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CAPTEURS
2ème année
Année 2011/2012
Plan du cours (1)
Année 2011/2012
2/113
Plan du cours (2)
Année 2011/2012
3/113
Plan du cours (3)
Année 2011/2012
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1.1. Le Capteur (Sensor)
Procédés physico-
Grandeur quantitative
chimique, mécanique, CAPTEUR exploitable
électrique, ...
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1ère Partie : DEFINITIONS ET CARACTERISTIQUES GENERALES
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1.2. Aspect Economique (1)
Secteur M€
ENERGIE 25 -
SECURITE 25
GRAND PUBLIC 25
MEDICAL 25
BATIMENT 40
TRANSPORT 48
TEST/LABORATOIRES 125
INDUSTRIEL 350
AUTOMOBILE 375
DEFENSE/AERONAUTIQUE 470 +
Ventes 2007 de capteurs en France par secteur (M€) – source Cabinet Décision
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1ère Partie : DEFINITIONS ET CARACTERISTIQUES GENERALES
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1.2. Aspect Economique (2)
Type de mesure M€
DISTANCE 75 -
GAZ 77
NIVEAU 77
FORCE 110
FLUX 110
ELECTROMAGNETIQUE 130
INERTIE 145
TEMPERATURE 150
POSITION 151
PRESSION 170 +
Ventes 2007 de capteurs en France par type de mesures (M€) – source Cabinet Décision
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1ère Partie : DEFINITIONS ET CARACTERISTIQUES GENERALES
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1.3. Importance du capteur dans la chaîne de mesures (1)
COMPOSANT ESSENTIEL
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1ère Partie : DEFINITIONS ET CARACTERISTIQUES GENERALES
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1.3. Importance du capteur dans la chaîne de mesures (2)
Source d'énergie
Conditionnement du Exploitation
CAPTEUR
signal (Affichage, lecture, ...)
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1ère Partie : DEFINITIONS ET CARACTERISTIQUES GENERALES
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1.3. Importance du capteur dans la chaîne de mesures (3)
Valve automatique
Capteur 1
Niveau MAX
Régulateur
Niveau min
Capteur 2
Les mesures réalisés par les capteurs 1 et 2 permettent par le biais du régulateur de régler
le niveau d’eau dans le récipient.
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1ère Partie : DEFINITIONS ET CARACTERISTIQUES GENERALES
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2.1. L’entrée du capteur : Le mesurande
X X
t
t
X Mesurande à évolution
t temporelle répétitive
(périodique)
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1ère Partie : DEFINITIONS ET CARACTERISTIQUES GENERALES
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2.2. Le corps d’épreuve
Définition : Le corps d'épreuve est l'élément d'entrée du capteur qui répond aux
sollicitations du processus physico-chimique.
Soumis au mesurande étudié, il assure la “traduction” en une autre grandeur qui peut être
de nature non électrique, dans ce cas ce mesurande secondaire est ensuite traduit en
grandeur électrique.
Application
d’une Déformation Résistance
FORCE
ΔF ΔL ΔR
Le mesurande primaire est la force appliquée, ΔF, le corps d’épreuve est constitué par un
conducteur métallique qui va se déformer d’une quantité ΔL sous l'action de ΔF, cette
déformation est alors traduite en variation de résistance ΔR.
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1ère Partie : DEFINITIONS ET CARACTERISTIQUES GENERALES
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2.3. Le conditionneur / transmetteur
ΔF ΔL ΔR ΔU
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1ère Partie : DEFINITIONS ET CARACTERISTIQUES GENERALES
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2.4. La sortie du capteur (1)
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1ère Partie : DEFINITIONS ET CARACTERISTIQUES GENERALES
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2.4. La sortie du capteur (2)
17mA 5V 00010111
X
Seuil
0V
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1ère Partie : DEFINITIONS ET CARACTERISTIQUES GENERALES
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2.4. La sortie du capteur (3)
ΔY = f(Δx)
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1ère Partie : DEFINITIONS ET CARACTERISTIQUES GENERALES
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2.4. La sortie du capteur (4)
Nota 3 : Les grandeurs influentes sont toujours prises en compte dans le processus de
mesure :
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1ère Partie : DEFINITIONS ET CARACTERISTIQUES GENERALES
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2.5. Les perturbations (1)
Mesurande Sortie
Capteur
X Y
Grandeurs Grandeurs
interférentes modifiantes
(Bruit) (Pressions,
températures,
rayonnement, ...)
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1ère Partie : DEFINITIONS ET CARACTERISTIQUES GENERALES
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2.5. Les perturbations (2)
Principe : L'application d'une force ΔF se traduit par une variation de résistance ΔRc de la
jauge, cette variation de résistance est traduite en variation de tension ΔUc par l'intermédiaire
du conditionneur.
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1ère Partie : DEFINITIONS ET CARACTERISTIQUES GENERALES
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2.5. Les perturbations (3)
U0 Relation entre Uc et U0 :
Rc
Uc
Rc
Uc U0
(Rc R0 )
F
1
On veut Uc U0 pour ΔF=0 (pas de sollicitations) :
2
Rc 1
Rc R0
(Rc R0 ) 2
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1ère Partie : DEFINITIONS ET CARACTERISTIQUES GENERALES
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2.5. Les perturbations (4)
Si l’on prend R0 telle que R0 >> ΔRcMAX, alors on peut simplifier l’équation de la dérivée,
dUc R0 1
U0 U0
dRc 4R02 4R0
U0
qui peut être écrit sous la forme : Uc Rc
4R0
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1ère Partie : DEFINITIONS ET CARACTERISTIQUES GENERALES
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2.5. Les perturbations (5)
R0
Grandeurs
modifiantes U0
Rc Grandeurs
Uc Interférentes
La stabilité de
l'alimentation de tension U0 (bruit)
ainsi que l’effet de la F
température sur R0 La température
interviennent ici comme conditionne la valeur de
grandeurs modifiantes, Rc, elle agit ici comme
grandeur interférente
U0 = g(T) et R0 = h(T)
U0 ΔRc = f(T)
Uc Rc
4R0
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1ère Partie : DEFINITIONS ET CARACTERISTIQUES GENERALES
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3.1. Le microphone à condensateur (1)
P0 + p(t) v(t)
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1ère Partie : DEFINITIONS ET CARACTERISTIQUES GENERALES
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3.1. Le microphone à condensateur (2)
e Surfaces S
S
C
P0 + p(t) e
P0
Variation de la
position de Tension mesurée
v(t)
l’armature mobile en sortie
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1ère Partie : DEFINITIONS ET CARACTERISTIQUES GENERALES
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3.1. Le microphone à condensateur (3)
2. Le mesurande μ
Po + p(t)
P0
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1ère Partie : DEFINITIONS ET CARACTERISTIQUES GENERALES
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3.1. Le microphone à condensateur (4)
3. Le corps d’épreuve
Membrane
(≈ 10μm)
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1ère Partie : DEFINITIONS ET CARACTERISTIQUES GENERALES
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3.1. Le microphone à condensateur (5)
4. Le conditionneur
une source de polarisation externe qui délivre une tension continue au condensateur
un préamplificateur qui permet d’améliorer le signal de sortie v(t)
Polarisation U0
p(t) v(t)
Cartouche Préamplificateur
microphone
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1ère Partie : DEFINITIONS ET CARACTERISTIQUES GENERALES
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3.1. Le microphone à condensateur (6)
P0
P0 + p(t)
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1ère Partie : DEFINITIONS ET CARACTERISTIQUES GENERALES
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3.1. Le microphone à condensateur (7)
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1ère Partie : DEFINITIONS ET CARACTERISTIQUES GENERALES
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Introduction
Le choix d'un capteur dépend de ses spécifications métrologiques, ses applications sont
elles mêmes conditionnées par le comportement ou la réponse du capteur à une entrée
(mesurande) donnée.
Dans le premier cas l'entrée ne varie pas ou varie par paliers et la grandeur de
sortie est relevée lorsque tout effet transitoire a disparu.
La réponse dynamique traduit le comportement transitoire temporel du capteur,
elle renseigne également sur son comportement fréquentiel.
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2ème Partie : CARACTERISTIQUES METROLOGIQUES
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1. Réponse Statique : Y = f(X) (ou S = f(E))
La réponse statique est généralement obtenue après un étalonnage statique qui consiste
à relever les valeurs de la sortie lorsque l'entrée considérée varie par paliers. Les autres
paramètres (entrées interférentes ou modifiantes) sont maintenus constants.
Elle est représentée par le tracé : Y = f(X)
On peut distinguer
trois comportements : Sortie Sortie Tout Ou Sortie
Analogique Rien (TOR) Numérique
17mA 5V 00010111
X
Seuil
0V
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2ème Partie : CARACTERISTIQUES METROLOGIQUES
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2. Etendue ou plage de Mesure : E.M. (Entrée)
Les valeurs limites du mesurande qui sont acceptables en entrée du capteur constituent
l'étendue de mesure.
Cette spécification peut aussi s'appeler calibre
.
On l'exprime souvent par l'écart E.M.:
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2ème Partie : CARACTERISTIQUES METROLOGIQUES
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3. Spécification de la sortie (1)
Capteur Passif
Le signal de sortie est équivalent à une impédance. Une variation du phénomène
physique étudié (mesuré) engendre une variation de l'impédance. Ce type de capteur doit
être alimenté par une tension électrique pour obtenir un signal de sortie.
Exemple : thermistance, photorésistance, potentiomètre, jauge d’extensométrie appelée
aussi jauge de contrainte…
jauge de contrainte
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2ème Partie : CARACTERISTIQUES METROLOGIQUES
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3. Spécification de la sortie (2)
Capteur Actif
Signal de sortie équivalent à une source de tension continue
Exemple : Sortie 0-1V, + 5V, 0-200mV
Signal de sortie équivalent à une source de courant continu
Exemple : sortie 4-20mA
Autres signaux de sortie
Exemple : Tension alternative sinusoïdale, sortie impulsionnelle,
sortie numérique, sortie TOR,…
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2ème Partie : CARACTERISTIQUES METROLOGIQUES
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4. Linéarité et erreur de linéarité (1)
avec Y f ( X ) et Y g(X )
On a :
X X1 X 2 Y Y1 Y2
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2ème Partie : CARACTERISTIQUES METROLOGIQUES
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4. Linéarité et erreur de linéarité (2)
Nota : La relation entrée sortie d’un capteur linéaire est donc de la forme :
Y kX avec k = cste
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2ème Partie : CARACTERISTIQUES METROLOGIQUES
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5. Sensibilité
Y dY
G k S lim (en X = X0)
x 0 X X X0 dX
Nota : La sensibilité d'un capteur linéaire est constante sur son étendue de mesure.
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2ème Partie : CARACTERISTIQUES METROLOGIQUES
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6. Hystérésis
Y
2 : Mesurande décroissant
Y02
1 : Mesurande croissant
Y01 X
X0
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2ème Partie : CARACTERISTIQUES METROLOGIQUES
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7. Résolution
Y
Y = f(X) “idéalˮ
Y = f(X) “réelˮ
ΔY ≠ 0
Résolution = ΔXmin
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2ème Partie : CARACTERISTIQUES METROLOGIQUES
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8. Caractéristique de transfert
Y = k.X + Y0
Y
Y = k.X + Y0
ΔY
Y
k
X
Y0
ΔX
0 X
0
Etendue de mesure
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2ème Partie : CARACTERISTIQUES METROLOGIQUES
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9. Classe de précision (fidélité et justesse) (1)
Pour définir cette notion nous allons considérer le cas ou l'on effectue des mesures en
conditions de répétabilité qui sont les suivantes :
même mesurande,
même opérateur,
mêmes conditions expérimentales.
La valeur vraie du mesurande est Xv, les valeurs mesurées sont notées Xi et la valeur
moyenne des mesures Xi est notée Xm
Capteur non
fidèle
fidèle
et juste Capteur fidèle
non fidèle
et non juste
X m Xv Xm X
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2ème Partie : CARACTERISTIQUES METROLOGIQUES
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9. Classe de précision (fidélité et justesse) (2)
Incertitude-type sur la valeur affichée : Elle obéit ici à une loi uniforme (voir cours de
métrologie 1ère année)
a
u (F )
3
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2ème Partie : CARACTERISTIQUES METROLOGIQUES
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10. Réponses dynamiques
On classe dans cette catégorie les réponses temporelles Y(t) et fréquentielles Y(f) du
capteur.
La réponse temporelle découle de la résolution de l'équation différentielle liant Y(t) à X(t)
exprimée de la façon suivante :
d n y (t ) d n 1y (t ) dy (t )
an an 1 ............. a1 a0 y (t ) x(t )
dt n dt n 1 dt
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2ème Partie : CARACTERISTIQUES METROLOGIQUES
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11. Réponses temporelles (ordre du capteur)
d n y (t ) d n 1y (t ) dy (t )
an an 1 ............. a1 a0 y (t ) x(t )
dt n dt n 1 dt
a0 y (t ) x(t ) y (t ) a1 x (t ) y (t ) k.x(t )
0
dy (t ) dy (t )
a1 a0 y (t ) x(t ) y (t ) k.x(t )
dt dt
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2ème Partie : CARACTERISTIQUES METROLOGIQUES
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12. Rapidité (temps de réponse) (1)
Le temps de réponse est défini par la réponse du capteur à une variation dite en échelon
de l’entrée. Cette caractéristique est liée à la constante de temps τ.
R i(t)
On a : x(t ) Ri t y (t )
i(t)
dy t
R
x(t)
C
y(t) avec : i (t ) C
dt
dy t
d’où : x(t ) RC y (t )
dt
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2ème Partie : CARACTERISTIQUES METROLOGIQUES
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12. Rapidité (temps de réponse) (2)
dy t
à t = τ, y(t) = X0(1-e-1) = 0,63 X0 X 0 RC y (t )
0 dt
t
Définition : On appelle temps de réponse ou y t X 0 1 e
temps de montée du capteur la grandeur
tr = 2,2 τ,
avec τ = RC
La faible valeur de tr caractérise un capteur rapide
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2ème Partie : CARACTERISTIQUES METROLOGIQUES
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13. Ecart ε%
y ( ) y (t )
% .100
y ( )
t ε%
τ 27% 1
3τ 5%
4,6τ 1% 0,5
0
0 1 3 t/τ
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2ème Partie : CARACTERISTIQUES METROLOGIQUES
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14. Réponse Fréquentielle ou réponse en régime sinusoïdal (1)
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2ème Partie : CARACTERISTIQUES METROLOGIQUES
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14. Réponse Fréquentielle ou réponse en régime sinusoïdal (2)
Fonction de transfert :
Y ( j )
H ( j )
X ( j )
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2ème Partie : CARACTERISTIQUES METROLOGIQUES
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14. Réponse Fréquentielle ou réponse en régime sinusoïdal (3)
Transformée de Fourier :
La transformée de Fourier est une fonction qui permet de passer du domaine temporelle au
domaine fréquentiel et inversement.
Si on a un signal s(t), sa transformée de Fourier, notée S(ω) sera obtenu par la relation
suivante :
1
S( ) s t e jt dt
2
1
S e
jt
s (t ) dt
2
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2ème Partie : CARACTERISTIQUES METROLOGIQUES
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14. Capteur 1er ordre : Bande passante / temps de montée (1)
Rappel 1 : La réponse temporelle d’un capteur du 1er ordre est donné par la relation suivante :
dy (t )
y (t ) kx(t )
dt
dy (t )
TF jY ( )
dt
Compte tenu des deux rappels, la reponse fréquentielle du capteur du 1er ordre peut
s’écrire :
jY Y kX ( ) ou jY Y k X
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2ème Partie : CARACTERISTIQUES METROLOGIQUES
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14. Capteur 1er ordre : Bande passante / temps de montée (2)
1
Y
k avec c et k la sensibilité du capteur
X
1 i
c
Y k
H H j
X 1 j
c
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2ème Partie : CARACTERISTIQUES METROLOGIQUES
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14. Capteur 1er ordre : Bande passante / temps de montée (3)
k
H
2
1
c
H Bande
passante Avec ωc la pulsation de
coupure et fc la fréquence
k de coupure.
k
2 On appelle l'intervalle [0-fc], la
bande passante du capteur, par
ω extension on appelle fc la bande
passante et on la note BP
ωc
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2ème Partie : CARACTERISTIQUES METROLOGIQUES
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14. Capteur 1er ordre : Bande passante / temps de montée (4)
y(t)
x(t)
X0 Capteur (ou
transducteur) 0,63 X0
0 0
0 t 0τ t
1 1 BP tm
On a c donc
2 fc 10kHz 35µs
100kHz 3,5µs
De plus, on a tm 2,2 1MHz 350ns
100MHz 3,5ns
2,2 2,2 0,35
d’où t m
2 fc 2 BP BP Valeurs de temps de montée
pour différentes valeurs de BP
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2ème Partie : CARACTERISTIQUES METROLOGIQUES
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15. Indice de protection IP (1)
Code : IP XY
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2ème Partie : CARACTERISTIQUES METROLOGIQUES
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15. Indice de protection IP (2)
Année 2011/2012
2ème Partie : CARACTERISTIQUES METROLOGIQUES
56/113
Introduction
Rappel : Le conditionneur est l'élément de sortie du capteur qui transforme les variations
du mesurande primaire ou secondaire en variations électriques exploitables (tension,
courant, ….).
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3ème Partie : LES CONDITIONNEURS
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1. Conditionneurs pour capteurs passifs (1)
X Capteur (ou Z
ΔX transducteur) ΔZ
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3ème Partie : LES CONDITIONNEURS
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1. Conditionneurs pour capteurs passifs (2)
Nota : Pour obtenir une sortie équivalente à une variation de tension ΔV ou de courant ΔI,
il sera nécessaire d’ajouter un conditionneur de signal.
X Capteur (ou Z V
Conditionneur
ΔX transducteur) ΔZ ΔV
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3ème Partie : LES CONDITIONNEURS
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1. Conditionneurs pour capteurs passifs (3)
Application aux capteurs résistifs : R f(X)
X = X0 + ΔX R = R0 + ΔR
ΔX ΔR
Année 2011/2012
3ème Partie : LES CONDITIONNEURS
60/113
1. Conditionneurs pour capteurs passifs (4)
1.1. Mesure directe 2 fils, 3 fils, 4 fils
I Rf
On mesure la tension V suivante :
V (R f R R f )I (2Rf R )I
I V R La résistance “mesuréeˮ Rm est donc :
Rf V
Rm 2Rf R
I
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3ème Partie : LES CONDITIONNEURS
61/113
1. Conditionneurs pour capteurs passifs (5)
1.1. Mesure directe 2 fils, 3 fils, 4 fils
Le montage 4 fils permet de s’affranchir des valeurs des résistances des conducteurs de
liaison Rf.
I Rf
Rf
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3ème Partie : LES CONDITIONNEURS
62/113
1. Conditionneurs pour capteurs passifs (6)
1.1. Mesure directe 2 fils, 3 fils, 4 fils
I On mesure la tension V1
Rf
V1 (R f R R f )I (2Rf R )I
I
On mesure la tension V2
R
V2 Rf I
I V1 Iv = 0 A
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3ème Partie : LES CONDITIONNEURS
63/113
1. Conditionneurs pour capteurs passifs (7)
1.1. Mesure directe 2 fils, 3 fils, 4 fils
Précautions à prendre dans tout les cas : En pratique on fixe I de l’ordre de 1mA pour
éviter l’auto échauffement du capteur.
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3ème Partie : LES CONDITIONNEURS
64/113
1. Conditionneurs pour capteurs passifs (8)
1.2. Montage potentiométrique simple
Principe de mesure : une source de tension alimente un pont diviseur de tension avec une
résistance fixe R1 et une autre représentant le capteur R.
R1
Le montage suivant nous permet d’écrire
la variation de V :
VCC R
RC = R V Vcc
V R1 R
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3ème Partie : LES CONDITIONNEURS
65/113
1. Conditionneurs pour capteurs passifs (9)
1.2. Montage potentiométrique simple
V/Vcc=f(R/R1)
1,0
V R x
0,8
Vcc R1 R 1 x
0,6
V/VCC
0,4
R
0,2 Avec : x
R1
0,0
0 5 10 15 20
R/R1
Année 2011/2012
3ème Partie : LES CONDITIONNEURS
66/113
1. Conditionneurs pour capteurs passifs (10)
1.2. Montage potentiométrique simple
Choix de la valeur de R1
R Ro R
V Vcc Vcc
Ro R 2Ro R
dV Ro R ) R Ro
Sensibilité du montage : k Vcc Vcc
dR Ro R 2
Ro R 2
Nota : Si le capteur travaille en petits signaux (R0>> ΔR ), la réponse du conditionneur est linéaire
dV V Vcc
k cc V R kR
dR R 4R0 4R0
0
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3ème Partie : LES CONDITIONNEURS
67/113
1. Conditionneurs pour capteurs passifs (9)
1.3. Montage potentiométrique push-pull
Dans ce montage, la résistance fixe R1 est remplacée par un second capteur identique au
premier mais dont la variation est opposée au premier capteur : R’ = R0 - ΔR
R R0 R
V V V
VCC R R ' cc R0 R R0 R cc
V R
R0 R
V Vcc
2R0
V V
V cc cc R
2 2R0
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3ème Partie : LES CONDITIONNEURS
68/113
1. Conditionneurs pour capteurs passifs (10)
1.3. Montage potentiométrique push-pull
Ce type de montage est souvent utilisé dans le cas de jauges d’extensométrie identiques
mais subissant des déformations égales en module et de sens opposés.
Jauge 1 / Traction
F F
Jauge 2 / Compression
Année 2011/2012
3ème Partie : LES CONDITIONNEURS
69/113
1. Conditionneurs pour capteurs passifs (10)
1.4. Montage en pont d’impédance : Montage quart de pont
V VAB VA VB
VCC R1 R3
V
A B R2
Avec : VA Vcc
R1 R2
R2 = R R4
R4
et VB Vcc
R3 R4
Année 2011/2012
3ème Partie : LES CONDITIONNEURS
70/113
1. Conditionneurs pour capteurs passifs (11)
1.4. Montage en pont d’impédance : Montage quart de pont
On obtient alors :
R2 R4
V VA VB Vcc
1
R R2 R3 R4
VCC R1 R3
V Si on considère R2 = R, alors on a :
A B
R R4
R2 = R R4 V Vcc
R1 R R3 R4
Année 2011/2012
3ème Partie : LES CONDITIONNEURS
71/113
1. Conditionneurs pour capteurs passifs (12)
1.4. Montage en pont d’impédance : Montage quart de pont
Ce qui permet de fixer les valeurs de résistance puisque l’on doit avoir RR3 R1R4
Année 2011/2012
3ème Partie : LES CONDITIONNEURS
72/113
1. Conditionneurs pour capteurs passifs (13)
1.4. Montage en pont d’impédance : Montage quart de pont
R 1 R R0 R V
V ( )Vcc Vcc Vcc cc R si ΔR << R0
R0 R 2 2(R R0 ) 2(2R0 R ) 4R0
si R = R0 alors V = 0,
le signe de V donne le signe du mesurande,
si R > R0 , V est positif et si R < R0 alors V est négatif.
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3ème Partie : LES CONDITIONNEURS
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1. Conditionneurs pour capteurs passifs (14)
1.4. Montage en pont d’impédance : Montage push-pull demi-pont
Dans ce montage, la résistance fixe R1 est remplacée par un second capteur identique au
premier mais dont la variation est opposée au premier capteur : R’ = R0 - ΔR.
On a alors 2 résistances fixes R3 et R4 et 2 capteurs représentés par R et R’.
On a R2 = R = R0+ΔR et R1 = R’ = R0-ΔR
On a pour signal de sortie :
R R4
VCC R1 = R’ R3 V VA VB V
R'R R R cc
3 4
V
A B
En fixant les valeurs de R4 et R3 égales à R0,on
a alors :
R2 = R R4
R R0
V VA VB V
R'R R R cc
0 0
R0 R R0
soit, V V
2R R 0R0 cc
0
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3ème Partie : LES CONDITIONNEURS
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1. Conditionneurs pour capteurs passifs (15)
1.4. Montage en pont d’impédance : Montage push-pull demi-pont
R0 R R0 1 R 1 Vcc
V V
Vcc R
2R R R cc 2 2R 2 2R
0 0 0 0 0
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3ème Partie : LES CONDITIONNEURS
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1. Conditionneurs pour capteurs passifs (16)
1.4. Montage potentiométrique avec amplification du signal
A l’entrée de l’amplificateur
opérationnel, on a :
V
R
V
R R1 cc
V
R2
Vcc
R2 R3
Or, on a : V V
R R2
donc : Vcc Vs
R R1 R2 R3
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3ème Partie : LES CONDITIONNEURS
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1. Conditionneurs pour capteurs passifs (17)
1.4. Montage potentiométrique avec amplification du signal
R R3 1
On obtient alors : Vs 2 . Vcc
R2 R
1 1
R
4
R diminue si l’intensité du flux
lumineux 2
augmente 0
100 1 000 10 000 100 000 1 000 000
Resistance (ohm)
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3ème Partie : LES CONDITIONNEURS
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2. Conditionneurs pour capteurs actifs (1)
La réponse d’un capteur actif à la variation du mesurande ΔX se traduit par une variation
de tension : ΔV, de courant : ΔI ou de charge électrique ΔQ.
X Capteur (ou V
ΔX transducteur) ΔV
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3ème Partie : LES CONDITIONNEURS
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2. Conditionneurs pour capteurs actifs (2)
Nota : Pour obtenir une sortie équivalente à une variation de tension ΔV ou de courant ΔI,
en théorie, il n’est pas nécessaire d’ajouter un conditionneur de signal, cependant pour
des questions d’adaptation d’impédance, un conditionneur de signal est souvent
nécessaire au montage.
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3ème Partie : LES CONDITIONNEURS
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2. Conditionneurs pour capteurs actifs (3)
2.1. Capteurs sources de tension
Exemple : Thermocouple
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3ème Partie : LES CONDITIONNEURS
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2. Conditionneurs pour capteurs actifs (4)
2.1. Capteurs sources de tension
i A
Impédance d’entrée du voltmètre : Re
Rs
Re
v Tension mesurée : v m v
Rs Re
v Re vs
Re
Si Rs élevée devant Re : v m v v
Rs
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3ème Partie : LES CONDITIONNEURS
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2. Conditionneurs pour capteurs actifs (5)
2.1. Capteurs sources de tension
i+ = i- = 0
v+ = v-
v+ = v
Tension sortie : v s v
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3ème Partie : LES CONDITIONNEURS
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2. Conditionneurs pour capteurs actifs (6)
2.1. Capteurs sources de courant
Exemple : Photodiode
v
Courant de sortie: is i
Rs
i is
Impédance de sortie : Rs
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3ème Partie : LES CONDITIONNEURS
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2. Conditionneurs pour capteurs actifs (7)
2.1. Capteurs sources de courant
i A
Rs
im Courant mesuré: i
m R R i
i s e
vs Rs R
Re Si Rs faible devant Re alors i m s i
Re
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3ème Partie : LES CONDITIONNEURS
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2. Conditionneurs pour capteurs actifs (8)
2.1. Capteurs sources de courant
R1
1k
Rs est court-circuitée
LM32411
6 V-
-
7 S Tension sortie : v s R1i
OUT
I 5
Rs + 4 U1B
V+
0
0
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3ème Partie : LES CONDITIONNEURS
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2. Conditionneurs pour capteurs actifs (9)
2.1. Capteurs sources de charge
i A
im
q
q Tension sortie : vs
Cs
vs Cs
Ze
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3ème Partie : LES CONDITIONNEURS
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2. Conditionneurs pour capteurs actifs (10)
2.1. Capteurs sources de charge
LM32411
6 V-
- q
Tension sortie : vs
7 S C
OUT
q 5
C3 + 4 U2B
V+
0
0
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3ème Partie : LES CONDITIONNEURS
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Introduction
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4ème Partie : CAPTEURS ET INSTRUMENTATIONS OPTIQUES
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1. Rappels : Propriétés fondamentales de la lumière (1)
Sous son aspect ondulatoire, la lumière est vue comme une onde électromagnétique se
propageant à la vitesse c = 299 792 458 m.s-1 dans le vide et à v = c/n dans la matière (n
étant l’indice de réfraction du milieu). Cette onde est caractérisée par sa fréquence ν ou sa
longueur d’onde λ.
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4ème Partie : CAPTEURS ET INSTRUMENTATIONS OPTIQUES
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1. Rappels : Propriétés fondamentales de la lumière (2)
Sous son aspect corpusculaire, la lumière est vue comme une particule élémentaire,
appelé photon, de masse nulle et d’énergie E :
hc
E h
h étant la constante de Planck égale à 6,6256.10-34 J.s.
Cet aspect est généralement mis en évidence lors de l’intéraction de la lumière avec la
matière.
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4ème Partie : CAPTEURS ET INSTRUMENTATIONS OPTIQUES
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1. Rappels : Effet photoélectrique
Dans la matière, les électrons liés aux atomes peuvent devenir libres si on leur apporte une
énergie E supérieure à leur énergie de liaison El.
L’absorption d’un photon provoquera la libération d’un électron à condition que Ephoton>El.
El Ephoton > El
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4ème Partie : CAPTEURS ET INSTRUMENTATIONS OPTIQUES
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1. Rappels : Lumière support d’information
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2. Détecteurs optiques passifs : la photorésistance (1)
V
Rayonnement
Ip (T)
Surface A
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2. Détecteurs optiques passifs : la photorésistance (2)
1L 1 L
R
A q n A
avec :
ζ : conductivité du matériau
q : charge de l’électron
μ : mobilité de l’électron
n : densité d’électrons présents (fonction de l’éclairement)
A et L : surface et longueur de la plaque
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4ème Partie : CAPTEURS ET INSTRUMENTATIONS OPTIQUES
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2. Détecteurs optiques passifs : la photorésistance (3)
Année 2011/2012
4ème Partie : CAPTEURS ET INSTRUMENTATIONS OPTIQUES
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2. Détecteurs optiques passifs : la photorésistance (4)
De façon générale, l’intérêt des cellules photoconductrices réside dans leur rapport de
transfert statique et leur sensibilité élevée d’où résulte la simplicité de certains montages
d’utilisation (exemple : commande de relais, voir TD).
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4ème Partie : CAPTEURS ET INSTRUMENTATIONS OPTIQUES
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3. Détecteurs optiques actifs : la photodiode (1)
Rappel : Semi-conducteur de type P et de type N
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4ème Partie : CAPTEURS ET INSTRUMENTATIONS OPTIQUES
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3. Détecteurs optiques actifs : la photodiode (2)
Rappel : Jonction PN
En l’absence de tension
extérieure, le courant
traversant la jonction est nul
(somme de deux courants
égaux et de sens contraire) :
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4ème Partie : CAPTEURS ET INSTRUMENTATIONS OPTIQUES
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3. Détecteurs optiques actifs : la photodiode (3)
La photodiode est un composant basé sur la jonction d’un semi conducteur de type P et
d’un semi conducteur de type N :
Chaque photon absorbé par le semi-conducteur peut créer une paire électron-trous,
sous l’action du champ interne, l’électron se diffuse vers la zone N et le trou vers la
zone P,
on a une diffusion des trous et des électrons dans des sens opposés,
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4ème Partie : CAPTEURS ET INSTRUMENTATIONS OPTIQUES
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3. Détecteurs optiques actifs : la photodiode (4)
Ephoton = h.ν
Avec ν > νS
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4ème Partie : CAPTEURS ET INSTRUMENTATIONS OPTIQUES
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3. Détecteurs optiques actifs : la photodiode (5)
Année 2011/2012
4ème Partie : CAPTEURS ET INSTRUMENTATIONS OPTIQUES
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3. Détecteurs optiques actifs : la photodiode (6)
Φ
IR
Vd
Es
VR Rm
Puissance optique
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4ème Partie : CAPTEURS ET INSTRUMENTATIONS OPTIQUES
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4. Instrumentation optique : Mesure interférométrique (1)
Le mesurande agit sur les conditons de la propagation du signal optique, entraînant une
variation :
Pression,
Déformation.
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4. Instrumentation optique : Mesure interférométrique (2)
Is
0
Ir ΔΦ
Is
Im
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4ème Partie : CAPTEURS ET INSTRUMENTATIONS OPTIQUES
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4. Instrumentation optique : Mesure d’indice par ellipsométrie (1)
Rappel : Structure d’une onde plane
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4ème Partie : CAPTEURS ET INSTRUMENTATIONS OPTIQUES
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4. Instrumentation optique : Mesure d’indice par ellipsométrie (2)
Rappel : Dispersion d’un milieu matériel
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4ème Partie : CAPTEURS ET INSTRUMENTATIONS OPTIQUES
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4. Instrumentation optique : Mesure d’indice par ellipsométrie (3)
Rappel : Intéraction onde-matière
Lois de Snell-Descartes
Réflexion
Réflexion 1i 1r
Réfraction
Réfraction n~ sin 1 n~2 sin 2
1
Lois de Fresnel
E ip
n~ cos( ) n ~ cos( ) E pr
2
r~p 2 1 1 2
Rp r~p 1 1
n~2 cos(1 ) n
~ cos( )
1 2
Esi Esr
~ cos( ) n
n ~ cos( )
~
rs 2
Rs r~s
1 1 2 2
~ cos( ) n
n1 1
~ cos( )
2 2 2
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4ème Partie : CAPTEURS ET INSTRUMENTATIONS OPTIQUES
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4. Instrumentation optique : Mesure d’indice par ellipsométrie (4)
Principe de la mesure
Ellipsométrie
- Diagnostic optique dont la profondeur d’analyse est de l’ordre de 1/(αd).
- On sonde donc des épaisseurs variables en fonction de d avec une grande
sensiblité.
de la monocouche à qques 10 μm
Objectif
- Remonter à la réponse optique ε d’un matériau, généralement à partir d’un
modèle optique et à son épaisseur
- Décrire des structures complexes : multicouches, mileux effectifs,
interfaces, rugosités.
- Décrire la cinétique d’un procédé en temps réel : dépôt ou gravure …
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4ème Partie : CAPTEURS ET INSTRUMENTATIONS OPTIQUES
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4. Instrumentation optique : Mesure d’indice par ellipsométrie (5)
i r
Ep Ep
Eis Décomposition de l’onde optique
Φ1 Φ1 r selon les vecteurs Ep et Es
Es (respectivement parallèle (p) et
perpendiculaire (s) au plan
d’incidence)
rp
ρ tan ψ e jΔ
rs
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4. Instrumentation optique : Mesure d’indice par ellipsométrie (6)
Schéma de principe d’un ellipsomètre
Synchro Détection
Source de
lumière
Analyse de la
Polarisation
Polarisation
Modulation
Interaction
Echantillon
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4. Instrumentation optique : Mesure d’indice par ellipsométrie (7)
Caractéristique des éléments optiques de l’ellipsomètre
Source
Polariseur/Analyseur
Détecteur
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4ème Partie : CAPTEURS ET INSTRUMENTATIONS OPTIQUES
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4. Instrumentation optique : Mesure d’indice par ellipsométrie (8)
Intensité détectée
Source Détecteur
M P
A
Echantillon
p
s
Champ électrique détecté Ed P R P M M R(M ) S R A AEi
2
Intensité détectée Id Ed I0 Is sin (t ) Ic cos (t )
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4ème Partie : CAPTEURS ET INSTRUMENTATIONS OPTIQUES
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4. Instrumentation optique : Mesure d’indice par ellipsométrie (9)
Traitement des données : Echantillon analysé
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4ème Partie : CAPTEURS ET INSTRUMENTATIONS OPTIQUES
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