PRODUÇÃO DE FILMES FINOS DE DIÓXIDO DE TITÂNIO EM AÇO-

CARBONO PARA APLICAÇÃO ANTINCRUSTANTE.

Eder M. Ramos1*, Kevin F. de Souza1*, Murilo R. B. Zanella1, Viviane L. Soethe1, Rafael G. Delatorre 1, Moises L.
Parucker 2,

Universidade Federal de Santa Catarina – Centro Tecnológico de Joinville,

1
2
Universidade Federal de Itajubá – Campus Itabira,
*edermarlon@bol.com.br,kevin_felippe@hotmail.com, rafael.delatorre@ufsc.br, viviane.s@ufsc.br, Rua Dr. João Colin,
2700, Bairro Santo Antônio, Joinville –SC, Brasil, CEP: 89.218-035, Fone: (47)9653-4543

INTRODUÇÃO

A bioincrustação marinha é um processo natural e acarreta em uma série de transtornos e

prejuízos ao setor naval, com penas econômicas e ambientais. Estes revéses são honerosos, em
especial para as embarcações, movimentando bilhões de dolares para a indústria de biocidas, de
produtos de limpeza e de materiais antincrustantes (1-2).
A bioincrustação é definida como um processo resultante do acúmulo de organismos
microscópicos, plantas e animais em superfície abiótica, sejam elas naturais (rochas e madeiras) ou
feitas pelo homem (cais, plataformas, cascos de navio entre outros), quando imersas em ambientes
líquidos naturais como rios, lagos e oceano (1; 3-4).
As preocupações com o meio ambiente e a busca no atendimento aos requisitos das
legislações vigentes estão direcionando a ciência e tecnologia no desenvolvimento de soluções não
biocidas. Diante disso, o uso de materiais e revestimentos com propriedades físico-química
específicas, avanços na nanotecnologia e o desenvolvimento de novos modelos de superfície
inspirados na natureza podem resultar em soluções ambientalmente corretas, isto é, sem agreção ao
meio ambiente marinho (5).
O presente trabalho apresenta resultados do estudo de obtenção de filmes finos capazes de
atender as demandas da sociedade no sentido de minimizar modificações ambientais. Para tal,
filmes finos de TiO2 (dióxido de titânio), foram depositados sobre substratos de aço. A literatura
tem demonstrado a eficiência de partículas de TiO2 quanto as suas propriedades bactericidas, o que
motiva a utilização deste material no desenvolvimento deste trabalho (6).

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MATERIAIS E MÉTODOS

Para o desenvolvimento do trabalho foram utilizados corpos de prova de aço AISI 1020,
escolhidos como substrato para as deposições de filmes de TiO2, sendo este um material muito
empregado no setor naval. A preparação dos substratos se deu a partir de uma barra cilíndrica de
aço, cortada de modo a obter discos de 1 (uma) polegada de diâmetro e espessura de,
aproximadamente, 5 mm. Os discos seccionados foram tratados metalograficamente afim de obter
superfícies com baixa rugosidade.
Para a preparação dos filmes finos de TiO2 sobre estes substratos, empregou-se a técnica de
deposição Triodo Magnetron Sputtering e oxigênio como gás de trabalho, uma vez que o mesmo
liga-se quimicamente com o Ti (pureza de 99,9%) dando origem ao composto TiO2. A grande
vantagem desta técnica para formação do TiO2 reside no fato de se poder controlar a fase cristalina
do composto formado (principalmente rutilo ou anatase), o que possibilita ao filme uma maior
diversidade de aplicações e propriedades.
As condições de deposição dos filmes foram: potência de 600W e pressão base de 3,0mTorr.
O sistema de vácuo foi composto por um conjunto de duas bombas (sendo uma mecânica e uma
turbomolecular) conectadas em série.
As amostras foram caracterizadas por meio de técnicas como perfilometria, Microscopia
Eletrônica de Varredura (MEV) e Espectroscopia de Energia Dispersiva (EDS).

RESULTADOS E DISCUSSÃO

Previamente ao processo de deposição dos filmes finos, foram realizadas medidas da pressão
parcial do gás reativo (oxigênio) em função do fluxo de gás, para deposição reativa de TiO2,
obtendo o que se denomina de curva de histerese. A deposição reativa é caracterizada pela inserção
de um gás reativo, que neste caso é o oxigênio, na câmara do reator, que reage quimicamente com
os átomos do alvo (Ti), com a intenção de modificá-los ou formar novos compostos. A curva de
histerese é obtida variando ciclicamente o fluxo de O2 na câmara, enquanto é medido o valor da
pressão. Durante o aumento do fluxo de O2 na câmara do reator, a pressão inicialmente se mantém
constante, indicando que todo oxigênio inserido reage com o titânio do alvo. A partir de um
determinado limite de fluxo de oxigênio, verifica-se um aumento da pressão do sistema, decorrente
do excesso de O2 na câmara, que torna a superfície do alvo saturada com compostos oriundos da
reação entre O2 e Ti. Este fenômeno pode ser observado pelo súbito aumento de pressão no ponto

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crítico da curva de histerese, causado pelo excesso de O2 que não tem mais onde reagir (7). A Fig. 1
apresenta uma curva típica de histerese para este processo. Através desta curva é possível
determinar a região mais adequada para obtenção de filmes estequiométricos, que é anterior à
região de envenenamento do alvo, e controlar propriedades do filme em função da pressão na
câmara.

Figura 1 – Curva de histerese da deposição de TiO2 a temperatura ambiente, evidenciando as

condições de deposição dos filmes deste trabalho (pontos vermelhos).

Fonte: Dados do autor (2016).

A partir da obtenção da curva de histerese, selecionou três condições do fluxo de gás oxigênio
(1,6; 2,1; 3,2 sccm) para a formação de filmes de TiO2 na superfície dos substratos de aço. Os
demais parâmetros e condições de trabalho permaneceram inalterados. Após a deposição todas as
amostras foram resfriadas lentamente no interior da câmara de vácuo até temperatura ambiente. A
Fig. 2 apresenta uma imagem das amostras após a deposição dos filmes de TiO2.

Figura 2 – Aparência visual das amostras após a deposição dos filmes com diferentes fluxos de O2.

Fonte: Dados do autor (2016).

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 As amostras depositadas foram caracterizadas inicialmente por perfilometria com o objetivo
de se obter a espessura dos filmes. Além disso, análises de MEV/EDS foram realizadas para
avaliação da morfologia e composição química. Para a medida da espessura dos filmes, em cada
condição de preparação foi inserida uma amostra parcialmente recoberta por uma fita adesiva. A
remoção da fita após o revestimento permite a observação de um degrau entre o filme e o substrato,
sendo a medida da altura do degrau relativa à espessura dos filmes. As medidas deste degrau foram
realizadas por meio de um perfilomêtro e estão apresentadas na Tabela 1, para 6 regiões diferentes
do mesmo revestimento.

Tabela 1 – Resultados do ensaio de perfilometria nas três condições de deposições utilizadas.

Fonte: Dados do autor (2016).

O filme depositado com fluxo de O2 de 3,2 sccm apresentou espessura muito superior às
outras condições, mostrando uma alteração significativa na taxa de reação nestas condições, que
está associada ao emprego de uma atmosfera saturada de oxigênio dentro do reator. Já o filme
depositado com fluxo de O2 de 1,6 sccm teve uma espessura semelhante àquela obtida com fluxo de
2,1 sccm.
A avaliação das amostras revela que ocorrem diferenças em termos de espessura em
diferentes pontos da amostra que se deve a deposição estática dos filmes.
A região do degrau também foi avaliada por MEV para observação da morfologia do filme de
TiO2 e de EDS para determinação da composição química. As Fig. 3, 4, 5 e 6 evidenciam
respectivamente as condições de fluxo de O2 na câmara do reator, além dos constituintes de cada
degrau sendo (1) região relativa ao substrato e (2) região relativa ao filme.

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Figura 3 – Imagens de MEV com resolução de 2000x para amostras depositadas com fluxos de 1,6;
2,1; 3,2 sccm de O2.

Fluxo 1,6 sccm de O2 Fluxo 2,1 sccm de O2 Fluxo 3,2 sccm de O2

Fonte: Dados do autor (2016).

Nas imagens de MEV nos filmes de TiO2 produzidos nas condições de fluxo de O2 em 1,6,
2,1 e 3,2 sccm, observou-se superfícies uniformes, sem eventuais aglomerados de partículas ou
falhas de cobertura.

Figura 4 – Espectros de EDS para amostras obtidas com fluxo de 1,6 sccm de O2.
1,6 sccm 1,6 sccm

Fonte: Dados do autor (2016).

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 Figura 5 – Espectros de EDS nos fluxos de 2,1 sccm de O2.

2,1 sccm 2,1 sccm

Fonte: Dados do autor (2016).

Figura 6 – Espectros de EDS nos fluxos de 3,2 sccm de O2.

3,2 sccm 3,2 sccm

Fonte: Dados do autor (2016).

Avaliando-se os espectros de EDS verifica-se a presença de titânio em todas as condições de

fluxo de O2, já o oxigênio não foi encontrado na amostra de condição de fluxo de O2 em 1,6 sccm, o
que pode estar associado à pequena espessura dos filmes somada à deficiência de precisão que a
técnica de EDS observa para átomos leves. Observa-se também que foi proporcional o aumento de
oxigênio nos filmes (1,6; 2,1; 3,2) com a entrada de O2 no reator.

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CONCLUSÃO

Filmes finos de TiO2 foram obtidos na superfície de aço. Imagens de MEV indicam que o
material se distribui uniformemente por toda a superfície dos substratos, características adequadas
para avaliação de incrustação em ambiente marinho natural, e aplicações como antincrustante em
estruturas navais. O filme produzido na condição de fluxo de O2 exatamente no ponto de
envenenamento do alvo apresentou taxa de deposição muito superior às demais condições,
implicando em espessura muito superior, na ordem de micrometro. A alteração na coloração deste
material, em comparação às demais condições, pode estar associado à maior espessura e,
consequentemente, à formação de fases distintas de óxidos de Ti.

AGRADECIMENTOS

Aos Laboratórios de MEV/EDS da ARCELORMITTAL VEGA, LABPLASMA da UDESC-

JOINVILLE e à UNISOCIESC-JOINVILLE.

REFERÊNCIAS

1 - DA GAMA, B. A. P.; PEREIRA, R. C.; COUTINHO, R. Bioincrustação marinha. In: PEREIRA, R. C.;
SOARES-GOMES, A. Biologia marinha. 2. ed. Rio de Janeiro: Interciência, 2009.
2 - FLEMMING, H-C. Microbial biofouling: Unsolved problems, insufficient approaches, and possible
solutions. Biofilm Highlights, Berlin Heidelberg, 2011.
3 - YEBRA, D. M.; KIIL, S.; DAM-JOHANSEN, K. Antifouling technology - past, present and future steps
towards efficient and enviromentally friendly antifouling coating. Progress in Organic Coatings, 2004.
4 - DINESHRAM, R. et al. Biofouling studies on nanoparticle-based metal oxide coatings on glass coupons
exposed to marine environment. Colloids and Surfaces B: Biointerfaces, 2009.
5 - CALLOW, J. A.; CALLOW, M. E. Trends in the development of environmentally friendly fouling-
resistant marine coatings. Nature Communications, Birmingham, 2011.
6 - IRALA, D. D. R. Obtenção de filmes de TiO2 com propriedades fotoinduzidas sobre aço AISI 1015
utilizando tecnologias de plasma. Instituto Tecnológico de Aeronáutica. São José dos Campos. 2013.
7 - RECCO, A. A. C.; MUZART, J. R. L.; FONTANA, L. C. Deposição de filmes de TiN e TiO por triodo-
magnetron-sputtering. Congresso Brasileiro de Engenharia e Ciência dos Materiais, Natal, 2002.