XVIII Всероссийской конференции с международным участием «Актуальные

проблемы неорганической химии. К 150-летию Периодического закона Д.И.

Менделеева»
ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКОЕ УСТРОЙСТВО ДЛЯ
ПОЛУЧЕНИЯ АТМОСФЕР С КОНТРОЛИРУЕМЫМ
СОДЕРЖАНИЕМ КИСЛОРОДА И ЕГО ПРИМЕНЕНИЕ ПРИ
ТЕРМООБРАБОТКЕ ТОНКИХ ПЛЕНОК
Судариков Д.А., Шароваров Д.Ю., Кауль А.Р.
Химический факультет МГУ имени М.В. Ломоносова,
119991, Москва, Россия, e-mail sudarikow-denis@yandex.ru Formatted: Font: (Asian) Japanese, (Other) Russian

Контроль содержания кислорода в потоках инертных газов важно для

многих технологических и лабораторных процессов, в которых необходимо
предотвращать окисление различных реагентов или, напротив, осуществлять их
окисление в контролируемых условиях. Электрохимические анализаторы
кислорода потенциометрического типа, основанные на высокотемпературной
кислород-ионной проводимости кубического диоксида циркония,
стабилизированного легирующими оксидами редкоземельных элементов,
широко используются в аналитической практике многих лабораторий в виде
коммерческих приборов. Реже встречаются примеры того, как ионная
проводимость твердых электролитов используется для регулирования заданного
содержания кислорода в потоке инертного газа, несмотря на то, что подобные
устройства отличаются высокой надёжностью, эффективностью и точностью.
Необходимость создания установки для прецизионного контроля рО2
возникла из задачи проведения отжига тонких пленок диоксида ванадия,
претерпевающего фазовый переход металл-полупроводник при 68оС с резким
изменением электрических и оптических свойств, что позволяет использовать его
как основу для разработки термоактивируемых переключателей, «умных окон»,
перестраиваемых антенн и других устройств. Однако параметры фазового
перехода (его положение на шкале температур, ширина гистерезиса и амплитуда
изменения свойств), в сильной степени зависят от размера зерен пленки и их
взаимосвязанности, так как сопротивление поверхности зерна и объемное
сопротивление разительно отличаются. Отжиг пленок, предпринимаемый с
целью их рекристаллизации, уменьшения вклада границ зерен и улучшения
свойств конечного материала, часто сопровождается переплавлением пленок,
разрывом сплошности и неконтролируемым изменением состояния окисления.
Formatted: Indent: First line: 0"
 Основной проблемой отжига является поддержание условий
существования ванадия в промежуточной степени окисления +4. Отжиги в
атмосферах азота, аргона и аргон-водородной смеси, содержащих
неконтролируемую примесь кислорода, приводят либо к окислению, либо к
восстановлению пленки. Однако, опираясь на литературные данные по
равновесным рО2-Т условиям существования оксидов ванадия, можно выбрать
необходимое значение давления кислорода и температуру, гарантдляирующие
сохранение степени окисления в оксиде. при отжиге. Поэтому корректировка
содержания кислорода в инертных газах является необходимой для
контролируемого отжига тонких пленок.
В состав созданной
установки входит
кислородный насос (1) -
ячейка из твердого
электролита YSZ с
нанесенным на внешнюю и
внутреннюю поверхность
пористыми электродными
слоями платины. Подавая
напряжение на электроды,
можно регулировать
интенсивность откачки
кислорода из потока аргона
и т.о. регулировать его
остаточное содержание.
Измерение содержания
кислорода после
кислородного насоса и после
камеры для отжига образцов
(3), осуществляемое
твердоэлектролитными
датчиками (2) и (4),
позволяют в режиме
реального времени
Рисунок 1 Схема установки наблюдать за изменением Formatted: Caption, Left, Indent: First line: 0"
содержания кислорода в
разных частях установки и фиксировать процессы окисления или
восстановления. Значения рО2 рассчитываются из величин ЭДС датчиков (2) и
(4) по формуле Нернста-Вагнера.
 Пример влияния отжига пленок в
R [Ом] Влияние отжига на параметры перехода
контролируемом рО2 = 10-6 при Formatted: Font: 10 pt
10000
600оС на гистерезис сопротивления Formatted: English (United States)

1000
при переходе диэлектрик-металл
показан на рис.2.
100

10
Рисунок 1 Влияние отжига на фазовый переход
металл-полупроводник
1
20 30 40 50 60 70 80 90
T [oC] Formatted: Font: 10 pt
После отжига Без отжига
Formatted: English (United States)
Рисунок 2 Влияние отжига на фазовый переход металл-полупроводник
Formatted: Caption, Left, Indent: First line: 0"
Рисунок 2 Схема уcтановки Formatted: Normal, Keep with next
Field Code Changed