Вы находитесь на странице: 1из 23

Московский

 государственный  университет  
 им.  М.В.  Ломоносова  
 
Физический  факультет  
 Кафедра  полимеров  и  кристаллов  МГУ    
 
 
 
 
 
Особенности  плазмохимического  осаждения  графитных  наностенок  на  
поверхности  кремния  и  углеродных  волокон  
 
 
Выпускная  работа  на  степень  бакалавра  
   4-­‐го  курса  Д.И.  Финкельштейна  
 Научный  руководитель    
Р.Р.  Исмагилов    
 
 
 
Москва-­‐2015  
 
Перспективные  углеродные  
наноматериалы  
Структура  нанографитных  
пленок  
Структура  нанографитных  
пленок
 
Перспективы  и  задачи    
Цели  и  задачи  работы
Исследование  особенностей  плазмохимического  осаждения  
нанографитных  пленок  на  поверхности  кремния  и  
углеродных  волокон.  

—  Получение  не  менее  5  образцов  с  нанографитными  


пленками  на  поверхности  кремния  при  различных  
параметрах  процесса  роста  
—  Оптимизация  параметров  осаждения  для  получения    
нанографитных  пленок  на  поверхности  углеродных  
волокон  
—  Исследование  полученных  образцов  с  помощью  
растровой,  оптической  микроскопии  и  КРС-­‐спектроскопии  
—  Проанализировать  полученные  результаты  и  предложить  
возможные  механизмы  роста  
Методика  
эксперимента
Установка  плазмо-­‐
химического  осаждения  
Управляющая  программа  
установки  
Параметры  экспериментов  

 
Параметры  экспериментов  
Результаты
Результаты  
Нанографитные  пленки,  
выращенные  на  углеродных  
волокнах  
Результаты  
Нанографитные  пленки,  
выращенные  на  углеродных  
волокнах  
 
Результаты  
Механизм  роста  графитных  
наностенок  на  Si
Результаты  
Нанографитные  пленки,  
выращенные  на  кремнии.
Основные  результаты  
—  Получены   образцы   с   нанографитными   пленками   на  
поверхности   кремния   при   различных   параметрах  
процесса  осаждения  

—  Проведена   оптимизация   параметров   осаждения     и    


получены   нанографитные   пленки   на   поверхности  
углеродных  волокон  

—  Проведено   исследование   полученных   образцов   с  


помощью   растровой,   оптической   микроскопии   и     КРС-­‐
спектроскопии  
—  Обнаружен   альтернативный   механизм   образования  
нанографитных  пленок  на  поверхности  кремния.  
Выводы
Выводы  
Метод   плазмохимического   осаждения   позволяет   получить  
нанографитные   пленки   на   поверхности   углеродных   волокон.  
Продемонстрирована   возможность   альтернативного   роста  
нанографитных   пленок   на   поверхности   кремния   без   образования  
промежуточной  алмазной  фазы.  
Публикации  
Finkelstein   D.I.,   Alexeev   A.M.,   Tuyakova   F.T.,  
I s m a g i l o v   R . R . ,   O b r a z t s o v   A . N . ;   4 t h  
i n t e r n a e o n a l   w o r k s h o p   " N a n o c a r b o n  
Photonics   and   Optoelectronics   NPO2014",  
Holiday   Centre   “Huhmari”,   Polvijärvi,   North  
Karelia,  Finland,  Финляндия,  2014  
Спасибо  за  внимание!  
Структура  нанографитных  
пленок