Curso de Tecnología del Alto Vacío

Autor: Jean-Marc Zisa

CAPITULO 5

LOS SITEMAS DE VACÍO

Los materiales, los sellos, los lubricantes, las bridas normalizadas,

las válvulas y controladores de presión …..

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PROPRIEDADES DE LOS MATERIALES COMPATIBLES CON EL

ALTO VACÍO
:
- Resistencia mecánica (1 Kg/cm2)
- Impermeable a la mayoría de los gases
- Baja presión de vapor
- Compatible con temperatura de proceso

METALES
Resistencia mecánica
Facilidad de maquilar
Facilidad para soldar
No magnético
Baja presión de vapor
Resistencia a la corrosión
Químicamente inerte
Buen acabado
Costo

Soluciones usuales: Acero Inoxidable 304, 316L y Aluminio. 2

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METALES

Resistencia mecánica
Facilidad de maquilar
Facilidad para soldar
No magnético
Baja presión de vapor
Resistencia a la corrosión
Químicamente inerte
Buen acabado
Costo

Soluciones usuales: Acero Inoxidable 304, 316L y Aluminio

Otras: Oro, plata, tántalo, molibdeno.....

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VIDRIOS
Se utilizan como tubería, campanas, ventanas y mirillas.
Los mas comunes: Silicate de boro, Pyrex 7740, cuarzo, plomo 0120
Otros: cuarzo, kodial, safiro, MgF2....

POLÍMEROS
Los mas comunes: Teflón (para sellar), PVC (tubería reforzada para bajo
vació)

ELASTÓMEROS

Se utilizan como sellos en forma de O ring o planos

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LOS SELLOS USUALES

Tipo Color usual Temp. Max. Permeaciòn Desgasificacion Costo

Viton Negro 160 C OK Buena Alto

Buna N Negro 80 C OK Buena Bajo

Buna S Verde o Negro 75 C Mala Buena Bajo

Silicon Oxido 185 C Mala Mala Bajo

Teflon Blanco 280 C OK Buena Alto

Kalrez Blanco 250 C OK Buena Muy alto

Chemraz Blanco 220 C OK Buena Muy alto

Cobre OFHC Cobre 450 C Muy buena Muy buena Bajo

Aluminio Alu 300 C Muy buena Muy buena Alto

Helicoflex Alu 300C Muy buena Muy buena Muy alto

La desgasificacion se mejora notablamente despues de hornear el sello

Cuidado: Es facil confundir un sello de Viton con uno de Buna aunque el Buna se fundira a 90 C.
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Trucos: EL viton no flota en el tricloroetileno. El Buna si. El Viton cuesta mas que el Buna pero dura mas tiempo
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LAS SOLDADURAS: CUIDADO CON LAS FUGAS VIRTUALES

SOLDADURAS SOLDADURAS
CREANDO CORRECTAS
FUGAS
VIRTUALES

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LAS GRASAS Y ACEITES

CRITERIOS PRINCIPALES:

- Presión de vapor
(para no limitar el vacío desado)

- Viscosidad
(para que lubrique bien)

-Compatibilidad con gases a evacuar

(en contacto con ciertos gases, los aceites:
se deterioran rapidamente o
explotan o provocan incendios )

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LUBRICANTES Y GRASAS

1- Los productos deben tener una presión de vapor mas baja que la presión deseada en el
sistema (a la temperatura del sistema)

2- La viscosidad de los aceites de bombas de paletas es importante para un buen

funcionamiento de las paletas

3- Verificar compatibilidad de gases evacuados y aceites: riesgos de explosión, riesgos

tóxicos, riesgos de dañar el aceite

SIEMPRE RESPETAR RECOMENDACIONES DE LOS FABRICANTES DE BOMBA

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LAS VALVULAS PARA ALTO Y ULTRA ALTO VACÍO

DE COMPUERTA
(CORTINA)

DE CONDUCTANCIA VARIABLE

DE INTRODUCCION
CONTROLADA
DE GAS DE ANGULO RECTO

ENLINEA
ANTI REGRESO DE ACEITE

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CONDUCTANCIA TÍPICA DE VÁLVULAS

DE ÁNGULO RECTO

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CONTROL DE PRESION CONTROL DE PRESION

UPSTREAM DOWNSTREAM

Q fijo

Q controlado

S controlada
S fija

Inversión inicial mas alta (se agrega válvula de

Inversión inicial baja ( Válvula de aguja manual, conductancia variable de tipo mariposa,de
automatizada o controladores de flujo masico)
compuerta o ángulo recto)
Consumo de gas eventualmente alto
Consumo de gas fijo
Respuesta menos rápida que S variable 11
Respuesta mas rápida que con upstream
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LOS CONTROLADORES DE FLUJO MÁSICO

PERMITEN REGULAR LA INTRODUCCION DE GAS

CON EXACTITUD DE 1% APROX. GRACIAS A UN SISTEMA
INTERNO DE MEDICION DEL FLUJO MASICO DEL GAS
SEGUIDO
DE UNA VALVULA DE REGULACIÓN.

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LOS CONTROLADORES DE PRESIÓN

P= Q / S

“UPSTREAM”: LA INTRODUCCION DE GAS (Q) “DOWN STREAM”: LA CONDUCTANCIA DE LA

SE REGULA EN FUNCCION DE LA LECTURA VALVULA REGULA LA VELOCIDAD DE BOMBEO (S)
DE LA PRESIÓN. EN FUNCCION DE LA LECTURA DE LA PRESIÓN.

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LOS TIPOS NORMALIZADOS DE BRIDAS

CONFLAT (CF)

ISO MF
ASA

ABRAZADERA ISO KF
ISO KF

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EL SELLO ISO-KF

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EL SELLO ISO-MF
desde 63 mm hasta 250 mm

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• El Sello Conflat R (CF) marca

registrada Varian

• Horneable hasta 450 grados

Centigrados

• Diametros ext. estandar: 1.33,

2.75”, 4.5”, 6”, 8”, 10”, 12”

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