартные формы
жение помех является неэффективным головки датчика.
по сравнению с пассивным индуктивным
датчиком. Связь с блоком управления осу­ Цифровая обработка сигнала позволяет
ществляется двухпроводным кабелем. передавать кодированную дополнитель­
ную информацию с помощью широтно­
Компактная конструкция и небольшой импульсно-модулируемого выходного
вес позволяют монтировать активный сигнала (рис. 11).
датчик скорости вращения на подшип- ► Определение направления вращения
Блок-схема интегральной микросхемы Холла
колес:
это особенно необходимо для функ­
ции «Hill Hold Control», предотвращаю­
щей откат автомобиля назад во время
подъема на гору. Определение направ­
ления вращения также используется
для навигации автомобиля.
► Определение состояния остановки:
эти данные также обрабатываются
в функции «Hill Hold Control». Дальней­
шая обработка данных входит в раздел
самодиагностики.
► Качество сигнала датчика:
можно передавать данные о качестве
сигнала датчика. Посредством этого
водитель в случае ошибки может по­
лучить информацию о необходимости
Преобразование сигнала своевременно обратиться в сервисную
в интегральной микросхеме Холла службу.
Рисунок 9
Кодированная передача данных с помощью
широтно-импульсно-модулируемых сигналов а Исходный сигнал

А л l\ b Выходной сигнал

/
V \
1
f 0S1 Верхний порог
переключения
Zeit t —
US1Нижний порог
переключения

Подшипник колеса с датчиков скорости вращения


Рисунок 10
1 Датчик скорости
вращения

Рисунок 11
а Сигнал скорости
при движении назад
b Сигнал скорости
при движении
вперед
с Сигнал, когда
автомобиль стоит
d Качество сигнала
датчика, само­
диагностика
130 I Модели датчиков | Микромеханические датчики скорости вращения

Микромеханические В качестве следующей области примене­


датчики скорости вращения ния следует назвать определение опроки­
дывания в приборах управления системой
Применение подушек безопасности для приведения
Микромеханические кремниевые датчики в действие системы укладки и натяжения
скорости вращения или угловой скорости ремней безопасности (например, боковые/
рыскания (также имеют название «гиро­ оконные подушки безопасности, дуга без­
метры») считывают в автомобилях ско­ опасности кузова) в случае переворота
рость вращения автомобиля вокруг своей автомобиля. Специально для этой сферы
вертикальной оси с помощью электронной применения были разработаны датчики
программы стабилизации ESP для регули­ скорости вращения группы ММ2, отли­
рования динамики движения, например, чающиеся оптимальной чувствительно­
во время обычного движения на повороте, стью при определении вращательных дви­
а также во время разворота или заноса. жений вокруг продольной оси. Они имеют
Эти датчики заменили использовавшиеся очень компактную форму и не занимают
ранее датчики с точной механикой по при­ много места при установке в приборы
чине своей улучшенной экономичности управления системой подушек безопас­
и компактности. ности, установленных по продольной оси
автомобиля. Общий корпус для чувстви­
Структура датчика скорости вращения ММ1
тельного элемента датчика и электроники,
обрабатывающей данные, представляю­
щий собой стандартный корпус 1C, значи­
тельно снизил затраты.

Микромеханический
датчик скорости вращения ММ1
Рисунок 1 Для того чтобы добиться высокой точно­
1 Пружинная защелка/
направляющая
сти, необходимой для работы динамичес­
пружина кой системы автомобиля, используется
2 Часть колебательной смешанная технология: две толстые пла­
пластины
3 Датчик ускорения
стины, изготовленные из полупроводника
Кориолиса с помощью структурной микромеханики,
Микромеханический датчик скорости вращения
колебл