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INTEGRANTES:
2. Objetivos
Objetivos Específicos:
El objetivo del dispositivo es obtener datos del sensor de presión MEMS que
consiste en una "placa delgada" de silicio con un diferencial de presión a través
de la placa. La deformación resultante provoca tensión a lo largo de los bordes
de la placa que también están "basadas en piezoresistivas" que son sensibles a
los fenómenos que causan haces o placas delgadas.
Fundamentos Teóricos
Tecnología MEMS
Los sistemas micro electromecánicos es una tecnología que en su forma más general
puede ser definida como elementos mecánicos y electro-mecánicos miniaturizados que
son fabricados usando las técnicas de micro fabricación. Las dimensiones físicas críticas
de los dispositivos MEMS pueden variar desde muy por debajo de una micra en el
extremo inferior del espectro dimensional, hasta varios milímetros.
Asimismo, los tipos de dispositivos de MEMS pueden variar de estructuras relativamente
simples que no tienen elementos móviles, a los sistemas electromecánicos
extremadamente complejos con múltiples elementos móviles bajo el control de la
microelectrónica integrada. No solo es el rendimiento de los dispositivos MEMS lo que
los hace excepcionales, sino también su método de producción, el cual aprovecha las
técnicas de fabricación por lotes, mismas utilizados en la industria de circuitos
integrados, lo que se traduce en un costo de producción por cada dispositivo más bajo,
así como muchos otros beneficios.
MOEMS: son dispositivos diseñados para dirigir, reflejar, filtrar y/o amplificar la
luz. Estos componentes incluyen interruptores ópticos y reflectores.
Bio MEMS: son dispositivos que son diseñados para interactuar específicamente
con muestras biológicas. Dispositivos como estos son fabricados para
interactuar con proteínas, celular biológicas, reactivos médicos, etc. Estas cinco
áreas representan aplicaciones totalmente diferentes de dispositivos MEMS que
actualmente se encuentran en uso o en desarrollo para aplicaciones
comerciales.
Los MEMS poseen una serie de ventajas frente a los sistemas de mayor tamaño, entre
las cuales se encuentran:
Piezoresistive Sensor
Con el desarrollo del telégrafo en el siglo XIX, los problemas de propagación de la señal
y los cambios de conductividad llevaron a la observación del cambio en la conductividad
o resistencia bajo tensión mecánica =. En 1856, el físico británico William Thomson, notó
por primera vez, un cambio en la resistencia eléctrica con el alargamiento del hierro y el
cobre. El mismo año, Lord Kelvin dio una conferencia a la Royal Society de Londres,
donde presentó un experimento en el que se les dio peso a los alambres de hierro y
cobre y se midió el cambio de resistencia con un puente de Wheatstone.
𝑑𝑅
𝐾 = ( )/∈𝐿
𝑅
𝐾 = 1 + 2𝑣
Donde 𝑣 es la relación de Poisson del material. Incluso si los cambios son relativamente
pequeños, permiten el uso de estos sensores (galgas extensométricas) en una amplia
gama de aplicaciones.
El efecto piezoresistivo puede usarse para medir la presión y también la humedad y las
concentraciones de gas. Por ejemplo, cuando la membrana cambia debido al contacto
con la humedad o los gases en el volumen y ejerce presión sobre el piezoresistor, se
puede medir con un sensor piezoresistivo. El sensor piezoresistivo también se puede
desarrollar a partir de capas de polímero que responden a la presión y cambian su forma
o volumen. Por lo tanto, los sensores piezoresistivos son adecuados para una variedad
de aplicaciones, incluidos acelerómetros de estado sólido y transistores bipolares.
Figura 1
3. Usos generales
Los sensores piezoresistivos se usan como parte de muchos dispositivos MEMS, que
incluyen:
Sensores de presión
Acelerómetros
Sensor táctil
Sensores de flujo
La parte central del sensor de presión MEMS es una matriz de detección de presión
piezorresistiva procesada por la tecnología MEMS. La matriz de detección de presión
está compuesta por un diafragma elástico y cuatro resistencias integradas en el
diafragma. Cuatro piezo-resistencias forman una estructura de puente de Wheatstone.
Figura 2
Cuando se presiona el diafragma elástico, el puente de Wheatstone emitirá una señal
de voltaje proporcional lineal con la presión activada. Sin cambios de presión, no hay
salida, por lo tanto, consume poca energía.
Figura 3
4. Marco Metodológico
Los elementos más interesantes y notables de los sensores de presión son el diafragma
elástico delgado fijado alrededor de su perímetro y los elementos sensores
piezoresistivos están dispuestos en un circuito de puente de Wheatstone conectado en
la parte superior del chip. Esta conexión está debidamente compuesta de un elemento
piezo-resistivo de tipo p. Si se aplica una presión uniforme en la parte posterior del
diafragma, se deforma la resistencia cambiante de los piezoresistores y esto se
detectará por un cambio en el voltaje. La mejora de la sensibilidad y las técnicas de
micro fabricación también son esenciales en las aplicaciones de microfluidos.
Figura 6
5. MATERIALES Y EQUIPOS
COMSOL Multiphysics
MEMS MODULE
6. Productos esperados
Galgas extensométricas
Una resistencia lineal de silicio se modela y se forma antes de que crezca una capa
aislante de dióxido de silicio. Las vías se abren en el óxido antes de que el metal se
deposite y se modele para definir los contactos eléctricos. El piezoresistor de tipo p está
aislado del sustrato de tipo n por una región de agotamiento. Los sensores
piezoresistivos prácticos suelen incluir múltiples piezoresistores para reducir su
sensibilidad a la temperatura .Por ejemplo, se pueden combinar cuatro medidores de
deformación lineal en una disposición cuadrada con dos medidores orientados con su
flujo de corriente eléctrica paralelo a la dirección de la tensión aplicada (carga
longitudinal) y dos orientados perpendicularmente a la tensión aplicada (carga
transversal).
Figura 9
Una resistencia lineal de silicio se forma mediante implantación de iones o dopaje por
difusión antes de que crezca un óxido de pasivación. Se abren vías en el óxido, se
deposita el metal y se modela litográficamente, y el sensor se corta en cubitos de la
oblea. El piezoresistor de tipo p está aislado del sustrato de tipo n por una región de
agotamiento. Se pueden combinar cuatro medidores de deformación lineales en un
patrón cuadrado formando un puente completo de Wheatstone para compensación de
temperatura y máxima sensibilidad a la deformación.
Más recientemente, los patrones de rosetas sensibles al estrés se han integrado en la
matriz de silicio para medir las tensiones del empaque del circuito integrado, las fuerzas
de unión de los cables y los parámetros del proceso de bola de soldadura de chip
invertido.
Sensores de presión
Vigas en voladizo
Las vigas en voladizo son una estructura micromaquinada ubicua. Las vigas en voladizo
con carga final se usan ampliamente para detectar la fuerza y los desplazamientos en
la microscopía de exploración. El depósito de una película químicamente sensible
transforma un haz en voladizo en un sensor de tensión superficial. Un haz en voladizo
se puede conducir por resonancia para transducir la masa añadida de átomos
individuales en una señal eléctrica para detección química portátil, cromatografía de
gases o espectroscopía de masas. La adición de una masa de prueba al final de la viga
en voladizo la transforma en un acelerómetro.
Figura 9
Rogue Valley Microdevices
Figura 10
STMicroelectronics
ST ofrece la gama más amplia de MEMS y sensores que cubren una gama completa de
aplicaciones, donde dispositivos de baja potencia para IoT y aplicaciones, desde
dispositivos de baja potencia para IoT y aplicaciones con batería hasta dispositivos de
alta gama para una navegación y posicionamiento precisos, industria 4.0, componentes
de realidad virtual aumentada y teléfonos inteligentes.
Figura 11
Estadísticas
[1] Mawahib Gafare; M. H.Md Khir; Almur Rabih (2015)”Modeling and simulation of
polysilicon piezoresistors in a CMOS-MEMS resonator for mass detection”.Universiti
Teknokogi PETRONAS.
[4] Chi Zhang; Gaofei Zhang; Zheng You (2007) “Piezoresistor Design for Deflection
Angles Decoupling Measurement of Two-Dimensional MOEMS Scanning Mirror”.
Tsinghua University.